JP2003154293A

JP2003154293A - ノズル及びそれを用いた洗浄装置、並びに洗浄方法

Info

Publication number: JP2003154293A
Application number: JP2001354881A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Demura; 剛出村
Original assignee: IDEYA KK
Current assignee: IDEYA KK
Priority date: 2001-11-20
Filing date: 2001-11-20
Publication date: 2003-05-27

Abstract

(57)【要約】【課題】金属加工品などの洗浄において、洗浄工程を
構成する各工程を連続処理して、簡単な構成で被処理物
の均一な洗浄を行えるようにする。【解決手段】ノズル本体１１に、被処理物Ａの通孔１
２を設ける。通孔１２の入り口側に、通孔１２の円周に
沿ったリング形状の吹出口２４を形成する。通孔１２を
通過する被処理物Ａの外周面に、リング状の吹出口２４
から水などの洗液を均一に吹き付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、吹き付け用のノズ
ル、およびそれを用いた洗浄技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、金属加工品の水系洗浄では、その
洗浄工程は、一般的に、前洗浄工程、洗剤洗浄工程、リ
ンス（すすぎ）工程、乾燥工程から構成されている。前
洗浄工程では、水または温水で大まかな油分や切り子な
どの汚れを洗い流す。その後に、洗剤洗浄工程で、温水
などでは落ちにくい油分などを洗剤を用いて洗浄する。
洗剤で油分を洗浄した後は、リンス（濯ぎ）工程で洗剤
分を水などで洗い流し、その後乾燥工程で乾燥して一連
の洗浄が完了する。

【０００３】かかる金属加工品の洗浄では、特に、加工
に際して用いられる切削油やグリースなどの油分の汚れ
をどの程度、効率よく落とせるかが大きな問題となる。
従来の洗剤洗浄工程では、被処理物を洗浄剤へ浸漬した
り、あるいは被処理物へ洗浄剤をスプレーするなどし
て、油分などの落ちにくい汚れの除去が行われている。

【０００４】一方、最終工程である乾燥工程では、上記
洗剤洗浄工程で使用した洗剤分をリンス工程で流した
後、熱風乾燥等の風乾燥、あるいはイソプロピルアルコ
ール（ＩＰＡ）などを用いた置換乾燥などの乾燥手段
で、乾燥が行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の如く、金属加工
品の洗浄では、前洗浄工程、洗剤洗浄工程、リンス工
程、乾燥工程の少なくとも４工程から構成された一連の
洗浄工程を経て洗浄が行われるが、一般的には、各工程
はバッチ処理で行われていた。

【０００６】すなわち、被処理物を前洗浄工程で湯水な
どを吹き付けて、切り子などの汚れを除去し、その後、
洗剤洗浄工程に移行させていた。移行に際しては、被処
理物を洗浄かごなどに入れて行っていたが、ある程度以
上の長さを有するロッドのような長物などの場合にはか
ごの使用ができない場合もあった。

【０００７】上記バッチ処理では、次工程への被処理物
の移行に手間がかかるという問題点がある。洗浄効率の
積極的な向上に際しては、かかるバッチ処理に代わって
連続処理できる技術開発が求められる。

【０００８】また、洗剤洗浄工程では、適当な濃度に設
定された洗剤液中に、上記要領で被処理物を所定時間浸
漬することとなるが、しかし、かかる浸漬手段において
は、単に洗剤液中に被処理物を静置しただけでは、効率
よく汚れを落とすことは難しい。そのため、被処理物を
洗剤液中で揺動させたり、浸漬温度を高くしたり、浸漬
時間を長くするなど種々の手段が採用されている。

【０００９】例えば、揺動手段としては、一般に、被処
理物を入れたかご自体を揺動したり、洗剤液中に被処理
物を回転あるいは攪拌するなどの手段が知られている。
かかる揺動手段の採用は、被処理物を静置するだけの場
合に比べて汚れ落としの点については優れているもの
の、揺動機構、あるいは攪拌機構などを別途設けること
となり、どうしても洗浄機構自体が複雑化せざるを得な
い。

【００１０】さらには、被処理物自体が互いに衝突する
ため傷がつくという問題点も指摘されている。特に、金
属加工品では、外表面の傷は、場合によっては錆びある
いは、機構部に組み込まれた場合における種々の機能障
害の遠因とも成り得るもので、傷などを発生させない処
理方法が求められる。

【００１１】また、多数の被処理物をかごなどに入れて
一括処理する方法では、一個ずつを単体で処理する場合
に比べて、個々の洗浄品質にムラが発生する。微視的に
は、個々の被処理物がかご内に置かれた状況は同一では
なく、それに基づく洗浄効果の不均一性が発生するので
ある。

【００１２】一方、超音波を使用して、被処理物自体を
大きく揺動させることなく、洗浄を行う方法も提案され
ている。確かに、かかる方法では、被処理物自体の損傷
の虞れはないが、所定周波数域の超音波を発生させるた
めの超音波発振器などの付帯設備が必要となり、洗浄装
置の構成が複雑化する。かかる複雑化は、基本的には、
製作コスト、製品価格の増大を招くこととなる。

【００１３】洗剤洗浄工程においては、上記浸漬法以外
にもスプレー噴霧の方法が採用される場合がある。かか
るスプレー手段を用いる方法でも、問題点が指摘されて
いる。すなわち、洗剤液のスプレーに際しては、浸漬方
法とは異なり、スプレーの仕方により洗剤液の吹き付け
が十分でない影になる部分が発生したり、あるいは全周
にスプレーしてもどうしてもスプレーの当たりの強い箇
所、弱い箇所が発生するため、均一な洗浄が行いにくい
という問題点が指摘されている。

【００１４】上記のように、被処理物を洗剤に浸漬した
り、あるいは洗剤をスプレーで噴霧したりする従来構成
の洗浄手段では、洗浄効率、洗浄効果、機構の複雑化、
メンテナンスなどのユーザー対応などのトータル的観点
からは、未だ十分に満足できるものではない。

【００１５】かかる従来構成の洗浄方法における問題点
は、上記洗剤洗浄工程に限るものではなく、例えば、乾
燥工程においても問題点は指摘されている。

【００１６】従来構成の乾燥方法で一般的に採用されて
いる手段としては、前述の如く、風乾燥手段と、置換乾
燥手段とが知られている。風乾燥手段は、エアブロワー
から吹出す風で被処理物を乾燥させる構成である。しか
し、被処理物から離れた場所から吹き付けるエアだけで
は、十分な乾燥は期待できない。

【００１７】そこで、吹き付ける風を熱風としても、被
処理物の熱容量によっては、温度が上がるまでに時間が
かかり、トータルの乾燥時間が長くかかり過ぎるという
問題点が発生する。さらには、熱風乾燥では、最後に残
った液だまり部分の乾燥時に、ウォーターマークが発生
し易くなるという問題点が指摘されている。染みのよう
に、水滴跡が残る現象である。

【００１８】一方、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）
を使用した置換乾燥方法では、風乾燥とは異なり、有機
溶剤を使用するため、その廃液処理、使用環境の安全確
保など風乾燥とは異なった観点からの管理上の問題が指
摘される。ウォーターマークの発生に関しては、かかる
置換乾燥方法においても同様に発生が認められる。

【００１９】廃液処理という観点からは、置換乾燥方法
におけるＩＰＡ以外にも、前記洗剤洗浄工程で油分の汚
れ除去などに使用した湯水、洗剤液などの洗液の廃液処
理が大きな問題となる。汚れである油分や切り子などが
湯水などの洗液に混じるため、処理後の洗液には、濾
別、再生などの処理を施す必要があり、その分廃水処理
装置の負荷を高めたり、廃棄コストの上昇を招来する。
洗浄効果、洗浄効率を落とすことなく、洗液の使用量を
少なくするなどの技術開発が強く求められる。

【００２０】そのため、洗浄装置の分野においても、洗
浄に際して使用される洗液などの廃液処理がより簡単に
行え、廃液処理装置への負荷の軽減、廃棄コストの低減
が積極的に図れる技術が強く求められている。

【００２１】本発明の目的は、金属加工品などの被処理
物の洗浄において、洗浄を構成する各工程を連続処理で
きるようにすることにある。

【００２２】本発明の目的は、浸漬手段、スプレー手段
などを用いることなく、簡単な構成で被処理物の均一な
洗浄を効果的に行えるようにすることにある。

【００２３】本発明の目的は、ウォーターマークが残ら
ず、均一な乾燥が行えるようにすることにある。

【００２４】本発明の目的は、洗剤液などの洗液の使用
量を少量化することにある。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明のノズルは、被処
理物を通す通孔を設けた本体と、前記通孔に通す前記被
処理物に向けた吹出口とを有することを特徴とする。前
記吹出口は、複数設けられていることを特徴とする。あ
るいは、前記吹出口は、内周縁に沿ったリング状に形成
されていることを特徴とする。

【００２６】前記吹出口は、前記吹出口からの前記被処
理物の外周面への吹き付けが、均一に行えるリング状に
形成されていることを特徴とする。

【００２７】前記吹出口は、前記吹出口からの前記被処
理物の外周面への吹き付けの均一性が求められる横断面
部が、リングの中央位置を通過できるリング状に形成さ
れていることを特徴とする。前記横断面部とは、前記被
処理物を前記通孔に通す際の通し方向に沿った長手方向
に対しての横断面部が、複数の異なる形状および／また
は大きさを有する場合には、前記吹出口から前記被処理
物の外周面への吹き付けの均一性の要請順位が高い横断
面部であることを特徴とする。

