JP2001118865A - 光電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
つ軽量であり、しかもその形状が一定である光電子部品
を安価に且つ大量に効率よく製造することができる光部
品の製造方法を提供する。 【解決手段】 光電子部品素子が配置された基板上に孔
版を用いて透明封止樹脂を印刷する工程(S14)と、
透明封止樹脂の一部を切削して溝を形成する工程(S1
8)と、切削を行って形成した溝に遮光性の樹脂を充填
する工程(S20)とを有する。
Description
方法に係り、特に、LED( Light Emitting Didod
e)、LD(Laser Diode)等の発光素子、若しくはフォ
トトランジスタ、CCD(Charge Coupled Device)等
の受光素子、又は超LSI(Large Scale Integratio
n)素子等を樹脂にて封止して製造される光電子部品の
製造方法に関する。
て小型なデバイスであるとともに酸化等により特性が劣
化するため、デバイスの光軸を固定し、取り扱いを容易
にするとともに、信頼性向上の観点から透明樹脂により
封止されるのが一般的である。従来、発光素子や受光素
子の透明樹脂による封止は、リードフレームを用いたケ
ース注型や金型成型により行うことが主流であった。
合には、基本的に封止を行って得られた光電子部品の外
形を小型化し且つ軽量化を図ることが困難であるという
問題点があった。また、金型成型によって光電子部品を
形成する場合には、金型を形成するためのコストが高く
なるという問題があった。これらの問題点を解消すべく
本出願の発明者は、印刷封止による電子部品の製造方法
を案出している。
板上に配置された複数の光電子部品素子の位置に対応し
た位置に孔が設けられた孔版とスキージとを用い、孔版
上に透明樹脂を滴下した後、スキージを孔版に対して平
行に移動させて孔版の孔内に透明樹脂を充填して基板上
に透明樹脂を印刷することにより光電子部品素子を封止
するというものである。そして、印刷を終了した後に、
孔版と基板とを分離して印刷された透明樹脂を硬化させ
ることにより、各光電子部品素子が別々に封止される。
また、予め基板上に配置された複数の光電子部品素子の
周囲にダムを形成しておき、そのダムの内側へ孔版を用
いて透明樹脂を流し込んで硬化させることにより光電子
部部品を製造する方法も提案している。これらの技術の
詳細については、特開平10−65219号公報を参照
されたい。
品素子に対して液状樹脂を印刷することにより、多数個
の電子部品素子を一括封止して、液状樹脂を硬化させた
後、切断工程を経て個々の電子部品を形成する方法も案
出している。この方法では、2つの電子部品素子を楕円
状の透明封止樹脂で封止してレンズを形成し、このレン
ズを遮光性の樹脂で封止した後に各々の電子部品を切断
し、透明封止樹脂の切断面が出射面又は受光面となる電
子部品を形成している。しかし、透明封止樹脂を封止す
る際に、各レンズ間の間隔が1〜2mmと狭い場合、透
明封止樹脂の僅かなダレや流動によって、各レンズ間の
間隔が更に狭くなって遮光性樹脂を封止する幅が確保さ
れないため、完成した電子部品から光漏れが生じ、ひど
い場合にはレンズ同士が接触してしまう不具合が発生す
ることがある。この技術については、特開平11−67
799号公報を参照されたい。更に、孔版及びスキージ
を用いて基板上に液状樹脂を印刷する際に、真空下で液
状樹脂の印刷を行い、印刷を行った後に大気圧に戻して
印刷した液状樹脂を硬化させることで液状樹脂内に気泡
を含まずに封止を行う電子部品の製造方法を案出してい
る。この技術は、孔版に形成された孔内に液状樹脂をス
キージで押し込んで充填する際に、空気が混入しないの
で液状樹脂内に気泡が含まれない。この技術の詳細につ
いては、特開平5−114620号公報を参照された
い。
ight Emitting Didode)、LD(Laser Diode)等の発
光素子、若しくはフォトトランジスタ、CCD(Charge
Coupled Device)等の受光素子等の光デバイスが様々
な分野に用いられており、その用途は様々である。光電
子部品は、種々の用途での使用に耐えられるように光学
的な特性に優れ、外形が極めて小さく且つ軽量であり、
