JP2003329828A - 液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 平面方向において均一な電気光学特性等が得
られる液状物の吐出方法、および液状物の吐出装置等を
提供する。 【解決手段】 液状物の吐出方法および液状物の吐出装
置等において、液滴吐出ヘッドまたは基板を縦方向に走
査しながら、複数の液状物をそれぞれのノズル列から、
基板に対して、順次に吐出するとともに、複数の液状物
の吐出開始部および吐出終了部、あるいはいずれか一方
の位置を異ならせるようにする。これにより、基板にお
ける複数の液状物からなる塗布領域の端部が重ならなく
なったり、あるいはこれら塗布領域の端部の重なりを少
なくしたりすることができる。したがって、このような
液状物の吐出方法によれば、平面方向における液状物の
塗布量のばらつきが小さくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液状物の吐出方
法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およ
びカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッ
センス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス
装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法お
よびプラズマディスプレイパネルに関する。

【０００２】より詳しくは、本発明は、平面方向におい
て均一な電気光学特性等を有する塗布物が得られる液状
物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製
造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクト
ロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミ
ネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの
製造方法およびプラズマディスプレイパネルに関する。

【０００３】

【従来の技術】近年、携帯電話機や携帯型コンピュータ
等の電子機器の表示部において、電気光学装置、例え
ば、液晶装置（以下、ＬＣＤと称する場合がある。）、
エレクトロルミネッセンス装置（以下、ＥＬ装置と称す
る場合がある。）、プラズマディスプレイパネル（以
下、ＰＤＰと称する場合がある。）等の表示装置が、そ
の薄膜性や軽量性に着目されて、幅広く用いられたり、
検討されたりしている。

【０００４】また、これらの表示装置において、それぞ
れフルカラー表示が望まれており、例えば、ＬＣＤにお
いては、液晶層によって変調される光を、進行面に配置
されたカラーフィルタを通過させることによってフルカ
ラー表示が達成されている。このカラーフィルタは、例
えば、ガラス基板やプラスチック基板の表面に、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応したドット状の各フ
ィルタエレメントを、所定配列で規則的に並べることに
よって構成されている。

【０００５】そして、このようなカラーフィルタを製造
するにあたり、一般に、フォトリソグラフィー法が用い
られているが、製造工程が複雑であることや、あるいは
各色に対応したカラーフィルタ材料やフォトレジストな
どを多量に消費することから、製造コストが高く、環境
条件に対する負荷が大きいという問題が見られた。

【０００６】そこで、このような製造上の問題や環境上
の問題を解決するために、いわゆるインクジェット法に
よって、カラーフィルタのフィルタエレメントを製造す
る方法が提案されている。例えば、図３１（ａ）におい
て、マザーボード３０１の表面に設定される複数のパネ
ル領域３０２の内部領域に、図３１（ｂ）に示すよう
に、複数のフィルタエレメント３０３をインクジェット
法に基づいて形成する場合を想定する。すなわち、図３
１（ｃ）に示すように、ノズル列３０４を配列した液滴
吐出ヘッド３０６を準備する。次いで、この液滴吐出ヘ
ッド３０６を、図３１（ｂ）中の矢印Ａ１および矢印Ａ
２に示すように、１個のパネル領域３０２に対して、複
数回（図３１に示す例では２回）主走査させながら、そ
の間に複数のノズル３０４から選択的にカラーフィルタ
用材料を吐出することによって、所定位置にフィルタエ
レメント３０３を形成することができる。

【０００７】しかしながら、液滴吐出ヘッド３０６にお
ける複数のノズル３０４の位置によって、カラーフィル
タ用材料の吐出量にバラツキがあることが判明してい
る。より具体的には、図３２に示すように、ノズル列３
０５のうち両端部のノズル３０４の吐出量が多く、中央
部では少ないという材料吐出特性（Ｑ特性）を有してい
ることが判明している。

【０００８】したがって、ノズル列３０４を縦方向に複
数回走査した場合、図３３（ａ）に示すように、ノズル
列３０５のうち両端部にあるノズル３０４の吐出量が多
く、中間部のノズル３０４の吐出量が比較的少ないとい
う傾向があり、カラーフィルタのフィルタエレメント３
０３を形成した場合、図３３（ｂ）に示すように、端部
（Ｐ１）において、カラー濃度の濃いスジが認識される
場合が見られた。そのため、得られたカラーフィルタ
は、平面方向において、光透過特性が不均一になりやす
いという問題が見られた。

【０００９】そこで、液滴吐出ヘッドまたは基板を縦方
向に走査しながら、透明基板上の被着色部にカラーフィ
ルタ用材料を付与する際に、走査領域の境界部の被着色
部と、該境界部以外の被着色部との間で、付与する材料
量が異なるようにして、着色部を形成することを特徴と
したカラーフィルタの製造方法が開示されている（以下
の特許文献１参照）。

【００１０】より具体的には、図３４に示すように、液
滴吐出ヘッド３５１ａ〜３５１ｃを、矢印３５４で示す
縦方向に走査しながら、同時に複数の被着色部に材料を
付与する場合に、基板３５２を、着色領域をヘッドの走
査方向に平行な複数の走査領域３５３ａ、３５３ｂ、３
５３ｃに分割するとともに、少なくとも、隣接する走査
領域の境界部における被着色部（記号Ａで示すライン）
と、当該境界部以外の被着色部（３５３ａ、３５３ｂ、
３５３ｃで表される領域）とで付与する材料量が異なる
ように設定したカラーフィルタの製造方法を提案してい
る。

【００１１】

【特許文献１】特開２０００−８９０１７号公報

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のカラーフィルタの製造方法では、着色する場所によ
って、付与する材料量が異なるように微妙にヘッドの動
作等を設定するものの、周囲の環境条件や、材料の種類
や、粘度等が大きく変化した場合に、ヘッドの動作等の
制御が間に合わないという問題が見られた。

【００１３】したがって、逆に、カラーフィルタにおけ
る走査領域の境界部の被着色部と、境界部以外の被着色
部との間で、付与する材料量が大きく異なり、平面方向
における光透過特性の不均一さがかえって大きくなる場
合が見られた。

【００１４】そこで、本発明の発明者は、このような問
題点に鑑みて鋭意検討した結果、液滴吐出ヘッドまたは
基板を縦方向に走査しながら、従来どおり実質的に同量
の液状物を塗布した場合であっても、ノズル列の端部の
位置等を調節することにより、液状物の吐出開始部また
は吐出終了部の位置を異ならしめることによって、着色
部における材料量を制御できることを見出し、本発明を
完成させたものである。

【００１５】すなわち、本発明の目的は、平面方向にお
いて均一な光透過特性等を有する塗布物が得られる液状
物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製
造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクト
ロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミ
ネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの
製造方法およびプラズマディスプレイパネルを提供する
ことである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、液滴吐
出ヘッドを用いた液状物の吐出方法であって、当該液滴
吐出ヘッドまたは基板を縦方向に走査しながら、複数の
液状物をそれぞれに対応したノズル列から、基板に対し
て、順次に吐出させるとともに、当該液状物の吐出開始
部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位
置を異ならしめることを特徴とした液状物の吐出方法が
提供され、上述した問題点を解決することができる。

【００１７】すなわち、液滴吐出ヘッドを用いて、従来
どおり実質的に同量の液状物を塗布した場合であって
も、液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置をずら
すように塗布することによって、基板における複数の液
状物からなる塗布領域の端部が重ならなくなったり、あ
るいはこれら塗布領域の端部の重なりを少なくしたりす
ることができる。

【００１８】したがって、このような液状物の吐出方法
によれば、平面方向における液状物の塗布量のばらつき
が小さくなるため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変える
ことなく、平面方向において均一な光透過特性等を有す
る塗布物を得ることができる。

【００１９】なお、液状物の吐出開始部および吐出終了
部の位置を異ならしめる手段は特に制限されるものでは
なく、後述する表１に示すような８つの態様が代表的で
はある。ただし、図２に示すようなノズル列を備えた液
滴吐出ヘッドを用い、当該ノズル列を液状物の数に対応
させて、例えば、左方、中央、右方に３分割するととも
に、液滴吐出ヘッドの動作制御によって、３種類の液状
物の吐出開始部および吐出終了部の位置を異ならしめて
も良い。

【００２０】また、本発明の液状物の吐出方法を実施す
るにあたり、ノズル列の両端部の位置、あるいはいずれ
か一方の位置を一次元または二次元の方向に異ならしめ
ることにより、液状物の吐出開始部および吐出終了部の
位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめること
が好ましい。

【００２１】このように実施すると、ノズル列の両端部
の位置を調整するだけで、基板における複数の液状物の
吐出開始部または吐出終了部の位置を異ならしめること
ができる。

【００２２】また、本発明の液状物の吐出方法を実施す
るにあたり、複数の液状物の吐出幅を実質的に等しくす
ることが好ましい。

【００２３】このように実施すると、例えば、吐出幅が
実質的に等しい簡易な構成の液滴吐出ヘッドを用いるだ
けで、基板における液状物の吐出開始部または吐出終了
部の位置を異ならしめることができる。

【００２４】また、本発明の液状物の吐出方法を実施す
るにあたり、液滴吐出ヘッドを複数用意するとともに、
当該液滴吐出ヘッドにおける走査方向に直交する方向の
ノズル列の寸法幅を実質的に等しくすることにより、液
状物の吐出幅を実質的に等しくすることが好ましい。

【００２５】このように実施すると、寸法幅が実質的に
等しい簡易な構成の液滴吐出ヘッドを複数用意するだけ
で、基板における複数の液状物の吐出開始部または吐出
終了部の位置を異ならしめることができる。また、液滴
吐出ヘッドが複数個設けてあることから、液状物の種類
に対応して、きめ細かく動作させることができるので、
液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置の調整がさ
らに容易となる。

【００２６】また、本発明の液状物の吐出方法を実施す
るにあたり、複数の液状物の吐出幅を異ならせるととも
に、液状物の吐出開始部の位置または液状物の吐出終了
部の位置を実質的に一致させることが好ましい。

【００２７】このように実施すると、基板における複数
の液状物からなる塗布領域の端部の重なりを少なくする
ことができるとともに、液状物の非塗布部を基板の片側
のみに形成することができる。

【００２８】また、本発明の液状物の吐出方法を実施す
るにあたり、液滴吐出ヘッドを複数用意するとともに、
当該複数の液滴吐出ヘッドにおける走査方向に直交する
方向のノズル列の寸法幅を異ならせることにより、複数
の液状物の吐出幅を異ならせることが好ましい。

【００２９】このように実施すると、液滴吐出ヘッドの
寸法幅を変えて、従来通りに液滴吐出ヘッドを動作させ
るだけで、基板における液状物の吐出開始部または吐出
終了部の位置を異ならしめることができる。

【００３０】また、本発明の液状物の吐出方法を実施す
るにあたり、ノズル列を用いて基板の端部を塗布する場
合には、当該基板の領域以外に該当するノズル列は使用
せず、当該基板の領域内に該当するノズル列を使用する
ことが好ましい。

【００３１】このように実施すると、基板の端部におい
て、複数の液状物が全て塗布されない非塗布部の形成を
少なくすることができる。

【００３２】また、本発明の別の態様は、液滴吐出ヘッ
ドを有する液状物の吐出装置であって、当該液滴吐出ヘ
ッドに複数の液状物に対応したノズル列を設けるととも
に、当該液滴吐出ヘッドまたは基板を縦方向に走査しな
がら、ノズル列から複数の液状物をそれぞれ順次に吐出
させ、当該液状物の吐出開始部および吐出終了部の位
置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめるための
制御部を設けることを特徴とした液状物の吐出装置であ
る。

【００３３】すなわち、液滴吐出ヘッドを用いて縦方向
に走査しながら、従来どおり実質的に同量の液状物を塗
布した場合であっても、制御部により、液状物の吐出開
始部または吐出終了部の位置をずらすように調整するこ
とによって、複数の液状物に対応した塗布領域の端部の
位置がそれぞれ重なることがなくなったり、これらの位
置の重なりを少なくしたりすることができる。

【００３４】したがって、このような液状物の吐出装置
によれば、平面方向における液状物の塗布量のばらつき
が小さくなるため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変える
ことなく、平面方向において均一な光透過特性等を有す
る塗布物を得ることができる。

【００３５】また、本発明の液状物の吐出装置を構成す
るにあたり、液滴吐出ヘッドを、当該液滴吐出ヘッドが
移動する方向に対して、斜めに交差する方向に配列する
ことが好ましい。

【００３６】このように構成すると、液状物を吐出する
間隔を、ノズル列の実際の間隔よりも狭くすることがで
き、より精細な塗布物を得ることができる。また、この
ように構成すると、複数の液滴吐出ヘッドを設けた場合
に、隣接する液滴吐出ヘッドの間での干渉が防止され、
結果として、小型化を図ることができる。さらに、この
ように構成すると、基板の大きさが多少変化した場合で
あっても、液滴吐出ヘッドの交差する角度を適宜変える
ことによって、基板全体を塗布することができる。

【００３７】また、本発明の液状物の吐出装置を構成す
るにあたり、複数の液状物に対応したノズル列が、一つ
の液滴吐出ヘッドに配置してあることが好ましい。

【００３８】このように構成すると、液滴吐出ヘッドの
動作自身を簡略化したまま、複数の液状物に対応した吐
出開始部または吐出終了部の位置がそれぞれ重ならない
塗布物が得られる簡易な構造の吐出装置を提供すること
ができる。

