DE4209297C2 - Behandlungseinrichtung für den Reinraumbereich - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Behandlungseinrichtung für den Reinraumbereich nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Bei der Herstellung von Chips und dergleichen ist es notwendig, die hierzu verwendeten Wafer zu reinigen. Hierzu werden sie in die in einem Reinigungsbecken der als Reinigungseinrichtung ausgebildeten Behandlungsein­ richtung befindliche Reinigungsflüssigkeit eingetaucht. Das Reinigungsbecken ist Teil einer Naßbank, welche das Behandlungsteil bildet und die sich mit dem Reinigungs­ becken im Reinraum befindet, der von oben nach unten mit Reinluft durchströmt wird. Im Bereich des Reinigungsbek­ kens wird die Reinluft mit Reinigungsmitteln beladen, die häufig stark ätzende Flüssigkeiten oder organische Lösungsmittel sind. Die belastete Reinluft wird über den Saugkanal abgesaugt. Da im Reinraum sehr hohe Anforde­ rungen im Hinblick auf die Reinheit der Luft gestellt werden, ist ein großer Aufwand erforderlich, um die mit Reinigungsmitteln beladene Reinluft im Bereich des Rei­ nigungsbeckens vollständig zu entfernen. Da diese Reini­ gungseinrichtung im Reinraum untergebracht sind, muß ein großer Teil der Reinluft ständig abgesaugt werden. Dies erfordert eine energieaufwendige Aufbereitung der zum Ersatz erforderlichen Außenluft.

Bei der gattungsgemäßen Behandlungseinrichtung (EP 0 139 128 A2) wird mit dem Gebläse aus dem Reinraumbereich Reinluft angesaugt. Sie tritt an der Austrittsöffnung des Reinluftkanales nach unten aus und bildet einen Reinluftschirm, der sich vor der Durchtrittsöffnung in den Arbeitsraum erstreckt. Der gesamte Reinluftstrom ge­ langt über eine Ansaugöffnung in einen Saugkanal, der auch einen Umluftkanal bildet. In ihm wird die belastete Reinluft teilweise in den Arbeitsraum zurückgeführt und teilweise nach außen abgeführt. Durch die Durchtritts­ öffnung gelangt auch Reinluft unmittelbar aus dem Rein­ raumbereich in den Arbeitsraum. Dadurch tritt ein erhöh­ ter Reinluftverbrauch auf, der den Betrieb der Behand­ lungseinrichtung verteuert.

Bei einer anderen bekannten Behandlungseinrichtung (GB 904 052) wird der Reinluftstrom im Arbeitsbereich aufgeteilt. Der aufgeteilte Luftstrom ist so geführt, daß Schmutzteilchen aus dem Arbeitsraum nach außen ge­ langen können. Ist die Behandlungseinrichtung in einem Reinraum untergebracht, führt dies zu einer Verschmut­ zung der Reinluft im Reinraum. Darüber hinaus können Verschmutzungen aus dem Umgebungsbereich in den Arbeits­ raum gelangen.

Es ist schließlich eine Behandlungseinrichtung bekannt (FR 2 485 700), bei der zwar der Arbeitsraum gegen die Umgebungsluft abgeschirmt ist, jedoch können im Ar­ beitsraum durch den Arbeitsprozeß entstehende Verschmut­ zungen in die Umgebung austreten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die gattungs­ gemäße Behandlungseinrichtung so auszubilden, daß der Reinluftverbrauch klein gehalten werden kann, so daß ein kostensparender Betrieb der Behandlungseinrichtung mög­ lich ist.

Diese Aufgabe wird bei der gattungsgemäßen Behandlungs­ einrichtung erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.

Bei der erfindungsgemäßen Behandlungseinrichtung wird der aus dem Reinluftkanal aus tretende Reinluftstrom auf­ geteilt, wobei ein Teil in den Umluftkanal gelangt, wäh­ rend ein anderer Teil des Reinluftstromes in Richtung auf den Reinraumbereich strömt und den Reinluftschirm bildet. Die aus dem Reinluftkanal austretende Reinluft erfüllt somit eine Doppelfunktion. Zum einen dient sie dazu, die belastete Reinluft, die aus der Behandlungs­ einrichtung entfernt wird, zu ersetzen. Zum anderen dient sie zum Aufbau des Reinluftschirmes, durch den zu­ verlässig verhindert wird, daß Schmutzteilchen aus dem Reinraumbereich nach innen in den Arbeitsraum sowie aus dem Arbeitsraum nach außen in den Reinraumbereich gelan­ gen. Da nur die durch den Reinluftkanal strömende Rein­ luft - und nicht Reinluft zusätzlich aus dem Reinraumbe­ reich - herangezogen wird, ist der Verbrauch an Reinluft verhältnismäßig gering. Dementsprechend sind auch die Betriebskosten der erfindungsgemäßen Behandlungseinrich­ tung niedrig.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.

