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EP1613920A2 - DISPOSITIF D’INITIATION ELECTRIQUE D’UNE MICRO-CHARGE PYROTECHNIQUE ET MICROSYSTEME UTILISANT UN TEL DISPOSITIF - Google Patents

DISPOSITIF D’INITIATION ELECTRIQUE D’UNE MICRO-CHARGE PYROTECHNIQUE ET MICROSYSTEME UTILISANT UN TEL DISPOSITIF

Info

Publication number
EP1613920A2
EP1613920A2 EP04742468A EP04742468A EP1613920A2 EP 1613920 A2 EP1613920 A2 EP 1613920A2 EP 04742468 A EP04742468 A EP 04742468A EP 04742468 A EP04742468 A EP 04742468A EP 1613920 A2 EP1613920 A2 EP 1613920A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
micro
pyrotechnic
conductive
charge
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP04742468A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Denis Roller
Patrick Broyer
Bruno Colin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Biomerieux SA
Original Assignee
Biomerieux SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Biomerieux SA filed Critical Biomerieux SA
Publication of EP1613920A2 publication Critical patent/EP1613920A2/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F42—AMMUNITION; BLASTING
    • F42B—EXPLOSIVE CHARGES, e.g. FOR BLASTING, FIREWORKS, AMMUNITION
    • F42B3/00—Blasting cartridges, i.e. case and explosive
    • F42B3/10—Initiators therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F41—WEAPONS
    • F41A—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS COMMON TO BOTH SMALLARMS AND ORDNANCE, e.g. CANNONS; MOUNTINGS FOR SMALLARMS OR ORDNANCE
    • F41A19/00—Firing or trigger mechanisms; Cocking mechanisms
    • F41A19/58—Electric firing mechanisms
    • F41A19/64—Electric firing mechanisms for automatic or burst-firing mode
    • F41A19/65—Electric firing mechanisms for automatic or burst-firing mode for giving ripple fire, i.e. using electric sequencer switches for timed multiple-charge launching, e.g. for rocket launchers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F42—AMMUNITION; BLASTING
    • F42B—EXPLOSIVE CHARGES, e.g. FOR BLASTING, FIREWORKS, AMMUNITION
    • F42B3/00—Blasting cartridges, i.e. case and explosive
    • F42B3/006—Explosive bolts; Explosive actuators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F42—AMMUNITION; BLASTING
    • F42C—AMMUNITION FUZES; ARMING OR SAFETY MEANS THEREFOR
    • F42C19/00—Details of fuzes
    • F42C19/08—Primers; Detonators
    • F42C19/12—Primers; Detonators electric

Definitions

  • microactuators intended to fulfill mechanical, chemical, electrical, thermal or fluidic functions in microsystems, for microelectronic applications such as chips, or biomedical applications such as analysis cards incorporating icrofluidics or chemical synthesis such as microreactors.
  • the technical field of the invention is more particularly that of initiating devices for microactuators included in a microsystem.
  • Microactuators are miniaturized objects, produced in solid supports which can be semiconductor or insulating, with the aim of forming microsystems such as, for example, microvalves or micropumps in fluid microcircuits, or microswitches in electronic microcircuits.
  • microactuators using electrostatic, piezoelectric, electromagnetic and bimetallic effects have been around for some time.
  • a new generation of microactuators is starting to appear: those using the pyrotechnic effect.
  • Pyrotechnic materials have a high energy density, their use in microactuators therefore makes it possible to considerably reduce the size of the microsystems incorporating such microactuators.
  • Such pyrotechnic microactuators are for example described in patent application WO 02/088551.
  • a pyrotechnic microactuator In known manner, the operation of a pyrotechnic microactuator is obtained by causing the combustion of a pyrotechnic micro-charge, generally by locally raising its temperature to a decomposition threshold, by means of an initiation device.
  • the number of microactuators integrated into the same microsystem can be high, it can for example reach several hundreds.
  • the individualized initiation system for each of the microactuators can be fully integrated into the microsystem. However, the microsystem thus becomes much more complex.
  • a pyrotechnic microactuator operates in a single shot, the combustion of a pyrotechnic micro-charge being irreversible.
  • the object of the invention is therefore to obtain a device for individualized initiation of each of the pyrotechnic micro-charges from among a plurality of pyrotechnic charges, which is simple, standard, independent and easily adaptable on a support for the pyrotechnic micro-charges.
  • an electrical initiation device of at least one pyrotechnic micro-charge this device being characterized in that it comprises a support element comprising at least one electrically conductive part connected to a first terminal d '' a control unit, a second terminal of said control unit being intended to be electrically connected to an electrically conductive support, the micro-charge being located at a sufficient distance of the conductive support in order to be able to be initiated in combustion by localized heating of the support, this heating being carried out by means of the conductive part placed in contact with the conductive support, just below the pyrotechnic micro-charge.
  • the pyrotechnic micro-charge is deposited on the conductive support. According to a second embodiment, the pyrotechnic micro-charge is separated from the support by at least one heat conducting layer.
  • a pyrotechnic micro-charge will, for example, have the form of a discoid film with a thickness of between 1 ⁇ m and 100 ⁇ m.
  • the mass of a pyrotechnic micro-charge will for example be 0.5 ⁇ g.
  • the conductive part of the support element, used for the initiation of the micro-charge must be of a size similar to that of the micro-charge.
  • the conductive part is produced at least at the top of a finger, said finger being positioned in abutment by its top against the conductive support, just under the pyrotechnic micro-charge.
  • the finger is mounted on a spring. Thus the finger is kept in contact with the electrically conductive support.
  • the finger is a carbon or titanium electrode. According to another embodiment, the finger consists of a bump of flexible material formed on the support element.
  • the support element consists of a plate of flexible, thermoformed material, from which said bump is formed, the bump thus forming a finger intended to be supported by its top against the conductive support.
  • the electrically conductive parts are connected in parallel to the first terminal of the control unit .
  • this involves creating a "hedgehog" of fingers in the support element.
  • Each of the fingers is in abutment against the conductive support and intended to be placed below a pyrotechnic micro-charge deposited directly or not on the conductive support according to one of the configurations described above, in order to be able to initiate it combustion on command of the control unit. It is thus possible to initiate a plurality of pyrotechnic micro-charges from a single initiation device.
  • the control unit may have selection means in order to be able to select the micro-charges to be initiated by passing the current through the conductive part of certain fingers only.
  • the position of the fingers on the support element is adjustable. In this way, it will be possible to adapt the position of the fingers to the position of the pyrotechnic micro-charges on the support. The same support element can therefore be used regardless of the position of the micro-charges to be initiated on the support.
  • the invention also relates to a microactuator comprising an actuating element which can be actuated by the gag from the combustion of a pyrotechnic micro-charge, this micro-actuator being characterized in that said micro-charge is located at a sufficient distance from a conductive layer to be able to be initiated into combustion by localized heating using an initiation device in accordance with that described above, in which an electrically conductive part is placed at said pyrotechnic micro-charge, pressing against the conductive layer, just below said pyrotechnic micro-charge.
