JP2001353804A - バリア性フィルムおよびそれを使用した積層材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 透明性、酸素ガスあるいは水蒸気等に対する
バリア性等に優れ、更に、良好な接着性を有し、ラミネ
−ト適性に優れ、かつ、印刷加工、ラミネ−ト加工、製
袋加工、その他等の後処理加工に対し優れた適性に有
し、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、化学品、電子部
品、その他等の種々の物品を充填包装するに有用なバリ
ア性フィルムおよびそれを使用した積層材を提供するこ
とである。 【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、金属または
金属酸化物の蒸着膜を設け、他方、上記の基材フィルム
の他方の面に、プラズマ処理面を設けることを特徴とす
るバリア性フィルムおよびそれを使用した積層材に関す
るものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、バリア性フィルム
およびそれを使用した積層材に関し、更に詳しくは、透
明性、酸素ガスおよび水蒸気等の透過を阻止するバリア
性等に優れ、更に、良好な接着性を有してラミネ−ト適
性に優れ、かつ、印刷加工、ラミネ−ト加工、製袋加
工、その他等の後処理加工に対し優れた適性を有し、例
えば、飲食品、医薬品、化粧品、化学品、電子部品、そ
の他等の種々の物品を充填包装するに有用なバリア性フ
ィルムおよびそれを使用した積層材を提供することであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、飲食品、医薬品、化粧品、その他
等の種々の物品を充填包装するために、種々の包装用材
料が開発され、提案されている。それらの中で、近年、
酸素ガスあるいは水蒸気等の透過を阻止するバリア性素
材として、プラスチック基材の表面に、酸化珪素、酸化
アルミニウム、酸化マグネシウム、その他等の無機酸化
物を使用し、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプ
レ−ティング法等の物理気相成長法（ＰＶＤ法）、ある
いは、プラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光
化学気相成長法等の化学気相成長法（ＣＶＤ法）等を利
用して、その無機酸化物の蒸着膜を形成してなる透明ガ
スバリア性フィルムが注目されている。而して、上記の
透明ガスバリア性フィルムは、その片面、あるいは、両
面に、他のプラスチックフィルム、紙基材、その他等を
積層して積層材を製造し、更に、該積層材を使用し、こ
れを製袋ないし製函して種々の形態からなる包装用容器
を製造し、しかる後、該包装用容器内に、例えば、飲食
品、医薬品、化粧品、その他等の種々の物品を充填包装
して包装製品を製造し、そられを市場に供給している。
上記の包装製品は、酸素ガスあるいは水蒸気等の透過を
阻止するハイバリア性を有し、内容物の保存、貯蔵安定
性、品質保証性等に優れ、また、使用後においては、従
来のアルミニウム箔あるいはポリ塩化ビニリデン系樹脂
フィルム等のバリア性素材を使用した包装用容器等と比
較して、包装用容器等の廃棄処理適性に優れ、環境対応
に適し、今後、その発展、需要等が期待されるものであ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような透明ガスバリア性フィルムは、その片面が、プラ
スチック基材であり、その他方の面は、無機酸化物の蒸
着膜であり、而して、上記のプラスチック基材の表面
に、所望の印刷模様を設ける場合、あるいは、他のプラ
スチックフィルム等を積層する場合、該プラスチック基
材の表面は、表面張力が弱く、濡れ性等に乏しいことか
ら、所望の印刷模様を形成する印刷加工、あるいは、他
のプラスチックフィルム等を積層するラミネ−ト加工、
その他等の作業、操作等を著しく困難にするものであ
る。このため、上記の透明ガスバリア性フィルムにおい
ては、通常、無機酸化物の蒸着膜の面に、プライマ−剤
層を設け、その上に、印刷模様等を形成し、更に，ラミ
ネ−ト用接着剤層等を介して、ヒ−トシ−ル性樹脂層等
をドライラミネ−トして、包装用材料としての積層材を
製造しているものである。しかしながら、この場合にお
いても、無機酸化物の蒸着膜が、可撓性等に乏しく、か
つ、ガラス質のものであることから、プライマ−剤層、
印刷模様、ドライラミネ−ト用接着剤層、積層材、その
他等を形成する際に、その透明バリア性フィルムの巻き
取り加工、塗布加工、印刷加工、ラミネ−ト加工、ある
いは、製袋加工、その他等の後処理加工において、該無
機酸化物の蒸着膜にクラック等を発生し、それに伴っ
て、酸素ガスあるいは水蒸気等に対するバリア性を著し
く低下させるという問題点がある。

【０００４】ところで、例えば、ハム、ソ−セ−ジ等を
充填包装する深絞り用積層材、あるいは、醤油、ソ−ス
等を充填包装する液体小袋用積層材等においては、バリ
ア性素材として、上記の透明ガスバリア性フィルムを使
用する場合には、少なくとも、表印刷した基材フィル
ム、上記の透明ガスバリア性フィルム、および、ヒ−ト
シ−ル性樹脂層を順次に積層して積層材を製造しなけれ
ばならないものであり、上記の透明ガスバリア性フィル
ムを、いわゆる、中使い用途として使用する必要がある
ものである。更に、ふりかけ等の内容物を充填包装する
場合には、基材フィルムとして、静電防止剤等を練り込
み加工した基材フィルムを使用し、その一方の面に、無
機酸化物の蒸着膜等を形成し、その無機酸化物の蒸着膜
の面に、ヒ−トシ−ル性樹脂層等を設けて積層材を製造
し、而して、該積層材を使用して軟包装袋を製袋してふ
りかけ等の内容物を充填包装することが試みられている
が、この場合には、静電防止剤等を練り込み加工した基
材フィルム自身に、無機酸化物の蒸着膜を蒸着すること
が極めて困難である。このため、ふりかけ等の内容物を
充填包装する軟包装袋用積層材においては、前述と同様
に、上記の透明ガスバリア性フィルムを使用する場合
に、少なくとも、表印刷した基材フィルム、上記の透明
ガスバリア性フィルム、および、ヒ−トシ−ル性樹脂層
を順次に積層して積層材を製造しなければならないもの
であり、上記の透明ガスバリア性フィルムを、いわゆ
る、中使い用途として使用する必要があるものである。
しかしながら、上記の透明ガスバリア性フィルムを、い
わゆる、中使い用途として使用する場合には、前述のよ
うに、プラスチック基材の表面張力が弱く、濡れ性等に
劣り、更に、無機酸化物の蒸着膜のクラックの発生等の
問題点を有するものである。そこで本発明は、透明性、
酸素ガスあるいは水蒸気等に対するバリア性等に優れ、
更に、良好な接着性を有し、ラミネ−ト適性に優れ、か
つ、印刷加工、ラミネ−ト加工、製袋加工、その他等の
後処理加工に対し優れた適性に有し、例えば、飲食品、
医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その他等の種々の
物品を充填包装するに有用なバリア性フィルムおよびそ
れを使用した積層材を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な問題点を解決すべく種々研究の結果、基材フィルムの
一方の面に、例えば、予め、コロナ処理面等を設け、更
に、該コロナ処理面等の上に、金属または金属酸化物の
蒸着膜を設け、他方、上記の基材フィルムの他方の面
に、プラズマ放電処理によるプラズマ処理面を形成して
バリア性フィルムを製造したところ、基材フィルムの他
方の面は、プラズマ処理面を有し、そのプラズマ処理面
が、静および動摩擦係数が０．４μ〜０．７μの範囲に
あって、表面張力が強く、濡れ性等に優れ、極めて良好
な接着性を有し、他のプラスチックフィルム等とのラミ
ネ−ト適性に優れ、他方、上記の基材フィルムの一方の
面は、コロナ処理面等を介して、緻密な無機酸化物の蒸
着膜を形成することができ、かつ、従来品と比較して、
より薄い膜厚でも十分にハイバリア性を有し、更に、基
材フィルムの表面と無機酸化物の蒸着膜との密着性に優
れ、印刷加工、ラミネ−ト加工、製袋加工、その他等の
後処理加工において金属または金属酸化物の蒸着膜にク
ラック等の発生は認められず、酸素ガスあるいは水蒸気
等に対する極めて高いバリア性を有し、かつ、透明性に
優れ、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、化学品、電子
部品、その他等の種々の物品を充填包装するに有用なバ
リア性フィルムおよびそれを使用した積層材を製造し得
ることを見出して本発明を完成したものである。

