JP2001092537A - 炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置 - Google Patents
炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 51
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 abstract 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 102100032566 Carbonic anhydrase-related protein 10 Human genes 0.000 description 1
- 101000867836 Homo sapiens Carbonic anhydrase-related protein 10 Proteins 0.000 description 1
- 101000629937 Homo sapiens Translocon-associated protein subunit alpha Proteins 0.000 description 1
- 101000629913 Homo sapiens Translocon-associated protein subunit beta Proteins 0.000 description 1
- 101000697347 Homo sapiens Translocon-associated protein subunit gamma Proteins 0.000 description 1
- 102100026231 Translocon-associated protein subunit alpha Human genes 0.000 description 1
- 102100026229 Translocon-associated protein subunit beta Human genes 0.000 description 1
- 102100028160 Translocon-associated protein subunit gamma Human genes 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 炉体に設けた複数のヒー
ターの中の基準のヒーターの近傍の一本の温度センサに
より、複数のヒーターの出力を制御し、炉体内を均一温
度に調節するようにした炉体等の温度制御方法とその炉
体等を備えた装置。 【解決手段】炉体１０に設けた基準のヒーター１，２，
３を含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内を任意
の設定温度に加熱し、炉体内に設けた複数個の炉体内温
度分布センサ６，７，８の温度差を設定温度に対して一
定範囲内に制御し、そのときの前記ヒータの各出力をマ
イクロコンピュータ１１の不揮発性メモリ１２に記憶
し、次いで、炉体１０内に試料を投入し、校正用温度セ
ンサにより試料の温度を測定し、前記設定温度と校正用
温度センサの温度差を校正値として不揮発性メモリ１２
に記憶し、炉体１０の基準のヒーターの近傍の一本の温
度センサ４により、前記不揮発性メモリに基づいて校正
値を設定温度に加算した温度になるように複数のヒータ
の出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するようにし
た炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置。
ターの中の基準のヒーターの近傍の一本の温度センサに
より、複数のヒーターの出力を制御し、炉体内を均一温
度に調節するようにした炉体等の温度制御方法とその炉
体等を備えた装置。 【解決手段】炉体１０に設けた基準のヒーター１，２，
３を含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内を任意
の設定温度に加熱し、炉体内に設けた複数個の炉体内温
度分布センサ６，７，８の温度差を設定温度に対して一
定範囲内に制御し、そのときの前記ヒータの各出力をマ
イクロコンピュータ１１の不揮発性メモリ１２に記憶
し、次いで、炉体１０内に試料を投入し、校正用温度セ
ンサにより試料の温度を測定し、前記設定温度と校正用
温度センサの温度差を校正値として不揮発性メモリ１２
に記憶し、炉体１０の基準のヒーターの近傍の一本の温
度センサ４により、前記不揮発性メモリに基づいて校正
値を設定温度に加算した温度になるように複数のヒータ
の出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するようにし
た炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、恒温槽、炉体等の
温度制御方法とその炉体等を備えたメルトインデクサ等
の各種精密測定装置に関する。
温度制御方法とその炉体等を備えたメルトインデクサ等