しかもその形状が一定であるものが求められている。こ
こで、光学的な特性に優れるとは、不要な光漏れがない
ことを含む意味で用いている。
には、その表示装置のドット数分のLEDが必要とな
り、しかもフルカラー表示を行う場合には、赤、緑、及
び青のLEDが必要となるため、ドット数×3個のLE
Dが必要となる。これらの用途に用いられる光電子部品
の場合には、光学的な特性に優れ、外形が極めて小さく
且つ軽量であり、しかもその形状が一定であるものが得
られることはもちろんであるが、更に安価に且つ大量に
効率よく電子部品を製造する必要がある。
であり、光学的な特性に優れ、外形が極めて小さく且つ
軽量であり、しかもその形状が一定である光電子部品を
安価に且つ大量に効率よく製造することができる光部品
の製造方法を提供することを目的とする。
に、本発明は、光電子部品素子が配置された基板上に孔
版を用いて透明封止樹脂を印刷する工程(S14)と、
前記透明封止樹脂の一部を切削して溝を形成する工程
(S18)と、前記切削を行って形成した溝に遮光性の
樹脂を充填する工程(S20)とを有することを特徴と
する。また、本発明は、充填した前記遮光性の樹脂を硬
化する工程を更に有することを特徴とする。また、本発
明は、前記遮光性の樹脂を硬化した後に、前記樹脂及び
前記基板を切断する工程を更に有することを特徴とす
る。また、本発明は、前記透明封止樹脂が、真空下にお
いて行われることを特徴とする。また、本発明は、前記
切削の前に、印刷された前記透明封止樹脂を硬化する工
程を有することを特徴とする。また、本発明は、前記切
削が、前記光電子部品素子の周辺を切削することを特徴
とする。また、本発明は、前記前記遮光性の樹脂の充填
が、前記溝に対応した位置に孔が形成された孔版を用い
て印刷により行われることを特徴とする。また、本発明
は、前記前記遮光性の樹脂の印刷が、真空下で行われる
ことを特徴とする。
施形態による光電子部品の製造方法について詳細に説明
する。 〔第1実施形態〕図1は、本発明の第1実施形態による
光電子部品の製造方法の工程を示す図である。
子部品素子を載置する工程が行われ(工程S10)、次
に基板上に形成された電気回路と光電子部品素子とを電
気的に接続する工程が行われる(工程S12)。図2
は、工程S12を終えた時点の基板を示す断面図であ
る。図2において、12は、例えば厚さが0.5mmの
ガラスエポキシ製の基板である。この基板12には例え
ば光電子部品素子14,14,…に電源を供給するため
の電気回路が形成されている。光電子部品素子14,1
4,…は、例えばLED( Light Emitting Didode)素
子、LD(Laser Diode)素子等の発光素子、若しくは
フォトトランジスタ素子、CCD(Charge Coupled Dev
ice)素子である。
である場合には、図中符号ORを付した方向に光を出射
するように、また、受光素子である場合には、図中符号
IRを付した方向から入射する光を受光するように、出
射面又は入射面が図中上側を向けて配置される。16,
16,…は、基板12に形成された電気回路と光電子部
品素子14,14,…とを電気的に接続するワイヤであ
り、例えば金線が用いられる。以下、本明細書では工程
S12までの処理が行われた基板を初期基板と称し、図
面においては符号10を付して説明する。
14,…を透明封止樹脂により封止する工程が行われる
(工程S14)。図3は、孔版を用いて光電子部品素子
14,14,…を透明封止樹脂により封止する工程を説
明する断面図である。図3において、18は孔版であ
り、その一部に孔19が形成されている。孔版18は、
例えばステンレス製であり、その厚さは0.1〜10m
m程度である。但し、孔版18は光電子部品素子14,
14,…の高さに応じて異なる厚みのものが用いられ
る。
すように、初期基板10と孔版18とを接触させたとき
に、初期基板10上に配置された光電子部品素子14,
14,…が孔19内に配置される位置に形成される。孔
19内に配置される光電子部品素子14,14,…の数
は任意であり、例えば基板12上に配置された全ての光
電子部品素子14,14,…が1つの孔19内に配置さ
れても良く、孔版18に孔19を複数個形成し、各孔1
9内に数個の光電子部品素子14,14,…が配置され