  • the pyrotechnic micro-charge is deposited on one face of the conductive layer and the conductive part of the initiation device is in contact with the face of the conductive layer opposite to that on which the micro- pyrotechnic charge.
  • the conductive layer consists of a metallic film, for example aluminum.
  • the aluminum film has a thickness of between 20 and 150 ⁇ m.
  • the thickness of the conductive layer varies as a function of the intensity of the current through the conductive layer and the time of passage of this current through said layer.
  • the aluminum film has a thickness of 70 ⁇ m.
  • the microactuator is produced by assembling superimposed layers.
  • the microactuator comprises a cavity or chamber formed by the assembly of the layers, in which is placed at least one pyrotechnic micro-charge, said cavity being closed by a layer constituting a deformable membrane.
  • the cavity is circular and has a diameter of 1 mm.
  • the invention also relates to a microsystem.
  • This microsystem is characterized in that it comprises a support for a plurality of adjacent microactuators conforming to that described above, the micro-charges of the microactuators being located at a sufficient distance from a conductive layer to be able to be initiated in combustion.
  • initiation device each independently, by heating using the initiation device described above, the support element of which is adapted to the support of the microactuators, said initiation device comprising a plurality of conductive parts connected in parallel to the first terminal of the control unit, a conductive part being placed at each of the pyrotechnic micro-charges, in contact with the conductive layer, just below each of the pyrotechnic micro-charges.
  • the microsystem consists of an assembly of superimposed layers.
  • the microactuators are all formed by assembling these same layers.
  • a central layer has a plurality of holes and is covered on each of its faces by a layer so that each of the holes thus forms a closed cavity.
  • At least one pyrotechnic micro-charge is placed in each of the cavities.
  • One of the covering layers is for example constituted by a deformable membrane constituting an actuating element common to all the microactuators. This membrane therefore deforms at the places where micractuators are put into operation.
  • this makes it possible to considerably simplify the microsystem by making it independent of its initiation device.
  • the latter can be reused by being adapted on a new microsystem.
  • the initiation device can be reused by being adapted on a new microsystem.
  • the fingers Due to the relatively small size of the pyrotechnic micro-charges, the fingers must be positioned precisely under each of the micro-charges and have a conductive portion of a size proportional to that of the micro-charges so as to obtain localized heating. under each of the pyrotechnic micro-charges. According to the invention, it is in fact a question of avoiding overheating an area of the conductive layer which is too large and thus of preventing each conductive part of a finger from being able to initiate a pyrotechnic micro-charge from an adjacent microactuator when this initiation has not been ordered.
  • FIG. 1 schematically shows in cross section a device for initiating a pyrotechnic microactuator.
  • FIG. 2 schematically represents, in transverse section, a microsystem composed of a plurality of microactuators on which is fitted an initiation device according to a first embodiment.
  • FIG. 3 schematically represents, in cross section, a microsystem composed of a plurality of microactuators on which a initiation device according to a second embodiment.
  • FIG. 4 schematically represents a conductive finger used in the initiation device visible in FIG. 3.
  • pyrotechnic micro-charges, microactuators and microsystems are used to designate objects of very small size, of the order of a millimeter or micrometer, thereby inducing, in particular, constraints in their manufacture and the operation of the device in which they are used.
  • a pyrotechnic microactuator 1 comprises a chamber 2, for example of cylindrical shape produced in a polycarbonate support. Said support results, for example, as shown in FIG. 1, from a stack of sheets or layers assembled one on top of the other, for example by gluing, by laser welding or by thermocompression, by hot rolling or by any other suitable means.
  • a simple pyrotechnic microactuator 1 such as that shown in FIG.
  • the central layer 10 is pierced transversely with a hole which is covered by the so-called upper layer 12 fixed on a first face of the central layer and said upper face 100 and by the so-called lower layer 11 fixed on the face opposite to the face upper 100 of the central layer 10, called the lower face 101.
  • the side walls of this hole therefore delimit, with the upper layer 12 and the lower layer 11, the so-called combustion chamber 2.
  • combustion chamber 2 of combustion thus formed is for example 1 mm.
  • a pyrotechnic micro-charge 3 Preferably, chamber 2 defines an airtight space.
  • the upper layer 12 consists of a deformable membrane assembled on the upper face 100 of the central layer 10.
  • This membrane will for example be made of plastic and / or elastic material, for example of PTFE (or Teflon, registered trademark), of rubber or elastomer.
  • the lower layer 11 is an electrically conductive layer, constituted for example by a metal sheet, for example made of aluminum, which can for example be self-adhesive so as to be bonded to the central layer 10.
  • the pyrotechnic micro-charge 3 is deposited in the combustion chamber 2 on the face of the conductive lower layer 11 which is in contact with the central layer 10. This face of the conductive layer 11 is called the upper face 110.
  • the micro-charge 3 pyrotechnics can be deposited for example in the form of a film, for example a discoid film having a thickness of less than 200 ⁇ m, for example between 1 ⁇ m and 100 ⁇ m.
  • the initiation of the pyrotechnic micro-charge 3 included in the combustion chamber 2 is carried out electrically.
  • the initiation of the micro-charge 3 is obtained using a control unit 8 comprising a generator 4 of electric current and a switch 5.
  • a first terminal of the generator 4 is connected to a finger 6 conducting electricity.
  • This conductive finger 6 is mounted on a spring 7 and fixed for example on a support (not shown in FIG. 1).
  • the conductive finger 6 consists for example of a carbon or titanium electrode.
  • a second terminal of the generator 4 is electrically connected to the conductive layer 11 of the microactuator 1, on which the pyrotechnic micro-charge 3 is deposited.
  • the free end, or in other words the apex, of the conductive finger 6 bears against the face 111 of the conductive layer 11 which is opposite to that on which the pyrotechnic micro-charge 3 is deposited, it that is to say opposite to its upper face 110.
  • the conductive finger 6 is positioned so as to come into contact with the conductive layer 11 just below the place where the pyrotechnic micro-charge 3 is deposited. The contact of the conductive finger 6 against the conductive layer 11 is ensured and maintained by means of the spring 7 on which the finger 6 is mounted.
  • the control unit 8 as well as the conductive finger 6 and the conductive layer 11 therefore form, when the switch 5 is closed, a closed electrical circuit.
  • the circuit thus formed makes it possible to pass an electric current through the conductive finger 6, the return of this current to the control unit 8 being effected by means of the conductive layer 11.
  • the conductive layer 11 During the passage of the current in the contact zone between the conductive finger 6 and the conductive layer 11, local heating of the conductive layer 11 takes place which which communicates to the pyrotechnic deposit located on the opposite face 110 causes its initiation in combustion.
