JP2003231719A - 架橋用含フッ素エラストマー組成物 - Google Patents
架橋用含フッ素エラストマー組成物Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的特性および耐熱性を維持したまま、加
工性および架橋性に優れた含フッ素エラストマー性材料
および架橋用組成物を提供する。 【解決手段】 (A)式(I): 【化1】 (式中、Rfはパーフルオロアルキリデン基またはパー
フルオロオキシアルキリデン基;XはCN基、COOH
基またはCOOR基)で示されかつ19F−NMRにおい
て−143ppm〜−145ppmにピークを有する含
フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)と、含フッ素ビニルエ
ーテル単量体(Ia)の構造異性体であってかつ19F−NM
Rにおいて−141ppm〜−142ppmにピークを
有する含フッ素ビニルエーテル単量体(Ib)との混合物で
あって、含フッ素ビニルエーテル単量体(Ib)/(Ia)の混
合比が−141ppm〜−142ppmのピーク強度/
−143ppm〜−145ppmのピーク強度比で0.
02以上である含フッ素ビニルエーテル単量体混合物、
(B)該含フッ素ビニルエーテル(Ia)および(Ib)を除く含
フッ素ビニル単量体、および(C)任意に、非フッ素系単
量体を共重合する含フッ素エラストマー性共重合体の製
造法。
工性および架橋性に優れた含フッ素エラストマー性材料
および架橋用組成物を提供する。 【解決手段】 (A)式(I): 【化1】 (式中、Rfはパーフルオロアルキリデン基またはパー
フルオロオキシアルキリデン基;XはCN基、COOH
基またはCOOR基)で示されかつ19F−NMRにおい
て−143ppm〜−145ppmにピークを有する含
フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)と、含フッ素ビニルエ
ーテル単量体(Ia)の構造異性体であってかつ19F−NM
Rにおいて−141ppm〜−142ppmにピークを
有する含フッ素ビニルエーテル単量体(Ib)との混合物で
あって、含フッ素ビニルエーテル単量体(Ib)/(Ia)の混
合比が−141ppm〜−142ppmのピーク強度/
−143ppm〜−145ppmのピーク強度比で0.
02以上である含フッ素ビニルエーテル単量体混合物、
(B)該含フッ素ビニルエーテル(Ia)および(Ib)を除く含
フッ素ビニル単量体、および(C)任意に、非フッ素系単
量体を共重合する含フッ素エラストマー性共重合体の製
造法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工性(ゴム練
性)や架橋速度を向上させることができ、しかも良好な
シール性および優れた機械的強度と高温での耐熱性を維
持した架橋含フッ素エラストマー成形品を与える架橋用
含フッ素エラストマー組成物、およびそれに用いる含フ
ッ素エラストマー性共重合体の製造法に関する。
性)や架橋速度を向上させることができ、しかも良好な
シール性および優れた機械的強度と高温での耐熱性を維
持した架橋含フッ素エラストマー成形品を与える架橋用
含フッ素エラストマー組成物、およびそれに用いる含フ
ッ素エラストマー性共重合体の製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】含フッ素エラストマー、特にテトラフル
オロエチレン(TFE)単位を中心とするパーフルオロ
エラストマーは、優れた耐薬品性、耐溶剤性、耐熱性を
示すことから、過酷な環境下でのシール材などとして広
く使用されている。
オロエチレン(TFE)単位を中心とするパーフルオロ
エラストマーは、優れた耐薬品性、耐溶剤性、耐熱性を
示すことから、過酷な環境下でのシール材などとして広
く使用されている。
【0003】しかし、技術の進歩に伴い要求される特性
はさらに厳しくなり、航空宇宙分野や半導体製造装置分
野、化学プラント分野では300℃以上の高温環境下に
おけるシール性が要求されている。
はさらに厳しくなり、航空宇宙分野や半導体製造装置分
野、化学プラント分野では300℃以上の高温環境下に
おけるシール性が要求されている。
【0004】かかる要求に対して、架橋系を工夫して耐
熱性を向上させる試みが提案されている。それらの一つ
の方向として、ニトリル基を架橋点として導入した含フ
ッ素エラストマーを使用し、有機スズ化合物によりトリ
アジン環を形成させるトリアジン架橋系(たとえば特開
昭58−152041号公報参照)、同じくニトリル基
を架橋点として導入した含フッ素エラストマーを使用
し、ビスアミノフェノールによりオキサゾール環を形成
させるオキサゾール架橋系(たとえば、特開昭59−1
09546号公報参照)、ビスジアミノフェニル化合物
によりイミダゾール環を形成させるイミダゾール架橋系
(たとえば、特開昭59−109546号公報参照)、
ビスアミノチオフェノールによりチアゾール環を形成さ
せるチアゾール架橋系(たとえば、特開平8−1047
89号公報参照)が知られている。
熱性を向上させる試みが提案されている。それらの一つ
の方向として、ニトリル基を架橋点として導入した含フ
ッ素エラストマーを使用し、有機スズ化合物によりトリ
アジン環を形成させるトリアジン架橋系(たとえば特開
昭58−152041号公報参照)、同じくニトリル基
を架橋点として導入した含フッ素エラストマーを使用
し、ビスアミノフェノールによりオキサゾール環を形成
させるオキサゾール架橋系(たとえば、特開昭59−1
09546号公報参照)、ビスジアミノフェニル化合物
によりイミダゾール環を形成させるイミダゾール架橋系
(たとえば、特開昭59−109546号公報参照)、
ビスアミノチオフェノールによりチアゾール環を形成さ
せるチアゾール架橋系(たとえば、特開平8−1047
89号公報参照)が知られている。
【0005】米国デュポン社の一連のPCT特許出願
(WO97/19982号、WO98/23653号、
WO98/23654号およびWO98/23655号
各パンフレット)には、上記トリアジン架橋系、オキサ
ゾール架橋系に加えてパーオキサイド架橋系での架橋速
度の向上を目的とし、ニトリル基含有含フッ素エラスト
マーの末端をカルボニル含有末端基にすることが提案さ
れている。
(WO97/19982号、WO98/23653号、
WO98/23654号およびWO98/23655号
各パンフレット)には、上記トリアジン架橋系、オキサ
ゾール架橋系に加えてパーオキサイド架橋系での架橋速
度の向上を目的とし、ニトリル基含有含フッ素エラスト
マーの末端をカルボニル含有末端基にすることが提案さ
れている。
【0006】しかし、特開昭58−152041号公
報、特開昭59−109546号公報および特開平8−
104789号公報に記載されている架橋系で得られる
架橋ゴムは、架橋可能な官能基はキュアサイトモノマー
に由来する分岐鎖のみに存在するため、機械的強度や高
温時の圧縮永久歪みが不充分である。さらに、デュポン
社の発明における、末端基としてカルボニル含有基をも
つニトリル基含有含フッ素エラストマーを用いた架橋系
でも得られる架橋物の機械的強度や高温時の圧縮永久歪
みは改善されていない。
報、特開昭59−109546号公報および特開平8−
104789号公報に記載されている架橋系で得られる
架橋ゴムは、架橋可能な官能基はキュアサイトモノマー
に由来する分岐鎖のみに存在するため、機械的強度や高
温時の圧縮永久歪みが不充分である。さらに、デュポン
社の発明における、末端基としてカルボニル含有基をも
つニトリル基含有含フッ素エラストマーを用いた架橋系
でも得られる架橋物の機械的強度や高温時の圧縮永久歪
みは改善されていない。
【0007】このように、架橋速度や加工性を改善しよ
うとすると得られる架橋物の機械的・熱的特性を犠牲に
せざるを得ず、一方、架橋物の機械的・熱的特性を向上
させようとすると加工性や架橋速度などの生産性を犠牲
にせざるを得なかった。
うとすると得られる架橋物の機械的・熱的特性を犠牲に
せざるを得ず、一方、架橋物の機械的・熱的特性を向上
させようとすると加工性や架橋速度などの生産性を犠牲
にせざるを得なかった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、優れた機械
的強度および超耐熱性、特に高温での改善された圧縮永
久歪みを有する架橋物を高い架橋速度でかつ良好な加工
性により与える架橋用含フッ素エラストマー組成物を提
供することを目的とする。
的強度および超耐熱性、特に高温での改善された圧縮永
久歪みを有する架橋物を高い架橋速度でかつ良好な加工
性により与える架橋用含フッ素エラストマー組成物を提
供することを目的とする。
【0009】また、該架橋用含フッ素エラストマー組成
物を構成する含フッ素エラストマー性共重合体の製造法
を提供することを目的とする。
物を構成する含フッ素エラストマー性共重合体の製造法
を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、(A)
式(I):
式(I):
【0011】
【化11】
【0012】(式中、Rfは炭素数1〜10の直鎖状も
しくは分岐鎖状のパーフルオロアルキリデン基または炭
素数1〜10の直鎖状もしくは分岐鎖状のパーフルオロ
オキシアルキリデン基;XはCN基、COOH基または
COOR基(Rは炭素数1〜6の置換されていてもよい
直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキル基))で示されかつ
19F−NMRにおいて−143ppm〜−145ppm
にピークを有する含フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)
と、含フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)の構造異性体で
あってかつ19F−NMRにおいて−141ppm〜−1
42ppmにピークを有する含フッ素ビニルエーテル単
量体(Ib)との混合物であって、含フッ素ビニルエーテ
ル単量体(Ib)/(Ia)の混合比が−141ppm〜−14
2ppmのピーク強度/−143ppm〜−145pp
mのピーク強度比(以下、単に「(Ib)/(Ia)のピーク
比」という)で0.02以上である含フッ素ビニルエー
テル単量体混合物、(B)該含フッ素ビニルエーテル単
量体(Ia)および(Ib)を除く含フッ素ビニル単量体、お
よび(C)任意に、非フッ素系単量体を共重合する含フ
ッ素エラストマー性共重合体の製造法に関する。
しくは分岐鎖状のパーフルオロアルキリデン基または炭
素数1〜10の直鎖状もしくは分岐鎖状のパーフルオロ
オキシアルキリデン基;XはCN基、COOH基または
COOR基(Rは炭素数1〜6の置換されていてもよい
直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキル基))で示されかつ
19F−NMRにおいて−143ppm〜−145ppm
にピークを有する含フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)
と、含フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)の構造異性体で
あってかつ19F−NMRにおいて−141ppm〜−1
42ppmにピークを有する含フッ素ビニルエーテル単
量体(Ib)との混合物であって、含フッ素ビニルエーテ
ル単量体(Ib)/(Ia)の混合比が−141ppm〜−14
2ppmのピーク強度/−143ppm〜−145pp
mのピーク強度比(以下、単に「(Ib)/(Ia)のピーク
比」という)で0.02以上である含フッ素ビニルエー
テル単量体混合物、(B)該含フッ素ビニルエーテル単
量体(Ia)および(Ib)を除く含フッ素ビニル単量体、お
よび(C)任意に、非フッ素系単量体を共重合する含フ
ッ素エラストマー性共重合体の製造法に関する。
【0013】なお、19F−NMRはニート法により行な
い、ピーク強度はCH3F基準とした。
い、ピーク強度はCH3F基準とした。
【0014】前記含フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)
としては、式(II):
としては、式(II):
【0015】
【化12】
【0016】(式中、Xは前記と同じ、nは1〜5の整
数)で示される化合物が好ましくあげられる。
数)で示される化合物が好ましくあげられる。
【0017】前記式(I)および式(II)においてXが
CN基および/またはCOOH基であることが好まし
い。また、前記含フッ素ビニル単量体(B)が1種または
2種以上のパーフルオロビニル単量体であることが好ま
しく、特にテトラフルオロエチレン、パーフルオロ(メ
チルビニルエーテル)が好ましい。。
CN基および/またはCOOH基であることが好まし
い。また、前記含フッ素ビニル単量体(B)が1種または
2種以上のパーフルオロビニル単量体であることが好ま
しく、特にテトラフルオロエチレン、パーフルオロ(メ
チルビニルエーテル)が好ましい。。
【0018】前記含フッ素ビニルエーテル単量体混合物
(A)における(Ib)/(Ia)のピーク比は、0.02〜0.