の各種精密測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、メルトインデクサ等の各種精密測
定装置における恒温槽、炉体等は、個々に固有の温度特
性を有するものであるから、その温度制御方法として
は、炉体等に設けた複数のヒーターとそれに対応した複
数の温度センサにより、均一温度になるように制御する
のが一般的であった。
定装置における恒温槽、炉体等は、個々に固有の温度特
性を有するものであるから、その温度制御方法として
は、炉体等に設けた複数のヒーターとそれに対応した複
数の温度センサにより、均一温度になるように制御する
のが一般的であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】個々に固有の温度特性
を有するメルトインデクサ等の各種精密測定装置におけ
る恒温槽、炉体等を、複数のヒーターにより均一な温度
になるように制御する場合、その設定温度が異なれば、
複数のヒーターの出力比率も異なってくるため、炉体等
に設けた複数のヒーターとそれに対応した複数の温度セ
ンサにより、均一温度になるように制御することは、従
来から相当な困難が伴う課題があった。
を有するメルトインデクサ等の各種精密測定装置におけ
る恒温槽、炉体等を、複数のヒーターにより均一な温度
になるように制御する場合、その設定温度が異なれば、
複数のヒーターの出力比率も異なってくるため、炉体等
に設けた複数のヒーターとそれに対応した複数の温度セ
ンサにより、均一温度になるように制御することは、従
来から相当な困難が伴う課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、炉体
に設けた複数のヒーターの中の基準のヒーターの近傍の
一本の温度センサにより、複数のヒーターの出力を制御
し、炉体内を均一温度に調節するようにした炉体等の温
度制御方法とその炉体等を備えた装置を提供しようとす
るもので、その要旨は、炉体に設けた基準のヒーターを
含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内を任意の設
定温度に加熱し、炉体内に一定間隔で設けた複数個の炉
体内温度分布センサの温度差を設定温度に対して一定範
囲内の均一温度に制御する一方、そのときの前記複数の
ヒーターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発性メ
モリに記憶し、次いで、炉体内温度分布センサを除去し
て炉体内に試料を投入し、校正用温度センサにより試料
内の温度を測定し、前記設定温度と校正用温度センサの
温度差を校正値としてマイクロコンピュータの不揮発性
メモリに記憶し、炉体の基準のヒーターの近傍の一本の
温度センサにより、前記不揮発性メモリに基づいて校正
値を設定温度に加算した登録温度になるように複数のヒ
ーターの出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するよ
うにした炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装
置にある。
に設けた複数のヒーターの中の基準のヒーターの近傍の
一本の温度センサにより、複数のヒーターの出力を制御
し、炉体内を均一温度に調節するようにした炉体等の温
度制御方法とその炉体等を備えた装置を提供しようとす
るもので、その要旨は、炉体に設けた基準のヒーターを
含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内を任意の設
定温度に加熱し、炉体内に一定間隔で設けた複数個の炉
体内温度分布センサの温度差を設定温度に対して一定範
囲内の均一温度に制御する一方、そのときの前記複数の
ヒーターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発性メ
モリに記憶し、次いで、炉体内温度分布センサを除去し
て炉体内に試料を投入し、校正用温度センサにより試料
内の温度を測定し、前記設定温度と校正用温度センサの
温度差を校正値としてマイクロコンピュータの不揮発性
メモリに記憶し、炉体の基準のヒーターの近傍の一本の
温度センサにより、前記不揮発性メモリに基づいて校正
値を設定温度に加算した登録温度になるように複数のヒ
ーターの出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するよ
うにした炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装
置にある。
【０００５】上記本発明によれば、炉体に設けた基準の
ヒーターを含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内
を任意の設定温度に加熱し、炉体内に一定間隔で設けた
複数個の炉体内温度分布センサの温度差を設定温度に対
して一定範囲内になる均一温度に制御したときの前記複
数のヒーターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発
性メモリに記憶することにより、種々の設定温度に対す
るその炉体の基準のヒーターを含む複数のヒーターの出
