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DE60303801T2 - Verfahren zum polarisieren von ferroelektrischem material - Google Patents

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DE60303801T2
DE60303801T2 DE60303801T DE60303801T DE60303801T2 DE 60303801 T2 DE60303801 T2 DE 60303801T2 DE 60303801 T DE60303801 T DE 60303801T DE 60303801 T DE60303801 T DE 60303801T DE 60303801 T2 DE60303801 T2 DE 60303801T2
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ferroelectric
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polarization
external electrode
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Delphi Technologies Inc
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Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Betätigungsorgans, das für eine Verwendung in einem Kraftstoffeinspritzsystem für Verbrennungskraftmaschinen geeignet ist. Das Verfahren beinhaltet die Polung eines ferro-elektrischen Gegenstandes zur Induzierung einer Hauptpiezoelektrizität und eine dann nachfolgende Implementierung des Gegenstandes in das Betätigungsorgan.
  • In einem piezoelektrischen Kristall wird beim Anlegen eines elektrischen Feldes an gegenüber liegende Flächen des Kristalls eine mechanische Spannung oder Kraft erzeugt. Wenn das angelegte Feld entfernt wird, kehrt die Struktur des Kristalls in ihre ursprüngliche Gestalt zurück. Anorganische Materialien sind ausschließlich in ihrer einkristallinen Form in natürlicher Weise piezoelektrisch, wohingegen die einzelnen Kristalle in einem polykristallinen Gegenstand gewöhnlicherweise nach der Herstellung zufällig orientiert sind. Obwohl die einzelnen Kristalle eine piezoelektrische Kopplung zeigen, zeichnet sich aufgrund eines Mangels an einer insgesamten Vorzugsorientierung in der Materialmasse kein piezoelektrischer Effekt ab. Bevor derartige polykristalline Gegenstände beispielsweise für die Herstellung von Betätigungsorganen eingesetzt werden können, ist es daher notwendig, das Material zu polarisieren, um die Dipole auszurichten und damit eine Kristallgitterstruktur mit einer Vorzugsachse zu erzeugen.
  • In einem ferro-elektrischen Kristall kann eine permanente kristallographische Rückorientierung durch Anlegen eines ausreichend starken elektrischen Feldes an gegenüber liegenden Seiten des Kristalls (d.h. durch ein Polarisieren des Kristalls) hervorgerufen werden. Eine ferro-elektrische Polarisierung ist in 1 dargestellt, wobei die elektrischen Dipolmomente 10 eines ferro-elektrischen, polykristallinen Gegenstandes 12 vor der Polarisierung (a), während der Polarisierung (b) und nach der Polarisierung (c) gezeigt sind. Die zum Hervorrufen einer permanenten kristallographischen Rückausrichtung und Dipolrückorientierung erforderliche minimale elektrische Feldstärke wird als Koerzitivfeldstärke bezeichnet. Wenn die Koerzitivfeldstärke überschritten wurde, werden die ferro-elektrischen Dipole 10 ausgerichtet (1(c)). Die während der Polarisierung stattfindende permanente kristallographische Rückorientierung verursacht eine kleine, aber signifikante Änderung in der Gestalt des Gegenstandes, die eine Verlängerung in Richtung der Feldachse und eine Einschnürung senkrecht zu dieser umfasst. Dieses wird als ferroelektrische Formänderung bezeichnet. Nach der zuvor erläuterten kristallographischen Rückorientierung bildet das Material eine Hauptpiezoelektrizität aus. Im polarisierten Zustand ruft das Aufbringen eines weiteren angelegten Feldes einer Änderung der Form hervor, die als piezoelektrische Formänderung bekannt ist (wie zuvor beschrieben wurde). Diese dauert nur an, solange das elektrische Feld angelegt ist.
  • 2 zeigt, dass das piezoelektrische Material des Dipols 10a entlang der Polarisierungsachse gestreckt wird, wenn das zusätzliche an dem ferroelektrischen Gegenstand 12 angelegte elektrische Feld von gleicher Polarität wie das Polarisierungsfeld ist. Unter diesen Umständen streckt sich das piezoelektrische Material entlang der Feldachse und schnürt sich senkrecht zu dieser ein (siehe 2(a)). Falls das zusätzliche angelegte elektrische Feld eine dem Polarisierungsfeld entgegengesetze Polarität besitzt, wird der piezoelektrische Dipol 10b dazu gebracht, sich entlang der Polarisierungsachse zusammenzuziehen. Unter derartigen Umständen schnürt sich das piezoelektrische Material entlang der Feldachse ein und dehnt sich senkrecht zu dieser aus (siehe 2(b)).
