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JP2001167698A - Method of manufacturing substrate having barrier rib - Google Patents

Method of manufacturing substrate having barrier rib

Info

Publication number
JP2001167698A
JP2001167698A JP35108499A JP35108499A JP2001167698A JP 2001167698 A JP2001167698 A JP 2001167698A JP 35108499 A JP35108499 A JP 35108499A JP 35108499 A JP35108499 A JP 35108499A JP 2001167698 A JP2001167698 A JP 2001167698A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
substrate
barrier rib
roll
barrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP35108499A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Nomura
健次 野村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP35108499A priority Critical patent/JP2001167698A/en
Publication of JP2001167698A publication Critical patent/JP2001167698A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマディスプレイパネル等のガス放電表
示パネルに用いる高精度なバリアリブを有する基板を、
簡易で、低コストに製造する方法を提供することであ
る。 【解決手段】 溝を有するロールで、ペーストを基板に
コーティングしながらバリアリブを成形しバリアリブを
有する基板を製造する方法において、ロールを冷却して
成形する、ロ−ルを加熱して成形するもしくはロ−ルに
電圧を印加して成形する、または賦形後のペーストに溶
剤をスプレーして成形するいずれかの方法を用いる。
(57) [Summary] A substrate having a high-precision barrier rib used for a gas discharge display panel such as a plasma display panel is provided.
It is to provide a simple and low-cost manufacturing method. SOLUTION: In a method for manufacturing a substrate having a barrier rib by forming a barrier rib while coating a paste on a substrate with a roll having a groove, the method comprises cooling the roll, forming the roll by heating or forming the roll. Either a method in which a voltage is applied to the mold or a method in which a solvent is sprayed on the shaped paste to form the paste is used.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、バリアリブ(隔
壁)を有する基板の製造方法、特に、プラズマディスプ
レイパネル等のガス放電表示パネルに用いられる高精度
なバリアリブを有する基板の製造方法に関するものであ
る。
The present invention relates to a method of manufacturing a substrate having barrier ribs (partitions), and more particularly to a method of manufacturing a substrate having high-precision barrier ribs used for a gas discharge display panel such as a plasma display panel. .

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイ等のガス放電表示
パネルは、例えば、図7に示すように、背面板101の
一面に多数のバリアリブ102を形成して各バリアリブ
102間をセル103とし、このセル103の底面に電
極104を備えたものを基板105とする。この基板1
05に対して、セル103の内壁面106に蛍光体を塗
布し、一方、電極107を備えた正面板108を基板1
05のバリアリブ102上に接合して、セル103にガ
スを封入することにより、ガス放電表示パネルを構成す
る。
2. Description of the Related Art In a gas discharge display panel such as a plasma display, for example, as shown in FIG. 7, a large number of barrier ribs 102 are formed on one surface of a back plate 101, and cells 103 are formed between the barrier ribs 102. A substrate provided with an electrode 104 on the bottom surface is referred to as a substrate 105. This substrate 1
On the other hand, a phosphor is applied to the inner wall surface 106 of the cell 103 while the front plate 108 having the electrode 107 is
A gas discharge display panel is formed by joining the barrier rib 102 of FIG.

【0003】従来、プラズマディスプレイパネル等のガ
ス放電表示パネルにおけるバリアリブの形成方法として
は、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペー
スト法、リフトオフ法、型プレス法などが知られてい
る。
Conventionally, as a method of forming a barrier rib in a gas discharge display panel such as a plasma display panel, a screen printing method, a sand blast method, a photosensitive paste method, a lift-off method, a mold pressing method, and the like are known.

【0004】これらの方法において、スクリーン印刷法
は、まず、基板上にスクリーン印刷によりガラスペース
トのパターンを印刷して乾燥する。このような工程を繰
り返して所定の高さの凸部を形成後、これを焼成してバ
リアリブとする。しかし、このような方法ではパターン
幅の精度が悪く、パターンのピッチずれが大きいため、
表示パネルの高精細化や大画面化に対応するのは困難で
あるとの問題があった。
In these methods, in the screen printing method, first, a glass paste pattern is printed on a substrate by screen printing and dried. After repeating such a process to form a protrusion having a predetermined height, the protrusion is fired to form a barrier rib. However, such a method has poor pattern width accuracy and a large pattern pitch shift,
There has been a problem that it is difficult to cope with high definition and large screen of the display panel.

【0005】サンドブラスト法は、まず、基板上に所定
の厚さのガラスペーストをコーティングした後、バリア
リブを形成する部分を感光性樹脂でマスクする。次に、
このマスクに覆われていない不要部分をサンドブラスト
により除去後、残った凸部分を焼成し、バリアリブとす
る。この方法では、ガラスペーストの多くを廃棄するた
め材料の利用効率が低く、ブラスト材の再利用が困難で
あり、コストがかかるという問題があった。
In the sand blast method, first, a glass paste having a predetermined thickness is coated on a substrate, and a portion where a barrier rib is to be formed is masked with a photosensitive resin. next,
After removing unnecessary portions not covered by the mask by sandblasting, the remaining convex portions are baked to form barrier ribs. In this method, since much of the glass paste is discarded, there is a problem that the utilization efficiency of the material is low, the blast material is difficult to reuse, and the cost is high.

【0006】感光性ペースト法は、感光性樹脂成分を含
むペーストをコーティングした後、バリアリブに相当す
る部分を露光し、不溶化する。次に、不要部分を現像除
去した後、残った凸部分を焼成し、バリアリブとする。
この方法には、ペーストの利用効率が低いことと、一度
で所定の高さのバリアリブを形成するのが困難であると
いう問題があった。更に、感光性樹脂は熱分解性が良く
ないので、感光性樹脂を含むペーストを焼成した場合、
樹脂残渣がバリアリブ内に残留しやすく、この残留した
樹脂残渣が不純物としてガス放電表示パネルの表示性能
を低下させるという問題があった。
In the photosensitive paste method, after coating a paste containing a photosensitive resin component, a portion corresponding to a barrier rib is exposed and insolubilized. Next, after the unnecessary portion is removed by development, the remaining convex portion is baked to form a barrier rib.
This method has a problem that the utilization efficiency of the paste is low and it is difficult to form a barrier rib having a predetermined height at a time. Furthermore, since the photosensitive resin has poor thermal decomposability, when a paste containing the photosensitive resin is baked,
Resin residues tend to remain in the barrier ribs, and there is a problem that the remaining resin residues as impurities cause deterioration in the display performance of the gas discharge display panel.

【0007】リフトオフ法は、まず、感光性樹脂をコー
ティングした後、露光、現像によりバリアリブを形成す
る部分の感光性樹脂を除去する。これを繰り返して所定
の深さの凹部を形成する。次に、この凹部にペーストを
充填し、感光性樹脂の除去と充填されたペーストの焼成
を行い、バリアリブとする。この方法では感光性樹脂に
コストがかかることと、感光性樹脂の一度のコーティン
グでは、必要な高さのバリアリブを形成するのが困難で
あるという問題があった。
In the lift-off method, first, a photosensitive resin is coated, and then the photosensitive resin in a portion where a barrier rib is to be formed is removed by exposure and development. This is repeated to form a concave portion having a predetermined depth. Next, the recess is filled with a paste, the photosensitive resin is removed, and the filled paste is baked to form a barrier rib. In this method, there is a problem that the cost of the photosensitive resin is high, and it is difficult to form a barrier rib having a required height with a single coating of the photosensitive resin.

【0008】型プレス法はバリアリブの形状の型にペー
ストを流し込み、これを基板に転写した後、焼成を行
い、バリアリブを形成している。この方法では表示パネ
ルと同サイズの型を作製する必要があり型のコストがか
かることと、型と基板との熱膨張率の差などから位置精
度が良くないとの問題があった。
In the mold pressing method, a paste is poured into a mold having the shape of a barrier rib, transferred to a substrate, and then baked to form a barrier rib. In this method, it is necessary to manufacture a mold having the same size as the display panel, so that there is a problem that the cost of the mold is high and the positional accuracy is not good due to a difference in thermal expansion coefficient between the mold and the substrate.

【0009】これら以外のバリアリブの形成方法とし
て、特開平10−302614号公報には、ガラスペー
ストを基板にコーティングし、このコーティングにバリ
アリブの形の溝を有するロールを圧接して、上記コーテ
ィングをバリアリブの形状に賦形した後、焼成し、バリ
アリブとする方法が提案されている。この方法では、ガ
ラスペーストの利用効率が高く一回の成形で所定の高さ
のバリアリブ前駆体を形成できるとともに、全工程数が
少ないので、低コストでバリアリブを形成できるという
特徴がある。しかしながら、この方法において、流動性
が高く成形性の良いペーストを用いると、溝付ロールで
バリアリブ前駆体に賦形した後、ペーストが流動して形
が崩れ、正確な形状のバリアリブを形成できないという
問題があった。
As another method of forming barrier ribs, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-302614 discloses a method in which a glass paste is coated on a substrate, and a roll having grooves in the form of barrier ribs is pressed against the coating to apply the coating to the barrier ribs. A method has been proposed in which, after shaping into a shape as described above, it is fired to form a barrier rib. This method has a feature that the barrier rib precursor having a predetermined height can be formed by one molding with high utilization efficiency of the glass paste, and the number of steps is small, so that the barrier rib can be formed at low cost. However, in this method, when a paste having high fluidity and good moldability is used, after the barrier rib precursor is formed by the grooved roll, the paste flows and loses its shape, and a barrier rib having an accurate shape cannot be formed. There was a problem.

