JP2003297265A - Image display device and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】温度の上昇や消費電力の増加を引き起こすこと
なく、電子ビームの軌道ずれを防止し、画像品位の向上
した画像表示装置およびその製造方法を提供することに
ある。
【解決手段】画像表示面を有する第1基板10と、第1
基板に隙間を置いて対向配置されているとともに、画像
表示面を励起する複数の電子源18が設けられた第2基
板と、を備え、これら第1および第2基板間には、これ
らの基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペー
サが30a、30bが設けられている。スペーサの第2
基板側の先端と第2基板との間には、電子源から放出さ
れた電子ビームを反発する導電体33が設けられてい
る。
An object of the present invention is to provide an image display device with improved image quality, which prevents an electron beam from trajectory without causing a rise in temperature and an increase in power consumption, and a method of manufacturing the same. A first substrate having an image display surface is provided.
A second substrate provided with a plurality of electron sources 18 for exciting an image display surface, the second substrate being provided to face the substrate with a gap therebetween, and between the first and second substrates. Are provided with a plurality of spacers 30a and 30b for supporting an atmospheric pressure load acting on the air bearing. Spacer second
A conductor 33 that repels the electron beam emitted from the electron source is provided between the tip on the substrate side and the second substrate.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、対向配置された
基板と、一方の基板の内面に配設された複数の電子源
と、を有した画像表示装置およびその製造方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image display device having substrates arranged to face each other and a plurality of electron sources arranged on the inner surface of one substrate, and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、高品位放送用あるいはこれに伴う
高解像度の画像表示装置が望まれており、そのスクリー
ン表示性能については一段と厳しい性能が要望されてい
る。これら要望を達成するためにはスクリーン面の平坦
化、高解像度化が必須であり、同時に軽量、薄型化も図
らねばならない。2. Description of the Related Art In recent years, there has been a demand for a high-definition broadcasting image display device or a high-resolution image display device associated therewith, and the screen display performance thereof is required to be more severe. In order to meet these demands, it is necessary to flatten the screen surface and increase the resolution, and at the same time, it is necessary to reduce the weight and the thickness.
【0003】上記のような要望を満たす画像表示装置と
して、例えば、フィールドエミッションディスプレイ
(以下FEDと称する)等の平面表示装置が注目されて
いる。このFEDは、所定の隙間を置いて対向配置され
た第1基板および第2基板を有し、これらの基板は、そ
の周縁部同士が直接あるいは矩形枠状の側壁を介して互
いに接合され真空外囲器を構成している。第1基板の内
面には画像表示を行う為の蛍光体層が形成され、第2基
板の内面には、蛍光体層を励起して発光させる電子源と
して複数の電子放出素子が設けられている。As an image display device satisfying the above demands, for example, a flat panel display device such as a field emission display (hereinafter referred to as FED) has received attention. This FED has a first substrate and a second substrate which are arranged to face each other with a predetermined gap, and the peripheral portions of these substrates are bonded to each other directly or via a rectangular frame-shaped side wall and outside the vacuum. It constitutes the enclosure. A phosphor layer for displaying an image is formed on the inner surface of the first substrate, and a plurality of electron-emitting devices as electron sources for exciting the phosphor layer to emit light are provided on the inner surface of the second substrate. .
【0004】また、第1基板および第2基板に加わる大
気圧荷重を支えるために、これら基板の間には支持部材
として複数のスペーサが配設されている。そして、この
FEDにおいて、画像を表示する場合、蛍光体層にアノ
ード電圧が印加され、電子放出素子から放出された電子
ビームをアノード電圧により加速して蛍光体層へ衝突さ
せることにより、蛍光体が発光して画像を表示する。Further, in order to support the atmospheric pressure load applied to the first substrate and the second substrate, a plurality of spacers are provided as a supporting member between these substrates. When displaying an image in this FED, an anode voltage is applied to the phosphor layer, and the electron beam emitted from the electron-emitting device is accelerated by the anode voltage to collide with the phosphor layer, whereby Lights up and displays an image.
【0005】このようなFEDでは、電子放出素子の大
きさがマイクロメートルオーダーであり、第1基板と第
2基板との間隔をミリメートルオーダーに設定すること
ができる。このため、現在のテレビやコンピュータのデ
ィスプレイとして使用されている陰極線管(CRT)と
比較して、画像表示装置の高解像度化、軽量化、薄型化
を達成することが可能となる。In such an FED, the size of the electron-emitting device is on the order of micrometers, and the distance between the first substrate and the second substrate can be set on the order of millimeters. Therefore, as compared with a cathode ray tube (CRT) currently used as a display of a television or a computer at present, it is possible to achieve higher resolution, lighter weight and thinner profile of an image display device.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述のような画像表示
装置において、実用的な表示特性を得るためには、通常
の陰極線管と同様の蛍光体を用い、アノード電圧を数k
V以上に設定することが望ましい。しかし、第1基板と
第2基板との間の隙間は、解像度や支持部材の特性、製
造性などの観点からあまり大きくすることはできず、1
〜2mm程度に設定する必要がある。そのため、第2基
板から放出された電子が第1基板に形成された蛍光面に
衝突する際、2次電子および反射電子が放出され、これ
らの2次電子、反射電子が基板間に配設されたスペーサ
に衝突し、その結果、スペーサが帯電してしまう。FE
Dにおける加速電圧では、一般にスペーサは正に帯電
し、電子放出素子から放出された電子ビームはスペーサ
に引き付けられ、本来の軌道からずれてしまう。その結
果、蛍光体層に対して電子ビームのミスランディングが
発生し、表示画像の色純度が劣化するという問題があ
る。In order to obtain practical display characteristics in the image display device as described above, a phosphor similar to that of a normal cathode ray tube is used and the anode voltage is set to several k.
It is desirable to set it to V or higher. However, the gap between the first substrate and the second substrate cannot be made too large from the viewpoint of resolution, characteristics of the supporting member, manufacturability, etc.
It is necessary to set it to about 2 mm. Therefore, when the electrons emitted from the second substrate collide with the phosphor screen formed on the first substrate, secondary electrons and reflected electrons are emitted, and these secondary electrons and reflected electrons are arranged between the substrates. And collide with the spacer, and as a result, the spacer is charged. FE
At the acceleration voltage at D, the spacer is generally positively charged, and the electron beam emitted from the electron-emitting device is attracted to the spacer and deviates from the original orbit. As a result, there is a problem that electron beam mislanding occurs in the phosphor layer and the color purity of the displayed image deteriorates.
【0007】このようなスペーサによる電子ビームの吸
引を低減するため、スペーサ表面の全部または一部に導
電処理を施して帯電を逃がすことが考えられる。しかし
ながら、スペーサ自体に導電処理を施した場合、スペー
サを介して第1基板から第2基板に流れる無効電流が増
加し、温度の上昇や消費電力の増加を引き起こす。In order to reduce the attraction of the electron beam by such a spacer, it is conceivable that the entire surface or a part of the spacer surface is subjected to a conductive treatment to release the charge. However, when the spacer itself is subjected to the conductive treatment, the reactive current flowing from the first substrate to the second substrate via the spacer increases, which causes an increase in temperature and an increase in power consumption.
【0008】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、温度の上昇や消費電力の増加を引き起
こすことなく、電子ビームの軌道ずれを防止し、画像品
位の向上した画像表示装置およびその製造方法を提供す
ることにある。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to prevent deviation of the electron beam trajectory without causing an increase in temperature and an increase in power consumption, and an image display apparatus having improved image quality. And to provide a manufacturing method thereof.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の態様に係る画像表示装置は、画像表示面
を有する第1基板と、上記第1基板に隙間を置いて対向
配置されているとともに、電子を放出して上記画像表示
面を励起する複数の電子源が設けられた第2基板と、上
記第1基板および第2基板間に配設され、第1および第
2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペーサ
と、上記スペーサの上記第2基板側の先端と上記第2基
板との間にそれぞれ配置され、上記電子源から放出され
た電子ビームを反発する導電体と、を備えていることを
特徴としている。In order to achieve the above object, an image display device according to an aspect of the present invention includes a first substrate having an image display surface, and a first substrate and a first substrate. Is disposed between the first substrate and the second substrate, which is provided with a plurality of electron sources that emit electrons to excite the image display surface, and act on the first and second substrates. A plurality of spacers that support the atmospheric pressure load, and conductors that are respectively disposed between the second substrate-side end of the spacers and the second substrate and that repel the electron beam emitted from the electron source. It is characterized by having.