力比率が設定でき、次いで、炉体内に試料を投入し、校
正用温度センサにより試料内の温度を測定し、前記炉体
内温度分布センサによる設定温度と校正用温度センサの
温度差を校正値としてマイクロコンピュータの不揮発性
メモリに記憶することにより、実際の試料を投入したと
きの試料毎にことなる温度校正値を設定できるから、炉
体に設けた複数のヒーターの中の基準のヒーターの近傍
の一本の温度センサにより、設定温度に校正値を加えた
温度に対応するように基準のヒーターの出力をシフトし
同時に先の出力比率に従って他のヒーターの出力を制御
すれば、その試料を炉体内において許容可能な一定温度
範囲内の均一温度にすることができる。
ヒーターを含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内
を任意の設定温度に加熱し、炉体内に一定間隔で設けた
複数個の炉体内温度分布センサの温度差を設定温度に対
して一定範囲内になる均一温度に制御したときの前記複
数のヒーターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発
性メモリに記憶することにより、種々の設定温度に対す
るその炉体の基準のヒーターを含む複数のヒーターの出
力比率が設定でき、次いで、炉体内に試料を投入し、校
正用温度センサにより試料内の温度を測定し、前記炉体
内温度分布センサによる設定温度と校正用温度センサの
温度差を校正値としてマイクロコンピュータの不揮発性
メモリに記憶することにより、実際の試料を投入したと
きの試料毎にことなる温度校正値を設定できるから、炉
体に設けた複数のヒーターの中の基準のヒーターの近傍
の一本の温度センサにより、設定温度に校正値を加えた
温度に対応するように基準のヒーターの出力をシフトし
同時に先の出力比率に従って他のヒーターの出力を制御
すれば、その試料を炉体内において許容可能な一定温度
範囲内の均一温度にすることができる。
【０００６】また、本発明は、前記の炉体等の温度制御
方法とその炉体等を備えた装置において、基準ヒーター
の近傍の炉体内温度分布センサと他のヒーターの近傍の
炉体内温度分布センサの温度差を一定範囲内になるよう
に、基準ヒーターの出力に対して他のヒーターの出力割
合を調整し、次に他のヒーター同士をその近傍の炉体内
温度分布センサの温度差を一定範囲内になるように調整
し、これを繰り返して全体の炉体内温度分布センサの温
度差を一定範囲内の均一温度になるように調整し、その
ときの前記複数のヒーターの各出力をマイクロコンピュ
ータの不揮発性メモリに記憶してなる炉体等の温度制御
方法とその炉体等を備えた装置を提供するものである。
方法とその炉体等を備えた装置において、基準ヒーター
の近傍の炉体内温度分布センサと他のヒーターの近傍の
炉体内温度分布センサの温度差を一定範囲内になるよう
に、基準ヒーターの出力に対して他のヒーターの出力割
合を調整し、次に他のヒーター同士をその近傍の炉体内
温度分布センサの温度差を一定範囲内になるように調整
し、これを繰り返して全体の炉体内温度分布センサの温
度差を一定範囲内の均一温度になるように調整し、その
ときの前記複数のヒーターの各出力をマイクロコンピュ
ータの不揮発性メモリに記憶してなる炉体等の温度制御
方法とその炉体等を備えた装置を提供するものである。
【０００７】上記の本発明によれば、先ず、基準ヒータ
ーと他のヒーターの出力を調整してその近傍の炉体内温
度分布センサの温度差が一定範囲内になるように調整
し、次いで、他のヒーター同士の出力を調整し、再度、
基準ヒーターに対する他のヒーターの出力割合を調整
し、再度他のヒーター同士の出力割合を調整し、基準ヒ
ーターの出力を動かさずにこれを繰り返して迅速に全体
の炉体内温度分布センサの温度差を一定範囲内になるよ
うに調整することができる。
ーと他のヒーターの出力を調整してその近傍の炉体内温
度分布センサの温度差が一定範囲内になるように調整
し、次いで、他のヒーター同士の出力を調整し、再度、
基準ヒーターに対する他のヒーターの出力割合を調整
し、再度他のヒーター同士の出力割合を調整し、基準ヒ
ーターの出力を動かさずにこれを繰り返して迅速に全体
の炉体内温度分布センサの温度差を一定範囲内になるよ
うに調整することができる。
【０００８】また、本発明は、請求項１又は２に記載の
炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置におい
て、不揮発性メモリに基づいて複数のヒーターの出力を
演算補間して炉体内を登録温度以外の温度に調節するよ
うにしたことを特徴とする炉体等の温度制御方法とその
炉体等を備えた装置を提供するものである。本発明によ
れば、登録温度に関する不揮発性メモリに基づいて、炉
体内を登録温度以外の温度になるように複数のヒーター
の出力を演算補間して調節することができる。
炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置におい
て、不揮発性メモリに基づいて複数のヒーターの出力を
演算補間して炉体内を登録温度以外の温度に調節するよ
うにしたことを特徴とする炉体等の温度制御方法とその
