[go: up one dir, main page]

ES2361324T3 - Circuito de procesamiento de señales que comprende un transistor con efecto de campo sensible a iones y un procedimiento de control de una propiedad de un fluido. - Google Patents

Circuito de procesamiento de señales que comprende un transistor con efecto de campo sensible a iones y un procedimiento de control de una propiedad de un fluido. Download PDF

Info

Publication number
ES2361324T3
ES2361324T3 ES05752509T ES05752509T ES2361324T3 ES 2361324 T3 ES2361324 T3 ES 2361324T3 ES 05752509 T ES05752509 T ES 05752509T ES 05752509 T ES05752509 T ES 05752509T ES 2361324 T3 ES2361324 T3 ES 2361324T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
ion
field effect
transistor
effect transistor
metal oxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
ES05752509T
Other languages
English (en)
Inventor
Christofer Toumazou
Bhusana c/o Imperial College PREMANODE
Leila Shepherd
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DNAE Group Holdings Ltd
Original Assignee
DNAE Group Holdings Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DNAE Group Holdings Ltd filed Critical DNAE Group Holdings Ltd
Application granted granted Critical
Publication of ES2361324T3 publication Critical patent/ES2361324T3/es
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/414Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
    • G01N27/4148Integrated circuits therefor, e.g. fabricated by CMOS processing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/414Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/414Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
    • G01N27/4145Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS specially adapted for biomolecules, e.g. gate electrode with immobilised receptors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
  • Heterocyclic Carbon Compounds Containing A Hetero Ring Having Oxygen Or Sulfur (AREA)
  • Junction Field-Effect Transistors (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Abstract

Un circuito de procesamiento de señales que comprende un transistor con efecto de campo sensible a iones un electrodo de referencia para el transistor con efecto de campo sensible a iones un transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, y un circuito de polarización para polarizar el transistor con efecto de campo sensible a iones y el transistor con efecto de campos de semi-conductor de óxido metálico, para que funcionen en la región de inversión débil, y proporcionen una señal de corriente de salida, caracterizado porque dicho transistor de semi-conductor de óxido metálico tiene su puerta acoplada al electrodo de referencia.

