JP2001077187A - ウエハケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハケースのウエハケース蓋又はウエハケ
ース容器を積み重ね保管する際に側壁相互間に擦れによ
る摩耗異物を生じず、ウエハケース蓋の開閉に際してウ
エハケース内への異物の侵入を防止できるウエハケース
を得る。 【解決手段】 上板２ａの端部に一方の端部が連設され
傾斜角θを有する第１側板２ｂ及びこの第１側板２ｂの
他方の端部に第１フランジ２ｃが連設されたウエハケー
ス蓋１２において、上記第１側板２ｂの外壁に第１フラ
ンジ２ｃの裏面から高さｈ₂ の位置に、ウエハケース蓋
１２を積み重ねた際に相互側壁間に所要の隙間ｇを生じ
させる支承板１２ｄを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、カセットに収容
された半導体ウエハ全体を収容し搬送するウエハケース
に関し、特に、カセットの収容・取り出しに際しては異
物の侵入を防止すると共に蓋の開閉が容易で、使用済み
後の保管時には、相互の側壁間を接触させることなく積
み重ねることができ、取り出しに際し摩耗粉を生じて半
導体ウエハを汚染させることのないウエハケースの改良
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハは、通常、１ロット分２５
枚がカセット内の溝に嵌め込み収容された状態で処理工
程に従い各処理装置に投入されて所定の処理が施され
る。ところが、各処理装置間を搬送する際にはクリーン
ルーム内の塵埃やケミカルエア等による汚染から半導体
ウエハを保護する必要があり、図１７のカセットに収容
された半導体ウエハの密封収容状態を示す断面図のよう
に、半導体ウエハ５をカセット４に嵌め込み収容した状
態でウエハケース１内に収容し搬送する。そして、ウエ
ハケース１は、使用しないときにはクリーンルーム内の
棚（いずれも図示せず）の保管台に積み重ねて保管さ
れ、次の使用時まで待機する。

【０００３】図１８は従来のウエハケース蓋の積み重ね
保管状態を示す図、図１９は従来のウエハケース容器の
積み重ね保管状態を示す図である。図１８に示すよう
に、ウエハケース蓋２を積み重ね保管する際は、例え
ば、保管台上に第１フランジ２ｃを下にして順次下のウ
エハケース蓋２を覆うように積み重ねられる。また、図
１９に示すように、例えば、ウエハケース容器３も保管
台上に底板３ａを下にして順次下のウエハケース容器３
内に上のウエハケース容器３が収容されるように積み重
ねられ、保管場所の省スペース化が図られる。そして、
使用時にウエハケース蓋２又はウエハケース容器３を取
り出す際は、順次、図１８の矢Ａ方向又は図１９の矢Ｂ
方向に上のものから第１フランジ２ｃ又は第２フランジ
３ｃを人手で掴んで持ち上げながら取り出し、各ウエハ
ケース蓋２の第１フランジ２ｃとウエハケース容器３の
第２フランジ３ｃの結合面を接合して組み合わされ、ウ
エハケース１が構成される。なお、上記の各図中、２ａ
はウエハケース蓋２の上板、２ｂはその第１側板、３ａ
はウエハケース容器３の底板、３ｂはその第２側板であ
り、ウエハケース蓋２及びウエハケース容器３共樹脂で
形成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
ウエハケース１を使用済み後に保管するときは、ウエハ
ケース蓋２及びウエハケース容器３のそれぞれ毎に積み
重ねて保管されるため、各隣り合うウエハケース蓋２の
第１側板２ｂの内外壁相互間及びウエハケース容器３の
第２側板３ｂの内外壁相互間共に密着した状態になって
いる。このため、下部に置かれたウエハケース蓋２及び
ウエハケース容器３である程、上部に積み重ねられたウ
エハケース蓋２及びウエハケース容器３の重量が加わっ
てその第１側板２ｂ及び第２側板３ｂの各側壁面への接
圧が高くなっている。したがって、ウエハケース蓋２及
びウエハケース容器３を人手で持ち上げて取り出すに
も、相互壁間の摩擦力が大きく、かなりの力を要し作業
性が悪かった。また、積み重ねる際や取り出す際に第１
側板２ｂ及び第２側板３ｂの内外側壁相互間が擦れるた
め、摩耗が生じてウエハケース１が劣化するだけでな
く、摩耗により発生した異物が第１側板２ｂ及び第２側
板３ｂの内外壁面に付着すると言う問題もあった。ま
た、上記のように、ウエハケース蓋２及びウエハケース
容器３を積み重ねたり取り出して相互に組み合わせたり
する際には、通常、それぞれの第１フランジ２ｃ及び第
２フランジ３ｃを人手で掴んで行うため、手についた異
物がウエハケース１の内部に侵入することも多々あっ
た。このため、これらの異物が内部に収容された半導体
ウエハ５上に落下したり、ウエハケース１の内部を浮遊
したりして半導体ウエハ５の表面に付着し汚染すること
がしばしば問題となっていた。

