JP2003035624A - リーク検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 リーク検査に要する時間を短縮すると共に、
大容量の密閉性を要求される容器であってもリーク検査
を容易かつ迅速に行うことができる流量計を用いたリー
ク検査方法を提供する。 【解決手段】 内部に空隙を有し所定の密閉性を要求さ
れる被検査物１４へ所定の圧力を供給し、被検査物１４
から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計２０によ
り検知し被検査物１４のリークの有無を判断するリーク
検査方法であって、上記空隙３６の容積を減縮して被検
査物１４のリークの有無を判断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、内部に空隙を有し
所定の密閉性を要求される各種容器のリークを流量計を
用いて測定する方法及びその装置に係り、特に、大容量
の密閉性を要求される大型の容器のリークを計測する方
法及びその装置に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】一般に、内部が密閉さ
れた状態で使用される様々な容器、例えば、ライターの
ガスボンベ、ガス湯沸かし器のガスパイプ、エアコンの
冷媒収納容器等は一定規格以上の密閉性が要求されるこ
とから、これらの製品が製造された場合には、封入され
る内容物がリークすることがないか否かに関し、容器の
密閉性を検査する必要がある。

【０００３】このような密閉性を要求される容器のリー
ク検査方法として、本件特許出願人は、既に、流量計を
使用して密閉性を要求される容器のリークの検査を行う
発明を提案している（特願平８−３４２８５１号）。本
件特許出願は上記特願平８−３４２８５１号の改良発明
に係る出願である。

【０００４】上記特願平８−３４２８５１号にあって
は、流量計を利用してリーク検査を行う基本的な技術的
思想を開示している。即ち、被検査物である密閉性を要
求される容器に対し、圧力供給源から所定の圧力を供給
した場合、被検査物にリークが存在した場合には、被検
査物内部と外部との間の圧力差により気体の移動が発生
することから、この気体の移動を流量計により検知し、
被検査物である密閉性を要求される容器にリークが存在
するか否かを判断するように構成されている。

【０００５】その結果、従来は、一定値に加圧された被
検査物の所定時間内における圧力変化を圧力計により計
測し、リークの有無を判断すると共に、リークが存在す
る場合には計測時間、被検査物の容積値を基に被検査物
のリーク値を算出して被検査物において許容されるリー
クであるか否か、を判断することとしていたが、このよ
うに流量計を用いてリークの判断を行った場合には、リ
ークの有無及びリーク量を直接に計測することができる
こととなり、圧力変化、被検査物の容積及び計測時間と
の間に成立する公式による、煩雑なリーク値の算出を行
うことなく容易にリークを有無を判断できるようになっ
たものである。

【０００６】ところで、被検査物には、例えば、ドラム
缶のような大容量の容器もある。このような大容量の容
器に関しても、上記の流量計を使用してリークの有無及
びリーク量を計測できるが、実際に流量計を使用してリ
ーク検査を行った場合には、リーク判定に至るまでに時
間が掛かり、迅速な検査ができない、という不具合があ
った。理由は以下による。

【０００７】本来、気体には圧縮性、粘性があることか
ら、密閉性を要求される容器に孔部、又はクラック等が
形成され、リークが存在する被検査物としての密閉性を
要求される容器のリーク検査装置を行う際に、圧力供給
源から所定圧力が供給された場合であっても、被検査物
の容積とリーク量の大きさは相対的なものであることか
ら、被検査物の内部の容積が大きい場合には、リーク量
は圧力変動に吸収されてしまい、即時には気体のリーク
量表示には結びつかず、上記流量計が気体の流動を検知
するまでに所定の時間がかかる場合もある。

【０００８】特に、大容量容器からなる被検査物にあっ
ては、内部の収納容積が大きいことから被検査物に収納
される気体も容積が大きくなり、流量計が被検査物に接
合された管路を介してリークによる気体の流動を感知す
るまでに非常に時間を要する場合もあった。この事情
は、被検査物である密閉性を要求される容器が大きけれ
ば大きいほど深刻なものとなる。

【０００９】さらに、特願平８−３４２８５１号の明細
書においても記述されているように、一般的に、密閉性
を要求される容器に関するリーク試験が行われる環境
は、工場における製造ラインに近接して行われる場合が
多く、一般の大気温度よりも高温の場合や、温度環境が
一定せずに時間と共に変化する場合が多い。また、被検
査物が工場において製造された場合には、加熱成形され
た被検査物は未だ高温の状態のままの場合もある。

【００１０】このような、被検査物の温度条件及び被検
査物周囲の環境温度がリーク検査に及ぼす影響は大き
く、リーク試験においてこのような温度の影響そのもの
を排除することが要求されていた。

【００１１】そこで請求項１及び２記載の発明の技術的
課題は、リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大
容量の密閉性を要求される容器であってもリーク検査を
容易かつ迅速に行うことができる流量計を用いたリーク
検査方法を提供することにある。

【００１２】また、請求項３記載の発明の技術的課題
は、より迅速にリーク検査を行うことができるリーク検
査方法を提供することにある。

【００１３】また、請求項４乃至６記載の発明の技術的
課題は、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減
することができるリーク検査方法を提供することにあ
る。

【００１４】また、請求項７，８，１０及び１１記載の
発明の技術的課題は、リーク検査に要する時間を短縮す
ると共に、大容量であって密閉性を要求される容器のリ
ーク検査を容易に行うリーク検査装置を提供することに
ある。

【００１５】また、請求項９記載の発明の技術的課題
は、リーク検査に要する時間をより短縮しうると共に、
大容量であって密閉性を要求される容器のリーク検査を
容易に行うリーク検査装置を提供することにある。

【００１６】また、請求項１２記載の発明の技術的課題
は、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減する
ことができるリーク検査装置を提供することにある。

【００１７】また、請求項１３記載の発明の技術的課題
は、より確実に被検査物に対する温度の影響を低減する
ことができるリーク検査装置を提供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】このような技術的課題解
決のため請求項１記載の発明にあっては、内部に空隙を
有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を
供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する気体
を流量計により検知し被検査物のリークの有無を判断す
るリーク検査方法であって、上記空隙の容積を減縮して
被検査物のリークの有無を判断することを特徴とする。

【００１９】従って、請求項１記載の発明にあっては、
被検査物の有する空隙の容積が減縮されることから、リ
ークが発生した場合に、流量計が検知しうる気体の流動
が短時間で発生する。

【００２０】その結果、請求項１記載の発明にあって
は、流量計によるリーク判定に至る、検査に要する時間
が短縮され、特に、大容量容器であっても容易且つ迅速
にリーク検査を行うことができる。

