JP2001160425A - 光半導体電極及びその製造方法 - Google Patents
光半導体電極及びその製造方法Info
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高分子フィルムを基材とし、しかもガラス基
板を用いた光半導体電極と同程度以上の高光電変換効率
を有する半導体電極及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 導電性を有する多孔質高分子フィルム
に、光半導体粒子が担持されていて、且つ透明であるこ
とを特徴とする。前記光半導体粒子は、前記多孔質高分
子フィルムの空孔内に充填されるとともに、前記多孔質
高分子フィルムの片面に光半導体層を形成するように、
前記多孔質高分子フィルムに担持されていてもよい。さ
らに、透明支持体を含み、該透明支持体の一側面に高導
電層が形成されていて、該高導電層上に、上記光半導体
電極が積層されていてもよい。
板を用いた光半導体電極と同程度以上の高光電変換効率
を有する半導体電極及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 導電性を有する多孔質高分子フィルム
に、光半導体粒子が担持されていて、且つ透明であるこ
とを特徴とする。前記光半導体粒子は、前記多孔質高分
子フィルムの空孔内に充填されるとともに、前記多孔質
高分子フィルムの片面に光半導体層を形成するように、
前記多孔質高分子フィルムに担持されていてもよい。さ
らに、透明支持体を含み、該透明支持体の一側面に高導
電層が形成されていて、該高導電層上に、上記光半導体
電極が積層されていてもよい。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、湿式太陽電池や水
の光分解や光有機化学反応などに用いられる光半導体電
極及びその製造方法に関するものである。
の光分解や光有機化学反応などに用いられる光半導体電
極及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
色素増感型湿式太陽電池が注目され、実用化を目指して
研究されている。ここで、湿式太陽電池は、図8に示す
ように、光が照射される側に光半導体電極30が設けら
れ、その反対側(出光側)に対極35が設置されるとと
もに、光半導体電極30と対極35との間に電解質溶液
36が封入されているという基本的構造を有している。
そして、光半導体電極30は、ガラス基板31と、該ガ
ラス基板31の出光側の面に導電性無機化合物をスパッ
タリング等することにより形成した透明な導電層32
と、さらにその導電層32の上に形成された酸化チタン
の多孔質膜33とからなり、太陽光を効率よく電気に変
えるための増感剤としての色素が酸化チタンに固定ない
しは光増感色素からなる層34が酸化チタンの多孔質膜
33上に形成されている。
色素増感型湿式太陽電池が注目され、実用化を目指して
研究されている。ここで、湿式太陽電池は、図8に示す
ように、光が照射される側に光半導体電極30が設けら
れ、その反対側(出光側)に対極35が設置されるとと
もに、光半導体電極30と対極35との間に電解質溶液
36が封入されているという基本的構造を有している。
そして、光半導体電極30は、ガラス基板31と、該ガ
ラス基板31の出光側の面に導電性無機化合物をスパッ
タリング等することにより形成した透明な導電層32
と、さらにその導電層32の上に形成された酸化チタン
の多孔質膜33とからなり、太陽光を効率よく電気に変
えるための増感剤としての色素が酸化チタンに固定ない
しは光増感色素からなる層34が酸化チタンの多孔質膜
33上に形成されている。
【0003】酸化チタンの多孔質膜33は、チタンアル
コキシドを加水分解した後、熱処理し、さらにポリエチ
レングリコールを添加することにより調製される酸化チ
タンコロイド溶液を、ドクターブレード法等でガラス基
板31上に形成された導電層32表面に塗布し、乾燥
後、450℃程度で焼成することにより、一般に形成さ
れる。焼成の際、ポリエチレングリコールが消失して、
酸化チタンの多孔質膜となる。酸化チタン膜の多孔質化
は、比表面積を増大させ、光増感色素を大量に付着させ
ることができるという点で、有効である。
コキシドを加水分解した後、熱処理し、さらにポリエチ
レングリコールを添加することにより調製される酸化チ
タンコロイド溶液を、ドクターブレード法等でガラス基
板31上に形成された導電層32表面に塗布し、乾燥
後、450℃程度で焼成することにより、一般に形成さ
れる。焼成の際、ポリエチレングリコールが消失して、
酸化チタンの多孔質膜となる。酸化チタン膜の多孔質化
は、比表面積を増大させ、光増感色素を大量に付着させ
ることができるという点で、有効である。
【0004】ところで、コスト面、取り扱い面などの点
から、柔軟性を有する高分子フィルムを電極基材とする
半導体電極が求められている。しかし、Sommelingら
が、2nd World Conference and Exhibition on
Photovoltaic Solar EnergyConversion, Vienna 1
998 で述べているように、PETフィルムをはじめと
する透明高分子フィルムの耐熱性はガラスに比べて劣っ
ているため、酸化チタンペーストを塗布した後の熱処理
温度が制限される。具体的には150℃以下に制限され
るため、酸化チタン膜の多孔質化が不十分となる。
から、柔軟性を有する高分子フィルムを電極基材とする
半導体電極が求められている。しかし、Sommelingら
が、2nd World Conference and Exhibition on
Photovoltaic Solar EnergyConversion, Vienna 1
998 で述べているように、PETフィルムをはじめと
する透明高分子フィルムの耐熱性はガラスに比べて劣っ
ているため、酸化チタンペーストを塗布した後の熱処理
温度が制限される。具体的には150℃以下に制限され
るため、酸化チタン膜の多孔質化が不十分となる。
【0005】一方、焼成せずに酸化チタン膜を形成する
方法として、透明な高分子フィルムの一側面に形成され
た導電層の表面に、酸化チタン粒子をバインダー溶液に
分散させたコーティング液を塗布し、乾燥するという工
程を繰返す方法が検討されている。しかしながら、形成
される酸化チタン膜は、導電層及び基材フィルムに対す
る密着性が乏しいので、実用化に必要な光電変換効率を
確保できるような厚みの酸化チタン層を形成することが
困難であり、ひどい場合には、せっかく形成した光半導
体層が基板から剥離してしまう。
方法として、透明な高分子フィルムの一側面に形成され
た導電層の表面に、酸化チタン粒子をバインダー溶液に
分散させたコーティング液を塗布し、乾燥するという工
程を繰返す方法が検討されている。しかしながら、形成
される酸化チタン膜は、導電層及び基材フィルムに対す
る密着性が乏しいので、実用化に必要な光電変換効率を
確保できるような厚みの酸化チタン層を形成することが
困難であり、ひどい場合には、せっかく形成した光半導
体層が基板から剥離してしまう。
【0006】湿式太陽電池以外に用いられる光半導体電
極、例えば水の光分解に用いられる光半導体電極などに
おいても同様に、柔軟性を有する高分子フィルムを基材
とする高光電変換効率の光半導体電極は有用であり、そ
の開発が求められている。
極、例えば水の光分解に用いられる光半導体電極などに
おいても同様に、柔軟性を有する高分子フィルムを基材
とする高光電変換効率の光半導体電極は有用であり、そ
の開発が求められている。
【0007】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、高分子フィル
ムを基材とし、しかもガラス基板を用いた光半導体電極
と同程度以上の高光電変換効率を有する半導体電極及び
その製造方法を提供することにある。
たものであり、その目的とするところは、高分子フィル
ムを基材とし、しかもガラス基板を用いた光半導体電極
と同程度以上の高光電変換効率を有する半導体電極及び
その製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】高分子フィルムを基材と
する光半導体電極を形成しようとする場合、基材が透
明であること、高い光電変換効率を得るために単位面
積あたりに大量の光半導体粒子を保持できることが必要
とされる。
する光半導体電極を形成しようとする場合、基材が透
明であること、高い光電変換効率を得るために単位面
積あたりに大量の光半導体粒子を保持できることが必要
とされる。
【0009】本発明者らは、大きな比表面積を有する透
明な多孔質導電性フィルムを開発し、さらにこの導電性
フィルムに光半導体粒子を充填することにより、本発明
の完成に至った。
明な多孔質導電性フィルムを開発し、さらにこの導電性
フィルムに光半導体粒子を充填することにより、本発明
の完成に至った。
【0010】すなわち、本発明の光半導体電極は、導電
性を有する多孔質高分子フィルムに、光半導体粒子が担
持されていて、且つ透明であることを特徴とする。前記
光半導体粒子は、前記多孔質高分子フィルムの空孔内に
充填されるとともに、前記多孔質高分子フィルムの片面
に光半導体層を形成するように、前記多孔質高分子フィ
ルムに担持されていてもよい。
性を有する多孔質高分子フィルムに、光半導体粒子が担
持されていて、且つ透明であることを特徴とする。前記
光半導体粒子は、前記多孔質高分子フィルムの空孔内に
充填されるとともに、前記多孔質高分子フィルムの片面
に光半導体層を形成するように、前記多孔質高分子フィ
ルムに担持されていてもよい。
【0011】本発明の光半導体電極は、さらに、透明支
持体を含み、該透明支持体の一側面に高導電層が形成さ
れていて、該高導電層上に、上記本発明の光半導体電極
が積層されていてもよい。
持体を含み、該透明支持体の一側面に高導電層が形成さ
れていて、該高導電層上に、上記本発明の光半導体電極
が積層されていてもよい。
【0012】前記光半導体粒子は、バインダーを用い
