JP2002005777A - Helium leak detector - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】燃料電池のような透過膜を1段以上積層した被
試験体の透過膜の構造欠陥の有無を、ヘリウムリークデ
ィテクタを用いて短時間で感度よく検出することができ
るように構成する。
【解決手段】本発明では、予めガス流通経路５にヘリウ
ム以外のガスを一定量で流し続けておき、しかる後、ヘ
リウム導入経路３を通じて透過膜１内にヘリウムを導入
すると、一定時間経過後に透過膜１の周壁部からガス流
通経路側にヘリウムが透過し、スニファープローブ６に
至る。このため、スニファープローブ６は一定の飽和ヘ
リウム量を検出することになる。しかしながら、透過膜
１にピンホール等の構造欠陥が存在する場合、ヘリウム
は周壁部を透過するよりも先に構造欠陥部分を通じてガ
ス流通経路３側に流出し、スニファープローブ６に入
る。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To detect the presence or absence of structural defects in a permeable membrane of a device under test in which one or more permeable membranes such as a fuel cell are stacked by using a helium leak detector with high sensitivity in a short time. Configure to be able to. According to the present invention, when a certain amount of gas other than helium is kept flowing in a gas flow path in advance, and then helium is introduced into a permeable membrane through a helium introduction path, the helium permeates after a certain period of time. Helium permeates from the peripheral wall of the membrane 1 to the gas flow path side and reaches the sniffer probe 6. Therefore, the sniffer probe 6 detects a constant saturated helium amount. However, when a structural defect such as a pinhole exists in the permeable membrane 1, helium flows out to the gas flow path 3 side through the structural defect portion before entering the sniffer probe 6 before passing through the peripheral wall portion.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、透過膜を積層した
被試験体、例えば燃料電池のリークテストを行う際に好
適に利用されるヘリウムリークディテクタに関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a helium leak detector suitably used for performing a leak test of a test object having a permeable membrane laminated thereon, for example, a fuel cell.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、世界規模で燃料電池の開発が進め
られている。燃料電池は燃料の持つ化学的なエネルギを
直接電気エネルギに変換する装置で、従来の熱機関と比
較すると、エネルギの利用効率は圧倒的に高いという特
徴を持つ。この燃料電池の一般的な構成は、多孔質体
（透過膜）に固体電解質を含浸した電解質層を挟んで一
対の多孔質電極を配置し、一方の電極の背面側に水素等
の燃料ガスを、他方の電極の背面側に空気等の酸化剤ガ
スを供給することにより起こる電気化学反応を利用し
て、一対の電極間から電気エネルギーを取り出す構造で
ある。2. Description of the Related Art Currently, fuel cells are being developed on a worldwide scale. A fuel cell is a device that directly converts the chemical energy of fuel into electric energy, and has a feature that energy use efficiency is overwhelmingly higher than that of a conventional heat engine. The general configuration of this fuel cell is such that a pair of porous electrodes are arranged with an electrolyte layer impregnated with a solid electrolyte in a porous body (permeable membrane), and a fuel gas such as hydrogen is placed on the back side of one of the electrodes. In this structure, electric energy is extracted from between a pair of electrodes by utilizing an electrochemical reaction caused by supplying an oxidizing gas such as air to the back side of the other electrode.
【０００３】ところで、電解質層の透過膜にピンホール
が存在すると、電解質層内を酸素イオンではなく酸素分
子が移動し、通常の燃焼を生じ、電位を低下させるた
め、ピンホールなどの構造欠陥を検査する必要がある。
従来、このような被試験体のリークテストは、空気加圧
による圧力降下法により行われている。圧力降下法は、
被試験体内部を加圧し、その後の圧力の降下状況によっ
て被試験体からのリーク、ひいてはピンホール等の構造
欠陥の有無を検出するものである。When pinholes are present in the permeable membrane of the electrolyte layer, oxygen molecules, not oxygen ions, move in the electrolyte layer, causing normal combustion and lowering the electric potential. Need to be inspected.
