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FR3079668B1 - Dispositif d'onde acoustique de surface sur substrat composite - Google Patents

Dispositif d'onde acoustique de surface sur substrat composite Download PDF

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Abstract

L'invention concerne un dispositif à ondes acoustiques de surface comprenant un substrat de base (206, 606), une couche piézoélectrique (204, 304, 610) et une couche d'électrode (208, 608) située entre la couche piézoélectrique (204, 304, 610) et le substrat de base (206, 606), une électrode en peigne (210, 612) formée sur la couche piézoélectrique (204, 304, 610) comprenant une pluralité de moyens d'électrode (212, 614) avec un pas p, défini par p = A, avec A étant la longueur d'onde de l'onde acoustique stationnaire générée en appliquant des potentiels opposés à ladite couche d'électrode (208, 608) et une électrode en peigne (210, 612), caractérisé en ce que ladite couche piézoélectrique (204, 304, 610) comprend au moins une région (216, 616) située entre les moyens d'électrode (212, 614), dans laquelle au moins un paramètre physique est différent de la région (218, 624) située en dessous des moyens d'électrode (212, 614). L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel dispositif à ondes acoustiques de surface.
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