JP2002081990A - 焦電型赤外線センサ - Google Patents
焦電型赤外線センサInfo
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Landscapes
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Abstract
化により誤検出を起さない焦電型赤外線センサを提供す
る。 【解決手段】 焦電素子チップ1の表裏に夫々、極性の
異なる1対の電極2a・2b・2c・2d(2c・2d
は夫々2a及び2bの裏側に形成)を構成すると共に、
その焦電素子チップ1の裏面に形成された2つの電極2
c・2dを互いに接続して、4つの電極2a〜2dで1
つの検知部3を形成し、その検知部3をアレイ状又はマ
トリクス状に複数形成し、同一の行の電極を接続する配
線パターン5a〜5cを設けると共に、同一の列の電極
を接続する配線パターン7a〜7cを裏面に設け、配線
パターン5a〜5c、7a〜7cの一端に、夫々IC等
と接続するための接続電極4a〜4c、6a〜6cを設
ける。
Description
る赤外線を、複数個の検知部で検知する焦電型赤外線セ
ンサに関するものである。
等の負荷の制御に用いられるセンサとして、赤外線の変
化量により人体を検出する焦電型赤外線センサが知られ
ている。図8は、そのようなセンサの一例であり、松下
電工株式会社製の超小型PIR人体検知センサ、NaP
iOn(登録商標)を示す分解斜視図である。このセン
サは、略円盤状のベース部11aの平板側表面に、3つ
の嵌合孔(図示せず)を穿設した後、当該嵌合孔に、3
本の接続ピン11bのうち何れか2本を、接続ピン11
bの頭部11baが、ベース部11aの上部表面から突
出するようにする一方、残りの接続ピン11bの上端部
と、ベース部11aの上部表面とが略一致するように挿
嵌させてなる底蓋11を備えている。
脂で、略直方体状に一体成型されたMIDブロック(3
次元成形回路基板)13が、その下端部の一辺に突設し
ている脚部13cに、略垂直となるように穿設された嵌
合溝13bと、接続ピン11bの頭部11baとが嵌合
するように載置されている。MIDブロック13の上部
には凹部が形成され、その凹部に形成されている両突辺
に、8つの電極2a〜2hによって(電極2c、2d、
2g、2hは図示せず)4つのエレメントが形成された
焦電素子チップ1が載架される一方、MIDブロック1
3の側面の一方には、ICチップ10が取付けられ、焦
電素子チップ1と電気的に接続されている(接続構造及
び電極への配線パターンは省略)。
うに、上面に赤外線フィルタ14aを設けた、略筒状の
パッケージカバー14を底蓋11に被装して、パッケー
ジを構成し、そのパッケージをさらに、球状表面19a
に複数のレンズを構成したマルチレンズ19を被装する
ことによって、センサが構成されている。また、マルチ
レンズ19は26分割されており、図9に示すような1
04個の検知単位(26個の検知単位×4エレメント)
で構成される検知エリアで、人を検出するようになって
いるが、夫々のエレメントで検知できる26個の検知単
位は、レンズにより分割されたものであるので、独立し
た出力ではない。
の動きがあったことは検出できても、その動きが検知エ
リア内のどの場所であったものであるかを特定すること
はできない。このため、人体の動作の場所を特定しなけ
ればならない用途等については、単一の検知エリアを持
つ赤外線センサを多量に設置するか、サーモグラフィ、
パイロビジコン等の装置を用いる必要があり、高価で保
守管理に手間がかかるという問題があった。そこで、か
かる問題点を解決するためには、特開昭61-66128号公報
に記載された二次元焦電型イメージセンサを用いること
が考えられる。
に、平板状の焦電素子チップ1の縦横に複数の略矩形状
の孔8aを穿設して、夫々の穿設孔8aの長辺間にスペ
