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EP4472925A1 - Vorrichtung und verfahren zur produktion von siliziumkarbid - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur produktion von siliziumkarbid

Info

Publication number
EP4472925A1
EP4472925A1 EP23702455.9A EP23702455A EP4472925A1 EP 4472925 A1 EP4472925 A1 EP 4472925A1 EP 23702455 A EP23702455 A EP 23702455A EP 4472925 A1 EP4472925 A1 EP 4472925A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
silicon carbide
precursor
interior
heating
reactor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP23702455.9A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Siegmund Greulich-Weber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yellow Sic Holding GmbH
Original Assignee
Yellow Sic Holding GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yellow Sic Holding GmbH filed Critical Yellow Sic Holding GmbH
Publication of EP4472925A1 publication Critical patent/EP4472925A1/de
Pending legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
    • B01J8/08—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with moving particles
    • B01J8/12—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with moving particles moved by gravity in a downward flow
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B01J8/08—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with moving particles
    • B01J8/087—Heating or cooling the reactor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/90—Carbides
    • C01B32/914—Carbides of single elements
    • C01B32/956—Silicon carbide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C01B32/956—Silicon carbide
    • C01B32/963—Preparation from compounds containing silicon
    • C01B32/97—Preparation from SiO or SiO2
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B1/00—Shaft or like vertical or substantially vertical furnaces
    • F27B1/005—Shaft or like vertical or substantially vertical furnaces wherein no smelting of the charge occurs, e.g. calcining or sintering furnaces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B1/00—Shaft or like vertical or substantially vertical furnaces
    • F27B1/10—Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B1/00—Shaft or like vertical or substantially vertical furnaces
    • F27B1/10—Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
    • F27B1/20—Arrangements of devices for charging
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D3/00—Charging; Discharging; Manipulation of charge
    • F27D3/0033—Charging; Discharging; Manipulation of charge charging of particulate material
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    • B01J2208/0053—Controlling multiple zones along the direction of flow, e.g. pre-heating and after-cooling
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    • B01J2208/00796—Details of the reactor or of the particulate material
    • B01J2208/00938—Flow distribution elements

Definitions

  • the invention relates to a device and a method for the production of silicon carbide, in particular for the production of silicon carbide powder.
  • Silicon carbide is an attractive material for many applications because of its high degree of hardness, its thermal conductivity and its special semiconductor properties. However, many of these properties are affected by contamination. High-purity silicon carbide is required above all for further processing in the semiconductor industry.
  • Silicon carbide is typically produced by carbothermal reactions in a reactor (furnace) at high temperatures from a precursor containing Si and C.
  • a precursor containing Si and C examples of the precursor are powders or granules made from SiO 2 and components containing carbon.
  • a well-known process for the production of silicon carbide is the Acheson process, in which the silicon carbide is obtained in batches from silicon dioxide in the form of quartz sand and from carbon in the form of coke in an electric resistance furnace at temperatures of more than 2000 °C.
  • EP 0476422 A1 discloses a method for producing silicon carbide from silicon dioxide powder and soot under argon in a crucible or rotary kiln at temperatures of 1200 to 2000° C. over a period of one hour. These methods are batch processes in which the SiC is produced in batches from a quantity of precursor previously loaded into the reactor. However, batch processes are unsatisfactory for the industrial production of SiC because the quantity in a batch is limited. Reloading the precursor is time-consuming and involves a loss of energy due to the cooling and reheating of the reactor, making it difficult to precisely control the process parameters over the entire production time.
  • the silicon carbide produced in a known manner is not pure enough for many applications, for example in the manufacture of electronics or semiconductors, and must be cleaned at great expense before further processing.
  • the object of the invention is therefore to create a device and a method for the production of silicon carbide that are more efficient than the prior art.
  • the invention allows a continuous production of silicon carbide in a reactor in which the precursor is transformed into silicon carbide while falling through the reactor.
  • the precursor and silicon carbide hardly come into contact with the reactor wall. Therefore there is practically no contamination of the produced silicon carbide in the reactor.