【００３９】また、本発明の液状物の吐出装置を構成す
るにあたり、複数の液状物に対応したノズル列が、複数
の液滴吐出ヘッドにそれぞれ対応させて設けてあること
が好ましい。

【００４０】このように構成すると、寸法幅が実質的に
等しい簡易な構成の液滴吐出ヘッドを複数用意するだけ
で、基板における複数の液状物の吐出開始部または吐出
終了部の位置がそれぞれ重ならない塗布物が得られる吐
出装置を提供することができる。また、液滴吐出ヘッド
が複数個あることから、液状物の種類に対応して、きめ
細かく動作させることができるので、複数の液状物の吐
出開始部または吐出終了部の位置の調整がさらに容易と
なる。

【００４１】また、本発明の別の態様は、液滴吐出ヘッ
ドまたは基板を縦方向に走査しながら、複数のカラーフ
ィルタ用材料をそれぞれに対応したノズル列から順次に
吐出させるともに、当該カラーフィルタ用材料の吐出開
始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の
位置を異ならしめることを特徴としたカラーフィルタの
製造方法およびそれから得られるカラーフィルタであ
る。

【００４２】このように実施すると、平面方向における
カラーフィルタ用材料の塗布量のばらつきが小さくなる
ため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変えることなく、平
面方向において均一な光透過特性等を有するカラーフィ
ルタを得ることができる。

【００４３】また、本発明の別の態様は、上述したいず
れかのカラーフィルタを設けてなる液晶表示装置であ
る。

【００４４】このように平面方向において均一な光透過
特性等を有するカラーフィルタを用いて構成してあるた
め、平面方向において、輝度が安定したカラー画像を認
識することができる。

【００４５】また、本発明の別の態様は、液滴吐出ヘッ
ドまたは基板を縦方向に走査しながら、複数のエレクト
ロルミネッセンス材料をそれぞれに対応したノズル列か
ら順次に吐出させるとともに、当該エレクトロルミネッ
センス材料の吐出開始部および吐出終了部の位置、ある
いはいずれか一方の位置を異ならしめることを特徴とし
たエレクトロルミネッセンス装置の製造方法、およびそ
れから得られるエレクトロルミネッセンス装置である。

【００４６】このように実施すると、平面方向における
エレクトロルミネッセンス材料の塗布量のばらつきが小
さくなるため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変えること
なく、平面方向において均一なＥＬ発光特性等を有する
エレクトロルミネッセンス装置を得ることができる。

【００４７】また、本発明の別の態様は、液滴吐出ヘッ
ドまたは基板を縦方向に走査しながら、複数のプラズマ
発光材料をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出
させるとともに、当該プラズマ発光材料の吐出開始部お
よび吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を
異ならしめることを特徴としたプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法、およびそれから得られるプラズマディ
スプレイパネルである。

【００４８】このように実施すると、平面方向における
プラズマ発光材料の塗布量のばらつきが小さくなるた
め、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変えることなく、平面
方向において均一なプラズマ発光特性等を有するプラズ
マディスプレイパネルを得ることができる。

【００４９】なお、プラズマディスプレイパネルの製造
方法およびそれから得られるプラズマディスプレイパネ
ルについての構成については、特に制限されるものでな
く、一例として、図２０に示すようなプラズマディスプ
レイパネル１７０の構成とすることができる。

【００５０】また、本発明の液状物の吐出方法は、複数
のノズル列または基板を所定方向に走査しながら、前記
複数のノズル列から、それぞれに対応した互いに異なる
液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程
と、を備え、前記走査工程において、各前記ノズル列が
前記基板を通過する領域が、その他の前記ノズル列が前
記基板を通過する領域の一部に重なり、各前記ノズル列
における両端部の位置は、前記所定方向と直交する方向
において、その他の前記ノズル列における両端部の位置
と異なることを特徴とする。

【００５１】さらに、本発明の液状物の吐出方法は、複
数のノズル列または基板を所定方向に走査しながら、前
記複数のノズル列から、それぞれに対応した互いに異な
る液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工
程と、を備え、前記走査工程において、各前記ノズル列
が前記基板を通過する領域が、その他の前記ノズル列が
前記基板を通過する領域の一部に重なり、各前記ノズル
列における第１の端部の位置は、前記所定方向と直交す
る方向において、その他の前記ノズル列における第１の
端部の位置と実質的に同じであり、各前記ノズル列にお
ける第２の端部の位置は、前記所定方向と直交する方向
において、その他の前記ノズル列における第２の端部の
位置と異なることを特徴とする。

【００５２】また、本発明の別の液状物の吐出方法は、
第１、第２及び第３のノズル列または基板を所定方向に
走査しながら、前記第１、第２及び第３のノズル列か
ら、それぞれ第１の液状物、第２の液状物及び第３の液
状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程
と、を備え、前記走査工程において、前記第１、第２及
び第３のノズル列が前記基板を通過する領域は、互いに
一部重なり、前記第１、第２及び第３のノズル列におけ
る両端部の位置は、前記所定方向と直交する方向におい
て、互いに異なることを特徴とする。

【００５３】さらに、本発明の別の液状物の吐出方法
は、第１、第２及び第３のノズル列または基板を所定方
向に走査しながら、前記第１、第２及び第３のノズル列
から、それぞれ第１の液状物、第２の液状物及び第３の
液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程
と、を備え、前記走査工程において、前記第１、第２及
び第３のノズル列が前記基板を通過する領域は、互いに
一部重なり、前記第１、第２及び第３のノズル列におけ
る第１の端部の位置は、前記所定方向と直交する方向に
おいて、実質的に同じであり、前記第１、第２及び第３
のノズル列における第２の端部の位置は、前記所定方向
と直交する方向において、互いに異なることを特徴とす
る。

【００５４】上記の液状物の吐出方法、液状物の吐出装
置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、
液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方
法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズ
マディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディス
プレイにおいては、複数の液滴吐出ヘッドを相互に所定
の配列態様に配列固定した状態でユニットとして一体に
用いることが好ましい。

【００５５】この場合、ユニット内において実質的に一
体のノズル列が構成されるように配列された複数の液滴
吐出ヘッドを設ける場合がある。この場合には、実質的
に一体のノズル列においてノズルが連続して（等間隔
に）配列される構成がある。この構成は、複数の液滴吐
出ヘッドを互い違いに走査方向にずらして配列させるこ
とによって実現できる。また、実質的に一体のノズル列
において所定の間隔ｓを挟んで複数の吐出幅ｔが配列さ
れる構成が挙げられる。この構成を用いる場合には、間
隔ｓが吐出幅ｔと同一であることが好ましい。本発明を
実施する際には、上記のようなユニットは複数設けら
れ、これらの複数のユニットにおける実質的に一体のノ
ズル列間において、相互に吐出開始部及び吐出終了部、
或いはそれらのいずれか一方を相互に異ならしめること
が好ましい。

【００５６】また、ユニット内に複数の液滴吐出ヘッド
を設ける場合であって、各液滴吐出ヘッドに複数のノズ
ル列を設ける場合がある。この場合、複数のノズル列間
において、吐出開始部及び吐出終了部、或いは、それら
の少なくとも一方を相互に異ならしめることが好まし
い。

【００５７】さらに、ユニット内に複数の液滴吐出ヘッ
ドを設ける場合であって、各液滴吐出ヘッド間におい
て、吐出開始部および吐出終了部、或いは、それらのい
ずれか一方を相互に異ならしめることが好ましい。

【００５８】

【発明の実施の形態】本発明の液状物の吐出方法、液状
物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラー
フィルタ、カラーフィルタを用いた液晶表示装置、エレ
クトロルミネッセンス装置の製造方法、およびエレクト
ロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネル及
びその製造方法に関する実施形態を、適宜図面を参照し
ながらそれぞれ具体的に説明する。

【００５９】［第１の実施形態］第１の実施形態は、図
１に示すように、液滴吐出ヘッド２２を用いた液状物の
吐出方法であって、液滴吐出ヘッド２２または基板２を
縦方向に走査しながら、複数の液状物をそれぞれに対応
したノズル列２７から、基板２に対して、順次に吐出さ
せるとともに、当該液状物の吐出開始部および吐出終了
部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめる
ことを特徴とした液状物の吐出方法である。

【００６０】以下、第１の実施形態を構成する吐出機
構、複数の液状物、基板および吐出方法の要件にわけ
て、具体的に説明する。

【００６１】１．吐出機構および吐出方法 （１）吐出機構 第１の実施形態において使用する吐出機構としては、例
えば、圧電素子を用いた方式において、複数の液状物、
すなわち、同一または異種の少なくとも２つ以上の液状
物を、それぞれに対応したノズル列から吐出させること
が好ましい。より具体的には、図１（ａ）および（ｂ）
に示すように、圧電素子４１の撓み変形を利用して複数
の液状物８、例えば、ＲＧＢ画素、あるいはＹＭＣ画素
に対応した３種のカラーフィルタ用材料を、図２に示す
ノズル列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２によって
吐出する方式が好ましい。なお、図１（ａ）は、ノズル
列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２の部分切り欠け
を含む斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す
Ｊ−Ｊ線で切断した場合のノズル列２７が設けられた液
滴吐出ヘッド２２の断面図であり、さらに、図２は、図
１（ａ）および（ｂ）に示す液滴吐出ヘッド２２の斜視
図及びそのノズル列の一部拡大図である。

【００６２】このような液滴吐出ヘッド２２を用いた方
式であれば、図２の矢印２８の方向から液滴吐出ヘッド
２２内に流入された液状物を、当該液滴吐出ヘッド２２
の上方に設けてある圧電素子４１によって、液状物に含
まれる溶剤等の種類にかかわらず、ノズル列２７から、
微小な液滴として、安定して吐出することができる。

【００６３】また、他の方式であっても、複数の微小な
液状物を、順次に吐出することができる限り使用するこ
とができる。例えば、加熱によって発生するバブルを利
用して材料を吐出するいわゆる加熱方式についても、第
１の実施形態において好適に使用することができる。

【００６４】（２）液滴吐出ヘッドおよびノズル列 □ 液滴吐出ヘッド 第１の実施形態において、例えば、図３〜図６に示すよ
うに、液滴吐出ヘッド２２を複数用意し、それぞれに複
数の液状物に対応したノズル列２７を設けることが好ま
しい。例えば、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素のカラー
フィルタ用材料にそれぞれ対応した複数の液滴吐出ヘッ
ドを用意するとともに、それぞれの液滴吐出ヘッドに、
ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素に対応した材料を吐出さ
せるためのノズル列を設けるものである。

【００６５】このように構成することにより、複数の液
状物に対応したノズル列を、それに対応した液滴吐出ヘ
ッドを適宜ＣＰＵ等により制御しながら、所定の動作を
させるだけで、極め細かく描画することができる。した
がって、複数の液状物の蒸発特性等に対応させて、例え
ば、３つの液滴吐出ヘッドを用意した場合、１つの液滴
吐出ヘッドは１回動作させて液状物を１回塗布し、別の
液滴吐出ヘッドも同様に動作させて液状物を２回重ねて
塗布し、さらに別の液滴吐出ヘッドも同様に動作させて
液状物を３回重ねて塗布することが容易となる。

【００６６】また、液滴吐出ヘッドを複数用意した場
合、複数の液滴吐出ヘッドにおける走査方向に直交する
方向の寸法幅を実質的に等しくするだけで、複数の液状
物の吐出幅についても実質的に等しくすることができ
る。したがって、複数の液状物の吐出開始部および吐出
終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならし
めることにより、平面方向における塗布位置の相違にお
ける塗布量のばらつきが小さくなり、いわゆるＱ特性が
発現されずに、得られた塗布物において均一な電気光学
的特性を得ることができる。

【００６７】一方、第１の実施形態において、図７
（ａ）〜（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２を１
個用意し、それに複数の液状物に対応したノズル列２７
を設けることも好ましい。

【００６８】このように構成することにより、塗布装置
を全体として、コンパクトにすることができる。例え
ば、１個の液滴吐出ヘッドを用意して、それに３つの液
状物に対応したノズル列を３列設けることにより、３個
の液滴吐出ヘッドを用意した場合と比較して、液滴吐出
ヘッドの占有面積が小さくなるばかりか、液滴吐出ヘッ
ドに対応した駆動装置等の占有面積も小さくすることが
できる。

【００６９】また、液滴吐出ヘッドを１個用意し、それ
に複数の液状物に対応したノズル列を設けた場合、後述
するように、容易に複数の液状物の吐出幅を実質的に等
しくすることができる。そのため、複数の液状物に対応
した吐出開始部の位置をそれぞれ重ならないようにずら
すだけで、液状物の吐出終了部の位置についても容易に
ずらすことができる。図７（ａ）〜（ｄ）において、Ｌ
１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ６およびＬ７の直線を傾けて
表示してあるのは、このことを意味している。

【００７０】□ 吐出幅 第１の実施形態において、図３または図７（ａ）に示す
ように、複数の液状物に対応したノズル列における吐出
幅を、それぞれ実質的に等しくすることが好ましい。

【００７１】例えば、図３に示すように、第１の液状物
用のノズル列における吐出幅をｔ１（ｍｍ）としたとき
に、第２の液状物用のノズル列および第３の液状物用の
ノズル列における吐出幅をそれぞれｔ１（ｍｍ）とする
ものである。

