FR2803647A1

FR2803647A1 - Automatically adjustable orifice to the internal pressure in a chamber formed from a flexible diaphragm with radial slits

Info

Publication number: FR2803647A1
Application number: FR0000342A
Authority: FR
Inventors: Marc Leturmy; Cemal Oztas
Original assignee: Air Liquide SA; LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Current assignee: Air Liquide SA; LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Priority date: 2000-01-12
Filing date: 2000-01-12
Publication date: 2001-07-13

Abstract

The adjustable diaphragm forms a variable discharge orifice (3) from a chamber maintained at a light positive pressure by a gas supply, which opens up fully when the chamber is purged to prevent it being over pressurized. The walls (1) of the sealed chamber (2) contains an orifice (3) made from a flexible diaphragm, which contains a series of radial slots emanating from a central hole. This diaphragm is clamped in position by a ring (4). When the chamber it kept slightly above atmosphere, the flaps of the diaphragm are closed and the gas exchange is about one volume per hour. On purging the chamber, at about 50 to 60 volumes per hour, the orifice opens to its full extent (e) to allow for the extra gas flow without over pressurizing the chamber

Description

La présente invention se rapporte aux systèmes comprenant au moins une enceinte fermée, dont l'atmosphère doit être contrôlee, atmosphère différente de l'air ambiant. The present invention relates to systems comprising at least one closed chamber, the atmosphere of which must be controlled, a different atmosphere from the ambient air.

L'invention concerne tout particulièrement les dispositifs de maintien en pression d'une enceinte destinée à être balayée un gaz, dont le débit peut varier, par exemple pour adopter un premier régime de débit de maintien de l'enceinte (régime de veille), et un second régime mettant en oeuvre un débit de reconditionnement (purge) de l'enceinte intervenant par exemple après son ouverture. The invention particularly relates to devices for maintaining the pressure of an enclosure intended to be swept a gas, the flow rate of which may vary, for example to adopt a first rate of holding flow rate of the enclosure (standby mode), and a second regime implementing a repacking rate (purge) of the chamber intervening for example after its opening.

Le type d'enceinte visée par la présente invention du genre qui est équipée moyens d'amenée du gaz dans l'enceinte de moyens d'évacuation ce gaz depuis l'intérieur de l'enceinte vers l'extérieur. The type of enclosure targeted by the present invention of the kind which is equipped means for supplying gas into the enclosure means for evacuating this gas from inside the enclosure to the outside.

trouve de telles enceintes notamment pour effectuer le stockage d'articles sous atmosphère contrôlée, stockage qui utilisé on le sait dans nombreuses branches de l'industrie, telles que l'electronique ou encore l'alimentaire ou la pharmacie, où l'on est amené à stocker de manière plus ou moins provisoire des objets sous atmosphère contrôlée (par exemple un air ou encore une atmosphère d'azote ne contenant pas plus d'une teneur limite donnée en oxygène résiduel ou en vapeur d'eau résiduelle), en attente d'utilisation ou en cours de fabrication. finds such enclosures in particular to perform the storage of controlled atmosphere items, storage that is used in many branches of industry, such as electronics or food or pharmacy, where it is brought to more or less temporarily store objects in a controlled atmosphere (for example an air or a nitrogen atmosphere containing not more than a given limit content residual oxygen or residual water vapor), waiting for use or in process of manufacture.

On sait que le plus couramment, ces enceintes sont utilisées avec plusieurs régimes de débit de gaz, typiquement un débit de maintien relativement faible en régime de veille (par exemple un débit de maintien de l'ordre de un renouvellement à l'heure du volume de l'enceinte) et un débit de reconditionnement (purge) plus élevé mis en oeuvre après une ouverture de porte de l'enceinte (par exemple 50 ou 60 renouvellements à l'heure du volume de l'enceinte). It is known that most commonly, these speakers are used with several gas flow rates, typically a relatively low holding rate in standby mode (for example a rate of maintenance of the order of a renewal at the time of the volume of the enclosure) and a higher reconditioning rate (purge) implemented after a door opening of the enclosure (for example 50 or 60 renewals at the time of the volume of the enclosure).

