JP2003167530A - ディスプレイ画面検査方法およびディスプレイ画面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスプレイの検査を正確に、かつ精度よく
行なうことができるディスプレイ画面検査方法を提供す
る。 【解決手段】 ディスプレイ画面の所定の表示領域に関
して、撮像手段を用いて撮像した、位置計測パターンを
表示させたディスプレイ画面の画像を用いて、個々の画
素を構成する各セルの位置を計測し、前記撮像手段を用
いて撮像した、検査パターンを表示させたディスプレイ
画面の画像を用いて、前記計測した各セルの位置にそれ
ぞれ輝度計測領域を設け、それぞれの輝度計測領域内で
輝度計測を行ない、得られた輝度計測結果の平均値また
は中央値を計算し、しきい値と比較して、各セルの検査
を行なう方法であって、各セルの輝度平均値または中央
値としきい値を比較する際に、検査対象となるセルの近
傍に高い輝度のセルが存在した場合、その近傍のセルの
輝度値に応じて、しきい値を高くしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はディスプレイ画面検
査方法およびディスプレイ画面検査装置に関する。さら
に詳しくは、液晶ディスプレイなどのフラットパネルデ
ィスプレイに代表されるディスプレイ画面の検査のため
のディスプレイ画面検査方法およびディスプレイ画面検
査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１４〜１６は、たとえば特開平６−２
５０１３９号公報に示された従来の液晶表示パネルの検
査方法を示す図である。まず、検査装置を説明する。図
１４において、検査テーブル５１は互いに直行するＸ、
Ｙのニ軸方向に摺動可能で、かつ水平方向に回転可能と
されており、この上面に液晶表示パネル５５が搭載され
る。前記検査テーブル５１には、液晶の表示領域に対応
する部分に開口５１ａが設けられている。また、該検査
テーブル５１の下方には、バックライト５２が配置され
ており、該バックライト５２からの放出光は前記開口５
１ａを通して液晶表示パネル５５に照射される。前記検
査テーブル５１の左右には、測定を終了した液晶表示パ
ネル５５を検査テーブル５１から取り除くアンローダ５
３と、新たに測定を行なう液晶表示パネル５５を検査テ
ーブル５１に搭載するローダ５４が配置されている。ま
た、検査テーブル５１の側方には、液晶表示パネル５５
の接続端子に接続して、液晶表示パネル５５を点灯する
ためのプローバ５６が配置されている。液晶表示パネル
５５の上方には、フォトセルがマトリックス状に配列さ
れたＣＣＤカメラ５７が配置されており、液晶表示パネ
ル５５の点灯輝度を取り込む。該ＣＣＤカメラ５７に
は、ＡＤまたはＡＣコンバータ５９、演算回路６０、画
像メモリ６１および表示回路６２を有する画像処理装置
５８が接続されている。

【０００３】かかる検査装置を用いた検査方法において
は、液晶表示パネル５５をＣＣＤカメラ５７で撮像し、
個々の画素を構成する各セルに関して輝度計測領域を設
け、その領域内の輝度の平均値を求めることで検査を行
なっている。図１５は、ＣＣＤカメラ５７の撮像画像で
あり、Ｒ（赤）、Ｒ（Ｒ１（１行目の表示画素））、Ｒ
（Ｒ２（２行目の表示画素））、Ｇ（緑）、Ｂ（青）は
液晶の１画素のＲＧＢを構成する各セルの位置を表し、
マトリックス状に配列されたフォトセルＳはＣＣＤカメ
ラの１受光素子を示す。

【０００４】つぎに動作について説明する。この従来の
検査方法では、まず最初にＣＣＤカメラのアライメント
を行なう。アライメントは、たとえば図１６に示すよう
に、液晶表示パネルの画面上の所定の３点（アライメン
ト用表示画素Ｍ１〜Ｍ３）について画像上での位置計測
を行ない、それらの画像上の距離と実際のＸＹ方向基準
距離Ｘo、Ｙoを比較する。ついで液晶表示パネルの位置
と傾きを計算することで、各セルの位置を特定する。な
お、図１６において、６５は全表示領域であり、６５Ａ
〜６５Ｃは視野区画である。つぎに各セルの位置に基づ
いて、輝度計測領域を設け、領域内の輝度平均値と予め
定めたしきい値とを比較して各セルの検査を行なう。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
検査方法では、輝度平均値と予め定めたしきい値を単に
比較しているため、正確な検査ができない。なぜなら、
高い輝度をもった輝点欠陥セル（制御不可能であり常に
点灯しているセル）が存在した場合、その欠陥セルの明
るさによって、光がまわりこみ、周辺のセルの計測輝度
が上がってしまう状況が生じるためである。輝度の影響
は周囲２セル四方に及ぶため、予め定めたしきい値と比
較して検査すると、輝点欠陥セルの周辺セルは欠陥と誤
認識され、正しい検査ができないという問題がある。

【０００６】また、従来の検査方法のアライメント方法
では、単にディスプレイ画面上の所定の数点の画面上の
位置の測定結果と、その実際の距離を用いてアライメン
トを実行しているが、実際にはＣＣＤカメラのレンズ歪
みなどがあるため、これでは精密にセルの位置計測を行
なうことが難しい。また、ＣＣＤカメラを保持する機構
の弾性変形やガタなどによってＣＣＤカメラの位置計測
に関してわずかでも誤差が生じた場合、アライメントに
狂いが生じるという問題がある。液晶の場合、１セルの
短辺が１００μｍ以下であるので、わずかなアライメン
トの狂いも許されない。

【０００７】また、従来の検査方法では、撮像方法の詳
細が記述されていないが、たとえば液晶表示パネルの輝
度のダイナミックレンジは非常に大きく、現存する通常
のＣＣＤカメラの約１００倍のダイナミックレンジが必
要である。このため、低輝度のセルから高輝度のセルま
で計測および検査するためには、通常の固定条件下の撮
像では到底無理であるという問題がある。

【０００８】さらに、従来の検査方法では、計測方法の
詳細が記述されていないが、色の異なるセルに関して
は、撮像手段によって色に関する感度が異なることや、
カラーフィルタの透過光量特性が色によって異なるた
め、液晶の色の異なる各セルで、同一のしきい値を用い
ると正確に検査できないという問題がある。