  • the combustion of the pyrotechnic micro-charge 3 produces gases spreading in the chamber 2.
  • the overpressure created in the chamber 2 causes the membrane 12 to deform.
  • the membrane 12 will have to exercise a certain function depending on the microsystem in which such a microactuator is used. It will, for example, be for the membrane 12 to deform in order to close off a microcircuit of fluid.
  • a microsystem is a miniaturized multifunctional device whose maximum dimensions do not exceed a few millimeters.
  • a microsystem may, for example, be a microvalve or a micropump, and in the context of an electronic microcircuit, a microswitch or a microswitch.
  • the microactuators are produced in semiconductor supports, such as those in silicon for example, when it is a microelectronic application. They can be designed in other materials, such as polycarbonate, for other applications and in particular in the biomedical field.
  • a microsystem l comprises, for example, a plurality of adjacent microactuators (la, ..., lh) identical to that described above with reference to FIG. 1.
  • These microactuators ( la, ..., lh) are all formed in the same support by the stacking of the three layers 10, 11, 12 defined above, that is to say by the central layer 10 caught between the membrane forming the upper layer 12 and the lower layer 11 conductive of electricity.
  • each of the microactuators (la, ..., lh) is therefore delimited by the side walls of a hole formed through the central layer 10 and by the upper layer 12 forming the deformable membrane located above and the lower electrically conductive layer 11 located below.
  • a pyrotechnic micro-charge (3a, ..., 3h) as described above is deposited on the upper face 110 of the conductive lower layer 11.
  • the microactuators (la, ..., lh) are for example spaced from each other by a length of 2 mm.
  • an initiation device consists of several conductive fingers (6a, ..., 6h) identical to that described above with reference to Figure 1, is erecting, parallel to each other, perpendicular to a plane defined on a support element 9.
  • Each of these fingers (6a, ..., 6h) is mounted on a spring (7a, ..., 7h) and electrically connected to a central control unit 8 '.
  • the axes of the springs (7a, ..., 7h) are mutually parallel and perpendicular to the plane defined on the support element 9.
  • the fingers (6a, ..., 6h) are electrically connected in parallel to a terminal of a source 4 'of current from the control unit 8'.
  • the central unit 8 controls a plurality of switches (5a, ..., 5h), each conductive finger (6a, ..., 6h) being associated with one of these switches (5a, ..., 5h) .
  • the central control unit 8 * can, by closing certain switches (5a, ..., 5h), select the microactuators (la, ..., lh) to activate.
  • the central control unit 8 ′ therefore comprises selection means enabling it to select the switches to close as a function of the microactuators (la, ..., lh) which it is necessary to activate.
  • the support element 9 fits onto the microsystem l 'so that a finger
  • (6a, ..., 6h) conductor is associated with each microactuator (la, ..., lh) of the microsystem.
  • the conductive fingers (6a, ..., 6h) are kept in contact with the bottom conductive layer 11 of the microsystem 1 ', each using their spring ( 7a, ..., 7h) as explained above with reference to FIG. 1.
  • the conductive fingers (6a, ..., 6h) are placed on the support element 9 so as to each come to the contact of the lower face 111 of the lower layer 11, just below the pyrotechnic micro-charge (3a, ..., 3h), deposited on the opposite face 110, of the microactuator (la, ..., lh) with which they are associated.
  • the support element 9 comprises for example a peripheral ring 90 allowing it to come to adapt to the microsystem 1 '.
  • the assembly between the two elements is carried out for example according to the arrows shown in FIG. 2 and the connection between the microsystem l 'and the support element 9 can be carried out for example by clipping.
  • the central control unit 8 ′ can be integrated into the support element 9 so as to constitute a complete initiation device adaptable to the microsystem 1 ′.
  • each conductive finger (6a, ..., 6h), in contact with the conductive lower layer 11, when it is selected by the central control unit 8 ′, makes it possible to create localized heating of the lower layer 11 conductor just under the micro-charge (3a, ..., 3h) with which it is associated, to cause the initiation of said micro-charge (3a, ..., 3h) and thus obtain, under the action of the gases of combustion, the point deformation, at the selected microactuator, of the upper layer 12 forming the membrane.
  • an initiation device adaptable to a microsystem identical to that described with reference to FIG. 2 comprises a support element 9 ′ consisting of a material plate flexible, such as the elastomer, thermoformed, thus forming a plurality of bumps (6 ', 6'a, ..., 6 * i) adjacent.
  • This type of plate is for example of the type used in the flexible keyboards of apparatuses.
  • a deposit 60 '( Figure 4) for example by spraying, screen printing or pad printing an electrically conductive material such as carbon.
  • each bump (6', 6 'a, ..., 6' i) is connected in parallel to the power plant control (not shown in Figure 3).
  • Each of the bumps (6 ′, 6 ′ a, ..., 6 ′ i) thus forms a finger, the top of which is intended to bear against the lower conductive layer 11 of the microsystem l ′, just under a micro-charge ( 3a, ..., 3h) pyrotechnic.
  • the lower conductive layer 11 is connected to a terminal of the control unit.
  • the flexibility of the material used to manufacture the support element 9 'and the bumps (6 *, 6' a, ..., 6'i) allows the bumps (6 ', 6'a, ..., 6 'i) to marry the surface of the lower face 111 of the lower conductive layer 11 on which the micro-charges (3a, ..., 3h) are deposited.
  • the microsystem 1a can for example be inserted by sliding in the direction of the arrow relative to the initiation device according to the invention. The insertion of the microsystem 1 ′ with respect to the initiation device is carried out so as to crush the bumps (6 ′, 6 ′ a, ..., 6 ′ i) made of elastomer of the support element 9 ′.
  • an initiation device independent of the microactuator 1 or of the microsystem with which it is associated.
  • the initiation device is reusable once the microactuator 1 or the microsystem has been used for the function for which it is intended.
  • the conductive lower layer 11 may consist, for example, of an aluminum sheet with a thickness of, for example, between 20 ⁇ m and 150 ⁇ m.
  • This thickness of the aluminum foil depends in particular on the intensity of the current passing through as well as on the nature and the quantity of pyrotechnic charge to be initiated. Indeed, it is found that the intensity of the current and its time of passage through the conductive layer must be controlled so as to avoid the piercing of the conductive layer 11. For example, in the case of the device represented in FIG.
  • the micro-charge (s) (3.3a, ..., 3h) may not be deposited directly on the conductive layer 11 but be located at a sufficient distance from it to be able to be initiated in combustion each independently using the finger (6, 6a, ..., 6h, and ô ' ⁇ ' a, ... ⁇ 1 ! which is associated with them, by thermal conduction between them and the conductive layer 11.
  • the thermal conduction can be ensured for example by means of at least one heat conducting layer deposited on the electrically conducting layer 11 and on which the micro charges are deposited (3.3a, ..., 3h) fireworks.
