JP2002365270A - すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ - Google Patents
すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブInfo
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 13
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 8
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 6
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 claims description 6
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 claims description 6
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 claims description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 3
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 claims description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 3
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000747 poly(lactic acid) Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004626 polylactic acid Substances 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920005570 flexible polymer Polymers 0.000 claims description 2
- FCYVWWWTHPPJII-UHFFFAOYSA-N 2-methylidenepropanedinitrile Chemical compound N#CC(=C)C#N FCYVWWWTHPPJII-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 25
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- -1 etc.) Polymers 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】振動や測定物の形状などに影響されずに、信頼
性の高い測定を行うことのできる超音波プローブを提供
する。 【解決手段】超音波プローブ１は、屈伸性にすぐれた材
料からなるダンパー材４と、その前面に固着された可撓
性を有する超音波送受信素子５と、さらにその前面に被
覆された耐摩耗性膜６とによって構成される。好ましく
は、ダンパー材４はゴムまたは軟質ポリマーにより形成
し、超音波送受信素子５はポリマー圧電素子，コンポジ
ット圧電素子または被覆セラミックス圧電素子により形
成し、全体として可撓性を有し耐衝撃性・耐摩耗性を有
する超音波プローブとする。
性の高い測定を行うことのできる超音波プローブを提供
する。 【解決手段】超音波プローブ１は、屈伸性にすぐれた材
料からなるダンパー材４と、その前面に固着された可撓
性を有する超音波送受信素子５と、さらにその前面に被
覆された耐摩耗性膜６とによって構成される。好ましく
は、ダンパー材４はゴムまたは軟質ポリマーにより形成
し、超音波送受信素子５はポリマー圧電素子，コンポジ
ット圧電素子または被覆セラミックス圧電素子により形
成し、全体として可撓性を有し耐衝撃性・耐摩耗性を有
する超音波プローブとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、すぐれた耐衝撃
性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブに関し、
特に、振動や測定物の形状などの外的要因による影響を
極力排除して、信頼性の高い測定を行うことのできる超
音波プローブに関するものである。
性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブに関し、
特に、振動や測定物の形状などの外的要因による影響を
極力排除して、信頼性の高い測定を行うことのできる超
音波プローブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、超音波プローブのダンパー材は硬
