[go: up one dir, main page]

EP2198449A1 - Sonde tomographique grand angle a haute resolution - Google Patents

Sonde tomographique grand angle a haute resolution

Info

Publication number
EP2198449A1
EP2198449A1 EP08838185A EP08838185A EP2198449A1 EP 2198449 A1 EP2198449 A1 EP 2198449A1 EP 08838185 A EP08838185 A EP 08838185A EP 08838185 A EP08838185 A EP 08838185A EP 2198449 A1 EP2198449 A1 EP 2198449A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
sample
detector
electrode
tomographic
probe according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP08838185A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP2198449B1 (fr
Inventor
Alain Bostel
Mikaïl YAVOR
Ludovic Renaud
Bernard Deconihout
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Cameca SAS
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Cameca SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Cameca SAS filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Publication of EP2198449A1 publication Critical patent/EP2198449A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP2198449B1 publication Critical patent/EP2198449B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34—Dynamic spectrometers
    • H01J49/40—Time-of-flight spectrometers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/0004—Imaging particle spectrometry

Definitions

  • the present invention relates to improving the mass resolution of Large Angle Laser Tomographic Probes. It relates more particularly to the atomic probes called 3D atomic probes or "3D atom probe" according to the Anglo-Saxon name.
  • the atomic probe is an instrument well known to those skilled in the art which makes it possible to analyze samples on an atomic scale. Many instrumental configurations related to this analysis technique are described in the book "Atom probe field Ion microscopy", Miller et al. Published in 1996by Clarendon Press / Oxford.
  • the flight time is the time interval between an event triggering the pulling of the ion and its impact on the detector.
  • the triggering event may be an electrical pulse carried on the electrode next to the sample or a pulse of a laser beam directed on the sample. Since measurement of the flight time is essential in the instrument to identify the ratio m / q of a detected ion, where m is the mass of the ion and q its electric charge, it is advantageous to increase the distance L between the sample and the detector to also increase the flight time. However, since the emitted ion beam is of divergent nature, a counterpart to this increase in the distance L is that a large part of the emitted beam can then escape the detector, the detector having meanwhile defined and necessarily limited dimensions.
  • tomographic atomic probes there are in particular the atomic probes known in the literature under the name of "3DAP” or “TriDimensional Atom Probe” according to the English name or even under the name of "PoSAP” or “Position Sensitive Atom” Probe ".
  • These probes are advantageously characterized by the fact that with such a detector both the moment of the impact, which measures the flight time of an ion, the position in a plane of this impact on the detector.
  • such a measure is only really possible if the position of the point of impact of a given ion is unequivocally linked to its position in the sample analyzed. This condition results in the fact that two distinct trajectories of ions must not lead to the same point of impact on the detector.
  • An object of the invention is to propose a solution for obtaining a tomographic probe, a pulsed 3D probe, a pulse probe laser in particular, simultaneously having a large angle of analysis (a large acceptance) and a large resolution in mass consecutive to a great length of flight.
  • the subject of the invention is a tomographic atomic probe comprising:
  • a sample holder for receiving a sample of material to be analyzed having an extraction zone of substantially pointed shape
  • a detector sensitive in position and in time, of useful diameter D, and spaced from the sample by a distance L;
  • An electrostatic lens composed of three electrodes, a first electrode or extractor disposed near the sample, a second electrode, an intermediate electrode and a third electrode, arranged between the intermediate electrode and the detector, the three electrodes having a symmetry; of revolution about the axis Oz passing through the tip of the sample and perpendicular to the plane P of the detector; and characterized in that the distance L being greater than 2.75 D, the respective potentials of the sample, the first electrode of the lens and the detector are such that the ions from the sample mounted on the sample carrier are attracted to the first electrode and to the detector; the sectional profile of the intermediate electrode, in a section plane rOz, defining three points M 1 , M 2 and M 3 with respective coordinates (r 1 , Z 1 ), (r 2 , Z 2 ) and (r 3 , Z 3 ) with respect to an origin Z 0 on the tip of the sample, which satisfy the following conditions, it being understood that the positive direction along the axis Oz goes from the sample to the detector:
  • the detector or a gate disposed near the detector is at a potential equal to that of the extractor.
  • the detector or a gate disposed near the detector, is placed at an intermediate potential between that of the sample and that of the extractor electrode.
  • the diameter d of the opening of the extractor is adapted to intercept the peripheral portion of the emitted ion beam so as to block the ions having the most peripheral trajectories.
  • the extractor comprises several diaphragms of different opening diameters, which can be alternately arranged at the central opening of the extractor.
  • the different diaphragms are made on a mobile bar slidable in front of the opening of the extractor so as to place the desired diaphragm in front of the opening; the slide movement of the bar being automated.
  • the three electrodes are configured and arranged in such a way as to leave a free space in the flight chamber sufficient to house a removable device for adjusting the probe.
  • a second electrostatic lens is placed between the first electrostatic lens and the detector.
  • the first electrostatic lens is configured to focus the least open paths near the median plane of the second electrostatic lens.
  • the invention has the advantage of making it possible, for a given opening angle of the emitted ion beam and a given detector surface, to produce a tomographic atom probe, in particular a "3D" probe, having a length of analysis. significantly higher than existing probes.
  • FIG. 1 an illustration of the general principle of operation of a conventional tomographic probe
  • FIG. 2 a schematic illustration of a sample being measured adapted to a tomographic probe
  • FIG. 3 an illustration of the physical principle of the measurement carried out by means of a tomographic probe
  • FIG. 7 an illustration of the focusing device of the atomic probe according to the invention.
  • FIG. 8 an illustration of an example of a beam obtained by means of the focusing device of the atomic probe according to the invention
  • FIG. 9 illustration of another example of a focused beam obtained by means of the focusing device of the atomic probe according to the invention.
  • FIGS. 10, 11 and 12 illustrations of an alternative embodiment of the atomic probe according to the invention.
  • - Figure 13 the illustration of another alternative embodiment of the atomic probe according to the invention.
  • a 3D tomographic atomic probe is intended to perform the analysis of a sample of material 1 1, atomic layer after atomic layer.
  • it basically comprises a sample holder on which is mounted the sample 1 1 of the material to be analyzed and a detector 12 located at a predetermined distance L of the sample. It also comprises means (not shown in FIG. 1) for evaporating (tearing), in ionic form, the atoms constituting the sample of material analyzed and accelerating them so that the ions thus released follow a trajectory that brings each 13 ion evaporated to hit the surface of the detector 12 at a given point 14 determined by the position of this ion on the surface of the sample before tearing.
  • evaporating tearing
  • the probe also comprises a vacuum enclosure (not shown in FIG. 1), the potential of which is, for example, that of the mass of the system in which the probe takes place.
  • a device comprising an ion source consisting of the sample 11, an analysis chamber, or flight chamber, of length L (analysis length) and a detector plane 12 whose dimensions cover a circular surface of diameter D.
  • the electric field prevailing in the flight chamber takes variable values and may for example be zero. In the latter case, the ions propagate at constant speed inside the flight chamber.
  • the detector At the arrival of an ion on the detector, it measures the position (x, y) on its surface of the point of incidence of the received ion. The detector also measures the "flight time", time counted from the moment corresponding to the tearing of the ion in question. A geometric correction is furthermore made to take into account the position of the point of impact in the calculation of the distance traveled between the tip and the detector. As a result, the position on the surface of the sample, occupied by the ion in question before it is torn off, is deduced in a known manner from the position of its point of impact on the surface of the detector, by application of a simple rule of projection.
  • the detector 12 determines the instant of arrival of the considered ion, with respect to a known time reference, generally corresponding to the time at which the analysis began. of the sample 1 1.
  • the measurement of this instant advantageously makes it possible to know the depth at which the ion was situated with respect to the initial surface of the sample and thus to achieve a true three-dimensional positioning of the atom at the origin of the ion considered in the sample 1 1 of analyzed material.
  • the sample 1 1 is a piece of material having the shape of a substantially conical tip with an end forming a spherical cap of radius R variable during the analysis time.
  • the tomographic analysis consisting in tearing off, evaporating one after the other, the atoms forming the layers of atoms constituting the material, the radius of this spherical cap 21, initially of given value R 1 , a value R 2 corresponding to the spherical cap 22, existing at the end of the analysis; the erosion of the tip leading at the same time an equivalent variation in the distance between the sample 1 1 and the detector 12.
  • a tomographic atom probe can also be characterized, in known manner, by various parameters which are in particular its magnification G and by the potential difference V which must exist between the tip 1 1 constituting the sample and the input of the analysis chamber itself, potential difference responsible for the acceleration printed evaporated ions to cross the analysis chamber length L the electric field to be applied.
  • the coefficient b which depends on the geometry of the instrumentation, tip, detector and vacuum chamber is typically between 1 and 2.
  • the evaporated ions, by field effect, on the surface of the tip 11 are identified by time-of-flight mass spectrometry.