て、前記多孔質高分子フィルムに担持されていることが
好ましい。また、前記光半導体粒子に、光増感色素が付
着していることが好ましい。
て、前記多孔質高分子フィルムに担持されていることが
好ましい。また、前記光半導体粒子に、光増感色素が付
着していることが好ましい。
【0013】前記導電性を有する多孔質高分子フィルム
は、連通型多孔質高分子フィルムに導電性無機化合物が
担持されたものであることが好ましい。前記連通型多孔
質高分子フィルムの厚みは30μm以下であることが好
ましい。また、前記導電性無機化合物は、バインダーを
用いて、前記連通型多孔質高分子フィルムに担持されて
いることが好ましい。さらに、前記連通型多孔質高分子
フィルムは、延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレンで
あることが好ましい。
は、連通型多孔質高分子フィルムに導電性無機化合物が
担持されたものであることが好ましい。前記連通型多孔
質高分子フィルムの厚みは30μm以下であることが好
ましい。また、前記導電性無機化合物は、バインダーを
用いて、前記連通型多孔質高分子フィルムに担持されて
いることが好ましい。さらに、前記連通型多孔質高分子
フィルムは、延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレンで
あることが好ましい。
【0014】また、本発明の光半導体電極は、550n
mの光線透過率が5%以上であることが好ましい。
mの光線透過率が5%以上であることが好ましい。
【0015】本発明の光半導体電極の製造方法は、連通
型多孔質高分子フィルムの少なくとも一面に、導電性無
機化合物及び光半導体粒子を分散させてなるコーティン
グ液を塗布し、乾燥する工程を含むことを特徴とする。
型多孔質高分子フィルムの少なくとも一面に、導電性無
機化合物及び光半導体粒子を分散させてなるコーティン
グ液を塗布し、乾燥する工程を含むことを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】はじめに、本発明の光半導体電極
の基材となる導電性を有する多孔質高分子フィルムにつ
いて説明する。
の基材となる導電性を有する多孔質高分子フィルムにつ
いて説明する。
【0017】〔導電性多孔質高分子フィルム〕本発明に
用いられる導電性多孔質高分子フィルム(以下、「導電
性フィルム」と略記する)は、光半導体電極の基材とし
て、透明で導電性を有し、さらに光半導体粒子を含浸で
きるような空孔を有している必要がある。このような要
件を満足する導電性フィルムの基本的構成を、図1及び
図2に示す。
用いられる導電性多孔質高分子フィルム(以下、「導電
性フィルム」と略記する)は、光半導体電極の基材とし
て、透明で導電性を有し、さらに光半導体粒子を含浸で
きるような空孔を有している必要がある。このような要
件を満足する導電性フィルムの基本的構成を、図1及び
図2に示す。
【0018】図1に示す導電性フィルム10は、連通型
多孔質高分子フィルム1を構成する骨格2の表面に粒子
状の導電性無機化合物4を付着ないし連通型多孔質高分
子フィルム1の空孔3内に導電性無機化合物4を充填し
たものである。
多孔質高分子フィルム1を構成する骨格2の表面に粒子
状の導電性無機化合物4を付着ないし連通型多孔質高分
子フィルム1の空孔3内に導電性無機化合物4を充填し
たものである。
【0019】図2に示す導電性フィルム11は、導電性
無機化合物として、長径(繊維状、針状であれば長さに
相当)が空孔3の平均径よりも大きい繊維状、針状の導
電性無機化合物4′を用いた場合の導電性フィルムであ
り、連通型多孔質高分子フィルム1の片面に、導電性無
機化合物4′からなる導電層5を形成するように、導電
性無機化合物4′が担持されている。
無機化合物として、長径(繊維状、針状であれば長さに
相当)が空孔3の平均径よりも大きい繊維状、針状の導
電性無機化合物4′を用いた場合の導電性フィルムであ
り、連通型多孔質高分子フィルム1の片面に、導電性無
機化合物4′からなる導電層5を形成するように、導電
性無機化合物4′が担持されている。
【0020】上記連通型多孔質高分子フィルム1として
は、外部に連通する空孔を有する多孔質の高分子フィル
ムであればよく、具体的には、延伸多孔質ポリテトラフ
ルオロエチレン(ePTFE)、酢酸セルロース、多孔
質ポリスチレン、多孔質ポリエチレン等の高分子フィル
ムが挙げられる。これらのうち、化学的安定性(特に耐
熱性、耐薬品性)、電気化学的安定性に優れるという点
から、延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレン(ePT
FE)が好ましく用いられる。光半導体電極は、その用
途から、耐化学薬品性、電気化学的安定性が強く求めら
れるからである。
は、外部に連通する空孔を有する多孔質の高分子フィル
ムであればよく、具体的には、延伸多孔質ポリテトラフ
ルオロエチレン(ePTFE)、酢酸セルロース、多孔
質ポリスチレン、多孔質ポリエチレン等の高分子フィル
ムが挙げられる。これらのうち、化学的安定性(特に耐
熱性、耐薬品性)、電気化学的安定性に優れるという点
から、延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレン(ePT
FE)が好ましく用いられる。光半導体電極は、その用
途から、耐化学薬品性、電気化学的安定性が強く求めら
れるからである。
【0021】ここで、延伸多孔質ポリテトラフルオロエ
チレン(ePTFE)とは、ポリテトラフルオロエチレ
ン(PTFE)のファインパウダーを成形助剤と混合す
ることにより得られるペーストの成形体から、成形助剤
を除去した後あるいは除去せずに延伸し、さらに必要に
応じて焼成することにより得られるもので、一軸延伸の
場合、フィブリルが延伸方向に配向するとともに、フィ
ブリル間が空孔3となった繊維質構造となっている。ま
た、二軸延伸の場合には、フィブリルが放射状に広が
り、ノード及びフィブリルで画された空孔3が多数存在
するクモの巣状の繊維質構造となっている。
チレン(ePTFE)とは、ポリテトラフルオロエチレ
ン(PTFE)のファインパウダーを成形助剤と混合す
ることにより得られるペーストの成形体から、成形助剤
を除去した後あるいは除去せずに延伸し、さらに必要に
応じて焼成することにより得られるもので、一軸延伸の
場合、フィブリルが延伸方向に配向するとともに、フィ
ブリル間が空孔3となった繊維質構造となっている。ま
た、二軸延伸の場合には、フィブリルが放射状に広が
り、ノード及びフィブリルで画された空孔3が多数存在
するクモの巣状の繊維質構造となっている。
【0022】多孔質高分子フィルム1の厚みは30μm
以下であることが好ましい。多孔質高分子フィルムは、
分厚くなるほど光線透過率が低下するため、30μmを
越えると、透明な導電性フィルム、ひいては透明な光半
導体電極を得ることが困難だからである。従って、透明
性を上げるためには、厚み10μm以下の多孔質高分子
フィルムを用いることがより好ましい。ここで、本発明
で要求する透明度とは、乾燥状態の導電性フィルムで、
550nmにおける光線透過率が40%以上をいう。湿
潤状態とすることにより透明度が上昇し、また後述する
ようにバインダーを含有することによりさらに透過率を
増大させることができる。よって、乾燥状態でこの程度
の透過率を有すれば、透明な導電性フィルム、ひいては
透明な光半導体電極を得ることができる。尚、多孔質高
分子フィルムの厚みの下限は、0.02μm未満のフィ
ルムは製造上困難であるという理由から、0.02μm
程度である。
以下であることが好ましい。多孔質高分子フィルムは、
分厚くなるほど光線透過率が低下するため、30μmを
越えると、透明な導電性フィルム、ひいては透明な光半
導体電極を得ることが困難だからである。従って、透明
性を上げるためには、厚み10μm以下の多孔質高分子
フィルムを用いることがより好ましい。ここで、本発明
で要求する透明度とは、乾燥状態の導電性フィルムで、
550nmにおける光線透過率が40%以上をいう。湿
潤状態とすることにより透明度が上昇し、また後述する
ようにバインダーを含有することによりさらに透過率を
増大させることができる。よって、乾燥状態でこの程度
の透過率を有すれば、透明な導電性フィルム、ひいては
透明な光半導体電極を得ることができる。尚、多孔質高
分子フィルムの厚みの下限は、0.02μm未満のフィ
ルムは製造上困難であるという理由から、0.02μm
程度である。
【0023】連通型多孔質高分子フィルム1の空孔率、
空孔の大きさは、導電性無機化合物4の大きさ等に応じ
て適宜選択すればよいが、ePTFEの場合、空孔率2
0〜98%程度が好ましく、空孔の大きさは、最大孔径
が0.2〜6.5μmであることが好ましい。ここで、
空孔率(%)は、下式から求められる。式中、真比重と
あるのは、連通型多孔質高分子フィルムを構成する材料
の真の比重であり、例えばePTFEの場合はポリテト
ラフルオロエチレンの比重である2.2となる。 空孔率=(真比重−見かけの比重)÷真比重×100 空孔の最大孔径は、下式に示すバブルポイントで求めら
れた値である。式中、B.P.は膜の上面に2−プロパ
ノールを注ぎ、下面から空気を圧入したときに連続した
気泡が発生するときの圧力である。 最大孔径=0.65÷B.P.
空孔の大きさは、導電性無機化合物4の大きさ等に応じ
て適宜選択すればよいが、ePTFEの場合、空孔率2
0〜98%程度が好ましく、空孔の大きさは、最大孔径
が0.2〜6.5μmであることが好ましい。ここで、
空孔率(%)は、下式から求められる。式中、真比重と
あるのは、連通型多孔質高分子フィルムを構成する材料
の真の比重であり、例えばePTFEの場合はポリテト
ラフルオロエチレンの比重である2.2となる。 空孔率=(真比重−見かけの比重)÷真比重×100 空孔の最大孔径は、下式に示すバブルポイントで求めら
れた値である。式中、B.P.は膜の上面に2−プロパ
ノールを注ぎ、下面から空気を圧入したときに連続した
気泡が発生するときの圧力である。 最大孔径=0.65÷B.P.