【００２１】請求項２記載の発明にあっては、内部に空
隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧
力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する
気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断する
リーク検査方法であって、被検査物を収納した場合に被
検査物の容積よりも小さな容積の空隙を被検査物の周囲
に形成しうる容積を備えた検査容器内に上記被検査物を
収納し、被検査物内部の空隙と、被検査物と検査容器と
の間の空隙の間に圧力差を形成することにより被検査物
のリークを判断することを特徴とする。

【００２２】従って、請求項２記載の発明にあっては、
リーク検査を行う場合には、上記被検査物を収納した場
合に被検査物の容積よりも小さな容積の空隙を被検査物
の周囲に形成しうる容積を備えた検査容器を準備し、そ
の検査容器に被検査物を収納し、被検査物内部の空隙
と、被検査物と検査容器との間の空隙の間に圧力差を形
成することにより被検査物のリークを判断する。

【００２３】従って、請求項２記載の発明にあっては、
被検査物内部の空隙と、被検査物と検査容器との間に形
成される空隙との間には圧力差が形成されていることか
ら、被検査物に孔部、クラック等が存在した場合には、
圧力の高い方から低い方へ向かって、被検査物から上記
空隙へ又は、上記空隙から被検査物内へ気体の移動が発
生し、上記流量計はこの気体の移動の流れを検知するこ
とから、このような気体の移動が発生した場合には、リ
ークが存在することが判明する。

【００２４】その結果、請求項２記載の発明にあって
は、検査対象となる、被検査物と検査容器との間の空隙
の容積は被検査物内の容積よりも小さいことから、被検
査物そのものに圧力を供給してリーク検査を行う場合に
比し、被検査物にリークが存在した場合に発生する気体
の移動を流量計が検知しやすいことから、迅速にリーク
検査を行うことができる。

【００２５】請求項３記載の発明にあっては、内部に空
隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧
力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する
気体を流量計により検知し被検査物のリークの有無を判
断するリーク検査方法であって、上記被検査物に所定圧
力が供給された後に、上記被検査物へ上記所定圧力以上
の大きさの圧力を瞬間的に供給して被検査容器のリーク
の有無を判断することを特徴とする。

【００２６】従って、請求項３記載の発明にあっては、
上記被検査物に所定圧力が供給された後に、上記の所定
圧力よりもより大きな圧力が瞬間的に加えられた場合、
被検査物に孔部、クラック等がない場合には、圧力反動
により気体は圧力供給源方向へ向かって逆流する。ま
た、被検査物に孔部、クラック等が存在する場合には圧
力反動は小さいため逆流の程度は少なくなる。また、被
検査物に大きな孔部、クラック等が存在した場合には、
圧力は孔部等から被検査物外方へ逃げてしまい、逆流は
ほとんどなくなる。上記流量計は、圧力供給源方向へ逆
流する気体の流れを、圧力供給方向を正方向とした場
合、負の流量として検知する。

【００２７】この負方向の流量と実際のリーク値との間
には、上記のように一定の法則性があることから、請求
項３記載の発明にあっては、実際のリーク量全体を一定
時間をかけて測定することなく、迅速にリークの検査を
行うことができるものである。

【００２８】請求項４記載の発明にあっては、内部に空
隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の圧
力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入する
気体を流量計により検知し被検査物のリークの有無を判
断するリーク検査方法であって、上記被検査物へ供給さ
れる所定の圧力は負圧であることを特徴とする。

【００２９】なお、ここに「負圧」とは、大気圧以下の
圧力をいい、以下、「負圧」という場合には同様の意義
で用いる。

【００３０】従って、請求項４記載の発明にあっては、
被検査物へは負圧が供給されることから、断熱効果によ
り被検査物への周囲からの温度の影響は低減され、周囲
の環境による温度の影響の少ないリーク検査を行うこと
ができる。

【００３１】請求項５記載の発明にあっては、上記被検
査物は検査容器中に配置され、上記被検査物内へも負圧
が供給されていることを特徴とする。

【００３２】従って、請求項５記載の発明にあっては、
上記被検査物は検査容器中に配置され、上記被検査物内
へ負圧が供給されていると共に、検査容器と被検査物と
の間の空隙にも負圧が供給されており、被検査物内と検
査容器と被検査物との間の空隙との間では圧力差が形成
されていることから、被検査物にリークが存在する場合
には、被検査物と検査容器との間での気体の移動を流量
計が検知することとなる。

【００３３】その結果、請求項５記載の発明にあって
は、請求項４記載の発明の効果に加えて、負圧によるよ
り大きな断熱効果により、被検査物への周囲の環境の温
度の影響を低減することができる。

【００３４】請求項６記載の発明にあっては、被検査物
へ供給される圧力は真空であることを特徴とする。

【００３５】ここに「真空」とは、高度に減圧された状
態をいい、以下「真空」という場合には同様の意義であ
る。

【００３６】従って、請求項６記載の発明にあっては、
請求項４乃至５記載の発明の効果に加えて、被検査物へ
の周囲の環境の温度の影響をさらに確実に低減すること
ができる。

【００３７】請求項７記載の発明にあっては、気体の流
路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源と、
この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への圧力
供給を遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に設け
られた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密閉性
を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物
から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検
知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置であっ
て、上記被検査物内には、上記被検査物内部の空隙の容
積を減少させうると共に、被検査物内壁面部との間に所
定の空隙が形成される挿入部材が配置され、上記管路の
他端部は上記空隙内に配置されていることを特徴とす
る。

【００３８】従って、請求項７記載の発明にあっては、
上記被検査物内には被検査物内壁面部との間に所定の空
隙が形成される挿入部材が配置されていることから、被
検査物の内部の空隙の容積は上記挿入部材により減少さ
れ、その結果、リーク検査の対象となる被検査物の内部
容積は本来の内部容積よりも小さくなっている。

【００３９】そして、上記管路の他端部は被検査物と上
記挿入部材との間に形成される空隙内に配置されている
ことから、被検査物にリークが発生した場合にはこの管
路内を気体が流れ、この流れを流量計が感知する。

【００４０】その結果、請求項７記載の発明にあって
は、リークが発生した場合であっても、リーク量の判断
の基礎となる被検査物の容積そのものが上記挿入部材に
より減少されていることから、結果的に、検出対象とな
る気体の総量も減少しており、その分、リークによる気
体の流動が起こりやすい。従って、被検査物は大容量の
密閉性を要求される容器であっても、当該気体の流動を
流量計が検知するまでの時間を短縮でき、リーク検査時
間を大きく短縮することができる。

【００４１】請求項８記載の発明にあっては、気体の流
路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源と、
この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への圧力
供給を遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に設け
られた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密閉性
を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物
から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計により検
知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置であっ
て、上記被検査物内部の空隙の容積を減少させうると共
に被検査物内壁面部との間に所定の空隙が形成される挿
入部材と、被検査物を密閉しうると共に上記挿入部材と
の間に空隙を形成しうる蓋体とを備え、上記被検査物内
壁面部との間に所定の空隙と、上記挿入部材との間の空
隙とに所定圧力を供給してリーク検査を行うことを特徴
とする。