  • Das Hervorrufen einer piezoelektrischen Formänderung wird in piezoelektrischen Betätigungsorganen genutzt, wie sie in Einspritzsystemen für Kraftstoff verwendet werden. Derartige Betätigungsorgane beinhalten gewöhnlicherweise einen Stapel piezoelektrischer Elemente, an denen ein elektrisches Feld angelegt wird, um während des Gebrauches eine Kontraktion oder Dehnung des piezoelektrischen Betätigungsorgans zu verursachen. Die Dehnung (oder die Kontraktion) des Stapels wird verwendet, um eine Betätigungskraft direkt oder indirekt auf eine mechanische Komponente, beispielsweise ein Ventilelement zum Zwecke der Steuerung einer Kraftstoffeinspritzung, aufzubringen. Ein Einspritzventil der zuvor beschriebenen Art wird in unserer ebenfalls anhängigen Patentanmeldung EP 0 995 901 A1 beschrieben.
  • Für eine Polarisierung von ferroelektrischen Gegenständen mit einer signifikanten Stärke sind verhältnismäßig große Polarisierungsspannungen erforderlich. Die Polarisierung derartiger Materialien erfordert Spannungen im Bereich von 1-2 kV/mm, weshalb schon ein Gegenstand mit einer Stärke von nur 1 cm eine Anwendung von Spannungen zwischen 10 und 20 kV erfordert.
  • Bei piezoelektrischen Gegenständen sind oftmals auch ähnliche Feldstärken erforderlich, um das bei Betätigungsorganen von Einspritzsystemen für Kraftstoff erforderliche Maß der Dehnung und Kontraktion zu erzeugen. Solche hohen Spannungen erfordern die Bereitstellung einer kostenintensiven Elektronik. Des Weiteren ist es nicht gewünscht, derartige hohe Spannungen in einem Kraftfahrzeug zu verwenden.
  • Um die erforderlichen Polarisierungsspannungen zu verringern, wurden ferroelektrische Gegenstände aus zahlreichen Schichten mit piezoelektrischen Eigenschaften in einer Hauptrichtung entwickelt. 3 zeigt, dass eine vielschichtige Struktur 14 aus einer Vielzahl von verhältnismäßig dünnen piezoelektrischen Schichten 16 ausgebildet ist, von denen jede von ihren benachbarten Schichten durch eine innenliegende Elektrode einer Gruppe von innen liegenden Elektroden 18a oder 18b beabstandet ist. Die innen liegenden Elektroden sind zur Ausbildung der beiden Elektrodensätze 18a, 18b abwechselnd in Gruppen zusammengefasst, so dass die Elektroden des einen Satzes 18a mit den Elektroden des anderen Satzes 18b fingerartig ineinander greifen. Die innen liegenden Elektroden jedes Satzes sind mittels erster und zweiter außen liegender Elektroden 20a, 20b miteinander verbunden. Durch Erzeugen einer derartigen vielschichtigen Struktur, die beispielsweise einen Elektrodenabstand von ungefähr 100 μm aufweist, kann durch eine angelegte Spannung von 200 V ein elektrisches Feld von ungefähr 2 kV/mm erhalten werden. Auf Grund der wechselnden Polarität des innen liegenden elektrischen Feldes wechselt die Polarisierungsrichtung in der piezoelektrischen vielschichtigen Struktur über die gesamte Struktur hinweg, wie in 4 dargestellt ist.
  • Obwohl es die Verwendung von vielschichtigen Strukturen möglich macht, verringerte Polarisierungsspannungen einzusetzen, bestehen Probleme hinsichtlich der Ausgestaltung der Elektrode, um eine solche Struktur zu erhalten. Zunächst müssen die beiden in- und miteinander verschränkten Sätze der innen liegenden Elektroden 18a, 18b voneinander isoliert sein, um einen Kurzschluss zu verhindern und das Anlegen eines elektrischen Feldes über das ineinander verschränkte Material hinweg zu ermöglichen. Die Isolierung der verschränkten Elektroden wird gewöhnlicherweise durch einen Abschluss (ein Ende) der Elektrodenschichten kurz vor der entgegengesetzten Polarität der außen liegenden Elektrode erreicht (d.h. die innen liegenden Elektroden 18a enden kurz vor den außen liegenden Elektroden 20b und umgekehrt). Wie in 5 dargestellt ist, kann ein Ferroelektrikum allerdings nur polarisiert werden, wenn es dem elektrischen Koerzitivfeld ausgesetzt ist, wobei unvollständige Schichten der inneren Elektrode daher angrenzend an die außen liegenden Elektroden 20a, 20b Bereiche 22 eines nicht polarisierten Materials erzeugen (schraffiert dargestellt). Dieses führt zu einer Unstetigkeit der ferroelektrischen Formänderung zwischen den Bereichen des polarisierten und des nicht polarisierten Materials, wodurch das nicht polarisierte Material unter Zug und das polarisierte Material unter Druck gesetzt wird. Im Ergebnis neigt das polarisierte Material dazu, zu brechen, während das nicht polarisierte Material dazu neigt, das anliegende polarisierte Material einzuspannen, wobei eine Deformation der vielschichtigen Struktur verursacht wird.
