JP2000091678A - ファイバレーザ照射装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザビームと物質の相互作用において,異
なる作用を有する複数の波長成分を内包するレーザビー
ムを空間的に自在に誘導し、照射対象物体の任意の位置
に容易に照射可能で、装置コストが低く、装置サイズが
小さく、高い動作効率を有する、ファイバレーザ照射装
置を提供する。 【解決手段】 複数の波長成分を内包したレーザビーム
6を発生するファイバレーザ装置14から出射されるレ
ーザビーム6を、移動自在な誘導手段13によって照射
対象物体11まで誘導し、該誘導手段13の一部にとり
つけたビーム整形手段10によって該照射対象物体11
に照射する。
なる作用を有する複数の波長成分を内包するレーザビー
ムを空間的に自在に誘導し、照射対象物体の任意の位置
に容易に照射可能で、装置コストが低く、装置サイズが
小さく、高い動作効率を有する、ファイバレーザ照射装
置を提供する。 【解決手段】 複数の波長成分を内包したレーザビーム
6を発生するファイバレーザ装置14から出射されるレ
ーザビーム6を、移動自在な誘導手段13によって照射
対象物体11まで誘導し、該誘導手段13の一部にとり
つけたビーム整形手段10によって該照射対象物体11
に照射する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は,複数の波長成分を
内包する一つのレーザビームを出射するファイバレーザ
を利用したファイバレーザ照射装置に関する。
内包する一つのレーザビームを出射するファイバレーザ
を利用したファイバレーザ照射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】現在,レーザビームを物質に照射するレ
ーザ照射装置が金属加工,半導体加工,医療などの分野
において実用化されているが,そのレーザビームに内包
される波長成分は一である。レーザ光と金属,半導体加
工,生体の相互作用はその波長に大きく依存し,目的と
する作用に応じて,搭載するレーザ発振装置の発振波長
を決定する。例えば,生体は,その構成要素である蛋白
質,脂肪,骨,水などに対する吸収係数が異なるため
に,軟組織の凝固には波長2μm帯が,歯象牙質の穿孔
には9μm帯が,微細切開には3μm帯が,普通切開に
は10μm帯などが適していることが知られている。そ
のため,レーザ発振器として波長10μm帯の炭酸ガス
レーザ装置を具備したレーザメスが実用化されている。
さらに,レーザメスなどでは,各種作用を同時に行うた
めの複数の波長成分を包含するレーザビームを照射す
る,新しい機能を持つレーザ照射装置が実現できる。
ーザ照射装置が金属加工,半導体加工,医療などの分野
において実用化されているが,そのレーザビームに内包
される波長成分は一である。レーザ光と金属,半導体加
工,生体の相互作用はその波長に大きく依存し,目的と
する作用に応じて,搭載するレーザ発振装置の発振波長
を決定する。例えば,生体は,その構成要素である蛋白
質,脂肪,骨,水などに対する吸収係数が異なるため
に,軟組織の凝固には波長2μm帯が,歯象牙質の穿孔
には9μm帯が,微細切開には3μm帯が,普通切開に
は10μm帯などが適していることが知られている。そ
のため,レーザ発振器として波長10μm帯の炭酸ガス
レーザ装置を具備したレーザメスが実用化されている。
さらに,レーザメスなどでは,各種作用を同時に行うた
めの複数の波長成分を包含するレーザビームを照射す
る,新しい機能を持つレーザ照射装置が実現できる。
【0003】ここで,二以上の波長成分を有するレーザ
ビームを照射可能なレーザ照射装置31として従来のレ
ーザ装置からなる一例を,図2を参照して以下に説明す
る。なお,同図はレーザ照射装置31の全体構造を示す
模式図である。ここで例示するレーザ照射装置31で
は,異なる波長で発振する2個の第一レーザ装置21,
第二レーザ装置24から出射した第一レーザビーム2
2,第二レーザビーム25を同一方向に光伝搬させるた
めにコリメートレンズ23,26によって平行光にした
後,ダイクロイックミラー27で結合し,反射ミラー2
9によって光を誘導し,集光レンズ30を通して照射対
象物体11に照射する。各波長成分のレーザ特性の変
調,たとえば強度の増減は各レーザ装置21,24でお
こなうことができる。ダイクロイックミラー27はレー
ザビーム22の波長に対しては高い透過率を有し,レー
ザビーム25に対しては高い反射率を有する。
ビームを照射可能なレーザ照射装置31として従来のレ
ーザ装置からなる一例を,図2を参照して以下に説明す
る。なお,同図はレーザ照射装置31の全体構造を示す
模式図である。ここで例示するレーザ照射装置31で
は,異なる波長で発振する2個の第一レーザ装置21,
第二レーザ装置24から出射した第一レーザビーム2
2,第二レーザビーム25を同一方向に光伝搬させるた
めにコリメートレンズ23,26によって平行光にした
後,ダイクロイックミラー27で結合し,反射ミラー2
9によって光を誘導し,集光レンズ30を通して照射対
象物体11に照射する。各波長成分のレーザ特性の変
調,たとえば強度の増減は各レーザ装置21,24でお
こなうことができる。ダイクロイックミラー27はレー
ザビーム22の波長に対しては高い透過率を有し,レー
ザビーム25に対しては高い反射率を有する。
【0004】レーザメスとして上記レーザ照射装置31
を使用する場合,生体の微細加工に好適な波長3μm
と,蛋白質の変成を利用する組織凝固ならびに止血に好
適な2μmの2波長のレーザビームを結合して照射する
ことが望まれる。この場合,第1レーザ装置21を波長
970nmのレーザダイオードで励起する発振波長2.
94μmのエルビウム(Er)ドープイットリウムアル
ミニウムガーネット(YAG)結晶レーザとし,第2レ
ーザ装置24を波長790nmのレーザダイオードで励
起する発振波長2.06μmのツリウム(Tm),ホル
ミウム(Ho)コドープイットリウムリチウムフロライ
ド(YLF)結晶レーザとすることができる。第3の波
長で発振するレーザ装置から出射するレーザビームを,
上記2波長を結合したレーザビーム28にさらに結合す
ることが必要な場合にはダイクロイックミラー27と同
様な結合手段を追加することで達成できる。
を使用する場合,生体の微細加工に好適な波長3μm
と,蛋白質の変成を利用する組織凝固ならびに止血に好
適な2μmの2波長のレーザビームを結合して照射する
ことが望まれる。この場合,第1レーザ装置21を波長
970nmのレーザダイオードで励起する発振波長2.