【００４２】従って、請求項８記載の発明にあっては、
被検査物内に上記挿入部材を挿入して被検査物内壁面部
との間に所定の空隙を形成すると共に、上記被検査物に
蓋体を密閉して装着することにより上記挿入部材との間
に空隙を形成し、被検査物内壁面部との間に形成された
所定の空隙及び上記蓋体と挿入部材との間の空隙に所定
圧力を供給する。これにより被検査物に孔部又はクラッ
ク等が存在する場合には、被検査物から上記孔部又はク
ラック等を介して気体が被検査物外方へ流出する。

【００４３】その結果、請求項８記載の発明にあって
は、請求項７記載の発明における場合と同様に、被検査
物にリークが発生した場合であっても、リーク量の判断
の基礎となる被検査容積そのものが上記挿入部材により
減少されていることから、結果的に、検出対象となる気
体の総量も減少しており、その分、リークによる気体の
流動が起こりやすい。従って、被検査物は大容量の密閉
性を要求される容器であっても、当該気体の流動を流量
計が検知するまでの時間を短縮でき、リーク検査時間を
大きく短縮することができる。

【００４４】請求項９記載の発明にあっては上記流量計
の下流側には、上記圧力供給源から供給されている圧力
よりも大きな圧力を瞬間的に被検査物へ供給しうる加圧
部を備えたことを特徴とする。

【００４５】従って、請求項９記載の発明にあっては、
上記被検査物に所定圧力が供給された後に、上記の所定
圧力よりもより大きな圧力が瞬間的に加えられた場合、
被検査物に孔部、クラック等がない場合には、圧力反動
により気体は圧力供給源方向へ向かって逆流する。ま
た、被検査物に孔部、クラック等が存在する場合には圧
力反動は小さいため逆流の程度は少なくなる。また、被
検査物に大きな孔部、クラック等が存在した場合には、
圧力は孔部等から被検査物外方へ逃げてしまい、逆流は
ほとんどなくなる。この場合、上記流量計は、圧力供給
源方向へ逆流する気体の流れを、圧力供給方向を正方向
の流量とした場合、負方向の流量として検知する。

【００４６】この負方向の流量と実際のリーク値との間
には、一定の法則性があることから、請求項９記載の発
明にあっては、実際のリーク量全体を一定時間をかけて
測定することなく、迅速にリークの検査を行うことがで
きるものである。

【００４７】請求項１０記載の発明にあっては、気体の
流路を構成する管路の一端部に設けられた圧力供給源
と、この圧力供給源の下流側に設けられ、被検査物への
圧力供給を遮断しうる遮断弁と、この遮断弁の下流側に
設けられた流量計とを備え、内部に空隙を有し所定の密
閉性を要求される被検査物へ所定の圧力を供給し、被検
査物から流出又は被検査物へ流入する気体を流量計によ
り検知し被検査物のリークを判断するリーク検査装置で
あって、上記被検査物は検査容器内に収納されており、
上記管路の他端部は上記検査容器を貫通して、被検査物
と上記検査容器との間の、被検査物内の容積よりも小さ
な容積からなる空隙内に配置されていることを特徴とす
る。

【００４８】従って、請求項１０記載の発明にあって
は、上記被検査物は検査容器中に配置され、上記検査容
器内へも所定の圧力が供給されていることから、被検査
物にリークが存在する場合には、被検査物外壁を介して
被検査物と検査容器との間での気体の移動を流量計が検
知することとなる。

【００４９】その結果、請求項１０記載の発明にあって
は、被検査物と上記検査容器との間の、被検査物内の容
積よりも小さな容積からなる空隙を介して流量計により
気体の流動を検知してリーク検査を行うものであること
から、被検査物そのものに加圧してリーク検査を行う場
合に比して迅速にリーク検査を行うことができる。

【００５０】請求項１１記載の発明にあっては、上記管
路の第１の他端部は被検査物内に配置されると共に、上
記管路の第２の他端部は検査容器と被検査物との間に形
成される、被検査物の容積よりも小さな容積の空隙に配
置され、上記被検査物内の空隙と上記空隙内との間には
圧力差が形成されるように上記管路から圧力が供給さ
れ、上記管路の第２の他端部を介して上記流量計は気体
の流動を検知するように構成されていることを特徴とす
る。

【００５１】従って、請求項１１記載の発明にあって
は、被検査物に孔部又はクラック等が存在する場合に
は、被検査物の壁部を介して被検査物内部の空隙と検査
容器と被検査物との間の空隙との間で気体の流動があ
り、流量計は上記第２の他端部を介してこの気体の流動
を検知する。

【００５２】その結果、請求項１１記載の発明にあって
は、上記管路の第２の他端部は検査容器と被検査物との
間の空隙に開口しており、検査容器と被検査物との間の
空隙は被検査物内の容積よりも小さく形成されているこ
とから、被検査物そのものを対象として気体の流動を測
定してリーク検査を行う場合よりも迅速に気体の流動を
計測することができ、短時間でリーク検査を行うことが
できる。

【００５３】請求項１２記載の発明にあっては、上記被
検査物内又は検査容器と被検査物との間の空隙のいずれ
か一方には負圧が供給されることを特徴とする。

【００５４】従って、請求項１２記載の発明にあって
は、検査容器内に収納された被検査物又は検査容器と被
検査物との間のいずれか一方には負圧が供給されている
ことから、被検査物に孔部又はクラック等が存在する場
合には、被検査物の壁部を介して被検査物内部の空隙と
検査容器と被検査物との間の空隙との間で気体の流動が
あり、流量計はこの気体の流動を検知する。

【００５５】その結果、請求項１２記載の発明にあって
は、被検査物又は検査容器と被検査物との間の空隙には
負圧が供給されていることから、断熱効果により外部の
温度の被検査物への影響を減少することができ、正確な
リーク検査を行うことができる。

【００５６】請求項１３記載の発明にあっては、上記被
検査物内及び検査容器と被検査物との間の空隙には真空
が供給されることを特徴とする。

【００５７】従って、請求項１３記載の発明にあって
は、被検査物及び検査容器と被検査物との間の空隙には
真空が供給されていることから、より大きな断熱効果を
奏することができ、被検査物への外部の環境温度の影響
を低減することができる。

【００５８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に示す実施の形態に
基づき、本発明を詳細に説明する。