【０００５】この発明は、以上のように、ウエハケース
の待機状態におけるウエハケース蓋及びウエハケース容
器を積み重ね保管する際や、ウエハケースの使用時に生
じる上記問題点を解消するためになされたものであり、
ウエハケース蓋やウエハケース容器を積み重ね保管して
も各側壁相互間に擦れを生じて摩耗異物を発生すること
がなく、また、ウエハケース蓋の開閉に際してもウエハ
ケース内への異物侵入を防止できるウエハケースを得る
ことを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係るウエハケ
ースは、上板及び上板の端部に一方の端部が連設された
第１側板並びに第１側板の他方の端部に連設された第１
フランジを有するウエハケース蓋と、底板及び底板の端
部に一方の端部が連設された第２側板並びに第２側板の
他方の端部に連設された第２フランジを有するウエハケ
ース容器とを第１及び第２フランジで結合し半導体ウエ
ハを収容するウエハケースにおいて、ウエハケース蓋お
よびウエハケース容器の少なくとも一方の壁面に、ウエ
ハケース蓋又はウエハケース容器のそれぞれを積み重ね
たとき隣接する第１側板又は第２側板の相互側壁間に所
要の隙間を生じさせる壁面離間突起を設けたものであ
る。また、壁面離間突起を、ウエハケース蓋の第１側板
又はウエハケース容器の第２側板の側壁に設けられた支
承板で構成したものである。また、壁面離間突起を、ウ
エハケース蓋の第１側板又はウエハケース容器の第２側
板の側壁の一部を突出して設けられた支承突起で構成し
たものである。また、壁面離間突起を、ウエハケース蓋
の上板又はウエハケース容器の底板に設けられた支承板
で構成したものである。また、壁面離間突起を、ウエハ
ケース容器の第１フランジの裏面又は第２フランジの裏
面に設けられた支承突起で構成したものである。ここ
で、壁面離間突起は、ウエハケース蓋又はウエハケース
容器のそれぞれを積み重ねたとき隣接するウエハケース
蓋又はウエハケース容器の相互側壁間に所要の隙間を生
じさせる機能を有するように設けられた突起であって、
上記支承板及びコ形支承板並びに支承突起を含むものの
総称であり、各実施の形態に示したものに限定されるも
のではない。

【０００７】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
一実施の形態であるウエハケースにつき図面に基づいて
説明する。図１〜図４は、この発明の実施の形態１であ
るウエハケースのウエハケース蓋及びウエハケース容器
とその保管時の積み重ね状態を示す図であり、図１はウ
エハケース蓋の平面図、図２は図１のII-II 方向に見た
断面図、図３はウエハケース容器の平面図、図４は図３
のIV-IV 方向に見た断面図である。なお、各図中、同一
符号は従来例におけるものと同一又は同等のものを示
す。以下、同じ。