【００７２】このように構成することにより、複数の液
状物に対応した吐出開始部の位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）
をそれぞれ重ならないようにずらすだけで、液状物の吐
出終了部の位置（Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６）についても、対応
してずらすことができる。

【００７３】したがって、吐出開始部および吐出終了部
において、繰り返して液状物が多く塗布されることがな
くなり、平面方向における複数の液状物間の塗布量のば
らつきが小さくなる。よって、得られた塗布物におい
て、均一な電気光学的特性等を得ることができる。

【００７４】一方、第１の実施形態において、図４〜図
６または図７（ｂ）〜（ｄ）に示すように、複数の液状
物に対応したノズル列における吐出幅をそれぞれ異なら
せることも好ましい。

【００７５】例えば、図５に示すように、第１の液状物
用のノズル列における吐出幅をｔ（ｍｍ）としたとき
に、第２の液状物用のノズル列における吐出幅を１．２
×ｔ（ｍｍ）とし、第３の液状物用のノズル列における
吐出幅を１．４×ｔ（ｍｍ）とするものである。

【００７６】このように構成することにより、複数の液
状物に対応した吐出開始部の位置（Ｐ７）を一致させた
としても、液状物の吐出終了部の位置（Ｐ８、Ｐ９、Ｐ
１０）をノズル列における吐出幅に対応させてそれぞれ
ずらすことができる。したがって、吐出終了部におい
て、繰り返し液状物が多く塗布されることがなくなり、
平面方向における液状物の塗布量のばらつきが小さくな
る。そのため、隣接する走査領域の境界において色むら
が観察されるのを有効に防止することができ、結果とし
て、均一な電気光学的特性を得ることができる。

【００７７】□ ノズル列の端部位置 第１の実施形態において、複数の液状物に対応したノズ
ル列の両端部あるいはいずれか一方の位置を異ならせる
ことは、後述する吐出開始部および吐出終了部の位置を
異ならせる一手段であるが、例えば、図３〜図７に示す
ように、異ならせることが好ましい。

【００７８】このように構成すると、ノズル列における
すべてのノズル孔を利用して、複数の液状物の吐出開始
部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位
置を異ならしめることができる。

【００７９】なお、図３および図４は、複数の液滴吐出
ヘッドにおいて、ノズル列の両端部の位置をそれぞれ異
ならせた例であって、図５および図６は、複数の液滴吐
出ヘッドにおいて、ノズル列の片端部の位置をそれぞれ
異ならせた例であって、図７は、一つの液滴吐出ヘッド
において、ノズル列の両端部の位置をそれぞれ異ならせ
た例である。

【００８０】（４）吐出開始部および吐出終了部 第１の実施形態において、図３〜図７に示すように、複
数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、ある
いはいずれか一方の位置を異ならしめることを特徴とし
ている。例えば、図３の場合、複数の液滴吐出ヘッドの
間で、吐出開始部としてのＰ１、Ｐ２、Ｐ３の位置を異
ならせているとともに、吐出開始部としてのＰ４、Ｐ
５、Ｐ６の位置についても異ならせている。

【００８１】このように構成する理由は、逆に、複数の
液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置が同一であ
る場合、上述したように材料吐出特性（Ｑ特性）に起因
して、複数の液状物、例えば、ＲＧＢのカラーフィルタ
用材料が、吐出開始部および吐出終了部において、繰り
返して多く塗布されるためである。したがって、吐出開
始部および吐出終了部の位置が同一である場合、平面方
向における位置の相違による塗布量のばらつきが大きく
なって、隣接する走査領域の境界において色むらが観察
されたり、平面方向において、光透過特性等が不均一に
なったりするためである。

【００８２】また、複数の液状物の吐出開始部および吐
出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異なら
しめる場合、例えば、そのずれの大きさを、塗布する液
状物の数で吐出幅を割った値とすることが好ましい。

【００８３】例えば、３種類の液状物、例えば、ＲＧＢ
画素に対応したカラーフィルタ用材料を用意し、吐出幅
をそれぞれ３ｔ（ｍｍ）とする場合、吐出幅（３ｔ）を
塗布する液状物の数（３個）で割って、ずれの大きさを
ｔ（ｍｍ）とすることが好ましい。このように実施する
と、複数の液状物における吐出開始部および吐出終了部
が、塗布物においてそれぞれ均等配置することになり、
平面方向における塗布量のばらつきがさらに少なくな
る。

【００８４】また、複数の液状物の吐出開始部および吐
出終了部におけるずれの大きさを、具体的に、０．１〜
５０ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。この理由
は、ずれの大きさが０．１ｍｍ未満となると、隣接する
走査領域の境界において色むらが観察される場合がある
ためであり、一方、５０ｍｍを超えると、いずれかの液
状物が塗布されない非塗布部の面積が大きくなる場合が
あるためである。

【００８５】したがって、複数の液状物の吐出開始部お
よび吐出終了部におけるずれの大きさを、０．２〜３０
ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましく、０．３〜
１５ｍｍの範囲内の値とすることがさらに好ましい。

【００８６】なお、第１の実施形態においてはもちろん
のこと、後述する他の実施形態においても、複数の液状
物における吐出開始部の位置は、複数の液状物の吐出を
それぞれ開始した時点で実質的に印刷塗布された塗布物
の印刷位置（始点）を意味している。また、液状物の塗
布に際して、ノズル列におけるすべてのノズル孔を利用
したような場合には、吐出開始部の位置は、ノズル列の
端部の位置と実質的に一致することになる。

【００８７】同様に、複数の液状物における吐出終了部
の位置は、複数の液状物の吐出をそれぞれ終了した時点
で実質的に印刷塗布された塗布物の印刷位置（終点）を
意味している。また、液状物の塗布に際して、ノズル列
におけるすべてのノズル孔を利用したような場合には、
吐出終了部の位置は、ノズル列の端部の位置と実質的に
一致することになる。

【００８８】また、図３〜図７に示すように、液滴吐出
ヘッドの縁部からノズル列の位置まで、通常、わずかな
距離が設けてあるが、そのような場合には、吐出開始部
の位置および吐出終了部の位置を、それぞれ液滴吐出ヘ
ッドの両端の縁部とすることができる。

【００８９】また、第１の実施形態において、複数の液
状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはい
ずれか一方の位置を異ならしめる構成例として、液滴吐
出ヘッドの数および液状物の吐出幅の関係から、以下の
表１に示す態様が挙げられる。また、構成例の容易理解
のために、構成例と対応した対照図面番号も併せて示
す。

【００９０】

【表１】

【００９１】２．複数の液状物 （１）種類 複数の液状物の種類は特に制限されるものではないが、
例えば、顔料インク、染料インク、カラーフィルタ用材
料（フィルタエレメント材料と称する場合がある。）、
エレクトロルミネッセンス材料（正孔輸送性材料や電子
輸送性材料等を含む。）、プラズマ発光材料等が挙げら
れる。

【００９２】また、複数の液状物の種類を適宜選択する
とともに、溶剤量等を決定し、例えば、溶液粘度を１〜
３０ｍＰａ・ｓ（測定温度：２５°、以下同様であ
る。）の範囲内の値とすることが好ましい。

【００９３】この理由は、かかる溶液粘度が１ｍＰａ・
ｓ未満の値となると、塗布物における厚膜化が実質的に
困難となる場合があるためであり、一方、かかる溶液粘
度が３０ｍＰａ・ｓを超えると、ノズル部分で目つまり
したり、均一な厚さを有する塗布物を形成したりするこ
とが困難となる場合があるためである。したがって、塗
布物における厚膜化と、塗布物における厚さの均一性等
のバランスがより良好となることから、複数の液状物の
種類等を適宜選択して、溶液粘度を２〜１０ｍＰａ・ｓ
の範囲内の値とすることがより好ましく、３〜８ｍＰａ
・ｓの範囲内の値とすることがさらに好ましい。

【００９４】なお、複数の液状物における溶液粘度を、
塗布物の用途に応じて、適宜選択することも好ましい。
例えば、カラーフィルタを作成する場合には、色純度の
関係で、厚膜化が望まれることから、溶液粘度を６〜８
ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがより好ましい。

【００９５】（２）塗布物 また、複数の液状物から構成される塗布物の種類として
の制限は特になく、例えば、後述するようなカラーフィ
ルタ用材料（フィルタエレメント材料と称する場合があ
る。）からなるカラーフィルタ、エレクトロルミネッセ
ンス装置における発光媒体、プラズマディスプレイパネ
ルにおける発光媒体（蛍光体）等が挙げられる。

【００９６】３．基板 液状物を塗布する基板についても特に制限されるもので
はないが、例えば、ポリエステルフィルム、ポリサルホ
ンフィルム、ポリプロピレンフィルム、酢酸セルロース
フィルム、ＴＡＣフィルム、ガラス基板、セラミック基
板等を用いることが好ましい。

【００９７】また、その基板の厚さについても特に制限
されるものでないが、例えば、１０μｍ〜５ｍｍの範囲
内の値とすることが好ましい。

【００９８】［第２の実施形態］次に、図８〜図１５ま
でを参照して、本発明に係る第２の実施形態について説
明する。この実施形態は、複数の液滴吐出ヘッドを所定
の態様で配列した状態で一つの液滴吐出ユニットとして
用いる点に特徴がある。通常、液滴の吐出によって形成
されるべき膜構造（平面パターン）の形状、配列パター
ン、大きさ（面積）などは、製造対象（基板など）の用
途、種類、形式などによって様々であるが、このような
様々な寸法構造を形成するために、個々の製造対象に応
じてそれぞれに対応した液滴吐出ヘッドを用意すること
は、製造コストの上昇をもたらし、また、製造効率を悪
化させる原因ともなる。そこで、本実施形態では、複数
の液滴吐出ヘッドを所定の態様で配列して一体に用いる
ことによって、製造対象の形状、配列パターン、大きさ
などに応じたノズル配列を構成するようにしている。

【００９９】（構成例１）図８に示す構成例１では、サ
ブキャリッジ２５に複数の液滴吐出ヘッド２２を搭載し
てある。液滴吐出ヘッド２２は、基本的に上記第１の実
施形態にて説明した液滴吐出ヘッドと同様に構成されて
いる。各液滴吐出ヘッド２２には上記と同様に複数のノ
ズル２７が設けられ、これらのノズル２７が所定方向に
配列されてノズル列２８を構成する。図示例では、液滴
吐出ヘッド２２にそれぞれ２列のノズル列２８が形成さ
れた例を示してある。ここで、一つの液滴吐出ノズル２
２に設けられるノズル列２８の数は、図示例のように２
列である場合に限らず、１列であってもよく、３列以上
であってもよい。

【０１００】この複数の液滴吐出ヘッド２２は、それぞ
れサブキャリッジ２５に固定された状態で、上記第１の
実施形態の図３〜図６までに示される一つの液滴吐出ヘ
ッドと同様に用いられる。また、その使用態様において
も、走査方向（主走査方向）と、この走査方向に直交す
る方向（副走査方向）に対する個々の液滴吐出ヘッド２
２の姿勢は、上記第１の実施形態と同様に設定された状
態で用いられる。また、製造対象に対して液滴吐出ヘッ
ド２２にそれぞれ形成された複数のノズル２７の形成ピ
ッチ（ノズル列２８のノズル周期）が適合しない場合に
は、ノズル列２８の配列方向を走査方向と直交する方向
に対して所定の傾斜角度（通常は０度を越え９０度未満
の角度、典型的には６０度以下）で傾斜させた姿勢で用
いることもできる。

【０１０１】複数の液滴吐出ヘッド２２は走査方向（図
示上下方向）と直交する方向（図示左右方向）に配列さ
れている。また、走査方向に見て異なる位置に配置され
る。より具体的には、走査方向に配列された液滴吐出ヘ
ッド２２の列が走査方向に見て２列に配置されている。
また、走査方向と直交する方向に見た場合には、走査方
向の前後に交互に液滴吐出ヘッド２２が配置されてい
る。そして、複数の液滴吐出ヘッド２２に設けられたノ
ズル２７が、全体としてサブキャリッジ２５上において
走査方向と直交する方向に等間隔に配置されるように構
成されている。

【０１０２】一般に、液滴吐出ヘッド２２の端部近傍に
は構造上の制約からノズル２７を設けることができず、
仮に設けることができたとしても吐出特性が大幅に悪化
する。したがって、液滴吐出ヘッド２２の端部近傍に
は、ノズル２７の形成されていない領域が存在すること
になるため、複数の液滴吐出ヘッド２２を直線的に配列
させると、液滴吐出ヘッド２２の端部が隣接する部分に
おいてノズル２７が存在しない領域ができてしまう。そ
こで、上記のように複数の液滴吐出ヘッド２２を互い違
いに配列させることにより、複数の液滴吐出ヘッド２２
に亘ってノズル２７が走査方向と直交する方向に等間隔
に配列するように構成している。

【０１０３】本実施形態においては、吐出幅ｔの液滴吐
出ヘッド２２を配列させることによって、全体として
は、複数の液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔを全て積算し
た吐出幅２５ｔが得られる。図示例においては、複数の
液滴吐出ヘッド２２のノズル列２８の吐出幅ｔはすべて
同一となっているが、相互に異なる吐出幅ｔを備えてい
てもかまわない。また、複数の液滴吐出ヘッド２２がそ
れぞれどのような構成であっても、複数の液滴吐出ヘッ
ド２２に亘ってノズル２７が連続的に配列されるように
構成されていればよい。

