JP2003031178A

JP2003031178A - 四重極型質量分析計

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Publication number: JP2003031178A
Application number: JP2001216866A
Authority: JP
Inventors: Yoshiro Shiokawa; 善郎塩川; Kazuhiko Hamada; 一彦浜田
Original assignee: Anelva Corp
Current assignee: Canon Anelva Corp
Priority date: 2001-07-17
Filing date: 2001-07-17
Publication date: 2003-01-31

Abstract

(57)【要約】【課題】測定すべき領域やイオン源などで発生した光
によるノイズを抑えると共に、感度損失が少ない四重極
型質量分析計を提供する。【解決手段】平行に配置された４本の棒状電極により
成る四重極電極１０に高周波電圧を印加させ、イオン化
部でイオン化された特定質量のイオンのみを四重極電極
１０の出口部から射出させ、出口部の後側に位置したイ
オン検出器１１によって射出されたイオンを電流として
検出する四重極型質量分析計において、イオン検出器１
１は、その受光面１６が環状となる形態を有し、かつ受
光面１６の中心軸と四重極電極１０の軸が一致するよう
に配置され、四重極電極１０の出口部とイオン検出器１
１の受光面１６の間にイオンを受光面１６に導く電界が
形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は四重極型質量分析計
に関し、特に、イオンあるいはイオン化した中性分子の
質量を計測するための四重極型質量分析計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、マスフィルタとも呼ばれる四重極
型質量分析計は、小型および簡素な構造によりイオンや
イオン化した中性分子の質量を測定する質量分析計とし
て一般的なものとなっている。四重極電極は４本の棒状
電極が高精度な位置関係で平行に配置されて成り、各棒
状電極には例えば１〜５ｋＶ程度の高周波電圧と直流電
圧が印加されている。この構成によって四重極電極が設
けられた領域の軸と直角な径方向に関しては、時間的に
変動する四重極電界が形成され、当該軸の付近に存在す
るイオンはクーロン力により径方向に振動し、特定な質
量以外のイオンは上記軸の外方に発散される。軸の方向
に関しては移動するイオンは１０ｅＶ（１ｅＶは約１．
６０×１０^-19Ｊ）程度のエネルギを持ち、一定速度で
四重極電極の領域を前進しているので、特定なイオンの
みが通過して四重極電極の出口から射出される。

【０００３】四重極電極の出口から射出されるイオンの
方向は上記軸の方向のみに揃っているわけでなく、概ね
放射状となっている。これは、軸方向には１０ｅＶ程度
のエネルギでの速度しか持っていないのに対して、径方
向には数百ｅＶにも及ぶエネルギを持ち、大きな速度で
振動させられ、そのまま射出されているからである。し
かも、イオンの入射位置・初速度・位相によってそれぞ
れ振動状況が異なるので、射出される方向も各イオンで
異なる。従って、イオンの流れ全体としてみた場合に
は、径方向に大きく広がった放射状となって射出され
る。

【０００４】この状況を図１３に示した。図１３は、四
重極電極を通過し、出口から射出されるイオンの流れを
示す模式図である。四重極電極１００に入射したイオン
は、径方向に振動し前進する。特定のイオンは、四重極
電極１００の出口アパーチャ１０１から射出される。こ
のとき、図１３の矢印１０２で示すように、イオンの射
出方向は径方向に広がる。

【０００５】なお、これは四重極型質量分析計に特有な
現象であって、例えば、他の代表的な質量分析計である
磁場セクター型質量分析計では、軸方向の速度が１ｋｅ
Ｖ以上、径方向が１０ｅＶ程度のエネルギに対応する速
度となっており、イオンの方向は軸方向に非常によく揃
っている。

【０００６】図１３において四重極電極１００の出口に
は通常イオン検出器（図１３中図示せず）が設置されて
おり、イオン検出器の受光面に到達したイオンは電流と
して検出される。イオン検出器には大きく異なる２つの
方式がある。

【０００７】前者は、通常ファラデー型と呼ばれるもの
で、受光面は単なる導電性の板状物となっている。この
受光面に到達したイオンは板状物の表面での電荷交換に
より電流を発生するので、この電流を取り出して検出信
号とする。簡単な構造であるので、簡便なイオン検出器
として使用されている。