  • Um unerwünschte "Oberflächenüberschlags"-Effekte zu vermeiden, die auftreten, wenn die innen liegenden Elektroden 18a, 18b auf die freie Oberfläche der Gegenstände treffen, sind zweitens die innen liegenden Elektroden 18a, 18b eingegraben bzw. verborgen, indem sie kurz vor der freien Oberfläche abschließen. Dies führt wiederum zu einem Bereich, in dem die Keramik unpolarisiert bleibt (d.h. einem Bereich unmittelbar unter der freien Oberfläche, der gewöhnlicherweise eine Breite von einigen hundert Mikrometern besitzt), was zu Unstetigkeiten der ferroelektrischen Formänderung zwischen den polarisierten und den nicht polarisierten Bereichen führt.
  • Eine bekannte Weise zur Verhinderung von Oberflächenüberschlägen bei gleichzeitiger Vermeidung einer Verwendung von verborgenen oder eingegrabenen innen liegenden Elektroden ist, eine Art von Passivierung auf die Oberfläche der Gegenstände aufzubringen, wie beispielsweise eine Polymerumhüllung mit einer verhältnismäßig großen Durchschlagfestigkeit. Dieses ermöglicht eine Teillösung; allerdings verbleibt ein nicht polarisierter Bereich der Keramik hinter den außen liegenden Elektroden 20a, 20b, um die beiden Sätze der innen liegenden Elektroden 18a und 18b zu isolieren. Die äußersten piezoelektrischen Schichten 40a, 40b, die die Endflächen der vielschichtigen Struktur 14 bilden, liegen nicht zwischen zwei innen liegenden Elektroden, weshalb sie während der Polarisierung nicht dem Koerzitivfeld ausgesetzt sind. Die äußersten piezoelektrischen Schichten 40a, 40b verbleiben daher unpolarisiert.
  • Es ist bekannt, eine Polarisierungsspannung an einem vielschichtigen ferroelektrischen Block anzulegen, um die Piezoelektrizität in den Block als Ganzes einzubringen. Nach dem Polarisieren wird der Block dann geteilt oder in einzelne Gegenstände geschnitten. Die US 6 356 008 beschreibt beispielsweise ein Verfahren zur Herstellung einer Resonatorvorrichtung mit einem piezoelektrischen Körper, indem zur Einbringung einer Piezoelektrizität in einen piezoelektrischen Block ein zweiphasiges Polarisierungsverfahren angewendet wird. Die Elektroden werden nachfolgend von dem Block entfernt, der auf die entsprechende Größe zugeschnitten wird, um die letztendliche Resonatorvorrichtung herzustellen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines Betätigungsorgans für einen Einspritzventil-Anordnung geschaffen, wobei das Verfahren aufweist:
    ein Bereitstellen eines Blockes aus ferroelektrischem Material,
    ein Verkürzen und/oder Ausformen des Blockes zu einer Endgröße, um einen ferroelektrischen Gegenstand zu schaffen, der im Betrieb ein aktives Element des Betätigungsorgans bildet, wobei der ferroelektrische Gegenstand eine erste und eine zweite Endfläche, die einander gegenüber liegen, eine erste und eine zweite Seitenfläche, die einander gegenüber liegen, und einen Stapel ferroelektrischer Schichten aufweist, wobei benachbarte Schichten durch eine (einzelne) einer Vielzahl von innen liegenden Elektroden voneinander getrennt sind, die im wesentlich parallel zu den Endflächen des Gegenstandes angeordnet sind,
    nachfolgend auf den Verkürzungs- und/oder Ausformungs-Schritt ein Anbringen einer primären außen liegenden Elektrodenanordnung an der ersten und der zweiten Endfläche des Gegenstandes,
    ein Anlegen einer primären Polungsspannung an die primäre außen liegende Elektrodenanordnung, um im Wesentlichen den gesamten ferroelektrischen Gegenstand entlang einer einzigen, ersten Polarisationsachse in einer ersten Polarisationsrichtung zu polarisieren,
    ein Anbringen einer bleibenden, sekundären, außen liegenden Elektrodenanordnung an den Seitenflächen des Gegenstandes derart, dass die sekundäre, außen liegende Elektrodenanordnung mit den innen liegenden Elektroden in Kontakt gelangt,
    ein Anlegen einer sekundären Polungsspannung an die sekundäre Elektrodenanordnung, um im Wechsel die einen ferroelektrischen Schichten entlang im wesentlichen der ersten Polarisationsachse in der ersten Polarisationsrichtung zu polarisieren, während die anderen ferroelektrischen Schichten entlang einer zweiten, gegenläufig gerichteten Polarisationsachse polarisiert werden,
    so dass im Wesentlichen der gesamte Gegenstand polarisiert wird, während Unstetigkeiten der ferroelektrischen Formänderung über den gesamten Gegenstand vermieden werden.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ist vorteilhaft, da es Unstetigkeiten der ferroelektrischen Formänderung in dem Bereich des Gegenstandes benachbart zu den sekundären Elektroden an den Seitenflächen vermeidet. Bei einer Verwendung von herkömmlichen Polarisierungstechniken verbleibt dieser Bereich des Gegenstandes unpolarisiert, wobei die sich daraus zwischen diesem und dem inneren polarisierten Bereich des Gegenstandes ergebende Unstetigkeit der ferroelektrischen Formänderung ein Brechen des nicht polarisierten Bereiches verursachen kann. Die Verwendung einer vielschichtigen Struktur ermöglicht außerdem eine Verwendung von verminderten Polarisierungsspannungen.
