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JP2002165132A - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents

固体撮像装置及びその駆動方法

Info

Publication number
JP2002165132A
JP2002165132A JP2000356659A JP2000356659A JP2002165132A JP 2002165132 A JP2002165132 A JP 2002165132A JP 2000356659 A JP2000356659 A JP 2000356659A JP 2000356659 A JP2000356659 A JP 2000356659A JP 2002165132 A JP2002165132 A JP 2002165132A
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JP
Japan
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signal
photoelectric
output
signals
storage means
Prior art date
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Application number
JP2000356659A
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English (en)
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JP2002165132A5 (ja
Inventor
Kazuhiro Kawajiri
和廣 川尻
Takashi Mitsuida
▲高▼ 三井田
Shuji Yamamoto
修治 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Innotech Corp USA
Original Assignee
Innotech Corp USA
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Publication date
Application filed by Innotech Corp USA filed Critical Innotech Corp USA
Priority to JP2000356659A priority Critical patent/JP2002165132A/ja
Publication of JP2002165132A publication Critical patent/JP2002165132A/ja
Publication of JP2002165132A5 publication Critical patent/JP2002165132A5/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 サンプリング画素に基づいて光電気信号の取
り込みを高速に行いつつ、画像の劣化を抑制することが
できる固体撮像装置を提供する。 【解決手段】 行と列に配列された複数の光電変換素子
と、各列に対応するすべての第1の記憶手段Cms及び
第2の記憶手段Cmnに記憶された信号のうち特定の複
数の光電気信号を同時に選択して出力させ、及び特定の
複数の光電気信号に対応する複数の誤差信号を同時に選
択して出力させる制御手段と、第1の記憶手段Cmsか
ら同時に出力された特定の複数の光電気信号を入力し、
加算する第1の積分回路71a、71bと、第2の記憶
手段Cmnから同時に出力された複数の誤差信号を入力
し、加算する第2の積分回路71a、71bとを有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置及び
その駆動方法に関し、より詳しくは、ビデオカメラ、電
子カメラ、画像入力カメラ、スキャナ又はファクシミリ
等に用いられるMOS型イメージセンサを備えた固体撮
像装置及びその駆動方法に関する。
【0002】
【従来の技術】CCD型イメージセンサやMOS型イメ
ージセンサなどの半導体イメージセンサは量産性に優れ
ているため、パターンの微細化技術の進展に伴い、多く
の画像入力デバイス装置に適用されている。特に、近
年、CCD型イメージセンサと比べて、消費電力が小さ
く、かつセンサ素子と周辺回路素子とを同じCMOS技
術によって作成できるという利点を有することから、M
OS型イメージセンサが注目されている。
【0003】このような世の中の動向に鑑み、本願発明
者らはMOS型イメージセンサの改良を行い、キャリア
ポケット(高濃度埋込層)を有する閾値変調型センサ素
子を提案した(特許登録番号2935492号)。とこ
ろで、デジタルスチールカメラやビデオカメラ等では、
近年、操作上の利便性から自動露出装置や自動合焦装置
を備えたものが多くなっている。このようなデジタルス
チールカメラ等では、自動露出や自動合焦を行なうため
に、実写する前に予めモニタ画像を取り込む必要があ
る。
【0004】このような場合、高速性が要求されるた
め、MOS型イメージセンサを備えたものでは、画素飛
ばしが行なわれている。画素飛ばしとは、全画素のうち
から間引きを行って適当な場所の画素(サンプリング画
素)を選択して情報を取り込み、その情報のみを基にし
て画像を描かせることをいう。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、全画素
のうちから間引きを行ってサンプリング画素のみの情報
を基に画像を描かせているため、正確な情報が得られ
ず、モニタ画像が粗くなるという問題がある。また、読
み出しフレーム数が増加した場合、それに応じて読み出
し速度を上げる必要があるため、光電変換素子に光発生
電荷を蓄積させるための時間が短くなり、結果として光
発生電荷の蓄積量が少なくなる。このため、画像劣化の
原因となるという問題がある。
【0006】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
創作されたものであり、サンプリング画素に基づいて光
電気信号の取り込みを高速に行いつつ、画像の劣化を抑
制することができる固体撮像装置及びその駆動回路を提
供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の固体撮像装置は、図1、図2に示すよう
に、行と列に配列された複数の光電変換素子(単位画
素)101と、複数の光電変換素子101と接続して、
複数の特定の光電気信号、及び特定の光電気信号に対応
する複数の誤差信号をそれぞれ選択して加算し、加算し
た光電気信号と誤差信号の差信号を出力する信号出力回
路105と、複数の特定の光電気信号、例えばカラーフ
ィルタの同じ色に対応する複数の光電気信号を同時に選
択して出力させ、及び特定の光電気信号に対応する複数
の誤差信号を同時に選択して出力させる制御手段104
とを有する。
【0008】信号出力回路105には、図4、図6乃至
図8に示すように、誤差信号を含む光電気信号を入力し
て記憶する第1の記憶手段Cmsと、第1の記憶手段C
msと対をなし、光電変換素子101からオフセット後
に出力された誤差信号を記憶する第2の記憶手段Cmn
とが列毎に設けられている。さらに、第1の記憶手段C
msから同時に出力された特定の複数の光電気信号を入
力し、加算するとともに、第2の記憶手段Cmnから同
時に出力された複数の誤差信号を入力し、加算する加算
手段71、71a、71bとが設けられていることを特
徴としている。
【0009】信号出力回路105の詳細な構成例として
以下のものが挙げられる。第1に、図4及び図5に示す
ように、一列に二対の第1の記憶手段Cms及び第2の
記憶手段Cmnを有し、一組の加算手段73a、73b
とを有する場合がある。なお、サンプリングすべき光電
変換素子を含む行に対応する三対以上の第1の記憶手段
Cms及び第2の記憶手段Cmnを接続することも可能
である。
【0010】第2に、図6に示すように、一列に二対の
第1の記憶手段Cms及び第2の記憶手段Cmnを有
し、二組の加算手段71a、71bを有する場合があ
る。二対の第1の記憶手段Cms及び第2の記憶手段C
mnはともに列に並ぶすべての光電変換素子101と接
続され、各列毎に、各一対の記憶手段Cms、Cmnは
異なる一組の加算手段71a、71bと接続されてい
る。
【0011】なお、サンプリングすべき光電変換素子を
含む行に対応する三対以上の第1の記憶手段Cms及び
第2の記憶手段Cmnと対応する三組以上の加算手段と
を設けることも可能である。第3に、図7に示すよう
に、図6と同様に、一列に二対の第1の記憶手段Cms
及び第2の記憶手段Cmnを有し、二組の加算手段71
a、71bを有する場合がある。この場合、図6と異な