【０００９】本発明は、前記問題を解決するためになさ
れたものであり、ディスプレイの検査を正確に、かつ精
度よく行なうことができるディスプレイ画面検査方法お
よびディスプレイ画面検査装置を提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のディスプ
レイ画面検査方法は、ディスプレイ画面の所定の表示領
域に関して、撮像手段を用いて撮像した、位置計測パタ
ーンを表示させたディスプレイ画面の画像を用いて、個
々の画素を構成する各セルの位置を計測し、前記撮像手
段を用いて撮像した、検査パターンを表示させたディス
プレイ画面の画像を用いて、前記計測した各セルの位置
にそれぞれ輝度計測領域を設け、それぞれの輝度計測領
域内で輝度計測を行ない、得られた輝度計測結果の平均
値または中央値を計算し、しきい値と比較して、各セル
の検査を行なう方法であって、各セルの輝度平均値また
は中央値としきい値を比較する際に、検査対象のセルの
近傍に高い輝度のセルが存在した場合、その近傍のセル
の輝度値に応じて、しきい値を高くすることを特徴とす
る。

【００１１】請求項２記載のディスプレイ画面検査方法
は、前記輝度計測について、撮像手段の露光時間を変え
て複数回、それぞれの輝度計測領域内で輝度計測を行な
い、得られた輝度計測の結果を合成して、それぞれの輝
度計測領域内の輝度を計算する。

【００１２】請求項３記載のディスプレイ画面検査方法
は、予めディスプレイ画面上の特定の座標位置と、前記
座標位置に関する撮像手段で得られる画像上の位置と、
その際の撮像手段の絶対位置のデータの集合を複数用い
て、撮像手段の絶対位置とディスプレイ画面上の変換式
を計算しておき、検査の際には、撮像手段の絶対位置と
前記変換式を用いて得られる計測パターンの画像上の予
想位置と、実際の計測パターンの画像上の位置のずれを
計測し、このずれ量を用いて画像座標とディスプレイ座
標の変換式を新たに計算し、この変換式を用いて、検査
したセルの画像上の位置をディスプレイ座標位置に変換
して出力する。

【００１３】請求項４記載のディスプレイ画面検査方法
は、前記位置計測パターンについて、ディスプレイ画面
上の所定位置の複数のセルを点灯して、複数点のセルの
位置を計測し、それらを小領域に分割して、その各小領
域ごとに画像座標とディスプレイ座標の関係を曲線回帰
することにより、撮像手段の画像の歪み量を補正して、
各セルの位置を計算する。

【００１４】請求項５記載のディスプレイ画面検査方法
は、前記しきい値の作成について、検査領域全体に関し
て、色の異なるセル毎に平均値または中央値を計算し、
その平均値または中央値に基準値を足しこむことにより
色の異なるセルごとにしきい値を作成する。

【００１５】請求項６記載のディスプレイ画面検査方法
は、前記輝度計測について、色の異なるセルごとに、輝
度計測の結果を撮像手段の感度特性に基づく係数を乗じ
て補正する。

【００１６】さらに請求項７記載のディスプレイ画面検
査装置は、ディスプレイ画面を撮像する撮像手段と、デ
ィスプレイ画面の画面制御を行なうディスプレイ画面制
御手段と、撮像手段を保持して移動を可能にする移動手
段と、撮像手段の絶対位置を計測する計測手段と、撮像
手段を用いて撮像した、位置計測パターンを表示させた
ディスプレイ画面の画像を処理して、個々の画素を構成
する各セルの位置を計測し、撮像手段を用いて撮像し
た、検査パターンを表示させたディスプレイ画面の画像
を処理して、前記計測した各セルの位置にそれぞれ輝度
計測領域を設け、それぞれの輝度計測領域内で輝度計測
を行ない、得られた輝度計測結果の平均値または中央値
を計算し、しきい値と比較して、各セルの検査を行な
い、各セルの輝度平均値または中央値としきい値を比較
する際には、検査対象となるセルの近傍に高い輝度のセ
ルが存在した場合、近傍のセルの輝度値に応じて、しき
い値を高くするように構成した画像処理手段と、検査の
全体の流れの制御を行なう制御手段を備えてなることを
特徴とする。

【００１７】

【発明の実施の形態】実施の形態１ 図１は本発明の実施の形態１にかかわるディスプレイ画
面検査方法およびディスプレイ画面検査装置を説明する
ための図である。図１において、１はＣＣＤカメラなど
の撮像手段、２はディスプレイ画面制御手段、３は撮像
手段１を移動させる移動手段、４は撮像位置の計測手
段、５は画像処理手段、６は制御手段、７は判定結果の
出力値である。８は検査対象物である液晶表示パネルな
どに代表されるディスプレイ装置である。

【００１８】つぎに動作について説明する。まずディス
プレイ画面全体において、粗検査を行ない、欠陥が存在
するおおよその場所に撮像手段１を移動させる。粗検査
は、直接人が目視で行なってもよいし、別の装置で検査
し、その結果をもとに撮像手段１を移動させてもよい。
人が粗検査を行なう場合は、ディスプレイ画面制御手段
２が、ディスプレイ装置８を制御することにより、粗検
査に適した画面パターン、たとえば全黒画面などを表示
させる。撮像手段１の移動は、移動手段３によって行な
われ、ＸＹ方向に移動可能である。この動作は制御手段
６の信号に基づいて自動で行なうことができるが、人が
手で動かしてもよい。また、本実施の形態１では、移動
手段３は撮像手段１を保持し、ディスプレイ装置８の上
部に位置しているが、撮像手段１を固定しておいて別の
移動手段がディスプレイ装置８を動かすように構成する
こともできる。これは撮像手段１の視野を移動させると
いう機能において同等であるためである。ついで制御手
段６から画面制御指示がディスプレイ画面制御手段２に
送られたのち、ディスプレイ装置８に計測パターンが表
示される。撮像手段１は、計測パターンが表示されたデ
ィスプレイ装置８の一部または全部を撮像し、画像を画
像処理手段５に蓄える。ついで制御手段６から画面制御
指示がディスプレイ画面制御手段２に送られたのち、デ
ィスプレイ装置８に検査パターンが表示される。撮像手
段１は、検査パターンが表示されたディスプレイ装置８
の一部または全部を撮像し、画像を画像処理手段５に蓄
える。この際、計測パターンと検査パターンは共に露光
時間を変えて２種類以上のパターンを適用してもかまわ
ない。また、該計測パターンと検査パターンの表示順序
は、必ずしも計測パターンが先である必要はなく、検査
パターンを先に表示することもできる。通常、パターン
を発生させるのに必要な時間や、パターン間の切り替え
時間を考慮し、時間的に最短になるようにパターンを発
生させるのがよい。また、検査パターンを撮像する際
は、撮像手段１の露光時間を、たとえば１／２ｓ、１／
２０ｓ、１／２００ｓなどのように、複数回切り替えて
撮像し、画像を蓄積する。なお、特別な撮像手段によっ
ては、該撮像手段の内部回路において同様の処理を行な
うものもあるが、その際は、その機能を用いてもよい。

