DE4233192C2 - Fourierspektrometer - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein optisches Fourier-
Transform-(FT-)Spektrometer mit innerhalb eines
Spektrometergehäuses installierten teilweise beweglichen optischen Mit
teln zur Führung eines Strahlungsbündels von einer
internen Strahlungsquelle über ein Zweistrahlinter
ferometer und eine Probenvorrichtung zu einem
internen Detektor mit mindestens einem
Eingang zum optionellen Einlenken eines
Strahlungsbündels einer externen Strahlungsquelle
in das Spektrometergehäuse hinein, wobei die
optischen Mittel zum Hinführen dieses
eingelenkten Strahlungsbündels zum Interferometer geeignet sind,
und mit mindestens einem Ausgang zur optionellen
Auslenkung des vom Interferometer austretenden
Strahlungsbündels über die optischen
Mittel aus dem Spektrometergehäuse heraus zu einer
Probenvorrichtung außerhalb.
Ein solches Fourierspektrometer ist beispielsweise
bekannt aus der Firmenschrift "IFS 66" (1/1992) der
Firma Bruker Analytische Meßtechnik GmbH.
Die Infrarot-(IR-)Spektroskopie erfordert grund
sätzlich die Aufbereitung der Meßproben in eine
Form bzw. deren Einbringung in eine Position, um
sie einem Meßstrahl des Spektrometers für ein
brauchbares Resultat verfügbar zu machen. Bei der
weitverbreiteten Laboranalytik wird die Probe
üblicherweise entweder in einer festen oder
flüssigen Matrix eingebettet. Als feste Matrix wird
häufig ein nichtabsorbierendes, pulverisiertes
Salz verwendet, mit dem die zu Pulver gemörserte
Probe zu einer Tablette verpreßt wird. Dieser
Preßling wird zur Durchlichtmessung in den
Probenstrahl eingebracht.
Als flüssige Matrix wird ein geeignetes
Lösungsmittel verwendet, das nur eine geringe
Eigenabsorption zeigt und in dem die Probe
vollständig aufgelöst werden kann. Die Lösung wird
in eine Küvette eingebracht, die wiederum für eine
Durchlichtmessung dem Meßstrahl ausgesetzt wird.
Für derartige Standardmessungen ist der im
Probenraum des Spektrometers verfügbare Platz
völlig ausreichend. Ebenso finden üblicherweise
Zubehöre für etwas aufwendigere Meßverfahren, wie
z. B. Einheiten für Granulate, Fasern und Folien im
Probenraum ausreichend Platz.
Eine Vielzahl von Substanzen läßt sich jedoch nicht
mit Hilfe dieser standardmäßigen Probenpräparation
für eine Messung aufbereiten. Hierzu sind
gasförmige Proben zu rechnen, Proben, die gekühlt
oder geheizt werden, oder die für den Probenraum zu
große Abmessungen besitzen. Um derartige Proben
einer spektroskopischen Messung zuzuführen, muß ein
geeignetes Zubehör verwendet werden, in dem oder an
das die Probe angebracht werden kann und über das
der Meßstrahl an die Probe herangeführt wird. Da
ein solches Zubehör im Probenraum der Spektro
meteroptik aus Platzgründen nicht untergebracht
werden kann, muß es außerhalb des Spektrometer
gehäuses angebracht werden, wobei der Meßstrahl aus
der Optik des Spektrometers herausgeführt wird.
Aufgrund der hohen Nachweisempfindlichkeit, die die
FT-Methode bietet, werden für eine Vielzahl von
Anwendungen spezielle Meßeinrichtungen verwendet,
die bevorzugt außerhalb der Spektrometeroptik
angebracht werden. Hierzu sind beispielsweise ein
IR-Meßmikroskop, Kopplungen zwischen dem Spektro
meter und Gaschromatographen (GC) oder aber auch
der Anschluß an ein Meßzubehör für Raman-Messungen
zu rechnen. Aufgrund des enormen Informationsge
winns, der durch die FT-Methode geboten wird,
werden zunehmend immer mehr und aufwendigere
Zubehöreinheiten eingesetzt, die wegen ihres Platz
bedarfs außerhalb des Spektrometergehäuses ange
bracht werden.