【０１０４】なお、上記のように複数の液滴吐出ユニッ
ト２２を取り付けたサブキャリッジ２５は、たとえば、
後述する第３実施形態のヘッドユニット２６に組み込ま
れ、製造対象（基板）に対するヘッドユニット２６の相
対的駆動によって走査方向（主走査方向Ｘ）及びこれに
直交する方向（副走査方向Ｙ）に移動される。

【０１０５】図９は、上記のように配列された複数の液
滴吐出ヘッド２２の組を複数組設けたときの、液滴吐出
ヘッド２２の使用時における各組の相対的な位置関係を
図示しない製造対象を基準として示すものである。ここ
で、図８に示す液滴吐出ヘッド２２の組を、液滴吐出ユ
ニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃと呼ぶことにする。これ
らの複数の液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ
は、相互にノズル列２８の配列方向を同一とする姿勢で
用いられる。

【０１０６】図示例では、液滴吐出ユニット２５Ａ，２
５Ｂ，２５Ｃは全て同一形状の液滴吐出ヘッド２２を含
み、かつ、その配列態様も同一となっている。また、そ
れぞれの液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃは、
全体として個々の液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔ１、ｔ
２、ｔ３を加算した吐出幅２５ｔ１，２５ｔ２，２５ｔ
３を備えている。ここで、図示例では、個々の吐出幅ｔ
１〜ｔ３が相互に同一で、したがって、吐出幅２５ｔ１
〜２５ｔ３もまた相互に同一となるように構成されてい
る。そして、このように構成された複数の液滴吐出ユニ
ット２５Ａ、２５Ｂ，２５Ｃは、走査方向と直交する方
向に見たときに、その吐出開始部の位置Ｐ２１〜Ｐ２３
が相互に異なるように配置される。また、本実施形態で
は、複数の液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ
は、吐出終了部の位置Ｐ２４〜Ｐ２６についても相互に
異なるように配置されている。

【０１０７】上記のように構成された液滴吐出ユニット
２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃをそれぞれ図９に示すように吐
出開始部の位置Ｐ２１〜Ｐ２３と、吐出終了部の位置Ｐ
２４〜Ｐ２６とが異なるように用いることによって、上
記第１の実施形態と同様の効果が得られる他に、一度の
走査によってより多数の液滴を吐出させることが可能に
なり、生産性を向上させることができる。また、製造対
象に合わせて既存の液滴吐出ヘッド２２を適宜に組み合
わせて用いることが可能になることから、製造対象に対
する対応性を高めることもできる。

【０１０８】なお、上記の液滴吐出ユニット２５Ａ，２
５Ｂ、２５Ｃは、共通の製造対象（基板）に対してそれ
ぞれ個別に適用することもできる。たとえば、液滴吐出
ユニット２５Ａを備えた液滴吐出装置を用いて上記製造
対象の処理を行った後に、当該製造対象を、液滴吐出ユ
ニット２５Ｂを備えた液滴吐出装置にセットして処理を
行うといった具合である。また、これらの液滴吐出ユニ
ット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃを同時に上記製造対象に対
して適用することもできる。たとえば、複数の液滴吐出
ユニットを全て一体に装着して、同時並行して各ユニッ
トから液滴を吐出させるといった具合である。

【０１０９】また、上記の液滴吐出ユニット２５Ａ，２
５Ｂ，２５Ｃは、共に等しい吐出幅２５ｔ１〜２５ｔ３
を備えているが、これらの吐出幅２５ｔ１〜２５ｔ３を
相互に異なる幅となるように構成してもよい。この場合
には、複数の液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ
の吐出幅２５ｔ１〜２５ｔ３を、上記第１の実施形態の
図４〜図６に示す複数の液滴吐出ヘッド２２の吐出幅と
同様の相対的位置関係となるように配置してもよい。す
なわち、吐出開始部の位置と吐出終了部の位置の双方が
異なる位置関係（図４に相当）、吐出開始部の位置が同
一であるが吐出終了部の位置が異なる位置関係（図５に
相当）、吐出開始部の位置が異なるが吐出終了部の位置
が同一である位置関係（図６に相当）である。

【０１１０】（構成例２）次に、図１０乃至図１２を参
照して、構成例２について説明する。この構成例２で
は、図１０に示すように、複数の液滴吐出ヘッド２２を
走査方向と直交する方向（副走査方向Ｙ）に一列に配置
してある。そして、配列された各液滴吐出ヘッド２２の
両端のノズル間には間隔が設けられている。すなわち、
この構成例２では、構成例１とは異なり、ノズル２７が
連続した一体の吐出幅を有しておらず、個々の液滴吐出
ヘッド２２に設けられたノズル列２８による吐出幅ｔが
間隔ｓを隔てて配置されている。この間隔ｓは、図示例
のように液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔと同じであるこ
とが好ましい。なお、複数の液滴吐出ヘッド２２を共通
のサブキャリッジ２５に搭載している点は上記構成例１
と同様である。

【０１１１】図１１は、上記図１０に示すようにそれぞ
れ構成された複数の液滴吐出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，
２５Ｆ間の相対的位置関係を示すものである。この構成
例２においても、上記構成例１と同様に、複数の液滴吐
出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，２５Ｆは、吐出幅ｔ１、ｔ
２、ｔ３及び間隔ｓ１、ｓ２、ｓ３を有する。ここで、
図示例のように、液滴吐出間において吐出幅ｔ１〜ｔ３
を相互に同一とし、間隔ｓ１〜ｓ３を相互に同一として
もよい。また、図示例では、走査方向と直交する方向に
配列された吐出幅と間隔の数もまた各ユニット間におい
て相互に同一である。また、吐出開始部の位置Ｐ２１〜
Ｐ２３は、複数の液滴吐出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，２
５Ｆについて相互に異なった位置に配置されている。さ
らに、複数の液滴吐出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，２５Ｆ
の吐出終了位置Ｐ２４〜Ｐ２６についても相互に異なっ
た位置になっている。

【０１１２】上記のように各液滴吐出ユニット２５Ｄ，
２５Ｅ，２５Ｆにおいては、それぞれ、液滴吐出ヘッド
２２の間に間隔が設けられているため、図１２に示すよ
うに、製造対象の領域１１（後述するカラーフィルタ形
成領域に相当する。）を走査方向に走査する走査ステッ
プ（図中の下向きの矢印で示す）ＳＴ１において、上記
間隔ｓに相当する部分ｋが未処理のまま残されることな
る。このため、上記の走査ステップＳＴ１とは別に、液
滴吐出ユニットを走査方向と直交する方向にδＹ＝ｔ＝
ｓだけ移動させた状態で、走査ステップＳＴ２を行う。
ここで、図示例では、走査ステップＳＴ１と走査ステッ
プＳＴ２における走査の向きが相互に逆向きとされてい
る。これによって、たとえば、往路において走査ステッ
プＳＴ１を行った後に、復路において逆向きの走査ステ
ップＳＴ２を行うことができる。ただし、走査ステップ
ＳＴ２を走査ステップＳＴ１と同一の向きで行ってもか
まわない。また、後述する図１７に示す方法（走査ステ
ップを副走査方向Ｙに少しずつずらして繰り返す方法）
を行う場合には、必要な走査ステップの数が増加するも
のの、そのままの方法で処理を行うことが可能である。

【０１１３】（構成例３）次に、図１３を参照して構成
例３について説明する。この構成例３においては、図７
に示す液滴吐出ヘッドと同様の構造を有する液滴吐出ヘ
ッド２２を用いている。すなわち、この液滴吐出ヘッド
２２は、走査方向に配置された複数のノズル列２８Ａ，
２８Ｂ，２８Ｃを有し、これらのノズル列２８Ａ，２８
Ｂ，２８Ｃが走査方向と直交する方向にずれた位置に配
置されている。図示例では、図７（ａ）に示す構造と同
様に、ノズル列２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃが同一の吐出幅
ｔａ，ｔｂ，ｔｃを有し、相互に吐出開始部と吐出終了
部の双方が異なるように配置されている。もっとも、各
ノズル列の吐出幅ｔａ，ｔｂ，ｔｃが相互に異なり、各
ノズル列が図７（ｂ）〜（ｄ）に示すような位置関係で
形成されていてもよい。すなわち、ノズル列の吐出幅が
相互に異なるとともに、吐出開始部の位置と吐出終了部
の位置が共に異なる構成（図７（ｂ）に相当）、吐出開
始部の位置は同じであるが吐出終了部の位置が異なる構
成（図７（ｃ）に相当）、吐出開始部の位置は異なる
が、吐出終了部の位置が異なる構成（図７（ｄ）に相
当）である。なお、この構成例３においても、各液滴吐
出ヘッド２２は共通のサブキャリッジ２５に搭載されて
いる。

【０１１４】液滴吐出ヘッド２２は、構成例１と同様
に、走査方向と直交する方向に向けて走査方向に互い違
いにずれるように、配列されている。このとき、各液滴
吐出ヘッド２２のノズル列２８Ａ同士が相互に隙間なく
走査方向と直交する方向に連続し、ノズル列２８Ｂ同士
が隙間なく同方向に連続し、ノズル列２８Ｃ同士が隙間
なく同方向に連続するように、複数の液滴吐出ヘッド２
２が相互に配置されている。このような構成により、こ
の構成例では、一つの液滴吐出ユニットによって、吐出
開始部及び吐出終了部の位置が共に異なる吐出幅２５ｔ
ａ，２５ｔｂ，２５ｔｃが設けられていることになる。
ここで、吐出開始部と吐出終了部のいずれか一方の位置
が相互に異なり、他方が同一であってもよい。

【０１１５】この構成例３では、各液滴吐出ヘッド２２
に、吐出開始部又は吐出終了部の位置が異なる複数のノ
ズル列２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃが設けられているため、
この一組の液滴吐出ヘッドを搭載した１ユニットを走査
させるだけで、上記構成例と同様の効果を得ることがで
きる。なお、この構成例３の液滴吐出ユニット２２を、
上記構成例２に示す一つの液滴吐出ユニットのように、
相互に間隔をもって一列に配列させてもよい。この場合
でも、１ユニットだけで上記構成例と同様の効果を奏す
ることができる。

【０１１６】（構成例４）次に、図１４及び図１５を参
照して、構成例４について説明する。この構成例４で
は、複数の液滴吐出ユニット２２′を所定の位置関係で
配置する点においては、上記構成例１〜３と同様である
が、これらの複数の液滴吐出ユニット２２′間におい
て、それらの吐出開始部の位置又は吐出終了部の位置が
相互に異なるように構成されている。

【０１１７】すなわち、図１４に示す例では、複数の液
滴吐出ヘッド２２′の吐出幅はすべて同一であるが、相
互にノズル２７の配列方向に位置をずらして配置されて
いて、吐出開始部の位置及び吐出終了部の位置の双方が
各液滴吐出ヘッド２２′間において相互に異なる。ま
た、図１５に示す例では、複数の液滴吐出ヘッド２２
Ａ′、２２Ｂ′、２２Ｃ′に設けられたノズル列２８
Ａ′、２８Ｂ′、２８Ｃ′が相互に異なる吐出幅を有
し、吐出開始部の位置は全て同一であるが、吐出終了部
の位置が相互に異なるように配置されている。この場
合、吐出開始部の位置は異なるが、吐出終了部の位置が
同一であるように配置してもよく、或いは、吐出開始部
と吐出終了部の位置の双方が異なるように配置してもよ
い。この構成例４においても、複数の液滴吐出ヘッド間
において吐出開始部の位置又は吐出終了部の位置が相互
に異なるため、上記構成例と同様の効果を得ることがで
きる。

【０１１８】以上説明したように、本発明は、複数の液
滴吐出ノズルを有する複数のノズル列によって走査方向
に相対的に走査して液滴を吐出する際に、各ノズル列の
吐出開始部又は吐出終了部の位置を相互に異ならしめる
ものである。例えば、上記の第１の実施形態ように、そ
れぞれがノズル列を備えた複数の液滴吐出ヘッドの端部
位置を相互に異ならしめたり、一つの液滴吐出ヘッド内
に設けられた複数のノズル列の端部位置を相互に異なら
しめたりする。また、上記の構成例のように、複数の液
滴吐出ヘッドを所定の位置関係で相対的に固定してなる
一体の液滴吐出ユニットを構成する場合には、複数の液
滴吐出ユニットを用いて、これらの複数の液滴吐出ユニ
ット間の吐出開始部若しくは吐出終了部の位置を相互に
異ならしめたり、一つの液滴吐出ユニット内の複数の液
滴吐出ヘッドの吐出開始部若しくは吐出終了部の位置を
異ならしめたり、或いは、一つの液滴吐出ユニット内の
複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれに複数のノズル列を設
け、これら複数のノズル列の吐出開始部若しくは吐出終
了部の位置を相互に異ならしめたりすることができる。

【０１１９】［第３の実施形態］第３の実施形態は、図
１６にその概略を示すような液滴吐出ヘッドを有する液
状物の吐出装置であって、当該液滴吐出ヘッドまたは基
板を縦方向に走査しながら、複数の液状物をそれぞれ順
次に吐出させ、複数の液状物の吐出開始部および吐出終
了部、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめるため
のノズル列を、液滴吐出ヘッドに設けることを特徴とし
た液状物の吐出装置である。

