JP2001188030A - レンズメータ - Google Patents
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- JP2001188030A JP2001188030A JP37522299A JP37522299A JP2001188030A JP 2001188030 A JP2001188030 A JP 2001188030A JP 37522299 A JP37522299 A JP 37522299A JP 37522299 A JP37522299 A JP 37522299A JP 2001188030 A JP2001188030 A JP 2001188030A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】屈折力の測定範囲を広げても測定精度を上げる
ことができると共に、被検レンズにゴミやキズ等の光束
阻害部があっても、被検レンズの屈折力を精確に求める
ことができるレンズメータを提供すること。 【解決手段】指標光を被検レンズLに投影する指標光投
影光学系と、前記指標光を受光させるセンサ4a,5a
と、被検レンズLを透過した指標光をセンサ4a,5a
に導く受光光学系と、センサ4a,5aからの出力信号
を基に被検レンズLの屈折力を求める演算制御回路19
と、演算制御回路19により求められた屈折力を表示す
る表示手段Dを備えるレンズメータであって、前記受光
光学系の光路途中に配設され且つ受光光学系の光軸方向
に移動操作可能な移動レンズ9と、前記移動レンズを介
して前記被検レンズの裏面と共役又は略共役に設けられ
且つ前記移動レンズ9からの指標光を複数の光束に分割
する指標光分割手段10を備えるレンズメータ。
ことができると共に、被検レンズにゴミやキズ等の光束
阻害部があっても、被検レンズの屈折力を精確に求める
ことができるレンズメータを提供すること。 【解決手段】指標光を被検レンズLに投影する指標光投
影光学系と、前記指標光を受光させるセンサ4a,5a
と、被検レンズLを透過した指標光をセンサ4a,5a
に導く受光光学系と、センサ4a,5aからの出力信号
を基に被検レンズLの屈折力を求める演算制御回路19
と、演算制御回路19により求められた屈折力を表示す
る表示手段Dを備えるレンズメータであって、前記受光
光学系の光路途中に配設され且つ受光光学系の光軸方向
に移動操作可能な移動レンズ9と、前記移動レンズを介
して前記被検レンズの裏面と共役又は略共役に設けられ
且つ前記移動レンズ9からの指標光を複数の光束に分割
する指標光分割手段10を備えるレンズメータ。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、被検レンズの屈
折力を測定するレンズメータに関するものである。
折力を測定するレンズメータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のレンズメータとしては、図13に
示したように図示しない光分割手段からの4つの測定光
束B1,B2,(他は図示略)をエリアセンサ(受光
部)Sに投影して、測定光束B1,B2(他は図示略)
による点像(スポット光像)をエリアセンサS上に形成
させ、この点像によるエリアセンサSからの出力信号を
演算制御回路(図示せず)に入力させて、演算制御回路
により屈折力を求める様にしたものが考えられている。
示したように図示しない光分割手段からの4つの測定光
束B1,B2,(他は図示略)をエリアセンサ(受光
部)Sに投影して、測定光束B1,B2(他は図示略)
による点像(スポット光像)をエリアセンサS上に形成
させ、この点像によるエリアセンサSからの出力信号を
演算制御回路(図示せず)に入力させて、演算制御回路
により屈折力を求める様にしたものが考えられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この様なレン
ズメータにおいては、測定感度は測定範囲と被検レンズ
Lのアライメントに対するエリアセンサSの大きさから
決まるが、エリアセンサSの大きさに精度にも限界があ
るため、測定精度を上げるにも限界があった。
ズメータにおいては、測定感度は測定範囲と被検レンズ
Lのアライメントに対するエリアセンサSの大きさから
決まるが、エリアセンサSの大きさに精度にも限界があ
るため、測定精度を上げるにも限界があった。
【0004】一方、この装置では、図13に破線で示し
た様に被検レンズLを測定光路中に配設した状態で、測
定光束B1,B2,(他は図示略)を被検レンズLに投
影して、この被検レンズLを透過した測定光束B1,B
2,(他は図示略)をエリアセンサSに投影することに
より、測定光束B1,B2,(他は図示略)によるスポ
ット光像P1,P2,(他は図示略)をエリアセンサS
上に形成させる様にしている。これにより、エリアセン
サSからはスポット光像P1,P2,(他は図示略)に
よる出力信号が出力される。そして、演算制御回路は、
この出力信号によるスポット光像P1,P2,(他は図
示せず)の光量分布Ba,Bb,(他は図示せず)の重
心位置のアドレスを屈折変位アドレスとして求める様に
している。
た様に被検レンズLを測定光路中に配設した状態で、測
定光束B1,B2,(他は図示略)を被検レンズLに投
影して、この被検レンズLを透過した測定光束B1,B
2,(他は図示略)をエリアセンサSに投影することに
より、測定光束B1,B2,(他は図示略)によるスポ
ット光像P1,P2,(他は図示略)をエリアセンサS
上に形成させる様にしている。これにより、エリアセン
サSからはスポット光像P1,P2,(他は図示略)に
よる出力信号が出力される。そして、演算制御回路は、
この出力信号によるスポット光像P1,P2,(他は図
示せず)の光量分布Ba,Bb,(他は図示せず)の重
心位置のアドレスを屈折変位アドレスとして求める様に
している。
【0005】そして、演算制御回路は、上述の基準アド
レスと屈折変位アドレスの差から被検レンズLの屈折力
を求める様にしている。
レスと屈折変位アドレスの差から被検レンズLの屈折力
を求める様にしている。
【0006】しかしながら、この装置では、被検レンズ
Lにゴミやキズ等の光束阻害部Aがある場合、例えば、
測定光束B1が図13に示したように光束阻害部Aの部
分にかかると、被検レンズLを透過してセンサSに投影
される測定光束L1の一部が光束阻害部Aにより阻害さ
れる。この場合には、測定光束B1によるセンサS上の
スポット光像(点像)P1の光量分布Laが図13に示
したように崩れてしまい、光量分布Baの重心位置(通
常はスポット光像P1の中心)のアドレスを精確に求め
ることができず、スポット光像P1,P2間の距離が実
際にはyでなければならないのに、スポット光像P1,
P2間の距離がy′と判断してしまい、精確な屈折力を
求めることができないものであった。
Lにゴミやキズ等の光束阻害部Aがある場合、例えば、
測定光束B1が図13に示したように光束阻害部Aの部
分にかかると、被検レンズLを透過してセンサSに投影
される測定光束L1の一部が光束阻害部Aにより阻害さ
れる。この場合には、測定光束B1によるセンサS上の
スポット光像(点像)P1の光量分布Laが図13に示
したように崩れてしまい、光量分布Baの重心位置(通
常はスポット光像P1の中心)のアドレスを精確に求め
ることができず、スポット光像P1,P2間の距離が実
際にはyでなければならないのに、スポット光像P1,
P2間の距離がy′と判断してしまい、精確な屈折力を
求めることができないものであった。
【0007】そこで、この発明は、屈折力の測定範囲を
広げても測定精度を上げることができると共に、被検レ
ンズにゴミやキズ等の光束阻害部があっても、被検レン
ズの屈折力を精確に求めることができるレンズメータを
提供することを目的とするものである。
広げても測定精度を上げることができると共に、被検レ
ンズにゴミやキズ等の光束阻害部があっても、被検レン
ズの屈折力を精確に求めることができるレンズメータを
提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、請求項1の発明は、指標光を被検レンズに投影する
指標光投影光学系と、前記指標光を受光させるセンサ
と、前記被検レンズを透過した指標光を前記センサに導
く受光光学系と、前記センサからの出力信号を基に前記
被検レンズの屈折力を求める演算制御手段と、前記演算
制御手段により求められた屈折力を表示する表示手段を
備えるレンズメータであって、前記受光光学系の光路途
中に配設され且つ受光光学系の光軸方向に移動操作可能
な移動レンズが設けられ、前記移動レンズを介して前記
被検レンズの裏面と共役又は略共役に設けられ且つ前記
移動レンズと一体に光軸方向に移動操作可能な指標光分
割手段を備えると共に、前記演算制御手段は、前記移動
レンズの移動量と前記センサの指標光の点像の位置から