  • the chamber (2a, ..., 2h) of some or each of the microactuators (la, ..., lh) can for example be opening of an orifice and communicating with the outside or with an adjoining room.
  • This orifice is produced through the lower conductive layer 11 and is closed by a pyrotechnic deposit placed in the chamber (2a, ..., 2h) and the external edge of which is in contact with the lower conductive layer 11.
  • the combustion of this pyrotechnic deposit is obtained by localized heating of the conductive layer 11 using a finger of an initiation device as described above.

Landscapes

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Abstract

L’invention concerne un dispositif d’initiation électrique d’au moins une micro-charge (3) pyrotechnique, ce dispositif étant caractérisé en ce qu’il comprend un élément support comportant au moins un doigt (6) conducteur relié à une première borne d’une centrale (8) de commande, une seconde borne de ladite centrale (8) de commande étant destinée à être reliée électriquement à un support de la micro-charge (3) pyrotechnique, conducteur de 1’électricité. L’invention concerne également un microactionneur (1,1a,...,1h) et un microsystème (1’) utilisant un tel dispositif d’initiation.

Description

DISPOSITIF D'INITIATION ÉLECTRIQUE D'UNE MICRO-CHARGE PYROTECHNIQUE ET MICROSYSTEME UTILISANT UN TEL DISPOSITIF
Le domaine technique de 1 ' invention est celui des microactionneurs destinés à remplir des fonctions mécaniques, chimiques, électriques, thermiques ou fluidiques dans des microsystèmes, pour des applications microélectroniques comme les puces, ou biomédicales comme les cartes d'analyse intégrant la icrofluidique ou de synthèse chimique comme les microréacteurs.
Le domaine technique de 1 * invention est plus particulièrement celui des dispositifs d'initiation de microactionneurs inclus dans un microsystème.
Les microactionneurs sont des objets miniaturisés, réalisés dans des supports solides pouvant être semiconducteurs ou isolants, dans le but de former des microsystèmes comme, par exemple, des microvannes ou des micropompes dans des microcircuits de fluide, ou des microinterrupteurs dans des microcircuits électroniques. Des microactionneurs utilisant des effets électrostatique, piézoélectrique, électromagnétique et bimétallique existent depuis quelque temps déjà. Une nouvelle génération de microactionneurs commence à faire son apparition : ceux utilisant l'effet pyrotechnique. Les matériaux pyrotechniques ont une densité énergétique élevée, leur utilisation dans des microactionneurs permet donc de réduire considérablement la dimension des microsystèmes intégrant de tels microactionneurs. De tels microactionneurs pyrotechniques sont par exemple décrits dans la demande de brevet WO 02/088551.
De manière connue, le fonctionnement d'un microactionneur pyrotechnique est obtenu en provoquant la combustion d'une micro-charge pyrotechnique, généralement en élevant localement sa température jusqu'à un seuil de décomposition, au moyen d'un dispositif d'initiation. Le nombre de microactionneurs intégrés dans un même microsystème peut être élevé, il peut par exemple atteindre plusieurs centaines. Dés lors que chaque microactionneur possède son propre dispositif d'initiation, se pose la question de l'adressage individualisé de chacun des microactionneurs. Le système d'initiation individualisée de chacun des microactionneurs peut être intégré entièrement dans le microsystème. Toutefois, le microsystème devient ainsi beaucoup plus complexe. De plus, il convient de rappeler qu'un microactionneur pyrotechnique fonctionne en monocoup, la combustion d'une micro-charge pyrotechnique étant irréversible. L'application de tels microactionneurs pyrotechniques sera donc réalisée en règle générale dans des produits consommables à utilisation unique. Ces produits à utilisation uniques, pour être commercialement viables, devront donc être d'un coût de fabrication relativement réduit. L'utilisation d'un dispositif d'initiation intégré dans le microsystème rendra donc non seulement le produit final complexe mais augmentera également considérablement son coût de fabrication.
Le but de 1 ' invention est donc d' obtenir un dispositif d'initiation individualisée de chacune des micro-charges pyrotechniques parmi une pluralité de charges pyrotechniques, qui soit simple, standard, indépendant et facilement adaptable sur un support des micro-charges pyrotechniques.
Ce but est atteint par un dispositif d'initiation électrique d'au moins une micro-charge pyrotechnique, ce dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend un élément support comportant au moins une partie conductrice de l'électricité reliée à une première borne d'une centrale de commande, une seconde borne de ladite centrale de commande étant destinée à être reliée électriquement à un support conducteur de l'électricité, la micro-charge étant située à une distance suffisante du support conducteur pour pouvoir être initiée en combustion par un échauffement localisé du support, cet échauffe ent étant réalisé par 1 ' intermédiaire de la partie conductrice placée en contact avec le support conducteur, juste au-dessous de la micro-charge pyrotechnique.
Selon un premier mode de réalisation, la microcharge pyrotechnique est déposée sur le support conducteur. Selon un second mode de réalisation, la microcharge pyrotechnique est séparée du support par au moins une couche conductrice de la chaleur.
Une micro-charge pyrotechnique aura par exemple la forme d'un film discoïdal d'une épaisseur comprise entre lμm et lOOμm. La masse d'une micro-charge pyrotechnique sera par exemple de 0,5 μg. La partie conductrice de l'élément support, utilisée pour l'initiation de la micro-charge, devra être d'une taille similaire à celle de la micro-charge. Selon une particularité, la partie conductrice est réalisée au moins au sommet d'un doigt, ledit doigt étant positionné en appui par son sommet contre le support conducteur, juste sous la micro-charge pyrotechnique. Selon un mode de réalisation, le doigt est monté sur un ressort. Ainsi le doigt est maintenu en contact avec le support conducteur de l'électricité.
Selon une particularité, le doigt est une électrode en carbone ou en titane. Selon un autre mode de réalisation, le doigt est constitué d'une bosse en matériau souple formée sur l'élément support.
Selon une particularité, l'élément support est constitué d'une plaque en matériau souple, thermoformêe, à partir de laquelle est formée ladite bosse, la bosse formant ainsi un doigt destiné à être en appui par son sommet contre le support conducteur.
Selon un mode de réalisation préféré du dispositif d'initiation selon l'invention, lorsque l'élément support comporte une pluralité de doigts par exemple identiques, les parties conductrices de l'électricité sont reliées en parallèle à la première borne de la centrale de commande. Selon l'invention, il s'agit de créer un "hérisson" de doigts dans l'élément support. Chacun des doigts est en appui contre le support conducteur et destiné à être placé au-dessous d'une micro-charge pyrotechnique déposée directement ou non sur le support conducteur suivant l'une des configurations décrites ci-dessus, pour pouvoir 1 ' initier en combustion sur ordre de la centrale de commande. Il est ainsi possible d'initier une pluralité de micro-charges pyrotechniques à partir d'un seul dispositif d'initiation. Prêférentiellement, la centrale de commande pourra disposer de moyens de sélection afin de pouvoir sélectionner les micro-charges à initier en faisant passer le courant par la partie conductrice de certains doigts seulement.