【０００６】すなわち、本発明は、基材フィルムの一方
の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設け、他方、
上記の基材フィルムの他方の面に、プラズマ処理面を設
けることを特徴とするバリア性フィルムおよびそれを使
用した積層材に関するものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に更に
詳しく説明する。まず、本発明にかかるバリア性フィル
ム、積層材等についてその層構成等を図面を用いて説明
すると、図１および図２は、本発明にかかるバリア性フ
ィルムについてその層構成の一例を示す概略的断面図で
あり、図２は、図１に示すバリア性フィルムを使用した
積層材についてその層構成の一例を示す概略的断面図で
ある。

【０００８】本発明にかかるバリア性フィルムＡは、図
１に示すように、基材フィルム１の一方の面に、金属ま
たは金属酸化物の蒸着膜２を設け、他方、上記の基材フ
ィルム１の他方の面に、プラズマ処理面３を設ける構成
からなることを基本構造とするものである。本発明にか
かるバリア性フィルムについて、更に、具体例を例示す
ると、図２に示すように、基材フィルム１の一方の面
に、例えば、予め、コロナ処理面４を設け、更に、該コ
ロナ処理面４の上に、金属または金属酸化物の蒸着膜２
を設け、他方、上記の基材フィルム１の他方の面に、プ
ラズマ処理面３を設ける構成からなるバリア性フィルム
Ａ₁ を例示することができる。而して、本発明におい
て、本発明にかかるバリア性フィルムを使用して製造す
る積層材についてその一例を例示すれば、本発明にかか
る積層材Ｂは、図３に示すように、上記の図１に示すバ
リア性フィルムＡを使用する例で例示すると、上記の図
１に示すバリア性フィルムＡを構成するプラズマ処理面
３の面、および、金属または金属酸化物の蒸着膜２の面
の両面に、少なくとも、樹脂のフィルム５、５ａを積層
した構成からなることを基本構造とするものである。勿
論、本発明においては、図示し、詳述しないが、上記の
図２に示すバリア性フィルムを使用し、上記と同様にし
て、本発明にかかる積層材を製造し得ることができるも
のである。上記の例示は、本発明にかかるバリア性フィ
ルム、積層材等についてその一例を例示するものであ
り、本発明はこれによって限定されるものでないことは
言うまでもないことである。

【０００９】次に、本発明において、本発明にかかるバ
リア性フィルム、積層材等について、これらを構成する
材料、その製造法等について説明すると、先ず、本発明
にかかるバリア性フィルム、積層材等を構成する基材フ
ィルムとしては、化学的ないし物理的強度に優れ、後述
する金属または金属酸化物の蒸着膜を形成する条件、あ
るいは、プラズマ処理面を形成する条件、その他等に耐
え、かつ、それらの金属または金属酸化物の蒸着膜等の
特性を損なうことなく良好に保持し得ることができ基材
を使用することができる。本発明において、上記の基材
フィルムとしては、具体的には、例えば、ポリエチレン
系樹脂あるいはポリプロピレン系樹脂等のポリオレフィ
ン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系
樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹
脂）、アクリロニトリルル−ブタジエン−スチレン共重
合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポ
リカ−ボネ−ト系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−ト、
ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、各
種のナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹
脂、フッ素系樹脂、アセタ−ル系樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明においては、上記の樹脂の
フィルムないしシ−トの中でも、特に、ポリエステル系
樹脂、ポリオレフィン系樹脂、または、ポリアミド系樹
脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましいも
のである。

【００１０】本発明において、上記の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、２種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、６〜２００μｍ
位、より好ましくは、９〜１００μｍ位が望ましい。

【００１１】なお、上記の各種の樹脂の１種ないしそれ
以上を使用し、その製膜化に際して、例えば、フィルム
の加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、
抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的
特性、強度、その他等を改良、改質する目的で、種々の
プラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、
その添加量としては、極く微量から数十％まで、その目
的に応じて、任意に添加することができる。上記におい
て、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、
酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、補強
剤、帯電防止剤、顔料、その他等を使用することがで
き、更には、改質用樹脂等も使用することがてきる。

【００１２】なお、本発明において、上記の基材フィル
ムとしては、その一方の面に、後述する金属または金属
酸化物の蒸着膜を設ける前に、予め、例えば、コロナ放
電処理、プラズマ処理、あるいは、火炎処理等の表面処
理を施すことによってコロナ処理面等を形成することが
好ましいものである。而して、基材フィルムの一方の面
に、予め、コロナ処理面等の処理面を設けると、例え
ば、これを巻き取り式真空蒸着装置等の真空中で巻き取
る際に、コロナ処理面等の処理度が大き過ぎると、基材
フィルムの表面自由エネルギ−が大きいためブロッキン
グ現象等を生じ、後加工の際の機械適性等を著しく損な
うという問題点があることから、本発明においては、コ
ロナ処理面等の処理面について、静および動摩擦係数が
０．４μ〜０．７μ位、好ましくは、０．５μ〜０．７
μ位に処理度合いを調節して、コロナ処理面等の処理面
を設けることが好ましいものである。上記において、静
および動摩擦係数が０．４μ、更には、０．５μ未満で
あると、濡れ性が悪いという問題点あることから好まし
くなく、また、静および動摩擦係数が０．７μを越える
と、ブロッキング現象等を生じることから好ましくない
ものである。

【００１３】なお、本発明においては、基材フィルムの
一方の面に、予め、コロナ処理面等を設け、次いで、そ
のコロナ処理面等の上に、金属または金属酸化物の蒸着
膜を形成すると、その層間に夾雑物等の不純物等が介在
することなく、非常に緻密な金属または無機酸化物の蒸
着膜を形成することができ、しかも、その両者の密接着
性に優れ、その結果、薄い膜厚で、十分に、酸素ガスあ
るいは水蒸気等に対する極めて高いバリア性薄膜を形成
することができるものである。しかも、本発明において
は、上記のように金属または金属酸化物の蒸着膜を、よ
り薄い膜厚で形成して、十分に酸素ガスあるいは水蒸気
等に対するハイバリア性薄膜とすることができることか
ら、例えば、フィルムの巻き取り、印刷加工、ラミネ−
ト加工、あるいは、製袋加工等の後処理加工において、
上記の金属または金属酸化物の蒸着膜にクラック等の発
生等を防止することができ、いわゆる、後加工適性を向
上させることができるという利点も有するものである。
更に、本発明においては、上記のように、基材フィルム
と金属または金属酸化物の蒸着膜との密接着性が優れて
いることから、他の樹脂のフィルムないしシ−ト等のラ
ミネ−ト適性も向上するものである。

【００１４】次にまた、本発明において、本発明にかか
るバリア性フィルム、積層材等を構成する金属または金
属酸化物の蒸着膜について説明すると、かかる金属また
は金属酸化物の蒸着膜としては、基本的には、金属また
はその金属の酸化物をアモルファス（非晶質）化した薄
膜であれば使用可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、
アルミニウム（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシ
ウム（Ｃａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリ
ウム（Ｎａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐ
ｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の
金属またはその金属の酸化物をアモルファス（非晶質）
化した薄膜を使用することができる。而して、包装用材
料等に適するものとしては、アルミニウム（Ａｌ）等の
金属、あるいは、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物をアモルファス（非晶質）化した
薄膜を挙げることができる。而して、上記の金属の酸化
物をアモルファス（非晶質）化した薄膜は、ケイ素酸化
物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のよう
に金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例え
ば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。

【００１５】また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ
素（Ｓｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜
１．５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム
（Ｃａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、
スズ（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜
０．５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）
は、０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚ
ｒ）は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範
囲の値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場
合、完全な金属であり、透明ではなく、また、Ｘの範囲
の上限は、完全に酸化した値である。本発明において、
包装用材料としては、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、アル
ミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケイ
素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａｌ）
は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用することが
できる。

【００１６】本発明において、上記のような金属または
金属酸化物の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属また
は金属の酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５
０〜２０００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位
の範囲内で任意に選択して形成することが望ましい。更
に具体的に説明すると、アルミニウムの蒸着膜の場合に
は、膜厚５０〜６００Å位、更に、好ましくは、１００
〜４５０Å位が望ましく、また、酸化アルミニウムある
いは酸化珪素の蒸着膜の場合には、膜厚５０〜５００Å
位、更に、好ましくは、１００〜３００Å位が望ましい
ものである。上記の膜厚において、その膜厚が、上記の
膜厚より薄い場合には、酸素ガス、水蒸気等に対するバ
リア性が低下することから好ましくなく、また、上記の
膜厚より厚くなる場合には、後加工の工程中に、金属ま
たは金属酸化物の蒸着膜にクラック等が発生し、酸素ガ
ス、水蒸気等に対するバリア性が著しく低下し、更に、
基材フィルムに対する密接着性が減少することから好ま
しくないものである。また、本発明においては、金属酸
化物の蒸着膜としては、金属酸化物の蒸着膜の１層だけ
ではなく、２層あるいはそれ以上を積層した積層体の状
態でもよく、また、使用する金属、または金属の酸化物
としては、１種または２種以上の混合物で使用し、異種
の材質で混合した金属酸化物の蒸着膜を構成することも
できるものである。