炉体等を備えた装置を提供するものである。本発明によ
れば、登録温度に関する不揮発性メモリに基づいて、炉
体内を登録温度以外の温度になるように複数のヒーター
の出力を演算補間して調節することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下図示する実施例により本発明
の実施の形態を説明する。１０はメルトインデクサ装置
の炉体を示し、炉体１０の周囲には複数個所に所定間隔
でヒーターが設けてあり、図１の実施例では、下から上
に３領域に分けて、基準となる下部ヒーター１、中部ヒ
ーター２、上部ヒーター３が設けてある。また、４は基
準となる下部ヒーター１の近傍の壁面に埋め込んで設け
た白金抵抗測温体（Ｐｔセンサ）等からなる炉体温度セ
ンサで、１本で炉体の温度を測定するように構成してあ
る。炉体１０内の底部にはダイ５が設けてあり、炉体内
で均一温度に加熱されて溶融した試料がピストンに押さ
れてダイ５の中央のオリフィスから流下するように構成
してある。
の実施の形態を説明する。１０はメルトインデクサ装置
の炉体を示し、炉体１０の周囲には複数個所に所定間隔
でヒーターが設けてあり、図１の実施例では、下から上
に３領域に分けて、基準となる下部ヒーター１、中部ヒ
ーター２、上部ヒーター３が設けてある。また、４は基
準となる下部ヒーター１の近傍の壁面に埋め込んで設け
た白金抵抗測温体（Ｐｔセンサ）等からなる炉体温度セ
ンサで、１本で炉体の温度を測定するように構成してあ
る。炉体１０内の底部にはダイ５が設けてあり、炉体内
で均一温度に加熱されて溶融した試料がピストンに押さ
れてダイ５の中央のオリフィスから流下するように構成
してある。
【００１０】本発明は、炉体１０内を複数のヒーター
１，２，３等で均一温度に調節する手段として、予め炉
体の温度調節系を自動温度校正し、その際に収集した代
表的な設定温度における炉体固有の温度分布データをマ
イクロコンピューター１１の不揮発性メモリー１２に記
憶させるように構成してある。この炉体固有の温度デー
タをマイクロコンピューターにより参照し、代表値以外
の温度を計算で補間することにより、一本の温度センサ
４と一台の温度調節器を用いて複数のヒーターの制御出
力量を任意の設定温度において算出し、より正確な温度
制御を可能にしたヒーター制御方法とその炉体等を備え
た装置を提供するものであり、この方法は、恒温槽にも
そのまま流用できる。
１，２，３等で均一温度に調節する手段として、予め炉
体の温度調節系を自動温度校正し、その際に収集した代
表的な設定温度における炉体固有の温度分布データをマ
イクロコンピューター１１の不揮発性メモリー１２に記
憶させるように構成してある。この炉体固有の温度デー
タをマイクロコンピューターにより参照し、代表値以外
の温度を計算で補間することにより、一本の温度センサ
４と一台の温度調節器を用いて複数のヒーターの制御出
力量を任意の設定温度において算出し、より正確な温度
制御を可能にしたヒーター制御方法とその炉体等を備え
た装置を提供するものであり、この方法は、恒温槽にも
そのまま流用できる。
【００１１】炉体１０内には、前記下部ヒーター１、中
部ヒーター２、上部ヒーター３に対応して炉体の長さ方
向に壁面に密着する金属ブロックで支持されたＰｔセン
サからなる炉体内温度分布センサ６，７，８が着脱自在
に設けることができるように構成してあり、ここでは、
最下位のセンサ６はダイ５の上面から１０ｍｍ、他の２
個のセンサ７，８はそれから４０ｍｍずつ上に配置され
ている。炉体内温度分布センサ６，７，８は温度分布調
整治具９を介してマイクロコンピューター１１に接続し
てあり、炉体温度センサ４は温度調節器１３を介してマ
イクロコンピューター１１に接続してある。また、各ヒ
ーター１，２，３の出力はそれぞれソリッド・ステート
・リレーＳＳＲ１，ＳＳＲ２，ＳＳＲ３により制御さ
れ、その出力量はマイクロコンピューター１１の出力Ｏ
ＵＴ１，ＯＵＴ２，ＯＵＴ３により制御されるように構
成してある。
部ヒーター２、上部ヒーター３に対応して炉体の長さ方
向に壁面に密着する金属ブロックで支持されたＰｔセン
サからなる炉体内温度分布センサ６，７，８が着脱自在
に設けることができるように構成してあり、ここでは、
最下位のセンサ６はダイ５の上面から１０ｍｍ、他の２
個のセンサ７，８はそれから４０ｍｍずつ上に配置され
ている。炉体内温度分布センサ６，７，８は温度分布調
整治具９を介してマイクロコンピューター１１に接続し
てあり、炉体温度センサ４は温度調節器１３を介してマ
イクロコンピューター１１に接続してある。また、各ヒ
ーター１，２，３の出力はそれぞれソリッド・ステート
・リレーＳＳＲ１，ＳＳＲ２，ＳＳＲ３により制御さ
れ、その出力量はマイクロコンピューター１１の出力Ｏ
ＵＴ１，ＯＵＴ２，ＯＵＴ３により制御されるように構
成してある。
【００１２】本発明の自動温度分布調整プログラムを、
設定温度に対して炉体の温度差を、例えば、０．３℃以
内の均一温度に調整する場合を、図２を参照して説明す
ると、分布調整開始時には、デフォルト出力（下部ヒー
ター１の出力量に対し、上部ヒーター３の出力量１００
％、中部ヒーター２の出力量０％）により、炉体１０を