Vermehrt wird nicht nur die Anschlußmöglichkeit für
lediglich eine externe Einheit sondern für mehrere
gleichzeitig gefordert, zwischen denen der Meß
strahl über Schaltspiegel gewechselt werden kann.
Zur Bedienungsvereinfachung wird dieser Wechsel von
einem Rechner über Servoeinrichtungen gesteuert.
Ein Beispiel für den Anschluß mehrerer Einheiten
ist eine GC-IR-Kopplung, ein IR-Mikroskop und ein
Raman-Zusatz.
Zunehmend tritt auch die Anforderung auf, Meß
strahlung von einer externen Signalquelle wie z. B.
einer Entladungslampe, einem Photolumineszenz
zubehör oder einer entfernten Strahlungsquelle auf
zunehmen. In derartigen Fällen muß an der Spektro
meteroptik ein entsprechender Strahlungseingang zur
Verfügung stehen.
Aufgrund der Vielfältigkeit der Aufgabenstellungen
in heutigen analytischen und Forschungslabors sind
eine Vielzahl von Strahlaus- und -eingängen wün
schenswert. Da für jeden solchen Aus- bzw. Eingang
ein separater Anschluß sowie die geeignete
rechnergesteuerte Strahlschalteinrichtung bereit
stehen muß, wird ein optisches System mit mehr als
insgesamt etwa je zwei externen Anschlußmög
lichkeiten sehr komplex. Der derzeitige Stand der
Technik wird durch das obengenannte Spektrometer
IFS 66 repräsentiert.
Dieses bekannte Fourierspektrometer besitzt bis zu
drei Ausgänge (external sample beams) und zwei
Eingänge für externe Strahlungsquellen. Auf diese
Ein- und Ausgänge kann optionell durch Verschieben
oder Kippen von Spiegeln im Spektrometer zuge
griffen werden. Damit kann Licht von zu unter
suchenden externen Strahlungsquellen in das Spek
trometer geführt werden, wobei im Versuchsaufbau
bis zu zwei Strahlungsquellen fest vorgesehen sein
können. Über die bis zu drei Ausgänge kann das
Spektrometer z. B. mit anderen Analytikmethoden, wie
z. B. GC, TGA, TLC usw. gekoppelt sein. Allerdings
sind konstruktionsbedingt die Ein- und Ausgänge
jeweils als solche festgelegt. Das schränkt die
Flexibilität des Betreibers ein. Er kann z. B. nicht
ein abgeschlossenes Experiment von einem Ausgang
abkoppeln und an dieser Stelle Strahlung von einem
neu aufgebauten Experiment einkoppeln, oder z. B.
einen Aufbau mit (im Beispiel) fünf externen
Strahlungsquellen, auf die im Spektrometer umge
schaltet werden kann, aufbauen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein flexi
bles Fourierspektrometer, bei dem eine möglichst gro
ße Kombinationsmöglichkeit externer Quellen bzw. Emp
fänger besteht, zu schaffen.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß bei einer Vor
richtung der eingangs genannten Art die optischen
Mittel so positionier- und bewegbar sind, daß ein ex
ternes Strahlungsbündel, das in das Spektrome
tergehäuse durch den mindestens einen Ausgang einge
lenkt wird, durch diese optischen Mittel so umgelenkt
wird, daß es das Interferometer durchläuft und an
schließend den internen Detektor erreicht und daß die
optischen Mittel so positionier- und bewegbar sind,
daß ein von der internen Strahlungsquelle kommendes
Strahlungsbündel, das das Interferometer durchlaufen
hat, durch diese optischen Mittel so umgelenkt wird,
daß es das Spektrometergehäuse durch den mindestens
einen Eingang verläßt, wobei die potentiellen opti
schen Wege des aus dem Gehäuse des Spektrometers aus
gelenkten und des eingelenkten Strahlungsbündels min
destens einen Berührungspunkt oder einen
Kreuzungspunkt haben, an dem sich eine Einrichtung
zur Umlenkung des ausgelenkten und/oder eingelenkten
Strahlungsbündels befindet.