Die Erfindung wird anhand einiger in den Zeichnungen dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 in schematischer Darstellung eine erste Ausführungs­ form einer erfindungsgemäßen Behandlungseinrichtung für den Reinraumbereich,

Fig. 2-5 in Darstellungen entsprechend Fig. 1 weitere Aus­ führungsformen von erfindungsgeinäßen Behandlungsein­ richtungen.

Die im folgenden beschriebenen Behandlungseinrichtungen sind als Reinigungseinrichtungen ausgebildet, in denen beispielsweise Wafer gereinigt werden. Hierzu hat die Reinigungseinrichtung eine Naßbank 1, in der sich mindestens ein Reinigungsbecken 2 be­ findet. Im Reinigungsbecken 2 befindet sich eine Reinigungs­ flüssigkeit 3, in der die Wafer gereinigt werden. Die Naßbank 1 kann sich quer zur Zeichenebene über mehrere Meter erstrecken, selbstverständlich aber auch kürzer sein.

Die Naßbank 1 hat eine Oberseite 5, die durch ein Lochblech, ein Lochgitter oder dergleichen gebildet ist, durch das in noch zu beschreibender Weise Reinluft in die Naßbank 1 strömen kann. In der Oberseite 5 ist das Reinigungsbecken 2 vorgesehen, das nach oben hin offen ist. Bei Nichtbenutzung wird das Reini­ gungsbecken 2 häufig durch einen Deckel verschlossen. Im oberen Randbereich ist das Reinigungsbecken 2 mit Durchtrittsöffnungen 6 versehen, vorzugsweise in Form eines Schlitzes oder einer Lochwand, durch welche die Reinigungsmitteldämpfe in einen Sammelraum 7 gesaugt werden können. Er ist vorzugsweise über den gesamten Umfang des Reinigungsbeckens 2 vorgesehen und im Bereich der Oberseite 5 der Naßbank 1 sowie im Bereich unterhalb der Durchtrittsöffnungen 6 geschlossen. In den Sammelraum 7 mündet ein Saugkanal 8, der beispielsweise rechtwinklig an eine vertikale Wand des Sammelraumes 7 anschließt und über ein rechtwinklig dazu aufwärts verlaufen des Teil mit einem Absaugkanal 9 leitungs­ verbunden ist. Er hat eine innerhalb der Reinigungseinrichtung liegende Ansaugöffnung 10, die im Bereich oberhalb der Ober­ seite 5 der Naßbank 1 in der Nähe des Reinigungsbeckens 2 liegt. Der Absaugkanal 9 durchsetzt einen aufwärts verlaufenden Umluftkanal 11, der durch eine vertikale Rückwand 12 und eine parallel dazu verlaufende Innenwand 13 der Reinigungseinrich­ tung begrenzt ist. Die Rückwand 12 reicht vom Boden 14 der Naßbank 1 bis zur Decke 15 der Reinigungseinrichtung. Die Innenwand 13 erstreckt sich von der Oberseite 5 der Naßbank 1 aufwärts bis zu einem mit Abstand unterhalb der Decke 15 lie­ genden Deckenteil 16. Die Decke 15 und der parallel zu ihr verlaufende Deckenteil 16 schließen jeweils rechtwinklig an die Rückwand 12 und an die Innenwand 13 an und begrenzen ihrerseits einen horizontalen Umluftkanal 17, der rechtwinklig an den aufwärtslaufenden Umlaufkanal 11 anschließt. Am Deckenteil 16 ist mindestens ein Gebläse 18 vorgesehen, das an der Unterseite des Deckenteiles 16 befestigt ist. Bei entsprechender Länge der Reinigungseinrichtung und/oder Leistung des Gebläses 18 können auch mehrere solcher Gebläse 18 längs der Reinigungseinrichtung am Deckenteil 16 montiert sein. Mit dem Gebläse 18, das von einem Motor 19 angetrieben wird, wird Reinluft aus den Umluftkanälen 11 und 17 angesaugt und nach unten in den Arbeitsraum 20 der Reinigungseinrichtung gefördert.