Selon une particularité, lorsque l'élément support comporte une pluralité de doigts, la position des doigts sur l'élément support est réglable. De cette façon, il sera possible d'adapter la position des doigts à la position des micro-charges pyrotechniques sur le support. Un même élément support pourra donc être utilisé quelle que soit la position des micro-charges à initier sur le support.
L'invention concerne également un microactionneur comportant un élément d'actionnement pouvant être actionné par les gag issus de la combustion d'une micro- charge pyrotechnique, ce microactionneur étant caractérisé en ce que ladite micro-charge est située à une distance suffisante d'une couche conductrice pour pouvoir être initiée en combustion par échauffement localisé à l'aide d'un dispositif d'initiation conforme à celui décrit ci-dessus, dans lequel une partie conductrice de 1 •électricité est placée au niveau de ladite micro-charge pyrotechnique, en appui contre la couche conductrice, juste au-dessous de ladite microcharge pyrotechnique.
Selon une particularité de ce microactionneur, la micro-charge pyrotechnique est déposée sur une face de la couche conductrice et la partie conductrice du dispositif d'initiation est en contact avec la face de la couche conductrice opposée à celle sur laquelle est déposée la micro-charge pyrotechnique. Selon une autre particularité, la couche conductrice est constituée d'un film métallique, par exemple en aluminium.
Selon une autre particularité, le film en aluminium a une épaisseur comprise entre 20 et 150 μm. L'épaisseur de la couche conductrice varie en fonction de 1 ' intensité du courant à travers la couche conductrice et du temps de passage de ce courant à travers ladite couche.
Selon une autre particularité, le film d'aluminium a une épaisseur de 70 μm.
Selon une autre particularité, le microactionneur est réalisé par assemblage de couches superposées.
Selon une autre particularité, le microactionneur comprend une cavité ou chambre formée par l'assemblage des couches, dans laquelle est placée au moins une micro-charge pyrotechnique, ladite cavité étant fermée par une couche constituant une membrane dêformable.
Préférentiellement, la cavité est circulaire et présente un diamètre de 1 mm. L'invention concerne également un microsystème. Ce microsystème se caractérise en ce qu'il comprend un support d'une pluralité de microactionneurs adjacents conformes à celui décrit ci-dessus, les micro-charges des microactionneurs étant situées à une distance suffisante d'une couche conductrice pour pouvoir être initiées en combustion, chacune indépendamment, par échauffement à l'aide du dispositif d'initiation décrit ci-dessus dont l'élément support est adapté sur le support des microactionneurs, ledit dispositif d'initiation comportant une pluralité de parties conductrices reliées en parallèle à la première borne de la centrale de commande, une partie conductrice étant placée au niveau de chacune des micro-charges pyrotechniques, en contact avec la couche conductrice, juste au-dessous de chacune des micro-charges pyrotechniques.
Selon un mode de réalisation préféré, le microsystème est constitué d'un assemblage de couches superposées. Les microactionneurs sont tous formés par l'assemblage de ces mêmes couches. Une couche centrale comporte une pluralité de trous et est recouverte sur chacune de ses faces par une couche de sorte que chacun des trous forme ainsi une cavité fermée. Dans chacune des cavités est placée au moins une micro-charge pyrotechnique. L'une des couches de recouvrement est par exemple constituée d'une membrane déformable constituant un élément d' actionnement commun à tous les microactionneurs. Cette membrane se déforme donc aux endroits ou des micractionneurs sont mis en fonctionnement.
Ainsi, selon l'invention, cela permet de simplifier considérablement le microsystème en le rendant indépendant de son dispositif d'initiation. Selon l'invention, après une initiation des micro-charges pyrotechniques des microactionneurs à l'aide du dispositif d'initiation selon l'invention, ce dernier peut être réutilisé en étant adapté sur un nouveau microsystème. Selon l'invention, après une utilisation du produit, seul le microsystème doit être remplacé. Le dispositif d'initiation pourra être réutilisé en étant adapté sur un nouveau microsystème.
Du fait de la relative petite taille des microcharges pyrotechniques, les doigts devront être positionnés de manière précise sous chacune des micro- charges et disposer d'une partie conductrice d'une taille proportionnée par rapport à celle des microcharges de manière à obtenir un échauffement localisé sous chacune des micro-charges pyrotechniques. Selon l'invention, il s'agit en effet d'éviter d'échauffer une zone de la couche conductrice trop étendue et ainsi d'éviter que chaque partie conductrice d'un doigt puisse initier une micro-charge pyrotechnique d'un microactionneur adjacent alors que cette initiation n'a pas été commandée.
L'invention, avec ses caractéristiques et avantages, ressortira plus clairement à la lecture de la description faite en référence aux dessins annexés dans lesquels : La figure 1 représente schématiquement en coupe transversale un dispositif d'initiation d'un microactionneur pyrotechnique.
La figure 2 représente schématiquement, en coupe transversale, un microsystème composé d'une pluralité de microactionneurs sur lequel vient s'adapter un dispositif d'initiation selon un premier mode de réalisation.
La figure 3 représente schématiquement, en coupe transversale, un microsystème composé d'une pluralité de microactionneurs sur lequel vient s'adapter un dispositif d'initiation selon un second mode de réalisation.
La figure 4 représente schématiquement un doigt conducteur utilisé dans le dispositif d'initiation visible en figure 3.
Des microactionneurs et des microsystèmes sont décrits dans la demande de brevet n°WO 02/088 551 déposée par la requérante.
Dans toute la description, les termes micro-charges pyrotechniques, microactionneurs et microsystèmes sont utilisés pour désigner des objets de très petite taille, de l'ordre du millimètre ou du micromètre, induisant de ce fait, notamment, des contraintes au niveau de leur fabrication et du fonctionnement du dispositif dans lequel ils sont employés.
De manière connue, un microactionneur 1 pyrotechnique comprend une chambre 2 par exemple de forme cylindrique réalisée dans un support en polycarbonate. Ledit support résulte par exemple comme représenté en figure 1 d'un empilement de feuilles ou couches assemblées les unes sur les autres, par exemple par collage, par soudage par laser ou par thermocompression, par laminage à chaud ou par tout autre moyen approprié. Un microactionneur 1 pyrotechnique simple tel que celui représenté en figure
1 comporte trois couches 10, 11, 12 superposées. La couche centrale 10 est percée transversalement d'un trou qui est recouvert par la couche dite supérieure 12 fixée sur une première face de la couche centrale et dite face supérieure 100 et par la couche dite couche inférieure 11 fixée sur la face opposée à la face supérieure 100 de la couche centrale 10, dite face inférieure 101. Les parois latérales de ce trou délimitent donc, avec la couche supérieure 12 et la couche inférieure 11, la chambre 2 dite de combustion. Le diamètre de la chambre
2 de combustion ainsi formée est par exemple de 1 mm. Dans cette chambre 2 de combustion est placée une microcharge 3 pyrotechnique. Préférentiellement, la chambre 2 définit un espace hermétique.