Damit wird es grundsätzlich möglich, die
Strahlengänge der eingelenkten bzw. ausgelenkten
Strahlungsbündel umzukehren und die Funktion des In
terferometers zu erhalten.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
kreuzen sich die Wege des eingelenkten und
ausgelenkten Strahlungsbündel mehrmals und an diesen
Kreuzungspunkten sind jeweils Einrichtungen
angebracht, um den eingelenkten und/oder den
ausgelenkten Strahl umzulenken.
Dies hat den Vorteil, daß ausgehend von diesen
Kreuzungspunkten weitere Ein- und Ausgänge
geschaffen werden können.
Die Umlenkeinrichtungen werden bevorzugt rechnerge
steuert betrieben.
Dies hat den Vorteil, daß das Umschalten vom
Betreiber bequem ausgeführt und für ein längeres
Meßprogramm vorprogrammiert werden kann.
In einer Ausführungsform der Erfindung wird das
ausgelenkte Strahlungsbündel nach Durchlaufen der
außerhalb angebrachten Probenvorrichtung wieder in
das Spektrometergehäuse eingelenkt und auf den
Strahlungsempfänger innerhalb der Spektrometeroptik
gerichtet.
Dies hat den Vorteil, daß externe Proben ohne
separaten Detektor gemessen werden können.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
enthalten die Mittel zur Umlenkung der Strahlungs
bündel halbdurchlässige reflektierende Elemente.
Dies hat den Vorteil, daß Standardstrahlteiler
verwendet werden können und daß die Anzahl der
Kombinationsmöglichkeiten von Ein- und Ausgängen
erhöht wird. Zudem kann der von einer externen
Quelle eingelenkte und der von der internen Quelle
ausgelenkte Strahl gleichzeitig über das
Interferometer geleitet und zu dem internen
respektive einem externen Signalempfänger gerichtet
werden. Auf diese Weise ist es möglich, zeitgleich
bei Betrieb eines einzigen Interferometers von zwei
unterschiedlichen Experimenten (interne, externe
Probe) Meßdaten zu registrieren, ohne daß deren
jeweiligen Signale einander stören. Diese
Ausführungsform bietet nahezu die gleiche Leistung
wie zwei unabhängige Spektrometer.
In vorteilhafter Weise sind die halbdurchlässigen
Elemente Spiegel, die den halben Strahlquerschnitt
abdecken.
Insbesondere in Verbindung mit einem Interferome
ter, das als Spiegel Retroreflektoren verwendet,
kann dabei die Strahlversetzung an den Retroreflek
toren ausgenutzt werden. Dies ist besonders von
Vorteil, wenn es sich um eine "heiße Probe"
handelt, deren emittiertes IR-Licht nicht in das
Interferometer gelangen soll. Man kann aber auch
Licht zweier unterschiedlicher Proben oder Quellen
auf unterschiedlichen Wegen im Spektrometer führen.
Besonders bevorzugt sind auch Strahlteiler, die je
nach Spektralbereich unterschiedliche reflektieren
de und transmittierende Charakteristiken besitzen.
Dies hat den Vorteil, daß mit einem einzigen
Spektrometer gleichzeitig in unterschiedlichen
Spektralbereichen gearbeitet werden kann. So ist es
z. B. möglich, von einer externen MIR-Quelle die
Strahlung ins Spektrometer einzulenken und mit
einem internen NIR-Detektor zu registrieren und
zeitgleich Strahlung von der internen MIR-Quelle zu
einer extern angebrachten Probe zu senden und von
einem externen MIR-Detektor zu registrieren. Man
kann aber auch die Strahlung zweier Quellen vor dem
Interferometer zusammenführen und auf eine Probe
leiten bzw. die Strahlung auf unterschiedliche
Detektoren aufteilen. Voraussetzung für den Betrieb
in breiten Wellenlängenbereichen ist die Ausstat
tung des Interferometers mit einem entsprechend
breitbandigen Strahlteiler.