【0024】導電性無機化合物4は、透明な導電層を形
成できる無機化合物であればよく、スズドープ酸化イン
ジウムに該当するインジウム・スズ酸化物(ITO)、
フッ素ドープ酸化スズ(FTO)、アンチモンドープ酸
化スズ(ATO)、酸化亜鉛などを用いることができ
る。これらの導電性無機化合物の形状等は特に限定しな
い。一般に粒子状の導電性無機化合物を用いた場合に
は、導電性無機化合物4が多孔質高分子フィルム1の骨
格2の表面に付着ないしは空孔3に充填される、図1に
示すような導電性フィルム10が得られる。一方、長径
(繊維状、針状であれば長さに相当)が空孔3の平均孔
径よりも大きい繊維状、針状の導電性無機化合物4′を
用いた場合、多孔質高分子フィルム1の内部奥深くにま
で侵入することが困難なため、多孔質高分子フィルム1
の片面に、導電性無機化合物4′からなる導電層5が形
成された、図2に示すような導電性フィルムがえられ
る。
成できる無機化合物であればよく、スズドープ酸化イン
ジウムに該当するインジウム・スズ酸化物(ITO)、
フッ素ドープ酸化スズ(FTO)、アンチモンドープ酸
化スズ(ATO)、酸化亜鉛などを用いることができ
る。これらの導電性無機化合物の形状等は特に限定しな
い。一般に粒子状の導電性無機化合物を用いた場合に
は、導電性無機化合物4が多孔質高分子フィルム1の骨
格2の表面に付着ないしは空孔3に充填される、図1に
示すような導電性フィルム10が得られる。一方、長径
(繊維状、針状であれば長さに相当)が空孔3の平均孔
径よりも大きい繊維状、針状の導電性無機化合物4′を
用いた場合、多孔質高分子フィルム1の内部奥深くにま
で侵入することが困難なため、多孔質高分子フィルム1
の片面に、導電性無機化合物4′からなる導電層5が形
成された、図2に示すような導電性フィルムがえられ
る。
【0025】〔光半導体粒子の担持〕本発明の光半導体
電極は、上記のような構成を有する導電性フィルムに光
半導体粒子を担持させたものである。
電極は、上記のような構成を有する導電性フィルムに光
半導体粒子を担持させたものである。
【0026】ここで、光半導体粒子としては、酸化チタ
ン、酸化スズ、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム、
酸化ニオブ、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシ
ウム、チタン酸ナトリウム、ニオブ酸カリウムなどが挙
げられ、これらのうち湿式太陽電池の光半導体電極や水
の光分解反応用の電極としては、光触媒機能が高い酸化
チタン、特にアナターゼ型酸化チタンが好ましく用いら
れる。
ン、酸化スズ、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム、
酸化ニオブ、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシ
ウム、チタン酸ナトリウム、ニオブ酸カリウムなどが挙
げられ、これらのうち湿式太陽電池の光半導体電極や水
の光分解反応用の電極としては、光触媒機能が高い酸化
チタン、特にアナターゼ型酸化チタンが好ましく用いら
れる。
【0027】このような光半導体粒子は、導電性無機化
合物とともに、担体である多孔質高分子フィルム1の骨
格2に付着していてもよいし、空孔部分3に充填されて
いてもよい。さらに、多孔質高分子フィルムの片面に光
半導体粒子が密に存在する光半導体層が形成されていて
もよい。
合物とともに、担体である多孔質高分子フィルム1の骨
格2に付着していてもよいし、空孔部分3に充填されて
いてもよい。さらに、多孔質高分子フィルムの片面に光
半導体粒子が密に存在する光半導体層が形成されていて
もよい。
【0028】本発明の光半導体電極は、具体的には、図
3〜図5に示すような構成を有する。図3に示す光半導
体電極20は、図1に示す導電性フィルム10に光半導
体粒子6を担持させたもので、光半導体粒子6は、導電
性無機化合物4とともに多孔質高分子フィルム1の骨格
2に付着していたり、空孔3内に保持されている。さら
に、多孔質高分子フィルム1の片面に、光半導体粒子6
からなる光半導体層7が形成されている。
3〜図5に示すような構成を有する。図3に示す光半導
体電極20は、図1に示す導電性フィルム10に光半導
体粒子6を担持させたもので、光半導体粒子6は、導電
性無機化合物4とともに多孔質高分子フィルム1の骨格
2に付着していたり、空孔3内に保持されている。さら
に、多孔質高分子フィルム1の片面に、光半導体粒子6
からなる光半導体層7が形成されている。
【0029】図4に示す光半導体電極21は、図2に示
す導電性フィルム11に光半導体粒子6を担持させたも
のである。このような光半導体電極21は、光半導体粒
子6を導電層5と対向する側から担持させるという製造
方法に基づいて、導電性無機化合物4′が少ない側に密
になるように、多孔質高分子フィルム1の骨格2に付着
していたり、空孔3内に保持されている。さらに、導電
層5と反対側の面に、光半導体粒子6からなる光半導体
層7が形成されている。
す導電性フィルム11に光半導体粒子6を担持させたも
のである。このような光半導体電極21は、光半導体粒
子6を導電層5と対向する側から担持させるという製造
方法に基づいて、導電性無機化合物4′が少ない側に密
になるように、多孔質高分子フィルム1の骨格2に付着
していたり、空孔3内に保持されている。さらに、導電
層5と反対側の面に、光半導体粒子6からなる光半導体
層7が形成されている。
【0030】図5に示す光半導体電極22は、後述する
本発明の製造方法を採用した場合であり、粒子状の導電
性無機化合物4及び光半導体粒子が同時に担体となる多
孔質高分子フィルム1に充填される。よって、光半導体
粒子6及び導電性無機化合物4が多孔質高分子フィルム
1の骨格2に付着していたり、空孔3内に保持されてい
る点は、図3に示した光半導体電極20と共通している
が、多孔質高分子フィルム1の片面に形成される光半導
体層7′は、光半導体粒子6と導電性無機化合物4の混
合物層となっている。
本発明の製造方法を採用した場合であり、粒子状の導電
性無機化合物4及び光半導体粒子が同時に担体となる多
孔質高分子フィルム1に充填される。よって、光半導体
粒子6及び導電性無機化合物4が多孔質高分子フィルム
1の骨格2に付着していたり、空孔3内に保持されてい
る点は、図3に示した光半導体電極20と共通している
が、多孔質高分子フィルム1の片面に形成される光半導
体層7′は、光半導体粒子6と導電性無機化合物4の混
合物層となっている。
【0031】上記いずれの構成であっても、半導体物質
6が多孔性高分子フィルム1の空孔3に保持されるの
で、単なる塗布方法により平滑なフィルムの表面に形成
される酸化チタン膜と比べて、安定に保持される。ま
た、多孔性高分子フィルムの厚み及び空孔に応じた量の
光半導体粒子を担持することができるので、平滑なフィ
ルムに塗布させる方法では達成できないような大量の光
半導体粒子を担持させることができる。つまり、実用化
に必要な十分量の光半導体粒子を担持させることができ
る。さらに、図3及び図5に示す光半導体電極(粒子状
の導電性無機化合物を使用した場合の光半導体電極)で
は、担体である多孔性高分子フィルム1中において、光
半導体粒子4と導電性無機化合物6がその含有比率に応
じた割合で混在することになる。このような場合、光半
導体粒子4の光励起により生じた電子が、近傍に存在す
る導電性無機化合物6を通じて移動できることになるの
で、電子がほぼ絶縁体である光半導体粒子のみからなる
層を介して導電層に移動する場合よりも抵抗が少なくて
済む。つまり、導電率が高い光半導体電極が得られる。
さらに図5に示す光半導体電極22では、その製造方法
に基づいて、光半導体層7′にも導電性無機化合物4が
混在しているので、抵抗をさらに小さくできるという利
点がある。
6が多孔性高分子フィルム1の空孔3に保持されるの
で、単なる塗布方法により平滑なフィルムの表面に形成
される酸化チタン膜と比べて、安定に保持される。ま
た、多孔性高分子フィルムの厚み及び空孔に応じた量の
光半導体粒子を担持することができるので、平滑なフィ
ルムに塗布させる方法では達成できないような大量の光
半導体粒子を担持させることができる。つまり、実用化
に必要な十分量の光半導体粒子を担持させることができ
る。さらに、図3及び図5に示す光半導体電極(粒子状
の導電性無機化合物を使用した場合の光半導体電極)で
は、担体である多孔性高分子フィルム1中において、光
半導体粒子4と導電性無機化合物6がその含有比率に応
じた割合で混在することになる。このような場合、光半
導体粒子4の光励起により生じた電子が、近傍に存在す
る導電性無機化合物6を通じて移動できることになるの
で、電子がほぼ絶縁体である光半導体粒子のみからなる
層を介して導電層に移動する場合よりも抵抗が少なくて
済む。つまり、導電率が高い光半導体電極が得られる。
さらに図5に示す光半導体電極22では、その製造方法
に基づいて、光半導体層7′にも導電性無機化合物4が
混在しているので、抵抗をさらに小さくできるという利
点がある。
【0032】尚、図3〜5に示す光半導体電極は、いず
れも多孔質高分子フィルム1の片面に光半導体層7,
7′が形成されていたが、本発明の光半導体電極は、光
半導体層7,7′が形成されていないものであってもよ
い。
れも多孔質高分子フィルム1の片面に光半導体層7,
7′が形成されていたが、本発明の光半導体電極は、光
半導体層7,7′が形成されていないものであってもよ
い。