【0010】一方、流動性が低いペーストを用いると、
溝付ロールで圧接しても溝の奥までペーストが流動せ
ず、鈍った形のバリアリブ前駆体しか形成できないとい
う問題があった。この場合、ロールの溝の奥までペース
トを流動させるためにロール圧力を上げると、基板が変
形して位置精度が悪くなるとともに、装置全体も高強度
にしなくてはならず、コストが高くなるという問題があ
った。このような溝付きロールで成形する方法では、ペ
ーストの粘度を調整しても、所定の高さのバリアリブ前
駆体を成形することと、成形されたバリアリブ前駆体を
成形後に流動させずに所定の形状を保持することとの両
立が困難であるという問題があった。
On the other hand, when a paste having low fluidity is used,
Even when pressed with a grooved roll, there is a problem that the paste does not flow to the depth of the groove and only a blunt barrier rib precursor can be formed. In this case, when the roll pressure is increased in order to make the paste flow to the depth of the groove of the roll, the substrate is deformed and the positional accuracy is deteriorated, and the entire apparatus also needs to be high in strength, which increases the cost. There was a problem. In the method of forming with such a grooved roll, even if the viscosity of the paste is adjusted, the barrier rib precursor having a predetermined height is formed, and the formed barrier rib precursor is formed into a predetermined shape without flowing after forming. There has been a problem that it is difficult to achieve compatibility with maintaining the shape.

【0011】ペーストに、所定の高さのバリアリブ前駆
体を形成できる流動性を保持させ、成形後に流動性を低
下させバリアリブ前駆体の形状を維持する方法として、
溶剤が残留したペーストをコーティング後、高温に加熱
した溝付ロールで成形し、賦形するとともに、溶剤を蒸
発させ、成形後のペーストを硬化させて流動性を消失さ
せる方法と、また、紫外線感光性樹脂を含むペーストを
コーティング後、ロール成形時に紫外線を照射してペー
ストを硬化させて流動性を消失させる方法とが特開平1
0−188793号公報に開示されている。しかし、加
熱ロールにより溶剤の蒸発させる方法はロ−ルの温度が
200〜300℃と高く、ロ−ルの加熱に多くのエネル
ギ−が必要であり、またロ−ルの断熱が必要で成形装置
のコストが高くなる等の問題があった。紫外線での硬化
は、時間がかかり、成形に長時間を要し、生産性が低く
なるという問題と、紫外線硬化の樹脂が焼成時に残留し
やすく、バリアリブ内の不純物として、表示素子の性能
を劣化させるという問題があった。
[0011] As a method for maintaining the flowability of forming a barrier rib precursor having a predetermined height in the paste, and reducing the flowability after molding to maintain the shape of the barrier rib precursor,
After coating the paste with the solvent remaining, it is molded with a grooved roll heated to a high temperature and shaped, while the solvent is evaporated and the molded paste is hardened to lose the fluidity. Japanese Patent Laid-Open Publication No. HEI 1 (1999) -1995 discloses a method of coating a paste containing a water-soluble resin, and then irradiating ultraviolet rays during roll forming to harden the paste to lose fluidity.
No. 0-188793. However, in the method of evaporating the solvent by a heating roll, the temperature of the roll is as high as 200 to 300 [deg.] C., a large amount of energy is required for heating the roll, and the heat insulation of the roll is required. However, there was a problem that the cost of the method became high. Curing with ultraviolet light takes a long time, it takes a long time to mold, and the productivity is low, and the resin cured by ultraviolet light tends to remain during baking, deteriorating the performance of display elements as impurities in barrier ribs. There was a problem of letting it.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】プラズマディスプレイ
パネル等のガス放電表示パネルの製造には、表示セル用
のバリアリブの形成が必要である。従来のバリアリブの
形成方法、例えば、スクリーン印刷法では、パターン幅
の精度が悪く、所定の高さのバリアリブ形状にするのに
複数回の重ね合わせ印刷が必要で、パターンのピッチず
れが大きい。サンドブラスト法では、材料の利用効率が
低い。感光性ペースト法では、ペーストの利用効率が低
く、一回で所定の高さのバリアリブを形成するのが困難
であり、感光性樹脂の熱分解残渣がバリアリブ中に残留
する。また、リフトオフ法では感光性樹脂にコストがか
かることや一回で所定の高さのバリアリブを形成するの
が困難である。型プレス法では型のコストがかかるとと
もに、位置精度が悪い。このように、従来のバリアリブ
の形成方法では各種の問題があった。また、ガラスペー
ストを基板にコートしてから溝を有するロールで圧接し
て成形する方法では、ペーストが流動し易く、成形後に
変形するとの問題があった。この問題を解決する加熱ロ
ールで溶剤を蒸発させる方法では、ロール温度が高く装
置コストが高くなるという問題があった。やはり、前記
問題を解決する感光性ペーストを用いる方法では、感光
性ペースト中の樹脂の熱分解残渣がバリアリブ中に残留
するという問題があった。
In manufacturing a gas discharge display panel such as a plasma display panel, it is necessary to form a barrier rib for a display cell. In a conventional method for forming a barrier rib, for example, a screen printing method, the accuracy of the pattern width is poor, a plurality of overlapping printings are required to form a barrier rib having a predetermined height, and the pattern pitch shift is large. In the sandblasting method, material utilization efficiency is low. In the photosensitive paste method, the utilization efficiency of the paste is low, and it is difficult to form a barrier rib having a predetermined height at one time, and a thermal decomposition residue of the photosensitive resin remains in the barrier rib. Also, in the lift-off method, the cost of the photosensitive resin is high, and it is difficult to form a barrier rib having a predetermined height at one time. In the die press method, the cost of the die is high and the positional accuracy is poor. As described above, the conventional method for forming the barrier rib has various problems. Further, in the method in which a glass paste is applied to a substrate and then pressed by a roll having a groove to form the paste, there is a problem that the paste easily flows and is deformed after the molding. The method of evaporating the solvent with a heating roll that solves this problem has a problem that the roll temperature is high and the apparatus cost is high. Also, in the method using a photosensitive paste that solves the above-described problem, there is a problem in that the thermal decomposition residue of the resin in the photosensitive paste remains in the barrier ribs.

【0013】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、少ない工程で所定の高さのバ
リアリブを精度良く形成でき、材料の利用効率も高いバ
リアリブを有する基板の製造方法を提供するものであ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and is capable of accurately forming a barrier rib having a predetermined height in a small number of steps and manufacturing a substrate having a barrier rib having a high material use efficiency. It provides a method.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明に係わる第1のバ
リアリブを有する基板の製造方法は、セラミックフィラ
ーとガラス粉体とバインダーと有機溶剤との混合物から
なるペーストを基板上に所定量流下し、バリアリブ形状
の溝を有する冷却されたロールを回転させながら上記ペ
ーストに圧力を加え、上記ペーストを上記基板にコーテ
ィングすると同時にバリアリブ前駆体を成形することで
ある。
According to the first method of manufacturing a substrate having barrier ribs according to the present invention, a predetermined amount of a paste composed of a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent is caused to flow down onto the substrate. Pressure is applied to the paste while rotating a cooled roll having grooves in the form of barrier ribs to coat the paste on the substrate and simultaneously form a barrier rib precursor.

【0015】本発明に係わる第2のバリアリブを有する
基板の製造方法は、上記第1のバリアリブを有する基板
の製造方法において、ロール温度をペースト温度より略
20℃以上低く設定してペーストを冷却しながらバリア
リブ前駆体を成形することである。
The method of manufacturing a substrate having a second barrier rib according to the present invention is the method of manufacturing a substrate having the first barrier rib described above, wherein the paste is cooled by setting the roll temperature to be at least about 20 ° C. lower than the paste temperature. While forming the barrier rib precursor.

【0016】本発明に係わる第3のバリアリブを有する
基板の製造方法は、セラミックフィラーとガラス粉体と
バインダーと有機溶剤との混合物からなるペーストを基
板上に所定量設置し、バリアリブ形状の溝を有し、上記
ペーストが流動する温度に加熱されたロールを回転させ
ながら上記ペーストに圧力を加え、上記ペーストを上記
基板にコーティングすると同時にバリアリブ前駆体を成
形することである。
According to a third method of manufacturing a substrate having barrier ribs according to the present invention, a predetermined amount of a paste composed of a mixture of a ceramic filler, glass powder, a binder and an organic solvent is placed on a substrate to form a barrier rib-shaped groove. Pressure is applied to the paste while rotating a roll heated to a temperature at which the paste flows, so that the paste is coated on the substrate and a barrier rib precursor is formed at the same time.

【0017】本発明に係わる第4のバリアリブを有する
基板の製造方法は、上記第3のバリアリブを有する基板
の製造方法において、ロール温度を基板上に設置された
ペースト温度より略20〜30℃高く設定して、ロール
との接触時にペーストを流動させながらバリアリブ前駆
体を成形することである。
According to the fourth method of manufacturing a substrate having barrier ribs according to the present invention, in the method of manufacturing a substrate having third barrier ribs described above, the roll temperature is higher by about 20 to 30 ° C. than the temperature of the paste installed on the substrate. That is, the barrier rib precursor is formed while flowing the paste when the paste is in contact with the roll.