  • the relatively short residence time when falling through the reactor also limits the Ingestion of foreign matter by the precursor and the produced silicon carbide.
  • the invention is ideally suited for the efficient production of high-purity silicon carbide.
  • Nanoscale or microscale refers here to the size of the primary particles in the precursor, i.e. a particle size in the range from 5 to 1000 nm, typically around 20 to 200 or up to 1000 nm or a particle size in the range from 1 to 1000 ⁇ m, typically around 1 or 20 to 200 p.m.
  • the properties of the invention cannot be achieved with horizontal rotary kilns as in the prior art.
  • the purity required for high quality silicon carbide would require a high purity silicon carbide kiln to avoid incorporation of other materials into the product, which would be technically difficult and expensive.
  • the furnace chamber should be filled with inert gas and sealed off from the outside atmosphere.
  • the throughput times of the precursor through conventional rotary kilns for silicon carbide production are too long. None of these problems arise with the invention. From preferred embodiments of the invention are in
  • FIG. 1 shows a device for the production of silicon carbide according to the exemplary embodiments.
  • top and bottom refer to the orientation of the device when used as intended using the method for the production of silicon carbide.
  • the device for the production of silicon carbide shown in FIG. 1 comprises a furnace as a reactor 1 that can be heated.
  • the reactor 1 comprises a jacket 2 which surrounds an interior space 3 and has a feed opening 4 at the upper end of the interior space 3 on the upper side of the reactor 1 and an outlet opening 5 at the lower end of the interior space 3 on the underside of the reactor 1 .
  • the shell 2 is designed essentially as a vertical tube. Feed opening 4 and outlet opening 5 lie essentially one above the other in the vertical direction.
  • the interior 3 is preferably filled with an inert gas, for example argon.
  • a feed device 6 for feeding a precursor 7 through the feed opening 4 into the interior space 3 is arranged above the feed opening 4 .
  • the precursor trickles through the feed opening 4 into the interior space 3 due to gravity.
  • the feed opening 4 is provided with a divider 8 for dividing the stream of the supplied precursor 7 into several parallel streams and thus for distributing it over a large part of the cross-sectional area of the interior 3 without directing the precursor 7 against the jacket 2 unnecessarily .
  • the precursor 7 contains Si and C and is typically provided as a powder or granulate, for example as an SiCp powder with carbon-containing components such as graphite or soot.
  • a nanoscale or microscale precursor is suitable, i.e.
  • the precursor should have a purity corresponding to the required purity of the silicon carbide to be produced.
  • the collecting device 9 can be a container or a removal device for the silicon carbide 10 designed as a ramp or conveyor belt.
  • the reactor 1 Since the reactor 1 is static, it can be sealed in a simple manner so that the outside atmosphere does not penetrate into the inert gas-filled interior 3, for example by sealing between the feed opening 4 and the feed device 6 and between the outlet opening 5 and the collecting device 9 or by a shell around the reactor 1 (not shown).
  • the reactor 1 is heated and the jacket 2 has one or more heating devices 11 , 12 for this purpose.
  • An upper first heating device 11 for heating an upper first heating zone 13 of the interior 3 to a first temperature and a lower second heating device are preferably device 12 provided for heating a lower second heating zone 14 of the interior 3 to a second temperature.
  • the first temperature ranges from about 1600 to 1900°C, preferably about 1800°C
  • the second temperature is lower than the first and preferably ranges from about 1500 to 1700°C.
  • the precursor falling through the interior from the feed opening 4 is first exposed to the first temperature in the first heating zone 13, whereby the carbothermal reactions are set in motion and intermediate products are formed, which react at the second temperature in the second heating zone 14 to form silicon carbide 10 , which emerges from the outlet opening 5.
  • the particles of the precursor 7 are thus transformed into nano- or microcrystalline particles of silicon carbide 10.
  • the silicon carbide 10 is taken as a powder by the collecting device 9 .