前記被検レンズの屈折力を求めるレンズメータとしたこ
とを特徴とする。
め、請求項1の発明は、指標光を被検レンズに投影する
指標光投影光学系と、前記指標光を受光させるセンサ
と、前記被検レンズを透過した指標光を前記センサに導
く受光光学系と、前記センサからの出力信号を基に前記
被検レンズの屈折力を求める演算制御手段と、前記演算
制御手段により求められた屈折力を表示する表示手段を
備えるレンズメータであって、前記受光光学系の光路途
中に配設され且つ受光光学系の光軸方向に移動操作可能
な移動レンズが設けられ、前記移動レンズを介して前記
被検レンズの裏面と共役又は略共役に設けられ且つ前記
移動レンズと一体に光軸方向に移動操作可能な指標光分
割手段を備えると共に、前記演算制御手段は、前記移動
レンズの移動量と前記センサの指標光の点像の位置から
前記被検レンズの屈折力を求めるレンズメータとしたこ
とを特徴とする。
【0009】請求項2の発明は、前記指標光投影光学系
はそれぞれ異なる第1,第2の波長の指標光を前記被検
レンズに投影する第1,第2の指標光投影光学系を有す
ると共に、前記受光光学系は前記第1,第2の指標光投
影光学系からの指標光を前記センサに導く受光光学系を
備え、前記受光光学系は前記第1,第2の波長による測
定感度が異なることを特徴とする。
はそれぞれ異なる第1,第2の波長の指標光を前記被検
レンズに投影する第1,第2の指標光投影光学系を有す
ると共に、前記受光光学系は前記第1,第2の指標光投
影光学系からの指標光を前記センサに導く受光光学系を
備え、前記受光光学系は前記第1,第2の波長による測
定感度が異なることを特徴とする。
【0010】請求項3の発明は、前記センサは第1,第
2のセンサであり、前記受光光学系は前記第1,第2の
波長の指標光を前記第1,第2のセンサにそれぞれ導く
第1,第2の受光光学系であると共に、前記第1,第2
の受光光学系は第1,第2の波長による測定感度が異な
ることを特徴とする。
2のセンサであり、前記受光光学系は前記第1,第2の
波長の指標光を前記第1,第2のセンサにそれぞれ導く
第1,第2の受光光学系であると共に、前記第1,第2
の受光光学系は第1,第2の波長による測定感度が異な
ることを特徴とする。
【0011】請求項4の発明は、前記指標光分割手段
は、第1の波長を透過する中央フィルタ部と第2の波長
を透過する外側リング状フィルタ部を備えると共に、光
軸と同心円上に配列されて前記中央フィルタ部を透過し
た第1の波長の指標光を複数に分割して複数の指標光の
点像を第1のセンサ上に投影する第1の光透過穴と、光
軸と同心円上に配列されて前記外側リング状フィルタ部
を透過した第2の波長の指標光を複数に分割して複数の
指標光の点像を第2のセンサ上に投影する第1の光透過
穴を備えることを特徴とする。
は、第1の波長を透過する中央フィルタ部と第2の波長
を透過する外側リング状フィルタ部を備えると共に、光
軸と同心円上に配列されて前記中央フィルタ部を透過し
た第1の波長の指標光を複数に分割して複数の指標光の
点像を第1のセンサ上に投影する第1の光透過穴と、光
軸と同心円上に配列されて前記外側リング状フィルタ部
を透過した第2の波長の指標光を複数に分割して複数の
指標光の点像を第2のセンサ上に投影する第1の光透過
穴を備えることを特徴とする。
【0012】請求項5の発明は、前記移動レンズが光軸
方向の初期位置に配設されると共に光路中に被検レンズ
がない場合において、前記第1,第2のセンサ上に投影
される前記指標光の点像の位置を記憶する記憶手段を有
すると共に、前記演算制御手段は、前記被検レンズが配
設されたときの前記点像が前記被検レンズがない場合の
点像の位置に対して所定範囲前記移動レンズを光軸方向
に移動させたときに、前記移動レンズの移動量と前記セ
ンサ上の指標光の点像の位置から前記被検レンズの屈折
力を求めることを特徴とする。
方向の初期位置に配設されると共に光路中に被検レンズ
がない場合において、前記第1,第2のセンサ上に投影
される前記指標光の点像の位置を記憶する記憶手段を有
すると共に、前記演算制御手段は、前記被検レンズが配
設されたときの前記点像が前記被検レンズがない場合の
点像の位置に対して所定範囲前記移動レンズを光軸方向
に移動させたときに、前記移動レンズの移動量と前記セ
ンサ上の指標光の点像の位置から前記被検レンズの屈折
力を求めることを特徴とする。
【0013】請求項6の発明は、前記演算制御手段は、
光路に配設された前記被検レンズの屈折力が大きく点像
が第2のセンサから外れる場合、前記第1のセンサから
の出力信号に基づいて、前記第1のセンサ上の点像が被
検レンズのない場合の点像の位置に一致する方向に前記
移動レンズを駆動手段で大まかに移動させ、この移動に
伴い第2のセンサ上に前記点像が入った後、前記第2の
センサの出力信号に基づいて前記点像が被検レンズがな
い場合の点像の位置に一致する方向に駆動して、前記移
動レンズの移動量と前記指標光の前記センサ上の点像の
位置から前記被検レンズの屈折力を求めるように設定さ
れていることを特徴とする。
光路に配設された前記被検レンズの屈折力が大きく点像
が第2のセンサから外れる場合、前記第1のセンサから
の出力信号に基づいて、前記第1のセンサ上の点像が被
検レンズのない場合の点像の位置に一致する方向に前記
移動レンズを駆動手段で大まかに移動させ、この移動に
伴い第2のセンサ上に前記点像が入った後、前記第2の
センサの出力信号に基づいて前記点像が被検レンズがな
い場合の点像の位置に一致する方向に駆動して、前記移
動レンズの移動量と前記指標光の前記センサ上の点像の
位置から前記被検レンズの屈折力を求めるように設定さ
れていることを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
1〜図7に基づいて説明する。
1〜図7に基づいて説明する。
【0015】図1においてレンズメータは、異なる波長
の光で屈折力を測定する第1の測定光学系と第2の測定
光学系を有する。<第1の測定光学系>この第1の測定
光学系は、第1の指標光投影光学系(測定光投影光学
系)と第1の指標光受光光学系(測定光受光光学系)を
有する。
の光で屈折力を測定する第1の測定光学系と第2の測定
光学系を有する。<第1の測定光学系>この第1の測定
光学系は、第1の指標光投影光学系(測定光投影光学
系)と第1の指標光受光光学系(測定光受光光学系)を
有する。
【0016】第1の指標光投影光学系(測定光投影光学
系)は、第1の光源1a,第1のピンホール(指標)2
a,第2の測定光学系と共通な共通光学系3のダイクロ
イックミラー6及びコリメータレンズ7をこの順に有す
る。尚、第1の光源1aは623nmの波長(第1の波
長)の光を出射するようになっている。
系)は、第1の光源1a,第1のピンホール(指標)2
a,第2の測定光学系と共通な共通光学系3のダイクロ
イックミラー6及びコリメータレンズ7をこの順に有す
る。尚、第1の光源1aは623nmの波長(第1の波
長)の光を出射するようになっている。
【0017】また、第1の指標光受光光学系は、共通光
学系3のリレーレンズ8,移動レンズ9,指標光分割手
段(波長分離手段)10及びダイクロイックミラー(波
長分離手段又は指標光分離手段)11をこの順に有す
る。更に、第1の指標光受光光学系は、第1のTVレン
ズ(結像レンズ)4aを有する。この第1のTVレンズ
4aにより第1のセンサである第1のエリアセンサ(二
次元CCD)5aに指標光の点像が投影結像される。
尚、この第1のエリアセンサ5aは第1の指標受光光学
系の一部として考えることもできる。
学系3のリレーレンズ8,移動レンズ9,指標光分割手
段(波長分離手段)10及びダイクロイックミラー(波
長分離手段又は指標光分離手段)11をこの順に有す
る。更に、第1の指標光受光光学系は、第1のTVレン
ズ(結像レンズ)4aを有する。この第1のTVレンズ
4aにより第1のセンサである第1のエリアセンサ(二
次元CCD)5aに指標光の点像が投影結像される。
尚、この第1のエリアセンサ5aは第1の指標受光光学
系の一部として考えることもできる。
【0018】そして、移動レンズ9は、パルスモータ
(駆動手段)PMで測定光学系の光軸Oの延びる方向
(光軸Oに沿う方向)に進退駆動されるようになってい
て、通常は実線で示した初期位置に位置するようになっ
ている。この移動レンズ9の初期位置は図示しないセン
サ等で検出して、この初期位置に移動レンズ9が位置し
たときにパルスモータPMを停止させることにより、移
動レンズ9を初期位置に位置させることができる。
(駆動手段)PMで測定光学系の光軸Oの延びる方向
(光軸Oに沿う方向)に進退駆動されるようになってい
て、通常は実線で示した初期位置に位置するようになっ
ている。この移動レンズ9の初期位置は図示しないセン
サ等で検出して、この初期位置に移動レンズ9が位置し
たときにパルスモータPMを停止させることにより、移
動レンズ9を初期位置に位置させることができる。
【0019】尚、測定対象となる被検レンズLは、コリ