【０００８】図１に示すように、上板２ａは平面が矩形
状であり、その４辺に傾斜角度θを有する第１側板２ｂ
が連設されて蓋が構成され、更に、第１側板２ｂ端部に
第１フランジ２ｃが連設され、これらは樹脂で一体に形
成されている。図１、図２において、１２は本発明の実
施の形態１におけるウエハケース１１（特に図示せず。
図１５参照）のウエハケース蓋、１２ｄは第１側板２ｂ
の外側面に第１フランジ２ｃの裏面からｈ₂ の高さ位置
に設けられた樹脂よりなる支承板であり、第１側板２ｂ
の各４辺に相互に対向して４箇所接着して設けられ、ウ
エハケース蓋１２を積み重ねたときに直上のウエハケー
ス蓋１２の第１フランジ２ｃ結合面を支承して相互の第
１側板２ｂ間に隙間ｇ（通常、１〜２ｍｍ程度に選択さ
れる）が得られるようにしている。つまり、ウエハケー
ス蓋１２は、上板２ａ、第１側板２ｂ、第１フランジ２
ｃ及び支承板１２ｄを備えて構成される。ここで、支承
板１２ｄの取り付け高さｈ₂ は、上板２ａの幅をＡ₂ 、
第１側板２ｂの最下端の内幅をＢ₂ 、第１フランジ２ｃ
の裏面から上板２ａの上面までの高さをＨ₂ 、ウエハケ
ース１２の各構成部分２ａ，２ｂ，２ｃの板厚をｔ₂ 、
第１側板２ｂの傾斜角度をθとすると、次式から得られ
る。 θ＝ｔａｎ^-1｛２×Ｈ₂ ／（Ｂ₂ −Ａ₂ ）｝ ・・・（１） ｈ₂ ＝｛（ｔ₂ ＋ｇ）／ｃｏｓθ｝−ｔ₂ ・・・（２）

【０００９】次に、図３，４を基に上記ウエハケース蓋
１２と組み合わされてウエハケース１１を構成するウエ
ハケース容器１３の構成とその保管時の積み重ね状態の
一例について説明する。図示のように、底板３ａは平面
が矩形状であり、その４辺に傾斜角度δを有する第２側
板３ｂが連設されて容器が構成され、更に、第２側板３
ｂの端部に連設して第２フランジ３ｃが設けられ、これ
らは樹脂で一体に形成されている。１３ｄは第２側板３
ｂの外側面に第２フランジ３ｃの裏面からｈ₃の位置に
設けられた樹脂よりなる支承板であり、第２側板３ｂの
各４辺に相互に対向して４箇所接着して設けられ、ウエ
ハケース容器１３を積み重ねた場合に直下のウエハケー
ス容器１３の第２フランジ３ｃの結合面に支承板１３ｄ
の下面が当接するようにして自身が取り付けられている
ウエハケース容器１３が支承され、積み重ねられた上下
のウエハケース容器１３相互の第２側板３ｂ間に隙間ｇ
（通常、１〜２ｍｍ程度に選択される）が得られるよう
にしている。つまり、ウエハケース容器１３は、底板３
ａ、第２側板３ｂ、第２フランジ３ｃ及び支承板１３ｄ
を備えて構成される。ここで、支承板１３ｄの取り付け
高さｈ₃ は、底板３ａの幅をＡ₃ 、第２側板３ｂの最上
端の内幅をＢ₃ 、第２フランジ３ｃの裏面から底板３ａ
の下面までの高さをＨ₃ 、ウエハケース１１の各構成部
分３ａ，３ｂ，３ｃの板厚をｔ₃ 、第２側板３ｂの傾斜
角度をδとすると、次式から得られる。 δ＝ｔａｎ^-1｛２×Ｈ₃ ／（Ｂ₃ −Ａ₃ ）｝ ・・・（３） ｈ₃ ＝｛（ｔ₃ ＋ｇ）／ｃｏｓδ｝−ｔ₃ ・・・（４） 以上のように、本発明の実施の形態１におけるウエハケ
ース１１においては、ウエハケース蓋１２及びウエハケ
ース容器１３のそれぞれに支承板１２ｄ又は１３ｄを設
けたので、ウエハケース蓋１２及びウエハケース容器１
３のそれぞれを積み重ね保管する際及び取り出す際に摺
動による摩耗異物を発生することがなく、内部に収容さ
れた半導体ウエハを汚染することがないばかりか、保管
状態からウエハケース蓋１２及びウエハケース容器１３
を取り出す際に力を要せず容易にできる効果がある。ま
た、ウエハケース蓋１２及びウエハケース容器１３を扱
う際には、第１フランジ２ｃ，第２フランジ３ｃに触れ
ることなく、それぞれの支承板１２ｄ又は１３ｄを人手
で掴んで持つことができるので、手についた異物がウエ
ハケース１１内へ侵入するのを防止できる効果もある。