  • the transport of the particles of the precursor 7 and the silicon carbide 10 from the feed opening 4 through the interior space 3 to the outlet opening 5 occurs essentially in free fall under gravity.
  • the particle size of the precursor and the lengths of the first zone 13 and the second zone 14 in the vertical direction are selected in such a way that the rate of descent of the particles for a residence time, i.e. heating time of about 100 to 200 ms, preferably about 150 ms, in the first heating zone 13 and a total dwell time of about 300 to 1000 ms, preferably about 400 ms, in both heating zones 13, 14 or the entire interior space 3.
  • Baffle plates 15 can optionally be present, which, as in the example shown, starting from the jacket 2 downwards protrude obliquely into the first and/or the second heating zone 13, 14 of the interior 3 and interrupt the fall of the particles of the precursor 7 and/or the silicon carbide 10 and thus the residence time of the particles in the zones 13, 14 compared to a continuous one extend free fall.
  • the angle of inclination of the baffle plates 15 can be adjustable in order to set the dwell time.
  • the dwell time can also be adjusted in that the inert gas in the inner space 3 is allowed to flow upwards to lengthen the dwell time and downwards to shorten the dwell time, for example by circulating the inert gas in a closed circuit which runs through the inner space 3 and a feed and the outlet opening 4 , 5 leads to a return line (not shown) that connects them to one another outside of the reactor 1 .
  • the precursor 7 and the silicon carbide 10 are transported in free fall, largely without contact with the jacket 2 and therefore largely without contact, apart from contact with impact plates 15 that may be provided. Therefore, the precursor 7 and silicon carbide 10 do not absorb any impurities, and the produced silicon carbide 10 can be highly pure, corresponding to the purity of the precursor used.
  • Casing 2 and any baffle plates 15 provided are preferably made of silicon carbide or coated with silicon carbide towards the interior 3 in order not to introduce any foreign matter into the silicon carbide 10 produced.
  • the device is very robust since it has hardly any moving parts.
  • the device allows an efficient, continuous production process for the silicon carbide 10.
  • the feed device 6 continuously feeds precursor 7 through the feed opening 4, which, as described, passes through the heated interior 3, i.e. in particular the first and second heating zones 13 , 14 falls and is thereby transformed into silicon carbide 10, which falls out through the outlet opening 5 and is also continuously collected by the collecting device 9.

Landscapes

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Abstract

Vorgesehen ist eine Vorrichtung zur Erzeugung von Siliziumkarbid, die einen beheizbaren Reaktor (1) umfasst, der an seiner Oberseite eine Zuführöffnung (4) zur fortlaufenden Beschickung mit einem Präkursor (7), an seiner Unterseite eine Austrittsöffnung (5) zum fortlaufenden Austritt von im Reaktor (1) aus dem Präkursor gebildetem Siliziumkarbid (10) und zwischen Zuführöffnung (4) und Austrittsöffnung (5) einen Innenraum (1) aufweist, die so angeordnet sind, dass der Präkursor bzw. das Siliziumkarbid den Innenraum (1) fallend von der Zuführöffnung (4) zur Austrittsöffnung (5) durchqueren können.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Produktion von Siliziumkarbid
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Produktion von Siliziumkarbid, insbesondere zur Produktion von Siliziumkarbidpulver.
Siliziumkarbid ist wegen seiner hohen Härte, seiner Wärmeleitfähigkeit und seiner besonderen Halbleiter- Eigenschaften für viele Anwendungen ein attraktiver Werkstoff. Viele dieser Eigenschaften werden jedoch durch Verunreinigungen beeinträchtigt. Vor allem zur Weiterverarbeitung in der Halbleiterindustrie wird hochreines Siliziumkarbid benötigt.
Siliziumkarbid wird typischerweise mittels carbothermaler Reaktionen in einem Reaktor (Ofen) bei hohen Temperaturen aus einem Si- und C-haltigen Präkursor erzeugt. Beispiele für den Präkursor sind Pulver oder Granulate aus Si02 und kohlenstoffhaltigen Bestandteilen .