【０００８】後者は、電子増倍管型といわれるもので、
受光面は２次電子を放出しやすい物質が内壁面に塗布さ
れた開口となっている。この受光面に到達したイオンは
内壁で２次電子を放出し、さらにその２次電子が複数の
２次電子を発生する。この繰り返しにより増幅された大
きな電流を取り出して検出信号とする。構造が複雑で高
電圧が必要となるが、微量のイオンも検出できるので高
感度な検出器として使用されている。

【０００９】上記の電子増倍管型にも各種の形式があっ
て、単独開口を持ち複数の電極からなる多段式や１つの
半導電体（アンチモンなどの半金属）の電極からなる連
続式がある。また、連続式の一種であるが非常に多くの
開口を持つマイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）もあ
る。マイクロチャンネルプレートは小型化への寄与が高
いため近年使用される機会が多くなっているが、各開口
は非常に小さいためそれぞれの開口での増幅能力には限
界がある。そのため、検出すべきイオンを受光面になる
べく均一に分布させることが非常に重要となっている。
もし、イオンが限られた開口にのみ到達しつづければ、
寿命や増幅率のリニアリティに問題が生じることが知ら
れている。

【００１０】上記の２つの型のイオン検出器では、いず
れもイオンだけでなく高いエネルギをもった光が受光面
に到達すると、２次電子を放出して疑信号となるという
問題がある。この問題は特に電子増倍管型で顕著であ
る。特に四重極型質量分析計では四重極電極の入口から
出口までは一直線となっているので、測定すべき領域や
イオン源などで発生した光がイオン検出器に入りノイズ
となりやすい。そこで、従来ではイオン検出器の受光面
が四重極電極の入口から見込めないように、イオン検出
器を平行にずらして配置したり、取付け方向を四重極電
極と直角にしたりしている。これらの例を図１４と図１
５を参照して説明する。

【００１１】図１４は、イオン検出器を平行にずらして
配置した従来型の四重極型質量分析計の図であり、図１
５は、イオン検出器の取付け方向を四重極電極と直角に
した従来型の四重極型質量分析計の図である。図１４に
示すように、イオン検出器１０３の受光面１０４は、四
重極電極１００の出口に設けられた出口アパーチャ１０
１の開口に対して平行にずらしてある。図中１０４はシ
ールド電極である。また、この図では、イオン検出器１
０３としてマイクロチャンネルプレートを用いている。
図１５では、イオン検出器１０３の受光面１０５は、四
重極電極１００の出口アパーチャ１０１に対し直角に配
置している。このように、図１４と図１５で示したよう
なイオン検出器１０３の配置では、イオン検出器１０３
の受光面１０５が四重極電極１００の入口から見込めな
いため、測定すべき領域やイオン源などで発生した光は
イオン検出器に到達しない。

【００１２】しかしながら、電子増倍管型のイオン検出
器１０３の受光面１０５は通常１ｋＶの負電位が印加さ
れるので、この電位により正電荷のイオンを引き寄せる
ことができるため、図１４と図１５で示したこれらの位
置関係においても四重極電極１００の出口アパーチャ１
０１から射出されるイオンはイオン検出器の受光面に到
達して検出される。

【００１３】なお、図１４と図１５ではイオン検出器と
してマイクロチャンネルプレートを用いて示したが、実
際には他の形式の電子増倍管型の場合もある。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】四重極電極１００の出
口アパーチャ１０１から射出されるイオンの方向は四重
極電極１００の軸を中心とした放射状となっているが、
従来例での四重極電極１００の出口とイオン検出器１０
３の間の空間には四重極電極１００の軸とは平行にずれ
た方向、あるいは直角方向の電界が存在している。その
ため、四重極電極１００の出口から射出されるすべての
イオンが検出されないという問題がある。イオンは強く
放射状で射出され、径方向には数百ｅＶにも及ぶエネル
ギに対応する大きな速度を持っているため、受光面１０
５による１ｋＶ程度の電界ではすべてのイオンを引き込
むことはできないからである。そのため、感度損失が発
生している。

【００１５】また従来例ではイオンがイオン検出器１０
３の受光面１０５の一部領域にのみ多く到達し、受光面
全体に均一にイオンが分布しない。そのためマイクロチ
ャンネルプレートでは、寿命や増幅率のリニアリティに
問題が生じている。この問題を解決するための提案が特
開平４−１３２１５２号公報（「荷電粒子検出装置」）
に開示されている。それによると、マイクロチャンネル
プレートの前面に荷電粒子ビームを発散させるレンズ系
を配置して、検出しようとする荷電粒子ビームをマイク
ロチャンネルプレートの受光面全面に分散的に入射させ
るようにし、マイクロチャンネルプレートの各チャンネ
ル出射電子を共通アノードで受けるようにしている。し
かしながら、この提案では複数の孔を通過させる必要が
あるため感度損失が通常以上に大きくなってしまうとい
う新たな問題が発生している。

