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JP2000074065A - Static pressure guide device - Google Patents

Static pressure guide device

Info

Publication number
JP2000074065A
JP2000074065A JP10243054A JP24305498A JP2000074065A JP 2000074065 A JP2000074065 A JP 2000074065A JP 10243054 A JP10243054 A JP 10243054A JP 24305498 A JP24305498 A JP 24305498A JP 2000074065 A JP2000074065 A JP 2000074065A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
static pressure
guide device
bed
rails
pressure guide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10243054A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sadaji Hayama
定治 羽山
Akihiro Otomo
明宏 大友
Naoki Kusui
直樹 楠井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP10243054A priority Critical patent/JP2000074065A/en
Publication of JP2000074065A publication Critical patent/JP2000074065A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Machine Tool Units (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a static pressure guide device furnished with high rigidity. SOLUTION: A pair of left and right rails 11, 12 is formed on an upper surface of a bed 10, and a table 20 is supported on it. The rails 11, 12 are furnished with rectangular cross-sections and formed so as to be overhung from the upper surface and a side surface of the bed 10 along the both side surfaces of the bed 10. Step parts 17, 18 are formed on the both side surfaces of the bed 10 so as to face to lower surfaces of the rails 11, 12. Wear plate parts 23, 24 are installed on lower end surfaces of leg parts 25, 26 of the table 20. The rails 11, 12 are stored in groove parts 21, 22. The wear plate parts 23, 24 are guided by the lower surfaces of the rails 11, 12 on their upper surfaces and by upper surfaces of the step parts 17, 18 on their lower surfaces respectively. Static pressure pockets 31-38 are respectively formed on a lower surface of the table 20, the upper surfaces of the wear plates 23, 24, the lower surfaces of wear plates 23, 24 and side walls of the groove parts 21, 22.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械等におい
て移動部材(テーブル)を直線に沿って案内するために
使用される静圧案内装置に係り、特に、その剛性を増大
させるための改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a static pressure guide device used for guiding a moving member (table) along a straight line in a machine tool or the like, and more particularly to an improvement for increasing its rigidity. .

【0002】[0002]

【従来の技術】図3に、従来の静圧案内装置の構造の一
例(横断面図)を、図4に、この静圧案内装置の静圧回
路図を示す。図中、10はベッド、20はテーブル、2
9は送りネジ、31〜36は静圧ポケットを表す。
2. Description of the Related Art FIG. 3 shows an example (cross-sectional view) of the structure of a conventional static pressure guide device, and FIG. 4 shows a static pressure circuit diagram of the static pressure guide device. In the figure, 10 is a bed, 20 is a table, 2
9 is a feed screw and 31 to 36 are static pressure pockets.

【0003】テーブル20は、ベッド10の上に支持さ
れ、紙面に対して垂直方向に移動する。テーブル20
は、ベッド10の上面に形成された左右一対のレール1
1、12の上に支持されている。テーブル20の中央付
近を、送りネジ29がテーブルの移動方向に貫通してい
る。
The table 20 is supported on the bed 10 and moves in a direction perpendicular to the paper. Table 20
Is a pair of left and right rails 1 formed on the upper surface of the bed 10.
It is supported on 1,12. A feed screw 29 passes through the vicinity of the center of the table 20 in the moving direction of the table.

【0004】レール11、12は、矩形の断面を備え、
ベッド10の両側面に沿って、且つベッド10の上面及
び側面から張り出す様に形成され、これらのレール1
1、12に対応して、テーブル20の下面に左右一対の
溝部21、22が設けられている。溝部21、22の外
側の側壁面を構成する脚部25、26の下端面には、当
て板部23、24が取り付けられ、これらの当て板部2
3、24は、溝部21、22の一部(テーブル20の両
側面に近い部分)を下側から覆う様に内側に張り出して
いる。レール11、12は、溝部21、22、及び当て
板部23、24によって取り囲まれた空洞内に収容され
る。
The rails 11 and 12 have a rectangular cross section,
These rails 1 are formed so as to protrude along both side surfaces of the bed 10 and from the upper surface and side surfaces of the bed 10.
A pair of left and right groove portions 21 and 22 are provided on the lower surface of the table 20 corresponding to 1 and 12, respectively. Patch plates 23 and 24 are attached to the lower end surfaces of the legs 25 and 26 that form the outer side wall surfaces of the grooves 21 and 22, respectively.
Reference numerals 3 and 24 protrude inward so as to cover portions of the grooves 21 and 22 (portions near both side surfaces of the table 20) from below. The rails 11 and 12 are housed in a cavity surrounded by the grooves 21 and 22 and the patch plates 23 and 24.