【0010】また、この発明の他の態様に係る画像表示
装置の製造方法は、画像表示面を有する第1基板と、上
記第1基板に隙間を置いて対向配置されているととも
に、電子を放出し上記画像表示面を励起する複数の電子
源が設けられた第2基板と、上記第1基板および第2基
板間に配設され、第1および第2基板に作用する大気圧
荷重を支持する複数のスペーサと、を備えた画像表示装
置の製造方法において、上記第2基板の所定位置と上記
スペーサの第2基板側の先端との間に導電体を配置し、
上記スペーサをその第2基板側の先端が上記導電体を挟
んで上記第2基板に当接するように配置した状態で、上
記第1および第2基板を互いに接合することを特徴とし
ている。According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an image display device, the first substrate having an image display surface and the first substrate being opposed to each other with a gap therebetween and emitting electrons. Then, the second substrate provided with a plurality of electron sources for exciting the image display surface is disposed between the first substrate and the second substrate, and supports an atmospheric pressure load acting on the first and second substrates. In a method of manufacturing an image display device including a plurality of spacers, a conductor is arranged between a predetermined position of the second substrate and a tip of the spacer on the second substrate side,
The first and second substrates are joined to each other in a state where the tip of the spacer on the side of the second substrate contacts the second substrate with the conductor interposed therebetween.
【0011】上記のように構成された画像表示装置によ
れば、スペーサ近傍に位置した電子源から放出された電
子は、一旦、導電体によって形成された電界により反発
され、スペーサから離れる方向へ軌道を取った後、今度
はスペーサに吸引されスペーサに接近する方向へ軌道を
取る。そして、この反発と吸引とにより電子の軌道ずれ
が相殺され、電子源から放出された電子は最終的に画像
表示面の目標の位置に到達する。これにより、電子のミ
スランディングに起因する色純度の劣化を低減し、画像
品位の向上した画像表示装置が得られる。According to the image display device configured as described above, the electrons emitted from the electron source located in the vicinity of the spacer are once repelled by the electric field formed by the conductor and are orbited in the direction away from the spacer. After taking the space, this time it is attracted by the spacer and takes a trajectory in the direction of approaching the spacer. Then, the repulsion and the attraction cancel out the orbital deviation of the electrons, and the electrons emitted from the electron source finally reach the target position on the image display surface. As a result, it is possible to obtain an image display device in which the deterioration of color purity due to mislanding of electrons is reduced and the image quality is improved.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下図面を参照しながら、この発
明を、平面型の画像表示装置としてFEDの一種である
表面伝導型電子放出装置(以下、SEDと称する)に適
用した実施の形態について詳細に説明する。図1ないし
図3に示すように、このSEDは、透明な絶縁基板とし
てそれぞれ矩形状のガラスからなる第1基板10および
第2基板12を備え、これらのプレートは約1.0〜
2.0mmの隙間を置いて対向配置されている。第2基
板12は、第1基板10よりも僅かに大きな寸法に形成
されている。そして、第1基板10および第2基板1
2、ガラスからなる矩形枠状の側壁14を介して周縁部
同志が接合され、偏平な矩形状の真空外囲器15を構成
している。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment in which the present invention is applied to a surface conduction electron-emitting device (hereinafter referred to as SED) which is a kind of FED as a flat image display device with reference to the drawings. The details will be described. As shown in FIGS. 1 to 3, this SED includes a first substrate 10 and a second substrate 12 each made of rectangular glass as a transparent insulating substrate, and these plates have a thickness of about 1.0 to
They are arranged facing each other with a gap of 2.0 mm. The second substrate 12 is formed to have a size slightly larger than that of the first substrate 10. Then, the first substrate 10 and the second substrate 1
2. The flat peripheral vacuum envelope 15 is formed by joining the peripheral portions to each other through the rectangular frame-shaped side wall 14 made of glass.
【0013】第1基板10の内面には画像形成面として
蛍光体スクリーン16が形成されている。この蛍光体ス
クリーン16は、電子の衝突で赤、青、緑に発光する蛍
光体層R、G、B、および黒色着色層11を並べて構成
されている。これらの蛍光体層R、G、Bはストライプ
状あるいはドット状に形成されている。また、蛍光体ス
クリーン16上には、アルミニウム等からなるメタルバ
ック17が形成されている。なお、第1基板10と蛍光
体スクリーンとの間に、例えばITO等からなる透明導
電膜あるいはカラーフィルタ膜を設けてもよい。On the inner surface of the first substrate 10, a phosphor screen 16 is formed as an image forming surface. This phosphor screen 16 is formed by arranging phosphor layers R, G, B, which emit red, blue, and green upon collision of electrons, and a black colored layer 11, side by side. These phosphor layers R, G, B are formed in stripes or dots. A metal back 17 made of aluminum or the like is formed on the phosphor screen 16. A transparent conductive film or a color filter film made of, for example, ITO may be provided between the first substrate 10 and the phosphor screen.
【0014】第2基板12の内面には、蛍光体スクリー
ン16の蛍光体層を励起する電子源として、それぞれ電
子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子1
8が設けられている。これらの電子放出素子18は、画
素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。
各電子放出素子18は、図示しない電子放出部、この電
子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成され
ている。また、第2基板12の内面上には、電子放出素
子18に電位を供給する多数本の配線21がマトリック
状に設けられ、その端部は真空外囲器15の外部に引出
されている。On the inner surface of the second substrate 12, a large number of surface conduction electron-emitting devices 1 each emitting an electron beam as an electron source for exciting the phosphor layer of the phosphor screen 16 are provided.
8 are provided. These electron-emitting devices 18 are arranged in a plurality of columns and a plurality of rows corresponding to each pixel.
Each electron-emitting device 18 is composed of an electron-emitting portion (not shown), a pair of device electrodes for applying a voltage to the electron-emitting portion, and the like. On the inner surface of the second substrate 12, a large number of wirings 21 for supplying a potential to the electron-emitting device 18 are provided in a matrix, and the ends of the wirings 21 are drawn out to the outside of the vacuum envelope 15.
【0015】接合部材として機能する側壁14は、例え
ば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材20により、
第1基板10の周縁部および第2基板12の周縁部に封
着され、第1基板および第2基板同志を接合している。The side wall 14 functioning as a joining member is formed of, for example, a sealing material 20 such as low melting point glass or low melting point metal.
The first substrate 10 and the second substrate 12 are bonded to each other by being sealed to the peripheral portion of the first substrate 10 and the peripheral portion of the second substrate 12.
【0016】また、図2および図3に示すように、SE
Dは、第1基板10および第2基板12間に配設された
スペーサアッセンブリ22を備えている。本実施の形態
において、スペーサアッセンブリ22は、板状のグリッ
ド24と、グリッドの両面に一体的に立設された複数の
柱状のスペーサと、を備えて構成されている。As shown in FIGS. 2 and 3, SE
D includes a spacer assembly 22 disposed between the first substrate 10 and the second substrate 12. In the present embodiment, the spacer assembly 22 is configured to include a plate-shaped grid 24 and a plurality of columnar spacers that are integrally erected on both surfaces of the grid.
【0017】詳細に述べると、グリッド24は第1基板
10の内面と対向した第1表面24aおよび第2基板1
2の内面と対向した第2表面24bを有し、これらの基
板と平行に配置されている。そして、グリッド24に
は、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔26お
よび複数のスペーサ開孔28が形成されている。この発
明における開孔として機能する電子ビーム通過孔26
は、それぞれ電子放出素子18と対向して配列され、電
子放出素子から放出された電子ビームを透過する。ま
た、スペーサ開孔28は、それぞれ電子ビーム通過孔2
6間に位置し所定のピッチで配列されている。More specifically, the grid 24 includes a first surface 24a facing the inner surface of the first substrate 10 and the second substrate 1.