10であることが好ましい。
(A)における(Ib)/(Ia)のピーク比は、0.02〜0.
10であることが好ましい。
【0019】また、前記含フッ素ビニルエーテル単量体
(Ia)および(Ib)は、得られる含フッ素エラストマー
性共重合体中の合計含有量が0.2〜5モル%となるよ
うに配合することが好ましい。
(Ia)および(Ib)は、得られる含フッ素エラストマー
性共重合体中の合計含有量が0.2〜5モル%となるよ
うに配合することが好ましい。
【0020】共重合は、重合温度5〜100℃、特に4
0〜90℃が好ましい。また、過硫酸塩を重合開始剤と
し、乳化重合法で行なうことが好ましい。
0〜90℃が好ましい。また、過硫酸塩を重合開始剤と
し、乳化重合法で行なうことが好ましい。
【0021】得られた含フッ素エラストマー性共重合体
の凝析は、金属の混入を避ける点から酸により行なうこ
とが望ましい。
の凝析は、金属の混入を避ける点から酸により行なうこ
とが望ましい。
【0022】本発明は、以上の製造法で製造された含フ
ッ素エラストマー性共重合体、さらには該含フッ素エラ
ストマー性材料および架橋剤および/または架橋促進剤
からなる架橋用含フッ素エラストマー組成物にも関す
る。
ッ素エラストマー性共重合体、さらには該含フッ素エラ
ストマー性材料および架橋剤および/または架橋促進剤
からなる架橋用含フッ素エラストマー組成物にも関す
る。
【0023】配合する架橋剤としては、式(1):
【0024】
【化13】
【0025】(式中、R1は−SO2−、−O−、−C
(=O)−、
(=O)−、
【0026】
【化14】
【0027】炭素数1〜10のアルキリデン基、炭素数
1〜10のパーフルオロアルキリデン基または単結合
手;X1は−OH、−NH2、−SH、−NHR(Rは炭
素数1〜6の置換されていてもよい直鎖状もしくは分岐
鎖状のアルキル基)または−NHAr(Arは置換され
ていてもよいフェニル基またはナフチル基))で示され
る化合物、式(2):
1〜10のパーフルオロアルキリデン基または単結合
手;X1は−OH、−NH2、−SH、−NHR(Rは炭
素数1〜6の置換されていてもよい直鎖状もしくは分岐
鎖状のアルキル基)または−NHAr(Arは置換され
ていてもよいフェニル基またはナフチル基))で示され
る化合物、式(2):
【0028】
【化15】
【0029】(式中、R2は置換されていてもよい直鎖
状もしくは分岐鎖状のアルキリデン基、置換されていて
もよいアリーレン基、
状もしくは分岐鎖状のアルキリデン基、置換されていて
もよいアリーレン基、
【0030】
【化16】
【0031】(R3は−SO2−、−O−、−C(=O)
−、
−、
【0032】
【化17】
【0033】または単結合手)で示される化合物、式
(3):
(3):
【0034】
【化18】
【0035】(式中、mは1〜10の整数)で示される
化合物、式(4):
化合物、式(4):
【0036】
【化19】
【0037】(式中、X2は同じかまたは異なり、いず
れもHまたはNH2;pは1〜10の整数)で示される
化合物、および/または式(5):
れもHまたはNH2;pは1〜10の整数)で示される
化合物、および/または式(5):
【0038】
【化20】
【0039】(式中、X3は同じかまたは異なり、いず
れもHまたはNH2;Yは同じかまたは異なり、いずれ
もHまたはOH)で示される化合物が好ましい。
れもHまたはNH2;Yは同じかまたは異なり、いずれ
もHまたはOH)で示される化合物が好ましい。
【0040】本発明はさらに、かかる架橋用含フッ素エ
ラストマー組成物を架橋して得られる架橋含フッ素エラ
ストマー成形品にも関する。
ラストマー組成物を架橋して得られる架橋含フッ素エラ
ストマー成形品にも関する。
【0041】
【発明の実施の形態】まず、含フッ素ビニルエーテル単
量体混合物(A)について説明する。
量体混合物(A)について説明する。
【0042】本発明で使用する含フッ素ビニルエーテル
単量体混合物(A)は、前記式(I)で示される末端に架橋
性官能基Xをもつパーフルオロアルキルビニルエーテル
(Ia)とその構造異性体(Ib)との特定割合の混合物であ
る。
単量体混合物(A)は、前記式(I)で示される末端に架橋
性官能基Xをもつパーフルオロアルキルビニルエーテル
(Ia)とその構造異性体(Ib)との特定割合の混合物であ
る。
【0043】パーフルオロアルキルビニルエーテル(Ia)
では、パーフルオロビニル基(CF 2=CF−)に結合
している基は−O−CF2−CF(CF3)−であり、19
F−NMR分析で−143ppm〜−145ppmにピ
ークをもつ。このCF2=CF−O−CF2−CF(CF
3)−は熱に対して安定しており、したがって、パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル(Ia)を単独で使用して得
られる含フッ素エラストマー性共重合体を用いた組成物
は、従来と同様に機械的強度や耐熱性が良好な成形品を
与えるが、加工性や架橋速度の点で劣るものである。
では、パーフルオロビニル基(CF 2=CF−)に結合
している基は−O−CF2−CF(CF3)−であり、19
F−NMR分析で−143ppm〜−145ppmにピ
ークをもつ。このCF2=CF−O−CF2−CF(CF
3)−は熱に対して安定しており、したがって、パーフ
ルオロアルキルビニルエーテル(Ia)を単独で使用して得
られる含フッ素エラストマー性共重合体を用いた組成物
は、従来と同様に機械的強度や耐熱性が良好な成形品を
与えるが、加工性や架橋速度の点で劣るものである。
【0044】本発明の特徴の1つは、架橋性基含有パー
フルオロアルキルビニルエーテル(Ia)の構造異性体(Ib)
を特定量併用する点にある。ビニルエーテル(Ia)の構
造異性体は多数存在し得るが、それらのうち19F−NM
R分析で−141ppm〜−142ppmにピークをも
つ構造異性体(Ib)である(−143ppm〜−145p
pmにはピークをもたない)ことが重要である。かかる
構造異性体(Ib)についての構造分析は進んでいない
が、恐らく、式(I)においてエーテル結合している炭
素原子にトリフルオロメチル基(−CF3)が結合して
いる化合物、すなわち、 CF2=CF−O−CF(CF3)CF2−O−Rf−X (式中、RfおよびXは前記と同じ)で示されるパーフ
ルオロアルキルビニルエーテルであると推察される。
フルオロアルキルビニルエーテル(Ia)の構造異性体(Ib)
を特定量併用する点にある。ビニルエーテル(Ia)の構
造異性体は多数存在し得るが、それらのうち19F−NM
R分析で−141ppm〜−142ppmにピークをも
つ構造異性体(Ib)である(−143ppm〜−145p
pmにはピークをもたない)ことが重要である。かかる
構造異性体(Ib)についての構造分析は進んでいない
が、恐らく、式(I)においてエーテル結合している炭
素原子にトリフルオロメチル基(−CF3)が結合して
いる化合物、すなわち、 CF2=CF−O−CF(CF3)CF2−O−Rf−X (式中、RfおよびXは前記と同じ)で示されるパーフ
ルオロアルキルビニルエーテルであると推察される。
【0045】また、−135ppm〜−137ppmに
認められるカルテットのピークについても、同じ異性体
のビニル基に存在するフッ素原子に由来するものと推定
される。
認められるカルテットのピークについても、同じ異性体
のビニル基に存在するフッ素原子に由来するものと推定
される。
【0046】このビニルエーテルは比較的熱に対して不
安定であり、重合中に開裂し、後述するように、エラス
トマー組成物の粘度を低下させて加工性を高める一方、
架橋点を増やすことによって得られるエラストマー成形
品の機械的特性および耐熱性を低下させない。
安定であり、重合中に開裂し、後述するように、エラス
トマー組成物の粘度を低下させて加工性を高める一方、
架橋点を増やすことによって得られるエラストマー成形
品の機械的特性および耐熱性を低下させない。
【0047】含フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)および
(Ib)において、Rfは炭素数1〜10の直鎖状もしく
は分岐鎖状のパーフルオロアルキリデン基または炭素数
1〜10の直鎖状もしくは分岐鎖状のパーフルオロオキ
シアルキリデン基である。これらのうち、CF2=CF
OCF2CF(CF3)OCF2CF2Xが架橋性が良好な
点から好ましい。XはCN基、COOH基またはCOO
R基(Rは炭素数1〜6の置換されていてもよい直鎖状
もしくは分岐鎖状のアルキル基)であるが、架橋物の耐
熱性が良好な点からCN基およびCOOH基が好まし
い。
(Ib)において、Rfは炭素数1〜10の直鎖状もしく
は分岐鎖状のパーフルオロアルキリデン基または炭素数
1〜10の直鎖状もしくは分岐鎖状のパーフルオロオキ
シアルキリデン基である。これらのうち、CF2=CF
OCF2CF(CF3)OCF2CF2Xが架橋性が良好な
点から好ましい。XはCN基、COOH基またはCOO
R基(Rは炭素数1〜6の置換されていてもよい直鎖状
もしくは分岐鎖状のアルキル基)であるが、架橋物の耐
熱性が良好な点からCN基およびCOOH基が好まし
い。
【0048】ビニルエーテル(Ia)の具体例としては、
たとえば CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2CF2X 、 CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2X 、 CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2CF(C
F3)OCF2CF2X 、 CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2CF(C
F3)X (X=CN、COOH)などがあげられ、ビニルエーテ
ル(Ib)としてはそれらの構造異性体があげられる。
たとえば CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2CF2X 、 CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2X 、 CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2CF(C
F3)OCF2CF2X 、 CF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2CF(C
F3)X (X=CN、COOH)などがあげられ、ビニルエーテ
ル(Ib)としてはそれらの構造異性体があげられる。
【0049】上述のとおり、構造異性体(Ib)は多量に
存在させる必要性はなく、(Ib)/(Ia)のピーク比で0.
02以上である。ピーク比が小さくなりすぎると加工性
および架橋速度の改善効果が小さくなる。一方、ピーク
比が大きくなりすぎると得られる成形品の機械的強度お
よび耐熱性が大きく低下する傾向にあるので、好ましく
は0.02〜0.10、さらには0.02〜0.06で
ある。
存在させる必要性はなく、(Ib)/(Ia)のピーク比で0.