メータレンズ7とリレーレンズ8との間の所定位置の図
示しないレンズ受上に配設されるようになっている。し
かも、被検レンズLの裏面側頂点位置Lbとリレーレン
ズ8の光源1a側の焦点位置は略共役となっている。
メータレンズ7とリレーレンズ8との間の所定位置の図
示しないレンズ受上に配設されるようになっている。し
かも、被検レンズLの裏面側頂点位置Lbとリレーレン
ズ8の光源1a側の焦点位置は略共役となっている。
【0020】また、第1の光源1aから出射した光は第
1のピンホール2aを介してダイクロイックミラー6に
第1の指標光として投影され、第2の光源1bから出射
した光は第2のピンホール2bを介してダイクロイック
ミラー6に第2の指標光として投影されるようになって
いる。このダイクロイックミラー6は、623nmの波
長の光を透過し且つ730nmの波長の光を反射するよ
うになっている。
1のピンホール2aを介してダイクロイックミラー6に
第1の指標光として投影され、第2の光源1bから出射
した光は第2のピンホール2bを介してダイクロイック
ミラー6に第2の指標光として投影されるようになって
いる。このダイクロイックミラー6は、623nmの波
長の光を透過し且つ730nmの波長の光を反射するよ
うになっている。
【0021】また、指標光分割手段10は、第1,第2
の波長分離フィルタ12,13及び光束分割偏向手段1
4をこの順に有する。この第1,第2のフィルタ12,
13及び光束分割偏向手段14は、図1,図2に示した
ように、この順に接着剤により接合されて一体となって
いる。しかも、第1,第2のフィルタ12,13及び光
束分割偏向手段14は、光学系の光軸Oの延びる方向に
移動レンズ9と一体に移動するように連動させられてい
る。更に、移動レンズ9のエリアセンサ5a,5b側の
焦点位置と光束分割偏向手段14は略共役となってい
る。尚、光束分割偏向手段14は移動レンズ9と一体に
移動するので、被検レンズLの裏面頂点位置Lbと光束
分割偏向手段14の共役関係は常時維持される。
の波長分離フィルタ12,13及び光束分割偏向手段1
4をこの順に有する。この第1,第2のフィルタ12,
13及び光束分割偏向手段14は、図1,図2に示した
ように、この順に接着剤により接合されて一体となって
いる。しかも、第1,第2のフィルタ12,13及び光
束分割偏向手段14は、光学系の光軸Oの延びる方向に
移動レンズ9と一体に移動するように連動させられてい
る。更に、移動レンズ9のエリアセンサ5a,5b側の
焦点位置と光束分割偏向手段14は略共役となってい
る。尚、光束分割偏向手段14は移動レンズ9と一体に
移動するので、被検レンズLの裏面頂点位置Lbと光束
分割偏向手段14の共役関係は常時維持される。
【0022】また、第1のフィルタ12は、図4に示し
たように中央部に位置する円形の中央フィルタ部12a
と、この中央フィルタ部12aの外側に同心に位置する
透明な外側リング状光透過部12bを有する。この中央
フィルタ部12aは、670nm以下の波長の光だけを
透過する様になっている。
たように中央部に位置する円形の中央フィルタ部12a
と、この中央フィルタ部12aの外側に同心に位置する
透明な外側リング状光透過部12bを有する。この中央
フィルタ部12aは、670nm以下の波長の光だけを
透過する様になっている。
【0023】フィルタ13は、図5に示したように中央
部に位置する透明で円形の中央光透過部13aと、この
中央光透過部13aの外側に同心に位置する外側リング
状フィルタ部13bを有する。この外側リング状フィル
タ部13bは、670nm以上の波長の光だけを透過す
る様になっている。
部に位置する透明で円形の中央光透過部13aと、この
中央光透過部13aの外側に同心に位置する外側リング
状フィルタ部13bを有する。この外側リング状フィル
タ部13bは、670nm以上の波長の光だけを透過す
る様になっている。
【0024】そして、円形の中央フィルタ部12aと中
央光透過部13aは同じ大きさ半径に形成されていて互
いに一致し、外側リング状光透過部12bと外側リング
状フィルタ部13bが同じ半径及び幅に形成されて互い
に一致させられている。
央光透過部13aは同じ大きさ半径に形成されていて互
いに一致し、外側リング状光透過部12bと外側リング
状フィルタ部13bが同じ半径及び幅に形成されて互い
に一致させられている。
【0025】光束分割偏向手段14は円板状の光束分割
板(円板状の光束分割偏向手段本体)14aを有する。
この光束分割板14aには、図2,図3に示したように
第2のフィルタ13の中央光透過部13aに臨む4つの
内側光透過穴15と、第2のフィルタ13のリング状フ
ィルタ13bに臨み且つ4つの内側光透過穴15にそれ
ぞれ対応する4つの外側光透過穴16が設けられてい
る。この4つの光透過穴15は光軸Oを中心とする半径
r1の同一円周上に位置し且つ90°の間隔を置いて配
置されていると共に、4つの光透過穴16は光軸Oを中
心とする半径r2の同一円周上に位置に且つ90°の間
隔を置いて配置されている。また、光束分割板14aに
は、各光透過穴15に対応して配設されて光透過穴15
からの光束を半径方向に偏向させる4つの内側プリズム
17が接着固定され、4つの光透過穴16に対応して配
設されて光透過穴13からの光束を半径方向に偏向させ
る4つの外側プリズム18が接着固定されている。
板(円板状の光束分割偏向手段本体)14aを有する。
この光束分割板14aには、図2,図3に示したように
第2のフィルタ13の中央光透過部13aに臨む4つの
内側光透過穴15と、第2のフィルタ13のリング状フ
ィルタ13bに臨み且つ4つの内側光透過穴15にそれ
ぞれ対応する4つの外側光透過穴16が設けられてい
る。この4つの光透過穴15は光軸Oを中心とする半径
r1の同一円周上に位置し且つ90°の間隔を置いて配
置されていると共に、4つの光透過穴16は光軸Oを中
心とする半径r2の同一円周上に位置に且つ90°の間
隔を置いて配置されている。また、光束分割板14aに
は、各光透過穴15に対応して配設されて光透過穴15
からの光束を半径方向に偏向させる4つの内側プリズム
17が接着固定され、4つの光透過穴16に対応して配
設されて光透過穴13からの光束を半径方向に偏向させ
る4つの外側プリズム18が接着固定されている。
【0026】尚、円形の中央フィルタ部12aと外側リ
ング状フィルタ部13bは表裏に形成させて一つのフィ
ルタ部材に同心に設けることもできる。また、光分割偏
向手段14の本体(光分割板14a)に透明板を用い、
フィルタ部12a,13bを透明板の光入射面(光源側
の面)に直接設け、透明板の光入射側の面に各光透過穴
15,16に対応する光透過部が設けられた光遮断コー
ティングを施し、光透過部にプリズム17,18を設け
るようにすることもできる。
ング状フィルタ部13bは表裏に形成させて一つのフィ
ルタ部材に同心に設けることもできる。また、光分割偏
向手段14の本体(光分割板14a)に透明板を用い、
フィルタ部12a,13bを透明板の光入射面(光源側
の面)に直接設け、透明板の光入射側の面に各光透過穴
15,16に対応する光透過部が設けられた光遮断コー
ティングを施し、光透過部にプリズム17,18を設け
るようにすることもできる。
【0027】ダイクロイックミラー11は、623nm
の波長の光を透過し且つ730nmの波長の光を反射す
るようになっている。 <第2の測定光学系>この第2の測定光学系は、第2の
指標光投影光学系(測定光投影光学系)と第2の指標光
受光光学系(測定光受光光学系)を有する。
の波長の光を透過し且つ730nmの波長の光を反射す
るようになっている。 <第2の測定光学系>この第2の測定光学系は、第2の
指標光投影光学系(測定光投影光学系)と第2の指標光
受光光学系(測定光受光光学系)を有する。
【0028】第2の指標光投影光学系(測定光投影光学
系)は、第2の光源1b,第2のピンホール(指標)2
b,共通光学系3のダイクロイックミラー6及びコリメ
ータレンズ7を有する。
系)は、第2の光源1b,第2のピンホール(指標)2
b,共通光学系3のダイクロイックミラー6及びコリメ
ータレンズ7を有する。
【0029】また、第2の指標光受光光学系は、共通光
学系3のリレーレンズ8,移動レンズ9,指標光分割手
段10及びダイクロイックミラー(波長分離手段又は指
標光分離手段)11を有すると共に、第2のTVレンズ
(結像レンズ)4b有する。この第2のTVレンズ4b
により第2のセンサである第2のエリアセンサ(二次元
CCD)5bに指標光の点像が投影結像される。尚、こ
の第2のエリアセンサ5bは第2の指標受光光学系の一
部として考えることもできる。また、第2の光源1b
は、第1の光源1aと異なる730nmの波長(第2の
波長)の光を出射する様になっている。また、第2のT
Vレンズ4bの焦点距離は第1のTVレンズ4aの焦点
距離よりも大きく設定されている。 <演算制御回路(演算制御手段)>上述の第1,第2の