  • Bei einer bevorzugten Ausführungsform wird der Schritt des Anlegens der primären Polarisierungsspannung vor dem Schritt des Anlegens der sekundären Polarisierungsspannung ausgeführt.
  • Das Verfahren beinhaltet vorzugsweise ein Bereitstellen eines ferroelektrischen Gegenstands, in welchem die innen liegenden Elektroden in einem ersten und einem zweiten Satz von ineinander greifenden Elektroden gruppiert sind, wobei jeder Satz eine Mehrzahl von innen liegenden Elektroden aufweist.
  • Das Verfahren beinhaltet vorzugsweise ein Anlegen einer sekundären Polarisierungsspannung an die sekundäre Elektrodenanordnung, um abwechselnd ferroelektrische Schichten innerhalb der Bereiche des Gegenstandes, die zwischen den innen liegenden Elektroden der unterschiedlichen Sätze angeordnet sind, zu polarisieren, wobei die ferroelektrischen Schichten abwechselnd (d. h. jede zweite Schicht) im wesentlichen entlang der ersten Polarisierungsachse in der ersten Polarisierungsrichtung polarisiert werden, während die anderen der ferroelektrischen Schichten entlang einer zweiten, gegenläufig gerichteten Polarisationsachse polarisiert werden.
  • Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform beinhaltet das Verfahren ein Bereitstellen einer sekundären, außen liegenden Elektrodenanordnung mit einer ersten außen liegenden Elektrode, die an einer der Seitenflächen angebracht wird, und einer zweiten außen liegenden Elektrode, die auf der gegenüber liegenden Seitenfläche angebracht wird, wobei die innen liegenden Elektroden des ersten Satzes innerhalb des Gegenstandes an ersten Abschlußenden abschließen, die zusammen mit einer ersten Elektrode der sekundären außen liegenden Elektrodenanordnung einen ersten Kantenbereich des Gegenstandes ausbilden, und wobei die innen liegenden Elektroden des zweiten Satzes innerhalb des Gegenstandes an zweiten Abschlußenden abschließen, die zusammen mit einer zweiten Elektrode der sekundären außen liegenden Elektrodenanordnung einen zweiten Kantenbereich des Gegenstandes ausbilden.
  • Das Polarisierungsverfahren der vorliegenden Erfindung ermöglicht den Vorteil, dass der erste und der zweite Kantenbereich des Gegenstandes während des primären Polarisierungszustandes polarisiert wird, wohingegen diese Bereiche bei einer Verwendung herkömmlicher Techniken unpolarisiert verbleiben und innerhalb des Gegenstandes Unstetigkeiten der ferroelektrischen Formänderung hervorrufen.
  • Das Verfahren beinhaltet vorzugsweise ein Entfernen der primären, außen liegenden Elektrodenanordnung von dem Gegenstand, bevor die sekundäre, außen liegende Elektrodenanordnung angebracht wird.
  • In einer Ausführungsform beinhaltet das Verfahren ein Anbringen einer leitfähigen Folie auf der ersten und der zweiten Endfläche, um erste und zweite primäre, außen liegende Elektroden der primären, außen liegenden Elektrodenanordnung bereitzustellen. Alternativ kann das Verfahren ein Einsetzen des Gegenstandes zwischen eine zuvor installierte primäre, außen liegende Elektrodenanordnung derart beinhalten, dass eine erste und eine zweite primäre Elektrode in Kontakt mit der ersten bzw. der zweiten Endfläche des Gegenstandes gelangen. Dieses ist vorteilhaft, da die primäre, außen liegende Elektrodenanordnung für andere ferroelektrische Gegenstände wiederverwendet werden kann.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform können der Gegenstand und die primäre Elektrodenanordnung für die Dauer des Aufbringens der primären Polarisierungsspannung auf die primäre, außen liegende Elektrodenanordnung in ein dielektrisches Fluid getaucht werden, wodurch ein Zusammenbruch verhindert wird, der an der Luft anderenfalls auftreten kann.
  • Die Entfernung des dielektrischen Fluids von den Oberflächen des Gegenstandes und/oder von der primären, außen liegenden Elektrodenanordnung wird über eine Verdampfung erreicht. Diese kann durch ein Aufbringen eines Erwärmungseffektes auf den Gegenstand unterstützt werden. Es ist wichtig, dass sich bei jeder derart aufgebrachten Erwärmung die Temperatur des ferroefektrischen Materials nicht dessen Curie-Temperatur annähern darf.