2 has a second surface 24b opposed to the inner surface thereof and is arranged in parallel with these substrates. A large number of electron beam passage holes 26 and a plurality of spacer openings 28 are formed in the grid 24 by etching or the like. The electron beam passage hole 26 functioning as an opening in the present invention
Are arranged so as to face the electron-emitting devices 18, and transmit the electron beams emitted from the electron-emitting devices. In addition, the spacer openings 28 are formed in the electron beam passage holes 2 respectively.
It is located between 6 and arranged at a predetermined pitch.
【0018】グリッド24は、例えば鉄−ニッケル系の
金属板により厚さ0.1〜0.25mmに形成されてい
るとともに、その表面には、金属板を構成する元素から
なる酸化膜、例えば、Fe3O4、NiFe3O4から
なる酸化膜が形成されている。更に、グリッド24の表
面には、ガラス、セラミックからなる高抵抗物質を塗
布、焼成した高抵抗膜が形成され、高抵抗膜の抵抗は、
E+8Ω/□以上に設定されている。The grid 24 is formed of, for example, an iron-nickel-based metal plate to a thickness of 0.1 to 0.25 mm, and the surface of the grid 24 is made of an oxide film made of an element forming the metal plate, for example, An oxide film made of Fe 3 O 4 and NiFe 3 O 4 is formed. Further, on the surface of the grid 24, a high resistance film formed by applying and firing a high resistance material made of glass or ceramic is formed, and the resistance of the high resistance film is
It is set to E + 8Ω / □ or higher.
【0019】また、電子ビーム通過孔26は、例えば、
0.15〜0.25mm×0.15〜0.25mmの矩
形状に形成され、スペーサ開孔28は、例えば径が約
0.2〜0.5mmの円形に形成されている。なお、上
述した高抵抗膜は、グリッド24に設けられた電子ビー
ム通過孔26の壁面にも形成されている。Further, the electron beam passage hole 26 is, for example,
The spacer opening 28 is formed in a rectangular shape of 0.15 to 0.25 mm × 0.15 to 0.25 mm, and the spacer opening 28 is formed in a circular shape having a diameter of about 0.2 to 0.5 mm, for example. The high resistance film described above is also formed on the wall surface of the electron beam passage hole 26 provided in the grid 24.
【0020】グリッド24の第1表面24a上には、各
スペーサ開孔28に重ねて第1スペーサ30aが一体的
に立設され、その延出端は、メタルバック17および蛍
光体スクリーン16の黒色着色層11を介して第1基板
10の内面に当接している。本実施の形態において、各
第1スペーサ30aの延出端は、スペーサの高さバラツ
キ緩和層31として機能するインジウム層を介してメタ
ルバック17に当接している。ここで、高さバラツキ緩
和層31は、電子ビームの軌道に何ら影響を与えるもの
ではなく、スペーサの高さばらつきの緩和効果がある適
当な硬度を持つものであれば、金属に限定されるもので
はない。尚、メタルバック17および蛍光体スクリーン
16の黒色着色層11もスペーサの高さばらつきの緩和
効果があり、これで十分な高さバラツキ緩和効果が得ら
れる場合は、高さバラツキ緩和層31をあえて設ける必
要はない。On the first surface 24a of the grid 24, a first spacer 30a is integrally erected on the first surface 24a so as to overlap the spacer openings 28, and the extending end of the first spacer 30a is black of the metal back 17 and the phosphor screen 16. It contacts the inner surface of the first substrate 10 via the colored layer 11. In the present embodiment, the extending end of each first spacer 30a is in contact with the metal back 17 via the indium layer that functions as the spacer height variation reducing layer 31. Here, the height variation alleviating layer 31 is not limited to a metal as long as it has no effect on the trajectory of the electron beam and has an appropriate hardness to alleviate the height variation of the spacer. is not. The metal back 17 and the black colored layer 11 of the phosphor screen 16 also have an effect of alleviating the height variation of the spacers, and if a sufficient height variation alleviating effect can be obtained, the height variation alleviating layer 31 is dared. There is no need to provide it.
【0021】また、グリッド24の第2表面24b上に
は、各スペーサ開孔28に重ねて第2スペーサ30bが
一体的に立設され、その延出端は、第2基板12の内面
に当接している。ここで、各第2スペーサ30bの延出
端は、第2基板12の内面上に設けられた配線21上に
位置しているとともに、この配線と第2スペーサの延出
端との間には導電体33が設けられている。この導電体
33は、第2スペーサ30bの延出端とほぼ相似形状に
形成され、その厚さ、つまり、第2基板12と直交する
方向に沿った高さは、例えば120μmに設定されてい
る。Further, on the second surface 24b of the grid 24, a second spacer 30b is integrally erected so as to overlap with each spacer opening 28, and its extended end is in contact with the inner surface of the second substrate 12. Touching. Here, the extended end of each second spacer 30b is located on the wiring 21 provided on the inner surface of the second substrate 12, and between this wiring and the extended end of the second spacer. A conductor 33 is provided. The conductor 33 is formed in a shape substantially similar to the extending end of the second spacer 30b, and the thickness thereof, that is, the height along the direction orthogonal to the second substrate 12 is set to 120 μm, for example. .
【0022】後述するように、導電体33は、電子放出
素子18から放出された電子ビームを第2スペーサ30
bから離間する方向へ反発するように作用する。そし
て、この導電体33は、例えば、白金、タングステン、
イリジウム、レニウム、オスミウム、ルテニウム等の高
融点金属、これらの合金、あるいはこれらの金属を含有
する導電性ガラス等で形成されている。導電体33とし
て、インジウム、アルミニウム、銀、銅等の金属も使用
可能ではあるが、放電が起きた際、溶融温度が低いと溶
融して本来の機能を発揮しなくなる恐れがあり、高融点
金属を用いる方が望ましい。As will be described later, the conductor 33 causes the electron beam emitted from the electron emitting element 18 to pass through the second spacer 30.
It acts so as to repel in a direction away from b. The conductor 33 is, for example, platinum, tungsten,
It is formed of a refractory metal such as iridium, rhenium, osmium, or ruthenium, an alloy of these, or conductive glass containing these metals. Although metals such as indium, aluminum, silver, and copper can be used as the conductor 33, if a melting temperature is low when an electric discharge occurs, there is a possibility that the metal melts and does not exhibit its original function. It is preferable to use.
【0023】導電体33の形状は特に限定されないが、
放電を考慮して角部が丸く形成されていることが望まし
い。また、導電体33の高さは、電子ビームに与える反
発力、つまり、電子ビームの軌道補正量を考慮して任意
に設定される。Although the shape of the conductor 33 is not particularly limited,
It is desirable that the corners are rounded in consideration of discharge. Further, the height of the conductor 33 is arbitrarily set in consideration of the repulsive force given to the electron beam, that is, the orbital correction amount of the electron beam.
【0024】第1および第2スペーサ30a、30bの
各々は、グリッド24側から延出端に向かって径が小さ
くなった先細テーパ状に形成されている。例えば、各第
1スペーサ30aはグリッド24側に位置した基端の径
が約0.4mm、延出端の径が約0.3mm、高さが約
0.6mmに形成されている。また、各第2スペーサ3
0bはグリッド24側に位置した基端の径が約0.4m
m、延出端の径が約0.25mm、高さが約0.8mm
に形成されている。このように、第1スペーサ30aの
高さは、第2スペーサ30bの高さよりも低く形成さ
れ、第2スペーサの高さは、第1スペーサの高さに対し
約4/3倍以上に設定されている。Each of the first and second spacers 30a and 30b is formed in a tapered shape whose diameter decreases from the grid 24 side toward the extending end. For example, each first spacer 30a is formed so that the diameter of the base end located on the grid 24 side is about 0.4 mm, the diameter of the extending end is about 0.3 mm, and the height is about 0.6 mm. Also, each second spacer 3
0b has a diameter of the base end located on the grid 24 side of about 0.4 m.
m, diameter of extension end is about 0.25 mm, height is about 0.8 mm
Is formed in. As described above, the height of the first spacer 30a is lower than the height of the second spacer 30b, and the height of the second spacer is set to about 4/3 times or more the height of the first spacer. ing.
