JP2003176180A - 誘電体セラミック原料粉末の製造方法および誘電体セラミック原料粉末 - Google Patents
誘電体セラミック原料粉末の製造方法および誘電体セラミック原料粉末Info
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-
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 積層セラミックコンデンサの静電容量の温度
安定性を良好にするのに有効なコアシェル構造を、誘電
体セラミック層を構成する焼結体においてより確実に実
現できる誘電体セラミック原料粉末の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 チタン酸バリウム等の基本組成物からな
る基本組成物粉末の表面層に、イットリウム等の第１の
添加成分をまず拡散させ、その後、温度特性の調整に効
果のあるバリウム、マグネシウム、マンガンおよびケイ
素等の第２の添加成分を加えて、誘電体セラミック原料
粉末を得る。この誘電体セラミック原料粉末を焼成した
とき、基本組成物粉末の表面層に拡散された第１の添加
成分は、第２の添加成分の固溶を抑制するように作用
し、得られた焼結体の個々の粒子において、第２の添加
成分が拡散していないコア部と第２の添加成分が拡散し
ているシェル部とからなコアシェル構造を確実に実現す
ることができる。
安定性を良好にするのに有効なコアシェル構造を、誘電
体セラミック層を構成する焼結体においてより確実に実
現できる誘電体セラミック原料粉末の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 チタン酸バリウム等の基本組成物からな
る基本組成物粉末の表面層に、イットリウム等の第１の
添加成分をまず拡散させ、その後、温度特性の調整に効
果のあるバリウム、マグネシウム、マンガンおよびケイ
素等の第２の添加成分を加えて、誘電体セラミック原料
粉末を得る。この誘電体セラミック原料粉末を焼成した
とき、基本組成物粉末の表面層に拡散された第１の添加
成分は、第２の添加成分の固溶を抑制するように作用
し、得られた焼結体の個々の粒子において、第２の添加
成分が拡散していないコア部と第２の添加成分が拡散し
ているシェル部とからなコアシェル構造を確実に実現す
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、誘電体セラミッ
ク原料粉末の製造方法およびこの製造方法によって得ら
れた誘電体セラミック原料粉末に関するもので、特に、
誘電体セラミック原料粉末を用いて得られた誘電体セラ
ミックの特性調整を容易にするための改良に関するもの
である。
ク原料粉末の製造方法およびこの製造方法によって得ら
れた誘電体セラミック原料粉末に関するもので、特に、
誘電体セラミック原料粉末を用いて得られた誘電体セラ
ミックの特性調整を容易にするための改良に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】積層セラミックコンデンサにおいて、静
電容量を形成するように互いに対向する内部電極間に介
在される誘電体セラミック層を構成するために用いられ
る誘電体セラミックとして、現在、ＪＩＳ規格で規定す
るＢ特性またはＥＩＡ規格で規定するＸ７Ｒ特性を満足
するといった静電容量の温度安定性の良好なものが主流
となっている。
電容量を形成するように互いに対向する内部電極間に介
在される誘電体セラミック層を構成するために用いられ
る誘電体セラミックとして、現在、ＪＩＳ規格で規定す
るＢ特性またはＥＩＡ規格で規定するＸ７Ｒ特性を満足
するといった静電容量の温度安定性の良好なものが主流
となっている。
【０００３】このような温度特性の良好な誘電体セラミ
ックを得るため、一般に、チタン酸バリウムのような基
本組成物からなる基本組成物粉末に、希土類元素のよう
な添加成分を加えた誘電体セラミック原料粉末が用いら
れている。この場合、この誘電体セラミック原料粉末を
焼成して得られた焼結体としての誘電体セラミックを構
成する個々の粒子は、添加成分が拡散していないコア部
と添加成分が拡散しているシェル部とからなるコアシェ
ル構造を有していることが、良好な温度特性を得るのに
有効であるとされている。
ックを得るため、一般に、チタン酸バリウムのような基
本組成物からなる基本組成物粉末に、希土類元素のよう
な添加成分を加えた誘電体セラミック原料粉末が用いら
れている。この場合、この誘電体セラミック原料粉末を
焼成して得られた焼結体としての誘電体セラミックを構
成する個々の粒子は、添加成分が拡散していないコア部
と添加成分が拡散しているシェル部とからなるコアシェ
ル構造を有していることが、良好な温度特性を得るのに
有効であるとされている。
【０００４】上述のコアシェル構造をより確実に得るに
は、静電容量の温度安定性の向上に寄与し得る添加成分
の中で、基本組成物粉末内に固溶しにくく、その表面付
近にしか拡散し得ないものを選び、これを、焼結を促進
させるための添加成分などとともに、基本組成物粉末に
一定量添加し、湿式で混合したものを誘電体セラミック
原料粉末としている。
は、静電容量の温度安定性の向上に寄与し得る添加成分
の中で、基本組成物粉末内に固溶しにくく、その表面付
近にしか拡散し得ないものを選び、これを、焼結を促進
させるための添加成分などとともに、基本組成物粉末に
一定量添加し、湿式で混合したものを誘電体セラミック
原料粉末としている。
【０００５】他方、積層セラミックコンデンサを小型化
かつ大容量化するためには、誘電体セラミック層の厚み
を薄くすることが有効である。誘電体セラミック層の厚
みを薄くするには、これを構成するために用いられる誘
電体セラミック原料粉末も微粒化する必要があり、現在
では、走査型電子顕微鏡を用いて測定された平均粒子径
において０．３〜０．５μｍというように微粒化された
ものが実用化されている。また、誘電体セラミック層の
厚みが薄くされると、これを構成するために用いられる
誘電体セラミック原料粉末が組成的により均一であるこ
とが求められる。
かつ大容量化するためには、誘電体セラミック層の厚み
を薄くすることが有効である。誘電体セラミック層の厚
みを薄くするには、これを構成するために用いられる誘
電体セラミック原料粉末も微粒化する必要があり、現在
では、走査型電子顕微鏡を用いて測定された平均粒子径
において０．３〜０．５μｍというように微粒化された
ものが実用化されている。また、誘電体セラミック層の
厚みが薄くされると、これを構成するために用いられる
誘電体セラミック原料粉末が組成的により均一であるこ
とが求められる。
【０００６】しかしながら、前述したような添加成分が
加えられた従来の誘電体セラミック原料粉末において、
基本組成物粉末に比べて、添加成分の粉末がむしろ粗い
ものが多く、そのため、組成的な均一性が確保できない
ため、誘電体セラミック層の薄層化を進める上での障害
になっている。