【０１２０】以下、第１の実施形態と同様の内容の説明
は適宜省略するものとし、第３の実施形態における液状
物の吐出装置として異なる点を中心に説明する。

【０１２１】１．吐出機構方式 第３の実施形態においても、第１の実施形態と同様の方
式の内容とすることができるため、ここでの説明は省略
する。

【０１２２】２．液状物 第３の実施形態においても、第１の実施形態と同様の液
状物の内容とすることができるため、ここでの説明は省
略する。

【０１２３】３．吐出装置 第３の実施形態における吐出装置１６は、図１６に示す
ように、液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッドユニット２
６と、ヘッド２２の位置を制御するためのヘッド位置制
御装置１７と、マザー基板の位置を制御するための基板
位置制御装置１８と、ヘッド２２をマザー基板に対して
走査方向（主操作方向Ｘ）に主走査移動させるための主
走査駆動装置１９と、ヘッド２２をマザー基板に対して
走査方向と交差する方向（副走査方向Ｙ）に副走査移動
させるための副走査駆動装置２１と、マザー基板を、外
部から液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ供給する
ための基板供給装置（図示せず。）と、液滴吐出装置１
６の全般の制御を司るコントロール装置（図示せず。）
とをそれぞれ有することが好ましい。

【０１２４】以下、主としてカラーフィルタを製造する
場合を想定して、吐出装置１６の各構造や作用等を説明
する。

【０１２５】（１）液滴吐出ヘッド □ 構成 第３の実施形態において、ヘッド２２は、図１（ａ）お
よび（ｂ）に示すような内部構造を有することが好まし
い。

【０１２６】具体的に、ヘッド２２は、例えばステンレ
ス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３
１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを
有することが好ましい。そして、ノズルプレート２９と
振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の材
料室３３と液溜り３４とが形成されるとともに、複数の
材料室３３と液溜り３４との間は、通路３８を介して互
いに連通することになる。

【０１２７】また、振動板３１の適所には、材料供給孔
３６が形成され、この材料供給孔３６に材料供給装置３
７が接続されることになる。この材料供給装置３７は、
フィルタエレメント材料（Ｍ）の一つ、例えば、ＲＧＢ
画素のうちのＲ画素に対応したフィルタエレメント材料
（Ｍ）や、ＹＭＣ画素のうちのＹ画素に対応したフィル
タエレメント材料（Ｍ）を液状物として、材料供給孔３
６へ供給する。そして、供給されたフィルタエレメント
材料は、液溜り３４に充満され、さらに通路３８を通っ
て材料室３３に充満されることになる。

【０１２８】また、ノズルプレート２９には、材料室３
３からフィルタエレメント材料（Ｍ）をジェット状に噴
射するためのノズル列２７が設けられている。そして、
振動板３１における材料室３３を形成した面の裏面に
は、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９が取り
付けられている。この材料加圧体３９は、図１（ｂ）に
示すように、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対
の電極４２ａおよび４２ｂを有することが好ましい。

【０１２９】そして、圧電素子４１は、電極４２ａおよ
び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出する
ように撓み変形し、これにより材料室３３の容積を増大
させる機能を有している。したがって、増大した容積分
に相当するフィルタエレメント材料（Ｍ）が、液溜り３
４から通路３８を通って材料室３３へ流入することが可
能となる。

【０１３０】次いで、圧電素子４１への通電を解除する
と、この圧電素子４１と振動板３１と共に元の形状へ戻
ることになる。これにより、材料室３３も元の容積に戻
るため、材料室３３の内部にあるフィルタエレメント材
料（Ｍ）の圧力が上昇し、ノズル列２７からマザー基板
１２に対して、フィルタエレメント材料（Ｍ）が液滴８
となって噴出することになる。

【０１３１】□ 液滴吐出ヘッドと液状物のノズル列と
の関係 また、第３の実施形態において、図７に示すように、複
数の液状物に対応したノズル列２７が、一つの液滴吐出
ヘッド２２に適宜配置してあることが好ましい。

【０１３２】例えば、第１の液状物用のノズル列、第２
の液状物用のノズル列、および第３の液状物用のノズル
列を設ける場合、これら３つの液状物用のノズル列を、
一つの液滴吐出ヘッド内に、それぞれに対応させて三列
に配置するか、横方向に第１〜第３のノズル列を並べて
配置するか、あるいは、これらの組み合わせとするもの
である。

【０１３３】このように構成すると、液滴吐出ヘッドお
よびその駆動系装置を一つ用意するだけで、複数の液状
物に対応した吐出開始部または吐出終了部の位置がそれ
ぞれ重ならない塗布物を得ることができる。したがっ
て、基板における複数の液状物の吐出開始部または吐出
終了部の位置が重ならない、あるいは、これらの部位の
重なりが少ない塗布物が得られる吐出装置であって、全
体として簡易構造の吐出装置を提供することができる。

【０１３４】また、このように構成すると、複数の液状
物を同時に吐出する場合であっても、液滴吐出ヘッドが
一つであるため、液滴吐出ヘッド同士が、動作中に接触
したり、衝突したりするようなおそれがなくなる。

【０１３５】なお、一つの液滴吐出ヘッドに設けられた
複数のノズル列は、実質的に等間隔で配置してあること
が好ましい。このように構成することにより、規則的な
所定パターンを有する塗布物を、精度良く形成すること
ができる。

【０１３６】また、液滴吐出ヘッドを概ね長手矩形状に
するとともに、その長片の縁部に沿って、複数のノズル
列を配設してあることが好ましい。このように構成する
ことにより、液滴吐出ヘッドの小型化が図られるととも
に、規則的な所定パターンを有する塗布物を、精度良く
形成することができる。

【０１３７】さらに、一つの液滴吐出ヘッドに設けられ
た、複数の液状物に対応した複数のノズル列の形状およ
び数に関して、それぞれ実質的に同一および同数である
ことが好ましい。このように構成することにより、液滴
吐出ヘッド内での複数のノズル列の配置が容易になると
ともに、複数の液状物の吐出量がそれぞれ均一化され
て、規則的な所定パターンを有する塗布物を、精度良く
形成することができる。

【０１３８】一方、第３の実施形態において、図３〜図
６に示すように、複数の液状物に対応したノズル列２７
を、複数の液滴吐出ヘッド２２にそれぞれ対応させて設
けることも好ましい。例えば、第１の液状物用のノズル
列、第２の液状物用のノズル列、および第３の液状物用
のノズル列を設ける場合、これら３つの液状物用のノズ
ル列に対応させて第１の液滴吐出ヘッド、第２の液滴吐
出ヘッド、および第３の液滴吐出ヘッドを設けるもので
ある。

【０１３９】このように構成すると、液状物の数に対応
させて、寸法幅が実質的に等しい液滴吐出ヘッドを複数
個用意するだけで、基板における複数の液状物の吐出開
始部または吐出終了部の位置がそれぞれ重ならない塗布
物が得られる吐出装置を提供することができる。

【０１４０】また、液滴吐出ヘッドが複数個あることか
ら、液状物の種類に対応して、個別に動作させることが
できるので、複数の液状物の吐出開始部または吐出終了
部の位置の調整がさらに容易となる。

【０１４１】なお、複数の液状物に対応したノズル列
を、複数の液滴吐出ヘッドにそれぞれ対応させて設ける
場合であっても、一つの液滴吐出ヘッドに設ける場合と
同様に、複数のノズル列を、実質的に等間隔で配置して
あることが好ましく、また、液滴吐出ヘッドを概ね長手
矩形状にするとともに、その長片の縁部に沿って、複数
のノズル列を配設してあることが好ましく、さらに、複
数のノズル列の形状および数に関して、それぞれ実質的
に同一および同数であることが好ましい。

【０１４２】また、図１７に示すように、液滴吐出ヘッ
ド２２を傾けて配列してあることが好ましい。すなわ
ち、液滴吐出ヘッド２２が、移動する方向（主走査方向
Ｘ）と垂直に交わる方向（副走査方向Ｙ）に対して、斜
めに交差する方向に配列してあることが好ましい。具体
的に、図１７に示す傾け角度（θ）を、１〜６０°の範
囲内の値とすることが好ましく、１０〜５０°の範囲内
の値とすることがより好ましく、２０〜４５°の範囲内
の値とすることがさらに好ましい。

【０１４３】このように構成すると、一つの液状物を吐
出する実際の間隔（図１７中、δと表記する。）を、一
つの液状物に対応するノズル列の間隔（図１７中、Ｌ／
３と表記する。）よりも狭くすることができる。したが
って、図１７に示すようなカラーフィルタ等の塗布物に
おいて、より精細な描画パターンを得ることができる。

【０１４４】また、このように構成することにより、複
数の液滴吐出ヘッドを設けた場合であっても、隣接する
液滴吐出ヘッドの間での干渉を防止することができる。
したがって、液滴吐出ヘッドの小型化を図ることができ
る。

【０１４５】さらに、このように構成することにより、
基板の大きさが多少変化した場合であっても、液滴吐出
ヘッドの交差する角度を適宜変えることによって、基板
全体を塗布することができる。すなわち、基板の大きさ
が比較的大きい場合には、傾け角度θを、比較的小さく
することにより、複数の液状物を、基板全体に塗布する
ことが可能となる。一方、基板の大きさが比較的小さい
場合であっても、傾け角度θを、比較的大きくすること
により、液滴吐出ヘッドを交換することなく、複数の液
状物を、基板全体に塗布することが可能となる。

【０１４６】（２）基板位置制御装置および基板供給装
置 □ 基板位置制御装置 また、第３の実施形態において、図１６に示す基板位置
制御装置１８は、マザー基板を載置するためのテーブル
４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転さ
せるためのθモータ５１と、を有することが好ましい。

【０１４７】また、図１６に示す主走査駆動装置１９
は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パル
ス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３
と、を有することが好ましい。このように構成すると、
Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動すると
きに、Ｘガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移
動することが可能となる。

【０１４８】また、図１６に示す副走査駆動装置２１
は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パル
ス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６
と、を有することが好ましい。このように構成すること
により、Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作
動する際に、Ｙガイドレール５４に沿って副走査方向Ｙ
へ平行移動することが可能となる。

【０１４９】□ 基板供給装置 また、第３の実施形態において、図示しないが、基板供
給装置を設けるとともに、当該基板供給装置は、マザー
基板を収容する基板収容部と、マザー基板を搬送するロ
ボットと、を有することが好ましい。

【０１５０】ここで、ロボットは、床、地面などといっ
た設置面に置かれる基台と、基台に対して昇降移動する
昇降軸と、昇降軸を中心として回転する第１アームと、
第１アームに対して回転する第２アームと、第２アーム
の先端下面に設けられた吸着パッドと、を有することが
好ましい。

【０１５１】（３）制御部 また、第３の実施形態において、制御部としてのコント
ロール装置は、プロセッサを収容したコンピュータ本体
部と、入力装置としてのキーボードと、表示装置として
のＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）ディスプレイと、を有す
ることが好ましい。

【０１５２】ここで、プロセッサは、図１８に示すよう
に、演算処理を行うためのＣＰＵ（Central Processing
Unit）６９と、各種情報を記憶するメモリ、すなわち
情報記憶媒体７１と、を有することが好ましい。そし
て、かかるＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモ
リ内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー基
板における所定位置にインク、すなわちフィルタエレメ
ント材料１３を吐出するための制御を行うものである。

【０１５３】また、図１６に示すヘッド位置制御装置１
７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、副走
査駆動装置２１、およびヘッド２２内の圧電素子４１を
駆動するためのヘッド駆動回路の各装置は、図１８に示
すように、入出力インターフェース７３およびバス７４
を介して、ＣＰＵ６９に接続されていることが好まし
い。

【０１５４】さらに、制御が容易となることから、基板
供給装置２３、入力装置６７、ＣＲＴディスプレイ６
８、電子天秤７８、クリーニング装置７７およびキャッ
ピング装置７６の各機器についても、入出力インターフ
ェース７３およびバス７４を介して、ＣＰＵ６９に接続
されていることが好ましい。

【０１５５】そして、このようなＣＰＵ６９は、具体的
な機能実現部として、図１８に示すように、クリーニン
グ処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部
と、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演
算部と、電子天秤を用いた重量測定を実現するための演
算を行う重量測定演算部と、液滴吐出によって材料を描
画するための演算を行う描画演算部とを有することが好
ましい。

【０１５６】すなわち、描画演算部は、ヘッド２２を描
画のための初期位置へセットするための描画開始位置演
算部と、ヘッド２２を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査
移動させるための制御を演算する主走査制御演算部と、
マザー基板を副走査方向Ｙへ所定の副走査量だけずらす
ための制御を演算する副走査制御演算部と、ヘッド２２
内の複数のノズル列２７のうちのいずれを作動させてイ
ンクすなわちフィルタエレメント材料を吐出するか否か
を制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部と、
を有することが好ましい。

【０１５７】（４）他の構成装置 また、第３の実施形態において、主走査駆動装置によっ
て駆動されて主走査移動するヘッドの軌跡下であって、
副走査駆動装置の一方の脇位置に、キャッピング装置お
よびクリーニング装置を配設することが好ましい。ま
た、副走査駆動装置の他方の脇位置には、電子天秤を配
設することが好ましい。