温度調節器１３と炉体温度センサ４で設定した設定温度
に温調する。炉体１０が基準となる下部ヒーター１の近
傍の炉体温度センサ４により設定温度に昇温してから１
５分間安定させた後、まず、炉体上部温度と下部温度の
温度偏差を炉体内温度分布センサ６、８により０．３℃
以内になるように、基準となる下部ヒータ１の出力に対
して上部ヒーター３の出力を加減する。
設定温度に対して炉体の温度差を、例えば、０．３℃以
内の均一温度に調整する場合を、図２を参照して説明す
ると、分布調整開始時には、デフォルト出力（下部ヒー
ター１の出力量に対し、上部ヒーター３の出力量１００
％、中部ヒーター２の出力量０％）により、炉体１０を
温度調節器１３と炉体温度センサ４で設定した設定温度
に温調する。炉体１０が基準となる下部ヒーター１の近
傍の炉体温度センサ４により設定温度に昇温してから１
５分間安定させた後、まず、炉体上部温度と下部温度の
温度偏差を炉体内温度分布センサ６、８により０．３℃
以内になるように、基準となる下部ヒータ１の出力に対
して上部ヒーター３の出力を加減する。
【００１３】炉体上部温度と下部温度の温度偏差が０．
３℃以内に収束したならば、次に炉体中部温度と下部温
度の温度偏差を炉体内温度分布センサ６、８により０．
３℃以内になるように、基準となる下部ヒーター１の出
力に対して中部ヒーター２の出力を加減する。炉体中部
温度と下部温度の温度偏差が０．３℃以内に収束したな
らば、次に炉体中部温度と上部温度の温度偏差を炉体内
温度分布センサ７、８により０．３℃以内になるよう
に、下部の炉体内温度分布センサ６の下部温度との温度
差と比較し、基準となる下部ヒーター１の出力に対して
中部ヒーター２及び上部ヒーター３の出力を加減する。
３℃以内に収束したならば、次に炉体中部温度と下部温
度の温度偏差を炉体内温度分布センサ６、８により０．
３℃以内になるように、基準となる下部ヒーター１の出
力に対して中部ヒーター２の出力を加減する。炉体中部
温度と下部温度の温度偏差が０．３℃以内に収束したな
らば、次に炉体中部温度と上部温度の温度偏差を炉体内
温度分布センサ７、８により０．３℃以内になるよう
に、下部の炉体内温度分布センサ６の下部温度との温度
差と比較し、基準となる下部ヒーター１の出力に対して
中部ヒーター２及び上部ヒーター３の出力を加減する。
【００１４】上記の上部又は中部ヒーターの出力調整に
おいて、出力を変化させたときは必ず５分間の安定時間
を設け、その後１０分の間に一度でも温度偏差０．３℃
から外れると、上からの優先順位で出力を変化させる。
但し、下部と上部との温度差：Ｔ下−上＞１．０℃、ま
たは、Ｔ下−上＜−０．３℃、または、下部と中部との
温度差：Ｔ下−中＜−０．３℃のいずれかの状態が連続
で３分間続いた場合は、すぐに出力量を変化させる。温
度分布が０．３℃以内に収束したら、この時の上、中出
力量と上、中、下部温度を不揮発性メモリ１２に記憶す
る。次いで、温度調節器１３と炉体温度センサ４により
次の設定温度に温調し、再び温度分布調整を繰り返す。
そして、所定の温度間隔を有する全設定温度に対する
上、中出力量と上、中、下部温度を不揮発性メモリ１２
に記憶することにより、この炉体の温度分布調整は完了
する。
おいて、出力を変化させたときは必ず５分間の安定時間
を設け、その後１０分の間に一度でも温度偏差０．３℃
から外れると、上からの優先順位で出力を変化させる。
但し、下部と上部との温度差：Ｔ下−上＞１．０℃、ま
たは、Ｔ下−上＜−０．３℃、または、下部と中部との
温度差：Ｔ下−中＜−０．３℃のいずれかの状態が連続
で３分間続いた場合は、すぐに出力量を変化させる。温
度分布が０．３℃以内に収束したら、この時の上、中出
力量と上、中、下部温度を不揮発性メモリ１２に記憶す
る。次いで、温度調節器１３と炉体温度センサ４により
次の設定温度に温調し、再び温度分布調整を繰り返す。
そして、所定の温度間隔を有する全設定温度に対する
上、中出力量と上、中、下部温度を不揮発性メモリ１２
に記憶することにより、この炉体の温度分布調整は完了
する。
【００１５】次に本発明の温度校正手段について説明す
ると、温度分布調整治具９及び炉体１０内から炉体内温
度分布センサ６，７，８を除去し、温度分布調整治具９
に別の１本のＰｔセンサからなる校正用温度センサを接
続する。炉体温度を先に温度分布調整により不揮発性メ
モリ１２に記憶したヒーター１，２，３の出力量により
設定温度に温調し、試料を炉体内に投入した後、４分後
に校正用温度センサを溶融した試料中にダイ５の上面か
ら１０ｍｍの位置に挿入する。更に、４分以上１０分以
内に校正用センサの温度が安定したところで、先の温度
分布調整時の設定温度と校正用センサとの温度偏差を校
正値とし、不揮発性メモリ１２に記憶する。
ると、温度分布調整治具９及び炉体１０内から炉体内温
度分布センサ６，７，８を除去し、温度分布調整治具９
に別の１本のＰｔセンサからなる校正用温度センサを接
続する。炉体温度を先に温度分布調整により不揮発性メ
モリ１２に記憶したヒーター１，２，３の出力量により
設定温度に温調し、試料を炉体内に投入した後、４分後
に校正用温度センサを溶融した試料中にダイ５の上面か