On se reportera par exemple au document PCTIFR99101841 au nom de la Demanderesse, qui s'intéresse à l'optimisation des conditions d'injection de gaz dans de telles enceintes de stockage d'articles sous atmosphère contrôlée, afin notamment de réduire les temps de purge. For example, reference is made to document PCTIFR99101841 in the name of the Applicant, which is interested in optimizing gas injection conditions in such article storage enclosures in a controlled atmosphere, in particular in order to reduce the purge times. .

Les travaux qu'a poursuivis la Demanderesse sur ces questions ont démontré qu'il est encore nécessaire d'améliorer les conditions de mise oeuvre du gaz dans de telles enceintes de stockage, notamment pour raisons suivantes - afin de réduire les temps de reconditionnement de l'enceinte, et limiter ainsi les effets d'une atmosphère dégradée sur les produits qui sont stockés dans l'enceinte, il est nécessaire de mettre en oeuvre un débit de gaz de reconditionnement sensiblement plus élevé que le débit habituel de maintien (comme signalé ci-dessus à titre d'exemple un débit 60 fois plus élevé que le débit de gaz de maintien) ; - d'autre part, il est nécessaire de maintenir dans l'enceinte légère surpression (par exemple 2 mbar) afin d'éviter toute entrée d'air l'orifice d'évacuation du gaz de l'enceinte ; - on conçoit alors que lors d'une phase de reconditionnement de l'enceinte avec un tel débit de gaz très élevé, l'orifice d'évacuation va générer une perte de charge très importante et une montée en pression de l'enceinte pouvant aller jusqu'à la destruction de cette enceinte si le phénomène n'est pas contrôlé ; - il est alors nécessaire durant les phases de reconditionnement, d'augmenter considérablement la section de l'orifice de sortie de manière à maintenir et à ne pas dépasser la légère surpression souhaitée. The work carried out by the Applicant on these questions has shown that it is still necessary to improve the conditions for the implementation of gas in such storage chambers, in particular for the following reasons - in order to reduce the repackaging times of the enclosure, and thus limit the effects of a degraded atmosphere on the products that are stored in the chamber, it is necessary to implement a repackaging gas flow rate significantly higher than the usual rate of maintenance (as reported here). for example, a flow rate 60 times higher than the flow rate of holding gas); - On the other hand, it is necessary to maintain in the light pressure surge chamber (for example 2 mbar) to prevent any entry of air the gas evacuation orifice of the enclosure; - It is then conceivable that during a reconditioning phase of the chamber with such a very high gas flow rate, the discharge orifice will generate a very significant loss of pressure and a rise in pressure of the chamber that can go until the destruction of this enclosure if the phenomenon is not controlled; - It is then necessary during the repackaging phases, significantly increase the section of the outlet orifice so as to maintain and not to exceed the desired slight overpressure.

Différentes solutions techniques sont disponibles sur le marché pour résoudre cette difficulté, parmi lesquelles on peut citer - différents types de soupapes : mais leur prix est relativement élevé, ces soupapes sont par ailleurs métalliques et sont toujours composées de pièces en mouvement, entraînant ainsi un risque non négligeable de "grippage" ou coincement. II alors nécessaire ici de prévoir la présence d'un disque rupture taré quelques mbar au dessus du niveau qui est celui de soupape. Different technical solutions are available on the market to solve this problem, among which we can cite - different types of valves: but their price is relatively high, these valves are also metallic and are always composed of moving parts, resulting in a risk not negligible of "jamming" or jamming. It is then necessary here to provide for the presence of a rupture disk calibrated a few mbar above the level which is that of valve.

Cette première solution se révèle donc, d'une part, relativement onéreuse, assez peu satisfaisante en terme sécuritaire mais aussi peu souple d'utilisation. This first solution is therefore, on the one hand, relatively expensive, not very satisfactory in terms of security but also little flexible use.