【0005】テーブル20の下面(溝部21、22の上
面)とレール11、12の上面との間には、それぞれ、
静圧ポケット31、32が形成されている。当て板部2
3、24の上面とレール21、22の下面との間には、
それぞれ、静圧ポケット33、34が形成されている。
溝部21、22の側壁(テーブルの中心部に近い部分)
とレール11、12の側面との間には、それぞれ、静圧
ポケット35、36が形成されている。
[0005] Between the lower surface of the table 20 (the upper surfaces of the grooves 21 and 22) and the upper surfaces of the rails 11 and 12, respectively.
Static pressure pockets 31, 32 are formed. Patch plate 2
Between the upper surfaces of the rails 3 and 24 and the lower surfaces of the rails 21 and 22,
Static pressure pockets 33 and 34 are formed respectively.
Side walls of grooves 21 and 22 (portion near center of table)
Static pressure pockets 35 and 36 are formed between the rails and the side surfaces of the rails 11 and 12, respectively.

【0006】テーブル20の下面に設けられた静圧ポケ
ット31、32に作用する上向きの力と、ワーク50及
びテーブル20に作用する重力、及び当て板部23、2
4の上面に設けられた静圧ポケット33、34に作用す
る下向きの力とを、互いにバランスさせることによっ
て、テーブル20に対して作用する上下方向の力が、全
体として打ち消される。
The upward force acting on the static pressure pockets 31 and 32 provided on the lower surface of the table 20, the gravity acting on the work 50 and the table 20 and the contact plates 23 and 2
By balancing the downward force acting on the static pressure pockets 33 and 34 provided on the upper surface of the table 4 with each other, the vertical force acting on the table 20 is canceled as a whole.

【0007】同様に、溝部21の側壁に外向きに設けら
れた静圧ポケット35に作用する紙面右方向の力と、溝
部22の側壁に外向きに設けられた静圧ポケット36に
作用する紙面左方向の力とを、互いにバランスさせるこ
とによって、作動流体からテーブル20に対して作用す
る横方向の力(紙面左右方向の力)が、全体として打ち
消される。
Similarly, a rightward force acting on the static pressure pocket 35 provided outward on the side wall of the groove 21 and a paper force acting on the static pressure pocket 36 outwardly provided on the side wall of the groove 22. By balancing the left-handed force with the left-handed force, the lateral force acting on the table 20 from the working fluid (the force in the left-right direction on the paper) is totally canceled.

【0008】なお、各静圧ポケット31〜36は、図4
に示す様に、静圧絞り弁42を介して油圧ポンプ41に
接続されている。この油圧ポンプ41から、所定の圧力
で各静圧ポケット31〜36に作動流体を送り込むこと
によって、各静圧ポケット31〜36内に作動流体が連
続的に供給され、摺動面の潤滑が行われる。静圧絞り弁
42を用いて、各静圧ポケット31〜36内の作動流体
の圧力及び静圧隙間が設計値になる様に調整が行われ
る。
Incidentally, each of the static pressure pockets 31 to 36 is formed as shown in FIG.
Is connected to the hydraulic pump 41 through the static pressure restrictor valve 42 as shown in FIG. By sending the working fluid from the hydraulic pump 41 to each of the static pressure pockets 31 to 36 at a predetermined pressure, the working fluid is continuously supplied into each of the static pressure pockets 31 to 36, and the sliding surface is lubricated. Will be The static pressure throttle valve 42 is used to adjust the working fluid pressure and the static pressure gap in each of the static pressure pockets 31 to 36 to the designed values.

