JP2003531477A - 光学増幅器およびレーザー - Google Patents
光学増幅器およびレーザーInfo
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- OUMZKMRZMVDEOF-UHFFFAOYSA-N tris(trimethylsilyl)phosphane Chemical compound C[Si](C)(C)P([Si](C)(C)C)[Si](C)(C)C OUMZKMRZMVDEOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
広いバンドと幅広い範囲で特異的なバンド能力との両方を有する光学増幅器およびレーザーは、半導体ナノクリスタル固体に基づき得る。一般に、ゲイン媒体は、複数の半導体ナノクリスタルを含む。このゲイン媒体は、光放射を増幅するかまたはレイジングにより光放射を生成するために使用され得る。特に、このゲイン媒体は、濃縮された半導体ナノクリスタルの固体(例えば、半導体ナノクリスタルの細密充填フィルム)を含み、この固体は、高いゲインを提供して、短い増幅器またはキャビティの長さにわたって、光学増幅またはレイジングを生成する。
Description
【0001】
(優先権主張)
本願は、米国特許出願番号第60/189,256(2000年3月14日出
願)の優先権を主張し、この内容全体は、本明細書中で参考として援用される。
願)の優先権を主張し、この内容全体は、本明細書中で参考として援用される。
【0002】
(連邦政府委託研究または開発)
米国政府は、米国エネルギー省により授与された契約番号W−7405−EN
G−36に従う本発明において特定の権利を有し得る。
G−36に従う本発明において特定の権利を有し得る。
【0003】
(技術分野)
本発明は、広いバンドおよび広い領域特異的バンド能力の両方を有する改良さ
れた光増幅器およびレーザーに関し、より詳細には、半導体ナノクリスタルを含
む固体に基づく光増幅器およびレーザーに関する。
れた光増幅器およびレーザーに関し、より詳細には、半導体ナノクリスタルを含
む固体に基づく光増幅器およびレーザーに関する。
【0004】
(背景)
光増幅器は、光放射を増幅するためのゲイン媒体(gain medium)
を使用する。増幅器において、ソース(source)はゲイン媒体を励起して
、このゲイン媒体の高エネルギー状態と低エネルギー状態との間に集団の反転を
生成する。この励起されたゲイン媒体は、集団の反転の高エネルギー状態と低エ
ネルギー状態との間のエネルギー差に重なるエネルギーで、光放射を増幅し得る
。なぜなら、この媒体からの放射の誘導放射は、光の吸収よりも効率的であるか
らである。一般に、レーザーは、励起されたゲイン媒体にフィードバックを供給
して、増幅された自発的発光を引き起こすキャビティを使用する。レーザーキャ
ビティは、一連の光学要素(例えば、ミラー(これは、ゲイン媒体に関して配置
されて、キャビティに放射を反射し戻し、それによりフィードバックを提供する
)を備え得る。例えば、ゲイン媒体は、安定共振器または不安定共振器内に配置
され得る。あるいは、このゲイン媒体が、以下の式を満たすのに十分な長さL、
およびゲイン係数G(cm−1)を有する場合、増幅された自発的放射は、外部
光学要素なしで、励起ゲイン媒体において生じ得る: G/L>>1 ここで、ゲイン係数Gは、誘導放射断面積、および集団の反転により生成される
高エネルギー状態および低エネルギー状態の集団密度の差に関連する。
を使用する。増幅器において、ソース(source)はゲイン媒体を励起して
、このゲイン媒体の高エネルギー状態と低エネルギー状態との間に集団の反転を
生成する。この励起されたゲイン媒体は、集団の反転の高エネルギー状態と低エ
ネルギー状態との間のエネルギー差に重なるエネルギーで、光放射を増幅し得る
。なぜなら、この媒体からの放射の誘導放射は、光の吸収よりも効率的であるか
らである。一般に、レーザーは、励起されたゲイン媒体にフィードバックを供給
して、増幅された自発的発光を引き起こすキャビティを使用する。レーザーキャ
ビティは、一連の光学要素(例えば、ミラー(これは、ゲイン媒体に関して配置
されて、キャビティに放射を反射し戻し、それによりフィードバックを提供する
)を備え得る。例えば、ゲイン媒体は、安定共振器または不安定共振器内に配置
され得る。あるいは、このゲイン媒体が、以下の式を満たすのに十分な長さL、
およびゲイン係数G(cm−1)を有する場合、増幅された自発的放射は、外部
光学要素なしで、励起ゲイン媒体において生じ得る: G/L>>1 ここで、ゲイン係数Gは、誘導放射断面積、および集団の反転により生成される
高エネルギー状態および低エネルギー状態の集団密度の差に関連する。
【0005】
従来のソリッドステートレーザーおよびガスレーザー、ならびに増幅器は、一
般に、レーザー材料に依存して、非常に特異的なスペクトル出力を提供する。利
用可能なゲイン材料を使用して達成し得るか、またはそれほど特異的ではないス
ペクトル出力が所望される場合、色素レーザーまたはチューナブル光学パラメー
ター発振器(OPO)または増幅器(OPA)が使用され得る。色素レーザーは
、大きくかつかさ高く、そして毒性であり得る流体成分もまた必要とする。
般に、レーザー材料に依存して、非常に特異的なスペクトル出力を提供する。利
用可能なゲイン材料を使用して達成し得るか、またはそれほど特異的ではないス
ペクトル出力が所望される場合、色素レーザーまたはチューナブル光学パラメー
ター発振器(OPO)または増幅器(OPA)が使用され得る。色素レーザーは
、大きくかつかさ高く、そして毒性であり得る流体成分もまた必要とする。
【0006】
(要旨)
一般に、ゲイン媒体は、複数の半導体ナノクリスタルを含む。このゲイン媒体
は、光放射を増幅するかまたはレイジングにより光放射を生成するために使用さ
れ得る。特に、このゲイン媒体は、濃縮された半導体ナノクリスタルの固体(例
えば、半導体ナノクリスタルの細密充填フィルム)を含み、この固体は、高いゲ
インを提供して、短い増幅器またはキャビティの長さにわたって、光学増幅また
はレイジングを生成する。
は、光放射を増幅するかまたはレイジングにより光放射を生成するために使用さ
れ得る。特に、このゲイン媒体は、濃縮された半導体ナノクリスタルの固体(例
えば、半導体ナノクリスタルの細密充填フィルム)を含み、この固体は、高いゲ
インを提供して、短い増幅器またはキャビティの長さにわたって、光学増幅また
はレイジングを生成する。
【0007】
1つの局面において、ゲイン媒体は、複数の半導体ナノクリスタルを有する濃
縮固体を含む。
縮固体を含む。
【0008】
別の局面において、レーザーは、光学ゲイン媒体、およびこの光学ゲイン媒体
に関して配置されてフィードバックを提供するキャビティを備える。光学ゲイン
媒体は、複数の半導体ナノクリスタルを有する濃縮固体を含む。このキャビティ
は、マイクロキャビティであり得る。例えば、このキャビティは、1mm未満の
長さを有し得る。
に関して配置されてフィードバックを提供するキャビティを備える。光学ゲイン
媒体は、複数の半導体ナノクリスタルを有する濃縮固体を含む。このキャビティ
は、マイクロキャビティであり得る。例えば、このキャビティは、1mm未満の
長さを有し得る。
【0009】
別の局面において、光シグナルを増幅する方法は、複数の半導体ナノクリスタ
ルを含む濃縮固体に光ビームを方向付ける工程を包含する。
ルを含む濃縮固体に光ビームを方向付ける工程を包含する。
【0010】
別の局面において、レーザーを形成する方法は、キャビティを光学ゲイン媒体
に関して配置して、この光学ゲイン媒体にフィードバックを提供する工程を包含
する。この光学ゲイン媒体は、複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮固体を含
む。
に関して配置して、この光学ゲイン媒体にフィードバックを提供する工程を包含
する。この光学ゲイン媒体は、複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮固体を含
む。
【0011】
この濃縮固体は、実質的に欠陥を含み得ない。欠陥を含む濃縮固体は、欠損(
例えば、散乱)を生じ、その結果、この固体は、光学放射にゲインを提供しない
。この固体は、ナノクリスタルの最大バンドギャップ発光以下のエネルギーで、
光シグナルにゲインを提供し得る。この固体はまた、濃縮固体が実質的に吸収を
有さないエネルギーにおいて、ゲインを提供し得る。
例えば、散乱)を生じ、その結果、この固体は、光学放射にゲインを提供しない
。この固体は、ナノクリスタルの最大バンドギャップ発光以下のエネルギーで、
光シグナルにゲインを提供し得る。この固体はまた、濃縮固体が実質的に吸収を
有さないエネルギーにおいて、ゲインを提供し得る。
【0012】
濃縮固体は、0.2容量%より多く、5容量%より多く、10容量%より多く
、または15容量%より多くの半導体ナノクリスタルを含む。複数の半導体ナノ
クリスタルの各々は、同じかまたは異なる第1の半導体材料を含む。この第1の
半導体材料は、II−VI族の化合物、II−V族の化合物、III−VI族の
化合物、III−V族の化合物、IV−VI族の化合物、I−III−VI族の
化合物、II−IV−VI族の化合物、またはII−IV−V族の化合物(例え
ば、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdS、CdSe、CdTe、HgS、Hg
Se、HgTe、AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、Ga
As、GaSb、GaSe、InN、InP、InAs、InSb、TlN、T
lP、TlAs、TlSb、PbS、PbSe、PbTeまたはそれらの混合物
)であり得る。第1の半導体材料の各々は、第2の半導体材料(例えば、ZnO
、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdO、CdS、CdSe、CdTe、MgO
、MgS、MgSe、MgTe、HgO、HgS、HgSe、HgTe、AlN
、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、GaSb、InN
、InP、InAs、InSb、TlN、TlP、TlAs、TlSb、TlS
b、PbS、PbSe、PbTe、またはそれらの混合物)でオーバーコートさ
れる。第1の半導体材料の各々は、第1のバンドギャップを有し、そして第2の
半導体材料の各々は、この第1のバンドギャップより長い第2のバンドギャップ
を有する。各ナノクリスタルは、約10ナノメートル未満の直径を有し得る。複