- Il est également possible d'utiliser un système automatique tel jeu d'électrovannes, pour basculer automatiquement, lors des phases de conditionnement, sur un orifice de plus grande taille. - It is also possible to use an automatic system such solenoid set, to switch automatically, during the phases of conditioning, on a larger hole.

Cette solution technique génère néanmoins un encombrement important, mais avant tout un surcoût significatif en matériel. This technical solution nevertheless generates a large amount of space, but above all a significant additional cost in hardware.

- Une autre solution technique consiste dans l'utilisation déverseur, Le d'un régulateur de pression amont, permettant donc maintenir constante la pression en amont du déverseur, c'est-à-dire dans l'enceinte. Another technical solution consists in the use of an upstream pressure regulator Le, thus allowing the pressure upstream of the discharger, that is to say in the enclosure, to be kept constant.

sait néanmoins que compte tenu de la faible pression à réguler dans ce type d'enceinte, un tel déverseur a une taille très importante et coût très élevé. however, know that given the low pressure to regulate in this type of enclosure, such a discharger has a very large size and very high cost.

présente invention a notamment pour objectif d'apporter solution au problème technique ci-dessus mentionné, en proposant dispositif amélioré de maintien en pression d'un enceinte destinée à être balayée par un gaz dont le débit peut varier, permettant d'atteindre les performances techniques et sécuritaires recherchées par ce type d'application tout en adoptant une structure légère et de faible coût. The present invention is intended in particular to provide a solution to the above-mentioned technical problem, by proposing an improved device for maintaining pressure in an enclosure intended to be swept by a gas whose flow rate may vary, making it possible to achieve the technical performance. and secure sought by this type of application while adopting a lightweight structure and low cost.

Pour ce faire, le dispositif de maintien en pression selon l'invention d'une enceinte apte à être balayée par un gaz dont le débit peut varier, enceinte du genre qui est équipée de moyens d'amenée du gaz dans l'enceinte et de moyens d'évacuation du gaz de l'enceinte, se caractérise en ce que les moyens d'évacuation comprennent au moins une pièce fendue, élaborée dans un matériau souple, apte à se déformer de façon réversible partir d'un seuil de surpression déterminé dans l'enceinte. To do this, the pressurizing device according to the invention of an enclosure adapted to be swept by a gas whose flow rate may vary, enclosure of the kind which is equipped with gas supply means in the enclosure and of means for evacuating the gas from the enclosure, is characterized in that the evacuation means comprise at least one slotted piece, made of a flexible material, able to deform reversibly from a determined overpressure threshold in the enclosure.