【0025】また、第1スペーサ30a及び第2スペー
サ30bの表面抵抗は5×1013Ωとなっている。各ス
ペーサ開孔28、第1および第2スペーサ30a、30
bは互いに整列して位置し、第1および第2スペーサは
このスペーサ開孔28を介して互いに一体的に連結され
ている。これにより、第1および第2スペーサ30a、
30bは、グリッド24を両面から挟み込んだ状態でグ
リッド24と一体に形成されている。The surface resistance of the first spacer 30a and the second spacer 30b is 5 × 10 13 Ω. Each spacer opening 28, first and second spacers 30a, 30
b are aligned with each other, and the first and second spacers are integrally connected to each other through the spacer opening 28. Thereby, the first and second spacers 30a,
30b is formed integrally with the grid 24 with the grid 24 sandwiched from both sides.
【0026】上記のように構成されたスペーサアッセン
ブリ22は第1基板10および第2基板12間に配設さ
れている。そして、第1および第2スペーサ30a、3
0bは、第1基板10および第2基板12の内面に当接
することにより、これらの基板に作用する大気圧荷重を
支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。The spacer assembly 22 constructed as described above is arranged between the first substrate 10 and the second substrate 12. Then, the first and second spacers 30a, 3
By contacting the inner surfaces of the first substrate 10 and the second substrate 12, 0b supports the atmospheric pressure load acting on these substrates and maintains the distance between the substrates at a predetermined value.
【0027】図2に示すように、SEDは、グリッド2
4および第1基板10のメタルバック17に電圧を印加
する電圧供給部50を備えている。この電圧供給部50
は、グリッド24およびメタルバック17にそれぞれ接
続され、例えば、グリッド24に12kV、メタルバッ
ク17に10kVの電圧を印加する。すなわち、グリッ
ド24に印加する電圧は、第1基板10に印加する電圧
よりも高く設定され、例えば、1.25倍以内に設定さ
れている。As shown in FIG. 2, the SED has a grid 2
4 and the voltage supply unit 50 for applying a voltage to the metal back 17 of the first substrate 10. This voltage supply unit 50
Are respectively connected to the grid 24 and the metal back 17, and for example, a voltage of 12 kV is applied to the grid 24 and a voltage of 10 kV is applied to the metal back 17. That is, the voltage applied to the grid 24 is set higher than the voltage applied to the first substrate 10, for example, within 1.25 times.
【0028】そして、このSEDにおいて、画像を表示
する場合、蛍光体スクリーン16およびメタルバック1
7にアノード電圧が印加され、電子放出素子18から放
出された電子ビームBをアノード電圧により加速して蛍
光体スクリーン16へ衝突させる。これにより、蛍光体
スクリーン16の蛍光体層が励起されて発光し、画像を
表示する。When displaying an image in this SED, the phosphor screen 16 and the metal back 1 are used.
An anode voltage is applied to 7, and the electron beam B emitted from the electron-emitting device 18 is accelerated by the anode voltage to collide with the phosphor screen 16. As a result, the phosphor layer of the phosphor screen 16 is excited and emits light, and an image is displayed.
【0029】次に、以上のように構成されたSEDの製
造方法について説明する。スペーサアッセンブリ22を
製造する場合、まず、所定寸法のグリッド24、グリッ
ドとほぼ同一の寸法を有した図示しない矩形板状の第1
および第2金型を用意する。この場合、Fe−50%N
iからなる板厚0.12mmの薄板を脱脂・洗浄・乾燥
した後、エッチングにより電子ビーム通過孔26、およ
びスペーサ開孔28を形成しグリッド24とする。その
後、グリッド24全体を酸化処理により酸化させ、電子
ビーム通過孔26およびスペーサ開孔28の内面を含め
グリッド表面に絶縁膜を形成する。更に、絶縁膜の上
に、酸化錫および酸化アンチモンの微粒子を分散させた
液をスプレー被覆し、乾燥、焼成して高抵抗膜を形成す
る。Next, a method of manufacturing the SED configured as above will be described. When manufacturing the spacer assembly 22, first, a grid 24 having a predetermined size, and a rectangular plate-shaped first plate (not shown) having substantially the same size as the grid 24 are manufactured.
And prepare a second mold. In this case, Fe-50% N
After degreasing, cleaning, and drying a thin plate made of i having a plate thickness of 0.12 mm, electron beam passage holes 26 and spacer openings 28 are formed by etching to form a grid 24. After that, the entire grid 24 is oxidized by an oxidation process to form an insulating film on the grid surface including the inner surfaces of the electron beam passage holes 26 and the spacer openings 28. Further, a liquid in which fine particles of tin oxide and antimony oxide are dispersed is spray-coated on the insulating film, dried and baked to form a high resistance film.
【0030】第1および第2金型は、それぞれグリッド
24のスペーサ開孔28に対応した複数の透孔を有して
いる。また、第1金型および第2金型において、少なく
ともスペーサ開孔28に対応した複数の透孔の内面に
は、熱処理により熱分解する樹脂が塗布されている。The first and second molds each have a plurality of through holes corresponding to the spacer openings 28 of the grid 24. Further, in the first mold and the second mold, at least the inner surfaces of the plurality of through holes corresponding to the spacer openings 28 are coated with a resin that is thermally decomposed by heat treatment.
【0031】そして、第1金型を、各透孔がグリッド2
4のスペーサ開孔28と整列するように位置決めした状
態でグリッドの第1表面24aに密着させる。同様に、
第2金型を、各透孔がグリッド24のスペーサ開孔28
と整列するように位置決めした状態でグリッドの第2表
面24bに密着させる。そして、これら第1金型、グリ
ッド24、および第2金型を図示しないクランパ等を用
いて互いに固定する。Then, in the first die, each through hole has a grid 2
No. 4 spacer opening 28 is positioned and aligned with the first surface 24a of the grid. Similarly,
In the second mold, each through hole is a spacer opening 28 of the grid 24.
The second surface 24b of the grid is brought into close contact with the second surface 24b while being positioned so as to be aligned with. Then, the first mold, the grid 24, and the second mold are fixed to each other using a clamper or the like not shown.
【0032】次に、例えば、第1金型の外面側からペー
スト状のスペーサ形成材料を供給し、第1金型の透孔、
グリッド24のスペーサ開孔28、および第2金型の透
孔にスペーサ形成材料を充填する。スペーサ形成材料と
しては、少なくとも紫外線硬化型のバインダ(有機成
分)およびガラスフィラーを含有したガラスペーストを
用いる。Next, for example, a paste-like spacer forming material is supplied from the outer surface side of the first mold to pass through the through holes of the first mold.
A spacer forming material is filled in the spacer openings 28 of the grid 24 and the through holes of the second mold. As the spacer forming material, a glass paste containing at least an ultraviolet curable binder (organic component) and a glass filler is used.
【0033】続いて、充填されたスペーサ形成材料に対
し、第1および第2金型の外面側から放射線として紫外
線(UV)を照射し、スペーサ形成材料をUV硬化させ
る。この後、必要に応じて熱硬化を行なってもよい。次
に、熱処理により第1および第2金型の各透過孔に塗布
された樹脂を熱分解し、スペーサ形成材料と金型の間に
すき間を作り、第1および第2金型をグリッド24から
剥離する。Subsequently, the filled spacer forming material is irradiated with ultraviolet rays (UV) as radiation from the outer surface side of the first and second molds to cure the spacer forming material by UV. Thereafter, if necessary, heat curing may be performed. Next, the resin applied to the through holes of the first and second molds is thermally decomposed by heat treatment to form a gap between the spacer forming material and the mold, and the first and second molds are moved from the grid 24. Peel off.
【0034】続いて、スペーサ形成材料が充填されたグ
リッド24を加熱炉内で熱処理し、スペーサ形成材料内
からバインダを飛ばした後、約500〜550℃で30
分〜1時間、スペーサ形成材料を本焼成する。これによ
り、グリッド24上に第1および第2スペーサ30a、
30bが作り込まれたスペーサアッセンブリ22が得ら
れる。Subsequently, the grid 24 filled with the spacer forming material is heat-treated in a heating furnace to remove the binder from the spacer forming material, and then the grid 24 is heated at about 500 to 550 ° C. for 30 minutes.