94μmのエルビウム(Er)ドープイットリウムアル
ミニウムガーネット(YAG)結晶レーザとし,第2レ
ーザ装置24を波長790nmのレーザダイオードで励
起する発振波長2.06μmのツリウム(Tm),ホル
ミウム(Ho)コドープイットリウムリチウムフロライ
ド(YLF)結晶レーザとすることができる。第3の波
長で発振するレーザ装置から出射するレーザビームを,
上記2波長を結合したレーザビーム28にさらに結合す
ることが必要な場合にはダイクロイックミラー27と同
様な結合手段を追加することで達成できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述のような2個のレ
ーザ装置21,24を使用するレーザ照射装置をレーザ
メスに適用する場合,照射対象物体に同時にそれぞれの
波長成分特有の作用を与えることが可能となる。照射対
象物体の特性ならびに如何なる作用を与えるかに応じ
て,レーザ装置21,24においてそれぞれの波長成分
のレーザ特性,たとえば強度を個別に増減し,波長成分
の強度を目的に応じた所望の状態とすることも可能であ
る。しかし,異なる複数のレーザビームを結合して誘導
手段によってレーザビームを伝搬する場合,異なる波長
のレーザビームの結合における軸ずれや,レーザ装置の
特性で決まる波長成分ごとのレーザビーム伝搬特性の差
異が,集光した場合特に,照射対象物体上での照射位置
の位置ずれや光強度のばらつきを引き起こす問題があ
る。さらに,使用するレーザ光は必ずしも可視光ではな
く,照射対象物体11上における照射位置の決定や確認
が容易ではない。
ーザ装置21,24を使用するレーザ照射装置をレーザ
メスに適用する場合,照射対象物体に同時にそれぞれの
波長成分特有の作用を与えることが可能となる。照射対
象物体の特性ならびに如何なる作用を与えるかに応じ
て,レーザ装置21,24においてそれぞれの波長成分
のレーザ特性,たとえば強度を個別に増減し,波長成分
の強度を目的に応じた所望の状態とすることも可能であ
る。しかし,異なる複数のレーザビームを結合して誘導
手段によってレーザビームを伝搬する場合,異なる波長
のレーザビームの結合における軸ずれや,レーザ装置の
特性で決まる波長成分ごとのレーザビーム伝搬特性の差
異が,集光した場合特に,照射対象物体上での照射位置
の位置ずれや光強度のばらつきを引き起こす問題があ
る。さらに,使用するレーザ光は必ずしも可視光ではな
く,照射対象物体11上における照射位置の決定や確認
が容易ではない。
【0006】また,レーザ装置を2以上必要とするの
で,主要部品としてレーザ光源に資する費用が約2倍と
なり,装置全体のコストが高くなる,消費電力が大き
い,サイズが必然的に大きい,という問題がある。
で,主要部品としてレーザ光源に資する費用が約2倍と
なり,装置全体のコストが高くなる,消費電力が大き
い,サイズが必然的に大きい,という問題がある。
【0007】本発明は上述のような課題に鑑みてなされ
たものであり,複数の波長成分が内包された一つのレー
ザビームを発生するファイバレーザ装置を利用し,発生
した該レーザビームを移動自在な誘導手段によって対象
物体に照射可能な,低コスト,高効率,小サイズのファ
イバレーザ照射装置を提供することを目的とする。
たものであり,複数の波長成分が内包された一つのレー
ザビームを発生するファイバレーザ装置を利用し,発生
した該レーザビームを移動自在な誘導手段によって対象
物体に照射可能な,低コスト,高効率,小サイズのファ
イバレーザ照射装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の第一のファイバ
レーザ照射装置は,複数の波長で同時発振するファイバ
レーザと,該ファイバレーザから出射するレーザビーム
を自在に伝搬する誘導手段と,ビーム整形手段とを具備
する。
レーザ照射装置は,複数の波長で同時発振するファイバ
レーザと,該ファイバレーザから出射するレーザビーム
を自在に伝搬する誘導手段と,ビーム整形手段とを具備
する。
【0009】本発明のファイバレーザ照射装置では,前
記ファイバレーザがカスケード発振方式により2以上の
波長帯で発振し,該波長成分を内包する一つのレーザビ
ームを発生する。該ファイバレーザの基本構造および基
本原理は,本願の発明者および出願人による先願である
特願平09−146735号に詳述されている。該レー
ザビームは前記ビーム整形手段で平行光となり,前記誘
導手段によって伝搬し,前記ビーム整形手段によって照
射対象物体に与える作用に好適なビーム強度を有したの
ち,各波長成分が該照射対象物体上の同一位置に照射さ
れる。該レーザビームは各波長成分の同軸性を損なうこ
となく照射対象物体照射される。
記ファイバレーザがカスケード発振方式により2以上の
波長帯で発振し,該波長成分を内包する一つのレーザビ
ームを発生する。該ファイバレーザの基本構造および基
本原理は,本願の発明者および出願人による先願である
特願平09−146735号に詳述されている。該レー
ザビームは前記ビーム整形手段で平行光となり,前記誘
導手段によって伝搬し,前記ビーム整形手段によって照
射対象物体に与える作用に好適なビーム強度を有したの
ち,各波長成分が該照射対象物体上の同一位置に照射さ
れる。該レーザビームは各波長成分の同軸性を損なうこ
となく照射対象物体照射される。
【0010】本発明の第二のファイバレーザ照射装置
は,複数の波長で同時発振するファイバレーザと,該フ
ァイバレーザから出射するレーザビームを自在に伝搬す
る誘導手段と,該レーザビームの波長成分ごとの光特性
を変調する変調手段と,該レーザビームを整形するビー
ム整形手段とを具備する。
は,複数の波長で同時発振するファイバレーザと,該フ
ァイバレーザから出射するレーザビームを自在に伝搬す
る誘導手段と,該レーザビームの波長成分ごとの光特性
を変調する変調手段と,該レーザビームを整形するビー
ム整形手段とを具備する。
【0011】従って,本発明のファイバレーザ照射装置
では,前記ファイバレーザで発生した複数の波長成分を
内包するレーザビームの各波長ごとのレーザ特性,たと
えばレーザパワーが個別に変化する。
では,前記ファイバレーザで発生した複数の波長成分を
内包するレーザビームの各波長ごとのレーザ特性,たと
えばレーザパワーが個別に変化する。
【0012】上述のようなファイバレーザ照射装置にお
いて,該誘導手段の中の前記変調手段として,レーザパ
ワーの波長成分を個別に変化させることが可能な該複数
波長において透過率の異なるフィルターを設置すること
が可能である。この場合,照射対象物体に与える作用,
たとえば切開と凝固に好適な該レーザビームの出力を波
長成分毎に調整することができる。
いて,該誘導手段の中の前記変調手段として,レーザパ
ワーの波長成分を個別に変化させることが可能な該複数
波長において透過率の異なるフィルターを設置すること
が可能である。この場合,照射対象物体に与える作用,
たとえば切開と凝固に好適な該レーザビームの出力を波
長成分毎に調整することができる。
【0013】上述のようなファイバレーザ照射装置にお
いて,前記誘導手段を,前記レーザビームを高効率に透
過し平行光に整形するビーム整形手段と,高効率に反射
する複数の反射手段と,高効率に透過し全波長成分を同
様に集光するビーム整形手段とから構成する多関節アー
ムにすることが可能である。
いて,前記誘導手段を,前記レーザビームを高効率に透
過し平行光に整形するビーム整形手段と,高効率に反射
する複数の反射手段と,高効率に透過し全波長成分を同
様に集光するビーム整形手段とから構成する多関節アー
ムにすることが可能である。
【0014】この場合,多関節アームの全反射手段を一
つもしくは複数から構成される関節の数の増大によって
レーザビームの移動の容易性が向上する。