Description

Campo de la invención
La presente invención se refiere a transistores con efecto de campo sensibles a iones y a sistemas de procesamiento y control que utilizan transistores con efecto de campo sensibles a iones.
Antecedentes de la invención
El transistor con efecto de campo sensible a iones (ISFET) está basado en un MOSFET con una puerta remota (o “electrodo de referencia”) situada por debajo del aislante químicamente sensible. La superficie del aislante está expuesta a un electrolito sobre el cual tienen que realizarse las mediciones. Un ISFET típico usa el escenario ilustrado en la Figura 1. Los efectos de campo de la interacción de carga iónica en la superficie del aislante provocan desplazamientos en la corriente de drenaje del ISFET frente a la puerta para la característica de tensión de la fuente (ID-VGS), como se ilustra en la Figura 2. El aislante en contacto con el electrolito se elige de acuerdo con sus propiedades químicas y sensibilidad a un ión particular.
Para los ISFET diseñados para medir el pH de un electrolito, es decir, el contenido de ión H+ del electrolito, se usan habitualmente membranas de nitruro de silicio y óxido de aluminio para aislar la puerta. Los ISFET pueden hacerse sensibles a iones distintos de H+ mediante la elección de la membrana sensible a iones, añadiendo de esta manera un elemento de sensibilidad de iones. Los ISFET cuya membrana está modificada para que sea selectiva a una especie iónica particular se conocen como ChemFET, con una variación adicional conocida como EnFET, usando enzimas en proximidad cercana a la superficie de la membrana. Se ha demostrado también que incluso los pH-ISFET convencionales con membranas de SI3N4 no modificadas presentan una sensibilidad medible aunque limitada a iones K+ y Na+. Es decir, las aplicaciones prácticas y comerciales de los ISFET para aplicaciones distintas de detectar pH son raras. No obstante, en el siguiente análisis, el término ISFET se usa tanto específicamente para referirse a un detector de pH como generalmente para referirse a todos los FET sensibles a iones y enzimas que funcionan con principios similares.
El atractivo de los ISFET y sus homólogos basados en FET es que son compatibles con los procedimientos de fabricación convencionales usados para producir en masa chips informáticos y, por lo tanto, pueden producirse de forma fiable y económica. Es importante que el procesamiento del circuito pueda integrarse en el mismo chip que el propio dispositivo ISFET. La integración del circuito inteligente con el propio dispositivo de detección es lo que se requiere para el desarrollo de los denominados “detectores inteligentes”, que requieren robustez para condiciones de detección no ideales, así como para proporcionar electrónica para discriminar entre los compuestos químicos “en el chip”.
El modo operativo normal de un IFSET es la región de inversión fuerte de la característica ID-VGS. En esta región, la puerta para la tensión de la fuente supera la tensión umbral VTH, dando como resultado una inversión fuerte del canal subyacente a la puerta. Para este modo de operación, la corriente de drenaje está relacionada con la tensión de la puerta mediante una ley cuadrática o una relación lineal.
Haciendo referencia de nuevo a la Figura 1, cualquier tensión aplicada al electrodo de referencia de un ISFET está acoplada de manera capacitiva a través del electrodo a la superficie del aislante, donde una carga de iones, dependiente del pH, sobre esta interfaz, modula la corriente del canal, provocando los desplazamientos observados en la característica de transferencia del ISFET, modulando de esta manera su tensión umbral Vth. Suponiendo que el ISFET funciona en el modo de corriente de drenaje constante, con un drenaje-tensión de la fuente constante, la puerta para la tensión de la fuente refleja directamente el potencial interfacial sensible a pH en la interfaz de la puerta, es decir:
pH = pHcal + Vgs/S, (1)
en la que pHcal es el pH de un líquido de calibrado a 37 ºC y S es la sensibilidad a pH del ISFET. La derivación de esta relación se detalla adicionalmente en "ISFET, Theory and Practice", P. Bergveld, IEEE Sensor Conference, Toronto, October 2003. Sin embargo, este enfoque supone una temperatura constante y, en cualquier enfoque práctico, debe aplicarse una compensación de temperatura.
El enfoque convencional para compensar las mediciones para los efectos de temperatura consiste en modelar la dependencia de la temperatura de un sistema, medir la temperatura en paralelo con el pH, y corregir el pH medido en base al modelo y la temperatura medida. Aunque eficaz, este enfoque tiene numerosas desventajas. En primer lugar, depende de la provisión de un detector de temperatura, que típicamente comprende un resistor sensible a temperatura integrado en el mismo chip que el ISFET. En segundo lugar, debe proporcionarse la energía de procesamiento para realizar la corrección. En tercer lugar, el procedimiento de corrección de los valores de pH medidos tarda un tiempo. En un sistema típico, los valores de pH y temperatura se convierten en sus equivalentes digitales, antes de realizar el procesamiento adicional con un microprocesador o CPU. Si fuera necesario, las salidas de control digital se convierten en sus equivalentes analógicos antes de la aplicación a un dispositivo a controlar.
Desde hace mucho se ha reconocido que un área clave en la que pueden aplicarse los ISFET es la de los detectores implantables y/o que pueden llevarse puestos. Los requisitos del diseño de ISFET convencional esbozados en el párrafo anterior no coinciden demasiado con dichos detectores, que tienen que ser pequeños, para consumir bajos niveles de energía y ser extremadamente precisos. Especialmente cuando los detectores forman parte de un bucle de control, por ejemplo controlando un sistema de administración de fármaco, también deben ser extremadamente precisos.
El documento US 4.795.825 describe un dispositivo para liberar una sustancia en un animal. Con referencia al circuito de la Figura 10, este comprende un ChemFET que se describe como que funciona en el modo sub-umbral (es decir, inversión débil) como un medio para conseguir un consumo de energía bajo.
Sumario de la invención
De acuerdo con un primer aspecto de la presente invención, se proporciona un circuito de procesamiento de señales que comprende un transistor con efecto de campo sensible a iones un electrodo de referencia para el transistor con efecto de campo sensible a iones un transistor de semi-conductor de óxido metálico, que tiene su puerta acoplada al electrodo de referencia, y un circuito de polarización para polarizar el transistor con efecto de campo sensible a iones y el transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, para que funcionen en una región de inversión débil y proporcionar una señal de corriente de salida.
Las realizaciones de la invención tienen la ventaja significativa de que una salida del transistor con efecto de campo sensible a iones está compensada para los efectos de temperatura sobre el ión detectado mediante las características intrínsecas del transistor con efecto de campo sensible a iones.
Preferentemente, el transistor con efecto de campo sensible a iones el transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, y el circuito de polarización están integrados en un solo chip.
El circuito de procesamiento de señales puede estar configurado para determinar la concentración de ión hidrógeno de un medio al que puede exponerse el transistor o transistores con efecto de campo sensibles a iones.
El circuito de procesamiento de señales puede comprender uno o más transistores bipolares.
Un transistor con efecto de campo sensible a iones del circuito de procesamiento de señales puede estar acoplado a un transistor de semi-conductor de óxido metálico en una disposición de espejo de corriente. Preferentemente, el transistor con efecto de campo sensible a iones y el transistor de semi-conductor de óxido metálico están ajustados eléctricamente.
En ciertas realizaciones de la invención, el ISFET comprende un revestimiento de membrana sobre la puerta, teniendo la membrana una sensibilidad a la concentración de ión hidrógeno en un electrolito al que puede exponerse la membrana.
El circuito de procesamiento de señales puede comprender un circuito multiplicador-divisor dispuesto para recibir la salida del espejo de corriente e invertir la señal de salida del espejo de corriente, proporcionando de esta manera una señal de salida que es directamente proporcional a la concentración de ión hidrógeno. El circuito multiplicadordivisor comprende una pluralidad de transistores con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, y un circuito de polarización para polarizar estos transistores con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, para que funcionen en la región de inversión débil.
De acuerdo con un segundo aspecto de la presente invención, se proporciona un procedimiento para controlar una propiedad de un medio, usando un transistor con efecto de campo sensible a iones comprendiendo el procedimiento:
acoplar la puerta de un transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, a un electrodo de referencia para el transistor con efecto de campo sensible a iones; polarizar el transistor con efecto de campo sensible a iones y el transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, en la región de inversión débil; exponer el transistor con efecto de campo sensible a iones a dicho medio; y analizar una corriente de salida del transistor con efecto de campo sensible a iones que varía dependiendo de dicha propiedad.
Breve descripción de los dibujos
La Figura 1 ilustra esquemáticamente un ISFET en un escenario de uso típico;
La Figura 2 muestra las características ID-VGS del ISFET de la Figura 1, a diversos niveles de pH;
La Figura 3 ilustra esquemáticamente un MOSFET de silicio con canal p;
La Figura 4 ilustra un espejo de corriente que comprende un ISFET;
La Figura 5 ilustra un HCell para medir la concentración de ión hidrógeno;
La Figura 6 muestra la característica IV del Hcell de la Figura 5;
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
La Figura 7 ilustra esquemáticamente un inversor CMOS; La Figura 8 muestra las características de conmutación del inversor de la Figura 7; La Figura 9 ilustra la polarización del umbral de conmutación provocado por el cambio de pH en un inversor CMOS que comprende un ISFET; La Figura 10 muestra las propiedades de conmutación de un inversor ISFET a diferentes tensiones de entrada; La Figura 11 muestra un ISFET basado en una puerta NAND y la tabla de decisión correspondiente; y La Figura 12 muestra un ISFET basado en una puerta NOR y la tabla de decisión correspondiente.
Descripción detallada de ciertas realizaciones de la invención
Un FET con canal n, como el ilustrado en la Figura 3, es un dispositivo de cuatro terminales, que consiste en un sustrato de silicio de tipo p (B) y dos pocillos de tipo n altamente dopados, conocidos como la fuente (S) y el drenaje (D). La superficie de silicio está cubierta con un aislante de dióxido de silicio. Un contacto en la puerta de polisilicio
(G) controla la carga dentro de la región bajo la superficie del aislante, entre la fuente y el drenaje, conocido como el canal.
A medida que aumenta la tensión VG aplicada a la puerta, la carga positiva se repele inicialmente desde el canal formando una capa de agotamiento sin soportes de carga móvil y una carga negativa neta. A medida que la tensión de la puerta se aumenta adicionalmente, esta capa de agotamiento se ensancha hasta que los electrones empiezan a extraerse de la fuente y drenarse hacia el canal, formando una capa de inversión. El transistor normalmente funciona por encima de una cierta tensión umbral para la que el canal está fuertemente invertido, y los electrones móviles en la capa de inversión derivan a través del canal cuando se aplica una diferencia de potencial entre el drenaje y la fuente. Como ya se ha indicado, para este modo de operación, la corriente de drenaje está relacionada con la tensión de la puerta por una ley cuadrática o una relación lineal.
El modo de operación denominado “inversión débil” implica mantener la tensión de la puerta menor que la tensión umbral, de manera que el canal esté agotado y solo exista una capa de inversión fina. En la inversión débil, la carga móvil en la capa de inversión fina es demasiado baja para contribuir significativamente a cualquier corriente de deriva a través del campo eléctrico horizontal. La corriente de drenaje en la inversión débil se debe a la difusión de los electrones a través de un gradiente de concentración entre la fuente y el drenaje. Puesto que las concentraciones de electrones en la fuente y el drenaje y a lo largo del canal están relacionadas con los potenciales de barrera en esos puntos por la distribución de Boltzmann, se deduce que la corriente de drenaje está relacionada exponencialmente con Vs, Vd y Vg respecto a Vb, escalado mediante la tensión térmica UT=kT/q o RT/F. Es decir:
Id = I0exp(VG/nUT)[exp(-VS/UT)-exp(-VD/UT)] (2)
en la que I0 es el multiplicador pre-exponencial y n es el factor de pendiente sub-umbral.
Para el ISFET, el electrodo de referencia actúa como una puerta remota y la membrana químicamente sensible depositada encima del aislante de SiO2 está expuesta directamente a la solución de muestra. La extensión de la inversión en el canal por debajo del aislante depende no solo de la tensión aplicada al electrodo de referencia, sino también de la acumulación de carga de los iones en solución sobre la membrana de detección. La acumulación de iones en la superficie de la membrana está relacionada con la concentración de las especies iónicas en la muestra mediante modelos de unión al sitio y de doble capa de Gouy-Chapman. Puesto que cualquier acumulación de carga positiva sobre la superficie de la membrana debe mirarse como una acumulación de carga negativa en el canal, los cambios en la concentración iónica de la muestra se reflejarán directamente en la corriente de drenaje de inversión débil del ISFET.
Un conocimiento de la relación entre la carga de la superficie de la membrana y la concentración de las especies, junto con el hecho de que la corriente del ISFET de inversión débil es proporcional a la carga de la superficie de la membrana, significa que pueden usarse circuitos electrónicos que realizan una manipulación matemática sencilla para obtener una relación directa entre la concentración de las especies y la corriente, incluso en ChemFET y EnFET. Adicionalmente, la sensibilidad de la corriente de ISFET de inversión débil a la concentración de iones es independiente de la temperatura, puesto que las distribuciones de Boltzmann en escala de temperatura, tanto de los electrones en el canal como de los iones en la solución, se cancelan entre sí.
La ecuación de señal mayor para la corriente de drenaje en un MOFSET polarizado en la región de inversión débil se da mediante:
imagen1
5
10
15
20
25
30
35
40
en la que β=KW/L, VTO es la tensión umbral para VBS=0 y n es el factor de pendiente sub-umbral y se supone saturación para VDS > 4UT. Esta ecuación también mantiene un ISFET invertido débilmente, puesto que todos los fenómenos químicos adicionales están representados como la modulación de su tensión de umbral mediante un potencial a través del electrolito, que es linealmente proporcional al pH. Puesto que el pH está relacionado exponencialmente con la concentración de ión hidrógeno, puede desarrollarse una relación directa entre la concentración de ión hidrógeno y la corriente del drenaje de inversión débil.
Cualquier circuito que extraiga el potencial a través del electrolito y lo convierta en una señal de corriente de inversión débil es de interés significativo para el procesamiento de señales químicas en tiempo real, puesto que la concentración de ión hidrógeno es un parámetro más natural para el procesamiento de señales que el pH. El espejo de corriente, ilustrado en la Figura 4, es el más sencillo de dichos circuitos.
Si un ISFET conectado al diodo está polarizado con una fuente de corriente y su electrodo de referencia está conectado a la puerta de un MOSFET como en la Figura 4 y, suponiendo dispositivos ajustados geométrica y eléctricamente, e ignorando el error VDS, entonces I1 ≠ I2 porque Vth entre el ISFET y el MOSFET, que se conoce de (1), es igual a Vchem.
Usando la ecuación (3) para dispositivos saturados, ajustados perfectamente:
imagen1
Sustituyendo en la relación logarítmica entre el pH y la concentración de ión hidrógeno, pH=-log10[H+], se encuentra que la proporción de corriente ID2/ID1 es proporcional a una potencia conocida de la concentración de ión hidrógeno y es independiente de los efectos de la temperatura:
imagen1
Este resultado significativo muestra que la corriente de drenaje en un ISFET invertido débilmente está controlada exponencialmente por sus potenciales fuente de puerta y fuente complementaria y se escala mediante un parámetro independiente de la temperatura, que es proporcional a una potencia conocida (menor que la unidad, puesto que 0<a<1 y n>1) de la concentración de ión hidrógeno, es decir:
imagen1
La insensibilidad a la temperatura del ISFET polarizado en la región de inversión débil lo hace ideal para su uso en la fase de transducción de un sensor químico. El uso de MOSFET en inversión débil también es ventajoso para el procesamiento del circuito en el chip, puesto que la relación exponencial entre la corriente de drenaje y las tensiones terminales pueden explotarse para implementar la manipulación matemática usando circuitos de baja potencia muy sencillos.
Para obtener una corriente de salida que sea directamente proporcional a [H+], se requiere alguna manipulación adicional de la ecuación (5). Los circuitos translineales que explotan la relación lineal entre la transconductancia y la corriente de drenaje en los transistores MOS de sub-umbral pueden usarse para realizar la multiplicación, división y funciones de ley de potencia en las señales de corriente (aunque los transistores bipolares que presentan esta relación podrían usarse como alternativa o adicionalmente).