質ポリマーが使用され、この前面に固着される超音波送
受信素子にはセラミックス焼結体や石英が用いられてい
る。これらは一定の厚さを有したものである。また、超
音波の出力効率を向上させる目的で、共振コイルが内蔵
される。これらの構成部品を通常円筒状ないし角状の硬
質な保護ケースに収めて一体化したものを、超音波プロ
ーブと称している。
質ポリマーが使用され、この前面に固着される超音波送
受信素子にはセラミックス焼結体や石英が用いられてい
る。これらは一定の厚さを有したものである。また、超
音波の出力効率を向上させる目的で、共振コイルが内蔵
される。これらの構成部品を通常円筒状ないし角状の硬
質な保護ケースに収めて一体化したものを、超音波プロ
ーブと称している。
【０００３】従来、超音波測定法による材料特性や探傷
などの測定は、被測定物が静止状態にあることが条件と
なっている。測定の信頼性を上げるために、振動などの
外乱はできる限り排除する必要があるからである。ま
た、測定の信頼性を上げるための他の条件として、測定
面の状態がある。凹凸面については起伏の大きなものは
不適で、起伏の小さいもの、さらには平坦であることが
望ましい。測定面の粗さも滑らかなものでなければなら
ない。接触面が傾斜して片側当たりとなるようなことも
避ける必要がある。
などの測定は、被測定物が静止状態にあることが条件と
なっている。測定の信頼性を上げるために、振動などの
外乱はできる限り排除する必要があるからである。ま
た、測定の信頼性を上げるための他の条件として、測定
面の状態がある。凹凸面については起伏の大きなものは
不適で、起伏の小さいもの、さらには平坦であることが
望ましい。測定面の粗さも滑らかなものでなければなら
ない。接触面が傾斜して片側当たりとなるようなことも
避ける必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記のような従来の超
音波プローブは、測定時の作業条件が大いに制限される
ことになる。すなわち、周囲の振動の影響を受けるとこ
ろでは計測データにバラツキが生じたり正確なデータが
得られないという問題がある。また、超音波プローブと
測定物との間に摺り振動や回転が起きているような作業
環境にも適さない。たとえば、本発明者らは、ナットラ
ンナーに超音波プローブを組み込んで締付ボルトの軸力
をリアルタイムに測定する方法をすでに実用化している
が、ナットランナーによる締付け作動中は、従来の超音
波プローブではノイズが多く、正確な測定データが得ら
れないことがある。
音波プローブは、測定時の作業条件が大いに制限される
ことになる。すなわち、周囲の振動の影響を受けるとこ
ろでは計測データにバラツキが生じたり正確なデータが
得られないという問題がある。また、超音波プローブと
測定物との間に摺り振動や回転が起きているような作業
環境にも適さない。たとえば、本発明者らは、ナットラ
ンナーに超音波プローブを組み込んで締付ボルトの軸力
をリアルタイムに測定する方法をすでに実用化している
が、ナットランナーによる締付け作動中は、従来の超音
波プローブではノイズが多く、正確な測定データが得ら
れないことがある。
【０００５】従来のセラミックス焼結体や石英によって
形成された超音波送受信素子は衝撃に弱くて割れやす
く、特にナットランナーのような自動機での利用は、必
ずしも適したものでなかった。また、硬質の保護ケース
に構成部品が収められて一体化された超音波プローブ
は、小型化や作業工具装着に対する適応柔軟性に問題が
あった。
形成された超音波送受信素子は衝撃に弱くて割れやす
く、特にナットランナーのような自動機での利用は、必
ずしも適したものでなかった。また、硬質の保護ケース
に構成部品が収められて一体化された超音波プローブ
は、小型化や作業工具装着に対する適応柔軟性に問題が
あった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記のよう
な課題を解決するためになされたもので、請求項１の発
明は、屈伸性にすぐれた材料からなるダンパー材と、そ
の前面に固着された可撓性を有する超音波送受信素子
と、さらにその前面に被覆された耐摩耗性膜とによって
構成されていることを特徴とする。さらに請求項２の発
明は、前記ダンパー材は、ゴムまたは軟質ポリマーであ
ることを特徴とする。
な課題を解決するためになされたもので、請求項１の発
明は、屈伸性にすぐれた材料からなるダンパー材と、そ
の前面に固着された可撓性を有する超音波送受信素子
と、さらにその前面に被覆された耐摩耗性膜とによって
構成されていることを特徴とする。さらに請求項２の発
明は、前記ダンパー材は、ゴムまたは軟質ポリマーであ
ることを特徴とする。
【０００７】請求項３の発明は、前記超音波送受信素子
は、可撓性を有するポリマー圧電素子，コンポジット圧
電素子または被覆セラミックス圧電素子であることを特