つもしくは複数から構成される関節の数の増大によって
レーザビームの移動の容易性が向上する。
【0015】上述のようなファイバレーザ照射装置にお
いて,前記誘導手段を該レーザビームに対して高い透過
率を有する伝搬用光ファイバとすることが可能である。
この場合,前記ファイバレーザのレーザ出射端と該伝搬
用光ファイバを突き合わせ接続もしくは融着接続によっ
て結合することができる。前記変調手段は該伝搬用光フ
ァイバと前記ビーム整形手段の間,もしくは複数の光学
部品からなるビーム整形手段の中に設置される。
いて,前記誘導手段を該レーザビームに対して高い透過
率を有する伝搬用光ファイバとすることが可能である。
この場合,前記ファイバレーザのレーザ出射端と該伝搬
用光ファイバを突き合わせ接続もしくは融着接続によっ
て結合することができる。前記変調手段は該伝搬用光フ
ァイバと前記ビーム整形手段の間,もしくは複数の光学
部品からなるビーム整形手段の中に設置される。
【0016】上述のようなファイバレーザ照射装置にお
いて,前記ファイバレーザの複数波長のレーザを発生す
る光ファイバをそのまま前記誘導手段として使用するこ
とも可能である。
いて,前記ファイバレーザの複数波長のレーザを発生す
る光ファイバをそのまま前記誘導手段として使用するこ
とも可能である。
【0017】本発明の第三のファイバレーザ照射装置
は,複数の波長で同時発振するファイバレーザと,該フ
ァイバレーザから出射するレーザビームを自在に伝搬す
る誘導手段と,該レーザビームの波長成分ごとの光特性
を変調する変調手段と,該レーザビームを整形するビー
ム整形手段と,該レーザビームの照射位置を指示する光
とを具備する。
は,複数の波長で同時発振するファイバレーザと,該フ
ァイバレーザから出射するレーザビームを自在に伝搬す
る誘導手段と,該レーザビームの波長成分ごとの光特性
を変調する変調手段と,該レーザビームを整形するビー
ム整形手段と,該レーザビームの照射位置を指示する光
とを具備する。
【0018】従って,本発明のファイバレーザ照射装置
では,該ファイバレーザ照射装置の使用者が好適なビー
ム強度に達した前記レーザビームの位置を指示光によっ
て照射対象物体上で確認することで,均一な照射および
作用を与えることが可能である。この場合,前記指示光
は前記多関節アーム内の一つの反射ミラーを透過させる
ことによって該レーザビームと同軸に結合させ,該照射
対象上に該レーザビームと同一位置に照射させることが
可能である。該反射ミラーは該指示光を透過することが
必要である。さらに,前記指示光は該レーザビームとは
異なる伝搬光路から投射されることも可能である。ま
た,該指示光の波長は該照射対象物体上で確認する必要
があるため可視波長帯もしくは電子カメラ装置などによ
って確認できる波長である必要がある。
では,該ファイバレーザ照射装置の使用者が好適なビー
ム強度に達した前記レーザビームの位置を指示光によっ
て照射対象物体上で確認することで,均一な照射および
作用を与えることが可能である。この場合,前記指示光
は前記多関節アーム内の一つの反射ミラーを透過させる
ことによって該レーザビームと同軸に結合させ,該照射
対象上に該レーザビームと同一位置に照射させることが
可能である。該反射ミラーは該指示光を透過することが
必要である。さらに,前記指示光は該レーザビームとは
異なる伝搬光路から投射されることも可能である。ま
た,該指示光の波長は該照射対象物体上で確認する必要
があるため可視波長帯もしくは電子カメラ装置などによ
って確認できる波長である必要がある。
【0019】本発明の第四のファイバレーザ照射装置
は,複数の波長で同時発振し,可視波長帯域のレーザも
しくは蛍光をも発生するファイバレーザと,該ファイバ
レーザから出射するレーザビームを自在に伝搬する誘導
手段と,該レーザビームの波長成分ごとの光特性を変調
する変調手段と,該レーザビームを整形するビーム整形
手段を具備する。
は,複数の波長で同時発振し,可視波長帯域のレーザも
しくは蛍光をも発生するファイバレーザと,該ファイバ
レーザから出射するレーザビームを自在に伝搬する誘導
手段と,該レーザビームの波長成分ごとの光特性を変調
する変調手段と,該レーザビームを整形するビーム整形
手段を具備する。
【0020】上述のようなファイバレーザ照射装置にお
いて,ファイバレーザから出射するレーザビームには照
射対象物体に必要とされる複数の波長成分の他に,該レ
ーザビームを空間的に指示できる可視波長帯の発光また
はレーザ光をも内包している。この場合,ファイバレー
ザの光ファイバ内にドープされているレーザイオンは一
種類または複数種であり,励起発光手段からの発光が,
該レーザイオンを効率良く励起し,必要とされる複数波
長の発振の他に,励起準位からさらに励起するなどの多
段階の励起過程を経て可視波長帯においても発光させ
る。該可視波長帯の発光が前記指示光と同等の役割を果
たす。
いて,ファイバレーザから出射するレーザビームには照
射対象物体に必要とされる複数の波長成分の他に,該レ
ーザビームを空間的に指示できる可視波長帯の発光また
はレーザ光をも内包している。この場合,ファイバレー
ザの光ファイバ内にドープされているレーザイオンは一
種類または複数種であり,励起発光手段からの発光が,
該レーザイオンを効率良く励起し,必要とされる複数波
長の発振の他に,励起準位からさらに励起するなどの多
段階の励起過程を経て可視波長帯においても発光させ
る。該可視波長帯の発光が前記指示光と同等の役割を果
たす。
【0021】上述のようなファイバレーザ照射装置にお
いて,前記光ファイバにドープされたレーザイオンがホ
ルミウムイオンからなり,前記励起発光手段が890n
m帯か1.1μm帯のどちらか一方,またはその両方の
波長の発光であることが可能である。この場合カスケー
ド発振により,生体加工において精細加工と蛋白質凝固
および止血に好適な3μm帯と2μm帯の波長成分を内包
したレーザビームを発生し,さらに,該励起発光手段に
より同時にホルミウムイオン内のエネルギー準位を多段
階励起することによって,波長約550nmの緑色のレ
ーザまたは蛍光も発生し,該緑色光は出射するレーザビ
ームの中に同軸で内包される。
いて,前記光ファイバにドープされたレーザイオンがホ
ルミウムイオンからなり,前記励起発光手段が890n
m帯か1.1μm帯のどちらか一方,またはその両方の
波長の発光であることが可能である。この場合カスケー
ド発振により,生体加工において精細加工と蛋白質凝固
および止血に好適な3μm帯と2μm帯の波長成分を内包
したレーザビームを発生し,さらに,該励起発光手段に
より同時にホルミウムイオン内のエネルギー準位を多段
階励起することによって,波長約550nmの緑色のレ
ーザまたは蛍光も発生し,該緑色光は出射するレーザビ
ームの中に同軸で内包される。
【0022】上述のようなファイバレーザ照射装置にお
いて,前記光ファイバにドープされたレーザイオンがホ
ルミウムイオンとツリウムイオンであることも可能であ
る。この場合,該レーザイオンは該光ファイバ中にコド
ープされるだけでなく,それぞれのレーザイオンを単一
ドープされた光ファイバが接続されることも可能であ
る。前記励起発光手段が1.1μm帯の波長光を発生す
る場合は,ホルミウムイオンにおいて3μm帯と2μm
帯の波長成分を有するレーザビームが発生し,さらに
は,該励起発光手段からの1.1μm帯の波長光によっ
てツリウムイオンが多段階励起されて発生する波長約4
80nmの青色のレーザまたは蛍光をも発生し,それら
の波長成分が内包されるレーザビームが出射される。
いて,前記光ファイバにドープされたレーザイオンがホ
ルミウムイオンとツリウムイオンであることも可能であ
る。この場合,該レーザイオンは該光ファイバ中にコド
