JP2001066269A - X-ray fluorescence analyzer - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】試料の各成分の分析値計算の補正に使用するパ
ラメータの計算式を、分析精度の向上等の目的に合わせ
て容易に設定できる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】外部の機器により得られた試料の情報に基
づいて、試料の各成分の分析値計算の補正に使用するパ
ラメータの計算式を入力できるので、分析精度の向上等
の目的に合わせて、ユーザー側で容易かつ迅速に計算式
を適宜変更でき、この結果を用いて分析値計算を補正す
ることができる。また、別の計算式を用いて他の分析法
の計算に装置を用いることもできる。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To provide a fluorescent X-ray spectrometer capable of easily setting a calculation formula of a parameter used for correcting an analysis value calculation of each component of a sample in accordance with a purpose such as improvement of analysis accuracy. . Kind Code: A1 A calculation formula of a parameter used for correcting an analysis value calculation of each component of a sample can be input based on information of the sample obtained by an external device. The user can easily and quickly change the calculation formula as appropriate, and use this result to correct the analysis value calculation. Further, the apparatus can be used for calculation of another analysis method using another calculation formula.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の蛍光Ｘ線分
析を行う蛍光Ｘ線分析装置に関し、特に試料の各成分の
分析値計算の補正に使用するパラメータの設定に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray fluorescence spectrometer for performing X-ray fluorescence analysis of a sample, and more particularly to setting parameters used for correcting analysis value calculation of each component of the sample.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析においては、試料
の蛍光Ｘ線分析を行う装置と、試料の前処理を行う試料
前処理装置などの外部の機器とを結合して用いる場合が
多い。試料前処理装置には、例えばセメントのような粉
末試料と融剤の混合物を加熱溶融してガラスビードを作
製する試料溶融装置がある。2. Description of the Related Art In general, in X-ray fluorescence analysis, an apparatus for performing X-ray fluorescence analysis of a sample is often used in combination with an external device such as a sample pre-processing apparatus for pre-processing a sample. As a sample pretreatment device, there is a sample melting device for producing a glass bead by heating and melting a mixture of a powder sample such as cement and a flux.
【０００３】この場合、試料溶融装置で得られた試料重
量、融剤（フラックス）重量および作製したガラスビー
ドの重量等の試料の情報を蛍光Ｘ線分析装置内部のコン
ピュータへ転送して、ガラスビードの融剤重量と試料重
量との比である希釈率や、試料重量と融剤重量の合計か
らガラスビード重量を減算したイグロス重量と試料重量
との比であるイグロス含有率などのパラメータを求め、
このパラメータを試料の各成分の分析値計算の補正に使
用する。上記試料溶融装置を用いずに、別途天秤で計量
した試料重量、融剤重量および作成したガラスビードの
重量の情報を上記コンピュータへ転送する場合もある。In this case, information on the sample such as the weight of the sample obtained by the sample melting device, the weight of the flux (flux), and the weight of the produced glass bead is transferred to a computer inside the X-ray fluorescence analyzer, and the glass bead is transmitted. The dilution ratio, which is the ratio of the flux weight to the sample weight, and the parameters, such as the igross content ratio, which is the ratio of the igross weight and the sample weight obtained by subtracting the glass bead weight from the total of the sample weight and the flux weight,
This parameter is used to correct the calculation of the analytical value of each component of the sample. In some cases, information on the weight of a sample, the weight of a flux, and the weight of a prepared glass bead are separately transferred to the computer without using the sample melting device.