【００１７】次に、本発明において、基材フィルムの一
方の上に、金属または無機酸化物の蒸着膜を形成する方
法について説明すると、かかる方法としては、例えば、
真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング
法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）、あるいは、プ
ラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相
成長法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐ
ｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）等を挙げる
ことができる。本発明において、金属または金属酸化物
の蒸着膜の形成法について具体的に説明すると、上記の
ような金属または金属の酸化物を原料とし、これを加熱
して基材フィルムの上に蒸着する真空蒸着法、または、
原料に金属または金属の酸化物を使用し、酸素ガス等を
導入して酸化させて基材フィルムの上に蒸着する酸化反
応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ
助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成するこ
とができる。また、本発明においては、酸化珪素の蒸着
膜を形成する場合、オルガノシロキサンを原料とするプ
ラズマ化学気相成長法を用いて蒸着膜を形成することが
できる。

【００１８】本発明において、金属または金属酸化物の
蒸着膜の形成法について、その具体例を挙げて説明する
と、図４は、巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略
的構成図である。図４に示すように、まず、巻き取り式
真空蒸着装置１１を構成する真空チャンバ−１２の中
で、巻き出しロ−ル１３から基材フィルム１を繰り出
す。次いで、上記で巻き出しロ−ル１３から繰り出した
基材フィルム１は、コ−ティングドラム１４を通り、蒸
着チャンバ−１５の中に搬送される。他方、蒸着チャン
バ−１５内においては、るつぼ１６で熱せられた蒸着源
（例えば、アルミニウムあるいは酸化アルミニウム等）
を蒸発させ、更に、必要ならば、酸素吹き出し口１７よ
り酸素ガス等を噴出させながら、上記で蒸着チャンバ−
１５の中に導入され、冷却したコ−ティングドラム１４
上の基材フィルム１のプラズマ処理面の上に、マスク１
８、１８を介して金属または金属酸化物の蒸着膜を成膜
化し、次に、金属または金属酸化物の蒸着膜を形成した
基材フィルム１を真空チャンバ−１２内に送り出し、更
に、巻き取りロ−ル１９に巻き取ることによって、本発
明にかかる金属または金属酸化物の蒸着膜を製膜化する
ことができる。

【００１９】また、本発明において、上記のプラズマ化
学気相成長法について具体例を例示すると、図５は、プ
ラズマ化学蒸着装置の一例を例示する概略的構成図であ
る。図５に示すように、プラズマ化学蒸着装置２１を構
成する真空チャンバ−２２内に配置された巻き出しロ−
ル２３から補助ロ−ル２４を介して一定の速度で基材フ
ィルム１を繰り出しながら、該基材フィルム１を冷却・
電極ドラム２５周面上に搬送する。他方、原料揮発供給
装置２６、２７、２８から、例えば、蒸着モノマ−ガス
としての有機珪素化合物、酸素ガス、不活性ガス、その
他等からなる混合ガスを原料供給ノズル２９を通して真
空チャンバ−２２内に供給し、これらを、グロ−放電プ
ラズマ３０を発生させながら、上記で冷却・電極ドラム
２５周面上に搬送された基材フィルム１の一方の面に照
射して基材フィルム１の一方の面に、酸化珪素の蒸着膜
等の金属酸化物の蒸着膜製膜化する。なお、その際に、
冷却・電極ドラム２５は、真空チャンバ−２２外に配置
されている電源３１から所定の電圧が印加されており、
また、冷却・電極ドラム２５の近傍には、マグネット３
２を配置してプラズマの発生を促進し、酸化珪素の蒸着
膜等の金属酸化物の蒸着膜の製膜化を調製する。次に、
上記で酸化珪素の蒸着膜等の金属酸化物の蒸着膜を形成
した基材フィルム１を補助ロ−ル２４を介して巻き取り
ロ−ル３３に巻き取って、本発明にかかる金属酸化物の
蒸着膜を製膜化することができるものである。なお、図
中、３３は、真空ポンプを表す。

【００２０】上記において、金属酸化物の蒸着膜として
の酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜は、少なくとも珪
素と酸素とを構成元素として有する珪素化合物からな
り、更に、微量構成元素として、炭素または水素の一種
以上の元素を含み、また、その膜厚が、５０〜５００Å
位、より好ましくは、１００〜３００Å位の範囲内であ
ることが望ましいものである。而して、本発明におい
て、上記のような酸化珪素の薄膜としては、有機珪素化
合物を原料とし、低温プラズマ発生装置等を利用するプ
ラズマ化学気相成長法を用いて形成した蒸着膜を使用す
ることができる。上記において、有機珪素化合物として
は、例えば、１．１．３．３−テトラメチルジシロキサ
ン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラ
ン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジシラン、
メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジ
エチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニ
ルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テ
トラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニル
トリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オク
タメチルシクロテトラシロキサン、その他等を使用する
ことができる。本発明において、上記のような有機珪素
化合物の中でも、１．１．３．３−テトラメチルジシロ
キサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを原料とし
て使用することが、その取り扱い性、形成された蒸着膜
の特性等から、特に、好ましい原料である。また、上記
において、低温プラズマ発生装置としては、例えば、高
周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズマ
等の発生装置を使用することがてき、而して、本発明に
おいては、高活性の安定したプラズマを得るためには、
高周波プラズマ方式による発生装置を使用することが望
ましい。

【００２１】なお、本発明においては、上記のような金
属または金属酸化物の蒸着膜の中でも、上記の巻き取り
式真空蒸着装置等による物理気相成長法により製膜化し
たアルミニウムまたは酸化アルミニウムの蒸着膜が、基
材フィルムの一方の面に予め設けたコロナ処理面等と相
互に有効に作用し合い、その両者による相乗効果を有効
に発揮し、基材フィルムと金属または金属酸化物の蒸着
膜とが、強固に密接着したバリア性フィルムを製造し得
るものである。特に、本発明においては、基材フィルム
と金属または金属酸化物の蒸着膜との密接着性を向上さ
せているものである。

【００２２】次に、本発明において、本発明にかかるバ
リア性フィルム、積層材等を構成するプラズマ処理面に
ついて説明すると、かかるプラズマ処理面としては、気
体をグロ−放電により電離させることにより生じるプラ
ズマガスを利用して表面改質を行なうプラズマ表面処理
法等を利用してプラズマ処理面を形成することができる
ものである。すなわち、本発明においては、酸素ガス、
窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス等の無機ガスの
１種ないし２種以上をプラズマガスとして使用する方法
でプラズマ処理を行って、プラズマ処理面を形成するこ
とができる。而して、本発明において、基材フィルムの
他方の面に行うプラズマ処理としては、プラズマ放電処
理の際に、酸素ガス、または、酸素ガスとアルゴンガス
との混合ガスを使用してプラズマ処理を行なうことが好
ましく、このようなプラズマ処理により、より低い電圧
でプラズマ処理を行なうことが可能であり、これによ
り、基材フィルムの表面の変色等を防止して、その表面
に、良好にプラズマ処理面を設けることができるもので
ある。

【００２３】ところで、本発明において、上記のプラズ
マ処理としては、特に、酸素ガス、または、酸素ガスと
アルゴンガスとの混合ガスを使用し、更に、基材フィル
ムの表面に金属または金属酸化物の蒸着膜を形成した直
後にインラインで行うことが望ましいものである。具体
的に例示すれば、例えば、前述の図４に示す巻き取り式
真空蒸着装置において、金属または金属酸化物の蒸着膜
を形成した基材フィルム１を真空チャンバ−１２内に送
り出し、次いで、巻き取りロ−ル１９に巻き取る際に、
巻き取りロ−ル１９の直前に、前処理ユニットとして、
プラズマ処理装置２０を配設し、このプラズマ処理装置
２０により、その一方の面に金属または金属酸化物の蒸
着膜を形成した基材フィルム１の他方の面、すなわち、
非蒸着膜面に、十分にプラズマ放電処理を行うことによ
って、インラインでプラズマ処理面を形成することがで
きる。あるいは、前述の図５に示すプラズマ化学蒸着装
置において、酸化珪素の蒸着膜等の金属酸化物の蒸着膜
を形成した基材フィルム１を補助ロ−ル２４を介して巻
き取りロ−ル３３に巻き取る際に、巻き取りロ−ル３３
の直前に、前処理ユニットとして、プラズマ処理装置３
４を配設し、このプラズマ処理装置３４により、その一
方の面に酸化珪素の蒸着膜等の金属酸化物の蒸着膜を形
成した基材フィルム１の他方の面、すなわち、非蒸着膜
面に、十分なプラズマ放電処理を行うことによって、イ
ンラインでプラズマ処理面を形成することができる。