ープされるだけでなく,それぞれのレーザイオンを単一
ドープされた光ファイバが接続されることも可能であ
る。前記励起発光手段が1.1μm帯の波長光を発生す
る場合は,ホルミウムイオンにおいて3μm帯と2μm
帯の波長成分を有するレーザビームが発生し,さらに
は,該励起発光手段からの1.1μm帯の波長光によっ
てツリウムイオンが多段階励起されて発生する波長約4
80nmの青色のレーザまたは蛍光をも発生し,それら
の波長成分が内包されるレーザビームが出射される。
【0023】なお,本発明で言う各種手段は,個々に独
立した部品である必要もなく,ある手段が他の手段の一
部であるようなことも許容する。例えば,波長ごとにレ
ーザビームの特性を変化させる変調手段をファイバレー
ザ装置内に具備することも可能である。さらに,一例と
して,光ファイバの端部でレーザビームを反射する部分
反射手段として,専用の反射素子を光ファイバの端面に
接合することも可能であるが,光ファイバの端面を反射
手段として利用することも可能である。
立した部品である必要もなく,ある手段が他の手段の一
部であるようなことも許容する。例えば,波長ごとにレ
ーザビームの特性を変化させる変調手段をファイバレー
ザ装置内に具備することも可能である。さらに,一例と
して,光ファイバの端部でレーザビームを反射する部分
反射手段として,専用の反射素子を光ファイバの端面に
接合することも可能であるが,光ファイバの端面を反射
手段として利用することも可能である。
【0024】
【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を,図面を
参照して以下に説明する。なお,図1は本実施の形態の
ファイバレーザ照射装置を示す模式図,図3ないし5は
変形例のファイバレーザ照射装置を示す模式図,図6は
前記ファイバレーザ装置において前記指示光を発生させ
る基本原理を示す模式図,である。
参照して以下に説明する。なお,図1は本実施の形態の
ファイバレーザ照射装置を示す模式図,図3ないし5は
変形例のファイバレーザ照射装置を示す模式図,図6は
前記ファイバレーザ装置において前記指示光を発生させ
る基本原理を示す模式図,である。
【0025】本実施の形態のファイバレーザ照射装置1
2に使用したファイバレーザ装置14は,利得媒質とし
てコア直径10μmで全長2mの光ファイバ4を具備し
ている。この光ファイバ4は,フッ化ジルコニウムを主
成分とするフッ化物ガラスからなり,そのコアにはレー
ザイオンとして希土類イオンであるホルミウムイオンが
濃度0.25重量パーセント程度にドープされている。
2に使用したファイバレーザ装置14は,利得媒質とし
てコア直径10μmで全長2mの光ファイバ4を具備し
ている。この光ファイバ4は,フッ化ジルコニウムを主
成分とするフッ化物ガラスからなり,そのコアにはレー
ザイオンとして希土類イオンであるホルミウムイオンが
濃度0.25重量パーセント程度にドープされている。
【0026】光ファイバ4の一端には,全反射手段3で
ある一個の全反射素子が接合されており,この全反射素
子を介して励起発光手段1であるレーザダイオード(L
D)またはファイバラマンレーザが対向されている。こ
の励起発光手段1は,ホルミウムイオンが有するエネル
ギー帯に一致する890nm帯もしくは1.1μm帯で
発光するので,この発光により光ファイバ4のホルミウ
ムイオンを励起させて,3μm帯,2μm帯との波長成
分を内包した一つのレーザビームをカスケード発振で発
生させる。
ある一個の全反射素子が接合されており,この全反射素
子を介して励起発光手段1であるレーザダイオード(L
D)またはファイバラマンレーザが対向されている。こ
の励起発光手段1は,ホルミウムイオンが有するエネル
ギー帯に一致する890nm帯もしくは1.1μm帯で
発光するので,この発光により光ファイバ4のホルミウ
ムイオンを励起させて,3μm帯,2μm帯との波長成
分を内包した一つのレーザビームをカスケード発振で発
生させる。
【0027】この全反射素子は,例えば,ダイクロイッ
クミラーからなり,前記LDまたはファイバラマンレー
ザが発生する890nm帯と1.1μm帯のいずれか,
またはその両方の励起波長の光線は高効率に透過する
が,光ファイバ4で共振される3μm帯と2μm帯の発
振波長の光線は高効率に一律に反射する。このダイクロ
イックミラーと対となってレーザ共振器を構成する部分
反射手段5はファイバ端におけるフレネル反射(約4
%)である。
クミラーからなり,前記LDまたはファイバラマンレー
ザが発生する890nm帯と1.1μm帯のいずれか,
またはその両方の励起波長の光線は高効率に透過する
が,光ファイバ4で共振される3μm帯と2μm帯の発
振波長の光線は高効率に一律に反射する。このダイクロ
イックミラーと対となってレーザ共振器を構成する部分
反射手段5はファイバ端におけるフレネル反射(約4
%)である。
【0028】なお,上述のようなファイバレーザ装置1
4の基本構造および基本原理は,本願の発明者および出
願人による先願である特願平09−146735号に詳
述されている。
4の基本構造および基本原理は,本願の発明者および出
願人による先願である特願平09−146735号に詳
述されている。
【0029】ファイバレーザ装置14から出射される,
3μm帯ならびに2μm帯の波長成分を内包するレーザ
ビーム6はビーム整形手段7であるゲルマニウムレンズ
で平行光に整形され,全反射手段9である金コートミラ
ーによって反射を繰り返し,照射対象物体11に伝搬さ
れる。このビーム整形手段7はレーザビーム6を高効率
で透過するように3μm帯と2μm帯において無反射コ
ーティングが施される。また,ゲルマニウムの屈折率は
3μm帯と2μm帯において大きな差異がなく,ゲルマ
ニウムレンズを透過したレーザビーム6に内包される両
波長成分はほぼ同一の伝搬特性を有する平行光となる。
3μm帯ならびに2μm帯の波長成分を内包するレーザ
ビーム6はビーム整形手段7であるゲルマニウムレンズ
で平行光に整形され,全反射手段9である金コートミラ
ーによって反射を繰り返し,照射対象物体11に伝搬さ
れる。このビーム整形手段7はレーザビーム6を高効率
で透過するように3μm帯と2μm帯において無反射コ
ーティングが施される。また,ゲルマニウムの屈折率は
3μm帯と2μm帯において大きな差異がなく,ゲルマ
ニウムレンズを透過したレーザビーム6に内包される両
波長成分はほぼ同一の伝搬特性を有する平行光となる。
【0030】平行光に整形されたレーザビーム6に内包
される3μm帯と2μm帯のレーザパワー比は,およそ
50%対50%であるが,変調手段8である光学フィル
ターを通過することにより,本ファイバレーザ照射装置
12をレーザメスとして使用とした場合に,照射対象物
体11である小動物皮膚に与える作用に好適な,2波長
成分におけるレーザパワー比,たとえば3μm帯成分6
0%で2μm帯40%となる。
される3μm帯と2μm帯のレーザパワー比は,およそ
50%対50%であるが,変調手段8である光学フィル
ターを通過することにより,本ファイバレーザ照射装置
12をレーザメスとして使用とした場合に,照射対象物
体11である小動物皮膚に与える作用に好適な,2波長
成分におけるレーザパワー比,たとえば3μm帯成分6
0%で2μm帯40%となる。
【0031】レーザビーム6をビーム整形手段10であ
るゲルマニウムレンズによって集光し,照射対象物体1
1であるウサギの皮膚に照射した。なお,ユーザが所望
によりシャッター15の開閉を制御することで,レーザ
照射をオン/オフできる。この皮膚上で,レーザビーム
6が集光照射された部位においては,3μm帯の作用で
ある集光スポット径程度の微細な切開と,その周辺に2
μm帯の作用である蛋白質の凝固による止血が同時に発
現した。
