JP2000065697A - 気体分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、試料ガスを濃縮して分析部に導入す
る機能と、配管の組み替えや濃縮管の取り替えを行うこ
となく異なる試料ガスを順次測定することができる機能
とを有する気体分析装置を提供する。 【解決手段】本発明の一態様によると、分析対象として
の試料ガスを濃縮する濃縮部と、この濃縮部により濃縮
された試料ガスを分析する分析部と、前記濃縮部と前記
分析部とに対する前記試料ガス及びキャリアガスとの導
入状態を切り換えるガス切替手段とを具備し、前記ガス
切替手段は、前記分析部による分析前に、前記濃縮部に
よる試料ガスの濃縮及び前記キャリアガスによる前記分
析部のプレコンディショニング化を可能にし、前記分析
部による分析時に、前記試料ガスの前記濃縮部への導入
の停止及び前記分析部による前記濃縮された試料ガスの
分析を可能にし、前記分析部による分析後に、前記濃縮
部と前記分析部との前記キャリアガスによる洗浄を可能
にするように前記試料ガス及びキャリアガスとの導入状
態を切り換えることを特徴とする気体分析装置が提供さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、気体分析装置に係
り、特に、気体のセンシング装置、分析装置として簡便
な手法で試料ガスを濃縮して導入する機能を備えた分析
装置であり、利用範囲の極めて広い気体分析装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、高感度に気体を検出・分析・
識別する技術の確立は、安全あるいは近年注目されてい
る環境保全の見地から極めて重要であるとされている。
また、生産ラインにおける品質管理のためにも、人間の
能力以上の能力を有する検出・分析・識別技術が求めら
れている。

【０００３】しかしながら、分析装置やセンサの感度を
無限に向上することは不可能であり、高感度分析のため
には、分析装置やセンサの感度向上と共に、試料の濃度
を高める、あるいは、混合ガスの場合には目的となる物
質のみを選択的に濃縮する必要性が出てくる。

【０００４】分析のために気体を濃縮する技術は、例え
ば、ガスクロマトグラフィにおけるパージアンドトラッ
プ法などのように広く使用されている。しかし、この手
法は煩雑で、高価で大がかりな装置が必要であり、簡易
な操作により導入できる技術は未だに確立していない。

【０００５】また、環境の保全や工場内等の安全性の確
保等から、屋内外の空気中に存在する有害ガスをその場
で分析・検出する必要性が高まっている。しかし、従来
の技術では、大気分析は、フイールドの大気を５ないし
１０リットル採取し、濃縮管を用いて濃縮し、その後、
分析装置に設置して分析するという煩雑な手段が用いら
れており、各工程を連続的に行うことはできない。

【０００６】ましてや、濃縮部の洗浄は、濃縮管の配管
接続から外し、別途専用装置を用いて行っているため、
配管を組み替えることなしには、異なる試料を連続的に
測定することができない。

【０００７】さらに、最近、屋外で大気を分析すること
が可能となる可搬型ガスクロマトグラフイが市販されて
いるが、従来の技術では、大気分析を気体濃縮技術と併
用して行うまでには至っておらず、採取した大気をその
まま測定しているのが現状である。

【０００８】そのため、必要とされる感度、例えば、法
的に許容される最大量が、測定・検出限界値以下の場合
もある。さらに、大気のように複数の気体が混合してい
るような場合に、選択的に特定物質のみを測定すること
は不可能である。

【０００９】また、大気中の有害物質に対する環境基準
値が年々引き下げられてきている中、検出感度や分析精
度を向上するためには、気体を濃縮することは不可欠な
段階にきている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、この
種の気体分析装置に要求される課題は、異なる試料ガス
を分析する際に、外界の気体を濃縮して、センシング装
置もしくは分析装置等に導入する機能と、配管の組み替
えや濃縮管の取り替えを行うことを必要としないで異な
る試料ガスを順次測定することができる機能とを有した
気体分析装置を実現することである。