Conventionally, such a leak test of a device under test is performed by a pressure drop method using air pressure. The pressure drop method is
The inside of the test object is pressurized, and the presence or absence of a leak from the test object, and furthermore, the presence or absence of a structural defect such as a pinhole is detected based on the subsequent pressure drop.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、圧力降下法に
よるリークテストでは、検査に要する時間が数分間と長
く、また検出感度も１０-4ｐａ・ｍ3 ／ｓ程度と極めて
低いものであった。そこで、密閉容器の封止検査や密閉
検査等を行う際に利用されるヘリウムリークディテクタ
を、燃料電池のような被試験体のリークテストにおいて
も利用するという手法が一つの有効な手段として考えら
れる。ヘリウムは拡散性に富むため、ピンホール等の構
造欠陥が存在すれば逸早くヘリウムの漏出を誘導できる
ためである。このヘリウムリークディテクタでは、検出
感度は １０-7-ｐａｍ3 ／ｓ以上に向上する。However, in the leak test by the pressure drop method, the time required for the test is as long as several minutes, and the detection sensitivity is as low as about 10 -4 pa · m 3 / s. . Therefore, one effective means is to use a helium leak detector used for performing a sealing test or a sealing test of a closed container in a leak test of a device under test such as a fuel cell. . This is because helium is rich in diffusivity, and if structural defects such as pinholes are present, leakage of helium can be quickly induced. In this helium leak detector, the detection sensitivity is improved to 10 -7 -pam 3 / s or more.
【０００５】しかしながら、検出感度は１０-7-ｐａｍ3
／ｓ以上に向上できても、被試験体が透過性を有する
性質ゆえ、構造欠陥部分以外すなわち被試験体の正常な
周壁部分からもヘリウムガスの気体分子が簡単に透過し
てしまう。このため、単純に既存のヘリウムリークディ
テクタを適用したのでは、漏れ量と透過量が混在し、正
確なリーク判定を行うことができない。[0005] However, the detection sensitivity is 10 -7 -pam 3.
Even if the rate can be increased to more than / s, gas molecules of helium gas can easily permeate from a part other than the structural defect part, that is, a normal peripheral wall part of the test object, because of the property of the test object having permeability. Therefore, if the existing helium leak detector is simply applied, the leak amount and the transmission amount are mixed, and accurate leak determination cannot be performed.
【０００６】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、燃料電池のような透過膜を1段以上
積層した被試験体の透過膜の構造欠陥の有無を、ヘリウ
ムリークディテクタを用いて短時間で感度よく検出する
ことができるように構成することとしている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a problem, and it is an object of the present invention to determine the presence or absence of a structural defect in a permeable membrane of a test object, such as a fuel cell, in which one or more permeable membranes are laminated by helium leakage. The detector is configured to be able to detect with high sensitivity in a short time using a detector.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、高分子構造を持った浸透圧を応用した透
過膜を１段以上に積層した構造をもつ被試験体を内部に
収容するセルと、前記被試験体内にヘリウムを導入する
ヘリウム導入経路と、前記セル内における被試験体の周
辺雰囲気にヘリウム以外のガスを流通させるガス流通経
路と、このガス流通経路内を流通するヘリウム量を下流
側において検出する検出手段とを具備してなり、前記ヘ
リウム導入経路を通じて導入したヘリウムが試験体を透
過して前記検出手段に至るよりも早い時期に、該検出手
段の検出値に基づいてリ−ク判定を行い得るようにして
いる。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a test object having a structure in which a permeable membrane having a polymer structure and applied by osmotic pressure is laminated in one or more stages. A cell to be accommodated, a helium introduction path for introducing helium into the test object, a gas distribution path for flowing a gas other than helium to the atmosphere around the test object in the cell, and a flow in the gas distribution path Detecting means for detecting the amount of helium on the downstream side, and at a time earlier than when the helium introduced through the helium introduction path permeates the specimen and reaches the detecting means, the detection value of the detecting means is It is possible to make a leak determination based on this.
【０００８】このような構成において、予めガス流通経
路にヘリウム以外のガスを一定量で流し続けておき、し
かる後、ヘリウム導入経路を通じて被試験体内にヘリウ
ムを導入すると、一定時間経過後に透過性を有する被試
験体の周壁部からガス流通経路側にヘリウムが透過し、
検出手段に至る。このため、検出手段は一定の飽和ヘリ
ウム量を検出することになる。しかしながら、被試験体
にピンホール等の構造欠陥が存在する場合、ヘリウムは
周壁部を透過するよりも先に構造欠陥部分を通じてガス
流通経路側に流出し、検出手段に検出される。したがっ
て、このときの検出手段の検出値を目安にすれば、透過
量とは切り離して漏れ量のみを有効に判定することがで
きる。In such a configuration, if a gas other than helium is kept flowing in a predetermined amount in advance in the gas flow path, and then helium is introduced into the test object through the helium introduction path, the permeability will be reduced after a certain period of time. Helium permeates from the peripheral wall of the test object having the gas flow path side,
To the detection means. For this reason, the detecting means detects a constant saturated helium amount. However, when a structural defect such as a pinhole is present in the test object, helium flows out to the gas flow path side through the structural defect portion before passing through the peripheral wall portion, and is detected by the detecting means. Therefore, using the detection value of the detection means at this time as a guide, it is possible to effectively determine only the leakage amount separately from the transmission amount.