数のナノクリスタルは、サイズの単分散分布を有する。複数のナノクリスタルは
、サイズの複数の単分散分布を有する。サイズの複数の単分散分布は、広い範囲
のエネルギーまたは複数の狭い範囲(例えば、75nm未満のゲインのFWHM
)のエネルギーにわたりゲインを提供し得、ここで、最大ゲインは、別個のエネ
ルギーで起こり、その結果、この狭い範囲の少なくともいくつかはエネルギーに
おける重なりがない。ナノクリスタルの濃縮固体は、基板(例えば、ガラス)上
に配置される。ナノクリスタルの濃縮固体は、約0.2ミクロンより大きな厚み
を有する。
、または15容量%より多くの半導体ナノクリスタルを含む。複数の半導体ナノ
クリスタルの各々は、同じかまたは異なる第1の半導体材料を含む。この第1の
半導体材料は、II−VI族の化合物、II−V族の化合物、III−VI族の
化合物、III−V族の化合物、IV−VI族の化合物、I−III−VI族の
化合物、II−IV−VI族の化合物、またはII−IV−V族の化合物(例え
ば、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdS、CdSe、CdTe、HgS、Hg
Se、HgTe、AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、Ga
As、GaSb、GaSe、InN、InP、InAs、InSb、TlN、T
lP、TlAs、TlSb、PbS、PbSe、PbTeまたはそれらの混合物
)であり得る。第1の半導体材料の各々は、第2の半導体材料(例えば、ZnO
、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdO、CdS、CdSe、CdTe、MgO
、MgS、MgSe、MgTe、HgO、HgS、HgSe、HgTe、AlN
、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、GaSb、InN
、InP、InAs、InSb、TlN、TlP、TlAs、TlSb、TlS
b、PbS、PbSe、PbTe、またはそれらの混合物)でオーバーコートさ
れる。第1の半導体材料の各々は、第1のバンドギャップを有し、そして第2の
半導体材料の各々は、この第1のバンドギャップより長い第2のバンドギャップ
を有する。各ナノクリスタルは、約10ナノメートル未満の直径を有し得る。複
数のナノクリスタルは、サイズの単分散分布を有する。複数のナノクリスタルは
、サイズの複数の単分散分布を有する。サイズの複数の単分散分布は、広い範囲
のエネルギーまたは複数の狭い範囲(例えば、75nm未満のゲインのFWHM
)のエネルギーにわたりゲインを提供し得、ここで、最大ゲインは、別個のエネ
ルギーで起こり、その結果、この狭い範囲の少なくともいくつかはエネルギーに
おける重なりがない。ナノクリスタルの濃縮固体は、基板(例えば、ガラス)上
に配置される。ナノクリスタルの濃縮固体は、約0.2ミクロンより大きな厚み
を有する。
【0013】
半導体ナノクリスタルを含むゲイン媒体からの光学ゲインは、ナノクリスタル
1個あたりわずか1つの正孔(e−h)だけ過剰な励起密度で生じる。この半導
体ナノクリスタルは、広範囲の整調可能な光学特性(例えば、発光波長および吸
収波長)を提供する。このナノクリスタルは、線吸収およびサイズ依存性光ルミ
ネセンス(PL)(例えば、発光)のスペクトルにおいて、別個の原子様光学遷
移を示す。この光ルミネセンス特性は、半導体ナノクリスタルのサイズを変えて
、この半導体のエネルギーギャップを変えることによって、調整される。この半
導体のエネルギーギャップは、1/R2に従って、ナノクリスタルの半径(R)
に反比例して、バルク半導体値から増加する。例えば、ドット半径を10ナノメ
ートル(nm)から0.7nmまで減少させることにより、CdSe量子ドット
におけるバンドギャッは、1.7eV(深赤色)から3.2eV(紫外線)まで
変化され得る。約1nm〜15nmの間(例えば、10nm未満)のRを有する
半導体ナノクリスタルが、約5%未満のサイズ分散で合成される。改変表面を有
する(例えば、ナノクリスタルをワイドギャップ半導体のシェルでオーバーコー
トすることによって)半導体ナノクリスタルにより、キャリア表面のトラッピン
グの有意な抑制が可能となり、50%以上まで室温のPL量子効率を増大する。
半導体ナノクリスタルを含むゲイン媒体は、迅速かつ低コストで製造される。こ
の半導体ナノクリスタルは、集積回路を光学的に相互接続するための光学導波管
材料において使用され得る。光学的および電子光学的な同調システムおよびフィ
ルタリングシステムを必要とすることなく、異なる半導体ナノクリスタルを含む
ゲイン媒体、異なるサイズの半導体ナノクリスタル、またはその両方は、非常に
広いバンド幅(すなわち、放射エネルギーの広いバンド)、狭いバンド幅(すな
わち、放射エネルギーの狭いバンド)、または異なる放射エネルギーにおける複
数の狭いバンドまたは広いバンド(すなわち、これらのバンドは、必ずしもエネ
ルギーが重なるわけではない)において、光学ゲインを提供し得る。
1個あたりわずか1つの正孔(e−h)だけ過剰な励起密度で生じる。この半導
体ナノクリスタルは、広範囲の整調可能な光学特性(例えば、発光波長および吸
収波長)を提供する。このナノクリスタルは、線吸収およびサイズ依存性光ルミ
ネセンス(PL)(例えば、発光)のスペクトルにおいて、別個の原子様光学遷
移を示す。この光ルミネセンス特性は、半導体ナノクリスタルのサイズを変えて
、この半導体のエネルギーギャップを変えることによって、調整される。この半
導体のエネルギーギャップは、1/R2に従って、ナノクリスタルの半径(R)
に反比例して、バルク半導体値から増加する。例えば、ドット半径を10ナノメ
ートル(nm)から0.7nmまで減少させることにより、CdSe量子ドット
におけるバンドギャッは、1.7eV(深赤色)から3.2eV(紫外線)まで
変化され得る。約1nm〜15nmの間(例えば、10nm未満)のRを有する
半導体ナノクリスタルが、約5%未満のサイズ分散で合成される。改変表面を有
する(例えば、ナノクリスタルをワイドギャップ半導体のシェルでオーバーコー
トすることによって)半導体ナノクリスタルにより、キャリア表面のトラッピン
グの有意な抑制が可能となり、50%以上まで室温のPL量子効率を増大する。
半導体ナノクリスタルを含むゲイン媒体は、迅速かつ低コストで製造される。こ
の半導体ナノクリスタルは、集積回路を光学的に相互接続するための光学導波管
材料において使用され得る。光学的および電子光学的な同調システムおよびフィ
ルタリングシステムを必要とすることなく、異なる半導体ナノクリスタルを含む
ゲイン媒体、異なるサイズの半導体ナノクリスタル、またはその両方は、非常に
広いバンド幅(すなわち、放射エネルギーの広いバンド)、狭いバンド幅(すな
わち、放射エネルギーの狭いバンド)、または異なる放射エネルギーにおける複
数の狭いバンドまたは広いバンド(すなわち、これらのバンドは、必ずしもエネ
ルギーが重なるわけではない)において、光学ゲインを提供し得る。
【0014】
他の特徴、目的および利点は、説明および図面、および特許請求の範囲から明
らかになる。
らかになる。
【0015】
(詳細な説明)
増幅器およびレーザーは、放射を増幅するかまたはレイジングにより放射を生
成するためのゲイン媒体を含む。このゲイン媒体は、複数の半導体ナノクリスタ
ルを含み得る。このナノクリスタルは、吸収波長において、光源を用いて照射さ
れて、発光波長で発光を生じ得る。この発光は、量子閉じこめ(quantum
confined)半導体ナノクリスタルのバンドギャップに対応する振動数
を有する。このバンドギャップは、ナノクリスタルのサイズの関数である。小さ
な直径を有するナノクリスタルは、物質の分子形態とバルク形態との間の中間の
特性を有し得る。例えば、小さな直径を有する半導体材料に基づくナノクリスタ
ルは、三次元の全てにおいて、電子およびホールの両方の量子閉じこめを示し得
、これは結晶サイズの減少と共に、この材料の有効バンドギャップの増加を生じ
る。従って、ナノクリスタルの光吸収および発光の両方は、この結晶のサイズが
減少するにつれて青色に(すなわち、高エネルギーに)シフトする。
成するためのゲイン媒体を含む。このゲイン媒体は、複数の半導体ナノクリスタ
ルを含み得る。このナノクリスタルは、吸収波長において、光源を用いて照射さ
れて、発光波長で発光を生じ得る。この発光は、量子閉じこめ(quantum
confined)半導体ナノクリスタルのバンドギャップに対応する振動数
を有する。このバンドギャップは、ナノクリスタルのサイズの関数である。小さ
な直径を有するナノクリスタルは、物質の分子形態とバルク形態との間の中間の
特性を有し得る。例えば、小さな直径を有する半導体材料に基づくナノクリスタ
ルは、三次元の全てにおいて、電子およびホールの両方の量子閉じこめを示し得
、これは結晶サイズの減少と共に、この材料の有効バンドギャップの増加を生じ
る。従って、ナノクリスタルの光吸収および発光の両方は、この結晶のサイズが
減少するにつれて青色に(すなわち、高エネルギーに)シフトする。
【0016】
ナノクリスタルからの放出は、狭いガウス放出バンド(Gaussian e
mission band)であり得、この放出バンドは、ナノクリスタル、ナ
ノクリスタルの組成物、またはその両方のサイズを変化させることによって、紫
外領域、可視領域、または赤外領域のスペクトルの完全な波長領域を変えられ得
る。例えば、CdSeは、可視領域において同調し得、そしてInAsは、赤外
領域において同調し得る。ナノクリスタルの集団の狭い範囲のサイズ分布は、狭
いスペクトル範囲の光の放出を生じ得る。この集団は、単分散され得、そしてナ
ノクリスタルの直径において15%rms未満の偏差、好ましくは10%rms
未満の偏差、より好ましくは5%未満の偏差を示し得る。約75nm以下、好ま
しくは60nm以下、より好ましくは40nm以下、そして最も好ましくは30
nm以下の半波高全幅値(FWHM)の狭い範囲のスペクトルの放出が、観測さ
れ得る。この放出の幅は、ナノクリスタルの直径の分散性の減少に従って減少す
る。半導体ナノクリスタルは、例えば、10%、20%、30%、40%、50
%、60%、70%、または80%より高い蛍光量子効率を有し得る。
mission band)であり得、この放出バンドは、ナノクリスタル、ナ
ノクリスタルの組成物、またはその両方のサイズを変化させることによって、紫
外領域、可視領域、または赤外領域のスペクトルの完全な波長領域を変えられ得
る。例えば、CdSeは、可視領域において同調し得、そしてInAsは、赤外
領域において同調し得る。ナノクリスタルの集団の狭い範囲のサイズ分布は、狭