【０００４】一方、外部の機器として発光分光分析装置
などの他種の分析装置を用いる場合、その分析装置で得
られた測定値（光強度）等の試料の情報を蛍光Ｘ線分析
装置付属のコンピュータへ転送し、このコンピュータで
成分含有率を計算して、試料の各成分の分析値計算の補
正に使用する場合がある。また、上記のように、試料の
情報を外部の機器から転送する代わりに、分析試料ごと
に蛍光Ｘ線分析装置付属のコンピュータへ直接手入力し
て、上記データ処理を行う場合もある。On the other hand, when another type of analyzer such as an emission spectrometer is used as an external device, information of a sample such as a measured value (light intensity) obtained by the analyzer is attached to the X-ray fluorescence analyzer. In some cases, the data is transferred to a computer, and the content of the component is calculated by the computer and used to correct the calculation of the analysis value of each component of the sample. In addition, as described above, instead of transferring the information of the sample from an external device, the data processing may be performed by directly inputting the information for each analysis sample directly to a computer attached to the X-ray fluorescence analyzer.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、外部の機器に
より得られた試料の情報に基づいて、蛍光Ｘ線分析装置
付属のコンピュータでデータ処理を行う場合、従来、例
えばガラスビードの希釈率やイグロス含有率などのパラ
メータの計算式については、予め装置のプログラムに組
み込まれているため、ユーザーが分析精度の向上等の目
的に合わせてその計算式を変更したい場合、プログラム
自体を変更する必要があり、その変更が困難であるとい
う問題があった。また、プログラムを変更しない限り、
装置を他の分析法の計算に使用できないという問題もあ
った。However, when data processing is performed by a computer attached to a fluorescent X-ray analyzer based on information on a sample obtained by an external device, conventionally, for example, the dilution ratio of glass beads or the gross weight The formulas for calculating parameters such as the content rate are pre-installed in the program of the device, so if the user wants to change the formula in order to improve the analysis accuracy, the program itself must be changed. However, there was a problem that the change was difficult. Also, unless you change the program,
There was also a problem that the apparatus could not be used for calculations in other analytical methods.
【０００６】本発明は、上記の問題点を解決して、試料
の各成分の分析値計算の補正に使用するパラメータの計
算式を、分析精度の向上等の目的に合わせて容易に設定
できる蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的としてい
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems and provides a fluorescent light which can easily set a calculation formula of a parameter used for correcting the analysis value calculation of each component of a sample in accordance with the purpose of improving the analysis accuracy. It is intended to provide an X-ray analyzer.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る蛍光Ｘ線分析装置は、外部の機器に
より得られた試料の情報に基づき、計算式を用いて、試
料の成分含有率、試料と融剤の混合物を加熱溶融して作
成されたガラスビードの融剤重量と試料重量との比であ
る希釈率、および試料重量と融剤重量の合計からガラス
ビード重量を減算したイグロス重量と試料重量との比で
あるイグロス含有率の少なくとも１つを含むパラメータ
の計算を行い、試料の各成分の分析値計算の補正に使用
する蛍光Ｘ線分析装置であって、前記計算式を入力する
入力手段と、入力された計算式を記憶する記憶手段と、
試料分析時に、前記記憶された計算式にしたがって計算
された前記パラメータを用いて、予め組み込まれたプロ
グラムにしたがった演算を行い、分析値計算を補正する
演算手段とを備えている。In order to achieve the above object, an X-ray fluorescence spectrometer according to the first aspect of the present invention uses a calculation formula based on information of a sample obtained by an external device. Subtract the glass bead weight from the component content, the dilution ratio that is the ratio of the flux weight to the sample weight of the glass bead created by heating and melting the mixture of the sample and the flux, and the sum of the sample weight and the flux weight. A fluorescent X-ray analyzer for calculating a parameter including at least one of an igross content ratio, which is a ratio of the obtained igross weight to the sample weight, and correcting the analysis value calculation of each component of the sample. Input means for inputting an expression, storage means for storing the input calculation expression,
When the sample is analyzed, an operation means for performing an operation according to a pre-installed program using the parameters calculated according to the stored calculation formula and correcting the analysis value calculation is provided.