ースを設け、そのスペースの表裏に電極を形成したもの
である。そして、焦電素子チップ1の表面の、穿設孔8
aの長辺側となる何れか一辺に、IC等と接続するため
の接続電極4a・4b・4c…と、夫々の接続電極4a
〜4cから、夫々の穿設孔8aの短辺間を通る配線パタ
ーン5a・5b・5c…を形成する一方、接続電極4a
〜4cを設けた辺と、垂直に交わる辺上で、かつ焦電素
子チップ1の裏面に位置するよう、接続電極6a・6b
・6cを形成し、夫々の接続電極6a〜6cから、前記
スペースの裏に設けた電極上を通る配線パターン7a・
7b・7c…が形成されている。
なセンサにあっては、画像処理装置に用いられるセンサ
であるため、赤外線エネルギーの僅かな変化によって
も、各エレメントが反応するよう、各エレメントが独立
した1エレメント方式となっている。然るに、人体検出
の観点においては、太陽光の入射や温度の変化による、
赤外線エネルギーの変化も検知する共に、ノイズが印加
され易いという特性は、誤検出を招く恐れがあり、確実
に人体を検出したいという要求を満足できないという問
題点があった。
ものであり、その目的とするところは、ノイズ耐性があ
り、太陽光の入射や温度の変化により誤検出を起さない
焦電型赤外線センサを提供することにある。
チップの表裏に夫々、極性の異なる1対の電極を構成す
ると共に、その焦電素子チップの裏面に形成された2つ
の電極を互いに接続して、4つの電極で1つの検知部を
形成し、その検知部をアレイ状又はマトリクス状に複数
形成したことを特徴とするものである。
チップの表裏に夫々、極性の異なる1対の電極を構成す
ると共に、同一の極性を持つ電極を夫々接続して、4つ
の電極で1つの検知部を形成し、その検知部をアレイ状
又はマトリクス状に複数形成したことを特徴とするもの
である。
又は請求項2記載の焦電型赤外線センサに対し、隣り合
う前記検知部の方向性を、互いに異なるようにしたこと
を特徴とするものである。
乃至請求項3何れか記載の焦電型赤外線センサに対し、
同一の行に形成された前記検知部同志を導通させる配線
パターン及び、同一の列に形成された前記検知部同志を
導通させる配線パターンを設けたことを特徴とするもの
である。
乃至請求項4何れか記載の焦電型赤外線センサに対し、
前記検知部の周辺に、くり抜き孔が穿設されていること
を特徴とするものである。
記載の焦電型赤外線センサに対し、夫々の配線パターン
毎にスイッチを設けることを特徴とするものである。
記載の焦電型赤外線センサに対し、前記くり抜き孔の側
面に、前記電極と接続される配線パターンを設けること
を特徴とするものである。
記載の焦電型赤外線センサに対し、前記スイッチは、ト
ランジスタよりなることを特徴とするものである。
記載の焦電型赤外線センサに対し、前記スイッチを所定
のタイミングでON/OFFさせることにより、前記検
知部の出力を順番に取り出すことを特徴とするものであ
る。
の一実施の形態に係る焦電型赤外線センサについて、図
1〜図5に基づいて詳細に説明する。ここで、当該赤外
線センサの説明に用いる図1は、本実施形態の焦電素子
チップ1の一部を示す斜視図であり、図2(a)は、そ
の焦電素子チップ1の表面の電極パターンを示す図、
(b)は裏面の電極パターンを示す透視図である。
状の焦電素子チップ1は、例えば、PbTiO3、PZ
T等のセラミックや、LiTaO3等の単結晶、PVF
2等の高分子からなり、その表裏面には、略直角三角形
状の複数の電極2a・2b・2c・2dが、メッキ、ス
パッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング、導電
性ペーストの塗布等の手法を用いて形成されている。焦
電素子チップ1の表面に形成された電極2aと、裏面に
形成された電極2cとは、表裏1組で1つのエレメント
を構成すると共に、焦電素子チップ1の表面に形成され
た電極2bと、裏面に形成された電極2dとで、表裏1
組の1つのエレメントを構成している。また、電極2a