L'invention pourra par ailleurs adopter l'une ou plusieurs caractéristiques techniques suivantes sans sortir à aucun moment du cadre de la présente invention le seuil de surpression dans l'enceinte à partir duquel la pièce apte à se déformer de façon réversible est supérieur ou égal à 0,1 mbar ; le seuil de surpression dans l'enceinte à partir duquel la pièce apte à se déformer de façon réversible est supérieur ou égal à 1 mbar ; la pièce comprend au moins une fente ne passant pas par centre (par exemple une fente ayant la forme d'un arc de cercle ou encore d'une spirale et ne passant pas par le centre de la pièce); la pièce comprend au moins deux fentes démarrant sensiblement de son centre; la pièce comprend au moins quatre fentes démarrant sensiblement de son centre ; lesdits moyens d'évacuation de gaz sont situés au niveau d'une des parois de l'enceinte, en un endroit où ladite paroi comporte une ouverture d'évacuation vers l'extérieur, ladite au moins une pièce étant appliquée sur cette ouverture d'évacuation ; - ladite enceinte est utilisée pour le stockage d'articles sous atmosphère contrôlée ; - ladite enceinte est utilisée pour le stockage de composants électroniques sous atmosphère contrôlée ; - l'enceinte est apte à être balayée par un gaz dont le débit peut varier selon au moins deux régimes : un régime de maintien et un régime de reconditionnement de l'enceinte intervenant après une entrée d'air, ladite pièce étant apte à se déformer de façon réversible lors du passage en régime de reconditionnement. Comme on l'aura compris à la lecture de ce qui précède, terminologie pièce utilisée ci-dessus recouvre selon l'invention tous types de formes, qu'elle soit circulaire (disque), carrée, rectangulaire ou encore quelconque (patatoïde par exemple), l'essentiel étant bien entendu pouvoir s'adapter à la géométrie de l'ouverture d'évacuation vers l'extérieur l'enceinte. The invention may also adopt one or more of the following technical characteristics without departing at any time from the scope of the present invention the overpressure threshold in the chamber from which the reversibly deformable part is greater than or equal to at 0.1 mbar; the pressure threshold in the chamber from which the reversibly deformable part is greater than or equal to 1 mbar; the part comprises at least one slot not passing through the center (for example a slot having the shape of an arc of a circle or a spiral and not passing through the center of the part); the part comprises at least two slots starting substantially from its center; the part comprises at least four slots starting substantially from its center; said gas discharge means are located at one of the walls of the enclosure, at a place where said wall has an outward discharge opening, said at least one part being applied to said opening of said enclosure; evacuation; said enclosure is used for storing articles under a controlled atmosphere; said enclosure is used for storing electronic components in a controlled atmosphere; - The chamber is adapted to be swept by a gas whose flow can vary in at least two regimes: a holding regime and a reconditioning regime of the chamber intervening after an air inlet, said part being adapted to reversibly deform during the transition to the repackaging regime. As will be understood from the foregoing, part terminology used above covers according to the invention all types of shapes, whether circular (disk), square, rectangular or any other (for example patatoïd) , the essential being of course be able to adapt to the geometry of the exhaust opening to the outside of the enclosure.

De même comme on l'aura compris à la lecture de ce qui précède, terminologie fendue utilisée ci-dessus peut recouvrir selon l'invention géométries très variées d'orifices fabriqués dans le matériau souple, ils s'agisse par exemple de trous circulaires, ou bien de fentes plus moins allongées, le point important étant que pour chaque application (débit, surpression que l'on souhaite maintenir dans l'enceinte), le choix du matériau, de l'épaisseur de la pièce, de la géométrie des orifices pratiqués, permettent pour les spécifications requises d'obtenir la déformation réversible recherchée. Similarly, as will be understood on reading the foregoing, the split terminology used above may cover, according to the invention, very varied geometries of orifices made in the flexible material, for example circular holes, or more slits that are less elongated, the important point being that for each application (flow rate, overpressure that one wishes to maintain in the enclosure), the choice of the material, the thickness of the part, the geometry of the orifices practiced, allow for the required specifications to obtain the desired reversible deformation.

D'autres caractéristiques et avantages ressortiront de la description suivante donnée uniquement à titre d'exemple et faite en relation dessins annexés pour lesquels - la figure 1 fournit un exemple de disque (d) souple et fendu selon l'invention, tel que muni de quatre fentes rectilignes démarrant du centre du disque; - la figure 2 est une représentation schématique d'une configuration où le disque de la figure 1 est monté sur la paroi d'une enceinte de stockage de composants électroniques (disque au repos) ; - la figure 3 reprend la configuration schématique de la figure 2, disque étant cette fois en position déployée sous l'action d'une surpression dans l'enceinte; - la figure 4 illustre un autre exemple (d') de réalisation d'un disque souple et fendu selon l'invention, tel que muni ici de huit fentes démarrant centre du disque. figure 1 fournit donc un premier exemple de disque d souple et fendu convenant pour la mise en oeuvre de la présente invention, en vues de face et côté. Other features and advantages will emerge from the following description given solely by way of example and with reference to the accompanying drawings for which - FIG. 1 provides an example of a flexible and split disk (d) according to the invention, as provided with four straight slits starting from the center of the disc; FIG. 2 is a schematic representation of a configuration in which the disk of FIG. 1 is mounted on the wall of an electronic component storage enclosure (disk at rest); - Figure 3 shows the schematic configuration of Figure 2, disc being this time in the deployed position under the action of an overpressure in the chamber; - Figure 4 illustrates another example (of) of realization of a flexible disk and split according to the invention, as here provided with eight slots starting center of the disk. FIG. 1 therefore provides a first example of a flexible and split disk suitable for the implementation of the present invention, in front and side views.