るゲルマニウムレンズによって集光し,照射対象物体1
1であるウサギの皮膚に照射した。なお,ユーザが所望
によりシャッター15の開閉を制御することで,レーザ
照射をオン/オフできる。この皮膚上で,レーザビーム
6が集光照射された部位においては,3μm帯の作用で
ある集光スポット径程度の微細な切開と,その周辺に2
μm帯の作用である蛋白質の凝固による止血が同時に発
現した。
【0032】さらに,前記ウサギの生きた肝臓表面に,
上記レーザビームを照射したところ,3μm帯レーザの
みの照射では,穿孔もしくは切開と同時に出血が認めら
れ,2μm帯レーザのみの照射では,凝固層が厚く盛り
上がるように形成されるが,穿孔もしくは切開のスピー
ドは遅かった。最後に,3μm帯と2μm帯の両波長同
時照射では,好適な厚みで凝固層が形成し,止血しなが
ら好適なスピードで微細に穿孔もしくは切開できること
を確認した。
上記レーザビームを照射したところ,3μm帯レーザの
みの照射では,穿孔もしくは切開と同時に出血が認めら
れ,2μm帯レーザのみの照射では,凝固層が厚く盛り
上がるように形成されるが,穿孔もしくは切開のスピー
ドは遅かった。最後に,3μm帯と2μm帯の両波長同
時照射では,好適な厚みで凝固層が形成し,止血しなが
ら好適なスピードで微細に穿孔もしくは切開できること
を確認した。
【0033】この微細切開と蛋白質凝固層の面積は,集
光用ゲルマニウムレンズと照射対象物体11の間のどの
位置で照射するかに依存しする。さらには,ビーム整形
手段7とビーム整形手段10に使用する光学素子の組み
合わせにより,変化させることができる。
光用ゲルマニウムレンズと照射対象物体11の間のどの
位置で照射するかに依存しする。さらには,ビーム整形
手段7とビーム整形手段10に使用する光学素子の組み
合わせにより,変化させることができる。
【0034】たとえば,ビーム整形手段7として,サフ
ァイアレンズとフッ化カルシウムレンズの組み合わせレ
ンズを使用すると,レンズ材質特有の焦点距離の波長依
存性によって,レーザビーム6に内包する3μm帯の波
長成分は平行光で,2μm帯の波長成分は緩やかに拡が
りを有するビームに整形させることができ,ビーム整形
手段10であるゲルマニウムレンズによって集光された
レーザビーム6は,照射対象物体11上で3μm帯の波
長成分よりも2μm帯の波長成分のビーム直径が大きく
なる特性をもたせることができる。
ァイアレンズとフッ化カルシウムレンズの組み合わせレ
ンズを使用すると,レンズ材質特有の焦点距離の波長依
存性によって,レーザビーム6に内包する3μm帯の波
長成分は平行光で,2μm帯の波長成分は緩やかに拡が
りを有するビームに整形させることができ,ビーム整形
手段10であるゲルマニウムレンズによって集光された
レーザビーム6は,照射対象物体11上で3μm帯の波
長成分よりも2μm帯の波長成分のビーム直径が大きく
なる特性をもたせることができる。
【0035】上述のような構成からなる本実施の形態の
ファイバレーザ照射装置12は,一つのレーザビーム6
に内包される3μm帯と2μm帯の波長成分の同軸性を
損なうことなく,凹凸な形状の照射対象物体11上にレ
ーザビーム6を伝搬し,任意の位置に容易に照射するこ
とができる。
ファイバレーザ照射装置12は,一つのレーザビーム6
に内包される3μm帯と2μm帯の波長成分の同軸性を
損なうことなく,凹凸な形状の照射対象物体11上にレ
ーザビーム6を伝搬し,任意の位置に容易に照射するこ
とができる。
【0036】上述のような構成からなる本実施の形態の
ファイバレーザ照射装置12は,全反射手段9,シャッ
ター15,ビーム整形手段10を一つのコンポーネント
として,座標軸16に示すZ軸方向に自在に移動でき,
さらに,ビーム整形手段10はX軸方向に自在に移動で
きるのでビーム整形されたレーザビーム6の好適な位置
を照射対象物体11の表面上に移動してレーザビーム6
を照射可能である。
ファイバレーザ照射装置12は,全反射手段9,シャッ
ター15,ビーム整形手段10を一つのコンポーネント
として,座標軸16に示すZ軸方向に自在に移動でき,
さらに,ビーム整形手段10はX軸方向に自在に移動で
きるのでビーム整形されたレーザビーム6の好適な位置
を照射対象物体11の表面上に移動してレーザビーム6
を照射可能である。
【0037】さらに,上記形態のファイバレーザ照射装
置12では,レーザビーム6を一つの全反射手段9を含
む誘導手段13によって,自在に任意の位置に照射する
ことを例示したが,図3に例示するファイバレーザ照射
装置18のように,複数の全反射手段9,17,変調手
段8,シャッター15から構成される多関節アーム状の
誘導手段13によって,さらにレーザビーム6の移動の
自在性を向上させることができる。
置12では,レーザビーム6を一つの全反射手段9を含
む誘導手段13によって,自在に任意の位置に照射する
ことを例示したが,図3に例示するファイバレーザ照射
装置18のように,複数の全反射手段9,17,変調手
段8,シャッター15から構成される多関節アーム状の
誘導手段13によって,さらにレーザビーム6の移動の
自在性を向上させることができる。
【0038】さらに,上記形態のファイバレーザ照射装
置18では,レーザビーム6を誘導手段13として多関
節アームによって,自在に任意の位置に照射することを
例示したが,図4に例示するファイバレーザ照射装置4
1のように,誘導手段13として伝搬用光ファイバ40
を使用することが可能である。
置18では,レーザビーム6を誘導手段13として多関
節アームによって,自在に任意の位置に照射することを
例示したが,図4に例示するファイバレーザ照射装置4
1のように,誘導手段13として伝搬用光ファイバ40
を使用することが可能である。
【0039】伝搬用光ファイバ40はレーザビーム6を
吸収しない物質や,機械的強度特性にすぐれた物質で作
製することが可能である。その光ファイバとして,フッ
化物ガラスファイバ,サファイアファイバ,カルコゲナ
イトファイバ,テルライトファイバ,中空導波路型ファ
イバなどが使用できる。
吸収しない物質や,機械的強度特性にすぐれた物質で作
製することが可能である。その光ファイバとして,フッ
化物ガラスファイバ,サファイアファイバ,カルコゲナ
イトファイバ,テルライトファイバ,中空導波路型ファ
イバなどが使用できる。
【0040】また,本実施の形態のファイバレーザ照射
装置41では,変調手段8をビーム整形手段7に内包す
る形態を例示している。ビーム整形手段7はレーザビー
ム6を平行光にする1枚のコリメートレンズと,変調手
段8と,伝搬用光ファイバ40に結合するための集光レ
ンズからなる。
装置41では,変調手段8をビーム整形手段7に内包す
る形態を例示している。ビーム整形手段7はレーザビー
ム6を平行光にする1枚のコリメートレンズと,変調手
段8と,伝搬用光ファイバ40に結合するための集光レ
ンズからなる。
【0041】さらに,光ファイバ4と伝搬用光ファイバ
40が部分反射手段5を介して結合することが可能であ
る。この場合,変調手段8をビーム整形手段10に内包
することにより,ユーザが所望するレーザパワーに関す
る波長成分比を得ることができる。
40が部分反射手段5を介して結合することが可能であ
る。この場合,変調手段8をビーム整形手段10に内包
することにより,ユーザが所望するレーザパワーに関す
る波長成分比を得ることができる。
【0042】上述のように本発明で言う各種手段は,個
々に独立した部品である必要もなく,ある手段が他の手
段の一部であるようなことも許容する。
々に独立した部品である必要もなく,ある手段が他の手
段の一部であるようなことも許容する。
【0043】たとえば,光ファイバ4が伝搬用光ファイ
バ40の機能も合わせもち,光ファイバ4のレーザ出射
端が直接,ビーム整形手段10に結合できる。この場