り、列に並ぶ光電変換素子の出力と接続する記憶素子を
隣接する列同士で入れ替えるスイッチ73を有してい
る。
【0012】第4に、図8に示すように、図6及び図7
と同様に、一列に二対の第1の記憶手段Cms及び第2
の記憶手段Cmnを有し、二組の加算手段71a、71
bを有する場合がある。また、図7と同様に、列に並ぶ
光電変換素子101の出力と接続する記憶素子を隣接す
る列同士で入れ替えるスイッチ73を有している。この
場合、図7と異なり、隣接する列で異なる組の加算手段
71a、71b、及び引算手段72a、72bに接続し
ている。
【0013】即ち、この発明の固体撮像装置の構成は、
カラーフィルタの色毎に光電気信号等が加算されるよう
に構成されていることを特徴としている。また、特に、
図6乃至図8に示すように、異なる色に対応する光電気
信号が別々の一組の加算手段71a、71bにより加算
されるように構成されていることを特徴としている。光
電変換素子(単位画素)101は、例えば、図3に示す
ように、受光ダイオード111を備え、更に、受光ダイ
オード111に隣接して形成され、受光ダイオード11
1で発生した光発生電荷を蓄積する高濃度埋込層25が
ゲート電極19下方のチャネル領域17b下に形成され
た光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタ11
2を備えていることを特徴としている。
【0014】本発明の駆動方法は、上記の固体撮像装置
を用いて、複数の特定の光電気信号、例えばカラーフィ
ルタの同じ色に対応する複数の光電気信号を同時に選択
し、出力して加算し、及び特定の複数の光電気信号に対
応する誤差信号を同時に選択し、出力して加算すること
を特徴としている。また、場合により、異なる色に対応
する複数の光電気信号を別々の一組の加算手段71a、
71bにより加算することを特徴としている。
【0015】以下に、本発明の構成に基づく作用・効果
について説明する。本発明によれば、列毎に設けられた
第1の記憶素子Cmsに記憶された光電気信号や第1の
記憶素子Cmsと対をなす第2の記憶素子Cmnに記憶
された誤差信号のうち特定の光電気信号、例えばカラー
フィルタの同じ色に対応する複数の光電気信号を同時に
選択し、加算手段71、71a、71bに入力して加算
し、さらに特定の光電気信号に対応する誤差信号を同時
に選択し、加算手段71、71a、71bに入力して加
算するように構成されていることを特徴としている。そ
して、加算した光電気信号及び対応する誤差信号との差
信号を出力するように構成されている。
【0016】即ち、例えば、ベイヤ配列されたカラーフ
ィルタの色配列に対応する光電変換素子(画素)に対し
て画素飛ばしを行なう場合、サンプリングすべき光電変
換素子として隣接する複数の光電変換素子を選択すると
ともに、対応する光電気信号のうち同じ色の光電気信号
を選択して加算する。この場合、選択する同じ色に対応
する光電気信号の数を読み出し速度に比例して増減させ
ることにより、光発生電荷の蓄積量に対応する信号量を
一定に保つことができるとともに、モニタ画像が粗くな
るのを抑制し、より正確な画像を得るようにすることが
できる。
【0017】また、同じ色に対応する複数の光電気信号
を選択して加算しているが、加算手段71、71a、7
1bとして、例えば演算増幅器の入出力間に帰還容量素
子とスイッチとを並列接続した構成を有する所謂スイッ
チトキャパシタを用いることにより、同じ色に対応する
複数の光電気信号を同時に入力させて加算することが可
能である。即ち、同じ色に対応する複数の光電気信号を
記憶している複数の記憶素子Cmsに対して同時に一度
の選択を行なってそれらの光電気信号を出力させるだけ
でよいので、画素一つを選択して画素飛ばしを行なう場
合と同等な時間しか必要としない。従って、モニタ画像
の取り込みを高速に行なうことができる。
【0018】このように、サンプリングすべき光電変換
素子に基づいて光電気信号の取り込みを高速に行いつ
つ、画質の劣化を抑制することができる。また、異なる
色に対応する光電気信号や誤差信号が別々の一組の加算
手段71a、71bにより加算されるように構成されて
いることを特徴としている。従って、同じ色の光電気信
号が異なる加算手段71a、71bを通ることによる画
質のばらつきを抑制することができる。これにより、サ
ンプリングすべき光電変換素子に基づいて光電気信号の
取り込みを高速に行いつつ、画質の劣化を抑制すること
ができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照しながら説明する。 (第1の実施の形態)図1を参照して、この発明の第1
の実施の形態である固体撮像装置の要部の回路構成につ
いて説明する。
【0020】図1は、カラーフィルタの色配置と対応さ
せた画素の配置と、信号出力回路と、制御回路との接続
関係を示す回路構成図である。カラーフィルタは、図1
に示すように、ベイヤ配列により色配置されている。即
ち、1行目で、R,G,R,G,・・・という順に並
び、2行目でG,B,G,B,・・・という順に並び、
3行目以下はこれらの並びが順次繰り返されている。画
素101は各色に対応するように行と列に配列されてい
る。
【0021】行の選択は垂直走査信号の駆動走査回路
(VSCAN駆動走査回路)と繋がった垂直走査信号の
供給線(VSCAN供給線)21a、21b・・により
行なわれる。また、図4及び図6に示すように、各画素
101の出力端子は列毎にすべて一つの垂直出力線20
a、20b・・に接続している。
【0022】制御回路104は信号出力回路105に接
続され、信号出力回路105内の複数の記憶素子を同時
に選択して複数の光電気信号を出力させるタイミングを
制御する。また、光電変換素子101から光電気信号を
記憶素子に入力させるタイミングを制御する制御回路が
設けられている。次に、図2を参照して本発明の実施の
形態におけるMOS型イメージセンサの全体の構成につ
いてさらに詳細に説明する。
【0023】図2は、本発明の実施の形態におけるMO
S型イメージセンサの回路構成図を示す。図2に示すよ
うに、このMOS型イメージセンサは、2次元アレーセ
ンサの構成を採っており、下記する構造の単位画素(光
電変換素子)101が行及び列にマトリクス状に配列さ
れている。
【0024】また、VSCAN駆動走査回路102及び
ドレイン電圧の駆動走査回路(VDD駆動走査回路)1
03が画素領域を挟んでその左右に配置されている。V
SCAN供給線21a,21bはVSCAN駆動走査回
路102から行毎に一つずつでている。各VSCAN供
給線21a,21bは行方向に並ぶ全ての画素101内
のMOSトランジスタ112のゲートに接続されてい
る。
【0025】また、ドレイン電圧供給線(VDD供給
線)22a,22bはVDD駆動走査回路103から行
毎に一つずつでている。各VDD供給線22a,22b
は、行方向に並ぶ全ての画素101内の光信号検出用M
OSトランジスタ112のドレインに接続されている。
また、列毎に異なる垂直出力線20a,20bが設けら
れて、各垂直出力線20a,20bは列方向に並ぶ全て
の画素101内のMOSトランジスタ112のソースに
それぞれ接続されている。
【0026】さらに、MOSトランジスタ112のソー
ス領域は垂直出力線20a,20bを通して信号出力回
路105と接続している。そして、ソース領域は上記の
信号出力回路105内の入力キャパシタからなるライン
メモリ(記憶素子)と直結している。なお、実際には垂
直出力線20a,20bの途中にはスイッチ素子等が設
けられて信号の流れを制御している。
【0027】垂直走査信号(VSCAN)により、遂
次、各画素101内のMOSトランジスタ112を駆動
して、水平走査信号(HSCAN)により誤差信号を含
まない映像信号(Vout )が信号出力回路105から出
力される。
【0028】次に、図3を参照して、固体撮像装置(M
OS型イメージセンサ)の単位画素(光電変換素子)の
詳細な構造について説明する。図3は、本発明の実施の
形態である固体撮像装置(MOS型イメージセンサ)の
デバイス構造について示す断面図である。図3に示すよ
うに、単位画素(光電変換素子)101内に、受光ダイ
オード111と光信号検出用MOSトランジスタ112
とが隣接して設けられている。MOSトランジスタ11
2としてnチャネルディプレッションMOSトランジス
タ(以下、単にMOSトランジスタと称する場合もあ
る。)を用いている。
【0029】これら受光ダイオード111とMOSトラ
ンジスタ112は、それぞれ異なるウエル領域、即ち第
1のウエル領域15aと第2のウエル領域15bに形成
され、それらのウエル領域15a、15bは互いに接続
されている。受光ダイオード111の部分の第1のウエ
ル領域15aは光照射による電荷の発生領域の一部を構
成している。MOSトランジスタ112の部分の第2の
ウエル領域15bはこの領域15bに付与するポテンシ
ャルによってチャネルの閾値電圧を変化させることがで
きるゲート領域を構成している。
【0030】受光ダイオード111の部分では、図3に