加えられた従来の誘電体セラミック原料粉末において、
基本組成物粉末に比べて、添加成分の粉末がむしろ粗い
ものが多く、そのため、組成的な均一性が確保できない
ため、誘電体セラミック層の薄層化を進める上での障害
になっている。
【０００７】この問題に対処するため、添加成分の粉末
を予め微粉砕した上で基本組成物粉末に添加する方法
や、添加成分を化学的な方法で基本組成物粉末の表面に
付着させたりコーティングしたりするなどの方法が提案
されている。
を予め微粉砕した上で基本組成物粉末に添加する方法
や、添加成分を化学的な方法で基本組成物粉末の表面に
付着させたりコーティングしたりするなどの方法が提案
されている。
【０００８】これらの方法は、誘電体セラミック原料粉
末の組成の均一化を図ることが可能であり、誘電体セラ
ミック層の薄層化が進んでも、積層セラミックコンデン
サの信頼性を確保できる点で評価され得る。
末の組成の均一化を図ることが可能であり、誘電体セラ
ミック層の薄層化が進んでも、積層セラミックコンデン
サの信頼性を確保できる点で評価され得る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように誘電体セラミック原料粉末の組成の均一化が図ら
れたとき、その均一性のために、基本組成物に対する添
加成分の反応性が高められ、そのため、前述したように
微粒化された基本組成物粉末を用いると、添加成分の基
本組成物粉末への固溶が進みすぎ、コアシェル構造が得
られなくなり、その結果、静電容量の温度安定性がかえ
って悪化するという問題に遭遇することがある。
ように誘電体セラミック原料粉末の組成の均一化が図ら
れたとき、その均一性のために、基本組成物に対する添
加成分の反応性が高められ、そのため、前述したように
微粒化された基本組成物粉末を用いると、添加成分の基
本組成物粉末への固溶が進みすぎ、コアシェル構造が得
られなくなり、その結果、静電容量の温度安定性がかえ
って悪化するという問題に遭遇することがある。
【００１０】そこで、この発明の目的は、上述したよう
な問題を解決し得る、誘電体セラミック原料粉末の製造
方法およびこの製造方法によって得られた誘電体セラミ
ック原料粉末を提供しようとすることである。
な問題を解決し得る、誘電体セラミック原料粉末の製造
方法およびこの製造方法によって得られた誘電体セラミ
ック原料粉末を提供しようとすることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係る誘電体セ
ラミック原料粉末の製造方法は、上述した技術的課題を
解決するため、次のような構成を備えることを特徴とし
ている。
ラミック原料粉末の製造方法は、上述した技術的課題を
解決するため、次のような構成を備えることを特徴とし
ている。
【００１２】すなわち、この誘電体セラミック原料粉末
の製造方法は、まず、得ようとする誘電体セラミックの
ための基本組成物からなる基本組成物粉末を用意する工
程と、基本組成物に添加すべき第１および第２の添加成
分を用意する工程とを備えている。ここで、第１の添加
成分は、基本組成物粉末への第２の添加成分の固溶を抑
制する効果を有するものである。
の製造方法は、まず、得ようとする誘電体セラミックの
ための基本組成物からなる基本組成物粉末を用意する工
程と、基本組成物に添加すべき第１および第２の添加成
分を用意する工程とを備えている。ここで、第１の添加
成分は、基本組成物粉末への第２の添加成分の固溶を抑
制する効果を有するものである。
【００１３】次いで、基本組成物粉末の表面層に第１の
添加成分を拡散させる工程と、第１の添加成分が表面層
に拡散された基本組成物粉末に第２の添加成分を加える
工程とが実施される。
添加成分を拡散させる工程と、第１の添加成分が表面層
に拡散された基本組成物粉末に第２の添加成分を加える
工程とが実施される。
【００１４】上述した第２の添加成分は、典型的には、
たとえば静電容量の温度安定性の向上に寄与し得る添加
成分のように、得ようとする誘電体セラミックの特性を
調整するためのものである。
たとえば静電容量の温度安定性の向上に寄与し得る添加
成分のように、得ようとする誘電体セラミックの特性を
調整するためのものである。
【００１５】より特定的な実施態様では、基本組成物
は、一般式ＡＢＯ3 （Ａは、ＢａまたはＢａの一部がＳ
ｒ、ＣａおよびＭｇのうちの少なくとも１種で置換され
たものであり、Ｂは、ＴｉまたはＴｉの一部がＺｒ、Ｓ
ｎ、Ｎｂ、ＴａおよびＶのうちの少なくとも１種で置換
されたものある。）で表わされ、第１の添加成分は、Ｙ
および原子番号５７〜７１のランタノイド系希土類元素
のうちの少なくとも１種を含み、第２の添加成分は、Ｍ
ｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｍｎ、ＳｉおよびＢのうちの少
なくとも１種を含む。
は、一般式ＡＢＯ3 （Ａは、ＢａまたはＢａの一部がＳ
ｒ、ＣａおよびＭｇのうちの少なくとも１種で置換され
たものであり、Ｂは、ＴｉまたはＴｉの一部がＺｒ、Ｓ
ｎ、Ｎｂ、ＴａおよびＶのうちの少なくとも１種で置換
されたものある。）で表わされ、第１の添加成分は、Ｙ
および原子番号５７〜７１のランタノイド系希土類元素
のうちの少なくとも１種を含み、第２の添加成分は、Ｍ
ｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｍｎ、ＳｉおよびＢのうちの少
なくとも１種を含む。
【００１６】前述したように、基本組成物粉末の表面層
に第１の添加成分を拡散させるにあたっては、典型的に
は、次の３つの方法のうち、いずれかの方法が採用され
ることが好ましい。
に第１の添加成分を拡散させるにあたっては、典型的に
は、次の３つの方法のうち、いずれかの方法が採用され
ることが好ましい。
【００１７】第１の方法は、基本組成物粉末を水に懸濁
させたスラリーに、第１の添加成分の水溶性塩を溶解さ
せ、沈殿析出または蒸発乾固によって基本組成物粉末の
表面に第１の添加成分を付着させた後、基本組成物粉末
を加熱することによって、基本組成物粉末の表面層に第
１の添加成分を拡散させる方法である。
させたスラリーに、第１の添加成分の水溶性塩を溶解さ
せ、沈殿析出または蒸発乾固によって基本組成物粉末の
表面に第１の添加成分を付着させた後、基本組成物粉末
を加熱することによって、基本組成物粉末の表面層に第
１の添加成分を拡散させる方法である。
【００１８】第２の方法は、基本組成物粉末を水に懸濁
させたスラリーに、第１の添加成分の水性ゾルを混合
し、脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末の表面
に第１の添加成分を析出させた後、基本組成物粉末を加
熱することによって、基本組成物粉末の表面層に第１の
添加成分を拡散させる方法である。
させたスラリーに、第１の添加成分の水性ゾルを混合
し、脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末の表面