【０００８】上記構成によれば、試料の情報に基づい
て、試料の各成分の分析値計算の補正に使用するパラメ
ータの計算式を入力できるので、分析精度の向上等の目
的に合わせて、ユーザー側で容易かつ迅速に計算式を適
宜変更でき、この結果を用いて分析値計算を補正するこ
とができる。また、別の計算式を用いて他の分析法の計
算に装置を用いることもできる。[0010] According to the above configuration, a calculation formula of a parameter used for correcting the calculation of the analysis value of each component of the sample can be inputted based on the information of the sample. The calculation formula can be easily and quickly changed on the side as appropriate, and the analysis value calculation can be corrected using the result. Further, the apparatus can be used for calculation of another analysis method using another calculation formula.
【０００９】請求項２に係る蛍光Ｘ線分析装置は、請求
項１において、さらに、前記外部の機器により得られた
試料の情報を蛍光Ｘ線分析装置内部のコンピュータに転
送するデータ転送手段を備えている。したがって、外部
の機器により得られた試料の情報が自動的に転送される
ので、試料の情報をその都度手入力する必要がない。The X-ray fluorescence analyzer according to claim 2 further comprises a data transfer means for transferring information of the sample obtained by the external device to a computer inside the X-ray fluorescence analyzer. ing. Therefore, the information of the sample obtained by the external device is automatically transferred, so that it is not necessary to manually input the information of the sample each time.
【００１０】請求項３に係る蛍光Ｘ線分析装置は、請求
項１または２において、前記入力手段は、前記計算式を
演算子を用いて数学演算式どおりに入力するので、容易
に計算式を入力できる。According to a third aspect of the present invention, there is provided the X-ray fluorescence analyzer according to the first or second aspect, wherein the input means inputs the calculation formula according to a mathematical operation formula using an operator. Can be entered.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る
蛍光Ｘ線分析装置の構成図を示す。この蛍光Ｘ線分析装
置１２は、例えばガラスビードを用いて試料の各成分の
含有率を分析するものであり、本装置１２には、外部の
機器として、例えばセメントのような粉末試料と融剤の
混合物を加熱溶融してガラスビードを作製する試料溶融
装置２２が接続されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a configuration diagram of an X-ray fluorescence analyzer according to one embodiment of the present invention. The X-ray fluorescence analyzer 12 analyzes the content of each component of a sample using, for example, a glass bead. This apparatus 12 includes, as external devices, a powder sample such as cement and a flux. A sample melting device 22 for heating and melting the mixture to produce a glass bead is connected.
【００１２】上記試料溶融装置２２には試料，融剤をほ
ぼ定量ずつ切り出して自動秤量し、ガラスビード作成
後、ガラスビードを自動秤量する秤量手段（自動秤量
機）２４が設けられている。試料溶融装置２２は、その
内部にＣＰＵ（コンピュータ）２５を備えており、この
コンピュータ２５は、試料重量，融剤重量，ガラスビー
ド重量等の試料の情報を記憶するメモリ２８と、メモリ
２８に記憶された試料の情報を蛍光Ｘ線分析装置１２付
属のコンピュータ１５へ転送するデータ転送手段２６と
を有している。The sample melting device 22 is provided with a weighing means (automatic weighing machine) 24 for cutting out a sample and a flux almost every fixed amount, automatically weighing the glass bead, and automatically weighing the glass bead. The sample melting device 22 includes a CPU (computer) 25 therein. The computer 25 stores a sample information such as a sample weight, a flux weight, a glass bead weight, and the like, and stores the information in the memory 28. And a data transfer means 26 for transferring the information of the sample obtained to the computer 15 attached to the X-ray fluorescence analyzer 12.
【００１３】上記蛍光Ｘ線分析装置１２は、その装置全
体を制御するＣＰＵ（コンピュータ）１５を備えてお
り、このコンピュータ１５は入力手段１４、演算手段１
６および記憶手段（メモリ）１８を有している。The X-ray fluorescence analyzer 12 includes a CPU (computer) 15 for controlling the entire apparatus, and the computer 15 includes an input unit 14 and an arithmetic unit 1.
6 and storage means (memory) 18.