【０１５８】ここで、クリーニング装置は、ヘッドを洗
浄するための装置である。また、電子天秤は、ヘッド内
の個々のノズル列から吐出される材料の液滴の重量を、
ノズル毎に測定する機器である。そして、キャッピング
装置は、ヘッドが待機状態にあるときに、ノズル列の乾
燥を防止するための装置である。

【０１５９】また、ヘッドの近傍には、そのヘッドと一
体に移動する関係で、位置合わせを容易にするためのヘ
ッド用カメラが配設してあることが好ましい。また、ベ
ース上に設けた支持装置に支持された基板用カメラが、
マザー基板を撮影できる位置に配設してあることが好ま
しい。

【０１６０】［第４の実施形態］第４の実施形態は、カ
ラーフィルタの製造方法であって、複数のカラーフィル
タ材料をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出さ
せるとともに、当該複数のカラーフィルタ材料の吐出開
始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の
位置を異ならしめることを特徴としている。

【０１６１】以下、第１乃至第３の実施形態と同様の内
容の説明は適宜省略するものとし、第４の実施形態にお
けるカラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタと
して異なる点を中心に説明する。

【０１６２】１．カラーフィルタの製造方法 （１）隔壁の形成 図１９に、カラーフィルタ１の製造方法を工程順に模式
的に示す。そして、第４の実施形態において、まず、マ
ザー基板１２の表面に、透光性を有しない樹脂材料によ
って、矢印Ｂ方向から見て、隔壁６を格子状パターンに
形成する。

【０１６３】この格子状パターンにおける格子穴の部分
７は、フィルタエレメント３が将来的に形成される領
域、すなわちフィルタエレメント形成領域に対応してい
る。したがって、良好な解像度が得られるように、隔壁
６によって形成される個々のフィルタエレメント形成領
域７の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法を、一例とし
て、３０μｍ×１００μｍの大きさとすることが好まし
い。

【０１６４】また、隔壁６は、フィルタエレメント形成
領域７に供給される液状体としてのフィルタエレメント
材料１３の流動を阻止する機能、およびブラックマスク
の機能を併せて有することが好ましい。

【０１６５】したがって、隔壁６を精度良く作成すると
ともに、その機械的強度を高めるために、例えば、フォ
トリソグラフィー法を用いて形成するとともに、必要に
応じてヒータやオーブン等を用いて加熱して、フィルタ
エレメント材料１３を熱硬化等させることが好ましい。

【０１６６】（２）フィルタエレメントの形成 次いで、第４の実施形態においても、ＲＧＢ画素あるい
はＹＭＣ画素等に対応したフィルタエレメント材料をそ
れぞれに対応したノズル列から順次に吐出させるとも
に、これら複数のカラーフィルタエレメント材料の吐出
開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方
の位置を異ならしめるものである。

【０１６７】すなわち、図１９（ｂ）に示すように、Ｒ
ＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素等に対応したフィルタエレ
メント材料１３の液滴８を、吐出開始部および吐出終了
部の位置、あるいはいずれか一方の位置が異なるよう
に、それぞれの液滴８をフィルタエレメント形成領域７
に供給し、各フィルタエレメント形成領域７をフィルタ
エレメント材料１３で埋めることによって、フィルタエ
レメントを形成するものである。

【０１６８】なお、吐出開始部および吐出終了部の位置
を変える好ましい手段としては、液滴吐出ヘッドの数お
よび吐出幅の関係から、第１の実施形態で説明した表１
に示す８種の態様が挙げられる。

【０１６９】次いで、各フィルタエレメント形成領域７
に、所定量のフィルタエレメント材料１３が充填される
と、ヒータによってマザー基板１２を例えば７０°程度
に加熱して、フィルタエレメント材料１３の溶媒を蒸発
させることになる。

【０１７０】この溶媒の蒸発により、図１９（ｃ）に示
すようにフィルタエレメント材料１３の体積が減少し
て、表面が平坦化することになる。一方、体積の減少が
激しい場合には、カラーフィルタ１として十分な膜厚が
得られるまで、フィルタエレメント材料１３の液滴８の
供給とその液滴８の加熱とを繰り返して実行することが
好ましい。例えば、図１９の製造方法の場合、３回繰り
返すことを例示している。

【０１７１】（３）加熱処理および保護膜の形成 次いで、形成したフィルタエレメント３を完全に乾燥さ
せるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行す
ることが好ましい。

【０１７２】その後、さらにスピンコート法、ロールコ
ート法、ディッピング法、またはインクジェット法など
といった公知の手法を用いて、図１９（ｄ）に示すよう
に、保護膜４を形成することが好ましい。この保護膜４
は、フィルタエレメント３などの保護、およびカラーフ
ィルタ１の表面における平坦化のために形成されること
になる。

【０１７３】２．カラーフィルタ （１）構成 第４の実施形態におけるカラーフィルタ１は、ガラス、
プラスチックなどによって形成された方形状の基板２の
表面に、複数のフィルタエレメント３をドットパターン
状、本実施の形態ではドットマトリックス状に形成して
あることが好ましい。

【０１７４】ここで、フィルタエレメント３は、透光性
を有しない樹脂材料を用いて格子状パターンに形成され
た隔壁６によって区画されているとともに、ドットマト
リックス状に並んだ複数の方形状の領域を、フィルタエ
レメント材料（カラーフィルタ用材料）で埋めることに
よって形成してある。

【０１７５】また、これらのフィルタエレメント３は、
それぞれが、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちのい
ずれか１色、あるいはＹ（黄）、Ｍ（マゼンダ）、Ｃ
（シアン）のうちのいずれか１色のフィルタエレメント
材料によって形成され、それらの各色のフィルタエレメ
ント３が、所定の配列に並べられていることが好まし
い。

【０１７６】このようなフィルタエレメント３の配列と
しては、例えば、図２０（ａ）に示すように、いわゆる
ストライプ配列であって、マトリクスの縦列が全て同色
になる配列であることが好ましい。また、図２０（ｂ）
に示すように、いわゆるモザイク配列であって、縦横の
直線上に並んだ任意の３つのフィルタエレメント３がＲ
ＧＢ画素からなる３色の配色であることが好ましい。さ
らに、図２０（ｃ）に示すようないわゆるデルタ配列で
あって、フィルタエレメント３の配置を段違いにし、任
意の隣接する３つのフィルタエレメント３が、ＲＧＢ画
素あるいはＹＭＣ画素からなる３色の配色であることも
好ましい。

【０１７７】また、第４の実施形態におけるカラーフィ
ルタ１の大きさについては特に制限されるものではない
が、例えば、対角線の長さが１．８インチ（４．５７ｃ
ｍ）の長方形とすることが好ましい。また、１個のフィ
ルタエレメント３の大きさについても特に制限されるも
のではないが、例えば、横１０μｍ〜１００μｍ、縦５
０μｍ〜２００μｍの長方形とすることができる。そし
て、各フィルタエレメント３の間の間隔、いわゆるエレ
メント間ピッチを例えば、５０μｍや７５μｍとするこ
とができる。

【０１７８】また、第４の実施形態のカラーフィルタ１
を、液晶表示装置等においてフルカラー表示のための光
学要素として用いる場合には、ＲＧＢ画素あるいはＹＭ
Ｃ画素に対応した３個のフィルタエレメント３を１つの
ユニットとして１つの画素を形成することが好ましい。
そして、１画素内のＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素のい
ずれか１つ、またはそれらの組み合わせに対して、液晶
表示装置等から発せられた光を選択的に通過させること
により、フルカラー表示を行うことが好ましい。

【０１７９】このとき、透光性を実質的に有していない
樹脂材料によって隔壁６を形成することにより、ブラッ
クマスクとして作用させることができるので、混色を防
止したり、コントラストが向上したりすることから好ま
しい態様である。

【０１８０】また、上述したカラーフィルタ１は、製造
コストが安く、経済的に有利となることから、図２１に
示すような基板である大面積のマザー基板１２から切り
出すことが好ましい。

【０１８１】具体的には、マザー基板１２内に設定され
た複数のカラーフィルタ形成領域１１において、それぞ
れの表面にカラーフィルタ１の１個分のパターンを形成
する。次いで、カラーフィルタ形成領域１１の周りに切
断用の溝を形成し、それらの溝に沿ってマザー基板１２
を切断することが好ましい。これにより、個々の基板２
（図１９（ａ）参照。）上にカラーフィルタ１が形成さ
れてなるカラーフィルタ基板が形成される。

【０１８２】（２）光透過率の吸収ピークの位置 第４の実施形態におけるカラーフィルタ１において、図
２２（ａ）に示すように、複数のフィルタエレメント材
料（カラーフィルタ用材料）に対応した光透過率の吸収
ピークの位置（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）を、液滴吐出ヘッド
の塗布幅内において、それぞれ異ならしめることが好ま
しい。

【０１８３】なお、図２２（ａ）は、横軸に測定位置を
示してあり、横軸の始点から６点目までが、液滴吐出ヘ
ッドの一回の走査における塗布幅に対応している。ま
た、縦軸にカラーフィルタ１の光透過率Ｔ（％）を採っ
て示してあり、輝度計で測定した値である。

【０１８４】また、図２２（ｂ）には、複数のフィルタ
エレメント材料に対応した光透過率の吸収ピークの位置
（Ｓ４）が、液滴吐出ヘッドの塗布幅内において、それ
ぞれ一致した場合、すなわち、従来のカラーフィルタの
測定結果を比較のため示してある。

【０１８５】このように光透過率のバラツキの位置を異
ならしめることにより、平面方向における膜厚の分布が
小さくなり、結果として、平面方向において均一な光透
過特性等を有するカラーフィルタを得ることができる。
また、このように構成することにより、隣接する塗布領
域における境界線での混色も少なくすることができる。

【０１８６】なお、ノズル列の端部等の位置を調節し、
吐出開始部または吐出終了部の位置を変えるだけで、こ
のように複数のフィルタエレメント材料に対応した光透
過率のバラツキの位置（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）を異ならし
めることが可能である。すなわち、塗布領域の端部であ
る吐出開始部または吐出終了部で、複数のフィルタエレ
メント材料、例えば、ＲＧＢ画素に対応したフィルタエ
レメント材料がそれぞれ重ねて厚塗りされることが少な
くなり、平面方向において比較的均一に分布するため、
均一な光透過特性等を有するカラーフィルタを得ること
ができる。

【０１８７】３．カラーフィルタの製造装置の変形例 また、第４の実施形態におけるカラーフィルタの製造装
置の変形例として、上述した構成と異なり、マザー基板
１２の移動によって主走査を実行し、ヘッド２２の移動
によって副走査を実行することも好ましい。

【０１８８】また、第４の実施形態において、ヘッド２
２を移動させずにマザー基板１２を移動させたり、双方
を相対的に逆方向に移動させたりするなど、少なくとも
いずれか一方を相対的に移動させ、ヘッド２２がマザー
基板１２の表面に沿って相対的に移動可能な構成とする
ことも好ましい。

【０１８９】さらに、ノズル列２７の構成については、
略等間隔で略直線上であって、かつ２列に設けたヘッド
２２が好ましいが、ノズル列の配列数は２列に制限され
るものでなく、例えば、ジグザク状であって、非等間隔
の３列以上の複数列とすることも好ましい。

【０１９０】４．カラーフィルタの使用例 また、得られたカラーフィルタを用いて、液晶表示装置
を構成することが好ましい。

【０１９１】かかる液晶表示装置の構成や製造方法は、
公知の一般的な内容とすることができるが、一例とし
て、図２３に示すような、液晶表示装置１７０とするこ
とが好ましい。すなわち、液晶表示装置１７０は、下方
から、第１の偏向板１７５と、第１の基板１７４と、反
射膜１８２と、第１の電極１８１と、第１の配向板１８
０と、液晶１７９と、第２の配向板１７８と、第２の電
極１７７と、カラーフィルタ１７６と、第２の基板１７
２と、第１の偏向板１７１とを積層し、シール材１７３
で、周囲を封止した構造であることが好ましい。そし
て、液晶表示装置１７０の周囲に搭載されたドライブＩ
Ｃ１８３によって、単純マトリックスのパッシブ方式ま
たはＴＦＤ（Thin Film Diode）素子をスイッチング素
子としたアクティブ方式や、ＴＦＴ（Thin Film Transi
stor）素子をスイッチング素子としたアクティブ方式等
により、液晶１７９を動作させて、フルカラー表示を行
うことが好ましい。また、より鮮明な画像等が得られる
ように、第１の偏向板１７５の下方にバックライト１８
６、１８７を設けることがより好ましい。

【０１９２】さらに、液晶表示装置１７０の構成として
は、図２３に示すように、半透過反射型であっても良
く、あるいは、基板に光透過部を設けた透過型であって
も良く、さらには、完全反射型であっても良い。

【０１９３】［第５の実施形態］第５の実施形態は、液
滴吐出ヘッドを用いたエレクトロルミネッセンス装置の
製造方法であって、複数のエレクトロルミネッセンス材
料をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出させる
とともに、当該複数のエレクトロルミネッセンス材料の
吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか
一方の位置を異ならしめることを特徴としている。

【０１９４】以下、第１〜第４の実施形態と同様の内容
の説明は適宜省略するものとし、エレクトロルミネッセ
ンス装置の製造方法およびそれから得られるエレクトロ
ルミネッセンス装置として異なる点を中心に説明する。