示すように、p型の基板11上にn型層32aが形成さ
れており、上記した第1のウエル領域15aはこのn型
層32a上に形成されている。また、第1のウエル領域
15aの表層にn型の不純物領域(反対導電型領域)1
7が形成されている。MOSトランジスタ112の部分
では、図3に示すように、p型の基板11は濃度の高
い、厚いp型層11aを含み、そのp型層11a上にn
型層(反対導電型層)32bが形成されている。上記し
たウエル領域15bはこのn型層32b上に形成されて
いる。ウエル領域15bの上方の半導体基板の表面には
ゲート絶縁膜18を介してゲート電極19が形成されて
いる。
【0031】ゲート電極19はリング状を有している。
リング状のゲート電極19の内縁に囲まれるようにウエ
ル領域15bの表層にソース領域16が形成されてい
る。リング状のゲート電極19の外縁を囲むように、か
つウエル領域15bからn型層32aにわたってそれら
の表層にドレイン領域17aが形成されている。受光ダ
イオード111側ではドレイン領域17aが延在して受
光ダイオード111の不純物領域17が形成されてい
る。なお、以下で、ドレイン領域という場合、ドレイン
領域を示す符号として17aと記していても、不純物領
域17を含めた領域を意味することがある。
【0032】ゲート電極の下で、ソース領域16とドレ
イン領域17aの間の領域がチャネル領域となる。通常
の動作電圧において、チャネル領域をディプレッション
状態に保持するため、チャネル領域に適度な濃度のn型
不純物を導入してn型のチャネルドープ層17bを形成
している。そのn型のチャネルドープ層17b下のウエ
ル領域15b内に、ソース領域16を囲むようにキャリ
アポケット(高濃度埋込層;光発生電荷の蓄積領域)2
5が形成されている。光発生電荷のうち光発生正孔をこ
のキャリアポケット25に集めることができる。
【0033】第1のウエル領域15aと第2のウエル領
域15bとで構成される、受光領域からキャリアポケッ
ト25に至る経路が電荷転送経路となる。また、上記要
素は絶縁膜26により被覆されており、受光ダイオード
111の受光窓24以外の領域は絶縁膜26上に形成さ
れた金属層(遮光膜)23により遮光されている。
【0034】次に、図4を参照して、図1の画素配置と
対応する信号出力回路105の詳細を説明する。図4は
信号出力回路105の主要部分の回路構成図である。図
4に示すように、一列に二対の第1の記憶手段Cms及
び第2の記憶手段Cmnを有し、一組の加算手段71及
び引算手段72を有する。この実施の形態の信号出力回
路105は、図4に示すように、列毎に、各画素101
から出される誤差信号を含む光電気信号を記憶する第1
の記憶素子Cmsと、各画素101から出力される誤差
信号を記憶する第2の記憶素子Cmnとを一組として、
それらが2組ずつ設けられている。各組の記憶素子Cm
s、Cmnの入力はそれぞれスイッチ素子SWs1及びS
Wn1を介して垂直出力線20a、20b・・と接続して
いる。また、各組の記憶素子Cms、Cmnの出力はそ
れぞれスイッチ素子SWs2、SWn2を介してメモリ出力
配線41、42と接続している。
【0035】入力側のスイッチ素子SWs1、SWn1は、
ともに図示しない制御回路からの制御信号により光電変
換素子から読み出された光電気信号及び誤差信号を記憶
素子に記憶させる際に閉じられる。出力側の一組のスイ
ッチ素子SWs2、SWn2は、ともにHSCAN供給線2
7aa、27ab・・を通して制御回路104と接続
し、もう一つの組のスイッチ素子SWs2、SWn2は、と
もにHSCAN供給線27ba、27bb・・を通して
制御回路104と接続している。水平走査信号(HSC
AN)により列毎に並ぶ2組の第1の記憶素子Cms及
び第2の記憶素子Cmnのうち一組を、かつ複数の列で
同時に選択し、光電気信号等を出力させるタイミングを
制御している。
【0036】また、列毎に並ぶ第1の記憶素子Cmsの
出力と接続したメモリ出力線41は加算手段71の一方
の入力端子と接続し、列毎に並ぶ第2の記憶素子Cmn
の出力と接続したメモリ出力線42は加算手段71の他
方の入力端子と接続している。加算手段71は、複数同
時に選択される第1の記憶素子Cmsの出力を加算す
る。また、第1の記憶素子Cmsと対応して複数同時に
選択される第2の記憶素子Cmnの出力を加算する。2
つの出力端子からそれぞれ加算された光電気信号及び加
算された誤差信号を出力する。
【0037】図4の加算手段71は、図5に示すものと
等価である。即ち、光電気信号用と誤差信号用にそれぞ
れ別々に加算手段73a、73bを設けた構成を有す
る。図4では、加算手段73a、73bをまとめて、2
つの入力端子と対応する2つの出力端子とを備えた演算
増幅器Aiと、帰還容量素子Cif1、Cif2と、スイッチ
素子SWi1、SWi2とにより表している。
【0038】図5の加算手段71においては、一方の加
算手段73aの入力端子と、対応する出力端子との間に
並列に帰還容量素子Cif1とスイッチ素子SWi1が接続
されている。また、他方の加算手段73a、73bの入
力端子と、対応する出力端子との間に並列に帰還容量素
子Cif2とスイッチ素子SWi2が接続されている。加算
手段73a、73bとしてこのような所謂スイッチトキ
ャパシタの構成を用いることにより、同じ色に対応する
複数の光電気信号を同時に入力させて加算することが可
能である。帰還容量素子Cif1、Cif2の容量値は例えば
0.5pF程度でよいが、これに限定するものではな
い。
【0039】引算手段72は加算手段71から出力され
た加算された光電気信号と加算された誤差信号とを入力
し、それらの差を演算して光電気信号から誤差信号を除
いた差信号を出力する。引算手段72の出力端子は水平
出力線26を通して映像信号出力端子107と接続され
ている。図4、5では、スイッチ素子SWs1、SWs2、
SWn1、SWn2、SWi1、SWi2を模式的に示している
が、実際には1つ或いは複数のMOSトランジスタから
構成されている。また、第1及び第2の記憶素子Cm
s、Cmn及び帰還容量素子Cif1,Cif2は1つのコン
デンサから構成されている。
【0040】上記の信号処理回路では、緑(G)、赤
(R)、青(B)ともに一組の加算手段71及び引算手
段72で処理されることになる。なお、サンプリングす
べき光電変換素子101を含む行に対応するように、一
組の加算手段71及び引算手段72に三対以上の第1の
記憶手段Cms及び第2の記憶手段Cmnを接続するこ
とも可能である。
【0041】次に、図1、図2及び図4を参照して本発
明の実施の形態に係る固体撮像装置の光検出動作を説明
する。光検出動作は、掃出期間(初期化期間)−蓄積期
間−読出期間−からなる一連の過程を繰り返し行う。こ
こでは、都合上、初期化期間から説明を始める。この場
合、画素の並びの2行分に対応する記憶素子の並びのう
ち1行分の記憶素子を用いてもよいし、2行分の記憶素
子をすべて用いてもよい。2行分の記憶素子を用いた場
合、光電変換素子101からの出力を2行分ずつ記憶さ
せる。
【0042】初期化期間では、全画素101を初期化す
る。次いで、初期化された状態でのソース電位Vpsを
誤差信号Vnとして1行に又は2行にわたって並ぶ画素
101から出力し、信号出力回路105に入力させて第
2の記憶素子Cmnに記憶させる。蓄積期間では、受光
ダイオード111に光照射を行って光発生電荷を生じさ
せ、さらにキャリアポケット25に光発生正孔を蓄積す
る。これにより、MOSトランジスタ112の閾値電圧
が変化するので、次の読出期間においてその閾値電圧の
変化をVpsとして出力させる。
【0043】読出期間では、MOSトランジスタ112
を動作させて光発生正孔の蓄積量に比例した光電気信号
としてVpsを出力し、1行分又は2行分の並びの第1
の記憶素子Cmsに記憶させる。このソース電圧Vps
は、純粋な光の強度に応じた信号成分Vsの他に、初期
化によっても除ききれない残留電荷による誤差信号成分
Vnが含まれている。
【0044】次いで、1行分ずつ順次、第1及び第2の
記憶素子Cms、Cmnからそれぞれ光電気信号と誤差
信号とを出力し、加算手段71を通して引算手段72に
入力させる。これにより、VsからVnを差し引いた純
粋な光信号のみに比例した映像信号を出力する。次に、
画素飛ばしについて説明する。画素飛ばしも上記と同じ
ように掃出期間(初期化期間)−蓄積期間−読出期間−
からなる一連の過程を繰り返し行う。
【0045】サンプリング画素として、図9に示すよう
な2行4列にわたって隣接する複数の画素101からな
るサンプリンググループGs1乃至Gs5を用いる。サ
ンプリングは適当な間隔を置いて行なう。各サンプリン
ググループGs1乃至Gs5内の色配置はベイヤ配列の
色配置のRGRG/GBGBに対応するものとする。こ
の場合、選択する同じ色に対応する光電気信号の数を読
み出し速度に比例して増減させているものとする。
【0046】初期化期間に2行にわたって並ぶすべての
画素の並びについて誤差信号Vnを列毎に設けられた2
組の第2の記憶素子Cmnに記憶させる。蓄積期間と読