【0009】(従来技術の問題点)図3に示した様な構
造を備えた静圧案内装置の場合、当て板部23、24の
上面に設けられた静圧ポケット33、34に作用する下
向きの圧力によって、図5に示す様に、テーブル20の
当て板部23、24、及び脚部25、26にたわみが生
ずる。このたわみによって、静圧ポケット33、34の
静圧隙間が拡大し、静圧ポケット内33、34の圧力が
低下する。これに伴い、対向している静圧ポケット3
1、32の圧力も低下するので、結果として、静圧案内
装置の上下方向の剛性(静圧剛性)が低下する。
(Problems of the prior art) In the case of a static pressure guide device having a structure as shown in FIG. 3, downwardly acting static pressure pockets 33, 34 provided on the upper surfaces of the abutting plates 23, 24 are shown. Due to the pressure, as shown in FIG. 5, the contact plates 23 and 24 and the legs 25 and 26 of the table 20 bend. Due to this deflection, the static pressure gap between the static pressure pockets 33 and 34 increases, and the pressure in the static pressure pockets 33 and 34 decreases. Accordingly, the opposing static pressure pocket 3
Since the pressures 1 and 32 also decrease, as a result, the vertical rigidity (static pressure rigidity) of the static pressure guide device decreases.

【0010】当て板部23、24及び脚部25、26の
変形(たわみ)について、更に、説明する。ここで、説
明を簡単にするため、各静圧ポケットの面積は同一であ
ると仮定する。
The deformation (bending) of the contact plate portions 23, 24 and the leg portions 25, 26 will be further described. Here, for the sake of simplicity, it is assumed that the area of each static pressure pocket is the same.

【0011】テーブル20に対して上方向の力を作用さ
せる静圧ポケット31、32内の圧力をP1、テーブル
20に対して下方向の力を作用させる静圧ポケット3
3、34内の圧力をP3、テーブル20の重量を静圧ポ
ケットの面積で割った商をPT、テーブル20上に搭載
されるワーク50の重量を静圧ポケットの面積で割った
商をPWとすると、P1とP3との関係は、次の式で表
される。
The pressure in the static pressure pockets 31, 32 for applying an upward force to the table 20 is P1, and the static pressure pocket 3 for applying a downward force to the table 20.
The quotient obtained by dividing the pressure in the tables 3 and 34 by P3, the weight of the table 20 by the area of the static pressure pocket is PT, and the quotient obtained by dividing the weight of the work 50 mounted on the table 20 by the area of the static pressure pocket is PW. Then, the relationship between P1 and P3 is expressed by the following equation.

【0012】P1=P3+(PT+PW) ここで、P0を対向静圧圧力とすると、P1及びP3
は、それぞれ次の式で表すことができる。
P1 = P3 + (PT + PW) Here, if P0 is the opposing static pressure, P1 and P3
Can be represented by the following equations, respectively.

【0013】P1=P0+(PT+PW)/2 P3=P0−(PT+PW)/2 従って、ワークの重量(PWに比例する)が変化した場
合、P3の値も変化することになる。この結果、当て板
部23、24及び脚部25、26のたわみ量が変化し、
これに伴い、静圧案内装置の上下方向の剛性(静圧剛
性)が変化する。
P1 = P0 + (PT + PW) / 2 P3 = P0- (PT + PW) / 2 Therefore, when the weight of the work (proportional to PW) changes, the value of P3 also changes. As a result, the amount of deflection of the contact plate portions 23 and 24 and the leg portions 25 and 26 changes,
Accordingly, the vertical rigidity (static pressure rigidity) of the static pressure guide device changes.