【００１９】図２は蓄積した画像に関して、検査の手順
を示すフローチャートである。図２において、ステップ
Ｓ１では、計測パターンの画像を画像処理し、画像に写
っている各セルの画像上の位置を計測する。ステップＳ
２では、ステップＳ１で得られた各セルの画像上の位置
を元に、検査パターンの画像から各セルの発光位置に輝
度計測領域を設けて輝度計測を行ない、各セルの輝度の
平均値または中央値を計測する。ステップＳ３では、検
査対象のセルの周辺に高輝度のセルがあるか否かを調
べ、存在する場合は、しきい値を変更する（ステップＳ
４）。ついでステップＳ５〜Ｓ７では、このしきい値と
検査対象のセルに関する輝度の平均値または中央値を比
較し、ディスプレイ装置のセルの良否を判定する。この
ステップＳ３〜Ｓ７は、検査パターンの画像に写ってい
る全部のセルまたは一部のセルに対して行ない、ついで
ステップＳ８では、全部のセルの判定が終了するまで繰
り返す。全セルの判定終了後、ステップＳ９では、欠陥
セルの画像位置をディスプレイ画面座標に変換し、ステ
ップＳ１０では、欠陥セルの有無、欠陥セルの輝度情報
および欠陥位置などを出力する。

【００２０】つぎに各ステップの内容を詳細に説明す
る。

【００２１】ステップＳ１では、計測パターンの画像を
画像処理し、画像に写っている各セルの画像上の位置を
計算する。図３〜４に計測パターンの一例としてクロス
ハッチ画像ＣＰを示す。理由は後述するが、ディスプレ
イ装置がカラーＴＦＴ液晶表示装置である場合、クロス
ハッチは、特定の色のセルだけを用いて構成している。
図３〜４ではクロスハッチのラインがとくにＸ方向にお
いて連続していないように見えるが、これは、たとえば
Ｇ（緑）のセルだけを点灯しており、Ｒ（赤）およびＢ
（青）のセルを消灯しているためである。

【００２２】前記画像処理手段５は、まず計測パターン
が撮像された画像を用いて、所定の位置にある複数のセ
ルの位置を画像計測する。図５に計測パターンから計測
された複数のセルの中心位置Ｐを示す。図６は図５の計
測を行なうための計測手法の一例を示したものであり、
既知技術であるＸＹ方向の投影を用いている。図６
（ａ）〜（ｂ）に示されるように、投影により、クロス
ハッチラインＬ１、Ｌ２の概略位置は計算できるので、
その位置に計測領域Ｚを設け、図６（ｃ）に示されるよ
うに、領域内の重心計算によってそれぞれの縦横ライン
ＬＹ、ＬＸの正確な位置を計算し、その交点を所定のセ
ルＣの中心位置Ｐとする。この際、重心計算をするうえ
で、特定色だけでクロスハッチラインが構成されている
方が望ましい。色が異なるセルの輝度は、撮像手段の感
度や液晶パネルを構成するカラーフィルタの透過特性な
どで異なるため、色の異なるセルでラインを構成した場
合、重心位置がセルの中心位置と著しくずれる場合があ
るためである。図５のように複数のセルＣの中心位置Ｐ
を計算したのち、これらの中心位置Ｐと既知であるクロ
スハッチの基本データ（クロスハッチを構成しているセ
ルの色、クロスハッチの間隔が何セル分で構成されてい
るか、セルの縦横長さの比など）を組み合わせて計算す
ることにより、画面上に映っている全セルの画像上の正
確な位置を求める。

【００２３】ステップＳ２では、検査パターンが撮像さ
れた画像に関して、以下のように画像処理を行なう。ス
テップＳ２のフローチャートを図７に示す。たとえば検
査パターンが全黒画面（画面の全セルを消灯した画面）
１種類であり、露光時間が１／２ｓ、１／２０ｓ、１／
２００ｓと切り替えられて撮像されている場合は、３枚
の検査パターンの画像が蓄積されている。ステップＳ２
１では、計測パターンの画像計測結果により、画像上の
全セルに関して、セルの発光領域に輝度計測領域を設け
ることができるため、検査パターンの画像に関して各セ
ルの輝度計測領域内で画像の輝度計測を行ない、その平
均値または中央値を計測する。ステップＳ２２では、前
記平均値または中央値を並べた新しい画像（セル内輝度
画像）を作成する。なお、平均値のかわりに中央値を用
いてもよい理由は、中央値の方が平均値よりもノイズに
対して影響を受けないためである。たとえば突発的に高
い輝度のノイズが１つ入っても中央値はほとんど変わら
ないが、平均値は大きな影響を受ける。

【００２４】各セルの輝度計測領域は、１つのセルの発
光領域に関して複数設定してもよい。また、それぞれの
輝度計測領域は、液晶の発光部分でないブラックマトリ
クス部分を避けて設定するものとする。ステップＳ２
１、Ｓ２２は３つの露光時間の異なる同一の検査パター
ンの画像についてそれぞれ行なう（ステップＳ２３）た
め、本実施の形態１では、３枚のセル内輝度画像が作成
される（ステップＳ２４）。ついでつぎの検査パターン
の画像があるか否かを判断する（ステップＳ２５）。

【００２５】図８（ａ）〜（ｃ）ではＲ、Ｇ、Ｂのセル
の発光領域（矢印Ｗ）に関して、各セルに対して３つの
輝度計測領域、すなわちＷＲ１〜ＷＲ３、ＷＧ１〜ＷＧ
３およびＷＢ１〜ＷＢ３を設定し、３つの露光時間に基
づく３枚のセル内輝度画像Ｅ１〜Ｅ３および合成輝度画
像Ｅを作成する例を示す。輝度計測領域ＷＲ１〜ＷＲ
３、ＷＧ１〜ＷＧ３、ＷＢ１〜ＷＢ３の画像上での１辺
の長さは、撮像手段１の受光素子の３ピクセル以上で構
成するのが望ましい。これ以下になると、１セルにおけ
る輝度計測の母集団の数が少なくなり、計測値の信頼性
が低下するほか、検査対象の１セルの大きさと撮像手段
１の受光素子の１ピクセルの大きさが近くなるため、モ
アレ縞（干渉）が生じやすくなり計測が難しくなる。