【００１０】なお、上記実施の形態１における支承板１
２ｄ又は１３ｄは第１側板２ｂ又は第２側板３ｂの各４
辺に対向して４箇所接着して設けたものを示したが、各
４辺に設ける個数を２箇所以上としても良いことは勿
論、更に、矩形板でなく第１側板２ｂ又は第２側板３ｂ
を囲む平板で円環状のものとしても良い。ただし、機能
的には第１側板２ｂ又は第２側板３ｂの対向する２辺に
支承板１２ｄ又は１３ｄを２箇所設けたもので良い。ま
た、支承板１２ｄ又は１３ｄは第１側板２ｂ又は第２側
板３ｂと樹脂成型時に一体に成型しても良い。また、ウ
エハケース蓋１２の支承板１２ｄを第１側板２ｂの内側
壁に設けてその下面が積み重ねられる直下のウエハケー
ス蓋１２の上板２ａ上に支承されるようにしても良い。
更に、積み重ねる形態は、ウエハケース蓋１２を図４の
ウエハケース容器１３のように、ウエハケース容器１３
を図２のウエハケース蓋１２のようにしても良い。実施
の形態２．

【００１１】図５〜図８は、この発明の実施の形態２で
あるウエハケースのウエハケース蓋及びウエハケース容
器とその保管時の積み重ね状態を示す図であり、図５は
ウエハケース蓋の平面図、図６は図５のVI-VI 方向に見
た断面図、図７はウエハケース容器の平面図、図８は図
７のVIII-VIII 方向に見た断面図である。

【００１２】図５及び図６に示すように、本実施の形態
２におけるウエハケース蓋１２は、第１側板２ｂの外側
面を局部的に突出させて支承突起１２ｅを設けた点が上
記実施の形態１と異なり、その他は実施の形態１のもの
と同様である。支承突起１２ｅはフランジ２ｃの裏面か
らｈ₂ の高さ位置にフラットな面を有するように第１側
板２ｂの形成時に一体に形成したものであり、ウエハケ
ース容器１２を積み重ね保管する際に、直上のウエハケ
ース蓋１２の第１フランジ２ｃの結合面を上記支承突起
１２ｅのフラットな面で支承して第１側板２ｂ壁間に所
要の隙間ｇが得られる。つまり、本実施の形態２におけ
るウエハケース蓋１２は、上板２ａ、第１側板２ｂ、第
１フランジ２ｃ及び支承突起１２ｅを備えて構成され
る。なお、第１フランジ２ｃの裏面から支承突起１２ｅ
のフラットな面までの高さｈ₂ は、上記実施の形態１に
おけると同様、１式及び２式から得られる。

【００１３】次に、図７，図８を基に上記ウエハケース
蓋１２と組み合わされてウエハケース１１を構成するウ
エハケース容器１３の構成とその保管時の積み重ね状態
について説明する。図示のように、本実施の形態２にお
けるウエハケース容器１３は、第２側板３ｂの外側面を
局部的に突出させて支承突起１３ｅを設けた点が上記実
施の形態１と異なり、その他は実施の形態１のものと同
様である。支承突起１３ｅは第２フランジ３ｃの裏面か
らｈ₃ の低い位置にフラットな面を有するように第２側
板３ｂの形成時に一体に形成したものであり、ウエハケ
ース容器１３を積み重ね保管する際に、積み重ねられる
ウエハケース容器１３の第２フランジ３ｃの上面で直上
のウエハケース容器１３の上記支承突起１３ｅ下部のフ
ラットな面を支承して第２側板３ｂ壁相互間に所要の隙
間ｇが得られる。つまり、本実施の形態２におけるウエ
ハケース容器１３は、底板３ａ、第２側板３ｂ、第２フ
ランジ３ｃ及び支承突起１３ｅを備えて構成される。な
お、第２フランジ３ｃの裏面から支承突起１３ｅ下部の
フラットな面までの高さｈ₃ は、上記実施の形態１にお
けると同様、３式及び４式から得られる。以上のよう
に、本発明の実施の形態２におけるウエハケース１１に
おいては、ウエハケース蓋１２及びウエハケース容器１
３の第１側板２ｂ又は第２側板３ｂの外側面を局部的に
突出させて支承突起１２ｅ又は１３ｅを一体に樹脂成型
するようにしたので、上記実施の形態１におけると同様
の効果が得られるのみならず、機械的強度が高く、か
つ、生産性に優れた支承突起１２ｅ又は１３ｅ付きウエ
ハケース蓋１２又はウエハケース容器１３を備えたウエ
ハケース１１が得られる。