いスペクトル範囲の光の放出を生じ得る。この集団は、単分散され得、そしてナ
ノクリスタルの直径において15%rms未満の偏差、好ましくは10%rms
未満の偏差、より好ましくは5%未満の偏差を示し得る。約75nm以下、好ま
しくは60nm以下、より好ましくは40nm以下、そして最も好ましくは30
nm以下の半波高全幅値(FWHM)の狭い範囲のスペクトルの放出が、観測さ
れ得る。この放出の幅は、ナノクリスタルの直径の分散性の減少に従って減少す
る。半導体ナノクリスタルは、例えば、10%、20%、30%、40%、50
%、60%、70%、または80%より高い蛍光量子効率を有し得る。
【0017】
ナノクリスタルを形成する半導体としては、II族〜VI族の化合物、II族
〜V族の化合物、III族〜VI族の化合物、III族〜Vの化合物、IV族〜
VI族の化合物、I族〜III族〜VI族の化合物、II族〜IV族〜VI族の
化合物およびII族〜IV族〜V族の化合物(例えば、ZnS、ZnSe、Zn
Te、CdS、CdSe、CdTe、HgS、HgSe、HgTe、AlN、A
lP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、GaSb、GaSe、
InN、InP、InAs、InSb、TlN、TlP、TlAs、TlSb、
PbS、PbSe、PbTe、またはこれらの混合物)が挙げられ得る。
〜V族の化合物、III族〜VI族の化合物、III族〜Vの化合物、IV族〜
VI族の化合物、I族〜III族〜VI族の化合物、II族〜IV族〜VI族の
化合物およびII族〜IV族〜V族の化合物(例えば、ZnS、ZnSe、Zn
Te、CdS、CdSe、CdTe、HgS、HgSe、HgTe、AlN、A
lP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、GaSb、GaSe、
InN、InP、InAs、InSb、TlN、TlP、TlAs、TlSb、
PbS、PbSe、PbTe、またはこれらの混合物)が挙げられ得る。
【0018】
単分散半導体ナノクリスタルを調製する方法は、高温の配位溶媒に注入された
有機金属試薬(例えば、ジメチルカルシウム)の熱分解を含む。これにより、核
形成を減少させ、そしてナノクリスタルの巨視的な量の制御された成長を生じさ
せる。ナノクリスタルの調製および製造は、例えば、米国出願番号08/969
,302(本明細書中でその全体が参考として援用されている)に記載されてい
る。ナノクリスタルを製造する方法は、コロイド成長プロセスである。このコロ
イドの成長は、高温の配位溶媒にMドナーおよびXドナーを迅速に注入すること
によって生じる。この注入により、ナノクリスタルを形成するために制御された
様式で成長され得る核を生成する。この反応混合物を、穏やかに加熱し、このナ
ノクリスタルを成長およびアニールさせ得る。サンプル中におけるナノクリスタ
ルの平均サイズとサイズ分布との両方は、成長温度に依存する。安定した成長を
維持するための成長温度は、平均結晶サイズの増加に伴って増加する。このナノ
クリスタルは、ナノクリスタルの集団のメンバーである。別個の核形成および制
御された成長の減少の結果として、得られたナノクリスタルの集団は、狭い直径
の単分散分布を有する。この直径の単分散分布はまた、サイズとも呼ばれ得る。
配位溶媒中でのナノクリスタルの制御された成長およびアニーリング、続く核形
成のプロセスによりまた、均一の表面誘導体化および規則的なコア構造が得られ
得る。このサイズ分布が鋭い場合、この温度は、安定的な成長を維持するために
引き上げられ得る。より多くのMドナーまたはXドナーを添加することによって
、成長期間が、短縮され得る。
有機金属試薬(例えば、ジメチルカルシウム)の熱分解を含む。これにより、核
形成を減少させ、そしてナノクリスタルの巨視的な量の制御された成長を生じさ
せる。ナノクリスタルの調製および製造は、例えば、米国出願番号08/969
,302(本明細書中でその全体が参考として援用されている)に記載されてい
る。ナノクリスタルを製造する方法は、コロイド成長プロセスである。このコロ
イドの成長は、高温の配位溶媒にMドナーおよびXドナーを迅速に注入すること
によって生じる。この注入により、ナノクリスタルを形成するために制御された
様式で成長され得る核を生成する。この反応混合物を、穏やかに加熱し、このナ
ノクリスタルを成長およびアニールさせ得る。サンプル中におけるナノクリスタ
ルの平均サイズとサイズ分布との両方は、成長温度に依存する。安定した成長を
維持するための成長温度は、平均結晶サイズの増加に伴って増加する。このナノ
クリスタルは、ナノクリスタルの集団のメンバーである。別個の核形成および制
御された成長の減少の結果として、得られたナノクリスタルの集団は、狭い直径
の単分散分布を有する。この直径の単分散分布はまた、サイズとも呼ばれ得る。
配位溶媒中でのナノクリスタルの制御された成長およびアニーリング、続く核形
成のプロセスによりまた、均一の表面誘導体化および規則的なコア構造が得られ
得る。このサイズ分布が鋭い場合、この温度は、安定的な成長を維持するために
引き上げられ得る。より多くのMドナーまたはXドナーを添加することによって
、成長期間が、短縮され得る。
【0019】
Mドナーは、無機化合物、有機金属化合物、または金属元素であり得る。Mは
、カドミウム、亜鉛、マグネシウム、水銀、アルミニウム、ガリウム、インジウ
ム、またはタリウムであり得る。Xドナーは、Mドナーと反応して一般式MXを
有する物質を形成し得る化合物である。代表的に、Xドナーは、カルコゲニドド
ナーまたはピニクチドドナー(例えば、ホスフィンカルコゲニド、ビス(シリル
)カルコゲニド、二酸素、アンモニウム塩、またはトリス(シリル)ピニクチド
)である。安定的なXドナーとしては、以下が挙げられる:二酸素、ビス(トリ
メチルシリル)セレニド((TMS)2Se)、トリアルキルホスフィンセレニ
ド(例えば、(トリ−n−オクチルホスフィン)セレニド(TOPSe)または
(トリ−n−ブチルホスフィン)セレニド(TBPSe))、トリアルキルホス
フィンテルリド(例えば、(トリ−n−オクチルホスフィン)テルリド(TOP
Te)またはヘキサプロピルホスホラストリアミドテルリド(HPPTTe))
、ビス(トリメチルシリル)テルリド((TMS)2Te)、ビス(トリメチル
シリル)スルフィド((TMS)2S)、トリアルキルホスフィンスルフィド(
例えば、(トリ−n−オクチルホスフィン)スルフィド(TOPS))、アンモ
ニウム塩(例えば、ハロゲン化アンモニウム(例えば、NH4Cl))、トリス
(トリメチルシリル)ホスフィン((TMS)3P)、トリス(トリメチルシリ
ル)アルセニド((TMS)3As)、あるいはトリス(トリメチルシリル)ア
ンチモニド((TMS)3Sb)。特定の実施形態において、MドナーおよびX
ドナーは、同一の分子内の部分であり得る。
、カドミウム、亜鉛、マグネシウム、水銀、アルミニウム、ガリウム、インジウ
ム、またはタリウムであり得る。Xドナーは、Mドナーと反応して一般式MXを
有する物質を形成し得る化合物である。代表的に、Xドナーは、カルコゲニドド
ナーまたはピニクチドドナー(例えば、ホスフィンカルコゲニド、ビス(シリル
)カルコゲニド、二酸素、アンモニウム塩、またはトリス(シリル)ピニクチド
)である。安定的なXドナーとしては、以下が挙げられる:二酸素、ビス(トリ
メチルシリル)セレニド((TMS)2Se)、トリアルキルホスフィンセレニ
ド(例えば、(トリ−n−オクチルホスフィン)セレニド(TOPSe)または
(トリ−n−ブチルホスフィン)セレニド(TBPSe))、トリアルキルホス
フィンテルリド(例えば、(トリ−n−オクチルホスフィン)テルリド(TOP
Te)またはヘキサプロピルホスホラストリアミドテルリド(HPPTTe))
、ビス(トリメチルシリル)テルリド((TMS)2Te)、ビス(トリメチル
シリル)スルフィド((TMS)2S)、トリアルキルホスフィンスルフィド(
例えば、(トリ−n−オクチルホスフィン)スルフィド(TOPS))、アンモ
ニウム塩(例えば、ハロゲン化アンモニウム(例えば、NH4Cl))、トリス
(トリメチルシリル)ホスフィン((TMS)3P)、トリス(トリメチルシリ
ル)アルセニド((TMS)3As)、あるいはトリス(トリメチルシリル)ア
ンチモニド((TMS)3Sb)。特定の実施形態において、MドナーおよびX
ドナーは、同一の分子内の部分であり得る。
【0020】
配位溶媒は、ナノクリスタルの成長を制御するのに役立ち得る。配位溶媒は、
ドナー孤立電子対を有する(例えば、成長するナノクリスタルの表面に配位する
のに役立つ孤立電子対を有する)化合物である。溶媒の配位により、成長するナ
ノクリスタルを安定化させ得る。代表的な配位溶媒は、アルキルホスフィン、酸
化アルキルホスフィン、アルキルホスホン酸、またはアルキルホスフィン酸が挙
げられるが、ピリジン、フラン、およびアミンのような他の配位溶媒がまた、ナ
ノクリスタルの生成のために適切であり得る。適切な配位溶媒の例としては、ピ
リジン、トリ−n−オクチルホスフィン(TOP)およびトリ−n−オクチルホ
スフィン酸化物(TOPO)が挙げられる。技術グレードのTOPOが使用され
得る。
ドナー孤立電子対を有する(例えば、成長するナノクリスタルの表面に配位する
のに役立つ孤立電子対を有する)化合物である。溶媒の配位により、成長するナ
ノクリスタルを安定化させ得る。代表的な配位溶媒は、アルキルホスフィン、酸
化アルキルホスフィン、アルキルホスホン酸、またはアルキルホスフィン酸が挙
げられるが、ピリジン、フラン、およびアミンのような他の配位溶媒がまた、ナ
ノクリスタルの生成のために適切であり得る。適切な配位溶媒の例としては、ピ
リジン、トリ−n−オクチルホスフィン(TOP)およびトリ−n−オクチルホ
スフィン酸化物(TOPO)が挙げられる。技術グレードのTOPOが使用され
得る。
【0021】
この反応の成長段階の間のサイズ分布は、この粒子の吸収線幅をモニタリング
することによって見積もられ得る。この粒子の吸収スペクトルの変化に応答する
、反応温度の改善により、成長の間の急な粒子サイズの分布の維持を可能にする
。反応物を、結晶の成長の間に核形成溶液に添加して、より大きな結晶に成長さ
せ得る。粒子状のナノクリスタルの平均直径で成長を停止させ、そして半導体材
料の適切な組成物を選択することによって、ナノクリスタルの放出スペクトルは
、400nm〜800nmの波長範囲にわたって連続的に同調され得る。このナ
ノクリスタルは、150Å未満の直径を有する。ナノクリスタルの集団は、15
Å〜125Åの範囲の平均直径を有する。
することによって見積もられ得る。この粒子の吸収スペクトルの変化に応答する