02以上である。ピーク比が小さくなりすぎると加工性
および架橋速度の改善効果が小さくなる。一方、ピーク
比が大きくなりすぎると得られる成形品の機械的強度お
よび耐熱性が大きく低下する傾向にあるので、好ましく
は0.02〜0.10、さらには0.02〜0.06で
ある。
【0050】また、他の官能基含有含フッ素ビニル単量
体を共重合させることもでき、その場合には、(Ib)/(I
a)のピーク比が0.1以上のものでも共重合体中の含有
量を制御することで有効に使用できる。その場合、構造
異性体(Ib)は、(Ib)/[(Ia)+他の官能基含有含フッ
素ビニル単量体](モル比)が0.02〜0.10、さ
らには0.02〜0.06であるのが好ましい。
体を共重合させることもでき、その場合には、(Ib)/(I
a)のピーク比が0.1以上のものでも共重合体中の含有
量を制御することで有効に使用できる。その場合、構造
異性体(Ib)は、(Ib)/[(Ia)+他の官能基含有含フッ
素ビニル単量体](モル比)が0.02〜0.10、さ
らには0.02〜0.06であるのが好ましい。
【0051】本発明の加工性および架橋性に優れた含フ
ッ素エラストマー性共重合体は含フッ素ビニルエーテル
単量体混合物(A)とそれ以外の含フッ素ビニル単量体
(B)と、要すれば非フッ素系単量体(C)とを共重合す
ることによって得られる。
ッ素エラストマー性共重合体は含フッ素ビニルエーテル
単量体混合物(A)とそれ以外の含フッ素ビニル単量体
(B)と、要すれば非フッ素系単量体(C)とを共重合す
ることによって得られる。
【0052】含フッ素ビニル単量体(B)および任意成
分である非フッ素系単量体(c)としては得られる共重合
体がエラストマー性を有するものであれば特に限定され
ない。具体的組合せの例としては、つぎのものがあげら
れるがこれらのみに限定されるものではない。 パーフルオロ系エラストマー (i)テトラフルオロエチレン(TFE)/式:CF2=C
F−ORf1(式中、Rf1は炭素数1〜8の部分的に酸
素原子を含んでいてもよいパーフルオロアルキル基)で
示されるパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)(P
AVE)の組合せ(TFE95〜50モル%、PAVE
5〜50モル%) (ii)TFE/ヘキサフルオロプロピレン(HFP)/P
AVEの組合せ(TFE95〜35モル、HFP0〜3
0モル%、PAVE5〜35モル%) 非パーフルオロ系エラストマー (i)ビニリデンフルオライド(VdF)/HFPの組合
せ(VdF85〜60モル%、HFP15〜40モル
%) (ii)VdF/TFE/HFPの組合せ(VdF85〜2
0モル%、TFE0〜40モル%、HFP15〜40モ
ル%) (iii)TFE/式:HZ1C=CZ2Z3(式中、Z1、Z2
およびZ3は同じかまたは異なり、いずれも水素原子ま
たはフッ素原子)で示されるビニル単量体/PAVEの
組合せ(TFE95〜45モル%、ビニル単量体0〜1
0モル%、PAVE5〜45モル%) (iv)TFE/プロピレンの組合せ(TFE20〜80モ
ル%、プロピレン80〜20モル%) (v)エチレン/HFPの組合せ(エチレン80〜50モ
ル%、HFP20〜50モル%) (vi)エチレン/TFE/PAVEの組合せ(エチレン1
〜80モル%、TFE0〜80モル%、PAVE10〜
50モル%) セグメント化エラストマー WO00/29479号パンフレットに記載されている
ようなエラストマー性セグメントと非エラストマーセグ
メントのブロック共重合体からなるセグメント化エラス
トマーなどがあげられる。
分である非フッ素系単量体(c)としては得られる共重合
体がエラストマー性を有するものであれば特に限定され
ない。具体的組合せの例としては、つぎのものがあげら
れるがこれらのみに限定されるものではない。 パーフルオロ系エラストマー (i)テトラフルオロエチレン(TFE)/式:CF2=C
F−ORf1(式中、Rf1は炭素数1〜8の部分的に酸
素原子を含んでいてもよいパーフルオロアルキル基)で
示されるパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)(P
AVE)の組合せ(TFE95〜50モル%、PAVE
5〜50モル%) (ii)TFE/ヘキサフルオロプロピレン(HFP)/P
AVEの組合せ(TFE95〜35モル、HFP0〜3
0モル%、PAVE5〜35モル%) 非パーフルオロ系エラストマー (i)ビニリデンフルオライド(VdF)/HFPの組合
せ(VdF85〜60モル%、HFP15〜40モル
%) (ii)VdF/TFE/HFPの組合せ(VdF85〜2
0モル%、TFE0〜40モル%、HFP15〜40モ
ル%) (iii)TFE/式:HZ1C=CZ2Z3(式中、Z1、Z2
およびZ3は同じかまたは異なり、いずれも水素原子ま
たはフッ素原子)で示されるビニル単量体/PAVEの
組合せ(TFE95〜45モル%、ビニル単量体0〜1
0モル%、PAVE5〜45モル%) (iv)TFE/プロピレンの組合せ(TFE20〜80モ
ル%、プロピレン80〜20モル%) (v)エチレン/HFPの組合せ(エチレン80〜50モ
ル%、HFP20〜50モル%) (vi)エチレン/TFE/PAVEの組合せ(エチレン1
〜80モル%、TFE0〜80モル%、PAVE10〜
50モル%) セグメント化エラストマー WO00/29479号パンフレットに記載されている
ようなエラストマー性セグメントと非エラストマーセグ
メントのブロック共重合体からなるセグメント化エラス
トマーなどがあげられる。
【0053】これらのうち、耐熱性、耐薬品性に優れる
点からパーフルオロ系エラストマー性共重合体を与える
組合せが好ましい。
点からパーフルオロ系エラストマー性共重合体を与える
組合せが好ましい。
【0054】また、前記含フッ素ビニルエーテル単量体
混合物(A)は架橋点を形成するものであり、その合計含
有量((Ia)+(Ib))はエラストマー性共重合体中の
0.2〜5モル%、好ましくは0.3〜2モル%であ
る。0.2モル%より少ないと架橋不足となり、5モル
%よりも多くなると架橋密度が高くなりすぎる。さらに
他の架橋点を形成し得る官能基含有含フッ素ビニル単量
体を共重合させる場合には、それらを含めた官能基含有
含フッ素単量体全体の含有量が、上記の範囲であること
が好ましい。
混合物(A)は架橋点を形成するものであり、その合計含
有量((Ia)+(Ib))はエラストマー性共重合体中の
0.2〜5モル%、好ましくは0.3〜2モル%であ
る。0.2モル%より少ないと架橋不足となり、5モル
%よりも多くなると架橋密度が高くなりすぎる。さらに
他の架橋点を形成し得る官能基含有含フッ素ビニル単量
体を共重合させる場合には、それらを含めた官能基含有
含フッ素単量体全体の含有量が、上記の範囲であること
が好ましい。
【0055】本発明における含フッ素エラストマー性共
重合体は、乳化重合法、懸濁重合法、溶液重合法などの
重合法により製造することができるが、取扱いが容易で
ある点から乳化重合法が好適である。
重合体は、乳化重合法、懸濁重合法、溶液重合法などの
重合法により製造することができるが、取扱いが容易で
ある点から乳化重合法が好適である。
【0056】重合開始剤としては、ラジカル重合開始剤
が好ましく、具体例としては、たとえば過硫酸アンモニ
ウム(APS)、過硫酸カリウム(KPS)などの過硫
酸塩が好ましくあげられる。
が好ましく、具体例としては、たとえば過硫酸アンモニ
ウム(APS)、過硫酸カリウム(KPS)などの過硫
酸塩が好ましくあげられる。
【0057】また、分子量の調整に通常使用される連鎖
移動剤を使用してもよい。連鎖移動剤を使用しない場
合、分子量は重合を低圧、たとえば2MPa・G未満、
好ましくは1MPa・G以下で行なうことにより調整す
ればよい。
移動剤を使用してもよい。連鎖移動剤を使用しない場
合、分子量は重合を低圧、たとえば2MPa・G未満、
好ましくは1MPa・G以下で行なうことにより調整す
ればよい。
【0058】重合温度は5〜100℃、特に40〜90
℃の範囲内で選定するのが好ましいが、重合方法によっ
ては、より低温でも、より高温でもよい。
℃の範囲内で選定するのが好ましいが、重合方法によっ
ては、より低温でも、より高温でもよい。
【0059】乳化重合法の場合、得られた含フッ素エラ
ストマー性共重合体生成物を凝析処理してエラストマー
性材料とする。凝析処理は塩凝析法、凍結凝析法などの
通常の凝析法でもよいが、酸を添加することにより凝析
することが好ましい。特に金属の存在を極端に嫌う半導
体関連部品の製造分野では、金属塩を使用する塩凝析法
は適切ではなく、酸による凝析処理が有効である。
ストマー性共重合体生成物を凝析処理してエラストマー
性材料とする。凝析処理は塩凝析法、凍結凝析法などの
通常の凝析法でもよいが、酸を添加することにより凝析
することが好ましい。特に金属の存在を極端に嫌う半導
体関連部品の製造分野では、金属塩を使用する塩凝析法
は適切ではなく、酸による凝析処理が有効である。
【0060】酸処理法としては、たとえば塩酸、硫酸、
硝酸などにより洗浄するか、これらの酸で重合反応後の
混合物の系をpH3以下にする方法が適当である。
硝酸などにより洗浄するか、これらの酸で重合反応後の
混合物の系をpH3以下にする方法が適当である。
【0061】この酸処理は、重合反応混合物から重合生
成物を凝析により単離する際の凝析手段として適用する
のが、工程の簡略化の点から好ましい。または、重合混
合物を酸処理し、その後凍結乾燥などの手段で重合生成
物を単離してもよい。さらに超音波などによる凝析や機
械力による凝析などの方法も併用できる。
成物を凝析により単離する際の凝析手段として適用する
のが、工程の簡略化の点から好ましい。または、重合混
合物を酸処理し、その後凍結乾燥などの手段で重合生成
物を単離してもよい。さらに超音波などによる凝析や機
械力による凝析などの方法も併用できる。
【0062】本発明はさらに、酸処理して得られた含フ
ッ素エラストマー性材料および架橋剤および/または架
橋促進剤とからなる架橋用含フッ素エラストマー組成物
に関する。
ッ素エラストマー性材料および架橋剤および/または架
橋促進剤とからなる架橋用含フッ素エラストマー組成物
に関する。
【0063】本発明の含フッ素エラストマー性材料は架
橋剤を使用しない架橋方法、たとえば電子線照射法、放
射線照射法、紫外線照射法などの高エネルギー線照射法
で架橋することもできるが、成形加工性が良好で得られ
る成形品の耐熱性に優れる点からCN基、COOH基ま
たはCOOR基(Rは前記と同じ)と反応可能な架橋剤
を配合する。
橋剤を使用しない架橋方法、たとえば電子線照射法、放
射線照射法、紫外線照射法などの高エネルギー線照射法
で架橋することもできるが、成形加工性が良好で得られ
る成形品の耐熱性に優れる点からCN基、COOH基ま
たはCOOR基(Rは前記と同じ)と反応可能な架橋剤
を配合する。
【0064】具体的な架橋剤としては、式(1)〜
(5)として前述した架橋剤が好ましくあげられる。
(5)として前述した架橋剤が好ましくあげられる。
【0065】式(1)の架橋剤の具体例としては、たと
えば2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン(一般名:ビス(アミノフ
ェノール)AF)、2,2−ビス(3−アミノ−4−メ
ルカプトフェニル)ヘキサフルオロプロパン、テトラア
ミノベンゼン、ビス−3,4−ジアミノフェニルメタ
ン、ビス−3,4−ジアミノフェニルエーテル、2,2
−ビス(3,4−ジアミノフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4(N−メチルア