【００１４】なお、上記実施の形態２における支承突起
１２ｅ又は１３ｅは第１側板２ｂ又は第２側板３ｂの各
４辺に対向して４箇所設けたものを示したが、各４辺に
設ける個数を２箇所以上としても良いことは勿論、設け
る場所は、コーナ部に少なくとも対角に２箇所設けても
良く、また、ウエハケース蓋１２の支承板１２ｅは第１
側板２ｂの内側壁に設けてその下面が積み重ねられる直
下のウエハケース蓋１２の上板２ａ上に支承されるもの
でも良く、上記と同様な効果を奏する。更に、積み重ね
る形態は、ウエハケース蓋１２を図８のウエハケース容
器１３のように、ウエハケース容器１３を図６のウエハ
ケース蓋１２のように逆にしても良い。

【００１５】実施の形態３．図９〜図１２は、この発明
の実施の形態３であるウエハケースのウエハケース蓋及
びウエハケース容器とその保管時の積み重ね状態を示す
図であり、図９はウエハケース蓋の平面図、図１０は図
９のX-X 方向に見た断面図、図１１はウエハケース容器
の平面図、図１２は図１１のXII-XII 方向に見た断面図
である。

【００１６】図９及び図１０に示すように、本実施の形
態３におけるウエハケース蓋１２は、支承板１２ｄに代
えて平面が矩形状の上板２ａ上面の対向する二辺の端部
近傍に樹脂材からなるコ形支承板１２ｆを２個接着して
設けた点が上記実施の形態１と異なり、その他は実施の
形態１のものと同様である。コ形支承板１２ｆは上板２
ａの上面からｈ₂ の高さにフラットな面を有し指の入る
大きさの開口部１２ｇが設けられたものであり、ウエハ
ケース容器１２を積み重ね保管する際に、直上のウエハ
ケース蓋１２の上板２ａの内壁面を上記コ形支承板１２
ｆのフラットな面で支承して第１側板２ｂ壁間に所要の
隙間ｇが得られる。つまり、本実施の形態３におけるウ
エハケース蓋１２は、上板２ａ、第１側板２ｂ、第１フ
ランジ２ｃ及びコ形支承板１２ｆを備えて構成される。
なお、コ形支承板１２ｈの高さｈ ₂ は、上記実施の形態
１におけると同様、１式及び２式から得られる。

【００１７】次に、図１１，図１２を基に上記ウエハケ
ース蓋１２と組み合わされてウエハケース１１を構成す
るウエハケース容器１３の構成とその保管時の積み重ね
状態について説明する。図示のように、本実施の形態３
におけるウエハケース容器１３は、支承板１２ｄに代え
て平面が矩形状の底板３ａの下面の対向する二辺の端部
近傍に樹脂材からなるコ形支承板１３ｆを２個接着して
設けた点が上記実施の形態１と異なり、その他は実施の
形態１のものと同様である。コ形支承板１３ｆは底板３
ａの下面からｈ₃ の低い位置にフラットな面を有し指の
入る大きさの開口部１３ｇが設けられたものであり、ウ
エハケース容器１３を積み重ね保管する際に、直下のウ
エハケース容器１３の底板３ａの内壁面で上記コ形支承
板１３ｆのフラットな面を支承して第２側板３ｂ壁間に
所要の隙間ｇが得られる。つまり、本実施の形態３にお
けるウエハケース容器１３は、底板３ａ、第２側板３
ｂ、第２フランジ３ｃ及びコ字形支承板１３ｆを備えて
構成される。なお、コ形支承板１３ｆの高さｈ₃ は、上
記実施の形態１におけると同様、３式及び４式から得ら
れる。以上のように、本発明の実施の形態３におけるウ
エハケース１１においては、ウエハケース蓋１２及びウ
エハケース容器１３のそれぞれにコ形支承板１２ｆ又は
１３ｆを設けたので、上記実施の形態１におけると同等
の効果が得られる。

【００１８】なお、上記実施の形態３におけるコ形支承
板１２ｆ又は１３ｆは、上板２ａ又は底板３ａ外面の対
向する二辺の端部近傍に２箇所接着して設けたものを示
したが、これに限らず、平面形状が１箇の円環状のもの
或いは四角状のものとしても良い。また、コ形支承板１
２ｆ又は１３ｆは上板２ａ又は底板３ａと樹脂成型時に
一体に成型されたものであっても良い。更に、積み重ね
る形態は、ウエハケース蓋１２を図１２のウエハケース
容器１３のように、ウエハケース容器１３を図１０のウ
エハケース蓋１２のようにしても良い。第１及び第２フ
ランジ２ｃ，３ｃを保管台側にして積み重ねるときは、
開口部１２ｇ，１３ｇに手を入れてウエハケース蓋１２
及びウエハケース容器１３のそれぞれを運ぶこととな
る。

