JP2002365245A - 波長分散型蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
波長分散型蛍光ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JP2002365245A JP2002365245A JP2001169003A JP2001169003A JP2002365245A JP 2002365245 A JP2002365245 A JP 2002365245A JP 2001169003 A JP2001169003 A JP 2001169003A JP 2001169003 A JP2001169003 A JP 2001169003A JP 2002365245 A JP2002365245 A JP 2002365245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescent
- rays
- range
- analyzed
- spectroscopic element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000012764 semi-quantitative analysis Methods 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 波長分散型蛍光Ｘ線分析装置において、分光
素子に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線が検出器に入
射しても、分析対象の元素について微量から高濃度まで
正確に分析できる装置を提供する。 【解決手段】 分光素子６に含まれる元素から発生する
蛍光Ｘ線１６の波高範囲が、分析対象の蛍光Ｘ線７の波
高範囲に重なる場合に、分析対象の蛍光Ｘ線７の強度に
応じて、波高分析器１３が選別する所定の波高範囲を変
更する波高分析範囲変更手段１５を備える。
素子に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線が検出器に入
射しても、分析対象の元素について微量から高濃度まで
正確に分析できる装置を提供する。 【解決手段】 分光素子６に含まれる元素から発生する
蛍光Ｘ線１６の波高範囲が、分析対象の蛍光Ｘ線７の波
高範囲に重なる場合に、分析対象の蛍光Ｘ線７の強度に
応じて、波高分析器１３が選別する所定の波高範囲を変
更する波高分析範囲変更手段１５を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、いわゆる波長分散
型の蛍光Ｘ線分析装置に関するものである。
型の蛍光Ｘ線分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、波長分散型の蛍光Ｘ線分析におい
ては、試料に１次Ｘ線を照射し、試料から発生する蛍光
Ｘ線を分光素子で分光し、分光された蛍光Ｘ線を検出器
で検出してパルスを発生させる。このパルスの電圧すな
わち波高は蛍光Ｘ線のエネルギーに応じたものであり、
パルスの単位時間あたりの数は蛍光Ｘ線の強度に応じた
ものである。そこで、パルスのうち所定の波高範囲のも
のを波高分析器で選別して、その計数率（単位時間あた
りのパルス数）をスケーラ等の計数手段で求めている。
ては、試料に１次Ｘ線を照射し、試料から発生する蛍光
Ｘ線を分光素子で分光し、分光された蛍光Ｘ線を検出器
で検出してパルスを発生させる。このパルスの電圧すな
わち波高は蛍光Ｘ線のエネルギーに応じたものであり、
パルスの単位時間あたりの数は蛍光Ｘ線の強度に応じた
ものである。そこで、パルスのうち所定の波高範囲のも
のを波高分析器で選別して、その計数率（単位時間あた
りのパルス数）をスケーラ等の計数手段で求めている。
【０００３】さて、試料から発生する蛍光Ｘ線に励起さ
れて、分光素子に含まれる元素からわずかながら蛍光Ｘ
線が発生し、分光素子で分光された分析対象の蛍光Ｘ線
とともに、検出器に入射することがある。ここで、分光
素子から発生する蛍光Ｘ線の波高範囲が、分析対象の蛍
光Ｘ線の波高範囲に重なり、しかも、分析対象の蛍光Ｘ
線の強度が微弱であると、分光素子から発生する蛍光Ｘ
線が妨害線として問題となる。そこで、このような場合
には、前記波高分析器における所定の波高範囲を変更し
て、分光素子から発生する蛍光Ｘ線の波高範囲を含まな
いように狭くすることが考えられる。
れて、分光素子に含まれる元素からわずかながら蛍光Ｘ
線が発生し、分光素子で分光された分析対象の蛍光Ｘ線
とともに、検出器に入射することがある。ここで、分光
素子から発生する蛍光Ｘ線の波高範囲が、分析対象の蛍
光Ｘ線の波高範囲に重なり、しかも、分析対象の蛍光Ｘ
線の強度が微弱であると、分光素子から発生する蛍光Ｘ
線が妨害線として問題となる。そこで、このような場合
には、前記波高分析器における所定の波高範囲を変更し
て、分光素子から発生する蛍光Ｘ線の波高範囲を含まな
いように狭くすることが考えられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、そのように
設定したままであると、分光素子から発生する蛍光Ｘ線
を無視できるほど分析対象の蛍光Ｘ線の強度が十分大き
い場合に、いわゆる数え落としが発生し、真の強度に対
し測定強度が飽和してしまい、正しく分析ができない。
設定したままであると、分光素子から発生する蛍光Ｘ線
を無視できるほど分析対象の蛍光Ｘ線の強度が十分大き
い場合に、いわゆる数え落としが発生し、真の強度に対