【0018】本発明に係わる第5のバリアリブを有する
基板の製造方法は、セラミックフィラーとガラス粉体と
バインダーと有機溶剤との混合物からなるペーストを基
板上に所定量流下し、バリアリブ形状の溝を有するロー
ルを回転させながら上記ペーストに圧力を加え、上記ペ
ーストを上記基板にコーティングすると同時にバリアリ
ブ前駆体を成形し、この直後に上記バインダー対して溶
解度が低く、上記有機溶剤と相溶する溶剤を上記バリア
リブ前駆体に噴霧塗布することである。
According to a fifth method of manufacturing a substrate having barrier ribs according to the present invention, a paste comprising a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent is caused to flow on the substrate by a predetermined amount to form a barrier rib-shaped groove. Pressure is applied to the paste while rotating the roll having the barrier rib precursor formed at the same time as coating the paste on the substrate, and immediately after this, the solvent having low solubility in the binder and compatible with the organic solvent is used as the solvent. Spray coating on the barrier rib precursor.

【0019】本発明に係わる第6のバリアリブを有する
基板の製造方法は、セラミックフィラーとガラス粉体と
バインダーと有機溶剤との混合物からなり、電圧印加に
より粘度が低下する負のエレクトロレオロジー流体のペ
ーストを基板上に所定量設置し、バリアリブ形状の溝を
有する電圧が印加されたロールを回転させながら上記ペ
ーストに圧力を加え、上記ペーストを上記基板にコーテ
ィングすると同時にバリアリブ前駆体を成形することで
ある。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method for producing a substrate having a barrier rib, comprising a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent, the paste of a negative electrorheological fluid whose viscosity is reduced by applying a voltage. Is placed on the substrate in a predetermined amount, pressure is applied to the paste while rotating a roll having a voltage having a barrier rib-shaped groove, and the paste is coated on the substrate and simultaneously a barrier rib precursor is formed. .

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を、
図を用いて詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below.
This will be described in detail with reference to the drawings.

【0021】実施の形態1.図1は、実施の形態1のバ
リアリブを有する基板の製造方法におけるバリアリブ前
駆体を成形する各工程を示す模式図であり、図2は、円
周溝を有するロ−ルの模式図であり、図3は成形された
バリアリブを有する基板の上面模式図(a)と、この上
面模式図におけるC−C断面の模式図(b)である。図
において、1は基板、2はペースト、3はバリアリブ前
駆体、4はバリアリブ、5はバリアリブを有する基板、
10は成形装置、11は支持台、12はロール、13は
円周溝、14は冷却ユニットである。
Embodiment 1 FIG. 1 is a schematic view showing each step of forming a barrier rib precursor in a method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic view of a roll having a circumferential groove. FIG. 3A is a schematic top view of a substrate having a formed barrier rib, and FIG. 3B is a schematic view of a cross section taken along line CC of the schematic top view. In the figure, 1 is a substrate, 2 is a paste, 3 is a barrier rib precursor, 4 is a barrier rib, 5 is a substrate having a barrier rib,
10 is a molding device, 11 is a support, 12 is a roll, 13 is a circumferential groove, and 14 is a cooling unit.

【0022】本実施の形態では、まず、セラミック粉体
とガラス粉体とバインダーと溶剤とを混合した50℃以
上で流動するペースト2を調製する。次に、図1に示す
ように、50〜60℃に予熱した基板1を成形装置10
の支持台11にセットする(a)。次に、50〜60℃
に加熱して流動状態にしたペースト2を、50〜60℃
に予熱した基板1の端に流下すると同時に、バリアリブ
4に対応する所定の間隔で、所定の幅と深さの円周溝1
3を有するロール12を、ペースト2に当接させ加圧し
ながら回転させる(b)。この時、ロ−ル12は冷却ユ
ニット14からの冷媒により10℃以下に冷却されてお
り、ペースト2は、基板1にコーティングされるととも
に、常温(25℃)以下に冷却される。ペースト2は、
ロール12による成形時は十分な流動性をもっており、
ロ−ル12の円周溝13に入り込み、バリアリブ前駆体
3の形状に賦形される。そして、ぺ−スト2は、ロ−ル
で成形されると、冷却され、その粘度が増大し、バリア
リブ前駆体3の形状が保持される。次に、溶剤を乾燥
後、450〜600℃で10分間の焼成処理により、精
度の優れた所定寸法のバリアリブを有する基板5が形成
される。
In the present embodiment, first, a paste 2 is prepared by mixing a ceramic powder, a glass powder, a binder and a solvent and flowing at 50 ° C. or higher. Next, as shown in FIG. 1, the substrate 1 preheated to 50 to 60 ° C.
(A). Next, 50-60 ° C
Paste 2 in a fluidized state by heating to 50-60 ° C.
At the same time as flowing down to the end of the substrate 1 which has been preheated, and at a predetermined interval corresponding to the barrier rib 4, a circumferential groove 1 having a predetermined width and a predetermined depth.
The roll 12 having the roller 3 is rotated while pressing against the paste 2 (b). At this time, the roll 12 is cooled to 10 ° C. or lower by the refrigerant from the cooling unit 14, and the paste 2 is coated on the substrate 1 and cooled to room temperature (25 ° C.) or lower. Paste 2
At the time of molding by the roll 12, it has sufficient fluidity,
It enters the circumferential groove 13 of the roll 12 and is shaped into the barrier rib precursor 3. When the paste 2 is formed by a roll, it is cooled, its viscosity increases, and the shape of the barrier rib precursor 3 is maintained. Next, after the solvent is dried, the substrate 5 having barrier ribs of predetermined dimensions with excellent precision is formed by a baking treatment at 450 to 600 ° C. for 10 minutes.

【0023】ここで、ロール12の加圧力は、例えば、
ロール12の軸方向のペースト2との接触長さ1cmあ
たり0.5〜5kg程度であり、好ましくは0.5〜
2.5kg程度で、接触長さ100cmで50〜500
kg、好ましくは50〜250kgである。すなわち、
成形時に流動性のあるペースト2が用いられるので、小
さい加圧力でバリアリブ前駆体3が成形できる。
Here, the pressing force of the roll 12 is, for example,
The contact length of the roll 12 with the paste 2 in the axial direction is about 0.5 to 5 kg per 1 cm, preferably 0.5 to 5 kg.
About 2.5kg, 50-500 for 100cm contact length
kg, preferably 50-250 kg. That is,
Since the fluid paste 2 is used at the time of molding, the barrier rib precursor 3 can be molded with a small pressing force.

【0024】さらに、ロール12の材質は、ペースト2
の冷却の容易さおよびペースト2に含まれる大量の硬質
粒子に対する耐摩耗性の観点から、金属が好ましく、例
えば、ステンレス鋼または表面に硬質クロムめっきした
焼き入れ鋼あるいは高強度鋼などが好ましい。さらに、
ペースト2とロール12との離型性を向上させるため、
四フッ化エチレンの樹脂をコートしたロ−ルも使用でき
る。
The material of the roll 12 is paste 2
From the viewpoints of ease of cooling and wear resistance to a large amount of hard particles contained in the paste 2, metals are preferable, and for example, stainless steel, hardened steel whose surface is hard chromium-plated, or high-strength steel is preferable. further,
In order to improve the releasability of the paste 2 and the roll 12,
Rolls coated with ethylene tetrafluoride resin can also be used.

【0025】ペースト2用のガラス粉体は、PbOを主
成分とした低融点ガラスフリットである。この低融点ガ
ラスフリットは、主成分としてPbOを50%以上含
み、ガラスの分離を防止したり、軟化点を調整したりす
るため、Al2O3、B2O3、SiO2、MgO、C
aO、SrO、BaO等を含有するものが一般に用いら
れる。低融点ガラスフリットの軟化点は、350〜65
0℃のものが好ましい。ガラスフリットの軟化点が65
0℃を超えると焼成温度を高くする必要があり、焼成時
の昇温に時間がかかり、製造時間が長くなるので好まし
くなく、また、350℃より低いとバインダー樹脂が分
解、揮発する前にガラスフリットが融着し、バリアリブ
4中に空隙が生じるので好ましくない。
The glass powder for the paste 2 is a low melting point glass frit containing PbO as a main component. This low-melting glass frit contains PbO as a main component in an amount of 50% or more, and prevents Al2O3, B2O3, SiO2, MgO, C
Those containing aO, SrO, BaO and the like are generally used. The softening point of the low melting glass frit is 350-65
Those at 0 ° C. are preferred. Softening point of glass frit is 65
If the temperature exceeds 0 ° C., it is necessary to raise the firing temperature, and it takes a long time to raise the temperature during firing, and the production time is undesirably long. It is not preferable because the frit is fused and a gap is formed in the barrier rib 4.