Pour le mode de réalisation représenté, le disque comporte quatre fentes démarrant du centre du disque, le disque étant également percé d'un orifice en centre. For the embodiment shown, the disk has four slots starting from the center of the disk, the disk being also pierced with a hole in the center.

Ce perçage central peut constituer l'orifice d'évacuation des gaz en régime de maintien (faible débit), alors que lorsque l'enceinte est en phase de reconditionnement, il y a déformation élastique du disque sous l'effet de l'augmentation de pression, générant ainsi, on le comprend une augmentation de la section de passage du gaz. This central bore may constitute the gas evacuation orifice in the holding regime (low flow rate), whereas when the chamber is in the reconditioning phase, there is elastic deformation of the disk under the effect of the increase of pressure, thereby generating, it is understood, an increase in the section of passage of the gas.

très nombreux matériaux peuvent être envisagés pour la fabrication tel disque, dans la mesure on l'a compris où le matériau considéré assure une déformabilité du disque en liaison bien entendu avec l'épaisseur disque choisi, déformation qui doit être réversible sous l'action de la surpression intervenant dans l'enceinte. A titre illustratif, on peut citer parmi les matériaux envisageables le caoutchouc, le néoprène, le VitonTM, voire des feuilles métalliques d'épaisseur adaptée. a large number of materials can be envisaged for the manufacture of such a disc, in so far as it has been understood that the material in question ensures a deformability of the disc in connection with the chosen disc thickness, which must be reversible under the action of the overpressure occurring in the enclosure. As an illustration, mention may be made of the possible materials rubber, neoprene, VitonTM, or even metal sheets of suitable thickness.

visualise mieux la position de ce disque en service grâce à la figure 2, où reconnaît la présence d'une enceinte référencée sur figure par la référence générale 10, comportant un espace intérieur 2, ainsi des parois 1 (l'enceinte est ici représentée en vue partielle). better visualizes the position of this disk in use by means of FIG. 2, which recognizes the presence of an enclosure referenced on FIG. by the general reference 10, comprising an interior space 2, and thus walls 1 (the enclosure is here represented in FIG. partial view).

niveau d'une de ses parois, l'enceinte est munie d'une ouverture permettant l'évacuation des gaz, ouverture sur laquelle est plaqué le disque d, grâce à une bague de serrage 4. level of one of its walls, the enclosure is provided with an opening for the evacuation of gases, opening on which is plated the disc d, thanks to a clamping ring 4.

disque d est au niveau de la figure 2 représenté en position de repos, l'enceinte étant balayée à l'aide du gaz en régime de maintien (régime de croisière à faible débit), le gaz injecté dans l'enceinte s'évacuant simplement l'orifice central du disque, sans nécessité de déformer la membrane. revanche, au niveau de la figure 3, on a représenté de façon schématique une configuration où l'enceinte est soumise un régime de re- conditionnement en gaz, à plus fort débit, le disque étant alors déformé sous l'action de surpression intervenant à l'intérieur de l'enceinte, en libérant une section passage e , largement augmentée par rapport à la section de passage existant en situation de repos dans le cadre figure 2. disk d is at the level of Figure 2 shown in the rest position, the chamber being swept with the gas in steady state (low-speed cruise regime), the gas injected into the enclosure evacuating simply the central orifice of the disc, without the need to deform the membrane. However, at the level of FIG. 3, a configuration is schematically represented in which the enclosure is subjected to a higher rate of gas reconditioning, the disk being then deformed under the action of overpressure occurring at inside the enclosure, by releasing a passage section e, greatly increased with respect to the existing passage section in a rest situation in the frame 2.