【００２４】而して、本発明において、基材フィルムの
他方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を形成した
直後に、インラインでプラズマ処理を行うことにより、
基材フィルムの他方の面に付着している水分や塵等を除
去すると共に、更に、プラズマ中で活性化された酸素分
子等が基材フィルムの表面と化学反応を起こすことによ
って、その処理面に薄くて平滑性の高い酸化被膜、ある
いは、例えば、水酸基（−ＯＨ基）等を形成したプラズ
マ処理面を設けることができものである。また、本発明
において、上記のプラズマ処理面は、静および動摩擦係
数が０．４μ〜０．７μ位の範囲内の処理面を有するも
のである。上記において、静および動摩擦係数が０．４
μ未満であると、濡れ性等が悪くなり、接着性に劣るこ
とになるので好ましくなく、また、静および動摩擦係数
が０．７μを越えると、ブロッキング現象等を生じるこ
とから好ましくないものである。本発明においては、上
記のようなプラズマ処理により、基材フィルムの他方の
面に酸化被膜、あるいは、水酸基（−ＯＨ基）等が形成
されているプラズマ処理面上に、樹脂のフィルム等の基
材を積層すると、その層間に夾雑物等の不純物等が介在
することなく、しかも、プラズマ処理面を有することか
ら、表面張力が強く、濡れ性等に優れ、極めて良好な接
着性を有し、その結果、樹脂のフィルム等の基材とのラ
ミネ−ト適性に優れ、その両者の密接着性に優れた積層
材を製造することを可能として、極めて有用な包装用材
料等を製造することができるものである。

【００２５】なお、本発明において、上記のプラズマ処
理においては、そのプラズマ処理条件が極めて重要であ
り、その条件によって得られる効果は、全く異なる。而
して、本発明において、プラズマ処理条件としては、プ
ラズマ放電電力、グロ−放電圧力、その他等を挙げるこ
とができる。本発明において、プラズマ処理としては、
例えば、プラズマ処理が、強ければ強い程、密接着性が
向上するが、あまり強過ぎると、基材フィルムが、熱負
けを起こすことから好ましくなく、而して、本発明にお
いて、プラズマ放電電力としては、約４０Ｗ・分／ｍ²
〜１００Ｗ・分／ｍ² 位が最も好ましいものである。ま
た、本発明において、プラズマ電源としては、交流でも
直流でもよく、而して、グロ−放電圧力としては、０．
５〜５．０×１０^-2ｍｂａｒ位が好ましく、あまり高真
空では、プラズマの安定性に欠け、また、低真空では、
プラズマの基材フィルムへの作用効果が弱められること
から好ましくないものである。

【００２６】ところで、本発明において、プラズマ処理
において、プラズマを発生させる方法としては、例え
ば、直流グロ−放電、高周波（Ａｕｄｉｏ Ｆｒｅｑｕ
ｅｎｃｙ：ＡＦ、Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：Ｒ
Ｆ）放電、マイクロ波放電等の３通りの装置を利用して
行うことができる。

【００２７】なお、本発明において、上記のようなプラ
ズマ処理により形成されるプラズマ処理面について、英
国、ＶＧサイエンティフィック社製のＸ線光電子分光分
析測定機（機種名、ＸＰＳ）を使用し、処理面の元素分
析を行うことより、前述のように、基材フィルムの表面
に付着している水分や塵等を除去されると共に、更に、
プラズマ中で活性化された酸素分子が基材フィルムの表
面と化学反応を起こすことによって、その処理面に薄く
て平滑性の高い酸化被膜を形成したプラズマ処理面であ
ること、更に、基材フィルムの表面に、例えば、水酸基
（−ＯＨ基）等の官能基が形成されているプラズマ処理
面であることを確認することができるものである。具体
的には、Ｘ線源として、ＭｇＫα１．２、Ｘ線出力とし
て１５Ｋｖ、２０ｍＡの測定条件で表面〜１００ÅのＸ
ＰＳ分析を行い、而して、酸化被膜の形成状態は、表面
のＯ／Ｃ（酸素と炭素）の組成比を測定して確認するこ
とができ、また、水酸基（−ＯＨ基）等の形成状態は、
Ｏ１_S の５３２ｅＶ位置に得られるピ−クを測定して確
認することができるものである。

【００２８】次に、本発明において、本発明にかかるバ
リア性フィルムを使用して製造する積層材を構成する樹
脂のフィルム等について説明すると、かかる樹脂のフィ
ルム等としては、種々のものを使用することができ、例
えば、まず、ヒ−トシ−ル性樹脂層を構成するヒ−トシ
−ル性樹脂のフィルムないしシ−トを使用することがで
きる。而して、上記のヒ−トシ−ル製樹脂層を構成する
ヒ−トシ−ル性樹脂のフィルムないしシ−トは、通常、
本発明にかかるバリア製フィルムの金属または金属酸化
物の蒸着膜の面に積層されるものである。本発明におい
て、上記のヒ−トシ−ル性樹脂のフィルムないしシ−ト
としては、具体的には、熱によって溶融し相互に融着し
得る樹脂のフィルムないしシ−トを使用することがで
き、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレ
ン、高密度ポリエチレン、直鎖状（線状）低密度ポリエ
チレン、シングルサイト系触媒（メタロセン系触媒）を
使用して重合したエチレン−α・オレフィン共重合体、
ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイ
オノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレ
ン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−メタクリル
酸共重合体、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体、
エチレン−プロピレン共重合体、メチルペンテンポリマ
−、ポリブテンポリマ−、ポリエチレンまたはポリプロ
ピレン等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、メタク
リル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマ−ル酸、イ
タコン酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオ
レフィン樹脂、その他等の樹脂のフィルムないしシ−ト
を使用することができる。而して、本発明においては、
上記のような樹脂のフィルムないしシ−トを使用し、こ
れを、ドライラミネ−ト法等によりドライラミネ−トし
て、ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成することができるもの
である。あるいは、本発明においては、例えば、上記の
ようなヒ−トシ−ル性樹脂等を使用し、押し出しラミネ
−ト法等により押し出しラミネ−トして、ヒ−トシ−ル
性樹脂層を形成することもできる。本発明において、上
記のヒ−トシ−ル性樹脂層の厚さとしては、５μｍない
し３００μｍ位が好ましくは、更には、１０μｍないし
１００μｍ位が望ましい。

【００２９】なお、上記において、ドライラミネ−トす
る際には、ドライラミネ−ト用接着剤等を使用すること
ができ、例えば、ポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸
のエチル、ブチル、２−エチルヘキシルエステル等のホ
モポリマ−、あるいは、これらとメタクリル酸メチル、
アクリロニトリル、スチレン等との共重合体等からなる
ポリアクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレ−ト
系接着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、
アクリル酸、メタクリル酸等のモノマ−との共重合体等
からなるエチレン共重合体系接着剤、セルロ−ス系接着
剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、エポ
キシ系接着剤、ポリウレタン系接着剤、反応型（メタ）
アクリル系接着剤、ゴム系接着剤、シリコ−ン系接着
剤、その他等のドライラミネ−ト用接着剤を使用するこ
とがてきる。上記のドライラミネ−ト用接着剤の組成系
は、水性型、溶液型、エマルジョン型、分散型等のいず
れの組成物形態でもよく、また、その性状は、フィルム
・シ−ト状、粉末状、固形状等のいずれの形態でもよ
く、更に、接着機構については、化学反応型、溶剤揮発
型、熱溶融型、熱圧型等のいずれの形態でもよいもので
ある。而して、上記のドライラミネ−ト用接着剤は、例
えば、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キス
コ−ト法、その他等のコ−ト法、あるいは、印刷法等に
よって施すことができ、そのコ−ティング量としては、
０．１〜１０．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。