【００１４】入力手段１４は、例えば、ガラスビードの
融剤重量と試料重量との比である希釈率、および試料重
量と融剤重量の合計からガラスビード重量を減算したイ
グロス重量と試料重量との比であるイグロス含有率とい
うパラメータの計算式を入力する。この計算式は、試料
溶融装置２２の自動秤量機２４により得られた試料重
量，融剤重量，ガラスビード重量等の試料の情報に基づ
いて設定される。この入力手段１４は例えばキーボード
であり、パラメータの計算式を演算子を用いて数学演算
式どおりに入力する。演算子には、四則演算、左右括
弧、平方根、指数、対数等が含まれる。記憶手段１８
は、入力手段１４により入力された計算式を記憶する。The input means 14 provides, for example, a dilution ratio, which is a ratio of the flux of the glass bead to the weight of the sample, and a difference between the gross weight obtained by subtracting the weight of the glass bead from the sum of the weight of the sample and the weight of the flux. A formula for calculating a parameter, i.e., the gross content ratio, is input. This calculation formula is set based on sample information such as sample weight, flux weight, and glass bead weight obtained by the automatic weighing machine 24 of the sample melting device 22. The input unit 14 is, for example, a keyboard, and inputs a parameter calculation expression using an operator according to a mathematical operation expression. The operators include arithmetic operations, left and right parentheses, square root, exponent, logarithm, and the like. Storage means 18
Stores the calculation formula input by the input means 14.
【００１５】演算手段１６は、試料分析時に、記憶手段
１８に記憶された計算式にしたがって計算された前記パ
ラメータを用いて、予め組み込まれたプログラムにした
がった演算を行い、分析値計算を補正する。すなわち、
演算手段１６は、上記の計算式を用いて、自動秤量機２
４により得られた融剤重量と試料重量の比から希釈率を
演算し、また、試料重量と融剤重量の合計から、自動秤
量機２４により得られたガラスビード重量を減算してイ
グロス重量を求めて、このイグロス重量と試料重量との
比からイグロス含有率を演算する。そして、上記の希釈
率とイグロス含有率というパラメータを用いて、予め組
み込まれたプログラムにしたがった演算を行い、蛍光Ｘ
線分析装置１２により得られた試料の各成分の含有率を
補正する。The operation means 16 performs an operation according to a program incorporated in advance by using the parameters calculated according to the calculation formula stored in the storage means 18 at the time of sample analysis, and corrects the analysis value calculation. . That is,
The calculating means 16 calculates the automatic weighing machine 2
The dilution ratio is calculated from the ratio of the flux weight and the sample weight obtained in step 4, and the glass bead weight obtained by the automatic weighing machine 24 is subtracted from the total of the sample weight and the flux weight to obtain the gross weight. Then, the gross content is calculated from the ratio of the gross weight to the sample weight. Then, using the above-mentioned parameters of the dilution ratio and the igross content ratio, a calculation according to a program incorporated in advance is performed, and the fluorescence X
The content of each component of the sample obtained by the line analyzer 12 is corrected.
【００１６】上記構成の蛍光Ｘ線分析装置の動作を、図
２に示すガラスビード法の工程図を用いて、説明する。The operation of the X-ray fluorescence analyzer having the above configuration will be described with reference to the process diagram of the glass bead method shown in FIG.
【００１７】図１の試料溶融装置２２において、まず、
図２（ａ）のように、例えばセメントのような試料を１
００メッシュ以下の粉状物に粉砕しておく。ついで、図
２（ｂ）のように、るつぼ５のみが自動秤量機（秤量手
段）２４の秤量器４０に載せられて、その重量（風袋重
量）が秤量される。そして、図２（ｃ）のように、粉状
物にした微量の試料１が、自動秤量機２４により、るつ
ぼ５内に一定量切り出されて、試料重量が秤量器４０で
秤量される。この後、図２（ｄ）のように、希釈率に応
じて一定量の融剤３（例えば、ホウ酸リチウム）が上記
試料１に加えられ、試料重量と融剤重量の合計重量が秤
量される。試料１と融剤３の混合物はるつぼ５内で約１
１００°Ｃまで加熱されて溶融され、ガラスビード４が
得られる。図２（ｅ）のように、こうして得られたガラ
スビード４とるつぼ５の合計重量から、図２（ｂ）のる
つぼ重量が差し引かれて、ガラスビード重量が得られ
る。In the sample melting apparatus 22 shown in FIG.