出期間を経て2行にわたって並ぶすべての画素の並びに
ついて光電気信号Vsを列毎に設けられた2組の第1の
記憶素子Cmsに記憶させる。次いで、サンプリンググ
ループGs1に対応する第1及び第2の記憶素子Cm
s、Cmnに記憶された光電気信号及び誤差信号のう
ち、緑(G)に相当する4画素分の光電気信号及び誤差
信号をそれぞれメモリ出力線41、42に同時に出力さ
せ、メモリ出力線41、42を通して加算手段71の2
つの入力端子にそれぞれ入力させる。
【0047】光電気信号及び誤差信号は加算手段71で
それぞれ加算され、対応する出力端子に出力される。さ
らに、これらの加算信号出力を引算手段72に入力す
る。これにより、映像信号出力端子107に緑(G)に
相当する差信号が出力される。次いで、赤(R)に相当
する2画素分の光電気信号及び誤差信号について処理
し、赤(R)に相当する差信号を出力させる。次いで、
青(B)に相当する2画素分の光電気信号及び誤差信号
について処理し、青(B)に相当する差信号を出力させ
る。これにより、サンプリンググループGs1に対応す
る領域を代表するカラーモニタ画像の部分が形成され
る。モニタ画像の色構成に関しては、緑(G)、赤
(R)、青(B)について加算画素数の比率は2:1:
1となっており、全画素を対象とする場合と変わらな
い。従って、モニタ画像であっても現実の被写体の色と
ほぼ同じ色となる。
【0048】次に、サンプリンググループGs1と同じ
行でサンプリンググループGs1から適当な間隔だけ離
れた領域にあるサンプリンググループGs2に対応する
記憶素子を選択して色毎に光電気信号及び誤差信号を出
力して同じように処理し、3色の映像信号をそれぞれ映
像信号出力端子107に出力させ、その領域を代表する
カラー映像の部分を形成する。
【0049】第1行目及び第2行目の画素飛ばしが終了
すると、図示しないスイッチにより記憶素子Cms、C
mnの両電極を接地して初期化し、続いて、図9に示す
ように、次のサンプリング行である第5行目及び第6行
目に並ぶすべての画素101からの信号を列毎に設けら
れた信号出力回路105の記憶素子に記憶させる。そし
て、上記と同様にして、サンプリンググループGs3内
の3色の色信号を取り出す。このようにして、順次すべ
ての行及び列にわたるサンプリンググループGs1乃至
Gs5の3色の色信号を読み出し、モニタ画像を描かせ
て、自動露出や自動合焦を行なう。
【0050】上記のように、第1の実施の形態である固
体撮像装置においては、行と列に配列された光電変換素
子101の並びに対して列毎に設けられた2対の第1の
記憶素子Cms及び第2の記憶素子Cmnと、これらの
出力がそれぞれ接続された一組の加算手段73a、73
bと、加算手段73a、73bに接続された引算手段7
2と、記憶素子Cms、Cmnの出力を選択する制御手
段104とを有する。
【0051】その駆動方法においては、ベイヤ配列され
たカラーフィルタの色配列に対応する光電変換素子(画
素)101の並びに対して、2行分の光電気信号と誤差
信号とを記憶させ、サンプリング画素として隣接する2
行4列の画素を選択するとともに、対応する光電気信号
及び誤差信号のうち同じ色の複数の光電気信号及び誤差
信号をそれぞれ同時に選択して加算し、さらに加算した
光電気信号と対応する誤差信号との差信号を出力してい
る。
【0052】この場合、選択する同じ色に対応する光電
気信号の数を読み出し速度に比例して増減させることに
より、光発生電荷の蓄積量に対応する信号量を一定に保
つことができるとともに、モニタ画像が粗くなるのを抑
制し、より正確な画像を得るようにすることができる。
また、加算手段73a、73bとして所謂スイッチトキ
ャパシタを用いることにより、同じ色に対応する複数の
光電気信号を同時に入力させて加算することが可能であ
る。即ち、同じ色に対応する複数の光電気信号を記憶し
ている複数の記憶素子Cms、Cmnに対して同時に選
択を行なってそれらの光電気信号を出力させるだけでよ
いので、画素一つを選択して画素飛ばしを行なう場合と
同等な時間しか必要としない。従って、モニタ画像の取
り込みを高速に行なうことができる。
【0053】このように、サンプリング画素に基づいて
光電気信号の取り込みを高速に行いつつ、画質の劣化を
抑制することができる。 (比較例)図11は、上記第1の実施の形態に対する比
較例である。この場合、特定の光電気信号、例えば第1
列目(R1)と第3列目(R3)の、赤色(R)に対応
する光電気信号同士を加算し、或いは緑色(G)に対応
する光電気信号同士を加算している例である。
【0054】図11に示すように、スイッチ素子SW1
を介して特定の列に対応する記憶素子Cms同士が直列
接続されるように配線141により回路接続が行なわれ
ている。加算された光電気信号は演算増幅器172に入
力されて増幅される。なお、誤差信号に関しては図示し
ていないが、光電気信号と同じように加算される。さら
に、加算された信号を引算手段に入力し、それらの差信
号が出力される。
【0055】この比較例では、加算のための回路接続が
複雑であるし、また記憶素子Cmsに接続されたスイッ
チ素子SW2乃至SW5等の浮遊容量の影響により光電
気信号に誤差を含み易い。 (第2の実施の形態)図6は、第2の実施の形態である
固体撮像装置の信号出力回路105を示す回路構成図で
ある。
【0056】図6に示すように、一列に二対の第1の記
憶手段Cms及び第2の記憶手段Cmnを有し、二組の
加算手段71a、71b及び対応する二組の引算手段7
2a、72bを有することを特徴としている。列毎に設
けられた二対の第1の記憶手段Cms及び第2の記憶手
段Cmnはともに同じ列に並ぶすべての光電変換素子1
01と接続されている。各列毎に、一対の記憶手段Cm
s、Cmnはメモリ出力線41a、42aを通して一組
の加算手段71a及び引算手段72aと接続され、他の
一対の記憶手段Cms、Cmnはメモリ出力線41b、
42bを通して他の一組の加算手段71b及び引算手段
72bと接続されている。加算手段71a、71bの出
力を引算手段72a、72bに接続する場合、2つの引
算手段72a、72bにそれぞれ加算手段71a、71
bの2つずつの出力を接続する。
【0057】なお、三対以上の第1の記憶手段Cms及
び第2の記憶手段Cmnと、対応する三組以上の加算手
段及び引算手段とを設けることも可能である。なお、他
の構成は、第1の実施の形態と同じであるので、説明を
省略する。次に、上記信号出力回路105を用いて光信
号の検出動作及び画素飛ばしについて説明する。
【0058】なお、光信号を検出する場合、2組の記憶
素子、加算手段及び引算手段のうち何れか1組の記憶素
子及び加算手段及び引算手段を用いる。光信号の検出動
作については第1の実施の形態と同様なので、説明を省
略する。画素飛ばしの動作においては、説明を簡単にす
るため、第1の実施の形態と同様に、サンプリング画素
として、図9に示すような2行4列にわたって隣接する
複数の画素101からなるサンプリンググループGs1
乃至Gs5を用いる。サンプリングは適当な間隔を置い
て行なう。この場合も、選択する同じ色に対応する光電
気信号の数を読み出し速度に比例して増減させているも
のとする。
【0059】初期化期間と、蓄積期間と、読出期間とを
経て2行にわたって並ぶすべての画素の並びについて光
電気信号Vsを列毎に設けられた2組の第1の記憶素子
Cmsに記憶させるとともに、誤差信号Vnを同じく2
組の第2の記憶素子Cmnに記憶させる。第1行目に並
ぶ光電変換素子101の信号R11、G12・・を記憶
させる場合、第1及び第2の記憶素子Cms、Cmnの
入力側のスイッチを制御して、R11は下の記憶素子
に、G12は上の記憶素子に・・というように、2行に
並ぶ記憶素子の並びに対して上下交互に順に記憶させ
る。第2行目に並ぶ光電変換素子101の信号G21、
B22・・を記憶させる場合も、同様に、G21は上の
記憶素子に、B22は下の記憶素子に上下交互に順に記
憶させる。これにより、緑(G)の記憶素子Cms、C
mnの出力はすべて上の加算手段71aに接続され、赤
(R)及び青(B)の記憶素子Cms、Cmnの出力は
すべて下の加算手段71bに接続されることになる。
【0060】次いで、サンプリンググループGs1に対
応する記憶素子Cms、Cmnに記憶された光電気信号
及び誤差信号のうち、緑(G)に相当する4画素分の光
電気信号及び誤差信号を出力させる。この場合、緑
(G)に相当する光電気信号及び誤差信号は、すべて上
の加算手段71aにそれぞれ入力される。光電気信号及
び誤差信号は上の加算手段71aで4画素分加算され
て、上の加算手段71aの2つの出力端子からそれぞれ
出力される。さらに、加算された光電気信号と誤差信号
とは引き算手段72a、72bに入力されて引き算さ
れ、緑(G)に相当する差信号が出力される。
【0061】次いで、赤(R)に相当する2画素分の光
電気信号及び誤差信号について下の加算手段71及び対
応する引算手段72bにより処理し、赤(R)に相当す
る差信号を出力させる。次いで、青(B)に相当する2
画素分の光電気信号及び誤差信号について下の加算手段