El circuito ilustrado en la Figura 5 se presenta como un ejemplo de una fase de entrada cuya salida es una corriente Isal directamente proporcional al número de iones H+ (protones) en el total del electrolito. Este circuito se denomina aquí como “HCell”. Es ilustrativo de cómo de apto es explotar el comportamiento exponencial de los transistores con efecto de campo en inversión débil para obtener parámetros químicos reales directamente. El ISFEST usado en HCell tiene su membrana sensible a iones adaptada químicamente, de manera que su sensibilidad a pH da α/n=0,5.
Suponiendo saturación e ignorando el error VDS, puede mostrarse a partir de la ecuación (3) que las corrientes de drenaje entre el ISFET X2 y MOFSET M1 están relacionadas mediante:
imagen1
en la que VT0 = VT0(ISFET) -VT0(MOS) = Vchem
Para el circuito mostrado en la Figura 5, suponiendo dispositivos ajustados geométrica y eléctricamente con dimensiones del dispositivo iguales y masas internas conectadas a tierra, la ecuación (7) se convierte en:
imagen1
en la que
imagen1
10 La tensión de referencia Vref se usa para ajustar el punto de polarización de manera que ambos M1 y X2 funcionan en una inversión débil. El límite sobre el intervalo de entrada de pH es el intervalo de tensión de la región de inversión débil operable y la sensibilidad del pH S. Para regiones de inversión débil con un intervalo VGS de aproximadamente 400 mV, los ISFET típicos con sensibilidad de 50 mV/pH tienen 7 u 8 unidades de pH de intervalo dinámico.
15 Los transistores M3 a M6 forman un bucle translineal para el que, usando el principio translineal, se obtiene la relación:
imagen1
Sustituyendo en el resultado de (8)
imagen1
20 Ajustando Ib1=Ib2, se obtiene una relación directa entre la proporción de corriente lsa/lb1 y [H+]:
imagen1
Este enfoque ratiométrico al procesamiento de señales reduce la dependencia de la temperatura del circuito, suponiendo que los dispositivos están en proximidad cercana. Usando una tensión de referencia Vref de Temperatura Proporcional a Absoluta (PTAT) y suponiendo que Kchem y α son independientes de la temperatura hasta un primer
25 orden de aproximación, se observa que la proporción de corriente es directamente proporcional a la concentración de ión hidrógeno, con una compensación de temperatura inherente.
5
10
15
20
25
30
35
40
45
El circuito de la Figura 5 se simuló en una tecnología AMS de 0,8 µ, usando una versión simplificada del macro modelo Martinoia para un ISFET de nitruro de silicio, con pHpzc=3 y sensibilidad a pH perfectamente lineal (constante α para todos los pH y temperaturas). Se encontró que n≈1,43 y α se eligió para que fuera 0,715, correspondiente a una sensibilidad de 42,6 mV/pH a T=300K.
Vdd = 1,8 V, lb1=lb2=10nA, y Vref se eligió para que fuera 50 mV para centrar la región de operación a pH 7. La
imagen2
. Se eligieron dimensiones mayores (W=432 µm, L=8 µm) para X2 y M1, para minimizar el efecto de los errores de ajuste. W/L para transistores M3 a M6 era de 40 µm/8 µm.
Ampliar los principios presentados en el presente documento a un circuito con varios ISFET, cada uno de los cuales codifica una concentración iónica diferente, permitiría que cualquier ecuación química que implica productos, cocientes y relaciones de potencia de concentración iónica, se procesara en tiempo real. Explotar los cuatro terminales del ISFET mediante el uso de la masa interna o “puerta trasera” como una segunda entrada para manipulaciones translineales aumenta adicionalmente la flexibilidad de estos principios. Adicionalmente, la inclusión de condensadores abre este principio a un campo completo de ecuaciones diferenciales para la cinética de reacción.
El espejo ISFET-MOFSET es la fase de entrada de modo corriente más simple, y se ha presentado aquí para ilustrar cómo de apto es convertir la modulación de la tensión de umbral provocada por fenómenos químicos a una corriente. Reemplazando el MOFSET en esta configuración con un ISFET casi insensible al pH (conocido como REFET) permitiría el uso de un electrodo de cuasi-referencia en estado sólido, puesto que el potencial de electrodo inestable y desconocido es común a ambos ISFET y RESET, y se cancela en la topología de espejo de corriente. La diferencia en la tensión de umbral VTH es menor entre un ISFET y REFET que entre un ISFET y un MOFSET,
disminuyendo los errores VDS y reduciendo la Vpolarización, reduciendo de esta manera el consumo de energía. El ajuste podría mejorarse también. Para un circuito más robusto con mayor SNR, podría usarse una fase de entrada completamente diferencial.
Los conceptos de detección inteligente basados en operación de inversión débil de las aplicaciones de transistor, más allá de la discriminación química usando la selectividad de las membranas, incluyen:
Control de la reacción en tiempo real, y procesamiento de datos analíticos
Secuenciación de ADN
Valoraciones ácido-base rápidas usando modelos cinéticos para extraer la información analítica buscada, bastante antes de alcanzar el punto de equivalencia.
Implementación de “árboles de decisión química” usando ISFET y otros detectores directamente como dispositivos lógicos (verdadero/falso) con umbrales ajustables.
Diagnósticos médicos usando control en tiempo real de proporciones de metabolitos en sangre y orina.
Puentes neurales.
Detección de impurezas.
Además de su adecuabilidad para su uso en una fase de entrada al transductor, el ISFET que funciona en la inversión débil puede proporcionar un bloque de construcción básico para el procesamiento digital de señales relacionadas químicamente.
El inversor CMOS convencional ilustrado en la Figura 7 tiene la característica de transferencia de tensión mostrada en la Figura 8, cuando funciona en la región de inversión débil. Para la región de inversión débil, en saturación, y suponiendo VBS=0, la corriente de drenaje se da mediante:
imagen1
en la que n es el parámetro de pendiente sub-umbral, β=KW/L, UT es la tensión térmica y VT0 es la tensión umbral intrínseca.
En el umbral de conmutación Vinth, M1 y M2 tienen corrientes de drenaje iguales.
imagen3
5
10
15
20
25
30
imagen4
en la que las pendientes de sub-umbral para NMOS y PMOS se suponen iguales.
Si NMOS M1 de la Figura 7 se reemplaza por un ISFET de canal n entonces, dado que Vth(IFSET) = Vth(MOS) + Vchem, el umbral de conmutación vendrá dado como:
La Figura 9 ilustra el desplazamiento en el umbral de conmutación provocado por el cambio de pH. Una consecuencia de esta característica es que si vi es fijo, entonces la conmutación ocurrirá exclusivamente debido a cambios en el pH. Además, el umbral de pH al que ocurre esta conmutación puede ajustarse mediante la elección de vi como se muestra en la Figura 10. Para ilustración, se muestra que la salida es alta para pH ≥ 4 cuando vi está fijoa 0 V y para pH ≥ 8 cuando vi=100 mV.
El significado de esto es que el circuito de la Figura 7 puede usarse como un comparador cuya salida es alta para un pH mayor que un umbral definido por la tensión de entrada fija en la puerta, vi.
Las puertas lógicas pueden construirse también usando el ISFET que funciona en la región de inversión débil. En el circuito de la Figura 11, por ejemplo, VGA ajusta el umbral de pH PthA y VGB ajusta pthB. El ISFET de canal n está en saturación para pH < pth. La salida Y solo será 0 cuando ambos ISFET estén en saturación; para todos los demás estados la salida es 1, como se muestra en la tabla de decisión de NAND. Visto desde otra perspectiva, puede decirse que la salida es alta para pHA ≥ pthA O pHB ≥ PthB
Mediante un análisis similar, la salida en el circuito de la Figura 12 es alta solo cuando el pHA ≥ PthA Y pHB ≥ pthB, como puede deducirse de la tabla de decisión NOR (suponiendo de nuevo que VGA ajusta el umbral de pH PthA y VGB ajusta pthB).
Se ha mostrado que los ISFET pueden usarse para implementar las puertas lógicas básicas, que funcionan no mediante 0 y 1 en la entrada de la puerta, sino mediante un pH < o > que un umbral elegido. Los ISFET son, por lo tanto, muy adecuados para la implementación directa de funciones lógicas más complejas.
Los expertos en la materia apreciarán que pueden hacerse diversas modificaciones a las realizaciones descritas anteriormente, sin alejarse del ámbito de la invención. En una modificación, la única puerta ISFET descrita anteriormente se reemplaza por una multi-puerta ISFET. En otra modificación, la “puerta trasera” o sustrato se usa como una entrada adicional del dispositivo.
Se apreciará también que pueden crearse sistemas matemáticos “dinámicos” que incluyen sistemas de compresión instantánea añadiendo condensadores a las puertas de los ISFET (y otros MOSFET del circuito asociado), convirtiendo de esta manera las características en funciones bioquímicas de dominio temporal no lineal, de señal grande, por ejemplo filtros y procesadores de dominio log. Dicha funcionalidad depende de características exponenciales/logarítmicas del MOFSET de inversión débil.