【0014】更に、静圧ポケット33、34の静圧隙間
の拡大に伴い、作動流体の流量が増大して静圧対向圧力
P0の値が減少する。従って、その影響を小さくするた
めには、作動流体を供給する油圧ユニットの容量を大き
くしなければならない。
Further, as the static pressure gap between the static pressure pockets 33 and 34 increases, the flow rate of the working fluid increases, and the value of the static pressure counter pressure P0 decreases. Therefore, in order to reduce the influence, the capacity of the hydraulic unit that supplies the working fluid must be increased.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の様な
従来の静圧案内装置の問題点に鑑み成されたもので、本
発明の目的は、高い剛性を備えた静圧案内装置を提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the conventional static pressure guide device, and an object of the present invention is to provide a static pressure guide device having high rigidity. To provide.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明の静圧案内装置
は、上面に左右一対のレールが形成されたベッドと、こ
れらのレールによって支持され、ベッドの上面に沿って
直線方向に移動するテーブルとを備えた静圧案内装置に
おいて、前記一対のレールは、その断面の一部が前記ベ
ッドの上面から側方に張り出す様に形成され、その上面
に第一の摺動面を、その下面に第二の摺動面を有し、前
記ベッドは、その両側面に、それぞれ、前記レールの張
り出し部の下面に対向する段部を有するとともに、この
段部の上面に第三の摺動面を有し、前記テーブルは、そ
の下面に前記一対のレールの上面及び両側面を覆う溝部
を有するとともに、テーブルの両側面から下に伸び前記
溝部の外側の側壁面を構成する脚部、及びこの脚部の下
端部から内側に張り出した当て板部を有し、前記当て板
部の上面は、前記レールの下面に僅かな間隙を介して対
向し、前記当て板部の下面は、前記段部の上面に僅かな
間隙を介して対向し、更に、前記テーブルには、前記第
一の摺動面、第二の摺動面、及び第三の摺動面に対応し
て、それぞれ、静圧ポケットが形成されていることを特
徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION A static pressure guide device according to the present invention comprises a bed having a pair of left and right rails formed on an upper surface, and a table supported by these rails and moving in a linear direction along the upper surface of the bed. In the static pressure guide device, the pair of rails are formed such that a part of the cross section projects laterally from the upper surface of the bed, and the first sliding surface is provided on the upper surface, and the lower surface is provided with the first sliding surface. The bed has, on both side surfaces thereof, a step facing the lower surface of the overhang of the rail, and a third sliding surface on the upper surface of the step. The table has a groove on its lower surface that covers the upper surface and both side surfaces of the pair of rails, and a leg that extends downward from both side surfaces of the table and constitutes an outer side wall surface of the groove, Stretch inward from the lower end of the leg The upper surface of the abutting plate portion is opposed to the lower surface of the rail via a slight gap, and the lower surface of the abutting plate portion is opposed to the upper surface of the step portion via a slight gap. Opposing, and further, the table is formed with a static pressure pocket corresponding to the first sliding surface, the second sliding surface, and the third sliding surface, respectively. And

【0017】本発明の静圧案内装置によれば、比較的、
たわみが発生し易い当て板部の上面及び下面に静圧ポケ
ット部が設けられているので、当て板部に対して上下方
向に作用する力がバランスし、当て板部のたわみが減少
するとともに、脚部のたわみも減少する。これにより、
静圧隙間の変動が小さくなり、静圧ポケットに作用する
圧力の変動も小さく抑えられる。従って、静圧案内装置
としての剛性(静圧剛性)が向上する。
According to the static pressure guide device of the present invention,
Since the static pressure pocket portions are provided on the upper surface and the lower surface of the contact plate portion where deflection easily occurs, the forces acting on the contact plate portion in the vertical direction are balanced, and the deflection of the contact plate portion is reduced, Leg deflection is also reduced. This allows
The fluctuation of the static pressure gap is reduced, and the fluctuation of the pressure acting on the static pressure pocket is also reduced. Therefore, the rigidity (static pressure rigidity) of the static pressure guide device is improved.

【0018】更に、本発明の静圧案内装置によれば、静
圧ポケットに供給する作動流体の圧力を高く設定するこ
とができるので、静圧案内装置として高い静圧剛性を確
保することができる。
Further, according to the static pressure guide device of the present invention, since the pressure of the working fluid supplied to the static pressure pocket can be set high, high static pressure rigidity can be secured as the static pressure guide device. .

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】図1に、本発明の静圧案内装置を
示す。図中、10はベッド、11、12はレール、1
7、18は段部、20はテーブル、21、22は溝部、
25、26は脚部、23、24は当て板部、31〜38
は静圧ポケットを表す。
FIG. 1 shows a static pressure guide device according to the present invention. In the figure, 10 is a bed, 11 and 12 are rails, 1
7 and 18 are steps, 20 is a table, 21 and 22 are grooves,
25 and 26 are legs, 23 and 24 are patch plates, 31 to 38
Represents a static pressure pocket.