【０１９５】１．エレクトロルミネッセンス装置の製造
方法 図２４に概略の駆動回路を示すように、アクティブマト
リックス型のエレクトロルミネッセンス表示装置を製造
する工程手順について説明する。

【０１９６】（１）前処理 まず、図２５（Ａ）に示すように、透明の表示基板１０
２に対して、テトラエトキシシラン（tetraethoxysilan
e：ＴＥＯＳ）や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズ
マＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法により、シ
リコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず。）を形成
することが好ましい。

【０１９７】その際、下地保護膜の厚さを約２、０００
〜５、０００オングストロームの範囲内の値とすること
が好ましい。

【０１９８】次いで、表示基板１０２の温度を約３５０
°に設定し、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法によ
り、オングストロームの非晶質のシリコン膜である半導
体膜１２０ａを形成する。その際、シリコン膜の厚さを
約３００〜７００オングストロームの範囲内の値とする
ことが好ましい。

【０１９９】この後、半導体膜１２０ａに対して、レー
ザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実施
し、半導体膜１２０ａをポリシリコン膜に結晶化するこ
とが好ましい。

【０２００】（２）ＴＦＴの形成 次いで、第５の実施形態においては、図２５（Ｂ）に示
すように、半導体膜１２０ａをパターニングして、島状
の半導体膜１２０ｂを形成する。

【０２０１】すなわち、半導体膜１２０ｂが設けられた
表示基板１０２の表面に、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原
料ガスとして、プラズマＣＶＤ法により、シリコン酸化
膜あるいは窒化膜からなるゲート絶縁膜１２１ａを形成
する。その際、ゲート絶縁膜の厚さを約６００〜１５０
０オングストロームの範囲内の値とすることが好まし
い。

【０２０２】なお、半導体膜１２０ｂは、カレント薄膜
トランジスタ１１０のチャネル領域およびソース・ドレ
イン領域となるものであるが、異なる断面位置において
はスイッチング薄膜トランジスタ１０９のチャネル領域
およびソース・ドレイン領域となる図示しない半導体膜
も形成されている。すなわち、図２５に示す製造工程で
は二種類のスイッチング薄膜トランジスタ１０９および
カレント薄膜トランジスタ１１０が同時に形成される
が、同じ手順で形成されるため、以下の説明では、カレ
ント薄膜トランジスタ１１０についてのみ説明し、スイ
ッチング薄膜トランジスタ１０９については説明を省略
するものとする。

【０２０３】次いで、図２５（Ｃ）に示すように、アル
ミニウムやタンタル等の導電膜をスパッタ法により形成
し、その後にパターニングして、ゲート電極１１０Ａを
形成する。

【０２０４】この状態で、不純物、例えば、高温度のリ
ンイオンを注入し、半導体膜１２０ｂにゲート電極１１
０Ａに対して自己整合的にソース・ドレイン領域１１０
ａ，１１０ｂを形成することが好ましい。なお、不純物
が導入されなかった部分が、チャネル領域１１０ｃとな
る。

【０２０５】次いで、図２５（Ｄ）に示すように、層間
絶縁膜１２２を形成した後、コンタクトホール１２３，
１２４を形成し、これらコンタクトホール１２３，１２
４内に中継電極１２６，１２７を埋め込み形成する。

【０２０６】さらに、図２５（Ｅ）に示すように、層間
絶縁膜１２２上に、信号線１０４、共通給電線１０５お
よび走査線１０３（図２５中には図示しない）を形成す
る。

【０２０７】そして、各配線の上面を覆うように層間絶
縁膜１３０を形成し、中継電極１２６に対応する位置に
コンタクトホール１３２を形成することが好ましい。こ
のコンタクトホール１３２内を埋めるようにＩＴＯ膜を
形成した後、このＩＴＯ膜をパターニングして、信号線
１０４、共通給電線１０５および走査線１０３に囲まれ
た所定位置に、ソース・ドレイン領域１１０ａに電気的
に接続する画素電極１１１を形成することになる。

【０２０８】（３）エレクトロルミネッセンス材料の吐
出 次いで、第５の実施形態においては、図２６に示すよう
に、前処理が実施された表示基板１０２に、複数のエレ
クトロルミネッセンス材料を吐出する。

【０２０９】すなわち、複数のエレクトロルミネッセン
ス材料をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出さ
せるとともに、当該複数のエレクトロルミネッセンス材
料の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいず
れか一方の位置を異ならしめるように、例えば、ノズル
列の両端部の位置、あるいはいずれか一方の位置を一次
元または二次元の方向に異ならしめて、エレクトロルミ
ネッセンス材料を吐出させる。

【０２１０】このようにエレクトロルミネッセンス材料
から発光層を形成することにより、吐出開始部および吐
出終了部の重なりがなくなるか、少なくなり、平面方向
において均一なエレクトロルミネッセンス特性、例え
ば、膜厚の相違による色変化が少ないエレクトロルミネ
ッセンス表示装置を構成することができる。

【０２１１】ここで、図２６（Ａ）に示すように、前処
理が実施された表示基板１０２の上面を上方に向けた状
態で、発光素子１４０の下層部分に当たる正孔注入層１
１３Ａを形成するためのエレクトロルミネッセンス材料
１４０Ａ、例えば、ポリフェニレンビニレン、１，１−
ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロ
ヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アル
ミニウム等を、インクジェット方式の塗布装置を用いて
吐出し、段差１３５で囲まれた所定位置の領域内に選択
的に塗布する。

【０２１２】なお、かかるエレクトロルミネッセンス材
料１４０Ａは、機能性液状体として、溶媒に溶かされた
状態の前駆体であることが好ましい。

【０２１３】次いで、図２６（Ｂ）に示すように、加熱
あるいは光照射等を実施することにより、エレクトロル
ミネッセンス材料１４０Ａに含まれる溶媒を蒸発させ、
画素電極１１１上に固形の薄い正孔注入層１１３Ａを形
成する。そして、図２６（Ａ），（Ｂ）を必要回数繰り
返し、図２６（Ｃ）に示すように、十分な厚さ寸法の正
孔注入層１１３Ａを形成することが好ましい。

【０２１４】次いで、図２７（Ａ）に示すように、表示
基板１０２の上面を上に向けた状態で、発光素子１１３
の上層部分に、有機半導体膜１１３Ｂを形成するための
エレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂ、例えば、シア
ノポリフェニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、
ポリアルキルフェニレンを、インクジェット方式により
吐出し、これを段差１３５で囲まれた領域内に選択的に
塗布する。

【０２１５】なお、かかるエレクトロルミネッセンス材
料１４０Ｂは、機能性液状体として、溶媒に溶かされた
状態の有機蛍光材料であることが好ましい。

【０２１６】次いで、図２７（Ｂ）に示すように、加熱
あるいは光照射等を実施することにより、エレクトロル
ミネッセンス材料１４０Ｂに含まれる溶媒を蒸発させ、
正孔注入層１１３Ａ上に、固形の薄い有機半導体膜１１
３Ｂを形成する。

【０２１７】なお、図２７（Ａ）、（Ｂ）に示す操作を
複数回繰り返し、図２７（Ｃ）に示すように、十分な厚
さを有する有機半導体膜１１３Ｂを形成し、正孔注入層
１１３Ａおよび有機半導体膜１１３Ｂによって、エレク
トロルミネッセンス発光素子１１３を構成することが好
ましい。

【０２１８】（３）反射電極の形成 最後に、第５の実施形態では、図２７（Ｄ）に示すよう
に、表示基板１０２の表面全体、若しくはストライプ状
に反射電極（対向電極）１１２を形成する。すなわち、
このように反射電極を形成することにより、サンドイッ
チ構造のエレクトロルミネッセンス装置１０１を製造す
ることができる。

【０２１９】３．エレクトロルミネッセンス装置の変形
例 第５の実施形態におけるエレクトロルミネッセンスの製
造装置の変形例として、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素
に対応した３種類の発光画素が、帯状に形成されるスト
ライプ型や、上述したように、ドライブＩＣによって、
画素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備
えたアクティブマトリックス型の表示装置、あるいはパ
ッシブマトリックス型に適用するものなど、いずれの構
成も好適に採用することができる。

【０２２０】［第６の実施形態］次に、図面を参照して
本発明の第６の実施形態の表示装置を説明する。図２９
は、プラズマディスプレイパネル５００の分解斜視図を
示し、図３０は、本実施形態のプラズマディスプレイパ
ネル５００の基本概念図を示す。本実施形態のプラズマ
ディスプレイパネル５００は、カラーフィルタ１として
先の第３の実施形態で説明したカラーフィルタ１と同等
のものを備えており、このカラーフィルタ１を観察側に
配置して構成されている。すなわち、このカラーフィル
タ１は、基板２、フィルタエレメント（着色層）３、隔
壁６、及び、保護層４を備えている。

【０２２１】プラズマディスプレイパネル５００は、互
いに対向して配置されたガラス基板５０１と上記のカラ
ーフィルタ１と、これらの間に形成された放電表示部５
１０とから概略構成される。放電表示部５１０は、複数
の放電室５１６が集合されてなり、複数の放電室５１６
のうち、３つの放電室５１６が対になって１画素を構成
するように配置されている。従って、先のカラーフィル
タ１の各フィルタエレメント３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）に
それぞれ対応するように各放電室５１６が設けられる。

【０２２２】前記（ガラス）基板５０１の上面には所定
の間隔でストライプ状にアドレス電極５１１が形成さ
れ、それらアドレス電極５１１と基板５０１の上面とを
覆うように誘電体層５１９が形成され、更に、誘電体層
５１９上においてアドレス電極５１１、５１１間に位置
して各アドレス電極５１１に沿うように隔壁５１５が形
成されている。なお、隔壁５１５においてはその長手方
向の所定位置においてアドレス電極５１１と直交する方
向にも所定の間隔で仕切られており（図示略）、基本的
にはアドレス電極５１１の幅方向左右両側に隣接する隔
壁と、アドレス電極５１１と直交する方向に延設された
隔壁により仕切られる長方形状の領域が形成され、これ
ら長方形状の領域に対応するように放電室５１６が形成
され、これら長方形状の領域が３つ対になって１画素が
構成される。また、隔壁５１５で区画される長方形状の
領域の内側には蛍光体５１７が形成されている。

【０２２３】次に、カラーフィルタ１側には、先のアド
レス電極５１１と直交する方向に複数の表示電極５１２
がストライプ状に所定の間隔で形成され、これらを覆っ
て誘電体層５１３が形成され、更に、ＭｇＯなどからな
る保護膜５１４が形成されている。なお、図３０では、
図示の都合上、表示電極５１２の延長方向が実際と相違
している。前記基板５０１とカラーフィルタ１の基板２
は、前記アドレス電極５１１…と表示電極５１２…を互
いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされ、
基板５０１と隔壁５１５とカラーフィルタ１側に形成さ
れている保護膜５１４とで囲まれる空間部分を排気して
希ガスを封入することで放電室５１６が形成されてい
る。なお、カラーフィルタ１側に形成される表示電極５
１２は各放電室５１６に対して２本ずつ配置されるよう
に形成されている。

【０２２４】アドレス電極５１１と表示電極５１２は図
示略の交流電源に接続され、各電極に通電することで必
要な位置の放電表示部５１０において蛍光体を励起発光
させて白色発光させ、この発光をカラーフィルタ１を介
して見ることでカラー表示ができるようになっている。

【０２２５】なお、本実施形態において各放電室５１６
内の蛍光体５１７を上述の液滴吐出方法又は液滴吐出装
置を用いて形成してもよい。また、本実施形態のプラズ
マディスプレイパネル５００においては、第２実施形態
に示したカラーフィルタ１を装備している例を示した
が、このカラーフィルタ１を設ける代わりに、各放電室
５１６内の蛍光体５１７を、たとえばＲ，Ｇ，Ｂのよう
な着色された蛍光を発するものとしてもよい。この場合
にも、上記の液滴吐出方法或いは液滴吐出装置により、
隔壁５１５によって区画された領域（放電室５１６にな
るべき部分）に蛍光体を形成するための液状材料を吐出
させていくことによって、プラズマ型表示装置用基板を
形成することができる。

【０２２６】［他の実施の形態］以上、好ましい実施の
形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記第１〜
６の実施の形態に限定されるものではなく、以下に示す
ような変形例をも含み、本発明の目的を達成できる範囲
で、他のいずれの具体的な構造および形状を有する実施
の形態も提供することができる。

【０２２７】すなわち、本発明の吐出方法等が適用され
るのは、上述したカラーフィルタ及びその製造装置、カ
ラーフィルタを備えた液晶表示装置及びその製造装置、
エレクトロルミネッセンス装置及びその製造装置、ある
いは、プラズマ型表示装置及びその製造装置に限定され
るものではなく、ＦＥＤ（Field Emission Display:フ
ィールドエミッションディスプレイ）、電気泳動装置、
薄型ブラウン管、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）など様々
な電気光学装置に用いることができる。

【０２２８】また、本発明の吐出方法等は、電気光学装
置に含まれる各種基板の製造工程においても用いること
ができる。

【０２２９】例えば、プリント回路基板の電気配線を形
成するために、液状金属や導電性材料などを吐出して金
属配線を形成する製造工程、微細なマイクロレンズを形
成する製造工程、基板上に塗布するレジストを必要な部
分だけに塗布する工程、透光性基板などに光を散乱させ
る凸部や微小白パターンなどを形成する製造工程、ＤＮ
Ａ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸）チップ
上にマトリクス配列するスパイクスポットにＲＮＡ（ri
bonucleic acid:リボ核酸）を吐出して蛍光標識プロー
ブを作成する製造工程、基板に区画されたドット状の位
置に、試料や抗体、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デ
オキシリボ核酸）などを吐出してバイオチップを形成す
る製造工程にも利用できる。