るようにしても良い。
であり、紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂であって、硬
化後に透明となる樹脂である。例えば、日本レック
(株)製の透明エポキシ樹脂組成物の「NLD−71」
を用いると好適である。22は、透明封止樹脂20を孔
19内に押し込んで充填を行うためのスキージであり、
孔版18の表面に平行な方向に往復運動が可能な構成と
なっている。
を行うときは、孔版18やスキージ22を備えた印刷装
置を用いるが、この印刷装置は真空下で印刷を行うこと
ができるものが好ましい。その理由は、透明封止樹脂2
0の印刷を行った際に、気泡が混入して透明封止樹脂2
0の未充填部分があったり、透明封止樹脂20内に気泡
が残存するのを防止するためである。印刷装置は印刷室
の真空度を0.1〜10torrの範囲内で任意に保持
設定することができ、この真空度下で孔版印刷が可能な
ものを用いるのが好ましい。例えば日本レック(株)製
の真空孔版印刷機「VPES」で印刷を行うのが好適で
ある。
には、まず初期基板10を印刷室(図示省略)内に搬入
し、印刷室の真空度を所定の真空度、例えば0.1to
rrに設定した後、初期基板10と孔版18とを接触さ
せ、光電子部品素子14,14,…が孔19内に配置さ
れるようにする。次に、孔版18の上面から透明封止樹
脂20を所定量滴下し、スキージ22を図中符号D1が
付された方向に移動させて、透明封止樹脂20を孔19
内に押し込んで充填する。
版18と初期基板10とを分離し、透明封止樹脂20が
印刷された初期基板10を真空室から搬出して印刷され
た透明封止樹脂20を硬化させる工程が行われる(工程
S16)。透明封止樹脂20として熱硬化性樹脂を用い
た場合には、熱風乾燥機や遠赤外線炉を用いて硬化させ
る。遠赤外線炉を用いて硬化させる場合には、まず初期
基板10を炉内に搬入し、炉内の温度を例えば80〜1
50℃に設定して1〜4時間程度かけて乾燥させ、透明
封止樹脂20を硬化させる。
電子部品素子14,14,…や透明封止樹脂20の熱に
対する反応特性に応じて設定される。また、透明封止樹
脂20として紫外線硬化性樹脂を用いた場合には、UV
炉を用いる。UV炉は、炉内に紫外線を放出する紫外線
ランプが設けられた炉である。UV炉を用いて透明封止
樹脂20を硬化させる場合には紫外線の積算露光量を1
000〜3000J程度とする。図4は、工程S16を
終えた時点の初期基板10を示す断面図である。この時
点においては、図4に示されるように、光電子部品素子
14,14,…及びワイヤ16,16,…が透明封止樹
脂20で封止された状態となる。
4,…の周囲の封止樹脂を切削して溝を形成する工程が
行われる(工程S18)。光電子部品が発光素子の場合
は光の出射面に対してほぼ垂直な方向に光を出射し、受
光素子の場合は受光面にほぼ垂直な方向にから入射する
光を受光するものが一般的である。工程S18は、透明
封止樹脂20内において光電子部品素子14,14,…
から出射した光が散乱し、出射面に対してほぼ垂直な方
向以外の方向へ出射されるのを防止するための遮光壁、
又は、受光面に対してほぼ垂直な方向以外の方向から光
が入射するのを防止する遮光壁を形成するために行われ
る。
る様子を示す断面図である。溝の形成は、切削刃24、
例えば幅が0.8〜4mm程度のブレードを用いて行わ
れる。尚、溝を形成する場合、透明封止樹脂20のみを
切削するのではなく、透明封止樹脂20とともに基板1
2を僅かに切削しても良い。図5において、符号26,
26,…は、光電子部品素子14,14,…の周囲に形
成された溝を示している。
8で形成した溝内に遮光性の樹脂を充填する工程が行わ
れる(工程S20)。遮光性の樹脂は、液体状の熱硬化
性の樹脂であって、光学的に不透光性の樹脂が用いられ
る。例えば、日本レック(株)製の遮光性エポキシ樹脂
組成物の「NPR−783W」を用いると好適である。
遮光性の樹脂の充填は、図5に示した溝26,26,…
が形成された透明封止樹脂20表面上に遮光性の樹脂を
滴下し、透明封止樹脂20表面に対してスキージを平行
移動させて遮光性の樹脂を溝26,26,…内に押し込
むことにより行われる。
印刷を行う印刷装置を用い、溝26,26,…に応じた
位置に孔が形成され、厚さが0.1〜0.5mm程度の