【0026】ペースト2には、焼成時の形状を安定させ
るため、セラミックフィラーも混合されている。このセ
ラミックフィラーとしては、500〜650℃程度の焼
成温度で軟化しないものが広く使用でき、アルミナ、マ
グネシア、カルシア、コージライト、シリカ、ムライ
ト、ジルコン、ジルコニア等のセラミックのフィラーが
好適に用いられる。
The paste 2 also contains a ceramic filler to stabilize the shape during firing. As the ceramic filler, those that do not soften at a firing temperature of about 500 to 650 ° C. can be widely used, and ceramic fillers such as alumina, magnesia, calcia, cordierite, silica, mullite, zircon, and zirconia are preferably used.

【0027】セラミックフィラーとガラス粉体とで構成
される無機成分中の低融点ガラスの含有率は50〜80
重量%、より好ましくは50〜70重量%である。この
含有率が多すぎると焼成による形状保持性に難が生じ
る。逆に少なすぎると、セラミックフィラーの間隙を充
分に埋めることができず、緻密性が悪化すると同時に焼
成後の機械強度が低下しパネル封着の際に欠けを生じ
る。
The content of the low melting point glass in the inorganic component composed of the ceramic filler and the glass powder is 50 to 80.
%, More preferably 50 to 70% by weight. If the content is too large, it will be difficult to maintain shape by firing. On the other hand, if the amount is too small, the gaps between the ceramic fillers cannot be sufficiently filled, and the compactness deteriorates, and at the same time, the mechanical strength after firing decreases, resulting in chipping during panel sealing.

【0028】バインダーには、低温で燃焼、分解、気化
し、炭化物がバリアリブ4中に残存しないことが必要で
あり、エチルセルロース、メチルセルロース、ニトロセ
ルロース、セルロースアセテート、セルロースプロピオ
ネート、セルロースブチレート等のセルロース系樹脂、
又は、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)ア
クリレート、ノルマルブチル(メタ)アクリレート、イ
ソブチル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)
アクリレート、2−エチルメチル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の重
合体もしくは共重合体からなるアクリル系樹脂、ポリ−
α−メチルスチレン、ポリビニルアルコール、ポリブテ
ン等が好ましく用いられる。これらバインダーに用いら
れる樹脂は、無機成分に対して、2.5〜5.0重量%
程度の割合で加えるのが、好ましい。この割合が2.5
重量%未満では、ペースト2の流動性が乏しく、精度の
良いバリアリブ前駆体3を形成できず、逆に、5重量%
より多いと、ペースト2が成形時に流動しすぎて、ロー
ルにて冷却しながらバリアリブ前駆体3を成形しても、
バリアリブ前駆体3が流動して形状を保持することがで
きない。
It is necessary that the binder burn, decompose and vaporize at a low temperature, and that no carbides remain in the barrier ribs 4. Cellulosic resin,
Or, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, normal butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, isopropyl (meth)
Acrylic resin composed of a polymer or copolymer such as acrylate, 2-ethylmethyl (meth) acrylate, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate;
α-Methylstyrene, polyvinyl alcohol, polybutene and the like are preferably used. The resin used for these binders is 2.5 to 5.0% by weight based on the inorganic component.
It is preferable to add them in a ratio of the order. This ratio is 2.5
If the amount is less than 5% by weight, the fluidity of the paste 2 is poor, and the barrier rib precursor 3 with high accuracy cannot be formed.
If more, the paste 2 flows too much at the time of molding, and even if the barrier rib precursor 3 is molded while cooling with a roll,
The barrier rib precursor 3 flows and cannot maintain the shape.

【0029】ペースト2に使用される溶剤は、用いるバ
インダーの樹脂に対して良溶媒であることが好ましく、
テルピネオール、ブチルカルビトールアセテート、ブチ
ルカルビトール等が好適に使用される。ペースト2に添
加する溶剤の割合は、無機成分に対して5〜10重量%
が好ましい。この溶剤の割合が少なすぎると、ペースト
2の粘度が高くなりすぎ、バリアリブ前駆体3中に気泡
が残るようになる。また、多すぎると、ペースト2の流
動性が大きくなり、バリアリブ前駆体3の形状を保持で
きなくなる。
The solvent used for the paste 2 is preferably a good solvent for the binder resin used.
Terpineol, butyl carbitol acetate, butyl carbitol and the like are preferably used. The ratio of the solvent added to the paste 2 is 5 to 10% by weight based on the inorganic component.
Is preferred. If the proportion of the solvent is too small, the viscosity of the paste 2 becomes too high, and air bubbles remain in the barrier rib precursor 3. On the other hand, if the amount is too large, the fluidity of the paste 2 increases, and the shape of the barrier rib precursor 3 cannot be maintained.

【0030】実施の形態2.図4は、実施の形態2のバ
リアリブを有する基板の製造方法におけるバリアリブ前
駆体を成形する各工程を示す模式図であり、図4におい
て、15は加熱ユニットである。
Embodiment 2 FIG. FIG. 4 is a schematic view showing each step of forming a barrier rib precursor in the method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to the second embodiment. In FIG. 4, reference numeral 15 denotes a heating unit.

【0031】本実施の形態では、まず、セラミック粉体
とガラス粉体とバインダーと溶剤とを混合した50℃以
上で流動するペースト2を調製する。次に、図4に示す
ように、基板1を成形装置10の支持台11にセットす
る(a)。次に、50〜60℃に加熱して流動状態にし
たペースト2を、常温(25℃)の基板1の端に流下
し、ペースト2が常温になるまで置いて、基板1の端部
にペースト2の溜まりを設ける(b)。次に、バリアリ
ブ3に対応する所定の間隔で、所定の幅と深さの円周溝
13を有するロール12を、ペースト2に当接させ加圧
しながら回転させる(c)。この時、ロ−ル12は加熱
ユニット15からの熱媒によりペースト2の温度(25
℃)より20〜30℃高い温度に加熱されており、ペー
スト2は、基板1にコーティングされるとともに、加熱
される。すなわち、ペースト2は、ロ−ル12に接触さ
れることにより、加熱され、粘度が下がり、ロール12
の円周溝13に入り込み、バリアリブ前駆体3の形状に
賦形される。成形後は、ペースト2の温度が下がり、そ
の形状が保持される。次に、溶剤を乾燥後、450〜6
00℃で10分間の焼成処理により、精度の良い所定寸
法のバリアリブを有する基板5が形成される。
In this embodiment, first, a paste 2 is prepared by mixing a ceramic powder, a glass powder, a binder and a solvent and flowing at a temperature of 50 ° C. or higher. Next, as shown in FIG. 4, the substrate 1 is set on the support 11 of the molding apparatus 10 (a). Next, the paste 2 heated to a temperature of 50 to 60 ° C. to be in a fluidized state is allowed to flow down to the end of the substrate 1 at room temperature (25 ° C.). 2 is provided (b). Next, a roll 12 having a circumferential groove 13 having a predetermined width and depth at a predetermined interval corresponding to the barrier rib 3 is rotated while being pressed against the paste 2 (c). At this time, the roll 12 is heated by the heat medium from the heating unit 15 to the temperature (25
C.), the paste 2 is heated to a temperature higher by 20 to 30 ° C., and the paste 2 is coated on the substrate 1 and heated. That is, the paste 2 is heated by being brought into contact with the roll 12, and the viscosity thereof is reduced.
And is shaped into the barrier rib precursor 3. After the molding, the temperature of the paste 2 decreases, and the shape is maintained. Next, after drying the solvent, 450 to 6
By performing the baking treatment at 00 ° C. for 10 minutes, the substrate 5 having barrier ribs of a predetermined size with high accuracy is formed.

【0032】本実施の形態において、バリアリブ前駆体
を成形する工程の(b)では、50〜60℃に加熱して
流動状態としたペースト2を、基板1上に流下して、ペ
ースト2の溜まりを基板1の端部に設けたが、常温の高
粘度でパテ状のペースト2をそのまま、基板1の端部に
設置しても良い。
In the present embodiment, in the step (b) of forming the barrier rib precursor, the paste 2 which has been heated to 50 to 60 ° C. and is in a fluid state is allowed to flow down onto the substrate 1 and the paste 2 is accumulated. Is provided at the end of the substrate 1, but the putty paste 2 in a high viscosity at room temperature may be directly placed at the end of the substrate 1.

【0033】本実施の形態に用いられるロ−ル12の加
圧力、ロール12の材質は実施の形態1と同様である。
すなわち、ロールは、その材質が硬度の高い金属である
ので、熱伝導性が優れておりペーストの加熱が容易であ
る。それと、ペーストが、成形時に加熱され、流動性が
発現するため、低い加圧力でバリアリブ前駆体3を成形
できる。さらに、本実施の形態に用いられるペースト2
のガラス粉末、セラミックフィラ−、バインダーの樹
脂、及び溶剤も実施の形態1と同様なものである。
The pressing force of the roll 12 and the material of the roll 12 used in this embodiment are the same as those in the first embodiment.
That is, since the roll is made of a metal having a high hardness, the roll has excellent heat conductivity and the paste can be easily heated. In addition, since the paste is heated at the time of molding, and the fluidity is developed, the barrier rib precursor 3 can be molded with a low pressing force. Furthermore, paste 2 used in the present embodiment
The glass powder, the ceramic filler, the resin of the binder, and the solvent are the same as those in the first embodiment.