  • Das Verfahren kann beispielsweise bei der Polarisierung eines ferroelektrischen vielschichtigen Gegenstandes verwendet werden, der für eine Eingliederung in ein piezoelektrisches Betätigungsorgan für ein Einspritzventil geeignet ist; es sollte jedoch klar sein, dass das Verfahren zur Polarisierung gleichfalls vorteilhaft mit jedem beliebigen ferroelektrischen vielschichtigen Gegenstand verwendet werden kann.
  • Die primäre Spannung ist bei einem weiteren Beispiel gewöhnlicherweise nicht größer als 4 kV, während die sekundäre Spannung gewöhnlicherweise nicht größer als 200 V ist.
  • Die Erfindung wird nun beispielhaft mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen
  • 1 elektrische Dipolmomente in einer ferroelektrischen Keramik (a) vor der Polarisierung, (b) während der Polarisierung und (c) nach der Polarisierung zeigt,
  • 2 die piezoelektrische Formänderung nach der Polarisierung für ein angelegtes elektrisches Feld mit (a) einer dem Polarisierungsfeld gleichenden Polarität und mit (b) einer dem Polarisierungsfeld entgegen gesetzten Polarität zeigt,
  • 3 eine bekannte ferroelektrische vielschichtige Struktur mit einer Mehrzahl von Schichten und zwei Sätzen von ineinander greifenden Elektroden zeigt,
  • 4 die vielschichtige Struktur der 3 zeigt und erläutert, wie unter Verwendung eines bekannten Verfahrens der Polarisierung die Richtung der Polarisierung mit der wechselnden Polarität der innen liegenden Elektrode über die Struktur hinweg wechselt,
  • 5 eine vergrößerte Ansicht eines Teils der vielschichtigen Struktur der 3 und 4 nach dem Polarisieren unter Verwendung einer bekannten Technik ist,
  • 6 eine vielschichtige piezoelektrische Struktur vor dem Polarisieren mit dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 7 einen anfänglichen Schritt des Verfahrens zur Polarisierung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt, und
  • 8 einen weiteren Schritt des Verfahrens zur Polarisierung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Es hat sich herausgestellt, dass es keine Unstetigkeiten der ferroelektrischen Formänderung geben würde, falls im wesentlichen das gesamte Material eines piezoelektrischen vielschichtigen Gegenstandes polarisiert werden könnte, und so die nachteiligen Effekte einer Bruchbeschädigung und eines Verklemmens der polarisierten/nicht polarisierten Bereiche vermieden werden würden. 6 zeigt, dass die vielschichtige Verbundstruktur 14 aus einem Stapel von Schichten 16 ausgebildet ist, die aus einem einen piezoelektrischen Effekt ausübenden ferroelektrischen Material gebildet sind, wobei, wie zuvor beschrieben wurde, benachbarte Schichten 16 abwechselnd durch Elektroden des innen liegenden Elektrodensatzes 18a, 18b voneinander beabstandet sind. Die innen liegenden Elektroden 18a, 18b sind im wesentlichen parallel zu vorderen und rückwärtigen Endflächen 23 des Gegenstandes 14 angeordnet und erstrecken sich zu einer anderen als der ersten und der zweiten gegenüberliegenden Seitenfläche 21 des Gegenstandes 14. Der vielschichtige Gegenstand 14 ist gesintert und unter Verwendung herkömmlicher Techniken auf seine letztendlichen Abmessungen bearbeitet.
  • 7 zeigt, dass erste und zweite temporäre außen liegende Primärelektroden 24a, 24b an den vorderen bzw. den rückwärtigen Flächen 23 des Gegenstandes 14 befestigt sind, wobei die primären Elektroden 24a, 24b im wesentlichen parallel zu den innen liegenden Elektroden 18a, 18b angeordnet sind. Die primären außen liegenden Elektroden 24a, 24b können durch Anbringen eines leitenden Anstrichs auf die offen liegenden endseitigen Flächen des Gegenstandes 14 geschaffen sein.
  • In dem primären Polarisierungszustand wird eine primäre Polarisierungsspannung über die primären, außen liegenden Elektroden 24a, 24b angelegt, um den gesamten vielschichtigen Gegenstand 14 entlang einer einzigen Polarisationsachse 26 in einer ersten Polarisationsrichtung zu polarisieren, einschließlich der Bereiche 28 des ferroelektrischen Materials, die nicht zwischen den innen liegenden Elektroden 18a, 18b von entgegen gesetzter Polarität liegen. Falls der vielschichtige Gegenstand 14 beispielsweise eine Stärke von 2 mm besitzt und das erforderliche Polarisierungsfeld ungefähr 2 kV/mm beträgt, muss auf die primären Elektroden 24a, 24b während des primären Polarisierungszustandes eine Spannung von 4 kV angelegt werden. Um während des primären Polarisierungszustandes einen Zusammenbruch an der Luft zu verhindern, kann der Gegenstand 14 einschließlich der außen liegenden Elektroden 24a, 24b in ein dielektrisches Fluid eingetaucht werden. Das dielektrische Fluid besitzt vorzugsweise einen relativ niedrigen oder mäßigen Siedepunkt, so dass Spuren des Fluids auf der äußeren Oberfläche der Struktur 14 nach der primären Polarisierungsphase durch Verdampfung entfernt werden. Falls es erforderlich ist, kann ein Erwärmungseffekt auf den Gegenstand 14 angewendet werden, um die Verdampfung des dielektrischen Fluids zu unterstützen, obwohl eine derart angewendete Erwärmung nicht verursachen darf, dass die Temperatur des Gegenstandes 14 sich der Curie-Temperatur annähert. Als einen letzten Schritt in der primären Polarisierungsphase werden schließlich die temporären Elektroden 24a, 24b, die an den Endflächen der Struktur 14 angebracht sind, entfernt.