71及び対応する引算手段72bにより処理し、青
(B)に相当する差信号を出力させる。これにより、サ
ンプリンググループGs1に対応する領域を代表するカ
ラーモニタ画像の部分が形成される。モニタ画像の色構
成に関しては、緑(G)、赤(R)、青(B)について
加算画素数の比率は2:1:1となっており、全画素を
対象とする場合と変わらない。従って、モニタ画像であ
っても現実の被写体の色とほぼ同じ色となる。
【0062】次いで、サンプリンググループGs2乃至
Gs5に関しても順次、上記と同様に、光電気信号及び
誤差信号について色毎に加算処理と引算処理を行い、3
色の映像信号をそれぞれ映像信号出力端子107に出力
させ、その領域を代表するカラー映像の部分を形成す
る。このようにして、順次すべての行及び列にわたるサ
ンプリンググループの映像信号を読み出し、モニタ画像
を描かせて、自動露出や自動合焦を行なう。
【0063】上記のように、第2の実施の形態である固
体撮像装置においては、一列に二対の第1の記憶手段C
ms及び第2の記憶手段Cmnを有し、二組の加算手段
71a、71b及び対応する引算手段72a、72bを
有している。その駆動方法は、第1の実施の形態と同様
に、カラーフィルタの色配列に対応する光電変換素子
(画素)101の並びに対して、2行4列の隣接する複
数の画素101からなるサンプリンググループGs1乃
至Gs5を選択するとともに、対応する光電気信号及び
誤差信号のうち同じ色の複数の光電気信号及び誤差信号
をそれぞれ同時に選択して加算している。
【0064】この場合、選択すべき同じ色に対応する光
電気信号の数を読み出し速度に比例して増減させること
により、光発生電荷の蓄積量に対応する信号量を一定に
保つことができるとともに、モニタ画像が粗くなるのを
抑制し、より正確な画像を得るようにすることができ
る。また、同じ色に対応する複数の光電気信号に対して
同時に一度の選択を行なってそれらの光電気信号を出力
させるだけでよいので、画素一つを選択して画素飛ばし
を行なう場合と同等な時間しか必要としない。従って、
モニタ画像の取り込みを高速に行なうことができる。
【0065】このように、サンプリング画素に基づいて
光電気信号の取り込みを高速に行いつつ、画像の劣化を
抑制することができる。さらに、第2の実施の形態で
は、加算し、差信号を取り出す場合、特に、色毎に別々
の加算手段71a又は71bと引算手段72a又は72
bで処理している。これにより、同一色の信号に対して
異なる加算手段を通すことにより生じる増幅度のばらつ
きに起因する色合いのばらつきを抑制することができ
る。
【0066】(第3の実施の形態)図7を参照してこの
発明の第3の実施の形態を説明する。図7は、第3の実
施の形態である固体撮像装置の信号出力回路を示す回路
構成図である。図7に示すように、一列に少なくとも二
対の第1の記憶手段Cms及び第2の記憶手段Cmnを
有し、2組の加算回路71a、71bを有することを特
徴としている。なお、図7では、上下の加算回路71
a、71bにはともに一対ずつの記憶素子しか示してい
ない。
【0067】二対の第1の記憶手段Cms及び第2の記
憶手段Cmnを用いる場合、メモリ出力線41a、42
aを通して上の加算回路71aに一対の記憶素子Cm
s、Cmnを接続し、例えば、4行分の緑(G)の信号
を記憶する。メモリ出力線41b、42bを通して下の
加算回路71bにもう一対の記憶素子Cms、Cmnを
並列に接続し、2行分の赤(R)と2行分の青(B)の
信号をそれぞれ異なる記憶手段に記憶する。
【0068】さらに、一列に並ぶ光電変換素子101の
出力と接続する二対の記憶素子Cms、Cmnを隣接す
る列同士で入れ替える接続切替スイッチ73を有するこ
とを特徴としている。 接続切替スイッチ73は第1列
目の垂直出力線20aと第2列目の垂直出力線20bと
の間、第3列目の垂直出力線20cと第4列目の垂直出
力線20dとの間というように全列にわたって設けられ
ている。第3の実施の形態である固体撮像装置において
も、カラーフィルタは、緑(G)と赤(R)と青(B)
とがベイヤ配列されてなり、行及び列に配列された光電
変換素子101は複数の色を有するカラーフィルタの各
色に対応している。第1及び第2の実施の形態と同様
に、列毎の二対の記憶手段Cms、Cmnの入力はそれ
ぞれ同一の列内のすべての光電変換素子101の出力と
接続されている。
【0069】また、緑(G)に対応する信号を記憶する
一対の記憶手段Cms、Cmnは、上側の加算手段71
aに接続され、赤(R)と青(B)にそれぞれ対応する
信号を記憶する他の一対の記憶手段Cms、Cmnは、
下側の加算手段71bに接続されている。引算手段72
a、72bは、上下の加算手段71a、71bに対して
それぞれ一つずつ接続されている。
【0070】上側の加算手段71aに接続された記憶素
子Cms、Cmnの出力側のスイッチ素子SWs2は、
水平出力線27aa、27ba、・・を介して制御回路
104により開閉のタイミングが制御される。下側の加
算手段71bに接続された記憶素子Cms、Cmnの出
力側のスイッチ素子SWs2は、水平出力線27ab、
27bb、・・を介して制御回路104により開閉のタ
イミングが制御される。
【0071】なお、他の構成は、第2の実施の形態と同
じであるので、説明を省略する。また、上記では二対の
記憶手段を設けているが、二対以上、三対乃至四対の第
1の記憶手段Cms及び第2の記憶手段Cmnを設ける
ことも可能である。但し、三対又は四対の記憶手段を用
いる場合、第4の実施の形態で説明する接続切換スイッ
チ73を設ける必要がある。
【0072】三対の第1の記憶手段Cms及び第2の記
憶手段Cmnを用いる場合、上の加算回路71aに一対
の記憶素子Cms、Cmnを接続し、下の加算回路71
bに二対の記憶素子Cms、Cmnを並列に接続する。
この場合、一対の記憶手段には4行分の緑(G)の信号
を記憶し、他の二対の記憶手段には2行分の赤(R)と
2行分の青(B)の信号をそれぞれ異なる記憶手段に記
憶する。
【0073】また、四対の第1の記憶手段Cms及び第
2の記憶手段Cmnを用いる場合、上の加算回路71a
に二対の記憶素子Cms、Cmnを並列に接続し、下の
加算回路71bにも二対の記憶素子Cms、Cmnを並
列に接続する。この場合、二対の記憶手段には4行分の
緑(G)の信号を記憶し、他の二対の記憶手段には2行
分の赤(R)と2行分の青(B)の信号をそれぞれ異な
る記憶手段に記憶する。
【0074】次に、上記信号出力回路を用いて光信号の
検出動作及び画素飛ばしについて説明する。この場合、
二対の記憶手段を用いているとする。光信号を検出する
場合、2組の記憶素子、加算手段及び引算手段のうち何
れか1組の記憶素子及び加算手段及び引算手段を用い
る。光信号の検出動作については第1の実施の形態と同
様なので、説明を省略する。
【0075】画素飛ばしについては、上記第1及び第2
の実施の形態と同様に、蓄積期間−読出期間−掃出期間
(初期化期間)からなる一連の過程を繰り返し行う。こ
の場合は、サンプリンググループとして、図10に示す
ような4行4列にわたって隣接する画素101からなる
サンプリンググループGs1乃至Gs5を用いる。各サ
ンプリンググループGs1乃至Gs5はベイヤ配列の色
配置のRGRG/GBGB/RGRG/GBGBに対応
するものとする。サンプリングは適当な間隔を置いて行
なう。
【0076】初期化期間、蓄積期間、及び読出期間を経
て、4行にわたって並ぶすべての画素の並びについて第
1行目(R11,G12,R13,G14,・・)と第
3行目(R31,G32,R33,G34,・・)、第
2行目(G21,B22,G23,B24,・・)と第
4行目(G41,B42,G43,B44,・・)とい
うように2行ずつ行に並ぶすべての画素の並びについて
光電気信号Vsを列毎に設けられた信号出力回路105
の2組の第1の記憶素子Cmsに記憶させるとともに、
誤差信号Vnを同じく2組の第2の記憶素子Cmnに記
憶させる。
【0077】第1行目の信号(R11,G12,R1
3,G14,・・)を読み出すときは、R11は下側の
第1列目の一対の記憶素子に、G12は上側の第2列目
の一対の記憶素子に、というように、順次、上下の記憶
手段に交互に記憶させる。第3行目(R31,G32,
R33,G34,・・)を読み出すときは、R31は下
側の第1列目の一対の記憶素子に、G32は上側の第2
列目の一対の記憶素子にというように、順次、上下の記
憶手段に交互に記憶させる。この場合、2行分の信号が
一つの記憶手段に入力されるが、記憶手段は電荷を順次
蓄積することができるので、任意数の信号を一つの記憶
手段に入力させて加算信号として記憶させることができ
る。同じ色の信号であれば、任意数の信号を一つの記憶
手段に入力させても何ら問題はない。
【0078】次に、第2行目の信号(G21,B22,
G23,B24,・・)を読み出すときは、G21は上
側の第1列目の一対の記憶素子に、B22は下側の第2
列目の一対の記憶素子にというように、順次、上下の記
憶手段に交互に記憶させる。第4行目(G41,B4