  • the rate of displacement of the ions is determined by the acceleration voltage of the ions according to the formula:
  • V ' the mass of the ion will be determined according to the flight time, according to the relation:
  • the mass resolution ⁇ M / M is proportional to the accuracy on the flight time ⁇ T / T, it is advantageous to have the greatest possible flight time T, and consequently the greatest distance L possible.
  • the measurement of the flight time is essential in the instrument to identify the ratio m / q of a detected ion, m being the mass of the ion and q its electric charge, it is advantageous to increase the distance L between the sample and the detector to also increase the flight time.
  • a device for focusing the beam of light. ions emitted by the sample 1 1 on the detector 12 constituted.
  • This device may for example be constituted as illustrated in FIG. 4, by an electrostatic lens 41 such as an "Einzel” lens, a device well known in charged particle optics, placed between the sample 1 1 and the detector 12.
  • an electrostatic lens 41 such as an "Einzel” lens, a device well known in charged particle optics, placed between the sample 1 1 and the detector 12.
  • the "Einzel” lens consisting of three electrodes 42, 43 and 44, placed on the ion path and configured to make a portion of the trajectory of these ions prevail over an electric field which acts directly on this path.
  • the electrodes constituting the lens are placed at the appropriate potentials.
  • the "Einzel" lens may comprise a first electrode 42, placed in the vicinity of the sample 1 1, itself to ground, and then a second electrode 43 brought to a positive potential, then finally a third electrode 44 also grounded, so that at the exit of the lens, the ions continue their trajectories in a space without an electric field.
  • the first electrode 42 also plays the role of the extraction electrode, or counter electrode, or local electrode, which is generally implemented in the tomographic atomic probes to locate the electric field that produces the initial acceleration evaporated ions from the sample.
  • Such a focusing device advantageously makes it possible to limit the percentage of ions whose paths do not meet the detector. Nevertheless, its efficiency is generally limited by the fact that any electrostatic lens has what is called a spherical aberration which results in an overconversion of the outer region of the lens and a surfacing for the most eccentric trajectories which means that, as illustrated in FIGS. 5 and 6 (schematic sectional views) on two examples of lens configurations, the same point 51, 61 of the detector can intercept several distinct trajectories at once, which results in a problem of indeterminacy of the original position of an ion having struck the detector at this point.
  • the probe according to the invention also comprises an accelerating electrode, or extractor, positioned near the sample and an electrostatic lens of the "Einzel" type for focusing the produced electron beam, consisting of three adjacent electrodes 71, 72 and 73, the first electrode of the "Einzel” lens being constituted by the accelerating electrode.
  • the electrodes of the electrostatic lens are polarized so that, taking into account the respective polarizations of the sample and the detector, the evaporated ions are initially accelerated towards the detector, to be then subjected for a part of their path, corresponding to the crossing of the lens, a focussing electric field.
  • the three electrodes are also preferably configured and arranged so as to provide the flight chamber with sufficient free space to house a removable device for adjusting the probe.
  • the adjustment device may be for example a field emission ion microscope or "Field ion microscope" according to the English name.
  • the zone of the detector may furthermore, according to the embodiment considered, be brought to an intermediate potential between that of the sample and that of the extracting electrode 71.
  • the setting of the potential considered is carried out directly or via a grid disposed near the detector. According to an alternative embodiment, this potential is that to which the extractor is carried.
  • the electrodes of the electrostatic lens consist of mechanical parts comprising a central opening and having a symmetry of revolution about a central axis, coinciding with the axis 74 joining the top of the tip forming the sample 1 1 of material to the detector 12 and perpendicular to the plane of the detector.
  • the first electrode 71, or extractor, located near the sample 11 and acting as an extracting electrode is preferably a thin piece having a hole 78 for passing ions, a circular hole for example.
  • the third electrode 73 of the electrostatic lens is any electrode, preferably of relatively small thickness and having a central opening 79 with a diameter greater than or at least approximately equal to the diameter D of the detector 12, so as to allow the propagation up to to the detector of evaporated ions, whatever the path taken by these ions in the lens.
  • the second electrode 72 the central electrode of the lens, the latter has a shape for defining an internal space whose dimensions advantageously vary over the length of the electrode.
  • the second electrode 72 comprises a first segment 71 1 adjacent to the first electrode 71 and having a cylindrical opening centered on the axis 74, of a radius r, adapted to the passage of the evaporated ion beam . It also comprises a second segment 712, having a cylindrical opening centered on the axis 74 and radius r 2 the radius r 2 adapted to the width of the beam being greater than the radius r- ⁇ . It also comprises a third segment 713, having a conical opening connecting the opening of the first segment to that of the second segment.
  • the profile 75 of the inner surface of the second electrode describes a broken line passing through the three points M 1 (Z 1 , r-,), M 2 (Z 2 , r 2 ) M 3 (Z 3 , r 3 ).
  • Z 1 , Z 2 , and Z 3 represent the abscissae on the axis 74 of the points M1, M2, and M3 with respect to an origin O of abscissa z 0 located at the level of the tip of the sample of material 11 and materialized in the figure by the intersection of axes 74 and 714.
  • the parameters r 1; r 2 and r 3 represent the values of the radius of the opening at the point considered. These parameters are defined to meet the following conditions:
  • Condition g) amounts to stating that all the points of the sectional profile 75 of the electrode situated between M 1 and M 3 must be situated outside the zone of the section plane delimited by the profile of a cone limited by the points M 2 and M 3 .
  • the probe according to the invention makes it possible to increase very considerably the analysis length that can be used.
  • the intensity of the focus remains as for it defined by the value of the bias voltages applied to the different electrodes of the focussing lens produced.
  • the ion beam will be more or less focused, the objective being however that the focused beam covers the largest possible area on the detector.
  • the focused ion beam may then, for example, take the form of the beam 81 illustrated in FIG. 8, or that of the beam 91 illustrated in FIG. 9, as the case may be. In the case of FIG.
  • the beam 81 is obtained by applying, for example, a voltage of 13.7 kV to the second electrode 72 and carrying the first and third electrode to ground, the detector itself being grounded and the sample being itself brought to a voltage of 15 kV.
  • the beam 91 is obtained by applying, for example, a voltage of 15.1 kV to the second electrode 72 and carrying the first and the third electrode to ground, the detector and the sample being, moreover, as in the previous case, carried respectively to the ground and to a voltage of 15 kV.
  • the architecture of the atomic probe according to the invention corresponds to a basic common architecture, the probe according to the invention being able in practice to include certain variants corresponding to applications specific ones such as those presented in a nonlimiting manner in the following description.
  • the first electrode 71 constituting the focusing lens, the extracting electrode comprises a central opening 78 equipped with a multiple aperture device.
  • This device consists, as illustrated in FIG. 12, in an array of diaphragms 112 arranged to slide in front of the central opening 78 of the electrode 71.
  • the diameters of the various diaphragms 11 1 of the strip 112, smaller than the the central opening 78, are defined so as to decrease more or less strongly the diameter of the orifice for passing ions emitted by the sample 1 1.
  • the diameter of the opening 78 so as to let the entire emitted ion beam 81 pass or to eliminate from the beam the ions presenting the most peripheral trajectories, in particular to limit the width of the sample surface analyzed and therefore the opening angle of the corresponding ion beam that will be detected by the sensor.
  • the diameter d of the opening of the extractor is thus adapted to intercept the peripheral portion of the emitted ion beam so as to block the ions having the most peripheral trajectories.
  • the different diaphragms are arranged on the bar so that the distance between two contiguous diaphragms is sufficient so that, with the exception of the diaphragm used, all the other diaphragms are perfectly masked by the electrode.
  • the positioning in the two dimensions perpendicular to the axis of the beam can, moreover, be carried out by a suitable mechanism, possibly controlled by a computer and disposed outside the chamber of the probe.
  • FIG. 13 which illustrates a second variant embodiment of the probe according to the invention, is next of interest.
  • the atomic probe according to the invention comprises a second focusing lens, of the lens type.
  • the atomic probe according to the invention comprises, besides the three electrodes 71, 72 and 73 constituting the first lens, two complementary electrodes 132 and 133, the electrode
  • the electrode 133 is brought to a potential substantially equal to that of the electrode 73, while the electrode 132 is brought to a potential allowing all three electrodes 73, 132 and 133 to constitute a second lens. electrostatic inside which reigns an electric field.
  • the second electrode 72 of the first lens and the second electrode 131 of the second lens are brought to defined potentials for:
  • the second lens constituted by the electrodes 73, 132 and 133, has no effect on the trajectories of small aperture.
  • the electric field applied to the ion beam inside the second electrostatic lens may, depending on the case of use envisaged, be an accelerator or retarding field.
  • Such a device can for example be obtained from a structure such as that illustrated in FIG. 13.
  • the detector 12 being brought to the ground potential and the sample 1 1 to a potential of 15 kV, the extracting electrode 71 is then brought to ground as well as the electrodes 73 and 133, while the central electrode 72 of the first lens is brought to a voltage of 15.3 kV and the central electrode 132 of the second lens is brought to a voltage of 14.5 kV.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

