DE4415094B4

DE4415094B4 - Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Werkstücken durch Partikelstrahlen

Info

Publication number: DE4415094B4
Application number: DE19944415094
Authority: DE
Inventors: Erwin Dipl.-Ing. Wanetzky; Manfred Dr.-Ing. Raschke; Franz Dipl.-Ing. Hugo; Albrecht Dr.-Ing. Melber
Original assignee: ALD Vacuum Technologies GmbH
Current assignee: ALD Vacuum Technologies GmbH
Priority date: 1994-04-29
Filing date: 1994-04-29
Publication date: 2006-05-11
Anticipated expiration: 2014-04-30
Also published as: DE4415094A1

Abstract

Verfahren zum Behandeln von Oberflächen von Werkstücken durch Partikelstrahlen mittels eines Schleuderrades, dadurch gekennzeichnet, daß das Partikelstrahlen bei unteratmosphärischem Druck zwischen 10^–2 und 500 mbar durchgeführt wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Behandeln von Oberflächen von Werkstücken durch Partikelstrahlen mittels eines Schleuderrades.
Unter dem Begriff "Strahlen" versteht man in der Fertigungstechnik einen Bearbeitungsprozeß, bei dem eine technische Oberfläche durch abrasive oder elastische Partikel bombardiert wird. Die abrasiven Partikel bewirken eine Mikrozerspanung der Oberflächenschicht, während elastische Partikel eine plastische Verformung der Werkstoffoberfläche bewirken und zu deren Verdichtung führen. Die Wirksamkeit dieses Bearbeitungsverfahrens wird im wesentlichen durch die kinetische Energie bestimmt, die diese Partikel an der Bearbeitungsfläche in Zerspanungs- bzw. Verdichtungsarbeit umsetzen können.
Die Energieaufnahme der Partikel kann beispielsweise über ein strömendes Fluid erfolgen. Bei einem strömenden Gas oder einer strömenden Flüssigkeit als Treibmittel werden die Partikel in Strompfaden allseitig von dem treibenden Medium umgeben. Im Kollisionspunkt mit der bearbeiteten Oberfläche muß das Treibmittel verdrängt werden, bevor das Partikel die Oberfläche berührt. Diese Verdrängungsarbeit mindert den Wirkungsgrad des Verfahrens.

Ein weiterer Energieverlust ist bei der Beschleunigung der Partikel zu verzeichnen. Dabei tritt eine starke Verwirbelung des Treibmediums auf, die gleichzeitig zu einer Auffächerung des Bearbeitungsstrahles führt. Kennzeichnend für ein Strahlverfahren mit einem Fluid als Treibmittel sind große Verhältnisse der Massenstromstärken von Treibmittel zu Massenstromstärken der Partikel.