【００２６】３枚のセル内輝度画像Ｅ１〜Ｅ３は、それ
ぞれが感度の異なる画像と考えることができる。露光時
間の長い画像から構成したセル内輝度画像は、高感度の
画像であり、暗い輝度をもったセルの輝度を正確に測定
しているが、高い輝度をもったセルに関しては輝度値が
飽和している。一方、露光時間の短い画像から構成した
セル内輝度画像は、高い輝度をもったセルの輝度を正確
に測定しているが、低い輝度をもったセルに関しては輝
度値が黒レベル（暗電流成分またはノイズ成分とも呼
ぶ）と変わらないレベルになっており正しく測定できて
いない。これは液晶表示パネルの輝度のダイナミックレ
ンジが、撮像手段１の有するダイナミックレンジをはる
かにこえているためである。

【００２７】このため、ステップＳ２４では、これら３
枚の画像Ｅ１〜Ｅ３を、たとえば以下の手順で合成し
て、合成輝度画像Ｅを作成する。ここでは、撮像手段１
の輝度階調が２５６階調（輝度にして０〜２５５）を有
するとする。合成の仕方の一例としては、つぎの手順
（ステップ２４１、ステップ２４２）がある。

【００２８】ステップ２４１では、３枚のセル内輝度画
像で注目画素の輝度値がいちばん１２８の値に近い画像
を選択する。

【００２９】ステップ２４２では、 露光時間が１／２ｓのときのセル内輝度画像である場
合、該１／２ｓ露光時間のセル内輝度画像の輝度を出力
する。 露光時間が１／２０ｓのセル内輝度画像である場合、 （ｉ）輝度が黒レベル以下であるなら、１／２ｓ露光時
間のセル内輝度画像の輝度を出力する。 （ii）輝度が黒レベルより上であるなら、（１／２０ｓ
露光時間のセル内輝度画像の輝度−黒レベル）×輝度比
１（１０＝(１／２)／(１／２０)）を出力する。 露光時間が１／２００ｓのセル内輝度画像である場
合、 （ｉ）輝度が黒レベル以下であるなら、（１／２０ｓ露
光時間のセル内輝度画像の輝度−黒レベル）×輝度比１
（１０＝(１／２)／(１／２０)）を出力する。 （ii）輝度が黒レベルより上であるなら、（１／２００
ｓ露光時間のセル内輝度画像の輝度−黒レベル）×輝度
比２（１００＝(１／２)／(１／２００)）を出力する。

【００３０】まず、ステップ２４１において、黒レベル
付近の輝度や飽和付近の輝度を有していないセル内輝度
画像を選択し、ステップ２４２において合成処理を行な
う。合成処理における輝度比１、２は露光時間の比に相
当する。

【００３１】検査パターンが全黒画面以外に全赤画面、
全緑画面または全青画面がある場合には、それらのパタ
ーンの数だけ、同様に合成輝度画像を作成する。

【００３２】ここまでの手順によって、撮像手段のダイ
ナミックレンジを拡大して、各セルの輝度計測領域内の
平均値または中央値を計測できたので、ステップＳ３〜
Ｓ８では、これらの値と所定のしきい値を比較して、良
否を判定する。しきい値は、セルの色ごとに設定されて
いるものとする。

【００３３】たとえば輝点欠陥を判定する場合、全黒画
像に対して得られた前記平均値または中央値と、輝点欠
陥の最小輝度に相当するしきい値とを比較し、しきい値
以上の値が得られた場合に、そのセルを不良品と判定す
る。中間階調の輝度を表示した場合のセルの明るさの範
囲が指定値に入っているかどうかを検査する場合は、良
品を規定する上限しきい値と下限しきい値の２つを定め
て、比較すればよい。

【００３４】つぎに輝点欠陥の判定について説明する。

【００３５】高い輝度を有する輝点欠陥が存在しなけれ
ば、各セルの輝度計測領域内の平均値または中央値と予
め設定したしきい値を比較して良否を決めればよいが、
高い輝度を有する輝点欠陥が存在する場合には、欠陥セ
ルの周辺のセルに光がまわりこんで、周辺のセルの輝度
が高くなってしまう。このため、固定したしきい値を比
較に用いると、高輝度の輝点欠陥の周辺のセルは欠陥と
誤認識されるという問題が生じる。

【００３６】そこで、ステップＳ４では、たとえばつぎ
のようにして、高輝度輝点欠陥の周辺のセルに適用する
しきい値を高くするように変更する。まず前記合成輝度
画像Ｅについて、図９に示されるように、検査対象の画
素ｐｔの周辺２画素、本実施の形態では、画素ｐｔの回
りの２４画素（画素ｐｔから半径２つの画素すべての画
素）において、画素ｐｔの輝度より高い輝度をもち、か
つ予め指定した輝度γ以上の明るさをもった高輝度画素
であるか否かを調べる。高輝度画素でない場合は、通常
どおり検査対象の画素の輝度としきい値を比較し、検査
対象の画素に該当するセルの良否を決定する。しきい値
は、検査対象物である液晶表示パネルなどに色が異なる
セルがある場合には、色ごとに設けるものとする。

【００３７】一方、高輝度画素である場合は、図１０に
示すしきい値増分係数マップＭを用いてしきい値増分を
計算する。しきい値増分係数マップＭは、高輝度画素ｐ
を中心にしており、検査対象の画素の位置からマップＭ
上で値を得て、しきい値増分値をつぎの式で計算する。

【００３８】しきい値増分値 ＝ 高輝度画素の輝度値
× マップ上の値

【００３９】図９〜１０の例の場合、図９において上の
高輝度画素ｐ１の輝度をＧＵとし、下の高輝度画素ｐ２
の輝度をＧＤとすると、しきい値増分値はそれぞれつぎ
のようになる。なお、図９では、説明上ｐｔ、ｐ１、ｐ
２をわかりやすくするために斜線を入れている。