徴とする。さらに、請求項４の発明は、前記ポリマー圧
電素子は、ポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン系
共重合体（フッ化ビニリデン，トリフルオロエチレン共
重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共
重合体等），シアン化ビニリデン系共重合体，奇数ナイ
ロン（奇数炭素ポリアミド），ポリ尿素またはポリ乳酸
からなる圧電膜であることを特徴とする。また、請求項
５の発明は、前記被覆セラミックス圧電素子は、ＺｎＯ
であることを特徴とする。
は、可撓性を有するポリマー圧電素子，コンポジット圧
電素子または被覆セラミックス圧電素子であることを特
徴とする。さらに、請求項４の発明は、前記ポリマー圧
電素子は、ポリフッ化ビニリデン，フッ化ビニリデン系
共重合体（フッ化ビニリデン，トリフルオロエチレン共
重合体，フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共
重合体等），シアン化ビニリデン系共重合体，奇数ナイ
ロン（奇数炭素ポリアミド），ポリ尿素またはポリ乳酸
からなる圧電膜であることを特徴とする。また、請求項
５の発明は、前記被覆セラミックス圧電素子は、ＺｎＯ
であることを特徴とする。
【０００８】請求項６の発明は、前記耐摩耗性膜は、ポ
リイミド，ポリエーテルイミド，ポリアミドまたはポリ
エーテルエーテルケトンであることを特徴とする。
リイミド，ポリエーテルイミド，ポリアミドまたはポリ
エーテルエーテルケトンであることを特徴とする。
【０００９】請求項７の発明は、前記超音波プローブ
は、保護ケースに収められることなく直接作業工具に組
み込まれることを特徴とする。
は、保護ケースに収められることなく直接作業工具に組
み込まれることを特徴とする。
【００１０】すなわち、この発明は、前記のような課題
を解決するために、測定物の表面あらさや凹凸の程度な
どが多少悪くても、これに倣って先端部が変形して密着
することで、装着時の衝撃や測定中の振動，摺動などを
吸収するようにしたことを特徴としている。その実現手
段として、屈伸性にすぐれたダンパー材を使用し、超音
波送受信素子も可撓性のあるものを採用して、全体とし
てすぐれた耐衝撃性や屈伸性を有するものとした。ダン
パー材には、屈伸性を有するだけでなく超音波透過減衰
にもすぐれる材料として、ゴムや軟質ポリマーが特に推
奨される。
を解決するために、測定物の表面あらさや凹凸の程度な
どが多少悪くても、これに倣って先端部が変形して密着
することで、装着時の衝撃や測定中の振動，摺動などを
吸収するようにしたことを特徴としている。その実現手
段として、屈伸性にすぐれたダンパー材を使用し、超音
波送受信素子も可撓性のあるものを採用して、全体とし
てすぐれた耐衝撃性や屈伸性を有するものとした。ダン
パー材には、屈伸性を有するだけでなく超音波透過減衰
にもすぐれる材料として、ゴムや軟質ポリマーが特に推
奨される。
【００１１】ダンパー材に用いられる前記材料は、超音
波送受信素子からダンパー材への透過が極めて少ないと
いう特徴も合わせ持つ。そのため、測定物に送信される
超音波の出力効率が向上し、従来の硬質ポリマーをダン
パー材として用いた超音波プローブには欠かせなかった
共振コイルが不要となる。したがって、超音波プローブ
の小型化が可能となり、適用用途範囲が広がる。また、
超音波送受信素子からダンパー材への超音波の透過が極
めて少ないということは、λ／２およびλ／４（λは波
長）換算の基本周波数とその倍周波数との共存が可能と
なるので、この点からも出力効率が増大する。
波送受信素子からダンパー材への透過が極めて少ないと
いう特徴も合わせ持つ。そのため、測定物に送信される
超音波の出力効率が向上し、従来の硬質ポリマーをダン
パー材として用いた超音波プローブには欠かせなかった
共振コイルが不要となる。したがって、超音波プローブ
の小型化が可能となり、適用用途範囲が広がる。また、
超音波送受信素子からダンパー材への超音波の透過が極
めて少ないということは、λ／２およびλ／４（λは波
長）換算の基本周波数とその倍周波数との共存が可能と
なるので、この点からも出力効率が増大する。
【００１２】一方、可撓性を有する超音波送受信素子と
して、具体的には、ポリマー圧電素子またはコンポジッ
ト圧電素子、あるいは被覆セラミックス圧電素子を採用
し、さらに詳しくはポリマー圧電素子として前記に掲げ
た各種の材料を採用した。セラミックス圧電素子には、
変形能のない焼結体の代わりに被覆膜を採用し、とりわ
けＺｎＯを最適とした。
して、具体的には、ポリマー圧電素子またはコンポジッ
ト圧電素子、あるいは被覆セラミックス圧電素子を採用
し、さらに詳しくはポリマー圧電素子として前記に掲げ
た各種の材料を採用した。セラミックス圧電素子には、
