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FR3153430B1 - Procédé de fabrication d’une matrice de filtrage multispectral à filtres de Fabry-Pérot incurvés - Google Patents

Procédé de fabrication d’une matrice de filtrage multispectral à filtres de Fabry-Pérot incurvés

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Publication number
FR3153430B1
FR3153430B1 FR2310188A FR2310188A FR3153430B1 FR 3153430 B1 FR3153430 B1 FR 3153430B1 FR 2310188 A FR2310188 A FR 2310188A FR 2310188 A FR2310188 A FR 2310188A FR 3153430 B1 FR3153430 B1 FR 3153430B1
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France
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curved
fabry
structuring
manufacturing
filtering matrix
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Active
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FR2310188A
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English (en)
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FR3153430A1 (fr
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Ujwol Palanchoke
Api Warsono
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Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
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Publication date
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Abstract

Procédé de fabrication d’une matrice de filtrage multispectral à filtres de Fabry-Pérot incurvé L’invention concerne un procédé (100) de fabrication d’une matrice de filtrage multispectral comportant les étapes suivantes : Dépôt (101) sur un substrat d’une couche de structuration;Structuration (102) de la couche de structuration, pour obtenir un premier et un deuxième motif de structuration, ayant chacun une surface supérieure courbe ;Dépôt (103) conforme d’une première couche réfléchissante sur les motifs, formant les premières couches réfléchissantes d’un premier et deuxième filtres de couleurs ; Dépôt (104) d'une couche en matériau diélectrique sur la première couche réfléchissante de façon à former les surfaces inférieures courbes des couches diélectriques de cavité de Fabry-Pérot des premier et deuxième filtres ;Structuration (105, 106) de la couche en matériau diélectrique par lithographie au moyen d’un moule d’impression comportant deux empreintes courbes différentes pour former les surfaces supérieures courbes des couches diélectriques de cavité de Fabry-Pérot ;Dépôt (107) conforme d’une deuxième couche réfléchissante. Figure à publier avec l’abrégé : Figure 8
FR2310188A 2023-09-26 2023-09-26 Procédé de fabrication d’une matrice de filtrage multispectral à filtres de Fabry-Pérot incurvés Active FR3153430B1 (fr)

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