【0033】光半導体電極における導電性無機化合物と
光半導体粒子の含有割合は、製造方法、製品として求め
られる導電率、導電性無機化合物及び光半導体粒子の種
類に応じて異なるが、十分な導電性を示し、多量の光半
導体を担持するために、導電性無機化合物:光半導体粒
子が10:1〜1:10となるように含有させることが
好ましい。
光半導体粒子の含有割合は、製造方法、製品として求め
られる導電率、導電性無機化合物及び光半導体粒子の種
類に応じて異なるが、十分な導電性を示し、多量の光半
導体を担持するために、導電性無機化合物:光半導体粒
子が10:1〜1:10となるように含有させることが
好ましい。
【0034】導電性無機化合物4,4′及び光半導体粒
子6は、これらの大きさ、形状、多孔質高分子フィルム
1の空孔3の大きさ、材質等により、骨格2の表面に付
着したり、空孔3内に保持される、あるいは繊維状や針
状の導電性無機化合物4を用いる場合には、導電性無機
化合物4′が互いに絡み合うことにより、又は多孔質高
分子フィルム1の骨格2に係合することによって、連通
型多孔質高分子フィルム1に担持されるので、バインダ
ーがなくても、これらの粒子を担持することは可能であ
る。しかしながら、以下のような理由から、バインダー
を介して多孔質高分子フィルム1に担持されることが好
ましい。すなわち、バインダーを含むことにより、導電
性無機化合物及び半導体物質の保持力が高められるだけ
でなく、透明性を向上させることもできる。さらに、後
述するように、光半導体を含む多孔質導電性フィルムを
支持体に積層する場合、バインダーは支持体と導電性フ
ィルム10との接着性の向上にも寄与できる。
子6は、これらの大きさ、形状、多孔質高分子フィルム
1の空孔3の大きさ、材質等により、骨格2の表面に付
着したり、空孔3内に保持される、あるいは繊維状や針
状の導電性無機化合物4を用いる場合には、導電性無機
化合物4′が互いに絡み合うことにより、又は多孔質高
分子フィルム1の骨格2に係合することによって、連通
型多孔質高分子フィルム1に担持されるので、バインダ
ーがなくても、これらの粒子を担持することは可能であ
る。しかしながら、以下のような理由から、バインダー
を介して多孔質高分子フィルム1に担持されることが好
ましい。すなわち、バインダーを含むことにより、導電
性無機化合物及び半導体物質の保持力が高められるだけ
でなく、透明性を向上させることもできる。さらに、後
述するように、光半導体を含む多孔質導電性フィルムを
支持体に積層する場合、バインダーは支持体と導電性フ
ィルム10との接着性の向上にも寄与できる。
【0035】尚、使用できるバインダーとしては、ブチ
ラール樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂などが挙げら
る。またバインダー量は、光線透過率を上げるのに必要
な量、導電性無機化合物の担持に必要な量程度とするこ
とが好ましい。バインダーの量が増大するのに従って導
電率が低下する傾向があるからである。
ラール樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂などが挙げら
る。またバインダー量は、光線透過率を上げるのに必要
な量、導電性無機化合物の担持に必要な量程度とするこ
とが好ましい。バインダーの量が増大するのに従って導
電率が低下する傾向があるからである。
【0036】以上のような構成を有する光半導体電極
は、そのまま単独で光半導体電極として用いてもよい
が、取り扱い性の観点から、支持体に積層して用いるこ
とが好ましい。
は、そのまま単独で光半導体電極として用いてもよい
が、取り扱い性の観点から、支持体に積層して用いるこ
とが好ましい。
【0037】〔支持体付き光半導体電極〕図6及び図7
は、夫々図3(又は図5)及び図4の光半導体電極を支
持体に積層した光半導体電極を示している(以下、支持
体に積層されていない光半導体電極と支持体に積層され
ている光半導体電極を区別する場合には、支持体に積層
されている光半導体電極を「支持体付き光半導体電極」
といい、支持体に積層されていない光半導体電極を「光
半導体電極本体」という)。
は、夫々図3(又は図5)及び図4の光半導体電極を支
持体に積層した光半導体電極を示している(以下、支持
体に積層されていない光半導体電極と支持体に積層され
ている光半導体電極を区別する場合には、支持体に積層
されている光半導体電極を「支持体付き光半導体電極」
といい、支持体に積層されていない光半導体電極を「光
半導体電極本体」という)。
【0038】図6に示す支持体付き光半導体電極23
は、透明なフィルム基材12aとこのフィルム基材12
a上に、導電性無機化合物をスパッタリングやイオンプ
レーティング等で付着させることにより形成した高導電
層12bとからなる支持体12を用いたもので、光半導
体電極本体20(22)を高導電層12b上に積層した
ものである。光半導体電極本体20(22)は、光半導
体層7(7′)が形成されていない側を、高導電層12
bと接触するように積層する。
は、透明なフィルム基材12aとこのフィルム基材12
a上に、導電性無機化合物をスパッタリングやイオンプ
レーティング等で付着させることにより形成した高導電
層12bとからなる支持体12を用いたもので、光半導
体電極本体20(22)を高導電層12b上に積層した
ものである。光半導体電極本体20(22)は、光半導
体層7(7′)が形成されていない側を、高導電層12
bと接触するように積層する。
【0039】図7に示す支持体付き光半導体電極24
は、透明な高分子フィルムである支持体13の片面に、
光半導体電極本体21を、導電層5が支持体13側とな
るように、換言すると、光半導体層7が支持体付き光半
導体電極24の表面となるように積層したものであ
る。。
は、透明な高分子フィルムである支持体13の片面に、
光半導体電極本体21を、導電層5が支持体13側とな
るように、換言すると、光半導体層7が支持体付き光半
導体電極24の表面となるように積層したものであ
る。。
【0040】支持体13及び支持体12のフィルム基材
12aは、本発明の透明な導電性フィルムの透明性、軽
量性、柔軟性を損なわないものであればよい。具体的に
は、透明な高分子フィルムであればよい。例えば、ポリ
エステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリカーボ
ネートフィルム、透明フッ素樹脂フィルムなどが挙げら
れる。支持体に用いられる高分子フィルムの厚みは、用
途に応じた光線透過率を満足する範囲内であれば、要求
される強度、取り扱い性、柔軟性に応じて適宜選択でき
る。
12aは、本発明の透明な導電性フィルムの透明性、軽
量性、柔軟性を損なわないものであればよい。具体的に
は、透明な高分子フィルムであればよい。例えば、ポリ
エステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリカーボ
ネートフィルム、透明フッ素樹脂フィルムなどが挙げら
れる。支持体に用いられる高分子フィルムの厚みは、用
途に応じた光線透過率を満足する範囲内であれば、要求
される強度、取り扱い性、柔軟性に応じて適宜選択でき
る。
【0041】尚、支持体12の高導電層12bを構成す
る導電性無機化合物は、導電性フィルム10,11に用
いることができる導電性無機化合物、すなわちインジウ
ム・スズ酸化物(ITO)、フッ素ドープ酸化スズ(F
TO)、アンチモンドープ酸化スズ(ATO)、酸化亜
鉛等である。高導電層12bは、スパッタリング、イオ
ンプレーティング、真空蒸着などにより形成され、厚み
0.01〜0.5μmである。この高導電層12bは、
支持体付き光半導体電極において集電体の役目を果たす
もので、その役割からはこの程度の厚みで十分であり、
スパッタリング法等では1μm以上の導電層を形成する
ことが困難だからである。
る導電性無機化合物は、導電性フィルム10,11に用
いることができる導電性無機化合物、すなわちインジウ
ム・スズ酸化物(ITO)、フッ素ドープ酸化スズ(F
TO)、アンチモンドープ酸化スズ(ATO)、酸化亜
鉛等である。高導電層12bは、スパッタリング、イオ
ンプレーティング、真空蒸着などにより形成され、厚み
0.01〜0.5μmである。この高導電層12bは、
支持体付き光半導体電極において集電体の役目を果たす
もので、その役割からはこの程度の厚みで十分であり、
スパッタリング法等では1μm以上の導電層を形成する
ことが困難だからである。
【0042】以上のような構成を有する本発明の光半導
体電極(光半導体電極本体及び支持体付き光半導体電
極)は、透明で、光が透過できる。具体的には、乾燥状
態で550nmの光線透過率が5〜70%程度、好まし
くは10〜70%程度、より好ましくは20〜70%程
度である。電解液に浸漬した状態では乾燥状態よりも透
明度が向上するので、乾燥状態でこの程度の光線透過率
を有すればよい。このように、本発明の光半導体電極
は、光線が透過できるので、光半導体電極表面の光半導
体層7,7′だけでなく、導電性フィルム10,11内
部に含有されている光半導体粒子にも光線があたるの
で、ほとんど全ての光半導体粒子が有効に光を利用して
励起し、電子を発生させることができる。そして、本発
明の光半導体電極、特に粒子状の導電性無機化合物を用
いた光半導体電極(光半導体電極20,22,23が該
当)では、光半導体粒子6と導電性無機化合物4が混在
状態にあるので、光半導体物質から生成した電子が近傍
の導電性無機化合物を通じて移動できる。このことは、
導電性無機化合物からなる導電層と光半導体粒子からな