【００１１】したがって、本発明の目的とするところ
は、上述した従来技術における問題点を解消するもので
あって、外界の気体を濃縮して、センシング装置もしく
は分析装置等に導入する機能と、配管を組み替えや濃縮
管の取り替えを行うことを必要としないで異なる試料ガ
スを順次測定することができる機能とを有し、しかも、
濃縮部が小型でかつ操作が簡易になりうると共に、高感
度測定を可能とした気体分析装置を提供することにあ
る。

【００１２】この気体分析装置は、濃縮部が小型でかつ
操作が簡易になりうると共に、高感度測定が可能である
ために、センサ／センシング装置／分析装置のノイズを
軽減するためのプレコンディショニング化を可能に手段
を有するので、例えば、製造ラインや屋外の極微量の有
害ガスのセンシングや分析を連続的に繰り返して行う際
に有効である。

【００１３】これにより、この気体分析装置は、環境保
全のニ−ズが高まる中、フィールドセンシングなどの分
野で貢献することが期待できると共に、火災予知、香料
や食品など製品の品質管理にも広く用いられることが期
待できる。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明によると、上記課
題を解決するために、（１） 分析対象としての試料ガ
スを濃縮する濃縮部と、この濃縮部により濃縮された試
料ガスを分析する分析部と、前記濃縮部と前記分析部と
に対する前記試料ガス及びキャリアガスとの導入状態を
切り換えるガス切替手段とを具備し、前記ガス切替手段
は、前記分析部による分析前には、前記試料ガスを前記
濃縮部に導入して前記濃縮部による試料ガスの濃縮を可
能にすると共に、前記キャリアガスを前記分析部に導入
して前記分析部のプレコンディショニング化を可能に
し、前記分析部による分析時には、前記試料ガスの前記
濃縮部への導入を停止すると共に、前記キャリアガスを
前記試料ガスの前記濃縮部への導入方向とは逆方向に前
記濃縮部に導入通過させることにより、前記濃縮部によ
り濃縮された試料ガスを前記分析部に導入して前記分析
部による前記濃縮された試料ガスの分析を可能にし、前
記分析部による分析後には、前記キャリアガスを前記分
析部に導入通過させてから、前記濃縮部に導入通過させ
ることにより、前記濃縮部と前記分析部との前記キャリ
アガスによる洗浄を可能にすることを特徴とする気体分
析装置が提供される。

【００１５】また、本発明によると、上記課題を解決す
るために、（２） 前記ガス切替手段は第１及び第２の
ガス切替手段を有し、前記分析部による分析前には、前
記第１及び第２のガス切替手段の連通により、前記試料
ガスを前記濃縮部に導入して前記濃縮部による試料ガス
の濃縮を可能にすると共に、前記第１のガス切替手段に
より、前記キャリアガスを前記分析部に導入して前記分
析部のプレコンディショニング化を可能にし、前記分析
部による分析時には、前記第１及び第２のガス切替手段
の連通による前記試料ガスの前記濃縮部への導入を停止
すると共に、前記第１及び第２のガス切替手段の連通に
より、前記キャリアガスを前記試料ガスの前記濃縮部へ
の導入方向とは逆方向に前記濃縮部に導入通過させるこ
とにより、前記濃縮部により濃縮された試料ガスを前記
分析部に導入して前記分析部による前記濃縮された試料
ガスの分析を可能にし、前記分析部による分析後には、
前記第１のガス切替手段により、前記キャリアガスを前
記分析部に導入通過させてから、前記第１及び第２のガ
ス切替手段の連通により、前記濃縮部に導入通過させる
ことにより、前記濃縮部と前記分析部との前記キャリア
ガスによる洗浄を可能にすることを特徴とする上記
（１）に記載の気体分析装置が提供される。

【００１６】また、本発明によると、上記課題を解決す
るために、（３） 前記第１及び第２のガス切替手段と
して、八方バルブ及び四方バルブを用いたことを特徴と
する上記（２）に記載の気体分析装置が提供される。

【００１７】また、本発明によると、上記課題を解決す
るために、（４） 前記濃縮部として、該濃縮部にて選
択的にガスを濃縮する吸着剤を用いることを特徴とする
上記（１）乃至（３）のいずれかにに記載の気体分析装
置が提供される。