変形能のない焼結体の代わりに被覆膜を採用し、とりわ
けＺｎＯを最適とした。
【００１３】超音波送受信素子には、測定物との接触面
に耐摩耗性膜を被覆して、耐摩耗性の増強を図ってい
る。このような構成の結果、この発明の超音波プローブ
は全体として可撓性を有するという特徴を持ち、保護ケ
ースに収めなくとも利用することが可能となる。伸縮自
在性があるので、広範囲に適用できるようになる。
に耐摩耗性膜を被覆して、耐摩耗性の増強を図ってい
る。このような構成の結果、この発明の超音波プローブ
は全体として可撓性を有するという特徴を持ち、保護ケ
ースに収めなくとも利用することが可能となる。伸縮自
在性があるので、広範囲に適用できるようになる。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の一形態につ
いて、図を参照しながら説明する。図１に例示のもの
は、本発明の超音波プローブ１が可撓性を有していると
いう特徴を最大限生かしたもので、たとえばナットラン
ナーのような作業工具２の先端部に穿設した止まり穴の
中に、保護ケースのない状態のままの超音波プローブ１
が直接収納されたものである。この例の測定物３は六角
ボルトである。本発明者らは、ボルト締結時の軸力をリ
アルタイムに測定して印荷または除圧を繰り返すことに
より、正確な締め付け力を得ることのできる制御装置を
すでに実用化している。このとき、作業工具２は上方よ
り瞬時に降下してボルト頭と当接するから、超音波プロ
ーブ１には大きな衝撃がかかる。
いて、図を参照しながら説明する。図１に例示のもの
は、本発明の超音波プローブ１が可撓性を有していると
いう特徴を最大限生かしたもので、たとえばナットラン
ナーのような作業工具２の先端部に穿設した止まり穴の
中に、保護ケースのない状態のままの超音波プローブ１
が直接収納されたものである。この例の測定物３は六角
ボルトである。本発明者らは、ボルト締結時の軸力をリ
アルタイムに測定して印荷または除圧を繰り返すことに
より、正確な締め付け力を得ることのできる制御装置を
すでに実用化している。このとき、作業工具２は上方よ
り瞬時に降下してボルト頭と当接するから、超音波プロ
ーブ１には大きな衝撃がかかる。
【００１５】ダンパー材４は屈伸性にすぐれた材料によ
って形成し、詳しくはゴムまたは軟質ポリマーが好適で
ある。このようなダンパー材４は、すぐれた衝撃吸収
性，超音波吸収性，伸縮性を合わせ持っている。ダンパ
ー材４の前面には超音波送受信素子５が固着され、その
上下面には皮膜状の極薄な電極７が形成されている。さ
らに測定物３との接触面側には耐摩耗性膜６が被覆され
て、超音波送受信素子５が保護されている。電極７の上
下それぞれに溶着して結んだ電線８は、同軸ケーブル９
として合体され、超音波測定・解析機器（図示されてい
ない）に繋がっている。なお、超音波プローブ１に回転
が伴う測定の場合には、スリップリングを介して結線す
るようにする。
って形成し、詳しくはゴムまたは軟質ポリマーが好適で
ある。このようなダンパー材４は、すぐれた衝撃吸収
性，超音波吸収性，伸縮性を合わせ持っている。ダンパ
ー材４の前面には超音波送受信素子５が固着され、その
上下面には皮膜状の極薄な電極７が形成されている。さ
らに測定物３との接触面側には耐摩耗性膜６が被覆され
て、超音波送受信素子５が保護されている。電極７の上
下それぞれに溶着して結んだ電線８は、同軸ケーブル９
として合体され、超音波測定・解析機器（図示されてい
ない）に繋がっている。なお、超音波プローブ１に回転
が伴う測定の場合には、スリップリングを介して結線す
るようにする。
【００１６】超音波送受信素子５の一つに、ポリマー圧
電素子が挙げられる。具体的には、ポリフッ化ビニリデ
ン，フッ化ビニリデン系共重合体（フッ化ビニリデン，
トリフルオロエチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テ
トラフルオロエチレン共重合体等），シアン化ビニリデ
ン系共重合体，奇数ナイロン（奇数炭素ポリアミド），
ポリ尿素またはポリ乳酸からなる圧電膜が挙げられる。
電素子が挙げられる。具体的には、ポリフッ化ビニリデ
ン，フッ化ビニリデン系共重合体（フッ化ビニリデン，
トリフルオロエチレン共重合体，フッ化ビニリデン・テ
トラフルオロエチレン共重合体等），シアン化ビニリデ
ン系共重合体，奇数ナイロン（奇数炭素ポリアミド），
ポリ尿素またはポリ乳酸からなる圧電膜が挙げられる。
【００１７】中でも、ポリフッ化ビニリデンが最適であ
る。これは、電気機械結合定数はフッ化ビニリデン，ト
リフルオロエチレン共重合体が最も大きく、次いでポリ
フッ化ビニリデンの順となるが、可撓性や耐衝撃性の点
でポリフッ化ビニリデンに比べかなり劣るからである。
なおこれらの超音波送受信素子５の厚さは、可撓性を有
して送受信素子として機能させるために、１〜３００μ
ｍが好適である。
る。これは、電気機械結合定数はフッ化ビニリデン，ト