【００３０】なお、本発明においては、上記のドライラ
ミネ−ト用接着剤の中でも、特に、ジないしポリイソシ
アネ−ト化合物とジないしポリオキシ化合物との反応に
より得られるポリウレタン系化合物を主成分とする１液
ないし２液硬化型のラミネ−ト用接着剤を使用すること
が望ましいものである。具体的には、例えば、芳香族ポ
リイソシアナ−ト、あるいは、脂肪族ポリイソシアナ−
ト等の多官能イソシアネ−トと、ポリエ−テルポリオ−
ル、ポリエステルポリオ−ル、ポリアクリレ−トポリオ
−ル、その他等のヒドロキシル基含有化合物との反応に
より得られる１液ないし２液硬化型のポリウレタン系化
合物をビヒクルの主成分とするドライラミネ−ト用接着
剤組成物を使用し、これを、例えば、ロ−ルコ−ト、グ
ラビアコ−ト、ナイフコ−ト、デップコ−ト、スプレイ
コ−ト、その他のコ−ティング法によりコ−ティング
し、次いで、溶剤、希釈剤等を乾燥して、ドライラミネ
−ト用接着剤層を形成することができる。上記のおい
て、ドライラミネ−ト用接着剤層の膜厚としては、０．
１〜６．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。而し
て、本発明において、上記のようなポリウレタン系化合
物を使用することにより、ドライラミネ−ト用接着剤層
を構成するコ−ティング膜の伸長性、弾性等を向上さ
せ、例えば、ラミネ−ト加工、あるいは、製袋加工等の
後加工適性を向上させ、後加工時における金属または金
属酸化物の蒸着膜のクラック等の発生を防止するもので
ある。

【００３１】而して、本発明において、上記のドライラ
ミネ−ト用接着剤層としては、ＪＩＳ Ｋ６３０１に準
じた４号ダンベルにて２３℃、５０％ＲＨの環境下で３
００ｍｍ／ｍｉｎ．の速度条件で測定して、３００％〜
５５０％の引っ張り伸度を有するものであることが望ま
しいものである。本発明において、上記の接着剤層の引
っ張り伸度は、積層材を構成する金属または金属酸化物
の蒸着膜、印刷模様層等との密接着性を向上させ、これ
により、金属または金属酸化物の蒸着膜のクラック等の
発生を防止するものである。上記において、引っ張り伸
度が、３００％未満であると、柔軟性に欠け、ラミネ−
トあるいは製袋または製函等の後加工において、金属ま
たは金属酸化物の蒸着膜にクラック等が発生して好まし
くなく、また、引っ張り伸度が、５５０％を越えると、
柔軟性が過剰になり、引き裂き性に劣り、例えば、包装
用容器の開封性に劣るので好ましいないものである。

【００３２】また、本発明においては、上記の押し出し
ラミネ−ト積層を行う際に、必要ならば、例えば、イソ
シアネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、
ポリブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティ
ング剤等を使用することができ、而して、上記のアンカ
−コ−ティング剤を、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビア
コ−ト、その他のコ−ティング法によりコ−ティング
し、次いで、溶剤、希釈剤等を乾燥して、アンカ−コ−
ト剤層を形成することができる。上記のおいて、アンカ
−コ−ト剤層の膜厚としては、０．１〜６．０ｇ／ｍ²
（乾燥状態）位が望ましい。

【００３３】次にまた、本発明にかかる積層材において
は、更に、例えば、強度を有して強靱であり、かつ耐熱
性を有する樹脂のフィルムないしシ−トを積層すること
ができ、具体的には、例えば、ポリエステル系樹脂、ポ
リアミド系樹脂、ポリアラミド系樹脂、ポリオレフィン
系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリスチレン系樹
脂、ポリアセタ−ル系樹脂、フッ素系樹脂、その他等の
強靱な樹脂のフィルムないしシ−ト、その他等を使用す
ることができる。而して、上記の樹脂のフィルムないし
シ−トとしては、未延伸フィルム、あるいは一軸方向ま
たは二軸方向に延伸した延伸フィルム等のいずれのもの
でも使用することができる。そのフィルムの厚さとして
は、５μｍないし１００μｍ位、好ましくは、１０μｍ
ないし５０μｍ位が望ましい。

【００３４】また、本発明にかかる積層材においては、
例えば、紙層を構成する各種の紙基材を使用して積層す
ることができ、具体的には、本発明において、紙基材と
しては、賦型性、耐屈曲性、剛性等を持たせるものであ
り、例えば、強サイズ性の晒または未晒の紙基材、ある
いは純白ロ−ル紙、クラフト紙、板紙、加工紙等の紙基
材、その他等を使用することができる。上記において、
紙層を構成する紙基材としては、坪量約８０〜６００ｇ
／ｍ²位のもの、好ましくは、坪量約１００〜４５０ｇ
／ｍ² 位のものを使用することが望ましい。

【００３５】更に、本発明において、本発明にかかる積
層材においては、例えば、水蒸気、水等のバリア−性を
有する低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密
度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、エチレン−プロピレン共重合体等の樹脂のフィ
ルムないしシ−ト、あるいは、酸素、水蒸気等に対する
バリア−性を有するポリ塩化ビニリデン、ポリビニルア
ルコ−ル、エチレン−酢酸ビニル共重合体ケン化物等の
樹脂のフィルムないしシ−ト、樹脂に顔料等の着色剤
を、その他、所望の添加剤を加えて混練してフィルム化
してなる遮光性を有する各種の着色樹脂のフィルムない
しシ−ト等を積層することができる。これらの材料は、
一種ないしそれ以上を組み合わせて使用することができ
る。上記のフィルムないしシ−トの厚さとしては、任意
であるが、通常、５μｍないし３００μｍ位、更には、
１０μｍないし１５０μｍ位が望ましい。

【００３６】なお、本発明においては、通常、包装用容
器は、物理的にも化学的にも過酷な条件におかれること
から、包装用容器を構成する包装材料には、厳しい包装
適性が要求され、変形防止強度、落下衝撃強度、耐ピン
ホ−ル性、耐熱性、密封性、品質保全性、作業性、衛生
性、その他等の種々の条件が要求され、このために、本
発明においては、上記のような諸条件を充足する材料を
任意に選択して使用することができ、具体的には、例え
ば、各種の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから任意
に選択して使用することができる。その他、例えば、セ
ロハン等のフィルム、合成紙等も使用することができ
る。本発明において、上記のフィルムないしシ−トは、
未延伸、一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいず
れのものでも使用することができる。また、その厚さ
は、任意であるが、数μｍから３００μｍ位の範囲から
選択して使用することができる。更に、本発明において
は、フィルムないしシ−トとしては、押し出し成膜、イ
ンフレ−ション成膜、コ−ティング膜等のいずれの性状
の膜でもよい。

【００３７】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して積層材を製造する方法について説明すると、
かかる方法としては、通常の包装材料をラミネ−トする
方法、例えば、ウエットラミネ−ション法、ドライラミ
ネ−ション法、無溶剤型ドライラミネ−ション法、押し
出しラミネ−ション法、Ｔダイ押し出し成形法、共押し
出しラミネ−ション法、インフレ−ション法、共押し出
しインフレ−ション法、その他等で行うことができる。
而して、本発明においては、上記の積層を行う際に、必
要ならば、例えば、コロナ処理、オゾン処理等の前処理
をフィルムに施すことができ、また、例えば、イソシア
ネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、ポリ
ブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティング
剤、あるいは、ポリウレタン系、ポリアクリル系、ポリ
エステル系、エポキシ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロ−
ス系、その他等のラミネ−ト用接着剤、ポリエチレン等
のポリオレフィン系樹脂の溶融押出樹脂層等の公知の前
処理、アンカ−コ−ト剤、接着剤等を使用することがで
きる。更に、本発明においては、上記の積層を行う場合
に、例えば、ポリウレタン系、ポリアクリル系、ポリエ
ステル系、エポキシ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロ−ス
系、その他等をビヒクルの主成分とするプライマ−剤等
も使用することができるものである。

【００３８】次に、本発明において、上記のような積層
材を使用して製袋ないし製函する方法について説明する
と、例えば、包装用容器がプラスチックフィルム等から
なる軟包装袋の場合、上記のような方法で製造した積層
材を使用し、その内層のヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対
向させて、それを折り重ねるか、或いはその二枚を重ね
合わせ、更にその周辺端部をヒ−トシ−ルしてシ−ル部
を設けて袋体を構成することができる。而して、その製
袋方法としては、上記の積層材を、その内層の面を対向
させて折り曲げるか、あるいはその二枚を重ね合わせ、
更にその外周の周辺端部を、例えば、側面シ−ル型、二
方シ−ル型、三方シ−ル型、四方シ−ル型、封筒貼りシ
−ル型、合掌貼りシ−ル型（ピロ−シ−ル型）、ひだ付
シ−ル型、平底シ−ル型、角底シ−ル型、その他等のヒ
−トシ−ル形態によりヒ−トシ−ルして、本発明にかか
る種々の形態の包装用容器を製造することができる。そ
の他、例えば、自立性包装袋（スタンディングパウチ）
等も製造することが可能であり、更に、本発明において
は、上記の積層材を使用してチュ−ブ容器等も製造する
ことができる。上記において、ヒ−トシ−ルの方法とし
ては、例えば、バ−シ−ル、回転ロ−ルシ−ル、ベルト
シ−ル、インパルスシ−ル、高周波シ−ル、超音波シ−
ル等の公知の方法で行うことができる。なお、本発明に
おいては、上記のような包装用容器には、例えば、ワン
ピ−スタイプ、ツウ−ピ−スタイプ、その他等の注出
口、あるいは開閉用ジッパ−等を任意に取り付けること
ができる。