un choix approprié du matériau du disque déformation est parfaitement réversible, permettant au disque de revenir la position de repos de figure 2 dès que l'enceinte ayant été re-conditionnée le débit de gaz de balayage est ramené au niveau du régime de maintien. an appropriate choice of the material of the deformation disk is perfectly reversible, allowing the disk to return to the rest position of FIG. 2 as soon as the chamber having been re-conditioned the flow of purge gas is brought back to the level of the holding regime.

titre illustratif, la figure 4 fournit un autre exemple de mode de réalisation disque souple et fendu conforme à l'invention, disque d' comportant ' " huit fentes démarrant du centre du disque, le disque étant ici encore percé son centre. As an illustrative example, FIG. 4 provides another example of a flexible and split disk embodiment according to the invention, with the disk having eight slots starting from the center of the disk, the disk being here again pierced at its center.

Afin de mieux illustrer les avantages considérables que permet d'atteindre une telle structure d'évacuation des gaz souple et fendue, on détaille " après un exemple de mis en ceuvre de l'invention à l'aide de disques élaborés dans deux types de matériau, et deux types de configuration de fentes, ceci dans les conditions expérimentales suivantes l'enceinte expérimentée ici est une enceinte de stockage de composants électroniques en PlexiglasTm, dont le volume interne est 27 litres ; on cherche à pouvoir balayer cette enceinte à l'aide d'un gaz d'azote à un débit de 27 1/heure en régime de veille et de 30 Ilmin en régime de reconditionnement. In order to better illustrate the considerable advantages that such a flexible and slotted gas evacuation structure makes it possible to achieve, the following is described after an example of implementation of the invention using discs produced in two types of material. , and two types of slot configuration, this under the following experimental conditions the chamber experimented here is a PlexiglasTm electronic component storage chamber, whose internal volume is 27 liters, it is sought to be able to scan this chamber using a nitrogen gas at a flow rate of 27 1 / hour in idle mode and 30 min in the reconditioning mode.

L'objectif est de pouvoir en effet re-conditionner cette enceinte au maximum 5 minutes, pour obtenir une teneur résiduelle en oxygène inférieure égale à 10 ppm, la surpression à l'intérieur de l'enceinte ne devant pas excéder pour des raisons sécuritaires 5 mbar ; - on a expérimenté deux types de matériau, du ViîtonT'#' d'épaisseur 1 mm d'une part, et un film de polypropylène d'épaisseur 0,1 mm d'autre part, avec dans chacun des cas deux types de configuration de fentes testées, respectivement quatre fentes et huit fentes démarrant du centre du disque ; - les résultats obtenus dans de telles conditions expérimentales sont rassemblés au niveau de la table 1 ci-après, qui fournit la mesure de pression en Pa à l'intérieur de l'enceinte pour un débit de gaz balayant l'enceinte allant de 1 Ilmin à environ 40 Ilmin (on note que les données sont fournies pour des raisons de facilité d'écriture en Pa, sachant que 1 atmosphère = 10000 Pa = 1 013 bar).

The objective is to be able to re-condition the chamber for a maximum of 5 minutes, to obtain a residual oxygen content of less than 10 ppm, the pressure inside the enclosure must not exceed for security reasons 5 mbar; two types of material have been experimented with, the ViTtonT '#' of thickness 1 mm on the one hand, and a polypropylene film of thickness 0.1 mm on the other hand, with in each case two types of configuration slots tested, respectively four slots and eight slots starting from the center of the disc; the results obtained under such experimental conditions are collated at Table 1 below, which provides the pressure measurement in Pa inside the chamber for a gas flow sweeping the chamber from 1 Ilmin at about 40 Ilmin (it is noted that the data are provided for reasons of ease of writing in Pa, knowing that 1 atmosphere = 10000 Pa = 1 013 bar).