リフルオロエチレン共重合体が最も大きく、次いでポリ
フッ化ビニリデンの順となるが、可撓性や耐衝撃性の点
でポリフッ化ビニリデンに比べかなり劣るからである。
なおこれらの超音波送受信素子５の厚さは、可撓性を有
して送受信素子として機能させるために、１〜３００μ
ｍが好適である。
【００１８】また、超音波送受信素子５は、コンポジッ
ト圧電素子や被覆セラミックス圧電素子であってもよ
い。なお、被覆セラミックス圧電素子は１００〜１００
０ＭＨｚの高周波の場合に好適で、材料として特にＺｎ
Ｏが推奨される。被覆セラミックス圧電素子は、皮膜が
超薄膜となるので、セラミックス焼結体や石英を利用し
た従来の超音波送受信素子と比較して、衝撃による割れ
が起きにくくなる。
ト圧電素子や被覆セラミックス圧電素子であってもよ
い。なお、被覆セラミックス圧電素子は１００〜１００
０ＭＨｚの高周波の場合に好適で、材料として特にＺｎ
Ｏが推奨される。被覆セラミックス圧電素子は、皮膜が
超薄膜となるので、セラミックス焼結体や石英を利用し
た従来の超音波送受信素子と比較して、衝撃による割れ
が起きにくくなる。
【００１９】超音波送受信素子５には、これを保護し、
耐摩耗性を向上させるために耐摩耗性膜６が被覆され
る。すぐれた耐摩耗性膜６として、ポリイミド，ポリエ
ーテルイミド，ポリアミドまたはポリエーテルエーテル
ケトンが使用される。
耐摩耗性を向上させるために耐摩耗性膜６が被覆され
る。すぐれた耐摩耗性膜６として、ポリイミド，ポリエ
ーテルイミド，ポリアミドまたはポリエーテルエーテル
ケトンが使用される。
【００２０】以上のように構成された超音波プローブ１
にあって、作業工具２の作業開始時には衝撃と押圧が加
わることになるが、まず衝撃が可撓性でもって受容さ
れ、押圧に対してはダンパー材４が座屈することで測定
物３と一体的となる。このとき、測定物３の面あらさ，
凹凸面の状態，傾き具合などが多少悪くても、すぐれた
耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ１
がこれに倣って変形することで、測定物３の表面と密着
することになる。その結果、超音波の確実な伝播が行わ
れるようになる。
にあって、作業工具２の作業開始時には衝撃と押圧が加
わることになるが、まず衝撃が可撓性でもって受容さ
れ、押圧に対してはダンパー材４が座屈することで測定
物３と一体的となる。このとき、測定物３の面あらさ，
凹凸面の状態，傾き具合などが多少悪くても、すぐれた
耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ１
がこれに倣って変形することで、測定物３の表面と密着
することになる。その結果、超音波の確実な伝播が行わ
れるようになる。
【００２１】ナットランナーに超音波プローブが組み込
まれたような事例では、測定中に作業工具２と測定物３
との間に回転ずれが生じることがあるが、従来の超音波
プローブは接触面が離れたりずれたりしたのに反し、こ
の超音波プローブ１は、大きな座屈能力を有しているの
で、ずれに追随して変形し、密着性が維持される。測定
物３の上面に微細な切屑や回避できない人工塵が付着し
ていたとしても、残り部分で面の密着が得られる。
まれたような事例では、測定中に作業工具２と測定物３
との間に回転ずれが生じることがあるが、従来の超音波
プローブは接触面が離れたりずれたりしたのに反し、こ
の超音波プローブ１は、大きな座屈能力を有しているの
で、ずれに追随して変形し、密着性が維持される。測定
物３の上面に微細な切屑や回避できない人工塵が付着し
ていたとしても、残り部分で面の密着が得られる。
【００２２】ところで、超音波の波形位置計測法におい
ては、高周波による計測ほど測定精度は向上する。しか
しながら、超音波の周波数は、大きすぎると減衰が大き
くなるという欠点があり、小さすぎると測定精度が悪く
なる。ポリマー圧電素子やコンポジット圧電素子の場合
は、通常、固体計測には通常１〜１００ＭＨｚが選択さ
れるが、望ましくは１〜２０ＭＨｚとするのがよい。ま
た、超音波送受信素子は、縦波送受信素子，横波送受信
素子，あるいは縦横同一基盤素子のいずれであってもよ
いが、応力の精密計測を行うには縦横同一基盤素子の使
用するのが効果的である。
ては、高周波による計測ほど測定精度は向上する。しか
しながら、超音波の周波数は、大きすぎると減衰が大き
くなるという欠点があり、小さすぎると測定精度が悪く
なる。ポリマー圧電素子やコンポジット圧電素子の場合
は、通常、固体計測には通常１〜１００ＭＨｚが選択さ
れるが、望ましくは１〜２０ＭＨｚとするのがよい。ま
た、超音波送受信素子は、縦波送受信素子，横波送受信
素子，あるいは縦横同一基盤素子のいずれであってもよ
いが、応力の精密計測を行うには縦横同一基盤素子の使
用するのが効果的である。
【００２３】
【発明の効果】超音波プローブに可撓性を持たせたこと