Ein vom Energieaufwand wesentlich günstigeres Strahlverfahren ist durch die Anwendung des sogenannten Schleuderrades gegeben. Die Partikel werden mechanisch durch die Zentrifugalkraft beschleunigt, verlassen aber das Schleuderrad nur teilweise in tangentialer Richtung, da die radial angeordneten Förderschaufeln für die Partikel auch die Umgebungsluft beschleunigen und auf diese eine Förderwirkung ausüben. Das Schleuderrad selbst verursacht durch die Beschaufelung große Wirbelverluste, die auch dazu führen, daß die Partikel teilweise von den Luftwirbeln mitgerissen werden und hierbei bereits einen Teil ihrer Energie verlieren. Gleichzeitig wird dadurch eine Streuung der Partikel erzwungen, so daß die Zielgenauigkeit nachläßt. Auf dem weiteren Wege der Partikel findet eine zusätzliche Aufspreizung des Partikelstrahls und eine Abbremsung der Partikel statt, so daß erhebliche Verluste an Energie eintreten. Ein Hauptnachteil des bekannten Verfahrens ist jedoch die Notwendigkeit des Einsatzes großer Zyklon-Abscheider, da sowohl die Partikel als auch der von den Partikeln erzeugte Staub aus der Luftströmung entfernt werden müssen. Durch die Förderwirkung des Schleuderrades werden große Luftmengen umgewälzt. Eine derartige Technologie ist durch die Druckschrift "Schleuderrad-Strahlanlagen für jede Oberfläche" der Firma OMSG (Deutschland GmbH) bekannt. von einem solchen Stand der Technik geht die Erfindung aus.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein derartiges Verfahren dahingehend zu verbessern, daß Energieverluste durch Verwirbelung und Abbremsung der Partikel vermieden werden und bei gegebener Anfangsenergie der Partikel eine wesentlich größere Bearbeitungswirkung erzielt wird. Unter dem Begriff "Bearbeitung" werden die Reinigung, Verfestigung und Glättung der bestrahlten Oberflächen verstanden. Je nach dem angestrebten Bearbeitungsergebnis werden dabei abrasive oder elastische Partikel verwendet, wobei diese Partikel aus der Gruppe Quarzsand, Kunststoff- und Stahlsplitter, Stahl-, Glas- und Kunststoffkugeln ausgewählt werden können.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei dem eingangs angegebenen Verfahren erfindungsgemäß dadurch, daß das Partikelstrahlen bei unteratmosphärischem Druck zwischen 10^–2 und 500 mbar durchgeführt wird.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann, beispielsweise bei Drücken vorzugsweise in einem Druckbereich zwischen 1 und 100 mbar mit Erfolg durchgeführt werden. Es versteht sich, daß die Wirkung um so günstiger wird, je weiter sich der Druck von dem atmosphärischen Druck entfernt, d. h. je besser das Vakuum ist.

Durch die starke Herabsetzung der Dichte des gasförmigen Mediums im Bereich des Schleuderrades und des Werkstücks lösen sich die Partikel in der Tat nahezu tangential von dem Schleuderrad, und sie treffen auch mit ungebremster Energie auf die zu behandelnde Werkstückoberfläche auf. Je nach der Höhe des Vakuums erreichen die beschleunigten Partikel die Werkstückoberfläche zumindest weitgehend mit ihrer Anfangsenergie. Durch die Vermeidung einer Wirbelschleppe um das Schleuderrad erfolgt kein Mitreißen der Partikel auf dem Umfang des Schleuderrades, wodurch die Zielgenauigkeit wesentlich verbessert wird. Außerdem werden von den Partikeln keine Einrichtungsteile der Vorrichtung außerhalb des Werkstücks getroffen. Die Partikelbahnen stellen echte Wurfparabeln und keine ballistischen Bahnen dar, die durch den Gaswiderstand beeinflußt werden. Unabhängig von der Partikelgröße und -masse ist die Geschwindigkeit aller Partikel gleich. Im Unterschied zum Stande der Technik tragen alle Partikel im Vakuum zur Oberflächenbearbeitung bei. Der Streuwinkel des Partikelstrahls wird ausschließlich durch die Laufdauer der Partikel auf den radial angeordneten Schleuderschaufeln vorgegeben. Die Bahnkurve der Partikel wird lediglich durch die Gravitationskraft beeinflußt und in deren Richtung gegebenenfalls gekrümmt.

Ein weiterer Vorteil der Vakuum-Schleuderrad-Strahlung besteht in der vollständigen Vermeidung jeglicher Staubentwicklung, so daß besondere Maßnahmen für die Staubbeseitigung entfallen. Insbesondere kann dadurch auf den Einsatz großvolumiger Zyklon-Abscheider verzichtet werden, die den Aufwand einer herkömmlichen Schleuderrad-Strahlanlage erheblich vergrößern.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann für alle Arten von Werkstücken eingesetzt werden, insbesondere auch beim Recyclen von Verbrennungsmotoren, die in großer Zahl anfallen und in der Regel schwer lösbare Verkrustungen, von Ölen, Fetten und Schmutz aufweisen.