【００３９】次にまた、包装用容器として、紙基材を含
む液体充填用紙容器の場合、例えば、積層材として、紙
基材を積層した積層材を製造し、これから所望の紙容器
を製造するブランク板を製造し、しかる後該ブランク板
を使用して胴部、底部、頭部等を製函して、例えば、ブ
リックタイプ、フラットタイプあるいはゲ−ベルトップ
タイプの液体用紙容器等を製造することができる。ま
た、その形状は、角形容器、丸形等の円筒状の紙缶等の
いずれのものでも製造することができる。本発明におい
ては、特に、上記の紙容器等を製造する際に、折罫線等
を刻設する折り性、刻設性等を著しく向上させることが
でき、これによるシ−ル不良等を改良し、シ−ル部のシ
−ルの安定性を改善することができるものである。

【００４０】本発明において、上記のようにして製造し
た包装用容器は、液体飲料、菓子類、粉末状、液状、あ
るいは、固形状調味料、その他等の各種の飲食品、接着
剤、粘着剤等の化学品、洗剤、その他等の化粧品、医薬
品、ケミカルカイロ等の雑貨品、その他等の種々の物品
の充填包装に使用されるものである。なお、本発明にか
かる積層材は、例えば、プラスチック成形容器のフラン
ジ部に貼り合わせて、蓋材としても使用することができ
るものである。

【００４１】

【実施例】上記の本発明について実施例を挙げて更に具
体的に説明する。 実施例１ （１）．巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基
材フィルムとして、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムを使用した。まず、上記の２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを巻き取り
式の真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、
これを繰り出し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルムのコロナ処理面に、アルミニウムを蒸着源
に用いて、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による
真空蒸着法により、下記の蒸着条件により、膜厚４００
Åのアルミニウムの蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：２５ｋＷ フィルムの搬送速度：２４０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記でアルミニウムの蒸着膜を形成した２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムについて、更に、
インラインで放電プラズマ発生装置を用いて、下記の条
件でプラズマ処理を行い、上記の２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルムの他方の面（非蒸着膜面）に、
プラズマ処理面を形成して、本発明にかかるバリア性フ
ィルムを製造した。 （プラズマ処理条件） グロ−放電ガス：酸素ガス 電源：ＤＣ 放電電力：３０Ｗ・分／ｍ² グロ−放電圧力：２．０×１０^-2ｍｂａｒ プラズマ処理面：非蒸着膜面 なお、上記のプラズマ処理面について、東洋精機製作所
株式会社製、滑り試験機（型式 ＴＲ−２）により、５
０ｍｍ／ｍｉｎでの静摩擦係数、動摩擦係数を測定した
結果、それぞれ０．６０μ、および、０．５６μであっ
た（以下、実施例および比較例において同じであ
る。）。 （２）．次に、上記で製造したバリア性フィルムのアル
ミニウムの蒸着膜面に、プライマ−組成物（ザ・インク
テック株式会社製）を使用し、グラビアロ−ルコ−ト法
によりコ−ティングして、膜厚０．０２ｇ／ｍ² （乾燥
状態）のプライマ−層を形成し、更に、該プライマ−層
の面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライラミネ−ト
用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品名、タケラッ
ク Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−１２）を用いて、グ
ラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティングして、膜厚
４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ−ト用接着
剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト用接着剤層
面に、所望の印刷模様を有する厚さ２０μｍの２軸延伸
ポリプロピレンフィルムを、その印刷模様の面を対向さ
せて、ドライラミネ−トした。他方、上記で製造したバ
リア性フィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムのプラズマ処理面に、２液硬化型のポリウレタ
ン系ドライラミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社
製、製品名、タケラック Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ
−１２）を用いて、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−
ティングして、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドラ
イラミネ−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ドライラ
ミネ−ト用接着剤層面に、厚さ３０μｍの線状低密度ポ
リエチレンフィルムをドライラミネ−トして、本発明に
かかる積層材を製造した。なお、上記の積層材を使用
し、三方シ−ル型の軟包装袋を製造し、これにミ−トボ
−ル等の冷凍食品を充填包装して包装製品を製造した結
果、市場における流通、貯蔵、販売等に十分に耐え得る
ものであった。

【００４２】実施例２ （１）．巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基
材フィルムとして、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムを使用した。まず、上記の２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを巻き取り
式の真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、
これを繰り出し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルムのコロナ処理面に、アルミニウムを蒸着源
に用い、酸素ガスを供給して、エレクトロンビ−ム（Ｅ
Ｂ）加熱方式による反応真空蒸着法により、下記の蒸着
条件により、膜厚２００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：３５ｋＷ フィルムの搬送速度：４８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムについて、更
に、インラインで放電プラズマ発生装置を用いて、下記
の条件でプラズマ処理を行い、上記の２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムの他方の面（非蒸着膜面）
に、プラズマ処理面を形成して、本発明にかかるバリア
性フィルムを製造した。 （プラズマ処理条件） グロ−放電ガス：酸素ガス 電源：ＤＣ 放電電力：３０Ｗ・分／ｍ² グロ−放電圧力：２．０×１０^-2ｍｂａｒ プラズマ処理面：非蒸着膜面 なお、上記のプラズマ処理面について、東洋精機製作所
株式会社製、滑り試験機（型式 ＴＲ−２）により、５
０ｍｍ／ｍｉｎでの静摩擦係数、動摩擦係数を測定した
結果、それぞれ０．６０μ、および、０．５６μであっ
た（以下、実施例および比較例において同じであ
る。）。 （２）．次に、上記で製造したバリア性フィルムの酸化
アルミニウムの蒸着膜面に、プライマ−組成物（ザ・イ
ンクテック株式会社製）を使用し、グラビアロ−ルコ−
ト法によりコ−ティングして、膜厚０．０２ｇ／ｍ
² （乾燥状態）のプライマ−層を形成し、更に、該プラ
イマ−層の面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライラ
ミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品名、
タケラックＡ−５１５／タケネ−ト Ａ−１２）を用い
て、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティングして、
膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ−ト用
接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト用接着
剤層面に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフィルム
をドライラミネ−トした。他方、上記で製造したバリア
性フィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムのプラズマ処理面に、２液硬化型のポリウレタン系
ドライラミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、
製品名、タケラック Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−５
０）を用いて、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティ
ングして、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラ
ミネ−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ
−ト用接着剤層面に、厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロ
ピレンフィルムをドライラミネ−トして、本発明にかか
る積層材を製造した。なお、上記の積層材を使用し、三
方シ−ル型の軟包装袋を製造し、これにミ−トボ−ル等
の冷凍食品を充填包装して包装製品を製造した結果、市
場における流通、貯蔵、販売等に十分に耐え得るもので
あった。