【００１９】実施の形態４．図１３〜図１６は、この発
明の実施の形態４であるウエハケースのウエハケース蓋
及びウエハケース容器とその保管時の積み重ね状態を示
す図であり、図１３はウエハケース蓋の平面図、図１４
は図１３のXIV-XIV 方向に見た断面図、図１５はウエハ
ケース容器の平面図、図１６は図１５のXVI-XVI 方向に
見た断面図である。

【００２０】図１３及び図１４に示すように、本実施の
形態４におけるウエハケース蓋１２は、支承板１２ｄに
代えて第１フランジ２ｃの裏面の各４辺に対向させて樹
脂材からなる支承突起１２ｈを４個一体に設けた点が上
記実施の形態１と異なり、その他は実施の形態１のもの
と同様である。支承突起１２ｈは第１フランジ２ｃの裏
面からｈ₂ の位置にフラットな面を有する突起であり、
ウエハケース容器１２を積み重ね保管する際に、直上の
ウエハケース蓋１２の第１フランジ２ｃの結合面を上記
支承突起１２ｈのフラットな面で支承して第１側板２ｂ
壁間に所要の隙間ｇが得られる。つまり、本実施の形態
４におけるウエハケース蓋１２は、上板２ａ、第１側板
２ｂ、第１フランジ２ｃ及び支承突起１２ｈを備えて構
成される。なお、コ形支承板１２ｈの高さｈ₂ は、上記
実施の形態１におけると同様、１式及び２式から得られ
る。

【００２１】次に、図１１，図１２を基に上記ウエハケ
ース蓋１２と組み合わされてウエハケース１１を構成す
るウエハケース容器１３の構成とその保管時の積み重ね
状態について説明する。図示のように、本実施の形態４
におけるウエハケース容器１３は、支承板１３ｄに代え
て第２フランジ３ｃの裏面の各４辺に対向させて樹脂材
からなる支承突起１３ｈを４個一体に設けた点が上記実
施の形態１と異なり、その他は実施の形態１のものと同
様である。支承突起１３ｈは第２フランジ３ｃの裏面か
らｈ₃ の低い位置にフラットな面を有する突起であり、
ウエハケース容器１３を積み重ね保管する際に、直下の
ウエハケース容器１３の第２フランジ３ｃの結合面で上
記支承突起１３ｈのフラットな面を支承して第２側板３
ｂ壁間に所要の隙間ｇが得られる。つまり、本実施の形
態４におけるウエハケース容器１３は、底板３ａ、第２
側板３ｂ、第２フランジ３ｃ及び支承突起１３ｈを備え
て構成される。なお、支承突起１３ｈの高さｈ₃ は、上
記実施の形態１におけると同様、３式及び４式から得ら
れる。

【００２２】なお、上記実施の形態４において、積み重
ねる形態は、ウエハケース蓋１２を図１６のウエハケー
ス容器１３のように、ウエハケース容器１３を図１４の
ウエハケース蓋１２のようにしても良い。

【００２３】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成したの
で、以下に示す効果を奏する。ウエハケースを構成する
ウエハケース蓋又はウエハケース容器の少なくとも一方
の壁面に、上記ウエハケース蓋又はウエハケース容器を
相互に積み重ねたとき隣接して積み重ねられた上記ウエ
ハケース蓋又はウエハケース容器の相互側壁間に所要の
隙間を生じさせる壁面離間突起を設けたので、それぞれ
を積み重ね保管する際及び保管状態から取り出す際に摩
耗を生せず、異物を発生して収容された半導体ウエハを
汚染することがないばかりか、保管状態から取り出す際
に力を要せず作業性良くできる効果がある。また、壁面
離間突起を支承板又は支承突起としたので、ウエハケー
ス蓋及びウエハケース容器を扱う際に、それぞれの支承
板又は支承突起を手で掴んで持つことができ、手につい
た異物のウエハケース内への侵入を防止できる効果があ
る。更に、壁面離間突起をウエハケース蓋又はウエハケ
ース容器の第１又は第２側板の側壁の一部を突出して設
けられた支承突起としたので、生産性に優れたウエハケ
ース蓋又はウエハケース容器を備えたウエハケースが得
られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１であるウエハケース
を構成するウエハケース蓋の保管時の積み重ね状態を示
す平面図である。