【００２８】前記吹出口は、前記被処理物の断面形状と
類似または相似の形状に形成されていることを特徴とす
る。

【００２９】かかる類似の形状とは、本発明では、例え
ば、被処理物の断面円形の周囲に突起が設けられた形状
に対しては、かかる突起を含めた断面形状を通孔させる
ことができるような単一円形のリング状も類似の範囲に
含めるものとする。また、断面矩形の被処理物にあって
は、かかる被処理物を通孔させることができる楕円形リ
ング状、円形リング状、角形リング状も類似の範囲に含
めてよい。

【００３０】さらには、小型品をフープ状に連結した構
成では、フープを含めた小型品の断面形状を通過させる
矩形、あるいは円形、あるは多角形のリング形状も類似
の範囲に含めるものとする。

【００３１】上記いずれかの構成のノズルにおいて、前
記吹出口からの吹出し角度は、前記被処理物の前記通孔
への進行方向に対して、０°を越え、９０°以下である
ことを特徴とする。

【００３２】本発明の洗浄装置は、上記いずれかの構成
のノズルを有し、前記ノズルの吹出口から洗液を、被処
理物に吹き付けて洗浄することを特徴とする。あるい
は、上記いずれかの構成のノズルの吹出口から洗液を被
処理物に吹き付けて洗浄するノズル、および／または、
上記いずれかの構成のノズルの吹出口から気体を被処理
物に吹き付けて液切りするノズルを有することを特徴と
する。

【００３３】上記いずれかの構成の洗浄装置において、
吹出し方向が前記被処理物の進行方向に対して逆方向と
なるノズルと、吹出し方向が前記被処理物の進行方向に
対して順方向となるノズルとを有することを特徴とす
る。

【００３４】前記洗浄装置には、前記被処理物を、前記
ノズルの通孔内に搬送する搬送手段が設けられているこ
とを特徴とする。前記被処理物は、その外周面と前記ノ
ズルの吹出口との距離が同様となるように、前記搬送手
段により送られることを特徴とする。

【００３５】上記いずれかの構成の洗浄装置において、
前記被処理物は、ロッド状、線状、リボン状のいずれか
の形状を有していることを特徴とする。あるいは、前記
被処理物は、電子部品や半導体などの小型品がフープ状
に設けられていることを特徴とする。

【００３６】上記いずれかの構成の洗浄装置において、
前記洗浄装置には、使用後の洗液を洗浄に再利用できる
までに再生する再生装置が設けられていることを特徴と
する。

【００３７】本発明の洗浄方法では、前記いずれかの構
成のノズルを使用して被処理物の洗浄を行うことを特徴
とする。あるいは、上記いずれかの構成の洗浄装置を使
用して被処理物の洗浄を行うことを特徴とする。

【００３８】本発明の上記構成のノズルでは、被処理物
の極近傍から高圧のジェット流を吹き付けることができ
る。そのため、本発明のノズルを用いれば、例えば、高
圧のジェットにより水などの洗液を吹き付ける物理力に
より、被処理物の表面の殆どの汚れを除去することがで
きる。併せて、汚れの再付着も効果的に防止することが
できる。

【００３９】そのため、例えば、本発明のノズルを用い
て前洗浄を行えば、前洗浄工程で十分な洗浄を行うこと
もでき、後工程における洗剤洗浄工程を省くことも可能
である。すなわち、洗剤洗浄を不要とすることができ
る。

【００４０】あるいは、洗剤洗浄工程を設けるに当たっ
ても、前洗浄工程での洗浄度が向上しているため、洗剤
液を従来構成程には汚さずに済み、すなわち、洗剤液の
汚れを著しく低減することができる。併せて、洗剤液の
使用量を少なく抑えることもできる。その分、本発明に
よれば、廃水処理装置への負荷の軽減、廃棄コストの低
減を積極的に図ることができる。

【００４１】また、本発明では、リング状の吹出口から
ジェットにより水など吹き付けることにより汚れを十分
に落とすことができるため、従来構成の場合とは異な
り、揺動機構や超音波発振器などの構成を必要とせず、
極めて簡単な構成で従来以上の洗浄力の向上を図ること
ができる。

【００４２】また、本発明のノズルは、流体として乾燥
エアを吹出すようにしても構わない。そのため、リング
状の吹出口から乾燥エアを吹出させることにより、被処
理物を簡単な構成で短時間に乾燥させることができる。
このように短時間に物理的な力で、被処理物の表面に残
留しているリンス工程後の水滴などのような残留液を吹
き飛ばしてしまうため、ウォーターマークが発生し難
い。

【００４３】なお、本発明では、洗液とは、被処理物を
洗浄するために使用される液体を意味するものと定義す
る。かかる洗液に該当するものとしては、例えば、水、
温水（湯）、液状洗剤などを挙げることができる。

【００４４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、以下、図
面に基づき詳細に説明する。

【００４５】（実施の形態１）図１は、本発明のノズル
の断面分解図である。図２（Ａ）は、組立後の図１に示
すノズルに被処理物のロッドを通している状態を示す断
面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の矢視方向から見た背面
図である。図３は、ノズルの吹出口部分を拡大して示し
た要部断面図である。

【００４６】本発明のノズル１０は、図１、２に示すよ
うに、ノズル本体１１に被処理物Ａ（図中、仮想線で表
示）を通過させる通孔１２が設けられた構成を有してい
る。ノズル本体１１は、リング部材１３の正面側に、リ
ング部材１４を合わせて、ボルト１５ａなどの取付け手
段１５で固定することにより形成されている。

【００４７】リング部材１３は、本体部分に貫通する通
孔１２が設けられてリング状に形成されている。本体部
分は、図１に示すように、背面側から大径に形成された
フランジ部分１３ａと、フランジ部分１３ａより正面側
に突出するように設けられた小径の小径部分１３ｂと、
小径部分１３ｂより正面側に突出するように設けられた
小径のノズル形成用突出部分１３ｃとから構成されてい
る。

【００４８】図１に示す場合には、同心状に形成された
フランジ部分１３ａ、小径部分１３ｂ、ノズル形成用突
出部分１３ｃとが、一体に形成されている。通孔１２
は、フランジ部分１３ａ、小径部分１３ｂ、ノズル形成
用突出部分１３ｃの中央を貫通するように設けられてい
る。

【００４９】小径部分１３ｂの周面側には、リング状の
シールパッキング１６を装着できるようにパッキング装
着溝１７が設けられている。また、フランジ部分１３ａ
には、背面側からボルト孔１８ａが貫通して設けられて
いる。ボルト孔１８ａの内周面には、ねじが切られてい
る。

【００５０】ノズル形成用突出部分１３ｃは、図１に示
すように、小径部分１３ｂから立ち上げた立上部と、立
上部から通孔１２の開口端に向けて先窄まりにテーパに
形成されたテーパ部とが一体に構成された形状に形成さ
れている。かかる立上部と立上部から一体に形成された
テーパ部の外周側は、図２（Ａ）に示すように、リング
部材１３、１４を組み立てて構成したノズル１０のエア
溜まり部１９の内周側の内壁を構成することとなる。

【００５１】一方、リング部材１４は、図１に示すよう
に、リング部材１３の正面側に被せるような略お碗型に
形成されている。背面側は、リング状部材１３の小径部
分１３ｂに嵌合できる内径の直筒状の凹部２１が形成さ
れている。背面には、リング状部材１３のボルト孔１８
ａに符合する位置に、ボルト孔１８ｂが設けられてい
る。ボルト孔１８ｂの内面には、ねじが切られている。

【００５２】リング部材１４の正面側には、リング部材
１３に設けた通孔１２の開口面の周縁に符合する位置に
合わせて開口部２２が設けられている。直筒状に形成さ
れた凹部２１の突端部２１ａ側は、開口部２２に向けて
先窄まりのテーパ部に形成されている。凹部２１の直筒
部の一部とかかるテーパ部の外周面とは、図２（Ａ）に
示すように、リング部材１３、１４を組み立てて構成し
たノズル１０のエア溜まり部１９の外周側の内壁を構成
することとなる。

【００５３】リング状部材１４の外周側からは、リング
部材１３、１４を組み立てて構成した際のノズル１０の
エア溜まり部１９に通じるように供給孔２３が設けられ
ている。

【００５４】かかる構成のリング部材１３、１４は、図
２（Ａ）に示すように、リング部材１４の凹部２１を、
リング部材１３の小径部１３ｂに嵌合するように嵌め合
わせる。嵌め合わせに際しては、リング部材１３のフラ
ンジ部分１３ａに設けたボルト孔１８ａと、リング部材
１４の背面に設けたボルト孔１８ｂが互いに符合するよ
うに位置合わせされている。ボルト孔１８ａ、１８ｂを
通して、ボルト１５ａをねじ込むことにより、リング部
材１３にリング部材１４が取り付けられる。

【００５５】図２（Ｂ）には、リング部材１３、１４を
ボルト１５ａで固定した状態を、背面側から見た様子を
示した。

【００５６】なお、両リング部材１３、１４の取付けに
際しては、パッキング装着溝１７にリング状のシールパ
ッキング１６を装着して、リング部材１３、１４のシー
ル性が確保できるようになっている。