エリアセンサ5a,5bからの測定信号(出力)は演算
制御回路19に入力される。演算制御回路19は、パル
スモータPMを駆動制御して移動レンズ8を光軸Oの延
びる方向へ進退駆動する様になっている。また、演算制
御回路19には、メモリ(記録手段,記憶手段)Mが接
続されている。Dは演算制御回路19により求められた
屈折力を表示するCRTや液晶表示器等の表示手段であ
る。尚、この演算制御回路19は、移動レンズの光軸方
向への初期位置検出手段を兼用している。
学系3のリレーレンズ8,移動レンズ9,指標光分割手
段10及びダイクロイックミラー(波長分離手段又は指
標光分離手段)11を有すると共に、第2のTVレンズ
(結像レンズ)4b有する。この第2のTVレンズ4b
により第2のセンサである第2のエリアセンサ(二次元
CCD)5bに指標光の点像が投影結像される。尚、こ
の第2のエリアセンサ5bは第2の指標受光光学系の一
部として考えることもできる。また、第2の光源1b
は、第1の光源1aと異なる730nmの波長(第2の
波長)の光を出射する様になっている。また、第2のT
Vレンズ4bの焦点距離は第1のTVレンズ4aの焦点
距離よりも大きく設定されている。 <演算制御回路(演算制御手段)>上述の第1,第2の
エリアセンサ5a,5bからの測定信号(出力)は演算
制御回路19に入力される。演算制御回路19は、パル
スモータPMを駆動制御して移動レンズ8を光軸Oの延
びる方向へ進退駆動する様になっている。また、演算制
御回路19には、メモリ(記録手段,記憶手段)Mが接
続されている。Dは演算制御回路19により求められた
屈折力を表示するCRTや液晶表示器等の表示手段であ
る。尚、この演算制御回路19は、移動レンズの光軸方
向への初期位置検出手段を兼用している。
【0030】次に、このような構成のレンズメータの作
用を説明する。
用を説明する。
【0031】第1の光源1aから出射した光(測定光)
は、第1のピンホール2aを介してダイクロイックミラ
ー6に投影された後、ダイクロイックミラー6を透過し
てコリメータレンズ7に入射する。一方、第2の光源1
bから出射した光(測定光は、第2のピンホール2bを
介してダイクロイックミラー6に投影された後、ダイク
ロイックミラー6で反射してコリメータレンズ7に入射
する。
は、第1のピンホール2aを介してダイクロイックミラ
ー6に投影された後、ダイクロイックミラー6を透過し
てコリメータレンズ7に入射する。一方、第2の光源1
bから出射した光(測定光は、第2のピンホール2bを
介してダイクロイックミラー6に投影された後、ダイク
ロイックミラー6で反射してコリメータレンズ7に入射
する。
【0032】このコリメータレンズ7は、入射した光を
測定光束である平行光束にする。この平行光束は、被検
レンズLがコリメータレンズ7とリレーレンズ8との間
にない場合、リレーレンズ8に直接入射し、被検レンズ
Lがコリメータレンズ7とリレーレンズ8との間にある
場合には被検レンズLに投影する。そして、被検レンズ
Lを透過した測定光束はリレーレンズ8を介して第1の
フィルタ12に入射する。
測定光束である平行光束にする。この平行光束は、被検
レンズLがコリメータレンズ7とリレーレンズ8との間
にない場合、リレーレンズ8に直接入射し、被検レンズ
Lがコリメータレンズ7とリレーレンズ8との間にある
場合には被検レンズLに投影する。そして、被検レンズ
Lを透過した測定光束はリレーレンズ8を介して第1の
フィルタ12に入射する。
【0033】この測定光束のうちの中央部側の光は、6
70nm以下の波長の光(第1の波長の光)のみが第1
のフィルタ12の中央フィルタ部9aを透過して第2の
フィルタ13の中央光透過部13aに入射する。
70nm以下の波長の光(第1の波長の光)のみが第1
のフィルタ12の中央フィルタ部9aを透過して第2の
フィルタ13の中央光透過部13aに入射する。
【0034】一方、測定光束の周縁部側の光は、全ての
波長の光が第1のフィルタ12の外側リング状光透過部
12bを透過して第2のフィルタ13の外側リング状フ
ィルタ部13bに入射する。
波長の光が第1のフィルタ12の外側リング状光透過部
12bを透過して第2のフィルタ13の外側リング状フ
ィルタ部13bに入射する。
【0035】そして、第2のフィルタ13の中央光透過
部13aは入射する670nm以下の波長の光を光束分
割偏向手段14の内側光透過穴15に透過案内し、第2
のフィルタ13の外側リング状フィルタ部13bは入射
する測定光束のうち670nm以上の光のみを透過して
光束分割偏向手段14の外側光透過穴16に案内する。
部13aは入射する670nm以下の波長の光を光束分
割偏向手段14の内側光透過穴15に透過案内し、第2
のフィルタ13の外側リング状フィルタ部13bは入射
する測定光束のうち670nm以上の光のみを透過して
光束分割偏向手段14の外側光透過穴16に案内する。
【0036】従って、被検レンズLを透過した測定光束
には第1の光源1aからの623nmの波長の光と第2
の光源1bからの730nmの波長の光が含まれる。
には第1の光源1aからの623nmの波長の光と第2
の光源1bからの730nmの波長の光が含まれる。
【0037】しかし、第1の光源1aからの623nm
の波長の光は第1のフィルタ12の中央フィルタ部12
a及び第2のフィルタ13の中央光透過部13aを第1
の波長の光として透過して光束分割偏向手段14の4つ
の内側光透過穴15に内側指標光として導かれる。
の波長の光は第1のフィルタ12の中央フィルタ部12
a及び第2のフィルタ13の中央光透過部13aを第1
の波長の光として透過して光束分割偏向手段14の4つ
の内側光透過穴15に内側指標光として導かれる。
【0038】また、第2の光源1bからの730nmの
波長の光(第2の波長の光)は第1のフィルタ12の外
側リング状光透過部12b及び第2のフィルタ13の外
側リング状フィルタ部13bを透過して光束分割偏向手
段14の4つの外側光透過穴16に外側指標光として導
かれることになる。
波長の光(第2の波長の光)は第1のフィルタ12の外
側リング状光透過部12b及び第2のフィルタ13の外
側リング状フィルタ部13bを透過して光束分割偏向手
段14の4つの外側光透過穴16に外側指標光として導
かれることになる。
【0039】この4つの内側光透過穴15に導かれた6
23nmの波長の光(第1の波長の光)は、4つの内側
プリズム15により外側に偏向されてダイクロイックミ
ラー11を透過した後、第1のTVレンズ4aを介して
第1のエリアセンサ5aに図6の如く4つの点像20,
20,・・・として投影される。一方、外側光透過穴16
に導かれた730nmの波長の光(第2の波長の光)
は、4つの外側プリズム16により更に外側に偏向され
てダイクロイックミラー11を透過した後、第2のTV
レンズ4bを介して第2のエリアセンサ5bに図7,図
9の如く4つの点像21,21・・・として投影される。
23nmの波長の光(第1の波長の光)は、4つの内側
プリズム15により外側に偏向されてダイクロイックミ
ラー11を透過した後、第1のTVレンズ4aを介して
第1のエリアセンサ5aに図6の如く4つの点像20,
20,・・・として投影される。一方、外側光透過穴16
に導かれた730nmの波長の光(第2の波長の光)
は、4つの外側プリズム16により更に外側に偏向され
てダイクロイックミラー11を透過した後、第2のTV
レンズ4bを介して第2のエリアセンサ5bに図7,図
9の如く4つの点像21,21・・・として投影される。
【0040】ここで、図6の実線で示した点像20及び
図7で示した点像21は被検レンズLがコリメータレン
ズ7とリレーレンズ8との間にない場合を示し、図6の
破線で示した点像20は被検レンズLがコリメータレン
ズ7とリレーレンズ8との間にある場合を示す。また、
図8,図9は被検レンズLがコリメータレンズ7とリレ
ーレンズ8との間にある場合を示す。この被検レンズL
がコリメータレンズ7とリレーレンズ8との間にない場
合において、図6の実線の如く第1のエリアセンサ5a
に投影される4つの点像20,20,・・・の位置(アド
レス)と、図7の如く第2のエリアセンサ5bに投影さ
れる4つの点像21,21・・・の位置(アドレス)は、
メモリMに点像基準位置として記憶されている。
図7で示した点像21は被検レンズLがコリメータレン
ズ7とリレーレンズ8との間にない場合を示し、図6の
破線で示した点像20は被検レンズLがコリメータレン
ズ7とリレーレンズ8との間にある場合を示す。また、
図8,図9は被検レンズLがコリメータレンズ7とリレ
ーレンズ8との間にある場合を示す。この被検レンズL
がコリメータレンズ7とリレーレンズ8との間にない場
合において、図6の実線の如く第1のエリアセンサ5a
に投影される4つの点像20,20,・・・の位置(アド
レス)と、図7の如く第2のエリアセンサ5bに投影さ
れる4つの点像21,21・・・の位置(アドレス)は、
メモリMに点像基準位置として記憶されている。