【００４０】 しきい値増分値（ｐ１） ＝ ＧＵ × ０．８β （１） しきい値増分値（ｐ２） ＝ ＧＤ × ０．５α （２）

【００４１】この例の場合のように、検査対象の画素に
対し、高輝度画素が複数存在する場合は、前記式
（１）、（２）により計算される値のうち、値の大きな
方をしきい値増分値とする。ここで、α、βの値は検査
対象物であるディスプレイ装置８の種類（液晶Ａまたは
液晶Ｂなど）によって変更する値であり、α＞βとす
る。α、βの値や、係数マップＭ上の各値を実験に基づ
いて所定の値に設定することにより、高輝度画素が周囲
に与える輝度の影響を設定することができる。たとえ
ば、α＝０．１５、β＝０．０１などに設定される。

【００４２】このようにして、しきい値増分値を決定し
たあと、検査対象の画素の輝度を、（予め設定されたし
きい値＋しきい値増分値）と比較し、検査対象の画素に
該当するセルの良否を決定する。

【００４３】このステップＳ３〜Ｓ８による輝点欠陥の
判定処理をまとめるとつぎの手順（ステップ３１〜３
５）になる。

【００４４】ステップ３１では、輝度合成画像の座標か
ら、検査対象の画素の色を判別する。

【００４５】ステップ３２では、周辺画素に検査対象の
画素の輝度より高い輝度をもつ高輝度画素があるか否か
を調べる。 周辺画素に高輝度画素がない場合、検査対象の画素の
色の違いによりつぎの（ｉ）〜（iii）の手順を行な
い、当該検査対象の画素の判定を終了する。 （ｉ）検査対象の画素の色がＲの場合、輝度がＲＴｈよ
り大きければ欠陥とする。それ以外は良とする。 （ii）検査対象の画素の色がＧの場合、輝度がＧＴｈよ
り大きければ欠陥とする。それ以外は良とする。 （iii）検査対象の画素の色がＢの場合、輝度がＢＴｈ
より大きければ欠陥とする。それ以外は良とする。 周辺画素に高輝度画素がある場合、ステップＳ３３へ
進む。

【００４６】ステップ３３では、周辺の高輝度画素の最
高輝度値がγ以下であるか否かを調べる。 周辺の高輝度画素の最高輝度値がγ以下である場合、
ステップ３２の高輝度画素がない場合と同様の判定処理
を行なう。 周辺の高輝度画素の最高輝度値がγより大である場
合、つぎのステップ３４へ進む。

【００４７】ステップ３４では、周辺の各高輝度画素よ
り、係数マップを用いて、しきい値増分値を計算し、そ
のうちの最大値をＴｈＵｐとする。

【００４８】ステップ３５では、検査対象の画素の色の
違いにより検査対象の画素の輝度を（しきい値＋しきい
値増分値）と比較する。 検査対象の画素がＲの場合、輝度が（ＲＴｈ＋ＴｈＵ
ｐ）より大きければ欠陥とする。それ以外は良とする。 検査対象の画素がＧの場合、輝度が（ＧＴｈ＋ＴｈＵ
ｐ）より大きければ欠陥とする。それ以外は良とする。 検査対象の画素がＢの場合、輝度が（ＢＴｈ＋ＴｈＵ
ｐ）より大きければ欠陥とする。それ以外は良とする。

【００４９】ここで、ＲＴｈ、ＧＴｈおよびＢＴｈは、
各セルの色ごとに予め設定したしきい値である。

【００５０】検査パターンと合成輝度画像が共に複数あ
る場合には、各合成輝度画像に対して、同様の検査を繰
り返す。

【００５１】ステップＳ３〜Ｓ８により、欠陥の有無と
欠陥セルの画像上の座標が既知となる。ついでステップ
Ｓ９では、欠陥セルの画像上の位置をディスプレイ座標
に変換する。欠陥セルの位置をディスプレイ座標に変換
することで、欠陥セルの位置を、検査装置に依存しない
形で出力でき便利である。もちろん欠陥セルの位置をデ
ィスプレイ座標で出力する必要のない場合はこのステッ
プは不要である。ついでステップＳ１０では、欠陥セル
の有無、欠陥セルの輝度情報および欠陥位置などを出力
する。

【００５２】本実施の形態１では、前記のように構成す
ることで、周辺の明るいセルの有無によらず、安定した
検査を行なうことができる。

【００５３】実施の形態２ 実施の形態１のステップＳ２では、最初に輝度計測領域
内の輝度計測を行なって、平均値または中央値を求めて
から、露光時間の異なるセル内輝度画像を合成したが、
ステップＳ２はつぎのように構成してもよい。

【００５４】最初に、露光時間の異なる撮像画像を、実
施の形態１のステップ２４１、２４２と同様の手順で合
成し、撮像画像の合成輝度画像を作成する。ついでこの
合成輝度画像に対して、ステップＳ２１と同様に、各セ
ルの輝度計測領域内で輝度計測を行ない、平均値または
中央値を求め、そののち、ステップＳ２２と同様に、平
均値または中央値を並べて新しい画像を作成する。この
方法により、ステップＳ２４で得られる合成輝度画像に
相当する画像を得ることができる。このようにしても、
実施の形態１と同じ効果を奏することができる。

【００５５】実施の形態３ 実施の形態１のステップＳ９の画像座標とディスプレイ
座標の変換処理において用いる変換式は、検査を開始す
る前につぎのように求めることができる。ここで、とく
に述べない点に関しては、実施の形態１と同様である。

【００５６】図１１に示すように、計測パターンを表示
させたディスプレイの左上隅ＦＬに撮像手段１を移動さ
せたのち、撮像し、ステップＳ１と同様にして、クロス
ハッチの計測を行なう。この計測が終了した時点で、デ
ィスプレイ座標と画像座標の対応付け（変換）が可能と
なる。なぜなら、撮像している箇所は、ディスプレイの
左上隅ＦＬとわかっているので、図１２に示されるよう
に、撮像されたクロスハッチ左上のディスプレイ座標
は、（０、０）座標のＧのセルであることが既知である
ためである。撮像手段１のカメラの位置はそのカメラの
視点である、撮像画像の中心で代表できるため、このと
きの画像の中心位置をディスプレイ座標で表したもの
を、（^DＸ₁、^DＹ₁）とする。また、このときの計測手段
４から得られる撮像手段１の絶対位置を（^WＸ₁、^WＹ₁）
とする。