【００５７】ボルト１５ａでリング部材１３、１４を取
付け完了させた時点では、図１、２（Ａ）に示すよう
に、リング部材１３の通孔１２の開口周縁部１２ａと、
リング部材１４の開口部２２の開口周縁部２２ａとの間
に、所定間隔の隙間が形成されるようになっている。こ
の隙間がノズル１０の吹出口２４となる。このようにし
て、吹出２４は、リング状に形成されることとなる。

【００５８】ノズル１０の吹出口２４の幅ａは、図３に
示すように、ボルト１５ａで止めた状態で最低幅が確保
されるように構成されている。かかる吹出口２４の幅ａ
は、自在に広げることができる。すなわち、リング部材
１３、１４を組み合わせるに際して、リンク部材１３の
フランジ部分１３ａの正面側と、リング部材１４の背面
側とが対面する間に、幅調整板を介在させることによ
り、リング部材１３とリング部材１４との接触度合いを
調整して、吹出口２４の幅ａの調整を行うことができ
る。

【００５９】例えば、図２（Ａ）に示す場合には、リン
グ部材１３のフランジ部分１３ａとリング部材１４の背
面部分との間に形成された隙間２５に、吹出口２４の所
望の幅ａに対応させた幅圧の幅調整板を介在させた状態
で、ボルト１５ａでリング部材１３、１４を固定すれば
よい。

【００６０】かかる吹出し幅の調製方法では、吹出し角
度が調整の度に変化することとなるため、例えば、吹出
し角度が一定に保たれるように、種々の幅ａに合わせた
リング部材１４を予め容易しておき、必要に応じて、リ
ング部材１４を交換するようにしても構わない。

【００６１】また、吹出口２４からの吹出し方向は、図
２（Ａ）に示すように、通孔１２を通過する被処理物Ａ
の進行方向に対抗する方向となるように、吹出口２４の
開口方向が設定されている。すなわち、図２（Ａ）に示
すように、吹出口２４からの吹出し方向を示す中心線２
６（図中、一点鎖線表示）と、被処理物Ａの中心線２７
とが交差して形成される角度を、本発明で吹出し角度α
と定義すれば、かかる吹出し角度αは、０°を越え、９
０°以下であればよい。

【００６２】吹出し角度αが０°の場合には、被処理物
Ａの通過方向とは逆方向に吹出しが行われる。吹出し角
度αが、９０°の場合には、被処理物Ａの通過方向と直
交する方向に吹出しが行われることとなる。従って、吹
出し角度αが０°を越え、９０°未満の場合にあって
は、吹出し方向は、常に、被処理物Ａの進行方向に逆ら
うようにして吹出しが行われることとなる。

【００６３】そのため、被処理物Ａの進行方向と同方向
に、すなわち順方向に吹出す場合とは異なり、被処理物
Ａの表面から剥離した汚れが、被処理物Ａの洗浄面に再
付着することを防止することができる。

【００６４】また、吹出し方向を被処理物Ａの進行方向
に逆方向に設けることにより、吹出し方向を順方向に向
ける場合とは異なり、被処理物Ａ表面の汚れを剥離させ
る力が増加され、その分洗浄力が向上する。

【００６５】図２（Ｂ）に示すように、上記構成のノズ
ル１０では、被処理物Ａの断面形状に合わせて、吹出口
２４のリング形状を円形に形成している。そのため、被
処理物Ａを通孔１２の中央を通過させるようにすれば、
被処理物Ａの外周面と、吹出口２４の間の距離は一定に
保つことができ、被処理物Ａの外周面への均一な吹き付
けが可能となる。

【００６６】図２（Ｂ）に示す場合には、断面円形のロ
ッドを想定して示しているため、吹出口２４は円形のリ
ング状に形成されている。しかし、かかる吹出口２４の
リング形状は、図４（Ａ）〜（Ｆ）に示すように、被処
理物Ａの断面形状に合わせて、例えば、角形リング状、
矩形リング状、三角リング状など種々の多角形リング状
に設定しておけばよい。断面形状が雲形状に形成されて
いる場合には、雲形状に形成しておいても一向に構わな
い。さらには、梅の花のような断面形状の場合には、梅
の花のように形成しておいても構わない。

【００６７】このように、被処理物Ａの断面形状に吹出
口２４の形状を合わせることにより、被処理物Ａの外周
面から吹出口２４までの距離を一定に保ち、吹き付け状
況を均一にすることができる。

【００６８】上記説明では、被処理物Ａとしては、通孔
１２へ通す方向に沿った長手方向に対しての横断面部
が、一定の場合を想定して説明したが、かかる横断面部
の長手方向の位置によってその形状や、大きさが変化す
る場合も十分に想定される。

【００６９】かかる構成の被処理物Ａに対しては、被処
理物Ａの外周面への吹き付けの均一性が求められる箇所
の横断面部がリングの中央を通過できるようなリング形
状に設定すればよい。形状、大きさが異なり、吹き付け
の均一性が求められる横断面部が複数ある場合には、横
断面部のうち相対的に均一性の要請度の高い横断面部を
選定して、この横断面部をリング中央を通過させること
ができるリング形状を設定すればよい。

【００７０】リング形状としては、図４に示すような相
似形以外にも、前記の如く類似形状の構成も考えられ
る。かかる類似形、相似形は、例えば、上記要領で均一
性の要請が高い横断面部に合わせて設定するようにすれ
ばよい。

【００７１】リングの中央位置を通過させるに際して
は、例えば、上記横断面部の中心を、吹出口のリング形
状の中心位置に合わせて通過させるようにすればよい。
両中心を合わせるに際しては、厳密な位置合わせでも勿
論構わないが、かかる横断面部に対応する外周面への吹
き付けの実質的な均一性が確保できると判断される範囲
で、両中心位置のずれは許容できる。

【００７２】かかる構成の本発明のノズル１０の使用方
法について説明する。図２（Ａ）に示すように、ノズル
本体１１を構成するリング部材１４側に設けた供給孔２
３を用いて、例えば水などを高圧で供給する供給ホース
を取り付ける。その状態で、高圧側の供給栓を開くこと
により、供給された水などは、吹出口２４からリング状
に吹出すこととなる。

【００７３】吹出し圧力は、例えば、供給側の栓を調節
するなど従来より既知の方法を使用することにより調節
すればよく、高圧のジェット流を吹出すようにすること
もできる。あるいは、穏やかな噴流とすることもでき
る。必要に応じて適宜調節すればよい。

【００７４】かかる状態で、ノズル本体１１に設けた通
孔１２内に、図２（Ａ）に示すように、吹出口２４のリ
ング状内の中央を通過するように、被処理物Ａを一定速
度で通過させる。被処理物Ａの外周面と吹出口２４との
距離は、被処理物Ａを中央を通過させることにより一定
に保持されるため、その通過速度を一定に保持すれば、
均一な水などの吹き付けが確保される。

【００７５】そのため、被処理物Ａの表面に汚れなどが
付着している場合には、被処理物Ａの進行方向とは逆行
するように吹き付ける水などにより、汚れが吹き飛ばさ
れて、効率よく汚れを剥ぎ取ることができる。

【００７６】吹き付けに際しては、上記説明では、水な
どの液体の場合について説明したが、何ら液体に限定す
る必要はない。高圧エアなどの気体でも構わない。例え
ば、乾燥した高圧エアを吹き付けることにより、被処理
物の乾燥、あるいは液切りなどを速やかに行うことがで
きる。

【００７７】さらには、液体、気体以外に、固体の吹き
付けを想定しても一向に構わない。例えば、粉状物質、
粒状物質などの固体の吹き付けを行っても構わない。例
えば、ブラスト処理や、粉状、粒状物質を、被処理物表
面に均一に付着させる場合などに有効に適用できる。

【００７８】また、吹出口２４からの吹出し方向を、被
処理物Ａの進行方向に対して逆行する方向に向けて吹出
すように説明したが、かかる方向は、被処理物Ａの表面
の汚れ洗浄を行う場合に有効であるが、被処理物Ａの表
面に突起や凹凸などがあり進行方向に対して逆向きの方
向からだけのジェット流では、ジェット流が当たらない
陰になる部分が発生する場合には、順方向への吹出し方
向を設定しても構わない。

【００７９】（実施の形態２）前記実施の形態１では、
吹出口２４がリング状に一つに形成された場合について
説明したが、本実施の形態では、複数の吹出口が、リン
グに沿って設けられた構成について説明する。

【００８０】図５（Ａ）は、本発明に係るノズルの一実
施の形態を示す断面図であり、（Ｂ）はその正面図であ
る。

【００８１】本実施の形態では、ノズル３０は、本体３
１内に被処理物Ａを通過させる通孔３２が設けられてい
る。通孔３２を同心円状に囲んで、本体３１内に円環状
の流通孔３３が設けられている。また、本体３１には、
円環状の流通孔３３に連通させて供給孔３４が設けられ
ている。

【００８２】本体３１の正面３１ａ側には、図５（Ａ）
に示すように、通孔３２と同心円状に円形凹部３５が形
成されている。円形凹部３５は、内壁部３５ａが、底３
５ｂに向けて先窄まりのテーパに形成され、その平らな
底３５ｂの中央に、通孔３２が開口されている。

【００８３】テーパに形成された内壁部３５ｂには、図
５（Ｂ）に示すように、通孔３２を中心にしてその四方
に、吹出口３６が設けられている。吹出口３６は、例え
ば、多数の噴霧用細孔が設けられてシャワー状に吹出し
ができるように構成されている。あるいは、噴流が吹出
すように円形開口部に形成しておいても構わない。