As shown in FIG. 2A, a sample such as cement
Pulverize to a powder of 00 mesh or less. Then, as shown in FIG. 2B, only the crucible 5 is placed on the weighing device 40 of the automatic weighing machine (weighing means) 24, and its weight (tare weight) is weighed. Then, as shown in FIG. 2 (c), a small amount of the powdered sample 1 is cut out into the crucible 5 by the automatic weighing machine 24, and the weight of the sample is weighed by the weighing device 40. Thereafter, as shown in FIG. 2D, a certain amount of the flux 3 (for example, lithium borate) is added to the sample 1 according to the dilution rate, and the total weight of the sample weight and the flux weight is weighed. You. The mixture of the sample 1 and the flux 3 is placed in the crucible 5 for about 1 hour.
The glass beads 4 are obtained by heating to 100 ° C. and melting. As shown in FIG. 2E, the weight of the glass bead 4 and the crucible 5 thus obtained is subtracted from the weight of the crucible of FIG. 2B to obtain the weight of the glass bead.
【００１８】蛍光Ｘ線分析装置１２は、図２（ｆ）のよ
うに、図示しないＸ線源から１次Ｘ線（放射線）Ｂ１
を、試料溶融装置２２から搬入されたガラスビード４に
照射し、このガラスビード４から発生した各元素固有の
蛍光Ｘ線Ｂ２をＸ線検出器６で検出する。検出された蛍
光Ｘ線Ｂ２は、図示しない計数回路部でＸ線強度が測定
され、これらの各元素についての蛍光Ｘ線Ｂ２の測定強
度に基づき、検量線を用いて各元素の含有率を演算する
ことにより、試料１の組成が分析される。As shown in FIG. 2 (f), the X-ray fluorescence analyzer 12 transmits a primary X-ray (radiation) B1 from an X-ray source (not shown).
Is irradiated onto the glass bead 4 carried in from the sample melting device 22, and the X-ray detector 6 detects the fluorescent X-rays B <b> 2 unique to each element generated from the glass bead 4. The X-ray intensity of the detected fluorescent X-rays B2 is measured by a counting circuit (not shown), and the content of each element is calculated using a calibration curve based on the measured intensity of the fluorescent X-rays B2 for each of these elements. By doing so, the composition of the sample 1 is analyzed.
【００１９】秤量手段２４により得られた試料１の重量
Ｓ、融剤３の重量Ｆ、およびガラスビード４の重量Ｂの
試料の情報は、コンピュータ２５のデータ転送手段２６
によりコンピュータ１５に送られる。なお、試料の情報
をデータ転送せずに、入力手段１４によりコンピュータ
１５に直接手入力するようにしてもよい。コンピュータ
１５に内蔵した演算手段１６は、希釈率Ｒを計算式
（１）に基づいて、イグロス含有率Ｇを計算式（２）に
基づいて、それぞれ演算する。 Ｒ＝Ｆ／Ｓ （１） Ｇ＝ｐ（（Ｆ＋Ｓ−Ｂ）／Ｓ）＋ｑ （２） ただし、ｐ，ｑは係数The information of the sample of the weight S of the sample 1, the weight F of the flux 3 and the weight B of the glass bead 4 obtained by the weighing means 24 is stored in a data transfer means 26 of the computer 25.
