JP2001166117A

JP2001166117A - ガラス光学素子の製造方法

Info

Publication number: JP2001166117A
Application number: JP35301299A
Authority: JP
Inventors: Hidemi Tajima; 英身田島; Shinichiro Hirota; 慎一郎広田
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1999-12-13
Filing date: 1999-12-13
Publication date: 2001-06-22

Abstract

(57)【要約】【課題】多数のマイクロプリズム等のガラス光学素子
を同時に製造し、その生産性を向上させる。【解決手段】本発明のガラス光学素子の製造方法は、
少なくとも上型３２及び下型３１を含む成形型でガラス
材をプレス成形することにより、該上型及び下型によっ
て形成された、所望の形状及び面精度を有する第１及び
第２の面であって、少なくとも該第１の面４０ｂに所定
形状の凹凸が複数形成されているガラス体４０を得る工
程２０１と、前記第１の面４０ｂの所定形状の凹凸を少
なくとも一つ含み、かつ、前記第２の面の一部を含むよ
うに、該ガラス体を複数個に切断分離することにより、
複数個のガラス光学素子１０を得る工程２０３とを含
む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザカプラその
他の光学装置に使用されるマイクロプリズム、マイクロ
レンズ、回折格子などのガラス光学素子の製造方法に関
し、特にその量産性を向上させるに好適なガラス光学素
子の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザカプラその他の光学装置にマイク
ロプリズム、マイクロレンズ、回折格子が広く採用され
ている。図１にレーザカプラ等で用いられるマイクロプ
リズムの一例を示す。図に示すように、マイクロプリズ
ム１０は、光を入射する面（以下、入光面１１）と、該
入光面１１から入射され所定角度屈折された光の少なく
とも一部を透過し、残りを反射する面（以下、第１反射
面１２）と、該第１反射面１２で反射された光を透過す
る面（以下、第２反射面１３）と、前記第１反射面１２
に対し所定角度（図の例では９０度）で隣り合う面１４
と、入光面１１と第１反射面１２の間の面１５を備え
る。

【０００３】このマイクロプリズム１０をレーザカプラ
に用いる場合、前記第１及び第２の反射面１２及び１３
のぞれぞれに、複数のフォトダイオード１６を並列配置
し、各フォトダイオード１６の信号強度に基づいて入射
された光の状態を検出する。

【０００４】従来、この種のマイクロプリズムを製造す
る場合は、マイクロプリズムの外形寸法に近い角棒状の
ガラス素材を用意し、その一つの角部を研削及び研磨す
ることによって前記入光面１１を形成した後、長手方向
に分離切断してマイクロプリズムを得ることが一般的に
は行われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のマイクロプリズムの製造方法においては、以
下のような問題があった。（１）角棒状のガラス素材１本毎に、前記入光面１１の
加工をする必要があり、その生産性が必ずしも高くな
い。（２）角棒状のガラス素材１本毎の加工により、各ガラ
ス素材において加工精度が一定せず、製造されるマイク
ロプリズムの品質にばらつきが生じる恐れがある。ま
た、角棒状のガラス素材に生じた撓みや捩れが、入光面
１１の面精度にばらつきを生じさせる可能性もある。

【０００６】一方、マイクロレンズや回折格子の製造に
おいても、その量産性が問題となっている。すなわち、
マイクロレンズは、球状のガラスプリフォームを溶融軟
化し、製造するレンズの光学面に沿った成形面を有する
成形型でこれをプレスして１つづつ製造される。また、
回折格子は、ガラス基板上にフォトリソエッチング（す
なわち、ガラス基板に遮光膜を形成し、光照射させてガ
ラスを感光させた後、その部分をエッチングにより除去
する）により、複数の凹凸のパターンを形成し、後にこ
れを個々の回折格子単位に切断分離することにより製造
されている。また、最近では個々の回折格子をプレス成
型する方法も提案されている（例えば、特開平１０−３
３７７３４号公報）。これらの製造方法は、前記従来の
マイクロプリズムの製造方法における問題と同様に、そ
の生産性及び品質の一定性に問題がある。

【０００７】従って本発明の目的は、多数のマイクロプ
リズムなどのガラス光学素子を同時に製造し、その生産
性を著しく向上させることができる製造方法を提供する
ことにある。