【００５７】この絶対座標とディスプレイ座標の変換式
をつぎのようなアフィン変換で行なえると仮定する。 （^DＸ、^DＹ)^T ＝ Ａ（^WＸ、^WＹ)^T ＋ ｂ （３）

【００５８】ここで、Ａは２×２の行列で回転、ＸＹ方
向の倍率、歪みを示し、ｂは２次元ベクトルで並進成分
を示す。Ｔはベクトルの転置を示す。今回の場合、本実
施の形態では、少なくとも前記ディスプレイ座標と絶対
座標の組み合わせが３点あれば、アフィン変換の各係数
であるＡおよびｂが計算できるが、本実施の形態では、
図１１に示されるように、ディスプレイ画像の４隅（左
上隅ＦＬ、右上隅ＦＲ、右下隅ＲＲ、左下隅ＲＬ）を撮
像することで、４点の座標の組み合わせからＡおよびｂ
を計算する。なお、３点以上の座標の組み合わせから計
算する場合は、式（３）の形に対して最小２乗法などの
回帰計算を行なう。

【００５９】このアフィン変換式を前もって計算してお
くことにより、実施の形態１のステップＳ１において、
画像座標とディスプレイ座標との変換式を正確に計算す
ることができる。また、ステップＳ１において、図５に
示されるように複数のセルＣの中心位置Ｐを計算する
が、同時に、計測手段４により、撮像手段１の絶対位置
（^WＸ_M、^WＹ_M)^T を取得する。この絶対位置を、式
（３）を使ってディスプレイ画面の座標（^DＸ_M、^DＹ_M)^T
に変換する。このディスプレイ座標は、撮像手段１の
位置や変換式が極めて正確であれば、現画像の中央位置
に見える点のディスプレイ座標となる。クロスハッチは
予め設定したところに表示するため、この画面の中央位
置を示す座標（^DＸ_M、^DＹ_M)^T から一番近くに見えるは
ずのクロスハッチ上の計測点位置、すなわち計測点のデ
ィスプレイ座標（^DＸ_P、^DＹ_P)^T が計算できる。また、
ステップＳ１の画像計測において、ディスプレイ座標と
画像座標の倍率が計算できるため、（^DＸ_M、^DＹ_M)^T と
（^DＸ_P、^DＹ_P)^T の差に倍率を掛けて計算することで、
画像座標も計算できる。この画像座標の位置を計測点の
予想位置と呼ぶことにする。

【００６０】ところが実際には、その予想した画像座標
の位置にクロスハッチ上の計測点が計測されるとは限ら
ない。それは移動手段３の機構的な弾性変形や、計測手
段４の計測誤差があるので、画像上でずれた位置にクロ
スハッチの計測点が実測される場合があるためである。
そこで、前記予想位置から画像上、最も近い位置にある
計測点の画像座標が、ディスプレイ画像の（^DＸ_P、
^DＹ_P)^T に該当していると仮定する。この仮定が成立す
るためには、誤差などによるずれ量が、クロスハッチ間
隔の１／２以下である必要がある。逆に、ずれ量の上限
が見積もれる場合は、クロスハッチ間隔をその上限値の
倍以上に設定すれば仮定は常に正しく成立するので、そ
のように実施する。この１点で画像座標とディスプレイ
座標の整合がとれれば、予め表示位置が決まっている計
測点のディスプレイ座標はすべて決定されるので、すべ
ての計測点で、ディスプレイ座標と画像座標の対応が正
確にとれ、計測誤差などの影響を取り除くことができ
る。画像座標とディスプレイ座標の変換式においても、
式（３）と同じアフィン変換の式を用いることにすれ
ば、３点以上の座標の組み合わせで、画像座標とディス
プレイ座標の変換式を計算することができる。

【００６１】これで得られた変換式を実施の形態１にお
けるステップＳ９で用いれば、ディスプレイ座標での出
力は可能となる。

【００６２】実施の形態４ 実施の形態３においては、画像座標とディスプレイ座標
の変換式をアフィン変換の式を用いて構成したが、つぎ
のようにすればさらに多数の点、すなわちほとんどすべ
ての計測点を用いて、アフィン変換より精度のよい変換
式を構成することが可能である。

【００６３】今回の例では、計測点は、格子状に整列し
ているため、図１３に示されるように、その９点の集合
ごとに小領域ＳＲを作成する。そしてその各領域ごとに
画像座標とディスプレイ座標の関係を２次曲線で回帰
し、そのパラメータを各領域ごとに保存する。２次曲線
の形は、たとえばつぎの式（４）、（５）のようにな
る。

【００６４】

【数１】

【００６５】ここで、（Ｘ、Ｙ）は変換前の座標であ
り、（Ｕ、Ｖ）は変換後の座標であり、ａ_ij、ｂ_ijは２
次曲線のパラメータである。また、ａ、ｂはそれぞれ６
つある。ディスプレイ座標から画像座標の変換式を求め
る際には、（Ｘ、Ｙ）をディスプレイ座標とし、（Ｕ、
Ｖ）を画像座標とし、９点の座標の組み合わせから、パ
ラメータを計算しておく。また、画像座標からディスプ
レイ座標の変換式が必要な場合は、（Ｘ、Ｙ）を画像座
標、（Ｕ、Ｖ）をディスプレイ座標としてパラメータを
計算しておく。これらのパラメータは各小領域ごとに計
算し、小領域の中心である点の画像座標およびディスプ
レイ座標ともに保存しておく。実際の変換では、画像座
標が与えられた場合、どの計測点に近いかで、どの小領
域に属するかをまず計算し、属する小領域のパラメータ
を用いて式（４）、（５）に基づいて変換の計算を行な
う。

【００６６】前述したアフィン変換では、画面上の位置
によらず変換計算は一定である。ところが、撮像手段を
構成するレンズの歪みは画面中央では少なく、周辺部で
は大きいという特性がある。すなわち画面上の位置によ
り歪み量が異なる。こういった場合、画面上で常に一定
の計算方式では精度よく変換計算を行なうことができな
い。このように、複数の計測点を小領域にわけ、各小領
域ごとに回帰計算のパラメータを変えて変換計算を行な
えば、画面上の位置により異なる歪み量を補正すること
でき、より正確なディスプレイ座標と画像座標の変換式
を得ることができる。