In einer Ausführungsform der Erfindung besitzen die
Mittel zur Umlenkung der Strahlungsbündel zumindest
teilweise fokussierende Eigenschaften.
Dies hat den Vorteil, daß zusätzliche Fokussier
mittel entfallen können.
In einer Ausführungsform der Erfindung besitzen die
Mittel zur Umlenkung der Strahlungsbündel zumindest
teilweise polarisierende Eigenschaften.
Dies hat den Vorteil, daß zusätzliche polarisie
rende Mittel entfallen können.
Bei Vorliegen eines parallelen Strahlungsbündels
vom letzten optischen Mittel innerhalb des
Spektrometergehäuses bis zu einem Aus- oder Eingang
kann es vorteilhaft sein, dieses Bündel durch ein
vorzugsweise innen verspiegeltes Rohr zu führen,
das optionell so in das Spektrometergehäuse
eingesetzt werden kann, daß es das Parallelbündel
umgibt.
Im folgenden soll die Erfindung anhand der Figuren
näher erläutert werden.
Es zeigen:
Fig. 1 die Optik eines Fourierspektrometers nach
dem Stand der Technik;
Fig. 2 eine Ausführungsform der Optik eines
erfindungsgemäßen Fourierspektrometers;
Fig. 3 eine weitere Ausführungsform einer Optik ei
nes erfindungsgemäßen Fourierspektrometers
mit externer Probe und interner Detektion.
Im einzelnen zeigt Fig. 1 schematisch ein bekanntes
Fourierspektrometer, wie es aus der Firmenschrift IFS
66 bekanntgeworden ist. Die Abweichungen in Fig. 1
gegenüber der Zeichnung in der Firmenschrift erklären
sich aus der stark vereinfachten Darstellung. Insbe
sondere verlaufen bei Geräten wie dem IFS 66 die
Lichtbündel nicht notwendigerweise in einer Ebene.
Insbesondere bei Geräten in kompakter Bauweise wird
verstärkt die dritte Dimension ausgenutzt. In bzw. an
einem Spektrometergehäuse 1 sind eine Strahlungsquel
le 2, ein Interferometer 3 mit beweglichen Spiegeln
3a, 3b und einem Strahlteiler 3c sowie zwei alterna
tive Detektoren 4a, 4b integriert. Im internen Be
trieb gelangt das von der Quelle 2 ausgehende zu
nächst divergente Lichtbündel 10a auf einen Hohlspie
gel 11, dann als paralleles Bündel 10b über einen
Planspiegel 12 in das Interferometer 3. Das aus dem
Interferometer 3 aus laufende parallele Lichtbündel
10c gelangt über einen fokussierenden Umlenkspiegel
13 als konvergentes Lichtbündel 10d in den Probenraum
6. Im Fokus 10e kann sich eine zu untersuchende Probe
befinden. Nach dem Fokus verläßt das divergente
Lichtbündel 10f den Probenraum 6 und gelangt über ei
nen weiteren fokussierenden Spiegel 14 auf den Detek
tor 4a. Alternativ kann durch Einklappen oder Ein
schieben, allgemein Einbringen des Planspiegels 15
über den fokussierenden Spiegel 16 auf den Detektor
4b umgeschaltet werden.
Im Strahlengang befinden sich weitere bewegliche
Spiegel 22-25, über die ein Strahlenbündel aus- oder
eingekoppelt werden kann. So kann mit Hilfe des fe
sten Spiegels 21 und des beweglichen 22 über Eingang
41 von einer externen Quelle anstelle der
internen ein Strahlungsbündel 41a, b in das Spektro
metergehäuse 1 eingelenkt werden. Die Doppelpfeil
symbole an den Spiegeln sollen andeuten, daß diese
zum Umlenken der Strahlungsbündel gekippt bzw.