【０００８】また、本発明の別の目的は、多数のマイク
ロプリズムをなどのガラス光学素子を同時に製造するこ
とによって、その品質を一定にすることができる製造方
法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のガラス光学素子
の製造方法は、少なくとも上型及び下型を含む成形型で
ガラス材をプレス成形することにより、該上型及び下型
によって形成された、所望の形状及び面精度を有する第
１及び第２の面であって、少なくとも該第１の面に所定
形状の凹凸が複数形成されているガラス体を得る工程、
前記第１の面の所定形状の凹凸を少なくとも一つ含み、
かつ、前記第２の面の一部を含むように、該ガラス体を
複数個に切断分離することにより、複数個のガラス光学
素子を得る工程を含んで構成される。

【００１０】この場合において、前記ガラス体を複数個
に切断分離する工程の前に、前記第２の面を、得ようと
するガラス光学素子が所望の光学的機能を有するように
研磨する工程を行うことが好ましい。

【００１１】また、本発明は、第１の面及びこの面と反
対側の第２の面を有し、少なくとも該第１の面に所定形
状の凹凸が複数形成されているガラス体を用意する工
程、前記第２の面を、得ようとするガラス光学素子が所
望の光学的機能を有するように研磨する工程、前記第１
の面の所定形状の凹凸を少なくとも一つ含み、かつ、前
記研磨された第２の面の一部を含むように、該ガラス体
を複数個に切断分離することにより、複数個のガラス光
学素子を得る工程を含んで構成される。

【００１２】ここで、前記ガラス体は、前記所定形状の
凹凸に対応した成形面を有する成形型でガラス材をプレ
ス成形することにより得られたものであることが好まし
い。

【００１３】また、前記プレスされるガラス材が、予め
所定形状に成形されたガラス板状体を加熱軟化したもの
であることが好ましい。

【００１４】また、前記研磨工程は、前記ガラス体を２
枚用意し、これを前記所定形状の凹凸を形成した第１の
面を内側にして重ね合わせた状態で、該ガラス体の一方
又は双方の前記第２の面を平坦研磨することにより行う
ことが好ましい。

【００１５】この場合に、前記重ね合わせた状態は、一
方のガラス体の前記所定形状の凹凸の凸部が他方のガラ
ス体の前記所定形状の凹凸の凹部に入り込むように重ね
合わされるようにすることができる。

【００１６】また、前記所定形状の凹凸の少なくとも一
部が光学的機能を有するものであることが好ましい。

【００１７】また、前記所定形状の凹凸は、第１の平面
と、該第１の平面に対し所定角度を有する第２の平面と
により構成されているものとすることができる。

【００１８】更に、前記ガラス体は、前記所定形状の凹
凸の凸部における厚さが２ｍｍ以下であることが好まし
く、前記研磨工程実施後のガラス体は、前記所定形状の
凹凸の凸部における厚さが０．７ｍｍ以下であることが
好ましい。

【００１９】また、前記ガラス体は、前記所定形状の凹
凸の凹部における厚さが１ｍｍ以下であることが好まし
い。

【００２０】また、前記研磨工程は、光学素子の機能面
である平面の面精度が、λ／２以下（但し、λは製造す
るガラス光学素子に入射する光の波長）となるよう前記
ガラス体を研磨することが好ましい。

【００２１】本発明において、前記研磨工程の前に、前
記プレス成型されたガラス体を所定時間熱処理する熱処
理工程を更に備えることができる。

【００２２】ここで、前記熱処理工程は、前記ガラス体
を構成するガラスの転移点付近の温度で実施されること
が好ましい。

【００２３】本発明において好ましくは、前記ガラス光
学素子がマイクロプリズムである。

【００２４】また、好ましくは、前記ガラス光学素子
が、マイクロレンズ又は回折格子である。

【００２５】本発明はまた、前記何れかの方法によりガ
ラス光学素子を製造したのち、さらに、該ガラス光学素
子と、該ガラス光学素子による光の反射及び／又は屈折
により得られた信号を読み込む受光素子とを組みあわせ
る工程を含む光学装置の製造方法に関する。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、図示した一実施形態に基い
て本発明を詳細に説明する。本実施形態においては、図
１において示したマイクロプリズムを製造するための方
法に沿って、本発明を説明する。もっとも、本発明の製
造方法により製造され得るマイクロプリズムの具体的な
形状は、図１に示されたものに限定されず、また本発明
の製造方法は、マイクロプリズムのみならず、他のガラ
ス光学素子、例えばマイクロレンズや回折格子の製造に
広く適用することができる。以下の説明により、このこ
とが明らかにされるであろう。