に第１の添加成分を析出させた後、基本組成物粉末を加
熱することによって、基本組成物粉末の表面層に第１の
添加成分を拡散させる方法である。
【００１９】第３の方法は、基本組成物粉末を有機溶媒
に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の、有機溶媒
に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除去によって基本組
成物粉末の表面に第１の添加成分を付着させた後、基本
組成物粉末を加熱することによって、基本組成物粉末の
表面層に第１の添加成分を拡散させる方法である。
に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の、有機溶媒
に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除去によって基本組
成物粉末の表面に第１の添加成分を付着させた後、基本
組成物粉末を加熱することによって、基本組成物粉末の
表面層に第１の添加成分を拡散させる方法である。
【００２０】他方、前述したように、第１の添加成分が
表面層に拡散された基本組成物粉末に第２の添加成分を
加えるにあたっては、典型的には、次の３つの方法のう
ち、いずれかの方法が採用されることが好ましい。
表面層に拡散された基本組成物粉末に第２の添加成分を
加えるにあたっては、典型的には、次の３つの方法のう
ち、いずれかの方法が採用されることが好ましい。
【００２１】第１の方法は、基本組成物粉末を水に懸濁
させたスラリーに、第２の添加成分の水溶性塩を溶解さ
せ、沈殿析出または蒸発乾固によって基本組成物粉末の
表面に第２の添加成分を付着させる方法である。
させたスラリーに、第２の添加成分の水溶性塩を溶解さ
せ、沈殿析出または蒸発乾固によって基本組成物粉末の
表面に第２の添加成分を付着させる方法である。
【００２２】第２の方法は、基本組成物粉末を水に懸濁
させたスラリーに、第２の添加成分の水性ゾルを混合
し、脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末の表面
に第２の添加成分を析出させる方法である。
させたスラリーに、第２の添加成分の水性ゾルを混合
し、脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末の表面
に第２の添加成分を析出させる方法である。
【００２３】第３の方法は、基本組成物粉末を有機溶媒
に懸濁させたスラリーに、第２の添加成分の、有機溶媒
に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除去によって基本組
成物粉末の表面に第２の添加成分を付着させる方法であ
る。
に懸濁させたスラリーに、第２の添加成分の、有機溶媒
に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除去によって基本組
成物粉末の表面に第２の添加成分を付着させる方法であ
る。
【００２４】この発明は、また、上述のような製造方法
によって得られた、誘電体セラミック原料粉末にも向け
られる。この誘電体セラミック原料粉末は、第１の添加
成分が表面層に拡散された基本組成物粉末と第２の添加
成分とを含んでいる。
によって得られた、誘電体セラミック原料粉末にも向け
られる。この誘電体セラミック原料粉末は、第１の添加
成分が表面層に拡散された基本組成物粉末と第２の添加
成分とを含んでいる。
【００２５】
【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る誘電体セ
ラミック原料粉末の用途の一例を示すもので、この発明
に係る誘電体セラミック原料粉末を用いて製造される積
層セラミックコンデンサ１を図解的に示す断面図であ
る。
ラミック原料粉末の用途の一例を示すもので、この発明
に係る誘電体セラミック原料粉末を用いて製造される積
層セラミックコンデンサ１を図解的に示す断面図であ
る。
【００２６】積層セラミックコンデンサ１は、積層体２
を備えている。積層体２は、積層される複数の誘電体セ
ラミック層３と、複数の誘電体セラミック層３の間の特
定の複数の界面に沿ってそれぞれ形成される複数の内部
電極４および５とをもって構成される。内部電極４およ
び５は、積層体２の外表面にまで到達するように形成さ
れるが、積層体２の一方の端面６にまで引き出される内
部電極４と他方の端面７にまで引き出される内部電極５
とが、積層体２の内部において交互に配置されている。
を備えている。積層体２は、積層される複数の誘電体セ
ラミック層３と、複数の誘電体セラミック層３の間の特
定の複数の界面に沿ってそれぞれ形成される複数の内部
電極４および５とをもって構成される。内部電極４およ
び５は、積層体２の外表面にまで到達するように形成さ
れるが、積層体２の一方の端面６にまで引き出される内
部電極４と他方の端面７にまで引き出される内部電極５
とが、積層体２の内部において交互に配置されている。
【００２７】積層体２の端面６および７上には、外部電
極８および９がそれぞれ形成されている。なお、外部電
極８および９上には、必要に応じて、ニッケル、銅など
のめっきが施され、さらにその上に、半田、錫などのめ
っきが施されてもよい。
極８および９がそれぞれ形成されている。なお、外部電
極８および９上には、必要に応じて、ニッケル、銅など
のめっきが施され、さらにその上に、半田、錫などのめ
っきが施されてもよい。
【００２８】このような積層セラミックコンデンサ１に
備える積層体２は、その生の状態のものを焼成すること
によって得られる。生の状態の積層体２は、生の状態の
誘電体セラミック層３と内部電極４および５とを積層し
た構造を有していて、この発明に係る誘電体セラミック
原料粉末は、生の状態にある誘電体セラミック層３に含
まれ、焼成されることによって、焼結体としての誘電体
セラミックからなる誘電体セラミック層３が与えられ
る。
備える積層体２は、その生の状態のものを焼成すること
によって得られる。生の状態の積層体２は、生の状態の
誘電体セラミック層３と内部電極４および５とを積層し
た構造を有していて、この発明に係る誘電体セラミック
原料粉末は、生の状態にある誘電体セラミック層３に含
まれ、焼成されることによって、焼結体としての誘電体
セラミックからなる誘電体セラミック層３が与えられ
る。
【００２９】誘電体セラミック原料粉末は、次のように
して製造される。
して製造される。
【００３０】まず、得ようとする誘電体セラミックのた
めの基本組成物からなる基本組成物粉末が用意される。
この基本組成物は、たとえば、ＢａＴｉＯ3 のような一
般式ＡＢＯ3 で表わされるものである。ここで、Ａは、
ＢａまたはＢａの一部がＳｒ、ＣａおよびＭｇのうちの
少なくとも１種で置換されたものであり、Ｂは、Ｔｉま
たはＴｉの一部がＺｒ、Ｓｎ、Ｎｂ、ＴａおよびＶのう
ちの少なくとも１種で置換されたものである。
めの基本組成物からなる基本組成物粉末が用意される。
