FR2772473B1 - Procede pour realiser une jauge de contrainte et jauge de contrainte obtenue par la mise en oeuvre du procede - Google Patents
Procede pour realiser une jauge de contrainte et jauge de contrainte obtenue par la mise en oeuvre du procedeInfo
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| US4504518A (en) * | 1982-09-24 | 1985-03-12 | Energy Conversion Devices, Inc. | Method of making amorphous semiconductor alloys and devices using microwave energy |
| JPH0670969B2 (ja) * | 1984-09-13 | 1994-09-07 | 株式会社長野計器製作所 | シリコン薄膜ピエゾ抵抗素子の製造法 |
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1997
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