【００６７】実施の形態３の場合の、ステップＳ１にお
いて、複数の計測点の画像座標とディスプレイ座標が得
られた段階で、ディスプレイ座標と画像座標の変換式を
計算しておけば、ステップＳ２において、検査対象とな
る全セルのディスプレイ座標を元に輝度計測領域を計算
し、前記変換式を適用して輝度計測領域の画像座標を求
めることで、より正確なセルの位置を計算できる。

【００６８】実施の形態５ 実施の形態１において、ステップＳ２で用いるＲＴｈ、
ＧＴｈ、ＢＴｈなどの予め設定しておくしきい値の計算
方法をつぎのように行なってもよい。

【００６９】まずセル内輝度画像の合成画像が得られた
時点で、一旦、画面内の全セルについて、色ごとに分類
した平均値または中央値である、Ｒ_BASE、Ｇ_BASE、Ｂ
_BASEを計算しておく。通常、欠陥セルの数は画面全体の
セルの数に比べて非常に少ないはずなので、これらの値
は、正常なセルのもつ代表的な輝度値と考えることがで
きる。また、通常、撮像手段の色に対する感度の違い
や、検査対象物である液晶表示装置を構成するカラーフ
ィルタの透過特性により、色によって正常なセルの輝度
値が異なるのが普通である。そこで、これらの正常なセ
ルの輝度値と考えられる値に対して、異常値を検出する
基準値を足しこむことでしきい値を構成する。すなわ
ち、 ＲＴｈ＝Ｒ_BASE ＋ Ｒ_STD・VALUE ＧＴｈ＝Ｇ_BASE ＋ Ｇ_STD・VALUE ＢＴｈ＝Ｂ_BASE ＋ Ｂ_STD・VALUE とすることで、より正確に検査が可能なしきい値を構成
することができる。ここで、Ｒ_STD・VALUE、Ｇ_STD・VALUE
およびＢ_STD・VALUEは、それぞれＲ、ＧおよびＢに相当
する異常値を検出するしきい値である。

【００７０】また、撮像手段の色による感度特性が予め
既知である場合は、ステップＳ２で得られる輝度計測の
結果に、その感度特性に基づく係数を掛けて輝度を補正
してもよい。このようにすることで、セルの色に左右さ
れない正確な検査が実現できる。

【００７１】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、各セルの
輝度平均値または中央値としきい値を比較する際に、検
査対象となるセルの近傍に高い輝度のセルが存在した場
合、その近傍のセルの輝度値に応じて、しきい値を高く
するため、高い輝度をもった輝点欠陥セルが存在して
も、正確に、かつ精度よく検査を行なうことができる。

【００７２】請求項２記載の発明によれば、前記輝度計
測について、撮像手段の露光時間を変えて複数回、それ
ぞれの輝度計測領域内で輝度計測を行ない、得られた輝
度計測の結果を合成して、それぞれの輝度計測領域内の
輝度を計算するため、撮像手段のダイナミックレンジ不
足を解消することができ、暗い欠陥に関しても明るい欠
陥に関しても同時に検査することができる。

【００７３】請求項３記載の発明によれば、予めディス
プレイ画面上の特定の座標位置と、該座標位置に関する
撮像手段で得られる画像上の位置と、その際の撮像手段
の絶対位置のデータの集合を複数用いて、撮像手段の絶
対位置とディスプレイ画面上の変換式を計算しておき、
検査の際には、撮像手段の絶対位置と前記変換式を用い
て得られる計測パターンの画像上の予想位置と、実際の
計測パターンの画像上の位置のずれを計測し、このずれ
量を用いて画像座標とディスプレイ座標の変換式を新た
に計算し、この変換式を用いて、検査したセルの画像上
の位置をディスプレイ座標位置に変換して出力するた
め、移動手段の弾性変形またはガタなどに基づく計測手
段の測定誤差に影響されないで、正確なディスプレイ座
標位置を出力できる。

【００７４】請求項４記載の発明によれば、前記位置計
測パターンについて、ディスプレイ画面上の所定位置の
複数のセルを点灯して、複数点のセルの位置を計測し、
それらを小領域に分割して、その各小領域ごとに画像座
標とディスプレイ座標の関係を曲線回帰することによ
り、撮像手段の画像の歪み量を補正して、各セルの位置
を計算するため、セルの輝度計測領域を正確に設定する
ことができる。

【００７５】請求項５記載の発明によれば、前記しきい
値の作成において、検査領域全体に関して、色の異なる
セルごとに平均値または中央値を計算し、その平均値ま
たは中央値に基準値を足しこむことにより色の異なるセ
ルごとにしきい値を作成するため、撮像手段の色による
感度の違いや、検査対象のセルの色による発光量の違い
があっても、正確に検査することができる。

【００７６】請求項６に記載の発明によれば、前記輝度
計測においてて、色の異なるセルごとに、輝度計測の結
果を撮像手段の感度特性に基づく係数を乗じて補正する
ため、撮像手段の色による感度の違いを補正し、正確に
検査することができる。

【００７７】請求項７記載の発明によれば、ディスプレ
イ画面を撮像する撮像手段と、ディスプレイ画面の画面
制御を行なうディスプレイ画面制御手段と、撮像手段を
保持して移動を可能にする移動手段と、撮像手段の絶対
位置を計測する計測手段と、撮像手段を用いて撮像し
た、位置計測パターンを表示させたディスプレイ画面の
画像を処理して、個々の画素を構成する各セルの位置を
計測し、撮像手段を用いて撮像した、検査パターンを表
示させたディスプレイ画面の画像を処理して、前記計測
した各セルの位置にそれぞれ輝度計測領域を設け、それ
ぞれの輝度計測領域内で輝度計測を行ない、得られた輝
度計測の結果の平均値または中央値を計算し、しきい値
と比較して、各セルの検査を行ない、各セルの輝度平均
値または中央値としきい値を比較する際には、検査対象
となるセルの近傍に高い輝度のセルが存在した場合、近
傍のセルの輝度値に応じて、しきい値を高くするように
構成した画像処理手段と、検査の全体の流れの制御を行
なう制御手段を備えているため、高い輝度をもった輝点
欠陥セルが存在しても、正確に、かつ精度よく検査を行
なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１にかかわるディスプレ
イ画面検査装置を示す構成図である。