ミノ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビ
ス[3−アミノ−4(N−フェニルアミノ)フェニル]
ヘキサフルオロプロパン2,2−ビス[3−アミノ−4
(N−メチルアミノ)フェニル]ヘキサフルオロプロパ
ン、2,2−ビス[3−アミノ−4(N−フェニルアミ
ノ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンなどがあげられ
る。
えば2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン(一般名:ビス(アミノフ
ェノール)AF)、2,2−ビス(3−アミノ−4−メ
ルカプトフェニル)ヘキサフルオロプロパン、テトラア
ミノベンゼン、ビス−3,4−ジアミノフェニルメタ
ン、ビス−3,4−ジアミノフェニルエーテル、2,2
−ビス(3,4−ジアミノフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン、2,2−ビス[3−アミノ−4(N−メチルア
ミノ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビ
ス[3−アミノ−4(N−フェニルアミノ)フェニル]
ヘキサフルオロプロパン2,2−ビス[3−アミノ−4
(N−メチルアミノ)フェニル]ヘキサフルオロプロパ
ン、2,2−ビス[3−アミノ−4(N−フェニルアミ
ノ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンなどがあげられ
る。
【0066】式(2)の架橋剤の具体例としては、たと
えば2,2−ビス[N−(2−アミノフェニル)−(3
−アミノフェニル)]ヘキサフルオロプロパン、2,2
−ビス[N−(2−アミノフェニル)−(4−アミノフ
ェニル)]ヘキサフルオロプロパンなどがあげられる。
えば2,2−ビス[N−(2−アミノフェニル)−(3
−アミノフェニル)]ヘキサフルオロプロパン、2,2
−ビス[N−(2−アミノフェニル)−(4−アミノフ
ェニル)]ヘキサフルオロプロパンなどがあげられる。
【0067】式(3)の架橋剤の具体例としては、たと
えば
えば
【0068】
【化21】
【0069】などがあげられる。
【0070】式(4)の架橋剤の具体例としては、たと
えばパーフルオロアジピン酸ビスアミドラゾン、パーフ
ルオロスベリン酸ビスアミドラゾンなどがあげられる。
えばパーフルオロアジピン酸ビスアミドラゾン、パーフ
ルオロスベリン酸ビスアミドラゾンなどがあげられる。
【0071】式(5)の架橋剤の具体例としては、たと
えば
えば
【0072】
【化22】
【0073】などがあげられる。
【0074】これらのうち、成形品の耐熱性、耐薬品性
を向上させる点から式(1)および(2)の架橋剤、と
りわけ2,2−ビス[3−アミノ−4(N−フェニルア
ミノ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビ
ス[N−(2−アミノフェニル)−(3−アミノフェニ
ル)]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[N−
(2−アミノフェニル)−(4−アミノフェニル)]ヘ
キサフルオロプロパンが好ましい。
を向上させる点から式(1)および(2)の架橋剤、と
りわけ2,2−ビス[3−アミノ−4(N−フェニルア
ミノ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビ
ス[N−(2−アミノフェニル)−(3−アミノフェニ
ル)]ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[N−
(2−アミノフェニル)−(4−アミノフェニル)]ヘ
キサフルオロプロパンが好ましい。
【0075】架橋剤の配合量は、好ましくはエラストマ
ー性材料100重量部に対して0.1〜10重量部、好
ましくは0.5〜5重量部である。
ー性材料100重量部に対して0.1〜10重量部、好
ましくは0.5〜5重量部である。
【0076】さらに要すれば、架橋剤に代えて、または
加えて架橋促進剤を配合してもよい。架橋促進剤として
は、たとえば有機スズ化合物や150〜200℃でアン
モニアガスを発生させる有機および/または無機のアン
モニウム塩などがあげられ、特に耐熱性を有する架橋構
造を与える点から有機スズ化合物が好ましい。
加えて架橋促進剤を配合してもよい。架橋促進剤として
は、たとえば有機スズ化合物や150〜200℃でアン
モニアガスを発生させる有機および/または無機のアン
モニウム塩などがあげられ、特に耐熱性を有する架橋構
造を与える点から有機スズ化合物が好ましい。
【0077】架橋促進剤の配合量は、好ましくはエラス
トマー性材料100重量部に対して0.1〜10重量
部、好ましくは0.5〜5重量部である。
トマー性材料100重量部に対して0.1〜10重量
部、好ましくは0.5〜5重量部である。
【0078】また、架橋系として前記のほかにトリアリ
ルイソシアヌレート類を用いたトリアジン架橋系、パー
オキサイド架橋系、ポリオール架橋系なども採用でき
る。なかでも、トリアリルイソシアヌレートの3個のア
リル基中の水素原子をフッ素原子に置換したフッ素化ト
リアリルイソシアヌレート(米国特許第4,320,216号明
細書ほか)は耐熱性に優れた成形品を与える点から好ま
しい。
ルイソシアヌレート類を用いたトリアジン架橋系、パー
オキサイド架橋系、ポリオール架橋系なども採用でき
る。なかでも、トリアリルイソシアヌレートの3個のア
リル基中の水素原子をフッ素原子に置換したフッ素化ト
リアリルイソシアヌレート(米国特許第4,320,216号明
細書ほか)は耐熱性に優れた成形品を与える点から好ま
しい。
【0079】本発明の組成物において、必要に応じて架
橋用含フッ素エラストマー組成物に配合される通常の添
加物、たとえば充填剤、加工助剤、可塑剤、着色剤など
を配合することができ、前記のものとは異なる常用の架
橋剤や架橋促進剤を1種またはそれ以上配合してもよ
い。また、本発明の効果を損なわない範囲において、公
知のフッ素ゴムを混合してもよい。
橋用含フッ素エラストマー組成物に配合される通常の添
加物、たとえば充填剤、加工助剤、可塑剤、着色剤など
を配合することができ、前記のものとは異なる常用の架
橋剤や架橋促進剤を1種またはそれ以上配合してもよ
い。また、本発明の効果を損なわない範囲において、公
知のフッ素ゴムを混合してもよい。
【0080】本発明の組成物は、上記の各成分を、通常
のゴム用加工機械、たとえば、オープンロール、バンバ
リーミキサー、ニーダーなどを用いて混合することによ
り調製することができる。この他、密閉式混合機を用い
る方法やエマルジョン混合から共凝析する方法によって
も調製することができる。
のゴム用加工機械、たとえば、オープンロール、バンバ
リーミキサー、ニーダーなどを用いて混合することによ
り調製することができる。この他、密閉式混合機を用い
る方法やエマルジョン混合から共凝析する方法によって
も調製することができる。
【0081】上記組成物から予備成形体を得る方法は通
常の方法でよく、金型にて加熱圧縮する方法、加熱され
た金型に圧入する方法、押出機で押出す方法など公知の
方法で行なうことができる。ホースや電線などの押出製
品の場合は押出後も形を保持することが可能なので、架
橋剤を使用せずに押出した予備成形体をそのまま用いる
ことができる。もちろん架橋剤を使用してスチームなど
による加熱架橋を施した予備成形体を用いることも可能
である。またO−リングなどの型物製品で未架橋状態で
は離型後も形を保持することが困難な場合は、架橋剤を
使用してあらかじめ架橋した予備成形体を用いることに
より実施可能となる。
常の方法でよく、金型にて加熱圧縮する方法、加熱され
た金型に圧入する方法、押出機で押出す方法など公知の
方法で行なうことができる。ホースや電線などの押出製
品の場合は押出後も形を保持することが可能なので、架
橋剤を使用せずに押出した予備成形体をそのまま用いる
ことができる。もちろん架橋剤を使用してスチームなど
による加熱架橋を施した予備成形体を用いることも可能
である。またO−リングなどの型物製品で未架橋状態で
は離型後も形を保持することが困難な場合は、架橋剤を
使用してあらかじめ架橋した予備成形体を用いることに
より実施可能となる。
【0082】本発明の大きな特徴は、上記の加工性(ゴ
ム練性)および架橋性が改善されている点である。
ム練性)および架橋性が改善されている点である。
【0083】これは推測に留まるが、含フッ素ビニルエ
ーテル異性体(Ib)ユニットの側鎖のエーテル結合が重
合の際につぎのように開裂するものと考えられる。
ーテル異性体(Ib)ユニットの側鎖のエーテル結合が重
合の際につぎのように開裂するものと考えられる。
【0084】
【化23】
【0085】この反応において、(A)は最終的にCO
OH基末端となり、(B)はさらに生長してX基末端の
ポリマーとなり、両者共、末端に架橋点を有しているも
のと推察される。
OH基末端となり、(B)はさらに生長してX基末端の
ポリマーとなり、両者共、末端に架橋点を有しているも
のと推察される。
【0086】その結果、全体として分子量が減少するこ
とによる粘度低下により加工性が向上する。
とによる粘度低下により加工性が向上する。
【0087】また、新たに発生した架橋点は架橋時にお
いて架橋速度の加速や成形品の機械的特性の向上に寄与
するものと推察される。
いて架橋速度の加速や成形品の機械的特性の向上に寄与
するものと推察される。
【0088】すなわち加工性においては、具体的にロー
ル練りが容易であり、架橋速度が向上するといった効果
が奏され、従来の超耐熱性含フッ素エラストマー組成物
では困難であった加工性と成形品の機械的特性の両立が
可能になった。
ル練りが容易であり、架橋速度が向上するといった効果
が奏され、従来の超耐熱性含フッ素エラストマー組成物
では困難であった加工性と成形品の機械的特性の両立が
可能になった。
【0089】本発明の含フッ素エラストマー性材料を使
用する場合は、通常のフッ素ゴムの架橋条件下で行なう
ことができる。
用する場合は、通常のフッ素ゴムの架橋条件下で行なう
ことができる。
【0090】たとえば、金型に入れ、加圧下において1
20〜250℃で1〜60分間保持することによって、
プレス架橋を行ない、続いて120〜320℃の炉中で
0〜48時間保持することによってオーブン架橋を行な
うと、架橋物を得ることができる。また公知のフッ素ゴ
ムの架橋方法、たとえばオキサゾール架橋やポリオール
架橋、パーオキサイド架橋の配合にビス(アミノフェノ
ール)AFなどを添加して併用架橋することもできる。
20〜250℃で1〜60分間保持することによって、
プレス架橋を行ない、続いて120〜320℃の炉中で
0〜48時間保持することによってオーブン架橋を行な
うと、架橋物を得ることができる。また公知のフッ素ゴ
ムの架橋方法、たとえばオキサゾール架橋やポリオール
架橋、パーオキサイド架橋の配合にビス(アミノフェノ
ール)AFなどを添加して併用架橋することもできる。
【0091】また、カルボキシル基をビスジアミノフェ
ニル系架橋剤で架橋するイミダゾール架橋は、カルボキ
シル基を末端以外に有するカルボキシル含有ポリマーに
最適であり、比較的低い架橋温度(たとえば150〜2
30℃、好ましくは170〜200℃)で良好な物性を
もつ架橋物を与える。
ニル系架橋剤で架橋するイミダゾール架橋は、カルボキ
シル基を末端以外に有するカルボキシル含有ポリマーに
最適であり、比較的低い架橋温度(たとえば150〜2
30℃、好ましくは170〜200℃)で良好な物性を
もつ架橋物を与える。
【0092】本発明はかくして得られる架橋物にも関す