【００５９】図１に示すように、本実施の形態に係るリ
ーク検査装置１０は、気体の流路を構成する管路１１の
一端部に設けられた圧力供給源１２と、この圧力供給源
１２の下流側に設けられ、被検査物１４へ供給される圧
力を所定の圧力に調整する圧力調整弁１３と、この圧力
調整弁１３の下流側に設けられ、被検査物１４への圧力
供給を遮断しうる第１の遮断弁１５と、この第１の遮断
弁１５の下流側に設けられ、被検査物１４への圧力供給
の遮断しうる第２の遮断弁１６とを有する。本実施の形
態にあっては、被検査物１４は例えば、ドラム缶等の大
容量の容器であって、このような大容量の容器のリーク
の有無を検査するように構成されている。

【００６０】本実施の形態に係るリーク検査装置１０
は、図１に示すように、圧力供給源１２から被検査物１
４へ至る主管路３４と、上記第２の遮断弁１６を迂回
し、上記第２の遮断弁１６の上流側１７と下流側１８と
を接続したバイパス管路１９とにより構成され、このバ
イパス管路１９には流量計２０が配設され、本実施の形
態にあっては、上記流量計２０は質量流量計からなり、
バイパス管路１９における気体の流量を直接に計測でき
るように構成されている。

【００６１】なお、本実施の形態にあっては、管路１１
における、下流側管路３５と検査用管路２８との接続部
位９３の下流側には第３の遮断弁４３が設けられ、リー
ク検査終了の際に被検査物１４に供給された所定の圧力
を大気に排出し、初期状態に戻すことができるように形
成されている。

【００６２】また、本実施の形態にあっては、上記被検
査物１４である大容量容器の内部には、容器の内部容積
を減少させうる挿入部材２１が配置固定されている。こ
の挿入部材２１の断面形状は上記大容量の容器の断面形
状と同一であって、本実施の形態にあっては、大容量の
容器の内径よりも小さく形成された外径を有する円筒状
に形成され、上端部周縁にはフランジ部９０が形成され
ている。このフランジ部９０の裏面側には適宜の構成か
らなるパッキン９１が設けられ、被検査物１４内に挿入
された際には、被検査物１４の開口上端部に気密的に圧
接しうるように構成されている。

【００６３】リーク検査時には、この挿入部材２１は、
固定用ロッド２３及び、この固定用ロッド２３を締結す
るスクリュー２４，２４により構成される固定部材２５
により、基板２２に固定される。

【００６４】従って、上記挿入部材２１が被検査物１４
である大容量容器内に挿入配置された場合には、被検査
物１４である大容量容器の内側面３１と挿入部材２１の
外側面３２との間には所定間隔の空隙３３が形成される
ように構成されている。

【００６５】この挿入部材２１の底面部２６には上記管
路１１を構成する検査用管路２８の先端部２７が挿通さ
れる孔部２９が開設され、上記検査用管路２８の先端部
２７は上記孔部２９に気密状態で挿通固定され、上記検
査用管路２８の先端開口部３０は上記空隙３３内に配置
されている。

【００６６】以下、本実施の形態に係るリーク検査装置
１０を使用して被検査物１４のリーク検査を行う手順を
説明する。

【００６７】まず、上記のように、被検査物である、例
えば、蓋を外し、開口した大容量の容器を基板２２上に
載置し、上記挿入部材２１を開口部３６から大容量の容
器内へ、気密状態で挿入配置する。この場合、大容量の
容器の内側面３１と挿入部材２１の外側面３２との間に
は、所定幅の空隙３３が被検査物１４外部及び挿入部材
２１外部とは気密となる状態で形成される。

【００６８】その後、管路１１を構成する検査用管路２
８の先端部２７を挿入部材２１の底面部２６に開設され
た孔部２９に気密状態で挿通させて、先端開口部３０を
上記空隙３３内に配置させる。

【００６９】次に、第２の遮断弁１６を開放した状態
で、上記第１の遮断弁１５を開放して圧力供給源１２か
らの所定の圧力を第２の遮断弁１６を介して被検査物１
４に至る管路１１に供給し、その後、上記第２の遮断弁
１６を閉止する。これにより第２の遮断弁１６の下流側
管路３５及びバイパス管路１９によりリーク検査回路３
９が形成される。

【００７０】従って、上記圧力供給源１２からの圧力の
供給により、被検査物１４と挿入部材２１との間の空隙
３３内も加圧されていることから、上記被検査物１４で
ある大容量容器に孔部又はクラック等が大容量の容器の
底面部３７又は側面部３８に形成されていた場合には、
空隙３３内の空気はクラック等から被検査物１４外方へ
流出する。

【００７１】その結果、上記リーク検査回路３９内に図
１中、矢印A方向に移動する気体の流れが発生し、上記
バイパス管路１９に設けられた質量流量計２０はこの気
体の流れを検知し、所定のリーク流量を計測する。

【００７２】これにより当該被検査物１４における一定
時間におけるリーク量が判明することから、当該被検査
物１４である大容量の容器に許容されるリーク量である
か否か、を容易に検査することができる。

【００７３】この場合、実施の形態に係るリーク１０に
あっては、大容量の容器をそのままリーク検査した場合
には、気体の圧縮性、粘性により、所定の時間が必要と
なるものであるが、被検査物１４内に挿入部材２１が挿
入され、被検査物１４である大容量の容器本来の内部容
積よりも小さな体積の空隙３３によりリーク検査が行わ
れることから、リーク検査の基礎となる、被検査物１４
内に収納される気体の容積を縮小することができ、その
結果、リーク検査に要する時間を短縮でき、特に、例え
ば、ドラム缶のような大容量の密閉性を要求される容器
にあっても、リーク検査に要する時間を短縮することが
できる。

【００７４】図２には本発明に係るリーク検査装置の他
の実施の形態を示す。

【００７５】本実施の形態に係るリーク検査装置４０に
あっては、被検査物１４へ圧力供給源１２以上の圧力を
瞬間的に供給しうる加圧装置４１が設けられている。

【００７６】この加圧装置４１は、下流側管路３５とバ
イパス管路１９との接続部位９４において加圧用管路４
２により、加圧装置４１から被検査物１４への圧力供給
を制御する第４の遮断弁９２を介して主管路３４に接続
されている。また、主管路３４の圧力供給源１２とは反
対側の端部には第３の遮断弁４３が設けられている。

【００７７】上記以外の構成は前記実施の形態に係るリ
ーク検査装置１０と同一である。前記第１の実施の形態
に係るリーク検査装置１０の場合と同一部材には同一符
号を付して説明を省略する。

【００７８】本実施の形態に係るリーク検査装置４０に
よりリーク検査を行う場合には、上記圧力供給源１２か
らの所定の圧力が主管路３４を介して被検査物１４であ
る大容量容器へ供給され、上記第２の遮断弁１６を閉止
することにより第２の遮断弁１６の下流側管路３５及び
バイパス管路１９によりリーク検査回路３９が形成され
た後、上記加圧装置４１を作動させ、第４の遮断弁９２
を開放し、圧力供給源１２により供給されている圧力の
大きさ以上の大きさの圧力を、瞬間的に、被検査物１４
へ供給する。