【0034】実施の形態3 図5は、実施の形態3のバリアリブを有する基板の製造
方法におけるバリアリブ前駆体を成形する各工程を示す
模式図であり、図5において、16は溶剤スプレ−ユニ
ット、17はノズルである。
Third Embodiment FIG. 5 is a schematic diagram showing each step of forming a barrier rib precursor in a method of manufacturing a substrate having a barrier rib according to a third embodiment. In FIG. 5, reference numeral 16 denotes a solvent spray unit; 17 is a nozzle.

【0035】本実施の形態では、まず、セラミック粉体
とガラス粉体とバインダーと溶剤とを混合した常温(2
5℃)で流動するペースト2を調製する。次に、図5に
示すように、基板1を成形装置10の支持台11にセッ
トする(a)。次に、このペースト2を、常温(25
℃)の基板1の端に流下すると同時に、バリアリブ4に
対応する所定の間隔で、所定の幅と深さの円周溝13を
有するロール12を、ペースト2に当接させ加圧しなが
ら回転させる(b)。次に、ロ−ル12より成形された
直後のバリアリブ前駆体3に、溶剤スプレ−ユニット1
6のノズル17より、ペースト2に用いた溶剤には溶解
するが、ペースト2のバインダーには溶解しない溶剤を
スプレーする(c)。すなわち、ペースト2は、流動性
があるので、ロールにより基板1にコーティングされる
とともに、円周溝13に入り込み、バリアリブ前駆体3
の形状に賦形される。そして、溶剤スプレーユニット1
6のノズル17からスプレーされた溶剤により、バリア
リブ前駆体表面のバインダー樹脂が、溶剤に対する溶解
度を低下させ、バリアリブ前駆体3は、その表面に皮膜
が形成されて、形状を保持される。次に、溶剤を乾燥
後、450〜600℃で10分間の焼成処理により、精
度の優れた所定寸法のバリアリブを有する基板5が形成
される。
In the present embodiment, first, a ceramic powder, a glass powder, a binder and a solvent are mixed at room temperature (2.
5 ° C.) is prepared. Next, as shown in FIG. 5, the substrate 1 is set on the support 11 of the molding apparatus 10 (a). Next, this paste 2 was placed at room temperature (25
C), and at the same time, a roll 12 having a circumferential groove 13 having a predetermined width and depth at a predetermined interval corresponding to the barrier rib 4 is rotated while being pressed against the paste 2 and pressed. (B). Next, the solvent spray unit 1 is added to the barrier rib precursor 3 immediately after being formed from the roll 12.
From the nozzle 17 of No. 6, a solvent that dissolves in the solvent used for the paste 2 but does not dissolve in the binder of the paste 2 is sprayed (c). That is, since the paste 2 has fluidity, the paste 2 is coated on the substrate 1 by a roll and enters the circumferential groove 13 to form the barrier rib precursor 3.
It is shaped into a shape. And the solvent spray unit 1
The binder resin on the surface of the barrier rib precursor reduces the solubility in the solvent by the solvent sprayed from the nozzle 17 of No. 6, and the barrier rib precursor 3 is formed into a film on its surface, and the shape is maintained. Next, after the solvent is dried, a substrate 5 having barrier ribs having predetermined dimensions with excellent precision is formed by a baking treatment at 450 to 600 ° C. for 10 minutes.

【0036】本実施の形態に用いられるロ−ル12の加
圧力、ロール12の材質は実施の形態1と同様である。
さらに、本実施の形態に用いられるペースト2のガラス
粉末、セラミックフィラ−、バインダーの樹脂、及び溶
剤も実施の形態1と同様なものである。ただし、バイン
ダーに用いられる溶剤の添加量の割合は、無機成分に対
して、10重量%を超え、25重量%までである。バイ
ンダーに用いられる溶剤の割合が10重量%以下だと常
温でのペースト2の流動性が乏しく、逆に25重量%を
超えると、バリアリブ前駆体3において、ガラス粉末な
どの無機成分の沈降が起こり、バリアリブ前駆体3の形
状保持が困難になるとともに、焼成時にバイリアリブ4
の先端部の収縮が大きくなりバリアリブ4の精度が悪く
なる。
The pressing force of the roll 12 and the material of the roll 12 used in the present embodiment are the same as those in the first embodiment.
Further, the glass powder of the paste 2, the ceramic filler, the resin of the binder, and the solvent used in the present embodiment are the same as those in the first embodiment. However, the ratio of the amount of the solvent used for the binder is more than 10% by weight and up to 25% by weight based on the inorganic component. If the ratio of the solvent used for the binder is 10% by weight or less, the fluidity of the paste 2 at room temperature is poor, and if it exceeds 25% by weight, the precipitation of inorganic components such as glass powder occurs in the barrier rib precursor 3. In addition, it becomes difficult to maintain the shape of the barrier rib precursor 3 and the barrier ribs 4 during firing.
Of the barrier ribs 4 is deteriorated, and the accuracy of the barrier ribs 4 is deteriorated.

【0037】本実施の形態に用いられるスプレー用の溶
剤は、ペースト2に用いた溶剤には溶解するが、ペース
ト2のバインダーには溶解しない溶剤であり、好ましく
は、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルア
ルコール等のアルコール類、あるいはこれらアルコール
と水との混合溶剤が用いられる。しかし、ペースト2に
用いる溶剤には溶解するが、ペースト2のバインダーに
は溶解しない溶剤であれば、これら溶剤に限定されるも
のではない。
The spraying solvent used in the present embodiment is a solvent which is soluble in the solvent used for the paste 2 but is insoluble in the binder of the paste 2, and is preferably methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl Alcohols such as alcohols, or mixed solvents of these alcohols and water are used. However, the solvent is not limited to these solvents as long as it is soluble in the solvent used for the paste 2 but is not soluble in the binder of the paste 2.

【0038】実施の形態4.図6は、実施の形態4のバ
リアリブを有する基板の製造方法におけるバリアリブ前
駆体を成形する各工程を示す模式図であり、図6におい
て、18は電極、19は電源ユニットである。
Embodiment 4 FIG. FIG. 6 is a schematic view showing each step of forming a barrier rib precursor in the method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to the fourth embodiment. In FIG. 6, reference numeral 18 denotes an electrode, and 19 denotes a power supply unit.

【0039】本実施の形態では、まず、セラミック粉体
とガラス粉体とバインダーと溶剤とを混合した電圧印加
により粘度が低下する負のエレクトロレオロジー流体の
ペースト2を調製する。次に、図6に示すように、周囲
に電極を有する基板1が、成形装置10の支持台11に
設置される(a)。次に、常温では高粘度で自然流動し
ないペースト2が、基板1の一端に、電極18と接触さ
せた状態で設置される(b)。次に、バリアリブ4に対
応する所定の間隔で、所定の幅と深さの円周溝13を有
するロール12を、ペースト2に当接させ加圧しながら
回転させる(C)。この時、ロ−ル12と電極18の間
に電圧が印加され、ペースト2の粘度が低下し、ロ−ル
12の円周溝13にペースト2が入り込み、バリアリブ
前駆体3の形状に賦形される。また、ロール12がペー
スト2から離れると、電圧印加がなくなり、ペースト2
の粘度が増加し、バリアリブ前駆体3の形状を保持す
る。すなわち、ペースト2に負のエレクトロレオロジー
流体を用い、成形時にロ−ル12と電極18との間に電
圧を印加することにより、成形時にペースト2はその粘
度を低下させ、バリアリブ前駆体3形状に賦形される。
成形後は電圧印加が除かれてペースト2は粘度を増加さ
せ、バリアリブ前駆体3の形状が保持される。次に、溶
剤を乾燥後、450〜600℃で10分間の焼成処理に
より、所定寸法のバリアリブを有する基板5が形成され
る。
In the present embodiment, first, a paste 2 of a negative electrorheological fluid whose viscosity is reduced by applying a voltage obtained by mixing a ceramic powder, a glass powder, a binder and a solvent is prepared. Next, as shown in FIG. 6, the substrate 1 having electrodes around it is placed on a support 11 of a molding apparatus 10 (a). Next, the paste 2 which has a high viscosity at room temperature and does not flow naturally is placed on one end of the substrate 1 in a state of being in contact with the electrode 18 (b). Next, a roll 12 having a circumferential groove 13 having a predetermined width and depth at a predetermined interval corresponding to the barrier rib 4 is rotated while being pressed against the paste 2 (C). At this time, a voltage is applied between the roll 12 and the electrode 18, the viscosity of the paste 2 decreases, the paste 2 enters the circumferential groove 13 of the roll 12, and is shaped into the barrier rib precursor 3. Is done. Further, when the roll 12 separates from the paste 2, the voltage application is stopped, and the paste 2 is removed.
Increases, and the shape of the barrier rib precursor 3 is maintained. That is, by using a negative electrorheological fluid for the paste 2 and applying a voltage between the roll 12 and the electrode 18 at the time of molding, the viscosity of the paste 2 is reduced at the time of molding, and the paste 2 is formed into a barrier rib precursor 3 shape. Shaped.
After the molding, the application of the voltage is removed and the viscosity of the paste 2 is increased, and the shape of the barrier rib precursor 3 is maintained. Next, after drying the solvent, the substrate 5 having barrier ribs of a predetermined size is formed by a baking treatment at 450 to 600 ° C. for 10 minutes.