〜電極2dで構成される略正方形状の検知部3aa〜3
cbは、一例として、8行8列のマトリクス状に形成さ
れている。
の間隔をおいて、IC等と接続するための複数の略矩形
状の接続電極4a・4b・4c…が形成されると共に、
接続電極4aからは、夫々検知部3aa、3ab、3a
c…の電極2aと接続される配線パターン5aが導出さ
れており、同様にして、接続電極4bからは、夫々検知
部3ba〜3bc…の電極2aと接続される配線パター
ン5bが、接続電極4cからは、夫々検知部3ca・3
cb…の電極2aと接続される配線パターン5cが導出
されている。すなわち、マトリクス状に形成された複数
の電極2aのうち、同一の行に形成された電極同志は、
同一の配線パターンで導通され、その配線パターンの終
端には、IC等と接続することを目的とした接続電極4
a〜4cが形成されている。
と直交する辺の裏面には、複数の略矩形状の接続電極6
a・6b・6c…が形成され、検知部3aa〜3cbの
裏側にある全ての電極2dの近傍を通るように、複数の
配線パターン7a〜7c…が導出されている。尚、接続
電極4a〜4c、6a〜6c及び、配線パターン5a〜
5c、7a〜7cは、上記で説明したメッキ等の手法を
用いて形成されている。また、夫々の電極2a〜2dの
短辺側近傍及び長辺側近傍には、夫々他の電極2a〜2
dとの、熱的アイソレーションを取るための、くり抜き
孔8a・8bが、サンドブラスト加工やドライエッチン
グ法、ウェットエッチング法等を用いて穿設されてい
る。
aの、電極2b側の側面には、夫々メッキ等で金属膜が
形成され、その金属膜は焦電素子チップ1の裏面に形成
された配線パターン7a〜7cと接続されると一方、焦
電素子チップ1の表面に形成された配線パターン9aを
介して電極2bと接続されている。すなわち、マトリク
ス状に形成された複数の電極2bのうち、同一の列に形
成された電極同志は、同一の配線パターンで導通され、
その配線パターンの終端には、IC等と接続することを
目的とした接続電極6a〜6cが形成されている。
ーン9bを介して接続されており、接続電極4a〜4c
と、接続電極6a〜6cの極性を逆とすること、例え
ば、接続電極4a〜4cを正極性、接続電極6a〜6c
を負極性とすることによって、電極2aが正極性を持つ
一方、電極2bが負極性を持ち、各エレメントが直列に
接続された、デュアル直列接続型の焦電型赤外線センサ
を構成することができる。
チップ10の構成とその動作について、図3及び図4に
基づいて詳細に説明する。ここで、ICチップ10の説
明に用いる図3は、焦電素子チップ1上に形成された接
続電極4・6とICチップ10との接続を示したブロッ
ク図であり、図4は、ICチップ10からの出力を示す
タイミングチャートである。尚、上述したように、1つ
の検知部は、略直角三角形状のデュアル素子として形成
されているが、本図においては簡便のため1つの正方形
として表現している。
ET等からなるI/V変換部(電流−電圧変換部)10
aと、定電圧源10bとを備えると共に、I/V変換部
10aと接続される8個のスイッチSw1〜Sw8と、
定電圧源10bと接続される8個のスイッチSwA〜S
wHを備えている。尚、通常、I/V変換部10aは、
増幅回路及びコンパレータ(図示せず)と接続され、コ
ンパレータから出力が得られるようになっている。スイ
ッチSw1〜Sw8は、8つの接続電極4と夫々接続さ
れると共に、スイッチSwA〜SwHは、8つの接続電
極6と夫々接続されている。
SwA〜SwHは、トランジスタ等により構成され、I
Cチップ10内のメモリ(図示せず)に記憶されている
プログラムによって、夫々ON/OFFの制御がされる
ようになっており、スイッチSw1〜Sw8及びスイッ
チSwA〜SwHのON/OFFの組み合わせにより、
上述のI/V変換部10aに取り込む検知部3を特定す
ることができる。
ONとなり、それ以外のスイッチが全てOFFであるよ