TABLE <SEP> 1
<tb> Pression <SEP> (Pa)
<tb> Débit <SEP> (1/min) <SEP> Disque <SEP> 1 <SEP> --- <SEP> e <SEP> = <SEP> lmm <SEP> Disque <SEP> 2 <SEP> --- <SEP> e <SEP> = <SEP> 0,1 <SEP> mm
<tb> 4 <SEP> 8 <SEP> fentes <SEP> 4 <SEP> fentes <SEP> 8 <SEP> fentes
<tb> 1 <SEP> 14,6 <SEP> -- <SEP> -- <SEP> - 6 <SEP> 70,5 <SEP> 85,9 <SEP> 131,8 <SEP> 69,8
<tb> 8 <SEP> 108,5 <SEP> 115,6 <SEP> 172,8 <SEP> 100,8
<tb> 10 <SEP> 137,5 <SEP> 169,6 <SEP> 198,8 <SEP> 114,6
<tb> 12 <SEP> 206,5 <SEP> 204,6 <SEP> 251,8 <SEP> 129,8
<tb> 14 <SEP> 273,5 <SEP> 227,6 <SEP> 307,8 <SEP> 145
<tb> 16 <SEP> 319,5 <SEP> 248,6 <SEP> 358,8 <SEP> 192,8
<tb> 18 <SEP> 330,5 <SEP> 268,6 <SEP> 416,8 <SEP> 219,8
<tb> 20 <SEP> 354,5 <SEP> 273,6 <SEP> 472,8 <SEP> 231,8
<tb> 22 <SEP> 381,5 <SEP> 292,6 <SEP> 448,8 <SEP> 260,8
<tb> 24 <SEP> 406,5 <SEP> 308,6 <SEP> 460,8 <SEP> 265,8
<tb> 26 <SEP> 457 <SEP> 325,6 <SEP> 537,8 <SEP> 297,8
<tb> 28 <SEP> -- <SEP> 341,6 <SEP> -- <SEP> 312,8
<tb> 30 <SEP> -- <SEP> 354,6 <SEP> -- <SEP> 332,8
<tb> 36 <SEP> -- <SEP> 418,6 <SEP> -- <SEP> 384,8
<tb> 38 <SEP> 407,8
<tb> 40 <SEP> -- <SEP> 457,6
<tb> 42 <SEP> 507,8 On constate donc à la lecture des résultats de la table 1, d'une que les configurations à quatre fentes, qu'elles soient réalisees dans la membrane en VitonTM ou dans celle en plastique, fournissent -pour les spécifications recherchées ici- des performances limites puisque la surpression maximum de 5 mbar est atteinte relativement rapidement (dès 24 à Ilmin de gaz). TABLE <SEP> 1
<tb> Pressure <SEP> (Pa)
<tb> Flow <SEP> (1 / min) <SEP> Disk <SEP> 1 <SEP> --- <SEP> e <SEP> = <SEP> lmm <SEP> Disk <SEP> 2 <SEP> --- <SEP> e <SEP> = <SEP> 0.1 <SEP> mm 
<tb> 4 <SEP> 8 <SEP> slots <SEP> 4 <SEP> slots <SEP> 8 <SEP> slots
<tb> 1 <SEP> 14.6 <SEP> - <SEP> - <SEP> - 6 <SEP> 70.5 <SEP> 85.9 <SEP> 131.8 <SEP> 69.8
<tb> 8 <SEP> 108.5 <SEP> 115.6 <SEP> 172.8 <SEP> 100.8
<tb> 10 <SEP> 137.5 <SEP> 169.6 <SEP> 198.8 <SEP> 114.6
<tb> 12 <SEP> 206.5 <SEP> 204.6 <SEP> 251.8 <SE> 129.8
<tb> 14 <SEP> 273.5 <SEP> 227.6 <SEP> 307.8 <SE> 145
<tb> 16 <SEP> 319.5 <SEP> 248.6 <SEP> 358.8 <SEP> 192.8
<tb> 18 <SEP> 330.5 <SEP> 268.6 <SEP> 416.8 <SE> 219.8
<tb> 20 <SEP> 354.5 <SEP> 273.6 <SEP> 472.8 <SEP> 231.8
<tb> 22 <SEP> 381.5 <SEP> 292.6 <SEP> 448.8 <SEP> 260.8
<tb> 24 <SEP> 406.5 <SEP> 308.6 <SEP> 460.8 <SEP> 265.8
<tb> 26 <SEP> 457 <SEP> 325.6 <SEQ> 537.8 <SE> 297.8
<tb> 28 <SEP> - <SEP> 341.6 <SEP> - <SEP> 312.8
<tb> 30 <SEP> - <SEP> 354.6 <SEP> - <SEP> 332.8
<tb> 36 <SEP> - <SEP> 418.6 <SEP> - <SEP> 384.8
<tb> 38 <SEP> 407.8
<tb> 40 <SEP> - <SEP> 457.6
<tb> 42 <SEP> 507.8 As can be seen from the results of Table 1, that the four-slit configurations, whether made in the VitonTM membrane or the plastic membrane, provide -for the specifications sought here- limit performance since the maximum overpressure of 5 mbar is reached relatively quickly (from 24 to 11 min of gas).