verschoben oder rotiert werden können. Dies erfolgt
i.a. rechnergesteuert. Ist beispielsweise der
Spiegel 22 aus dem Strahlenbündel 10b entfernt so
kann das von der internen Quelle 2 ausgehende Licht
ins Interferometer 3 gelangen. Ist der Spiegel 22
eingeschoben, so ist das von der Quelle 2 kommende
Licht blockiert, aber das von einer externen Quelle
über Eingang 41 und Spiegel 21 kommende Licht
gelangt ins Interferometer 3. Insgesamt ergeben
sich im Beispiel neben dem Eingang 41 drei Ausgänge
31-33 zum Auslenken des vom Interferometer 3
austretenden Strahlungsbündels 10c, das dann in die
austretenden Bündel 31a, 32a oder 33a übergeht,
mittels der Spiegel 23, 24 oder 25 zum Hinführen
an externe Proben.
Das bekannte Spektrometer erlaubt es nicht, Ein-
und Ausgänge zu vertauschen und dabei die internen
Komponenten sinnvoll zu verwenden.
In Fig. 2 ist dagegen eine Ausführungsform des
erfindungsgemäßen Spektrometers dargestellt.
Analoge optische Komponenten sind mit den gleichen
Bezugsziffern versehen.
Zur Vermeidung von Wiederholungen werden zunächst
deren bekannte Funktionen nicht noch einmal im
einzelnen besprochen. Die optischen Komponenten
sind im Spektrometergehäuse 1 so angeordnet, daß
die Parallelstrahlenbündel 31a und 41b koaxial
verlaufen. Damit entsteht im Spektrometer ein
geschlossener "Ring" von potentiellen Strah
lungsbündeln, beginnend zum Beispiel beim Spiegel
22 über das Interferometer 3, Spiegel 23 und
Spiegel 24 wieder zurück zum Spiegel 22. Durch
Klappen, Rotieren oder Verschieben der beweglichen
Spiegel können wie im Stand der Technik nach Fig. 1
die von der internen Quelle 2 und dem Eingang 41
kommenden Strahlenbündel das Interferometer 3
erreichen und nach Durchlaufen des Interferometers
3 zu einem internen Detektor 4a, b oder zu jedem der
Ausgänge 31-33 geführt werden. Zusätzlich kann aber
auch ein Lichtbündel, das über einen der ehemaligen
Ausgänge 31-33 eingebracht wird, über die Spiegel
25, 24 und 22 ins Interferometer geführt werden und
von dort über Spiegel 13 und 14 zum Detektor 4a
oder auch über die Spiegel 23, 24, 25 wieder zu
einem der Ausgänge 31-33. Die Spiegel können zu
diesem Zweck teilweise halbdurchlässig reflektie
rend ausgebildet sein. Es ist anhand der Fig. 2
leicht einzusehen und nachzuvollziehen, daß ein
Lichtbündel ausgehend von Quelle 2 oder einem
beliebigen der nun kombinierten Ein/Ausgänge 31-33,
41 zum Interferometer 3 gelangen kann und nach
Durchlaufen desselben entweder zu einem der
internen Detektoren 4a, b oder zu jedem beliebigen
der Ein-Ausgänge 31-33, 41 geführt werden kann,
indem die beweglichen Spiegel 15, 22, 121, 23, 24
und 25 in die entsprechende Stellung gebracht
werden. Es ist für den Fachmann offensichtlich, daß
dies durch Verschieben, Kippen, Rotieren oder auch
durch Ausbilden als halbdurchlässige Spiegel
erreicht werden kann.
In Fig. 2 sind nun noch zwei weitere Ein/Ausgänge
34, 35 mit den Strahlenbündeln 34a, 35a vorgesehen,
die über die beweglichen Spiegel 26, 27 zuge
schaltet werden können. Auch für sie gilt das oben
Gesagte. Insbesondere bei dem langen parallelen
Weg, der durch das Bündel 35a zurückgelegt wird,
kann ein Parallelstrahlenbündel von einem vor
zugsweise innen verspiegelten ins Spektrometer
einsetzbaren Rohr 50 umgeben sein, um durch
Reflexion an der Innenfläche das in der Praxis
immer etwas divergente Bündel zu führen.