孔版を用いて充填を行っても良い。この方法を用いた場
合には、充填を真空下で行うことができるので、未充填
部分や気泡が混入せず、しかも遮光性の樹脂が溝26,
26,…上にのみ印刷されるので透明封止樹脂20上が
汚染されることがないので極めて好適である。
った場合には、溝26,26,…内における未充填部分
や遮光性の樹脂内に残存した気泡を除去する工程が行わ
れる(工程S22)。この工程は、遮光性の樹脂が溝2
6,26,…内に充填された後の初期基板10を真空室
(図示省略)に搬入して、減圧することにより行われ
る。つまり、溝26,26,…や遮光性の樹脂内の気泡
が気圧差により遮光性の樹脂表面から放出されるため、
未充填部分や残存した気泡を除去することができる。
尚、孔版を用いずに、遮光性の樹脂を透明封止樹脂20
上に直接滴下してスキージを用いて充填を行った場合に
は、透明封止樹脂20上の余剰な遮光性の樹脂を取り除
く工程(工程S24)を行う必要がある。
様子を示す断面図である。図6中符号28は、溝26,
26,…内に充填された遮光性の樹脂を示している。溝
26,26,…内に遮光性の樹脂28,28,…の充填
を完了すると、充填した遮光性の樹脂28,28,…を
硬化する処理が行われる(工程S26)。この工程にお
いては、熱風乾燥機や遠赤外線炉を用いて硬化させる。
硬化させる場合には、まず遮光性の樹脂28,28,…
が充填された初期基板10を炉内に搬入し、炉内の温度
を例えば100〜150℃に設定して1〜4時間程度か
けて乾燥させ、遮光性の樹脂を硬化させる。このとき、
温度を段階的に上昇させてもよい。
26の略中心に沿って基板12を切断し、個々の光電子
部品を形成する工程が行われる(工程S28)。図7
は、個々の光電子部品を形成する工程を説明するための
断面図である。この工程では、エポキシ樹脂及びガラス
エポキシ、セラミック等の基板12を任意の幅で切断す
ることが可能であり、切断の深さも任意に調整できる切
断機30が用いられる。切断機30として、例えば
(株)ディスコ製のダイサーを用いるのが好ましい。図
7においては、切断機30を用いて溝26,26,…内
に充填された遮光性の樹脂28,28,…の略中心に沿
って切断される様子が示されている。
成された光電子部品32の断面図であり、図9は、光電
子部品32の斜視図である。図9から分かるように、光
電子部品素子14及びワイヤ16は透明封止樹脂20で
封止されているため、上面から透視できる状態である。
しかし、透明封止樹脂20の周囲は遮光性の樹脂28が
あるため、斜め方向から見た場合、光電子部品素子14
の一部が不可視となっている。
0として0.05〜0.5mmのブレードを用い、予め
初期基板10の裏面31に粘着テープを貼付しておき、
この粘着テープの半分の厚さまで切断するのが好まし
い。なぜならば、切断後の光電子部品32がバラバラに
ならず、しかも切断時の位置固定が可能であるからであ
る。以上説明した工程によって形成された光電子部品3
2は、液晶画面用の照明(例えば、バックライト、サイ
ドライト等)、LED表示盤、電気浮子、ペンライト、
カメラ等の機器に応用することができる。
部品の製造方法について説明したが、本発明は、以上の
実施形態に制限されるものではなく、本発明の範囲内で
自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態におい
ては、各々の光電子部品素子14,14,…の周囲に溝
26を形成して、遮光性の樹脂28を充填するようにし
ていたが、光電子部品素子14,14,…数個を1つの
単位とし、この単位の周囲に溝26を形成するようにし
てもよい。この場合、形成された光電子部品32の遮光
性の樹脂28内には複数個の光電子部品素子14,1
4,…が配置されることになる。
形態による光電子部品の製造方法について詳細に説明す
る。本発明の第2実施形態による光電子部品の製造方法
は、基本的に本発明の第1実施形態による光電子部品の
製造方法と同様である。前述した本発明の第1実施形態
においては、図8や図9に示すように、基板12とほぼ
平行に光の出射面又は入射面が形成された光電子部品を
製造する方法について説明したが、本発明の第2実施形
態においては、基板に対して光の出射面又は入射面がほ