合,変調手段8はビーム整形手段10に内包される。さ
らに,シャッター15もビーム整形手段10に内包する
ことが可能である。
バ40の機能も合わせもち,光ファイバ4のレーザ出射
端が直接,ビーム整形手段10に結合できる。この場
合,変調手段8はビーム整形手段10に内包される。さ
らに,シャッター15もビーム整形手段10に内包する
ことが可能である。
【0044】さらに,図5に例示するファイバレーザ照
射装置50のように,レーザビーム6に指示光発光手段
51の指示光52を重畳させることができる。指示光発
光手段51としてヘリウムネオンレーザ(波長544n
mまたは633nm)を使用した。全反射手段9はレー
ザビーム6に対して高い反射率を有し,指示光52に対
しては,ユーザが照射対象物体11上で視認できる程度
以上に透過率を有する誘電体多層膜をコーティングした
ミラーを使用した。
射装置50のように,レーザビーム6に指示光発光手段
51の指示光52を重畳させることができる。指示光発
光手段51としてヘリウムネオンレーザ(波長544n
mまたは633nm)を使用した。全反射手段9はレー
ザビーム6に対して高い反射率を有し,指示光52に対
しては,ユーザが照射対象物体11上で視認できる程度
以上に透過率を有する誘電体多層膜をコーティングした
ミラーを使用した。
【0045】このため,本実施の形態のファイバレーザ
照射装置50は,ユーザが照射対象物体11上において
レーザビーム6の照射位置を正確に認知できるので,レ
ーザビーム6を照射しながらそのレーザ照射位置を正確
に移動できる。
照射装置50は,ユーザが照射対象物体11上において
レーザビーム6の照射位置を正確に認知できるので,レ
ーザビーム6を照射しながらそのレーザ照射位置を正確
に移動できる。
【0046】しかも,照射対象物体11へのレーザ照射
時の作用状態を指示光52の反射強度を測定するなどし
てモニタすることが可能である。
時の作用状態を指示光52の反射強度を測定するなどし
てモニタすることが可能である。
【0047】さらに,上記形態のファイバレーザ照射装
置50の誘導手段13は,図3で例示した誘導手段13
の多関節アームであることも可能である。
置50の誘導手段13は,図3で例示した誘導手段13
の多関節アームであることも可能である。
【0048】また,図4に示したファイバレーザ照射装
置41に,指示光52を付与する場合には,伝搬用光フ
ァイバ40に,レーザビーム6に内包される波長成分と
指示光52の波長に適した光カプラによって,レーザビ
ーム6に指示光52を重畳することができる。
置41に,指示光52を付与する場合には,伝搬用光フ
ァイバ40に,レーザビーム6に内包される波長成分と
指示光52の波長に適した光カプラによって,レーザビ
ーム6に指示光52を重畳することができる。
【0049】さらに,上記形態のファイバレーザ照射装
置50では,指示光発光手段51をファイバレーザ照射
装置12に新たに付与したが,ファイバレーザ装置14
の利得媒質である光ファイバ4から指示光52を発生
し、その指示光をレーザビーム6と同軸に出射すること
もできる。
置50では,指示光発光手段51をファイバレーザ照射
装置12に新たに付与したが,ファイバレーザ装置14
の利得媒質である光ファイバ4から指示光52を発生
し、その指示光をレーザビーム6と同軸に出射すること
もできる。
【0050】たとえば,図6に例示するように,ホルミ
ウムイオンのエネルギー準位73において,890nm
帯の励起光2を使用した場合,890nm帯励起準位6
1から無放射緩和64を経て,3μm帯レーザ遷移66
と2μm帯レーザ遷移67の連続したカスケード発振が
生じる。この場合,同時に890nm帯励起遷移62が
生じ,無放射緩和63を経て550nm帯励起準位68
から550nm帯発光遷移69が生じる。
ウムイオンのエネルギー準位73において,890nm
帯の励起光2を使用した場合,890nm帯励起準位6
1から無放射緩和64を経て,3μm帯レーザ遷移66
と2μm帯レーザ遷移67の連続したカスケード発振が
生じる。この場合,同時に890nm帯励起遷移62が
生じ,無放射緩和63を経て550nm帯励起準位68
から550nm帯発光遷移69が生じる。
【0051】さらに,890nm帯励起と同様に,1.
1μm帯の励起光2を使用した場合,1.1μm帯励起
遷移65によって,3μm帯レーザ遷移66と2μm帯
レーザ遷移67の連続したカスケード発振が生じる。こ
の場合,同時に1.1μm帯励起遷移70のあと無放射
緩和72を経て,1.1μm帯励起遷移71によって5
50nm帯励起準位68から550nm帯発光遷移69
が生じる。
1μm帯の励起光2を使用した場合,1.1μm帯励起
遷移65によって,3μm帯レーザ遷移66と2μm帯
レーザ遷移67の連続したカスケード発振が生じる。こ
の場合,同時に1.1μm帯励起遷移70のあと無放射
緩和72を経て,1.1μm帯励起遷移71によって5
50nm帯励起準位68から550nm帯発光遷移69
が生じる。
【0052】上述のような励起過程で発生する550n
m帯発光遷移69は,3μm帯レーザ遷移66と2μm
帯レーザ遷移67と比較すると発生確率が低く,多くの
場合蛍光であるが,レーザビーム6と同軸に出射される
ので,指示光52としての役割を果たすことができる。
m帯発光遷移69は,3μm帯レーザ遷移66と2μm
帯レーザ遷移67と比較すると発生確率が低く,多くの
場合蛍光であるが,レーザビーム6と同軸に出射される
ので,指示光52としての役割を果たすことができる。
【0053】従って,可視波長帯における指示光発光手
段51をファイバレーザ装置14の利得媒質である光フ
ァイバ4中に内在するファイバレーザ照射装置12,4
1が構成できる。なお,励起発光手段1は890nm帯
と1.1μm帯の両方発光し,その波長成分比を変化さ
せることによって,550nm帯発光遷移69の発光量
を増減できる。
段51をファイバレーザ装置14の利得媒質である光フ
ァイバ4中に内在するファイバレーザ照射装置12,4
1が構成できる。なお,励起発光手段1は890nm帯
と1.1μm帯の両方発光し,その波長成分比を変化さ
せることによって,550nm帯発光遷移69の発光量
を増減できる。
【0054】また,光ファイバ4にドープしたレーザイ
オンのホルミウムイオン以外に希土類イオンをコドープ
する場合,異なる波長の蛍光を発生させることが可能
で,その蛍光を指示光52として利用することができ
る。たとえば,ツリウムイオンを1.1μm帯の励起光
2で励起した場合,3回の励起遷移を経て,480nm
帯の青い発光が得られる。
オンのホルミウムイオン以外に希土類イオンをコドープ
する場合,異なる波長の蛍光を発生させることが可能
で,その蛍光を指示光52として利用することができ
る。たとえば,ツリウムイオンを1.1μm帯の励起光
2で励起した場合,3回の励起遷移を経て,480nm
帯の青い発光が得られる。
【0055】さらに,ツリウムイオンをホルミウムイオ
ンと同じ位置にコドープすることなく,ツリウムイオン
をドープした光ファイバを光ファイバ4に結合すること
によっても,上記青色蛍光を得ることができる。
ンと同じ位置にコドープすることなく,ツリウムイオン
をドープした光ファイバを光ファイバ4に結合すること
によっても,上記青色蛍光を得ることができる。
【0056】さらに,上述のような構成において,全反
射手段3と部分反射手段5に,前記ホルミウムから発生
する550nm帯光に対して,または,前記ツリウムイ
オンから発生する480nm光に対して好適な反射率を
与えることによって,ファイバレーザ装置14において
第3のレーザ発振を起こすことが可能である。
射手段3と部分反射手段5に,前記ホルミウムから発生