La présente invention concerne l'amélioration de la résolution en masse des sondes atomiques tomographiques grand angle. L'invention consiste en une sonde atomique comportant outre un dispositif porte-échantillon et un détecteurs distants l'un de l'autre d'une distance L et enfermés dans une enceinte, une lentille électrostatique de type "Einzel" constituée de trois électrodes disposées à l'intérieur de l'enceinte entre l'échantillon et le détecteur, auxquelles on applique des potentiels électriques de façon à constituer un champ électrique qui focalise fortement le faisceau d'ions émis par l'échantillon sous test lorsque la sonde est en fonctionnement. Selon l'invention, la géométrie des électrodes est définie précisément de façon à limiter fortement les effets de l'aberration sphérique dont est affectée la lentille "Einzel" sur le faisceau d'ions, aberration sphérique nettement sensible lorsque la lentille est fortement polarisée. L'invention s'applique plus particulièrement aux sondes atomiques appelées sondes atomiques 3D ou "3D atom probe" selon la dénomination anglo-saxonne.

Description

SONDE TOMOGRAPHIQUE GRAND ANGLE A HAUTE RESOLUTION.
La présente invention concerne l'amélioration de la résolution en masse des Sondes Tomographiques Laser Grand Angle. Elle concerne plus particulièrement les sondes atomiques appelées sondes atomiques 3D ou "3D atom probe" selon la dénomination anglo-saxonne.
La sonde atomique est un instrument bien connu de l'homme du métier qui permet d'analyser des échantillons à l'échelle atomique. De nombreuses configurations instrumentales relevant de cette technique d'analyse sont décrites dans l'ouvrage "Atom probe field Ion microscopy", de Miller et al. Publié en 1996par Clarendon Press/Oxford.
Il est classique d'utiliser, pour cette analyse, un échantillon en forme de pointe, porté à un potentiel donné par rapport au potentiel du détecteur et de disposer, au voisinage de cet échantillon, une électrode portée à un potentiel intermédiaire entre celui de l'échantillon et du détecteur.
Il est également classique de disposer, en plus de cette électrode une autre électrode mise à la masse, ou bien une grille également mise à la masse. De la sorte le détecteur étant mis à la masse, les ions arrachés à l'échantillon suivent une trajectoire qui les projette sur le détecteur sans subir l'influence d'un quelconque champ électrique pouvant modifier cette trajectoire. La quasi-totalité du trajet des ions est ainsi réalisée dans un espace dit "sans champ". II est également connu qu'un paramètre essentiel pour obtenir une mesure fine et précise des caractéristiques des ions détectés par une sonde atomique, est la mesure du temps de vol des ions détectés, c'est à dire du temps mis par l'ion considéré pour parcourir l'espace séparant l'échantillon duquel ils sont arrachés du détecteur. Plus précisément, le temps de vol est l'intervalle de temps entre un événement déclencheur de l'arrachage de l'ion et son impact sur le détecteur. L'événement déclencheur peut être une impulsion électrique portée sur l'électrode voisine de l'échantillon ou une impulsion d'un faisceau laser dirigé sur l'échantillon. Dans la mesure où la mesure du temps de vol est essentielle dans l'instrument pour identifier le rapport m/q d'un ion détecté, m étant la masse de l'ion et q sa charge électrique, il est avantageux d'augmenter la distance L entre l'échantillon et le détecteur afin d'augmenter également le temps de vol. Cependant le faisceau d'ions émis étant de nature divergente, une contrepartie de cette augmentation de la distance L est qu'une grande partie du faisceau émis peut alors échapper au détecteur, le détecteur ayant quant à lui des dimensions définies et nécessairement limitées. Pour pallier cet inconvénient, il est connu d'interposer un dispositif convergent tel qu'une lentille de type "Einzel" entre l'échantillon et le détecteur pour focaliser le faisceau d'ions sur le détecteur. La lentille "Einzel" est, par ailleurs, un dispositif bien connu en optique des particules chargées et dont le principe n'est pas détaillé ici. Pour plus d'informations sur les lentilles "Einzel" on peut notamment se référer au tome 2 de l'ouvrage "Principles of électron optics", de P.W.Hawkes et E.Kasper, publié en 1989 par Académie press.
Parmi les sondes atomiques tomographiques, on distingue en particulier les sondes atomiques connues dans la littérature sous le nom de "3DAP" ou "TriDimensional Atom Probe" selon la dénomination anglo- saxonne ou encore sous le nom de "PoSAP" ou "Position Sensitive Atom Probe". Ces sondes sont avantageusement caractérisées par le fait qu'avec un tel détecteur on mesure à la fois, outre l'instant de l'impact qui mesure le temps de vol d'un ion, la position, dans un plan, de cet impact sur le détecteur. Cependant, une telle mesure n'est réellement possible que si la position du point d'impact d'un ion donné est liée de manière univoque à sa position dans l'échantillon analysé. Cette condition se traduit par le fait que deux trajectoires distinctes d'ions ne doivent pas aboutir au même point d'impact sur le détecteur.
Or, s'il est facile de faire varier simplement l'angle d'émission capté par le détecteur avec une lentille Einzel, une forte focalisation du faisceau d'ions émis à l'aide d'une telle lentille, conduit à l'apparition d'une aberration sphérique sur la lentille, aberration qui produit sur les trajectoires externes des effets parasites très gênants pour le fonctionnement de la sonde 3D. En pratique, du fait de cette aberration, des trajectoires distinctes ont un même point d'impact pour extrémité.
Un but de l'invention est de proposer une solution pour obtenir une sonde tomographique, une sonde 3D à impulsions, une sonde à impulsions laser en particulier, présentant simultanément un grand angle d'analyse (une grande acceptance) et une grande résolution en masse consécutive à une grande longueur de vol.
A cet effet l'invention a pour objet une sonde atomique tomographique comprenant:
- Un dispositif porte-échantillon pour recevoir un échantillon de matériau à analyser présentant une zone d'extraction de forme sensiblement pointue,
- Un détecteur sensible en position et en temps, de diamètre utile D, et espacé de l'échantillon d'une distance L;
- Une lentille électrostatique composée de trois électrodes, une première électrode ou extracteur, disposée à proximité de l'échantillon, une deuxième électrode, intermédiaire, et une troisième électrode, disposées entre l'électrode intermédiaire et le détecteur, les trois électrodes présentant une symétrie de révolution autour de l'axe Oz passant par la pointe de l'échantillon et perpendiculaire au plan P du détecteur; et caractérisée en ce que la distance L étant supérieure à 2.75 D, les potentiels respectifs de l'échantillon, de la première électrode de la lentille et du détecteur sont tels que les ions issus de l'échantillon monté sur le porte- échantillon soient attirés vers la première électrode et vers le détecteur; le profil en coupe de l'électrode intermédiaire, dans un plan de coupe rOz, définissant trois points M1, M2 et M3 de coordonnées respectives (r-i, Z1), (r2, Z2) et (r3, Z3) par rapport à une origine Z0 sur la pointe de l'échantillon, qui répondent aux conditions suivantes, étant entendu que le sens positif selon l'axe Oz va de l'échantillon au détecteur:
Z1 < Z2 < Z3,
T2 = T1 ,
0.1 D < T1 < 0.65 D, D < r3 < 1.6 D; tous les points du profil en coupe de l'électrode étant situés en dehors de la zone du plan de coupe délimitée par le profil d'un cône à embout cylindrique limité par les points M1 , M2 et M3.
Selon une variante de réalisation de la sonde atomique tomographique selon l'invention, le détecteur ou une grille disposée à proximité du détecteur est à un potentiel égal à celui de l'extracteur.
Selon une variante de réalisation de la sonde atomique tomographique selon l'invention, le détecteur, ou une grille disposée à proximité du détecteur, est mis(e) à un potentiel intermédiaire entre celui de l'échantillon et celui de l'électrode extracteur.
Selon une autre variante de réalisation de la sonde atomique tomographique selon l'invention, le diamètre d de l'ouverture de l'extracteur est adapté de façon à intercepter la partie périphérique du faisceau d'ions émis de façon à bloquer les ions ayant les trajectoires les plus périphériques.
Selon cette autre variante de réalisation, l'extracteur comporte plusieurs diaphragmes de diamètres d'ouverture différents, pouvant être alternativement disposés au niveau de l'ouverture centrale de l'extracteur.
Selon cette autre variante de réalisation, les différents diaphragmes sont réalisés sur une barrette mobile pouvant coulisser devant l'ouverture de l'extracteur de façon à placer le diaphragme voulu devant l'ouverture; le mouvement de coulisse de la barrette étant automatisé.
Selon une troisième variante de réalisation de la sonde atomique tomographique selon l'invention, les trois électrodes sont configurées et agencées de façon à ménager dans la chambre de vol un espace libre suffisant pour loger un dispositif amovible de réglage de la sonde.