この基本組成物は、たとえば、ＢａＴｉＯ3 のような一
般式ＡＢＯ3 で表わされるものである。ここで、Ａは、
ＢａまたはＢａの一部がＳｒ、ＣａおよびＭｇのうちの
少なくとも１種で置換されたものであり、Ｂは、Ｔｉま
たはＴｉの一部がＺｒ、Ｓｎ、Ｎｂ、ＴａおよびＶのう
ちの少なくとも１種で置換されたものである。
【００３１】また、上述の基本組成物に添加すべき第１
および第２の添加成分が用意される。ここで、第１の添
加成分は、基本組成物粉末への第２の添加成分の固溶を
抑制する効果を有するものである。上述のように、基本
組成物が一般式ＡＢＯ3 で表わされるものであるとき、
第１の添加成分は、Ｙおよび原子番号５７〜７１のラン
タノイド系希土類元素のうちの少なくとも１種を含むこ
とが好ましく、第２の添加成分は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、
Ｂａ、Ｍｎ、ＳｉおよびＢのうちの少なくとも１種を含
むことが好ましい。
および第２の添加成分が用意される。ここで、第１の添
加成分は、基本組成物粉末への第２の添加成分の固溶を
抑制する効果を有するものである。上述のように、基本
組成物が一般式ＡＢＯ3 で表わされるものであるとき、
第１の添加成分は、Ｙおよび原子番号５７〜７１のラン
タノイド系希土類元素のうちの少なくとも１種を含むこ
とが好ましく、第２の添加成分は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、
Ｂａ、Ｍｎ、ＳｉおよびＢのうちの少なくとも１種を含
むことが好ましい。
【００３２】第２の添加成分は、典型的には、得ようと
する誘電体セラミックの特性を調整するためのものであ
り、たとえば、誘電体セラミックの比誘電率の温度安定
性を向上させる機能を有している。
する誘電体セラミックの特性を調整するためのものであ
り、たとえば、誘電体セラミックの比誘電率の温度安定
性を向上させる機能を有している。
【００３３】次に、上述した基本組成物粉末の表面層に
第１の添加成分を拡散させる工程が実施される。
第１の添加成分を拡散させる工程が実施される。
【００３４】この第１の添加成分を拡散させる工程は、
たとえば、基本組成物粉末を水に懸濁させたスラリー
に、第１の添加成分の水溶性塩を溶解させ、沈殿析出ま
たは蒸発乾固によって基本組成物粉末の表面に第１の添
加成分を付着させた後、基本組成物粉末を加熱すること
によって、基本組成物粉末の表面層に第１の添加成分を
拡散させるように実施される。
たとえば、基本組成物粉末を水に懸濁させたスラリー
に、第１の添加成分の水溶性塩を溶解させ、沈殿析出ま
たは蒸発乾固によって基本組成物粉末の表面に第１の添
加成分を付着させた後、基本組成物粉末を加熱すること
によって、基本組成物粉末の表面層に第１の添加成分を
拡散させるように実施される。
【００３５】上述の方法に代えて、基本組成物粉末を水
に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の水性ゾルを
混合し、脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末の
表面に第１の添加成分を析出させた後、基本組成物粉末
を加熱することによって、基本組成物粉末の表面層に第
１の添加成分を拡散させるようにしてもよい。
に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の水性ゾルを
混合し、脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末の
表面に第１の添加成分を析出させた後、基本組成物粉末
を加熱することによって、基本組成物粉末の表面層に第
１の添加成分を拡散させるようにしてもよい。
【００３６】さらに、上述した方法に代えて、基本組成
物粉末を有機溶媒に懸濁させたスラリーに、第１の添加
成分の、有機溶媒に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除
去によって基本組成物粉末の表面に第１の添加成分を付
着させた後、基本組成物粉末を加熱することによって、
基本組成物粉末の表面層に第１の添加成分を拡散させる
ようにしてもよい。
物粉末を有機溶媒に懸濁させたスラリーに、第１の添加
成分の、有機溶媒に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除
去によって基本組成物粉末の表面に第１の添加成分を付
着させた後、基本組成物粉末を加熱することによって、
基本組成物粉末の表面層に第１の添加成分を拡散させる
ようにしてもよい。
【００３７】次に、上述のように第１の添加成分が表面
層に拡散された基本組成物粉末に第２の添加成分を加え
る工程が実施される。
層に拡散された基本組成物粉末に第２の添加成分を加え
る工程が実施される。
【００３８】この基本組成物粉末に第２の添加成分を加
える工程は、たとえば、基本組成物粉末を水に懸濁させ
たスラリーに、第２の添加成分の水溶性塩を溶解させ、
沈殿析出または蒸発乾固によって基本組成物粉末の表面
に第２の添加成分を付着させるように実施される。
える工程は、たとえば、基本組成物粉末を水に懸濁させ
たスラリーに、第２の添加成分の水溶性塩を溶解させ、
沈殿析出または蒸発乾固によって基本組成物粉末の表面
に第２の添加成分を付着させるように実施される。
【００３９】上述した方法に代えて、基本組成物粉末を
水に懸濁させたスラリーに、第２の添加成分の水性ゾル
を混合し、脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末
の表面に第２の添加成分を析出させるようにしてもよ
い。
水に懸濁させたスラリーに、第２の添加成分の水性ゾル
を混合し、脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末
の表面に第２の添加成分を析出させるようにしてもよ
い。
【００４０】さらに、上述した方法に代えて、基本組成
物粉末を有機溶媒に懸濁させたスラリーに、第２の添加
成分の、有機溶媒に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除
去によって基本組成物粉末の表面に第２の添加成分を付
着させるようにしてもよい。
物粉末を有機溶媒に懸濁させたスラリーに、第２の添加
成分の、有機溶媒に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除
去によって基本組成物粉末の表面に第２の添加成分を付
着させるようにしてもよい。
【００４１】このようにして、この発明に係る誘電体セ
ラミック原料粉末が得られる。この誘電体セラミック原
料粉末によれば、基本組成物粉末の表面層に、第２の添
加成分の固溶を抑制するバリアとしての効果を有する第
１の添加成分が拡散されているので、これを焼成して得
られた焼結体を構成する個々の粒子は、第２の添加成分
が拡散していないコア部と第２の添加成分が拡散してい