【００１８】また、本発明によると、上記課題を解決す
るために、（５） 前記濃縮部として、濃縮管を用い、
濃縮管を加熱することにより、濃縮ガスを放出すること
を特徴とする上記（１）乃至（４）のいずれかに記載の
気体分析装置が提供される。

【００１９】

【発明の実施の形態】まず、本発明の概要について説明
する。すなわち、本発明においては、外界の気体を濃縮
して、センシング装置もしくは分析装置等に導入する機
能と、配管を組み替えや濃縮管の取り替えを行うことを
必要としないで異なる試料ガスを順次測定することがで
きる機能とを有し、しかも、濃縮部が小型でかつ操作が
簡易になりうると共に、高感度測定を可能とした気体分
析装置を提供するために、濃縮部からセンシング／分析
部に濃縮された試料ガスを導入する機能と、さらに濃縮
部及び分析部の洗浄を連続的に行うようガス流路を切り
替える機能を持つために、単数もしくは複数のガス切替
手段としてのバルブを用いることに重要なポイントがあ
る。

【００２０】また、一般に、微量物質のセンシング・分
析のためには、流速などキャリアガスの状態変化がセン
サ応答に影響を与えないように、センサや分析装置のベ
ースラインの変化を極力低減する必要があるため、予め
センサや分析装置にキャリアガスを導入し、センサを安
定させておくようにしたプレコンディショニング化を可
能にすることも重要なポイン卜である。

【００２１】また、濃縮部として高沸点成分を多く吸着
する吸着剤を用いた場合、高沸点成分を効率よくセンシ
ングもしくは分析するためには、濃縮された試料を測定
する際に、キャリアガスの流れ方向を濃縮する際の気体
の流れ方向と逆にする機能も必要である。

【００２２】また、異なる試料ガスを順次測定するため
には、測定後配管を組み替えることなくキャリアガスを
濃縮部に導入し、濃縮管、配管及び分析部を洗浄する必
要があるため、本発明装置では、ガス切替手段としての
バルブを用いることにより、簡単な操作でスムーズに、
これらの各工程を実行することが可能になる。

【００２３】さらに、本発明装置では、濃縮部に濃縮管
を用いることにより、加熱という簡単な操作で濃縮ガス
を放出する機能が得られる。また、本発明装置では、濃
縮部の洗浄の際にも、濃縮管にキャリアガスを導入する
ことにより、同様に、不要な吸着ガスを放出することが
できる。

【００２４】また、本発明装置では、濃縮する際に使用
する吸着剤を選定することにより、有機のみならず無機
ガスを選択して導入したり、不要な気体もしくは液体を
除去して導入したりする機能も得られる。

【００２５】また、本発明装置では、カラムを設置する
ことで、試料ガスが混合ガスの場合、濃縮したガス種を
分離して導入する機能も得られる。また、本発明装置で
は、気体を濃縮して導入することにより、測定／分析誤
差が減少し、感度、分析ないし識別の精度が向上すると
共に、短時間での分析や識別が可能となる。

【００２６】また、本発明装置では、濃縮及び測定を連
続して行うことができるので、センシング装置／分析装
置に濃縮された試料を導入し分析することができる。さ
らに、本発明装置では、濃縮部及び分析部の洗浄も測定
後連続して行うことが可能であるため、配管を組み替え
たり濃縮管を取り替えることなく異なる分析試料を、順
次測定することができる。

【００２７】さらに、本発明装置は、操作の単純化や装
置の小型化が可能であるため、生産設備内や屋外での空
気中のガスセンシングや分析、火災検知や危険物検知な
ど、ガス状化学物質全般のモニタリングや、食品や香料
などの製造・品質管理にも有効である。

【００２８】さらに、本発明装置は、臭いという人間の
生理現象と関連する分野、例えば、嗅覚の診断や処方な
どの医療やアメニティなどの分野でも有効に利用される
可能性が大きい。

【００２９】次に、以上のような概要に基く本発明の実
施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本
発明の一実施の形態による気体分析装置として、上述し
たようなバルブを用いた気体分析装置の概観構成を示し
ている。