【0040】本実施の形態に用いられるロ−ル12の加
圧力は実施の形態1と同様である。ロ−ルの材質は、金
属が好ましく、例えば、ステンレス鋼または表面に硬質
クロムめっきした焼き入れ鋼あるいは高強度鋼などが好
適である。すなわち、ロ−ル12が金属であり、ペース
ト2に電圧を印加して、その粘度を下げるのに好まし
い。さらに、本実施の形態のペースト2に用いられるガ
ラス粉末とセラミックフィラ−も実施の形態1と同様な
もである。
The pressing force of the roll 12 used in the present embodiment is the same as in the first embodiment. The material of the roll is preferably a metal, for example, stainless steel, hardened steel with hard chrome plating on the surface, or high-strength steel is suitable. That is, the roll 12 is a metal, which is preferable for applying a voltage to the paste 2 to reduce its viscosity. Further, the glass powder and the ceramic filler used in the paste 2 of the present embodiment are the same as those of the first embodiment.

【0041】本実施の形態において、ペースト2に用い
られるバインダーは、エチルセルロース、メチルセルロ
ース、ニトロセルロース、セルロースアセテート、セル
ロースプロピオネート、セルロースブチレート等のセル
ロース系樹脂とアルコール変成ポリウレタン樹脂とを重
量比で2対1の割合で配合したものが好適に用いられ
る。その配合量は実施の形態1と同様である。ペースト
2に用いられる溶剤も、実施の形態1と同様なものであ
る。
In the present embodiment, the binder used for paste 2 is a weight ratio of a cellulose resin such as ethyl cellulose, methyl cellulose, nitrocellulose, cellulose acetate, cellulose propionate, cellulose butyrate and an alcohol-modified polyurethane resin. Those blended at a ratio of 2: 1 are preferably used. The compounding amount is the same as in the first embodiment. The solvent used for paste 2 is the same as that in the first embodiment.

【0042】本実施の形態では、ロール12と電極18
との間に、1〜5kvの電圧が印加される。この電圧が
1kv未満では、ペースト2の粘度低下が小さく、バリ
アリブ前駆体3の成形が困難となる。逆に、この電圧が
5kvより高いと、ロール12と電極18との間で短絡
を生じるので好ましくない。
In the present embodiment, the roll 12 and the electrode 18
During this time, a voltage of 1 to 5 kv is applied. If the voltage is less than 1 kv, the viscosity of the paste 2 is small and the formation of the barrier rib precursor 3 becomes difficult. Conversely, if the voltage is higher than 5 kv, a short circuit occurs between the roll 12 and the electrode 18, which is not preferable.

【0043】[0043]

【実施例】次に、本発明について実施例を用いてさらに
詳細に説明する。 実施例1.70重量部の主成分が酸化鉛のガラス粉体
と、20重量部のアルミナと10重量部のシリカとから
なるセラミックフィラーと、3重量部のエチルセルロー
スのバインダー樹脂と、8重量部のブチルカルビトール
の溶剤とで構成されたペーストを調製する。次に、この
ペーストを50℃に加熱して、実施の形態1に示した成
形装置の支持台にセットされた50℃に予熱された基板
上に所定量流下する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples. Example 1. 70 parts by weight of a glass powder mainly composed of lead oxide, 20 parts by weight of a ceramic filler composed of alumina and 10 parts by weight of silica, 3 parts by weight of a binder resin of ethyl cellulose, and 8 parts by weight Of butyl carbitol in a solvent. Next, this paste is heated to 50 ° C., and is poured by a predetermined amount onto a substrate preheated to 50 ° C. set on the support of the molding apparatus described in the first embodiment.

【0044】次に、直径が20cmであり、長さが10
0cmで、円周に開口部の巾80μm、底部の巾50μ
m、深さ180μmの溝を有するステンレス製のロール
を用いて、基板上に流下したペーストを成形する。この
場合のロールの加圧力は、ペーストとの接触長さ1cm
あたり1kg、すなわち、100kgであり、また、ロ
ールの温度は、冷却ユニットの冷媒により冷却されてお
り、10℃である。このような方法で成形したバリアリ
ブ前駆体の溶剤を乾燥した後、500℃で10分間焼成
し、バリアリブを有する基板が得られる。得られたバリ
アリブを有する基板におけるバリアリブの形状は、高さ
が130μm、中間高さの巾が80μmであった。
Next, the diameter is 20 cm and the length is 10 cm.
0cm, 80μm wide at the opening and 50μ wide at the bottom
The paste flowing down on the substrate is formed using a stainless steel roll having a groove having a depth of 180 μm and a depth of 180 μm. In this case, the pressing force of the roll is 1 cm in contact length with the paste.
The weight of the roll is 1 kg, that is, 100 kg, and the temperature of the roll is 10 ° C., which is cooled by the refrigerant of the cooling unit. After drying the solvent of the barrier rib precursor formed by such a method, it is baked at 500 ° C. for 10 minutes to obtain a substrate having barrier ribs. The shape of the barrier ribs in the obtained substrate having barrier ribs was 130 μm in height and 80 μm in width at the intermediate height.

【0045】実施例2.実施例1と同様のペーストを調
整する。次に、このペーストを50℃に加熱して、実施
の形態2に示した成形装置の支持台にセットされた常温
の基板上に所定量流下する。流下したペーストの温度が
常温になるまで放置する。
Embodiment 2 FIG. A paste similar to that of Example 1 is prepared. Next, this paste is heated to 50 ° C., and then flows down by a predetermined amount onto a normal-temperature substrate set on the support of the molding apparatus described in the second embodiment. The paste is allowed to stand until the temperature of the paste falls to room temperature.

【0046】次に、直径が20cmであり、長さが10
0cmで、円周に開口部の巾80μm、底部の巾50μ
m、深さ180μmの溝を有するステンレス製のロール
を用いて、基板上に設置されたペーストを成形する。こ
の場合のロールの加圧力は、ペーストとの接触長さ1c
mあたり0.8kg、すなわち、80kgであり、ま
た、ロールの温度は、加熱ユニットの熱媒により加熱さ
れており、50℃である。このような方法で成形したバ
リアリブ前駆体の溶剤を乾燥した後、500℃で10分
間焼成し、バリアリブを有する基板が得られる。得られ
たバリアリブを有する基板におけるバリアリブの形状
は、高さが130μm、中間高さの巾が80μmであっ
た。
Next, the diameter is 20 cm and the length is 10 cm.
0cm, 80μm wide at the opening and 50μ wide at the bottom
The paste placed on the substrate is formed using a stainless steel roll having a groove having a depth of 180 μm and a depth of 180 μm. In this case, the pressing force of the roll is 1 c in contact length with the paste.
0.8 kg per m, that is, 80 kg, and the temperature of the roll is 50 ° C., being heated by the heating medium of the heating unit. After drying the solvent of the barrier rib precursor formed by such a method, it is baked at 500 ° C. for 10 minutes to obtain a substrate having barrier ribs. The shape of the barrier ribs in the obtained substrate having barrier ribs was 130 μm in height and 80 μm in width at the intermediate height.

【0047】実施例3.70重量部の主成分が酸化鉛の
ガラス粉体と、20重量部のアルミナと10重量部のシ
リカとからなるセラミックフィラーと、3重量部のエチ
ルセルロースのバインダー樹脂と、15重量部のブチル
カルビトールの溶剤とで構成されたペーストを調製す
る。次に、このペーストを、実施の形態3に示した成形
装置の支持台にセットされた常温の基板上に所定量流下
する。
Example 3. 70 parts by weight of a glass powder mainly composed of lead oxide, 20 parts by weight of a ceramic filler composed of alumina and 10 parts by weight of silica, 3 parts by weight of a binder resin of ethyl cellulose, A paste composed of 15 parts by weight of a solvent of butyl carbitol is prepared. Next, a predetermined amount of this paste is allowed to flow on a substrate at normal temperature set on the support base of the molding apparatus described in the third embodiment.

【0048】次に、直径が20cmであり、長さが10
0cmで、円周に開口部の巾80μm、底部の巾50μ
m、深さ180μmの溝を有するステンレス製のロール
を用いて、基板上に流下されたペーストを成形する。こ
の場合のロールの加圧力は、ペーストとの接触長さ1c
mあたり0.8kg、すなわち、80kgであり、ま
た、ロールの温度は、常温(25℃)である。次に、ロ
ールで賦形された直後バリアリブ前駆体に、成形装置に
備えられたスプレーユニットのノズルから、50重量%
のエチルアルコールと50重量%水との混合溶媒を噴霧
して、バリアリブ前駆体の形状を保持する。このような
方法で成形したバリアリブ前駆体の溶剤を乾燥した後、
500℃で10分間焼成し、バリアリブを有する基板が
得られる。得られたバリアリブを有する基板におけるバ
リアリブの形状は、高さが125μm、中間高さの巾が
85μmであった。
Next, the diameter is 20 cm and the length is 10 cm.
0cm, 80μm wide at the opening and 50μ wide at the bottom
The paste flowing down on the substrate is formed using a stainless steel roll having a groove having a depth of 180 μm and a length of 180 μm. In this case, the pressing force of the roll is 1 c in contact length with the paste.
0.8 kg per m, that is, 80 kg, and the temperature of the roll is room temperature (25 ° C.). Next, 50% by weight of a barrier rib precursor immediately after being shaped by a roll was added to the barrier rib precursor from a nozzle of a spray unit provided in a molding apparatus.
Is sprayed with a mixed solvent of ethyl alcohol and 50% by weight of water to maintain the shape of the barrier rib precursor. After drying the solvent of the barrier rib precursor formed by such a method,
After baking at 500 ° C. for 10 minutes, a substrate having barrier ribs is obtained. The shape of the barrier ribs in the obtained substrate having barrier ribs was 125 μm in height and 85 μm in width at the intermediate height.