る光半導体層とが接触するタイプの光半導体電極より
も、高い導電度を期待できることを意味する。
体電極(光半導体電極本体及び支持体付き光半導体電
極)は、透明で、光が透過できる。具体的には、乾燥状
態で550nmの光線透過率が5〜70%程度、好まし
くは10〜70%程度、より好ましくは20〜70%程
度である。電解液に浸漬した状態では乾燥状態よりも透
明度が向上するので、乾燥状態でこの程度の光線透過率
を有すればよい。このように、本発明の光半導体電極
は、光線が透過できるので、光半導体電極表面の光半導
体層7,7′だけでなく、導電性フィルム10,11内
部に含有されている光半導体粒子にも光線があたるの
で、ほとんど全ての光半導体粒子が有効に光を利用して
励起し、電子を発生させることができる。そして、本発
明の光半導体電極、特に粒子状の導電性無機化合物を用
いた光半導体電極(光半導体電極20,22,23が該
当)では、光半導体粒子6と導電性無機化合物4が混在
状態にあるので、光半導体物質から生成した電子が近傍
の導電性無機化合物を通じて移動できる。このことは、
導電性無機化合物からなる導電層と光半導体粒子からな
る光半導体層とが接触するタイプの光半導体電極より
も、高い導電度を期待できることを意味する。
【0043】また、本発明の光半導体電極は、光半導体
粒子の担体となる高分子膜が多孔質であることに由来し
て、比表面積が大きな入射光を有効に利用できる光半導
体粒子を含む多孔質膜が得られる。また、担体及び支持
体に高分子フィルムを用いているので、軽量で、柔軟
性、可撓性に優れた光半導体電極が得られる。
粒子の担体となる高分子膜が多孔質であることに由来し
て、比表面積が大きな入射光を有効に利用できる光半導
体粒子を含む多孔質膜が得られる。また、担体及び支持
体に高分子フィルムを用いているので、軽量で、柔軟
性、可撓性に優れた光半導体電極が得られる。
【0044】〔光半導体電極の製造方法〕次に、上記の
ような構成を有する半導体電極の製造方法について説明
する。
ような構成を有する半導体電極の製造方法について説明
する。
【0045】本発明の半導体電極は、まず連通型多孔質
高分子フィルムに導電性無機化合物を担持させて、上記
図1又は図2に示すような導電性フィルム10,11を
形成し、その後、この導電性フィルム10,11に光半
導体粒子を含むコーティング液を塗布し、乾燥する方法
(逐次法)により製造してもよいし、以下に示すワンポ
ット法により製造してもよい。
高分子フィルムに導電性無機化合物を担持させて、上記
図1又は図2に示すような導電性フィルム10,11を
形成し、その後、この導電性フィルム10,11に光半
導体粒子を含むコーティング液を塗布し、乾燥する方法
(逐次法)により製造してもよいし、以下に示すワンポ
ット法により製造してもよい。
【0046】まず、ワンポット法について説明する。こ
の製造方法は、連通型多孔質高分子フィルムに、導電性
無機化合物及び光半導体粒子を同時に担持させる方法
で、導電性無機化合物及び光半導体粒子を含有するコー
ティング液を、連通型多孔質高分子フィルムに塗布し、
乾燥する方法である。ワンポット法によれば、連通型多
孔質高分子フィルム中に導電性無機化合物と光半導体粒
子とがほぼ均一に混合分散してなる光半導体電極が得ら
れる。多孔質高分子フィルムの片面に光半導体層が形成
される場合には、導電性無機化合物4と光半導体粒子6
が混合してなる光半導体層7′が形成された光半導体電
極が得られる(図5に示す光半導体電極参照)。ワンポ
ット法は、1回のコーティング作業で済むので、乾燥も
1回で済み、製造工程を短縮できるという利点がある。
の製造方法は、連通型多孔質高分子フィルムに、導電性
無機化合物及び光半導体粒子を同時に担持させる方法
で、導電性無機化合物及び光半導体粒子を含有するコー
ティング液を、連通型多孔質高分子フィルムに塗布し、
乾燥する方法である。ワンポット法によれば、連通型多
孔質高分子フィルム中に導電性無機化合物と光半導体粒
子とがほぼ均一に混合分散してなる光半導体電極が得ら
れる。多孔質高分子フィルムの片面に光半導体層が形成
される場合には、導電性無機化合物4と光半導体粒子6
が混合してなる光半導体層7′が形成された光半導体電
極が得られる(図5に示す光半導体電極参照)。ワンポ
ット法は、1回のコーティング作業で済むので、乾燥も
1回で済み、製造工程を短縮できるという利点がある。
【0047】使用するコーティング液は、導電性無機化
合物及び光半導体粒子を溶剤に分散することにより調製
される。さらにバインダーが含まれていることが好まし
い。
合物及び光半導体粒子を溶剤に分散することにより調製
される。さらにバインダーが含まれていることが好まし
い。
【0048】上記溶剤としては、エタノール、プロパノ
ール、ブタノール等のアルコール類;2−ブタノンなど
のケトン類;トルエンなどの芳香族炭化水素が挙げられ
る。多孔質高分子フィルムの種類、作業性などに応じて
適宜選択すればよい。バインダーとしては、ブチラール
樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂などが挙げられ、多
孔性フィルムの種類に応じて、濡れ性の良好なバインダ
ーを適宜選択すればよい。具体的には、コーティング液
は、市販の導電性無機化合物分散インクに、光半導体粒
子を添加することにより調製してもよいし、あるいは市
販の光半導体粒子分散液に導電性無機化合物を添加する
ことにより調製してもよい。
ール、ブタノール等のアルコール類;2−ブタノンなど
のケトン類;トルエンなどの芳香族炭化水素が挙げられ
る。多孔質高分子フィルムの種類、作業性などに応じて
適宜選択すればよい。バインダーとしては、ブチラール
樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂などが挙げられ、多
孔性フィルムの種類に応じて、濡れ性の良好なバインダ
ーを適宜選択すればよい。具体的には、コーティング液
は、市販の導電性無機化合物分散インクに、光半導体粒
子を添加することにより調製してもよいし、あるいは市
販の光半導体粒子分散液に導電性無機化合物を添加する
ことにより調製してもよい。
【0049】塗布方法としては、ローラコーティング
法、スプレー法、浸漬法などが挙げられる。
法、スプレー法、浸漬法などが挙げられる。
【0050】塗布後、乾燥して溶剤を揮発させる。乾燥
温度は、溶剤を揮発させることができる温度であればよ
く、多孔質高分子フィルムの耐熱性及び生産性(乾燥時
間)、溶剤の種類に応じて適宜選択すればよい。従っ
て、耐熱性に優れた高分子フィルムを用いる場合には、
迅速に乾燥するために、100℃以上の高温に加熱し、
300℃未満で乾燥することが好ましく、低級アルコー
ルのように揮発性の高い溶剤を用いている場合には、室
温で乾燥することもできる。一方、多孔質高分子フィル
ムの耐熱性に問題がない場合、例えば、多孔質高分子フ
ィルムとして、ePTFEのように耐熱性に優れた多孔
質高分子フィルムを用いる場合には、乾燥処理を行なっ
た後、または乾燥処理を省いて150℃以上で焼成する
ことが好ましい。焼成温度の上限は、300℃である。
多孔質高分子フィルムに及ぼす影響を考慮すれば、これ
以上の高温加熱は好ましくない。
温度は、溶剤を揮発させることができる温度であればよ
く、多孔質高分子フィルムの耐熱性及び生産性(乾燥時
間)、溶剤の種類に応じて適宜選択すればよい。従っ
て、耐熱性に優れた高分子フィルムを用いる場合には、
迅速に乾燥するために、100℃以上の高温に加熱し、
300℃未満で乾燥することが好ましく、低級アルコー
ルのように揮発性の高い溶剤を用いている場合には、室
温で乾燥することもできる。一方、多孔質高分子フィル
ムの耐熱性に問題がない場合、例えば、多孔質高分子フ
ィルムとして、ePTFEのように耐熱性に優れた多孔
質高分子フィルムを用いる場合には、乾燥処理を行なっ
た後、または乾燥処理を省いて150℃以上で焼成する
ことが好ましい。焼成温度の上限は、300℃である。
多孔質高分子フィルムに及ぼす影響を考慮すれば、これ
以上の高温加熱は好ましくない。
【0051】次に、逐次法について説明する。逐次法で
は、導電性フィルムの製造に用いる導電性コーティング
液と、さらに光半導体粒子を充填するための光半導体コ
ーティング液を別々に調製して用いる必要がある。導電
性コーティング液は、導電性無機化合物を溶剤に分散し
て調製し、光半導体コーティング液は、光半導体粒子を
溶剤に分散して調製する。バインダーを使用する場合に
は、各コーティング液にバインダーを添加してもよい
し、いずれか一方のコーティング液にだけバインダーを
添加してもよい。尚、使用できるバインダー及び溶剤
は、ワンポット法で例示したものと同様である。
は、導電性フィルムの製造に用いる導電性コーティング
液と、さらに光半導体粒子を充填するための光半導体コ
ーティング液を別々に調製して用いる必要がある。導電
性コーティング液は、導電性無機化合物を溶剤に分散し
て調製し、光半導体コーティング液は、光半導体粒子を
溶剤に分散して調製する。バインダーを使用する場合に
は、各コーティング液にバインダーを添加してもよい
し、いずれか一方のコーティング液にだけバインダーを
添加してもよい。尚、使用できるバインダー及び溶剤
は、ワンポット法で例示したものと同様である。
【0052】逐次法では、まず、連通型多孔質高分子フ
ィルムに、導電性コーティング液を塗布し、乾燥して導
電性フィルムを作製する。次いで、この導電性フィルム
に、光半導体コーティング液を塗布し、乾燥すると、光
半導体電極が得られる。光半導体コーティング液は、導