Der horizontale obere Umluftkanal 17 ist an seinem von Umluftkanal 11 abgewandten Ende durch eine innere Begrenzungswand 21 eines nach unten gerichteten Reinluftkanales 22 geschlossen. Dadurch kann die in den Umluftkanälen 11, 17 im Umlaufverfahren geförderte Reinluft nicht mit der im Reinluftkanal 22 nach unten strömenden Reinluft vermischt werden. Der Reinluftkanal 22 weist an seiner Oberseite Eintrittsöffnungen 23 für die Reinluft auf. Im Reinluftkanal 22 ist mindestens ein Gebläse 24 untergebracht, mit dem die Reinluft aus dem Reinraumbereich 4 durch die Eintrittsöffnungen 23 angesaugt wird. In Strömungs­ richtung hinter dem Gebläse 24 befinden sich ein oder mehrere Filter 25, vorzugsweise in Form eines Schwebstoffilters, durch den die Reinluft strömen muß. Das Filter 25 kann über die ganze Länge des Reinluftkanals 22 vorgesehen sein.

Der Reinluftkanal 22 wird außenseitig von einer Vorderwand 26 der Reinigungseinrichtung begrenzt. Das untere Ende des Reinluftkanals 22 endet mit Abstand oberhalb der Oberseite 5 der Naßbank 1. Die untere Austrittsöffnung 27 des Reinluft­ kanals 22 ist teilweise durch ein Lochblech 28 oder der­ gleichen geschlossen, während der übrige Teil der Austritts­ öffnung 27 offen ist. Das Lochblech 28 schließt an das untere Ende der Begrenzungswand 21 rechtwinklig an und erstreckt sich in Richtung auf die Vorderwand 26. Mit Abstand von der Vorder­ wand 26 schließt das Lochblech 28 senkrecht an einen Schirm 29 an, der sich bis zur Oberseite 5 der Naßbank 1 erstreckt. Dieser Schirm 29 ist mit (nicht dargestellten) Durchtritts­ öffnungen versehen, durch welche die zu reinigenden Wafer zum Reinigungsbecken 2 gebracht bzw. von dort auch wieder geholt werden können.

Mit geringem Abstand unterhalb des oder der Gebläse 18 ist ein weiteres Filter 30 vorgesehen, das sich über die ganze Länge der Reinigungseinrichtung erstrecken und von der Begren­ zungswand 21 bis zur Innenwand 13 reichen kann. Die von dem oder den Gebläse(n) 18 angesaugte Luft wird durch dieses Filter 30 gedrückt, bevor es nach unten in Richtung auf die Naßbank 1 strömt. Dadurch werden in noch zu beschreibender Weise Partikel, die in dieser Reinluft vorhanden sind, zurückgehalten.

Der mit den Durchtrittsöffnungen versehene Teil der Oberseite 5 der Naßbank 1 erstreckt sich vom Schirm 29 bzw. vom unteren Ende der Innenwand 13 aus bis zum Rand des Reinigungs­ beckens 2.

Die Reinigungseinrichtung ist im wesentlichen vollständig ge­ schlossen; lediglich im Bereich der Durchgriffsöffnungen des Schirms 29 ist die Reinigungseinrichtung offen. Um die Kontami­ nation des Reinraumbereich 4 durch unerwünschte, z. B. giftige, kor­ rosive oder brennbare Substanzen aus den Reinigungsbädern zuver­ lässig zu verhindern, herrscht im Arbeitsraum 20 vorteilhaft ein Unterdruck gegenüber dem Reinraum 4. Dadurch strömt keine Luft aus der Reinigungseinrichtung nach außen in den Reinraumbereich 4.