【００２７】図２は、本発明の製造方法における各工程
を示したフローチャートである。本発明による製造工程
は、板状のガラス基板を一対の成形型を用いてプレスす
る工程２０１を備える。後に詳細に説明するように、こ
のプレスに用いられる一対の成形型は、その一方が平坦
な成形面を有し、他方が図１に示した第１反射面１２及
び面１４のなす角度、すなわち９０度に形成された山部
を有する鋸歯状の成形面を有する。これらの成形型を用
いたプレス成形により、板状のガラス基板は、圧延され
ると同時に、その一方の面が該鋸歯状の成形面に沿った
形状に加工される。該プレス成形によって成形されたガ
ラス基板を、以下、プリズムアレイと呼ぶ。製造するマ
イクロプリズムの材料として好適な材料がガラス基板の
材料として採択される。例えば、ガラス基板の材料とし
て、各種基板用ガラスに用いられるSiO2-アルカリ酸化
物-アルカリ土類酸化物のガラスやその他各種光学ガラ
スを用いることができる。

【００２８】図３に、前記一対の成形型を用いてガラス
基板のプレスを行う様子を模式的に示した。同図（Ａ）
に示すように、平坦な成形面３１ａを有する所定温度
（例えば、７００度）に加熱された成形型３１上に、予
め所定温度に昇温され、軟化された板状のガラス基板３
０を配置する。その上から、該ガラス基板３０に対し、
前述した鋸歯状の成形面３２ａを有する所定温度に加熱
された成形型３２を降下し、これら一対の成形型３１及
び３２によってガラス基板３０をプレスする。成形型３
１及び３２を降温し、ガラス基板３０が所定温度以下に
達するまでこの状態を維持した後、成形型３２を上昇さ
せ、更にプレス後のガラス基板３０を自然冷却してから
型より搬出する。該プレス工程２０１を経ることによ
り、図４に示すようなプリズムアレイ４０が得られる。
好適な実施例において、ガラス基板のサイズは、２０×
２７×１．２８ｍｍ、プレスにより成形されるプリズム
アレイのサイズは、全厚Ｈ＝１．３９ｍｍ、鋸歯状部分
の高さｈ＝０．４５ｍｍ、そのピッチＰ＝０．９５ｍｍ
である。また、使用される成形型の素材は超硬であり、
その成形面にはカーボン系の離型膜をコーティングする
ことができる。

【００２９】図２において、本発明による次の製造工程
は、前記プレス成形されたプリズムアレイを研削及び研
磨する工程２０２である。最終的に製造されるマイクロ
プリズムにおいて、前記入光面１１は、その要求される
所定の面精度に加工されなければならない。好適な実施
形態においては、製造するマイクロプリズムアレイに入
射する光の波長をλとした場合、入光面１１は、λ／２
以下に加工される。本発明において前記入光面１１に相
応するプリズムアレイ上の面は、前記平坦な成形面を有
する成形型によって形成された平坦な側の面（図４にお
ける面４０ａ）である。本工程２０２において、プリズ
ムアレイを基台上に固定し、要求される寸法まで該プリ
ズムアレイの平坦な面を研削し、次いで所定の面精度に
研磨する。

【００３０】プリズムアレイの面を研削及び研磨する上
での一つの重要なことは、その全域を均一に研削及び研
磨することである。前記プリズムアレイは、その厚さが
２ｍｍ以下であり、且つその他方の面は鋸歯状に加工さ
れているので、通常用いられる平坦な基台を用いた加工
においては、該研削及び研磨の際にプリズムアレイに掛
かる荷重によって、その面が僅かに湾曲する恐れがあ
る。該僅かな湾曲は、本工程における研削及び研磨の均
一性を低下させるので、極力これを回避しなければなら
ない。

