JP2003106871A - 発光ユニット、発光受光ユニットおよび光学式変位検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型化を図ることができ、かつ、測定精度が
向上する光学式変位検出装置を提供する。 【解決手段】 光学格子４３を有するスケール４１と、
スケール４１に光を照射し、その反射光を受光する発光
受光ユニット２とを備える光学式変位検出装置１であっ
て、発光受光ユニット２は透明樹脂体の本体２２と、本
体２２内に設けられスケール４１とは反対側に発光面を
有する発光素子２５と、本体２２に設けられ発光素子２
５の発光面と対向する面に反射面を有し焦点からの光を
平行光として反射する第１反射部材２３と、スケール４
１からの光を受光する受光素子３２とを備え、発光素子
２５は第１反射部材２３の焦点に配置され、本体２２に
は第１反射部材２３の光軸とは交差する反射平面を有し
第１反射部材２３からの光を発光素子２５の側で、か
つ、発光素子２５を挟んで第１反射部材２３とは反対側
へ反射する第２反射部材２４が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、発光ユニット、発
光受光ユニットおよび光学式変位検出装置に関するもの
である。

【０００２】光学式エンコーダとしては、測定軸に沿っ
て光学格子が形成されたスケールを挟んで発光素子およ
び受光素子を配置し、発光素子からの光をスケールに照
射し、そのスケールの透過光を受光素子で受光する透過
型と、スケールの片側に発光素子および受光素子を配置
し、発光素子からの光をスケールに照射し、そのスケー
ルからの反射光を受光素子で受光する反射型とが知られ
ている。

【０００３】これらのうち、反射型の光学式エンコーダ
は、スケールの片側に発光素子および受光素子を配置で
きるため、透過型の光学式エンコーダに比べ、小型化が
可能である。しかし、現在のところ、実用されている反
射型の光学式エンコーダは、受光素子や発光素子の精密
位置決めが求められる構造が必要であるうえ、信号配線
を形成する配線基板を必要とするなど複雑であり、小型
化が充分ではない。

【０００４】これに対して、本出願人は、先に樹脂ブロ
ックを用いてセンサヘッドを小型化する技術（特開２０
００−３２１０１８）を提案している。これは、図５に
示されるように、反射型スケール４１と、この反射型ス
ケール４１と相対移動可能に配置されて反射型スケール
４１に光照射して反射光を受光して変位信号を出力する
センサヘッド２とを有する。前記センサヘッド２は、リ
ードフレーム２６と、このリードフレーム２６に発光面
を上向きにして搭載された、前記反射型スケール４１に
光照射するためのＬＥＤチップ２５と、前記リードフレ
ーム２６に受光面を下向きにして搭載された、前記スケ
ール４１からの反射光を受光する受光素子チップ３２
と、前記リードフレーム２６に搭載されたＬＥＤチップ
２５及び受光素子チップ３２を内部に封入するようにモ
ールド成形してなる透明樹脂２２とを備える。透明樹脂
２２の前記ＬＥＤチップ２５の上部に、光軸が前記ＬＥ
Ｄチップ２５位置より前記受光素子チップ３２側にずれ
た凸型球面２３が形成されて、この凸型球面２３に反射
膜が形成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このような構成におい
て、ＬＥＤチップ２５から発光された光は、ＬＥＤチッ
プ２５の直上から受光素子チップ３２側にずれた凸型球
面２３によって斜め方向に反射されて、スケール４１に
入射されている。しかしながら、図６に示されるよう
に、ＬＥＤチップ２５は凸型球面２３の焦点から外れて
いるので、反射光は平行光線とはならない。そのため、
測定精度が低減されるという問題があった。