【0020】本発明の静圧案内装置と、図3に示した従
来の静圧案内装置との相違点は、テーブル20の当て板
部23、24を、その下側からもベッド10の段部1
7、18で支持する様に構成したところにある。その他
の構成については、本発明の静圧案内装置は、上記従来
の静圧案内装置と同じである。従って、共通の構成要素
については、同一の符号を付して、その説明を省略す
る。
The difference between the static pressure guide device of the present invention and the conventional static pressure guide device shown in FIG. 3 is that the backing plates 23 and 24 of the table 20 are provided with the stepped portions of the bed 10 from below. 1
It is configured to be supported by 7 and 18. In other respects, the static pressure guide device of the present invention is the same as the above-described conventional static pressure guide device. Therefore, common components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0021】図1に示す様に、本発明の静圧案内装置で
は、レール11、12の張り出し部の下面に対向する様
に、ベッド10の両側面に段部17、18を形成し、こ
れらの段部17、18の上面と、テーブル20の当て板
部23、24の下面とを、僅かな間隙を介して互いに対
向させている。当て板部23、24の下面には、それぞ
れ、静圧ポケット37、38が形成され、当て板部2
3、24の上面には、従来と同様に、静圧ポケット3
3、34が形成されている。これによって、当て板部2
3、24は、その下面及び上面の両方向からガイドされ
ることになる。
As shown in FIG. 1, in the static pressure guide device of the present invention, steps 17 and 18 are formed on both sides of the bed 10 so as to face the lower surfaces of the overhangs of the rails 11 and 12, respectively. The upper surfaces of the step portions 17 and 18 and the lower surfaces of the contact plate portions 23 and 24 of the table 20 face each other with a slight gap therebetween. Static pressure pockets 37 and 38 are formed on the lower surfaces of the contact plate portions 23 and 24, respectively.
On the upper surfaces of the static pressure pockets 3 and 24, as in the prior art,
3, 34 are formed. Thereby, the backing plate portion 2
3, 24 will be guided from both directions of the lower surface and the upper surface.

【0022】上記の様に構成することによって、当て板
部23、24に対して上下方向に作用する力がバランス
し、当て板部23、24のたわみが小さくなる。これに
伴い、脚部25、26のたわみも防止される。これによ
り、静圧隙間の変動が小さくなり、静圧ポケット31〜
38に作用する圧力の変動も小さく抑えられる。従っ
て、静圧案内装置としての剛性(静圧剛性)が向上す
る。
With the above configuration, the forces acting on the contact plates 23 and 24 in the vertical direction are balanced, and the deflection of the contact plates 23 and 24 is reduced. Accordingly, the bending of the legs 25 and 26 is also prevented. Thereby, the variation of the static pressure gap becomes small, and the static pressure pockets 31 to 31 are reduced.
Fluctuations in the pressure acting on 38 are also kept small. Therefore, the rigidity (static pressure rigidity) of the static pressure guide device is improved.

【0023】当て板部23、24及び脚部25、26の
変形(たわみ)について、更に、説明する。ここで、説
明を簡単にするため、先の従来技術の説明の際と同様に
静圧ポケットの面積は同一であると仮定する。
The deformation (deflection) of the contact plate portions 23, 24 and the leg portions 25, 26 will be further described. Here, for the sake of simplicity, it is assumed that the areas of the static pressure pockets are the same as in the description of the prior art.

【0024】テーブル20の下面に対して上方向の力を
作用させる静圧ポケット31、32内の圧力をP1、テ
ーブル20の当て板部23、24の上面に対して下方向
の力を作用させる静圧ポケット33、34内の圧力をP
3、テーブル20の当て板部23、24の下面に対して
上方向の力を作用させる静圧ポケット37、38内の圧
力をP4、テーブル20の重量を静圧ポケットの面積で
割った商をPT、テーブル20上に搭載されるワーク5
0の重量を静圧ポケットの面積で割った商をPWとする
と、P1及びP4とP3との関係は、次の式で表され
る。
The pressure in the static pressure pockets 31 and 32 for applying an upward force to the lower surface of the table 20 is P1, and a downward force is applied to the upper surfaces of the contact plates 23 and 24 of the table 20. The pressure in the static pressure pockets 33 and 34 is P
3. The pressure in the static pressure pockets 37 and 38 for applying an upward force to the lower surfaces of the contact plate portions 23 and 24 of the table 20 is P4, and the quotient obtained by dividing the weight of the table 20 by the area of the static pressure pocket is PT, work 5 mounted on table 20
Assuming that a quotient obtained by dividing the weight of zero by the area of the static pressure pocket is PW, the relationship between P1, P4, and P3 is represented by the following equation.