2,G43,B44,・・)を読み出すときは、G41
は上側の第2列目の一対の記憶素子に、B42は下側の
第1列目の一対の記憶素子にというように、順次、上下
の記憶手段に交互に記憶させる。このようにすることに
より、緑色(G)に対応する信号はすべて上側の加算手
段71aに接続された記憶素子に記憶される。赤色
(R)及び青色(B)に対応する信号はすべて下側の加
算手段71bに接続された記憶素子に、かつ色毎に異な
る記憶手段に記憶される。
【0079】次いで、サンプリンググループGs1に対
応する記憶素子Cms、Cmnに記憶された光電気信号
及び誤差信号のうち、緑(G)に相当する8画素分の光
電気信号及び誤差信号を出力させる。この場合、緑
(G)に相当する8画素分の光電気信号及び誤差信号
は、すべて上の加算手段71aに入力されて加算され
る。さらに、これらの加算信号出力のうち光電気信号同
士を引算手段72aの正入力端子に、誤差信号同士を同
じく負入力端子に入力する。これにより、水平出力線2
6aを通して映像信号出力端子107に緑(G)に相当
する差信号が出力される。
【0080】次に、赤(R)に相当する4画素分の光電
気信号及び誤差信号を出力させる。この場合、赤(R)
に相当する光電気信号及び誤差信号は、すべて下の加算
手段71bに入力され、加算される。次いで、赤(R)
に相当する4画素分の光電気信号及び誤差信号を引算手
段72bに入力させて処理し、赤(R)に相当する差信
号を出力させる。
【0081】次いで、青(B)に相当する光電気信号及
び誤差信号を出力させる。この場合、青(B)に相当す
る光電気信号及び誤差信号は、すべて下の加算手段71
bに入力され、加算される。次いで、青(B)に相当す
る4画素分の光電気信号及び誤差信号を引算手段72b
に入力させて処理し、青(B)に相当する差信号を出力
させる。
【0082】これにより、サンプリンググループGs1
に対応する領域を代表するカラーモニタ画像の部分が形
成される。次いで、サンプリンググループGs2乃至G
s5に関しても順次、上記と同様に、光電気信号及び誤
差信号について色毎に加算処理と引算処理を行い、3色
の映像信号をそれぞれ映像信号出力端子107に出力さ
せ、その領域を代表するカラー映像の部分を形成する。
【0083】このようにして、順次すべての行及び列に
わたるサンプリンググループの映像信号を読み出し、モ
ニタ画像を描かせて、自動露出や自動合焦を行なう。上
記のように、第3の実施の形態である固体撮像装置にお
いても、第1及び第2の実施の形態と同様に、カラーフ
ィルタの色配列に対応する光電変換素子(画素)101
に対して画素飛ばしを行なう場合、サンプリング画素と
して隣接する複数の画素101を選択するとともに、対
応する光電気信号のうち同じ色の複数の光電気信号を同
時に選択して加算している。
【0084】この場合、選択する同じ色に対応する光電
気信号の数を読み出し速度に比例して増減させることに
より、光発生電荷の蓄積量に対応する信号量を一定に保
つことができるとともに、モニタ画像が粗くなるのを抑
制し、より正確な画像を得るようにすることができる。
また、同じ色に対応する複数の光電気信号に対して同時
に一度の選択を行なってそれらの光電気信号を出力させ
るだけでよいので、画素一つを選択して画素飛ばしを行
なう場合と同等な時間しか必要としない。従って、モニ
タ画像の取り込みを高速に行なうことができる。
【0085】このように、サンプリング画素に基づいて
光電気信号の取り込みを高速に行いつつ、画像の劣化を
抑制することができる。また、上記の第1及び第2の実
施の形態と同様に、カラーフィルタの色毎に光電気信号
等が加算されるように構成されているが、第3の実施の
形態の場合、特に、異なる色に対応する光電気信号が別
々の一組の加算手段71a、71bにより加算されるよ
うに構成されている。これにより、同一色の信号に対し
て異なる加算手段を通すことにより生じる増幅度のばら
つきに起因する色合いのばらつきを抑制することができ
る。
【0086】(第4の実施の形態)図8を参照してこの
発明の第4の実施の形態を説明する。図8は、第4の実
施の形態である固体撮像装置の信号出力回路を示す回路
構成図である。第3の実施の形態では、二対以上、三対
又は四対の記憶素子を用いているが、第4の実施の形態
においても、同様に少なくとも二対、即ち二対以上、三
対又は四対の記憶素子を用いる。
【0087】第4の実施の形態において、第3の実施の
形態と異なるところは、第1列目の記憶素子は上側がメ
モリ出力線41a、42aを通して、また下側がメモリ
出力線41c、42cを通してともに上側の加算手段7
1aに並列に接続されている。第2列目の記憶素子は上
側がメモリ出力線41b、42bを通して、また下側が
メモリ出力線41d、42dを通してともに下側の加算
手段71bに並列に接続され、第3列目以下の記憶素子
は第1列目と第2列目の接続関係と同じように、順次、
上下ともに交互に上下の加算手段71a、71bに接続
されている点である。
【0088】また、接続切替スイッチ73を有している
点である。以下に、接続切替スイッチ73の制御動作に
ついて説明する。接続切替スイッチ73はスイッチSW
t1、SWt2、SWt3及びSWt4とで構成されている。ス
イッチSWt1は第1列目の垂直出力線20aと第1列目
の記憶素子Cms、Cmnとの間の導通、非導通を切り
換える。スイッチSWt3は第2列目の垂直出力線20b
と第2列目の記憶素子Cms、Cmnとの間の導通、非
導通を切り換える。スイッチSWt2は第1列目及び第2
列目の垂直出力線20a及び20bにわたってスイッチ
SWt1の後とスイッチSWt3の前との間に接続され、第
1列目の垂直出力線20aと第2列目の記憶素子Cm
s、Cmnとの導通、非導通を切り換える。スイッチS
Wt4は第1列目及び第2列目の垂直出力線20a及び2
0bにわたってスイッチSWt1の前とスイッチSWt3の
後との間に接続され、第2列目の垂直出力線20bと第
1列目の記憶素子Cms、Cmnとの導通、非導通を切
り換える。
【0089】スイッチSWt1及びSWt3を開き、かつス
イッチSWt2及びSWt4を閉じることにより、第1列目
の垂直出力線20aが第2列目の記憶素子Cms、Cm
nに接続され、第2列目の垂直出力線20bが第1列目
の記憶素子Cms、Cmnに接続される。また、スイッ
チSWt1及びSWt3を閉じ、かつスイッチSWt2及びS
Wt4を開くことにより、第1列目の垂直出力線20aは
第1列目の記憶素子に接続され、第2列目の垂直出力線
20bは第2列目の記憶素子に接続される。以下、第3
列目の垂直出力線20c、第4列目の垂直出力線20d
・・についても同様である。
【0090】他の構成は第3の実施の形態と同様である
ので、説明を省略する。図8中、第3の実施の形態と同
じ符号で示すものは、第3の実施の形態と同じものを示
す。次に、上記信号出力回路を用いて光信号の検出動作
及び画素飛ばしについて説明する。光信号を検出する場
合、接続切換スイッチ73を、例えば、第1列目の垂直
出力線20aは第1列目の記憶素子に、第2列目の垂直
出力線20bは第2列目の記憶素子にそれぞれ接続され
るように設定し、二対の記憶素子のうち一対の記憶素子
と、2組の加算手段及び引算手段を用いる。
【0091】光信号の検出動作については、他の実施の
形態と異なり、映像信号である差信号は一行の並びに対
して、順次、上下の加算手段に交互に出力される。それ
以外は、第1の実施の形態と同様なので、説明を省略す
る。画素飛ばしについては、上記第1及び第2の実施の
形態と同様に、蓄積期間−読出期間−掃出期間(初期化
期間)からなる一連の過程を繰り返し行う。
【0092】この場合は、二対の記憶手段を用いる。ま
た、サンプリンググループとして、図10に示すような
4行4列にわたって隣接する画素101からなるサンプ
リンググループGs1乃至Gs5を用いる。各サンプリ
ンググループGs1乃至Gs5はベイヤ配列の色配置の
RGRG/GBGB/RGRG/GBGBに対応するも
のとする。サンプリングは適当な間隔を置いて行なう。
【0093】初期化期間、蓄積期間、及び読出期間を経
て、4行にわたって並ぶすべての画素の並びについて第
1行目(R11,G12,R13,G14,・・)と第
3行目(R31,G32,R33,G34,・・)、第
2行目(G21,B22,G23,B24,・・)と第
4行目(G41,B42,G43,B44,・・)とい
うように2行ずつ行に並ぶすべての画素の並びについて
光電気信号Vsを列毎に設けられた信号出力回路105
の2組の第1の記憶素子Cmsに記憶させるとともに、
誤差信号Vnを同じく2組の第2の記憶素子Cmnに記
憶させる。
【0094】この場合、第1行目の信号(R11,G1
2,R13,G14,・・)を読み出すときは、接続切
換スイッチ73のSWt1、SWt3を開き、SWt
2、SWt4を閉じておき、R11は第2列目の上側の
一対の記憶素子に、G12は第1列目の上側の一対の記
憶素子に、というように、順次、列を入れ換えて記憶さ
せる。第3行目の信号(R31,G32,R33,G3