【０００９】しかも、ヘリウムは拡散性に富み、圧力降
下法に比べて逸早くピンホール等の構造欠陥部分からの
漏れを誘導することができるため、検査に要する時間を
大巾に短縮し、検出感度も飛躍的に向上させることがで
きる。Moreover, helium is rich in diffusivity and can induce leakage from structural defects such as pinholes more quickly than the pressure drop method, so that the time required for inspection is greatly reduced and the detection sensitivity is reduced. Can also be dramatically improved.
【００１０】なお、本発明で「高分子構造を持った浸透
圧を応用した透過膜を１段以上に積層した構造をもつも
の」は、例えば燃料電池などを挙げることができ、透過
膜としては、例えば、多孔質膜、中空糸などを挙げるこ
とができる。燃料電池の場合、例えば透過膜内にりん酸
などの電解質を挟み燃料極および空気極が配設される。
これを１セットとして単位電池が構成される。したがっ
て、燃料電池の場合、「透過膜を１段以上」とは、単位
電池が１個以上を意味する。また、「ヘリウム以外のガ
ス」としては、例えば空気、窒素、アルゴンなどを挙げ
ることができるが、特に限定されない。[0010] In the present invention, "a structure in which a permeable membrane having a polymer structure and applied by osmotic pressure is laminated in one or more stages" includes, for example, a fuel cell and the like. For example, a porous membrane, a hollow fiber and the like can be mentioned. In the case of a fuel cell, for example, a fuel electrode and an air electrode are disposed in a permeable membrane with an electrolyte such as phosphoric acid interposed therebetween.
A unit battery is configured by using this as a set. Therefore, in the case of a fuel cell, “one or more permeable membranes” means one or more unit cells. Examples of the “gas other than helium” include, for example, air, nitrogen, and argon, but are not particularly limited.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。図１に示す１は、燃料電池に利
用される円筒状の透過膜であり、７段設けられ、セル２
内に収容されている。燃料電池に供するときには、この
透過膜１内壁には外側から順に空気極、固体電解質層、
燃料極（いずれ図示せず）が積層される。透過膜１内に
は、燃料ガス（水素等）を出入するための導出入口２
ａ、２ｂを設け、また、セル２には空気などの酸化ガス
を出入するための導出入口２ｃ、２ｄが設けられてい
る。したがって、ガス導入口２ａより水素等の燃料ガス
を流すとともに、ガス導入口２より空気などの酸化ガス
を流すと、透過膜１内部で酸素イオンが移動して化学的
燃焼が起こり、空気極と燃料極の間に発電が行われる。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Reference numeral 1 shown in FIG. 1 denotes a cylindrical permeable membrane used for a fuel cell, which is provided in seven stages and has a cell 2
Housed within. When used in a fuel cell, an air electrode, a solid electrolyte layer,
Fuel electrodes (not shown) are stacked. Outlet 2 through which fuel gas (hydrogen, etc.) flows in and out of permeable membrane 1
a, 2b are provided, and the cell 2 is provided with outlets 2c, 2d through which an oxidizing gas such as air flows in and out. Therefore, when a fuel gas such as hydrogen flows from the gas inlet 2a and an oxidizing gas such as air flows from the gas inlet 2, oxygen ions move inside the permeable membrane 1 and chemical combustion occurs, and the air electrode is Electric power is generated between the anodes.
【００１２】本発明では、前記透過膜１の漏れ検査はヘ
リウムリークディテクタのスニファー法に基づいて実施
する。そのため、前記セル２をそのまま検出用の容器と
して用い、ガス導入口２ａをそのままヘリウムガス導入
口として使用して、ヘリウム導入経路３を接続し、ガス
導出口２ｂにヘリウム排気経路或いは密栓４を接続す
る。また、ガス導入口２ｃ、２ｄにガス流通経路５、
５’を接続し、他方のガス流通経路５’に検出手段たる
スニファープローブ６を接続している。スニファープロ
ーブ６には、公知のリークディテクタ本体８が接続され
ている。前記ヘリウム導入経路３は、透過膜１内にのみ
接続され、ガス流通経路５、５’との間は確実にシール
されている。スニファープローブ６は、約８．７×１０
-10 ｐａ・ｍ3／ｓ以上のヘリウムを検出可能な極めて
高い検出感度を有するものであり、末端は図示しない排
気手段の吸気口に接続されている。In the present invention, the leak check of the permeable membrane 1
Implemented based on the sniffer method of Lium leak detector
I do. Therefore, the cell 2 is directly used as a container for detection.