【0025】P1+P4=P3+(PT+PW) ここで、P0を対向静圧圧力とすると、P1、P3及び
P4は、それぞれ次の式で表すことができる。
P1 + P4 = P3 + (PT + PW) Here, if P0 is the opposing static pressure, P1, P3 and P4 can be expressed by the following equations, respectively.

【0026】P1=a・P0+c・(PT+PW)/2 P3=P0−(PT+PW)/2 P4=b・P0+d・(PT+PW)/2 ここで、 a+b=1、 0<a<1, 0<b<1 c+d=1、 0<c<1, 0<d<1 従って、当て板部23、24に対して作用する合計圧力
(P3−P4)は、次の式で表される(下向きを+とす
る)。 (1−b)・P0−(1+d)・(PT+PW)/2 従って、当て板部23、24に作用する力が、従来の場
合[P3=P0−(PT+PW)/2]と比べて小さく
なるので、当て板部23、24及び脚部25、26のた
わみが減少する。これにより、静圧隙間の変動が小さく
なり、静圧ポケットに作用する圧力の変動も小さく抑え
られる。従って、静圧案内装置としての剛性(静圧剛
性)が向上する。
P1 = a.P0 + c. (PT + PW) / 2 P3 = P0- (PT + PW) / 2 P4 = b.P0 + d. (PT + PW) / 2 where a + b = 1, 0 <a <1, 0 <b <1 c + d = 1, 0 <c <1, 0 <d <1 Therefore, the total pressure (P3-P4) acting on the contact plate portions 23, 24 is expressed by the following equation (in the downward direction, + And). (1-b) · P0− (1 + d) · (PT + PW) / 2 Therefore, the force acting on the contact plate portions 23 and 24 is smaller than in the conventional case [P3 = P0− (PT + PW) / 2]. Therefore, the bending of the contact plate portions 23 and 24 and the leg portions 25 and 26 is reduced. As a result, the fluctuation of the static pressure gap is reduced, and the fluctuation of the pressure acting on the static pressure pocket is also reduced. Therefore, the rigidity (static pressure rigidity) of the static pressure guide device is improved.

【0027】また、当て板部23、24及び脚部25、
26が変形しにくくなるので、対向静圧圧力P0の値
を、従来の装置よりも高めに設定することが可能にな
る。その結果、静圧案内装置としての静圧剛性を更に増
大させることができる。
Further, the contact plate portions 23, 24 and the leg portions 25,
26 is less likely to deform, so that the value of the opposing static pressure P0 can be set higher than in the conventional device. As a result, the static pressure rigidity of the static pressure guide device can be further increased.

【0028】[0028]

【発明の効果】本発明の静圧案内装置によれば、従来の
装置と比べてテーブルの当て板部のたわみを小さくする
ことができるので、静圧隙間の変動が小さくなり、静圧
ポケットに作用する圧力の変動も小さく抑えられる。従
って、静圧案内装置としての剛性(静圧剛性)が向上す
る。
According to the static pressure guide device of the present invention, the deflection of the backing plate portion of the table can be reduced as compared with the conventional device, so that the variation of the static pressure gap becomes small, and the static pressure guide can be provided in the static pressure pocket. Fluctuations in the acting pressure are also kept small. Therefore, the rigidity (static pressure rigidity) of the static pressure guide device is improved.