La couche supérieure 12 est constituée d'une membrane déformable assemblée sur la face supérieure 100 de la couche centrale 10. Cette membrane sera par exemple en matériau plastique et/ou élastique, par exemple en PTFE (ou TéfIon, marque déposée) , en caoutchouc ou en élastomère. Selon l'invention, la couche inférieure 11 est une couche conductrice de l'électricité, constituée par exemple par une feuille métallique, par exemple en aluminium, pouvant être par exemple autocollante pour être collée sur la couche centrale 10. Selon l'invention, la micro-charge 3 pyrotechnique est déposée dans la chambre 2 de combustion sur la face de la couche inférieure 11 conductrice qui est en contact avec la couche centrale 10. Cette face de la couche 11 conductrice est dite face supérieure 110. La micro-charge 3 pyrotechnique peut être déposée par exemple sous la forme d'un film par exemple discoïde ayant une épaisseur inférieure à 200 μm, par exemple comprise entre 1 μm et 100 μm.
Selon l'invention, l'initiation de la micro-charge 3 pyrotechnique comprise dans la chambre 2 de combustion est réalisée électriquement. L'initiation de la microcharge 3 est obtenue à l'aide d'une centrale 8 de commande comportant un générateur 4 de courant électrique et un interrupteur 5. Une première borne du générateur 4 est reliée à un doigt 6 conducteur de l'électricité. Ce doigt 6 conducteur est monté sur un ressort 7 et fixé par exemple sur un support (non représenté sur la figure 1) . Le doigt 6 conducteur est constitué par exemple d'une électrode en carbone ou en titane. Une seconde borne du générateur 4 est reliée électriquement à la couche 11 conductrice du microactionneur 1, sur laquelle est déposée la microcharge 3 pyrotechnique. Selon l'invention, l'extrémité libre, ou autrement dit le sommet, du doigt 6 conducteur vient en appui contre la face 111 de la couche 11 conductrice qui est opposée à celle sur laquelle est déposée la micro-charge 3 pyrotechnique, c'est-à-dire opposée à sa face supérieure 110. De plus, le doigt 6 conducteur est positionné de manière à venir en contact avec la couche 11 conductrice juste au-dessous de l'endroit où est déposée la micro-charge 3 pyrotechnique. Le contact du doigt 6 conducteur contre la couche 11 conductrice est assuré et maintenu grâce au ressort 7 sur lequel le doigt 6 est monté. Selon l'invention, la centrale 8 de commande ainsi que le doigt 6 conducteur et la couche 11 conductrice forment donc, lorsque l'interrupteur 5 est fermé, un circuit électrique fermé.
Le circuit ainsi formé permet de faire passer un courant électrique dans le doigt 6 conducteur, le retour de ce courant vers la centrale 8 de commande étant effectué par l'intermédiaire de la couche 11 conductrice. Lors du passage du courant dans la zone de contact entre le doigt 6 conducteur et la couche 11 conductrice, il se produit un échauffement local de la couche 11 conductrice qui communiqué au dépôt pyrotechnique se trouvant sur la face 110 opposée provoque son initiation en combustion. De manière connue, la combustion de la micro-charge 3 pyrotechnique produit des gaz se répandant dans la chambre 2. La surpression créée dans la chambre 2 provoque la déformation de la membrane 12. La membrane 12 sera amenée à exercer une certaine fonction selon le microsystème dans lequel un tel microactionneur est utilisé. Il s'agira par exemple pour la membrane 12 de se déformer pour venir obturer un microcircuit de fluide. Si la chambre 2 est parfaitement hermétique, les gaz issus de la combustion de la micro-charge 3 pyrotechnique restent dans la chambre et la membrane 12 est ainsi maintenue sous l'action de ces gaz dans sa position déformée. Un microsystème est un dispositif multifonctionnel miniaturisé dont les dimensions maximales n'excèdent pas quelques millimètres. Dans le cadre d'un microcircuit de fluide, un microsystème peut, par exemple, être une microvanne ou une micropompe, et dans le cadre d'un microcircuit électronique, un microinterrupteur ou un microcommutateur. Les microactionneurs sont réalisés dans des supports semi-conducteurs, comme ceux en silicium par exemple, lorsqu'il s'agit d'une application microélectronique. Ils peuvent être conçus dans d'autres matériaux, comme du polycarbonate, pour d'autres applications et notamment dans le domaine biomédical.
En référence à la figure 2, selon l'invention, un microsystème l' comporte par exemple une pluralité de microactionneurs (la,...,lh) adjacents identiques à celui décrit ci-dessus en référence à la figure 1. Ces microactionneurs (la,...,lh) sont tous formés dans un même support par l'empilement des trois couches 10, 11, 12 définies ci-dessus, c'est-à-dire par la couche centrale 10 prise entre la membrane formant la couche supérieure 12 et la couche inférieure 11 conductrice de l'électricité. La chambre (2a,..., 2h) de combustion de chacun des microactionneurs (la,...,lh) est donc délimitée par les parois latérales d'un trou formé à travers la couche 10 centrale et par la couche supérieure 12 formant la membrane déformable située au- dessus et la couche inférieure 11 conductrice de l'électricité située au-dessous. Dans chaque chambre (2a, ... , 2h) , une micro-charge (3a, ... , 3h) pyrotechnique telle que décrite ci-dessus est déposée sur la face 110 supérieure de la couche inférieure 11 conductrice. Les microactionneurs (la,...,lh) sont par exemple espacés entre eux d'une longueur de 2 mm.