【００３１】図５及び図６は、前記問題を回避するため
の本発明の一実施形態に係る研削及び研磨の各工程を示
している。これら図に示された方法は、前記プレス工程
２０１で製造された２つのプリズムアレイを同時に用い
る。この方法は、基本的に一対のプリズムアレイを、そ
の鋸歯状の面を対向させて重ね合わせ、相互に一体に
し、この状態で外側の平坦な面を順次研削、研磨する。
すなわち、工程５０１及び図６（Ａ）に示すように、基
台６０上に、１つ目のプリズムアレイ４０Ａをその平坦
な面４０ａが下になるようにして固定する。次いで、工
程５０２及び図６（Ｂ）に示すように、プリズムアレイ
４０Ａ上に貼り合せ部材としての固形ワックス６１を置
き、これを１００度程度にまで熱する。これによって溶
けたワックスはプリズムアレイ４０Ａの鋸歯状の面４０
ｂ上の全域に広がる。

【００３２】工程５０３及び図６（Ｃ）に示すように、
前記ワックスを配置したプリズムアレイ４０Ａ上に、別
のプリズムアレイ４０Ｂを、その鋸歯状の面４０ｂ同士
が噛み合うようにして重ねる。この工程は、前記溶けた
ワックスが冷却固化する前に行われる。所定時間後にワ
ックスが固化することによって、固定されたプリズムア
レイ４０Ａに対してプリズムアレイ４０Ｂが一体的にな
り、後の研削及び研磨の工程において動くようなことが
なくなる。

【００３３】この状態で、工程５０４及び図６（Ｄ）に
示すように、上側のプリズムアレイ４０Ｂに対して、そ
の平滑な面４０ａを、所定寸法まで研削する。研削は、
砂掛けなどの方法を用いて良い。面４０ａの研削に次い
で、この面を要求される面精度になるまで研磨する工程
が実施される。図では省略するが、該面の研磨は、酸化
セリウムCeO2等の溶液を研磨剤として用い、研磨皿を該
面に対して摺動することによって行うことができる。以
上により一つのプリズムアレイ４０Ｂに対する研削及び
研磨が終了する。好適な実施例において、全厚１．３９
ｍｍのプリズムアレイの研削及び研磨後の全厚は、０．
５９ｍｍであった。また、表面形状測定器（タリサー
フ）を使用し長さ方向に１５ｍｍ長のスキャンをして測
定した場合の平面精度（ＰＲｔ）は、０．３μｍ以下で
あった。一方、本実施形態のように２枚のプリズムアレ
イを重ね合わせずに、１枚のプリズムアレイの鋸歯状の
面を下にして基台に固定し、研削及び研磨を行った場合
のＰＲｔ値は、同じ条件で４μｍ程度であった。

【００３４】次いで、もう一方のプリズムアレイ４０Ａ
の面４０ａを処理するために、工程５０５において、こ
のプリズムアレイ対の上下を反転させ、プリズムアレイ
４０Ａが上側になるようにして、これを基台上に固定す
る。そして、工程５０６において、先の工程５０４及び
図６（Ｄ）で説明したように、プリズムアレイ４０Ａの
面４０ａに対し、研削及び研磨の工程を実施する。以上
により、２枚のプリズムアレイ４０Ａ及び４０Ｂに対す
る研削及び研磨工程を終了する。

【００３５】もっとも本発明において、前記２枚のプリ
ズムアレイを用いて研削及び研磨の工程を実施する代わ
りに、プリズムアレイの鋸歯状の面形状に対応する面形
状を有する基台を用意し、この上で研削及び研磨を実施
することもできる。

【００３６】図２において、本発明による次の製造工程
は、前記研削及び研磨されたプリズムアレイを個々のマ
イクロプリズムに分離する工程２０３である。プリズム
アレイを、その鋸歯状の谷に沿う方向及び該谷と交差す
る方向、すなわちマトリックス状に切断分離することに
よって本工程を達成する。プリズムアレイを切断分離す
るために、本実施形態においてはダイシングソーを用い
る。