  • Als eine Alternative zum Vorsehen eines temporären leitenden Films zum Schaffen der primären äußeren Elektroden 24a, 24b und wahrscheinlich besser geeignet, kann die gesamte Struktur 14 zwischen zuvor angeordneten und wiederverwendbaren (nicht dargestellten) Elektroden befestigt werden. In diesem Fall beinhaltet der letzte Schritt der primären Polarisierungsphase eine Demontage des Gegenstandes 14 von der Befestigung der Elektrode.
  • Die zweite Phase des Verfahrens zur Polarisierung beeinflusst nur diejenigen Bereiche des ferroelektrischen Materials, die zwischen den innen liegenden Elektroden von entgegengesetzter Polarität liegen (d.h., wie in 8 dargestellt ist, der Bereich 30 zwischen den schraffierten Linien). Als einen anfänglichen Schritt werden die permanenten sekundären, außen liegenden Elektroden 30a, 30b an die seitlichen Flächen der vielschichtigen Struktur 14 angebracht, wobei die sekundären, außen liegenden Elektroden 30a, 30b daher im wesentlichen senkrecht zu den innen liegenden Elektroden 18a, 18b angeordnet sind.
  • Falls eine polarisierte ferroelektrische Keramik über ihre Curie-Temperatur aufgeheizt wird, wird sie depolarisiert und besitzt in ihrem Körper keine Piezoelektrizität mehr. Es ist daher wichtig, dass der Verfahrensschritt der Kontaktierung, bei dem die leitenden Bahnen zwischen den Elektroden 30a, 30b und den innen liegenden Elektroden 18a, 18b fertig gestellt werden, bei einer Temperatur unterhalb der Curie-Temperatur der piezoelektrischen Keramik ausgeführt wird. Um einen Temperaturanstieg über die Curie-Temperatur hinaus zu vermeiden, können die sekundären, außen liegenden Elektroden 30a, 30b beispielsweise mittels einer physikalischen Ablagerung aus der Dampfphase bei niedriger Temperatur ausgebildet werden. Alternativ kann eine bestimmte Form einer leitenden Glasur oder ein metallisiertes Polymer verwendet werden, um die beiden gemeinsamen leitenden Bahnen auszubilden.
  • Wie in 8 dargestellt ist, wird eine sekundäre Polarisierungsspannung an den sekundären, außen liegenden Elektroden 30a, 30b angelegt, nachdem diese platziert sind, um die Richtung der Polarisation in jeweils abwechselnden (bzw. zweiten) der ferroelektrischen Schichten 16 umzukehren, wodurch die wechselnde Polarisationsrichtung erzeugt wird, die für die vielschichtige Struktur notwendig ist, um während einer Betätigung insgesamt eine Verschiebung zu erzeugen. In der zweiten Polarisierungsphase ist die Polarisierungsspannung deutlich geringer als das örtlich auf die Schichten 16 angebrachte Polarisierungsfeld. Falls jede ferroelektrische Schicht 16 beispielsweise eine Stärke von ungefähr 100 μm besitzt und ein Polarisierungsfeld von ungefähr 2 kV/mm benötigt, muss die angelegte sekundäre Polarisierungsspannung 200V betragen.
  • Der Grad der während der Polarisierung erzeugten ferroelektrischen Formänderung hängt nicht von der Polarisierungsrichtung ab, sondern nur von der der Achse der Polarisierung. Da die Achse der Polarisierung während der sekundären Polarisierungsphase unverändert bleibt, erzeugt die Umkehrung der Polarisierungsrichtung innerhalb der wechselnden Schichten 16 keine Unstetigkeit der Formänderung.
  • Es sollte festgehalten werden, dass, obwohl das außerhalb des Bereiches 30 liegende ferroelektrische Material (d.h. der Bereiche des Materials, die nicht zwischen den innen liegenden Elektroden 18a, 18b entgegen gesetzter Polarität liegen) bei der zuvor erwähnten Technik während der primären Polarisierungsphase polarisiert wird, das Material keine piezoelektrische Formänderung aufweisen wird, wenn die innen liegenden Elektroden aufgeladen werden, da es außerhalb des Bereiches des Polarisierungsfeldes während der zweiten Polarisierungsphase liegt. Obwohl Unstetigkeiten der ferroelektrischen Formänderung vermieden werden, treten Unstetigkeiten der piezoelektrischen Formänderung weiterhin auf. Das Verfahren schafft allerdings den Vorteil, dass eine primäre Ursache von Brüchen innerhalb der vielschichtigen Struktur vermieden wird. In jedem Fall ist eine piezoelektrische Formänderung nur ein temporärer Effekt und besitzt gewöhnlicherweise eine geringere Größe als eine permanente ferroelektrische Formänderung.