電性フィルムのいずれの面から塗布してもよい。但し、
図2に示す導電性フィルム11のように、導電性フィル
ム11の片側に導電層5が形成されている場合、導電層
5が形成されていない側から光半導体コーティング液を
塗布することが好ましい。尚、塗布方法、乾燥方法は、
ワンポット法と同様である。このような逐次法の場合、
光半導体粒子が密な光半導体層7が形成される(図3に
示す光半導体電極22参照)。
ィルムに、導電性コーティング液を塗布し、乾燥して導
電性フィルムを作製する。次いで、この導電性フィルム
に、光半導体コーティング液を塗布し、乾燥すると、光
半導体電極が得られる。光半導体コーティング液は、導
電性フィルムのいずれの面から塗布してもよい。但し、
図2に示す導電性フィルム11のように、導電性フィル
ム11の片側に導電層5が形成されている場合、導電層
5が形成されていない側から光半導体コーティング液を
塗布することが好ましい。尚、塗布方法、乾燥方法は、
ワンポット法と同様である。このような逐次法の場合、
光半導体粒子が密な光半導体層7が形成される(図3に
示す光半導体電極22参照)。
【0053】尚、支持体付き光半導体電極を製造する場
合、上記製造方法に基づいて、光半導体電極本体を作成
した後、この光半導体電極本体を支持体12または支持
体13に積層してもよいが、以下の方法で製造すること
が好ましい。
合、上記製造方法に基づいて、光半導体電極本体を作成
した後、この光半導体電極本体を支持体12または支持
体13に積層してもよいが、以下の方法で製造すること
が好ましい。
【0054】図6に示す支持体付き光半導体電極23を
作製する場合、まず、多孔質高分子フィルム1を支持体
12の高導電層12b上に載置し、かかる状態で、コー
ティング液を塗布することが好ましい。このような方法
は、塗装作業性の点で優れているだけでなく、特にコー
ティング液にバインダーが含まれている場合に、バイン
ダーが多孔質高分子フィルム1と高導電層12bとの接
着強度の向上に寄与するからである。
作製する場合、まず、多孔質高分子フィルム1を支持体
12の高導電層12b上に載置し、かかる状態で、コー
ティング液を塗布することが好ましい。このような方法
は、塗装作業性の点で優れているだけでなく、特にコー
ティング液にバインダーが含まれている場合に、バイン
ダーが多孔質高分子フィルム1と高導電層12bとの接
着強度の向上に寄与するからである。
【0055】一方、図7に示す支持体付き光半導体電極
24を製造する場合、まず光半導体電極本体を作製して
から、支持体13上に積層する必要がある。この場合、
支持体13と光半導体電極本体の接着強度を確保するた
めに、バインダーで両者を接着する方法もあるが、コー
ティング液を塗布した後、半乾燥状態で支持体13に積
層し、かかる状態で乾燥を終了する、あるいは焼成する
ことが好ましい。
24を製造する場合、まず光半導体電極本体を作製して
から、支持体13上に積層する必要がある。この場合、
支持体13と光半導体電極本体の接着強度を確保するた
めに、バインダーで両者を接着する方法もあるが、コー
ティング液を塗布した後、半乾燥状態で支持体13に積
層し、かかる状態で乾燥を終了する、あるいは焼成する
ことが好ましい。
【0056】以上のような製造方法によれば、ワンポッ
ト法、逐次法いずれであっても、コーティング液を塗布
し、乾燥するだけでよく、高温での焼成を必要としない
ので、ガラス基板と比べて耐熱性に劣る高分子フィルム
を基材とする光半導体電極の製造方法として優れてい
る。
ト法、逐次法いずれであっても、コーティング液を塗布
し、乾燥するだけでよく、高温での焼成を必要としない
ので、ガラス基板と比べて耐熱性に劣る高分子フィルム
を基材とする光半導体電極の製造方法として優れてい
る。
【0057】〔光増感型光半導体電極〕本発明の光半導
体電極に、さらに光増感色素を含浸させてもよい。特
に、光半導体粒子が酸化チタンのように紫外線により励
起する物質の場合で、しかも用途が湿式太陽電池の光半
導体電極のように太陽光を有効に利用したい場合、光増
感型色素を付着させておくことが好ましい。
体電極に、さらに光増感色素を含浸させてもよい。特
に、光半導体粒子が酸化チタンのように紫外線により励
起する物質の場合で、しかも用途が湿式太陽電池の光半
導体電極のように太陽光を有効に利用したい場合、光増
感型色素を付着させておくことが好ましい。
【0058】光増感型色素としては、太陽光を有効に利
用できるように、長波長の可視光を吸収できるものが好
ましく、具体的にはルテニウム錯体を骨格とする色素が
好ましく用いられる。例えば、シス−ビス(イソチアシ
ナト)ビス(2,2′−ビピリジル−4,4′−ジカル
ボキシラト)ルテニウム(II)、シス−ビス(イソチ
アシナト)ビス(2,2′−ビピリジル−4,4′−ジ
カルボキシラト)ルテニウム(II)ビス(テトラブチ
ルアンモニウム)、トリス(イソチアシアナト)ルテニ
ウム(II)−2,2′:6′,2”−ターピリジン−
4,4′,4”−トリカルボン酸、ビス(3,4−ジカ
ルボキシピリジン)(1,4,8,11,15,18,
22,25−オクタメチルフタロシアニナト)ルテニウ
ム(II)、シス−ビス(イソチアシアナト)ビス
(1,10−フェナントロリル−4,7−ジカルボキシ
ラト)ルテニウム(II)などが挙げられる。
用できるように、長波長の可視光を吸収できるものが好
ましく、具体的にはルテニウム錯体を骨格とする色素が
好ましく用いられる。例えば、シス−ビス(イソチアシ
ナト)ビス(2,2′−ビピリジル−4,4′−ジカル
ボキシラト)ルテニウム(II)、シス−ビス(イソチ
アシナト)ビス(2,2′−ビピリジル−4,4′−ジ
カルボキシラト)ルテニウム(II)ビス(テトラブチ
ルアンモニウム)、トリス(イソチアシアナト)ルテニ
ウム(II)−2,2′:6′,2”−ターピリジン−
4,4′,4”−トリカルボン酸、ビス(3,4−ジカ
ルボキシピリジン)(1,4,8,11,15,18,
22,25−オクタメチルフタロシアニナト)ルテニウ
ム(II)、シス−ビス(イソチアシアナト)ビス
(1,10−フェナントロリル−4,7−ジカルボキシ
ラト)ルテニウム(II)などが挙げられる。
【0059】光増感型色素の付着方法としては、上記色
素を溶剤に溶解した色素液を調製し、この色素液中に光
半導体電極を浸漬すればよい。浸漬後、乾燥すると、色
素は、主として光半導体粒子に付着している。場合によ
っては、加熱すると、より付着しやすくなる。いくつか
の光増感型色素は、その化学構造上、光半導体粒子と結
合を形成しやすいという性質を有しているので、色素液
に浸漬し、乾燥するだけで、色素を光半導体粒子に付着
させることができる。
素を溶剤に溶解した色素液を調製し、この色素液中に光
半導体電極を浸漬すればよい。浸漬後、乾燥すると、色
素は、主として光半導体粒子に付着している。場合によ
っては、加熱すると、より付着しやすくなる。いくつか
の光増感型色素は、その化学構造上、光半導体粒子と結
合を形成しやすいという性質を有しているので、色素液
に浸漬し、乾燥するだけで、色素を光半導体粒子に付着
させることができる。
【0060】光増感型色素が光半導体粒子に付着した光
半導体電極は、グレッツェル型太陽電池としてよく知ら
れているように、光半導体粒子本来のバンドギャップよ
りも長波長の可視光を色素が吸収し、光励起した色素内
の電子が光半導体粒子表面から近傍の導電性無機化合物
を介して、電子が伝導する。一方、電子の移動によって
酸化された色素は、酸化還元型電解質溶液、例えばヨウ
素溶液中の還元剤(ヨウ化物イオン)により還元され
る。このように、光増感型色素は、太陽光を有効に利用
して、電気エネルギーに変換できる。つまり、酸化チタ
ンのように紫外線により光励起して電子を生成する光半
導体物質を用いる光半導体電極であっても、光増感色素
を付着させることにより可視光が利用できるようにな
り、太陽電池用の電極として有効である。
半導体電極は、グレッツェル型太陽電池としてよく知ら
れているように、光半導体粒子本来のバンドギャップよ
りも長波長の可視光を色素が吸収し、光励起した色素内
の電子が光半導体粒子表面から近傍の導電性無機化合物
を介して、電子が伝導する。一方、電子の移動によって
酸化された色素は、酸化還元型電解質溶液、例えばヨウ
素溶液中の還元剤(ヨウ化物イオン)により還元され
る。このように、光増感型色素は、太陽光を有効に利用
して、電気エネルギーに変換できる。つまり、酸化チタ
ンのように紫外線により光励起して電子を生成する光半
導体物質を用いる光半導体電極であっても、光増感色素
を付着させることにより可視光が利用できるようにな
り、太陽電池用の電極として有効である。
【0061】
【実施例】はじめに、下記実施例で用いた測定方法につ
いて、説明する。
いて、説明する。
【0062】〔測定方法〕 光線透過率(%) 複合膜の光線透過率は株式会社島津製作所の紫外可視分
光光度計UV−240を用いて測定し、550nmでの
光線透過率(%)で評価した。550nmは可視光線の
黄緑色の波長に該当し、このときの光線透過率が高いほ
ど、透明度が高いことを意味する。
光光度計UV−240を用いて測定し、550nmでの
光線透過率(%)で評価した。550nmは可視光線の
黄緑色の波長に該当し、このときの光線透過率が高いほ
ど、透明度が高いことを意味する。
【0063】表面抵抗率(Ω/□) 三菱化学株式会社の低抵抗率計ロレスターGPを用いて
四探針法で測定した。
四探針法で測定した。
【0064】膜厚(μm) 株式会社ミツトヨ製デジマチックマイクロメータNo.