【００３７】図７は、高速回転されたダイシングソー７
０を用いてプリズムアレイ４０を切断分離する実施形態
を示している。ダイシングソー７０は、その刃面の先端
７０ａが所定角度の山形状に形成されている。プリズム
アレイ４０の鋸歯状の谷に沿う方向における切断におい
ては、この先端７０ａを活用し、それによってプリズム
アレイの分離と共に、図１に示したマイクロプリズムの
面１３及び１５を形成する。図８においてプリズムアレ
イの一部を拡大し、ダイシングソー７０によって切削さ
れる領域を斜線で示した。図に示す実施形態においてダ
イシングソー７０の先端７０ａの開き角度は９０度であ
る。続いて、ダイシングソー７０を用いて、プリズムア
レイ４０をその鋸歯状の谷と交差する方向に所定の間隔
で分離する。該間隔は、要求されるマイクロプリズム１
０の幅寸法に一致させる。以上により、一枚のプリズム
アレイ４０から同型の多数のマイクロプリズムが同時に
製造される。

【００３８】以上、本発明の一実施形態を図面に沿って
説明した。しかしながら本発明は前記実施形態に示した
事項に限定されず、特許請求の範囲の記載に基いてその
変更、改良等が可能であることは明らかである。本発明
において、前記プリズムアレイの研削及び研磨の工程２
０２に先立って、プリズムアレイを所定時間熱処理する
工程を実施しても良い。該熱処理工程によって、アレイ
残留応力が除かれ、研磨後の平坦度が向上する。使用し
たガラスの転移温度（実施例では５００度）で２時間保
持した結果、図５及び図６に従う研削及び研磨後におけ
る面のＰＲｔ値は、該熱処理を実施しない場合の２５％
程度の値に低下した。

【００３９】また、本発明の製造方法は、前記マイクロ
プリズムの製造方法に限らず、各種マイクロレンズや回
折格子の製造においても採用することができる。すなわ
ち、図９（Ａ）に示すように、所望のレンズの球面に沿
う成形型を用いてレンズアレイ９０をプレス成型し、研
磨工程を経た後に（特定のレンズの製造においては研磨
工程は不要である）、これを切断分離して個々のマイク
ロレンズ９１を得ることができる。また、同図（Ｂ）に
示すように、所望の回折格子の凹凸に沿う成形型を用い
て回折格子アレイ９２をプレス成型し、これを切断分離
して個々の回折格子９３を得ることができる。

【００４０】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、多数のマイ
クロプリズムなどのガラス光学素子を同時に製造し、そ
の生産性を著しく向上させることができる。

【００４１】また、本製造方法によって１枚のガラス体
から生産されるマイクロプリズムは、その品質が一定で
あり、その結果、安定した品質のガラス光学素子を製造
することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法により製造されるマイクロプ
リズムの一例を示す図である。