Im folgenden soll noch an einigen Beispielen die
Funktion der optischen Elemente, insbesondere der
beweglichen, beschrieben werden. Es ist offen
sichtlich, daß diese Beschreibung wegen der
Vielzahl der Kombinationsmöglichkeiten selbst ein
geschränkt auf das in Fig. 2 gezeigte Ausführungs
beispiel nicht erschöpfend sein kann.
Der fokussierende Spiegel 11 macht aus dem von der
Quelle 2 ausgehenden divergenten Strahlungsbündel
ein paralleles. Dieses wird über den Planspiegel 12
in die Zeichenebene gebracht und gelangt auf den
Strahlteiler 3c des Interferometers 3, das nur
beispielhaft gezeichnet ist, insbesondere können
die Spiegel 3a, b als Retroreflektoren ausgebildet
sein. In den Parallelstrahlengang 10b kann
optionell der Planspiegel 22 eingeschoben oder
geklappt werden, so daß anstelle der internen
Strahlungsquelle 2 über Eingang 41 und fokussie
renden Spiegel 121 eine externe verwendet werden
kann. Bisher besteht kein Unterschied zum Stand der
Technik nach Fig. 1. Der fokussierende Spiegel 121
ist nun allerdings im Gegensatz zum Spiegel 21 des
Stands der Technik beweglich und das von ihm
ausgehende parallele Strahlungsbündel 41b ist
koaxial zum Strahlungsbündel 31a, das später
angesprochen wird. Durch Entfernen des Spiegels 121
aus dem Strahlengang und Einbringen des Spiegels 22
besteht die Möglichkeit, den Parallelstrahl 110a,
der ebenfalls koaxial zu den Strahlenbündeln 41b
und 31a ist, auf den Strahlteiler 3c des
Interferometers 3 zu führen. Durch Drehen des
Spiegels 121 um eine zur Zeichenebene senkrechte
Achse kann zudem beispielsweise Strahlung 10c vom
Interferometer 3 mittels Planspiegel 23 und
(gedrehtem) Planspiegel 24 über das Strahlungs
bündel 110a unter Fokussierung zum Eingang 41
gelenkt werden, der nun als Ausgang wirkt. Mittels
des einschieb- oder einklappbaren Planspiegels 27
kann das vom Interferometer kommende Parallelbündel
10c optionell anstelle zu einem der Detektoren 4a, b
über Ausgang 35 aus dem Spektrometergehäuse 1 zu
einer externen Probenvorrichtung geführt werden. Es
versteht sich, daß der Begriff "extern" immer auch
einen an das Gehäuse angeflanschten Modul umfaßt.
Der Ausgang 35 kann aber auch als Eingang benutzt
werden. Das Licht gelangt dann über die
Strahlungsbündel 35a, den Planspiegel 27
(rückwärts) in das Interferometer und von dort über
den Planspiegel 22 und Spiegel 121 beispielsweise
zum Ausgang 41 oder auch bei entferntem Spiegel 121
über den (gedrehten) Spiegel 24, den (gedrehten)
Spiegel 23 auf Spiegel 13 und von dort, wie gehabt,
auf einen der internen Detektoren 4a, b.
Beispielhaft soll nun noch der ursprüngliche
Ausgang 31 als Eingang besprochen werden. In ganz
analoger Weise kann man sich mögliche geschaltete
Strahlengänge auch für die anderen veranschaulichen.
Ausgehend vom Eingang 31 gelangt das
Strahlungsbündel 31a bei entfernten Spiegeln 25, 24
und 121 über den Planspiegel 22 ins Interferometer
3 und von dort, wie gehabt zu einem der internen
Detektoren 4a, b oder durch Einklappen eines oder
mehrerer der Planspiegel 27, 23 und 26 zu einem der
Ausgänge 35, 33 oder 34. Sind die Planspiegel
halbdurchlässig, so sind noch mehr Kombinationen
herstellbar. Das Interferometer 3 kann auch
rückwärts durchlaufen werden. Dann wird der
Parallelstrahl 31a durch den eingeklappten Spiegel
24 auf Spiegel 23 geführt und von dort bei
ausgeklapptem Spiegel 27 ins Interferometer 3. Von
dort gelangt das Licht über Spiegel 22 und 121 bzw.