るシェル部とからなるコアシェル構造をより確実に実現
することができる。
ラミック原料粉末が得られる。この誘電体セラミック原
料粉末によれば、基本組成物粉末の表面層に、第２の添
加成分の固溶を抑制するバリアとしての効果を有する第
１の添加成分が拡散されているので、これを焼成して得
られた焼結体を構成する個々の粒子は、第２の添加成分
が拡散していないコア部と第２の添加成分が拡散してい
るシェル部とからなるコアシェル構造をより確実に実現
することができる。
【００４２】したがって、前述した積層セラミックコン
デンサにおいて、誘電体セラミック層３がこの誘電体セ
ラミック原料粉末の焼結体をもって構成されたとき、た
とえば、ＪＩＳ規格におけるＢ特性またはＥＩＡ規格に
おけるＸ７Ｒ特性といった良好な温度特性を有するもの
を比較的容易にかつ確実に実現することができる。
デンサにおいて、誘電体セラミック層３がこの誘電体セ
ラミック原料粉末の焼結体をもって構成されたとき、た
とえば、ＪＩＳ規格におけるＢ特性またはＥＩＡ規格に
おけるＸ７Ｒ特性といった良好な温度特性を有するもの
を比較的容易にかつ確実に実現することができる。
【００４３】次に、この発明に係る誘電体セラミック原
料粉末の製造方法の効果を確認するために実施した実験
例について説明する。
料粉末の製造方法の効果を確認するために実施した実験
例について説明する。
【００４４】この実験例では、基本組成物粉末として、
走査型電子顕微鏡観察による平均粒子径が０．３μｍの
チタン酸バリウム粉末を用いた。また、固溶抑制のため
の第１の添加成分として、イットリウムを含むものを用
い、特性調整のための第２の添加成分として、Ｂａ、Ｍ
ｇ、ＭｎおよびＳｉをそれぞれ含むものを用いた。
走査型電子顕微鏡観察による平均粒子径が０．３μｍの
チタン酸バリウム粉末を用いた。また、固溶抑制のため
の第１の添加成分として、イットリウムを含むものを用
い、特性調整のための第２の添加成分として、Ｂａ、Ｍ
ｇ、ＭｎおよびＳｉをそれぞれ含むものを用いた。
【００４５】これら基本組成物粉末ならびに第１および
第２の添加成分を用いて、以下のように、この発明の範
囲内にある実施例ならびにこの発明の範囲外の比較例１
および２の各々に係る試料を作製した。
第２の添加成分を用いて、以下のように、この発明の範
囲内にある実施例ならびにこの発明の範囲外の比較例１
および２の各々に係る試料を作製した。
【００４６】（実施例）１５０ｇのチタン酸バリウム粉
末を５００ｍｌの純水に懸濁させて得られたスラリー
に、５．０ｇの硝酸イットリウム（Ｙ（ＮＯ3 ）3 ・６
Ｈ2 Ｏ）を溶解させた。
末を５００ｍｌの純水に懸濁させて得られたスラリー
に、５．０ｇの硝酸イットリウム（Ｙ（ＮＯ3 ）3 ・６
Ｈ2 Ｏ）を溶解させた。
【００４７】次に、ロータリーエバポレーターを用い
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去するとともに、チタン酸バリウム
粉末の各粒子の表面層にイットリウムを薄く拡散させ
た。この粉末の断面を透過型電子顕微鏡にて分析したと
ころ、チタン酸バリウム粉末の各粒子の表面近傍にイッ
トリウムが薄く拡散している状態を確認することができ
た。
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去するとともに、チタン酸バリウム
粉末の各粒子の表面層にイットリウムを薄く拡散させ
た。この粉末の断面を透過型電子顕微鏡にて分析したと
ころ、チタン酸バリウム粉末の各粒子の表面近傍にイッ
トリウムが薄く拡散している状態を確認することができ
た。
【００４８】次に、上述のようにして得られた粉末１２
０ｇを４００ｍｌの純水に懸濁させ、得られたスラリー
に、１．３ｇの硝酸バリウム（Ｂａ（ＮＯ3 ）2 ）、
１．２ｇの硝酸マグネシウム（Ｍｇ（ＮＯ3 ）2 ・６Ｈ
2 Ｏ）、および０．７ｇの硝酸マンガン（Ｍｎ（Ｎ
Ｏ3 ）2 ・６Ｈ2 Ｏ）を溶解させ、さらに２．９ｇの水
性ＳｉＯ2 ゾル（Ｓｉ：１５重量％）を加えて、よく攪
拌した。
０ｇを４００ｍｌの純水に懸濁させ、得られたスラリー
に、１．３ｇの硝酸バリウム（Ｂａ（ＮＯ3 ）2 ）、
１．２ｇの硝酸マグネシウム（Ｍｇ（ＮＯ3 ）2 ・６Ｈ
2 Ｏ）、および０．７ｇの硝酸マンガン（Ｍｎ（Ｎ
Ｏ3 ）2 ・６Ｈ2 Ｏ）を溶解させ、さらに２．９ｇの水
性ＳｉＯ2 ゾル（Ｓｉ：１５重量％）を加えて、よく攪
拌した。
【００４９】次に、ロータリーエバポレーターを用い
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去して、実施例に係る誘電体セラミ
ック原料粉末を得た。
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去して、実施例に係る誘電体セラミ
ック原料粉末を得た。
【００５０】次に、この誘電体セラミック原料粉末１０
０ｇに対して、トルエン／エタノールの容積比が１／１
の溶媒にポリビニルブチラールを２０重量％溶解させた
ビヒクル７２ｇと、可塑剤としてのジオクチルフタレー
ト４ｇとを加え、ボールミルにて混合した後、グラビア
コーターにて、厚み５μｍのセラミックグリーンシート
を成形した。
０ｇに対して、トルエン／エタノールの容積比が１／１
の溶媒にポリビニルブチラールを２０重量％溶解させた
ビヒクル７２ｇと、可塑剤としてのジオクチルフタレー
ト４ｇとを加え、ボールミルにて混合した後、グラビア
コーターにて、厚み５μｍのセラミックグリーンシート
を成形した。
【００５１】次に、このセラミックグリーンシートを所
定の寸法に打ち抜き、ニッケルを含む導電性ペーストに
よって内部電極を形成した後、これらセラミックグリー
ンシートを積層し、圧着することによって、生の積層体
を得た。この生の積層体において、内部電極間に介在す
る誘電体セラミック層となるセラミックグリーンシート
が５０枚となるようにした。
定の寸法に打ち抜き、ニッケルを含む導電性ペーストに
よって内部電極を形成した後、これらセラミックグリー
ンシートを積層し、圧着することによって、生の積層体
を得た。この生の積層体において、内部電極間に介在す
る誘電体セラミック層となるセラミックグリーンシート
が５０枚となるようにした。
【００５２】次に、生の積層体を個々の積層セラミック
コンデンサのための積層体となるようにカットし、得ら
れた生の積層体チップを、還元性雰囲気中において１２
４０℃の温度で２時間焼成し、焼結後の積層体を得た。
コンデンサのための積層体となるようにカットし、得ら
れた生の積層体チップを、還元性雰囲気中において１２
４０℃の温度で２時間焼成し、焼結後の積層体を得た。
【００５３】次に、積層体の両端面に外部電極を形成し
て、試料となる積層セラミックコンデンサを完成させ
た。
て、試料となる積層セラミックコンデンサを完成させ
た。
【００５４】（比較例１）比較例１では、イットリウム
を含むすべての添加成分を一括してチタン酸バリウム粉
末に添加した。
を含むすべての添加成分を一括してチタン酸バリウム粉