し測定強度が飽和してしまい、正しく分析ができない。
【０００５】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、波長分散型蛍光Ｘ線分析装置において、分光素
子に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線が検出器に入射
しても、分析対象の元素について微量から高濃度まで正
確に分析できる装置を提供することを目的とする。
もので、波長分散型蛍光Ｘ線分析装置において、分光素
子に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線が検出器に入射
しても、分析対象の元素について微量から高濃度まで正
確に分析できる装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本願発明の波長分散型蛍光Ｘ線分析装置は、まず、
試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、試料から発生した
蛍光Ｘ線を分光する分光素子と、その分光素子で分光さ
れた蛍光Ｘ線が入射されて、蛍光Ｘ線のエネルギーに応
じた波高のパルスを強度に応じた数だけ発生させる検出
器と、その検出器で発生したパルスのうち所定の波高範
囲のものを選別する波高分析器と、その波高分析器で選
別されたパルスの計数率を求める計数手段とを備えてい
る。そして、さらに、前記分光素子に含まれる元素から
発生する蛍光Ｘ線の波高範囲が、分析対象の蛍光Ｘ線の
波高範囲に重なる場合に、分析対象の蛍光Ｘ線の強度に
応じて、前記波高分析器における所定の波高範囲を変更
する波高分析範囲変更手段を備えている。
に、本願発明の波長分散型蛍光Ｘ線分析装置は、まず、
試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、試料から発生した
蛍光Ｘ線を分光する分光素子と、その分光素子で分光さ
れた蛍光Ｘ線が入射されて、蛍光Ｘ線のエネルギーに応
じた波高のパルスを強度に応じた数だけ発生させる検出
器と、その検出器で発生したパルスのうち所定の波高範
囲のものを選別する波高分析器と、その波高分析器で選
別されたパルスの計数率を求める計数手段とを備えてい
る。そして、さらに、前記分光素子に含まれる元素から
発生する蛍光Ｘ線の波高範囲が、分析対象の蛍光Ｘ線の
波高範囲に重なる場合に、分析対象の蛍光Ｘ線の強度に
応じて、前記波高分析器における所定の波高範囲を変更
する波高分析範囲変更手段を備えている。
【０００７】本発明の装置によれば、分光素子から発生
する蛍光Ｘ線の波高範囲が分析対象の蛍光Ｘ線の波高範
囲に重なる場合に、波高分析範囲変更手段が、分析対象
の蛍光Ｘ線の強度に応じて、波高分析器における所定の
波高範囲を適切に変更するので、分光素子に含まれる元
素から発生する蛍光Ｘ線が検出器に入射しても、分析対
象の元素について微量から高濃度まで正確に分析でき
る。
する蛍光Ｘ線の波高範囲が分析対象の蛍光Ｘ線の波高範
囲に重なる場合に、波高分析範囲変更手段が、分析対象
の蛍光Ｘ線の強度に応じて、波高分析器における所定の
波高範囲を適切に変更するので、分光素子に含まれる元
素から発生する蛍光Ｘ線が検出器に入射しても、分析対
象の元素について微量から高濃度まで正確に分析でき
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態の装置
について、その構成から説明する。この装置は、図１に
示すように、まず、試料１が載置される試料台２と、試
料１に１次Ｘ線３を照射するＸ線管等のＸ線源４と、試
料１から発生した蛍光Ｘ線５を分光する分光素子６と、
分光素子６で分光された蛍光Ｘ線７が入射されて、蛍光
Ｘ線７のエネルギーに応じた波高（電圧）のパルスを強
度に応じた数だけ発生させる検出器８と、検出器８で発
生したパルスのうち所定の波高範囲のものを選別する波
高分析器１３と、波高分析器１３で選別されたパルスの
計数率を求める計数手段１４とを備えている。分光素子
は、複数を交換（選択）して使用してもよい。
について、その構成から説明する。この装置は、図１に
示すように、まず、試料１が載置される試料台２と、試
料１に１次Ｘ線３を照射するＸ線管等のＸ線源４と、試
料１から発生した蛍光Ｘ線５を分光する分光素子６と、
分光素子６で分光された蛍光Ｘ線７が入射されて、蛍光
Ｘ線７のエネルギーに応じた波高（電圧）のパルスを強
度に応じた数だけ発生させる検出器８と、検出器８で発
生したパルスのうち所定の波高範囲のものを選別する波
高分析器１３と、波高分析器１３で選別されたパルスの
計数率を求める計数手段１４とを備えている。分光素子
は、複数を交換（選択）して使用してもよい。
【０００９】そして、検出器８に入射する蛍光Ｘ線７の
波長が変化するように、分光素子６と検出器８を連動さ
せる連動手段１０、すなわちいわゆるゴニオメータを備
えている。蛍光Ｘ線５がある入射角θで分光素子６へ入
射すると、その蛍光Ｘ線５の延長線９と分光素子６で分
光（回折）された蛍光Ｘ線７は入射角（回折角）θの２
倍の分光角２θをなすが、連動手段１０は、分光角２θ
を変化させて分光される蛍光Ｘ線７の波長を変化させつ
つ、その分光された蛍光Ｘ線７が検出器８に入射し続け
るように、分光素子６を、その表面の中心を通る紙面に
垂直な軸Ｏを中心に回転させ、その回転角の２倍だけ、
検出器８を、軸Ｏを中心に円１２に沿って回転させる。
以上のように、この装置は、波長分散型であって走査型
の蛍光Ｘ線分析装置である。