  • Es sollte klar sein, dass in dem zweiphasigen Verfahren zur Polarisierung gemäß der vorliegenden Erfindung die primäre Polarisierungsspannung, die an den primären, außen liegenden Elektroden 24a, 24b angelegt wird, und die sekundäre Polarisierungsspannung, die an die sekundären, außen liegenden Elektroden 30a, 30b, und daher an die innen liegenden Elektrodensätze 18a und 18b angelegt wird, beide an einen individuellen vielschichtigen ferroelektrischen Gegenstand angelegt werden, der aus einem einteiligen Block in einer Größe hergestellt wurde, die sich für eine bestimmte Anwendung eignet, bevor das zweiphasige Verfahren zur Polarisierung stattfindet. Das erfindungsgemäße Verfahren besitzt daher den vorangehenden Schritt eines Verkürzens und/oder Ausformens des vielschichtigen ferroelektrischen einteiligen Blockes in einzelne Gegenstände, die für eine bestimmte Anwendung in beispielsweise piezoelektrischen Betätigungsorganen geeignet sind.
  • Das Verfahren ist insbesondere für eine Verwendung bei der Polarisierung von ferroelektrischen Materialien geeignet, die für eine Verwendung von in Brennstoffeinspritzventilen genutzten piezoelektrischen Betätigungsorganen geeignet ist. Das ferroelektrische Material kann zum Beispiel typischerweise Bleizirkonattitanat sein; allerdings kann das zweiphasige Polarisierungsverfahren verwendet werden, um Unstetigkeiten der ferroelektrischen Formänderung in beliebigen ferroelektrischen Keramiken zu vermeiden.

Claims (10)

  1. Verfahren zum Herstellen eines Betätigungsorgans zur Verwendung in einer Einspritzventil-Anordnung, wobei das Verfahren umfasst: das Bereitstellen eines Blocks aus ferroelektrischem Material, das Verkürzen und/oder Ausformen des Blocks zu einer Endgröße, um einen ferroelektrischen Gegenstand bereitzustellen, der das aktive Element des Betätigungsorgans bildet, wobei der ferroelektrische Gegenstand eine erste und eine zweite Endfläche (23), die einander gegenüber liegen, eine erste und eine zweite Seitenfläche (21), die einander gegenüber liegen, und einen Stapel ferroelektrischer Schichten (16) aufweist, wobei benachbarte Schichten (16) durch innenliegende Elektroden (18a, 18b) voneinander getrennt sind, die im Wesentlichen parallel zu den Endflächen (23) des Gegenstands (14) angeordnet sind, nachfolgend auf den Verkürzungs- und/oder Ausformungs-Schritt das Anbringen einer primären, außenliegenden Elektrodenanordnung an der ersten und der zweiten Endfläche (23) des Gegenstands, das Anlegen einer primären Polungsspannung an die primäre außenliegende Elektrodenanordnung, um im Wesentlichen den gesamten ferroelektrischen Gegenstand (14) entlang einer einzigen, ersten Polarisationsachse in einer ersten Polarisationsrichtung zu polarisieren, das Anbringen einer bleibenden, sekundären, außenliegenden Elektrodenanordnung (30a, 30b) an den Seitenflächen des Gegenstands (14) derart, dass die sekundäre, außenliegende Elektrodenanordnung (30a, 30b) in Kontakt mit den innenliegenden Elektroden (18a, 18b) gelangt, das Anlegen einer sekundären Polungsspannung an die sekundäre außenliegende Elektrodenanordnung (30a, 30b), um im Wechsel die einen der ferroelektrischen Schichten (16) entlang im Wesentlichen der ersten Polarisationsachse in der ersten Polarisationsrichtung zu polarisieren, während die anderen der ferroelektrischen Schichten (16) entlang einer zweiten, gegenläufig gerichteten Polarisationsachse polarisiert werden, wodurch im Wesentlichen der gesamte Gegenstand (14) polarisiert wird und Unstetigkeiten der ferroelektrischen Formänderung durch den Gegenstand (14) hindurch bzw. quer über ihn hinweg vermieden werden.
  2. Verfahren wie in Anspruch 1 beansprucht, worin der Schritt des Anlegens der primären Polungsspannung vor dem Schritt des Anlegens der sekundären Polungsspannung ausgeführt wird.
  3. Verfahren wie in Anspruch 1 oder Anspruch 2 beansprucht, umfassend das Bereitstellen eines ferroelektrischen Gegenstands (14), in welchem die innenliegenden Elektroden (18a, 18b) in einen ersten und einen zweiten Satz von Elektroden gruppiert sind, die ineinander greifen, wobei jeder Satz eine Mehrzahl von innenliegenden Elektroden aufweist.