Versuche mit Motorenteilen, wie Zylinderkopfdeckeln, Ventilgehäusen, Motorblöcken und Ölwannen haben gezeigt, daß diese nach dem erfindungsgemäßen Partikelstrahlen das Aussehen von Neuteilen haben, so daß diese Teile unmittelbar für die Herstellung neuer Motoren oder sogenannter Tauschmotoren verwendet werden können. Selbst hartnäckigste Öl- und Schmutzverkrustungen in toten Ecken, Hinterschneidungen und Winkeln werden durch das erfindungsgemäße Partikelstrahlen restlos entfernt. Auch verrippte Zylinderköpfe von luftgekühlten Verbrennungsmotoren können mit dem Erfindungsgegenstand zuverlässig gereinigt und behandelt werden. Es ist dabei mit besonderem Vorteil möglich, nacheinander abrasive und elastische Partikel zu verwenden, wodurch die Anfangs erzeugte, samtartige Oberflächenaufrauhung nachträglich wieder geglättet wird. Die damit erzielte Oberfläche ist metallisch glänzend.

Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn das erfindungsgemäße Strahlverfahren bei Werkstücktemperaturen zwischen der Temperatur flüssigen Stickstoffs und 450 °C durchgeführt wird. Hierbei werden aus den Fett- und Ölverkrustungen bei den angegebenen Vakua und Temperaturen die betreffenden flüchtigen Bestandteile verdampft, so daß eine Versprödung des Oberflächenbelages erfolgt. Dieser läßt sich sehr viel leichter durch Partikelstrahlen entfernen als eine zähe fett- und ölhaltige Masse. Bei Oberflächen mit Bereichen aus elastomeren Werkstoffen, z.B. mit hervorstehenden Dichtungen, ist es besonders vorteilhaft, eine möglichst tiefe Temperatur der Werkstücke anzuwenden und in einem Temperaturbereich zu arbeiten, in dem das Elastomer versprödet ist.

Es ist aber besonders vorteilhaft, wenn vor dem Partikelstrahlen ein Abdampfen der flüchtigen Verunreinigungen durchgeführt wird. Dieses Abdampfen kann in der gleichen Vorrichtung durch eine entsprechende Verfahrensführung durchgeführt werden, d.h. mit dem Partikelstrahlen wird erst dann begonnen, wenn der Oberflächenbelag bereits versprödet ist. Dadurch wird eine Verklebungsneigung der Partikel wirksam verhindert.

Es ist dabei besonders vorteilhaft, wenn das Abdampfen bei Drücken zwischen 10^–3 und 50 mbar und bei Temperaturen zwischen 20 und 450 °C durchgeführt wird, wobei in ganz besonders zweckmäßiger Weise das Abdampfen bei abnehmendem Druck und steigender Temperatur durchgeführt wird.

Es ist dabei wiederum mit besonderem Vorteil möglich, die flüchtigen Verunreinigungen nach dem Abdampfen zu kondensieren und wieder zu gewinnen.

Es ist dabei im Zuge weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der Erfindung mit Vorteil möglich, die Partikel vor dem Einbringen in das Vakuum zu entgasen und/oder vorzuwärmen und/oder zu trocknen.

Für den Fall einer kontinuierlichen Verfahrensführung, bei der auch die Werkstücke durch Vakuum-Schleusen in das Vakuum eingeführt und aus diesem wieder ausgeführt werden, ist es mit besonderem Vorteil möglich, die Partikel durch eine Vakuum-Schleuse in das Vakuum einzubringen.

Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung des beschriebenen Verfahrens.

Zur Lösung der gleichen Aufgabe sieht die Vorrichtung vor, daß das Schleuderrad und mindestens ein Werkstück in einer Vakuumkammer untergebracht sind und in der Vakuumkammer auch ein Partikelbehälter angeordnet ist.