【0029】更に、本発明の静圧案内装置によれば、静
圧ポケットに供給する作動流体の圧力を高く設定するこ
とができるので、静圧案内装置として高い静圧剛性を確
保することができる。
Further, according to the static pressure guide device of the present invention, since the pressure of the working fluid supplied to the static pressure pocket can be set high, high static pressure rigidity can be secured as the static pressure guide device. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の静圧案内装置の一例を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing an example of a static pressure guide device of the present invention.

【図2】本発明の静圧案内装置の静圧回路図。FIG. 2 is a static pressure circuit diagram of the static pressure guide device of the present invention.

【図3】従来の静圧案内装置の一例を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing an example of a conventional static pressure guide device.

【図4】従来の静圧案内装置の静圧回路図。FIG. 4 is a static pressure circuit diagram of a conventional static pressure guide device.

【図5】従来の静圧案内装置における静圧圧力による当
て板部のたわみについて説明する図。
FIG. 5 is a view for explaining deflection of a contact plate portion due to static pressure in a conventional static pressure guide device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・ベッド、 20・・・テーブル、 11、12・・・レール、 13、14・・・溝部、 17、18・・・段部、 29・・・送りネジ、 21、22・・・溝部、 23、24・・・当て板部、 25、26・・・脚部、 31、32、33、34、35、36、37、38・・
・静圧ポケット、 41・・・油圧ポンプ、 42・・・静圧絞り弁、 50・・・ワーク。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Bed, 20 ... Table, 11, 12 ... Rail, 13, 14 ... Groove part, 17, 18 ... Step part, 29 ... Feed screw, 21, 22 ... Grooves, 23, 24 ... Patch plates, 25, 26 ... Legs, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, ...
・ Static pressure pocket, 41 ・ ・ ・ Hydraulic pump, 42 ・ ・ ・ Static pressure throttle valve, 50 ・ ・ ・ Workpiece.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C048 BC02 CC07 DD01 3J102 AA02 BA05 CA09 EA03 EA07 EA10 EA16 EB07 GA07  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3C048 BC02 CC07 DD01 3J102 AA02 BA05 CA09 EA03 EA07 EA10 EA16 EB07 GA07

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上面に左右一対のレールが形成されたベ
ッドと、これらのレールによって支持され、ベッドの上
面に沿って直線方向に移動するテーブルとを備えた静圧
案内装置において、 前記一対のレールは、その断面の一部が前記ベッドの上
面から側方に張り出す様に形成され、その上面に第一の
摺動面を、その下面に第二の摺動面を有し、 前記ベッドは、その両側面に、それぞれ、前記レールの
張り出し部の下面に対向する段部を有するとともに、こ
の段部の上面に第三の摺動面を有し、 前記テーブルは、その下面に前記一対のレールの上面及
び両側面を覆う溝部を有するとともに、テーブルの両側
面から下に伸び前記溝部の外側の側壁面を構成する脚
部、及びこの脚部の下端部から内側に張り出した当て板
部を有し、 前記当て板部の上面は、前記レールの下面に僅かな間隙
を介して対向し、前記当て板部の下面は、前記段部の上
面に僅かな間隙を介して対向し、 更に、前記テーブルには、前記第一の摺動面、第二の摺
動面、及び第三の摺動面に対応して、それぞれ、静圧ポ
ケットが形成されていることを特徴とする静圧案内装
置。
1. A static pressure guide device comprising: a bed having a pair of left and right rails formed on an upper surface thereof; and a table supported by the rails and moving in a linear direction along the upper surface of the bed. The rail is formed such that a part of its cross section projects laterally from the upper surface of the bed, and has a first sliding surface on its upper surface and a second sliding surface on its lower surface. Has, on both side surfaces thereof, a step facing the lower surface of the projecting portion of the rail, and has a third sliding surface on the upper surface of the step, and the table has the pair of lower surfaces on the lower surface thereof. A leg extending downward from both sides of the table and constituting a side wall surface outside the groove, and a pad portion projecting inward from a lower end of the leg, the groove having a groove covering the upper surface and both side surfaces of the rail. Having the contact plate portion The surface faces the lower surface of the rail via a slight gap, the lower surface of the backing plate portion faces the upper surface of the step portion with a slight gap, and further, the table has the first surface. A static pressure pocket is formed corresponding to each of the sliding surface, the second sliding surface, and the third sliding surface.
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