波長が変化するように、分光素子６と検出器８を連動さ
せる連動手段１０、すなわちいわゆるゴニオメータを備
えている。蛍光Ｘ線５がある入射角θで分光素子６へ入
射すると、その蛍光Ｘ線５の延長線９と分光素子６で分
光（回折）された蛍光Ｘ線７は入射角（回折角）θの２
倍の分光角２θをなすが、連動手段１０は、分光角２θ
を変化させて分光される蛍光Ｘ線７の波長を変化させつ
つ、その分光された蛍光Ｘ線７が検出器８に入射し続け
るように、分光素子６を、その表面の中心を通る紙面に
垂直な軸Ｏを中心に回転させ、その回転角の２倍だけ、
検出器８を、軸Ｏを中心に円１２に沿って回転させる。
以上のように、この装置は、波長分散型であって走査型
の蛍光Ｘ線分析装置である。
【００１０】そして、さらに、この装置は、前記分光素
子６に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線１６の波高範
囲が、分析対象の蛍光Ｘ線７の波高範囲に重なる場合
に、分析対象の蛍光Ｘ線７の強度に応じて、前記波高分
析器１３における所定の波高範囲を変更する波高分析範
囲変更手段１５を備えている。波高分析範囲変更手段１
５、波高分析器１３および計数手段１４は、分析手段１
１を構成する。
子６に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線１６の波高範
囲が、分析対象の蛍光Ｘ線７の波高範囲に重なる場合
に、分析対象の蛍光Ｘ線７の強度に応じて、前記波高分
析器１３における所定の波高範囲を変更する波高分析範
囲変更手段１５を備えている。波高分析範囲変更手段１
５、波高分析器１３および計数手段１４は、分析手段１
１を構成する。
【００１１】次に、この装置の動作について説明する。
この装置では、定性分析の測定値を定量分析に用いる、
いわゆる半定量分析を行う。まず、未知試料１に対し
て、波高分析器１３における所定の波高範囲、いわゆる
窓を狭く設定し、分光素子６と検出器８を連動手段１０
で連続的に連動させることにより、予備測定を行う。そ
の結果、検出器８で発生したパルスの波高に対する計数
率、すなわち微分曲線が得られるが、これによれば、分
光素子６から発生する蛍光Ｘ線１６の波高範囲が重な
り、しかも、例えばピーク強度が所定値１３０ｋｃｐｓ
以下である分析対象の蛍光Ｘ線７を発見できるので、そ
れを波高分析範囲変更手段１５が記憶する。例えば、微
量のリンを分析するために分光素子６にゲルマニウム結
晶を用い、分析対象のＰ−Ｋα線７にＧe−Ｌα線１６
が重なる場合や、微量の硫黄を分析するためにゲルマニ
ウム結晶を用いる場合、微量のふっ素を分析するために
ＴＡＰを用いる場合等が該当する。
この装置では、定性分析の測定値を定量分析に用いる、
いわゆる半定量分析を行う。まず、未知試料１に対し
て、波高分析器１３における所定の波高範囲、いわゆる
窓を狭く設定し、分光素子６と検出器８を連動手段１０
で連続的に連動させることにより、予備測定を行う。そ
の結果、検出器８で発生したパルスの波高に対する計数
率、すなわち微分曲線が得られるが、これによれば、分
光素子６から発生する蛍光Ｘ線１６の波高範囲が重な
り、しかも、例えばピーク強度が所定値１３０ｋｃｐｓ
以下である分析対象の蛍光Ｘ線７を発見できるので、そ
れを波高分析範囲変更手段１５が記憶する。例えば、微
量のリンを分析するために分光素子６にゲルマニウム結
晶を用い、分析対象のＰ−Ｋα線７にＧe−Ｌα線１６
が重なる場合や、微量の硫黄を分析するためにゲルマニ
ウム結晶を用いる場合、微量のふっ素を分析するために
ＴＡＰを用いる場合等が該当する。
【００１２】そして、波高分析範囲変更手段１５が、記
憶した分析対象の蛍光Ｘ線７については、波高分析器１
３における所定の波高範囲を例えば１５０〜３００に変
更し、それ以外の分析対象の蛍光Ｘ線７については、波
高分析器１３における所定の波高範囲を通常の例えば１
００〜３００のままで、半定量分析を行う。
憶した分析対象の蛍光Ｘ線７については、波高分析器１
３における所定の波高範囲を例えば１５０〜３００に変
更し、それ以外の分析対象の蛍光Ｘ線７については、波
高分析器１３における所定の波高範囲を通常の例えば１
００〜３００のままで、半定量分析を行う。
【００１３】この装置によれば、例えば図２のように、
分光素子６から発生するＧe−Ｌα線１６の波高範囲
が、分析対象のＰ−Ｋα線７の波高範囲に重なり、しか
も、Ｐ−Ｋα線７の強度が微弱でＧe−Ｌα線１６が無
視できない場合には、波高分析範囲変更手段１５によ
り、波高分析器１３における所定の波高範囲が１５０〜
３００に変更されるので、Ｇe−Ｌα線１６の波高範囲
を含まなくなる。一方、分光素子６から発生する蛍光Ｘ
線１６を無視できるほど分析対象の蛍光Ｘ線７の強度が
十分大きい場合には、波高分析器１３における所定の波
高範囲が通常の１００〜３００のままであるので、前述
した数え落としは発生せず、真の強度に対し測定強度が
飽和するようなことがない。したがって、分光素子６に
含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線１６が検出器８に入
射しても、分析対象の元素について微量から高濃度まで
正確に分析できる。
分光素子６から発生するＧe−Ｌα線１６の波高範囲
が、分析対象のＰ−Ｋα線７の波高範囲に重なり、しか
も、Ｐ−Ｋα線７の強度が微弱でＧe−Ｌα線１６が無
視できない場合には、波高分析範囲変更手段１５によ
り、波高分析器１３における所定の波高範囲が１５０〜
３００に変更されるので、Ｇe−Ｌα線１６の波高範囲