【0041】次に、被検レンズLの裏面側頂点屈折力と
第1のエリアセンサ5a上の4つの点像20,20・・・
及び移動レンズ9との関係について説明する。ここで、
被検レンズLの裏面頂点屈折力をD、測定光学系の光軸
Oから4つの内側光透過穴15の中心までの距離をr
1、リレーレンズ8の焦点距離をf1、移動レンズ9の
焦点距離をf2、TVレンズ4aの焦点距離をf3、移
動レンズ9の光軸方向への移動量をXa、4つの点像2
0,20・・・の移動量をYとすると、4つの点像20,
20・・・の移動量Yは、
第1のエリアセンサ5a上の4つの点像20,20・・・
及び移動レンズ9との関係について説明する。ここで、
被検レンズLの裏面頂点屈折力をD、測定光学系の光軸
Oから4つの内側光透過穴15の中心までの距離をr
1、リレーレンズ8の焦点距離をf1、移動レンズ9の
焦点距離をf2、TVレンズ4aの焦点距離をf3、移
動レンズ9の光軸方向への移動量をXa、4つの点像2
0,20・・・の移動量をYとすると、4つの点像20,
20・・・の移動量Yは、
【0042】
【数1】
【0043】として求められ、移動レンズ9の光軸方向
への移動量Xaは、
への移動量Xaは、
【0044】
【数2】
【0045】として求めることができる。
【0046】従って、この移動量XaやYを求めること
で、被検レンズLの裏面側頂点Lbの屈折力Dを求める
ことができる。
で、被検レンズLの裏面側頂点Lbの屈折力Dを求める
ことができる。
【0047】ここで、第2のTVレンズ4bの焦点距離
は第1のTVレンズ4aの焦点距離よりも大きく設定さ
れ、測定光学系の光軸Oから4つの内側光透過穴16の
中心までの距離r2は測定光学系の光軸Oから4つの内
側光透過穴15の中心までの距離r1より大きく設定さ
れているため、式より被検レンズLの裏面側頂点屈折
力に対する第2のエリアセンサ5b上での4つの点像2
0,20・・・の変化量は大きくなる。
は第1のTVレンズ4aの焦点距離よりも大きく設定さ
れ、測定光学系の光軸Oから4つの内側光透過穴16の
中心までの距離r2は測定光学系の光軸Oから4つの内
側光透過穴15の中心までの距離r1より大きく設定さ
れているため、式より被検レンズLの裏面側頂点屈折
力に対する第2のエリアセンサ5b上での4つの点像2
0,20・・・の変化量は大きくなる。
【0048】つまり、第2の光源1bからの光(測定光
束)による被検レンズLの屈折力の測定精度は、第1の
光源1aからの光(測定光束)による被検レンズLの屈
折力の測定精度よりも高くなる。
束)による被検レンズLの屈折力の測定精度は、第1の
光源1aからの光(測定光束)による被検レンズLの屈
折力の測定精度よりも高くなる。
【0049】この結果、移動レンズ9が実線で示した初
期位置にあるときに、裏面頂点屈折力の大きい被検レン
ズLが測定光学系すなわちコリメータレンズ7とリレー
レンズ8との間にセットされた場合、その屈折力によっ
ては、4つの点像20,20・・・は図6の破線の如く第
1のエリアセンサ5a上に投影されるが、4つの点像2
1,21・・・は第2のエリアセンサ5b上には投影され
ず第2のエリアセンサ5bの外側に位置することになる
ことがある。
期位置にあるときに、裏面頂点屈折力の大きい被検レン
ズLが測定光学系すなわちコリメータレンズ7とリレー
レンズ8との間にセットされた場合、その屈折力によっ
ては、4つの点像20,20・・・は図6の破線の如く第
1のエリアセンサ5a上に投影されるが、4つの点像2
1,21・・・は第2のエリアセンサ5b上には投影され
ず第2のエリアセンサ5bの外側に位置することになる
ことがある。
【0050】この状態で演算制御回路19は、メモリM
に記憶された図6の基準位置における4つの点像20,
20・・・の位置(アドレス)と、実際に図9の如く第1
のエリアセンサ5a上の4つの点像20,20・・・の位
置(アドレス)の出力信号とから、被検レンズLの裏面
頂点屈折力を計算することもできる。しかし、この際、
求められる屈折力の測定精度は被検レンズLの裏面頂点
屈折力と移動レンズ9の位置が合っていないので、点像
はボケているため低くなる。そこで、演算制御回路19
にて概略Dを求めXaを計算して、パルスモータPMを
駆動制御して移動レンズ9を移動させる。
に記憶された図6の基準位置における4つの点像20,
20・・・の位置(アドレス)と、実際に図9の如く第1
のエリアセンサ5a上の4つの点像20,20・・・の位
置(アドレス)の出力信号とから、被検レンズLの裏面
頂点屈折力を計算することもできる。しかし、この際、
求められる屈折力の測定精度は被検レンズLの裏面頂点
屈折力と移動レンズ9の位置が合っていないので、点像
はボケているため低くなる。そこで、演算制御回路19
にて概略Dを求めXaを計算して、パルスモータPMを
駆動制御して移動レンズ9を移動させる。
【0051】即ち、演算制御回路19は、パルスモータ
PMを駆動制御することにより、移動レンズ9及び指標
光分割手段10を計算したXaにより移動させる。その
結果、実際に図6の破線の如く第1のエリアセンサ5a
上に投影されている4つの点像20,20・・・の位置
(アドレス)がメモリMに記憶されている基準位置(実
線で示されている点像20の位置)のアドレスに略一致
するすることになる。
PMを駆動制御することにより、移動レンズ9及び指標
光分割手段10を計算したXaにより移動させる。その
結果、実際に図6の破線の如く第1のエリアセンサ5a
上に投影されている4つの点像20,20・・・の位置
(アドレス)がメモリMに記憶されている基準位置(実
線で示されている点像20の位置)のアドレスに略一致
するすることになる。
【0052】この移動レンズ9の移動により図8の如く
第2のエリアセンサ5bの外側に位置していた4つの点
像21,21・・・はエリアセンサ5b内に投影される。
第2のエリアセンサ5bの外側に位置していた4つの点
像21,21・・・はエリアセンサ5b内に投影される。
【0053】この結果、点像21の変位量(感度)が大
きいTVレンズ4bを用いた第2のエリアセンサ5bの
出力信号を用いて、式の計算と移動レンズ9の移動量
から高精度に被検レンズLの裏面頂点屈折力を求めるこ
とができる。また、更に移動レンズ9を移動させて、点
像が良い状態(ピントが合っている状態)で測定すれ
ば、より高い精度でDが求まる。
きいTVレンズ4bを用いた第2のエリアセンサ5bの
出力信号を用いて、式の計算と移動レンズ9の移動量
から高精度に被検レンズLの裏面頂点屈折力を求めるこ
とができる。また、更に移動レンズ9を移動させて、点
像が良い状態(ピントが合っている状態)で測定すれ
ば、より高い精度でDが求まる。
【0054】従って、本実施例において演算制御回路1
9は、まず、第1のエリアセンサ5aからの出力信号を
基に演算を行ってD,Xaを求め、、図6の破線の位置
の点像が実線で示した点像20の位置に略一致位置に上
述の移動レンズ9をパルスモータPMにより駆動操作
(移動操作)する。この駆動操作に伴い、図8の如く第
2のエリアセンサ5bの外側に位置していた4つの点像
21,21・・・が破線の如く第2のエリアセンサ5b上
に入る。そして、演算制御回路19は、4つの点像2
1,21・・・が破線の如く第2のエリアセンサ5b上に
入ると、第2のエリアセンサ5bからの出力を基に演算
を行ってDを求める。
9は、まず、第1のエリアセンサ5aからの出力信号を
基に演算を行ってD,Xaを求め、、図6の破線の位置
の点像が実線で示した点像20の位置に略一致位置に上
述の移動レンズ9をパルスモータPMにより駆動操作
(移動操作)する。この駆動操作に伴い、図8の如く第
2のエリアセンサ5bの外側に位置していた4つの点像
21,21・・・が破線の如く第2のエリアセンサ5b上
に入る。そして、演算制御回路19は、4つの点像2
1,21・・・が破線の如く第2のエリアセンサ5b上に
入ると、第2のエリアセンサ5bからの出力を基に演算
を行ってDを求める。
【0055】尚、一般に有限の大きさの二次元センサ
(エリアCCD)で広い範囲の屈折力の測定を高精度で
求めるには限界がある。しかし、本実施例におけるよう
に低い測定精度の第1の測定光学系と高い精度の測定光
学系を設けて、被検レンズLの裏面頂点屈折力が高い場
合にには、第1の測定光学系の第1のエリアセンサ5a
で粗測定を行い移動レンズ9を移動させた後、第2のエ
リアセンサ5bでの測定が可能な状態のときに、第2の
エリアセンサ5bの出力を基に屈折力を求めるようにす
ることで、有限の大きさの二次元センサ(エリアCC
D)で広い範囲の屈折力の測定を高精度で求めることが
できる。
(エリアCCD)で広い範囲の屈折力の測定を高精度で
求めるには限界がある。しかし、本実施例におけるよう
に低い測定精度の第1の測定光学系と高い精度の測定光
学系を設けて、被検レンズLの裏面頂点屈折力が高い場
合にには、第1の測定光学系の第1のエリアセンサ5a
で粗測定を行い移動レンズ9を移動させた後、第2のエ