により、被測定物の測定面の状態が多少悪くても測定面
の状態に倣って変形するから、密着が確保され、超音波
の伝播が確実に行われるようになる。取付時の衝撃を受
容するから、割れなどの損傷が防止され、計測時の外部
からの振動や測定物との接触面のずれなども吸収して密
着が保たれる。その結果、信頼性の高い測定データが得
られるようになる。
により、被測定物の測定面の状態が多少悪くても測定面
の状態に倣って変形するから、密着が確保され、超音波
の伝播が確実に行われるようになる。取付時の衝撃を受
容するから、割れなどの損傷が防止され、計測時の外部
からの振動や測定物との接触面のずれなども吸収して密
着が保たれる。その結果、信頼性の高い測定データが得
られるようになる。
【００２４】すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有
することから、従来硬質の保護ケースに収納されて製品
とされていた超音波プローブの保護ケースが不要とな
り、直接作業工具に組み込むことができるようになる。
ダンパー材には超音波透過減衰のある材料が選択されて
いるので超音波の出力効率が向上し、従来必要だった共
振コイルも不要となる。これらのことから、小型の超音
波プローブが提供できるようになる。超音波プローブ先
端は耐摩耗性膜により被覆されているので、摺動による
摩耗が起きにくく、長寿命である。
することから、従来硬質の保護ケースに収納されて製品
とされていた超音波プローブの保護ケースが不要とな
り、直接作業工具に組み込むことができるようになる。
ダンパー材には超音波透過減衰のある材料が選択されて
いるので超音波の出力効率が向上し、従来必要だった共
振コイルも不要となる。これらのことから、小型の超音
波プローブが提供できるようになる。超音波プローブ先
端は耐摩耗性膜により被覆されているので、摺動による
摩耗が起きにくく、長寿命である。
【図１】この発明に関わる超音波プローブおよびその使
用状況を説明する正面断面図である。
用状況を説明する正面断面図である。
１ 超音波プローブ ４ ダンパー材 ５ 超音波送受信素子 ６ 耐摩耗性膜 ７ 電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑野 芳行 神奈川県川崎市幸区堀川町580番地 ソリ ッドスクエア 東芝タンガロイ株式会社内 (72)発明者 星野 充宏 神奈川県横浜市南区中村町１−１−14 ジ ャパンプローブ株式会社内 (72)発明者 森山 信宏 東京都中央区日本橋堀留町１−９−11 呉 羽化学工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G047 CA01 EA21 GA01 GB11 GB23 GB35 GB36 5D019 AA16 AA18 AA24 BB02 BB04 FF05 GG05
Claims (7)
- 【請求項１】 屈伸性にすぐれた材料からなるダンパー
材と、その前面に固着された可撓性を有する超音波送受
信素子と、さらにその前面に被覆された耐摩耗性膜とに
よって構成されていることを特徴とするすぐれた耐衝撃
性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ。 - 【請求項２】 前記ダンパー材は、ゴムまたは軟質ポリ
マーであることを特徴とする請求項１に記載のすぐれた
耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ。 - 【請求項３】 前記超音波送受信素子は、可撓性を有す
るポリマー圧電素子，コンポジット圧電素子または被覆
セラミックス圧電素子であることを特徴とする請求項１
または請求項２に記載のすぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・
屈伸性を有する超音波プローブ。 - 【請求項４】 前記ポリマー圧電素子は、ポリフッ化ビ
ニリデン，フッ化ビニリデン系共重合体（フッ化ビニリ
デン，トリフルオロエチレン共重合体，フッ化ビニリデ
ン・テトラフルオロエチレン共重合体等），シアン化ビ
ニリデン系共重合体，奇数ナイロン（奇数炭素ポリアミ
ド），ポリ尿素またはポリ乳酸からなる圧電膜であるこ
とを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の
すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プ
ローブ。 - 【請求項５】 前記被覆セラミックス圧電素子は、Ｚｎ
Ｏであることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれ
かに記載のすぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有す
る超音波プローブ。 - 【請求項６】 前記耐摩耗性膜は、ポリイミド，ポリエ