Helium gas is introduced through the gas inlet 2a as it is.
Use as a port to connect helium introduction path 3
Connect helium exhaust path or hermetic plug 4 to outlet 2b
You. In addition, the gas introduction path 5 is connected to the gas introduction ports 2c and 2d.
5 'is connected to the other gas flow path 5' as a detecting means.
The sniffer probe 6 is connected. Sniffer pro
A known leak detector body 8 is connected to the probe 6.
ing. The helium introduction path 3 is provided only in the permeable membrane 1.
Connected and securely sealed between gas flow paths 5, 5 '
Have been. The sniffer probe 6 is about 8.7 × 10
-Ten pa ・ mThree/ S or more helium can be detected
It has high detection sensitivity.
It is connected to the intake of the air means.
【００１３】次に、本例におけるリークテスト方法につ
いて説明する。先ず、スニファープローブ６の末端に接
続してある図示しない排気手段を作動させ、スニファー
プローブ６及びセル２内を排気する。そして、スニファ
ープローブ６が所定のバックグラウンド値以下の検出値
になったとき、リークテストを開始する。Next, a leak test method in this embodiment will be described. First, exhaust means (not shown) connected to the end of the sniffer probe 6 is operated to exhaust the sniffer probe 6 and the inside of the cell 2. Then, when the value of the sniffer probe 6 becomes equal to or less than the predetermined background value, the leak test is started.
【００１４】次に、ガス流通経路５に空気を流し、一方
のガス導入口２ｃから他方のガス導出口２ｄに向けて一
定量の空気の流れを形成する。空気の流れが定常状態に
入ると、密栓４をガス同術口２ｂにして、ガス導入口２
ａから透過膜１内に例えば０．１ＭＰａ・Ｇ程度の加圧
状態でＨｅを導入する。これにより、ヘリウム導入経路
３から透過膜１内にヘリウムが流入し、そのヘリウムは
逐次、該透過膜１内に封入される。ガス流通経路５の下
流に位置するスニファープローブ６には、当初空気のみ
が流入するが、ある時間経過以後には透過性のある透過
膜１の周壁からガス流通経路５側に透過したヘリウムが
流入するようになる。そして、最終的にスニファープロ
ーブ６は、図２の曲線Ａに沿って一定時間 （例えば１
０秒）経過後にヘリウム導入量に対応する飽和ヘリウム
量を検出することになる。Next, air is caused to flow through the gas flow path 5 to form a certain amount of air flow from one gas inlet 2c to the other gas outlet 2d. When the flow of air enters a steady state, the stopper 4 is set to the gas inlet 2b and the gas inlet 2
He is introduced into the permeable membrane 1 from a under pressure of, for example, about 0.1 MPa · G. As a result, helium flows into the permeable membrane 1 from the helium introduction path 3, and the helium is sequentially sealed in the permeable membrane 1. At first, only air flows into the sniffer probe 6 located downstream of the gas flow path 5, but after a certain period of time, helium permeated from the peripheral wall of the permeable membrane 1 into the gas flow path 5 flows in. I will be. Then, finally, the sniffer probe 6 moves along the curve A in FIG.
(0 second), the saturated helium amount corresponding to the introduced amount of helium is detected.
【００１５】一方、上記の過程において、透過膜１にピ
ンホールや亀裂等の構造欠陥部分７が存在する場合、ヘ
リウムはその構造欠陥部分７を介して透過膜１の周壁を
透過するヘリウムよりもより早くガス流通経路５側に流
出し、スニファープローブ６に流れ込む。このため、構
造欠陥部分７がある場合には図２に曲線Ｂで示すように
曲線Ａの透過ヘリウムよりも早い時期にスニファープロ
ーブ６は漏出したヘリウムを検出することになる。On the other hand, in the above-described process, when the permeable film 1 has a structural defect portion 7 such as a pinhole or a crack, helium is more than helium that penetrates the peripheral wall of the permeable film 1 through the structural defect portion 7. It flows out to the gas flow path 5 side earlier and flows into the sniffer probe 6. For this reason, when there is a structural defect portion 7, the sniffer probe 6 detects the leaked helium earlier than the transmission helium of the curve A as shown by the curve B in FIG.