る。特に、230℃以上での高温耐熱性が要求されるシ
ール材などに好適である。
る。特に、230℃以上での高温耐熱性が要求されるシ
ール材などに好適である。
【0093】本発明の架橋物は高い機械的強度や耐熱性
を有している。それ以上に、驚くべきことに特にシール
材として不可欠なシール性を評価する基準である圧縮永
久歪みが大幅に小さくなっており、しかも高温時の圧縮
永久歪みも小さくなっている。
を有している。それ以上に、驚くべきことに特にシール
材として不可欠なシール性を評価する基準である圧縮永
久歪みが大幅に小さくなっており、しかも高温時の圧縮
永久歪みも小さくなっている。
【0094】本発明の架橋物はつぎの表1、表2および
表3に示す分野の各種成形品として有用である。
表3に示す分野の各種成形品として有用である。
【0095】
【表1】
【0096】
【表2】
【0097】
【表3】
【0098】特に具体的には次のような半導体製造装置
に組み込んで用いることができる。 (1)エッチング装置 ドライエッチング装置 プラズマエッチング装置 反応性イオンエッチング装置 反応性イオンビームエッチング装置 スパッタエッチング装置 イオンビームエッチング装置 ウェットエッチング装置 アッシング装置 (2)洗浄装置 乾式エッチング洗浄装置 UV/O3洗浄装置 イオンビーム洗浄装置 レーザービーム洗浄装置 プラズマ洗浄装置 ガスエッチング洗浄装置 抽出洗浄装置 ソックスレー抽出洗浄装置 高温高圧抽出洗浄装置 マイクロウェーブ抽出洗浄装置 超臨界抽出洗浄装置 (3)露光装置 ステッパー コータ・デベロッパー (4)研磨装置 CMP装置 (5)成膜装置 CVD装置 スパッタリング装置 (6)拡散・イオン注入装置 酸化拡散装置 イオン注入装置
に組み込んで用いることができる。 (1)エッチング装置 ドライエッチング装置 プラズマエッチング装置 反応性イオンエッチング装置 反応性イオンビームエッチング装置 スパッタエッチング装置 イオンビームエッチング装置 ウェットエッチング装置 アッシング装置 (2)洗浄装置 乾式エッチング洗浄装置 UV/O3洗浄装置 イオンビーム洗浄装置 レーザービーム洗浄装置 プラズマ洗浄装置 ガスエッチング洗浄装置 抽出洗浄装置 ソックスレー抽出洗浄装置 高温高圧抽出洗浄装置 マイクロウェーブ抽出洗浄装置 超臨界抽出洗浄装置 (3)露光装置 ステッパー コータ・デベロッパー (4)研磨装置 CMP装置 (5)成膜装置 CVD装置 スパッタリング装置 (6)拡散・イオン注入装置 酸化拡散装置 イオン注入装置
【0099】
【実施例】つぎに本発明を実施例をあげて説明するが、
本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。
本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。
【0100】合成例1
(1)2,2−ジフルオロ−3−ヨードプロピオニルフ
ルオライド(ICH2CF2COF)の合成 20リットルの四つ口フラスコに乾燥テトラグライム1
0リットルを入れ室温で攪拌しながらヨウ化リチウム
5.5kgを完全に溶解させた。つづいて冷却器で冷却
しながら反応温度30〜40℃にてゆっくりと2,2,
3,3−テトラフルオロオキセタン4.33kgを滴下
した。45分間で2,2,3,3−テトラフルオロオキ
セタンの滴下を終了し、30mmHgの減圧下で38〜
40℃で蒸留することにより、2,2−ジフルオロ−3
−ヨードプロピオニルフルオライド(ICH2CF2CO
F。沸点:95〜96℃)を6.98kg回収した。
ルオライド(ICH2CF2COF)の合成 20リットルの四つ口フラスコに乾燥テトラグライム1
0リットルを入れ室温で攪拌しながらヨウ化リチウム
5.5kgを完全に溶解させた。つづいて冷却器で冷却
しながら反応温度30〜40℃にてゆっくりと2,2,
3,3−テトラフルオロオキセタン4.33kgを滴下
した。45分間で2,2,3,3−テトラフルオロオキ
セタンの滴下を終了し、30mmHgの減圧下で38〜
40℃で蒸留することにより、2,2−ジフルオロ−3
−ヨードプロピオニルフルオライド(ICH2CF2CO
F。沸点:95〜96℃)を6.98kg回収した。
【0101】(2)2,3,3,3−テトラフルオロ−
2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−
(1,1,2,2−テトラフルオロ−3−ヨードプロポ
キシ)プロポキシ]プロピオン酸メチル(CH3OC
(=O)CF(CF3)OCF2CF(CF3)OCF2C
F2CH2I)とその異性体との混合物の合成 20リットルの四つ口フラスコにセシウムフルオライド
600g、テトラグライム100mlおよび合成例1−
(1)で合成した2,2−ジフルオロ−3−ヨードプロ
ピオニルフルオライド6kgを入れ、攪拌下内温を−1
0〜−5℃とした。つづいてボンベよりヘキサフルオロ
プロピレンオキサイドをドライアイス冷却器に還流する
速度で30時間流入させた。その後、ヘキサフルオロプ
ロピレンオキサイドの流入を停止し、氷水で冷却しなが
らメタノール5リットルを加えた。反応生成物を数回水
洗し、減圧精留により2,3,3,3−テトラフルオロ
−2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2
−(1,1,2,2−テトラフルオロ−3−ヨードプロ
ポキシ)プロポキシ]プロピオン酸メチルの異性体混合
物(液状)を分離した。収量:1150g、沸点:91
〜92℃(6mmHg)。
2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−
(1,1,2,2−テトラフルオロ−3−ヨードプロポ
キシ)プロポキシ]プロピオン酸メチル(CH3OC
(=O)CF(CF3)OCF2CF(CF3)OCF2C
F2CH2I)とその異性体との混合物の合成 20リットルの四つ口フラスコにセシウムフルオライド
600g、テトラグライム100mlおよび合成例1−
(1)で合成した2,2−ジフルオロ−3−ヨードプロ
ピオニルフルオライド6kgを入れ、攪拌下内温を−1
0〜−5℃とした。つづいてボンベよりヘキサフルオロ
プロピレンオキサイドをドライアイス冷却器に還流する
速度で30時間流入させた。その後、ヘキサフルオロプ
ロピレンオキサイドの流入を停止し、氷水で冷却しなが
らメタノール5リットルを加えた。反応生成物を数回水
洗し、減圧精留により2,3,3,3−テトラフルオロ
−2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2
−(1,1,2,2−テトラフルオロ−3−ヨードプロ
ポキシ)プロポキシ]プロピオン酸メチルの異性体混合
物(液状)を分離した。収量:1150g、沸点:91
〜92℃(6mmHg)。
【0102】(3)1,2,2−トリフルオロ−1−
[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−
(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラフ
ルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレン(CF2=C
FOCF2CF(CF3)OCF2CF2CCl3)とその
異性体との混合物の合成 合成例1−(2)で合成した2,3,3,3−テトラフ
ルオロ−2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオ
ロ−2−(1,1,2,2−テトラフルオロ−3−ヨー
ドプロポキシ)プロポキシ]プロピオン酸メチルの異性
体混合物1100gを2リットルのガラス製光反応器
(400W高圧水銀灯内部照射型)に入れた。攪拌しな
がら180℃で紫外線を照射しつつ塩素ガスを0.25
g/分の流速でバブリングした。6日後、紫外線照射を
停止し、反応混合物を室温に戻した後、窒素ガスで残留
する塩素ガスを置換した。ついでメタノール70gを添
加してエステル化反応を行なった後、5重量%塩化ナト
リウム水溶液5リットルで3回洗浄してエステル混合物
(液状)を得た(収量:919g)。
[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−
(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラフ
ルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレン(CF2=C
FOCF2CF(CF3)OCF2CF2CCl3)とその
異性体との混合物の合成 合成例1−(2)で合成した2,3,3,3−テトラフ
ルオロ−2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオ
ロ−2−(1,1,2,2−テトラフルオロ−3−ヨー
ドプロポキシ)プロポキシ]プロピオン酸メチルの異性
体混合物1100gを2リットルのガラス製光反応器
(400W高圧水銀灯内部照射型)に入れた。攪拌しな
がら180℃で紫外線を照射しつつ塩素ガスを0.25
g/分の流速でバブリングした。6日後、紫外線照射を
停止し、反応混合物を室温に戻した後、窒素ガスで残留
する塩素ガスを置換した。ついでメタノール70gを添
加してエステル化反応を行なった後、5重量%塩化ナト
リウム水溶液5リットルで3回洗浄してエステル混合物
(液状)を得た(収量:919g)。
【0103】得られたエステル混合物を2リットルのフ
ラスコに移し、60〜70℃とした後フェノールフタレ
インをpH指示薬として10重量%NaOH/メタノー
ル溶液を加えてケン化し、減圧下に過剰のメタノールを
留去し、80℃で恒量に達するまで減圧下に乾燥し、白
色固体910gを得た。
ラスコに移し、60〜70℃とした後フェノールフタレ
インをpH指示薬として10重量%NaOH/メタノー
ル溶液を加えてケン化し、減圧下に過剰のメタノールを
留去し、80℃で恒量に達するまで減圧下に乾燥し、白
色固体910gを得た。
【0104】つぎにドライアイスで充分に冷却されたト
ラップに接続された2リットルのフラスコに得られた白
色固体を砕いて入れ、窒素ガスで充分置換した。ついで
10mmHgの減圧下、180〜250℃の条件で反応
を開始し、72時間加熱してトラップ内に744gの黄
色液体を得た。この液体を減圧精留し、沸点72〜75
℃/30mmHgの留分として、1,2,2−トリフル
オロ−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ
−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テ
トラフルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性
体混合物(淡黄色液体)460gを得た(収率:50.
5%)。
ラップに接続された2リットルのフラスコに得られた白
色固体を砕いて入れ、窒素ガスで充分置換した。ついで
10mmHgの減圧下、180〜250℃の条件で反応
を開始し、72時間加熱してトラップ内に744gの黄
色液体を得た。この液体を減圧精留し、沸点72〜75
℃/30mmHgの留分として、1,2,2−トリフル
オロ−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ
−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テ
トラフルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性
体混合物(淡黄色液体)460gを得た(収率:50.