【００１６】本発明の目的は、上記問題を解決するた
め、測定すべき領域やイオン源などで発生した光による
ノイズを抑えると共に、感度損失が少ない四重極型質量
分析計を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段および作用】本発明に係る
四重極型質量分析計は、上記の目的を達成するために次
のように構成される。

【００１８】第１の四重極型質量分析計（請求項１に対
応）は、平行に配置された４本の棒状電極により成る四
重極電極に高周波電圧を印加させ、イオン化部でイオン
化された特定質量のイオンのみを四重極電極の出口部か
ら射出させ、出口部の後側に位置したイオン検出器によ
って射出されたイオンを電流として検出する四重極型質
量分析計において、イオン検出器は、その受光面が環状
となる形態を有し、かつ受光面の中心軸と四重極電極の
軸が一致するように配置され、四重極電極の出口部とイ
オン検出器の受光面の間にイオンを受光面に導く電界が
形成されることで特徴づけられる。

【００１９】第１の四重極型質量分析計によれば、イオ
ン検出器は、その受光面が環状となる形態を有し、かつ
受光面の中心軸と四重極電極の軸が一致するように配置
され、四重極電極の出口部とイオン検出器の受光面の間
にイオンを受光面に導く電界が形成されるため、測定す
べき領域やイオン源などで発生した光がイオン検出器の
受光面に入らず、それにより、光によるノイズを抑える
ことができる。また、放射状に射出したイオンがイオン
検出器の受光面に到達することができるため感度損失を
少なくすることができる。なお、上記イオン化部は、上
記のごとく光等が発生することを前提としていることか
ら、電子衝撃イオン化、化学イオン化、大気圧イオン化
による機構を想定している。

【００２０】第２の四重極型質量分析計（請求項２に対
応）は、上記の構成において、好ましくは、イオン検出
器がマイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）であること
で特徴づけられる。これにより、本発明は、光によるノ
イズを抑えることや感度損失を少なくすることにおい
て、特に有効な手段となる。

【００２１】第３の四重極型質量分析計（請求項３に対
応）は、上記の構成において、好ましくは、マイクロチ
ャンネルプレートの受光面は四重極電極の出口部に向か
う側に設けられ、受光面の中心軸付近に受光面の電位よ
り高い電位のシールド電極が配置されることで特徴づけ
られる。

【００２２】第４の四重極型質量分析計（請求項４に対
応）は、上記の構成において、好ましくは、マイクロチ
ャンネルプレートの受光面は四重極電極の出口部の反対
側に向かう側に設けられ、出口部に対応させてマクロチ
ャンネルプレートの間に受光面の電位より高い電位のシ
ールド筒形電極が配置され、かつ受光面に対向させて受
光面の電位より高い電位のシールド電極が配置されるこ
とで特徴づけられる。

【００２３】第５の四重極型質量分析計（請求項５に対
応）は、上記の構成において、好ましくは、イオン検出
器は筒形のファラデー型イオン検出器であり、ファラデ
ー形イオン検出器の出口に受光面の電位より高い電位の
シールド電極が配置されることで特徴づけられる。

【００２４】第６の四重極型質量分析計（請求項４に対
応）は、上記の構成において、好ましくは、シールド電
極がイオン検出器の受光面とは独立した補助的なイオン
検出器機能を備えていることで特徴づけられる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
添付図面に基づいて説明する。

【００２６】実施形態で説明される構成、形状、大きさ
および配置関係については本発明が理解・実施できる程
度に概略的に示したものにすぎない。従って本発明は、
以下に説明される実施形態に限定されるものではなく、
特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しな
い限り様々な形態に変更することができる。

【００２７】図１〜図４は本発明に係る四重極型質量分
析計の第１の実施形態を示す図である。図１は要部断面
図、図２はイオン検出器の斜視図、図３はイオン検出器
の拡大断面図で電界分布を示したもの、図４はイオン検
出器の拡大断面図でイオンの軌道を示したものである。
図中、１０は四重極電極、１１は電子増倍管型のイオン
検出器である。１２は出口アパーチャ、１３は四重極電
極から射出されたイオンである。１４はマイクロチャン
ネルプレート、１５はシールド電極である。１６はマイ
クロチャンネルプレートの受光面、１７はマイクロチャ
ンネルプレートの電子出力面、１８はマイクロチャンネ
ルプレートの電子コレクタ、１９は信号出力ラインであ
る。