4,・・)を読み出すときは、接続切換スイッチ73は
第1行目と同様にしておき、R31は第2列目の上側の
一対の記憶素子に、G32は第1列目の上側の一対の記
憶素子にというように、順次、列を入れ換えて記憶させ
る。
【0095】次に、第2行目の信号(G21,B22,
G23,B24,・・)を読み出すときは、接続切換ス
イッチ73のSWt1、SWt3を閉じ、SWt2、S
Wt4を開いておき、G21は第1列目の下側の一対の
記憶素子に、B22は第2列目の下側の一対の記憶素子
にというように、順次、配列通りに記憶させる。第4行
目(G41,B42,G43,B44,・・)を読み出
すときは、接続切換スイッチ73は第2行目のときと同
様にしておき、G41は第1列目の下側の一対の記憶素
子に、B42は第2列目の下側の一対の記憶素子に、と
いうように、順次、配列通りに記憶させる。このように
することにより、緑色(G)に対応する信号はすべて上
側の加算手段71aに接続された記憶素子に記憶され
る。赤色(R)及び青色(B)に対応する信号はすべて
下側の加算手段71bに接続された記憶素子に記憶され
る。
【0096】次いで、サンプリンググループGs1に対
応する記憶素子Cms、Cmnに記憶された光電気信号
及び誤差信号のうち、緑(G)に相当する8画素分の光
電気信号及び誤差信号を出力させる。この場合、緑
(G)に相当する8画素分の光電気信号及び誤差信号
は、すべて上の加算手段71aに入力されて加算され
る。さらに、これらの加算信号出力のうち光電気信号同
士を引算手段72aの正入力端子に、誤差信号同士を同
じく負入力端子に入力する。これにより、水平出力線2
6aを通して映像信号出力端子107に緑(G)に相当
する差信号が出力される。
【0097】次に、赤(R)に相当する4画素分の光電
気信号及び誤差信号を出力させる。この場合、赤(R)
に相当する光電気信号及び誤差信号は、すべて下の加算
手段71bに入力され、加算される。次いで、赤(R)
に相当する4画素分の光電気信号及び誤差信号を引算手
段72bに入力させて処理し、赤(R)に相当する差信
号を出力させる。
【0098】次いで、青(B)に相当する光電気信号及
び誤差信号を出力させる。この場合、青(B)に相当す
る光電気信号及び誤差信号は、すべて下の加算手段71
bに入力され、加算される。次いで、青(B)に相当す
る4画素分の光電気信号及び誤差信号を引算手段72b
に入力させて処理し、青(B)に相当する差信号を出力
させる。
【0099】これにより、サンプリンググループGs1
に対応する領域を代表するカラーモニタ画像の部分が形
成される。次いで、サンプリンググループGs2乃至G
s5に関しても順次、上記と同様に、光電気信号及び誤
差信号について色毎に加算処理と引算処理を行い、3色
の映像信号をそれぞれ映像信号出力端子107に出力さ
せ、その領域を代表するカラー映像の部分を形成する。
【0100】このようにして、順次すべての行及び列に
わたるサンプリンググループの映像信号を読み出し、モ
ニタ画像を描かせて、自動露出や自動合焦を行なう。上
記のように、第4の実施の形態である固体撮像装置にお
いても、第1及び第2の実施の形態と同様に、カラーフ
ィルタの色配列に対応する光電変換素子(画素)101
に対して画素飛ばしを行なう場合、サンプリング画素と
して隣接する複数の画素101を選択するとともに、対
応する光電気信号のうち同じ色の複数の光電気信号を同
時に選択して加算している。
【0101】この場合、選択する同じ色に対応する光電
気信号の数を読み出し速度に比例して増減させることに
より、光発生電荷の蓄積量に対応する信号量を一定に保
つことができるとともに、モニタ画像が粗くなるのを抑
制し、より正確な画像を得るようにすることができる。
また、同じ色に対応する複数の光電気信号に対して同時
に一度の選択を行なってそれらの光電気信号を出力させ
るだけでよいので、画素一つを選択して画素飛ばしを行
なう場合と同等な時間しか必要としない。従って、モニ
タ画像の取り込みを高速に行なうことができる。
【0102】このように、サンプリング画素に基づいて
光電気信号の取り込みを高速に行いつつ、画像の劣化を
抑制することができる。また、上記の第1及び第2の実
施の形態と同様に、カラーフィルタの色毎に光電気信号
等が加算されるように構成されている。特に、第4の実
施の形態の場合、異なる色に対応する光電気信号が別々
の一組の加算手段71a、71bにより加算されるよう
に構成されている。これにより、同一色の信号に対して
異なる加算手段を通すことにより生じる増幅度のばらつ
きに起因する色合いのばらつきを抑制することができ
る。
【0103】以上、実施の形態によりこの発明を詳細に
説明したが、この発明の範囲は上記実施の形態に具体的
に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を
逸脱しない範囲の上記実施の形態の変更はこの発明の範
囲に含まれる。例えば、上記実施の形態では、隣接する
2行にわたる8つの画素を一つのグループとして、或い
は4行にわたる16個の画素を一つのグループとしてサ
ンプリングし、画素飛ばしを行なっているが、これに限
られない。任意の行にわたって隣接する任意の数の画素
を1グループとしてサンプリングすることができる。
【0104】また、光電変換素子(単位画素)101と
してキャリアポケット25を有する閾値変調型のものを
用いているが、これに限られない。
【0105】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カラーフィルタの色配列に対応する光電変換素子(画
素)に対して画素飛ばしを行なう場合、サンプリング画
素として隣接する複数の画素を選択するとともに、対応
する光電気信号のうち同じ色の光電気信号を選択して加
算するように構成されている。
【0106】この場合、選択する同じ色に対応する光電
気信号の数を読み出し速度に比例して増減させることに
より、光発生電荷の蓄積量に対応する信号量を一定に保
つことができるとともに、モニタ画像が粗くなるのを抑
制し、より正確な画像を得るようにすることができる。
また、同じ色に対応する複数の光電気信号を選択して加
算しているが、加算回路として所謂スイッチトキャパシ
タを用いることにより、同じ色に対応する複数の光電気
信号を記憶している複数の記憶素子に対して同時に一度
の選択を行なってそれらの光電気信号を出力させるだけ
でよいので、モニタ画像の取り込みを高速に行なうこと
ができる。
【0107】このように、サンプリング画素に基づいて
光電気信号の取り込みを高速に行いつつ、画像の劣化を
抑制することができる。また、異なる色に対応する光電
気信号や誤差信号が別々の一組の加算回路により加算し
ている。従って、加算回路が異なることによる画質のば
らつきを抑制することができる。これにより、サンプリ
ング画素に基づいて光電気信号の取り込みを高速に行い
つつ、画像の劣化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装
置の要部の回路構成を示す図である。
【図2】この発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装
置の全体の回路構成を示す図である。
【図3】この発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装
置の光電変換素子の構造を示す断面図である。
【図4】この発明の第1の実施の形態に係る固体撮像装
置の信号処理回路の要部を示す回路構成図である。
【図5】この発明の第1の実施の形態に係る信号処理回
路内の加算手段の例を示す構成図である。
【図6】この発明の第2の実施の形態に係る固体撮像装
置の信号処理回路の要部を示す回路構成図である。
【図7】この発明の第3の実施の形態に係る固体撮像装
置の信号処理回路の要部を示す回路構成図である。
【図8】この発明の第4の実施の形態に係る固体撮像装
置の信号処理回路の要部を示す回路構成図である。
【図9】この発明の第1乃至第2の実施の形態に係る固
体撮像装置の光電気信号のサンプリング例を示す模式図
である。
【図10】この発明の第3乃至第4の実施の形態に係る
固体撮像装置の光電気信号のサンプリング例を示す模式
図である。
【図11】従来例に係る固体撮像装置の要部の回路構成
を示す図である。
【符号の説明】
15a 第1のウエル領域 15b 第2のウエル領域 15c チャネルドープ層 16 ソース領域 17 不純物領域 17a ドレイン領域 17b チャネルドープ層(チャネル領域) 18 ゲート絶縁膜 19 ゲート電極 20a 乃至20h、20aa、20ab、20ba、2
0bb 垂直出力線 21a乃至21d VSCAN供給線 22a、22b VDD供給線 25 キャリアポケット(高濃度埋込層) 26、26a、26b 水平出力線 27a乃至27h、27aa、27ab、27ba、2
7bb HSCAN供給線 30a、30b 昇圧電圧供給線 41、41a乃至41d、42、42a乃至42d メ