5%)。
【0105】(4)パーフルオロ(5−メチル−4,7
−ジオキサ−8−ノネン酸)メチル(CF2=CFOC
F2CF(CF3)OCF2CF2COOCH3)とその異
性体との混合物の合成 合成例1−(3)で合成した1,2,2−トリフルオロ
−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2
−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラ
フルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性体混
合物450gを5リットルのフラスコに入れ、水920
ml、アセトニトリル306mlおよび炭酸水素ナトリ
ウム196gを加えた。攪拌下に内温を25℃に保ち、
ハイドロサルファイトナトリウム(Na2S2O4)32
5gを添加して反応を開始した。24時間後、反応混合
物に10重量%塩酸を滴下してpH1〜2とした後、ジ
エチルエーテル3リットルで有機成分を抽出した。減圧
下に室温〜30℃でジエチルエーテルを留去し、濃縮物
を得た。
−ジオキサ−8−ノネン酸)メチル(CF2=CFOC
F2CF(CF3)OCF2CF2COOCH3)とその異
性体との混合物の合成 合成例1−(3)で合成した1,2,2−トリフルオロ
−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2
−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラ
フルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性体混
合物450gを5リットルのフラスコに入れ、水920
ml、アセトニトリル306mlおよび炭酸水素ナトリ
ウム196gを加えた。攪拌下に内温を25℃に保ち、
ハイドロサルファイトナトリウム(Na2S2O4)32
5gを添加して反応を開始した。24時間後、反応混合
物に10重量%塩酸を滴下してpH1〜2とした後、ジ
エチルエーテル3リットルで有機成分を抽出した。減圧
下に室温〜30℃でジエチルエーテルを留去し、濃縮物
を得た。
【0106】この濃縮物の全量を3リットルのフラスコ
にあけ、水1.9リットルを加えて攪拌しながら、酸素
ガスを2リットル/分の流量でバブリングし、反応を開
始した。3時間後、酸素ガスの供給を停止し、反応混合
物の水層がpH1以下になるまで濃硫酸を加えた後ジエ
チルエーテルで有機成分を抽出した。減圧下に室温〜6
0℃でジエチルエーテルを留去し、濃縮残渣を得た。
にあけ、水1.9リットルを加えて攪拌しながら、酸素
ガスを2リットル/分の流量でバブリングし、反応を開
始した。3時間後、酸素ガスの供給を停止し、反応混合
物の水層がpH1以下になるまで濃硫酸を加えた後ジエ
チルエーテルで有機成分を抽出した。減圧下に室温〜6
0℃でジエチルエーテルを留去し、濃縮残渣を得た。
【0107】この濃縮残渣を還流冷却器を接続した3リ
ットルのフラスコに入れ、メタノール365gおよび濃
硫酸10gを加えてメタノール還流下に8時間反応させ
た。反応生成物を常圧から徐々に減圧にし、最終的に3
0mmHgの減圧し、室温から160℃までのスチル温
度で蒸留して溶媒であるメタノールと共に留出する成分
を集め、パーフルオロ(5−メチル−4,7−ジオキサ
−8−ノネン酸)メチルの異性体混合物の粗製物のメタ
ノール溶液640gを得た。
ットルのフラスコに入れ、メタノール365gおよび濃
硫酸10gを加えてメタノール還流下に8時間反応させ
た。反応生成物を常圧から徐々に減圧にし、最終的に3
0mmHgの減圧し、室温から160℃までのスチル温
度で蒸留して溶媒であるメタノールと共に留出する成分
を集め、パーフルオロ(5−メチル−4,7−ジオキサ
−8−ノネン酸)メチルの異性体混合物の粗製物のメタ
ノール溶液640gを得た。
【0108】(5)パーフルオロ(8−シアノ−5−メ
チル−3,6−ジオキサ−1−オクテン(CF2=CF
OCF2CF(CF3)OCF2CF2CN)とその異性体
との混合物の合成 合成例1−(4)で合成したパーフルオロ(5−メチル
−4,7−ジオキサ−8−ノネン酸)メチルの異性体混
合物の粗製物のメタノール溶液640gを1リットルの
フラスコに入れ、攪拌下に0℃で28%アンモニア水6
0gを滴下した。室温に戻し24時間攪拌してアミド化
反応を行なったのち、減圧下に室温から80℃でメタノ
ールを留去し、アミド化反応粗生成物272gを得た。
チル−3,6−ジオキサ−1−オクテン(CF2=CF
OCF2CF(CF3)OCF2CF2CN)とその異性体
との混合物の合成 合成例1−(4)で合成したパーフルオロ(5−メチル
−4,7−ジオキサ−8−ノネン酸)メチルの異性体混
合物の粗製物のメタノール溶液640gを1リットルの
フラスコに入れ、攪拌下に0℃で28%アンモニア水6
0gを滴下した。室温に戻し24時間攪拌してアミド化
反応を行なったのち、減圧下に室温から80℃でメタノ
ールを留去し、アミド化反応粗生成物272gを得た。
【0109】ついで500mlの四つ口フラスコにアミ
ド化反応粗生成物272gと脱イオン水240mlを入
れ、窒素ガスで系内を充分に置換した後、攪拌下に−2
0℃でピリジン126gを滴下した。さらに無水トリフ
ルオロ酢酸167gを滴下し、滴下終了後、反応混合物
を室温に戻し1時間攪拌した。反応混合物を水1リット
ルにあけ、下層の有機層を分離し、この有機層を5重量
%塩化ナトリウム水溶液で3回洗浄した後脱水して、淡
黄色液体を得た。
ド化反応粗生成物272gと脱イオン水240mlを入
れ、窒素ガスで系内を充分に置換した後、攪拌下に−2
0℃でピリジン126gを滴下した。さらに無水トリフ
ルオロ酢酸167gを滴下し、滴下終了後、反応混合物
を室温に戻し1時間攪拌した。反応混合物を水1リット
ルにあけ、下層の有機層を分離し、この有機層を5重量
%塩化ナトリウム水溶液で3回洗浄した後脱水して、淡
黄色液体を得た。
【0110】つづいてこの液体を精留し、沸点100℃
の留分としてパーフルオロ(8−シアノ−5−メチル−
3,6−ジオキサ−1−オクテンの異性体混合物(無色
透明液体)90gを得た。上記(4)の出発物質である
1,2,2−トリフルオロ−1−[1,1,2,3,
3,3−ヘキサフルオロ−2−(1,1,2,2−テト
ラフルオロ−3,3,3−トリクロロプロポキシ)プロ
ポキシ]エチレンの異性体混合物からの収率は24.7
%であった。
の留分としてパーフルオロ(8−シアノ−5−メチル−
3,6−ジオキサ−1−オクテンの異性体混合物(無色
透明液体)90gを得た。上記(4)の出発物質である
1,2,2−トリフルオロ−1−[1,1,2,3,
3,3−ヘキサフルオロ−2−(1,1,2,2−テト
ラフルオロ−3,3,3−トリクロロプロポキシ)プロ
ポキシ]エチレンの異性体混合物からの収率は24.7
%であった。
【0111】得られたパーフルオロ(8−シアノ−5−
メチル−3,6−ジオキサ−1−オクテンの異性体混合
物(CNVE)の19F−NMRをブルガ社製のAC30
0P(商品名)により分析(ニート、CH3F基準)し
たところ、−141.28ppmと−144.04pp
mにピークが存在し、−141.28ppmのピーク(I
b)と−144.04ppmのピーク(Ia)の比((Ib)/
(Ia))は0.0101であった。
メチル−3,6−ジオキサ−1−オクテンの異性体混合
物(CNVE)の19F−NMRをブルガ社製のAC30
0P(商品名)により分析(ニート、CH3F基準)し
たところ、−141.28ppmと−144.04pp
mにピークが存在し、−141.28ppmのピーク(I
b)と−144.04ppmのピーク(Ia)の比((Ib)/
(Ia))は0.0101であった。
【0112】合成例2
(1)3−クロロ−2,2−ジフルオロプロピオニルフ
ルオライド(ClCH2CF2COF)とその異性体との
混合物の合成 20リットルのフラスコにN,N−ジメチルホルムアミ
ド10kg、塩化銅(CuCl2)2.8kgを仕込
み、攪拌して内温を30℃に保ちながらテトラフルオロ
オキセタン2.78kgを滴下した。滴下終了後1時間
攪拌を続けて反応を完了した。ついで蒸留により沸点4
8〜50℃の3−クロロ−2,2−ジフルオロプロピオ
ニルフルオライドの異性体混合物(無色透明液体)1.
58kgを得た(収率:50.4%)。
ルオライド(ClCH2CF2COF)とその異性体との
混合物の合成 20リットルのフラスコにN,N−ジメチルホルムアミ
ド10kg、塩化銅(CuCl2)2.8kgを仕込
み、攪拌して内温を30℃に保ちながらテトラフルオロ
オキセタン2.78kgを滴下した。滴下終了後1時間
攪拌を続けて反応を完了した。ついで蒸留により沸点4
8〜50℃の3−クロロ−2,2−ジフルオロプロピオ
ニルフルオライドの異性体混合物(無色透明液体)1.
58kgを得た(収率:50.4%)。
【0113】(2)FC(=O)CF(CF3)OCF2
CF(CF3)OCF2CF2CH2Cl)とその異性体と
の混合物の合成 ドライアイス冷却器を接続した四つ口フラスコにセシウ
ムフルオライド77g、テトラグライム154gおよび
合成例2−(1)で合成した3−クロロ−2,2−ジフ
ルオロプロピオニルフルオライドの異性体混合物1.5
kgを仕込み、攪拌しながら−7℃に冷却した。ついで
ヘキサフルオロプロペンオキサイド1.9kgを反応温
度50℃に保ちながら30時間かけて流入した。ヘキサ
フルオロプロペンオキサイドの流入を停止し、反応混合
物を減圧精留し、95℃/200mmHg留分としてF
C(=O)CF(CF3)OCF2CF(CF3)OCF2
CF2CH2Cl)の異性体混合物(無色透明液体)26
4gを得た(収率:5.4%)。
CF(CF3)OCF2CF2CH2Cl)とその異性体と
の混合物の合成 ドライアイス冷却器を接続した四つ口フラスコにセシウ
ムフルオライド77g、テトラグライム154gおよび
合成例2−(1)で合成した3−クロロ−2,2−ジフ
ルオロプロピオニルフルオライドの異性体混合物1.5
kgを仕込み、攪拌しながら−7℃に冷却した。ついで
ヘキサフルオロプロペンオキサイド1.9kgを反応温
度50℃に保ちながら30時間かけて流入した。ヘキサ
フルオロプロペンオキサイドの流入を停止し、反応混合
物を減圧精留し、95℃/200mmHg留分としてF
C(=O)CF(CF3)OCF2CF(CF3)OCF2
CF2CH2Cl)の異性体混合物(無色透明液体)26
4gを得た(収率:5.4%)。
【0114】(3)2,3,3,3−テトラフルオロ−
2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−
(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラフ
ルオロプロポキシ)プロポキシ]プロピオン酸メチル
(CH3OC(=O)CF(CF3)OCF2CF(C
F3)OCF2CF2CCl3)とその異性体との混合物の
合成 ドライアイス冷却器を接続した1リットルの四つ口フラ
スコに合成例2−(2)で合成したFC(=O)CF
(CF3)OCF2CF(CF3)OCF2CF2CH2C
l)の異性体混合物260gを仕込み、攪拌しながら4
00W高圧水銀灯を外部から照射し、塩素ガスをバブリ
ングさせた。内温は塩素ガスの還流により−15℃〜2
5℃を保った。出発物質であるFC(=O)CF(CF
3)OCF2CF(CF3)OCF2CF2CH2Cl)の異
性体混合物が消失するまで塩素ガスの導入を続けた。2
4時間後、塩素導入をガスの停止し、系内を窒素ガスで
置換した。
2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−
(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラフ
ルオロプロポキシ)プロポキシ]プロピオン酸メチル
(CH3OC(=O)CF(CF3)OCF2CF(C
F3)OCF2CF2CCl3)とその異性体との混合物の
合成 ドライアイス冷却器を接続した1リットルの四つ口フラ
スコに合成例2−(2)で合成したFC(=O)CF
(CF3)OCF2CF(CF3)OCF2CF2CH2C
l)の異性体混合物260gを仕込み、攪拌しながら4
00W高圧水銀灯を外部から照射し、塩素ガスをバブリ
ングさせた。内温は塩素ガスの還流により−15℃〜2
5℃を保った。出発物質であるFC(=O)CF(CF
3)OCF2CF(CF3)OCF2CF2CH2Cl)の異
性体混合物が消失するまで塩素ガスの導入を続けた。2
4時間後、塩素導入をガスの停止し、系内を窒素ガスで
置換した。
【0115】得られた反応混合物を1リットルのフッ素
樹脂容器にあけ、メタノール20gを氷冷しながら加
え、ついで5重量%塩化ナトリウム水溶液で3回洗浄し
た後脱水し、粗生成物を得た。
樹脂容器にあけ、メタノール20gを氷冷しながら加
え、ついで5重量%塩化ナトリウム水溶液で3回洗浄し
た後脱水し、粗生成物を得た。
【0116】この粗生成物を減圧精留し、80〜83℃
/4mmHgの留分として2,3,3,3−テトラフル
オロ−2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ
−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テ
トラフルオロプロポキシ)プロポキシ]プロピオン酸メ
チルの異性体混合物(無色透明液体)220gを得た
(収率:72.3%)。
/4mmHgの留分として2,3,3,3−テトラフル
オロ−2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ
−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テ
トラフルオロプロポキシ)プロポキシ]プロピオン酸メ
チルの異性体混合物(無色透明液体)220gを得た
(収率:72.3%)。
【0117】(4)1,2,2−トリフルオロ−1−
[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−
(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラフ
ルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレン(CF2=C
FOCF2CF(CF3)OCF2CF2CCl3)とその
異性体との混合物の合成 合成例2−(3)で合成した2,3,3,3−テトラフ
ルオロ−2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオ
ロ−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−
テトラフルオロプロポキシ)プロポキシ]プロピオン酸
メチルの異性体混合物210gを1リットルのフラスコ
に仕込み、60℃とした後フェノールフタレインをpH
指示薬として10重量%NaOH/メタノール溶液を加
えてケン化し、減圧下に過剰のメタノールを留去し、8
0℃で恒量に達するまで減圧下に乾燥し、白色固体20
5gを得た。
[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−
(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラフ
ルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレン(CF2=C
FOCF2CF(CF3)OCF2CF2CCl3)とその
異性体との混合物の合成 合成例2−(3)で合成した2,3,3,3−テトラフ
ルオロ−2−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオ
ロ−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−
テトラフルオロプロポキシ)プロポキシ]プロピオン酸
メチルの異性体混合物210gを1リットルのフラスコ
に仕込み、60℃とした後フェノールフタレインをpH
指示薬として10重量%NaOH/メタノール溶液を加
えてケン化し、減圧下に過剰のメタノールを留去し、8
0℃で恒量に達するまで減圧下に乾燥し、白色固体20
5gを得た。
【0118】つぎにドライアイスで充分に冷却されたト
ラップに接続された2リットルのフラスコに得られた白
色固体を砕いて入れ、窒素ガスで充分置換した。ついで
25mmHgの減圧下、180〜250℃の条件で反応
を開始し、72時間加熱してトラップ内に160gの黄
色液体を得た。この液体を減圧精留し、沸点72〜75
℃/30mmHgの留分として、1,2,2−トリフル
オロ−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ
−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テ
トラフルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性
体混合物(淡黄色液体)125gを得た(収率:69.