、反応温度の改善により、成長の間の急な粒子サイズの分布の維持を可能にする
。反応物を、結晶の成長の間に核形成溶液に添加して、より大きな結晶に成長さ
せ得る。粒子状のナノクリスタルの平均直径で成長を停止させ、そして半導体材
料の適切な組成物を選択することによって、ナノクリスタルの放出スペクトルは
、400nm〜800nmの波長範囲にわたって連続的に同調され得る。このナ
ノクリスタルは、150Å未満の直径を有する。ナノクリスタルの集団は、15
Å〜125Åの範囲の平均直径を有する。
【0022】
このナノクリスタルは、狭いサイズ分布を有するナノクリスタルの集団のメン
バーであり得る。このナノクリスタルは、球形、ロッド、ディスク、または他の
形状であり得る。このナノクリスタルは、半導体材料のコアを含み得る。このナ
ノクリスタルは、式MXを有するコアを含み得:ここで、Mは、カドミウム、亜
鉛、マグネシウム、水銀、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、ま
たはそれらの混合物であり、そしてXは、酸素、硫黄、セレン、テルル、窒素、
リン、ヒ素、アンチモン、またはそれらの混合物である。
バーであり得る。このナノクリスタルは、球形、ロッド、ディスク、または他の
形状であり得る。このナノクリスタルは、半導体材料のコアを含み得る。このナ
ノクリスタルは、式MXを有するコアを含み得:ここで、Mは、カドミウム、亜
鉛、マグネシウム、水銀、アルミニウム、ガリウム、インジウム、タリウム、ま
たはそれらの混合物であり、そしてXは、酸素、硫黄、セレン、テルル、窒素、
リン、ヒ素、アンチモン、またはそれらの混合物である。
【0023】
このコアは、コアの表面上にオーバーコーティングを有し得る。このオーバー
コーティングは、コアの組成と異なる組成物を有する半導体材料であり得る。ナ
ノクリスタルの表面上の半導体材料のオーバーコートとしては、II族〜VI族
の化合物、II族〜V族の化合物、III族〜VI族の化合物、III族〜V族
の化合物、IV族〜VI族の化合物、I族〜III族〜VI族の化合物、II族
〜IV族〜VI族の化合物およびII族〜IV族〜V族の化合物(例えば、Zn
S、ZnSe、ZnTe、CdS、CdSe、CdTe、HgS、HgSe、H
gTe、AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、G
aSb、GaSe、InN、InP、InAs、InSb、TlN、TlP、T
lAs、TlSb、PbS、PbSe、PbTe、またはこれらの混合物)が挙
げられ得る。例えば、ZnS、ZnSeまたはCdSのオーバーコーティングは
、CdSeまたはCdTeのナノクリスタル上で成長され得る。オーバーコーテ
ィングプロセスは、例えば、米国出願番号08/969,302(これは、本明
細書中でその全体が参考として援用されている)中に記載されている。コーティ
ングの間に反応混合物の温度を調整し、そしてコアの吸収スペクトルをモニタリ
ングすることによって、高い放出量子効果および狭いサイズ分布を有するオーバ
ーコーティングされた材料が得られ得る。
コーティングは、コアの組成と異なる組成物を有する半導体材料であり得る。ナ
ノクリスタルの表面上の半導体材料のオーバーコートとしては、II族〜VI族
の化合物、II族〜V族の化合物、III族〜VI族の化合物、III族〜V族
の化合物、IV族〜VI族の化合物、I族〜III族〜VI族の化合物、II族
〜IV族〜VI族の化合物およびII族〜IV族〜V族の化合物(例えば、Zn
S、ZnSe、ZnTe、CdS、CdSe、CdTe、HgS、HgSe、H
gTe、AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、G
aSb、GaSe、InN、InP、InAs、InSb、TlN、TlP、T
lAs、TlSb、PbS、PbSe、PbTe、またはこれらの混合物)が挙
げられ得る。例えば、ZnS、ZnSeまたはCdSのオーバーコーティングは
、CdSeまたはCdTeのナノクリスタル上で成長され得る。オーバーコーテ
ィングプロセスは、例えば、米国出願番号08/969,302(これは、本明
細書中でその全体が参考として援用されている)中に記載されている。コーティ
ングの間に反応混合物の温度を調整し、そしてコアの吸収スペクトルをモニタリ
ングすることによって、高い放出量子効果および狭いサイズ分布を有するオーバ
ーコーティングされた材料が得られ得る。
【0024】
粒子サイズ分布は、米国出願第08/969,302(本明細書中で参考とし
て援用される)に記載されるメタノール/ブタノールのような、ナノクリスタル
のための不十分な溶媒を用いるサイズ選択的沈殿によってさらに精錬される。例
えば、ナノクリスタルは、10%のブタノールのヘキサン溶液中で分散され得る
。メタノールを、乳光が持続するまで攪拌溶液に滴下により添加し得る。遠心分
離による上清と凝集物との分離により、サンプル中の最も大きな結晶で富化され
た沈殿物を生成する。この手順を、光学吸収スペクトルのさらに鋭利化が認めら
れなくなるまで繰り返し得る。サイズ選択的沈殿を、種々の溶媒/非溶媒のペア
(このペアには、ピリジン/ヘキサンおよびクロロホルム/メタノールが挙げら
れる)中で実施され得る。サイズ選択されたナノクリスタル集団は、平均直径の
15%rms偏差未満、好ましくは、10%rms偏差以下、そしてより好まし
くは、5%のrms偏差以下を有し得る。
て援用される)に記載されるメタノール/ブタノールのような、ナノクリスタル
のための不十分な溶媒を用いるサイズ選択的沈殿によってさらに精錬される。例
えば、ナノクリスタルは、10%のブタノールのヘキサン溶液中で分散され得る
。メタノールを、乳光が持続するまで攪拌溶液に滴下により添加し得る。遠心分
離による上清と凝集物との分離により、サンプル中の最も大きな結晶で富化され
た沈殿物を生成する。この手順を、光学吸収スペクトルのさらに鋭利化が認めら
れなくなるまで繰り返し得る。サイズ選択的沈殿を、種々の溶媒/非溶媒のペア
(このペアには、ピリジン/ヘキサンおよびクロロホルム/メタノールが挙げら
れる)中で実施され得る。サイズ選択されたナノクリスタル集団は、平均直径の
15%rms偏差未満、好ましくは、10%rms偏差以下、そしてより好まし
くは、5%のrms偏差以下を有し得る。
【0025】
ナノクリスタルの外部表面は、成長プロセスの間に使用された配位溶媒から誘
導される化合物の層を含み得る。この表面は、過剰な競合の配位グループへの繰
り返し曝露によって改良され、上層を形成し得る。例えば、キャップされたナノ
クリスタルの分布は、配位有機化合物(例えば、ピリジン)を用いて処理され、
ピリジン、メタノール、および芳香族化合物中で容易に分散する結晶を生成し得
るが、もはや脂肪族溶媒を分散し得ない。このような表面交換プロセスは、ナノ
クリスタルの外部表面と配位または結合し得る任意の化合物(例えば、ホスフィ
ン、チオール、アミンおよびリン酸塩を含む)を用いて実施され得る。ナノクリ
スタルは、表面に対して親和性を示し、そして懸濁物または分散媒体に対して親
和性を有する部分で終結する、単鎖ポリマーに曝露され得る。このような親和性
により、懸濁物の安定性を改良し、そしてナノクリスタルの絮状反応を阻止する
。
導される化合物の層を含み得る。この表面は、過剰な競合の配位グループへの繰
り返し曝露によって改良され、上層を形成し得る。例えば、キャップされたナノ
クリスタルの分布は、配位有機化合物(例えば、ピリジン)を用いて処理され、
ピリジン、メタノール、および芳香族化合物中で容易に分散する結晶を生成し得
るが、もはや脂肪族溶媒を分散し得ない。このような表面交換プロセスは、ナノ
クリスタルの外部表面と配位または結合し得る任意の化合物(例えば、ホスフィ
ン、チオール、アミンおよびリン酸塩を含む)を用いて実施され得る。ナノクリ
スタルは、表面に対して親和性を示し、そして懸濁物または分散媒体に対して親
和性を有する部分で終結する、単鎖ポリマーに曝露され得る。このような親和性
により、懸濁物の安定性を改良し、そしてナノクリスタルの絮状反応を阻止する
。
【0026】
半導体ナノクリスタルは、最密ナノクリスタルのようなナノクリスタルの濃縮
固体中に形成され得る。この最密ナノクリスタルは、半導体ナノクリスタルの0
.2容量%より多く、10容量%より多く、15容量%より多く、16容量%と
67容量%との間、または18容量%と20容量%との間に含まれる濃縮固体を
形成し得る。誘導放射(SE)の発生に必要とされるナノクリスタルの臨界密度
(臨界体積画分ξ)は、以下のように計算され得る。SEの発生は、以下の場合
に可能である: τst<τnr (1) ここで、τstは、誘導放射のビルドアップ時間(buildup time
)であり、そしてτnrは、キャリア非放射性崩壊の特徴性時間である。誘導放
射のビルドアップ時間は、ゲインの大きさに反比例する:τst=nr/(Gc
)、ここで、cは、光速であり、そしてnrは、サンプルの反射率である。この
表現は、ゲイン断面(σg=G/n0、ここで、n0は、サンプル中のナノクリ
スタルの密度である)、そしてサンプル中の半導体の体積画分(ξ=ν0n0、
ここで、ν0は、単一のナノクリスタルの体積である):τst=ν0n0/(
ξσgc)でさらに書き直され得る。等式(1)を使用して、SEの発生に必要
とされる、サンプル中での半導体の臨界体積画分は、以下のように表現され得る
: ξ=ν0nr/(σgcτnr) (2) ξは、ゲイン断面(ナノクリスタル当たりのゲイン)の増加および非放射性崩
壊の時定数の増加に伴って減少する(すなわち、非放射性キャリアロスの速度が
減少する)。ナノクリスタルにおいて、非放射性崩壊の時間(τnr)は、表面
捕捉の時間とAuger組換え時間との間よりも短い。十分に不動体化されたC
dSeナノクリスタルに関して、τnrは、Auger崩壊により支配され、こ
こで、τnr=βR3(βは、約5psnm−3を有する)である。1.3nm
の半径のCdSeナノクリスタルについて測定されたσg(約10−17cm2 )に関して、等式(2)から、ξ>0.2%を得る。
固体中に形成され得る。この最密ナノクリスタルは、半導体ナノクリスタルの0
.2容量%より多く、10容量%より多く、15容量%より多く、16容量%と
67容量%との間、または18容量%と20容量%との間に含まれる濃縮固体を
形成し得る。誘導放射(SE)の発生に必要とされるナノクリスタルの臨界密度
(臨界体積画分ξ)は、以下のように計算され得る。SEの発生は、以下の場合
に可能である: τst<τnr (1) ここで、τstは、誘導放射のビルドアップ時間(buildup time
)であり、そしてτnrは、キャリア非放射性崩壊の特徴性時間である。誘導放