【００８４】吹出口３６からの吹出し方向は、前記実施
の形態１と同様に設定しておけばよい。例えば、被処理
物Ａの表面からの汚れ除去目的にノズル３０を構成する
場合には、吹出し角度αを０°を越え、９０°以下の範
囲で設定すればよい。被処理物Ａの進行方向とは逆方向
に吹き付けが行われ、汚れなどの付着物の剥離力が強力
に発揮できる。併せて、剥離された汚れの再付着を効果
的に防止できる。

【００８５】吹出口３６からは、前記実施の形態１と同
様に、水などの液体、あるいはエアなどの気体、あるい
は粉状物質などの固体のいずれでも吹き出させることが
できる。

【００８６】かかる構成のノズル３０では、吹出口３６
が、通過する被処理物Ａに対して、４方向に固定されて
いるため、前記実施の形態１の場合に比べて、被処理物
Ａの外周面への厳密な意味での均一性は劣るものの、略
全周に想到する位置確保ができているため、洗浄精度に
よっては十分な洗浄を行うことができる。

【００８７】あるいは、通過させる被処理物Ａを回転さ
せながら通過させたり、あるいはノズル３０自体を回転
させておき、その状態で被処理物Ａを通過させるように
することにより、より均一性を確保するようにすること
もできる。

【００８８】なお、吹出口３６の数は、上記説明では４
個設けた場合を例示したが、必要に応じて、５個以上で
あってもよい。あるいは、要請に適う程度に被処理物へ
の実質的な吹き付けの均一性が確保される範囲で、吹出
口３６の数を少なくしても構わない。

【００８９】（実施の形態３）本実施の形態では、前記
実施の形態１で説明したノズルを使用して、ロッド状、
あるいは線状、あるいはリボン状のなどの形状の被処理
物を洗浄する洗浄装置について説明する。図６（Ａ）
は、本発明の洗浄装置を示す断面説明図であり、（Ｂ）
は洗浄対象としての被処理物を洗浄装置に通して洗浄し
ている状況を示す説明図である。

【００９０】本発明の洗浄装置１００では、図６（Ａ）
に示すように、格納容器１０１内に、前記実施の形態１
で説明した構成の２個のノズル１１０、１２０が設けら
れている。格納容器１０１では、その正面１０１ａに被
処理物Ａの挿入口１０２ａが、背面１０１ｂには被処理
物Ａの排出口１０２ｂがそれぞれ設けられている。

【００９１】挿入口１０２ａの前には、搬送手段として
一対のローラが対抗して設けられた送りローラ１０３が
設けられている。排出口１０２ｂの後ろにも送りローラ
１０３が設けられている。このようにして、前後の送り
ローラ１０３の一対のローラ間に、被処理物Ａが挟持さ
れた状態で、格納容器１０１内を挿入口１０２aから、
排出口１０２ｂへ通過することができるようになってい
る。

【００９２】格納容器１０１内では、ノズル１１０、１
２０は、それぞれの通孔１１１、１２１が、格納容器１
０１内の被処理物Ａの通過経路中に、直列になるように
設けられている。このようにして、図６（Ｂ）に示すよ
うに、送りローラ１０３により格納容器１０１の挿入口
１０２ａから入った被処理物Ａは、ノズル１１０の通孔
１１１、ノズル１２０の通孔１２１を順次通過して、排
出口１０２ｂから排出されることとなる。

【００９３】ノズル１１０は洗液供給源に接続され、リ
ング状に形成された吹出口１１２から、通孔１１１を通
過する被処理物Ａの外周面に均一に洗液を吹き付けるこ
とができるようになっている。洗液としては、水、温
水、洗剤液など従来より被処理物Ａの洗浄に使用されて
いる種々の液体を使用することができる。

【００９４】ノズル１１０の吹出口１１２は、前記実施
の形態１で説明したと同様に吹出角度αを０°を越え、
９０°以下に設定しておけばよい。図６（Ａ）に示すよ
うに、吹出口１１２は、被処理物Ａの通過方向に対して
対抗方向に洗液を吹出すように設定されているため、吹
出口１１２から高圧で洗液をジェット流のように吹出す
ことにより、洗液により被処理物Ａの外周面に付着した
汚れが除去される。

【００９５】除去機構としては、吹出口１１２から被処
理物Ａの外周面に均一に吹き付けるジェット流による物
理的な剥ぎ取り、および剥ぎ取られた汚れの再付着防止
が大きく寄与していると考えられる。

【００９６】このようにして、洗液により汚れが除去さ
れた被処理物Ａは、連続的にノズル１２０に送られる。
ノズル１２０の通孔１２１に入った被処理物Ａは、その
外周面に付着している洗液が、ノズル１２０の吹出口１
２２から高圧で吹出すエアにより吹き落とされて液切り
がなされる。液切りされた被処理物Ａは順次格納容器１
０１の排出口から連続的に排出される。

【００９７】上記説明では液切りに高圧エアを使用し
て、吹出口１２２からジェットエアを吹出す場合につい
て説明したが、液切りに使用するのはエアに限定するこ
となく、必要に応じて種々の気体を用いればよい。例え
ば、非酸化状態などの特別の環境が求められる場合に
は、窒素や不活性気体などを使用するようにしても構わ
ない。

【００９８】また、格納容器１０１には、その下方に廃
液等排出口１０４が設けられ、図６（Ｂ）の破線矢印に
示すように、汚れ除去に使用された洗液、液切りエア
が、格納容器１０１外に排出されることとなる。排出さ
れた洗液などは、必要に応じて、混在している汚れなど
を除去するなどして再生し、再循環して使用するように
すればよい。

【００９９】（実施の形態４）本実施の形態では、前記
実施の形態３で説明した洗浄装置を、前洗浄工程、洗剤
洗浄工程、乾燥工程にそれぞれ適用して、一連の洗浄を
連続的に行えるようにした連続処理洗浄装置について説
明する。

【０１００】図７は、図６に示す洗浄装置を、洗浄工程
の各工程に配置して構成した本発明の連続処理洗浄装置
を示す断面説明図である。図８（Ａ）は、図７に示す連
続処理洗浄装置の送りローラ部分を示す側面図であり、
（Ｂ）は端面図であり、（Ｃ）は平面図である。

【０１０１】本実施の形態で説明する連続処理洗浄装置
２００は、前洗浄を行う洗浄装置２１０と、洗剤洗浄を
行う洗浄装置２２０と、リンス、乾燥を行う洗浄装置２
３０とが、被処理物Ａを連続的に搬送する送りローラ２
４０を介して順次直列に配置して構成されている。

【０１０２】洗浄装置２１０、２２０、２３０は、前記
実施の形態３で説明したと同様に、ノズル格納用の格納
容器２１１、２２１、２３１を有している。

【０１０３】前洗浄工程に対応した洗浄を行う洗浄装置
２１０では、格納容器２１１内に、水をジェット流とし
て吹き付ける水ジェット用のノズル２１２と、高圧エア
をジェット流として吹き付ける水切り用のノズル２１３
とが、被処理物Ａの進行方向に沿って順に直列に配置さ
れている。

【０１０４】ノズル２１２は、高圧で水を供給する水供
給源に接続されている。ノズル２１３は、水切り用のエ
アを高圧で供給するエア供給源に接続されている。

【０１０５】また、格納容器２１１には、前記実施の形
態３で説明したと同様に、被処理物Ａの挿入口、排出口
がそれぞれ設けられ、挿入口、排出口の近傍には、送り
ローラ２４０が設けられている。格納容器２１１の下方
には、廃液等排出口２１４が設けられている。

【０１０６】洗剤洗浄工程に対応した洗浄を行う洗浄装
置２２０では、格納容器２２１内に、液状の洗浄剤をジ
ェット流として吹き付ける洗浄剤ジェット用のノズル２
２２と、高圧エアをジェット流として吹き付ける洗浄剤
の液切り用のノズル２２３とが、被処理物Ａの進行方向
に沿って順に直列に配置されている。

【０１０７】ノズル２２２は、高圧で液状の洗浄剤を供
給する洗浄剤供給源に接続されている。ノズル２２３
は、液切り用のエアを高圧で供給するエア供給源に接続
されている。

【０１０８】また、格納容器２２１には、前記実施の形
態３で説明したと同様に、被処理物Ａの挿入口、排出
口、および廃液等排出口２２４がそれぞれ設けられ、挿
入口、排出口の近傍には、送りローラ２４０が設けられ
ている。

【０１０９】リンス、乾燥工程に対応した洗浄装置２３
０では、格納容器２３１内に、被処理物Ａの表面に残っ
た洗浄剤を、ジェット流の水を吹き付けてリンスする
（濯ぐ）水ジェット用のノズル２３２と、高圧エアをジ
ェット流として吹き付けて、濯ぎに使用した水を被処理
物Ａから除去して乾燥する水切り用のノズル２３３と
が、被処理物Ａの進行方向に沿って順に直列に配置され
ている。

【０１１０】ノズル２３２は、高圧で水を供給する水供
給源に接続されている。ノズル２３３は、水切り用のエ
アを高圧で供給するエア供給源に接続されている。

【０１１１】また、格納容器２３１には、前記実施の形
態３で説明したと同様に、被処理物Ａの挿入口、排出
口、および廃液等排出口２３４がそれぞれ設けられ、挿
入口、排出口の近傍には、送りローラ２４０が設けられ
ている。