【０００６】本発明の目的は、従来の問題を解消し、小
型化を図ることができ、かつ、測定精度が向上する発光
ユニット、発光受光ユニット、光学式変位検出装置を提
供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発光ユ
ニットは、透明樹脂体からなる本体と、前記本体内に設
けられた発光素子と、前記本体に設けられ前記発光素子
の発光面と対向する面に反射面を有し、焦点からの光を
平行光として反射する第１反射部材とを備える発光ユニ
ットにおいて、前記発光素子は前記第１反射部材の焦点
に配置され、前記本体には、前記第１反射部材の光軸と
は交差する反射平面を有し、前記第１反射部材からの平
行光を前記発光素子の側で、かつ、前記発光素子を挟ん
で前記第１反射部材とは反対側へ反射する第２反射部材
が設けられていることを特徴とする。

【０００８】このような構成によれば、発光素子から第
１反射部材に光が発射される。すると、この光は、第１
反射部材の焦点から発射されているので、第１反射部材
によって平行光として第２反射部材に向かって反射され
る。この反射光は、第２反射部材によって平行光の状態
で反射される。このとき、第２反射部材から反射された
光は、発光素子の側で、かつ、発光素子を挟んで第１反
射部材とは反対の側に向かい、本体の外部に発射され
る。よって、従来技術においては、発光素子が第１反射
部材の焦点に存在していなかったので、第１反射部材か
らの反射光を平行光とできなかったのに対し、本発明に
よれば、平行光を得ることができる。また、第２反射部
材を設けることによって、この第２反射部材の反射面と
第１反射部材の光軸との角度を変えることにより、本体
から外部に発射される光の方向を調整することができ
る。

【０００９】請求項２に記載の発光ユニットは、請求項
１に記載の発光ユニットにおいて、前記第２反射部材の
反射平面を含む面は、前記第１反射部材の光軸と略４５
度の角度をなしていることを特徴とする。

【００１０】このような構成によれば、発光素子から発
射された光は、第１反射部材によって平行光として反射
される。すると、反射光は光軸に対して平行に反射され
るので、第２反射部材に対して略４５度の角度で入射
し、また略４５度の角度で反射されて、本体の外部に発
射される。つまり、本体から発射される光は、第２反射
部材の反射面に対して略４５度の角度となる。この発光
ユニットからの光を、例えば、スケールなどに照射する
場合、スケールに対する光の入射角を４５度以内にする
と測定精度が向上する。そこで、第２反射部材の反射面
に対して略９０度にスケールを配置すれば、スケールに
対して入射角略４５度で光を照射することができる。そ
の結果、光学式変位検出装置などに本発明の発光ユニッ
トを利用すれば測定精度を向上させることができる。ま
た、光学式変位検出装置を組み付ける際に光学経路を調
節することが容易となる。

【００１１】請求項３に記載の発光ユニットは、請求項
１または２に記載の発光ユニットにおいて、前記第１反
射部材は、前記第１反射部材の光軸を含む平面と前記第
２反射部材の反射平面を含む平面に挟まれる空間に存在
することを特徴とする。

【００１２】このような構成によれば、第１反射部材の
光軸を含む面と第２反射部材の反射面で挟まれる空間に
ある第１反射部材によって反射される光を第２反射部材
で反射し、発光ユニットの外部へ発射する。本発明によ
れば、第１反射部材は第１反射部材の光軸を含む面と第
２反射部材の反射面で挟まれる空間にある部分だけでよ
い。また、第１反射部材からの反射光は、前記空間内を
通る光だけなので、第２反射部材も第１反射部材の縁か
ら光軸を含む面まであればよい。その結果、発光ユニッ
トを小型化できる。

【００１３】請求項４に記載の発光ユニットは、請求項
１〜３のいずれかに記載の発光ユニットにおいて、前記
第２反射部材には、光学格子が設けられていることを特
徴とする。

【００１４】このような構成によれば、第２反射部材に
よって反射された光は、光学格子によって、一定のピッ
チで明線部と暗線部を有する光となる。よって、本発明
の発光ユニットから発射された光を、例えば、光学格子
を備えたスケールで反射させ、または、光学的に明線部
と暗線部を検出できる受光素子で検出することにより、
高精度の光学式変位検出をすることができる。