射のビルドアップ時間は、ゲインの大きさに反比例する:τst=nr/(Gc
)、ここで、cは、光速であり、そしてnrは、サンプルの反射率である。この
表現は、ゲイン断面(σg=G/n0、ここで、n0は、サンプル中のナノクリ
スタルの密度である)、そしてサンプル中の半導体の体積画分(ξ=ν0n0、
ここで、ν0は、単一のナノクリスタルの体積である):τst=ν0n0/(
ξσgc)でさらに書き直され得る。等式(1)を使用して、SEの発生に必要
とされる、サンプル中での半導体の臨界体積画分は、以下のように表現され得る
: ξ=ν0nr/(σgcτnr) (2) ξは、ゲイン断面(ナノクリスタル当たりのゲイン)の増加および非放射性崩
壊の時定数の増加に伴って減少する(すなわち、非放射性キャリアロスの速度が
減少する)。ナノクリスタルにおいて、非放射性崩壊の時間(τnr)は、表面
捕捉の時間とAuger組換え時間との間よりも短い。十分に不動体化されたC
dSeナノクリスタルに関して、τnrは、Auger崩壊により支配され、こ
こで、τnr=βR3(βは、約5psnm−3を有する)である。1.3nm
の半径のCdSeナノクリスタルについて測定されたσg(約10−17cm2 )に関して、等式(2)から、ξ>0.2%を得る。
【0027】
この濃縮された固体は、実質的な欠損を有さず、フィルムが、光源により励起
される場合に光学放射に対してゲインを提供する。欠損を含むナノクリスタル固
体(実質的に欠損を有さないこれらの固体)は、損失(例えば、散乱)を生じ、
その結果、このフィルムは、光源により励起される場合に光学放射におけるゲイ
ンを発生しない。フィルムの厚さは、一般に、約0.2μmと10μmとの間で
ある。
される場合に光学放射に対してゲインを提供する。欠損を含むナノクリスタル固
体(実質的に欠損を有さないこれらの固体)は、損失(例えば、散乱)を生じ、
その結果、このフィルムは、光源により励起される場合に光学放射におけるゲイ
ンを発生しない。フィルムの厚さは、一般に、約0.2μmと10μmとの間で
ある。
【0028】
ナノクリスタルの濃縮された固体を、溶媒系において、上記の粉末半導体ナノ
クリスタルを再分散し、そして分散物からナノクリスタルのフィルムをドロップ
キャスティング(drop casting)することによって形成する。ドロ
ップキャスティングのための溶媒系は、ナノクリスタルの外部表面の化学特性、
すなわち、ナノクリスタルが溶媒系中で容易に分散可能であるかどうかに依存す
る。例えば、9:1のヘキサン/オクタン溶媒系を使用して、トリブチルホスフ
ィン(TBP)/トリブチルホスフィン酸化物(TBPO)を用いて改変された
表面を有するナノクリスタルのフィルムをドロップキャスティングし得る。ピリ
ジン表面を有するナノクリスタルは、9:1のメタノール/ピリジン溶媒系から
ドロップキャスティングされ得る。このドロップキャスティングフィルムを、真
空下で乾燥する前に、約12時間〜24時間の間、不活性な大気下で乾燥する。
代表的に、このフィルムは、基板上に形成される。この基板は、ナノクリスタル
と反応しない任意の物質から作製され得る。この基板は、不透明であるか、また
は光学放射の比エネルギーで透過するように選択される。この基板は、種々の形
態で形成され得る。基板材料の例としては、サファイアおよびシリコンが挙げら
れる。このフィルムを受容する前に、基板を、有機汚染物を表面から除去するた
めに酸素プラズマによって浄化し得る。あるいは、シリコン基板は、超純水中で
基板を沸騰し、そして約175℃で基板を乾燥することによってドロップキャス
ティングし、基板表面の親水性を増加させるように調製され得る。
クリスタルを再分散し、そして分散物からナノクリスタルのフィルムをドロップ
キャスティング(drop casting)することによって形成する。ドロ
ップキャスティングのための溶媒系は、ナノクリスタルの外部表面の化学特性、
すなわち、ナノクリスタルが溶媒系中で容易に分散可能であるかどうかに依存す
る。例えば、9:1のヘキサン/オクタン溶媒系を使用して、トリブチルホスフ
ィン(TBP)/トリブチルホスフィン酸化物(TBPO)を用いて改変された
表面を有するナノクリスタルのフィルムをドロップキャスティングし得る。ピリ
ジン表面を有するナノクリスタルは、9:1のメタノール/ピリジン溶媒系から
ドロップキャスティングされ得る。このドロップキャスティングフィルムを、真
空下で乾燥する前に、約12時間〜24時間の間、不活性な大気下で乾燥する。
代表的に、このフィルムは、基板上に形成される。この基板は、ナノクリスタル
と反応しない任意の物質から作製され得る。この基板は、不透明であるか、また
は光学放射の比エネルギーで透過するように選択される。この基板は、種々の形
態で形成され得る。基板材料の例としては、サファイアおよびシリコンが挙げら
れる。このフィルムを受容する前に、基板を、有機汚染物を表面から除去するた
めに酸素プラズマによって浄化し得る。あるいは、シリコン基板は、超純水中で
基板を沸騰し、そして約175℃で基板を乾燥することによってドロップキャス
ティングし、基板表面の親水性を増加させるように調製され得る。
【0029】
透過型電子顕微鏡(TEM)は、ナノクリスタル集団のサイズ、形状、および
分布についての情報を提供し得る。粉末X線回折(XRD)パターンは、ナノク
リスタルの結晶構造の型および質に関する最も完全な情報を提供し得る。粒子径
は、ピーク幅に対して、X線コヒーレンス長を介して、反比例するから、サイズ
の推定も可能である。例えば、ナノクリスタルの直径は、透過型電子顕微鏡によ
って直接測定できるし、または例えば、シェラー(Schrrer)式を用いて
、X線回析データから推定できる。これはまた、UV/Vis吸収スペクトルか
ら推定され得る。固体結晶厚さは、ナノクリスタル固体の光学吸収を測定するこ
とおよびビアー法を適用することによって紫外/可視スペクトロメーターを用い
て決定され得る。
分布についての情報を提供し得る。粉末X線回折(XRD)パターンは、ナノク
リスタルの結晶構造の型および質に関する最も完全な情報を提供し得る。粒子径
は、ピーク幅に対して、X線コヒーレンス長を介して、反比例するから、サイズ
の推定も可能である。例えば、ナノクリスタルの直径は、透過型電子顕微鏡によ
って直接測定できるし、または例えば、シェラー(Schrrer)式を用いて
、X線回析データから推定できる。これはまた、UV/Vis吸収スペクトルか
ら推定され得る。固体結晶厚さは、ナノクリスタル固体の光学吸収を測定するこ
とおよびビアー法を適用することによって紫外/可視スペクトロメーターを用い
て決定され得る。
【0030】
ポンプ−プローブ(pump−probe)レーザー実験(例えば、一過性吸
収フェムト秒レーザー実験)を用いて、半導体ナノクリスタルの濃縮固体の光学
ゲインを決定し得る。半導体ナノクリスタルの濃縮固体(例えば、最密固体)は
、約10cm−1、25cm−1、50cm−1、100cm−1、または1,
000cm−1の光学的放射のゲインを示し得る。半導体ナノクリスタルのフィ
ルム中のゲインの開始は、ソースがナノクリスタルを励起して、半導体ナノクリ
スタル中に電子ホール(e−h)対を生成する場合に、生じる。ゲインは、ある
温度範囲(約6K〜310Kの間、またはそれ以上)で、励起ソースが、1半導
体ナノクリスタルあたり、約1.0、1.5または2.0e−h対より多く生成
する場合に、半導体ナノクリスタルの濃縮固体中で観察され得る。e−h対の数
を増大するためにソースパワーの密度を増大させれば、フィルムのゲインを増大
することができる。光学的に記載されるが、励起ソースは電気的であり得る。概
して、励起ソースは、ナノクリスタル固体の反転分布を生成し得る。
収フェムト秒レーザー実験)を用いて、半導体ナノクリスタルの濃縮固体の光学
ゲインを決定し得る。半導体ナノクリスタルの濃縮固体(例えば、最密固体)は
、約10cm−1、25cm−1、50cm−1、100cm−1、または1,
000cm−1の光学的放射のゲインを示し得る。半導体ナノクリスタルのフィ
ルム中のゲインの開始は、ソースがナノクリスタルを励起して、半導体ナノクリ
スタル中に電子ホール(e−h)対を生成する場合に、生じる。ゲインは、ある
温度範囲(約6K〜310Kの間、またはそれ以上)で、励起ソースが、1半導
体ナノクリスタルあたり、約1.0、1.5または2.0e−h対より多く生成
する場合に、半導体ナノクリスタルの濃縮固体中で観察され得る。e−h対の数
を増大するためにソースパワーの密度を増大させれば、フィルムのゲインを増大
することができる。光学的に記載されるが、励起ソースは電気的であり得る。概
して、励起ソースは、ナノクリスタル固体の反転分布を生成し得る。
【0031】
濃縮固体におけるゲインは、バンドギャップ光ルミネセンス(すなわち、放出
(emission))と等しいかまたはそれより低いエネルギーで生じる。例
えば、最大ゲインは、最大バンドギャップ放出またはそれ以下のエネルギーで生
じ得る。バンドギャップ放出のエネルギーは、上記のように、半導体材料および
量子被包(quantum−confined)ナノクリスタルのサイズに依存
する。最大ゲインと最大放出との間のエネルギー差異は、ナノクリスタルのサイ
ズの減少とともに減少する。
(emission))と等しいかまたはそれより低いエネルギーで生じる。例
えば、最大ゲインは、最大バンドギャップ放出またはそれ以下のエネルギーで生
じ得る。バンドギャップ放出のエネルギーは、上記のように、半導体材料および
量子被包(quantum−confined)ナノクリスタルのサイズに依存
する。最大ゲインと最大放出との間のエネルギー差異は、ナノクリスタルのサイ
ズの減少とともに減少する。
【0032】
半導体ナノクリスタルの濃縮固体は、同じサイズのナノクリスタルおよび同じ
半導体材料を含み、狭いバンドの放射(radiation)エネルギーにおい
て(例えば、約75nm未満のFWHMを有するエネルギーのバンドにおいて)
ゲインを生じ得る。あるいは、半導体フィルムは、異なる材料、同じ材料だがサ
イズが異なる材料、またはその両方から作成されて、広いバンドの放射エネルギ
ーにおいて、または異なる放射が中心の複数の狭いバンドにおいて、ゲインを生
じ得る。
半導体材料を含み、狭いバンドの放射(radiation)エネルギーにおい
て(例えば、約75nm未満のFWHMを有するエネルギーのバンドにおいて)
ゲインを生じ得る。あるいは、半導体フィルムは、異なる材料、同じ材料だがサ
イズが異なる材料、またはその両方から作成されて、広いバンドの放射エネルギ
ーにおいて、または異なる放射が中心の複数の狭いバンドにおいて、ゲインを生
じ得る。
【0033】
図1を参照すれば、増幅器10は、基板20およびゲイン媒体30を備える。