ーテルイミド，ポリアミドまたはポリエーテルエーテル
ケトンであることを特徴とする請求項１〜請求項５のい
ずれかに記載のすぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を
有する超音波プローブ。 - 【請求項７】 前記超音波プローブは、保護ケースに収
められることなく直接作業工具に組み込まれることを特
徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載のすぐれ
た耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プロー
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001170437A JP2002365270A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001170437A JP2002365270A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002365270A true JP2002365270A (ja) | 2002-12-18 |
Family
ID=19012360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001170437A Pending JP2002365270A (ja) | 2001-06-06 | 2001-06-06 | すぐれた耐衝撃性・耐摩耗性・屈伸性を有する超音波プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002365270A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012093246A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Jfe Steel Corp | 超音波プローブ及び欠陥検出方法 |
| JP2012093247A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Jfe Steel Corp | 漏洩弾性表面波を用いた欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
| WO2015167013A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-11-05 | 日本バルカー工業株式会社 | 音波・衝撃検知素子 |
| CN109084890A (zh) * | 2018-09-06 | 2018-12-25 | 广东奥迪威传感科技股份有限公司 | 超声波传感器及其生产方法 |
| US11965796B2 (en) * | 2021-08-31 | 2024-04-23 | Honda Motor Co., Ltd. | Ultrasonic wave propagation member |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH067677Y2 (ja) * | 1989-01-13 | 1994-02-23 | 日本特殊陶業株式会社 | ピエゾゴム超音波探触子 |
| JPH08327614A (ja) * | 1995-03-28 | 1996-12-13 | Ngk Insulators Ltd | 音響電気効果型超音波トランスデューサ |
| JPH11295281A (ja) * | 1998-04-08 | 1999-10-29 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | 計測用の超音波トランスジューサー |
-
2001
- 2001-06-06 JP JP2001170437A patent/JP2002365270A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN109084890A (zh) * | 2018-09-06 | 2018-12-25 | 广东奥迪威传感科技股份有限公司 | 超声波传感器及其生产方法 |
| CN109084890B (zh) * | 2018-09-06 | 2023-10-27 | 广东奥迪威传感科技股份有限公司 | 超声波传感器及其生产方法 |
| US11965796B2 (en) * | 2021-08-31 | 2024-04-23 | Honda Motor Co., Ltd. | Ultrasonic wave propagation member |
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