【００１５】請求項５に記載の発光受光ユニットは、透
明樹脂体からなる本体と、前記本体内に設けられた発光
素子と、前記本体に設けられ前記発光素子の発光面と対
向する面に反射面を有し、焦点からの光を平行光として
反射する第１反射部材と、本体の外側方向からの光を受
光する受光素子とを備える発光受光ユニットにおいて、
前記発光素子は前記第１反射部材の焦点に配置され、前
記本体には、前記第１反射部材に対して前記発光素子を
挟んで反対側で、かつ、前記第１反射部材の光軸とは交
差する反射平面を有する第２反射部材が設けられている
ことを特徴とする。

【００１６】このような構成によれば、請求項１に記載
の発明と同様の作用効果を奏することができる。加え
て、受光素子を備えていることから、本発明の発光受光
ユニットから発射された光を、例えば、別に用意された
光学格子を備えるスケールによって反射させ、この反射
光を受光素子で受光することによって、光学式変位検出
を行うことができる。このとき、従来の光学式変位検出
装置によれば、発光受光ユニットから発射された光は、
発光素子とは反対方向へ発射されていた。そのため、こ
の光がスケールによって反射されたのち、この反射光を
受光素子で受光するためには、受光素子を発光素子から
離れた位置に配置しなければならず、発光受光ユニット
は大型なものとなっていた。しかし、本発明において
は、第２反射部材が設けられているので、第１反射部材
からの反射光が更に反射され、発光受光ユニットから発
射される光が発光素子の方向へ向かうようにされてい
る。よって、スケールによる反射光を受光するための受
光素子は発光素子の近くに配置することが可能となるの
で、その結果、発光受光ユニットを小型化することがで
きる。

【００１７】請求項６に記載の発光受光ユニットは、請
求項５に記載の発光受光ユニットにおいて、前記第２反
射部材の反射平面を含む面は、前記第１反射部材の光軸
と略４５度の角度をなしていることを特徴とする。この
ような構成によれば、請求項２に記載の発明と同様の作
用効果を奏することができる。つまり、光学式変位検出
装置などに本発明の発光受光ユニットを利用すれば測定
精度を向上させることができる。また、光学式変位検出
装置を組み付ける際に光学経路を調節することが容易と
なる。

【００１８】請求項７に記載の発光受光ユニットは、請
求項５または６に記載の発光受光ユニットにおいて、前
記第１反射部材は、前記第１反射部材の光軸を含む平面
と前記第２反射部材の反射平面を含む平面に挟まれる空
間に存在することを特徴とする。このような構成によれ
ば、請求項３に記載の発明と同様の作用効果を奏するこ
とができる。つまり、第１反射部材からの反射光は、前
記空間内を通る光だけなので、第２反射部材も第１反射
部材の縁から光軸を含む面まであればよく、その結果、
発光受光ユニットを小型化できる。

【００１９】請求項８に記載の発光受光ユニットは、請
求項５〜７のいずれかに記載の発光受光ユニットにおい
て、前記第１反射部材には、光学格子が設けられている
ことを特徴とする。このような構成によれば、請求項４
に記載の発明と同様の作用効果を奏することができる。
つまり、発光受光ユニットから発射された光を、光学格
子を備えたスケールで反射させ、受光素子で検出するこ
とにより、高精度の光学式変位検出をすることができ
る。

【００２０】請求項９に記載の光学式変位検出装置は、
測定軸に沿って光学格子が形成された反射型のスケール
と、前記反射型スケールの測定軸に沿って相対移動可能
に設けられ前記スケールに対して光を照射し、前記スケ
ールからの反射光を受光して変位信号を出力する発光受
光ユニットとを備える光学式変位検出装置であって、前
記発光受光ユニットは、透明樹脂体からなる本体と、前
記本体内に設けられ前記スケールのスケール面とは反対
側に発光面を有する発光素子と、前記本体に設けられ前
記発光素子の発光面と対向する面に反射面を有し、焦点
からの光を平行光として反射する第１反射部材と、前記
スケールからの光を受光する受光素子とを備え、前記発
光素子は、前記第１反射部材の焦点に配置され、前記本
体には、前記第１反射部材の光軸とは交差する反射平面
を有し、前記第１反射部材からの平行光を前記発光素子
の側で、かつ、前記発光素子を挟んで前記第１反射部材
とは反対側へ反射する第２反射部材が設けられているこ
とを特徴とする。