うな状態を考えると、1Aの検知部3のみがI/V変換
部10a及び定電圧源10bの両方に接続されることと
なり、1Aの検知部3の出力がI/V変換部10aによ
って、電流−電圧変換されることとなる。一方、1Aの
検知部3以外の検知部3については、 I/V変換部1
0a又は定電圧源10bの何れか、或いは両方に通じる
スイッチSwがOFF状態となるため、出力がされない
ようになっている。
みがONの場合には、1Bの検知部3の出力が、I/V
変換部10aによって電流−電圧変換され、スイッチS
w1及びSwCのみがONの場合には、1Cの検知部3
の出力が電流−電圧変換されることになる。このよう
に、スイッチSw1〜Sw8及びスイッチSwA〜Sw
Hを所定のタイミングでON/OFFさせることによ
り、64個の検知部3の出力を順番に電流−電圧変換す
ることができる。
ングの一例を示す。スイッチSw1〜Sw8及びスイッ
チSwA〜SwHを、図4に示したようなタイミングで
ON/OFFさせることにより、検知部1A→1B→1
C→1D→1E→1F→1G→1H→2A→2B→…
(省略)→8F→8G→8Hの順序で出力を取り出すこ
とができる。一例として、スイッチング幅を2msとす
ると、全ての検知部の出力を取り出すためには、2ms
×64個=128msの時間がかかり、この動作を繰り
返すことによって、128ms毎の各検知部3の出力を
取り出すことができる。
0とを収めた焦電型赤外線センサの構造について、図5
に基づいて詳細に説明する。図5は、本実施形態の焦電
型赤外線センサの構造を示す分解斜視図であり、かかる
赤外線センサは、焦電素子チップ1等を載置するため
の、ベース部11の表面の四隅に、4つの嵌合孔(図示
せず)を穿設した後、当該嵌合孔に、回路等に半田付け
するための4本の接続ピン11bを、その接続ピン11
bの頭部11baが、ベース部11aの上部表面から突
出するように挿嵌させてなる底蓋11を備えている。
ス板11aaと、その上部に一体に形成され、ベース板
11aaよりも小さな正方形平板状のベースブロック1
1abとから構成されている。ベースブロック11ab
の上部表面に載置されるMIDブロック13は、例え
ば、ダイシング加工等によって、その上面に四角錐台状
のICチップ取付け孔13aが穿設される一方、下面に
は、コンデンサ、抵抗等の複数のチップ部品12を取付
けるための取付け部(図示せず)が設けられている。
面視略円弧状の嵌合溝13bが形成されており、4つの
嵌合溝13bに、夫々4本の接続ピン11bの頭部11
baが接するようにすることで、ベース部11aにMI
Dブロック13を固定することができる。ここで、MI
Dブロック13には、配線パターンが形成されており
(図示せず)、その配線パターンとチップ部品12の電
極とは、導電性接着剤等で接続されると共に、配線パタ
ーンとICチップ10のパッドは、ワイヤボンディング
等で接続されている。
10を取付けた後、そのICチップ10を被覆するよう
にして、焦電素子チップ1を載置して、焦電素子チップ
1の接続電極4・6と、ICチップ10のパッドとをワ
イヤボンディング等で接続する。次に、赤外線フィルタ
14aを設けた、略有底箱状のパッケージカバー14の
内側に、ベースブロック11abを嵌合させることによ
り、底蓋11に被装してパッケージを構成した後、さら
に、そのパッケージの上から、単眼レンズを被装するこ
とによって、センサを構成するようになっている。
々、略直角三角形状の極性の異なる1対の電極を形成す
ると共に、焦電素子チップ1の裏面に形成された2つの
電極を互いに接続して、デュアル直列接続型の検知部を
なし、当該検知部をアレイ状(一次元)又はマトリクス
状(二次元)に複数形成することにより、ノイズ耐性が
あり、太陽光の入射や温度の変化により誤検出を起さな
いと共に、検知エリア内のどの場所で動作があったか特
定することができる焦電型赤外線センサを提供すること
ができるのである。