【０２３０】本発明によれば、複数の液状物をそれぞれ
のノズル列から順次に吐出するとともに、当該複数の液
状物の吐出開始部および吐出終了部、あるいはいずれか
一方の位置を異ならせることから、平面方向において均
一な電気光学特性等が得られるカラーフィルタ、それを
用いた液晶表示装置、蛍光媒体の厚さが均一なエレクト
ロルミネッセンス装置、および発光媒体の厚さが均一な
プラズマディスプレイパネル等を効率的に提供すること
が可能となった。

【０２３１】したがって、本発明により得られた液晶表
示装置等は、パーソナルコンピュータ、携帯電話、ＰＨ
Ｓ（Personal Handyphone System）、電子手帳、ページ
ャ、ＰＯＳ（Point of Sales）端末、ＩＣカード、ミニ
ディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリン
グ・ワークステーション、ワードプロセッサ、テレビ、
ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープ
レコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、
タッチパネル装置、時計、ゲーム機器等の電気光学装置
に好適に使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の液滴吐出ヘッドの概略図である。 （ａ）部分切り欠け部を含む斜視図である。 （ｂ）Ｊ−Ｊ断面図である。

【図２】 本発明の液滴吐出ヘッドにおけるノズル列を
説明するために供する図である。

【図３】 本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複
数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係
を説明するために供する図である（その１）。

【図４】 本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複
数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係
を説明するために供する図である（その２）。

【図５】 本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複
数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係
を説明するために供する図である（その３）。

【図６】 本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複
数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係
を説明するために供する図である（その４）。

【図７】 本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複
数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係
を説明するために供する図である（その５）。

【図８】 第２実施形態の構成例１を示す液滴吐出ユニ
ットの構成図である。

【図９】 構成例１の使用態様を示す説明図である。

【図１０】 第２実施形態の構成例２を示す液滴吐出ユ
ニットの構成図である。

【図１１】 構成例２の使用態様を示す説明図である。

【図１２】 構成例２の走査方法を示す説明図である。

【図１３】 第２実施形態の構成例３を示す液滴吐出ユ
ニットの構成図である。

【図１４】 第２実施形態の構成例４を示す液滴吐出ユ
ニットの構成図である。

【図１５】 構成例４の他の例を示す構成図である。

【図１６】 液晶表示装置の一例を示す図である。

【図１７】 本発明の装置の概略図である。

【図１８】 本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）の変
形例の概略図である。

【図１９】 本発明の装置の動作を説明するために供す
る図である。

【図２０】 カラーフィルタの製造工程を説明するため
に供する図である。

【図２１】 カラーフィルタにおけるカラーエレメント
の配置例を示す図である。

【図２２】 カラーフィルタの製造工程におけるマザー
基板を説明するために供する図である。

【図２３】 カラーフィルタにおける測定位置と、光透
過率の関係を示す図である。 （ａ）本発明のカラーフィルタにおける測定例である。 （ｂ）従来のカラーフィルタにおける測定例である。

【図２４】 アクティブマトリックス型のエレクトロル
ミネッセンス表示装置における駆動回路を示す図であ
る。

【図２５】 エレクトロルミネッセンス装置の製造工程
を説明するために供する図である（その１）。

【図２６】 エレクトロルミネッセンス装置の製造工程
を説明するために供する図である（その２）。

【図２７】 エレクトロルミネッセンス装置の製造工程
を説明するために供する図である（その３）。

【図２８】 ＰＤＰの構造の概略を説明するために供す
る図である。

【図２９】 第６実施形態のプラズマディスプレイパネ
ルの構造を示す分解斜視図である。

【図３０】 第６実施形態の縦断面図である。

【図３１】 従来のカラーフィルタの製造工程におけ
る、液滴吐出ヘッド（ノズル列）の動作を説明するため
に供する図である。

【図３２】 従来の液滴吐出ヘッド（ノズル列）におけ
る内部構造を説明するために供する図である。

【図３３】 従来の液滴吐出ヘッド（ノズル列）におけ
るＱ特性を説明するために供する図である。

【図３４】 従来のカラーフィルタの製造工程におけ
る、液滴吐出ヘッド（ノズル列）の動作と、境界線との
関係を説明するために供する図である。

【符号の説明】

１： カラーフィルタ ８ ：液滴 １２：基板（マザー基板） １６：吐出装置（液滴吐出装置） １７：ヘッド位置制御装置 １８：基板位置制御装置 １９：主走査駆動装置 ２１：副走査駆動装置 ２２：液滴吐出ヘッド ２３：基板供給装置 ２７：ノズル列 ４１：圧電素子 １０１：アクティブマトリックス型の駆動回路 １７０：液晶表示装置 １８３：ドライブＩＣ １８６，１８７：バックライト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０９Ｆ 9/00 ３３８ Ｂ４１Ｊ 3/04 １０１Ｚ ５Ｇ４３５ Ｆターム(参考） 2C056 EA04 EC75 FA15 FB01 HA07 HA22 2H048 BA02 BA11 BA55 BA64 BB02 BB41 BB42 2H091 FA02 FA35 FC01 FC29 FD04 GA11 GA13 LA15 4D075 AC06 AC09 AC73 AC88 AC93 CA48 CB07 CB08 DA04 DA06 DB13 DB14 DB33 DB36 DB55 DC19 DC21 DC24 EA07 EC07 EC11 EC17 4F041 AA02 AA05 AA16 AB01 BA10 BA13 BA22 BA34 BA38 5G435 AA17 BB05 BB12 CC12 GG12 KK05 KK10 LL07 LL08 LL15 (54)【発明の名称】 液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶 表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並 びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイ

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液滴吐出ヘッドを用いた液状物の吐出方
   法であって、当該液滴吐出ヘッドまたは基板を走査しな
   がら、複数の液状物をそれぞれに対応したノズル列か
   ら、基板に対して、順次に吐出させるとともに、当該液
   状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはい
   ずれか一方の位置を異ならしめることを特徴とした液状
   物の吐出方法。
2. 【請求項２】 前記ノズル列の両端部の位置、あるいは
   いずれか一方の位置を一次元または二次元の方向に異な
   らしめることにより、前記液状物の吐出開始部および吐
   出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異なら
   しめることを特徴とした請求項１に記載の液状物の吐出
   方法。
3. 【請求項３】 前記液状物の吐出幅を実質的に等しくす
   ることを特徴とした請求項１に記載の液状物の吐出方
   法。
4. 【請求項４】 前記液滴吐出ヘッドを複数用意するとと
   もに、当該液滴吐出ヘッドにおける走査方向に交差する
   方向のノズル列の寸法幅を実質的に等しくすることによ
   り、前記液状物の吐出幅を実質的に等しくすることを特
   徴とした請求項３に記載の液状物の吐出方法。
5. 【請求項５】 前記液状物の吐出幅を異ならしめるとと
   もに、前記液状物の吐出開始部の位置または前記液状物
   の吐出終了部の位置を実質的に一致させることを特徴と
   した請求項１または２に記載の液状物の吐出方法。
6. 【請求項６】 前記液滴吐出ヘッドを複数用意するとと
   もに、当該液滴吐出ヘッドにおける走査方向に交差する
   方向のノズル列の寸法幅を異ならしめることにより、前
   記液状物の吐出幅を異ならしめることを特徴とした請求
   項５に記載の液状物の吐出方法。
7. 【請求項７】 前記ノズル列を用いて基板の端部を塗布
   する場合には、当該基板の領域以外に該当するノズル列
   は使用せず、当該基板の領域内に該当するノズル列を使
   用することを特徴とした請求項１又は２に記載の液状物
   の吐出方法。
8. 【請求項８】 液滴吐出ヘッドを有する液状物の吐出装
   置であって、当該液滴吐出ヘッドに複数の液状物に対応
   したノズル列を設けるとともに、当該液滴吐出ヘッドま
   たは基板を走査しながら、複数の液状物をそれぞれに対
   応したノズル列から順次に吐出させ、当該液状物の吐出
   開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方
   の位置を異ならしめるための制御部を設けることを特徴
   とした液状物の吐出装置。
9. 【請求項９】 前記液滴吐出ヘッドを、当該液滴吐出ヘ
   ッドの走査方向に対して、斜め方向に配列することを特
   徴とした請求項８に記載の液状物の吐出装置。
10. 【請求項１０】 前記複数の液状物に対応したノズル列
    が、一つの液滴吐出ヘッドに配置してあることを特徴と
    した請求項８または９に記載の液状物の吐出装置。
11. 【請求項１１】 前記複数の液状物に対応したノズル列
    が、複数の液滴吐出ヘッドにそれぞれ対応させて設けて
    あることを特徴とした請求項８または９に記載の液状物
    の吐出装置。
12. 【請求項１２】 液滴吐出ヘッドを用いたカラーフィル
    タの製造方法であって、当該液滴吐出ヘッドまたは基板
    を縦方向に走査しながら、複数のカラーフィルタ用材料
    をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出させると
    ともに、当該カラーフィルタ用材料の吐出開始部および
    吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異な
    らしめることを特徴としたカラーフィルタの製造方法。
13. 【請求項１３】 請求項１２に記載のカラーフィルタの
    製造方法により得られてなるカラーフィルタ。
14. 【請求項１４】 請求項１３のカラーフィルタを備えて
    なる液晶表示装置。
15. 【請求項１５】 液滴吐出ヘッドを用いたエレクトロル
    ミネッセンス装置の製造方法であって、当該液滴吐出ヘ
    ッドまたは基板を走査しながら、複数のエレクトロルミ
    ネッセンス材料をそれぞれに対応したノズル列から順次
    に吐出させるとともに、当該エレクトロルミネッセンス
    材料の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはい
    ずれか一方の位置を異ならしめることを特徴としたエレ
    クトロルミネッセンス装置の製造方法。
16. 【請求項１６】 請求項１５に記載のエレクトロルミネ
    ッセンス装置の製造方法により得られてなるエレクトロ
    ルミネッセンス装置。
17. 【請求項１７】 液滴吐出ヘッドを用いたプラズマディ
    スプレイパネルの製造方法であって、当該液滴吐出ヘッ
    ドまたは基板を走査しながら、複数のプラズマ発光材料
    をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出させると
    ともに、当該プラズマ発光材料の吐出開始部および吐出
    終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならし
    めることを特徴としたプラズマディスプレイパネルの製
    造方法。
18. 【請求項１８】 請求項１７に記載のプラズマディスプ
    レイパネルの製造方法により得られてなるプラズマディ
    スプレイパネル。
19. 【請求項１９】 液状物の吐出方法であって、 複数のノズル列または基板を所定方向に走査しながら、
    前記複数のノズル列から、それぞれに対応した互いに異
    なる液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査
    工程と、を備え、前記走査工程において、 各前記ノズル列が前記基板を通過する領域が、その他の
    前記ノズル列が前記基板を通過する領域の一部に重な
    り、 各前記ノズル列における両端部の位置は、前記所定方向
    と直交する方向において、その他の前記ノズル列におけ
    る両端部の位置と異なることを特徴とする液状物の吐出
    方法。
20. 【請求項２０】 液状物の吐出方法であって、 複数のノズル列または基板を所定方向に走査しながら、
    前記複数のノズル列から、それぞれに対応した互いに異
    なる液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査
    工程と、を備え、前記走査工程において、 各前記ノズル列が前記基板を通過する領域が、その他の
    前記ノズル列が前記基板を通過する領域の一部に重な
    り、 各前記ノズル列における第１の端部の位置は、前記所定
    方向と直交する方向において、その他の前記ノズル列に
    おける第１の端部の位置と実質的に同じであり、 各前記ノズル列における第２の端部の位置は、前記所定
    方向と直交する方向において、その他の前記ノズル列に
    おける第２の端部の位置と異なることを特徴とする液状
    物の吐出方法。
21. 【請求項２１】 液状物の吐出方法であって、 第１、第２及び第３のノズル列または基板を所定方向に
    走査しながら、前記第１、第２及び第３のノズル列か
    ら、それぞれ第１の液状物、第２の液状物及び第３の液
    状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程
    と、を備え、前記走査工程において、 前記第１、第２及び第３のノズル列が前記基板を通過す
    る領域は、互いに一部重なり、 前記第１、第２及び第３のノズル列における両端部の位
    置は、前記所定方向と直交する方向において、互いに異
    なることを特徴とする液状物の吐出方法。
22. 【請求項２２】 液状物の吐出方法であって、 第１、第２及び第３のノズル列または基板を所定方向に
    走査しながら、前記第１、第２及び第３のノズル列か
    ら、それぞれ第１の液状物、第２の液状物及び第３の液
    状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程
    と、を備え、前記走査工程において、 前記第１、第２及び第３のノズル列が前記基板を通過す
    る領域は、互いに一部重なり、 前記第１、第２及び第３のノズル列における第１の端部
    の位置は、前記所定方向と直交する方向において、実質
    的に同じであり、 前記第１、第２及び第３のノズル列における第２の端部
    の位置は、前記所定方向と直交する方向において、互い
    に異なることを特徴とする液状物の吐出方法。