ら１０ｍｍの位置に挿入する。更に、４分以上１０分以
内に校正用センサの温度が安定したところで、先の温度
分布調整時の設定温度と校正用センサとの温度偏差を校
正値とし、不揮発性メモリ１２に記憶する。
【００１６】次に、炉体の校正値を設定温度に加算した
温度に温調し、再び校正用センサの温度が安定したとこ
ろで、校正用センサの温度を読み取り、その後、校正用
センサを１０ｍｍずつ上の位置に移動し、ダイの上面か
ら６０ｍｍの位置まで温度測定を繰り返し、その区間の
温度分布を測定し、試料の温度分布が登録温度に対し
て、例えば、０．３℃以内の均一温度に温度調整されて
いることを確認する。そして、この温度校正手段を、全
ての設定温度について行い不揮発性メモリに記憶するこ
とにより、実際の試料に対する温度校正が完了する。上
記のように、本発明による炉体固有の温度分布データを
マイクロコンピューターの不揮発性メモリの温度調節系
に記憶させることにより、一本の炉体温度センサ４と温
度調節器１３により、複数のヒーター１，２，３の出力
量を、試料毎に校正して制御することにより炉体内を均
一な温度に温度調整することができる。
温度に温調し、再び校正用センサの温度が安定したとこ
ろで、校正用センサの温度を読み取り、その後、校正用
センサを１０ｍｍずつ上の位置に移動し、ダイの上面か
ら６０ｍｍの位置まで温度測定を繰り返し、その区間の
温度分布を測定し、試料の温度分布が登録温度に対し
て、例えば、０．３℃以内の均一温度に温度調整されて
いることを確認する。そして、この温度校正手段を、全
ての設定温度について行い不揮発性メモリに記憶するこ
とにより、実際の試料に対する温度校正が完了する。上
記のように、本発明による炉体固有の温度分布データを
マイクロコンピューターの不揮発性メモリの温度調節系
に記憶させることにより、一本の炉体温度センサ４と温
度調節器１３により、複数のヒーター１，２，３の出力
量を、試料毎に校正して制御することにより炉体内を均
一な温度に温度調整することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上の通り、本発明に係る炉体等の温度
制御方法とその炉体等を備えた装置によれば、炉体に設
けた基準のヒーターを含む複数のヒーターの出力を制御
して炉体内を任意の設定温度に加熱し、炉体内に一定間
隔で設けた複数個の炉体内温度分布センサの温度差を設
定温度に対して一定範囲内の均一温度に制御する一方、
そのときの前記複数のヒーターの各出力をマイクロコン
ピュータの不揮発性メモリに記憶し、次いで、炉体内温
度分布センサを除去して炉体内に試料を投入し、校正用
温度センサにより試料内の温度を測定し、前記設定温度
と校正用温度センサの温度差を校正値としてマイクロコ
ンピュータの不揮発性メモリに記憶し、炉体の基準のヒ
ーターの近傍の一本の温度センサにより、前記不揮発性
メモリに基づいて校正値を設定温度に加算した温度にな
るように複数のヒーターの出力を制御し、炉体内を均一
温度に調節することができる効果がある。
制御方法とその炉体等を備えた装置によれば、炉体に設
けた基準のヒーターを含む複数のヒーターの出力を制御
して炉体内を任意の設定温度に加熱し、炉体内に一定間
隔で設けた複数個の炉体内温度分布センサの温度差を設
定温度に対して一定範囲内の均一温度に制御する一方、
そのときの前記複数のヒーターの各出力をマイクロコン
ピュータの不揮発性メモリに記憶し、次いで、炉体内温
度分布センサを除去して炉体内に試料を投入し、校正用
温度センサにより試料内の温度を測定し、前記設定温度
と校正用温度センサの温度差を校正値としてマイクロコ
ンピュータの不揮発性メモリに記憶し、炉体の基準のヒ
ーターの近傍の一本の温度センサにより、前記不揮発性
メモリに基づいて校正値を設定温度に加算した温度にな
るように複数のヒーターの出力を制御し、炉体内を均一
温度に調節することができる効果がある。
【００１８】また、本発明は、前記の炉体等の温度制御
方法とその炉体等を備えた装置において、基準ヒーター
の近傍の炉体内温度分布センサと他のヒーターの近傍の
炉体内温度分布センサの温度差を一定範囲内になるよう
に、基準ヒーターの出力に対して他のヒーターの出力割
合を調整し、次に他のヒーター同士をその近傍の炉体内
温度分布センサの温度差を一定範囲内になるように調整
し、これを繰り返して全体の炉体内温度分布センサの温
度差を一定範囲内の均一温度になるように調整し、その
ときの前記複数のヒーターの各出力をマイクロコンピュ
ータの不揮発性メモリに記憶してなる構成を有すること
により、先ず、基準ヒーターと他のヒーターの出力を調
整してその近傍の炉体内温度分布センサの温度差が一定
範囲内になるように調整し、次いで、他のヒーター同士
の出力を調整し、再度、基準ヒーターに対する他のヒー
ターの出力割合を調整し、再度他のヒーター同士の出力
割合を調整し、基準ヒーターの出力を動かさずにこれを
繰り返して迅速に全体の炉体内温度分布センサの温度差
を一定範囲内になるように調整することができる効果が
ある。
方法とその炉体等を備えた装置において、基準ヒーター
の近傍の炉体内温度分布センサと他のヒーターの近傍の