2%)。
ラップに接続された2リットルのフラスコに得られた白
色固体を砕いて入れ、窒素ガスで充分置換した。ついで
25mmHgの減圧下、180〜250℃の条件で反応
を開始し、72時間加熱してトラップ内に160gの黄
色液体を得た。この液体を減圧精留し、沸点72〜75
℃/30mmHgの留分として、1,2,2−トリフル
オロ−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ
−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テ
トラフルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性
体混合物(淡黄色液体)125gを得た(収率:69.
2%)。
【0119】(5)パーフルオロ(5−メチル−4,7
−ジオキサ−8−ノネン酸)メチル(CF2=CFOC
F2CF(CF3)OCF2CF2COOCH3)とその異
性体との混合物の合成 合成例1−(4)において、1,2,2−トリフルオロ
−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2
−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラ
フルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性体混
合物に代えて、合成例2−(4)で合成した1,2,2
−トリフルオロ−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキ
サフルオロ−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,
2,2−テトラフルオロプロポキシ)プロポキシ]エチ
レンの異性体混合物120gを使用したほかは同様にし
て、パーフルオロ(5−メチル−4,7−ジオキサ−8
−ノネン酸)メチルの異性体混合物のメタノール溶液1
73gを得た。
−ジオキサ−8−ノネン酸)メチル(CF2=CFOC
F2CF(CF3)OCF2CF2COOCH3)とその異
性体との混合物の合成 合成例1−(4)において、1,2,2−トリフルオロ
−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2
−(3,3,3−トリクロロ−1,1,2,2−テトラ
フルオロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性体混
合物に代えて、合成例2−(4)で合成した1,2,2
−トリフルオロ−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキ
サフルオロ−2−(3,3,3−トリクロロ−1,1,
2,2−テトラフルオロプロポキシ)プロポキシ]エチ
レンの異性体混合物120gを使用したほかは同様にし
て、パーフルオロ(5−メチル−4,7−ジオキサ−8
−ノネン酸)メチルの異性体混合物のメタノール溶液1
73gを得た。
【0120】(6)パーフルオロ(8−シアノ−5−メ
チル−3,6−ジオキサ−1−オクテン(CF2=CF
OCF2CF(CF3)OCF2CF2CN)とその異性体
との混合物の合成 合成例1−(5)において、パーフルオロ(5−メチル
−4,7−ジオキサ−8−ノネン酸)メチルの異性体混
合物の粗製物のメタノール溶液に代えて、合成例2−
(5)で合成したパーフルオロ(5−メチル−4,7−
ジオキサ−8−ノネン酸)メチルの異性体混合物の粗製
物のメタノール溶液173gを使用したほかは同様にし
て、パーフルオロ(8−シアノ−5−メチル−3,6−
ジオキサ−1−オクテンの異性体混合物22gを得た。
上記(5)の出発物質である1,2,2−トリフルオロ
−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2
−(1,1,2,2−テトラフルオロ−3,3,3−ト
リクロロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性体混
合物からの収率は22.7%であった。
チル−3,6−ジオキサ−1−オクテン(CF2=CF
OCF2CF(CF3)OCF2CF2CN)とその異性体
との混合物の合成 合成例1−(5)において、パーフルオロ(5−メチル
−4,7−ジオキサ−8−ノネン酸)メチルの異性体混
合物の粗製物のメタノール溶液に代えて、合成例2−
(5)で合成したパーフルオロ(5−メチル−4,7−
ジオキサ−8−ノネン酸)メチルの異性体混合物の粗製
物のメタノール溶液173gを使用したほかは同様にし
て、パーフルオロ(8−シアノ−5−メチル−3,6−
ジオキサ−1−オクテンの異性体混合物22gを得た。
上記(5)の出発物質である1,2,2−トリフルオロ
−1−[1,1,2,3,3,3−ヘキサフルオロ−2
−(1,1,2,2−テトラフルオロ−3,3,3−ト
リクロロプロポキシ)プロポキシ]エチレンの異性体混
合物からの収率は22.7%であった。
【0121】得られたパーフルオロ(8−シアノ−5−
メチル−3,6−ジオキサ−1−オクテンの異性体混合
物(CNVE)の19F−NMRをブルガ社製のAC30
0P(商品名)により分析(ニート、CH3F基準)し
たところ、−141.28ppmと−144.04pp
mにピークが存在し、−141.28ppmのピーク(I
b)と−144.04ppmのピーク(Ia)の比((Ib)/
(Ia))は0.0391であった。
メチル−3,6−ジオキサ−1−オクテンの異性体混合
物(CNVE)の19F−NMRをブルガ社製のAC30
0P(商品名)により分析(ニート、CH3F基準)し
たところ、−141.28ppmと−144.04pp
mにピークが存在し、−141.28ppmのピーク(I
b)と−144.04ppmのピーク(Ia)の比((Ib)/
(Ia))は0.0391であった。
【0122】実施例1
着火源をもたない内容積6リットルのステンレススチー
ル製オートクレーブに、純水2リットルおよび乳化剤と
して
ル製オートクレーブに、純水2リットルおよび乳化剤と
して
【0123】
【化24】
【0124】20g、pH調整剤としてリン酸水素二ナ
トリウム・12水塩0.18gを仕込み、系内を窒素ガ
スで充分に置換し脱気したのち、600rpmで撹拌し
ながら、50℃に昇温し、テトラフルオロエチレン(T
FE)とパーフルオロ(メチルビニルエーテル)(PM
VE)の混合ガス(TFE/PMVE=25/75モル
比)を、内圧が0.78MPa・Gになるように仕込ん
だ。ついで、過硫酸アンモニウム(APS)の527m
g/mlの濃度の水溶液20mlを窒素圧で圧入して反
応を開始した。
トリウム・12水塩0.18gを仕込み、系内を窒素ガ
スで充分に置換し脱気したのち、600rpmで撹拌し
ながら、50℃に昇温し、テトラフルオロエチレン(T
FE)とパーフルオロ(メチルビニルエーテル)(PM
VE)の混合ガス(TFE/PMVE=25/75モル
比)を、内圧が0.78MPa・Gになるように仕込ん
だ。ついで、過硫酸アンモニウム(APS)の527m
g/mlの濃度の水溶液20mlを窒素圧で圧入して反
応を開始した。
【0125】重合の進行により内圧が、0.69MPa
・Gまで降下した時点で、合成例2で合成したCF2=
CFOCF2CF(CF3)OCF2CF2CN(CNV
E)の異性体混合物((Ib)/(Ia)ピーク比=
0.0391)4.6gを窒素圧にて圧入した。ついで
圧力が0.78MPa・Gになるように、TFEを9.
4gおよびPMVE10.6gをそれぞれ自圧にて圧入
した。以後、反応の進行にともない同様にTFE、PM
VEを圧入し、0.69〜0.78MPa・Gのあいだ
で、昇圧、降圧を繰り返した。
・Gまで降下した時点で、合成例2で合成したCF2=
CFOCF2CF(CF3)OCF2CF2CN(CNV
E)の異性体混合物((Ib)/(Ia)ピーク比=
0.0391)4.6gを窒素圧にて圧入した。ついで
圧力が0.78MPa・Gになるように、TFEを9.