Selon un premier mode de réalisation de 1 ' invention représenté en figure 2, un dispositif d'initiation est constitué de plusieurs doigts (6a,...,6h) conducteurs identiques à celui décrit ci-dessus en référence à la figure 1, se dressant, parallèlement entre eux, perpendiculairement à un plan défini sur un élément 9 support. Chacun de ces doigts (6a,...,6h) est monté sur un ressort (7a,..., 7h) et relié électriquement à une centrale 8' de commande. Les axes des ressorts (7a,...,7h) sont parallèles entre eux et perpendiculaires au plan défini sur l'élément 9 support. Les doigts (6a,...,6h) sont reliés électriquement en parallèle à une borne d'une source 4' de courant de la centrale 8' de commande. La centrale 8' commande une pluralité d'interrupteurs (5a,...,5h), chaque doigt (6a,...,6h) conducteur étant associé à l'un de ces interrupteurs (5a,..., 5h). Ainsi la centrale 8* de commande peut, en fermant certains interrupteurs (5a,...,5h), sélectionner les microactionneurs (la,...,lh) à activer. La centrale 8' de commande comporte donc des moyens de sélection lui permettant de sélectionner les interrupteurs à fermer en fonction des microactionneurs (la,...,lh) qu'il est nécessaire d'activer. Selon l'invention, l'élément 9 support vient s'adapter sur le microsysteme l' de sorte qu'un doigt
(6a,...,6h) conducteur soit associé à chaque microactionneur (la,...,lh) du microsystème l'. Lorsque 1 ' élément 9 support est adapté sur le microsystème 1 • , les doigts (6a,...,6h) conducteurs sont maintenus en contact avec la couche inférieure 11 conductrice du microsystème 1 ' , chacun à 1 ' aide de leur ressort (7a,...,7h) comme expliqué ci-dessus en référence à la figure 1. Les doigts (6a,...,6h) conducteurs sont placés sur 1 'élément 9 support de manière à venir chacun au contact de la face inférieure 111 de la couche inférieure 11, juste au-dessous de la micro-charge (3a,...,3h) pyrotechnique, déposée sur la face 110 opposée, du microactionneur (la,...,lh) auquel ils sont associés. L'élément 9 support comporte par exemple une couronne 90 périphérique lui permettant de venir s ' adapter sur le microsystème 1 ' . L' assemblage entre les deux éléments est effectué par exemple suivant les flèches représentées sur la figure 2 et la liaison entre le microsystème l' et l'élément 9 support pourra être réalisée par exemple par clipsage.
Selon l'invention, la centrale 8' de commande pourra être intégrée à l'élément 9 support de manière à constituer un dispositif d'initiation complet adaptable sur le microsystème 1 ' .
Selon l'invention, chaque doigt (6a,...,6h) conducteur, en contact avec la couche inférieure 11 conductrice, lorsqu'il est sélectionné par la centrale 8' de commande, permet de créer un échauffement localisé de la couche inférieure 11 conductrice juste sous la micro-charge (3a,..., 3h) auquel il est associé, pour provoquer l'initiation de ladite microcharge (3a,..., 3h) et obtenir ainsi, sous l'action des gaz de combustion, la déformation ponctuelle, au niveau du microactionneur sélectionné, de la couche supérieure 12 formant la membrane.
Selon un second mode de réalisation de 1 ' invention représenté en figure 3, un dispositif d'initiation adaptable sur un microsystème l' identique à celui décrit en référence à la figure 2 , comporte un élément 9' support constitué d'une plaque en matériau souple, comme par exemple l'élastomère, thermoformée, formant ainsi une pluralité de bosses (6',6'a,...,6*i) adjacentes. Ce type de plaque est par exemple du type de celle utilisé dans les claviers souples d'appareils. Au sommet de chaque bosse (6',6'a,...,6'i) est réalisé un dépôt 60' (figure 4), par exemple par pulvérisation, sérigraphie ou tampographie d'un matériau conducteur de l'électricité comme par exemple du carbone. Comme dans le premier mode de réalisation décrit en référence à la figure 2, les dépôts 60' conducteurs de l'électricité de chaque bosse (6 ' , 6 'a, ... , 6 ' i) sont reliées en parallèle à la centrale de commande (non représentée sur la figure 3). Chacune des bosses (6 ' , 6 'a, ... , 6 ' i) forme ainsi un doigt dont le sommet est destiné à venir en appui contre la couche inférieure 11 conductrice du microsystème l', juste sous une micro-charge (3a,..., 3h) pyrotechnique. Comme dans le mode de réalisation précédent, la couche inférieure 11 conductrice est reliée à une borne de la centrale de commande. La souplesse du matériau utilisé pour la fabrication de 1 * élément 9 ' support et des bosses (6* ,6 'a, ... , 6'i) permet aux bosses (6',6'a,...,6'i) d'épouser la surface de la face inférieure 111 de la couche inférieure 11 conductrice sur laquelle sont déposés les micro-charges (3a,..., 3h) pyrotechniques. Comme représenté en figure 3, le microsystème l' peut par exemple être inséré par coulissement dans le sens de la flèche par rapport au dispositif d'initiation selon l'invention. L'insertion du microsystème 1 ' par rapport au dispositif d'initiation est réalisée de manière à écraser les bosses (6' ,6'a, ... ,6 ' i) en élastomère de l'élément 9' support. Le fonctionnement d'un tel dispositif d'initiation est identique à celui décrit en référence à la figure 2. Selon l'invention, il s'agit donc de créer selon ces différents modes de réalisation un dispositif d• initiation indépendant du microactionneur 1 ou du microsystème l' auquel il est associé. Ainsi selon l'invention, le dispositif d'initiation est réutilisable une fois que le microactionneur 1 ou le microsystème l' a été utilisé pour la fonction à laquelle il est destiné.
Selon l'invention, la couche inférieure 11 conductrice pourra être constituée par exemple d'une feuille d'aluminium d'une épaisseur comprise par exemple entre 20 μm et 150 μm. Cette épaisseur de la feuille d'aluminium dépend notamment de l'intensité du courant passant à travers ainsi que de la nature et de la quantité de charge pyrotechnique à initier. En effet, on constate que 1 ' intensité du courant et son temps de passage à travers la couche conductrice doivent être contrôlés de manière à éviter le percement de la couche 11 conductrice. Par exemple, dans le cas du dispositif représenté en figure 1, il est possible d'utiliser comme couche 11 conductrice une feuille d'aluminium d'épaisseur égale à 70 μm à travers laquelle on fait passer, pour allumer la micro-charge 3 pyrotechnique, un courant d'intensité égale à 4,5 ampères pendant une durée de 0,2 secondes . Selon une variante de réalisation, la ou les microcharges (3,3a, ... ,3h) peuvent ne pas être déposées directement sur la couche 11 conductrice mais être situées à une distance suffisante de celle-ci pour pouvoir être initiées en combustion chacune indépendamment à l'aide du doigt (6, 6a, ... , 6h, et ô'^'a,...^1!) qui leur est associé, par conduction thermique entre elles et la couche 11 conductrice. La conduction thermique pourra être assurée par exemple par l'intermédiaire d'au moins une couche conductrice de la chaleur déposée sur la couche 11 conductrice de l'électricité et sur laquelle sont déposées les microcharges (3,3a, ... ,3h) pyrotechniques.
Selon un mode de réalisation (non représenté) du microsystème l' selon l'invention, la chambre (2a,..., 2h) de certains ou de chacun des microactionneurs (la,...,lh) peut par exemple être percée d'un orifice et communiquer avec l'extérieur ou avec une chambre annexe. Cet orifice est réalisé à travers la couche inférieure 11 conductrice et est obturé par un dépôt pyrotechnique placé dans la chambre (2a,..., 2h) et dont le bord externe est en contact avec la couche inférieure 11 conductrice. Selon l'invention, la combustion de ce dépôt pyrotechnique est obtenue par échauffement localisé de la couche 11 conductrice à l'aide d'un doigt d'un dispositif d'initiation tel que décrit ci-dessus. Ainsi, la combustion de ce dépôt pyrotechnique, alors que la chambre est sous pression et la membrane déformée, permet de libérer l'orifice et ainsi d'évacuer les gaz hors de la chambre de combustion. La chambre n'étant alors plus sous-pression, la membrane, si elle est élastique, se dégonfle. Selon l'invention, on obtient ainsi des microactionneurs à double effet permettant d'effectuer une action puis de revenir en position initiale.