【０１１２】上記構成の洗浄装置２１０、２２０、２３
０が直列に連続的に配置されて構成されている連続処理
洗浄装置２００では、各洗浄装置２１０、２２０、２３
０の被処理物Ａのそれぞれの挿入口、排出口には、送り
ローラ２４０が設けられて、送りローラ２４０を構成す
る一対のローラ間に被処理物Ａが挟持された状態で、各
洗浄装置２１０、２２０、２３０を順次連続的に通過し
て行くように構成されている。

【０１１３】かかる送りローラ２４０は、例えば、図８
に示すように構成すればよい。送りローラ２４０は、図
８（Ａ）に示すように、基台２４１上に、所定間隔でロ
ーラ支持部材２４２（２４２ａ、２４２ｂ、２４２ｃ、
２４２ｄ）が設けられている。各支持部材２４２には、
図８（Ｂ）に示すように、上下に一対のローラ２４３が
回転可能に支持されている。

【０１１４】支持部材２４２ａは、支持部材２４２ａに
支持された一対のローラ２４３が、洗浄装置２１０の挿
入口の前に位置するように設けられている。支持部材２
４２ｂは、これに支持された一対のローラ２４３が、洗
浄装置２１０の排出口と洗浄装置２２０の挿入口との間
に位置するように設けられている。

【０１１５】支持部材２４２ｃも、支持部材２４２ｂと
同様に、これに支持された一対のローラ２４３が、洗浄
装置２２０の排出口と洗浄装置２３０の挿入口との間に
位置するように設けられている。支持部材２４２ｄは、
これに支持された一対のローラ２４３が、洗浄装置２３
０の排出口の後ろに位置するように設けられている。

【０１１６】支持部材２４２に支持された一対のローラ
２４３は、図８（Ｃ）に示すように、直線状に直列に配
置されている。各支持部材２４２に支持された一対のロ
ーラ２４３のうち、下側のローラ２４３ａ（２４３）が
駆動ローラに構成されている。駆動ローラ２４３ａは、
その側面にプーリ２４４が設けられている。図８（Ｃ）
に示すように、各ローラ２４３ａのプーリ２４４間に
は、ベルト２４５などが張られて、伝達系が構成されて
いる。

【０１１７】支持部材２４２ｄ（２４２）に支持された
駆動ローラ２４３ａのプーリ２４４は、図８（Ａ）に示
すように、モータ２４６にベルト２４７で繋がれてい
る。モータ２４６の回転により、駆動ローラ２４３ａは
所定方向に回転して、図８（Ｂ）に示すように、駆動ロ
ーラ２４３ａと、その上方に設けられた従動ローラとで
構成された一対のローラ２４３間に挟持された被処理物
Ａが直線方向に搬送されることとなる。

【０１１８】被処理物Ａの搬送に際して、各支持部材２
４２に支持された駆動ローラ２４３ａの高さは一定に維
持されているため、被処理物Ａは、一定高さを直線状に
搬送されることとなる。かかる駆動ローラ２４３ａの高
さは、予め、各洗浄装置２１０、２２０、２３０のノズ
ル２１２、２１３、２２２、２２３、２３２、２３３に
設けた通孔の断面中央を、被処理物Ａが通過できるよう
に設定しておけばよい。

【０１１９】このように設定しておくことにより、ノズ
ル２１２、２１３、２２２、２２３、２３２、２３３の
各吹出口と被処理物Ａの外周面との距離を一定に確保す
ることとなり、ジェット流による洗浄、乾燥などが、被
処理物Ａの外周面で均一に行われることとなる。

【０１２０】また、支持部材２４２自体を上下方向に伸
縮可能に構成しておけば、被処理物Ａの断面高さが異な
ったものを使用する場合でも、各洗浄装置２１０、２２
０、２３０のノズル２１２、２１３、２２２、２２３、
２３２、２３３に設けた通孔の断面中央を、被処理物Ａ
が通過できるようにその都度設定変更することができ
る。

【０１２１】かかる設定変更は、支持部材２４２の高さ
を固定した状態で支持部材２４２に支持される一対のロ
ーラ２４３の高さを変更できるように構成しても可能で
ある。

【０１２２】上記構成の洗浄装置２００の使用方法につ
いて説明する。送りローラ２４０のモータ２４６を回転
させて、各支持部材２４２に支持させた一対のローラ２
４３を回転させる。

【０１２３】その状態で、被処理物Ａを送りローラ２４
０に送る。ここで、被処理物Ａとして切削工程終了後の
金属ロッドを例に上げ、以下説明する。送りローラ２４
０の一対のローラ２４３に挟持された被処理物Ａの金属
ロッドは、図７に示すように、洗浄装置２１０の格納容
器２１１内に挿入口を通して入る。

【０１２４】格納容器２１１内に入った金属ロッドは、
格納容器２１１内に設けたノズル２１２の通孔内に入
る。通孔内に入るに際して、ノズル２１２のリング状の
吹出口から、水が金属ロッドの進行方向とは逆方向に向
けてジェット流となって吹き付けられる。

【０１２５】かかる水ジェットにより、金属ロッドの表
面に付着していた切り子、あるいは切削油、あるいはグ
リースなどの油分が予備的に洗浄される。このようにし
て、ノズル２１２の通過に際して、表面に付着した切り
子、油分などの汚れが予備的に洗浄された金属ロッド
は、さらに、格納容器２１１内に設けたノズル２１３の
通孔内に送りローラ２４０によって連続的に送られる。

【０１２６】ノズル２１３では、通孔内に入る際に、リ
ング状の吹出口から高圧エアがジェット流として吹き付
けられ、金属ロッドの表面の水分が除去されて水切りが
なされる。洗浄装置２１０で使用された水およびエア
は、格納容器２１１に設けた廃液等排出口２１４から排
出される。

【０１２７】このようにして、水切りされた金属ロッド
は、送りローラ２４０により連続的に送られて、格納容
器２１１の排出口から出され、洗浄装置２２０の挿入口
へ送られる。挿入口から洗浄装置２２０の格納容器２２
１内に入った金属ロッドは、ノズル２２２の通孔内に送
られる。

【０１２８】ノズル２２２では、そのリング状の吹出口
から、液体の洗浄剤が、金属ロッドの進行方向とは逆方
向に向けて、ジェット流として吹き付けられる。かかる
洗浄剤のジェット流による吹き付けにより、前洗浄工程
であらかた切り子、油分などが除去された金属ロッドの
表面に未だ付着しているグリースなどの頑固な油分が洗
浄される。

【０１２９】ノズル２２２の洗浄剤の吹き付けにより油
分が洗浄された金属ロッドは、さらに送りローラ２４０
に連続的に搬送されて、ノズル２２３の通孔内に送られ
る。ノズル２２３の通孔を通過するに際しては、リング
状の吹出口から、高圧エアがジェット流として金属ロッ
ドの進行方向に対して反対方向に向けて吹き付けられ、
金属ロッド表面を濡らしている洗浄剤が除去され、金属
ロッド表面の液切れが行われる。

【０１３０】洗浄装置２２０で使用された洗浄剤および
エアは、格納容器２２１に設けた廃液等排出口２２４か
ら排出される。

【０１３１】ノズル２２３で液切れが行われた金属ロッ
ドは、送りローラ２４０により連続的に送られ、洗浄装
置２２０の格納容器２２１の排出口から排出される。さ
らに、連続的に洗浄装置２３０の格納容器２３１の挿入
口から容器内に入り、ノズル２３２の通孔内に入る。ノ
ズル２３２の通孔内に入るに際して、リング状に形成さ
れた吹出口から、高圧の水がジェット流として、金属ロ
ッドの進行方向とは逆方向に向けて吹き付けられる。

【０１３２】かかる水のジェット流の吹き付けにより、
洗浄装置２２０で行われた洗剤洗浄工程における残余洗
浄剤の濯ぎがリンス工程として行われる。残余洗浄剤
は、前の洗浄装置２２０におけるノズル２２３による液
切りにより、殆ど落とされているので、水のジェット流
による濯ぎで十分に除くことができる。

【０１３３】水のジェット流により残余洗浄剤が洗浄さ
れた金属ロッドは、回転している送りローラ２４０によ
り、連続的に、ノズル２３３の通孔内に送られる。通過
に際しては、ノズル２３３のリング状吹出口からは、高
圧エアが、金属ロッドの進行方向とは逆方向に向けて、
ジェット流として吹き付けられ、金属表面の水分が完全
に除去されて乾燥されることとなる。

【０１３４】洗浄装置２３０で使用された水およびエア
は、格納容器２３１に設けた廃液等排出口２３４から排
出される。

【０１３５】このようにして乾燥された金属ロッドは、
回転している送りローラ２４０により洗浄装置２３０か
ら排出口を介して外に排出される。被処理物Ａとしての
金属ロッドは、図７に示すように、長いため、連続処理
洗浄装置２００を構成する洗浄装置２１０、２２０、２
３０内を連続的に通過させられる。

【０１３６】通過する際に、それぞれ水による前洗浄、
水切り、洗浄剤による洗浄、液切り、水による濯ぎ洗
浄、水切り乾燥と、各処理が連続的に行われ、各工程が
終了した側から順に連続処理洗浄装置２００外へ排出さ
れることとなる。

【０１３７】このように本発明の連続処理洗浄装置で
は、各洗浄工程が、連続的に行われるので、従来構成の
ようなバッチ処理とは異なり、各工程間の移行が極めて
円滑に効率よく進めることができる。