En revanche, on constate immédiatement que les configurations de disque à huit fentes, dans les deux cas de matériaux, fournissent pleinement satisfaction puisque l'on peut balayer l'enceinte jusqu'à environ 40 Ilmin avant d'atteindre la surpression maximum que l'on s'est fixée d'environ 5 mbar. On the other hand, it is immediately apparent that the eight-slit disk configurations, in both cases of materials, provide full satisfaction since the chamber can be scanned up to about 40 μm before reaching the maximum overpressure that the we fixed about 5 mbar.

On conçoit alors â la lecture de tout ce qui précède, sans qu'il soit nécessaire de commenter beaucoup plus avant, que la solution technique apportée par la présente invention fournit une configuration très simple, légère, de coût extrêmement réduit par rapport aux solutions disponibles sur le marché, tout en offrant sécurité, et une très large fenêtre de procédé quand pour une raison ou pour une autre les conditions de balayage l'enceinte considérée doivent être modifiées. It is thus conceivable, on reading all of the foregoing, without it being necessary to comment much further, that the technical solution provided by the present invention provides a very simple, lightweight configuration of extremely low cost compared to the available solutions. on the market, while offering security, and a very wide window of process when for one reason or another the conditions of scanning the enclosure considered must be modified.

Claims

1. Device for maintaining pressure in an enclosure (10) capable of being swept by a gas whose flow rate may vary, such enclosure which is equipped with gas supply means in the enclosure and means (3) for evacuation of the gas from the enclosure, characterized in that the evacuation means comprise at least one piece (d, d ') slotted made of a flexible material, and adapted to be deformed (e) reversibly from a determined overpressure threshold in the chamber.

2. Device according to claim 1, characterized in that the overpressure threshold in the chamber from which the workpiece is able to deform reversibly is greater than or equal to 0.1 mbar.

3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that the pressure threshold in the chamber from which the part is able to deform reversibly is greater than or equal to 1 mbar.

4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the part comprises at least one slot not passing through its center.

5. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the part comprises at least two slots starting substantially from its center.

6. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the part comprises at least four slots starting substantially centrally.

7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that said evacuation means are located at one of the walls of the enclosure, at a location where said wall has an exhaust opening, said piece being kept applied on the opening.

8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the gas flow rate may vary in at least two regimes, a regime adopting a standby rate, and a regime adopting a reconditioning rate of the enclosure , said part being able to deform reversibly during the transition to the repackaging regime.

9. Device according to one of the preceding claims, characterized in that said enclosure is an article storage chamber under controlled atmosphere.

10. Device according to claim 9, characterized in that said enclosure is a chamber for storing electronic components in a controlled atmosphere.

11. Device according to claim 9, characterized in that said enclosure is an enclosure for storing food products in a controlled atmosphere.