Claims (8)

  1. REIVINDICACIONES
    1.
    Un circuito de procesamiento de señales que comprende un transistor con efecto de campo sensible a iones un electrodo de referencia para el transistor con efecto de campo sensible a iones un transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, y un circuito de polarización para polarizar el transistor con efecto de campo sensible a iones y el transistor con efecto de campos de semi-conductor de óxido metálico, para que funcionen en la región de inversión débil, y proporcionen una señal de corriente de salida, caracterizado porque dicho transistor de semi-conductor de óxido metálico tiene su puerta acoplada al electrodo de referencia.
  2. 2.
    Un circuito de acuerdo con la reivindicación 1, en el que el transistor con efecto de campo sensible a iones el transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, y el circuito de polarización están integrados en un solo chip.
  3. 3.
    Un circuito de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que el circuito de procesamiento de señales está configurado para determinar la concentración de ión hidrógeno de un medio al que puede exponerse el transistor con efecto de campo sensible a iones.
  4. 4.
    Un circuito de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que dicho transistor con efecto de campo sensible a iones está acoplado a dicho transistor de semi-conductor de óxido metálico, en una disposición de espejo de corriente.
  5. 5.
    Un circuito de acuerdo con la reivindicación 4, en el que el transistor con efecto de campo sensible a iones y el transistor de semi-conductor de óxido metálico están en concordancia eléctricamente.
  6. 6.
    Un circuito de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que el circuito de procesamiento de señales comprende un circuito multiplicador-divisor dispuesto para recibir la salida del espejo de corriente, e invertir la señal de salida del espejo de corriente, proporcionado de esta manera una señal de salida que es directamente proporcional a la concentración de ión hidrógeno, comprendiendo el circuito multiplicador-divisor una pluralidad de transistores con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, y un circuito de polarización, para polarizar estos transistores con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, para que funcionen en la región de inversión débil.
  7. 7.
    Un circuito de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que el transistor con efecto de campo sensible a iones comprende un revestimiento de membrana sobre la puerta, teniendo la membrana una sensibilidad a la concentración de ión hidrógeno de un electrolito al que puede exponerse la membrana.
  8. 8.
    Un procedimiento para controlar una propiedad de un medio usando un transistor con efecto de campo sensible a iones comprendiendo el procedimiento:
    acoplar la puerta de un transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, a un electrodo de referencia para el transistor con efecto de campo sensible a iones; polarizar el transistor con efecto de campo sensible a iones y el transistor con efecto de campo de semi-conductor de óxido metálico, en la región de inversión débil; exponer el transistor con efecto de campo sensible a iones a dicho medio; y analizar una corriente de salida del transistor con efecto de campo sensible a iones que varía dependiendo de dicha propiedad.
ES05752509T 2004-07-13 2005-06-22 Circuito de procesamiento de señales que comprende un transistor con efecto de campo sensible a iones y un procedimiento de control de una propiedad de un fluido. Expired - Lifetime ES2361324T3 (es)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB0415633 2004-07-13
GB0415633A GB2416210B (en) 2004-07-13 2004-07-13 Ion sensitive field effect transistors

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2361324T3 true ES2361324T3 (es) 2011-06-16

Family

ID=32893482

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES05752509T Expired - Lifetime ES2361324T3 (es) 2004-07-13 2005-06-22 Circuito de procesamiento de señales que comprende un transistor con efecto de campo sensible a iones y un procedimiento de control de una propiedad de un fluido.
ES10194215.9T Expired - Lifetime ES2674618T3 (es) 2004-07-13 2005-06-22 Circuito de procesamiento de señales digitales que comprende un transistor de efecto de campo sensible a iones y método de monitorización de una propiedad de un fluido

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES10194215.9T Expired - Lifetime ES2674618T3 (es) 2004-07-13 2005-06-22 Circuito de procesamiento de señales digitales que comprende un transistor de efecto de campo sensible a iones y método de monitorización de una propiedad de un fluido

Country Status (9)

Country Link
US (2) US7649358B2 (es)
EP (2) EP2295957B1 (es)
JP (2) JP4801064B2 (es)
CN (2) CN101292156B (es)
AT (1) ATE499602T1 (es)
DE (1) DE602005026528D1 (es)
ES (2) ES2361324T3 (es)
GB (1) GB2416210B (es)
WO (1) WO2006005967A1 (es)