Selon une quatrième variante de réalisation de la sonde atomique tomographique selon l'invention, une deuxième lentille électrostatique est placée entre la première lentille électrostatique et le détecteur. Selon cette autre variante de réalisation, la première lentille électrostatique est configurée pour focaliser les trajectoires les moins ouvertes à proximité du plan médian de la deuxième lentille électrostatique.
Avantageusement, les différentes variantes de réalisation peuvent être combinées ou associées.
L'invention présente l'avantage de permettre pour un angle d'ouverture donné du faisceau d'ion émis et une surface de détecteur donnée, de réaliser une sonde atomique tomographique, en particulier une sonde "3D", présentant une longueur d'analyse sensiblement supérieure aux sondes existantes.
Les caractéristiques et avantages de l'invention seront mieux appréciées grâce à la description qui suit, description qui expose l'invention au travers d'un mode de réalisation particulier pris comme exemple non limitatif et qui s'appuie sur les figures annexées, figures qui représentent:
- la figure 1 , une illustration du principe général de fonctionnement d'une sonde tomographique classique;
- la figure 2, une illustration schématique, d'un échantillon en cours de mesure adapté à une sonde tomographique;
- la figure 3, une illustration du principe physique de la mesure réalisée au moyen d'une sonde tomographique;
- la figure 4, l'illustration du principe de fonctionnement d'une sonde tomographique intégrant une lentille "Einzel" dans la chambre de vol des ions;
- les figures 5 et 6, des illustrations du phénomène d'aberration qui apparaît dans le cas d'une forte focalisation;
- la figure 7, une illustration du dispositif de focalisation de la sonde atomique selon l'invention;
- la figure 8, une illustration d'un exemple de faisceau obtenu au moyen du dispositif de focalisation de la sonde atomique selon l'invention; - la figure 9, l'illustration d'un autre exemple de faisceau focalisé obtenu au moyen du dispositif de focalisation de la sonde atomique selon l'invention;
- les figures 10, 1 1 et 12, des illustrations d'une variante de réalisation de la sonde atomique selon l'invention; - la figure 13, l'illustration d'une autre variante de réalisation de la sonde atomique selon l'invention.
On s'intéresse d'abord aux figures 1 à 3, figures qui présentent de manière schématique la structure de base d'une sonde atomique tomographique, notamment d'une sonde atomique dite sonde "3D". Ce type de sonde est bien connu de l'homme du métier, aussi n'est-il pas question, dans ce document, de décrire en détail un tel dispositif. Les figures 1 à 3 permettent cependant de rappeler les points suivants.
Une sonde atomique tomographique 3D est destinée à réaliser l'analyse d'un échantillon de matériau 1 1 , couche atomique après couche atomique. A cet effet elle comporte basiquement un dispositif porte- échantillon sur lequel est monté l'échantillon 1 1 du matériau à analyser et un détecteur 12 situé à une distance déterminée L de l'échantillon. Elle comporte également des moyens (non représentés sur la figure 1 ) pour évaporer (arracher), sous forme ionique, les atomes constituant l'échantillon de matériau analysé et les accélérer de façon à ce que les ions ainsi libérés suivent une trajectoire qui amène chaque ion 13 évaporé à percuter la surface du détecteur 12 en un point donné 14 déterminé par la position de cet ion à la surface de l'échantillon avant son arrachement. Ainsi, par érosion atome par atome permettant une reconstitution de la composition de l'échantillon couche atomique par couche atomique il est possible de déterminer la composition suivant trois dimensions de l'échantillon considéré.
Afin d'isoler l'ensemble des perturbations extérieures la sonde comporte également une enceinte sous vide (non représentée sur la figure 1 ), dont le potentiel est, par exemple, celui de la masse du système dans lequel la sonde prend place.
On obtient ainsi, comme l'illustre la figure 3, un dispositif comportant une source d'ions constituée par l'échantillon 11 , une chambre d'analyse, ou chambre de vol, de longueur L (longueur d'analyse) et un détecteur plan 12 dont les dimensions couvrent une surface circulaire de diamètre D. Selon le type de sonde, le champ électrique régnant dans la chambre de vol prend des valeurs variables et peut par exemple être nul. Dans ce dernier cas, les ions se propagent à vitesse constante à l'intérieur de la chambre de vol.
A l'arrivée d'un ion sur le détecteur, celui-ci mesure la position (x, y) sur sa surface du point d'incidence de l'ion reçu. Le détecteur mesure également le "temps de vol", durée comptée à partir de l'instant correspondant à l'arrachement de l'ion considéré. Une correction géométrique est en outre opérée pour prendre en compte la position du point d'impact dans le calcul de la distance parcourue entre la pointe et le détecteur. Par suite, la position à la surface de l'échantillon, occupée par l'ion considéré avant son arrachement est déduite de manière connue de la position de son point d'impact à la surface du détecteur, par application d'une simple règle de projection.
Dans le cas d'une sonde tomographique dite "3D" le détecteur 12 détermine également l'instant d'arrivée de l'ion considéré, par rapport à une référence de temps connue, correspondant généralement à l'instant auquel a débuté l'analyse de l'échantillon 1 1. La mesure de cet instant permet avantageusement de connaître la profondeur à laquelle se situait l'ion considéré par rapport à la surface initiale de l'échantillon et de réaliser ainsi un véritable positionnement en trois dimensions de l'atome à l'origine de l'ion considéré dans l'échantillon 1 1 de matériau analysé.
Comme l'illustrent les figures 1 à 3, l'échantillon 1 1 se présente comme un morceau de matériau ayant la forme d'une pointe sensiblement conique avec une extrémité formant une calotte sphérique de rayon R variable au cours du temps d'analyse. En effet, l'analyse tomographique consistant à arracher, à évaporer les uns après les autres, les atomes formant les couches d'atomes constituant le matériau, le rayon de cette calotte sphérique 21 , initialement de valeur R1 donnée, une valeur R2 correspondant à la calotte sphérique 22, existant à la fin de l'analyse; l'érosion de la pointe amenant par la même occasion une variation équivalente de la distance entre l'échantillon 1 1 et le détecteur 12.
Comme l'illustre la figure 3, la longueur L de la chambre d'analyse et le diamètre D du détecteur définissent un angle θ tel que tan(θ /2)=(D/2)/L. θ est appelé «angle d'acceptance» de la sonde. Seules les trajectoires contenues dans le cône de demi-angle θ/2 percutent le détecteur. Si D est trop faible, certaines trajectoires ne sont pas interceptées par le détecteur et les ions suivant ces trajectoires n'occasionneront aucun impact sur celui-ci. Ces ions non détectés ne faisant l'objet d'aucune analyse, seront évaporés en pure perte.
Par suite, θ étant ainsi défini, une sonde atomique tomographique peut être également caractérisée, de manière connue, par différents paramètres qui sont notamment son grandissement G et par la différence de potentiel V qui doit exister entre la pointe 1 1 constituant l'échantillon et l'entrée de la chambre d'analyse proprement dite, différence de potentiel responsable de l'accélération imprimée aux ions évaporés pour traverser la chambre d'analyse de longueur L le champ électrique à appliquer. Cette différence de potentiel est classiquement définie par la relation E= V/R, où E représente le champ électrique d'évaporation et R le rayon de courbure de la pointe c'est à dire le rayon de la calotte sphérique constituant son extrémité.
Le grandissement est donné par la relation G=UbR, dans laquelle L représente sensiblement la longueur de la chambre d'analyse et bR la distance à l'extrémité 23 de la pointe d'un point P, ou point de projection, à partir duquel les trajectoires ioniques sont toutes définies. Le coefficient b qui dépend de la géométrie de l'instrumentation, pointe, détecteur et chambre sous vide est typiquement compris entre 1 et 2.
Dans un tel dispositif, les ions évaporés, par effet de champ, à la surface de la pointe 1 1 sont identifiés par spectrométrie de masse à temps de vol. Ainsi, v la vitesse de déplacement des ions est déterminée par la tension d'accélération des ions d'après la formule:
-Mv2 =n e V 2
où M représente masse de l'ion, v sa vitesse, n le nombre de charges élémentaires portées par l'ion; e la charge élémentaire, c'est à dire la charge de l'électron et V la tension d'accélération appliquée. Par suite, le temps de vol d'un ion étant donné par la relation:
V ' la masse de l'ion sera déterminée d'après le temps de vol, selon la relation:
La résolution de masse δM/M étant proportionnelle à la précision sur le temps de vol δT/T, il est avantageux d'avoir le temps de vol T le plus grand possible, et par conséquent, la distance L la plus grande possible. Autrement dit, comme la mesure du temps de vol est essentielle dans l'instrument pour identifier le rapport m/q d'un ion détecté, m étant la masse de l'ion et q sa charge électrique, il est avantageux d'augmenter la distance L entre l'échantillon et le détecteur afin d'augmenter également le temps de vol. Une contrepartie de cette augmentation de la distance L est une réduction de l'angle d'acceptance θ=2 arctan(D/2L): Une grande partie du faisceau émis peut alors échapper au détecteur de dimension D, certaines trajectoires 15 n'étant par interceptées par le détecteur 12.