末に添加した。
【００５５】すなわち、１２０ｇのチタン酸バリウム粉
末を４００ｍｌの純水に懸濁させて得られたスラリー
に、１．３ｇの硝酸バリウム（Ｂａ（ＮＯ3 ）2 ）と
１．２ｇの硝酸マグネシウム（Ｍｇ（ＮＯ3 ）2 ・６Ｈ
2 Ｏ）と４．０ｇの硝酸イットリウム（Ｙ（ＮＯ3 ）3
・６Ｈ2 Ｏ）と０．７ｇの硝酸マンガン（Ｍｎ（Ｎ
Ｏ3 ） 2 ・６Ｈ2 Ｏ）とを溶解させ、さらに２．９ｇの
水性ＳｉＯ2 ゾル（Ｓｉ：１５重量％）を加えて、よく
攪拌した。
末を４００ｍｌの純水に懸濁させて得られたスラリー
に、１．３ｇの硝酸バリウム（Ｂａ（ＮＯ3 ）2 ）と
１．２ｇの硝酸マグネシウム（Ｍｇ（ＮＯ3 ）2 ・６Ｈ
2 Ｏ）と４．０ｇの硝酸イットリウム（Ｙ（ＮＯ3 ）3
・６Ｈ2 Ｏ）と０．７ｇの硝酸マンガン（Ｍｎ（Ｎ
Ｏ3 ） 2 ・６Ｈ2 Ｏ）とを溶解させ、さらに２．９ｇの
水性ＳｉＯ2 ゾル（Ｓｉ：１５重量％）を加えて、よく
攪拌した。
【００５６】次に、ロータリーエバポレーターを用い
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去して、比較例１に係る誘電体セラ
ミック原料粉末を得た。
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去して、比較例１に係る誘電体セラ
ミック原料粉末を得た。
【００５７】以後、この誘電体セラミック原料粉末を用
いて、実施例１の場合と同様の方法および条件にて、セ
ラミックグリーンシートを成形し、かつ、これを用い
て、試料となる積層セラミックコンデンサを完成させ
た。
いて、実施例１の場合と同様の方法および条件にて、セ
ラミックグリーンシートを成形し、かつ、これを用い
て、試料となる積層セラミックコンデンサを完成させ
た。
【００５８】（比較例２）比較例２では、イットリウム
以外の添加成分を先にチタン酸バリウム粉末に固溶させ
た。
以外の添加成分を先にチタン酸バリウム粉末に固溶させ
た。
【００５９】すなわち、１５０ｇのチタン酸バリウム粉
末を５００ｍｌの純水に懸濁させ、得られたスラリー
に、１．７ｇの硝酸バリウム（Ｂａ（ＮＯ3 ）2 ）、
１．６ｇの硝酸マグネシウム（Ｍｇ（ＮＯ3 ）2 ・６Ｈ
2 Ｏ）および０．８ｇの硝酸マンガン（Ｍｎ（ＮＯ3 ）
2 ・６Ｈ2 Ｏ）を溶解させ、さらに水性ＳｉＯ2 ゾル
（Ｓｉ：１５重量％）を３．５ｇ加えて、よく攪拌し
た。
末を５００ｍｌの純水に懸濁させ、得られたスラリー
に、１．７ｇの硝酸バリウム（Ｂａ（ＮＯ3 ）2 ）、
１．６ｇの硝酸マグネシウム（Ｍｇ（ＮＯ3 ）2 ・６Ｈ
2 Ｏ）および０．８ｇの硝酸マンガン（Ｍｎ（ＮＯ3 ）
2 ・６Ｈ2 Ｏ）を溶解させ、さらに水性ＳｉＯ2 ゾル
（Ｓｉ：１５重量％）を３．５ｇ加えて、よく攪拌し
た。
【００６０】次に、ロータリーエバポレーターを用い
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去するとともに、チタン酸バリウム
粉末の各粒子表面に上述した添加成分を拡散させた。こ
の粉末の断面を透過型電子顕微鏡にて分析したところ、
バリウム、マグネシウムおよびケイ素は、チタン酸バリ
ウム粉末の各粒子の表面上に存在し、マンガンは、チタ
ン酸バリウム粉末の各粒子の内部にまで拡散している状
態を確認することができた。
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去するとともに、チタン酸バリウム
粉末の各粒子表面に上述した添加成分を拡散させた。こ
の粉末の断面を透過型電子顕微鏡にて分析したところ、
バリウム、マグネシウムおよびケイ素は、チタン酸バリ
ウム粉末の各粒子の表面上に存在し、マンガンは、チタ
ン酸バリウム粉末の各粒子の内部にまで拡散している状
態を確認することができた。
【００６１】次に、上述の粉末１２０ｇを４００ｍｌの
純水に懸濁させ、得られたスラリーに、４．０ｇの硝酸
イットリウム（Ｙ（ＮＯ3 ）3 ・６Ｈ2 Ｏ）を溶解させ
た。
純水に懸濁させ、得られたスラリーに、４．０ｇの硝酸
イットリウム（Ｙ（ＮＯ3 ）3 ・６Ｈ2 Ｏ）を溶解させ
た。
【００６２】次に、ロータリーエバポレーターを用い
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去して、比較例２に係る誘電体セラ
ミック原料粉末を得た。
て、上述のスラリーを蒸発乾燥して粉末を得た後、この
粉末を、バッチ炉にて６００℃の温度で２時間熱処理
し、硝酸根を分解除去して、比較例２に係る誘電体セラ
ミック原料粉末を得た。
【００６３】以後、この誘電体セラミック原料粉末を用
いて、実施例の場合と同様の方法および条件にて、セラ
ミックグリーンシートを成形し、かつ、これを用いて、
試料となる積層セラミックコンデンサを完成させた。
いて、実施例の場合と同様の方法および条件にて、セラ
ミックグリーンシートを成形し、かつ、これを用いて、
試料となる積層セラミックコンデンサを完成させた。
【００６４】以上のようにして得られた実施例ならびに
比較例１および２の各々に係る積層セラミックコンデン
サについて、表１に示すように、比誘電率（εr ）、誘
電損失（ＤＦ）および絶縁抵抗（ｌｏｇＩＲ）を求める
とともに、ＥＩＡ規格におけるＸ７Ｒ特性を満足するか
否かを評価するため、２５℃での静電容量を基準とした
−５５℃および１２５℃の各温度における静電容量温度
変化率を求めた。
比較例１および２の各々に係る積層セラミックコンデン
サについて、表１に示すように、比誘電率（εr ）、誘
電損失（ＤＦ）および絶縁抵抗（ｌｏｇＩＲ）を求める
とともに、ＥＩＡ規格におけるＸ７Ｒ特性を満足するか
否かを評価するため、２５℃での静電容量を基準とした
−５５℃および１２５℃の各温度における静電容量温度
変化率を求めた。
【００６５】
【表１】
【００６６】表１に示した誘電特性の評価結果からわか
るように、特に静電容量温度変化率に注目すれば、実施
例に係る誘電体セラミック原料粉末を用いて製造された
積層セラミックコンデンサは、±１５％以内であり、Ｅ
ＩＡ規格のＸ７Ｒ特性を満足している。
るように、特に静電容量温度変化率に注目すれば、実施
例に係る誘電体セラミック原料粉末を用いて製造された
積層セラミックコンデンサは、±１５％以内であり、Ｅ
ＩＡ規格のＸ７Ｒ特性を満足している。
【００６７】これに対して、比較例１および２の各々に
係る誘電体セラミック原料粉末を用いて製造された積層
セラミックコンデンサは、いずれも、ＥＩＡ規格のＸ７
Ｒ特性を満足していない。
係る誘電体セラミック原料粉末を用いて製造された積層
セラミックコンデンサは、いずれも、ＥＩＡ規格のＸ７
Ｒ特性を満足していない。
【００６８】以上、この発明を、第２の添加成分が静電
容量の温度安定性の向上に寄与し得る添加成分である場
合について主として説明したが、第２の添加成分は、そ
の他、絶縁抵抗を改善するものであっても、焼結性を向
上させるものであってもよい。また、第２の添加成分