Families Citing this family (107)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7692219B1 (en) 2004-06-25 2010-04-06 University Of Hawaii Ultrasensitive biosensors
GB2416210B (en) * 2004-07-13 2008-02-20 Christofer Toumazou Ion sensitive field effect transistors
US11001881B2 (en) 2006-08-24 2021-05-11 California Institute Of Technology Methods for detecting analytes
JP4777159B2 (ja) * 2006-06-26 2011-09-21 キヤノン株式会社 デュアルゲート型センサ
WO2008007716A1 (fr) * 2006-07-13 2008-01-17 National University Corporation Nagoya University Dispositif de détection de matériau
US11525156B2 (en) 2006-07-28 2022-12-13 California Institute Of Technology Multiplex Q-PCR arrays
US8048626B2 (en) 2006-07-28 2011-11-01 California Institute Of Technology Multiplex Q-PCR arrays
US11560588B2 (en) 2006-08-24 2023-01-24 California Institute Of Technology Multiplex Q-PCR arrays
EP4134667B1 (en) 2006-12-14 2025-11-12 Life Technologies Corporation Apparatus for measuring analytes using fet arrays
US8262900B2 (en) 2006-12-14 2012-09-11 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays
US11339430B2 (en) 2007-07-10 2022-05-24 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale FET arrays
US8349167B2 (en) 2006-12-14 2013-01-08 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for detecting molecular interactions using FET arrays
US9034637B2 (en) 2007-04-25 2015-05-19 Nxp, B.V. Apparatus and method for molecule detection using nanopores
WO2009017882A2 (en) 2007-06-08 2009-02-05 Takulapalli Bharath R Nano structured field effect sensor and methods of forming and using same
US20110031986A1 (en) * 2008-04-11 2011-02-10 Navakanta Bhat Sub-Threshold Capfet Sensor for Sensing Analyte, A Method and System Thereof
EP2982437B1 (en) 2008-06-25 2017-12-06 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes using large scale fet arrays
DE102008041960A1 (de) * 2008-09-10 2010-03-11 Robert Bosch Gmbh Messsensor, Verfahren zum Analysieren einer unpolaren Flüssigkeit, Verfahren zum Herstellen eines Messsensors
US20100137143A1 (en) 2008-10-22 2010-06-03 Ion Torrent Systems Incorporated Methods and apparatus for measuring analytes
US20100301398A1 (en) 2009-05-29 2010-12-02 Ion Torrent Systems Incorporated Methods and apparatus for measuring analytes
JP4524407B2 (ja) * 2009-01-28 2010-08-18 学校法人明治大学 半導体装置
US8574835B2 (en) 2009-05-29 2013-11-05 Life Technologies Corporation Scaffolded nucleic acid polymer particles and methods of making and using
US8776573B2 (en) 2009-05-29 2014-07-15 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
US20120261274A1 (en) 2009-05-29 2012-10-18 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
US8673627B2 (en) 2009-05-29 2014-03-18 Life Technologies Corporation Apparatus and methods for performing electrochemical reactions
US8052931B2 (en) * 2010-01-04 2011-11-08 International Business Machines Corporation Ultra low-power CMOS based bio-sensor circuit
GB201004147D0 (en) * 2010-03-12 2010-04-28 Dna Electronics Ltd Method and apparatus for sensing methylation
EP2588851B1 (en) 2010-06-30 2016-12-21 Life Technologies Corporation Ion-sensing charge-accumulation circuit and method
EP2589084B1 (en) 2010-06-30 2016-11-16 Life Technologies Corporation Transistor circuits for detection and measurement of chemical reactions and compounds
EP2588850B1 (en) 2010-06-30 2016-12-28 Life Technologies Corporation Method for dry testing isfet arrays
US11307166B2 (en) 2010-07-01 2022-04-19 Life Technologies Corporation Column ADC
EP2589065B1 (en) 2010-07-03 2015-08-19 Life Technologies Corporation Chemically sensitive sensor with lightly doped drains
JP5445778B2 (ja) * 2010-08-27 2014-03-19 大日本印刷株式会社 カレントミラー型バイオセンサ及びカレントミラー型バイオセンサの製造方法
JP5413607B2 (ja) * 2010-08-27 2014-02-12 大日本印刷株式会社 カレントミラー型バイオセンサ
JP5447858B2 (ja) * 2010-08-27 2014-03-19 大日本印刷株式会社 カレントミラー型バイオセンサ
EP2617061B1 (en) 2010-09-15 2021-06-30 Life Technologies Corporation Methods and apparatus for measuring analytes
WO2012039812A1 (en) 2010-09-24 2012-03-29 Life Technologies Corporation Matched pair transistor circuits
US9399217B2 (en) 2010-10-04 2016-07-26 Genapsys, Inc. Chamber free nanoreactor system
US9184099B2 (en) 2010-10-04 2015-11-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Biosensor devices, systems and methods therefor
CN103328981B (zh) 2010-10-04 2017-04-12 吉纳普赛斯股份有限公司 用于自动化可重复使用的平行生物反应的系统和方法
GB201017023D0 (en) 2010-10-08 2010-11-24 Dna Electronics Ltd ISFET switch
GB201018224D0 (en) 2010-10-28 2010-12-15 Dna Electronics Chemical sensing device
US20130060482A1 (en) * 2010-12-30 2013-03-07 Life Technologies Corporation Methods, systems, and computer readable media for making base calls in nucleic acid sequencing
US10241075B2 (en) 2010-12-30 2019-03-26 Life Technologies Corporation Methods, systems, and computer readable media for nucleic acid sequencing
US8594951B2 (en) 2011-02-01 2013-11-26 Life Technologies Corporation Methods and systems for nucleic acid sequence analysis
CN103403521B (zh) 2011-03-08 2016-08-10 拉瓦勒大学 流体向心装置
US8585973B2 (en) 2011-05-27 2013-11-19 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Nano-sensor array
US9926596B2 (en) 2011-05-27 2018-03-27 Genapsys, Inc. Systems and methods for genetic and biological analysis
DE102011076977B4 (de) * 2011-06-06 2024-07-25 Robert Bosch Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln eines Messwerts eines chemosensitiven Feldeffekttransistors
KR102003660B1 (ko) 2011-07-13 2019-07-24 더 멀티플 마이얼로머 리서치 파운데이션, 인크. 데이터 수집 및 분배 방법
US10093975B2 (en) 2011-12-01 2018-10-09 Genapsys, Inc. Systems and methods for high efficiency electronic sequencing and detection
US9970984B2 (en) 2011-12-01 2018-05-15 Life Technologies Corporation Method and apparatus for identifying defects in a chemical sensor array
US8747748B2 (en) 2012-01-19 2014-06-10 Life Technologies Corporation Chemical sensor with conductive cup-shaped sensor surface
US8821798B2 (en) 2012-01-19 2014-09-02 Life Technologies Corporation Titanium nitride as sensing layer for microwell structure
CN103308584A (zh) * 2012-03-08 2013-09-18 中国科学院微电子研究所 场效应晶体管气体传感器及其制造方法
GB2500715A (en) * 2012-03-30 2013-10-02 Gene Onyx Ltd Single nucleotide polymorphism detection using an ISFET array
US9341592B2 (en) 2012-04-09 2016-05-17 Bharath Takulapalli Field effect transistor, device including the transistor, and methods of forming and using same
CN102631957B (zh) * 2012-04-13 2014-06-25 北京大学 带有栅压调制功能的超薄封装微流体系统及其制备方法
US8786331B2 (en) 2012-05-29 2014-07-22 Life Technologies Corporation System for reducing noise in a chemical sensor array
GB201212775D0 (en) 2012-07-18 2012-08-29 Dna Electronics Ltd Sensing apparatus and method
US9599586B2 (en) * 2012-08-27 2017-03-21 Infineon Technologies Ag Ion sensor
US9080968B2 (en) 2013-01-04 2015-07-14 Life Technologies Corporation Methods and systems for point of use removal of sacrificial material
US9841398B2 (en) 2013-01-08 2017-12-12 Life Technologies Corporation Methods for manufacturing well structures for low-noise chemical sensors
US8962366B2 (en) 2013-01-28 2015-02-24 Life Technologies Corporation Self-aligned well structures for low-noise chemical sensors
US8841217B1 (en) 2013-03-13 2014-09-23 Life Technologies Corporation Chemical sensor with protruded sensor surface
US8963216B2 (en) 2013-03-13 2015-02-24 Life Technologies Corporation Chemical sensor with sidewall spacer sensor surface
WO2014149778A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Life Technologies Corporation Chemical sensors with consistent sensor surface areas
US9835585B2 (en) 2013-03-15 2017-12-05 Life Technologies Corporation Chemical sensor with protruded sensor surface
US9116117B2 (en) 2013-03-15 2015-08-25 Life Technologies Corporation Chemical sensor with sidewall sensor surface
WO2014149780A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Life Technologies Corporation Chemical sensor with consistent sensor surface areas
WO2014152625A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Genapsys, Inc. Systems and methods for biological analysis
US20140264471A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Life Technologies Corporation Chemical device with thin conductive element
WO2014176179A2 (en) * 2013-04-21 2014-10-30 King-Smith Oliver Ion sensitive device and method of fabrication
US20140336063A1 (en) 2013-05-09 2014-11-13 Life Technologies Corporation Windowed Sequencing
WO2014197891A2 (en) 2013-06-07 2014-12-11 Cornell University Floating gate based sensor apparatus and related floating gate based sensor applications
US10458942B2 (en) 2013-06-10 2019-10-29 Life Technologies Corporation Chemical sensor array having multiple sensors per well
WO2015089238A1 (en) 2013-12-11 2015-06-18 Genapsys, Inc. Systems and methods for biological analysis and computation
ES2542927R1 (es) * 2014-02-11 2015-09-09 Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) Sensor de iones basado en medida diferencial, método de fabricación y método de medida
US9822401B2 (en) 2014-04-18 2017-11-21 Genapsys, Inc. Methods and systems for nucleic acid amplification
US9404884B2 (en) * 2014-04-25 2016-08-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Biosensor device and related method
CN103969314B (zh) * 2014-05-06 2017-02-15 中国农业科学院农业信息研究所 多参数离子传感器及其制备方法、多参数离子传感器芯片和监测系统
US10249741B2 (en) 2014-05-13 2019-04-02 Joseph T. Smith System and method for ion-selective, field effect transistor on flexible substrate
US10676787B2 (en) 2014-10-13 2020-06-09 Life Technologies Corporation Methods, systems, and computer-readable media for accelerated base calling
US10077472B2 (en) 2014-12-18 2018-09-18 Life Technologies Corporation High data rate integrated circuit with power management
EP3234576B1 (en) 2014-12-18 2023-11-22 Life Technologies Corporation High data rate integrated circuit with transmitter configuration
TWI684004B (zh) 2014-12-18 2020-02-01 美商生命技術公司 用於使用大規模fet陣列量測分析物之方法及設備
CN104614404B (zh) * 2015-02-06 2017-05-31 中国科学院微电子研究所 离子敏感场效应管传感器及其读出电路
CN104677967B (zh) * 2015-02-06 2017-05-31 中国科学院微电子研究所 离子敏感场效应管传感器及其电压模式读出电路
KR101744536B1 (ko) * 2015-02-09 2017-06-08 엘지전자 주식회사 방열유닛 및 이를 포함하는 공기조화기의 실외기
KR101729685B1 (ko) 2015-05-21 2017-05-11 한국기계연구원 이온 농도 검출 방법 및 장치
USD799715S1 (en) 2015-10-23 2017-10-10 Gene POC, Inc. Fluidic centripetal device
WO2017155858A1 (en) 2016-03-07 2017-09-14 Insilixa, Inc. Nucleic acid sequence identification using solid-phase cyclic single base extension
US11977069B2 (en) 2016-04-19 2024-05-07 Bharath Takulapalli Nanopore sensor, structure and device including the sensor, and methods of forming and using same
CN107449812B (zh) * 2016-06-01 2020-06-19 张家港万众一芯生物科技有限公司 一种在cmos标准工艺下的生物化学传感器
US10544456B2 (en) 2016-07-20 2020-01-28 Genapsys, Inc. Systems and methods for nucleic acid sequencing
CN106248761A (zh) * 2016-08-01 2016-12-21 严媚 一种高灵敏度酸碱值生物传感器芯片
US11287415B2 (en) * 2016-12-30 2022-03-29 Withings Urine home analyser
CN107090404B (zh) * 2017-04-21 2019-08-13 京东方科技集团股份有限公司 一种基因测序芯片及基因测序方法、基因测序装置
JP2021500858A (ja) 2017-09-21 2021-01-14 ジナプシス インコーポレイテッド 核酸シーケンシングのためのシステム及び方法
TWI661568B (zh) * 2017-10-05 2019-06-01 國立清華大學 感測裝置及生物檢測方法
TWI642171B (zh) * 2017-11-09 2018-11-21 友達光電股份有限公司 感測裝置
MX389484B (es) 2017-11-13 2025-03-20 The Multiple Myeloma Res Foundation Inc Base de datos, de datos moleculares, omicos, de inmunoterapia, metabolicos, epigeneticos y clinicos, integrados
CN109950151B (zh) * 2017-12-20 2022-02-15 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 Pmos晶体管及其形成方法
US11774399B2 (en) * 2017-12-28 2023-10-03 The Regents Of The University Of California Inversion layer gas sensors using bulk silicon chemical sensitive transistors
CN110579525B (zh) * 2018-06-08 2023-08-18 天马日本株式会社 传感器装置
EP3937780A4 (en) 2019-03-14 2022-12-07 InSilixa, Inc. METHODS AND SYSTEMS FOR TIMED FLUORESCENCE-BASED DETECTION
CN114421745B (zh) * 2021-12-21 2025-05-23 科能芯(深圳)半导体有限公司 一种耗尽型功率电路及级联型漏电流匹配电路
CN115639259B (zh) * 2022-09-09 2025-07-25 山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司 一种isfet传感器芯片及isfet传感器

