EP0868976A3 - Procédé et dispositif de polissage pour le polissage à grande vitesse avec un plateau abrasif rotatif - Google Patents
Procédé et dispositif de polissage pour le polissage à grande vitesse avec un plateau abrasif rotatif Download PDFInfo
- Publication number
- EP0868976A3 EP0868976A3 EP98301690A EP98301690A EP0868976A3 EP 0868976 A3 EP0868976 A3 EP 0868976A3 EP 98301690 A EP98301690 A EP 98301690A EP 98301690 A EP98301690 A EP 98301690A EP 0868976 A3 EP0868976 A3 EP 0868976A3
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- lapping
- platen
- lapped
- sheet
- high speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US81274897A | 1997-03-06 | 1997-03-06 | |
| US812748 | 1997-03-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| EP0868976A2 EP0868976A2 (fr) | 1998-10-07 |
| EP0868976A3 true EP0868976A3 (fr) | 2000-08-23 |
Family
ID=25210509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| EP98301690A Withdrawn EP0868976A3 (fr) | 1997-03-06 | 1998-03-06 | Procédé et dispositif de polissage pour le polissage à grande vitesse avec un plateau abrasif rotatif |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0868976A3 (fr) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6200199B1 (en) | 1998-03-31 | 2001-03-13 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing conditioner |
| US7367872B2 (en) | 2003-04-08 | 2008-05-06 | Applied Materials, Inc. | Conditioner disk for use in chemical mechanical polishing |
| WO2009137685A2 (fr) * | 2008-05-07 | 2009-11-12 | Zygo Corporation | Configuration de machines de rodage et de polissage |
| US9352442B2 (en) | 2013-07-02 | 2016-05-31 | Seagate Technology Llc | Lapping carrier |
| CN106475914B (zh) * | 2016-10-31 | 2018-05-25 | 南京航空航天大学 | 一种钛合金表面氨基模塑料磨料气射流抛光方法 |
| DE102016125670A1 (de) | 2016-12-23 | 2018-06-28 | Scanlab Gmbh | Scanspiegel mit Auswuchtkörper sowie Verfahren zum Auswuchten eines Scanspiegels |
| JP6938084B2 (ja) * | 2017-07-26 | 2021-09-22 | 株式会社ディスコ | ブレード保持具 |
| CN110000685B (zh) * | 2019-05-07 | 2024-06-18 | 福州凌扬机电技术有限公司 | 一种五金件加工用的高效抛光装置 |
| CN111403885B (zh) * | 2020-03-31 | 2021-11-16 | 重庆思睿创瓷电科技有限公司 | 一种用于滤波器的对位压合工艺及工装 |
| CN112197754B (zh) * | 2020-09-17 | 2022-03-15 | 浙江海致建设有限公司 | 一种建筑测量用三角架 |
| CN112911850A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-06-04 | 西安熊福芳电子科技有限公司 | 一种便于移动的智能监控设备控制操作台 |
| CN112935963B (zh) * | 2021-02-05 | 2022-12-02 | 许昌学院 | 一种家具设计用装饰板打磨装置 |
| CN113267425A (zh) * | 2021-06-25 | 2021-08-17 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种半固体挤压磨料流软硬度的测试装置及其测试方法 |
| CN113916747B (zh) * | 2021-10-14 | 2023-09-15 | 重庆科技学院 | 一种应用于黏弹性流体测试启动压力梯度的修订方法 |
| CN114932501B (zh) * | 2022-06-02 | 2023-12-26 | 中国船舶集团有限公司第七一六研究所 | 一种光纤插芯研磨装夹机构 |
| CN114952441B (zh) * | 2022-06-15 | 2023-10-13 | 无锡市明鑫数控磨床有限公司 | 一种风电trb轴承立式磨削加工工艺 |
| CN114952554B (zh) * | 2022-06-20 | 2023-07-21 | 武汉船用机械有限责任公司 | 一种自动化打磨装置 |
| CN115401534B (zh) * | 2022-08-30 | 2023-08-01 | 大连理工大学 | 一种微阵列模具保形抛光方法 |
| CN115847225B (zh) * | 2023-03-02 | 2023-04-28 | 成都裕鸢航空智能制造股份有限公司 | 一种金属板表面打磨抛光装置及打磨抛光方法 |
| CN116484667B (zh) * | 2023-03-13 | 2024-04-19 | 北京交通大学 | 一种支撑连接器结构的拓扑优化与安定评估方法 |
| CN117066973A (zh) * | 2023-05-11 | 2023-11-17 | 中国人民解放军国防科技大学 | 光学元件的时变去除函数控时磨削补偿加工方法及系统 |
| CN117047601B (zh) * | 2023-08-22 | 2024-09-13 | 浙江永安工程机械有限公司 | 一种液压冲击锤加工用表面边缘打磨设备 |
| CN117359401A (zh) * | 2023-08-31 | 2024-01-09 | 华中科技大学 | 一种工件表面涂层的自动化打磨方法及系统 |
| CN116923719A (zh) * | 2023-09-18 | 2023-10-24 | 成都庆龙航空科技有限公司 | 一种通用的无人机仿型托架 |
| CN117301148B (zh) * | 2023-09-29 | 2025-10-28 | 福建景丰科技有限公司 | 一种铜系聚酰胺6母粒切割装置及其切割方法 |
| CN117047609A (zh) * | 2023-10-10 | 2023-11-14 | 玛格瑞斯(盐城)新型建材有限公司 | 一种人造板生产加工用磨边装置 |
| CN117774136B (zh) * | 2023-11-29 | 2024-11-12 | 珠海市金品创业共享平台科技有限公司 | 一种电视机屏幕生产用加工装置 |
| CN118578275B (zh) * | 2024-06-28 | 2024-10-22 | 宇辰智能装备(重庆)有限公司 | 一种工件端面研磨数控机床 |
| CN118595367B (zh) * | 2024-08-08 | 2024-10-18 | 山西天宝集团有限公司 | 一种耐腐蚀饼类锻件滚圆成型锻造装置 |
| CN119328617A (zh) * | 2024-11-18 | 2025-01-21 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 | 一种硅片加工设备 |
| CN119141343B (zh) * | 2024-11-20 | 2025-04-11 | 烟台卓德金属制品有限公司 | 一种料架生产用钢材表面除锈装置 |
| CN119550228A (zh) * | 2024-12-02 | 2025-03-04 | 西南交通大学 | 一种气液阵列射流辅助的浮动抛光装置和方法 |
| CN119772780B (zh) * | 2024-12-09 | 2025-12-16 | 湖北鼎汇微电子材料有限公司 | 抛光层、抛光垫及半导体器件的制造方法 |