4gおよびPMVE10.6gをそれぞれ自圧にて圧入
した。以後、反応の進行にともない同様にTFE、PM
VEを圧入し、0.69〜0.78MPa・Gのあいだ
で、昇圧、降圧を繰り返した。
【0126】重合反応の開始から4時間後、TFEおよ
びPMVEの合計仕込み量が140gになった時点で、
オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して含
フッ素エラストマー性共重合体の水性分散体(固形分濃
度6.5重量%)2140gを得た。
びPMVEの合計仕込み量が140gになった時点で、
オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して含
フッ素エラストマー性共重合体の水性分散体(固形分濃
度6.5重量%)2140gを得た。
【0127】この水性分散体のうち2120gを水63
60gで希釈し、3.5重量%塩酸水溶液5600g中
に、撹拌しながらゆっくりと添加した。添加後5分間撹
拌した後、凝析物をろ別し、得られたポリマーをさらに
4kgのCH3CFCl2(HCFC−141b)中にあ
け、5分間撹拌し、再びろ別した。この後このHCFC
−141bによる洗浄、ろ別の操作をさらに4回繰り返
したのち、60℃で72時間真空乾燥させ、130gの
ニトリル基含有含フッ素エラストマー性材料を得た。
60gで希釈し、3.5重量%塩酸水溶液5600g中
に、撹拌しながらゆっくりと添加した。添加後5分間撹
拌した後、凝析物をろ別し、得られたポリマーをさらに
4kgのCH3CFCl2(HCFC−141b)中にあ
け、5分間撹拌し、再びろ別した。この後このHCFC
−141bによる洗浄、ろ別の操作をさらに4回繰り返
したのち、60℃で72時間真空乾燥させ、130gの
ニトリル基含有含フッ素エラストマー性材料を得た。
【0128】19F−NMR分析の結果、このエラストマ
ーのモノマー単位組成は、TFE/PMVE/CNVE
(異性体混合物)=59.7/39.5/0.8モル%
であった。また、140℃でのムーニー粘度は74であ
った。
ーのモノマー単位組成は、TFE/PMVE/CNVE
(異性体混合物)=59.7/39.5/0.8モル%
であった。また、140℃でのムーニー粘度は74であ
った。
【0129】この含フッ素エラストマー性材料50gに
架橋剤として、AFTA−Ph:
架橋剤として、AFTA−Ph:
【0130】
【化25】
【0131】を1.4g、フィラーとして酸化チタン
(富士チタン工業(株)製のTM−1.商品名)を1
1.5g配合して、オープンロールによりゴム練りした
ところ、ロールへの巻きつき性が良好であった。
(富士チタン工業(株)製のTM−1.商品名)を1
1.5g配合して、オープンロールによりゴム練りした
ところ、ロールへの巻きつき性が良好であった。
【0132】得られた架橋用含フッ素エラストマー組成
物を180℃で10分間プレスして架橋を行なったの
ち、さらにオーブン中で表4に記載の条件で2段階のオ
ーブン架橋を施し、厚さ2mmの架橋物およびO−リン
グ(AS−568A−214)の被験サンプルを作製し
た。この架橋物の架橋性、常態物性および圧縮永久歪み
について測定した。結果を表4に示す。
物を180℃で10分間プレスして架橋を行なったの
ち、さらにオーブン中で表4に記載の条件で2段階のオ
ーブン架橋を施し、厚さ2mmの架橋物およびO−リン
グ(AS−568A−214)の被験サンプルを作製し
た。この架橋物の架橋性、常態物性および圧縮永久歪み
について測定した。結果を表4に示す。
【0133】(架橋性)各架橋用組成物についてJSR
型キュラストメーターII型により、表4に記載の温度に
て加硫曲線を求め、最低粘度(νmin)、最高粘度
(νmax)、誘導時間(T10)および最適加硫時間
(T90)を求める、
型キュラストメーターII型により、表4に記載の温度に
て加硫曲線を求め、最低粘度(νmin)、最高粘度
(νmax)、誘導時間(T10)および最適加硫時間
(T90)を求める、
【0134】(常態物性)JIS K6301に準じて
厚さ2mmの架橋物の常態(25℃)での100%モジ
ュラス、引張強度、引張伸びおよび硬度(ShoreA硬
度)を測定する。
厚さ2mmの架橋物の常態(25℃)での100%モジ
ュラス、引張強度、引張伸びおよび硬度(ShoreA硬
度)を測定する。
【0135】(圧縮永久歪み)JIS K6301に準
じてO−リング(AS−568A−214)の275℃
70時間および275℃168時間後の圧縮永久歪みを
測定する。
じてO−リング(AS−568A−214)の275℃
70時間および275℃168時間後の圧縮永久歪みを
測定する。
【0136】比較例1
実施例1において、含フッ素ビニルエーテル単量体混合
物として合成例1で得たCF2=CFOCF2CF(CF
3)OCF2CF2CN(CNVE)の異性体混合物((Ib)
/(Ia)ピーク比=0.0101)を使用した以外は同様に
して重合し、重合反応の開始から3.7時間後、TFE
およびPMVEの合計仕込み量が140gになった時点
で、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出し
て含フッ素エラストマー性共重合体の水性分散体(固形
分濃度6.5重量%)2136gを得た。
物として合成例1で得たCF2=CFOCF2CF(CF
3)OCF2CF2CN(CNVE)の異性体混合物((Ib)
/(Ia)ピーク比=0.0101)を使用した以外は同様に
して重合し、重合反応の開始から3.7時間後、TFE
およびPMVEの合計仕込み量が140gになった時点
で、オートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出し
て含フッ素エラストマー性共重合体の水性分散体(固形
分濃度6.5重量%)2136gを得た。
【0137】この水性分散体のうち2120gを水63
60gで希釈し、3.5重量%塩酸水溶液5600g中
に、撹拌しながらゆっくりと添加した。添加後5分間撹
拌した後、凝析物をろ別し、得られたポリマーをさらに
4kgのHCFC−141b中にあけ、5分間撹拌し、
再びろ別した。この後このHCFC−141bによる洗
浄、ろ別の操作をさらに4回繰り返したのち、60℃で
72時間真空乾燥させ、128gのニトリル基含有含フ
ッ素エラストマー性材料を得た。
60gで希釈し、3.5重量%塩酸水溶液5600g中
に、撹拌しながらゆっくりと添加した。添加後5分間撹
拌した後、凝析物をろ別し、得られたポリマーをさらに
4kgのHCFC−141b中にあけ、5分間撹拌し、
再びろ別した。この後このHCFC−141bによる洗
浄、ろ別の操作をさらに4回繰り返したのち、60℃で
72時間真空乾燥させ、128gのニトリル基含有含フ
ッ素エラストマー性材料を得た。
【0138】19F−NMR分析の結果、このエラストマ
ーのモノマー単位組成は、TFE/PMVE/CNVE
(異性体混合物)=59.4/39.8/0.8モル%
であった。また、140℃でのムーニー粘度は120で
あった。
ーのモノマー単位組成は、TFE/PMVE/CNVE
(異性体混合物)=59.4/39.8/0.8モル%
であった。また、140℃でのムーニー粘度は120で
あった。
【0139】この含フッ素エラストマー性材料50gを
用い、実施例1と同じ配合で架橋用含フッ素エラストマ
ー組成物をオープンロールによりゴム練りしたところ、
ロールへの巻きつき性は実施例1よりも劣っていた。
用い、実施例1と同じ配合で架橋用含フッ素エラストマ
ー組成物をオープンロールによりゴム練りしたところ、
ロールへの巻きつき性は実施例1よりも劣っていた。
【0140】得られた架橋用含フッ素エラストマー組成
物を実施例1と同じ条件で架橋し、得られた架橋物の架
橋性、常態物性および圧縮永久歪みについて実施例1と
同様に測定した。結果を表4に示す。
物を実施例1と同じ条件で架橋し、得られた架橋物の架
橋性、常態物性および圧縮永久歪みについて実施例1と
同様に測定した。結果を表4に示す。
【0141】
【表4】
【0142】表4から明らかなように、実施例1は比較
例1に比べ、一次架橋時のMLが小さくて加工性がよ
く、またT90が短く架橋速度が速いにもかかわらず常態
物性、圧縮永久歪みは同等のレベルを維持している。
例1に比べ、一次架橋時のMLが小さくて加工性がよ
く、またT90が短く架橋速度が速いにもかかわらず常態
物性、圧縮永久歪みは同等のレベルを維持している。
【0143】
【発明の効果】本発明によれば、機械的特性および耐熱
性を維持したまま、加工性および架橋性に優れた架橋用
含フッ素エラストマー組成物を提供することができる。
性を維持したまま、加工性および架橋性に優れた架橋用
含フッ素エラストマー組成物を提供することができる。
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フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考)
C08K 5/29 C08K 5/29
C08L 27/12 C08L 27/12
(72)発明者 尾形 慎太郎
大阪府摂津市西一津屋1番1号 ダイキン
工業株式会社淀川製作所内
(72)発明者 西林 浩文
大阪府摂津市西一津屋1番1号 ダイキン
工業株式会社淀川製作所内
(72)発明者 山外 隆文
大阪府摂津市西一津屋1番1号 ダイキン
工業株式会社淀川製作所内
(72)発明者 野口 剛
大阪府摂津市西一津屋1番1号 ダイキン
工業株式会社淀川製作所内
(72)発明者 岸根 充
大阪府摂津市西一津屋1番1号 ダイキン
工業株式会社淀川製作所内
Fターム(参考) 4F071 AA26 AC12 AE02 BC17
4J002 BD121 BE041 EN076 ER006
FD146
4J015 CA03
4J100 AC24Q AC26Q AC27Q AE32Q
AE38P AE38Q BA07P BA16P
BA20P BA40P BB12P BB18Q
CA05
Claims (14)
- 【請求項1】 (A)式(I): 【化1】 (式中、Rfは炭素数1〜10の直鎖状もしくは分岐鎖
状のパーフルオロアルキリデン基または炭素数1〜10
の直鎖状もしくは分岐鎖状のパーフルオロオキシアルキ
リデン基;XはCN基、COOH基またはCOOR基
(Rは炭素数1〜6の置換されていてもよい直鎖状もし
くは分岐鎖状のアルキル基))で示されかつ 19F−NM
Rにおいて−143ppm〜−145ppmにピークを
有する含フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)と、含フッ素
ビニルエーテル単量体(Ia)の構造異性体であってかつ19
F−NMRにおいて−141ppm〜−142ppmに
ピークを有する含フッ素ビニルエーテル単量体(Ib)と
の混合物であって、含フッ素ビニルエーテル単量体(Ib)
/(Ia)の混合比が−141ppm〜−142ppmのピ
ーク強度/−143ppm〜−145ppmのピーク強
度比で0.02以上である含フッ素ビニルエーテル単量
体混合物、(B)該含フッ素ビニルエーテル単量体(Ia)
および(Ib)を除く含フッ素ビニル単量体、および
(C)任意に、非フッ素系単量体を共重合する含フッ素
エラストマー性共重合体の製造法。 - 【請求項2】 前記含フッ素ビニルエーテル単量体(I
a)が、式(II): 【化2】 (式中、Xは前記と同じ、nは1〜5の整数)で示され
る化合物である請求項1記載の製造法。 - 【請求項3】 前記XがCN基および/またはCOOH
基である請求項1または2記載の製造法。 - 【請求項4】 前記含フッ素ビニル単量体(B)が、1種
または2種以上のパーフルオロビニル単量体である請求
項1〜3のいずれかに記載の製造法。 - 【請求項5】 前記含フッ素ビニルエーテル単量体混合
物(A)が、−141ppm〜−142ppmのピーク
強度/−143ppm〜−145ppmのピーク強度比
で0.02〜0.10の混合物である請求項1〜4のい
ずれかに記載の製造法。 - 【請求項6】 前記含フッ素ビニルエーテル単量体(I
a)および(Ib)の含フッ素エラストマー性共重合体中
の合計含有量が0.2〜5モル%となるように重合する
請求項1〜5のいずれかに記載の製造法。 - 【請求項7】 重合反応を5〜100℃で行なう請求項
1〜6のいずれかに記載の製造法。 - 【請求項8】 重合開始剤として過硫酸塩を使用する請
求項1〜7のいずれかに記載の製造法。 - 【請求項9】 重合を乳化重合法によって行なう請求項
1〜8のいずれかに記載の製造法。 - 【請求項10】 請求項1〜9のいずれかに記載の製造
法で得られる含フッ素エラストマー性共重合体生成物を
酸で処理することを特徴とする含フッ素エラストマー材
料の製造法。 - 【請求項11】 請求項10記載の製造法で製造された
含フッ素エラストマー材料。 - 【請求項12】 請求項11記載の含フッ素エラストマ
ー材料および架橋剤および/または架橋促進剤からなる
架橋用含フッ素エラストマー組成物。 - 【請求項13】 前記架橋剤が、式(1): 【化3】 (式中、R1は−SO2−、−O−、−C(=O)−、 【化4】 炭素数1〜10のアルキリデン基、炭素数1〜10のパ
ーフルオロアルキリデン基または単結合手;X1は−O
H、−NH2、−SH、−NHR(Rは炭素数1〜6の
置換されていてもよい直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキ
ル基)または−NHAr(Arは置換されていてもよい
フェニル基またはナフチル基))で示される化合物、式
(2): 【化5】 (式中、R2は置換されていてもよい直鎖状もしくは分
岐鎖状のアルキリデン基、置換されていてもよいアリー
レン基、 【化6】 (R3は−SO2−、−O−、−C(=O)−、 【化7】 または単結合手)で示される化合物、式(3): 【化8】 (式中、mは1〜10の整数)で示される化合物、式
(4): 【化9】 (式中、X2は同じかまたは異なり、いずれもHまたは
NH2;pは1〜10の整数)で示される化合物、およ
び/または式(5): 【化10】 (式中、X3は同じかまたは異なり、いずれもHまたは
NH2;Yは同じかまたは異なり、いずれもHまたはO
H)で示される化合物である請求項12記載の組成物。 - 【請求項14】 請求項12または13記載の架橋用含
フッ素エラストマー組成物を架橋して得られる架橋含フ
ッ素エラストマー成形品。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002032931A JP2003231719A (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 架橋用含フッ素エラストマー組成物 |
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|---|---|---|---|
| JP2002032931A JP2003231719A (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 架橋用含フッ素エラストマー組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003231719A true JP2003231719A (ja) | 2003-08-19 |
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|---|---|---|---|
| JP2002032931A Pending JP2003231719A (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 架橋用含フッ素エラストマー組成物 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2003231719A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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