【００２１】このような構成によれば、請求項１または
請求項５に記載の発明と同様の作用効果を奏することが
できる。加えて、発光受光ユニットから発射された光を
スケールで反射すると、この反射光は明線部と暗線部か
らなる光となる。この明線部と暗線部のピッチはスケー
ルの光学格子と発光受光ユニットの相対位置によって変
化されるので、この光を受光素子で受光し、変位信号を
検出することによって、発光受光ユニットとスケールの
相対移動距離を計測することができる。

【００２２】請求項１０に記載の光学式変位検出装置
は、請求項９に記載の光学式変位検出装置において、前
記第２反射部材の反射平面は、前記第１反射部材の光軸
と略４５度の角度をなし、かつ、前記スケールは、前記
第２反射部材の反射と略９０度の角度をなしていること
を特徴とする。このような構成によれば、請求項２また
は請求項６に記載の発明と同様の作用効果を奏すること
ができる。つまり、発光受光ユニットから発射される光
は略４５度の角度でスケールに照射され、また、略４５
度の角度で反射されて受光素子で受光されるので、光学
式変位検出装置の測定精度が向上する。

【００２３】請求項１１に記載の光学式変位検出装置
は、請求項９または１０に記載の光学式変位検出装置に
おいて、前記第１反射部材は、前記第１反射部材の光軸
を含む平面と前記第２反射部材の反射平面を含む平面に
挟まれる空間に存在することを特徴とする。このような
構成によれば、請求項３に記載の発明と同様の作用効果
を奏することができる。つまり、発光受光ユニットを小
型化することができるので、光学式変位検出装置を小型
化することができる。

【００２４】請求項１２に記載の光学式変位検出装置
は、請求項９〜１１のいずれかに記載の光学式変位検出
装置において、前記第２反射部材には、光学格子が設け
られていることを特徴とする。このような構成によれ
ば、請求項４に記載の発明と同様の作用効果を奏するこ
とができる。つまり、第２反射部材によって反射された
光は、光学格子によって、一定のピッチで明線部と暗線
部を有する光となり、この光が、光学格子を備えたスケ
ールで反射されると、スケールと発光受光ユニットの相
対位置によって、この暗線部と明線部のピッチが変化さ
れるので、スケールからの反射光を受光素子で検出する
ことにより、発光受光ユニットとスケールの相対移動距
離を高精度で計測することができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本実施形態の光学式変位検
出装置１の平面図である。図２は、前記実施形態の断面
図である。同光学式変位検出装置１は、測定軸に沿って
光学格子４３が形成された反射型のスケール４１と、ス
ケール４１の測定軸に沿って相対移動可能に設けられス
ケール４１に対して光を照射し、スケール４１からの反
射光を受光して変位信号を出力する発光受光ユニット２
とを備える。

【００２６】スケール４１は、線膨張係数の小さい材料
（例えばガラス）などによって長尺帯状に形成されたス
ケール基板４２と、このスケール基板４２の表面に、測
定軸方向である長尺方向に沿って形成された光学格子４
３とから構成されている。ここで、光学格子４３は測定
軸方向に沿って、光反射部と光非反射部とが一定のピッ
チで交互に配列されて形成されている。

【００２７】発光受光ユニット２は、スケール４１に対
して光を発射する発光ユニット２１とスケール４１から
の反射光を受光する受光ユニット３１とからなる。発光
ユニット２１は、透明樹脂体からなる本体２２、本体２
２内に設けられた発光素子としての半導体発光素子（Ｌ
ＥＤチップ）２５、本体２２に設けられ発光素子２５の
発光面と対向する面に反射面を有する第１反射部材２
３、第１反射部材２３からの反射光を反射する第２反射
部材２４およびＬＥＤチップ２５と外部の電源を連結す
るためのリードフレーム２６とからなる。