【００７９】この場合、被検査物１４に孔部、クラック
等がない場合には、圧力反動により気体はリーク検査回
路３９内を矢印Ｂ方向へ向かって瞬間的に流動する。こ
の圧力供給源１２方向へ逆流する気体の流れを、圧力供
給方向を正方向とした場合、負の流量として流量計２０
は検知する。従って、リーク検査において流量計２０が
負の流量を検知した場合には、被検査物１４にはリーク
が存在しないこととなる。

【００８０】また、被検査物１４に小規模の孔部、クラ
ック等が存在する場合には、上記加圧装置４１からの圧
力供給があった場合における圧力反動は小さいため、流
量計２０が計測する、Ｂ方向への気体の流動の程度は少
なくなる。

【００８１】さらに、被検査物１４に大きな孔部、クラ
ック等が存在した場合には、上記加圧装置４１から供給
された圧力は孔部等から被検査物１４外方へ逃げてしま
い、Ｂ方向への気体の流動はほとんどなくなり、Ａ方向
への気体の流動を、正の流量として流量計２０に検知さ
れる。

【００８２】従って、このような流量計２０の流量の計
測結果から、被検査物１４のリークの有無及び、許容さ
れるリークであるか否か、を検査することができる。

【００８３】例えば、このような矢印Ｂ方向への気体の
逆流は、本実施の形態におけるように、別途、加圧装置
４１を配設した場合に限らず、例えば、第２の遮断弁１
６がリフトアップバルブにより形成されている場合に、
上記圧力供給源１２からの所定の圧力が主管路３４を介
して被検査物１４へ供給され、その後、リーク検査回路
３９を形成するために上記第２の遮断弁１６を閉止した
場合にも発生する。

【００８４】即ち、このようなリフトアップバルブの場
合には、バルブ閉止時には弁体が管路内へ進入するよう
に構成されていることから、バルブ閉止により主管路３
４内の圧力は上昇し、リーク検査回路３９へ所定の圧力
を供給することと同一の結果となる。

【００８５】図３には、上記実施の形態に係るリーク検
査装置１０において第２の遮断弁１６にリフトアップバ
ルブを使用した場合における気体の流量を時間の経過と
共に表すグラフを示す。

【００８６】この場合、図３に示すグラフにおいて判る
ように、気体の流量は第１の遮断弁１５及び第２の遮断
弁１６を開放した時点（a）で最大となり、その後、空
隙３３内の圧力が圧力調整弁１３により設定された圧力
に到達した場合には、第２の遮断弁１６を開放した状態
の時点（ｂ）で流動は略停止する。その後、リフトアッ
プバルブからなる第２の遮断弁１６を閉止した時点
（ｃ）で、上記事情によりリーク検査回路３９を介して
被検査物１４に加圧された状態となることから、グラフ
上マイナスの流量として表れる、図１に示す矢印Ｂ方向
への気体の逆流が発生する。

【００８７】その後、一定時間の経過後、この逆流は停
止して流量は０に戻り（ｄ）、被検査物１４にリークが
発生していることから、図１に示す矢印Ａ方向への気体
の流動がリーク量として現れることとなる（ｅ）。

【００８８】また、表１には、図５に示すリーク検査装
置６０を用いて、検査容器６５と被検査物との間に形成
される空隙が３５００ccの容量の被検査容器をリーク検
査した場合におけるデータを示す。この場合、被検査物
１４と検査容器６５との間の圧力差は０．０２ＭＰaで
ある。

【００８９】

【表１】 上記表１から明らかなように、被検査物の実際のリーク
値を示す「被検査物リーク値」と上記瞬間的な加圧の際
に発生する負の流量である「反転流量」との間には一定
の法則性が存在することが試験の結果、把握されてお
り、この「反転流量」を測定することにより、「実際の
リークを計測するまでの時間」と、「（ｃ）〜（ｄ）間
の時間」と比した場合、実際のリークを計測するまで所
定時間待つことなく、非常に短時間でリークの判断を行
えることが判る。

【００９０】なお、上記第２の遮断弁１６がボール型弁
の場合には、リーク検査回路における圧力の変動は発生
しないことから、上記反転流量は０であることが実験の
結果判明している。これを表２に示す。

【００９１】

【表２】 なお、本実施の形態にあっては、別個に設けた加圧手段
４１を主管路３４に接続し、被検査装置１４に圧力を瞬
間的に供給する場合を例に説明したが、上記実施の形態
に限定されず、被検査装置１４に所定圧力を瞬間的に供
給しうるように構成されていればよく、上記のように、
遮断弁をリフトアップバルブにより構成したものであっ
てもよい。

【００９２】また、図４には、本発明に係るリーク検査
装置の他の実施の形態示す。本実施の形態に係るリーク
検査装置１００にあっては、上記被検査物１４内部の空
隙の容積を減少させうると共に被検査物１４の内壁面部
９５との間に所定の空隙９６が形成される挿入部材９７
と、被検査物１４を密閉しうると共に上記挿入部材９７
との間に空隙９６を形成しうる蓋体９８とを備え、上記
被検査物内壁面部９５との間の所定の空隙９６と、上記
挿入部材との間の空隙９９とに所定圧力を供給してリー
ク検査を行うように構成されている。その他の構成は図
１に示す実施の形態に係るリーク検査装置１０と同一で
ある。

【００９３】従って、本実施の形態に係るリーク検査装
置１００にあっては、被検査物１４内に上記挿入部材９
７を挿入して被検査物１４の内壁面部９５との間に所定
の空隙９６を形成すると共に、上記被検査物１４に蓋体
９８を密閉して装着することにより上記挿入部材９７と
の間に空隙９９を形成し、被検査物１４の内壁面部９５
との間に形成された所定の空隙９６及び上記蓋体９８と
挿入部材９７との間の空隙９９に所定圧力を供給する。
これにより被検査物に孔部又はクラック等が存在する場
合には、被検査物から上記孔部又はクラック等を介して
気体が被検査物外方へ流出する。

【００９４】その結果、本実施の形態にあっては、被検
査物１４にリークが発生した場合であっても、リーク量
の判断の基礎となる被検査容積そのものが上記挿入部材
９７により減少されていることから、結果的に、検出対
象となる気体の総量も減少しており、その分、被検査物
からのリークによる、リーク検査回路３９内における気
体の相対的流動を流量計２０が検知しやすい。

【００９５】従って、被検査物１４は大容量の密閉性を
要求される容器であっても、当該気体の流動を流量計２
０が検知するまでの時間を短縮でき、リーク検査時間を
大きく短縮することができる。

【００９６】また、図１に示すような、被検査物１４の
基板２２への固定部材２５を設ける必要がなく、リーク
検査の際には、被検査物１４内へ挿入部材９７を適宜挿
入すると共に、蓋体９８を被検査物１４に被覆するのみ
でよく、迅速にリーク検査を行うことができる。