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4236121A (en) * 1978-04-05 1980-11-25 Massachusetts Institute Of Technology Oscillators including charge-flow transistor logic elements
GB8422876D0 (en) * 1984-09-11 1984-10-17 Secr Defence Silicon implant devices
US5250168A (en) * 1990-07-03 1993-10-05 Hitachi, Ltd. Integrated ion sensor
KR930002824B1 (ko) * 1990-08-21 1993-04-10 손병기 감이온 전계효과 트랜지스터를 이용한 바이오 센서용 측정회로
JPH05312778A (ja) * 1992-05-14 1993-11-22 Fuji Electric Co Ltd イオン濃度センサ
US5334888A (en) * 1993-04-19 1994-08-02 Intel Corporation Fast exclusive-or and exclusive-nor gates
WO1994026029A1 (en) * 1993-04-26 1994-11-10 Unifet Incorporated Method and apparatus for multiplexing devices having long thermal time constants
US5414284A (en) * 1994-01-19 1995-05-09 Baxter; Ronald D. ESD Protection of ISFET sensors
US5534713A (en) * 1994-05-20 1996-07-09 International Business Machines Corporation Complementary metal-oxide semiconductor transistor logic using strained SI/SIGE heterostructure layers
US5911873A (en) * 1997-05-02 1999-06-15 Rosemount Analytical Inc. Apparatus and method for operating an ISFET at multiple drain currents and gate-source voltages allowing for diagnostics and control of isopotential points
FR2764702B1 (fr) * 1997-06-11 1999-09-03 Lyon Ecole Centrale Procede d'identification et/ou de dosage de substances biologiques, presentes dans un liquide conducteur, dispositif et capteur d'affinite utiles pour la mise en oeuvre de ce procede
JP4137239B2 (ja) * 1998-08-03 2008-08-20 株式会社堀場製作所 Isfetアレイ
JP3982090B2 (ja) * 1998-12-22 2007-09-26 松下電工株式会社 半導体イオンセンサ
US6856161B2 (en) * 2000-03-30 2005-02-15 Infineon Technologies Ag Sensor array and method for detecting the condition of a transistor in a sensor array
US6417734B1 (en) * 2000-06-26 2002-07-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. High-frequency amplifier circuit with negative impedance cancellation
US7301199B2 (en) * 2000-08-22 2007-11-27 President And Fellows Of Harvard College Nanoscale wires and related devices
GB2370410A (en) * 2000-12-22 2002-06-26 Seiko Epson Corp Thin film transistor sensor
GB0105831D0 (en) * 2001-03-09 2001-04-25 Toumaz Technology Ltd Method for dna sequencing utilising enzyme linked field effect transistors
US7053439B2 (en) * 2002-10-29 2006-05-30 Edwin Kan Chemoreceptive semiconductor structure
US7462512B2 (en) * 2004-01-12 2008-12-09 Polytechnic University Floating gate field effect transistors for chemical and/or biological sensing
GB2416210B (en) * 2004-07-13 2008-02-20 Christofer Toumazou Ion sensitive field effect transistors