【００２８】第１反射部材２３は、ＬＥＤチップ２５の
発光面とは対向する本体２２の端面に反射膜をコーティ
ングすることによって形成されている。第１反射部材２
３は焦点からの光をその光軸Ａに平行に反射する球面ま
たは非球面の反射面を有している。第１反射部材２３
は、ＬＥＤチップ２５の発光面の側であって、光軸Ａを
含む平面とこの平面から４５度の角度を有する平面との
間にある。ＬＥＤチップ２５は、図３に模式的に示され
るように、第１反射部材２３の焦点に配置されていて、
第１反射部材２３の光軸ＡとＬＥＤチップ２５の発光面
の法線とが４５度の角度をなすようにされる。第２反射
部材２４は、その反射平面を含む面が第１反射部材２３
の光軸Ａと４５度の角度をなし、第１反射部材２３から
の平行光をＬＥＤチップ２５の側で、かつ、ＬＥＤチッ
プ２５を挟んで第１反射部材２３とは反対側に反射する
ように配置されている。第２反射部材２４の反射平面
は、図４に示されるように、ただの平面（(ａ)参照）で
もよく、また光学格子２４１が形成（(ｂ)参照）されて
いてもよい。このとき、第２反射部材２４の光学格子２
４１において、反射部と非反射部が並ぶ方向は、スケー
ル４１の光学格子４３の方向と同じである。

【００２９】受光ユニット３１は、受光素子としてのフ
ォトダイオードがスケール４１の光学格子４３方向へ配
列された受光素子アレイ３２と、この受光素子アレイ３
２を載置するためのステージ３３とからなる。

【００３０】ここで、スケール４１の光学格子４３と受
光ユニット３１の受光素子アレイ３２は平行に配置され
る。このとき、受光ユニット３１の受光素子アレイ３２
の受光面はスケール４１の側を向くように配置される。
発光ユニット２１は、受光ユニット３１を挟んでスケー
ル４１とは反対側に、ＬＥＤチップ２５の発光面がスケ
ール４１とは反対側を向き、かつ、スケール４１の光学
格子４３と第２反射部材２４が９０度となるように配置
される。

【００３１】本実施形態の光学式変位検出装置１によれ
ば、まず、ＬＥＤチップ２５から発射された光は、第１
反射部材２３によって光軸Ａに平行に反射され、入射角
４５度で第２反射部材２４に入射される。すると、この
光は、第２反射部材２４によって平行光の状態で反射角
４５度で反射される。このとき、この反射光は、第２反
射部材２４の光学格子２４１によって一定のピッチで明
線部と暗線部を有する光となる。第２反射部材２４から
反射された光は、発光ユニット２１から発射されて、ス
ケール４１に入射される。スケール４１に入射された光
は、スケール４１で反射されて受光素子アレイ３２によ
って受光される。このとき、スケール４１で反射された
光はスケール４１の光学格子４３と第２反射部材２４の
光学格子２４１の相対位置の違いによって、明線部と暗
線部のピッチが入射光の状態から変化される。よって、
このスケール４１からの反射光を受光素子アレイで受光
して、受光素子アレイ３２からの出力信号を検出するこ
とによって、発光ユニット２１とスケール４１との相対
移動距離を計測することができる。

【００３２】以下に、本実施形態の光学式変位検出装置
１による効果を説明する。ＬＥＤチップ２５は、第１反
射部材２３の焦点に配置されているので、第１反射部材
２３による反射光を平行光とすることができる。従来技
術においては、発光ＬＥＤチップ２５が第１反射部材２
３の焦点に存在していなかったので、第１反射部材２３
からの反射光を平行光とできなかったのに対し、本発明
によれば、平行光を得ることができる。よって、この平
行光をもちいて、高精度の光学変位検出をすることがで
きる。

【００３３】第２反射部材２４の反射平面を含む面は、
第１反射部材２３の光軸Ａと４５度の角度をなしている
ので、ＬＥＤチップ２５から発射された光は、第１反射
部材２３よって反射されたのち、第２反射部材２４の反
射面に対して４５度の角度で入射し、また４５度の角度
で反射され、発光ユニット２１から発射される。よっ
て、第２反射部材２４の反射面に対して９０度にスケー
ル４１を配置することで、スケール４１に対して４５度
の入射角で光を照射することができる。このような構成
により、光学経路の調整が容易となるので、光学式変位
検出装置１の組み付けが容易となる。