ぼ垂直に形成された光電子部品を製造する方法について
説明する。
電子部品の製造方法に用いられる基板の上面図である。
図10中の基板42は、図2中の基板12と同様に、例
えば厚さが0.5mmのガラスエポキシ製の基板であ
り、光電子部品素子44,44,…に電源を供給するた
めの電気回路が形成されている。光電子部品素子44,
44,…は、例えばLED素子、LD素子等の発光素
子、又はフォトトランジスタ素子、CCD素子である。
本実施形態において光電子部品素子44,44,…は、
出射面又は入射面が対向するように、2つの光電子部品
素子44,44が対になって基板42上に配置されてい
る。
44,44,…が発光素子であるとすると、図中符号P
1で示された2つの光電子部品素子は、その出射面PL
1と出射面PL2とが互いに対向するように対になって
配置される。また、各々対になって配置された光電子部
品素子は互いに所定距離離間して配置される。図10中
46,46,…は、基板42に形成された電気回路と光
電子部品素子44,44,…とを電気的に接続するワイ
ヤであり、例えば金線が用いられる。以下、図10に示
した基板を初期基板と称し、符号40を付して説明す
る。
し、孔版を用いて光電子部品素子44,44,…を透明
封止樹脂により封止する工程が行われる。図11は、本
発明の第2実施形態において、孔版を用いて光電子部品
素子44,44,…を透明封止樹脂により封止する工程
を説明する断面図である。この工程は、図3に示した孔
版18やスキージ22を用いて透明封止樹脂20を封止
する工程(図1中の工程S14)と同様の工程である。
この工程は、図1中に示した工程S14と同様に真空下
で行うことが好ましい。
版18と初期基板40とを分離し、印刷された透明封止
樹脂20を硬化させる工程が行われる。図12は、透明
封止樹脂20を硬化させる工程を終えた時点の初期基板
40を示す断面図である。この時点においては、図12
示されるように、光電子部品素子44,44,…及びワ
イヤ46,46,…が透明封止樹脂20で封止された状
態となる。
4,…の周囲の封止樹脂を切削して溝を形成する工程が
行われる。図13は、第2実施形態において、溝を形成
する様子を示す断面図である。図13において、符号4
8,48,…は、対になって配置された光電子部品素子
44,44,…の周囲に形成された溝を示している。こ
こで、溝48,48,…の形成は、対になって配置され
た光電子部品を単位として、その周囲の封止樹脂を切削
することにより行われる。また、溝の形成は、切削刃2
4、例えば幅が0.8〜4mm程度のブレードを用いて
行われる。尚、溝を形成する場合、透明封止樹脂20の
みを切削するのではなく、透明封止樹脂20とともに基
板42を僅かに切削しても良い。
樹脂20の周囲を遮光性の樹脂で覆うとともに、溝48
の内部に遮光性の樹脂を充填する工程が行われる。遮光
性の樹脂は、図13に示した溝48,48,…が形成さ
れた透明封止樹脂20表面上に遮光性の樹脂を滴下し、
透明封止樹脂20表面に対して所定距離スキージを離間
させた状態で平行移動させて遮光性の樹脂を溝48,4
8,…内に押し込むことにより行われる。この場合、真
空下で遮光性の樹脂の充填を行うことが好ましい。遮光
性の樹脂の充填を大気圧下において行った場合には、溝
48,48,…内における未充填部分や遮光性の樹脂内
に残存した気泡を除去する工程が行われる。
の様子を示す断面図である。図14中符号50は、溝4
8,48,…内に充填された遮光性の樹脂を示してい
る。溝48,48,…内に遮光性の樹脂50の充填を完
了すると、充填した遮光性の樹脂50を硬化する処理が
行われる。以上の工程が終了すると、遮光性の樹脂50
が充填された溝48の略中心に沿って基板42を切断す
るとともに、対になって配置された光電子部品素子4
4,44,…の中間位置の基板42を切断して個々の光
電子部品を形成する工程が行われる。光電子部品素子4
4,44,…の中間位置の基板42を切断するのは、光
の出射面又は光の入射面を形成するためである。
光電子部品を形成する工程を説明するための断面図であ
る。この工程では、エポキシ樹脂及びガラスエポキシ、
セラミック等の基板42を任意の幅で切断することが可
能であり、切断の深さも任意に調整できる切断機30が
用いられる。図15においては、切断機30を用いて溝