【図２】本発明の製造方法における各工程を示したフロ
ーチャートである。

【図３】本発明におけるプレス工程に従いガラス基板を
プレスする様子を模式的に示した図である。

【図４】本発明におけるプレス固定により成形されたプ
リズムアレイの斜視図である。

【図５】本発明における研削・研磨工程の一実施形態に
沿うフローチャートである。

【図６】本発明における研削・研磨工程の一実施形態に
沿う図である。

【図７】本発明における分離工程に従いプリズムアレイ
を切断分離する様子を模式的に示した図である。

【図８】図７におけるプリズムアレイの一部を拡大した
図である。

【図９】本発明の製造方法に従って製造されるマイクロ
レンズ及び回折格子の図である。

【符号の説明】

１０マイクロプリズム１１入光面１２第１反射面１３第２反射面１４、１５面１６フォトダイオード３０板状ガラス基板３１、３２成形型３１ａ、３２ａ成形面４０プリズムアレイ６０基台６１固形ワックス６２研削用砥石７０ダイシングソー９０レンズアレイ９１マイクロレンズ９２回折格子アレイ９３回折格子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも上型及び下型を含む成形型で
ガラス材をプレス成形することにより、該上型及び下型
によって形成された、所望の形状及び面精度を有する第
１及び第２の面であって、少なくとも該第１の面に所定
形状の凹凸が複数形成されているガラス体を得る工程、前記第１の面の所定形状の凹凸を少なくとも一つ含み、
かつ、前記第２の面の一部を含むように、該ガラス体を
複数個に切断分離することにより、複数個のガラス光学
素子を得る工程、を含むことを特徴とするガラス光学素
子の製造方法。
【請求項２】前記ガラス体を複数個に切断分離する工
程の前に、前記第２の面を、得ようとするガラス光学素
子が所望の光学的機能を有するように研磨する工程を行
うことを特徴とする請求項１に記載のガラス光学素子の
製造方法。
【請求項３】第１の面及びこの面と反対側の第２の面
を有し、少なくとも該第１の面に所定形状の凹凸が複数
形成されているガラス体を用意する工程、前記第２の面を、得ようとするガラス光学素子が所望の
光学的機能を有するように研磨する工程、前記第１の面の所定形状の凹凸を少なくとも一つ含み、
かつ、前記研磨された第２の面の一部を含むように、該
ガラス体を複数個に切断分離することにより、複数個の
ガラス光学素子を得る工程、を含むことを特徴とするガ
ラス光学素子の製造方法。
【請求項４】前記プレスされるガラス材が、予め所定
形状に成形されたガラス板状体を加熱軟化したものであ
る請求項１又は２に記載のガラス光学素子の製造方法。
【請求項５】前記研磨工程は、前記ガラス体を２枚用
意し、これを前記所定形状の凹凸を形成した第１の面を
内側にして重ね合わせた状態で、該ガラス体の一方又は
双方の前記第２の面を平坦研磨することにより行う請求
項２〜４の何れかに記載のガラス光学素子の製造方法。
【請求項６】前記重ね合わせた状態は、一方のガラス
体の前記所定形状の凹凸の凸部が他方のガラス体の前記
所定形状の凹凸の凹部に入り込むように重ね合わされる
請求項５に記載のガラス光学素子の製造方法。
【請求項７】前記所定形状の凹凸の少なくとも一部が
光学的機能を有する請求項１〜６の何れかに記載のガラ
ス光学素子の製造方法。
【請求項８】前記所定形状の凹凸は、第１の平面と、
該第１の平面に対し所定角度を有する第２の平面とによ
り構成されている請求項１〜７の何れかに記載のガラス
光学素子の製造方法。
【請求項９】前記ガラス体は、前記所定形状の凹凸の
凸部における厚さが２ｍｍ以下である請求項１〜８の何
れかに記載のガラス光学素子の製造方法。
【請求項１０】前記研磨工程実施後のガラス体は、前
記所定形状の凹凸の凸部における厚さが０．７ｍｍ以下
である請求項９に記載のガラス光学素子の製造方法。
【請求項１１】前記ガラス体は、前記所定形状の凹凸
の凹部における厚さが１ｍｍ以下である請求項１〜１０
の何れかに記載のガラス光学素子の製造方法。
【請求項１２】前記研磨工程は、光学素子の機能面で
ある平面の面精度が、λ／２以下（但し、λは製造する
ガラス光学素子に入射する光の波長）となるよう前記ガ
ラス体を研磨する請求項２〜１１の何れかに記載のガラ
ス光学素子の製造方法。
【請求項１３】前記研磨工程の前に、前記プレス成型
されたガラス体を所定時間熱処理する熱処理工程を更に
備える請求項２〜１２の何れかに記載のガラス光学素子
の製造方法。
【請求項１４】前記熱処理工程は、前記ガラス体を構
成するガラスの転移点付近の温度で実施される請求項１
３に記載のガラス光学素子の製造方法。
【請求項１５】前記ガラス光学素子が、マイクロプリ
ズムである請求項１〜１４の何れかに記載のガラス光学
素子の製造方法。
【請求項１６】前記ガラス光学素子が、マイクロレン
ズである請求項１〜１４の何れかに記載のガラス光学素
子の製造方法。
【請求項１７】前記ガラス光学素子が、回折格子であ
る請求項１〜１４のの何れかに記載のガラス光学素子の
製造方法。
【請求項１８】請求項１〜１８の何れかの方法により
ガラス光学素子を製造したのち、さらに、該ガラス光学
素子と、該ガラス光学素子による光の反射及び／又は屈
折により得られた信号を読み込む受光素子とを組みあわ
せる工程を含む光学装置の製造方法。