24 und 26 zu einem der Ausgänge 41, 33 oder 34.
Wieder sind bei halbdurchlässiger Ausführung der
Spiegel noch mehr Kombinationen möglich.
Wesentlich für diese Variabilität ist, daß die
Spektrometeroptik so aufgebaut ist, daß es möglich
wird, den aus dem Interferometer auslaufenden
Strahl 10c in einem Punkt (z. B. 24) mit einem
Strahl, der in den ins Interferometer 3 einlaufen
den Strahl 10b übergeht, in Kontakt zu bringen,
d. h. die möglichen Wege der ein- und auslaufenden
Strahlen bilden (unter anderem) einen Ring, hier
gebildet durch die Elemente 22, 3, 23, 24. Dieser
Ring wird nicht von einem durchgehenden
Strahlenbündel durchlaufen, aber jede Teilstrecke
kann durchlaufen werden. Dies war beim Stand der
Technik bei der Strecke zwischen Spiegel 24 und
Spiegel 22 nicht der Fall, da einmal die Verbindung
der Spiegel 25, 24, 21 und 22 nicht koaxial war,
d. h. Spiegel 22 konnte von 24 her aus diesem Grund
schon nicht erreicht werden, und weil zudem der
feste Spiegel 21 im Weg war. Außerdem waren im
Stand der Technik die erforderlichen Bewegungs
möglichkeiten der beteiligten Spiegel nicht vorge
sehen.
In Fig. 3 ist im wesentlichen das Spektrometer der
Fig. 2 gezeigt, wobei der fokussierende Spiegel 13
jetzt als Spiegel 113 beweglich gestaltet ist und
ein weiterer Ein/Ausgang 130 geschaffen wurde. Das
eröffnet die Möglichkeit, in einer alternativen
Betriebsart das Spektrometer mit einer externen
Probenvorrichtung 106 und interner Quelle 2 und
Detektor 4a, b zu betreiben. Bei einer möglichen
Ausführungsform dieser Betriebsart verläßt das von
der Quelle 2 kommende Licht nach Durchlaufen des
Interferometers 3 das Spektrometergehäuse 1 über
Ein/Ausgang 31, gelangt außerhalb über einen fokus
sierenden Spiegel 123 auf eine Probe 106, nach
Durchlaufen der Probe und einem weiteren Spiegel
124 als Parallelstrahl 130a durch den Ein/Ausgang
130 wieder ins Spektrometergehäuse 1 und erreicht
über den gedrehten Spiegel 1 letztlich wie gehabt
den Detektor 4a oder 4b.
Claims (13)
1. Optisches Fourier-Transform-Spektrometer mit inner
halb eines Spektrometergehäuses installierten teilweise
beweglichen optischen Mitteln zur Führung eines Strah
lungsbündels von einer internen Strahlungsquelle über
ein Zweistrahlinterferometer und eine Probenvorrichtung
zu einem internen Detektor, mit mindestens einem Eingang
zum optionellen Einlenken eines Strahlungsbündels einer
externen Strahlungsquelle in das Spektrometergehäuse
hinein, wobei die optischen Mittel zum Hinführen dieses
eingelenkten Strahlungsbündels zum Interferometer ge
eignet sind, und mit mindestens einem Ausgang zur optionel
len Auslenkung des vom Interferometer austretenden
Strahlungsbündels über die optischen Mittel aus dem
Spektrometergehäuse heraus zu einer Probenvorrichtung
außerhalb, dadurch gekennzeichnet, daß
die optischen Mittel (11, 12, 13, 14, 15, 16, 121, 22,
23, 24, 25, 26, 27) so positionier- und bewegbar sind,
daß ein externes Strahlungsbündel (31a, 32a, 33a, 34a,
35a), das in das Spektrometergehäuse durch den minde
stens einen Ausgang (31, 32, 33, 34, 35) eingelenkt
wird, durch diese optischen Mittel (11, 12, 13, 14, 15,
16, 121, 22, 23, 24, 25, 26, 27) so umgelenkt wird, daß
es das Interferometer (3, 3a, 3b, 3c) durchläuft und
anschließend den internen Detektor (4a, 4b) erreicht
und daß die optischen Mittel (11, 12, 13, 14, 15, 16,
121, 22, 23, 24, 25, 26, 27) so positionier- und be