Ainsi, pour augmenter L, et donc la résolution en masse sans pour autant réduire l'angle d'acceptance θ, il est généralement nécessaire d'ajouter à l'agencement illustré par les figures 1 à 3, un dispositif pour focaliser le faisceau d'ions émis par l'échantillon 1 1 sur le détecteur 12 constitué. Ce dispositif peut par exemple être constitué comme l'illustre la figure 4, par une lentille électrostatique 41 telle que une lentille "Einzel", dispositif bien connu en optique des particules chargées, placée entre l'échantillon 1 1 et le détecteur 12. Suivant un principe bien connu la lentille "Einzel" constituée de trois électrodes 42, 43 et 44, placées sur le trajet des ions et configurées pour faire régner sur une portion de la trajectoire de ces ions un champ électrique qui agit directement sur cette trajectoire. De cette façon le faisceau initialement divergent 45 est modifié en un faisceau convergent 46, la convergence obtenue étant fonction de l'intensité du champ électrique produit. Pour créer ce champ électrique, les électrodes constituant la lentille sont placées aux potentiels adéquats. Ainsi, par exemple, pour une sonde tomographique dans laquelle le détecteur est mis au potentiel de la masse la lentille "Einzel" peut comporter une première électrode 42, placé au voisinage de l'échantillon 1 1 , elle-même à la masse, puis une deuxième électrode 43 portées à un potentiel positif, puis enfin une troisième électrode 44 portées également à la masse, de sorte qu'en sortie de la lentille, les ions poursuivent leurs trajectoires dans un espace sans champ électrique. Dans ce cas, la première électrode 42 joue également le rôle de l'électrode extractrice, ou contre-électrode, ou encore électrode locale, qui est généralement mise en place dans les sondes atomiques tomographiques pour localiser le champ électrique qui produit l'accélération initiale des ions évaporés de l'échantillon.
Un tel dispositif de focalisation permet avantageusement de limiter le pourcentage d'ions dont les trajectoires ne rencontrent pas le détecteur. Néanmoins son efficacité reste généralement limitée par le fait que toute lentille électrostatique présente ce qu'on appelle une aberration sphérique qui se traduit par une sur-convergence de la région externe de la lentille et une surfocalisation pour les trajectoires les plus excentrées qui fait que, comme l'illustre les figures 5 et 6 (vues schématiques en coupe) sur deux exemples de configurations de lentilles, un même point 51 , 61 , du détecteur peut intercepter plusieurs trajectoires distinctes à la fois, d'où il résulte un problème d'indétermination de la position d'origine d'un ion ayant percuté le détecteur en ce point. En ce qui concerne la configuration de la figure 5, celle-ci correspond par exemple à une sonde atomique dans laquelle, l'échantillon 1 1 voit sa pointe portée à une tension de 15kV, tandis que la première électrode 42 de la lentille "Einzel" (la plus proche de l'échantillon), qui sert d'électrode extractrice, est à la masse, que la seconde électrode 43 est portée à une tension de 14kV et que la troisième électrode 44 (la plus proche du détecteur) est également portée à la masse, tout comme le détecteur 12. Dans cette configuration, les dimensions relatives de la deuxième et de la troisième électrode sont telles que pendant la plus grande partie de leur trajet les ions restent soumis à un champ électrique focalisateur. En ce qui concerne la configuration de la figure 6, celle-ci correspond par exemple à une sonde atomique dans laquelle, l'échantillon 1 1 voit sa pointe portée à une tension de 15kV, tandis que la première électrode 42 de la lentille "Einzel" (la plus proche de l'échantillon), qui sert d'électrode extractrice, est à la masse, que la seconde électrode 43 est portée à une tension de 12,5kV et que la troisième électrode 44 (la plus proche du détecteur) est également portée à la masse, tout comme le détecteur 12. Dans cette configuration, contrairement à la configuration précédente, les dimensions relatives de la deuxième et de la troisième électrode sont telles que pendant la plus grande partie de leur trajet les ions traversent un espace sans champ, dans lequel il n'y a pas d'effet de focalisation.
On s'intéresse à présent aux figures 7 et 8 qui permettent de présenter la structure de la sonde atomique selon l'invention. Celle ci présente une structure générale parfaitement connue, avec un porte- échantillon destiné à recevoir l'échantillon 1 1 de matériau à analyser, et un détecteur 12 sensible aux impacts des ions évaporés de l'échantillon et propulsés contre sa surface sensible. Classiquement, la sonde selon l'invention comporte encore une électrode accélératrice, ou extracteur, positionnée à proximité de l'échantillon et une lentille électrostatique de type "Einzel" pour focaliser le faisceau d'électrons produit, constitué de trois électrodes adjacentes 71 , 72 et 73, la première électrode de la lentille "Einzel" étant constituée par l'électrode accélératrice. Classiquement encore, les électrodes de la lentille électrostatique sont polarisées de telle sorte que compte tenu des polarisations respectives de l'échantillon et du détecteur, les ions évaporés soient dans un premier temps accélérés vers le détecteur, pour être ensuite soumis pendant une partie de leur trajet, correspondant à la traversée de la lentille, à un champ électrique focalisateur.
Les trois électrodes sont par ailleurs préférentiellement configurées et agencées de façon à ménager dans la chambre de vol un espace libre suffisant pour loger un dispositif amovible de réglage de la sonde. Le dispositif de réglage peut être par exemple un microscope ionique à émission de champ ou "Field ion microscope" selon la dénomination anglo-saxonne.
La zone du détecteur, peut par ailleurs, suivant le mode de réalisation considéré, être porté à un potentiel intermédiaire entre celui de l'échantillon et celui de l'électrode extractrice 71. La mise au potentiel considéré est réalisée directement ou par l'intermédiaire d'une grille disposée à proximité du détecteur. Selon une variante de réalisation ce potentiel est celui auquel est porté l'extracteur.
Pour pouvoir disposer d'une longueur d'analyse L (longueur de vol) sensiblement plus grande que celle accessible avec les sondes existantes, la géométrie et l'agencement des électrodes 71 , 72 et 73 constituant la lentille électrostatique répondent ici à des caractéristiques techniques spécifiques décrites dans la suite de la description.
Selon l'invention, les électrodes de la lentille électrostatique, sont constituées de pièces mécaniques comportant une ouverture centrale et présentant une symétrie de révolution autour d'un axe central, confondu avec l'axe 74 joignant le sommet de la pointe formant l'échantillon 1 1 de matériau au détecteur 12 et perpendiculaire au plan du détecteur.
La première électrode 71 , ou extracteur, située à proximité de l'échantillon 11 et jouant le rôle d'électrode extractrice est préférentiellement une pièce de faible épaisseur présentant un trou 78 de passage des ions, un trou circulaire par exemple.
De même la troisième électrode 73 de la lentille électrostatique est une électrode quelconque, préférentiellement de relativement faible épaisseur et présentant une ouverture centrale 79 d'un diamètre supérieur ou du moins sensiblement égal au diamètre D du détecteur 12, de façon à permettre la propagation jusqu'au détecteur des ions évaporés, et ce, quelle que soit la trajectoire empruntée par ces ions dans la lentille.
En ce qui concerne la deuxième électrode 72, électrode centrale de la lentille, celle-ci présente une forme permettant de définir un espace interne dont les dimensions varient avantageusement sur la longueur de l'électrode. Ainsi, selon l'invention la deuxième électrode 72 comporte un premier segment 71 1 adjacent à la première électrode 71 et présentant une ouverture cylindrique centrée sur l'axe 74, d'un rayon r-, adapté au passage du faisceau d'ions évaporés. Elle comporte également un deuxième segment 712, présentant une ouverture cylindrique centrée sur l'axe 74 et de rayon r2 le rayon r2 adapté à la largeur du faisceau étant supérieur au rayon r-\. Elle comporte encore un troisième segment 713, présentant une ouverture conique reliant l'ouverture du premier segment à celle du deuxième segment. De la sorte, comme l'illustre la vue en coupe de la figure 7, le profil 75 de la surface intérieur de la deuxième électrode décrit une ligne brisée passant par les trois points M1(Z1, r-,), M2(Z2, r2) M3(Z3, r3). Selon l'invention, Z1, Z2, et Z3 représentent les abscisses sur l'axe 74 des points M1 , M2, et M3 par rapport à une origine O d'abscisse z0 se situant au niveau de la pointe de l'échantillon de matériau 11 et matérialisé sur la figure par l'intersection des axes 74 et 714. Les paramètres r1 ; r2 et r3 représentent quant à eux les valeurs du rayon de l'ouverture au point considéré. Ces paramètres sont définis de façon à remplir les conditions suivantes:
a) 0;1-D<r1 <0.65- D
b) r2 = ri c) D<r2 <1.6-D
d) zi - zo <D/3
e) Z2 - Z1 <0;65 D
f) Z3 - Z1 <1.4 D
g) en tout point Mi(η, Z1) de la zone M2M3 du profil 75, c'est-à-dire pour
η ≥A - Zi +B r, -r9 r2-z, -r, - Z9 avec A =^ — ^- et B = 3 — -L_-L
Z3 - Z2 Z3 - Z2
La condition g) revient à énoncer que tous les points du profil en coupe 75 de l'électrode situés entre M1 et M3, doivent être situés en dehors de la zone du plan de coupe délimitée par le profil d'un cône limité par les points M2 et M3.
Des calculs menés par ailleurs par la déposante, et non présenté ici, montre que grâce à cette configuration particulière des électrodes constituant la lentille électrostatique, il est possible en appliquant les potentiels adéquats sur les différentes électrodes, comme l'illustre la figue 8, d'obtenir une focalisation du faisceau d'ions 81 suffisante pour ramener sur le détecteur un ensemble de trajectoires affectées d'aberrations de faible ampleur. L'invention permet notamment d'utiliser dans une sonde atomique un détecteur de position 12 d'un diamètre D, placé à une distance L' supérieure à 2 L de l'échantillon 1 1 , L étant telle la longueur d'analyse maximale sans focalisation, longueur définie de manière connue par la relation tan(θ/2)=(D/2)/L, équivalente à L=1.374 D lorsque la demi-ouverure θ/2 est de 20° Ainsi, pour un angle d'ouverture θ égal à ± 20°et pour un diamètre de détecteur D égal à 80 mm, il est avantageusement possible grâce à la sonde atomique selon l'invention, d'obtenir une longueur d'analyse supérieure à deux fois la valeur L = 1 ,374 D = 109 mm tout en interceptant avec le détecteur toutes les trajectoires des ions émis correspondant à cet angle d'ouverture. En augmentant la distance d'analyse d'un facteur au moins égal à 2, il est possible d'obtenir, en appliquant au faisceau d'ion un champ électrique focalisateur d'intensité appropriée (c'est à dire appliquant sur les électrodes les tensions de polarisation appropriées), une résolution en masse améliorée d'un facteur supérieur à deux. Cette résolution est avantageusement obtenue sans subir au niveau du détecteur les effets de confusion des points d'impacts, ou tout au moins en subissant ces effets de manière très amoindrie, effets consécutifs à l'aberration sphérique de la lentille électrostatique. L'angle d'ouverture restant par ailleurs inchangé, l'augmentation de résolution se fait ici sans entraîner de limitation supplémentaire de la surface analysée.
Ainsi grâce à ses caractéristiques de structure, la sonde selon l'invention, permet d'augmenter de manière très importante la longueur d'analyse pouvant être utilisée. L'intensité de la focalisation reste quant à elle définie par la valeur des tensions de polarisation appliquées aux différentes électrodes de la lentille focalisatrice réalisée. Suivant les polarisations appliquées, le faisceau d'ion sera plus ou moins focalisé, l'objectif étant cependant que le faisceau focalisé couvre la plus grande surface possible sur le détecteur. Le faisceau d'ion focalisé pourra alors par exemple prendre selon les cas la forme du faisceau 81 illustré sur la figure 8, ou encore celle du faisceau 91 illustré sur la figure 9. Dans le cas de la figure 8 le faisceau 81 est obtenue en appliquant, par exemple, une tension de 13,7 kV à la deuxième électrode 72 et en portant la première et la troisième électrode à la masse, le détecteur étant par ailleurs lui-même mis à la masse et l'échantillon étant quant à lui porté à une tension de 15 kV. Dans le cas de la figure 9, le faisceau 91 est obtenue en appliquant, par exemple, une tension de 15,1 kV à la deuxième électrode 72 et en portant la première et la troisième électrode à la masse, le détecteur et l'échantillon étant par ailleurs, comme dans le cas précédent, portés respectivement à la masse et à une tension de 15 kV. L'architecture de la sonde atomique selon l'invention, telle qu'elle est présentée dans les paragraphes précédents, correspond à une architecture commune de base, la sonde selon l'invention pouvant dans la pratique comporter certaines variantes de réalisation correspondant à des applications spécifiques telles que celles présentées de manière non limitative dans la suite de la description.
On s'intéresse à présent aux figures 10 à 12, qui illustrent une première variante de réalisation de la sonde selon l'invention. Dans cette variante, présentée à titre d'exemple de réalisation non limitatif, la première électrode 71 constituant la lentille focalisatrice, l'électrode extractrice, comporte une ouverture centrale 78 équipée d'un dispositif à ouvertures multiples. Ce dispositif consiste, comme l'illustre la figure 12, en une barrette de diaphragmes 112 agencée de façon à coulisser devant l'ouverture centrale 78 de l'électrode 71. Les diamètres des différents diaphragmes 11 1 de la barrette 112, inférieurs à celui de l'ouverture centrale 78, sont définis de façon à diminuer de manière plus ou moins forte le diamètre de l'orifice de passage des ions émis par l'échantillon 1 1. Ainsi, comme l'illustrent les figures 10 et 1 1 , il est avantageusement possible, suivant les besoins, d'adapter le diamètre de l'ouverture 78 de façon à laisser passer la totalité du faisceau 81 d'ion émis ou à éliminer du faisceau les ions présentant les trajectoires les plus périphériques, notamment pour limiter la largeur de la surface d'échantillon analysée et donc l'angle d'ouverture du faisceau d'ions correspondant qui sera détecté par le capteur. Le diamètre d de l'ouverture de l'extracteur est ainsi adapté de façon à intercepter la partie périphérique du faisceau d'ions émis de façon à bloquer les ions ayant les trajectoires les plus périphériques.
Il est à noter que, comme l'illustre la figure 12, les différents diaphragmes sont agencés sur la barrette de façon à ce que la distance entre deux diaphragmes contigus soit suffisante pour qu'à l'exception du diaphragme utilisé, tous les autres soient parfaitement masqués par l'électrode. Le positionnement dans les deux dimensions perpendiculaires à l'axe du faisceau peut, par ailleurs, être effectué par un mécanisme adapté, éventuellement contrôlé par un calculateur et disposé à l'extérieur de l'enceinte de la sonde.
On s'intéresse ensuite à la figure 13, qui illustre une seconde variante de réalisation de la sonde selon l'invention. Dans cette variante, présentée également à titre d'exemple de réalisation non limitatif, la sonde atomique selon l'invention comporte une deuxième lentille focalisatrice, du type lentille
"Einzel" par exemple, placée entre la première lentille et le détecteur. Cette configuration particulière permet d'opérer une compensation de l'aberration sphérique résiduelle que présente la première lentille focalisatrice, malgré sa configuration particulière, cette aberration sphérique de la première lentille ne pouvant pas toujours être évitée.
La sonde atomique selon l'invention, dans cette variante de réalisation, comporte, outre les trois électrodes 71 , 72 et 73 constituant la première lentille, deux électrodes complémentaires 132 et 133, l'électrode
132 étant placée adjacente de l'électrode 73 et l'électrode 133 étant placée adjacente de l'électrode 132, entre cette électrode et le détecteur 12.
L'électrode 133, est portée à un potentiel sensiblement égal à celui de l'électrode 73, tandis que l'électrode 132 est portée à un potentiel permettant à l'ensemble des trois électrodes 73, 132 et 133 de constituer ainsi une seconde lentille électrostatique à l'intérieur de laquelle règne un champ électrique.
Dans cette configuration particulière à deux lentilles la deuxième électrode 72 de la première lentille et la deuxième électrode 131 de la seconde lentille sont portées à des potentiels définis pour:
- réaliser, à l'aide de la première lentille, la focalisation des trajectoires de faible ouverture sur le plan médian de la deuxième lentille, matérialisé par la ligne pointillée 134 sur la figure 13. De la sorte la deuxième lentille, constituée par les électrodes 73, 132 et 133, est sans effet sur les trajectoires de faible ouverture.
- opérer, à l'aide de la première lentille, une surfocalisation des trajectoires de plus fortes ouvertures. Les aberrations qui apparaissent alors sont corrigées en appliquant le potentiel approprié à l'électrode centrale 132 de la seconde lentille. Le champ électrique appliqué au faisceau d'ion à l'intérieur de la seconde lentille électrostatique peut selon le cas d'utilisation envisagé être un champ accélérateur ou retardateur
Un tel dispositif peut par exemple être obtenu à partir d'une structure telle que celle illustrée par la figure 13. Le détecteur 12 étant porté au potentiel de masse et l'échantillon 1 1 à un potentiel de 15 kV, L'électrode extractrice 71 est alors portée à la masse ainsi que les électrodes 73 et 133, tandis que l'électrode centrale 72 de la première lentille est portée à une tension de 15,3 kV et que l'électrode centrale 132 de la deuxième lentille est portée à une tension de 14,5 kV.