ゲイン媒体30は、密封(close−packed)フィルム中に形成したナ
ノクリスタル32の濃縮固体を含む。作動中、増幅器10のユーザーは、ゲイン
媒体30を通じた入力光学放射ビーム40を指向し、そして外部光学放射ビーム
50がゲイン媒体を励起して反転分布を生成するようにさせる。入力光学ビーム
40のエネルギーが、ゲイン媒体30がゲインを促進するエネルギーと重複する
という条件では、増幅器10は光学ビーム40を増幅して、増幅した出力ビーム
60を生じる。
ゲイン媒体30は、密封(close−packed)フィルム中に形成したナ
ノクリスタル32の濃縮固体を含む。作動中、増幅器10のユーザーは、ゲイン
媒体30を通じた入力光学放射ビーム40を指向し、そして外部光学放射ビーム
50がゲイン媒体を励起して反転分布を生成するようにさせる。入力光学ビーム
40のエネルギーが、ゲイン媒体30がゲインを促進するエネルギーと重複する
という条件では、増幅器10は光学ビーム40を増幅して、増幅した出力ビーム
60を生じる。
【0034】
図2を参照すれば、レーザー100は、励起ソース170およびキャビティ1
50内に配置されたゲイン媒体130を備える。ゲイン媒体130は、密封フィ
ルム中に形成されたナノクリスタル132の濃縮固体を含む。キャビティ150
は、ゲイン媒体内で光学的放射の伝播のフィードバックを提供するゲイン媒体1
30の末端132、134に並べられた、2つの光学的構成要素152、154
(例えば、鏡)を備える。作動中、励起ソース170は、光学放射シグナルをキ
ャビティ150中に放射して、ゲイン媒体130中で反転分布を生じる。ゲイン
媒体130は、次に、等方性に自然に放射線を放射する。光学的構成要素152
、154は、自然に放射された放射線の特定の等方性成分を反射してゲイン媒体
に戻すことによってキャビティ150中に正のフィードバックを提供する。キャ
ビティ150によって確認された反射した光学的放射は、この媒体および2つの
鏡の間を通って、レーザー100が閾値に達するまで(すなわち、誘導放出の割
合は、ゲイン媒体130における自然放出を上回る)伝播し、そしてレーザー作
用は、光学ビーム190を生成する。当然ながら、レーザー100は、鏡のうち
1つの透過率を適切に選択することによって光学ビーム190を放射し得、そし
てキャビティは、任意の公知のキャビティの形状によって形成され得る。例えば
、キャビティは、2つ以上の光学的構成要素によって形成され得る。
50内に配置されたゲイン媒体130を備える。ゲイン媒体130は、密封フィ
ルム中に形成されたナノクリスタル132の濃縮固体を含む。キャビティ150
は、ゲイン媒体内で光学的放射の伝播のフィードバックを提供するゲイン媒体1
30の末端132、134に並べられた、2つの光学的構成要素152、154
(例えば、鏡)を備える。作動中、励起ソース170は、光学放射シグナルをキ
ャビティ150中に放射して、ゲイン媒体130中で反転分布を生じる。ゲイン
媒体130は、次に、等方性に自然に放射線を放射する。光学的構成要素152
、154は、自然に放射された放射線の特定の等方性成分を反射してゲイン媒体
に戻すことによってキャビティ150中に正のフィードバックを提供する。キャ
ビティ150によって確認された反射した光学的放射は、この媒体および2つの
鏡の間を通って、レーザー100が閾値に達するまで(すなわち、誘導放出の割
合は、ゲイン媒体130における自然放出を上回る)伝播し、そしてレーザー作
用は、光学ビーム190を生成する。当然ながら、レーザー100は、鏡のうち
1つの透過率を適切に選択することによって光学ビーム190を放射し得、そし
てキャビティは、任意の公知のキャビティの形状によって形成され得る。例えば
、キャビティは、2つ以上の光学的構成要素によって形成され得る。
【0035】
光学的構成要素152、154の間の間隔は、反転分布が減衰する速度によっ
て決定される。概して、レーザーキャビティの長さであるLLC(ゲイン媒体に
対するフィードバックを供給する)は、ゲイン媒体のさらに高いエネルギー状態
における集団の減衰の速度によって決定された臨界長を超えてはならない。この
長さが、臨界長よりも長い場合は、反転分布は、ゲイン媒体内の放射の前に消失
するかまたは、キャビティが増幅され得る。半導体ナノクリスタルを含むゲイン
媒体の不活化は、ナノクリスタルのオージェ再結合速度を測定することによって
決定され得る。概して、CdSeナノクリスタルのオージェ再結合速度は、約5
ps〜600psにわたる。再結合速度は、約1/R3でナノクリスタルのサイ
ズの減少とともに増大する。ゲイン媒体不活性化の前に閾値に達するため、キャ
ビティ150のキャビティ長は、約2〜3mm以下である。代表的には、このキ
ャビティは、約1mm未満のキャビティ長を有するマイクロキャビティである。
短いキャビティ長にかかわらず、半導体ナノクリスタルの濃縮固体を含むゲイン
媒体は、以下の関係: G・L>>1 、を満たすために大きなゲインを提供し、これによってレーザー挙動を導く。
て決定される。概して、レーザーキャビティの長さであるLLC(ゲイン媒体に
対するフィードバックを供給する)は、ゲイン媒体のさらに高いエネルギー状態
における集団の減衰の速度によって決定された臨界長を超えてはならない。この
長さが、臨界長よりも長い場合は、反転分布は、ゲイン媒体内の放射の前に消失
するかまたは、キャビティが増幅され得る。半導体ナノクリスタルを含むゲイン
媒体の不活化は、ナノクリスタルのオージェ再結合速度を測定することによって
決定され得る。概して、CdSeナノクリスタルのオージェ再結合速度は、約5
ps〜600psにわたる。再結合速度は、約1/R3でナノクリスタルのサイ
ズの減少とともに増大する。ゲイン媒体不活性化の前に閾値に達するため、キャ
ビティ150のキャビティ長は、約2〜3mm以下である。代表的には、このキ
ャビティは、約1mm未満のキャビティ長を有するマイクロキャビティである。
短いキャビティ長にかかわらず、半導体ナノクリスタルの濃縮固体を含むゲイン
媒体は、以下の関係: G・L>>1 、を満たすために大きなゲインを提供し、これによってレーザー挙動を導く。
【0036】
図3Aおよび3Bを参照すれば、ゲイン媒体130は、パターン化された基板
192上に配置されている。λ/(2n)の周期性パターンは、Bragg反射
に起因して、中間ゲインバンド内の波長で、選択的フィードバックを提供するよ
うに選択されている。ポンプビームは、基板である垂直ポンプ194に垂直にか
、または基板である末端ポンプ196に平行にかのいずれかに方向付けられ得る
。レーザー閾値以下のポンプ強度(閾値以下ポンプ)で、このシステムは、再生
式光学増幅器として働く。レーザー閾値を越えるポンプ強度で、このシステムは
、分布帰還型レーザーとして働く。
192上に配置されている。λ/(2n)の周期性パターンは、Bragg反射
に起因して、中間ゲインバンド内の波長で、選択的フィードバックを提供するよ
うに選択されている。ポンプビームは、基板である垂直ポンプ194に垂直にか
、または基板である末端ポンプ196に平行にかのいずれかに方向付けられ得る
。レーザー閾値以下のポンプ強度(閾値以下ポンプ)で、このシステムは、再生
式光学増幅器として働く。レーザー閾値を越えるポンプ強度で、このシステムは
、分布帰還型レーザーとして働く。
【0037】
図4を参照すれば、レーザー200は、基板230上に配置されたゲイン媒体
220を備える。ゲイン媒体220は、総内部反射に起因して、導波管様式の伝
播を支持する、導波管として働く。すなわち、レーザー200は、キャビティを
形成しフィードバックを供給するための外部構成要素を必要としない。総内部反
射は、ゲイン媒体220中で生じる。なぜなら、濃縮された半導体ナノクリスタ
ル固体は、基板、空気および真空のどれよりも大きい屈折係数を有するからであ
る。作動中に、外部ソース250は、ゲイン媒体220を励起して、反転分布を
生じる。この媒体の導波管様式における半導体ナノクリスタル伝播からの自然放
出は増幅される。ゲイン媒体が、G・L>>1であるように、十分な長さである
場合、レーザー作用が生じる。
220を備える。ゲイン媒体220は、総内部反射に起因して、導波管様式の伝
播を支持する、導波管として働く。すなわち、レーザー200は、キャビティを
形成しフィードバックを供給するための外部構成要素を必要としない。総内部反
射は、ゲイン媒体220中で生じる。なぜなら、濃縮された半導体ナノクリスタ
ル固体は、基板、空気および真空のどれよりも大きい屈折係数を有するからであ
る。作動中に、外部ソース250は、ゲイン媒体220を励起して、反転分布を
生じる。この媒体の導波管様式における半導体ナノクリスタル伝播からの自然放
出は増幅される。ゲイン媒体が、G・L>>1であるように、十分な長さである
場合、レーザー作用が生じる。
【0038】
以下の実施例は、例示の目的に過ぎない。なぜなら、多くの改変および変異が
当業者に明白であるからである。
当業者に明白であるからである。
【0039】
(実施例1)
光学的ゲイン(光の増幅)を、図5に例示しているが、これは、Klimov
ら、Opt.Lett.,第23巻、p227(1998)に記載された、フェ
ムト秒ポンプ−プローブ実験を用いて検出した。TOP/TOPO表面基を有す
るCdSe半導体ナノクリスタルのゲイン媒体を、ガラス基板上の濃縮固体(す
なわち、密封半導体インキュベートナノクリスタルのフィルム)中で形成した。
半導体ナノクリスタルは、約4.2nmの直径を有し、そしてフィルムの厚みは
、約0.2ミクロン〜約10ミクロンの間であった。ゲイン媒体を、液体窒素温
度まで冷却した(T=77K)。反転分布を作成するため、増幅したTi−Sa
pphireレーザー由来の100−フェムト秒周波数−二重「ポンプ」パルス
によって、3eVでゲイン媒体を励起した。光励起したスポットにおける吸収/
ゲインを、サファイヤプレート中で生成されたフェムト秒「白色光」連続体の可
変的に遅延した広範なバンドの「プローブ」パルスを用いてプローブした。図6
Aを参照すれば、サンプル吸収スペクトルαd(ここでαは、吸収係数であり、
そしてdは、吸収層の厚みである)を、波長の関数として記録した。励起パルス
で記録したスペクトルは、破線および破点線で示し、そして励起パルスなしに記
録したスペクトルは、実線で示す。約615nmのエネルギーでの吸収脱色の励
起波形依存性を、図6Bに示す。励起パルスの密度は、平均して1量子ドットあ
たりの光励起電子ホール(e−h)の数(Neh)で示される。光学ゲイン(負
の吸収)を、1ナノクリスタルあたり、約1.6e−h対の励起パルス密度で観
察した。検出された最大ゲインは、約1000cm−1であった(Neh=2.