【００９７】図５は、本発明に係るリーク検査装置の第
４の実施の形態を示す。本実施の形態に係るリーク検査
装置６０にあっては、基本的構成は第１の実施の形態に
係るリーク検査装置１０と同一であるが、本実施の形態
にあっては、主管路６３の基端部には圧力供給源として
真空ポンプ６２が配設されると共に、主管路６３には真
空蓄圧タンク６４が配設され、これら真空ポンプ６２及
び真空蓄圧タンク６４から被検査物１４に真空が供給さ
れるように構成されている。なお、上記真空蓄圧タンク
６４は被検査物１４への圧力供給の安定化のために使用
されるものである。

【００９８】また、検査容器６５は被検査物１４よりも
大容量に形成され、上記被検査物１４は検査容器６５内
に密封して配置されており、被検査物１４との間には所
定間隔の空隙６８が形成されるように構成され、上記主
管路の先端部６６は上記検査容器６５を貫通して、先端
部６６の開口端部６７は、上記空隙６８内に配置されて
いる。上記検査容器６５は、被検査物１４を収納した場
合に被検査物１４内の空隙１０９の容積よりも小さな容
積の空隙６８を被検査物１４の周囲に形成しうる容積を
備えている。

【００９９】その結果、本実施の形態に係るリーク検査
装置６０にあっては、被検査物１４と上記検査容器６５
との間の、被検査物１４内の空隙１０９容積よりも小さ
な容積からなる空隙６８を介して流量計２０により気体
の流動を検知してリーク検査を行うものであることか
ら、被検査物１４そのものに加圧してリーク検査を行う
場合に比して迅速にリーク検査を行うことができる。

【０１００】従って、本実施の形態にあっては、被検査
物１４には真空ポンプ６２から真空が主管路６３を介し
て供給されると共に、圧力安定化のために必要に応じて
真空蓄圧タンク６４からも真空が供給される。その他の
構成は、圧力調整弁が設けられていない点を除けば、第
１の実施の形態及び第２の実施の形態に係るリーク検査
装置１０，４０と略同一である。

【０１０１】従って、本実施の形態に係るリーク検査装
置６０を使用してリーク検査を行う場合には、被検査容
器１４を検査容器６５内に収納し、主管路６３の先端部
６６の開口端部６７を被検査物１４と検査容器６５との
間の空隙６８内に配置する。

【０１０２】その後、第２の遮断弁１６を開放した状態
で、上記第１の遮断弁１５を開放して真空ポンプ６２か
ら真空を第２の遮断弁１６に至る管路に供給し、その
後、第２の遮断弁１６を開放した後、第１の遮断弁１５
を閉止して検査容器６５と被検査物１４との空隙６８へ
所定圧力の真空を供給し、その後、上記第２の遮断弁１
６を閉止する。これにより第２の遮断弁１６の下流側管
路３５及びバイパス管路１９によりリーク検査回路３９
が形成される。

【０１０３】この場合、被検査物１４内は大気圧である
と共に、上記検査容器６５と被検査物１４との間の空隙
６８には真空が供給されていることから、上記被検査物
１４に孔部又はクラック等が形成されていた場合には、
破線１０６で示す矢印の方向での被検査物１４から上記
空隙６８への気体の流動が発生し、リーク検査回路３９
においては矢印Ｂ方向への気体の流動が発生する。この
気体の流動を負の流量として流量計２０が検知すること
により、リークの有無、及びリーク量を計測する。

【０１０４】その結果、本実施の形態に係るリーク検査
装置６０にあっては、被検査物１４と上記検査容器６５
との間の、被検査物１４内の容積よりも小さな容積から
なる空隙６８を介して流量計２０により気体の流動を検
知してリーク検査を行うものであることから、被検査物
１４そのものに加圧してリーク検査を行う場合に比して
迅速にリーク検査を行うことができる。

【０１０５】また、本実施の形態に係るリーク検査装置
６０にあっては検査容器６５内の空隙６８へは真空が供
給されるように構成されていることから、真空の断熱効
果により被検査物１４への周囲からの温度の影響は低減
され、周囲の環境による温度の影響の少ないリーク検査
を行うことができる。

【０１０６】また、上記実施の形態にあっては、検査容
器６５の空隙６８に真空を供給して検査容器６５からの
空気の流入により被検査物１４のリークの検査を行うよ
うに構成されている場合を例に説明したが、上記実施の
形態に限定されず、検査容器６５の空隙６８に所定の正
圧を供給するように構成してもよく、上記実施の形態に
は限定されない。

【０１０７】また、図６には、本発明に係るリーク検査
装置の第４の実施の形態を示す。

【０１０８】本実施の形態に係るリーク検査装置７０
は、基本的なリーク検査装置の構成は上記第３の実施の
形態におけるリーク検査装置６０と同様であるが、本実
施の形態にあっては、主管路６３の先端部は２つに分岐
されており、第１先端部７１は検査容器６５に気密状態
で接合され先端開口部７２は被検査物１４との間の空隙
６８内に配置されていると共に、第２先端部７３は検査
容器６５を貫通して被検査物１４に接合されており、先
端開口部７４は被検査物１４の空隙１１０内に配置され
ている。また、検査容器６５には圧力計７８が取り付け
られ、上記空隙６８内の気圧を測定しうるように構成さ
れている。

【０１０９】上記第１先端部７１には大気に開放されて
いる分岐管路１０１が設けられ、この分岐管路１０１に
は第５の遮断弁１０３が配設されている。一方、上記第
２先端部７３には同様に大気に開放されている分岐管路
１０２が設けられ、この分岐管路１０２には第６の遮断
弁１０４が配設されており、この分岐管路１０２には圧
力計１０５が設けられ、被検査物１４内の圧力を計測し
うるように構成されている。

【０１１０】また、上記主管路６３には第1の遮断弁１
５、第2の遮断弁１６が配設されていると共に、リーク
検査回路３９には、バイパス管路１９と主管路６３との
接合部７７よりも下流側には第3の遮断弁７５が配設さ
れており、さらに、第１先端部７１には分岐管路１０１
の接合部位１１１よりも上流側には第４の遮断弁７６が
配設されていると共に、上記第２先端部７３には分岐管
路１０２の接合部位１１２よりも上流側には第７の遮断
弁１０８が設けられている。

【０１１１】このように構成されたリーク検査装置７０
を用いて被検査物１４のリーク検査を行う場合には、前
記実施の形態にかかるリーク検査装置６０の場合と同様
に、被検査装置１４を検査容器６５内に収納し、上記第
２先端部７３を、検査容器６５の上面部６９を気密状態
で貫通させて被検査装置１４に接合し、開口端部７４を
被検査装置１４内の空隙１１０内に配置する。なお、こ
の場合、分岐管路１０１及び分岐管路１０２に配設され
た第５の遮断弁１０３及び第６の遮断弁１０４は予め閉
止しておく。