Claims

REVENDICATIONS
1 . Une sonde atomique tomographique comprenant: - Un dispositif porte-échantillon pour recevoir un échantillon
(1 1 ) de matériau à analyser présentant une zone d'extraction de forme sensiblement pointue,
- Un détecteur sensible en position (12) de diamètre utile D et espacé de l'échantillon (1 1 ) d'une distance L; - Une lentille électrostatique composée de trois électrodes, une première électrode (71 ) ou extracteur, disposée à proximité de l'échantillon (1 1 ), une deuxième électrode (72), intermédiaire, et une troisième électrode (73), distale, disposées entre l'électrode intermédiaire (72) et le détecteur (12), les trois électrodes présentant une symétrie de révolution autour de l'axe Oz passant par la pointe de l'échantillon et perpendiculaire au plan P du détecteur; caractérisée en ce que la distance L étant supérieure à 2.75 D, les potentiels respectifs de l'échantillon (1 1 ), de la première électrode (71 ) de la lentille et du détecteur (12) sont tels que les ions issus de l'échantillon (1 1 ) monté sur le porte-échantillon soient attirés vers la première électrode (71 ) et vers le détecteur (12); le profil en coupe (74) de la l'électrode intermédiaire (72), dans un plan de coupe rOz passant par l'axe Oz, définissant trois points M-i, M2 et M3 de coordonnées respectives (n , z-i), (r2, z2) et (r3, z3) par rapport à une origine Z0 sur la pointe de l'échantillon, qui répondent aux conditions suivantes:
Zi < Z2 < Z3, |z2-Zi |<0.65 D, |z3-Zi |>1 .4 D, r2 = h,
0.1 D < rκ O.65 D, D < r3 < 1.6 D; tous les points du profil en coupe de l'électrode étant situés en dehors de la zone du plan de coupe délimitée par le profil (77) d'un cône à embout cylindrique limité par les points M-i, M2 et M3.
2. Sonde atomique tomographique selon la revendication 1 , caractérisée en ce que le détecteur (12) ou une grille disposée à proximité du détecteur est à un potentiel égal à celui de l'extracteur (71 ).
3. Sonde atomique selon la revendication 1 , caractérisée en ce que le détecteur ou une grille disposée à proximité du détecteur est à un potentiel intermédiaire entre celui de l'échantillon (1 1 ) et celui de l'électrode extracteur (71 ).
4. Sonde atomique tomographique selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que le diamètre d de l'ouverture (77) de l'extracteur (72) est déterminé de façon à intercepter la partie périphérique du faisceau d'ions émis de façon à bloquer les ions ayant les trajectoires les plus périphériques.
5. Sonde atomique tomographique selon la revendication 4, caractérisée en ce que l'extracteur comporte plusieurs diaphragmes (1 1 1 ) de diamètres d'ouverture différents, pouvant être alternativement disposés au niveau de l'ouverture centrale (77) de l'extracteur (72).
6. Sonde atomique tomographique selon la revendication 5, caractérisé en ce que les différents diaphragmes (1 1 1 ) sont réalisés sur une barrette mobile (1 12) pouvant coulisser devant l'ouverture (77) de l'extracteur (71 ) de façon à placer le diaphragme voulu devant l'ouverture; le mouvement de coulisse de la barrette étant automatisé.
7. Sonde atomique tomographique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que les trois électrodes 571 , 72 et 73) sont configurées et agencées de façon à ménager dans la chambre de vol un espace libre suffisant pour loger un dispositif amovible de réglage de la sonde.
8. Sonde atomique tomographique selon la revendication 7, caractérisée en ce que l'espace libre est suffisant pour disposer un "Field ion microscope" dans la sonde.
9. Sonde atomique tomographique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que une deuxième lentille électrostatique (73, 131 et 132) est placée entre la première lentille électrostatique (71 , 72 et 73) et le détecteur (12).
10. Sonde atomique tomographique selon la revendication 1 1 , caractérisée en ce que la première lentille électrostatique (71 , 72 et 73) est configurée pour focaliser les trajectoires les moins ouvertes à proximité du plan médian de la deuxième lentille électrostatique (73, 131 et 132).
1 1 . Sonde atomique tomographique selon la revendication 1 1 , caractérisée en ce que la deuxième lentille électrostatique (73, 131 et 132) génère un champ électrique retardateur.
12. Sonde atomique tomographique selon la revendication 1 1 , caractérisée en ce que la deuxième lentille électrostatique (73, 131 et 132) génère un champ électrique accélérateur.
13. Sonde atomique tomographique selon la revendication 1 , caractérisée en ce que l'extracteur (71 ) est soumis à un potentiel impulsionnel.
14. Sonde atomique tomographique selon la revendication 1 , caractérisée en ce que les ions du matériau sont arrachés de l'échantillon (1 1 ) au moyen d'un laser puisé.
15. Sonde atomique tomographique selon la revendication 14, caractérisée en ce que l'extracteur (71 ) est soumis à un potentiel impulsionnel synchronisé avec l'émission laser.
EP08838185.0A 2007-10-12 2008-10-08 Sonde atomique tomographique grand angle a haute resolution Active EP2198449B1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0707178A FR2922350B1 (fr) 2007-10-12 2007-10-12 Sonde tomographique grand angle a haute resolution.
PCT/EP2008/063462 WO2009047265A1 (fr) 2007-10-12 2008-10-08 Sonde tomographique grand angle a haute resolution