Um die Werkstücke auf die weiter oben beschriebene günstige Behandlungstemperatur zu bringen, ist es besonders vorteilhaft, wenn die Vakuumkammer mit einer Heizeinrichtung versehen ist. Diese kann auf der Außenwand der Vaku umkammer angeordnet werden und ist dann zweckmäßig besonders gut gegenüber der Umgebung thermisch zu isolieren.

Es ist aber auch möglich, die Heizeinrichtung innerhalb der Vakuumkammer anzuordnen.

In besonders vorteilhafter Weise kann auch der Partikelbehälter mit einer Heizeinrichtung versehen sein, so daß jegliche Kondensation von Dämpfen auf dem Partikelbehälter und auf den Partikeln mit Sicherheit vermieden wird.

Für den Fall einer allseitigen Behandlung von Werkstücken ist es ganz besonders zweckmäßig, in der Vakuumkammer als Werkstückhalter einen Manipulator vorzusehen, mit dem alle Werkstückoberflächen dem Partikelstrahl ausgesetzt werden können.

In wiederum besonders vorteilhafter Weise kann der Vakuumkammer ein Partikelsammler und/oder ein Kondensator für die Kondensation der flüchtigen Komponenten der Oberflächenverunreinigungen nachgeschaltet sein.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen Unteransprüchen.

Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes wird nachfolgend anhand der 1 bis 6 näher erläutert.
Es zeigen:
1 einen Vertikalschnitt durch eine Vakuumkammer mit einer perspektivischen Darstellung eines Schleuderrades mit angeschlossenem Partikelbehälter,
2 bis 5 Schleuderräder mit unterschiedlicher Lage der Ablösestellung der Partikelstrahlen vom Radumfang,
6 eine verkleinerte Darstellung der Vakuumkammer analog 1, jedoch mit zusätzlichen Aggregaten zur Beeinflussung der Verfahrensführung.
In 1 ist eine Vakuumkammer 1 dargestellt, die über einen Saugstutzen 2 an einen hier nicht gezeigten Vakuum-Pumpsatz angeschlossen ist. Im Innern der Vakuumkammer 1 befindet sich ein Schleuderrad 3, das zwischen zwei Kreisringscheiben 4 und 5 eine Anzahl radialer Förderschaufeln 6 besitzt, die mit einer Nabe 7 verbunden sind, die verdrehfest an einer hier nicht gezeigten Antriebswelle angeordnet ist. Die Kreisringscheibe 4 ist teilweise weggebrochen dargestellt, um einen Einblick in das Innere des Schleuderrades 3 zu ermöglichen.
In die Nabe 7 mündet ein Krümmer 8 ein, der mit einem Partikelbehälter 9 verbunden ist, in dem sich eine lose Schüttung von Partikeln 10 befindet. Die Einspeisung der Partikel in die Nabe 7 erfolgt dabei an einer solchen Stelle, daß jeweils eine vorgegebene Portion von Partikeln auf der zugehörigen Förderschaufel radial nach außen gefördert wird und sich an der Stelle 11 im wesentlichen tangential von dem Förderrad 3 trennt. Dadurch entsteht für die Partikel eine Reihe vorgegebener Flugbahnen 12, die unmittelbar auf der Oberfläche 13 eines Werkstücks 14 enden, das hier nur sehr schematisch dargestellt ist. Das Werkstück 14 befindet sich am Ende eines Manipulators 15, der hier nur als dreh- und verschiebbare Welle angedeutet ist. Der Manipulator 15 ist durch eine Führungsbuchse 16 vakuumdicht in die Vakuumkammer 1 eingeführt. Am unteren Ende besitzt die Vakuumkammer 1 einen in der Mitte abgesenkten Boden 17, der zum Sammeln der Partikel 10 dient, die schließlich durch einen Rohrstutzen 18 ohne Aufhebung des Vakuums ausgetragen werden. Es ist ohne weiteres möglich, auf dem Boden 17 eine erhebliche Menge an Partikeln 10 zu sammeln, bevor die am unteren Ende des Rohrstutzens 18 befindliche Schleuse geöffnet wird. Die Vakuumkammer 1 besitzt vor der Zeichenebene eine hier nicht dargestellte Tür, die zum Beschicken des Manipulators 15 mit einem oder mehreren neuen Werkstücken 13 geöffnet werden kann.
Die 2 zeigt einen Partikelstrahl 19, der sich aufgrund einer entsprechend angeordneten Eintrittsstelle des Partikelstroms in die Nabe 7 am 6-Uhr-Punkt vom Schleuderrad 3 löst.
Durch eine Drehung der Eintrittsstelle des Partikelstroms in die Nabe 7 um 90 Grad entgegen dem Uhrzeigersinn, löst sich der Partikelstrom 20 nach Figur in der 3-Uhr-Stellung von dem Schleuderrad 3.
Wird die Eintrittsstelle für den Partikelstrom in die Nabe 7 noch um weitere 90 Grad entgegen dem Uhrzeigersinne verdreht, wie dies in 4 dargestellt ist, so löst sich der Partikelstrom bei dem in 4 dargestellten Schleuderrad am 12-Uhr-Punkt von diesem Schleuderrad, wobei in 4 allerdings die Drehrichtung des Schleuderrades 3 umgekehrt ist.
Verdreht man aus dieser Stellung die Eintrittsstelle für den Partikelstrom in die Nabe 7 wiederum 90 Grad, diesmal im Uhrzeigersinne, so trennt sich ein Partikelstrahl 22 nach 5 wiederum am 3-Uhr-Punkt von dem Schleuderrad 3. Die Drehrichtung des Schleuderrades 3 ist bei den Beispielen nach den 4 und 5 gleichsinnig. Es ergibt sich daraus, daß der Erfindungsgegenstand zahlreiche Einbau- und Betriebsvarianten des Schleuderrades 3 zuläßt.
Bei den Ausführungsbeispielen nach den 2 und 4 übt die durch die Pfeile G angedeutete Schwerkraft einen geringfügig krümmenden Effekt auf den jeweiligen Partikelstrahl aus. Bei dem Ausführungsbeispiel nach 3 hat die Wirkung der Schwerkraft G einen verzögernden Effekt auf die Partikelstrahlen, bei dem Ausführungsbeispiel nach 5 hat die Schwerkraft G einen beschleunigenden Effekt auf den Partikelstrahl 22. Diese Effekte sind bei der hohen Partikelgeschwindigkeit jedoch von ungeordneter Bedeutung. In jedem Falle fehlt die Abbrems- und Spreizwirkung der ansonsten vorhandenen Atmosphäre.
Die 6 zeigt links oben die Vakuumkammer 1 nach 1, jedoch mit folgenden zusätzlichen Aggregaten: Die Vakuumkammer 1 ist von einer Heizeinrichtung 23 umgeben, die aus Heizwiderständen 24 und einer Wärmedämmung 25 besteht. Diese Maßnahme dient zur Erwärmung der gesamten Vakuumkammer einschließlich des Schleuderrades 3 und der Werkstücke 14, so daß eine Kondensation flüchtiger Bestandteile der Werkstückverschmutzung unterbleibt, wenn diese flüchtigen Bestandteile unter der Wirkung des Vakuums und der Temperatur verdampft werden.
Der Partikelbehälter 9 ist von einer weiteren Heizeinrichtung 26 umgeben, damit die Partikel 10 gegebenenfalls auf eine höhere Temperatur aufgeheizt werden können, als dies durch die Heizeinrichtung 23 möglich wäre.
Der Rohrstutzen 18 ist über ein Vakuum-Ventil 27 mit einem Partikel-Sammelbehälter 28 verbunden, dessen Boden 28a einen Rohrstutzen 28b besitzt, der durch ein weiteres Vakuumventil 29 verschließbar ist. Durch entsprechende Fördereinrichtungen, die hier nur durch eine gestrichelte Linie 30 angedeutet sind, ist es möglich, die Partikel 10 nach dem Absieben der von den Werkstücken abgelösten Verunreinigungen wieder dem Partikelbehälter 9 zuzuführen. Zu diesem Zwecke ist gegebenenfalls in der Wandung der Vakuumkammer 1 eine weitere, hier nicht gezeigte Partikelschleuse angeordnet.
Der Saugstutzen 2 führt in diesem Falle über einen Kondensator 31 und einen weiteren Saugstutzen 32 zu dem nicht dargestellten Vakuum-Pumpsatz. Der Kondensator 31 ist über eine weitere Saugleitung 33 mit dem Partikelsammelbehälter 28 verbunden, damit auch aus diesem flüchtige und kondensationsfähige Stoffe abgesaugt und im Kondensator 31 kondensiert werden können. Im Boden 31a des Kondensators 31 ist ein Ablaßrohr 34 angeordnet, das über ein Vakuumventil 35 verschließbar ist. Auf diese Weise ist es in zeitlichen Abständen möglich, kondensierte Stoffe aus dem Kondensator 31 ohne Unterbrechung des Vakuums abzuziehen.
Es versteht sich, daß die gesamten Aggregate nach 6 nur in sehr schematischer Darstellungsweise gezeigt sind.