293−421−20を用いて測定した。
293−421−20を用いて測定した。
【0065】色素の付着量 株式会社島津製作所の紫外可視分光光度計UV−240
を用いて、色素のλma xでの吸光度を測定した。吸光度
が高いほど、色素の付着量が多いことを示し、ひいては
酸化チタンの含有量が多いことを示す。
を用いて、色素のλma xでの吸光度を測定した。吸光度
が高いほど、色素の付着量が多いことを示し、ひいては
酸化チタンの含有量が多いことを示す。
【0066】〔逐次法による光半導体電極の製造〕 実施例1〜3:支持体として、王子トービ株式会社の透
明導電性フィルムOTEC−110B−125N(1.
1×101Ω/□、550nmでの透過率73%)を用
いた。これは、厚み124μmのポリエステルフィルム
の片面に、イオンプレーティングによりインジウム・ス
ズ酸化物(ITO)からなる高導電層を形成した透明導
電性フィルムである。
明導電性フィルムOTEC−110B−125N(1.
1×101Ω/□、550nmでの透過率73%)を用
いた。これは、厚み124μmのポリエステルフィルム
の片面に、イオンプレーティングによりインジウム・ス
ズ酸化物(ITO)からなる高導電層を形成した透明導
電性フィルムである。
【0067】住友金属鉱山株式会社製ITO−M6(ア
ルコール系溶媒に、インジウム・スズ酸化物(ITO)
超微粒子を分散させたインク)に、和光純薬工業株式会
社ポリビニルブチラール2000(平均重合度1900
〜2100)を5g/dm3の濃度になるように加え
て、導電性コーティング液を調製した。
ルコール系溶媒に、インジウム・スズ酸化物(ITO)
超微粒子を分散させたインク)に、和光純薬工業株式会
社ポリビニルブチラール2000(平均重合度1900
〜2100)を5g/dm3の濃度になるように加え
て、導電性コーティング液を調製した。
【0068】多孔質高分子フィルムとして、膜厚約2μ
m、空孔率60%、最大孔径0.30μmの延伸多孔質
ポリテトラフルオロエチレン(ePTFE)フィルムを
使用し、この多孔質高分子フィルムを上記支持体の高導
電層上に載置し、次いで、ePTFEフィルムの表面
に、上記導電性コーティング液をガラス棒で塗布した。
塗布後、真空乾燥機で150℃、20分間乾燥して、支
持体付き導電性多孔質高分子フィルムを作製した。この
多孔質高分子フィルムの膜厚、重量、表面抵抗率は、表
1に示す通りである。
m、空孔率60%、最大孔径0.30μmの延伸多孔質
ポリテトラフルオロエチレン(ePTFE)フィルムを
使用し、この多孔質高分子フィルムを上記支持体の高導
電層上に載置し、次いで、ePTFEフィルムの表面
に、上記導電性コーティング液をガラス棒で塗布した。
塗布後、真空乾燥機で150℃、20分間乾燥して、支
持体付き導電性多孔質高分子フィルムを作製した。この
多孔質高分子フィルムの膜厚、重量、表面抵抗率は、表
1に示す通りである。
【0069】この導電性フィルムの支持体に接触してい
ない側の面に、石原テクノ株式会社の酸化チタンコーテ
ィング液ST−K01(固形分10質量%、TiO2/
シリケート系バインダー=80/20)を塗布した。塗
布後、真空乾燥機で150℃、20分間乾燥することに
より、酸化チタンが担持された半導体電極を得た。得ら
れた光半導体電極の表面抵抗率、膜厚、重量を測定し、
その結果を表1に示す。
ない側の面に、石原テクノ株式会社の酸化チタンコーテ
ィング液ST−K01(固形分10質量%、TiO2/
シリケート系バインダー=80/20)を塗布した。塗
布後、真空乾燥機で150℃、20分間乾燥することに
より、酸化チタンが担持された半導体電極を得た。得ら
れた光半導体電極の表面抵抗率、膜厚、重量を測定し、
その結果を表1に示す。
【0070】実施例4,5:実施例1と同様にして作製
した導電性フィルムを用いた。酸化チタンコーティング
液を、ST−K03(固形分10wt%、TiO2/バ
インダー=50/50)に変更した以外は実施例1と同
様にして、光半導体電極を製造した。
した導電性フィルムを用いた。酸化チタンコーティング
液を、ST−K03(固形分10wt%、TiO2/バ
インダー=50/50)に変更した以外は実施例1と同
様にして、光半導体電極を製造した。
【0071】作製した導電性フィルム及び光半導体電極
の表面抵抗率及び光線透過率を測定し、その測定結果を
表1に示す。
の表面抵抗率及び光線透過率を測定し、その測定結果を
表1に示す。
【0072】比較例1:上記実施例で支持体として用い
た王子トービ株式会社の透明導電性フィルムOTEC−
110B−125Nの片面に、直接、実施例1と同様の
酸化チタンコーティング液を塗布し、乾燥した。得られ
た光半導体電極の膜厚、重量を測定した結果を表1に示
す。
た王子トービ株式会社の透明導電性フィルムOTEC−
110B−125Nの片面に、直接、実施例1と同様の
酸化チタンコーティング液を塗布し、乾燥した。得られ
た光半導体電極の膜厚、重量を測定した結果を表1に示
す。
【0073】得られた光半導体電極は、表面に無色透明
結晶が析出していて、光半導体層(酸化チタン膜)の透
明導電性フィルムへの密着性は極めて悪く、大部分の酸
化チタンが剥がれ落ちてしまった。
結晶が析出していて、光半導体層(酸化チタン膜)の透
明導電性フィルムへの密着性は極めて悪く、大部分の酸
化チタンが剥がれ落ちてしまった。
【0074】比較例2:酸化チタンコーティング液を、
実施例4で用いた酸化チタンコーティング液(ST−K
03)に代えた以外は、比較例1と同様にして、光半導
体電極を作製した。作製した光半導体電極の膜厚、重量
を測定した結果を表1に示す。
実施例4で用いた酸化チタンコーティング液(ST−K
03)に代えた以外は、比較例1と同様にして、光半導
体電極を作製した。作製した光半導体電極の膜厚、重量
を測定した結果を表1に示す。
【0075】乾燥により形成された光半導体層は密着性
が悪く、大部分の酸化チタンが剥がれ落ちてしまった。
が悪く、大部分の酸化チタンが剥がれ落ちてしまった。
【0076】実施例6:導電性コーティング液に含まれ
るポリビニルブチラールの含有量を1g/dm 3に変更
した以外は、実施例1と同様にして、光半導体電極を作
製した。
るポリビニルブチラールの含有量を1g/dm 3に変更
した以外は、実施例1と同様にして、光半導体電極を作
製した。
【0077】光半導体電極の膜厚増加量は7μmであ
り、重量増加量は15.6mgであった。また表面抵抗
率は、2.34×107Ω/□、550nmにおける光
線透過率48.6%であった。
り、重量増加量は15.6mgであった。また表面抵抗
率は、2.34×107Ω/□、550nmにおける光
線透過率48.6%であった。
【0078】
【表1】
【0079】表1からわかるように、いずれの場合も、
酸化チタンコーティング液が塗布されてなる光半導体電
極の方が、表面抵抗率が増大し、膜厚及び重量が増大し
ていた。このことから、酸化チタンコーティング液の塗
布により、酸化チタンが付着したことがわかる。しかし
ながら、いずれの実施例も10mg以上増加しているの
に対し、比較例では5〜8mgと付着量が少なかった。
このことから、本発明の光半導体電極は、導電性フィル
ムとして多孔質高分子フィルムを用いているので、高密
度に多量の酸化チタンを担持できたことがわかる。
酸化チタンコーティング液が塗布されてなる光半導体電
極の方が、表面抵抗率が増大し、膜厚及び重量が増大し
ていた。このことから、酸化チタンコーティング液の塗
布により、酸化チタンが付着したことがわかる。しかし
ながら、いずれの実施例も10mg以上増加しているの
に対し、比較例では5〜8mgと付着量が少なかった。
このことから、本発明の光半導体電極は、導電性フィル
ムとして多孔質高分子フィルムを用いているので、高密
度に多量の酸化チタンを担持できたことがわかる。
【0080】〔ワンポット法による光半導体電極の製
造〕 実施例7〜14:バインダーとしてポリビニルブチラー
ルを用いたITOインクに、石原テクノ株式会社の酸化
チタン粉末ST−21を加えて、ITO粒子と酸化チタ
ンが表2に示すような割合で含有されているワンポット
用コーティング液を調製した。
造〕 実施例7〜14:バインダーとしてポリビニルブチラー
ルを用いたITOインクに、石原テクノ株式会社の酸化
チタン粉末ST−21を加えて、ITO粒子と酸化チタ
ンが表2に示すような割合で含有されているワンポット
用コーティング液を調製した。
【0081】支持体として透明導電性フィルムOTEC
−110B−125Nを使用し、この導電面に、膜厚2
μmのePTFEフィルムを載置し、ePTFEフィル
ムの表面に上記ワンポット用コーティング液を塗布し
た。塗布後、真空乾燥機で150℃、20分間乾燥し
て、光半導体電極を作製した。得られた光半導体電極の
表面抵抗率、透過率を測定し、その結果を表2に示す。