モリ出力線 71 加算手段 71a 第1の加算手段 71b 第2の加算手段 72 引算手段 72a 第1の引算手段 72b 第2の引算手段 101 単位画素(光電変換素子) 102 VSCAN駆動走査回路 103 VDD駆動走査回路 104 HSCAN入力走査回路 105 信号出力回路 107 映像信号出力端子 111 受光ダイオード 112 光信号検出用絶縁ゲート型電界効果トランジス
タ(光信号検出用MOSトランジスタ) Ai 演算増幅器 Cms 第1の記憶素子 Cmn 第2の記憶素子 Cif1 第1の帰還容量素子 Cif2 第2の帰還容量素子 SWi1、SWi2、SWn1、SWn2、SWs1、SWs2 ス
イッチ素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H04N 9/07 H04N 9/07 C 5C065 1/028 C // H04N 1/028 H01L 27/14 A (72)発明者 山本 修治 神奈川県横浜市港北区新横浜3丁目17番6 号 イノテック株式会社内 Fターム(参考) 2H048 BA02 BB02 BB46 4M118 AA10 AB01 BA14 BA30 CA03 FA06 FA34 FA42 FA50 GB07 GB11 GC08 GC14 5B047 AB04 BB04 BC01 BC07 CB05 DA06 DC11 5C024 BX01 CY15 DX01 GX03 GY31 GZ25 GZ26 HX13 HX28 HX29 5C051 AA01 BA02 DA06 DB01 DB06 DB13 DB14 DB18 DC02 DC03 DC07 DE02 EA01 5C065 AA03 BB48 CC01 CC08 DD15 DD17 EE05 EE06 GG11 GG21 GG22 GG24

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行と列に配列された複数の光電変換素子
    と、 前記列毎に設けられ、前記光電変換素子から出力された
    誤差信号を含む光電気信号を記憶する第1の記憶手段
    と、 前記列毎に設けられて前記第1の記憶手段と対をなし、
    前記光電変換素子からオフセット後に出力された誤差信
    号を記憶する第2の記憶手段と、 前記各列に対応するすべての第1の記憶手段及び第2の
    記憶手段に記憶された信号のうち特定の複数の前記光電
    気信号を同時に選択して出力させ、及び前記特定の複数
    の光電気信号に対応する複数の前記誤差信号を同時に選
    択して出力させる制御手段と、 前記第1の記憶手段から同時に出力された特定の複数の
    光電気信号を入力し、加算する第1の加算手段と、 前記第2の記憶手段から同時に出力された複数の誤差信
    号を入力し、加算する第2の加算手段と、 前記第1の加算手段からの出力信号と前記第2の加算手
    段からの出力信号とを入力し、前記2つの出力信号の差
    信号を出力する引算手段とを有することを特徴とする固
    体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記光電変換素子は、前記受光ダイオー
    ドと前記受光ダイオードに隣接する光信号検出用絶縁ゲ
    ート型電界効果トランジスタとを備え、かつ前記光信号
    検出用絶縁ゲート型電界効果トランジスタはゲート電極
    下方のチャネル領域下に前記受光ダイオードで発生した
    光発生電荷を蓄積する高濃度埋込層を備えていることを
    特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
  3. 【請求項3】 前記第1の加算手段は、正入力端子、前
    記第1の記憶手段の出力端子と接続する負入力端子及び
    出力端子を有する第1の演算増幅器と、前記第1の演算
    増幅器の負入力端子と出力端子との間に並列接続された
    第1の帰還容量素子及び第1のスイッチ素子とを有し、 前記第2の加算手段は、正入力端子、前記第2の記憶手
    段の出力端子と接続する負入力端子及び出力端子を有す
    る第2の演算増幅器と、前記第2の演算増幅器の負入力
    端子と出力端子との間に並列接続された第2の帰還容量
    素子及び第2のスイッチ素子とを有することを特徴とす
    る請求項1又は2記載の固体撮像装置。
  4. 【請求項4】 前記列及び行に配列された光電変換素子
    は複数の色を有するカラーフィルタの各色に対応し、前
    記特定の光電気信号は同じ色に対応する光電気信号であ
    ることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一に記載の
    固体撮像装置。
  5. 【請求項5】 前記列毎にサンプリングすべき前記光電
    変換素子を含む行数に対応する複数組の前記第1の記憶
    手段及び前記第2の記憶手段が設けられていることを特
    徴とする請求項1乃至4の何れか一に記載の固体撮像装
    置。
  6. 【請求項6】 前記一列内の複数組の記憶手段のうちす
    べての組は前記同じ列に並ぶすべての光電変換素子の出
    力と接続されていることを特徴とする請求項5記載の固
    体撮像装置。
  7. 【請求項7】 1組の前記第1の加算手段、前記第2の
    加算手段、及び前記引算手段を有し、前記一列内のすべ
    ての組の第1の記憶手段及び第2の記憶手段は前記1組
    の第1の加算手段、第2の加算手段、及び引算手段に接
    続されていることを特徴とする請求項5又は6記載の固
    体撮像装置。
  8. 【請求項8】 前記カラーフィルタの色は緑と赤と青の
    3種類からなり、かつ2組の前記第1の加算手段、前記
    第2の加算手段、及び前記引算手段を有していることを
    特徴とする請求項5又は6記載の固体撮像装置。
  9. 【請求項9】 前記一列内に2組又は4組の記憶手段を
    有し、該一列内の2組又は4組の記憶手段のうち1組ず
    つ又は2組ずつそれぞれ、異なる組の前記第1の加算手
    段、前記第2の加算手段、及び前記引算手段に接続し、
    かつ隣接する前記列で同じ組の前記第1の加算手段、前
    記第2の加算手段、及び前記引算手段に接続しているこ
    とを特徴とする請求項8記載の固体撮像装置。
  10. 【請求項10】 前記一列内に2組又は4組の記憶手段
    を有し、該一列内の2組又は4組の記憶手段は同じ組の
    前記第1の加算手段、前記第2の加算手段、及び前記引
    算手段に接続し、かつ隣接する前記列で異なる組の前記
    第1の加算手段、前記第2の加算手段、及び前記引算手
    段に接続していることを特徴とする請求項8記載の固体
    撮像装置。
  11. 【請求項11】 前記列に並ぶ光電変換素子の出力と接
    続する前記記憶素子を隣接する前記列同士で入れ替える
    スイッチを有していることを特徴とする請求項9又は1
    0記載の固体撮像装置。
  12. 【請求項12】 請求項1乃至11記載の固体撮像装置
    の駆動方法において、 サンプリングすべき前記光電変換素子を含む前記行に並
    ぶすべての前記光電変換素子から前記光電気信号を出力
    し、前記行に並ぶすべての光電変換素子に対応する並び
    の第1の記憶手段に記憶させるとともに、前記行に並ぶ
    すべての光電変換素子からオフセット後に前記誤差信号
    を出力し、前記複数の第1の記憶手段に対応する複数の
    第2の記憶手段に記憶させ、 前記すべての第1の記憶手段に記憶された信号のうち前
    記特定の複数の光電気信号を同時に選択し、出力して加
    算し、 前記すべての第2の記憶手段に記憶された信号のうち前
    記特定の複数の光電気信号に対応する前記誤差信号を同
    時に選択し、出力して加算し、 前記加算した光電気信号と、前記加算した誤差信号との
    差信号を出力することを特徴とする固体撮像装置の駆動
    方法。
  13. 【請求項13】 前記光電気信号及び前記対応する誤差
    信号を、前記カラーフィルタの色毎に、異なる前記第1
    の加算手段及び前記第2の加算手段と、対応する前記引
    算手段とにより処理することを特徴とする請求項12記
    載の固体撮像装置の駆動方法。
  14. 【請求項14】 前記カラーフィルタは緑と赤と青とが
    ベイヤ配列されてなり、前記緑に対応する前記光電気信
    号及び前記誤差信号を1組の前記第1の加算手段及び前
    記第2の加算手段と、対応する前記引算手段とにより処
    理し、前記赤と青に対応する前記光電気信号及び前記誤
    差信号を別の1組の前記第1の加算手段及び前記第2の
    加算手段と、対応する前記引算手段とにより処理するこ
    とを特徴とする請求項13記載の固体撮像装置の駆動方
    法。
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