【００１６】しかして、この例においては、漏出ヘリウ
ムが飽和するときの値の２０％の値をもってスニファー
プローブ６による合否判定値とし、その値が２×１０-7
-ｐａｍ3 ／ｓ以上である場合にはピンホールや亀裂等
の構造欠陥が存在するものとして不良判定し、２×１０
-7-ｐａｍ3 ／ｓ以下である場合には構造欠陥が存在し
ないか若しくは問題にならない程度であるとして合格判
定するようにしている。このため、ヘリウム導入後から
の合否判定時間 は約１０秒程度を見込んおけば足り
る。In this example, the value of 20% of the value when the leaked helium is saturated is used as the pass / fail judgment value by the sniffer probe 6, and the value is 2 × 10 -7.
-pam 3 / s or more, it is determined that there is a structural defect such as a pinhole or a crack, and a failure is determined.
If it is less than -7 -pam 3 / s, it is determined that there is no structural defect or that it is not a problem, and the pass is judged. Therefore, it is sufficient to allow about 10 seconds for the pass / fail judgment time after the introduction of helium.
【００１７】このように、本実施例のヘリウムリークデ
ィテクタは、拡散性に富み構造欠陥部分からの漏れを逸
早く誘導できるヘリウムを透過性のある透過膜１に流し
ても、透過膜１から透過するヘリウムとは確実に区別し
て漏出ヘリウムのみを検出することができる。このた
め、従来に比べて検査に要する時間を叙述のように１０
秒程度に激減させることができ、検出感度も１０-7-ｐ
ａｍ3 ／ｓ程度にまで飛躍的に向上させることが可能と
なる。As described above, the helium leak detector according to the present embodiment permeates permeable helium from the permeable membrane 1 even if helium, which is rich in diffusivity and can induce leakage from a structural defect portion, can be quickly transmitted to the permeable membrane 1. Only leaked helium can be detected in a manner distinct from helium. For this reason, the time required for the inspection is reduced by 10 times as described above.
Can be drastically reduced to about 2 seconds, and the detection sensitivity is 10 -7 -p
It can be dramatically improved to about am 3 / s.
【００１８】勿論、ガス流通経路５内の空気の流量を増
やすと検出感度よりも応答時間が優先し、流量を減らす
と応答時間よりも検出感度が優先するため、空気の導入
量を通じて応答時間と検出感度の兼ね合いを自在に調整
することができるものである。なお、ガス流通経路５に
窒素やアルゴンなど空気以外のガスを流通させるなど、
各部の具体的な構成は上述した実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が
可能である。Of course, when the flow rate of air in the gas flow path 5 is increased, the response time has priority over the detection sensitivity, and when the flow rate is reduced, the detection sensitivity has priority over the response time. The balance of the detection sensitivity can be freely adjusted. In addition, a gas other than air, such as nitrogen or argon, is allowed to flow through the gas flow path 5,
The specific configuration of each unit is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
【００１９】[0019]
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。すなわ
ち、本発明に係るヘリウムリークディテクタは、透過性
を有する被試験体のリークテストにおいて、ヘリウムが
透過膜を透過する前に、漏れ箇所から漏出したヘリウム
を被試験体の周辺雰囲気を流通するガスとともに逸早く
検出手段に導いてその漏れ量のみを検出し得るようにし
ているので、従来に比べて検査に要する時間を大巾に短
縮し、同時に検出感度も飛躍的に向上させることが可能
となる。The present invention is embodied in the form described above and has the following effects. That is, the helium leak detector according to the present invention, in a leak test of a test object having permeability, before the helium permeates the permeable membrane, the helium leaked from the leak location gas flowing through the atmosphere around the test object At the same time, it is possible to quickly detect the leakage amount by leading the detection means to the detection means quickly, so that the time required for the inspection can be greatly reduced compared to the conventional method, and at the same time, the detection sensitivity can be dramatically improved. .
【図１】本発明の一実施例を模式的に示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view schematically showing one embodiment of the present invention.
【図２】同実施例の作用説明図。FIG. 2 is an operation explanatory view of the embodiment.