wegbar sind, daß ein von der internen Strahlungsquelle
(2) kommendes Strahlungsbündel (10a, 10b, 10c), das das
Interferometer (3, 3a, 3b, 3c) durchlaufen hat, durch
diese optischen Mittel (11, 12, 13, 14, 15, 16, 121,
22, 23, 24, 25, 26, 27) so umgelenkt wird, daß es das
Spektrometergehäuse (1) durch den mindestens einen Ein
gang (41) verläßt, wobei die potentiellen optischen We
ge des aus dem Gehäuse (1) des Spektrometers ausgelenk
ten (10a, 10b, 10c, 110a, 41a) und des eingelenkten
Strahlungsbündels (41a, 41b, 10b, 10c, 10d, 10f) min
destens einen Berührungspunkt oder einen Kreu
zungspunkt haben, an dem sich eine Einrichtung (121,
24) zur Umlenkung des ausgelenkten und/oder eingelenk
ten Strahlungsbündels (31a, 110a, 33a) befindet.
2. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß mehrere Ein- (41) und mehrere Ausgänge (31,
32, 33, 34, 35) vorhanden sind.
3. Spektrometer nach Anspruch 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß jeder Eingang als Ausgang
verwendet werden kann und umgekehrt.
4. Spektrometer nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Berührungs- oder
Kreuzungspunkte (121, 24) vorhanden sind.
5. Spektrometer nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die beweglichen optischen
Mittel (11, 12, 13, 14, 15, 16, 121, 22, 23, 24, 25,
26, 27) rechnergesteuert betrieben werden.
6. Spektrometer nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Mittel (11,
12, 13, 14, 15, 16, 121, 22, 23, 24, 25, 26, 27) halb
durchlässige reflektierende Elemente zur Umlenkung der
Strahlungsbündel (10a, 10b, 10c, 10d, 10f, 31a, 32a,
33a, 34a, 35a, 110a, 130a, 41a) umfassen.
7. Spektrometer nach Anspruch 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß die halbdurchlässigen reflektierenden
Elemente Spiegel sind, die den halben Querschnitt des
Strahlungsbündels abdecken.
8. Spektrometer nach Anspruch 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß die halbdurchlässigen reflektierenden
Elemente Strahlteiler sind, die nach Spektralbereich
unterschiedliche reflektierende und transmittierende
Charakteristiken haben.
9. Spektrometer nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das Interferometer (3) als
Spiegel (3a, 3b) Retroreflektoren enthält.
10. Spektrometer nach einem der vorangehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eines der
beweglichen optischen Mittel (11, 12, 13, 14, 15, 16,
121, 22, 23, 24, 25, 26, 27) fokussierend ist.
11. Spektrometer nach einem der vorangehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eines der
beweglichen optischen Mittel (11, 12, 13, 14, 15, 16,
121, 22, 23, 24, 25, 26, 27) polarisierend ist.
12. Spektrometer nach einem der vorangehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß ein vorzugsweise in
nenverspiegeltes Rohr (50) zur Führung eines Paral
lelstrahlungsbündels (35a) eingesetzt werden kann.
13. Spektrometer nach einem der vorangehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß ein aus dem Spektrome
tergehäuse (1) ausgelenktes Strahlungsbündel (31a) nach
Durchlaufen einer außerhalb angebrachten Probenvorrich
tung (123, 106, 124) wieder in das Spektrometergehäuse
(1) eingelenkt und auf einen internen Detektor (4a, 4b)
geführt werden kann.
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Free format text: KOHLER SCHMID + PARTNER, 70565 STUTTGART |
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Effective date: 20120501 |