【００４３】実施例３ （１）．巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基
材フィルムとして、厚さ１５μｍの２軸延伸ナイロン６
フィルムを使用した。まず、上記の２軸延伸ナイロン６
フィルムを巻き取り式の真空蒸着装置の送り出しロ−ル
にに装着し、次いで、これを繰り出し、その２軸延伸ナ
イロン６フィルムのコロナ処理面に、アルミニウムを蒸
着源に用いて、酸素ガスを供給しながら、エレクトロン
ビ−ム（ＥＢ）加熱方式による真空蒸着法により、下記
の蒸着条件により、膜厚２００Åの酸化アルミニウムの
蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：２５ｋＷ フィルムの搬送速度：２４０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した２軸
延伸ナイロン６フィルムについて、更に、インラインで
放電プラズマ発生装置を用いて、下記の条件でプラズマ
処理を行い、上記の２軸延伸ナイロン６フィルムの他方
の面（非蒸着膜面）に、プラズマ処理面を形成して、本
発明にかかるバリア性フィルムを製造した。 （プラズマ処理条件） グロ−放電ガス：酸素ガス 電源：ＤＣ 放電電力：３０Ｗ・分／ｍ² グロ−放電圧力：２．０×１０^-2ｍｂａｒ プラズマ処理面：非蒸着膜面 なお、上記のプラズマ処理面について、東洋精機製作所
株式会社製、滑り試験機（型式 ＴＲ−２）により、５
０ｍｍ／ｍｉｎでの静摩擦係数、動摩擦係数を測定した
結果、それぞれ０．５０μ、および、０．４５μであっ
た（以下、実施例および比較例において同じであ
る。）。 （２）．次に、上記で製造したバリア性フィルムの酸化
アルミニウムの蒸着膜面に、プライマ−組成物（ザ・イ
ンクテック株式会社製）を使用し、グラビアロ−ルコ−
ト法によりコ−ティングして、膜厚０．０２ｇ／ｍ
² （乾燥状態）のプライマ−層を形成し、更に、該プラ
イマ−層の面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライラ
ミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品名、
タケラックＡ−５１５／タケネ−ト Ａ−１２）を用い
て、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティングして、
膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ−ト用
接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト用接着
剤層面に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフィルム
をドライラミネ−トした。他方、上記で製造したバリア
性フィルムの２軸延伸ナイロン６フィルムのプラズマ処
理面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライラミネ−ト
用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品名、タケラッ
ク Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−５０）を用いて、グ
ラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティングして、膜厚
４．０ｇ／ｍ ² （乾燥状態）のドライラミネ−ト用接着
剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト用接着剤層
面に、厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィルム
をドライラミネ−トして、本発明にかかる積層材を製造
した。なお、上記の積層材を使用し、三方シ−ル型の軟
包装袋を製造し、これにミ−キボ−ル等の冷凍食品を充
填包装して包装製品を製造した結果、市場における流
通、貯蔵、販売等に十分に耐え得るものであった。

【００４４】実施例４ （１）．プラズマ化学蒸着装置を使用し、また、基材フ
ィルムとして、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルムを使用した。まず、上記の２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムをプラズマ化学
蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これを繰
り出し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムのコロナ処理面の上に、下記の蒸着条件により、膜
厚２００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１１：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．２×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：５．１×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：６０ｗ・分／ｍ² フィルムの搬送速度：９０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で酸化珪素の蒸着膜を形成した２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムについて、更に、イン
ラインで放電プラズマ発生装置を用いて、下記の条件で
プラズマ処理を行い、上記の２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルムの他方の面（非蒸着膜面）に、プラ
ズマ処理面を形成して、本発明にかかるバリア性フィル
ムを製造した。 （プラズマ処理条件） グロ−放電ガス：酸素ガス 電源：ＤＣ 放電電力：３０Ｗ・分／ｍ² グロ−放電圧力：２．０×１０^-2ｍｂａｒ プラズマ処理面：非蒸着膜面 なお、上記のプラズマ処理面について、東洋精機製作所
株式会社製、滑り試験機（型式 ＴＲ−２）により、５
０ｍｍ／ｍｉｎでの静摩擦係数、動摩擦係数を測定した
結果、それぞれ０．６０μ、および、０．５６μであっ
た（以下、実施例および比較例において同じであ
る。）。 （２）．次に、上記で製造したバリア性フィルムの酸化
珪素の蒸着膜面に、プライマ−組成物（ザ・インクテッ
ク株式会社製）を使用し、グラビアロ−ルコ−ト法によ
りコ−ティングして、膜厚０．０２ｇ／ｍ² （乾燥状
態）のプライマ−層を形成し、更に、該プライマ−層の
面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライラミネ−ト用
接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品名、タケラック
Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−１２）を用いて、グラ
ビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティングして、膜厚４．
０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ−ト用接着剤層
を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト用接着剤層面
に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフィルムをドラ
イラミネ−トした。他方、上記で製造したバリア性フィ
ルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの
プラズマ処理面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライ
ラミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品
名、タケラック Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−１２）
を用いて、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティング
して、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ
−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト
用接着剤層面に、厚さ２５μｍの２軸延伸ポリプロピレ
ンフィルムをドライラミネ−トして、本発明にかかる積
層材を製造した。なお、上記の積層材を使用し、三方シ
−ル型の軟包装袋を製造し、これにスナック菓子等を充
填包装して包装製品を製造した結果、市場における流
通、貯蔵、販売等に十分に耐え得るものであった。

【００４５】実施例５ 上記の実施例１で製造した本発明にかかるバリア性フィ
ルムを使用し、そのバリア性フィルムのアルミニウムの
蒸着膜面に、低密度ポリエチレンを使用し、これを厚さ
１５μｍに溶融押し出ししながら、厚さ２０μｍの未延
伸ポリプロピレンフィルムを押し出しラミネ−トした。
他方、厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィルム
を使用し、そのコロナ処理面の面に、低密度ポリエチレ
ン樹脂を使用し、これを厚さ１５μｍに溶融押し出しし
ながら、上記で押し出しラミネ−トしたバリア性フィル
ムの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムのプ
ラズマ処理面を対向させて、その両者を押し出しラミネ
−トして、本発明にかかる積層材を製造した。なお、上
記の積層材を使用し、これから常法に従って軟包装用袋
を製造し、これにコ−ンフレ−ク等のシリアルを充填包
装して包装製品を製造した結果、市場における流通、貯
蔵、販売等に十分に耐え得るものであった。

【００４６】実施例６ 上記の実施例２で製造した本発明にかかるバリア性フィ
ルムを使用し、そのバリア性フィルムの酸化アルミニウ
ムの蒸着膜面に、低密度ポリエチレンを使用し、これを
厚さ１５μｍに溶融押し出ししながら、厚さ２０μｍの
未延伸ポリプロピレンフィルムを押し出しラミネ−トし
た。他方、厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィ
ルムを使用し、そのコロナ処理面の面に、低密度ポリエ
チレン樹脂を使用し、これを厚さ１５μｍに溶融押し出
ししながら、上記で押し出しラミネ−トしたバリア性フ
ィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
のプラズマ処理面を対向させて、その両者を押し出しラ
ミネ−トして、本発明にかかる積層材を製造した。な
お、上記の積層材を使用し、これから常法に従って軟包
装用袋を製造し、これにコ−ンフレ−ク等のシリアルを
充填包装して包装製品を製造した結果、市場における流
通、貯蔵、販売等に十分に耐え得るものであった。

【００４７】比較例１ （１）．巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基
材フィルムとして、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムを使用した。まず、２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを巻き取り式の真
空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次に、これを繰
り出し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムのコロナ処理面の上に、アルミニウムを蒸着源に用
いてエレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による真空蒸
着法により、下記の蒸着条件により、膜厚４００Åのア
ルミニウムの蒸着膜を形成して、バリア性フィルムを製
造した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：２５ｋＷ フィルムの搬送速度：２４０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 （２）．次に、上記で製造したバリア性フィルムを使用
し、以下、上記の実施例１と全く同様にし、まず、上記
で製造したバリア性フィルムのアルミニウムの蒸着膜面
に、プライマ−層を形成し、更に、該プライマ−層の面
に、ドライラミネ−ト用接着剤層を形成し、次いで、該
ドライラミネ−ト用接着剤層面に、所望の印刷模様を有
する厚さ２０μｍの２軸延伸ポリプロピレンフィルムを
ドライラミネ−トした。他方、上記で製造したバリア性
フィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ムの面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライラミネ−
ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品名、タケラ
ック Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−１２）を用いて、
グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティングして、膜厚
４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ−ト用接着
剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト用接着剤層
面に、厚さ３０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルム
をドライラミネ−トして、積層材を製造した。

【００４８】比較例２ （１）．巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基
材フィルムとして、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムを使用した。まず、上記の２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを巻き取り
式の真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、
これを繰り出し、その２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルムのコロナ処理面に、アルミニウムを蒸着源
に用い、酸素ガスを供給して、エレクトロンビ−ム（Ｅ
Ｂ）加熱方式による反応真空蒸着法により、下記の蒸着
条件により、膜厚２００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜
を形成して、バリア性フィルムを製造した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：３５ｋＷ フィルムの搬送速度：４８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 （２）．次に、上記で製造したバリア性フィルムを使用
し、以下、上記の実施例２と全く同様にして、上記で製
造したバリア性フィルムの酸化アルミニウムの蒸着膜面
に、プライマ−層を形成し、更に、該プライマ−層の面
に、ドライラミネ−ト用接着剤層を形成し、次いで、該
ドライラミネ−ト用接着剤層面に、厚さ５０μｍの低密
度ポリエチレンフィルムをドライラミネ−トした。他
方、上記で製造したバリア性フィルムの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルムの面に、２液硬化型のポ
リウレタン系ドライラミネ−ト用接着剤（武田薬品工業
株式会社製、製品名、タケラック Ａ−５１５／タケネ
−ト Ａ−１２）を用いて、グラビアロ−ルコ−ト法に
よりコ−ティングして、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状
態）のドライラミネ−ト用接着剤層を形成し、次いで、
該ドライラミネ−ト用接着剤層面に、厚さ２０μｍの２
軸延伸ポリプロピレンフィルムをドライラミネ−トし
て、積層材を製造した。