Ein bekanntes Verfahren zur Herstellung von Siliziumkarbid ist der Acheson-Prozess , in dem das Siliziumkarbid chargenweise aus Siliziumdioxid in Form von Quarzsand und aus Kohlenstoff in Form von Koks im elektrischen Widerstandsofen bei Temperaturen von mehr als 2000 °C gewonnen wird.
EP 0476422 Al offenbart ein Verfahren zur Herstellung von Siliziumkarbid aus Siliziumdioxid-Pulver und Ruß unter Argon im Tiegel- oder Drehrohrofen bei Temperaturen von 1200 bis 2000°C über eine Dauer von einer Stunde. Diese Verfahren sind Batch-Prozesse , in denen das SiC j eweils chargenweise aus einer zuvor in den Reaktor geladenen Menge Präkursor produziert wird . Für die industrielle Herstellung von SiC sind Batch-Prozesse j edoch unbefriedigend, weil die Menge in einer Charge begrenzt ist . Das Nachladen des Präkursors ist zeitaufwändig und aufgrund des Abkühlens und Wiederaufhei zens des Reaktors mit einem Energieverlust verbunden und erschwert eine präzise Kontrolle der Prozessparameter über die gesamte Produktions zeit .
Zudem ist das in bekannter Weise hergestellte Sili ziumkarbid für viele Anwendungen beispielsweise in der Elektronik- oder Halbleiterherstellung nicht rein genug und muss vor der Weiterverarbeitung mit hohem Aufwand gereinigt werden .
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde , eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Produktion von Sili ziumkarbid zu schaf fen, die ef fi zienter als der Stand der Technik sind .
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt mit einer Vorrichtung und einem Verfahren zur Produktion von Sili ziumkarbid nach den beiliegenden Patentansprüchen .
Die Erfindung erlaubt eine kontinuierliche Produktion von Sili ziumkarbid in einem Reaktor, in dem der Präkursor zu Sili ziumkarbid trans formiert wird, während er den Rektor fallend durchquert . Dabei kommen Präkursor und Sili ziumkarbid kaum in Kontakt mit der Reaktorwand . Daher kommt es praktisch zu keiner Kontamination des produzierten Sili ziumkarbids im Reaktor . Auch die verhältnismäßig kurze Aufenthalts zeit beim Fall durch den Reaktor limitiert die Aufnahme von Fremdstoffen durch den Präkursor und das produzierte Siliziumkarbid. Die Erfindung eignet sich hervorragend zur effizienten Produktion von hochreinem Siliziumkarbid.
Die Aufenthaltsdauer beim Fall durch den Reaktor ist gut geeignet, um nano- oder mikroskaligen Präkursor in nano- oder mikrokristallines Siliziumkarbidpulver zu transformieren. Nanoskalig bzw. mikroskalig bezieht sich hier auf die Größe der Primärteilchen im Präkursor, d.h. eine Teilchengrößen im Bereich von 5 bis 1000 nm, typisch etwa 20 bis 200 oder bis 1000 nm bzw. eine Teilchengrößen im Bereich von 1 bis 1000 pm, typisch etwa 1 oder 20 bis 200 pm.
Die Eigenschaften der Erfindung lassen sich mit horizontalen Drehrohröfen wie im Stand der Technik nicht erzielen. Die für hochqualitatives Siliziumkarbid geforderte Reinheit würde ein Drehrohr aus hochreinem Siliziumkarbid erfordern, um die Aufnahme anderer Materialien in das Produkt zu vermeiden, was technisch kaum zu realisieren und teuer wäre. Der Ofenraum sollte bei der Produktion hochreinen Siliziumkarbids mit Inertgas gefüllt und gegen die Außenatmosphäre abgeschlossen sein. Bei Drehrohröfen ist es jedoch schwierig, die beweglichen Teile auch bei Temperaturen von etwa 1800°C bis 2000°C abzudichten. Eine Abdichtung der beweglichen Teile, die noch das Ein- und Ausschleusen des Präkursors zulässt, wäre technisch kaum möglich. Zudem sind die Durchlaufzeiten des Präkursors durch übliche Drehrohröfen für die Siliziumkarbidproduktion zu lang. Alle diese Probleme treten mit der Erfindung nicht auf. Bevorzugte Aus führungsbeispiele der Erfindung werden im
Folgenden anhand der Zeichnung erläutert . Darin zeigt :
Figur 1 eine Vorrichtung zur Produktion von Sili ziumkarbid nach den Aus führungsbeispielen .