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP2198449A1 true EP2198449A1 (fr) 2010-06-23
EP2198449B1 EP2198449B1 (fr) 2018-01-24

Family

ID=39167016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP08838185.0A Active EP2198449B1 (fr) 2007-10-12 2008-10-08 Sonde atomique tomographique grand angle a haute resolution

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8074292B2 (fr)
EP (1) EP2198449B1 (fr)
FR (1) FR2922350B1 (fr)
WO (1) WO2009047265A1 (fr)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2938963B1 (fr) * 2008-11-21 2010-11-12 Cameca Sonde atomique tomographique comportant un generateur electro-optique d'impulsions electriques haute tension.
DE112012004503B4 (de) * 2011-10-28 2018-09-20 Leco Corporation Elektrostatische Ionenspiegel
JP6541798B2 (ja) * 2015-04-21 2019-07-10 カメカ インストゥルメンツ，インコーポレイテッド 広視野アトムプローブ
US10614995B2 (en) 2016-06-27 2020-04-07 Cameca Instruments, Inc. Atom probe with vacuum differential
JP6788731B2 (ja) 2018-01-31 2020-11-25 カメカ インストゥルメンツ，インコーポレイテッド 複数の角度からの原子プローブ試料へのエネルギービーム入力
US11087956B2 (en) 2018-06-29 2021-08-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Detection systems in semiconductor metrology tools

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100550270C (zh) * 2003-06-06 2009-10-14 成像科学仪器公司 高分辨率原子探针
JP4864501B2 (ja) * 2005-06-28 2012-02-01 富士通株式会社 ３次元アトムレベル構造観察装置
US20070073364A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Siemens Aktiengesellschaft Combined OCT catheter device and method for combined optical coherence tomography (OCT) diagnosis and photodynamic therapy (PDT)

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *
See also references of WO2009047265A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
US8074292B2 (en) 2011-12-06
WO2009047265A1 (fr) 2009-04-16
FR2922350B1 (fr) 2009-12-04
FR2922350A1 (fr) 2009-04-17
US20100223698A1 (en) 2010-09-02
EP2198449B1 (fr) 2018-01-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2198449B1 (fr) Sonde atomique tomographique grand angle a haute resolution
EP2485243B1 (fr) Micro-réflectron pour spectromètre de masse à temps de vol
EP2614363A1 (fr) Dispositif de cartographie et d&#39;analyse a haute resolution d&#39;elements dans des solides
WO2014020177A1 (fr) Systeme d&#39;analyse de gaz comprenant un spectromètre de gaz muni d&#39;un|micro-reflectron
EP0125950B1 (fr) Perfectionnements apportés aux spectromètres de masse
FR3055970A1 (fr) Methode de determination de la deflexion d&#39;un faisceau d&#39;electrons resultant d&#39;un champ electrique et/ou d&#39;un champ magnetique
FR2584234A1 (fr) Testeur de circuit integre a faisceau d&#39;electrons
FR2558988A1 (fr) Spectrometre de masse, a grande clarte, et capable de detection multiple simultanee
EP2394290B1 (fr) Spectrometre de masse magnetique achromatique a double focalisation
EP2396806B1 (fr) Dispositif d&#39;analyse de masse a large acceptance angulaire comprenant un reflectron
FR2786316A1 (fr) Detection de particules chargees en mode double
EP2044423B1 (fr) Dispositif et procede de caracterisation de surfaces
EP0389342A1 (fr) Lentille électromagnétique composite à focale variable
FR2924269A1 (fr) Sonde atomique a haute acceptance
EP1490888B1 (fr) Dispositif de mesure de l emission de rayons x produite par un objet soumis a un faisceau d electrons
EP0925599A1 (fr) Filtre d&#39;energie, microscope electronique a transmission et procede de filtrage d&#39;energie associe
EP2733730A2 (fr) Procédé de préparation d&#39;un échantillon en pointe pour analyse en sonde tomographique de structures électroniques
FR2706678A1 (fr) Sonde de spectrométrie de masse, notamment en plasma magnétisé.
FR2941087A1 (fr) Sonde atomique tomographique a spectrometre de masse a temps de vol incorporant un dispositif electrostatique
FR2634286A1 (fr) Analyseur de l&#39;energie de faisceaux de particules chargees spherique a reflexion
FR2637736A1 (fr) Nouveau spectrographe de masse magnetique
FR2718533A1 (fr) Dispositif de mesure de l&#39;énergie d&#39;un faisceau d&#39;électrons.
FR3076948A1 (fr) Detecteur de photons x dans la gamme d&#39;energie 1 a 5 kev
FR2957674A1 (fr) Procede de caracterisation d&#39;un echantillon cristallin par diffusion d&#39;ions ou atomes
FR3027399A1 (fr) Appareil de sonde atomique tomographique et procede d&#39;analyse d&#39;un echantillon assistes par faisceau de particules, et utilisation d&#39;un tel procede

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20100412

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA MK RS

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20170419

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAJ Information related to disapproval of communication of intention to grant by the applicant or resumption of examination proceedings by the epo deleted

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSDIGR1

GRAL Information related to payment of fee for publishing/printing deleted

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSDIGR3

INTC Intention to grant announced (deleted)
GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20171009

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 966220

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20180215

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: FRENCH

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 602008053881

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: MP

Effective date: 20180124

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG4D

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MK05

Ref document number: 966220

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20180124

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180424

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180524

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180424

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180425

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: PLFP

Year of fee payment: 11

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 602008053881

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20181025

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

REG Reference to a national code

Ref country code: BE

Ref legal event code: MM

Effective date: 20181031

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20181008

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: MM4A

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20181031

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20181031

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20181031

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20181008

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20180124

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO

Effective date: 20081008

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20240925

Year of fee payment: 17

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20250918

Year of fee payment: 18

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20250922

Year of fee payment: 18