リアセンサ5bでの測定が可能な状態のときに、第2の
エリアセンサ5bの出力を基に屈折力を求めるようにす
ることで、有限の大きさの二次元センサ(エリアCC
D)で広い範囲の屈折力の測定を高精度で求めることが
できる。
【0056】また、第1のエリアセンサ5a上の4つの
点像20は、被検レンズLの光軸と測定光学系の光軸O
とのアライメントにも利用できる。即ち、被検レンズL
の光軸が測定光学系の光軸Oに対してずれている場合、
4つの点像20の中心O′は例えば図10に示した様に
第1のエリアセンサ5aの中心O1(光軸Oと一致)か
らずれることになる。従って、この4つの点像20の中
心O′が図11に示した様に第1のエリアセンサ5aの
中心O1と一致するように、被検レンズlを移動させる
ことにより、被検レンズLの光軸が測定光学系の光軸O
と一致し、アライメントが行われることになる。
点像20は、被検レンズLの光軸と測定光学系の光軸O
とのアライメントにも利用できる。即ち、被検レンズL
の光軸が測定光学系の光軸Oに対してずれている場合、
4つの点像20の中心O′は例えば図10に示した様に
第1のエリアセンサ5aの中心O1(光軸Oと一致)か
らずれることになる。従って、この4つの点像20の中
心O′が図11に示した様に第1のエリアセンサ5aの
中心O1と一致するように、被検レンズlを移動させる
ことにより、被検レンズLの光軸が測定光学系の光軸O
と一致し、アライメントが行われることになる。
【0057】更に、図13のように、被検レンズLにキ
ズやゴミ等による光束阻害部Aがある場合、センサS上
での点像スポット光像(点像)P1の分布が崩れてしま
い、測定誤差となっていた。これは、光源とセンサSが
共役関係になく、測定光束B1中にキズやゴミ等による
光束阻害部Aがあると、この光束阻害部Aによる影が生
ずるためである。
ズやゴミ等による光束阻害部Aがある場合、センサS上
での点像スポット光像(点像)P1の分布が崩れてしま
い、測定誤差となっていた。これは、光源とセンサSが
共役関係になく、測定光束B1中にキズやゴミ等による
光束阻害部Aがあると、この光束阻害部Aによる影が生
ずるためである。
【0058】しかし、本実施例におけるように、第1,
第2のピンホール2a,2bと第1,第2のセンサ5
a,5bとが共役となるように、光学系の移動レンズ9
及び指標光分割手段10を光軸Oの延びる方向(光軸に
沿う方向)に移動させて、第1,第2のピンホール2
a,2bの像を第1,第2のセンサ5a,5b上に結像
させているので、図12(a)に示すようにキズやゴミ
等による光束阻害部Aが被検レンズLにあっても、図1
2(b)に示したように光量分布Ba,Bbに乱れが生
じないので、で示したように測定精度に影響が生ずるこ
とはない。
第2のピンホール2a,2bと第1,第2のセンサ5
a,5bとが共役となるように、光学系の移動レンズ9
及び指標光分割手段10を光軸Oの延びる方向(光軸に
沿う方向)に移動させて、第1,第2のピンホール2
a,2bの像を第1,第2のセンサ5a,5b上に結像
させているので、図12(a)に示すようにキズやゴミ
等による光束阻害部Aが被検レンズLにあっても、図1
2(b)に示したように光量分布Ba,Bbに乱れが生
じないので、で示したように測定精度に影響が生ずるこ
とはない。
【0059】この様に受光光学系は、点像20を第1の
波長の光(623nmの光)により第1のエリアセンサ
5a上に投影する第1の指標光受光光学系と、点像21
を第2の波長の光(730nmの光)により第2のエリ
アセンサ5b上に投影する第2の指標光受光光学系を有
する。しかも、第1の指標光受光光学系と第2の指標光
受光光学系は、第1の波長の光(623nmの光)によ
る測定感度と第2の波長の光(730nmの光)による
測定感度がそれぞれ異なる。即ち、移動レンズを光軸方
向に移動させたときに、第1の指標光受光光学系による
第1のエリアセンサ5a上での点像20の変化量(測定
感度)と第2の指標光受光光学系による第2のエリアセ
ンサ5b上での点像21の変化量(測定感度)がそれぞ
れ異なる。この結果、被検レンズの屈折力が小さい場合
には被検レンズの屈折力を高感度の測定光学系で直接精
確に測定でき、被検レンズが高屈折力の場合には低感度
の光学系で大まかな測定をして、高感度の光学系で精確
な測定を行うことができる。 (その他)以上説明した実施例では、2つのエリアセン
サ5a,5bを設けているが、エリアセンサは一つであ
ってもよい。この場合には、光透過穴15,16を透過
した光束を別々の光路を用いて一つのセンサ上に結像さ
せるようにすればよい。また、TVレンズを共通として
かつセンサーも共通であっても、光分割部材の二組の4
つの光透過穴の半径(r1<r2)を変えることによ
り、同様な効果が得られる。
波長の光(623nmの光)により第1のエリアセンサ
5a上に投影する第1の指標光受光光学系と、点像21
を第2の波長の光(730nmの光)により第2のエリ
アセンサ5b上に投影する第2の指標光受光光学系を有
する。しかも、第1の指標光受光光学系と第2の指標光
受光光学系は、第1の波長の光(623nmの光)によ
る測定感度と第2の波長の光(730nmの光)による
測定感度がそれぞれ異なる。即ち、移動レンズを光軸方
向に移動させたときに、第1の指標光受光光学系による
第1のエリアセンサ5a上での点像20の変化量(測定
感度)と第2の指標光受光光学系による第2のエリアセ
ンサ5b上での点像21の変化量(測定感度)がそれぞ
れ異なる。この結果、被検レンズの屈折力が小さい場合
には被検レンズの屈折力を高感度の測定光学系で直接精
確に測定でき、被検レンズが高屈折力の場合には低感度
の光学系で大まかな測定をして、高感度の光学系で精確
な測定を行うことができる。 (その他)以上説明した実施例では、2つのエリアセン
サ5a,5bを設けているが、エリアセンサは一つであ
ってもよい。この場合には、光透過穴15,16を透過
した光束を別々の光路を用いて一つのセンサ上に結像さ
せるようにすればよい。また、TVレンズを共通として
かつセンサーも共通であっても、光分割部材の二組の4
つの光透過穴の半径(r1<r2)を変えることによ
り、同様な効果が得られる。
【0060】また、第1,第2の指標受光光学系{本実
施例では第1のTVレンズ(結像レンズ)4a,第2の
TVレンズ(結像レンズ)4b}による点像20,21
の第1,第2のエリアセンサ5a,5bの投影倍率を異
ならせて、移動レンズの光軸方向への移動による第1,
第2のエリアセンサ5a,5b上での点像20,21の
変化量(測定感度)を異なるように構成したが、必ずし
もこれに限定されるものではない。
施例では第1のTVレンズ(結像レンズ)4a,第2の
TVレンズ(結像レンズ)4b}による点像20,21
の第1,第2のエリアセンサ5a,5bの投影倍率を異
ならせて、移動レンズの光軸方向への移動による第1,
第2のエリアセンサ5a,5b上での点像20,21の
変化量(測定感度)を異なるように構成したが、必ずし
もこれに限定されるものではない。
【0061】例えば、第1,第2の指標受光光学系{本
実施例では第1のTVレンズ(結像レンズ)4a,第2
のTVレンズ(結像レンズ)4b}による点像20,2
1の第1,第2のエリアセンサ5a,5bの投影倍率を
略同じ又は同じにすると共に、第1,第2のエリアセン
サ5a,5bの分解能(単位面積あたりの画素数)を異
ならせることで、第1,第2のエリアセンサ5a,5b
の受光感度(測定感度)を異ならせることにより、移動
レンズの光軸方向への移動による第1,第2のエリアセ
ンサ5a,5b上での点像20,21の測定感度を異な
るように構成してもよい。この場合には、より簡易に精
確な測定を行うことができる。また、光学系に用いるT
Vレンズ4a,4bに同じものを用いることができるの
で、部品管理も容易である。しかも、TVレンズ4a,
4bによる焦点距離が同じになるので、光学系の配置ス
ペースが小さくなる。
実施例では第1のTVレンズ(結像レンズ)4a,第2
のTVレンズ(結像レンズ)4b}による点像20,2
1の第1,第2のエリアセンサ5a,5bの投影倍率を
略同じ又は同じにすると共に、第1,第2のエリアセン
サ5a,5bの分解能(単位面積あたりの画素数)を異
ならせることで、第1,第2のエリアセンサ5a,5b
の受光感度(測定感度)を異ならせることにより、移動
レンズの光軸方向への移動による第1,第2のエリアセ
ンサ5a,5b上での点像20,21の測定感度を異な
るように構成してもよい。この場合には、より簡易に精
確な測定を行うことができる。また、光学系に用いるT
Vレンズ4a,4bに同じものを用いることができるの
で、部品管理も容易である。しかも、TVレンズ4a,
4bによる焦点距離が同じになるので、光学系の配置ス
ペースが小さくなる。
【0062】また、プリズム17,18はBOE(バイ
ナリーオプティクス)としてもよい。
ナリーオプティクス)としてもよい。