Il doit être évident pour les personnes versées dans l'art que la présente invention permet des modes de réalisation sous de nombreuses autres formes spécifiques sans 1 ' éloigner du domaine d* application de 1 ' invention comme revendiqué. Par conséquent, les présents modes de réalisation doivent être considérés à titre d'illustration, mais peuvent être modifiés dans le domaine défini par la portée des revendications jointes, et l'invention ne doit pas être limitée aux détails donnés ci-dessus.

Claims

Revendications
1. Dispositif d'initiation électrique d'au moins une micro-charge (3 , 3a, ... ,3h) pyrotechnique, caractérisé en ce qu'il comprend un élément (9, 9') support comportant au moins une partie conductrice de l'électricité reliée à une première borne d'une centrale (8 , 8 • ) de commande, une seconde borne de ladite centrale (8, 8') de commande étant destinée à être reliée électriquement à un support conducteur de l'électricité, la micro-charge (3,3a, ... ,3h) étant située à une distance suffisante dudit support conducteur pour pouvoir être initiée en combustion par un échauffement localisé du support, cet échauffement étant réalisé par 1 ' intermédiaire de la partie conductrice placée en contact avec le support conducteur, juste au-dessous de la micro-charge (3,3a, ... ,3h) pyrotechnique.
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la micro-charge (3,3a, ... , 3h) pyrotechnique est déposée sur le support conducteur.
3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la micro-charge (3,3a, ... , 3h) pyrotechnique est séparée du support par au moins une couche conductrice de la chaleur.
4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la partie conductrice est réalisée au moins au sommet d'un doigt (6,6a,...,6h et 6,6'a, ... ,6 'i) , ledit doigt (6,6a,...,6h et 6,6'a, ... ,6 'i) étant positionné en appui par son sommet contre le support conducteur.
5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le doigt (6, 6a, ... ,6h) est monté sur un ressort
6. Dispositif selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que le doigt (6,6a, ... ,6h) est une électrode en carbone ou en titane.
7. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le doigt (6 ' , 6 *a, ... , 6 'h) est constitué d'une bosse en matériau souple formée sur l'élément (9*) support.
8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'élément (9') support est constitué d'une plaque en matériau souple, thermoformée, dans laquelle est formée ladite bosse (6',6'a,...,6'i), la bosse formant un doigt destiné à être en appui par son sommet contre le support conducteur.
9. Dispositif selon l'une des revendications 4 à 8, caractérisé en ce que lorsque l'élément (9, 9') support comporte une pluralité de doigts (6a,...,6h 6* ,6'a, ... ,6' i) , les parties conductrices de l'électricité sont reliées en parallèle à la première borne de la centrale (8') de commande.
10. Dispositif selon l'une des revendications 4 à 9, caractérisé en ce que lorsque l'élément support (9) comporte une pluralité de doigts (6a,...,6h), la position des doigts (6a,...,6h) est réglable.
11. Microactionneur (1,1a, ... ,lh) comportant un élément d• actionnement pouvant être actionné par les gaz issus de la combustion d'au moins une micro-charge (3,3a, ... ,3h) pyrotechnique, caractérisé en ce que ladite micro-charge (3 ,3a, ... , 3h) est située à une distance suffisante d'une couche (11) conductrice pour pouvoir être initiée en combustion par échauffement localisé à l'aide d'un dispositif d'initiation conforme à celui des revendications 1 à 10, dans lequel une partie conductrice de 1 'électricité est placée au niveau de ladite micro-charge (3,3a, ... , 3h) pyrotechnique, en contact avec la couche (11) conductrice, juste au- dessous de ladite micro-charge (3 , 3a, ... , 3h) pyrotechnique.
12. Microactionneur (1,1a, ... ,lh) selon la revendication 11, caractérisé en ce que la micro-charge (3, 3a,..., 3h) pyrotechnique est déposée sur une face (110) de la couche conductrice et en ce que la partie conductrice est en contact avec la face (111) de la couche (11) conductrice opposée à celle sur laquelle est déposée la micro-charge (3,3a,..., 3h) pyrotechnique.
13. Microactionneur (1,1a, ... ,lh) selon la revendication 11 ou 12, caractérisé en ce que la couche (11) conductrice est constituée d'un film métallique.
14. Microactionneur (1,1a, ... , lh) selon la revendication 13, caractérisé en ce que le film est en aluminium.
15. Microactionneur (1, la, ... , lh) selon la revendication 14, caractérisé en ce que le film d'aluminium a une épaisseur comprise entre 20 et 150 μm.
16. Microactionneur (1, la, ... , lh) selon la revendication 14 ou 15, caractérisé en ce que le film d'aluminium a une épaisseur de 70 μm.
17. Microactionneur (1, la, ... , lh) selon l'une des revendications 11 à 16, caractérisé en ce qu'il est réalisé par assemblage de couches (10, 11, 12) superposées .
18. Microactionneur (1, la, ... , lh) selon la revendication 17, caractérisé en ce qu'il comprend une cavité (2a,..., 2h) formée par l'assemblage des couches, dans laquelle est placée au moins une micro-charge (3a,..., 3h) pyrotechnique, ladite cavité (2a,..., 2h) étant fermée par une couche (12) constituant une membrane déformable.
19 Microsystème (l1), caractérisé en ce qu'il comprend un support d'une pluralité de microactionneurs (la,...,lh) adjacents conformes à celui des revendications 11 à 18, les micro-charges (3a,..., 3h) pyrotechniques des microactionneurs (la,...,lh) étant situées à une distance suffisante de la couche conductrice (11) pour pouvoir être initiées en combustion, chacune indépendamment, par échauffement à l'aide du dispositif d'initiation dont l'élément (9, 9') support est adapté sur le support des microactionneurs (la,...,lh), ledit dispositif d'initiation comportant une pluralité de parties conductrices reliées en parallèle à la première borne de la centrale (8') de commande, une partie conductrice étant placée au niveau de chacune des micro-charges (3a,..., 3h) pyrotechniques, en contact avec la couche (11) conductrice, juste au- dessous de chacune des micro-charges (3a,...,3h) pyrotechniques.
20. Microsystème (1') selon la revendication 19, caractérisé en ce que les microactionneurs (la,...,lh) sont tous formés à partir d'un assemblage des mêmes couches (10, 11, 12).
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