【0049】実施例4.70重量部の主成分が酸化鉛の
ガラス粉体と、20重量部のアルミナと10重量部のシ
リカとからなるセラミックフィラーと、2重量部のエチ
ルセルロースと1重量部のアルコール変成ポリウレタン
樹脂とからなるバインダー樹脂と、8重量部のブチルカ
ルビトールの溶剤とで構成された負のエレクトロレオロ
ジー流体のペーストを調製する。次に、このペーストを
50℃に加熱して、実施の形態4に示した成形装置の支
持台にセットされた常温の基板上の一端に所定量流下し
て設置する。流下したペーストの温度が常温になるまで
放置する。この時、ペーストは基板上の電極に接触され
ように設置される。
Example 4. 70 parts by weight of a glass powder mainly composed of lead oxide, a ceramic filler consisting of 20 parts by weight of alumina and 10 parts by weight of silica, 2 parts by weight of ethyl cellulose and 1 part by weight of A negative electrorheological fluid paste comprising a binder resin comprising an alcohol modified polyurethane resin and a solvent of 8 parts by weight of butyl carbitol is prepared. Next, this paste is heated to 50 ° C., and is flowed down and set at a predetermined amount on one end of a normal-temperature substrate set on the support base of the molding apparatus described in the fourth embodiment. The paste is allowed to stand until the temperature of the paste falls to room temperature. At this time, the paste is placed so as to be in contact with the electrodes on the substrate.

【0050】次に、直径が20cmであり、長さが10
0cmで、円周に開口部の巾80μm、底部の巾50μ
m、深さ180μmの溝を有するステンレス製のロール
を用いて、基板上に設置されたペーストを成形する。こ
の場合のロールの加圧力は、ペーストとの接触長さ1c
mあたり1.5kg、すなわち、150kgであり、ま
た、ロールの温度は、常温(25℃)である。ロールの
温度は常温であるが、ロールと電極との間に2kvの電
圧が印加される。電圧の印加により、ペーストの粘度が
低下し、バリアリブ前駆体が成形される。このような方
法で成形したバリアリブ前駆体の溶剤を乾燥した後、5
00℃で10分間焼成しバリアリブを有する基板が得ら
れる。得られたバリアリブを有する基板におけるバリア
リブの形状は、高さが130μm、中間高さの巾が80
μmであった。
Next, the diameter is 20 cm and the length is 10 cm.
0cm, 80μm wide at the opening and 50μ wide at the bottom
The paste placed on the substrate is formed using a stainless steel roll having a groove having a depth of 180 μm and a depth of 180 μm. In this case, the pressing force of the roll is 1 c in contact length with the paste.
The weight is 1.5 kg per m, that is, 150 kg, and the temperature of the roll is normal temperature (25 ° C.). The temperature of the roll is room temperature, but a voltage of 2 kv is applied between the roll and the electrode. By applying the voltage, the viscosity of the paste is reduced, and the barrier rib precursor is formed. After drying the solvent of the barrier rib precursor formed by such a method, 5
Firing at 00 ° C. for 10 minutes gives a substrate having barrier ribs. The shape of the barrier rib in the obtained substrate having the barrier rib has a height of 130 μm and an intermediate height of 80 μm.
μm.

【0051】上述した、本発明の製造方法は、プラズマ
ディスプレイパネル等のガス放電表示パネルに用いられ
るバリアリブを有する基板に限らず、インクジェットプ
リンターヘッドや光通信用部材などの様々な部材におけ
る精密バリアリブに適用できる。
The manufacturing method of the present invention described above is applicable not only to a substrate having barrier ribs used for a gas discharge display panel such as a plasma display panel but also to a precision barrier rib for various members such as an ink jet printer head and a member for optical communication. Applicable.

【0052】[0052]

【発明の効果】本発明に係わる第1のバリアリブを有す
る基板の製造方法は、セラミックフィラーとガラス粉体
とバインダーと有機溶剤との混合物からなるペーストを
基板上に所定量流下し、バリアリブ形状の溝を有する冷
却されたロールを回転させながら上記ペーストに圧力を
加え、上記ペーストを上記基板にコーティングすると同
時にバリアリブ前駆体を成形することであり、上記ペー
ストを冷却しながら上記バリアリブ前駆体を賦形するの
で、成形された上記バリアリブ前駆体は温度が下がり成
形前より高粘度になり流れ難くなるため、上記バリアリ
ブ前駆体の形状が保たれ、幅が狭く、高さが高い形状精
度の優れたバリアリブを有する基板が得られる。
According to the first method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to the present invention, a paste comprising a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent is flowed down a predetermined amount onto a substrate to form a barrier rib. Applying pressure to the paste while rotating a cooled roll having grooves, coating the paste on the substrate and simultaneously forming a barrier rib precursor, and shaping the barrier rib precursor while cooling the paste. Therefore, the temperature of the formed barrier rib precursor is lowered, the viscosity becomes higher than before the molding, and it becomes difficult to flow.Therefore, the shape of the barrier rib precursor is maintained, the barrier rib is narrow, the height is high, and the barrier rib is excellent in shape accuracy. Is obtained.

【0053】本発明に係わる第2のバリアリブを有する
基板の製造方法は、上記第1のバリアリブを有する基板
の製造方法において、ロール温度をペースト温度より略
20℃以上低く設定してペーストを冷却しながらバリア
リブ前駆体を成形することであり、ペースト温度に比べ
十分に低い温度のロ−ルで冷却しながら上記バリアリブ
前駆体を賦形するので、成形された上記バリアリブ前駆
体は温度が下がり成形前より高粘度になり流れ難くなる
ため、上記バリアリブ前駆体の形状が保たれ、幅が狭
く、高さが高い形状精度の優れたバリアリブを有する基
板が得られる。
The method of manufacturing a substrate having a second barrier rib according to the present invention is the same as the method of manufacturing a substrate having the first barrier rib described above, except that the roll temperature is set to be lower than the paste temperature by at least about 20 ° C. to cool the paste. The barrier rib precursor is formed while cooling with a roll having a temperature sufficiently lower than the paste temperature, so that the formed barrier rib precursor is cooled down before molding. Since the viscosity becomes higher and the flow becomes harder, the shape of the barrier rib precursor is maintained, and a substrate having a narrow width, a high height, and a barrier rib having excellent shape accuracy can be obtained.

【0054】本発明に係わる第3のバリアリブを有する
基板の製造方法は、セラミックフィラーとガラス粉体と
バインダーと有機溶剤との混合物からなるペーストを基
板上に所定量設置し、バリアリブ形状の溝を有し、上記
ペーストが流動する温度に加熱されたロールを回転させ
ながら上記ペーストに圧力を加え、上記ペーストを上記
基板にコーティングすると同時にバリアリブ前駆体を成
形することであり、成形時に上記ロ−ルの温度が高いの
で、上記ペーストは、粘度を低下させ、ロ−ル表面の幅
が狭く、深い溝に入り込むことができ、幅が狭く、高さ
が高い形状精度の優れたバリアリブを有する基板が得ら
れる。
According to the third method of manufacturing a substrate having barrier ribs according to the present invention, a predetermined amount of a paste composed of a mixture of a ceramic filler, glass powder, a binder and an organic solvent is placed on a substrate to form a barrier rib-shaped groove. Pressure is applied to the paste while rotating a roll heated to a temperature at which the paste flows, thereby coating the paste on the substrate and simultaneously forming the barrier rib precursor. Since the paste temperature is high, the paste reduces the viscosity, the width of the roll surface is narrow, and the roll can be inserted into a deep groove. can get.

【0055】本発明に係わる第4のバリアリブを有する
基板の製造方法は、上記第3のバリアリブを有する基板
の製造方法において、ロール温度を基板上に設置された
ペースト温度より略20〜30℃高く設定して、ロール
との接触時にペーストを流動させながらバリアリブ前駆
体を成形することであり、成形時にロ−ルの温度が高い
ので、上記ペーストは、粘度を低下させ、ロ−ル表面の
幅が狭く、深い溝に入り込むことができ、幅が狭く、高
さが高い形状精度の優れたバリアリブを保有する基板が
得られる。
According to the fourth method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to the present invention, in the method for manufacturing a substrate having third barrier ribs described above, the roll temperature is raised by about 20 to 30 ° C. higher than the temperature of the paste installed on the substrate. Setting the barrier rib precursor while flowing the paste at the time of contact with the roll. Since the temperature of the roll is high at the time of molding, the paste has a reduced viscosity and the width of the roll surface is reduced. Thus, a substrate having a narrow, deep groove, a narrow width, a high height, and a barrier rib having excellent shape accuracy can be obtained.