Claims

Verfahren zum Behandeln von Oberflächen von Werkstücken durch Partikelstrahlen mittels eines Schleuderrades, dadurch gekennzeichnet, daß das Partikelstrahlen bei unteratmosphärischem Druck zwischen 10^–2 und 500 mbar durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß abrasive Partikel verwendet werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß elastische Partikel verwendet werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Partikel aus der Gruppe Quarzsand, Kunststoff- und Stahlsplitter, Stahl-, Glas- und Kunststoffkugeln verwendet werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Oberflächenreinigung durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Oberflächenverfestigung durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es zur Oberflächenglättung durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es bei Drücken zwischen 1 und 100 mbar durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es bei Temperaturen zwischen 20 und 450° C durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es beim Behandeln von Oberflächen, die elastomere Bereiche enthalten, bei Temperaturen unterhalb der Versprödungstemperatur der Elastomeren durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Partikelstrahlen ein Abdampfen von flüchtigen Verunreinigungen durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Abdampfen bei Drücken zwischen 10^–3 und 50 mbar und Temperaturen zwischen 20 und 450° C durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Abdampfen bei abnehmendem Druck und steigender Temperatur durchgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die flüchtigen Verunreinigungen nach dem Abdampfen kondensiert und wiedergewonnen werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufprallgeschwindigkeit der Partikel auf das Werkstück mindestens 15 m/sec, vorzugsweise mindestens 30 m/sec, beträgt.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Partikel vor dem Einbringen in das Vakuum vorentgast werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Partikel vor dem Einbringen in das Vakuum vorgewärmt werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Partikel vor dem Einbringen in das Vakuum getrocknet werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Partikel bei kontinuierlicher Verfahrensführung durch eine Vakuumschleuse in das Vakuum eingebracht werden.
Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 19, wobei das Schleuderrad (3) und mindestens ein Werkstück (14) in einer Vakuumkammer (1) untergebracht sind, und wobei in der Vakuumkammer (1) ein Partikelbehälter (9) angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumkammer (1) mit einer Heizeinrichtung (23) versehen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Partikelbehälter (9) mit einer Heizeinrichtung (26) versehen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Vakuumkammer (1) als Werkstückhalter mindestens ein Manipulator (15) zugeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Vakuumkammer (1) ein Partikelsammelbehälter (28) nachgeschaltet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Vakuumkammer (1) ein Kondensator (31) nachgeschaltet ist.