を含まなくなる。一方、分光素子６から発生する蛍光Ｘ
線１６を無視できるほど分析対象の蛍光Ｘ線７の強度が
十分大きい場合には、波高分析器１３における所定の波
高範囲が通常の１００〜３００のままであるので、前述
した数え落としは発生せず、真の強度に対し測定強度が
飽和するようなことがない。したがって、分光素子６に
含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線１６が検出器８に入
射しても、分析対象の元素について微量から高濃度まで
正確に分析できる。
【００１４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、分光素子から発生する蛍光Ｘ線の波高範囲が分析
対象の蛍光Ｘ線の波高範囲に重なる場合に、波高分析範
囲変更手段が、分析対象の蛍光Ｘ線の強度に応じて、波
高分析器における所定の波高範囲を適切に変更するの
で、分光素子に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線が検
出器に入射しても、分析対象の元素について微量から高
濃度まで正確に分析できる。
れば、分光素子から発生する蛍光Ｘ線の波高範囲が分析
対象の蛍光Ｘ線の波高範囲に重なる場合に、波高分析範
囲変更手段が、分析対象の蛍光Ｘ線の強度に応じて、波
高分析器における所定の波高範囲を適切に変更するの
で、分光素子に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線が検
出器に入射しても、分析対象の元素について微量から高
濃度まで正確に分析できる。
【図１】本発明の一実施形態の波長分散型蛍光Ｘ線分析
装置を示す概略図である。
装置を示す概略図である。
【図２】同装置が備える波高分析範囲変更手段の動作内
容の一例を示す図である。
容の一例を示す図である。
１…試料、３…１次Ｘ線、４…Ｘ線源、５…試料から発
生した蛍光Ｘ線、６…分光素子、７…分光素子で分光さ
れた蛍光Ｘ線、８…検出器、１３…波高分析器、１４…
計数手段、１５…波高分析範囲変更手段。
生した蛍光Ｘ線、６…分光素子、７…分光素子で分光さ
れた蛍光Ｘ線、８…検出器、１３…波高分析器、１４…
計数手段、１５…波高分析範囲変更手段。
Claims (1)
- 【請求項１】 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 試料から発生した蛍光Ｘ線を分光する分光素子と、 その分光素子で分光された蛍光Ｘ線が入射されて、蛍光
Ｘ線のエネルギーに応じた波高のパルスを強度に応じた
数だけ発生させる検出器と、 その検出器で発生したパルスのうち所定の波高範囲のも
のを選別する波高分析器と、 その波高分析器で選別されたパルスの計数率を求める計
数手段と、 前記分光素子に含まれる元素から発生する蛍光Ｘ線の波
高範囲が、分析対象の蛍光Ｘ線の波高範囲に重なる場合
に、分析対象の蛍光Ｘ線の強度に応じて、前記波高分析
器における所定の波高範囲を変更する波高分析範囲変更
手段とを備えた波長分散型蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169003A JP2002365245A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169003A JP2002365245A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002365245A true JP2002365245A (ja) | 2002-12-18 |
Family
ID=19011131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001169003A Pending JP2002365245A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002365245A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008058159A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Shimadzu Corp | 表面分析装置 |
| EP1978354A1 (en) * | 2007-04-05 | 2008-10-08 | Panalytical B.V. | Wavelength dispersive X-ray Fluorescence Apparatus with energy dispersive detector in the form of a silicon drift detector to improve background supression |
| EP3835769A4 (en) * | 2018-08-09 | 2021-09-22 | Rigaku Corporation | X-RAY FLUORESCENCE SPECTROMETERS |
-
2001
- 2001-06-05 JP JP2001169003A patent/JP2002365245A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008058159A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Shimadzu Corp | 表面分析装置 |