【００３０】すなわち、この気体分析装置は、試料ガス
導入口Ｄ、キャリアガス導入口Ｅ、八方バルブＡ及び四
方バルブＢ（ガス切替手段）、濃縮管Ｃ（濃縮部）、濃
縮管加熱用ヒータ制御装置Ｇ１、濃縮管加熱用ヒータＧ
２、ガス導出口Ｆ、センシング装置／分析装置Ｈ（分析
部）及びそれらをつなぐ配管で構成される。

【００３１】そして、この気体分析装置は、八方バルブ
Ａ及び四方バルブＢを図２乃至図４に示すような位置関
係が得られるように操作することにより、キャリアガス
もしくは濃縮された試料ガスをセンシング装置／分析装
置Ｈに導入して測定したり、また、濃縮管Ｃ及びセンシ
ング装置／分析装置Ｈのセンシング部、分析部の洗浄を
行うことができる。

【００３２】図２は、試料ガスを濃縮する際の本発明装
置の気体の流路例を示している。まず、試料ガスは、試
料ガス導入口Ｄから八方バルブＡ及び四方バルブＢを経
て濃縮管Ｃに導入されることにより、この濃縮管Ｃで濃
縮される。

【００３３】この濃縮管Ｃによる濃縮の際に、当該濃縮
管Ｃを冷却すれば、より効率良く濃縮を行うこともでき
る。そして、この濃縮管Ｃにおける試料ガスの濃縮と同
時に、センシング装置／分析装置Ｈには、キャリアガス
がキャリアガス導入口Ｅから八方バルブＡ及びガス導出
口Ｆを介して導入されることにより、予め、センシング
装置／分析装置Ｈからの出力が安定になるような準備状
態（プレコンディショニング化）に保つことができる。

【００３４】このセンシング装置／分析装置Ｈに導入さ
れたキャリアガスは、センシング装置／分析装置Ｈから
四方バルブＢを介して排出される。ここで、一定時間、
濃縮管Ｃ内の吸着剤に試料ガスを吸着させた後、引き続
いて分析測定を行う。

【００３５】図３は、その分析測定時の流路例を示して
いる。すなわち、このときには、八方バルブＡを図示の
ような位置関係が得られるように操作することにより、
濃縮管Ｃには、キャリアガス導入口Ｅから導入されるキ
ャリアガスが、八方バルブＡを介して、濃縮時における
試料ガスの導入方向とは逆方向から導入される。

【００３６】これと同時に、濃縮管加熱用ヒータ制御装
置Ｇ１及び濃縮管加熱用ヒータＧ２を作動させて、濃縮
管Ｃを加熱することにより、濃縮管Ｃ内で濃縮された試
料ガスが、四方バルブＢ及び八方バルブＡを介して、ガ
ス導出口Ｆよリセンシング装置／分析装置Ｈへ導入され
ることになる。

【００３７】一方、センシング装置／分析装置Ｈへ導入
された試料ガスは、センシング装置／分析装置Ｈでの測
定後に、四方バルブＢを経て系外に排出される。さら
に、センシング装置／分析装置Ｈでの測定後に、図４に
示すように、八方バルブＡ及び四方バルブＢを操作する
ことにより、濃縮管Ｃにキャリアガスを導入することが
できる。

【００３８】例えば、これと同時に、濃縮管加熱用ヒー
タ制御装置Ｇ１及び濃縮管加熱用ヒータＧ２を作動させ
て、濃縮管Ｃを加熱することにより、容易に濃縮管Ｃ中
の吸着剤や配管さらにはセンシング装置／分析装置Ｈの
分析部を洗浄することもできる。

【００３９】この場合、試料ガスは、八方バルブＡ及び
四方バルブＢを経て排出される。ところで、この場合、
濃縮管Ｃは、短時間で試料ガスを放出するために、短時
間で高温（２００゜Ｃ程度）にすることが必要である。