【０１１２】その後、第１の遮断弁１５、第２の遮断弁
１６、第３の遮断弁７５及び第４の遮断弁７６を開放す
ると共に、上記第２先端部７３の第７の遮断弁１０８を
閉止した状態で、真空ポンプ６２から真空を主管路６３
に供給し、第１先端部７１を介して検査容器６５内の被
検査物１４との空隙６８内に真空を供給する。そして、
圧力計７８により、検査容器６５内の空隙６８内の気圧
が一定の気圧の真空になっていることを確認する。な
お、第４の遮断弁７６は閉止する。

【０１１３】その後、上記第２先端部７３に配設された
第７の遮断弁１０８を開放し、上記圧力計７８により計
測された空隙６８における真空よりもさらに低い気圧の
真空を真空蓄圧タンク６４から主管路６３及び主管路６
３の第２先端部７３を介して被検査装置１４内に供給す
る。従って、被検査装置１４内には検査容器６５よりも
より減圧された真空が供給されることとなる。この被検
査装置１４へ供給される負圧を真空蓄圧タンク６４に取
り付けられた圧力計８１及び第２先端部７３に配設され
た真空ポンプ１０５により計測しておき、被検査装置１
４と検査容器６５内の空隙６８との間の差圧を確認し、
その後、第７の遮断弁１０８を閉止すると共に第１先端
部７１の上記第４の遮断弁７６を開放する。

【０１１４】この場合、同時に上記第４の遮断弁７６及
び第７の遮断弁１０８を開放し、その後、真空の気圧が
所定値に至った際に上記第４の遮断弁７６を閉止しても
よい。このように同時に上記第４の遮断弁７６及び第７
の遮断弁１０８を開放して、被検査物１４及び検査容器
６５の双方へ同時に真空を供給した場合には、被検査物
１４が、例えば、肉厚が薄く形成されているような場合
にも、被検査物１４の形状を圧力変形させることなくリ
ーク検査を行うことが可能となる。

【０１１５】この第７の遮断弁１０８の閉止及び上記第
４の遮断弁７６の開放により第１先端部７１からバイパ
ス管路１９を経て流量計２０へ至るリーク検査回路３９
が形成される。

【０１１６】従って、上記被検査物１４に孔部又はクラ
ック等が形成されていた場合には、上記空隙６８から被
検査物１４内への気体の流動が発生し、リーク検査回路
３９においては矢印 Ａ 方向への気体の流動が発生す
る。この気体の流動を正の流量として流量計２０が検知
することにより、リークの有無、及びリーク量を計測す
る。

【０１１７】従って、本実施の形態に係るリーク検査装
置７０にあっては、被検査物１４と上記検査容器６５と
の間の、被検査物１４内の容積よりも小さな容積からな
る空隙６８を介して流量計２０により気体の流動を検知
してリーク検査を行うものであることから、他の実施の
形態における場合と同様に、被検査物１４そのものに加
圧してリーク検査を行う場合に比して迅速にリーク検査
を行うことができる。

【０１１８】本実施の形態に係るリーク検査装置７０に
あっては被検査物１４へは真空が供給されると共に、検
査容器６５へも真空が供給されていることから、図５に
示す実施の形態に係るリーク検査装置６０の場合に比
し、さらに真空の断熱効果は大きくなり、より確実に被
検査物１４への周囲からの温度の影響は低減され、周囲
の環境による温度の影響のより少ないリーク検査を行う
ことができる。

【０１１９】また、上記第４の実施の形態にあっては、
に真空を供給すると共に、被検査装置１４には検査容器
６５よりも減圧された真空を供給する場合を例に説明し
たが、上記実施の形態には限定されず、検査容器６５の
方が被検査装置１４よりも減圧されていてもよく、上記
実施の形態には限定されない。

【０１２０】また、上記各実施の形態にあっては、流量
計として質量流量計を使用した場合を例に説明したが上
記各実施の形態に限定されず、他の形式の流量計を使用
してもよい。

【０１２１】

【発明の効果】請求項１及び２記載の発明にあっては、
リーク検査に要する時間を短縮すると共に、大容量の密
閉性を要求される容器であってもリーク検査を容易かつ
迅速に行うことができる流量計を用いたリーク検査方法
を提供することができる。

【０１２２】また、請求項３記載の発明にあっては、よ
り迅速にリーク検査を行うことができるリーク検査方法
を提供することができる。

【０１２３】また、請求項４乃至６記載の発明にあって
は、被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減する
ことができるリーク検査方法を提供することができる。

【０１２４】また、請求項７，８，１０及び１１記載の
発明にあっては、リーク検査に要する時間を短縮すると
共に、大容量であって密閉性を要求される容器のリーク
検査を容易に行うリーク検査装置を提供することができ
る。

【０１２５】また、請求項９記載の発明にあっては、リ
ーク検査に要する時間をより短縮しうると共に、大容量
であって密閉性を要求される容器のリーク検査を容易に
行うリーク検査装置を提供することができる。

【０１２６】また、請求項１２記載の発明にあっては、
被検査物に対する環境温度の影響を有効に低減すること
ができるリーク検査装置を提供することができる。

【０１２７】また、請求項１３記載の発明にあっては、
より確実に被検査物に対する温度の影響を低減すること
ができるリーク検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るリーク検査装置の第１の実施の
形態を示す概念図である。

【図２】 本発明に係るリーク検査装置の第２の実施の
形態を示す概念図である。

【図３】 本発明に係るリーク検査装置の第１の実施の
形態に相当するリーク検査装置であって、遮断弁にリフ
トアップバルブを使用したリーク検査装置を使用してリ
ーク検査を行った場合における気体の流動状態を示すグ
ラフである。