いて、1対の電極として、三角形のデュアル素子の場合
を示したが、四角形のデュアル素子、或いはクワッドタ
イプ(4エレメントタイプ)と呼ばれる4検知部の素子
等を用いても良い。また、ICチップ10内に1つのI
/V変換部10aを備えた例を示したが、複数のI/V
変換部10aを備えてもよく、その場合は、ICチップ
10内に形成されるスイッチの数が減り、例えば、IC
チップ10内に、I/V変換部10aを8個有している
場合などは、スイッチSw1〜Sw8は不要となり、ス
イッチSwA〜SwHのスイッチングのみで、64個の
検知部の出力を取り出すことができる。
1の実施形態において、ノイズ耐性があり、太陽光の入
射や温度の変化により誤検出を起さないと共に、検知エ
リア内のどの場所で動作があったか特定することができ
る焦電型赤外線センサを提供することができたが、近
年、赤外線を通しにくい断熱ガラスや、木目細かい温度
制御が行われているビル内では、太陽光等による誤検出
は然程問題とならず、かかる問題点よりも、よりノイズ
耐性の良いセンサが求められている。
鑑み、当該要求を満たすセンサを提案している。以下
に、その焦電型赤外線センサについて、図6に基づいて
詳細に説明する。図6(a)は、本実施形態に係る焦電
素子チップ1の表面の電極パターンを示す図、(b)は
裏面の電極パターンを示す透視図である。尚、第1の実
施形態と同様の構成部分及び動作については、説明を省
略又は簡略化することとし、本実施形態の特徴となる焦
電素子チップ1の表裏面の電極パターンの構成につい
て、詳細に説明することとする。
電素子チップ1の表面の一辺には、所定の間隔をおい
て、複数の略矩形状の接続電極4a〜4c…が形成され
ると共に、接続電極4aからは、夫々検知部3ha、3
ga、3fa…の電極2aと接続される配線パターン5
aが導出されている。すなわち、マトリクス状に形成さ
れた複数の電極2aのうち、同一の列に形成された電極
同志は、同一の配線パターンで導通され、その配線パタ
ーンの終端には、接続電極4a〜4cが形成されてい
る。
と反対側の辺には、所定の間隔をおいて、複数の略矩形
状の接続電極6a・6b・6c…が形成されると共に、
接続電極6aからは、夫々検知部3aa、3ba、3c
a…の電極2bと接続される配線パターン7aが導出さ
れている。すなわち、マトリクス状に形成された複数の
電極2bのうち、同一の列に形成された電極同志は、同
一の配線パターンで導通され、その配線パターンの終端
には、接続電極6a〜6cが形成されている。
電素子チップ1の裏面の一辺には、複数の略矩形状の接
続電極15a〜15c…が形成されると共に、接続電極
15aからは、夫々検知部3ah、3ag、3af…の
電極2cと接続される配線パターン16aが導出されて
いる。すなわち、マトリクス状に形成された複数の電極
2cのうち、同一の行に形成された電極同志は、同一の
配線パターンで導通され、その配線パターンの終端に
は、接続電極15a〜15cが形成されている。
る辺と反対側の辺には、複数の略矩形状の接続電極17
a〜17cが形成されると共に、接続電極17aから
は、夫々検知部3aa、3ab、3ac…の電極2dと
接続される配線パターン18aが導出されている。すな
わち、マトリクス状に形成された複数の電極2dのう
ち、同一の列に形成された電極同志は、同一の配線パタ
ーンで導通され、その配線パターンの終端には、接続電
極17a〜17cが形成されている。
a〜6cの極性を逆とする一方、接続電極4a〜4cと
接続電極15a〜15cの極性を逆とすると共に、接続
電極6a〜6cと接続電極17a〜17cの極性を逆と
し、夫々の接続電極を、8組のスイッチSw(1組4つ
のスイッチ×8組=32個のスイッチ)を具備したIC
チップ10のスイッチSwに取付けるようにする。例え
ば、接続電極4a〜4c及び接続電極17a〜17cを
正極性、接続電極15a〜15c及び接続電極6a〜6
cを負極性とすることによって、電極2a及び電極2d