【００４０】そのため、濃縮管Ｃは、熱伝導のよい金属
（アルミニウムやステンレス）などでできた管を用い、
その中に吸着剤を充填して用いる。この吸着剤として
は、市販されているような一般の吸着剤、例えば、ガス
クロマトグラフィ用のカラム充填剤として用いられてい
るところのＴｅｎａｘ、Ｃａｒｂｏｔｒａｐ、Ｃａｒｂ
ｏｐａｃｋ、Ｃｈｅｍｉｐａｃｋシリーズなどが有効で
ある。

【００４１】また、センサ、分析装置としては、一般的
に使用されているガスクロマトグラフィなどの気体分析
装置の他、半導体式／水晶振動子式などのガスセンサ、
臭いセンサなどが有効である。

【００４２】また、濃縮管Ｃの加熱には、例えば、濃縮
管加熱用ヒータＧ２及び濃縮管加熱用ヒータ制御装置Ｇ
１を用いることにより、外部から濃縮管Ｃを加熱するこ
とができるので、簡易な操作により、短時間で、吸着し
た試料ガスを放出することができる。

【００４３】これらの濃縮管加熱用ヒータＧ２及び濃縮
管加熱用ヒータ制御装置Ｇ１は、試料ガスをガスクロマ
トグラフィへ加熱導入する際に用いられる装置である。
ガスクロマトグラフィに導入する際には、試料ガスの導
出口が針状のものを用いるが、この場合には濃縮管Ｃを
八方バルブＡに接続しているので、本発明装置ではガス
導出口の形状は問わない。

【００４４】次に、本発明装置の実際の効果について説
明する。図５は、従来技術のように、濃縮管Ｃを使用せ
ず、試料ガスを水晶振動子ガスセンサヘ導入した際のセ
ンサ応答を示す特性図である。

【００４５】また、図６は、本発明装置により、試料ガ
スを濃縮管Ｃにて濃縮、加熱した後で、水晶振動子ガス
センサヘ導入した際のセンサ応答を示す特性図である。
この場合、濃縮管Ｃにされる充填吸着剤にはＴｅｎａｘ
ＴＡを用い、試料ガスには、０．４ｐｐｍ、（Ｒ）−
（＋）−Ｌｉｍｏｎｅｎｅ（Ａｌｄｒｉｃｈ杜製）を用
いた。

【００４６】また、濃縮は、室温（２５゜Ｃ）で３０分
経過後に、濃縮管Ｃによる加熱脱離を２００゜Ｃ、１５
分で行った。試料ガスの流量は、いずれも２００ｍｌ／
ｍｉｎである。

【００４７】濃縮管Ｃを使用しない従来技術の図５のセ
ンサ応答に比較した場合、明らかに、濃縮管Ｃを使用し
た本発明装置による図６のセンサ応答によれば、試料ガ
スが濃縮され、すばやく放出されていることがわかる。

【００４８】そして、本発明装置による図６のセンサ応
答では、ピーク高から、ピーク時の濃度は、濃縮しない
場合と比較して約８倍に増加していることがわかる。な
お、本発明装置では、試料ガス導入口Ｄ、キャリアガス
導入口Ｅ、またはガス導出口Ｆ部にフィルタないしカラ
ムを設置することにより、特定の物質をトラップした
り、混合ガスの場合にはそれらを分離したりすることも
可能である。

【００４９】以上のような本発明の気体分析装置は、大
気中などに含まれる有機ガスなどの目的とするガスを濃
縮し、濃縮ガスをセンサや分析装置に効率よく導入し、
分析する機能と、測定後連続して濃縮部及び分析部の洗
浄を行う機能を有するため、配管を組み替えることなく
異なる試料ガスを順次測定することができる。

【００５０】また、本発明の気体分析装置では、濃縮管
に充填された吸着剤を選別することにより、分離可能な
気体の種類を選択したり、フィルタやカラムを設置する
ことにより不要なガスを除去、分離することも可能であ
る。

【００５１】また、本発明の気体分析装置では、小型で
操作が簡易になりうるため、フィールドの大気分析など
が、簡単に行える分析装置として有効であり、さらには
生産設備内でのガスセンシングや分析、火災検知や危険
物検知など、ガス状化学物質全般のモニタリングや、食
品や香料などの製造・品質管理にも有効である。