−110B−125Nを使用し、この導電面に、膜厚2
μmのePTFEフィルムを載置し、ePTFEフィル
ムの表面に上記ワンポット用コーティング液を塗布し
た。塗布後、真空乾燥機で150℃、20分間乾燥し
て、光半導体電極を作製した。得られた光半導体電極の
表面抵抗率、透過率を測定し、その結果を表2に示す。
【0082】
【表2】
【0083】表2からわかるように、コーティング液に
おける酸化チタンの含有量が多いほど、換言すると、光
半導体電極の酸化チタン量が多くなるほど、表面抵抗率
は高くなる。しかしながら、逐次法で作製した光半導体
電極(表1参照)と比べると、表面抵抗率は極めて低
く、導電性フィルム単独の場合と同程度であった。この
ことは、フィルムの一側に形成された光半導体層が、酸
化チタンと導電性無機化合物との混在により形成されて
いるためであると考えられる。また、透過率も酸化チタ
ンの含有量にもよるが、20%以上であり、太陽電池の
光半導体電極として利用できる程度の透過率を確保する
ことができた。
おける酸化チタンの含有量が多いほど、換言すると、光
半導体電極の酸化チタン量が多くなるほど、表面抵抗率
は高くなる。しかしながら、逐次法で作製した光半導体
電極(表1参照)と比べると、表面抵抗率は極めて低
く、導電性フィルム単独の場合と同程度であった。この
ことは、フィルムの一側に形成された光半導体層が、酸
化チタンと導電性無機化合物との混在により形成されて
いるためであると考えられる。また、透過率も酸化チタ
ンの含有量にもよるが、20%以上であり、太陽電池の
光半導体電極として利用できる程度の透過率を確保する
ことができた。
【0084】〔色素増感型光半導体電極〕 実施例15:上記実施例1で作製した光半導体電極を、
80℃で30分間真空乾燥した後、アルドリッチ社製の
色素クマリン343の2−プロパノール液(1.0mm
ol/dm3)に室温で3時間浸漬し、2−プロパノー
ルですすいでから、50℃、30分間真空乾燥して、色
素増感型光半導体電極を作製した。
80℃で30分間真空乾燥した後、アルドリッチ社製の
色素クマリン343の2−プロパノール液(1.0mm
ol/dm3)に室温で3時間浸漬し、2−プロパノー
ルですすいでから、50℃、30分間真空乾燥して、色
素増感型光半導体電極を作製した。
【0085】得られた色素増感型光半導体電極の吸収ス
ペクトルを測定し、クマリン343のλmax448nm
における吸光度を測定した。結果を表3に示す。
ペクトルを測定し、クマリン343のλmax448nm
における吸光度を測定した。結果を表3に示す。
【0086】比較例3:実施例1の光半導体電極に代え
て、比較例1の光半導体電極を用いた以外は、実施例1
5と同様にして色素増感型光半導体電極を作製し、その
吸収スペクトルを測定して、吸光度を求めた。結果を表
3に示す。
て、比較例1の光半導体電極を用いた以外は、実施例1
5と同様にして色素増感型光半導体電極を作製し、その
吸収スペクトルを測定して、吸光度を求めた。結果を表
3に示す。
【0087】
【表3】
【0088】表3からわかるように、多孔質高分子フィ
ルムを用いた光半導体電極(実施例15)は、多孔質で
ない高分子フィルムに直接酸化チタンコーティング液を
コーティングしてなる光半導体電極(比較例3)と比べ
て、酸化チタン付着量が多く、これにより、色素付着量
も多くなり、吸光度も高かった。
ルムを用いた光半導体電極(実施例15)は、多孔質で
ない高分子フィルムに直接酸化チタンコーティング液を
コーティングしてなる光半導体電極(比較例3)と比べ
て、酸化チタン付着量が多く、これにより、色素付着量
も多くなり、吸光度も高かった。
【0089】
【発明の効果】本発明の光半導体電極は、従来の方法で
は得られなかった3次元的に広がる大きな厚み及び比表
面積を有する導電層及び光半導体層を有しており、しか
も光半導体粒子が多孔質高分子フィルムの空孔内に保持
されるので、安定で高密度、かつ多量の光半導体粒子を
担持することができる。さらに、本発明の光半導体電極
の製造では高温の加熱処理を必須としないため、耐熱性
が十分でない高分子フィルムを基板として、軽量で柔軟
な透明の光半導体電極を作製することができる。
は得られなかった3次元的に広がる大きな厚み及び比表
面積を有する導電層及び光半導体層を有しており、しか
も光半導体粒子が多孔質高分子フィルムの空孔内に保持
されるので、安定で高密度、かつ多量の光半導体粒子を
担持することができる。さらに、本発明の光半導体電極
の製造では高温の加熱処理を必須としないため、耐熱性
が十分でない高分子フィルムを基板として、軽量で柔軟
な透明の光半導体電極を作製することができる。
【0090】さらに、本発明の光半導体電極に色素を付
着してなる色素増感型光半導体電極であれば、太陽光を
有効に利用した光電変換効率が高い光半導体電極がえら
れるので、湿式太陽電池用光半導体電極に好適である。
着してなる色素増感型光半導体電極であれば、太陽光を
有効に利用した光電変換効率が高い光半導体電極がえら
れるので、湿式太陽電池用光半導体電極に好適である。
【図1】本発明にかかる第1の実施形態の導電性フィル
ムの構成を示す模式図である。
ムの構成を示す模式図である。
【図2】本発明にかかる第2の実施形態の導電性フィル
ムの構成を示す模式図である。
ムの構成を示す模式図である。
【図3】図1の導電性フィルムを用いた光半導体電極の
構成を示す模式図である。
構成を示す模式図である。
【図4】図2の導電性フィルムを用いた光半導体電極の
構成を示す模式図である。
構成を示す模式図である。
【図5】図1の導電性フィルムを用い、且つ本発明の製
造方法で製造した光半導体電極の構成を示す模式図であ
る。
造方法で製造した光半導体電極の構成を示す模式図であ
る。
【図6】図3の光半導体電極を用いた支持体付き光半導
体電極の構成を示す模式図である。
体電極の構成を示す模式図である。
【図7】図4の光半導体電極を用いた支持体付き光半導
体電極の構成を示す模式図である。
体電極の構成を示す模式図である。
【図8】従来の湿式型太陽電池の基本的構成を示す模式
図である。
図である。
1 連通型多孔質高分子フィルム 2 骨格 3 空孔 4,4′ 導電性無機化合物 5 導電層 6 光半導体粒子 7,7′ 光半導体層 10,11 導電性フィルム 12,13 支持体 12a 基材 12b 高導電層 20,21,22 光半導体電極(本体) 23,24 支持体付き光半導体電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5F051 AA14 5H032 AA06 AS16 BB00 BB05 EE01 EE04 EE05 EE07 EE12 EE16 EE18 HH01 HH04 HH07
Claims (11)
- 【請求項1】 導電性を有する多孔質高分子フィルム
に、光半導体粒子が担持されていて、且つ透明であるこ
とを特徴とする光半導体電極。 - 【請求項2】 前記光半導体粒子は、前記多孔質高分子
フィルムの空孔内に充填されるとともに、前記多孔質高
分子フィルムの片面に光半導体層を形成するように、前
記多孔質高分子フィルムに担持されている請求項1に記
載の光半導体電極。 - 【請求項3】 さらに、透明支持体を含み、 該透明支持体の一側面に高導電層が形成されていて、 該高導電層上に、請求項1または2の光半導体電極が積
層されている光半導体電極。 - 【請求項4】 前記光半導体粒子は、バインダーを用い
て、前記多孔質高分子フィルムに担持されている請求項
1〜3のいずれかに記載の光半導体電極。 - 【請求項5】 前記光半導体粒子に、光増感色素が付着
している請求項1〜4のいずれかに記載の光半導体電
極。 - 【請求項6】 前記導電性を有する多孔質高分子フィル
ムは、連通型多孔質高分子フィルムに導電性無機化合物
が担持されたものである請求項1〜5のいずれかに記載
の光半導体電極。 - 【請求項7】 前記連通型多孔質高分子フィルムの厚み
は30μm以下である請求項6に記載の光半導体電極。 - 【請求項8】 前記導電性無機化合物は、バインダーを
用いて、前記連通型多孔質高分子フィルムに担持されて
いる請求項6または7に記載の光半導体電極。 - 【請求項9】 前記連通型多孔質高分子フィルムは、延
伸多孔質ポリテトラフルオロエチレンである請求項6〜
8のいずれかに記載の光半導体電極。 - 【請求項10】 550nmの光線透過率が5%以上で
ある請求項1〜9のいずれかに記載の光半導体電極。 - 【請求項11】 連通型多孔質高分子フィルムの少なく
とも一面に、導電性無機化合物及び光半導体粒子を分散
させてなるコーティング液を塗布し、乾燥する工程を含
むことを特徴とする光半導体電極の製造方法。
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