【図４】 本発明に係るリーク検査装置の一実施の形態
であって、挿入部材の他の実施の形態を示す図である。

【図５】 本発明に係るリーク検査装置の第３実施の形
態を示す概念図である。

【図６】 本発明に係るリーク検査装置の第４実施の形
態を示す概念図である。

【符号の説明】

１０ リーク検査装置 １１ 管路 １２ 圧力供給源 １３ 圧力調整弁 １４ 被検査物 １５ 第１の遮断弁 １６ 第２の遮断弁 １７ 上流側 １８ 下流側 １９ バイパス管路 ２０ 流量計 ２１ 挿入部材 ２２ 基板 ２３ 固定用ロッド ２４ スクリュー ２５ 固定部材 ２６ 底面部 ２７ 先端部 ２８ 検査用管路 ２９ 孔部 ３０ 先端開口部 ３１ 内側面 ３２ 外側面 ３３ 空隙 ３４ 主管路 ３５ 下流側管路 ３６ 開口部 ３７ 底面部 ３８ 側面部 ３９ リーク検査回路 ４０ リーク検査装置 ４１ 加圧装置 ４２ 加圧用管路 ４３ 第三の遮断弁 ６０ リーク検査装置 ６２ 真空ポンプ ６３ 主管路 ６４ 真空蓄圧タンク ６５ 検査容器 ６６ 先端部 ６７ 開口端部 ６８ 空隙 ６９ 上面部 7０ リーク検査装置 ７１ 第１先端部 ７２ 先端開口部 ７３ 第２先端部 ７４ 開口端部 ７５ 第３の遮断弁 ７６ 第４の遮断弁 ７７ 接合部 ７８ 圧力計 ７９ 圧力調整弁 ８０ 圧力調整弁 ８１ 圧力計 ９０ フランジ部 ９１ パッキン ９２ 第４の遮断弁 ９３ 接続部位 ９４ 接続部位 ９５ 内壁面部 ９６ 空隙 ９７ 挿入部材 ９８ 蓋体 ９９ 空隙 １００ リーク検査装置 １０１ 分岐管路 １０２ 分岐管路 １０３ 第５の遮断弁 １０４ 第６の遮断弁 １０５ 圧力計 １０６ 矢印 １０７ 矢印 １０８ 第７の遮断弁 １０９ 空隙 １１０ 空隙 １１１ 接合部位 １１２ 接合部位

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三室 公厚 東京都台東区東上野２丁目19番３号 第２ 吉沢ビル４階 ガスミックス工業株式会社 内 Ｆターム(参考） 2G067 AA44 BB03 BB04 DD03 DD04

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に空隙を有し所定の密閉性を要求さ
   れる被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出
   又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検
   査物のリークを判断するリーク検査方法であって、上記
   被検査物の空隙の容積を減縮して被検査物のリークを判
   断することを特徴とするリーク検査方法。
2. 【請求項２】 内部に空隙を有し所定の密閉性を要求さ
   れる被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出
   又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検
   査物のリークを判断するリーク検査方法であって、被検
   査物を収納した場合に被検査物の容積よりも小さな容積
   の空隙を被検査物の周囲に形成しうる容積を備えた検査
   容器内に上記被検査物を収納し、被検査物内部の空隙
   と、被検査物と検査容器との間の空隙の間に圧力差を形
   成することにより被検査物のリークを判断することを特
   徴とするリーク検査方法。
3. 【請求項３】 内部に空隙を有し所定の密閉性を要求さ
   れる被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出
   又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検
   査物のリークを判断するリーク検査方法であって、上記
   被検査物に所定圧力が供給された後に、上記被検査物
   へ、上記所定圧力以上の大きな圧力を瞬間的に供給して
   被検査容器のリークを判断することを特徴とする請求項
   １又は２記載のリーク検査方法。
4. 【請求項４】 内部に空隙を有し所定の密閉性を要求さ
   れる被検査物へ所定の圧力を供給し、被検査物から流出
   又は被検査物へ流入する気体を流量計により検知し被検
   査物のリークを判断するリーク検査方法であって、上記
   被検査物へ供給される所定の圧力は負圧であることを特
   徴とする請求項１または２記載のリーク検査方法。
5. 【請求項５】 上記被検査物は検査容器中に配置され、
   上記検査容器内へも負圧が供給されていることを特徴と
   する請求項４記載のリーク検査方法。
6. 【請求項６】 上記被検査物へ供給される圧力は真空で
   あることを特徴とする請求項４又は５記載のリーク検査
   方法。
7. 【請求項７】 気体の流路を構成する管路の一端部に設
   けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設け
   られ、被検査物への圧力供給を遮断しうる遮断弁と、こ
   の遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部に
   空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の
   圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入す
   る気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断す
   るリーク検査装置であって、上記被検査物内には、上記
   被検査物内部の空隙の容積を減少させうると共に、被検
   査物内壁面部との間に所定の空隙が形成される挿入部材
   が配置され、上記管路の他端部は上記空隙内に配置され
   ていることを特徴とするリーク検査装置。
8. 【請求項８】 気体の流路を構成する管路の一端部に設
   けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設け
   られ、被検査物への圧力供給を遮断しうる遮断弁と、こ
   の遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部に
   空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定の
   圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入す
   る気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断す
   るリーク検査装置であって、上記被検査物内部の空隙の
   容積を減少させうると共に被検査物内壁面部との間に所
   定の空隙が形成される挿入部材と、被検査物を密閉しう
   ると共に上記挿入部材との間に空隙を形成しうる蓋体と
   を備え、上記被検査物内壁面部との間に所定の空隙と、
   上記挿入部材との間の空隙とに所定圧力を供給してリー
   ク検査を行うことを特徴とする請求項７記載のリーク検
   査装置。
9. 【請求項９】 上記流量計の下流側には、上記圧力供給
   源から供給されている圧力よりも大きな圧力を瞬間的に
   被検査物へ供給しうる加圧部を備えたことを特徴とする
   請求項７又は８記載のリーク検査装置。
10. 【請求項１０】 気体の流路を構成する管路の一端部に
    設けられた圧力供給源と、この圧力供給源の下流側に設
    けられ、被検査物への圧力供給を遮断しうる遮断弁と、
    この遮断弁の下流側に設けられた流量計とを備え、内部
    に空隙を有し所定の密閉性を要求される被検査物へ所定
    の圧力を供給し、被検査物から流出又は被検査物へ流入
    する気体を流量計により検知し被検査物のリークを判断
    するリーク検査装置であって、上記被検査物は検査容器
    内に収納されており、上記管路の他端部は上記検査容器
    を貫通して、被検査物と上記検査容器との間の、被検査
    物内の容積よりも小さな容積からなる空隙内に配置され
    ていることを特徴とするリーク検査装置。
11. 【請求項１１】 上記管路の第１の他端部は被検査物内
    に配置されると共に、上記管路の第２の他端部は検査容
    器と被検査物との間に形成される、被検査物の容積より
    も小さな容積の空隙に配置され、上記被検査物内の空隙
    と上記空隙内との間には圧力差が形成されるように上記
    管路から圧力が供給され、上記管路の第２の他端部を介
    して上記流量計は気体の流動を検知するように構成され
    ていることを特徴とする請求項９記載のリーク検査装
    置。
12. 【請求項１２】 上記被検査物内又は検査容器と被検査
    物との間の空隙のいずれか一方には負圧が供給されるこ
    とを特徴とする請求項１０又は１１記載のリーク検査装
    置。
13. 【請求項１３】 上記被検査物内及び検査容器と被検査
    物との間の空隙には真空が供給されることを特徴とする
    請求項１０又は１１記載のリーク検査装置。