Is sent to the computer 15. The information on the sample may be directly input to the computer 15 by the input means 14 without transferring the data. The calculation means 16 built in the computer 15 calculates the dilution ratio R based on the calculation formula (1) and calculates the igloss content rate G based on the calculation formula (2). R = F / S (1) G = p ((F + SB) / S) + q (2) where p and q are coefficients
【００２０】上記の計算式（１），（２）は、入力手段
１４により、予めコンピュータ１５に入力されて、記憶
手段１６により記憶されているが、試料分析時に入力す
るようにしてもよい。計算式（１），（２）は演算子
＝, ×，／, （, ）, ＋ ,−等を用いて数学演算式どお
りに入力されるので、容易に計算式を入力することがで
きる。これらの計算式は、試料分析時にプログラムソフ
ト上で随時取り込まれる。別の計算式を設定すれば、同
一のプログラムで装置を他の分析法の計算に用いること
もできる。The above formulas (1) and (2) are previously input to the computer 15 by the input means 14 and stored in the storage means 16, but may be input at the time of sample analysis. The calculation formulas (1) and (2) are input as mathematical formulas using operators =, ×, /, (,), +, −, etc., so that the calculation formulas can be easily input. These formulas are taken in on the program software at any time during sample analysis. If another calculation formula is set, the same program can be used to calculate the apparatus for another analysis method.
【００２１】上記の計算式（１）はＲ＝Ｂ／Ｓを用いて
もよい。計算式（２）は、試料１の揮散だけでなく、融
剤３の揮散分も含まれたものである。試料１の種類に応
じて、ユーザーは、計算式（１）、係数ｐ，ｑを適宜変
更した計算式（２）を入力手段１４により入力する。融
剤３の揮散を考慮しない場合には、ｐ＝１，ｑ＝０にな
る。In the above equation (1), R = B / S may be used. The calculation formula (2) includes not only the volatilization of the sample 1 but also the volatilization of the flux 3. According to the type of the sample 1, the user inputs the calculation formula (1) and the calculation formula (2) in which the coefficients p and q are appropriately changed through the input unit 14. When the volatilization of the flux 3 is not considered, p = 1 and q = 0.
【００２２】ついで、演算手段１６は、式（３）を用い
て、試料１の各成分の分析値を補正する。式（３）は予
めプログラムに組み込まれている。式（３）のすべての
補正定数αj,αf,αg は、希釈率Ｒおよびイグロス含有
率Ｇの補正定数を含め、定量分析に用いられるファンダ
メンタルパラメータ法などで理論的に求めた理論マトリ
ックス補正係数を使用した。理論マトリックス補正係数
を用いることにより、正確な補正が行うことができる。
式（３）の右辺第１項（ａＩi2＋ｂＩi ＋ｃ）は検量線
定数ａ，ｂ，ｃをもつ検量線から含有率を求めるための
検量線式を示し、第２項は補正項である。Ｋｒ，αf Ｒ
は希釈率による補正項であり、Ｒの基準希釈率＜Ｒ＞か
らのずれ量に比例した項である。αｇＧはイグロス含有
率Ｇに比例した項である。Next, the calculating means 16 corrects the analysis value of each component of the sample 1 using the equation (3). Equation (3) is incorporated in the program in advance. All the correction constants αj, αf, αg of the equation (3) are the theoretical matrix correction coefficients theoretically obtained by the fundamental parameter method used for quantitative analysis, including the correction constants of the dilution ratio R and the igross content G. used. Accurate correction can be performed by using the theoretical matrix correction coefficient.
The first term (aIi 2 + bIi + c) on the right side of the equation (3) indicates a calibration curve equation for obtaining a content from a calibration curve having calibration curve constants a, b, and c, and the second term is a correction term. Kr, αf R
Is a correction term based on the dilution rate, and is a term proportional to the amount of deviation of R from the reference dilution rate <R>. αgG is a term proportional to the Igross content G.