炉体内温度分布センサの温度差を一定範囲内になるよう
に、基準ヒーターの出力に対して他のヒーターの出力割
合を調整し、次に他のヒーター同士をその近傍の炉体内
温度分布センサの温度差を一定範囲内になるように調整
し、これを繰り返して全体の炉体内温度分布センサの温
度差を一定範囲内の均一温度になるように調整し、その
ときの前記複数のヒーターの各出力をマイクロコンピュ
ータの不揮発性メモリに記憶してなる構成を有すること
により、先ず、基準ヒーターと他のヒーターの出力を調
整してその近傍の炉体内温度分布センサの温度差が一定
範囲内になるように調整し、次いで、他のヒーター同士
の出力を調整し、再度、基準ヒーターに対する他のヒー
ターの出力割合を調整し、再度他のヒーター同士の出力
割合を調整し、基準ヒーターの出力を動かさずにこれを
繰り返して迅速に全体の炉体内温度分布センサの温度差
を一定範囲内になるように調整することができる効果が
ある。
【００１９】また、本発明は、請求項１又は２に記載の
炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置におい
て、不揮発性メモリに基づいて複数のヒーターの出力を
演算補間して炉体内を登録温度以外の温度に調節するよ
うにした構成を有することにより、炉体内を登録温度以
外の均一温度になるように調節することができる効果が
ある。
炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置におい
て、不揮発性メモリに基づいて複数のヒーターの出力を
演算補間して炉体内を登録温度以外の温度に調節するよ
うにした構成を有することにより、炉体内を登録温度以
外の均一温度になるように調節することができる効果が
ある。
【図１】 本発明方法及び装置の要部の一実施例を示す
概略説明図。
概略説明図。
【図２】 本発明方法の一実施例の概略を示す概略説明
図。
図。
１ 下部ヒーター（基準ヒーター） ２ 中部ヒーター ３ 上部ヒーター ４ 炉体温度センサ ５ ダイ ６，７，８ 炉体内温度分布センサ ９ 温度分布調整治具 １０ 炉体 １１ マイクロコンピューター １２ 不揮発性メモリー １３ 温度調節器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木下 伸司 東京都北区滝野川５丁目15番４号 株式会 社東洋精機製作所内 Ｆターム(参考） 5H323 AA27 AA29 BB03 CA10 CB02 EE01 FF01 GG01 KK07 QQ05
Claims (6)
- 【請求項１】 炉体に設けた基準のヒー
ターを含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内を任
意の設定温度に加熱し、炉体内に一定間隔で設けた複数
個の炉体内温度分布センサの温度差を設定温度に対して
一定範囲内に制御する一方、そのときの前記複数のヒー
ターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発性メモリ
に記憶し、次いで、炉体内温度分布センサを除去して炉
体内に試料を投入し、校正用温度センサにより試料内の
温度を測定し、前記設定温度と校正用温度センサの温度
差を校正値としてマイクロコンピュータの不揮発性メモ
リに記憶し、炉体の基準のヒーターの近傍の一本の温度
センサにより、前記不揮発性メモリに基づいて校正値を
設定温度に加算した温度になるように複数のヒーターの
出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するようにした
炉体等の温度制御方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の炉体等
の温度制御方法において、基準ヒーターの近傍の炉体内
温度分布センサと他のヒーターの近傍の炉体内温度分布
センサの温度差を一定範囲内になるように、基準ヒータ
ーの出力に対して他のヒーターの出力割合を調整し、次
に他のヒーター同士をその近傍の炉体内温度分布センサ
の温度差を一定範囲内になるように調整し、これを繰り
返して全体の炉体内温度分布センサの温度差を一定範囲
内の均一温度になるように調整し、そのときの前記複数
のヒーターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発性
メモリに記憶してなる炉体等の温度制御方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の
炉体等の温度制御方法において、不揮発性メモリに基づ
いて複数のヒーターの出力を演算補間して炉体内を登録
温度以外の温度に調節するようにしたことを特徴とする
炉体等の温度制御方法。 - 【請求項４】 炉体に設けた基準のヒー
ターを含む複数のヒーターの出力を制御して炉体内を任
意の設定温度に加熱し、炉体内に一定間隔で設けた複数
個の炉体内温度分布センサの温度差を設定温度に対して
一定範囲内に制御する一方、そのときの前記複数のヒー
ターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発性メモリ