The spacer-forming material is main-baked for a minute to 1 hour. As a result, the first and second spacers 30a on the grid 24,
The spacer assembly 22 in which 30b is built is obtained.
【0035】一方、予め、蛍光体スクリーン16および
メタルバック17の設けられた第1基板10と、電子放
出素子18および配線21が設けられているとともに側
壁14が接合された第2基板12と、を用意しておく。On the other hand, a first substrate 10 provided with a phosphor screen 16 and a metal back 17 in advance, and a second substrate 12 provided with an electron-emitting device 18 and a wiring 21 and having a side wall 14 joined thereto, Be prepared.
【0036】続いて、第2基板12の配線21上に、第
2スペーサ30bの先端とほぼ相似形状で厚さ120μ
mとなるように導電性ペーストを印刷した後、乾燥およ
び焼成することにより、配線21上の所定位置に導電体
33を形成する。また、高さ緩和層31を形成するため
のインジウム粉末を各第1スペーサ30aの延出端に塗
布する。Then, on the wiring 21 of the second substrate 12, the tip of the second spacer 30b is formed in a shape substantially similar to that of the tip of the second spacer 30b and a thickness of 120 μm.
After the conductive paste is printed so as to be m, the conductor 33 is dried and baked to form the conductor 33 at a predetermined position on the wiring 21. In addition, indium powder for forming the height relaxing layer 31 is applied to the extending end of each first spacer 30a.
【0037】次に、上記のように構成されたスペーサア
ッセンブリ22を第2基板12上に位置決め配置する。
この際、第2スペーサ30bの延出端がそれぞれ導電体
33と接触するようにスペーサアッセンブリ22を位置
決めする。この状態で、第1基板10、第2基板12、
およびスペーサアッセンブリ22を真空チャンバ内に配
置し、真空チャンバ内を真空排気した後、側壁14を介
して第1基板を第2基板に接合する。同時に、第1スペ
ーサ30aの延出端に配置されたインジウム粉末を溶融
させ、第1基板10で押しつぶし高さを補正する。これ
により、スペーサアッセンブリ22を備えたSEDが製
造される。Next, the spacer assembly 22 configured as described above is positioned and arranged on the second substrate 12.
At this time, the spacer assembly 22 is positioned so that the extended ends of the second spacers 30b are in contact with the conductors 33, respectively. In this state, the first substrate 10, the second substrate 12,
The spacer assembly 22 is placed in the vacuum chamber, the interior of the vacuum chamber is evacuated, and then the first substrate is bonded to the second substrate through the side wall 14. At the same time, the indium powder arranged at the extended end of the first spacer 30a is melted and crushed by the first substrate 10 to correct the height. As a result, the SED including the spacer assembly 22 is manufactured.
【0038】以上のように構成されたSEDによれば、
図3に示すように、第2スペーサ30bの近傍に位置し
た電子放出素子18から放出された電子ビームBは、第
2スペーサ30bの延出端と第2基板12との間に設け
られた導体層33が形成する電界により反発され、第2
スペーサから離れる方向へ軌道を取りながら電子ビーム
通過孔26に向かう。その後、電子ビームBは、今度
は、帯電した第2スペーサ30bおよび第1スペーサ3
0aに吸引され、これらのスペーサに接近する方向へ軌
道を取る。そして、この反発と吸引とにより電子ビーム
Bの軌道ずれが相殺され、電子放出素子18から放出さ
れた電子ビームBは、最終的に蛍光体スクリーン16の
目標とする蛍光体層に到達する。According to the SED configured as described above,
As shown in FIG. 3, the electron beam B emitted from the electron-emitting device 18 located in the vicinity of the second spacer 30b is a conductor provided between the extended end of the second spacer 30b and the second substrate 12. Repulsed by the electric field formed by the layer 33, the second
It heads for the electron beam passage hole 26 while taking a trajectory in a direction away from the spacer. After that, the electron beam B, in turn, is charged by the second spacers 30b and the first spacers 3b.
It is attracted by 0a and takes a trajectory in the direction of approaching these spacers. Then, the repulsion and suction cancel out the deviation of the orbit of the electron beam B, and the electron beam B emitted from the electron emitting element 18 finally reaches the target phosphor layer of the phosphor screen 16.
【0039】具体的には、電子放出素子からスペーサ側
壁への距離が小さいほど、電子ビームがスペーサ側へ移
動する量は大きく、逆にスペーサ側壁への距離が十分に
大きい場合、電子ビームがスペーサ側へ移動する量は無
視できる量となる。電子ビームの移動現象は、蛍光面で
発生した2次電子及び反射電子がスペーサに衝突するこ
とで発生し、この時SEDで使用される加速電圧からス
ペーサ表面での2次電子放出係数が1以上となり、スペ
ーサ側壁は正に帯電し、電子ビームをスペーサ側へと引
き付ける事になる。Specifically, the smaller the distance from the electron-emitting device to the side wall of the spacer, the larger the amount of movement of the electron beam toward the spacer side. Conversely, when the distance to the side wall of the spacer is sufficiently large, the electron beam moves toward the spacer. The amount of movement to the side is negligible. The electron beam movement phenomenon occurs when secondary electrons and reflected electrons generated on the phosphor screen collide with the spacer, and at this time, the secondary electron emission coefficient on the spacer surface is 1 or more from the acceleration voltage used in the SED. Therefore, the spacer side wall is positively charged, and the electron beam is attracted to the spacer side.
【0040】本実施の形態では、スペーサ側壁への帯電
を逃がすのではなく、電子の速度の小さいスペーサの第
2基板側の端と第2基板との間に導電体33を設けるこ
とにより、電子ビームがスペーサと反発する方向に容易
に電界を形成することが可能となる。そして、導電体3
3の高さを制御することで電界の強さを変え、反発量を
制御することが出来る。そのため、CRTにおける電子
銃のグリッドのように、特定の距離に低電位の部分と高
電位の部分を交互に設け、電子レンズによる収束系を設
け、電子ビームを収束させるような複雑な機構を設ける
必要がない。In the present embodiment, the charge on the side wall of the spacer is not released, but the conductor 33 is provided between the second substrate side end of the spacer having a small electron velocity and the second substrate. It becomes possible to easily form an electric field in the direction in which the beam repels the spacer. And the conductor 3
By controlling the height of 3, the strength of the electric field can be changed and the amount of repulsion can be controlled. Therefore, like a grid of an electron gun in a CRT, a low potential part and a high potential part are alternately provided at a specific distance, a focusing system by an electron lens is provided, and a complicated mechanism for focusing an electron beam is provided. No need.
【0041】従って、第1および第2スペーサ30a、
30bが帯電し、これらスペーサにより電子ビームBが
引き付けられた場合でも、電子ビームの軌道ずれを防止
することができる。これにより、電子ビームBのミスラ
ンディングを防止し、その結果、色純度の劣化を低減し
て画像品位の向上を図ることができる。Therefore, the first and second spacers 30a,
Even if 30b is charged and the electron beam B is attracted by these spacers, it is possible to prevent the trajectory shift of the electron beam. Thereby, mislanding of the electron beam B can be prevented, and as a result, deterioration of color purity can be reduced and image quality can be improved.
【0042】なお、スペーサの表面の全部または一部に
直接導電処理を施した場合、スペーサを介して第1基板
から第2基板へ流れる無効電流が増加し、温度の上昇や
消費電力の増加を引き起こす。また、この導電処理部が
SEDの動作中にガスの発生源となり、スペーサ近傍の
電子源のイオン衝撃を引き起こす場合もある。これに対
して、本実施の形態によれば、無効電流の増加、温度の
上昇や消費電力の増加、イオン衝突を引き起こすことな
く、導電体33によりスペーサ周辺の電界を変え電子ビ
ームの軌道を容易に制御することができる。When the entire surface or a part of the surface of the spacer is directly subjected to the conductive treatment, the reactive current flowing from the first substrate to the second substrate via the spacer increases, which causes an increase in temperature and power consumption. cause. In addition, this conductive processing portion may serve as a gas generation source during the operation of the SED, which may cause ion bombardment of the electron source near the spacer. On the other hand, according to the present embodiment, the electric field around the spacer is changed by the conductor 33 without increasing the reactive current, the temperature, the power consumption, and the ion collision, thereby facilitating the trajectory of the electron beam. Can be controlled.