【００２８】マイクロチャンネルプレート１４の形状は
中心部分に孔部が形成された円環状であり、マイクロチ
ャンネルプレート１４の受光面１６、マイクロチャンネ
ルプレート１４の出力面１７、マイクロチャンネルプレ
ート１４の電子コレクタ１８のいずれもが円環状となっ
ている。これらの中心軸は四重極電極１０の軸と実質的
に一致するように設定されている。

【００２９】マイクロチャンネルプレート１４の受光面
１６には−１ｋV、マイクロチャンネルプレート１４の
電子出力面１７には−０．１ｋVの負電位が、図示しな
い電源ラインから印加されている。マイクロチャンネル
プレート１４の受光面１６にイオンが到達すると、マイ
クロチャンネルプレート１４の電子出力面１７から増幅
された電子が０Vであるマイクロチャンネルプレート１
４の電子コレクタ１８に流入し、信号出力ライン１９を
経由して接続されている電流計（図示せず）によって計
測される。

【００３０】出口アパーチャ１２は四重極電極側から到
来する電界と光を遮蔽しており、その中心孔１２ａから
イオンが放射状に射出される。ただし、中心孔１２ａか
らはノイズとして作用する光も射出されている。シール
ド電極１５は、出口アパーチャ１２の中心孔１２ａより
やや大きい円形状である。これらの中心軸も四重極電極
１０の軸と実質的に一致するように設定されている。

【００３１】次に、図３と図４により、電界分布とイオ
ンの検出の様子を示す。出口アパーチャ１２とシールド
電極１５の電位は０V、マイクロチャンネルプレート１
４の受光面１６は−１ｋＶとなっているため、図３で示
すように、これらの間の空間では軸対象でかつプラスイ
オンが円環状のマイクロチャンネルプレート１４の受光
面１６に放射状に引き込まれるような電界Ｅ１が形成さ
れている。

【００３２】図４で示すように四重極電極１０から射出
されたイオン１３はもともと四重極電極１０の軸を中心
として広がった放射状となっている。そのため、四重極
電極１０から射出されたイオン１３は、この電界Ｅ１に
よって無理なく、しかも軸対称的にマイクロチャンネル
プレート１４の受光面１６に到達する。従って、感度損
失や寿命・増幅率のリニアリティの問題が発生しない。
出口アパーチャ１２の中心孔から射出される光は直進す
るので、円環状となっているマイクロチャンネルプレー
ト１４の受光面１６には入らずノイズは作られない。

【００３３】なお、通常の測定ではシールド電極１５は
単なる電界形成のためだけに存在しているが、高感度の
測定を必要としない場合や雰囲気圧が高く電子増倍管を
動作できない場合には、このシールド電極１５に電流計
を接続して補助的なファラデー型のイオン検出器として
使用することもできる。

【００３４】図５〜図８は本発明に係る四重極型質量分
析計の第２の実施形態を示す図であり、図５は要部断面
図であり、図６はイオン検出器の斜視図であり、図７は
イオン検出器の拡大断面図で電界分布を示したものであ
り、図８はイオン検出器の拡大断面図でイオンの軌道を
示したものである。図５〜図８において、図１〜図４で
説明した要素と実質的に同一のものには同一の符号を付
している。この実施形態による出口アパーチャには、そ
の背面側にシールド円筒電極２０を備える。

【００３５】本実施形態では、マイクロチャンネルプレ
ート１４の受光面１６が四重極電極側でなくその反対側
となっており、マイクロチャンネルプレート１４の電子
出力面１７とマイクロチャンネルプレート１４の電子コ
レクタ１８が四重極電極側に位置している。さらに、マ
イクロチャンネルプレート１４の中心部分の孔部は第１
実施形態で用いたものよりやや大きくなっており、シー
ルド電極１５の外径は第１実施形態で用いたものよりか
なり大きくなっている。これらすべての中心軸は四重極
電極１０の軸と実質的に一致するように設定されてい
る。