【００２３】[0023]
【数１】 (Equation 1)
【００２４】式（３）は希釈率Ｒとイグロス含有率Ｇを
補正項に含んでいるが、イグロス補正が不要な試料１ま
たはイグロスを元素を除いた残分として理論マトリック
ス補正係数を計算している場合には、希釈率Ｒとイグロ
ス含有率Ｇの補正項は使用しない。Equation (3) includes the dilution ratio R and the gross content G in the correction term. The theoretical matrix correction coefficient is calculated by using the sample 1 or the gross which does not require the gross correction as the residue excluding the elements. If so, the correction terms for the dilution ratio R and the gross content ratio G are not used.
【００２５】ユーザーは、上記の計算式（１），（２）
を容易かつ迅速に設定できるので、試料１の種類に応じ
て、ガラスビード試料については、分析精度の向上を目
的として、計算式（２）が最適となるように適宜変更す
ることができる。また、ガラスビード以外の鉄鋼等の試
料については、計算式（１），（２）を分析値計算の補
正に使用せずに、つまり、希釈率Ｒとイグロス含有率Ｇ
に関する補正項を用いずに設定することができる。The user calculates the above formulas (1) and (2)
Can be easily and quickly set, so that the glass bead sample can be appropriately changed according to the type of the sample 1 so as to optimize the calculation formula (2) for the purpose of improving the analysis accuracy. For samples other than glass beads such as steel, the calculation formulas (1) and (2) are not used for correcting the analysis value calculation, that is, the dilution ratio R and the igross content G
Can be set without using the correction term for
【００２６】こうして、本装置では、従来と異なり、試
料１の情報に基づいて、試料１の各成分の分析値計算の
補正に使用するパラメータの計算式（１），（２）を入
力できるので、分析精度の向上等の目的に合わせて、ユ
ーザー側で容易かつ迅速に計算式を適宜変更でき、この
結果を用いて分析値計算を補正することができる。In this way, in the present apparatus, unlike the prior art, the formulas (1) and (2) of the parameters used for correcting the analysis value calculation of each component of the sample 1 can be input based on the information of the sample 1. In addition, the user can easily and quickly change the calculation formula appropriately in accordance with the purpose of improving the analysis accuracy and the like, and the analysis value calculation can be corrected using the result.
【００２７】なお、上記実施形態では、検量線法による
分析方法を用いているが、ファンダメンタルパラメータ
法を用いても同様の補正が可能である。この場合、希釈
率Ｒについては計算式（１）と同じ希釈率を用いる。イ
グロス含有率Ｇについては、式（３）で、吸収係数が０
の元素として扱う。In the above embodiment, the analysis method by the calibration curve method is used, but the same correction can be made by using the fundamental parameter method. In this case, the same dilution ratio as that of the calculation formula (1) is used for the dilution ratio R. Regarding the gross content G, the absorption coefficient is 0 in equation (3).
Treated as an element.
【００２８】また、上記補正は、分析成分の含有率に対
して補正を行ったが、Ｘ線強度に対して補正を行っても
よい。In the above-described correction, the correction is performed on the content of the analysis component, but the correction may be performed on the X-ray intensity.
【００２９】なお、この実施形態では、外部の機器とし
て試料溶融装置２２を用いているが、発光分光分析装置
を用いる場合には、パラメータは試料の成分含有率であ
り、このパラメータにより試料の各成分の分析値計算を
補正する。例えば、炭素の測定値（光強度）ＣＢの２次
式で成分含有率Ｃに換算するとき、パラメータの計算式
（４）が用いられる。 Ｃ＝ｍ・ＣＢ2 ＋ｎ・ＣＢ＋ｏ （４） ただし、ｍ，ｎ，ｏは係数In this embodiment, the sample melting device 22 is used as an external device. However, when an emission spectrometer is used, the parameter is the component content of the sample. Correct the component analysis calculation. For example, when converting into the component content C by the quadratic expression of the measured value (light intensity) CB of carbon, the parameter calculation expression (4) is used. C = m · CB 2 + n · CB + o (4) where m, n, and o are coefficients
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、試料の
情報に基づいて、試料の各成分の分析値計算の補正に使
用するパラメータの計算式を入力できるので、分析精度
の向上等の目的に合わせて、ユーザー側で容易かつ迅速
に計算式を適宜変更でき、この結果を用いて分析値計算
を補正することができる。また、別の計算式を用いて他
の分析法の計算に装置を用いることもできる。As described above, according to the present invention, it is possible to input a calculation formula of a parameter used for correcting the analysis value calculation of each component of the sample based on the information of the sample, thereby improving the analysis accuracy. The user can easily and quickly change the calculation formula as appropriate in accordance with the purpose of (1), and use the result to correct the analysis value calculation. Further, the apparatus can be used for calculation of another analysis method using another calculation formula.