【００５２】また、臭いという人間の生理現象と関連す
る分野、つまり、嗅覚の診断や処方などの医療やアメニ
テイなどの分野でも有効に利用される可能性が大きい。
そして、上述したような実施の形態で示した本発明に
は、以下のような発明が含まれている。

【００５３】（１） 分析対象としての試料ガスを濃縮
する濃縮部と、この濃縮部により濃縮された試料ガスを
分析する分析部と、前記濃縮部と前記分析部とに対する
前記試料ガス及びキャリアガスとの導入状態を切り換え
るガス切替手段とを具備し、前記ガス切替手段は、前記
分析部による分析前には、前記試料ガスを前記濃縮部に
導入して前記濃縮部による試料ガスの濃縮を可能にする
と共に、前記キャリアガスを前記分析部に導入して前記
分析部のプレコンディショニング化を可能にし、前記分
析部による分析時には、前記試料ガスの前記濃縮部への
導入を停止すると共に、前記キャリアガスを前記試料ガ
スの前記濃縮部への導入方向とは逆方向に前記濃縮部に
導入通過させることにより、前記濃縮部により濃縮され
た試料ガスを前記分析部に導入して前記分析部による前
記濃縮された試料ガスの分析を可能にし、前記分析部に
よる分析後には、前記キャリアガスを前記分析部に導入
通過させてから、前記濃縮部に導入通過させることによ
り、前記濃縮部と前記分析部との前記キャリアガスによ
る洗浄を可能にすることを特徴とする気体分析装置。

【００５４】（２） 前記ガス切替手段は第１及び第２
のガス切替手段を有し、前記分析部による分析前には、
前記第１及び第２のガス切替手段の連通により、前記試
料ガスを前記濃縮部に導入して前記濃縮部による試料ガ
スの濃縮を可能にすると共に、前記第１のガス切替手段
により、前記キャリアガスを前記分析部に導入して前記
分析部のプレコンディショニング化を可能にし、前記分
析部による分析時には、前記第１及び第２のガス切替手
段の連通による前記試料ガスの前記濃縮部への導入を停
止すると共に、前記第１及び第２のガス切替手段の連通
により、前記キャリアガスを前記試料ガスの前記濃縮部
への導入方向とは逆方向に前記濃縮部に導入通過させる
ことにより、前記濃縮部により濃縮された試料ガスを前
記分析部に導入して前記分析部による前記濃縮された試
料ガスの分析を可能にし、前記分析部による分析後に
は、前記第１のガス切替手段により、前記キャリアガス
を前記分析部に導入通過させてから、前記第１及び第２
のガス切替手段の連通により、前記濃縮部に導入通過さ
せることにより、前記濃縮部と前記分析部との前記キャ
リアガスによる洗浄を可能にすることを特徴とする上記
（１）に記載の気体分析装置。

【００５５】（３） 前記第１及び第２のガス切替手段
として、八方バルブ及び四方バルブを用いたことを特徴
とする上記（２）に記載の気体分析装置。 （４） 前記濃縮部に、該濃縮部にて選択的にガスを濃
縮する吸着剤を用いることを特徴とする上記（１）乃至
（３）のいずれかに記載の気体分析装置。

【００５６】（５） 前記濃縮部として、濃縮管を用
い、濃縮管を加熱することにより、濃縮ガスを放出する
ことを特徴とする上記（１）乃至（４）のいずれかに記
載の気体分析装置。

【００５７】

【発明の効果】従って、以上説明したように、本発明に
よれば、上述した従来技術における問題点を解消するも
のであって、外界の気体を濃縮して、センシング装置も
しくは分析装置等に導入する機能と、配管の組み替えや
濃縮管の取り替えを行うことを必要としないで異なる試
料ガスを順次測定することができる機能とを有し、しか
も、濃縮部が小型でかつ操作が簡易になりうると共に、
高感度測定を可能とした気体分析装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明にかかる気体分析装置の概観構
成を示す図である。