【００３６】次に、図７と図８により電界分布とイオン
の検出の様子を示す。シールド円筒電極２０、出口アパ
ーチャ１２、シールド電極１５の電位はすべて０V、マ
イクロチャンネルプレート１４の受光面１６は−１ｋV
となっているため、これらの間の空間では軸対象でかつ
プラスイオンが円環状のマイクロチャンネルプレート１
４の受光面１６に引き込まれるような電界Ｅ２が形成さ
れている。本実施形態の場合、図３と図４とは異なりプ
ラスイオンの引き込み方向がU字型となっているが、四
重極電極１０から射出されたイオン１３が無理なく軸対
象的にマイクロチャンネルプレート１４の受光面１６に
到達することは同様である。本構造ではマイクロチャン
ネルプレート１４の受光面１６が四重極電極１０の反対
側に存在しているので、光の影響をより少なくできる利
点がある。

【００３７】上記の第１および第２の実施形態では、出
口アパーチャ１２、シールド電極１５、シールド円筒電
極２０の電位はすべて０Ｖとしたが、これらの各電極は
必ずしも０Ｖに限定されない。例えば、受光面１６が通
常の−１ｋＶ程度のとき、−２００Ｖや＋１００Ｖとい
った受光面１６の電位よりも高い電位であればよい。こ
のような電位であれば、イオンは受光面１６からの引力
を受け、しかも各電極からの反力を受けながら受光面１
６に向かって進む。

【００３８】図９〜図１２は本発明に係る四重極型質量
分析計の第３の実施形態を示す図であり、図９は要部断
面図であり、図１０はイオン検出器の斜視図であり、図
１１はイオン検出器の拡大断面図で電界分布を示したも
のであり、図１２はイオン検出器の拡大断面図でイオン
の軌道を示したものである。図９〜図１２において、図
１〜図４で説明した要素と実質的に同一の要素には同一
の符号を付している。本実施形態では、ファラデー型の
イオン検出器２１が使用され、２２は円環状（円筒状）
の受光面である。また、シールド電極１５の電位は＋１
ｋＶとなっている。

【００３９】図１１で示すように、受光面２２と出口ア
パーチャ１２は０Vとなり、シールド電極１５は＋１ｋV
なので、これらの間の空間では軸対象でかつプラスイオ
ンが円環状の受光面２２に放射状に引き込まれるような
電界Ｅ３が形成されている。また、図１２で示すよう
に、前述の各実施形態とは異なり円環状の受光面２２が
低い電圧になっていないので受光面２２自身がプラスイ
オンを強く引き込むことはないが、高い電圧となってい
るシールド電極１５の影響で最終的にはプラスイオンは
円環状の受光面２２に流れ込む。

【００４０】本実施形態は、高感度の測定を必要としな
い、あるいは雰囲気圧が高く電子増倍管を使用できない
場合に有効である。

【００４１】以上３つの実施形態で本発明を説明した
が、本発明はこれらに限られるものではない。例えば、
いずれも受光面自体が円環状となっていたが、受光面と
しての機能をもっている面は円環状でなくて円盤状など
であっても、シールド電極などで隠すことによって中心
部に光が到達しないようにして有効な受光面が円環状と
なるようにすればよい。

【００４２】また、いずれも出口アパーチャ１２、シー
ルド電極１５、シールド円筒電極２０の電位は０Vとし
たが、０V以外であってもイオンが円環状の受光面に向
かうような電界が形成されればよい。さらに、いずれも
イオンとしては正電荷のイオンとしたが、負イオンであ
ってもよく、その場合には各電位の極性を変更すればよ
い。

【００４３】また、いずれもシールド電極１５の形状は
円板状としたが、これもイオンが円錐状の受光面に軸対
象に向かうような電界が形成されればよいのであって、
円錐状などとすることもできる。同様に出口アパーチャ
１２も円板状だけでなく、円筒縁付きや円錐状あるいは
樽状などとすることもできる。これらの形状・電位を最
適なものとすることによって、あるいは別途補助電極を
付加することによって、受光面に到達するイオンの分布
をより均一にすることも期待できる。

【００４４】さらに、シールド電極１５に到達したイオ
ンにより、シールド電極１５の表面での電荷交換が起こ
り、電流を発生するので、この電流を取り出して検出信
号とすることによって、シールド電極１５にイオン検出
器の受光面とは独立した補助的なイオン検出機能を持た
せることができる。