が正極性を持つ一方、電極2b及び電極2cが負極性を
持つようする。
〜6c、接続電極15a〜15c、接続電極17a〜1
7cを夫々、ICチップ10のスイッチSwに取付ける
ことにより、各エレメントが並列に接続された、デュア
ル並列接続型の焦電型赤外線センサを構成することがで
きる。尚、接続電極が夫々別となっていることにより、
例えば、受光部3aaの電極2a・2cと、受光部3a
fの電極2b・2dとの出力を取ることもできるように
なっている。
々、略直角三角形状の極性の異なる1対の電極を構成す
ると共に、同一の極性を持つ電極を夫々接続して、デュ
アル並列接続型の検知部をなし、当該検知部をアレイ状
又はマトリクス状に形成することにより、デュアル直列
接続型よりもノイズ耐性があり、検知エリア内のどの場
所で動作があったか特定することができる焦電型赤外線
センサを提供することができるのである。
は、第1の実施形態において、ノイズ耐性があり、太陽
光の入射や温度の変化により誤検出を起さないと共に、
検知エリア内のどの場所で動作があったか特定すること
ができる焦電型赤外線センサを提供することができた
が、方向性の影響という問題点を解決するまでには至ら
なかった。すなわち、正極性の電極が形成する検知範
囲、負極性の電極が形成する検知範囲を、人体が順番に
横切る場合は、大きな出力が得られるが、夫々の検知範
囲を同時に横切る場合には、出力を打ち消し合い、殆ど
出力が得られないという問題点があった。
当該問題点を略解決するセンサを提案している。以下
に、その焦電型赤外線センサについて、図7に基づいて
詳細に説明する。図7は、本実施形態の焦電素子チップ
1の一部を示す斜視図である。尚、第1の実施形態と同
様の構成部分及び動作については、説明を省略又は簡略
化することとし、本実施形態の特徴となる焦電素子チッ
プ1の、表裏面の電極パターンの構成について、詳細に
説明することとする。
第1の実施形態のセンサに対し、焦電素子チップ1上に
穿設されるくり抜き孔8bの長手方向を、交互に違う向
きとなるように穿設したものである。すなわち、検知部
3aa、3ac、3bb、3ca(以下、第1の受光グ
ループと呼ぶ)のくり抜き孔8bの長手方向を同一とす
ると共に、当該長手方向と略垂直となる方向に、検知部
3ab、3ba、3bc、3cb(以下、第2の受光グ
ループと呼ぶ)のくり抜き孔8bを穿設するようにし、
それに伴って、検知部3ab、3ba、3bc、3cb
の電極2a及び電極2bの配置を、夫々半時計周りに回
転させた位置に形成したものである。
光グループには、右斜め方向に方向性が生じるが、第2
の受光グループにおいては、最も大きな出力が得られる
方向となる一方、第2の受光グループには、左斜め方向
に方向性が生じるが、第1の受光グループにおいては、
最も大きな出力が得られる方向となる。すなわち、夫々
の受光グループに方向性はあるものの、互いの欠点を補
い合うようにしたことによって、センサ全体としては、
無方向性の焦電型赤外線センサを提供することができる
のである。
説明しないが、上述と同様にして、焦電素子チップ1上
に穿設されるくり抜き孔8bの長手方向を、交互に違う
向きとすることにより、センサ全体として、無方向性の
デュアル並列接続型のセンサを提供することができる。
っては、焦電素子チップの表裏に夫々、極性の異なる1
対の電極を構成すると共に、その焦電素子チップの裏面
に形成された2つの電極を互いに接続して、4つの電極
で1つの検知部を形成し、その検知部をアレイ状又はマ
トリクス状に複数形成したので、ノイズ耐性があり、太
陽光の入射や温度の変化により誤検出を起さないので、
確実に人体等を検知することができると共に、検知エリ
ア内のどの場所で動作があったか特定することができる
という効果を奏する。
チップの表裏に夫々、極性の異なる1対の電極を構成す
ると共に、同一の極性を持つ電極を夫々接続して、4つ
の電極で1つの検知部を形成し、その検知部をアレイ状