が、このように誘電体セラミックの特性を調整するため
のものに限らず、他の機能を有するものであってもよ
い。
容量の温度安定性の向上に寄与し得る添加成分である場
合について主として説明したが、第２の添加成分は、そ
の他、絶縁抵抗を改善するものであっても、焼結性を向
上させるものであってもよい。また、第２の添加成分
が、このように誘電体セラミックの特性を調整するため
のものに限らず、他の機能を有するものであってもよ
い。
【００６９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、誘電
体セラミック原料粉末を得るにあたって、基本組成物粉
末の表面層に、まず、第２の添加成分の固溶を抑制する
効果を有する第１の添加成分を拡散させた後、第１の添
加成分が表面層に拡散された基本組成物粉末に第２の添
加成分を加えるようにしているので、得られた誘電体セ
ラミック原料粉末を焼成するとき、第１の添加成分が、
基本組成物粉末内に第２の添加成分が固溶することを抑
制するバリアとしての機能を発揮し、得られた焼結体の
個々の粒子において、第２の添加成分が拡散していない
コア部と第２の添加成分が拡散しているシェル部とから
なるコアシェル構造を確実に与えることができる。
体セラミック原料粉末を得るにあたって、基本組成物粉
末の表面層に、まず、第２の添加成分の固溶を抑制する
効果を有する第１の添加成分を拡散させた後、第１の添
加成分が表面層に拡散された基本組成物粉末に第２の添
加成分を加えるようにしているので、得られた誘電体セ
ラミック原料粉末を焼成するとき、第１の添加成分が、
基本組成物粉末内に第２の添加成分が固溶することを抑
制するバリアとしての機能を発揮し、得られた焼結体の
個々の粒子において、第２の添加成分が拡散していない
コア部と第２の添加成分が拡散しているシェル部とから
なるコアシェル構造を確実に与えることができる。
【００７０】したがって、第２の添加成分が静電容量の
温度安定性の向上に寄与する添加成分である場合には、
このコアシェル構造に基づき、得られた焼結体におい
て、静電容量の良好な温度安定性を与えることができ
る。
温度安定性の向上に寄与する添加成分である場合には、
このコアシェル構造に基づき、得られた焼結体におい
て、静電容量の良好な温度安定性を与えることができ
る。
【００７１】また、この発明によれば、誘電体セラミッ
ク原料粉末の焼結過程における第２の添加成分の拡散を
容易にかつ安定的に制御することができるので、得られ
た焼結体の特性のばらつきを少なくすることができる。
ク原料粉末の焼結過程における第２の添加成分の拡散を
容易にかつ安定的に制御することができるので、得られ
た焼結体の特性のばらつきを少なくすることができる。
【００７２】また、この発明によれば、基本組成物粉末
が微粒化されても、また、第２の添加成分が基本組成物
粉末に対して高い均一性をもって加えられても、上述の
ように、コアシェル構造を有する焼結体を確実に得るこ
とができるので、基本組成物粉末の微粒化および第２の
添加成分の添加状態の均一化を問題なく進めることがで
き、そのため、この誘電体セラミック原料粉末を用いて
製造される積層セラミックコンデンサにおいて、誘電体
セラミック層の薄層化を問題なく進めることができ、小
型でかつ大容量の積層セラミックコンデンサを有利に製
造することができる。
が微粒化されても、また、第２の添加成分が基本組成物
粉末に対して高い均一性をもって加えられても、上述の
ように、コアシェル構造を有する焼結体を確実に得るこ
とができるので、基本組成物粉末の微粒化および第２の
添加成分の添加状態の均一化を問題なく進めることがで
き、そのため、この誘電体セラミック原料粉末を用いて
製造される積層セラミックコンデンサにおいて、誘電体
セラミック層の薄層化を問題なく進めることができ、小
型でかつ大容量の積層セラミックコンデンサを有利に製
造することができる。
【００７３】この発明において、基本組成物粉末の表面
層に第１の添加成分を拡散させるにあたって、基本組成
物粉末を水に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の
水溶性塩を溶解させ、沈殿析出または蒸発乾固によって
基本組成物粉末の表面に第１の添加成分を付着させた
後、基本組成物粉末を加熱したり、あるいは、基本組成
物粉末を水に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の
水性ゾルを混合し、脱水または蒸発乾燥によって基本組
成物粉末の表面に第１の添加成分を析出させた後、基本
組成物粉末を加熱したり、あるいは、基本組成物粉末を
有機溶媒に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の、
有機溶媒に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除去によっ
て基本組成物粉末の表面に第１の添加成分を付着させた
後、基本組成物粉末を加熱したりするようにすれば、第
１の添加成分を、基本組成物粉末の各粒子の表面近傍に
薄くかつ均一に拡散させることができ、第１の添加成分
が有する固溶を抑制する機能をより効果的に発揮させる
ことができる。
層に第１の添加成分を拡散させるにあたって、基本組成
物粉末を水に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の
水溶性塩を溶解させ、沈殿析出または蒸発乾固によって
基本組成物粉末の表面に第１の添加成分を付着させた
後、基本組成物粉末を加熱したり、あるいは、基本組成
物粉末を水に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の
水性ゾルを混合し、脱水または蒸発乾燥によって基本組
成物粉末の表面に第１の添加成分を析出させた後、基本
組成物粉末を加熱したり、あるいは、基本組成物粉末を
有機溶媒に懸濁させたスラリーに、第１の添加成分の、
有機溶媒に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除去によっ
て基本組成物粉末の表面に第１の添加成分を付着させた
後、基本組成物粉末を加熱したりするようにすれば、第
１の添加成分を、基本組成物粉末の各粒子の表面近傍に
薄くかつ均一に拡散させることができ、第１の添加成分
が有する固溶を抑制する機能をより効果的に発揮させる
ことができる。
【００７４】また、第１の添加成分が表面層に拡散され
た基本組成物粉末に第２の添加成分を加えるにあたっ
て、基本組成物粉末を水に懸濁させたスラリーに、第２
の添加成分の水溶性塩を溶解させ、沈殿析出または蒸発
乾固によって基本組成物粉末の表面に第２の添加成分を
付着させたり、あるいは、基本組成物粉末を水に懸濁さ
せたスラリーに、第２の添加成分の水性ゾルを混合し、
脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末の表面に第
２の添加成分を析出させたり、基本組成物粉末を有機溶