【０１３８】また、本発明の連続処理洗浄装置では、従
来構成のような複数の被処理物を一括して行うバッチ処
理とは異なり、被処理物を単体毎に処理することができ
るため、洗浄品質のムラが解消され、個々の洗浄品質の
向上が図れる。

【０１３９】（実施の形態５）本実施の形態では、前記
実施の形態４で説明した本発明に係る連続処理洗浄装置
に廃液処理の機構を併置した場合について説明する。図
９は、図７に示す洗浄装置において、洗浄液の再循環装
置を設けた状態を示す説明図である。

【０１４０】本実施の形態の連続処理洗浄装置２００
は、前記実施の形態４で説明したと同様の洗浄装置２１
０、２２０、２３０から構成されている。そこで、各洗
浄装置２１０、２２０、２３０の構成、機能について
は、本実施の形態ではその説明を省略する。

【０１４１】前洗浄を行う洗浄装置２１０の格納容器２
１１に設けた廃液等排出口２１４は、図９に示すよう
に、洗液タンク２５１に配管接続されている。洗浄装置
２１０からの廃液として排出された切り子や油分などが
混じった水は、洗液タンク２５１に送られ、さらにポン
プ２５２により油分分離装置２５３に送られ、油分と水
とが分離させられる。図９に示す場合には、ポンプ２５
２と油分分離装置２５３との間には、フィルタ２５４が
設けられ、切り子などを除去できるようになっている。
しかし、被処理物Ａの表面に切り子などの付着が無い場
合には、かかるフィルタ２５４を設けない構成であって
も構わない。

【０１４２】油分分離装置２５３により油分が分離さ
れ、前洗浄で十分に使用できる程度に再生された水は、
さらに、ポンプ２５５により圧送され、途中でフィルタ
２５６により切り子などの固形物が除去されてノズル２
１２に送られる。

【０１４３】図９に示す場合には、洗液タンク２５１内
にはヒータ２５７が設けられ、所定温度に加熱された温
水が、ノズル２１２のリング状吹出口からジェット流と
して吹出すように構成されている。図９に示す場合に
は、ヒータ２５７を設けた構成を示したが、かかるヒー
タ２５７を設けなくても構わない。さらには、ヒータ２
５７を設けておき、必要に応じて、ヒータ２５７の使
用、不使用を選択できるようにしても構わない。

【０１４４】洗剤洗浄を行う洗浄装置２２０の格納容器
２２１に設けた廃液等排出口２２４は、図９に示すよう
に、洗液タンク２６１に配管接続されている。洗浄装置
２２０からの廃液として排出された油分などが混じった
洗浄剤は、洗液タンク２６１に送られる。

【０１４５】洗液タンク２６１内で、油分などの汚れが
除去され、洗剤洗浄工程で再使用できる程度にされた洗
浄剤は、必要に応じて、新たな洗浄剤と共に、ポンプ２
６２により圧送され、ノズル２２２に送られる。

【０１４６】図９に示す場合には、洗液タンク２６１内
にはヒータ２６３が設けられ、所定温度に加熱された洗
浄剤が、ノズル２２２のリング状吹出口からジェット流
として吹出すように構成されている。ヒータ２６３の設
置は任意であり、ヒータ２６３を設けなくても構わな
い。さらには、ヒータ２６３を設けておき、必要に応じ
て、ヒータ２６３の使用、不使用を選択できるようにし
ておいてもよい。

【０１４７】さらには、前洗浄工程では切り子などを除
去するフィルタを設けているが、現場状況などによって
は、微細な金属くずなどが洗剤洗浄工程迄持ち込まれる
虞れがある場合には、ポンプ２６２と洗液タンク２６１
との間、あるいはポンプ２６２とノズル２２２との間の
いずれか一方、あるいは両方にフィルタを設けるように
しても構わない。

【０１４８】リンスと乾燥を行う洗浄装置２３０の格納
容器２３１に設けた廃液等排出口２３４は、図９に示す
ように、洗液タンク２７１に配管接続されている。洗浄
装置２３０からの廃液として排出された濯ぎ水は、洗液
タンク２７１に送られる。

【０１４９】洗液タンク２７１内では、濯ぎにより落と
された洗剤分などが少量混じった水は、ポンプ２７２で
水処理装置２７３に送られ、濯ぎ乾燥工程で使用できる
程度に再生された水がノズル２２２に圧送される。水処
理装置２７３では、例えば、活性炭により洗剤成分が吸
着されて除去されるなどして水の再生が行われる。

【０１５０】図９に示す場合には、洗液タンク２７１内
にヒータ２７４が設けられ、前記注ぎ水が適温に加温さ
れた状態でノズル２３２に送られるようになっている。
濯ぎが水で十分な場合には、かかるヒータ２７４を使用
しないようにすればよい。濯ぎには水のみを使用する場
合には、当初からヒータ２７４を設けない構成でも構わ
ない。

【０１５１】また、各洗浄装置２１０、２２０、２３０
に設けた水切り用、液切り用のノズル２１３、２２３、
２３３は、図９に示すように、それぞれ、共通の高圧エ
ア供給源に接続しておくようにすればよい。

【０１５２】（実施の形態６）前記実施の形態では、主
に、ノズルの吹出口からの吹出し方向が、被処理物のノ
ズルの通孔内への進行方向とは逆方向に構成した場合に
について説明したが、本実施の形態では、吹出し方向が
逆方向と、順方向との異なる２方向の構成を有する場合
について説明する。

【０１５３】図１０（Ａ）は、前記実施の形態１におい
て説明したノズル１０を吹出し方向が対抗するように、
２個設けた様子を示す断面説明図であり、（Ｂ）は、吹
出し方向が反対方向となるように２個設けた様子を示す
断面説明図である。

【０１５４】図１０（Ａ）に示すように、２個のノズル
がその吹出口２４が対抗するように設けられている。す
なわち、一方のノズル１０ａ（１０）は、その吹出し角
度αが、被処理物Ａの進行方向に対して０°を越えて９
０°以下に設定されている。

【０１５５】これと対抗するノズル１０ｂ（１０）は、
その吹出し角度βが、被処理物Ａの進行方向に対して図
１０（Ａ）に示すように設定されている。すなわち、図
１０（Ａ）に示すように、吹出口２４からの吹出し方向
を示す中心線２６（図中、一点鎖線表示）と、被処理物
Ａの中心線２７とが交差して形成される角度を吹出し角
度βとして設定しておけばよい。

【０１５６】かかる吹出し角度βは、吹出し角度αと同
一に設定してもよいし、異なる角度に設定しても構わな
い。順方向のノズル１０ｂを設けることにより、ノズル
１０ａからの吹出しの陰となる部分への吹き付けを行え
るようにすることができる。従って、図１０（Ａ）に示
すように２個のノズルを対抗配置した構成では、外周面
に凹凸があり、一方のノズルからでは吹き付けの死角が
発生するような形状の被処理物に特に有効である。

【０１５７】２個のノズル１０ａ、１０ｂの吹出口２４
間の配置間隔は、被処理物Ａの形状、ノズルからの吹き
付け力、被処理物の搬送速度などに合わせて適宜設定す
ればよい。

【０１５８】図１０（Ａ）に示す場合には、２個のノズ
ルの吹出し方向が対抗する側にくるように設けた構成で
あるが、図１０（Ｂ）に示すように、互いの吹出し方向
が反対方向となるように設けても構わない。

【０１５９】前記実施の形態３〜５で説明した本発明の
洗浄装置において、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すノズル
構成を採用することで、外周面に凹凸形状がある被処理
物Ａの洗浄をより効果的に行うことができる。

【０１６０】図１０に示す上記構成では、２個のノズル
１０ａ、１０ｂにそれぞれ設けられる吹出口２４から
は、同一の洗液を吹出しても構わないし、あるいは異な
る洗液を吹出しても構わない。さらには、一方の吹出口
からは洗液を、他方の吹出口２４からは液切り用のエア
などの気体を吹出すようにしても構わない。

【０１６１】

【実施例】本実施例では、前記実施の形態１で説明した
構成のノズルを用い、被処理物として切削加工後のＳＵ
Ｓロッドの洗浄効果を調べた。ロッド表面に付着してい
る切削油を洗浄対象の汚れとして、かかる切削油を水の
みによるジェットで洗浄してその効果を検証した。被処
理物としてのロッドは、φ８．１ｍｍ×５００ｍｍのも
のを使用した。

【０１６２】水の吹き付けに使用したノズル吹出口の幅
は、０．２ｍｍに設定し、吹出し角度は４５°に設定し
た。ロッドの移動速度は、１５ｍｍ／ｓｅｃに設定し、
ノズルの通孔内へは、ロッドの外周面と通孔の内周面と
の平均距離ｄを０．１あるいは０．３ｍｍに維持するよ
うにして通した（図３参照）。吹出口からのジェット流
の圧力は、１ｋｇ、３ｋｇ、４ｋｇの３種類で検討し
た。

【０１６３】洗浄効果は、上記洗浄前ロッドをアルコー
ルで脱脂したものの水による濡れ性との比較により、目
視で確認した。以下の表１、２に、上記実験条件をまと
めて示した。

【０１６４】

【表１】

【０１６５】

【表２】

【０１６６】上記表２における、ｔｅｓｔ４、５の条件
で洗浄した場合が、ｔｅｓｔ条件１、２、３より洗浄効
果が優れていた。アルコール脱脂状態と同様の水濡れ状
況を示しており、洗浄状況が良好であった。すなわち、
洗浄性は、ｔｅｓｔ５、４＞ｔｅｓｔ１、２、３の通り
であった。ｔｅｓｔ５、４における洗浄性は、ｔｅｓｔ
５の方がｔｅｓｔ４よりわずかながら良好ではあるもの
の、略同程度であった。ｔｅｓｔ４の条件もｔｅｓｔ５
の場合と同様に十分に使用可能な条件である。