Im Folgenden gebrauchte Richtungs- und Orientierungsangaben wie „oben" und „unten" beziehen sich auf die Orientierung der Vorrichtung bei bestimmungsgemäß em Gebrauch unter Anwendung des Verfahrens zur Produktion von Sili ziumkarbid .
Die in Figur 1 dargestellte Vorrichtung zur Produktion von Sili ziumkarbid umfasst einen Ofen als behei zbaren Reaktor 1 . Der Reaktor 1 umfasst einen Mantel 2 , der einen Innenraum 3 umgibt und am oberen Ende des Innenraums 3 auf der Oberseite des Reaktors 1 eine Zuführöf fnung 4 und am unteren Ende des Innenraums 3 auf der Unterseite des Reaktors 1 eine Austrittsöf fnung 5 aufweist . Der Mantel 2 ist im vorliegenden Beispiel im Wesentlichen als vertikales Rohr ausgestaltet . Zuführöf fnung 4 und Austrittsöf fnung 5 liegen im Wesentlichen in vertikaler Richtung übereinander . Der Innenraum 3 ist vorzugsweise mit einem Inertgas , beispielsweise Argon gefüllt .
Oberhalb der Zuführöf fnung 4 ist eine Zuführeinrichtung 6 zum Zuführen eines Präkursors 7 durch die Zuführöf fnung 4 in den Innenraum 3 angeordnet . In dieser Anordnung rieselt der Präkursor aufgrund der Schwerkraft durch die Zuführöf fnung 4 in den Innenraum 3 . Die Zuführöf fnung 4 ist mit einem Teiler 8 zum Aufteilen des Stroms des zugeführten Präkursors 7 in mehrere parallele Ströme und damit zum Verteilen auf einen großen Teil der Querschnitts fläche des Innenraums 3 versehen, ohne den Präkursor 7 j edoch unnötig gegen den Mantel 2 zu leiten . Der Präkursor 7 ist Si- und C-haltig und wird typischerweise als Pulver oder Granulat bereitgestellt , beispielsweise als SiCp-Pulver mit kohlenstof fhaltigen Bestandteilen wie Graphit oder Ruß . Geeignet ist ein nano- oder mikroskaliger Präkursor, also ein Präkursor mit nanoskaligen Partikeln einer Primärteilchengrößen im Bereich von 5 bis 1000 nm, typisch etwa 20 bis 200 oder bis 1000 nm oder mit mikroskaligen Partikeln einer Primärteilchengrößen im Bereich von 1 bis 1000 pm, typisch etwa 1 oder 20 bis 200 pm . Der Präkursor soll eine der benötigten Reinheit des zu produzierenden Sili ziumkarbids entsprechende Reinheit aufweisen .
Unterhalb der Austrittsöf fnung 5 ist eine Auf fangeinrichtung 9 für im Reaktor 1 aus dem Präkursor 7 produziertes Sili ziumkarbid 10 angeordnet , das aufgrund der Schwerkraft durch die Austrittsöf fnung 5 aus dem Innenraum 3 austritt . Die Auf f angeinrichtung 9 kann ein Behälter oder eine als Rampe oder Förderband gestaltete Abführeinrichtung für das Sili ziumkarbid 10 sein .
Da der Reaktor 1 statisch ist , kann er auf einfache Weise so abgedichtet sein, dass die Außenatmosphäre nicht in den Inertgas-gefüllten Innenraum 3 dringt , beispielsweise durch eine Abdichtung zwischen Zuführöf fnung 4 und Zuführeinrichtung 6 sowie zwischen Austrittsöf fnung 5 und Auf fangeinrichtung 9 oder durch eine Hülle um den Reaktor 1 (nicht dargestellt ) .