【図２】 図１のII-II 方向に見た断面図である。

【図３】 この発明の実施の形態１であるウエハケース
を構成するウエハケース容器の保管時の積み重ね状態を
示す平面図である。

【図４】 図３のIV-IV 方向に見た断面図である。

【図５】 この発明の実施の形態２であるウエハケース
を構成するウエハケース蓋の保管時の積み重ね状態を示
す平面図である。

【図６】 図５のVI-VI 方向に見た断面図である。

【図７】 この発明の実施の形態２であるウエハケース
を構成するウエハケース容器の保管時の積み重ね状態を
示す平面図である。

【図８】 図７のVIII-VIII 方向に見た断面図である。

【図９】 この発明の実施の形態３であるウエハケース
を構成するウエハケース蓋の保管時の積み重ね状態を示
す平面図である。

【図１０】 図９のX-X 方向に見た断面図である。

【図１１】 この発明の実施の形態３であるウエハケー
スを構成するウエハケース容器の保管時の積み重ね状態
を示す平面図である。

【図１２】 図１１のXII-XII 方向に見た断面図であ
る。

【図１３】 この発明の実施の形態４であるウエハケー
スを構成するウエハケース蓋の保管時の積み重ね状態を
示す平面図である。

【図１４】 図１３のXIV-XIV 方向に見た断面図であ
る。

【図１５】 この発明の実施の形態４であるウエハケー
スを構成するウエハケース容器の保管時の積み重ね状態
を示す平面図である。

【図１６】 図１５のXVI-XVI 方向に見た断面図であ
る。

【図１７】 従来のカセットに収容された半導体ウエハ
の密封収容状態を示す断面図である。

【図１８】 従来のウエハケースを構成するウエハケー
ス蓋の保管時の積み重ね状態を示す断面図である。

【図１９】 従来のウエハケースを構成するウエハケー
ス容器の保管時の積み重ね状態を示す断面図である。

【符号の説明】

２ａ；上板 ２ｂ；第１側板 ２ｃ；第１フランジ ３
ａ；底板 ３ｂ；第２側板 ３ｃ；第２フランジ １２；ウエハケ
ース蓋 １２ｄ，１３ｄ；支承板 １２ｅ，１３ｅ，１２ｈ，１
３ｈ；支承突起 １２ｆ，１３ｆ；コ形支承板 １３；ウエハケース容器
ｇ；隙間 ｈ₂ ；支承板の取り付け高さ θ；傾斜角度

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上板及び上記上板の端部に一方の端部が
   連設された第１側板並びに上記第１側板の他方の端部に
   連設された第１フランジを有するウエハケース蓋と、底
   板及び上記底板の端部に一方の端部が連設された第２側
   板並びに上記第２側板の他方の端部に連設された第２フ
   ランジを有するウエハケース容器とを上記第１及び第２
   フランジで結合し半導体ウエハを収容するウエハケース
   において、上記ウエハケース蓋およびウエハケース容器
   の少なくとも一方の壁面に、上記ウエハケース蓋又はウ
   エハケース容器のそれぞれを積み重ねたとき隣接する上
   記第１側板又は第２側板の相互側壁間に所要の隙間を生
   じさせる壁面離間突起が設けられていることを特徴とす
   るウエハケース。
2. 【請求項２】 壁面離間突起は、ウエハケース蓋の第１
   側板又はウエハケース容器の第２側板の側壁に設けられ
   た支承板であることを特徴とする請求項１記載のウエハ
   ケース。
3. 【請求項３】 壁面離間突起は、ウエハケース蓋の第１
   側板又はウエハケース容器の第２側板の側壁の一部を突
   出して設けられた支承突起であることを特徴とする請求
   項１記載のウエハケース。
4. 【請求項４】 壁面離間突起は、ウエハケース蓋の上板
   又はウエハケース容器の底板に設けられた支承板である
   ことを特徴とする請求項１記載のウエハケース。
5. 【請求項５】 壁面離間突起は、ウエハケース蓋の第１
   フランジの裏面又はウエハケース容器の第２フランジの
   裏面に設けられた支承突起であるこを特徴とする請求項
   １記載のウエハケース。