【0063】更に、上述した実施例では、波長の異なる
2つの第1,第2の光源1a,1bを設けているが、白
色ランプとしてフィルターで分ければ一つの光源でも良
い。この構成によれば光源が一つになるので、光源のた
めの回路が簡単になると共に、光源配置のスペースが小
さくなる。
2つの第1,第2の光源1a,1bを設けているが、白
色ランプとしてフィルターで分ければ一つの光源でも良
い。この構成によれば光源が一つになるので、光源のた
めの回路が簡単になると共に、光源配置のスペースが小
さくなる。
【0064】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明
は、指標光を被検レンズに投影する指標光投影光学系
と、前記指標光を受光させるセンサと、前記被検レンズ
を透過した指標光を前記センサに導く受光光学系と、前
記センサからの出力信号を基に前記被検レンズの屈折力
を求める演算制御手段と、前記演算制御手段により求め
られた屈折力を表示する表示手段を備えるレンズメータ
であって、前記受光光学系の光路途中に配設され且つ受
光光学系の光軸方向に移動操作可能な移動レンズが設け
られ、前記移動レンズを介して前記被検レンズの裏面と
共役又は略共役に設けられ且つ前記移動レンズと一体に
光軸方向に移動操作可能な指標光分割手段を備えると共
に、前記演算制御手段は、前記移動レンズの移動量と前
記センサの指標光の点像の位置から前記被検レンズの屈
折力を求める構成としたので、屈折力の測定範囲を広げ
ても測定精度を上げることができると共に、被検レンズ
にゴミやキズ等の光束阻害部があっても、被検レンズの
屈折力を精確に求めることができる。
は、指標光を被検レンズに投影する指標光投影光学系
と、前記指標光を受光させるセンサと、前記被検レンズ
を透過した指標光を前記センサに導く受光光学系と、前
記センサからの出力信号を基に前記被検レンズの屈折力
を求める演算制御手段と、前記演算制御手段により求め
られた屈折力を表示する表示手段を備えるレンズメータ
であって、前記受光光学系の光路途中に配設され且つ受
光光学系の光軸方向に移動操作可能な移動レンズが設け
られ、前記移動レンズを介して前記被検レンズの裏面と
共役又は略共役に設けられ且つ前記移動レンズと一体に
光軸方向に移動操作可能な指標光分割手段を備えると共
に、前記演算制御手段は、前記移動レンズの移動量と前
記センサの指標光の点像の位置から前記被検レンズの屈
折力を求める構成としたので、屈折力の測定範囲を広げ
ても測定精度を上げることができると共に、被検レンズ
にゴミやキズ等の光束阻害部があっても、被検レンズの
屈折力を精確に求めることができる。
【0065】請求項2の発明は、前記指標光投影光学系
はそれぞれ異なる第1,第2の波長の指標光を前記被検
レンズに投影する第1,第2の指標光投影光学系を有す
ると共に、前記受光光学系は前記第1,第2の指標光投
影光学系からの指標光を前記センサに導く受光光学系を
備え、前記受光光学系は前記第1,第2の波長による測
定感度が異なる構成としたので、被検レンズの屈折力が
小さい場合には被検レンズの屈折力を高感度の測定光学
系で直接精確に測定でき、被検レンズが高屈折力の場合
には低感度の光学系で大まかな測定をして、高感度の光
学系で精確な測定を行うことができる。
はそれぞれ異なる第1,第2の波長の指標光を前記被検
レンズに投影する第1,第2の指標光投影光学系を有す
ると共に、前記受光光学系は前記第1,第2の指標光投
影光学系からの指標光を前記センサに導く受光光学系を
備え、前記受光光学系は前記第1,第2の波長による測
定感度が異なる構成としたので、被検レンズの屈折力が
小さい場合には被検レンズの屈折力を高感度の測定光学
系で直接精確に測定でき、被検レンズが高屈折力の場合
には低感度の光学系で大まかな測定をして、高感度の光
学系で精確な測定を行うことができる。
【0066】請求項3の発明は、前記センサは第1,第
2のセンサであり、前記受光光学系は前記第1,第2の
波長の指標光を前記第1,第2のセンサにそれぞれ導く
第1,第2の受光光学系であると共に、前記第1,第2
の受光光学系は第1,第2の波長による測定感度が異な
る構成としたので、被検レンズの屈折力が小さい場合に
は被検レンズの屈折力を高感度の測定光学系で直接精確
に測定でき、被検レンズが高屈折力の場合には低感度の
光学系で大まかな測定をして、高感度の光学系で精確な
測定を行うことができる。
2のセンサであり、前記受光光学系は前記第1,第2の
波長の指標光を前記第1,第2のセンサにそれぞれ導く
第1,第2の受光光学系であると共に、前記第1,第2
の受光光学系は第1,第2の波長による測定感度が異な
る構成としたので、被検レンズの屈折力が小さい場合に
は被検レンズの屈折力を高感度の測定光学系で直接精確
に測定でき、被検レンズが高屈折力の場合には低感度の
光学系で大まかな測定をして、高感度の光学系で精確な
測定を行うことができる。
【0067】請求項4の発明は、前記指標光分割手段
は、第1の波長を透過する中央フィルタ部と第2の波長
を透過する外側リング状フィルタ部を備えると共に、光
軸と同心円上に配列されて前記中央フィルタ部を透過し
た第1の波長の指標光を複数に分割して複数の指標光の
点像を第1のセンサ上に投影する第1の光透過穴と、光
軸と同心円上に配列されて前記外側リング状フィルタ部
を透過した第2の波長の指標光を複数に分割して複数の
指標光の点像を第2のセンサ上に投影する第1の光透過
穴を備える構成としたので、簡単な構成で波長の異なる
各指標光を共通光路において複数に分割することができ
る。
は、第1の波長を透過する中央フィルタ部と第2の波長
を透過する外側リング状フィルタ部を備えると共に、光
軸と同心円上に配列されて前記中央フィルタ部を透過し
た第1の波長の指標光を複数に分割して複数の指標光の
点像を第1のセンサ上に投影する第1の光透過穴と、光
軸と同心円上に配列されて前記外側リング状フィルタ部
を透過した第2の波長の指標光を複数に分割して複数の
指標光の点像を第2のセンサ上に投影する第1の光透過
穴を備える構成としたので、簡単な構成で波長の異なる
各指標光を共通光路において複数に分割することができ
る。
【0068】請求項5の発明は、前記移動レンズが光軸
方向の初期位置に配設されると共に光路中に被検レンズ
がない場合において、前記第1,第2のセンサ上に投影
される前記指標光の点像の位置を記憶する記憶手段を有
すると共に、前記演算制御手段は、前記被検レンズが配
設されたときの前記点像が前記被検レンズがない場合の
点像の位置に対して所定範囲に入るように前記移動レン
ズを光軸方向に移動させたときに、前記移動レンズの移
動量と前記センサ上の指標光の点像の位置から前記被検
レンズの屈折力を求める構成としたので、両センサ出力
に基づいて被検レンズの屈折力を低感度と高感度いずれ
かで求めることができる。
方向の初期位置に配設されると共に光路中に被検レンズ
がない場合において、前記第1,第2のセンサ上に投影
される前記指標光の点像の位置を記憶する記憶手段を有
すると共に、前記演算制御手段は、前記被検レンズが配
設されたときの前記点像が前記被検レンズがない場合の
点像の位置に対して所定範囲に入るように前記移動レン
ズを光軸方向に移動させたときに、前記移動レンズの移
動量と前記センサ上の指標光の点像の位置から前記被検
レンズの屈折力を求める構成としたので、両センサ出力
に基づいて被検レンズの屈折力を低感度と高感度いずれ
かで求めることができる。
【0069】請求項6の発明は、前記演算制御手段は、
光路に配設された前記被検レンズの屈折力が大きく点像
が第2のセンサから外れる場合、前記第1のセンサから
の出力信号に基づいて、前記第1のセンサ上の点像が被
検レンズのない場合の点像の位置に一致する方向に前記
移動レンズを駆動手段で大まかに移動させ、この移動に
伴い第2のセンサ上に前記点像が入った後、前記第2の
センサの出力信号に基づいて前記点像が被検レンズがな
い場合の点像の位置に一致する方向に駆動して、前記移
動レンズの移動量と前記指標光の前記センサ上の点像の
位置から前記被検レンズの屈折力を求めるように設定さ
れている構成としたので、被検レンズの屈折力を高感度
で自動的に求めることができる。
光路に配設された前記被検レンズの屈折力が大きく点像
が第2のセンサから外れる場合、前記第1のセンサから
の出力信号に基づいて、前記第1のセンサ上の点像が被
検レンズのない場合の点像の位置に一致する方向に前記
移動レンズを駆動手段で大まかに移動させ、この移動に
伴い第2のセンサ上に前記点像が入った後、前記第2の
センサの出力信号に基づいて前記点像が被検レンズがな
い場合の点像の位置に一致する方向に駆動して、前記移
動レンズの移動量と前記指標光の前記センサ上の点像の
位置から前記被検レンズの屈折力を求めるように設定さ
れている構成としたので、被検レンズの屈折力を高感度
で自動的に求めることができる。
【図1】この発明に係るレンズメータの光学系を示す航
路図である。