【図２】 実施の形態１にかかわるディスプレイ画面検
査方法を説明するためのフローチャートである。

【図３】 実施の形態１の計測パターンを説明するため
の図である。

【図４】 図３の要部拡大図である。

【図５】 実施の形態１の計測パターンから計測された
複数のセルの中心位置を説明するための図である。

【図６】 実施の形態１の計測パターンから複数のセル
の中心位置の計測する方法を説明するための図であり、
図６（ａ）は投影処理を説明する図、図６（ｂ）はウイ
ンドウ設置、重心計測およびライン抽出を説明する図お
よび図６（ｃ）は交点検出を説明する図である。

【図７】 実施の形態１にかかわるディスプレイ画面検
査方法のステップ２を説明するためのフローチャートで
ある。

【図８】 実施の形態１にかかわるディスプレイ画面検
査方法のステップ２におけるセル内輝度画像および合成
輝度画像の作成手順を説明するための図である。

【図９】 実施の形態１にかかわるディスプレイ画面検
査方法において、検査対象の画素周辺で高輝度セルの存
在の有無を説明するための図である。

【図１０】 実施の形態１にかかわるディスプレイ画面
検査方法において、高輝度セルによるしきい値上昇値を
計算するためのしきい値増分係数マップを説明するため
の図である。

【図１１】 実施の形態３にかかわるディスプレイ画面
検査方法において、ディスプレイ座標と絶対座標の変換
式を求める方法を説明するための図である。

【図１２】 ディスプレイ画像の左上隅を示す図であ
る。

【図１３】 実施の形態４にかかわるディスプレイ画面
検査方法において、画像座標とディスプレイ座標の変換
式を求める方法を説明するための図である。

【図１４】 従来の液晶表示パネルの検査方法を説明す
るための構成ブロック図である。

【図１５】 従来の液晶表示パネルの検査方法におい
て、液晶表示パネルの表示画素と、ＣＣＤカメラに内蔵
されたエリア型フォトセンサを構成するフォトセルの相
対位置関係を説明するための図である。

【図１６】 従来の液晶表示パネルの検査方法におい
て、液晶表示パネルのアライメントを説明するための図
である。

【符号の説明】

１ 撮像手段、２ ディスプレイ画面制御手段、３ 移
動手段、４ 計測手段、５ 画像処理手段、６ 制御手
段、７ 判定結果、８ ディスプレイ装置。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ディスプレイ画面の所定の表示領域に関
   して、撮像手段を用いて撮像した、位置計測パターンを
   表示させたディスプレイ画面の画像を用いて、個々の画
   素を構成する各セルの位置を計測し、前記撮像手段を用
   いて撮像した、検査パターンを表示させたディスプレイ
   画面の画像を用いて、前記計測した各セルの位置にそれ
   ぞれ輝度計測領域を設け、それぞれの輝度計測領域内で
   輝度計測を行ない、得られた輝度計測結果の平均値また
   は中央値を計算し、しきい値と比較して、各セルの検査
   を行なう方法であって、各セルの輝度平均値または中央
   値としきい値を比較する際に、検査対象となるセルの近
   傍に高い輝度のセルが存在した場合、その近傍のセルの
   輝度値に応じて、しきい値を高くするディスプレイ画面
   検査方法。
2. 【請求項２】 前記輝度計測について、撮像手段の露光
   時間を変えて複数回、それぞれの輝度計測領域内で輝度
   計測を行ない、得られた輝度計測の結果を合成して、そ
   れぞれの輝度計測領域内の輝度を計算する請求項１記載
   のディスプレイ画面検査方法。
3. 【請求項３】 予めディスプレイ画面上の特定の座標位
   置と、該座標位置に関する撮像手段で得られる画像上の
   位置と、その際の撮像手段の絶対位置のデータの集合を
   複数用いて、撮像手段の絶対位置とディスプレイ画面上
   の変換式を計算しておき、検査の際には、撮像手段の絶
   対位置と前記変換式を用いて得られる計測パターンの画
   像上の予想位置と、実際の計測パターンの画像上の位置
   のずれを計測し、このずれ量を用いて画像座標とディス
   プレイ座標の変換式を新たに計算し、この変換式を用い
   て、検査したセルの画像上の位置をディスプレイ座標位
   置に変換して出力する請求項１記載のディスプレイ画面
   検査方法。
4. 【請求項４】 前記位置計測パターンについて、ディス
   プレイ画面上の所定位置の複数のセルを点灯して、複数
   点のセルの位置を計測し、それらを小領域に分割して、
   その各小領域ごとに画像座標とディスプレイ座標の関係
   を曲線回帰することにより、撮像手段の画像の歪み量を
   補正して、各セルの位置を計算する請求項１記載のディ
   スプレイ画面検査方法。
5. 【請求項５】 前記しきい値の作成において、検査領域
   全体に関して、色の異なるセルごとに平均値または中央
   値を計算し、その平均値または中央値に基準値を足しこ
   むことにより色の異なるセルごとにしきい値を作成する
   請求項１記載のディスプレイ画面検査方法。
6. 【請求項６】 前記輝度計測について、色の異なるセル
   ごとに、輝度計測の結果を撮像手段の感度特性に基づく
   係数を乗じて補正する請求項１記載のディスプレイ画面
   検査方法。
7. 【請求項７】 ディスプレイ画面を撮像する撮像手段
   と、ディスプレイ画面の画面制御を行なうディスプレイ
   画面制御手段と、撮像手段を保持して移動を可能にする
   移動手段と、撮像手段の絶対位置を計測する計測手段
   と、撮像手段を用いて撮像した、位置計測パターンを表
   示させたディスプレイ画面の画像を処理して、個々の画
   素を構成する各セルの位置を計測し、撮像手段を用いて
   撮像した、検査パターンを表示させたディスプレイ画面
   の画像を処理して、前記計測した各セルの位置にそれぞ
   れ輝度計測領域を設け、それぞれの輝度計測領域内で輝
   度計測を行ない、得られた輝度計測の結果の平均値また
   は中央値を計算し、しきい値と比較して、各セルの検査
   を行ない、各セルの輝度平均値または中央値としきい値
   を比較する際には、検査対象となるセルの近傍に高い輝
   度のセルが存在した場合、近傍のセルの輝度値に応じ
   て、しきい値を高くするように構成した画像処理手段
   と、検査の全体の流れの制御を行なう制御手段を備えて
   なるディスプレイ画面検査装置。