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DE60103401D1 - Miniaturverpackung für mikrovorrichtungen und verfahren zu deren herstellung - Google Patents

Miniaturverpackung für mikrovorrichtungen und verfahren zu deren herstellung

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Publication number
DE60103401D1
DE60103401D1 DE60103401T DE60103401T DE60103401D1 DE 60103401 D1 DE60103401 D1 DE 60103401D1 DE 60103401 T DE60103401 T DE 60103401T DE 60103401 T DE60103401 T DE 60103401T DE 60103401 D1 DE60103401 D1 DE 60103401D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
production
micro devices
miniature packaging
miniature
packaging
Prior art date
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Expired - Fee Related
Application number
DE60103401T
Other languages
English (en)
Inventor
Hubert Jerominek
Christine Alain
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
INST NAT D OPTIQUE SAINTE FOY
Institut National dOptique
Original Assignee
INST NAT D OPTIQUE SAINTE FOY
Institut National dOptique
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from CA002312646A external-priority patent/CA2312646A1/en
Application filed by INST NAT D OPTIQUE SAINTE FOY, Institut National dOptique filed Critical INST NAT D OPTIQUE SAINTE FOY
Application granted granted Critical
Publication of DE60103401D1 publication Critical patent/DE60103401D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

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DE60103401T 2000-06-28 2001-06-27 Miniaturverpackung für mikrovorrichtungen und verfahren zu deren herstellung Expired - Fee Related DE60103401D1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CA002312646A CA2312646A1 (en) 2000-06-28 2000-06-28 Hybrid micropackaging of microdevices
PCT/CA2001/000939 WO2002001633A1 (en) 2000-06-28 2001-06-27 Miniature microdevice package and process for making thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE60103401D1 true DE60103401D1 (de) 2004-06-24

Family

ID=32331602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
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