媒に懸濁させたスラリーに、第２の添加成分の、有機溶
媒に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除去によって基本
組成物粉末の表面に第２の添加成分を付着させたりすれ
ば、第２の添加成分を、基本組成物粉末の表面に良好な
均一性をもって分布させることができ、誘電体セラミッ
ク原料粉末の組成的な均一性をより高めることができ
る。
た基本組成物粉末に第２の添加成分を加えるにあたっ
て、基本組成物粉末を水に懸濁させたスラリーに、第２
の添加成分の水溶性塩を溶解させ、沈殿析出または蒸発
乾固によって基本組成物粉末の表面に第２の添加成分を
付着させたり、あるいは、基本組成物粉末を水に懸濁さ
せたスラリーに、第２の添加成分の水性ゾルを混合し、
脱水または蒸発乾燥によって基本組成物粉末の表面に第
２の添加成分を析出させたり、基本組成物粉末を有機溶
媒に懸濁させたスラリーに、第２の添加成分の、有機溶
媒に可溶な塩を溶解させ、有機溶媒の除去によって基本
組成物粉末の表面に第２の添加成分を付着させたりすれ
ば、第２の添加成分を、基本組成物粉末の表面に良好な
均一性をもって分布させることができ、誘電体セラミッ
ク原料粉末の組成的な均一性をより高めることができ
る。
【図１】この発明に係る誘電体セラミック原料粉末を用
いて製造される積層セラミックコンデンサ１を図解的に
示す断面図である。
いて製造される積層セラミックコンデンサ１を図解的に
示す断面図である。
１ 積層セラミックコンデンサ
２ 積層体
３ 誘電体セラミック層
４，５ 内部電極
８，９ 外部電極
フロントページの続き
(72)発明者 籔内 正三
京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式
会社村田製作所内
Ｆターム(参考） 4G030 AA07 AA08 AA09 AA10 AA11
AA12 AA16 AA17 AA19 AA20
AA21 AA25 AA35 AA37 AA43
BA09 GA01 GA07 GA08 GA09
GA10
4G031 AA03 AA04 AA05 AA06 AA07
AA08 AA11 AA12 AA13 AA14
AA15 AA19 AA28 AA30 AA31
BA09 GA01 GA02 GA05
5E001 AB03 AE01 AE02 AE03 AE04
5G303 AA01 AB06 AB11 BA12 CA01
CB02 CB03 CB06 CB17 CB18
CB21 CB30 CB31 CB32 CB33
CB35 CB36 CB39
Claims (10)
- 【請求項１】 得ようとする誘電体セラミックのための
基本組成物からなる基本組成物粉末を用意する工程と、 前記基本組成物に添加すべき第１および第２の添加成分
を用意する工程とを備え、 前記第１の添加成分は、前記基本組成物粉末への前記第
２の添加成分の固溶を抑制する効果を有するものであ
り、さらに、 前記基本組成物粉末の表面層に前記第１の添加成分を拡
散させる工程と、 前記第１の添加成分が前記表面層に拡散された前記基本
組成物粉末に前記第２の添加成分を加える工程とを備え
る、誘電体セラミック原料粉末の製造方法。 - 【請求項２】 前記第２の添加成分は、得ようとする誘
電体セラミックの特性を調整するためのものである、請
求項１に記載の誘電体セラミック原料粉末の製造方法。 - 【請求項３】 前記基本組成物は、一般式ＡＢＯ3 （Ａ
は、ＢａまたはＢａの一部がＳｒ、ＣａおよびＭｇのう
ちの少なくとも１種で置換されたものであり、Ｂは、Ｔ
ｉまたはＴｉの一部がＺｒ、Ｓｎ、Ｎｂ、ＴａおよびＶ
のうちの少なくとも１種で置換されたものである。）で
表わされ、 前記第１の添加成分は、Ｙおよび原子番号５７〜７１の
ランタノイド系希土類元素のうちの少なくとも１種を含
み、 前記第２の添加成分は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｍ
ｎ、ＳｉおよびＢのうちの少なくとも１種を含む、請求
項２に記載の誘電体セラミック原料粉末の製造方法。 - 【請求項４】 前記第１の添加成分を拡散させる工程
は、前記基本組成物粉末を水に懸濁させたスラリーに、
前記第１の添加成分の水溶性塩を溶解させ、沈殿析出ま
たは蒸発乾固によって前記基本組成物粉末の表面に前記
第１の添加成分を付着させた後、前記基本組成物粉末を
加熱することによって、前記基本組成物粉末の表面層に
前記第１の添加成分を拡散させる工程を含む、請求項１
ないし３のいずれかに記載の誘電体セラミック原料粉末
の製造方法。 - 【請求項５】 前記第１の添加成分を拡散させる工程
は、前記基本組成物粉末を水に懸濁させたスラリーに、
前記第１の添加成分の水性ゾルを混合し、脱水または蒸
発乾燥によって前記基本組成物粉末の表面に前記第１の
添加成分を析出させた後、前記基本組成物粉末を加熱す
ることによって、前記基本組成物粉末の表面層に前記第
１の添加成分を拡散させる工程を含む、請求項１ないし
３のいずれかに記載の誘電体セラミック原料粉末の製造
方法。 - 【請求項６】 前記第１の添加成分を拡散させる工程
は、前記基本組成物粉末を有機溶媒に懸濁させたスラリ
ーに、前記第１の添加成分の、前記有機溶媒に可溶な塩
を溶解させ、前記有機溶媒の除去によって前記基本組成
物粉末の表面に前記第１の添加成分を付着させた後、前
記基本組成物粉末を加熱することによって、前記基本組
成物粉末の表面層に前記第１の添加成分を拡散させる工
程を含む、請求項１ないし３のいずれかに記載の誘電体
セラミック原料粉末の製造方法。 - 【請求項７】 前記基本組成物粉末に前記第２の添加成
分を加える工程は、前記基本組成物粉末を水に懸濁させ
たスラリーに、前記第２の添加成分の水溶性塩を溶解さ
せ、沈殿析出または蒸発乾固によって前記基本組成物粉
末の表面に前記第２の添加成分を付着させる工程を含
む、請求項１ないし６のいずれかに記載の誘電体セラミ
ック原料粉末の製造方法。 - 【請求項８】 前記基本組成物粉末に前記第２の添加成
分を加える工程は、前記基本組成物粉末を水に懸濁させ
たスラリーに、前記第２の添加成分の水性ゾルを混合
し、脱水または蒸発乾燥によって前記基本組成物粉末の
表面に前記第２の添加成分を析出させる工程を含む、請
求項１ないし６のいずれかに記載の誘電体セラミック原
料粉末の製造方法。 - 【請求項９】 前記基本組成物粉末に前記第２の添加成
分を加える工程は、前記基本組成物粉末を有機溶媒に懸
濁させたスラリーに、前記第２の添加成分の、前記有機
溶媒に可溶な塩を溶解させ、前記有機溶媒の除去によっ
て前記基本組成物粉末の表面に前記第２の添加成分を付
着させる工程を含む、請求項１ないし６のいずれかに記
載の誘電体セラミック原料粉末の製造方法。 - 【請求項１０】 請求項１ないし９のいずれかに記載の
製造方法によって得られた、誘電体セラミック原料粉
末。
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