【００３４】第１反射部材２３は、第１反射部材２３の
光軸Ａを含む面と第２反射部材２４の反射面で挟まれる
空間にのみにあることから、第１反射部材２３からの反
射光は、前記空間内を通る光だけとなる。よって、第２
反射部材２４も第１反射部材２３の縁から光軸Ａを含む
面まであればよい。その結果、発光ユニット２１を小型
化できる。

【００３５】第２反射部材２４が設けられているので、
第１反射部材２３からの反射光が更に反射され、発光ユ
ニット２１から発射される光がＬＥＤチップ２５の方向
へ向かうようにされている。よって、スケール４１によ
る反射光を受光するための受光素子アレイ３２はＬＥＤ
チップ２５の近くに配置することが可能となるので、そ
の結果、光学式変位検出装置１を小型化することができ
る。

【００３６】第２反射部材２４の反射面には、光学格子
２４１が設けられているので、第２反射部材２４によっ
て反射された光は、この光学格子２４１によって、一定
のピッチで明線部と暗線部を有する光となる。この明線
部と暗線部のピッチは、スケール４１で反射したとき、
発光ユニット２１とスケール４１の相対位置によって変
化されるので、光学的に明線部と暗線部を検出できる受
光素子アレイ３２で検出することにより、高精度の光学
変位検出をすることができる。

【００３７】尚、本発明の発光ユニット２１、発光受光
ユニット２および光学式変位検出装置１は、上述の実施
形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸
脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論
である。

【００３８】例えば、発光素子としてはＬＥＤチップ２
５に限らず、レーザー光源など種種の光源を使用しても
よい。本実施形態においては、ＬＥＤチップ２５の発光
面の法線と第１反射部材２３の角度は４５度で、第２反
射部材２４の反射面と第１反射部材２３の光軸Ａとの角
度は４５度であるが、必ずしも４５度でなくとも、任意
の角度を取ってもよい。本実施形態においては、発光ユ
ニット２１と受光ユニット３１は別体であるが、これら
を一体的に形成して発光受光ユニット２としてもよい。
このようにすれば、光学式変位検出装置１を組み付ける
際に、組み付け工数が低減できるとともに、光軸調整を
行わなくてもよく、また光学経路がずれにくいという利
点がある。

【００３９】

【発明の効果】以上、説明したように本発明の発光ユニ
ット、発光受光ユニットおよび光学式変位検出装置によ
れば、小型化を図ることができ、かつ、測定精度が向上
するという優れた効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光学式変位検出装置の一実施形態を示
す平面図である。

【図２】前記実施形態の断面図である。

【図３】前記実施形態におけるＬＥＤチップと第１反射
部材および光学経路を模式的に示す図である。

【図４】前記実施形態において、（ａ）平面状の第２反
射部材と（ｂ）光学格子が形成された第２反射部材を示
す図である。

【図５】従来技術における光学式変位検出装置を示す図
である。

【図６】従来技術における光学経路を示す図である。

【符号の説明】

１ 光学式変位検出装置 ２ 発光受光ユニット ２１ 発光ユニット ２２ 本体 ２３ 第１反射部材 ２４ 第２反射部材 ２５ ＬＥＤチップ（発光素子) ３２ 受光素子アレイ（受光素子) ４１ スケール ４３ スケールの光学格子 ２４１ 第２反射部材の光学格子 Ａ 第１反射部材の光軸