【００４５】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、次の効果を奏する。

【００４６】イオン検出器の有効な受光面を略円環状と
するとともに、受光面の中心軸と四重極電極の軸を一致
するようにイオン検出器を配置したため、測定すべき領
域やイオン源などで発生した光がイオン検出器の受光面
に入らず、それにより、光によるノイズを抑えることが
できる。また、放射状に射出したイオンがイオン検出器
の受光面に到達することができるため感度損失を少なく
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による四重極型質量分析計の第１の実施
形態の要部断面図である。

【図２】本発明による四重極型質量分析計の第１の実施
形態のイオン検出器の斜視図である。

【図３】本発明による四重極型質量分析計の第１の実施
形態のイオン検出器の拡大断面図で電界分布を示したも
のである。

【図４】本発明による四重極型質量分析計の第１の実施
形態のイオン検出器の拡大断面図でイオンの軌道を示し
たものである。

【図５】本発明による四重極型質量分析計の第２の実施
形態の要部断面図である。

【図６】本発明による四重極型質量分析計の第２の実施
形態のイオン検出器の斜視図である。

【図７】本発明による四重極型質量分析計の第２の実施
形態のイオン検出器の拡大断面図で電界分布を示したも
のである。

【図８】本発明による四重極型質量分析計の第２の実施
形態のイオン検出器の拡大断面図でイオンの軌道を示し
たものである。

【図９】本発明による四重極型質量分析計の第３の実施
形態の要部断面図である。

【図１０】本発明による四重極型質量分析計の第３の実
施形態のイオン検出器の斜視図である。

【図１１】本発明による四重極型質量分析計の第３の実
施形態のイオン検出器の拡大断面図で電界分布を示した
ものである。

【図１２】本発明による四重極型質量分析計の第３の実
施形態のイオン検出器の拡大断面図でイオンの軌道を示
したものである。

【図１３】四重極電極を通過し、出口から射出されるイ
オンの流れを示す模式図である。

【図１４】イオン検出器を平行にずらして配置した従来
型の四重極型質量分析計の図である。

【図１５】イオン検出器の取り付け方向を四重極電極と
直角にした従来型の四重極型質量分析計の図である。

【符号の説明】

１０四重極電極１１電子増倍管型のイオン検出器１２出口アパーチャ１３四重極電極から射出されたイオン１４マイクロチャンネルプレート１５シールド電極１６マイクロチャンネルプレートの受
光面１７マイクロチャンネルプレートの電
子出力面１８マイクロチャンネルプレートの電
子コレクタ１９信号出力ライン２０シールド円筒電極２１ファラデー型のイオン検出器２２円環状の受光面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平行に配置された４本の棒状電極により
成る四重極電極に高周波電圧を印加させ、イオン化部で
イオン化された特定質量のイオンのみを前記四重極電極
の出口部から射出させ、前記出口部の後側に位置したイ
オン検出器によって射出された前記イオンを電流として
検出する四重極型質量分析計において、前記イオン検出器は、その受光面が環状となる形態を有
し、かつ前記受光面の中心軸と前記四重極電極の軸が一
致するように配置され、前記四重極電極の出口部と前記イオン検出器の前記受光
面の間に前記イオンを前記受光面に導く電界が形成され
る、ことを特徴とする四重極型質量分析計。
【請求項２】前記イオン検出器はマイクロチャンネル
プレートであることを特徴とする請求項１記載の四重極
型質量分析計。
【請求項３】前記マイクロチャンネルプレートの前記
受光面は前記四重極電極の前記出口部に向かう側に設け
られ、前記受光面の中心軸付近に前記受光面の電位より
高い電位のシールド電極が配置されることを特徴とする
請求項２記載の四重極型質量分析計。
【請求項４】前記マイクロチャンネルプレートの前記
受光面は前記四重極電極の前記出口部の反対側に向かう
側に設けられ、前記出口部に対応させて前記マイクロチ
ャンネルプレートの間に前記受光面の電位より高い電位
のシールド筒形電極が配置され、かつ前記受光面に対向
させて受光面の電位より高い電位のシールド電極が配置
されることを特徴とする請求項２記載の四重極型質量分
析計。
【請求項５】前記イオン検出器は筒形のファラデー型
イオン検出器であり、前記ファラデー形イオン検出器の
出口に前記受光面の電位より高い電位のシールド電極が
配置されることを特徴とする請求項１記載の四重極型質
量分析計。
【請求項６】前記シールド電極が、前記イオン検出器
の受光面とは独立した補助的なイオン検出機能を備えて
いることを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記
載の四重極型質量分析計。