| EP1978354A1 (en) * | 2007-04-05 | 2008-10-08 | Panalytical B.V. | Wavelength dispersive X-ray Fluorescence Apparatus with energy dispersive detector in the form of a silicon drift detector to improve background supression |
| JP2008256698A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Panalytical Bv | 蛍光ｘ線分析装置 |
| US7720192B2 (en) | 2007-04-05 | 2010-05-18 | Panalytical B.V. | X-ray fluorescence apparatus |
| EP3835769A4 (en) * | 2018-08-09 | 2021-09-22 | Rigaku Corporation | X-RAY FLUORESCENCE SPECTROMETERS |
| US11156569B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-10-26 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPWO2005005969A1 (ja) | エネルギー分散型エックス線回折・分光装置 | |
| CN1952652A (zh) | 荧光x射线分析装置及该装置中使用的程序 | |
| US6310935B1 (en) | Fluorescent x-ray analyzer | |
| AU759024B2 (en) | Analysis of chemical elements | |
| JP2002365245A (ja) | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置 | |
| KR102274965B1 (ko) | 형광 x선 분석 장치 | |
| EP1521947B1 (en) | Scatter spectra method for x-ray fluorescent analysis with optical components | |
| JPH0247542A (ja) | Ｘ線分光器を用いた定量分析方法 | |
| JPS58143254A (ja) | 物質同定装置 | |
| JP3312001B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP3949850B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2000193616A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP7698901B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP4656009B2 (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP7653719B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP3236838B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法および装置 | |
| JP2004212406A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置およびこれに使用する記録媒体 | |
| SU868503A1 (ru) | Рентгеновский спектрометр | |
| USH922H (en) | Method for analyzing materials using x-ray fluorescence | |
| JP2000009666A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP4255012B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2000310602A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置およびこれに使用する記録媒体 | |
| JP2003042978A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2002340822A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP3394936B2 (ja) | 波長分散型蛍光ｘ線分析方法および装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070112 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090113 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090330 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091027 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100302 |