7)。本実験で用いたナノクリスタルサイズについて、光学増幅を約600nm
〜約650nmのスペクトル範囲内で観察した。光学ゲインはまた、Neh>2
の密度で室温で検出された。
ら、Opt.Lett.,第23巻、p227(1998)に記載された、フェ
ムト秒ポンプ−プローブ実験を用いて検出した。TOP/TOPO表面基を有す
るCdSe半導体ナノクリスタルのゲイン媒体を、ガラス基板上の濃縮固体(す
なわち、密封半導体インキュベートナノクリスタルのフィルム)中で形成した。
半導体ナノクリスタルは、約4.2nmの直径を有し、そしてフィルムの厚みは
、約0.2ミクロン〜約10ミクロンの間であった。ゲイン媒体を、液体窒素温
度まで冷却した(T=77K)。反転分布を作成するため、増幅したTi−Sa
pphireレーザー由来の100−フェムト秒周波数−二重「ポンプ」パルス
によって、3eVでゲイン媒体を励起した。光励起したスポットにおける吸収/
ゲインを、サファイヤプレート中で生成されたフェムト秒「白色光」連続体の可
変的に遅延した広範なバンドの「プローブ」パルスを用いてプローブした。図6
Aを参照すれば、サンプル吸収スペクトルαd(ここでαは、吸収係数であり、
そしてdは、吸収層の厚みである)を、波長の関数として記録した。励起パルス
で記録したスペクトルは、破線および破点線で示し、そして励起パルスなしに記
録したスペクトルは、実線で示す。約615nmのエネルギーでの吸収脱色の励
起波形依存性を、図6Bに示す。励起パルスの密度は、平均して1量子ドットあ
たりの光励起電子ホール(e−h)の数(Neh)で示される。光学ゲイン(負
の吸収)を、1ナノクリスタルあたり、約1.6e−h対の励起パルス密度で観
察した。検出された最大ゲインは、約1000cm−1であった(Neh=2.
7)。本実験で用いたナノクリスタルサイズについて、光学増幅を約600nm
〜約650nmのスペクトル範囲内で観察した。光学ゲインはまた、Neh>2
の密度で室温で検出された。
【0040】
図7は、1.3nm、1.7nm、および2.1nmの半径Rを有するCdS
eナノクリスタルから製造した3つの濃縮固体についての室温で記録した光学吸
収/ゲインスペクトルのプロットである。
eナノクリスタルから製造した3つの濃縮固体についての室温で記録した光学吸
収/ゲインスペクトルのプロットである。
【0041】
(実施例2)
増幅した自然放出を、導波管レジメにおいて、図4に関して記載されるように
、一回通過構成中で検出した。半導体ナノクリスタルの濃縮固体、すなわち、密
封されたナノクリスタルのフィルム(厚み460nm)をガラススライド上に配
置した。半導体ナノクリスタルは、CdSeであり、直径4.2nmであり、そ
して酸化トリオクチルホスフィンおよびセレン化トリオクチルホスフィンで表面
安定化処理されていた。このフィルムは導波管として働く。このフィルムの屈折
率(約1.8)は、ガラススライド(約1.4)および真空/空気(約1)の両
方の屈折率よりも大きかったので、このフィルムは、導波管様式を支持し、これ
が総内部屈折の低損失レジメにおいて伝播した。このポンプスポットは、直径約
1ミリメートルであった。ゲイン媒体を、液体窒素温度まで冷却した(T=77
K)。このフィルムの放出スペクトルを、漸増して高くなる励起パルス強度で記
録し、図8に示す。平均して1ドットあたり約2e−h対のポンプレベルで61
5nmで鋭いレーザー様式の発達を観察した。このピークの励起パルス強度依存
性(図8にはめ込んでいる)は、レーザーレジメに対する移行に典型的な閾値型
挙動を示す。
、一回通過構成中で検出した。半導体ナノクリスタルの濃縮固体、すなわち、密
封されたナノクリスタルのフィルム(厚み460nm)をガラススライド上に配
置した。半導体ナノクリスタルは、CdSeであり、直径4.2nmであり、そ
して酸化トリオクチルホスフィンおよびセレン化トリオクチルホスフィンで表面
安定化処理されていた。このフィルムは導波管として働く。このフィルムの屈折
率(約1.8)は、ガラススライド(約1.4)および真空/空気(約1)の両
方の屈折率よりも大きかったので、このフィルムは、導波管様式を支持し、これ
が総内部屈折の低損失レジメにおいて伝播した。このポンプスポットは、直径約
1ミリメートルであった。ゲイン媒体を、液体窒素温度まで冷却した(T=77
K)。このフィルムの放出スペクトルを、漸増して高くなる励起パルス強度で記
録し、図8に示す。平均して1ドットあたり約2e−h対のポンプレベルで61
5nmで鋭いレーザー様式の発達を観察した。このピークの励起パルス強度依存
性(図8にはめ込んでいる)は、レーザーレジメに対する移行に典型的な閾値型
挙動を示す。
【0042】
図9は、バルクCdSeの誘導放出(A)および自然放出(B)のスペクトル
と比較した、異なるサイズのCdSeナノクリスタルの固体の誘導放出のサイズ
制御スペクトルのプロットである。このスペクトルは、T=80K(A)および
300K(B)でとった。バルクCdSeは、室温では誘導放出を示さないが、
CdSeナノクリスタルの濃縮固体は、誘導放出を示す。
と比較した、異なるサイズのCdSeナノクリスタルの固体の誘導放出のサイズ
制御スペクトルのプロットである。このスペクトルは、T=80K(A)および
300K(B)でとった。バルクCdSeは、室温では誘導放出を示さないが、
CdSeナノクリスタルの濃縮固体は、誘導放出を示す。
【0043】
多数の実施形態を記載してきた。それにもかかわらず、種々の改変がなされ得
ることが理解される。例えば、半導体ナノクリスタルの濃縮固体は、分散型Br
agg反射体(DBR)によって形成されたキャビティを有するゲイン媒体とし
て用いられ得る。従って、他の実施形態も、添付の特許請求の範囲内である。
ることが理解される。例えば、半導体ナノクリスタルの濃縮固体は、分散型Br
agg反射体(DBR)によって形成されたキャビティを有するゲイン媒体とし
て用いられ得る。従って、他の実施形態も、添付の特許請求の範囲内である。
【図1】
図1は、増幅器の概略図である。
【図2】
図2は、レーザーの概略図である。
【図3】
図3Aおよび3Bは、分布型フィードバック増幅器(3A)およびレーザー(
3B)の概略図である。
3B)の概略図である。
【図4】
図4は、導波方式におけるナノクリスタル固体において発生する増幅された自
発的発光の観察のための実験の概略図である。
発的発光の観察のための実験の概略図である。
【図5】
図5は、ゲインを測定するためのポンプ−プローブレーザー実験の概略図であ
る。
る。
【図6】
図6Aは、図5のポンプ−プローブレーザー実験により記録された、CdSe
量子ドット固体(ドット直径4.2nm)の吸収/ゲインスペクトルを示すプロ
ットである。 図6Bは、半導体ナノクリスタル1つあたりの、正規化された吸収脱色(−Δ
α/α0) 対 励起された正孔対の数(Neh)のプロットである。
量子ドット固体(ドット直径4.2nm)の吸収/ゲインスペクトルを示すプロ
ットである。 図6Bは、半導体ナノクリスタル1つあたりの、正規化された吸収脱色(−Δ
α/α0) 対 励起された正孔対の数(Neh)のプロットである。
【図7】
図7は、室温において記録された光吸収/ゲインスペクトルのプロットである
。
。
【図8】
図8は、光ルミネセンス強度 対 誘導放射の発生を示す波長のプロットであ
る。
る。
【図9】
図9は、バルクCdSeの、誘導放射(A;T=80K)および自発的発光(
B;T=300K)のスペクトルの比較における、異なるサイズのCdSeナノ
クリスタルの固体の誘導放射のサイズ制御スペクトルのプロットである。 様々な図面における同じ参照記号は、同じ要素を示す。
B;T=300K)のスペクトルの比較における、異なるサイズのCdSeナノ
クリスタルの固体の誘導放射のサイズ制御スペクトルのプロットである。 様々な図面における同じ参照記号は、同じ要素を示す。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(71)出願人 ザ リージェンツ オブ ジ ユニヴァー
シティ オブ カリフォルニア
The Regents of the
University of Calif
ornia
アメリカ合衆国 87545 ニューメキシコ
ロス アラモス ピーオーボックス
1663 ロス アラモス ナショナル ラボ
ラトリー メイル ストップ ディー412
エルシー/ビーピーエル
LC/BPL, Mail Stop D
−412, Los Alamos Nat
ional Laboratory,P.