【図２】図２は、本装置の気体の流路を示す概略図（濃
縮時）である。

【図３】図３は、本装置の気体の流路を示す概略図（測
定時）である。

【図４】図４は、本装置の気体の流路を示す概略図（洗
浄時）である。

【図５】図５は、濃縮管を使用しなかった際の試料ガス
に対する水晶振動子センサの応答を示す特性図である。

【図６】図６は、濃縮管を用いた際の濃縮試料ガスに対
する水晶振動子センサの応答を示す特性図である。

【符号の説明】

Ａ：八方バルブ、 Ｂ：四方バルブ、 Ｃ：濃縮管、 Ｄ：試料ガス導入口、 Ｅ：キャリアガス導入口、 Ｆ：ガス導出口、 Ｇ１：濃縮管加熱用ヒータ制御装置、 Ｇ２：濃縮管加熱用ヒータ、 Ｈ：センシング装置／分析装置。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 分析対象としての試料ガスを濃縮する濃
   縮部と、 この濃縮部により濃縮された試料ガスを分析する分析部
   と、 前記濃縮部と前記分析部とに対する前記試料ガス及びキ
   ャリアガスとの導入状態を切り換えるガス切替手段とを
   具備し、 前記ガス切替手段は、 前記分析部による分析前には、前記試料ガスを前記濃縮
   部に導入して前記濃縮部による試料ガスの濃縮を可能に
   すると共に、前記キャリアガスを前記分析部に導入して
   前記分析部のプレコンディショニング化を可能にし、 前記分析部による分析時には、前記試料ガスの前記濃縮
   部への導入を停止すると共に、前記キャリアガスを前記
   試料ガスの前記濃縮部への導入方向とは逆方向に前記濃
   縮部に導入通過させることにより、前記濃縮部により濃
   縮された試料ガスを前記分析部に導入して前記分析部に
   よる前記濃縮された試料ガスの分析を可能にし、 前記分析部による分析後には、前記キャリアガスを前記
   分析部に導入通過させてから、前記濃縮部に導入通過さ
   せることにより、前記濃縮部と前記分析部との前記キャ
   リアガスによる洗浄を可能にすることを特徴とする気体
   分析装置。
2. 【請求項２】 前記ガス切替手段は第１及び第２のガス
   切替手段を有し、 前記分析部による分析前には、前記第１及び第２のガス
   切替手段の連通により、前記試料ガスを前記濃縮部に導
   入して前記濃縮部による試料ガスの濃縮を可能にすると
   共に、前記第１のガス切替手段により、前記キャリアガ
   スを前記分析部に導入して前記分析部のプレコンディシ
   ョニング化を可能にし、 前記分析部による分析時には、前記第１及び第２のガス
   切替手段の連通による前記試料ガスの前記濃縮部への導
   入を停止すると共に、前記第１及び第２のガス切替手段
   の連通により、前記キャリアガスを前記試料ガスの前記
   濃縮部への導入方向とは逆方向に前記濃縮部に導入通過
   させることにより、前記濃縮部により濃縮された試料ガ
   スを前記分析部に導入して前記分析部による前記濃縮さ
   れた試料ガスの分析を可能にし、 前記分析部による分析後には、前記第１のガス切替手段
   により、前記キャリアガスを前記分析部に導入通過させ
   てから、前記第１及び第２のガス切替手段の連通によ
   り、前記濃縮部に導入通過させることにより、前記濃縮
   部と前記分析部との前記キャリアガスによる洗浄を可能
   にすることを特徴とする請求項１に記載の気体分析装
   置。
3. 【請求項３】 前記第１及び第２のガス切替手段とし
   て、八方バルブ及び四方バルブを用いたことを特徴とす
   る請求項２に記載の気体分析装置。
4. 【請求項４】 前記濃縮部に、該濃縮部にて選択的にガ
   スを濃縮する吸着剤を用いることを特徴とする請求項１
   乃至３のいずれかに記載の気体分析装置。
5. 【請求項５】 前記濃縮部として、濃縮管を用い、濃縮
   管を加熱することにより、濃縮ガスを放出することを特
   徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の気体分析装
   置。