する550nm帯光に対して,または,前記ツリウムイ
オンから発生する480nm光に対して好適な反射率を
与えることによって,ファイバレーザ装置14において
第3のレーザ発振を起こすことが可能である。
【0057】また,上記形態では3μm帯と2μm帯と
の波長のレーザビームを発生させるために,光ファイバ
4にレーザイオンとして希土類イオンとしてホルミウム
イオンをドープすることを例示したが,これをツリウム
イオン,エルビウムイオン,イッテルビウムイオン,プ
ラセオジムなどにすることも可能である。
の波長のレーザビームを発生させるために,光ファイバ
4にレーザイオンとして希土類イオンとしてホルミウム
イオンをドープすることを例示したが,これをツリウム
イオン,エルビウムイオン,イッテルビウムイオン,プ
ラセオジムなどにすることも可能である。
【0058】上述のようなファイバレーザ照射装置41
を実際に試作したところ,部分反射手段5に3μm帯,
2μm帯,550nm帯の発振に好適な反射率を与える
ことで,それら3波長帯で発振するのを確認した。励起
LDの全出力が10Wの時,3μm帯と2μm帯のレー
ザ出力はともに3Wで,550nm帯のレーザ出力は5
mWであった。励起発光手段1として890nm帯LD
と1.1μm帯LDを合わせて使用した。
を実際に試作したところ,部分反射手段5に3μm帯,
2μm帯,550nm帯の発振に好適な反射率を与える
ことで,それら3波長帯で発振するのを確認した。励起
LDの全出力が10Wの時,3μm帯と2μm帯のレー
ザ出力はともに3Wで,550nm帯のレーザ出力は5
mWであった。励起発光手段1として890nm帯LD
と1.1μm帯LDを合わせて使用した。
【0059】さらに,ビーム整形手段10はサファイア
レンズを3枚組み合わせて使用し,レーザビーム6の各
波長帯成分が照射対象物体11の表面上で,同一軸上
で,ほぼ同一の面積を有する照射特性を得た。なお,照
射対象物体11であるウサギの皮膚からの,550nm
帯指示光の散乱光の強度変化をモニタすることによっ
て,皮膚組織表面の炭化の状態がリアルタイムで測定で
きた。
レンズを3枚組み合わせて使用し,レーザビーム6の各
波長帯成分が照射対象物体11の表面上で,同一軸上
で,ほぼ同一の面積を有する照射特性を得た。なお,照
射対象物体11であるウサギの皮膚からの,550nm
帯指示光の散乱光の強度変化をモニタすることによっ
て,皮膚組織表面の炭化の状態がリアルタイムで測定で
きた。
【0060】また,ビーム整形手段7,10にサファイ
アレンズとフッ化カルシウムレンズからなる組み合わせ
レンズを使用することにより,図7に例示するように,
ウサギの皮膚85上に2μm帯レーザ82の直径を20
0μmに,3μm帯レーザ81の直径を100μmにな
るように集光できた。これらのビーム断面形状は同心円
である。このレーザビームを線状に移動することによっ
て3μm帯ビームによって精細切断した部位83の外側
に,2μm帯ビームにより凝固層84が形成でき,十分
な止血効果を合わせ持つ精細切開が実現できた。
アレンズとフッ化カルシウムレンズからなる組み合わせ
レンズを使用することにより,図7に例示するように,
ウサギの皮膚85上に2μm帯レーザ82の直径を20
0μmに,3μm帯レーザ81の直径を100μmにな
るように集光できた。これらのビーム断面形状は同心円
である。このレーザビームを線状に移動することによっ
て3μm帯ビームによって精細切断した部位83の外側
に,2μm帯ビームにより凝固層84が形成でき,十分
な止血効果を合わせ持つ精細切開が実現できた。
【0061】なお,本試作装置の電気入力に対する,照
射対象物体11上でのレーザビーム6のレーザパワーへ
の電気−光変換効率は10%で,図2で例示した従来例
であるレーザ照射装置31における1%未満と比較する
と電気−光変換効率が格段に向上した。
射対象物体11上でのレーザビーム6のレーザパワーへ
の電気−光変換効率は10%で,図2で例示した従来例
であるレーザ照射装置31における1%未満と比較する
と電気−光変換効率が格段に向上した。
【0062】さらに,図2で例示した従来例の,ユーザ
が所望する波長ごとにレーザ装置21,24を搭載する
レーザ照射装置31と比較すると,本試作装置はその複
数の波長を同時に内包する一つのレーザビームを発生す
るファイバレーザ装置14を搭載することによって,装
置体積がほぼ半分に小型化できた。また,レーザ装置2
1,24を作製するコストが,ファイバレーザ装置14
のみの作製ですむので,約1/2のコストダウンが図れ
た。
が所望する波長ごとにレーザ装置21,24を搭載する
レーザ照射装置31と比較すると,本試作装置はその複
数の波長を同時に内包する一つのレーザビームを発生す
るファイバレーザ装置14を搭載することによって,装
置体積がほぼ半分に小型化できた。また,レーザ装置2
1,24を作製するコストが,ファイバレーザ装置14
のみの作製ですむので,約1/2のコストダウンが図れ
た。
【0063】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので,2波長以上,複数波長成分を内包するレーザ
ビームを,個々の波長成分でレーザパワー,照射形状,
照射面積を変化させて照射することにより,従来にない
新しいレーザ加工が実現できる。さらに,以下に記載す
るような効果を奏する。
いるので,2波長以上,複数波長成分を内包するレーザ
ビームを,個々の波長成分でレーザパワー,照射形状,
照射面積を変化させて照射することにより,従来にない
新しいレーザ加工が実現できる。さらに,以下に記載す
るような効果を奏する。
【0064】本発明の第一のファイバレーザ照射置で
は,複数の波長成分を同軸上に内包した一つのレーザビ
ームを移動自在な誘導手段によって伝搬するので,表面
に凹凸のある照射対象物体上においても,各波長成分の
レーザビームが軸ずれを起こすことなく,同一位置に照
射可能である。
は,複数の波長成分を同軸上に内包した一つのレーザビ
ームを移動自在な誘導手段によって伝搬するので,表面
に凹凸のある照射対象物体上においても,各波長成分の
レーザビームが軸ずれを起こすことなく,同一位置に照
射可能である。
【0065】また,上述のようなファイバレーザ照射装
置において,所望する波長ごとにレーザ装置を使用する
ことなく,同一のレーザ装置から複数波長を好適な効率
で取り出せるファイバレーザを使用することと,それに
伴い装置の光学部品点数が少ないことの2つの理由か
ら,低コスト化,小型化,高効率化を図ることができ
る。
置において,所望する波長ごとにレーザ装置を使用する
ことなく,同一のレーザ装置から複数波長を好適な効率
で取り出せるファイバレーザを使用することと,それに
伴い装置の光学部品点数が少ないことの2つの理由か
ら,低コスト化,小型化,高効率化を図ることができ
る。
【0066】本発明の第二のファイバレーザ照射装置で
は,複数の波長成分を有する一つのレーザビームを変調
手段によって各波長成分ごとにレーザパワーを変化させ
ることができる。
は,複数の波長成分を有する一つのレーザビームを変調
手段によって各波長成分ごとにレーザパワーを変化させ
ることができる。
【0067】上述のようなファイバレーザ照射装置で
は,生体加工において好適な波長3μm帯と2μm帯を
内包するレーザビームのレーザパワーを波長別に最適化
することができる。
は,生体加工において好適な波長3μm帯と2μm帯を
内包するレーザビームのレーザパワーを波長別に最適化
することができる。
【0068】本発明の第三のファイバレーザ照射装置で
は,レーザビームの照射位置を指示する指示光発光手段
を有するので,ユーザは照射対象物体上でどこにレーザ
ビーム照射位置がくるかを正確に把握することができ,
均一な照射条件でレーザビームを自在に移動し,任意の