【0043】本実施の形態に係るSEDと、上述した導
電体33が設けられていないSEDとを用意し、電子ビ
ームの移動量を比較したところ、導電体が設けられてい
ないSEDでは電子ビームがスペーサ側に約120μm
吸引されたのに対し、本実施の形態に係るSEDでは、
電子ビームの移動量がほぼ0となり、表示画像の色純度
も改善された。When the SED according to the present embodiment and the SED not provided with the above-mentioned conductor 33 are prepared and the amount of movement of the electron beam is compared, the SED not provided with the conductor does not produce an electron beam. About 120 μm on the spacer side
In contrast to the suction, in the SED according to the present embodiment,
The amount of movement of the electron beam was almost zero, and the color purity of the displayed image was improved.
【0044】更に、上記SEDによれば、第1基板10
と第2基板12との間にグリッド24が配置されている
とともに、第1スペーサ30aの高さは、第2スペーサ
30bの高さよりも低く形成されている。これにより、
グリッド24は第2基板12よりも第1基板10側に接
近して位置している。そのため、第1基板10側から放
電が生じた場合でも、グリッド24により、第2基板1
2上に設けられた電子放出素子18の放電破損を抑制す
ることが可能となる。従って、放電に対する耐圧性に優
れ画像品位の向上したSEDを得ることができる。Further, according to the SED, the first substrate 10
The grid 24 is arranged between the second spacer 12 and the second substrate 12, and the height of the first spacer 30a is lower than the height of the second spacer 30b. This allows
The grid 24 is located closer to the first substrate 10 side than the second substrate 12. Therefore, even when discharge is generated from the first substrate 10 side, the grid 24 causes the second substrate 1
It is possible to suppress discharge damage of the electron-emitting device 18 provided on the second electrode. Therefore, it is possible to obtain an SED having excellent withstand voltage against discharge and having improved image quality.
【0045】また、上記構成のSEDによれば、第1ス
ペーサ30aの高さを第2スペーサ30bよりも低く形
成することにより、グリッド24に印加する電圧を第1
基板10に印加する電圧より大きくした場合でも、電子
放出素子18から発生した電子を蛍光体スクリーン側へ
確実に到達させることができる。Further, according to the SED having the above structure, the voltage applied to the grid 24 is set to the first by making the height of the first spacer 30a lower than that of the second spacer 30b.
Even when the voltage applied to the substrate 10 is higher than the voltage applied to the substrate 10, the electrons generated from the electron-emitting device 18 can surely reach the phosphor screen side.
【0046】更に、高さバラツキ緩和層を設けることに
より、複数の第1スペーサ30aに高さのばらつきがあ
った場合でも高さバラツキ緩和層によりばらつきを吸収
し、複数の第1スペーサと第1基板10とを確実に接触
させることができる。従って、第1および第2スペーサ
30a、30bにより、第1基板10および第2基板1
2間の間隔をほぼ全域に亘って均一に保持することが可
能となる。Further, by providing the height variation alleviating layer, even if there are variations in the height of the plurality of first spacers 30a, the variation is absorbed by the height variation alleviating layer and the plurality of first spacers and the first spacer It is possible to surely make contact with the substrate 10. Therefore, the first and second spacers 30a and 30b allow the first substrate 10 and the second substrate 1 to
It is possible to keep the distance between the two uniform over almost the entire area.
【0047】次に、この発明の第2の実施の形態に係る
SEDについて説明する。図4に示すように、第2の実
施の形態によれば、導電体33は、金属あるいは合金に
より第2スペーサ30bの延出端と相似形状に形成され
ている。例えば、導電体33は、Fe−50%Niから
厚さ200μmの金属板により形成され、導電性フリッ
ト、導電性接着剤等からなる固定層40により第2基板
12の配線21上に固定されている。そして、スペーサ
アッセンブリ22は、各第2スペーサ30bの延出端が
導電体33に当接した状態で、第1および第2基板1
0、12間に配置されている。なお、他の構成は前述し
た第1の実施の形態と同一であり、同一の部分には同一
の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。Next, an SED according to the second embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 4, according to the second embodiment, the conductor 33 is formed of a metal or an alloy in a shape similar to the extension end of the second spacer 30b. For example, the conductor 33 is formed of a metal plate of Fe-50% Ni and has a thickness of 200 μm, and is fixed on the wiring 21 of the second substrate 12 by a fixing layer 40 made of a conductive frit, a conductive adhesive, or the like. There is. Then, the spacer assembly 22 is configured such that the extending ends of the respective second spacers 30b are in contact with the conductors 33 and the first and second substrates 1
It is located between 0 and 12. Note that the other configurations are the same as those in the first embodiment described above, and the same reference numerals are given to the same portions, and detailed description thereof will be omitted.
【0048】上記のように構成された第2の実施の形態
に係るSEDを製造する場合、上述した第1の実施の形
態と同様の工程により、第1および第2基板10、1
2、およびスペーサアッセンブリ22を形成する。この
際、第1スペーサ30aの高さは0.2mm、第2スペ
ーサ30bの高さは1.0mmとした。When manufacturing the SED according to the second embodiment configured as described above, the first and second substrates 10 and 1 are manufactured by the same steps as in the above-described first embodiment.
2 and the spacer assembly 22 are formed. At this time, the height of the first spacer 30a was 0.2 mm, and the height of the second spacer 30b was 1.0 mm.
【0049】続いて、第2基板12の配線21上の所定
位置に、第2スペーサ30bの先端とほぼ相似形状に厚
さ5μmの導電性接着剤を塗布し固定層40とする。そ
して、固定層40上にFe−50%Niからなる厚さ2
00μmの導電体33を載置した後、固定層を乾燥し、
導電体33を配線上に固着する。Subsequently, a conductive adhesive having a thickness of 5 μm is applied at a predetermined position on the wiring 21 of the second substrate 12 in a shape similar to the tip of the second spacer 30b to form the fixing layer 40. The thickness of Fe-50% Ni on the fixed layer 40 is 2
After mounting the conductor 33 of 00 μm, the fixing layer is dried,
The conductor 33 is fixed on the wiring.
【0050】その後、第1の実施の形態と同様に、スペ
ーサアッセンブリ22を第2基板12上に位置決め配置
する。この際、第2スペーサ30bの延出端がそれぞれ
導電体33と接触するようにスペーサアッセンブリ22
を位置決めする。この状態で、第1基板10、第2基板
12、およびスペーサアッセンブリ22を真空チャンバ
内に配置し、真空チャンバ内を真空排気した後、側壁1
4を介して第1基板を第2基板に接合する。これによ
り、SEDが製造される。After that, as in the first embodiment, the spacer assembly 22 is positioned and arranged on the second substrate 12. At this time, the spacer assembly 22 is arranged so that the extended ends of the second spacers 30b come into contact with the conductors 33, respectively.
To position. In this state, the first substrate 10, the second substrate 12, and the spacer assembly 22 are placed in a vacuum chamber, the interior of the vacuum chamber is evacuated, and then the sidewall 1
The first substrate is bonded to the second substrate via 4. Thereby, the SED is manufactured.
【0051】以上のように構成されたSEDによれば、
上述した第1の実施の形態と同様の作用効果を得ること
ができる。更に、第2の実施の形態では、導電体33を
配線21に固定した固定層40を、スペーサの高さばら
つきを補正する補正層として用いることができる。その
ため、スペーサの高い加工精度を必要としなくなり、ス
ペーサの製造コスト低減を図ることが可能となる。According to the SED configured as described above,
It is possible to obtain the same operational effects as those of the first embodiment described above. Further, in the second embodiment, the fixed layer 40 in which the conductor 33 is fixed to the wiring 21 can be used as a correction layer for correcting height variation of the spacer. Therefore, it is possible to reduce the manufacturing cost of the spacer without requiring high processing accuracy of the spacer.