【０１６７】また、ｔｅｓｔ１、２、３の条件の場合で
も、後洗浄で洗剤洗浄を行う場合、あるいは少量程度の
油分の付着が認められる場合など、水のみによる洗浄の
高度性がそれ程高く求められない場合には、十分に許容
できる範囲での洗浄性を示していた。

【０１６８】次に、かかる洗浄効果を、被処理物の上記
ロッドに所定量の切削油を付着させて洗浄し、洗浄後の
重量を確認することにより、切削油の洗浄効果を定量的
に確認した。

【０１６９】すなわち、洗浄前の重量が１６７，４８０
ｍｇのロッドを、切削油に浸漬後その重量を測定した。
測定重量は、１６８，５６０ｍｇであった。すなわち、
付着切削油の量が１，０８０ｍｇであることが分かる。

【０１７０】かかるロッドサンプルを、良好な洗浄性を
示した表２のｔｅｓｔ５の条件で、本発明のノズルを使
用して洗浄した。洗浄、乾燥後のロッドの重量は、１６
７，４８０ｍｇであり、完全に切削油の洗浄が行われて
いることが確認された。かかる結果を表３に示した。

【０１７１】

【表３】

【０１７２】この他、粘性の高いグリースに対しては、
水の温度を６０℃として、ｔｅｓｔ４、５と同条件で洗
浄を行ったところ、アルコール脱脂とほぼ同等の洗浄性
が得られた。

【０１７３】このように良好な洗浄状況については、ほ
ぼグリースを付着した場合においても確認され、本発明
のノズルは、切削油、グリースなどの油分の洗浄に有効
に使用することができることが分かる。従って、本発明
のノズルを使用した前記構成の洗浄装置では、従来の洗
浄方法では落ちにくかった被処理物の油分などの汚れ
を、水のみでも効果的に洗浄できることが分かる。

【０１７４】

【表４】

【０１７５】次に、本発明の洗浄装置における濯ぎ、乾
燥工程の有効性を検証するために、洗浄装置で使用する
本発明に係るノズルを用いて、洗浄後の被処理物として
のロッドの乾燥効果の実験を行った。表４に、乾燥実験
におけるエアの吹出し圧力などの実験条件を示した。

【０１７６】サンプルは、アルコール脱脂した状態のロ
ッドを水に浸け、その後、吹出口がリング状の本発明の
ノズルを用いて、上記表４の条件でジェット流で高圧エ
アを吹き付け、水切りした。水切り後のロッド表面には
水の付着ならびにウォーターマークは見られず、本発明
のノズルおよびそれを使用した洗浄装置における乾燥機
能の有効性が確認できた。

【０１７７】また、従来は金属加工品などの被処理物の
表面に付着した油分については、水のみによる洗浄は、
一般的には難しいと考えられており、実効性が確保され
るまでの十分な技術開発がなされていなかったにもかか
わらず、上記実施例の結果からは、本発明のノズル、お
よびかかるノズルを使用した洗浄装置を使用することに
より、従来の洗浄手段からでは予想できない程に、水の
みの洗浄によっても油分の汚れが落とせることが確認さ
れた。かかるノズル、洗浄装置を使用して洗浄する方法
も有効であることが確認される。

【０１７８】勿論、かかる水のみの洗浄性は、油分の性
質、付着量などの汚れ状況に大きく影響されるものでは
あるが、上記実施例に示す如く、水のみでの油分の汚れ
除去の実効性が確認でき、本発明の意義は極めて大き
い。

【０１７９】上記実施例の結果から、水のみによる被処
理物の表面に付着した油分の洗浄には、ノズルの通孔内
におけるロッドの外周面と通孔の内周面との平均距離ｄ
を０．１ｍｍ以上、０．３ｍｍ以下に維持しておけば好
ましいことが確認できる。吹出口からのジェット流の圧
力も、３ｋｇ以上に設定するのが好ましいことが確認さ
れる。４ｋｇ以上であればより好ましい。洗液としての
水については、グリースなどの粘性の高い油分について
は、６０℃以上の温度にすることが好ましい。

【０１８０】本発明は、前記実施の形態の説明に限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種
々変更しても構わない。

【０１８１】例えば、通孔に通す被処理物に向けた吹出
口を設ける構成としては、前記実施の形態１では吹出口
を通孔周縁部にリング状に、あるいは前記実施の形態２
ではリングに沿って複数の吹出口を設ける場合について
説明したが、例えば複数のノズルを、ノズル吹出口が、
通孔を通る被処理物に向けて吹出しができる本体位置に
設ける構成でも構わない。

【０１８２】ノズルの設置位置としては、本体側面、あ
るいは通孔の挿入口、あるいはリング内側面、あるいは
排出口の端面位置などが考えられる。かかる構成であっ
ても、洗浄液の排出機構を適宜設けておくことにより、
周囲に洗浄後の液が飛散しないようにすることができ
る。

【０１８３】前記説明では、被処理物Ａとして、金属ロ
ッドを例示として示したが、金属以外の材質のものでも
適用できることは勿論である。また、被処理物の形状
も、前記説明では、断面円形のロッド状の形状を例に挙
げて説明したが、例えば、断面角形のもの、断面径が小
さい線状のもの、あるいは扁平で長いリボン状のもので
も構わない。

【０１８４】例えば、断面角形のものを被処理物として
使用する場合には、図４（Ａ）に示すな角形の吹出口形
状を採用すればよい。リボン状のものを被処理物として
使用する場合には、図４（Ｂ）に示すような吹出口の形
状を採用すればよい。

【０１８５】被処理物としては、ロッド状、線状、扁平
で細長いリボン状のもの以外にも、電子部品や半導体な
どの小型品をフープ状に一連に連結した形状のものも対
象とすることができる。半導体としては、例えば、トラ
ンジスターやＬＥＤなどがある。かかる構成の被処理物
を使用する場合には、吹出口の形状を、図４（Ｂ）の矩
形形状に設定すればよい。

【０１８６】被処理物として、線状、リボン状になど巻
き取り可能に構成されたものについては、図１１に示す
ように、被処理物の送り機構として、送りローラを使用
することなく、洗浄装置の前後にリールなどの巻き取り
装置２８１、２８２を設けておき、被処理物の進行方向
の先端側から、巻き取りするようにして連続的に洗浄装
置内を通過させるように構成しても構わない。

【０１８７】また、被処理物としては、例えば円柱や角
柱などのように被処理物の送り方向に沿った長手方向が
同一大きさの断面形状を有する物ばかりでなく、長手方
向に沿った断面形状が同一形状でなかったり、あるいは
テーパ状に大きさが変化したりなど種々の態様の被処理
物であっても構わない。

【０１８８】かかる場合には、例えば、吹出口のリング
形状は、被処理物の通過断面のうち最大の大きさ部分
が、リング形状の中央を通過できる形状に設定しておけ
ばよい。あるいは、被処理物の長手方向に占める割合が
多い箇所の断面形状部分が、リング形状の中央を通過で
きる形状に設定することも考えられる。

【０１８９】かかる中央通過に際しては、例えば、被処
理物の最大部分の中心を、吹出口のリング形状の中心位
置に合わせて通過させるようにすればよい。あるいは、
被処理物の長手方向に占める割合が多い箇所の断面形状
部分の中心を、吹出口のリング形状の中心位置に合わせ
て通過させるようにすればよい。

【０１９０】両中心を合わせるに際しては、厳密な位置
合わせでも勿論構わないが、被処理物の形状によって、
厳密な意味での位置合わせができないばあいも想定され
る。そこで、かかる場合には、被処理物の外周面への吹
き付けの実質的な均一性が確保できると判断される許容
範囲で、両中心位置の位置合わせをずらしても構わな
い。

【０１９１】前記説明では、洗浄対象として切削油、グ
リースなどの油分、切り子などを例示として説明した
が、それ以外にも、例えば、フラックス残渣なども当然
に洗浄対象に含めても構わない。

【０１９２】また、洗液としては、前記説明では、水、
温水、洗浄液などの水系の洗液を例示として取り上げ説
明したが、当然に、非水系の洗液を使用しても構わな
い。例えば、塩素系や炭化水素系、フッ素系などの洗液
を使用しても構わない。被処理物に合わせた洗液を適宜
選択すればよい。

【０１９３】前記説明では、廃液の処理装置として油分
分離装置を用いた場合を説明したが、活性炭やイオン交
換樹脂などの吸着剤を有効に使用するものであっても構
わない。

【０１９４】また、前記説明の送りローラは、上下一対
のローラに構成し、上下のローラ間に挟持させた状態で
被処理物を搬送させる構成としたが、被処理物の確実な
搬送が確保できれば、下側の駆動ローラのみで搬送させ
るように構成しても一向に構わない。

【０１９５】前記説明では、被処理物の搬送手段とし
て、送りローラを例示したが、被処理物を搬送すること
ができる手段であれば、送りローラ以外の手段を採用し
ても構わない。

【０１９６】前記説明では、各洗浄装置で使用する本発
明に係るノズルを２個使いとした場合を例として示した
が、１個使い、あるいは３個以上使用しても構わない。

【０１９７】また、前記説明では、リング状の吹出口を
通孔の開口周縁部に設ける構成について説明したが、通
孔の内周面に設けるようにしても構わない。前記実施の
形態２で説明した複数の吹出口を設ける構成についても
同様である。