| CN120439168B (zh) * | 2025-07-11 | 2025-09-19 | 爱利彼半导体设备(上海)有限公司 | 一种半导体加热盘打磨装置及方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0257013A2 (fr) * | 1986-08-19 | 1988-02-24 | Léon Biebuyck | Procédé et machine pour meuler et polir mécaniquement une surface en matériau minéral, plus spécialement en verre |
| JPH07283178A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
| JPH07283177A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 |
-
1998
- 1998-03-06 EP EP98301690A patent/EP0868976A3/fr not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0257013A2 (fr) * | 1986-08-19 | 1988-02-24 | Léon Biebuyck | Procédé et machine pour meuler et polir mécaniquement une surface en matériau minéral, plus spécialement en verre |
| JPH07283178A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
| JPH07283177A (ja) * | 1994-02-21 | 1995-10-27 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0868976A2 (fr) | 1998-10-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0868976A3 (fr) | Procédé et dispositif de polissage pour le polissage à grande vitesse avec un plateau abrasif rotatif | |
| EP0832835A3 (fr) | Rouleau pour alimenter des feuilles, appareil et méthode pour le fabriquer | |
| EP0865874A3 (fr) | Dispositif de polissage et procédé | |
| EP0940219A3 (fr) | Procédé et dispositif de traitement de plaquette semiconductrice | |
| EP1208941A3 (fr) | Procédé et dispositif pour le meulage de feuilles de verre revêtu | |
| EP1080839A3 (fr) | Dispositif de dressage et de polissage | |
| DE69503408D1 (de) | Vorrichtung zum chemisch-mechanischen Polieren mit verbesserter Verteilung der Polierzusammensetzung | |
| EP0844049A3 (fr) | Rectifieuse utilisant des rubans abrasifs, parallèles, multiples pour rectifier simultanement des surfaces sur une pièce | |
| EP0893203A3 (fr) | Procédé et dispositif pour la détermination in-situ du point d'arrêt et pour l'optimisation d'un procédé de polissage à polisseur linéaire | |
| ZA957039B (en) | Coated abrasive article, method for preparing the same, and method of using a coated abrasive article to abrade a hard workpiece. | |
| EP1025954A3 (fr) | Procédé et dispositif pour le polissage de substrats | |
| MY131644A (en) | Apparatus for polishing the notch of a wafer | |
| EP0860237A3 (fr) | Dispositif de planarisation et procédé de mesure d'une pièce | |
| EP1053828A3 (fr) | Procédé et dispositif de dressage d'une toile de polissage | |
| ATE319542T1 (de) | Vorrichtung zum festlegen von folienmessern auf einer messerwalze | |
| MY141458A (en) | Method and apparatus for grinding a workpieces | |
| EP0051040A3 (fr) | Appareil et procédé pour le broyage de matériaux | |
| EP0945215A3 (fr) | Substrat céramique et son procédé de polissage | |
| TR200000548T2 (tr) | Öğütücü | |
| JPS6368353A (ja) | 研磨ツ−ル | |
| WO2001066307A2 (fr) | Procede et dispositif de façonnage de bords | |
| EP0059360A3 (fr) | Outil pour machine à dresser des plaques en marbre, granite ou matériau analogue | |
| EP0845329A3 (fr) | Procédé et dispositif de polissage d'une plaque mince | |
| ATE51354T1 (de) | Schleifscheibe zur bearbeitung und zum polieren von glaesern. | |
| AU7903791A (en) | A method of making surface finishing rollers as well as a roller made thereby |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
| AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A2 Designated state(s): DE FR GB IT |
|
| PUAL | Search report despatched |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013 |
|
| PUAF | Information related to the publication of a search report (a3 document) modified or deleted |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009199SEPU |
|
| AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A3 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE |
|
| AX | Request for extension of the european patent |
Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI |
|
| D17D | Deferred search report published (deleted) | ||
| PUAL | Search report despatched |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013 |
|
| AX | Request for extension of the european patent |
Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI |
|
| 17P | Request for examination filed |
Effective date: 20010514 |
|
| AKX | Designation fees paid |
Free format text: DE FR GB IT |
|
| 17Q | First examination report despatched |
Effective date: 20031118 |
|
| STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN |
|
| 18D | Application deemed to be withdrawn |
Effective date: 20040330 |