48,48,…内に充填された遮光性の樹脂50の略中
心に沿って、及び対になって配置された光電子部品素子
44,44,…の中間位置に沿って基板42を切断する
様子が示されている。
電子部品54の断面図であり、図17は、光電子部品5
4の斜視図である。図16から分かるように、光電子部
品素子44は透明封止樹脂20で封止されているため、
光電子部品54の側面(図16及び図17中符号Rが付
された方向)から透視できる状態である。
したが、本実施形態によれば、溝48を形成して遮光性
の樹脂を充填し、基板42の切断を溝48のほぼ中央部
において行っているので、遮光性は確実に確保される。
しかも、遮光性の樹脂の幅や厚さも所定の値に規定され
るため、生産歩留まりが飛躍的に向上する。ところで、
製造された光電子部品における遮光性の樹脂50の内壁
は曲面にならないため、光の集光性の面では多少性能は
劣るが、遮光性の樹脂50として、酸化チタン等の白色
顔料を配合したエポキシ樹脂を使用することで、内壁面
での光の反射を利用して、発光素子の場合には輝度を向
上させることができ、受光素子の場合には、集光率を向
上させることができる。
断機30として0.05〜0.5mmのブレードを用
い、予め初期基板40の裏面52に粘着テープを貼付し
ておき、この粘着テープの半分の厚さまで切断するのが
好ましい。以上説明した工程によって形成された光電子
部品54は、液晶画面用の照明(例えば、バックライ
ト、サイドライト等)、LED表示盤、電気浮子、ペン
ライト、カメラ等の機器に応用することができる。
外形が極めて小さく且つ軽量であり、しかもその形状が
一定である光電子部品を安価に且つ大量に効率よく製造
することができる。また、透明封止樹脂や遮光性の樹脂
を真空下で印刷していることにより、気泡が残存するこ
とがないので光学的な特性が優れ、高い信頼性を有する
という効果がある。
造方法の工程を示す図である。
である。
を透明封止樹脂により封止する工程を説明する断面図で
ある。
す断面図である。
す断面図である。
断面図である。
ための断面図である。
電子部品32の断面図である。
製造方法に用いられる基板の上面図である。
いて光電子部品素子44,44,…を透明封止樹脂によ
り封止する工程を説明する断面図である。
た時点の初期基板40を示す断面図である。
を示す断面図である。
す断面図である。
を形成する工程を説明するための断面図である。
る。
Claims (8)
- 【請求項1】 光電子部品素子が配置された基板上に孔
版を用いて透明封止樹脂を印刷する工程と、 前記透明封止樹脂の一部を切削して溝を形成する工程
と、 前記切削を行って形成した溝に遮光性の樹脂を充填する
工程とを有することを特徴とする光電子部品の製造方
法。 - 【請求項2】 充填した前記遮光性の樹脂を硬化する工
程を更に有することを特徴とする請求項1記載の光電子
部品の製造方法。 - 【請求項3】 前記遮光性の樹脂を硬化した後に、前記
樹脂及び前記基板を切断する工程を更に有することを特
徴とする請求項2記載の光電子部品の製造方法。 - 【請求項4】 前記透明封止樹脂は、真空下において行
われることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか
に記載の光電子部品の製造方法。 - 【請求項5】 前記切削の前に、印刷された前記透明封
止樹脂を硬化する工程を有することを特徴とする請求項
1乃至請求項4記載の光電子部品の製造方法。 - 【請求項6】 前記切削は、前記光電子部品素子の周辺
を切削することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何
れかに記載の光電子部品の製造方法。 - 【請求項7】 前記前記遮光性の樹脂の充填は、前記溝
に対応した位置に孔が形成された孔版を用いて印刷によ
り行われることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何
れかに記載の光電子部品の製造方法。 - 【請求項8】 前記前記遮光性の樹脂の印刷は、真空下
で行われることを特徴とする請求項7記載の光電子部品
の製造方法。
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