【００４９】比較例３ 巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基材とし
て、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを使用し、上記の比較例１と同様にして、２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの片面に、
膜厚４００Åのアルミニウムの蒸着膜を形成して、バリ
ア性フィルムを製造した。次に、上記で製造したバリア
性フィルムのアルミニウムの蒸着膜面に、低密度ポリエ
チレンを使用し、これを厚さ１５μｍに溶融押し出しし
ながら、厚さ２０μｍの未延伸ポリプロピレンフィルム
を押し出しラミネ−トした。他方、厚さ２０μｍの２軸
延伸ポリプロピレンフィルムを使用し、そのコロナ処理
面の面に、低密度ポリエチレン樹脂を使用し、これを厚
さ１５μｍに溶融押し出ししながら、上記で押し出しラ
ミネ−トしたバリア性フィルムの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルムの面を対向させて、その両者を
押し出しラミネ−トして、積層材を製造した。

【００５０】実験例 上記の実施例１〜６、および、比較例１〜３で製造した
各バリア性フィルム、および、積層材を使用し、下記に
示す評価項目について試験を行い、そのデ−タを測定し
た。 （１）．酸素透過度の測定 上記で製造したバリア性フィルム、および、積層材を使
用し、温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モ
コン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、オクストラ
ン（ＯＸＴＲＡＮ ２／２０）〕を使用して測定した。 （２）．水蒸気透過度の測定 上記で製造したバリア性フィルム、および、積層材を使
用し、温度３７．８℃、湿度１００％ＲＨの条件で、米
国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−
マトラン（ＰＥＲＭＴＲＡＮ ２／２０）〕を使用して
測定した。 （３）．ラミネ−ト強度の測定 上記で製造した各積層材を使用し、これを１５ｍｍ幅の
短冊状に切ったサンプルを引張試験機により、引張速度
５０ｍｍ／ｍｉｎ、Ｔ字剥離強度にてラミネート強度の
測定を行った。上記の測定結果について、下記の表１に
示す。

【００５１】 上記の表１において、酸素透過度の単位は、（ｃｃ／ｍ
² ・ｄａｙ・２３℃・９０％ＲＨ）であり、水蒸気透過
度の単位は、（ｇ／ｍ² ・ｄａｙ・４０℃・１００％Ｒ
Ｈ）であり、また、ラミネ−ト強度の単位は、（ｇｆ／
１５ｍｍ幅）であり、左側の値は、基材フィルム側のラ
ミネ−ト強度の値であり、右側の値は、金属または金属
酸化物側のラミネ−ト強度の値である。

【００５２】上記の表１より明らかなように、実施例１
〜６にかかる各積層材は、比較例１〜３にかかる積層材
に比較して、酸素バリア性、水蒸気バリア性、ラミネ−
ト強度等において優れているものであった。

【００５３】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、基材フィルムの一方の面に、予め、コロナ処理面等
を設け、更に、該コロナ処理面等の上に、金属または金
属酸化物の蒸着膜を設け、他方、上記の基材フィルムの
他方の面に、プラズマ放電処理によるプラズマ処理面を
形成してバリア性フィルムを製造して、基材フィルムの
他方の面は、プラズマ処理面を有することから、表面張
力が強く、濡れ性等に優れ、極めて良好な接着性を有
し、他のプラスチックフィルム等とのラミネ−ト適性に
優れ、他方、上記の基材フィルムの一方の面は、コロナ
処理面等を介して、緻密な無機酸化物の蒸着膜を形成す
ることができ、かつ、従来品と比較して、より薄い膜厚
でも十分にハイバリア性を有し、更に、基材フィルムの
表面と無機酸化物の蒸着膜との密着性に優れ、印刷加
工、ラミネ−ト加工、製袋加工、その他等の後処理加工
において金属または金属酸化物の蒸着膜にクラック等の
発生は認められず、酸素ガスあるいは水蒸気等に対する
極めて高いバリア性を有し、かつ、透明性に優れ、例え
ば、飲食品、医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その
他等の種々の物品を充填包装するに有用なバリア性フィ
ルムおよびそれを使用した積層材を製造し得ることがで
きるというものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるバリア性フィルムについてその
一例の層構成を示す概略的断面図である。

【図２】本発明にかかるバリア性フィルムについてその
一例の層構成を示す概略的断面図である。

【図３】図１に示す本発明にかかるバリア性フィルムを
使用して製造した本発明にかかる積層材についてその一
例の層構成を示す概略的断面図である。

【図４】巻き取り式真空蒸着装置の構成を示す概略的構
成図である。

【図５】プラズマ化学着装置の構成を示す概略的構成図
である。

【符号の説明】

Ａ、Ａ₁ バリア性フィルム Ｂ 積層材 １ 基材フィルム ２ 金属または金属酸化物の蒸着膜 ３ プラズマ処理面 ４ コロナ処理面 ５、５ａ 樹脂のフィルム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｊ 7/06 ＣＥＲ Ｃ０８Ｊ 7/06 ＣＥＲＺ ＣＥＺ ＣＥＺ Ｃ２３Ｃ 14/02 Ｃ２３Ｃ 14/02 Ａ 14/58 14/58 Ｚ 16/02 16/02 16/56 16/56 // Ｃ０８Ｌ 101:00 Ｃ０８Ｌ 101:00 Ｆターム(参考） 4F006 AA04 AA12 AA15 AA18 AA22 AA32 AA35 AA36 AA37 AA38 AA55 AB73 AB74 AB76 BA05 CA07 DA01 DA05 EA03 4F073 AA01 BA03 BA06 BA07 BA08 BA15 BA17 BA18 BA19 BA20 BA23 BA24 BA26 BA29 BB01 CA01 CA08 CA09 CA10 CA21 DA01 DA09 DA11 GA09 HA14 4F100 AA17B AA19B AB01B AB10B AK01C AK01D AK07 AK42 AK51G AK63 AT00A BA02 BA04 BA07 BA10C BA10D BA13 CB00 EH66B EJ38 EJ55A EJ61A GB17 GB23 HB31 JD01 JD03 JD04 JK06 JK16A JL11 JM02B JN01 YY00A YY00B 4K029 AA11 AA25 BA01 BA03 BA43 BA44 BB04 BC00 CA01 CA02 EA01 FA05 GA02 GA03 KA01 4K030 AA06 AA09 AA14 AA16 BA44 CA07 CA12 DA02 DA08 GA14

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材フィルムの一方の面に、金属または
   金属酸化物の蒸着膜を設け、他方、上記の基材フィルム
   の他方の面に、プラズマ処理面を設けることを特徴とす
   るバリア性フィルム。
2. 【請求項２】 基材フィルムが、その基材フィルムの一
   方の面に、金属または金属酸化物の蒸着膜を設ける前
   に、予め、コロナ処理面を設けることを特徴とする上記
   の請求項１に記載するバリア性フィルム。
3. 【請求項３】 プラズマ処理面が、金属または金属酸化
   物の蒸着膜を設けた直後の基材フィルムの他方の面に、
   インラインで設けることを特徴とする上記の請求項１〜
   ２に記載するバリア性フィルム。
4. 【請求項４】 プラズマ処理面が、静および動摩擦係数
   が０．４μ〜０．７μからなる処理面であることを特徴
   とする上記の請求項１〜３に記載するバリア性フィル
   ム。
5. 【請求項５】 金属または金属酸化物の蒸着膜が、アル
   ミニウムまたは酸化アルミニウムの蒸着膜からなること
   を特徴とする上記の請求項１〜４に記載するバリア性フ
   ィルム。
6. 【請求項６】 金属または金属酸化物の蒸着膜が、膜厚
   １００Å〜３００Åであることを特徴とする上記の請求
   項１〜５に記載するバリア性フィルム。
7. 【請求項７】 基材フィルムの一方の面に、金属または
   金属酸化物の蒸着膜を設け、他方、上記の基材フィルム
   の他方の面に、プラズマ処理面を設けた構成からなるバ
   リア性フィルムの両面に、少なくとも、樹脂のフィルム
   を積層することを特徴とする積層材。