又はマトリクス状に複数形成したので、請求項1記載の
発明よりも、ノイズ耐性があるので、より確実に人体等
を検知することができると共に、検知エリア内のどの場
所で動作があったか特定することができる焦電型赤外線
センサを提供することができるという効果を奏する。
前記検知部の方向性を、互いに異なるようにしたこと
で、センサ全体として、無方向性のセンサを提供するこ
とができるという効果を奏する。
に形成された検知部同志を導通させる配線パターン及
び、同一の列に形成された検知部同志を導通させる配線
パターンを設けたので、アレイ又はマトリクスの概念
で、容易に各検知部の出力を取ることができるという効
果を奏する。
周辺に、くり抜き孔を穿設したことにより、隣接する検
知部間の熱的な絶縁が良好となり、センサの感度を高め
ることができるという効果を奏する。
線パターン毎にスイッチを設けることで、スイッチのO
N/OFFによって、容易に各検知部の出力を取ること
ができるという効果を奏する。
孔の側面に、前記電極と接続される配線パターンを設け
ることで、焦電体素子チップ上で全ての配線パターンを
形成することができ、小型化を図ることができるという
効果を奏する。
をトランジスタより構成することで、高速なスイッチン
グが可能となるという効果を奏する。
を所定のタイミングでON/OFFさせることにより、
検知部の出力を順番に取り出すことで、一定間隔で人体
等の動きを把握することができるという効果を奏する。
電素子チップ1の構成を示す斜視図である。
電素子チップ1、電極の構成を示す図であり、(a)は
表面を示す平面図、(b)は裏面を示す透視図である。
0と、焦電素子チップ1との接続関係を示すブロック図
である。
0からの出力を示すタイミングチャートである。
る。
ンサの、電極の構成を示す図であり、(a)は表面を示
す平面図、(b)は裏面を示す透視図である。
電素子チップ1の構成を示す斜視図である。
を示す平面図である。
である。
Claims (9)
- 【請求項1】 焦電素子チップの表裏に夫々、極性の異
なる1対の電極を構成すると共に、その焦電素子チップ
の裏面に形成された2つの電極を互いに接続して、4つ
の電極で1つの検知部を形成し、その検知部をアレイ状
又はマトリクス状に複数形成したことを特徴とする焦電
型赤外線センサ。 - 【請求項2】 焦電素子チップの表裏に夫々、極性の異
なる1対の電極を構成すると共に、同一の極性を持つ電
極を夫々接続して、4つの電極で1つの検知部を形成
し、その検知部をアレイ状又はマトリクス状に複数形成
したことを特徴とする焦電型赤外線センサ。 - 【請求項3】 隣り合う前記検知部の方向性を、互いに
異なるようにしたことを特徴とする請求項1又は請求項
2記載の焦電型赤外線センサ。 - 【請求項4】 同一の行に形成された前記検知部同志を
導通させる配線パターン及び、同一の列に形成された前
記検知部同志を導通させる配線パターンを設けたことを
特徴とする請求項1乃至請求項3何れか記載の焦電型赤
外線センサ。 - 【請求項5】 前記検知部の周辺に、くり抜き孔が穿設
されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4何れ
か記載の焦電型赤外線センサ。 - 【請求項6】 夫々の配線パターン毎にスイッチを設け
ることを特徴とする請求項4記載の焦電型赤外線セン
サ。 - 【請求項7】 前記くり抜き孔の側面に、前記電極と接
続される配線パターンを設けることを特徴とする請求項
5記載の焦電型赤外線センサ。 - 【請求項8】 前記スイッチは、トランジスタよりなる
ことを特徴とする請求項6記載の焦電型赤外線センサ。 - 【請求項9】 前記スイッチを所定のタイミングでON
/OFFさせることにより、前記検知部の出力を順番に
取り出すことを特徴とする請求項7記載の焦電型赤外線
センサ。
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