位置に照射することができる。
は,レーザビームの照射位置を指示する指示光発光手段
を有するので,ユーザは照射対象物体上でどこにレーザ
ビーム照射位置がくるかを正確に把握することができ,
均一な照射条件でレーザビームを自在に移動し,任意の
位置に照射することができる。
【0069】本発明の第四のファイバレーザ照射装置で
は,指示光発光手段をも具備する,複数波長を内包する
レーザビームを発生するファイバレーザ装置を使用して
おり,光学部品の点数を増やすことなく,レーザ照射位
置を示す指示光をも照射対象物体に照射することを可能
にし,装置製作の低コスト化が図れる。また,作業性が
向上する。
は,指示光発光手段をも具備する,複数波長を内包する
レーザビームを発生するファイバレーザ装置を使用して
おり,光学部品の点数を増やすことなく,レーザ照射位
置を示す指示光をも照射対象物体に照射することを可能
にし,装置製作の低コスト化が図れる。また,作業性が
向上する。
【0070】上述のようなファイバレーザ照射装置で
は,指示光をレーザ光として取り出すことも可能であ
る。この指示光の照射面における反射,散乱を測定する
ことにより,レーザビーム照射時の照射対象物体の特性
変化をモニターすることが可能である。
は,指示光をレーザ光として取り出すことも可能であ
る。この指示光の照射面における反射,散乱を測定する
ことにより,レーザビーム照射時の照射対象物体の特性
変化をモニターすることが可能である。
【図1】本発明の実施の一形態であるファイバレーザ照
射装置を示す模式図である。
射装置を示す模式図である。
【図2】従来例のレーザ照射装置を示す模式図である。
【図3】一変形例のファイバレーザ照射装置を示す模式
図である。
図である。
【図4】一変形例のファイバレーザ照射装置を示す模式
図である。
図である。
【図5】一変形例のファイバレーザ照射装置を示す模式
図である。
図である。
【図6】ホルミウムイオンのエネルギー準位において,
励起過程,レーザ発振過程,蛍光発生過程の関係を示す
エネルギー準位図である。
励起過程,レーザ発振過程,蛍光発生過程の関係を示す
エネルギー準位図である。
【図7】3μm帯と2μm帯の波長成分を内包するレー
ザビームを,ウサギの皮膚に照射した場合の効果を説明
する図である。
ザビームを,ウサギの皮膚に照射した場合の効果を説明
する図である。
1 励起発光手段 2 励起光 10 ビーム整形手段 13 誘導手段 14 ファイバレーザ装置 60 890nm帯励起遷移 61 890nm帯励起準位 62 890nm帯励起遷移 63,64,72 無放射緩和 65 1.1μm帯励起遷移 66 3μm帯レーザ遷移 67 2μm帯レーザ遷移 68 550nm帯励起準位 69 550nm帯発光遷移 70 1.1μm帯励起遷移 71 1.1μm帯励起遷移 73 ホルミウムイオンのエネルギー準位
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/302 H01L 21/302 Z Fターム(参考) 4C026 AA02 AA03 BB06 FF02 FF11 FF14 FF17 FF32 FF33 FF34 GG01 HH02 HH03 HH05 HH13 HH23 4C082 RA05 RC06 RE02 RE11 RE14 RE17 RE32 RE33 RE34 RE35 RJ01 RL02 RL03 RL05 RL13 RL23 4E068 CA04 CA05 CE08 CK01 5F004 BB03 BB32 5F072 AB07 AB09 AK06 HH05 HH06 JJ01 JJ02 JJ08 KK01 KK30 MM03 MM05 MM08 PP07 PP10 RR01 YY02 YY06
Claims (15)
- 【請求項1】 光ファイバにドープしたレーザイオンを
励起発光手段の光により励起させて2波長以上,複数の
波長成分を内包した一つのレーザビームを発生させるフ
ァイバレーザと,前記レーザビームを移動自在な光誘導
手段と,前記レーザビームの整形手段とを具備するファ
イバレーザ照射装置。 - 【請求項2】 前記レーザビームに内包される複数の波
長成分ごとに光特性を変調する光変調手段を具備する請
求項1記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項3】前記光誘導手段として反射手段を一段もし
くは複数段有する多関節アームを具備する請求項1,2
いずれか一記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項4】前記光誘導手段として光ファイバを具備す
る請求項1,2いずれか一記載のファイバレーザ照射装
置。 - 【請求項5】前記ファイバレーザの光ファイバ自体が光
誘導手段として機能する請求項1,2いずれか一記載の
ファイバレーザ照射装置。 - 【請求項6】 前記レーザビームの光軸もしくは集光点
位置を示す指示光発生装置を具備する請求項1ないし5
いずれか一記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項7】 前記照射位置を示す指示光を前記レーザ
ビームと同軸に結合する光結合手段をも具備する請求項
1ないし6いずれか一記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項8】 前記レーザビームに内包される複数波長
のうち一もしくは複数が可視光であり,これを前記指示
光発生装置として使用する請求項1ないし7いずれか一
記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項9】 前記光変調手段として,前記レーザビー
ムに内包される複数の波長ごとにパワー透過率を変化可
能な光学フィルターを具備する請求項1ないし8いずれ
か一記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項10】 前記レーザイオンとして一または複数
の種類の希土類イオンをドープする請求項1ないし9い
ずれか一記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項11】 前記励起発光手段として一もしくは複
数の光源を具備し,その発光が一もしくは複数の波長成
分を内包する光である請求項1ないし10いずれか一記
載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項12】 ホルミウムイオンとツリウムイオンを
ドープする前記光ファイバを具備する請求項1ないし1
1いずれか一記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項13】 前記レーザイオンとしてホルミウムイ
オンをドープし,前記励起発光手段の発光が波長890
nm帯と1.1μm帯の少なくとも一以上の波長成分を
内包し,前記レーザビームに少なくとも波長3μm帯と
波長2μm帯を含む請求項1ないし12いずれか一記載
のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項14】 前記レーザビームに内包される波長成
分として480 nm帯,550 nm帯,640 nm帯のいずれか
一もしくは複数のレーザまたは蛍光をも有する請求項1
2,13いずれか一記載のファイバレーザ照射装置。 - 【請求項15】 前記レーザビームの整形手段によっ
て,前記レーザビームの照射位置における波長成分ごと
の照射形状,照射面積,照射強度を変化する請求項1な
いし14記載のファイバレーザ照射装置。
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