【0052】また、第2の実施の形態に係るSEDと、
導電体33が設けられていないSEDとを用意し、電子
ビームの移動量を比較したところ、導電体が設けられて
いないSEDでは電子ビームがスペーサ側に約150μ
m吸引されたのに対し、本実施の形態に係るSEDで
は、電子ビームの移動量がほぼ0となり、表示画像の色
純度も改善された。Further, the SED according to the second embodiment,
When an SED not provided with the conductor 33 was prepared and the amount of movement of the electron beam was compared, the electron beam was about 150 μm on the spacer side in the SED not provided with the conductor.
In contrast to m suction, the SED according to the present embodiment has an electron beam movement amount of almost zero, and the color purity of the displayed image is also improved.
【0053】次に、この発明の第3の実施の形態に係る
SEDについて説明する。図5に示すように、第3の実
施の形態によれば、導電体33は、金属あるいは合金に
より第2スペーサ30bの延出端と相似形状に形成され
ている。例えば、導電体33は、Fe−50%Niから
厚さ200μmの金属板により形成され、絶縁性の接着
剤、例えば、フリットガラスからなる固定層42により
第2スペーサ30bの延出端に固定されている。そし
て、スペーサアッセンブリ22は、導電体33の固着さ
れた各第2スペーサ30bの延出端が第2基板12上の
配線21に当接した状態で、第1および第2基板10、
12間に配置されている。なお、他の構成は前述した第
1の実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の参
照符号を付してその詳細な説明を省略する。Next explained is an SED according to the third embodiment of the invention. As shown in FIG. 5, according to the third embodiment, the conductor 33 is formed of metal or alloy in a shape similar to the extension end of the second spacer 30b. For example, the conductor 33 is formed of a metal plate of Fe-50% Ni and has a thickness of 200 μm, and is fixed to the extending end of the second spacer 30b by an insulating adhesive, for example, a fixing layer 42 made of frit glass. ing. The spacer assembly 22 includes the first and second substrates 10 in a state where the extending ends of the second spacers 30b to which the conductors 33 are fixed are in contact with the wirings 21 on the second substrate 12.
It is located between twelve. Note that the other configurations are the same as those in the first embodiment described above, and the same reference numerals are given to the same portions, and detailed description thereof will be omitted.
【0054】上記のように構成された第3の実施の形態
に係るSEDを製造する場合、上述した第1の実施の形
態と同様の工程により、第1および第2基板10、1
2、およびスペーサアッセンブリ22を形成する。この
際、第1スペーサ30aの高さは0.2mm、第2スペ
ーサ30bの高さは1.0mmとした。When manufacturing the SED according to the third embodiment configured as described above, the first and second substrates 10 and 1 are manufactured by the same steps as in the above-described first embodiment.
2 and the spacer assembly 22 are formed. At this time, the height of the first spacer 30a was 0.2 mm, and the height of the second spacer 30b was 1.0 mm.
【0055】続いて、スペーサアッセンブリ22の各第
2スペーサ30bの先端に、フリットガラスを塗布し固
定層42とする。そして、固定層42上にFe−50%
Niからなる厚さ200μmの導電体33を載置した
後、固定層を乾燥し、焼成することにより、導電体33
を第2スペーサ30b先端に固着する。Subsequently, frit glass is applied to the tip of each second spacer 30b of the spacer assembly 22 to form the fixing layer 42. And Fe-50% on the fixed layer 42
After the conductor 33 made of Ni and having a thickness of 200 μm is placed, the fixed layer is dried and fired to form the conductor 33.
Is fixed to the tip of the second spacer 30b.
【0056】次に、第1の実施の形態と同様に、スペー
サアッセンブリ22を第2基板12上に位置決め配置す
る。この際、導電体33が固着されている第2スペーサ
30bの延出端がそれぞれ第2基板12の配線21上に
位置するようにスペーサアッセンブリ22を位置決めす
る。この状態で、第1基板10、第2基板12、および
スペーサアッセンブリ22を真空チャンバ内に配置し、
真空チャンバ内を真空排気した後、側壁14を介して第
1基板を第2基板に接合する。これにより、SEDが製
造される。Next, similarly to the first embodiment, the spacer assembly 22 is positioned and arranged on the second substrate 12. At this time, the spacer assembly 22 is positioned so that the extended ends of the second spacers 30b to which the conductors 33 are fixed are located on the wirings 21 of the second substrate 12, respectively. In this state, the first substrate 10, the second substrate 12, and the spacer assembly 22 are placed in a vacuum chamber,
After evacuating the inside of the vacuum chamber, the first substrate is bonded to the second substrate through the side wall 14. Thereby, the SED is manufactured.
【0057】以上のように構成されたSEDによれば、
第1の実施の形態と同様の作用効果を得ることができ
る。更に、第2の実施の形態では、導電体33を第2ス
ペーサ先端に固定した固定層42を、スペーサの高さば
らつきを補正する補正層として用いることができる。そ
のため、スペーサの高い加工精度を必要としなくなり、
スペーサの製造コスト低減を図ることが可能となる。According to the SED configured as described above,
It is possible to obtain the same effect as that of the first embodiment. Further, in the second embodiment, the fixing layer 42 in which the conductor 33 is fixed to the tip of the second spacer can be used as a correction layer for correcting the spacer height variation. Therefore, the high processing accuracy of the spacer is not required,
It is possible to reduce the manufacturing cost of the spacer.
【0058】また、第3の実施の形態に係るSEDと、
導電体33が設けられていないSEDとを用意し、電子
ビームの移動量を比較したところ、導電体が設けられて
いないSEDでは電子ビームがスペーサ側に約150μ
m吸引されたのに対し、本実施の形態に係るSEDで
は、電子ビームの移動量がほぼ0となり、表示画像の色
純度も改善された。Further, the SED according to the third embodiment,
When an SED not provided with the conductor 33 was prepared and the amount of movement of the electron beam was compared, the electron beam was about 150 μm on the spacer side in the SED not provided with the conductor.
In contrast to m suction, the SED according to the present embodiment has an electron beam movement amount of almost zero, and the color purity of the displayed image is also improved.
【0059】なお、この発明は上述した実施の形態に限
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、この発明は、グリッドを備えた画像表示
装置に限らず、グリッドを持たない画像表示装置にも適
用可能である。この場合、それぞれ一体に形成された柱
状あるいは板状のスペーサを用い、各スペーサの第2基
板側の先端と第2基板との間に導電体を設けることによ
り、上記と同様の作用効果を得ることができる。The present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be variously modified within the scope of the present invention. For example, the present invention can be applied not only to the image display device having the grid but also to the image display device having no grid. In this case, by using columnar or plate-like spacers formed integrally with each other and providing a conductor between the second substrate side tip of each spacer and the second substrate, the same effect as the above is obtained. be able to.
【0060】また、この発明において、スペーサの径や
高さ、その他の構成要素の寸法、材質等は必要に応じて
適宜選択可能である。更に、上述した実施の形態におい
て、導電体は第2基板上の配線とスペーサ先端との間に
設ける構成としたが、配線上に限らず、電子放出素子を
避けた位置で第2基板とスペーサ先端との間に設けられ
ていればよい。Further, in the present invention, the diameter and height of the spacer and the dimensions and materials of the other constituent elements can be appropriately selected as required. Further, in the above-described embodiment, the conductor is provided between the wiring on the second substrate and the tip of the spacer. However, the conductor is not limited to the wiring, and the second substrate and the spacer may be provided at a position avoiding the electron-emitting device. It only has to be provided between the tip.
【0061】電子源は、表面伝導型電子放出素子に限ら
ず、電界放出型、カーボンナノチューブ等の真空中に電
子が放出される電子源を用いたFEDならどのタイプに
も適用可能である。The electron source is not limited to the surface conduction electron-emitting device, but any type of FED can be applied as long as it is a field-emission type, an FED using an electron source that emits electrons into a vacuum such as carbon nanotubes.
【0062】[0062]
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、温度の上昇や消費電力の増加を引き起こすことな
く、電子ビームの軌道ずれを防止し、画像品位の向上し
た画像表示装置およびその製造方法を提供することがで
きる。As described in detail above, according to the present invention, an image display device having an improved image quality by preventing orbit shift of an electron beam without causing an increase in temperature and an increase in power consumption is provided. A manufacturing method can be provided.
【図1】この発明の実施の形態に係るSEDを示す斜視
図。FIG. 1 is a perspective view showing an SED according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1の線A−Aに沿って破断した上記SEDの
斜視図。2 is a perspective view of the SED taken along the line AA of FIG.