  4. Verfahren wie in einem der Ansprüche 1 bis 3 beansprucht, umfassend das Entfernen der primären, außenliegenden Elektrodenanordnung von dem Gegenstand, bevor die sekundäre außenliegende Elektrodenanordnung angebracht wird.
  5. Verfahren wie in einem der Ansprüche 1 bis 4 beansprucht, umfassend das Einsetzen des Gegenstands (14) zwischen eine zuvor installierte primäre außenliegende Elektrodenanordnung derart, dass eine erste und eine zweite primäre Elektrode (24a, 24b) in Kontakt mit der ersten bzw. der zweiten Endfläche (23) des Gegenstands (14) gelangen.
  6. Verfahren wie in einem der Ansprüche 1 bis 4 beansprucht, umfassend das Anbringen einer leitfähigen Folie auf der ersten und der zweiten Endfläche (23), um eine erste und eine zweite primäre außen liegende Elektrode (24a, 24b) der primären außen liegenden Elektrodenanordnung bereitzustellen.
  7. Verfahren wie in einem der Ansprüche 1 bis 6 beansprucht, umfassend das Eintauchen des Gegenstands und der primären Elektrodenanordnung in ein dielektrisches Fluid, solange das Anliegen der primären Polungsspannung andauert.
  8. Verfahren wie in Anspruch 7 beansprucht, umfassend das Aufbringen eines Erwärmungseffekts auf den Gegenstand (14) nach dem Anlegen der primären Polungsspannung, um das Verdampfen des dielektrischen Fluids von Oberflächen des Gegenstands und/oder der Elektroden zu unterstützen.
  9. Verfahren wie in einem der Ansprüche 1 bis 8 beansprucht, in welchen die primäre Spannung 4kV nicht übersteigt.
  10. Verfahren wie in einem der Ansprüche 1 bis 9 beansprucht, in welchem die sekundäre Spannung 200V nicht übersteigt.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1764846B1 (de) 2005-09-16 2007-12-05 Delphi Technologies, Inc. Verfahren zur Polarisierung ferroelektrischer Materialien
ATE429713T1 (de) * 2005-12-23 2009-05-15 Delphi Tech Inc Verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen bauteils
JP4973646B2 (ja) * 2008-01-31 2012-07-11 ブラザー工業株式会社 液体移送装置の製造方法及び圧電アクチュエータの製造方法
GB0900406D0 (en) 2009-01-12 2009-02-11 Delphi Tech Inc Method of poling ferroelectric materials
US9698334B2 (en) * 2012-07-30 2017-07-04 Kyocera Corporation Multi-layer piezoelectric element, and injection device and fuel injection system provided with the same
DE102012111972A1 (de) * 2012-12-07 2014-06-12 Epcos Ag Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils
DE202016102203U1 (de) * 2016-04-26 2016-06-29 Epcos Ag Vielschichtbauelement
US11996462B2 (en) 2020-11-13 2024-05-28 Sandisk Technologies Llc Ferroelectric field effect transistors having enhanced memory window and methods of making the same
US11545506B2 (en) 2020-11-13 2023-01-03 Sandisk Technologies Llc Ferroelectric field effect transistors having enhanced memory window and methods of making the same

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4564782A (en) * 1983-09-02 1986-01-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ceramic filter using multiple thin piezoelectric layers
JPS6066882A (ja) * 1983-09-22 1985-04-17 Murata Mfg Co Ltd 圧電変位素子およびその分極方法
US4625137A (en) * 1983-12-09 1986-11-25 Nippon Telegraph & Telephone Public Corp. Piezoelectric actuator using bimorph element
DE69315767T2 (de) * 1992-08-25 1998-05-07 Canon Kk Verfahren zur Herstellung einer laminierten piezoelektrischen Anordnung und Polarisationsverfahren und vibrationswellengetriebener Motor
JP2990634B2 (ja) 1993-01-19 1999-12-13 株式会社村田製作所 圧電素子の分極装置
KR970002997B1 (ko) * 1993-05-04 1997-03-13 대우전자 주식회사 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법
DE19757877A1 (de) 1997-12-24 1999-07-01 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung piezoelektrischer Aktoren und piezoelektrischer Aktor
JPH11219870A (ja) * 1998-02-02 1999-08-10 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミックコンデンサの検査方法
JP2000133852A (ja) 1998-10-28 2000-05-12 Sumitomo Metal Ind Ltd 積層圧電素子及びその製造方法
JP3478227B2 (ja) * 1999-08-03 2003-12-15 株式会社村田製作所 圧電体の分極方法
JP3506113B2 (ja) * 2000-11-07 2004-03-15 株式会社村田製作所 電子部品
JP3733861B2 (ja) 2001-02-01 2006-01-11 株式会社村田製作所 積層圧電体の分極方法

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