路図である。
【図2】図1に示した指標光分割手段の拡大側面図であ
る。
る。
【図3】図2の右側面図である。
【図4】図2の第1の波長分離フィルタの説明図であ
る。
る。
【図5】図2の第2の波長分離フィルタの説明図であ
る。
る。
【図6】図1の被検レンズがない場合の第1のエリアセ
ンサの説明図である。
ンサの説明図である。
【図7】図1の被検レンズがない場合の第2のエリアセ
ンサの説明図である。
ンサの説明図である。
【図8】図1の被検レンズがある場合の第2のエリアセ
ンサの説明図である。
ンサの説明図である。
【図9】図1の被検レンズがある場合の第2のエリアセ
ンサの説明図である。
ンサの説明図である。
【図10】図1の被検レンズのアライメントの説明図で
ある。
ある。
【図11】図1の被検レンズのアライメントの説明図で
ある。
ある。
【図12】(a)図1に示した光学系の作用説明図、
(b)(a)のエリアセンサ上のでの光量分布を示す説
明図である。
(b)(a)のエリアセンサ上のでの光量分布を示す説
明図である。
【図13】従来のレンズメータの説明図である。
1a・・・第1の光源 1b・・・第2の光源 2a・・・第1のピンホール 2b・・・第2のピンホール 3・・・共通光学系 4a・・・TVレンズ 4b・・・TVレンズ 5a・・・エリアセンサ(二次元CCD,第1のセンサ) 5b・・・エリアセンサ(二次元CCD,第2のセンサ) 6・・・ダイクロイックミラー 7・・・コリメータレンズ 8・・・リレーレンズ 9・・・移動レンズ 10・・・指標光分割手段 11・・・ダイクロイックミラー 12・・・第1の波長分離フィルタ 12a・・・中央フィルタ部 12b・・・外側リング状光透過部 13・・・第2の波長分離フィルタ 13a・・・中央光透過部 13b・・・外側リング状フィルタ部 14・・・光束分割偏向手段 15・・・内側光透過穴 16・・・外側光透過穴 17・・・外側プリズム 18・・・内側プリズム 19・・・演算制御回(演算制御手段,移動量検出手段) 20,21・・・点像 L・・・被検レンズ Lb・・・裏面側頂点位置PM・・・パルスモータ(駆動手
段) M・・・メモリ(記録手段,記憶手段)
段) M・・・メモリ(記録手段,記憶手段)
Claims (6)
- 【請求項1】指標光を被検レンズに投影する指標光投影
光学系と、 前記指標光を受光させるセンサと、 前記被検レンズを透過した指標光を前記センサに導く受
光光学系と、 前記センサからの出力信号を基に前記被検レンズの屈折
力を求める演算制御手段と、 前記演算制御手段により求められた屈折力を表示する表
示手段を備えるレンズメータであって、 前記受光光学系の光路途中に配設され且つ受光光学系の
光軸方向に移動操作可能な移動レンズが設けられ、前記
移動レンズを介して前記被検レンズの裏面と共役又は略
共役に設けられ且つ前記移動レンズと一体に光軸方向に
移動操作可能な指標光分割手段を備えると共に、 前記演算制御手段は、前記移動レンズの移動量と前記セ
ンサの指標光の点像の位置から前記被検レンズの屈折力
を求めることを特徴とするレンズメータ。 - 【請求項2】前記指標光投影光学系はそれぞれ異なる第
1,第2の波長の指標光を前記被検レンズに投影する第
1,第2の指標光投影光学系を有すると共に、前記受光
光学系は前記第1,第2の指標光投影光学系からの指標
光を前記センサに導く受光光学系を備え、 前記受光光学系は前記第1,第2の波長による測定感度
が異なることを特徴とする請求項1に記載のレンズメー
タ。 - 【請求項3】前記センサは第1,第2のセンサであり、
前記受光光学系は前記第1,第2の波長の指標光を前記
第1,第2のセンサにそれぞれ導く第1,第2の受光光
学系であると共に、前記第1,第2の受光光学系は第
1,第2の波長による測定感度が異なることを特長とす
る請求項2に記載のレンズメータ。 - 【請求項4】前記指標光分割手段は、第1の波長を透過
する中央フィルタ部と第2の波長を透過する外側リング
状フィルタ部を備えると共に、光軸と同心円上に配列さ
れて前記中央フィルタ部を透過した第1の波長の指標光
を複数に分割して複数の指標光の点像を第1のセンサ上
に投影する第1の光透過穴と、光軸と同心円上に配列さ
れて前記外側リング状フィルタ部を透過した第2の波長
の指標光を複数に分割して複数の指標光の点像を第2の
センサ上に投影する第1の光透過穴を備えることを特徴
とする請求項3に記載のレンズメータ。 - 【請求項5】前記移動レンズが光軸方向の初期位置に配
設されると共に光路中に被検レンズがない場合におい
て、前記第1,第2のセンサ上に投影される前記指標光
の点像の位置を記憶する記憶手段を有すると共に、前記
演算制御手段は、前記被検レンズが配設されたときの前
記点像が前記被検レンズがない場合の点像の位置に対し
て所定範囲前記移動レンズを光軸方向に移動させたとき
に、前記移動レンズの移動量と前記センサ上の指標光の
点像の位置から前記被検レンズの屈折力を求めることを
特徴とする請求項3に記載のレンズメータ。 - 【請求項6】前記演算制御手段は、光路に配設された前
記被検レンズの屈折力が大きく点像が第2のセンサから
外れる場合、前記第1のセンサからの出力信号に基づい
て、前記第1のセンサ上の点像が被検レンズのない場合
の点像の位置に一致する方向に前記移動レンズを駆動手
段で大まかに移動させ、この移動に伴い第2のセンサ上
に前記点像が入った後、前記第2のセンサの出力信号に
基づいて前記点像が被検レンズがない場合の点像の位置
に一致する方向に駆動して、前記移動レンズの移動量と
前記指標光の前記センサ上の点像の位置から前記被検レ
ンズの屈折力を求めるように設定されていることを特徴
とする請求項4に記載のレンズメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37522299A JP2001188030A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | レンズメータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37522299A JP2001188030A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | レンズメータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001188030A true JP2001188030A (ja) | 2001-07-10 |
Family
ID=18505175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37522299A Pending JP2001188030A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | レンズメータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001188030A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030034557A (ko) * | 2001-10-26 | 2003-05-09 | (주)코스모광학 | 렌즈메타용 광학계구성방법 |
| JP2008241694A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-10-09 | Nidek Co Ltd | レンズメータ |
| KR101126155B1 (ko) * | 2004-02-27 | 2012-03-23 | 가부시키가이샤 니데크 | 렌즈미터 |
| KR101126150B1 (ko) * | 2004-03-31 | 2012-03-23 | 가부시키가이샤 니데크 | 렌즈미터 |
-
1999
- 1999-12-28 JP JP37522299A patent/JP2001188030A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030034557A (ko) * | 2001-10-26 | 2003-05-09 | (주)코스모광학 | 렌즈메타용 광학계구성방법 |
| KR101126155B1 (ko) * | 2004-02-27 | 2012-03-23 | 가부시키가이샤 니데크 | 렌즈미터 |
| KR101126150B1 (ko) * | 2004-03-31 | 2012-03-23 | 가부시키가이샤 니데크 | 렌즈미터 |
| JP2008241694A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-10-09 | Nidek Co Ltd | レンズメータ |
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