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明樹脂体からなる本体と、前記本体内
   に設けられた発光素子と、前記本体に設けられ前記発光
   素子の発光面と対向する面に反射面を有し、焦点からの
   光を平行光として反射する第１反射部材とを備える発光
   ユニットにおいて、 前記発光素子は前記第１反射部材の焦点に配置され、 前記本体には、前記第１反射部材の光軸とは交差する反
   射平面を有し、前記第１反射部材からの平行光を前記発
   光素子の側で、かつ、前記発光素子を挟んで前記第１反
   射部材とは反対側へ反射する第２反射部材が設けられて
   いることを特徴とする発光ユニット。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の発光ユニットにおい
   て、 前記第２反射部材の反射平面を含む面は、前記第１反射
   部材の光軸と略４５度の角度をなしていることを特徴と
   する発光ユニット。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の発光ユニット
   において、 前記第１反射部材は、前記第１反射部材の光軸を含む平
   面と前記第２反射部材の反射平面を含む平面に挟まれる
   空間に存在することを特徴とする発光ユニット。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の発光ユ
   ニットにおいて、 前記第２反射部材には、光学格子が設けられていること
   を特徴とする発光ユニット。
5. 【請求項５】 透明樹脂体からなる本体と、前記本体内
   に設けられた発光素子と、前記本体に設けられ前記発光
   素子の発光面と対向する面に反射面を有し、焦点からの
   光を平行光として反射する第１反射部材と、本体の外側
   方向からの光を受光する受光素子とを備える発光受光ユ
   ニットにおいて、 前記発光素子は前記第１反射部材の焦点に配置され、 前記本体には、前記第１反射部材の光軸とは交差する反
   射平面を有し、前記第１反射部材からの平行光を前記発
   光素子の側で、かつ、前記発光素子を挟んで前記第１反
   射部材とは反対側へ反射する第２反射部材が設けられて
   いることを特徴とする発光受光ユニット。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の発光受光ユニットにお
   いて、 前記第２反射部材の反射平面を含む面は、前記第１反射
   部材の光軸と略４５度の角度をなしていることを特徴と
   する発光受光ユニット。
7. 【請求項７】 請求項５または６に記載の発光受光ユニ
   ットにおいて、 前記第１反射部材は、前記第１反射部材の光軸を含む平
   面と前記第２反射部材の反射平面を含む平面に挟まれる
   空間に存在することを特徴とする発光受光ユニット。
8. 【請求項８】 請求項５〜７のいずれかに記載の発光受
   光ユニットにおいて、 前記第１反射部材には、光学格子が設けられていること
   を特徴とする発光受光ユニット。
9. 【請求項９】 測定軸に沿って光学格子が形成された反
   射型のスケールと、前記反射型スケールの測定軸に沿っ
   て相対移動可能に設けられ前記スケールに対して光を照
   射し、前記スケールからの反射光を受光して変位信号を
   出力する発光受光ユニットとを備える光学式変位検出装
   置であって、 前記発光受光ユニットは、透明樹脂体からなる本体と、
   前記本体内に設けられ前記スケールのスケール面とは反
   対側に発光面を有する発光素子と、前記本体に設けられ
   前記発光素子の発光面と対向する面に反射面を有し、焦
   点からの光を平行光として反射する第１反射部材と、前
   記スケールからの光を受光する受光素子とを備え、 前記発光素子は、前記第１反射部材の焦点に配置され、 前記本体には、前記第１反射部材の光軸とは交差する反
   射平面を有し、前記第１反射部材からの平行光を前記発
   光素子の側で、かつ、前記発光素子を挟んで前記第１反
   射部材とは反対側へ反射する第２反射部材が設けられて
   いることを特徴とする光学式変位検出装置。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の光学式変位検出装置
    において、 前記第２反射部材の反射平面を含む面は、前記第１反射
    部材の光軸と略４５度の角度をなしていることを特徴と
    する光学式変位検出装置。
11. 【請求項１１】 請求項９または１０に記載の光学式変
    位検出装置において、 前記第１反射部材は、前記第１反射部材の光軸を含む平
    面と前記第２反射部材の反射平面を含む平面に挟まれる
    空間に存在することを特徴とする光学式変位検出装置。
12. 【請求項１２】 請求項９〜１１のいずれかに記載の光
    学式変位検出装置において、 前記第２反射部材には、光学格子が設けられていること
    を特徴とする光学式変位検出装置。