Der Reaktor 1 ist behei zt und der Mantel 2 weist zu diesem Zweck eine oder mehrere Hei zeinrichtungen 11 , 12 auf . Vorzugsweise sind eine obere erste Hei zeinrichtung 11 zum Hei zen einer oberen ersten Hei z zone 13 des Innenraums 3 auf eine erste Temperatur und eine untere zweite Hei zeinrich- tung 12 zum Heizen einer unteren zweiten Heizzone 14 des Innenraums 3 auf eine zweite Temperatur vorgesehen. Im Betrieb liegt die erste Temperatur im Bereich von etwa 1600 bis 1900°C, vorzugsweise etwa 1800°C und die zweite Temperatur ist niedriger als die erste und liegt vorzugsweise im Bereich von etwa 1500 bis 1700°C.
Somit wird der von der Zuführöffnung 4 aus durch den Innenraum sinkende Präkursor zunächst der ersten Temperatur in der ersten Heizzone 13 ausgesetzt, wodurch die carbothermalen Reaktionen in Gang gesetzt und Zwischenprodukte gebildet werden, die bei der zweiten Temperatur in der zweiten Heizzone 14 zu Siliziumkarbid 10 reagieren, das aus der Austrittsöffnung 5 austritt. Die Teilchen des Präkursors 7 werden so zu nano- oder mikrokristallinen Teilchen aus Siliziumkarbid 10 transformiert. Das Siliziumkarbid 10 wird als Pulver von der Auffangeinrichtung 9 auf genommen.
Der Transport der Teilchen des Präkursors 7 und des Siliziumkarbids 10 von der Zuführöffnung 4 durch den Innenraum 3 zur Austrittsöffnung 5 geschieht im Wesentlichen im freien Fall unter Schwerkraft. Die Teilchengröße des Präkursors und die Längen der ersten Zone 13 und der zweiten Zone 14 in vertikaler Richtung sind so gewählt, dass die Sinkgeschwindigkeit der Teilchen für eine Verweildauer, d.h. Aufheizzeit von etwa 100 bis 200 ms, vorzugsweise etwa 150 ms in der ersten Heizzone 13 und für eine gesamte Verweildauer von etwa 300 bis 1000 ms, vorzugsweise etwa 400 ms in beiden Heizzonen 13, 14 bzw. dem gesamten Innenraum 3 sorgt.
Optional können Prallplatten 15 vorhanden sein, die wie im dargestellten Beispiel ausgehend vom Mantel 2 abwärts geneigt in die erste und/oder die zweite Hei z zone 13 , 14 des Innenraums 3 ragen und den Fall der Teilchen des Präkursors 7 und/oder des Sili ziumkarbids 10 unterbrechen und so die Verweildauer der Teilchen in den Zonen 13 , 14 gegenüber einem durchgängig freien Fall verlängern . Der Neigungswinkel der Prallplatten 15 kann einstellbar sein, um die Verweildauer einzustellen . Die Verweildauer kann auch dadurch eingestellt werden, dass das Inertgas im Innenraum 3 zur Verlängerung der Verweildauer aufwärts und zur Verkürzung der Verweildauer abwärts strömen gelassen wird, beispielsweise durch Umwäl zen des Inertgases in einem geschlossenen Kreislauf , der durch den Innenraum 3 und eine die Zuführ- und die Austrittsöf fnung 4 , 5 außerhalb des Reaktors 1 miteinander verbindende Rückführleitung (nicht dargestellt ) führt .