【図3】上記SEDを拡大して示す断面図。FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the SED.
【図4】この発明の第2の実施の形態に係るSEDの要
部を拡大して示す断面図。FIG. 4 is an enlarged sectional view showing a main part of an SED according to a second embodiment of the present invention.
【図5】この発明の第3の実施の形態に係るSEDの要
部を拡大して示す断面図。FIG. 5 is an enlarged sectional view showing an essential part of an SED according to a third embodiment of the present invention.
10…第1基板 12…第2基板 14…側壁 15…真空外囲器 16…蛍光体スクリーン 18…電子放出素子 22…スペーサアッセンブリ 24…グリッド 26…電子ビーム通過孔 28…スペーサ開孔 30a…第1スペーサ 30b…第2スペーサ 33…導電体 40、42…固定層 50…電圧供給部 10 ... First substrate 12 ... Second substrate 14 ... Side wall 15 ... Vacuum envelope 16 ... Phosphor screen 18 ... Electron emitting device 22 ... Spacer assembly 24 ... Grid 26 ... Electron beam passage hole 28 ... Spacer opening 30a ... first spacer 30b ... second spacer 33 ... Conductor 40, 42 ... Fixed layer 50 ... Voltage supply unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小柳津 聡子 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 石川 諭 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2 株式 会社東芝深谷工場内 Fターム(参考) 5C012 AA05 BB07 5C032 AA01 CC10 5C036 EE02 EE09 EE19 EF01 EF06 EF09 EH08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Satoko Koyanazu 2 shares, 1-9-1 Harara-cho, Fukaya City, Saitama Prefecture Company Toshiba Fukaya Factory (72) Inventor Satoshi Ishikawa 2 shares, 1-9-1 Harara-cho, Fukaya City, Saitama Prefecture Company Toshiba Fukaya Factory F-term (reference) 5C012 AA05 BB07 5C032 AA01 CC10 5C036 EE02 EE09 EE19 EF01 EF06 EF09 EH08
Claims (13)
に、電子を放出して上記画像表示面を励起する複数の電
子源が設けられた第2基板と、 上記第1基板および第2基板間に配設され、第1および
第2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数のスペー
サと、 上記スペーサの上記第2基板側の先端と上記第2基板と
の間にそれぞれ配置され、上記電子源から放出された電
子ビームを反発する導電体と、 を備えていることを特徴とする画像表示装置。1. A first substrate having an image display surface, and a plurality of electron sources which are arranged to face the first substrate with a gap therebetween and which emit electrons to excite the image display surface. A second substrate, a plurality of spacers arranged between the first substrate and the second substrate to support an atmospheric pressure load acting on the first and second substrates, and a tip of the spacer on the second substrate side. And an electric conductor which is disposed between the second substrate and the second substrate and repels the electron beam emitted from the electron source.
に、電子を放出して上記画像表示面を励起する複数の電
子源が設けられた第2基板と、 上記第1基板と第2基板との間に配設されているととも
に、上記電子源から放出された電子が通過する複数の開
孔を有した板状のグリッドと、 上記グリッドに固定されているとともに上記第1基板お
よび第2基板間に配設され、第1および第2基板に作用
する大気圧荷重を支持する複数のスペーサと、 上記スペーサの上記第2基板側の先端と上記第2基板と
の間にそれぞれ配置され、上記電子源から放出された電
子ビームを反発する導電体と、 を備えていることを特徴とする画像表示装置。2. A first substrate having an image display surface, and a plurality of electron sources which are arranged to face the first substrate with a gap therebetween and which emit electrons to excite the image display surface. A second substrate, a plate-shaped grid disposed between the first substrate and the second substrate and having a plurality of apertures through which electrons emitted from the electron source pass, A plurality of spacers fixed to the grid and arranged between the first substrate and the second substrate to support an atmospheric pressure load acting on the first and second substrates; and a spacer on the second substrate side of the spacer. An image display device, comprising: a conductor disposed between a tip and the second substrate and repelling an electron beam emitted from the electron source.
形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載
の画像表示装置。3. The image display device according to claim 1, wherein the conductor is formed by sintering a conductive paste.
成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の
画像表示装置。4. The image display device according to claim 1, wherein the conductor is formed of a metal plate or an alloy plate.
記第2基板に固定されていることを特徴とする請求項4
に記載の画像表示装置。5. The conductor is fixed to the second substrate via a conductive fixing layer.
The image display device according to.
記スペーサの上記第2基板側の先端に固定されているこ
とを特徴とする請求項4に記載の画像表示装置。6. The image display device according to claim 4, wherein the conductor is fixed to the tip of the spacer on the second substrate side via an insulating fixing layer.
板側の先端と相似形状を有していることを特徴とする請
求項1ないし6のいずれか1項に記載の画像表示装置。7. The image display device according to claim 1, wherein the conductor has a shape similar to a tip of the spacer on the second substrate side.
ことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記
載の画像表示装置。8. The image display device according to claim 1, wherein the electron source is a surface conduction electron source.
位を供給する複数の配線を備え、 上記各導電体は上記配線上に配置されていることを特徴
とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載の画像表
示装置。9. A plurality of wirings provided on the second substrate for supplying a potential to the electron source, wherein each of the conductors is arranged on the wirings. The image display device according to any one of 1.
1基板に隙間を置いて対向配置されているとともに、電
子を放出し上記画像表示面を励起する複数の電子源が設
けられた第2基板と、上記第1基板および第2基板間に
配設され、第1および第2基板に作用する大気圧荷重を
支持する複数のスペーサと、を備えた画像表示装置の製
造方法において、 上記第2基板の所定位置と上記スペーサの第2基板側の
先端との間に導電体を配置し、 上記スペーサをその第2基板側の先端が上記導電体を挟
んで上記第2基板に当接するように配置した状態で、上
記第1および第2基板を互いに接合することを特徴とす
る画像表示装置の製造方法。10. A first substrate having an image display surface, and a plurality of electron sources which are arranged to face the first substrate with a gap therebetween and which emit electrons to excite the image display surface. A method for manufacturing an image display device, comprising: a second substrate; and a plurality of spacers arranged between the first substrate and the second substrate and supporting an atmospheric pressure load acting on the first and second substrates, A conductor is disposed between a predetermined position of the second substrate and a tip of the spacer on the side of the second substrate, and the tip of the spacer contacts the second substrate with the conductor sandwiching the conductor. A method for manufacturing an image display device, comprising bonding the first and second substrates to each other in a state of being arranged so as to be in contact with each other.
基板上の所望位置に上記スペーサ先端形状とほぼ相似形
に導電性ペーストを印刷し、焼成して上記導電体を形成
することを特徴とする請求項10記載の平面型表示装置
の製造方法。11. The step of disposing the conductor comprises the step of
11. The method for manufacturing a flat panel display device according to claim 10, wherein a conductive paste is printed at a desired position on the substrate in a shape substantially similar to the shape of the spacer tip and is baked to form the conductor.
基板上の所望位置に導電性を有した固定層を形成し、こ
の固定層上に金属または合金板からなる上記スペーサ先
端形状とほぼ相似形の導電体を載置し、固定することを
特徴とする請求項10記載の平面型表示装置の製造方
法。12. The step of disposing the conductor comprises the step of
A fixing layer having conductivity is formed at a desired position on the substrate, and a conductor having a shape substantially similar to the tip shape of the spacer made of a metal or alloy plate is placed on the fixing layer and fixed. The method for manufacturing a flat panel display device according to claim 10.
ーサの第2基板側の先端に、絶縁性を有した固定層を形
成し、この固定層を介して、金属または合金板からなる
スペーサ先端形状とほぼ相似形の導電体を上記スペーサ
先端に固定することを特徴とする請求項10記載の平面
型表示装置の製造方法。13. In the step of disposing the conductor, a fixing layer having an insulating property is formed at the tip of the spacer on the side of the second substrate, and a spacer made of a metal or alloy plate is interposed through the fixing layer. 11. The method for manufacturing a flat-panel display device according to claim 10, wherein a conductor having a shape similar to the tip shape is fixed to the tip of the spacer.
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