【０１９８】前記説明では、洗浄装置については、前記
実施の形態１で説明したノズルを用いた場合について説
明したが、前記実施の形態２で説明したノズルを用いて
も構わない。必要に応じては、前記実施の形態１、２で
説明した両構成のノズルを併用するようにしても構わな
い。

【０１９９】さらには、リング状の吹出口を通孔の入口
側に設ける構成についてのみ説明したが、例えば、通孔
の両側に、あるいは、排出側にのみ設ける構成としても
構わない。

【０２００】前記説明では、洗浄と液切りとで使用する
ノズルを対で一つの洗浄装置に設ける構成としたが、洗
液を吹き付けるノズル、液切り用のエアを吹き付けるノ
ズルをそれぞれ単独使用した洗浄装置をユニットとして
構成し、必要に応じて、これらのユニットの組合せによ
り現場状況に合わせた洗浄工程に対応した洗浄装置の構
成ができるようにしても構わない。

【０２０１】前記説明では、固定した洗浄装置に対し
て、被処理物を搬送させる構成を示したが、被処理物を
所定高さに保持した状態で、レール上などを洗浄装置を
移動させることにより、洗浄するようにしても構わな
い。かかる構成は、簡単に被処理物を搬送させることが
難しい場合に有効に適用することができる。

【０２０２】

【発明の効果】本発明によれば、ノズルの吹出口が被処
理物を通過させる通孔の内周側に沿ってリング状、ある
いは複数個設けられているため、被処理物の外周面に均
一に吹き付けすることができる。そのため、洗浄装置に
適用すれば、被処理物の外周面の洗浄の均一性を向上さ
せることができる。

【０２０３】本発明によれば、複数工程からなる一連の
洗浄を連続的に処理することができ、従来構成のバッチ
処理とは異なり、洗浄効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る一実施の形態のノズルの分解状況
を示す断面図である。

【図２】（Ａ）は、本発明のノズルに被処理物のロッド
を通している状態を示す断面図であり、（Ｂ）は、背面
図である。

【図３】ノズルの吹出口部分を拡大して示した要部断面
図である。

【図４】（Ａ）〜（Ｆ）は、吹出口のリング形状の変形
例を示す要部正面図である。

【図５】（Ａ）は、本発明に係るノズルの一実施の形態
を示す断面図であり、（Ｂ）はその正面図である。

【図６】（Ａ）、（Ｂ）本発明の洗浄装置を示す断面図
である。

【図７】本発明の洗浄装置を示す断面説明図である。

【図８】（Ａ）は、図７に示す洗浄装置の送りローラ部
分を示す側面図であり、（Ｂ）は端面図であり、（Ｃ）
は平面図である。

【図９】図７に示す洗浄装置において、洗浄液の再循環
装置を設けた状態を示す説明図である。

【図１０】（Ａ）は、吹出口が対抗するように２個のノ
ズルを配置した構成を示す断面説明図であり、（Ｂ）は
吹出口が互いに背反するように２個のノズルを設けた構
成を示す断面説明図である。

【図１１】巻き取り可能な被処理物に対応した洗浄装置
の変形例を示す説明図である。

【符号の説明】

１０ノズル１０ａノズル１０ｂノズル１１ノズル本体１２通孔１２ａ開口部１３リング部材１３ａフランジ部分１３ｂ小径部分１３ｃノズル形成用突出部分１４リング部材１５取付け手段１５ａボルト１６シールパッキング１７パッキング装着溝１８ａボルト孔１８ｂボルト孔１９エア溜まり部２１凹部２２開口部２３供給孔２４吹出口２５隙間２６中心線２７中心線３０ノズル３１本体３２通孔３３流通孔３４供給孔３５円形凹部３６吹出口１００洗浄装置１０１格納容器１０１ａ正面１０１ｂ背面１０２ａ挿入口１０２ｂ排出口１０３送りローラ１０４廃液等排出口１１０ノズル１１１通孔１１２吹出口１２０ノズル１２１通孔１２２吹出口２００連続処理洗浄装置２１０洗浄装置２１１格納容器２１２ノズル２１３ノズル２１４廃液等排出口２２０洗浄装置２２１格納容器２２２ノズル２２３ノズル２２４廃液等排出口２３０洗浄装置２３１格納容器２３２ノズル２３３ノズル２３４廃液等排出口２４０送りローラ２４１基台２４２支持部材２４２ａ支持部材２４２ｂ支持部材２４２ｃ支持部材２４２ｄ支持部材２４３ローラ２４３ａ駆動ローラ２４４プーリ２４５ベルト２４６モータ２４７ベルト２５１洗液タンク２５２ポンプ２５３油分分離装置２５４フィルタ２５５ポンプ２５６フィルタ２５７ヒータ２６１洗液タンク２６２ポンプ２６３ヒータ２７１洗液タンク２７２ポンプ２７３水処理装置２７４ヒータ２８１巻き取り装置２８２巻き取り装置Ａ被処理物ａ幅ｄ平均距離 α 吹出し角度

フロントページの続きＦターム(参考） 3B116 AA46 AB02 BB22 BB33 BB90 CC01 CC03 CD22 3B201 AA46 AB02 BB22 BB33 BB90 BB92 BB98 CC01 CC12 CD22 4F033 AA04 BA01 BA03 CA01 DA05 EA01 LA12 NA01 4F042 AA01 AA07 DF19 4K053 PA11 PA12 PA14 QA04 RA07 RA32 RA33 SA05 SA12 SA19 TA18 TA19 XA22 XA24 XA27 YA05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理物を通す通孔を設けた本体と、前記通孔に通す前記被処理物に向けた吹出口とを有する
ことを特徴とするノズル。
【請求項２】請求項１記載のノズルにおいて、前記吹出口は、複数設けられていることを特徴とするノ
ズル。
【請求項３】請求項１記載のノズルにおいて、前記吹出口は、内周縁に沿ったリング状に形成されてい
ることを特徴とするノズル。
【請求項４】請求項３記載のノズルにおいて、前記吹出口は、前記吹出口からの前記被処理物の外周面
への吹き付けが、均一に行えるリング状に形成されてい
ることを特徴とするノズル。
【請求項５】請求項３または４記載のノズルにおい
て、前記吹出口は、前記吹出口からの前記被処理物の外周面
への吹き付けの均一性が求められる横断面部が、リング
の中央位置を通過できるリング状に形成されていること
を特徴とするノズル。
【請求項６】請求項５記載のノズルにおいて前記横断
面部とは、前記被処理物を前記通孔に通す際の通し方向
に沿った長手方向に対しての横断面部が、複数の異なる
形状および／または大きさを有する場合には、前記吹出
口から前記被処理物の外周面への吹き付けの均一性の要
請順位が高い横断面部であることを特徴とするノズル。
【請求項７】請求項３ないし６のいずかれ１項に記載
のノズルにおいて、前記吹出口は、前記被処理物の断面形状と類似または相
似の形状に形成されていることを特徴とするノズル。
【請求項８】請求項１ないし７のいずれか１項に記載
のノズルにおいて、前記吹出口からの吹出し角度は、前記被処理物の前記通
孔への進行方向に対して、０°を越え、９０°以下であ
ることを特徴とするノズル。
【請求項９】請求項１ないし８のいずれか１項に記載
のノズルを有し、前記ノズルの吹出口から洗液を、被処
理物に吹き付けて洗浄することを特徴とする洗浄装置。
【請求項１０】請求項１ないし８のいずれか１項に記
載のノズルの吹出口から洗液を被処理物に吹き付けて洗
浄するノズル、および／または、請求項１ないし８のい
ずれか１項に記載のノズルの吹出口から気体を被処理物
に吹き付けて液切りするノズルを有することを特徴とす
る洗浄装置。
【請求項１１】請求項９または１０記載の洗浄装置に
おいて、吹出し方向が前記被処理物の進行方向に対して逆方向と
なるノズルと、吹出し方向が前記被処理物の進行方向に対して順方向と
なるノズルとを有することを特徴とする洗浄装置。
【請求項１２】請求項９ないし１１のいずれか１項に
記載の洗浄装置において、前記洗浄装置には、前記被処理物を、前記ノズルの通孔
内に搬送する搬送手段が設けられていることを特徴とす
る洗浄装置。
【請求項１３】請求項１２記載の洗浄装置において、前記被処理物は、その外周面と前記ノズルの吹出口との
距離が同様となるように、前記搬送手段により送られる
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項１４】請求項９ないし１３のいずれか１項に
記載の洗浄装置において、前記被処理物は、ロッド状、線状、リボン状のいずれか
の形状を有していることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１５】請求項９ないし１３のいずれか１項に
記載の洗浄装置において、前記被処理物は、電子部品や半導体などの小型品がフー
プ状に設けられていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１６】請求項９ないし１５のいずれか１項に
記載の洗浄装置において、前記洗浄装置には、使用後の洗液を洗浄に再利用できる
までに再生する再生装置が設けられていることを特徴と
する洗浄装置。
【請求項１７】請求項１ないし８のいずれか１項に記
載のノズルを使用して被処理物の洗浄を行うことを特徴
とする洗浄方法。
【請求項１８】請求項９ないし１６のいずれか１項に
記載の洗浄装置を使用して被処理物の洗浄を行うことを
特徴とする洗浄方法。