に記憶し、次いで、炉体内温度分布センサを除去して炉
体内に試料を投入し、校正用温度センサにより試料内の
温度を測定し、前記設定温度と校正用温度センサの温度
差を校正値としてマイクロコンピュータの不揮発性メモ
リに記憶し、炉体の基準のヒーターの近傍の一本の温度
センサにより、前記不揮発性メモリに基づいて校正値を
設定温度に加算した温度になるように複数のヒーターの
出力を制御し、炉体内を均一温度に調節するようにした
炉体等を備えた装置。 - 【請求項５】 請求項１に記載の炉体等
の温度制御方法において、基準ヒーターの近傍の炉体内
温度分布センサと他のヒーターの近傍の炉体内温度分布
センサの温度差を一定範囲内になるように、基準ヒータ
ーの出力に対して他のヒーターの出力割合を調整し、次
に他のヒーター同士をその近傍の炉体内温度分布センサ
の温度差を一定範囲内になるように調整し、これを繰り
返して全体の炉体内温度分布センサの温度差を一定範囲
内の均一温度になるように調整し、そのときの前記複数
のヒーターの各出力をマイクロコンピュータの不揮発性
メモリに記憶してなる炉体等を備えた装置。 - 【請求項６】 請求項１又は２に記載の
炉体等の温度制御方法において、不揮発性メモリに基づ
いて複数のヒーターの出力を演算補間して炉体内を登録
温度以外の温度に調節するようにしたことを特徴とする
炉体等を備えた装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26833499A JP2001092537A (ja) | 1999-09-22 | 1999-09-22 | 炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26833499A JP2001092537A (ja) | 1999-09-22 | 1999-09-22 | 炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001092537A true JP2001092537A (ja) | 2001-04-06 |
Family
ID=17457111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26833499A Pending JP2001092537A (ja) | 1999-09-22 | 1999-09-22 | 炉体等の温度制御方法とその炉体等を備えた装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001092537A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100522793B1 (ko) * | 2003-01-13 | 2005-10-18 | 한화기계주식회사 | 공업용 로의 에너지 소비 최적화 시스템 및 그 방법 |
| CN108680285A (zh) * | 2018-08-14 | 2018-10-19 | 上海市计量测试技术研究院 | 短支热电偶温度校验炉及短支热电偶的校准方法 |
| CN113834329A (zh) * | 2021-09-22 | 2021-12-24 | 四川实美科技有限公司 | 一种用于铝棒生产的精炼炉熔炼温度控制方法及装置 |
| US20230040089A1 (en) * | 2019-12-23 | 2023-02-09 | Danieli & C. Officine Meccaniche S.P.A. | Melting method in an electric arc furnace and melting apparatus |
Citations (7)
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| JPH0291930A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の熱処理装置 |
| JPH0452215A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-20 | Daido Steel Co Ltd | 真空炉及び真空炉における温度均一化方法 |
| JPH07283163A (ja) * | 1994-04-11 | 1995-10-27 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置およびその温度制御方法 |
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| JPH1049239A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-20 | Nec Corp | 温度制御装置の校正システムと校正方法 |
-
1999
- 1999-09-22 JP JP26833499A patent/JP2001092537A/ja active Pending
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