【0056】本発明に係わる第5のバリアリブを有する
基板の製造方法は、セラミックフィラーとガラス粉体と
バインダーと有機溶剤との混合物からなるペーストを基
板上に所定量流下し、バリアリブ形状の溝を有するロー
ルを回転させながら上記ペーストに圧力を加え、上記ペ
ーストを上記基板にコーティングすると同時にバリアリ
ブ前駆体を成形し、この直後に上記バインダー対して溶
解度が低く、上記有機溶剤と相溶する溶剤を上記バリア
リブ前駆体に噴霧塗布することであり、上記バリアリブ
前駆体に上記溶剤を噴霧することにより、上記バリアリ
ブ前駆体表面に皮膜を形成し、上記バリアリブ前駆体の
形状が保持され、精度の優れたバリアリブを有する基板
が得られる。
According to a fifth method of manufacturing a substrate having barrier ribs according to the present invention, a predetermined amount of a paste composed of a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent is allowed to flow onto the substrate to form barrier rib-shaped grooves. Pressure is applied to the paste while rotating the roll having the barrier rib precursor formed at the same time as coating the paste on the substrate, and immediately after this, the solvent having low solubility in the binder and compatible with the organic solvent is used as the solvent. By spraying the barrier rib precursor, the solvent is sprayed on the barrier rib precursor to form a film on the barrier rib precursor surface, the shape of the barrier rib precursor is maintained, and the barrier rib with excellent precision is formed. Is obtained.

【0057】本発明に係わる第6のバリアリブを有する
基板の製造方法は、セラミックフィラーとガラス粉体と
バインダーと有機溶剤との混合物からなり、電圧印加に
より粘度が低下する負のエレクトロレオロジー流体のペ
ーストを基板上に所定量設置し、バリアリブ形状の溝を
有する電圧が印加されたロールを回転させながら上記ペ
ーストに圧力を加え、上記ペーストを上記基板にコーテ
ィングすると同時にバリアリブ前駆体を成形することで
あり、上記ロールにより、上記ペーストに電圧が印加さ
れることにより、上記ペーストは、粘度を低下させ、ロ
−ル表面の幅が狭く、深い溝に入り込むことができ、精
度の優れたバリアリブを有する基板が得られる。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a substrate having a barrier rib, comprising a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent, the paste of a negative electrorheological fluid having a viscosity reduced by voltage application. Is placed on the substrate in a predetermined amount, pressure is applied to the paste while rotating a roll having a voltage having a barrier rib-shaped groove, and the paste is coated on the substrate while simultaneously forming a barrier rib precursor. When a voltage is applied to the paste by the roll, the paste reduces the viscosity, the width of the roll surface is narrow, and the paste can enter a deep groove, and a substrate having a barrier rib with excellent precision. Is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態1のバリアリブを有する
基板の製造方法におけるバリアリブ前駆体を成形する各
工程を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing each step of forming a barrier rib precursor in a method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 本発明の円周溝を有するロ−ルの模式図であ
る。
FIG. 2 is a schematic view of a roll having a circumferential groove according to the present invention.

【図3】 本発明の成形されたバリアリブを有する基板
の模式図である。
FIG. 3 is a schematic view of a substrate having a formed barrier rib of the present invention.

【図4】 本発明の実施の形態2のバリアリブを有する
基板の製造方法におけるバリアリブ前駆体を成形する各
工程を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram showing each step of molding a barrier rib precursor in a method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to Embodiment 2 of the present invention.

【図5】 本発明の実施の形態3のバリアリブを有する
基板の製造方法におけるバリアリブ前駆体を成形する各
工程を示す模式図である。
FIG. 5 is a schematic view showing each step of forming a barrier rib precursor in a method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to Embodiment 3 of the present invention.

【図6】 本発明の実施の形態4のバリアリブを有する
基板の製造方法におけるバリアリブ前駆体を成形する各
工程を示す模式図である。
FIG. 6 is a schematic view showing each step of molding a barrier rib precursor in a method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to Embodiment 4 of the present invention.

【図7】 ガス表示パネルの構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of a gas display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板、2 ペースト、3 バリアリブ前駆体、4
バリアリブ、5 バリアリブを有する基板、10 成形
装置、11 支持台、12 ロール、13 円周溝、1
4 冷却ユニット、15 加熱ユニット、16 溶剤ス
プレ−ユニット、17 ノズル、18 電極、19 電
源ユニット
1 substrate, 2 paste, 3 barrier rib precursor, 4
Barrier ribs, 5 Substrate with barrier ribs, 10 Molding device, 11 Support, 12 Roll, 13 Circumferential groove, 1
4 cooling unit, 15 heating unit, 16 solvent spray unit, 17 nozzles, 18 electrodes, 19 power supply unit

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミックフィラーとガラス粉体とバイ
ンダーと有機溶剤との混合物からなるペーストを基板上
に所定量流下し、バリアリブ形状の溝を有する冷却され
たロールを回転させながら上記ペーストに圧力を加え、
上記ペーストを上記基板にコーティングすると同時にバ
リアリブ前駆体を成形することを特徴とするバリアリブ
を有する基板の製造方法。
1. A predetermined amount of a paste composed of a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent is allowed to flow down onto a substrate, and pressure is applied to the paste while rotating a cooled roll having barrier rib-shaped grooves. In addition,
A method for manufacturing a substrate having barrier ribs, comprising coating the paste on the substrate and simultaneously forming a barrier rib precursor.
【請求項2】 ロール温度をペースト温度より略20℃
以上低く設定してペーストを冷却しながらバリアリブ前
駆体を成形することを特徴とする請求項1に記載のバリ
アリブを有する基板の製造方法。
2. Roll temperature is approximately 20 ° C. lower than paste temperature.
2. The method for manufacturing a substrate having barrier ribs according to claim 1, wherein the barrier rib precursor is formed while setting the temperature to a low value and cooling the paste.
【請求項3】 セラミックフィラーとガラス粉体とバイ
ンダーと有機溶剤との混合物からなるペーストを基板上
に所定量設置し、バリアリブ形状の溝を有し、上記ペー
ストが流動する温度に加熱されたロールを回転させなが
ら上記ペーストに圧力を加え、上記ペーストを上記基板
にコーティングすると同時にバリアリブ前駆体を成形す
ることを特徴とするバリアリブを有する基板の製造方
法。
3. A roll having a predetermined amount of a paste composed of a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent placed on a substrate, having a barrier rib-shaped groove, and heated to a temperature at which the paste flows. Applying a pressure to the paste while rotating the substrate to coat the paste on the substrate and simultaneously form a barrier rib precursor.
【請求項4】 ロール温度を基板上に設置されたペース
ト温度より略20〜30℃高く設定して、ロールとの接
触時にペーストを流動させながらバリアリブ前駆体を成
形することを特徴とする請求項3に記載のバリアリブを
有する基板の製造方法。
4. The barrier rib precursor is formed while setting the roll temperature at about 20 to 30 ° C. higher than the temperature of the paste set on the substrate, and flowing the paste at the time of contact with the roll. 4. A method for manufacturing a substrate having the barrier rib according to 3.
【請求項5】 セラミックフィラーとガラス粉体とバイ
ンダーと有機溶剤との混合物からなるペーストを基板上
に所定量流下し、バリアリブ形状の溝を有するロールを
回転させながら上記ペーストに圧力を加え、上記ペース
トを上記基板にコーティングすると同時にバリアリブ前
駆体を成形し、この直後に上記バインダー対して溶解度
が低く、上記有機溶剤と相溶する溶剤を上記バリアリブ
前駆体に噴霧塗布することを特徴とするバリアリブを有
する基板の製造方法。
5. A paste comprising a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent is flowed down a predetermined amount onto a substrate, and pressure is applied to the paste while rotating a roll having barrier rib-shaped grooves. At the same time as coating the paste on the substrate, a barrier rib precursor is formed, and immediately thereafter, a barrier rib having a low solubility in the binder and spray-coating the barrier rib precursor with a solvent compatible with the organic solvent is used. Of manufacturing a substrate having the same.
【請求項6】 セラミックフィラーとガラス粉体とバイ
ンダーと有機溶剤との混合物からなり、電圧印加により
粘度が低下する負のエレクトロレオロジー流体のペース
トを基板上に所定量設置し、バリアリブ形状の溝を有す
る電圧が印加されたロールを回転させながら上記ペース
トに圧力を加え、上記ペーストを上記基板にコーティン
グすると同時にバリアリブ前駆体を成形することを特徴
とするバリアリブを有する基板の製造方法。
6. A predetermined amount of a paste of a negative electrorheological fluid, which is composed of a mixture of a ceramic filler, a glass powder, a binder and an organic solvent, and whose viscosity is reduced by applying a voltage, is placed on a substrate to form a barrier rib-shaped groove. A method for manufacturing a substrate having barrier ribs, comprising applying pressure to the paste while rotating a roll to which a voltage is applied, coating the paste on the substrate and simultaneously forming a barrier rib precursor.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008538445A (en) * 2005-04-15 2008-10-23 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー Method of reusing flexible mold and microstructure precursor composition

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