【図１】本発明の第１実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置
を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an X-ray fluorescence analyzer according to a first embodiment of the present invention.
【図２】ガラスビード法を示す工程図である。FIG. 2 is a process chart showing a glass bead method.
１…試料、３…融剤、４…ガラスビード、１２…蛍光Ｘ
線分析装置、１４…入力手段、１６…演算手段、１８…
記憶手段（メモリ）、２２…試料溶融装置、２４…秤量
手段、２６…データ転送手段。1 ... sample, 3 ... flux, 4 ... glass bead, 12 ... fluorescence X
X-ray analyzer, 14 input means, 16 arithmetic means, 18
Storage means (memory), 22: sample melting device, 24: weighing means, 26: data transfer means.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川田 紀生 大阪府高槻市赤大路町14番８号 理学電機 工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA04 CA01 FA06 FA12 GA01 HA01 JA12 JA16 KA01 MA04 RA01 RA03 SA12 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Norio Kawada 14-8 Akaoji-cho, Takatsuki-shi, Osaka F-term in Rigaku Denki Kogyo Co., Ltd. (Reference) 2G001 AA01 BA04 CA01 FA06 FA12 GA01 HA01 JA12 JA16 KA01 MA04 RA01 RA03 SA12
Claims (3)
基づき、計算式を用いて、試料の成分含有率、試料と融
剤の混合物を加熱溶融して作製されたガラスビードの融
剤重量と試料重量との比である希釈率、および試料重量
と融剤重量の合計からガラスビード重量を減算したイグ
ロス重量と試料重量との比であるイグロス含有率の少な
くとも１つを含むパラメータの計算を行い、このパラメ
ータを試料の各成分の分析値計算の補正に使用する蛍光
Ｘ線分析装置であって、 前記計算式を入力する入力手段と、入力された計算式を
記憶する記憶手段と、試料分析時に、前記記憶された計
算式にしたがって計算された前記パラメータを用いて、
予め組み込まれたプログラムにしたがった演算を行い、
分析値計算を補正する演算手段とを備えた蛍光Ｘ線分析
装置。1. A component content of a sample and a weight of a flux of a glass bead produced by heating and melting a mixture of the sample and a flux using a calculation formula based on information of the sample obtained by an external device. Calculation of parameters including at least one of the dilution ratio, which is the ratio of the sample weight to the sample weight, and the igross content, which is the ratio of the igross weight obtained by subtracting the glass bead weight from the sum of the sample weight and the flux weight, to the sample weight. An X-ray fluorescence spectrometer using the parameters to correct the calculation of the analysis value of each component of the sample, comprising: input means for inputting the calculation formula; storage means for storing the input calculation formula; At the time of analysis, using the parameters calculated according to the stored formula,
Performs an operation according to a pre-installed program,
An X-ray fluorescence analysis apparatus comprising: an arithmetic unit for correcting an analysis value calculation.
析装置内部のコンピュータに転送するデータ転送手段を
備えた蛍光Ｘ線分析装置。2. The X-ray fluorescence spectrometer according to claim 1, further comprising a data transfer unit for transferring information of the sample obtained by the external device to a computer inside the X-ray fluorescence spectrometer.
式どおりに入力する蛍光Ｘ線分析装置。3. The X-ray fluorescence spectrometer according to claim 1, wherein the input unit inputs the calculation expression according to a mathematical operation expression using an operator.
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