Also Published As

Publication number Publication date
WO2006005967A1 (en) 2006-01-19
JP2008506943A (ja) 2008-03-06
US20100159461A1 (en) 2010-06-24
GB2416210A (en) 2006-01-18
JP5509118B2 (ja) 2014-06-04
ATE499602T1 (de) 2011-03-15
CN101292156B (zh) 2011-01-12
EP1774306A1 (en) 2007-04-18
EP1774306B1 (en) 2011-02-23
ES2674618T3 (es) 2018-07-02
JP4801064B2 (ja) 2011-10-26
EP2295957A1 (en) 2011-03-16
US7649358B2 (en) 2010-01-19
US20080265985A1 (en) 2008-10-30
EP2295957B1 (en) 2018-03-28
GB0415633D0 (en) 2004-08-18
JP2011099877A (ja) 2011-05-19
CN101949883A (zh) 2011-01-19
GB2416210B (en) 2008-02-20
CN101949883B (zh) 2013-05-22
CN101292156A (zh) 2008-10-22
DE602005026528D1 (de) 2011-04-07
GB2416210A8 (en) 2007-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2361324T3 (es) Circuito de procesamiento de señales que comprende un transistor con efecto de campo sensible a iones y un procedimiento de control de una propiedad de un fluido.
Chin et al. A novel pH sensitive ISFET with on chip temperature sensing using CMOS standard process
ES2554128T3 (es) Dispositivo ISFET
Chung et al. ISFET performance enhancement by using the improved circuit techniques
Martinoia et al. Modeling ISFET microsensor and ISFET-based microsystems: a review
Sawada et al. Highly sensitive ion sensors using charge transfer technique
Shepherd et al. Towards direct biochemical analysis with weak inversion ISFETS
Chung et al. Temperature compensation electronics for ISFET readout applications
Myers et al. Nitrate ion detection using AlGaN/GaN heterostructure-based devices without a reference electrode
CN106932456A (zh) 用于测试isfet阵列的方法和装置
Naimi et al. Temperature influence on pH-ISFET sensor operating in weak and moderate inversion regime: Model and circuitry
Datar et al. Influence of gate material, geometry, and temperature on ISFET performance in pH sensing applications
Rani et al. ISFET pH sensor characterization: towards biosensor microchip application
US7368917B2 (en) Electronic circuit for ion sensor with body effect reduction
Hebali et al. Enhancement of pH-Sensor Sensitivity Using Si and SiC ISFETs Transistors
Kal et al. Design and modeling of ISFET for pH sensing
Yang et al. A pH-ISFET based micro sensor system on chip using standard CMOS technology
Duarte et al. Back Gate Bias Influence on BESOI ISFET Sensitivity
Félix Production and electrical characterization of microsensors for marine mutagens and carcinogens monitoring
Chung et al. An electronic tongue system design using ion sensitive field effect transistors and their interfacing circuit techniques
Baylav Ion-sensitive field effect transistor (ISFET) for MEMS multisensory chips at RIT
Naumova et al. Interface-State Density in SOI-FET Sensors
KR100199928B1 (ko) 차동형 반도체 화학센서
Temple-Boyer et al. Study of capacitive structures for amplifying the sensitivity of FET-based chemical sensors
Naimi et al. Modeling of the pH-ISFET thermal drift