O.Box 1663, Los Alamo
s, New Mexico 87545 U
SA
(72)発明者 クリモフ, ヴィクトル アイ.
アメリカ合衆国 ニューメキシコ 87544,
ロス アラモス, エス. トッド ル
ープ 569
(72)発明者 ミクハイロフスキ, アレクサンドル
アメリカ合衆国 ニューメキシコ 87544,
ロス アラモス, シー 24ティーエイ
チ ストリート 1925
(72)発明者 ホリングスワース, ジェニファー エ
イ.
アメリカ合衆国 ニューメキシコ 87544,
ロス アラモス, 22エヌディー スト
リート 2005−ディー
(72)発明者 バウェンディ, マウンギ ジー.
アメリカ合衆国 マサチューセッツ
02116, ボストン, コモンウェルス
アベニュー 263 ナンバー5
(72)発明者 レザーデイル, キャサリン エイ.
アメリカ合衆国 マサチューセッツ
02143, サマービル, ローズランド
ストリート 57, アパートメント 2
Fターム(参考) 5F072 AB13 AK10 FF03 PP01 PP07
PP10 YY17
Claims (32)
- 【請求項1】 ゲイン媒体であって、以下: 複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された固体、 を含み、ここで、該濃縮された固体が実質的に欠陥を含まない、ゲイン媒体。
- 【請求項2】 ゲイン媒体であって、以下: 複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された固体、 を含み、ここで、該濃縮された固体が、約25(cm−1)より大きい光学シグ
ナルに対するゲインを提供し得、そして最大ゲインが、該ナノクリスタルの最大
バンドギャップ放出以下のエネルギーで生じる、ゲイン媒体。 - 【請求項3】 ゲイン媒体であって、以下: 複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された固体、 を含み、ここで、該濃縮された固体が、該濃縮された固体が実質的に吸収を有さ
ないエネルギーでゲインを提供し得る、ゲイン媒体。 - 【請求項4】 ゲイン媒体であって、以下: 複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された固体、 を含み、ここで、該濃縮された固体が、実質的に欠陥を含まず、該ナノクリスタ
ルの最大バンドギャップ放出以下のエネルギーで光学シグナルに対するゲインを
提供し、そして該濃縮された固体が実質的に吸収を有さないエネルギーでゲイン
を提供し得る、ゲイン媒体。 - 【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項に記載されるゲイン媒体であっ
て、前記固体が、0.2体積%より多い半導体ナノクリスタルを含む、ゲイン媒
体。 - 【請求項6】 請求項5に記載のゲイン媒体であって、前記固体が、10体
積%より多い半導体ナノクリスタルを含む、ゲイン媒体。 - 【請求項7】 請求項1〜4のいずれか1項に記載されるゲイン媒体であっ
て、前記複数の半導体ナノクリスタルのそれぞれが、II族−VI族化合物、I
I族−V族化合物、III族−VI族化合物、III族−V族化合物、IV族−
VI族化合物、I族−III族−VI族化合物、II族−IV族−VI族化合物
、およびII族−IV族−V族化合物からなる群より選択される、同じかまたは
異なる第1半導体材料を含む、ゲイン媒体。 - 【請求項8】 請求項7に記載のゲイン媒体であって、それぞれの第1半導
体材料が、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdS、CdSe、CdTe、HgS
、HgSe、HgTe、AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP
、GaAs、GaSb、GaSe、InN、InP、InAs、InSb、Tl
N、TlP、TlAs、TlSb、PbS、PbSe、PbTe、およびこれら
の混合物からなる群より選択される、ゲイン媒体。 - 【請求項9】 請求項7に記載のゲイン媒体であって、それぞれの第1半導
体材料が、第2半導体材料でコーティングされる、ゲイン媒体。 - 【請求項10】 請求項9に記載のゲイン媒体であって、前記第2半導体材
料が、ZnO、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdO、CdS、CdSe、Cd
Te、MgO、MgS、MgSe、MgTe、HgO、HgS、HgSe、Hg
Te、AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、Ga
Sb、InN、InP、INAs、InSb、TlN、TlP、TlAs、Tl
Sb、TlSb、PbS、PbSe、PbTe、またはこれらの混合物である、
ゲイン媒体。 - 【請求項11】 請求項9に記載のゲイン媒体であって、それぞれの第1半
導体材料が、第1バンドギャップを有し、そしてそれぞれの第2半導体材料が該
第1バンドギャップより大きい第2バンドギャップを有する、ゲイン媒体。 - 【請求項12】 請求項1〜4のいずれか1項に記載のゲイン媒体であって
、それぞれのナノクリスタルが、約10ナノメートル未満の直径を有する、ゲイ
ン媒体。 - 【請求項13】 請求項1〜4のいずれか1項に記載のゲイン媒体であって
、前記複数のナノクリスタルが単分散分布のサイズを有する、ゲイン媒体。 - 【請求項14】 請求項1〜4のいずれか1項に記載のゲイン媒体であって
、前記複数のナノクリスタルが、複数の単分散分布のサイズを含む、ゲイン媒体
。 - 【請求項15】 請求項1〜4のいずれか1項に記載のゲイン媒体であって
、前記ナノクリスタルの濃縮された固体が、基板上に配置される、ゲイン媒体。 - 【請求項16】 請求項15に記載のゲイン媒体であって、前記基板が、ガ
ラスであり、そして前記ナノクリスタルの濃縮された固体が、約0.2ミクロン
より大きい厚みを有する、ゲイン媒体。 - 【請求項17】 請求項1〜4のいずれか1項に記載のゲイン媒体であって
、前記濃縮されて固体が、約50(cm−1)より大きい光学シグナルに対する
ゲインを提供し得る、ゲイン媒体。 - 【請求項18】 レーザーであって、以下: 光学ゲイン媒体であって、複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された固体
を含む、光学ゲイン媒体;および フィードバックを提供するために該光学ゲイン媒体に関して配置されたキャビ
ティー、 を備える、レーザー。 - 【請求項19】 レーザーであって、以下: 光学ゲイン媒体であって、複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された固体
を含む、光学ゲイン媒体;および フィードバックを提供するために該光学ゲイン媒体に関して配置されたマイク
ロキャビティー、 を備える、レーザー。 - 【請求項20】 レーザーであって、以下: 光学ゲイン媒体であって、複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された固体
を含む、光学ゲイン媒体;および フィードバックを提供するために該光学ゲイン媒体に関して配置されたキャビ
ティー、 を備え、ここで、該濃縮された固体が、該ナノクリスタルの最大バンドギャップ
放出以下のエネルギーで、光学シグナルに対するゲインを提供する、レーザー。 - 【請求項21】 請求項18〜20のいずれか1項に記載のレーザーであっ
て、前記濃縮された固体が、実質的に欠陥を含まない、レーザー。 - 【請求項22】 請求項18〜20のいずれか1項に記載のレーザーであっ
て、さらに、励起ソースを備える、レーザー。 - 【請求項23】 請求項22に記載のレーザーであって、前記励起ソースが
、光学ソースである、レーザー。 - 【請求項24】 請求項23に記載のレーザーであって、前記複数の半導体
ナノクリスタルのそれぞれが、II族−VI族化合物、II族−V族化合物、I
II族−VI族化合物、III族−V族化合物、IV族−VI族化合物、I族−
III族−VI族化合物、II族−IV族−VI族化合物、およびII族−IV
族−V族化合物からなる群より選択される、同じかまたは異なる第1半導体材料
を含む、レーザー。 - 【請求項25】 請求項24に記載のレーザーであって、それぞれの第1半
導体材料が、第2半導体材料でコーティングされる、レーザー。 - 【請求項26】 請求項25に記載のレーザーであって、それぞれの第1半
導体材料が、第1バンドギャップを有し、そしてそれぞれの第2半導体材料が該
第1バンドギャップより大きい第2バンドギャップを有する、レーザー。 - 【請求項27】 請求項18〜20のいずれか1項に記載のレーザーであっ
て、前記複数のナノクリスタルが、単分散分布のサイズを有する、レーザー。 - 【請求項28】 光学シグナルを増幅する方法であって、以下: 光学ビームを、複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された固体を含むゲイ
ン媒体に方向付ける工程、 を包含し、該濃縮固体が、実質的に欠陥を含まず、そして該ナノクリスタルの最
大バンドギャップ放出以下のエネルギーで該光学シグナルに対するゲインを提供
する、方法。 - 【請求項29】 レーザーを形成する方法であって、以下: 光学ゲイン媒体にフィードバックを提供するために、該ゲイン媒体に関してキ
ャビティーを配置する工程、 を包含し、該光学ゲイン媒体が、複数の半導体ナノクリスタルを含む濃縮された
固体を含む、方法。 - 【請求項30】 請求項28または29に記載の方法であって、前記複数の
半導体ナノクリスタルのそれぞれが、II族−VI族化合物、II族−V族化合
物、III族−VI族化合物、III族−V族化合物、IV族−VI族化合物、
I族−III族−VI族化合物、II族−IV族−VI族化合物、およびII族
−IV族−V族化合物からなる群より選択される、同じかまたは異なる第1半導
体材料を含む、方法。 - 【請求項31】 請求項30に記載の方法であって、それぞれの第1半導体
材料が、第2半導体材料でコーティングされる、方法。 - 【請求項32】 請求項30に記載の方法であって、それぞれの第1半導体
材料が、第1バンドギャップを有し、そしてそれぞれの第2半導体材料が該第1
バンドギャップより大きい第2バンドギャップを有する、方法。
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