Innerhalb der Hei z zonen 13 , 14 erfolgt der Transport des Präkursors 7 und des Sili ziumkarbids 10 im freien Fall weitgehend ohne Kontakt zum Mantel 2 und daher weitgehend berührungslos , abgesehen gegebenenfalls vom Kontakt mit etwa vorgesehenen Prallplatten 15 . Daher nehmen Präkursor 7 und Sili ziumkarbid 10 keine Verunreinigungen auf und das produzierte Sili ziumkarbid 10 kann hochrein sein, entsprechend der Reinheit des eingesetzten Präkursors . Mantel 2 und etwa vorgesehene Prallplatten 15 sind vorzugsweise aus Sili ziumkarbid gefertigt oder zum Innenraum 3 hin mit Sili ziumkarbid beschichtet , um keine Fremdstof fe in das produzierte Sili ziumkarbid 10 einzutragen .
Die Vorrichtung ist sehr robust , da sie kaum bewegliche Teile aufweist . Im Betrieb erlaubt die Vorrichtung ein effizientes kontinuierliches Produktionsverfahren für das Siliziumkarbid 10. Dabei wird mittels der Zuführeinrichtung 6 fortlaufend bzw. kontinuierlich Präkursor 7 durch die Zuführöffnung 4 zugeführt, der wie beschrieben durch den beheizten Innenraum 3, also insbesondere die erste und die zweite Heizzone 13, 14 fällt und dabei zu Siliziumkarbid 10 transformiert wird, das durch die Austrittsöffnung 5 herausfällt und ebenso kontinuierlich von der Auffangeinrichtung 9 aufgefangen wird.

Claims

Patentansprüche
1. Vorrichtung zur Erzeugung von Siliziumkarbid, umfassend : einen Reaktor (1) , der an seiner Oberseite eine Zuführöffnung (4) zur fortlaufenden Beschickung mit einem Präkursor (7) , an seiner Unterseite eine Austrittsöffnung (5) zum fortlaufenden Austritt von im Reaktor (1) aus dem Präkursor gebildetem Siliziumkarbid (10) und zwischen Zuführöffnung (4) und Austrittsöffnung (5) einen beheizbaren Innenraum (3) aufweist, die so angeordnet sind, dass der Präkursor bzw. das Siliziumkarbid den Innenraum (3) fallend von der Zuführöffnung (4) zur Austrittsöffnung (5) durchqueren können.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, mit einer Heizeinrichtung (11, 12) zum Beheizen des Innenraums (3) .
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Heizeinrichtung eine erste Heizeinrichtung (11) zum Heizen einer ersten Heizzone (13) des Innenraums (3) auf eine erste Temperatur und eine zweite Heizeinrichtung (12) zum Heizen einer unterhalb der ersten Heizzone (13) befindlichen zweiten Heizzone (14) des Innenraums (3) auf eine zweite Temperatur umfasst und die zweite Temperatur niedriger als die erste Temperatur ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einer Zuführeinrichtung (6) zum fortlaufenden Zuführen des Präkursors (7) zu der Zuführöffnung (4) und einem Teiler (8) zum Verteilen des Stroms des durch die Zuführöffnung (4) in den Innenraum (3) geführten Präkursors .
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einer geneigten Prallplatte (15) , die in den Strom des durch den Innenraum fallenden Präkursors (7) bzw. Siliziumkarbids (10) ragt, um dessen Verweildauer im Innenraum zu steuern .
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei der Neigungswinkel der Prallplatte (15) verstellbar ist.
7. Verfahren zur Produktion von Siliziumkarbid unter Verwendung einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei: der Reaktor (1) durch die Zuführöffnung (4) fortlaufend mit Präkursor (7) beschickt wird, der Präkursor (7) durch den beheizten Innenraum (3) zur Austrittsöffnung (5) fällt und dabei zu Siliziumkarbid (10) transformiert wird, und das fortlaufend aus der Austrittsöffnung (5) austretende Siliziumkarbid (10) aufgefangen wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei der zugeführte Präkursor (7) pulverförmig ist.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, wobei das produzierte Siliziumkarbid (10) pulverförmig ist.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei Präkursor (7) und Siliziumkarbid (10) den beheizten Innenraum (3) im Wesentlichen im freien Fall durchqueren.
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