【符号の説明】 １：透過膜 ２：セル ３：ヘリウム導入経路 ５：ガス流通経路 ６：スニファープローブ[Description of Signs] 1: Permeable membrane 2: Cell 3: Helium introduction path 5: Gas flow path 6: Sniffer probe
Claims (2)
膜を１段以上に積層した構造をもつ被試験体を内部に収
容するセルと、前記被試験体内にヘリウムを導入するヘ
リウム導入経路と、前記セル内における被試験体の周辺
雰囲気にヘリウム以外のガスを流通させるガス流通経路
と、このガス流通経路内を流通するヘリウム量を下流側
において検出する検出手段とを具備してなるヘリウムリ
ークディテクタ。1. A cell accommodating a test object having a structure in which a permeable membrane having a polymer structure and utilizing osmotic pressure is laminated in one or more stages, and a helium introduction for introducing helium into the test object. A path, a gas flow path for flowing a gas other than helium in the atmosphere around the test object in the cell, and a detecting means for detecting the amount of helium flowing in the gas flow path on the downstream side. Helium leak detector.
ヘリウムリークディテクタ。2. The helium leak detector according to claim 1, wherein the test object is a fuel cell.
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7401499B2 (en) | 2005-08-12 | 2008-07-22 | Gtr Tec Corporation | Apparatus for permeability analysis |
| JP2010508627A (en) * | 2006-10-31 | 2010-03-18 | パワーセル スウェーデン アーベー | Fuel cell manufacturing method |
| WO2010066802A1 (en) * | 2008-12-11 | 2010-06-17 | Inficon Gmbh | Method for checking the seal of a stack of fuel cells |
| WO2017159481A1 (en) | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 日揮株式会社 | Leakage inspection method and leakage inspection device for container to be inspected |
| JPWO2017037842A1 (en) * | 2015-08-31 | 2018-06-07 | 島津エミット株式会社 | Helium leak detector |
| CN110542515A (en) * | 2019-09-09 | 2019-12-06 | 爱发科东方真空(成都)有限公司 | Sealing butt joint mechanism for battery batch grouping type helium pressing vacuum box method leak detection |
| CN113649306A (en) * | 2021-07-29 | 2021-11-16 | 安徽智森电子科技有限公司 | Vacuum helium detection equipment for lithium battery cover plate |
-
2000
- 2000-06-23 JP JP2000188630A patent/JP2002005777A/en active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7401499B2 (en) | 2005-08-12 | 2008-07-22 | Gtr Tec Corporation | Apparatus for permeability analysis |
| JP2010508627A (en) * | 2006-10-31 | 2010-03-18 | パワーセル スウェーデン アーベー | Fuel cell manufacturing method |
| WO2010066802A1 (en) * | 2008-12-11 | 2010-06-17 | Inficon Gmbh | Method for checking the seal of a stack of fuel cells |
| US20110262823A1 (en) * | 2008-12-11 | 2011-10-27 | Inficon Gmbh | Method for checking the seal of a stack of fuel cells |
| CN102239594A (en) * | 2008-12-11 | 2011-11-09 | 因菲康有限公司 | Method for checking the seal of a stack of fuel cells |
| US8669017B2 (en) | 2008-12-11 | 2014-03-11 | Inficon Gmbh | Method for checking the seal of a stack of fuel cells |
| JPWO2017037842A1 (en) * | 2015-08-31 | 2018-06-07 | 島津エミット株式会社 | Helium leak detector |
| WO2017159481A1 (en) | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 日揮株式会社 | Leakage inspection method and leakage inspection device for container to be inspected |
| US10816433B2 (en) | 2016-03-15 | 2020-10-27 | Jgc Japan Corporation | Leakage inspection method and leakage inspection device for container to be inspected |
| CN110542515A (en) * | 2019-09-09 | 2019-12-06 | 爱发科东方真空(成都)有限公司 | Sealing butt joint mechanism for battery batch grouping type helium pressing vacuum box method leak detection |
| CN110542515B (en) * | 2019-09-09 | 2021-02-09 | 爱发科东方真空(成都)有限公司 | Sealing butt joint mechanism for battery batch grouping type helium pressing vacuum box method leak detection |
| CN113649306A (en) * | 2021-07-29 | 2021-11-16 | 安徽智森电子科技有限公司 | Vacuum helium detection equipment for lithium battery cover plate |
| CN113649306B (en) * | 2021-07-29 | 2024-04-05 | 安徽智森电子科技有限公司 | Vacuum helium detection equipment for lithium battery cover plate |
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