Die meisten beim Reinigungsprozeß entstehenden Reinigungsmittel­ dämpfe werden über den Saugkanal 8 und den Absaugkanal 9 abgesaugt. Hierzu befindet sich im Absaugkanal 9 ein (nicht dargestelltes) Gebläse. An den Durchtrittsstellen ist der Absaugkanal 9 gegen­ über der Innenwand 13 und der Rückwand 12 abgedichtet. Da sich der Sammelraum 7 über den gesamten Umfang des Reinigungsbeckens 2 erstreckt, können die Dämpfe über den gesamten Umfang des Reinigungsbeckens 2 durch die Durchtrittsöffnungen 6 in den Sammelraum 7 gelangen, aus dem sie über den Saugkanal 8 abge­ saugt werden. Der Arbeitsraum 20 der Reinigungseinrichtung wird von Reinluft im Umlaufverfahren durchströmt. Die durch das Filter 30 hindurchtretende Luft nimmt die im Bereich oberhalb des Reinigungsbeckens 2 befindlichen Dampfteilchen mit. Ein Teil dieser mit Lösungsmittelteilchen verschmutzten Luft wird unmittelbar über den Absaugkanal 9 abgesaugt. Ein Teil dieser Luft strömt aber auch durch die Oberseite 5 der Naßbank 1 in einen Strömungsraum 31, der mit dem aufwärts verlaufenden Umluftkanal 11 leitungsverbunden ist. Somit kann diese Reinluft über diesen Umluftkanal 11 und den anschließenden Umluftkanal 17 wieder in den Arbeitsraum 20 zurückgeführt werden. Der Saugkanal 8 liegt teilweise innerhalb dieses Strömungsraumes 31.

Der Querschnitt des Absaugkanales 9 ist verhältnismäßig klein, so daß nur eine verhältnismäßig kleine Menge der umlaufenden Reinluft aus dem Arbeitsraum 20 der Reinigungseinrichtung abgesaugt wird. Dieser abgesaugte Teil der Reinluft wird ständig ersetzt, indem durch das Lochblech 28 am unteren Ende des Reinluftkanals 22 frische, nicht mit Lösungsmittelteilchen verunreinigte Reinluft aus dem Reinraumbereich 4 angesaugt wird. Das oder die Gebläse 24 (saugen) die Reinluft über die Eintrittsöffnungen 23 unmittelbar aus dem Reinraumbereich 4, wobei nach dem Durchtritt durch das Filter 25 sehr reine Luft in den Arbeitsraum 20 eintritt. Der andere Teil der aus der Austrittsöffnung 27 ausströmenden Reinluft strömt an der Außenseite des Schirms 29 entlang und bildet dadurch einen Reinluftschirm 32, der zuverlässig verhindert, daß bei eventuellen Undichtigkeiten an der Anschlußstelle zwischen dem Schirm 29 und der Oberseite 5 der Naßkante 1 Schmutzteilchen nach innen gelangen können.

Da die Reinigungseinrichtung im wesentlichen gegenüber dem Reinraumbereich 4, in dem sie aufgestellt ist, geschlossen ist, wird der Reinraumbereich 4 selbst durch die Lösungsmitteldämpfe nicht beeinträchtigt. Da die Reinluft innerhalb der Reinigungseinrichtung im Umlaufverfahren bewegt wird, muß nicht ständig die gesamte im Arbeitsraum 20 befindliche Reinluftmenge ersetzt werden. Vielmehr muß stets nur ein Bruchteil dieser umlaufenden Reinluft durch vom Reinraumbereich 4 zugeführte Reinluft ersetzt werden. Die abgesaugte Reinluft muß dem Reinraumbereich durch aufbe­ reitete Außenluft wieder zugeführt werden. Die dafür erforderliche Kühlung, Entfeuchtung und Filterung ist bei den bekannten Ein­ richtungen sehr kostenintensiv. Der Energiebedarf für diese Außenluftaufbereitung ist bei der erfindungsgemäßen Reinigungs­ einrichtung wesentlich geringer. Die den Strömungsraum 31 und die Umlaufkanäle 11, 17 begrenzenden Wände der Reinigungseinrich­ tung sind zumindest innenseitig so ausgebildet, daß sie auch durch aggressive Dämpfe des Reinigungsmittels nicht angegriffen werden. Der Motor 19 zum Antrieb des Gebläses 18 befindet sich vorteilhaft außerhalb der Reinigungseinrichtung, so daß er nicht mit Lösungsmittelteilchen in Berührung kommen kann. Selbstverständlich ist es aber auch möglich, den Motor 19 innerhalb des Umlaufkanals 17 unterzubringen.

Auf das Gebläse 24 kann gegebenenfalls verzichtet werden, wenn die Reinluft von einer zentralen Versorgung aus zugeführt wird.

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 ist an den Rand des Reinigungsbeckens 2a der Saugkanal 8a angeschlossen, der mit dem Sammelraum 7a des Reinigungsbeckens 2a leitungsverbunden ist. Im Gegensatz zur vorigen Ausführungsform wird die abgesaugte Luft in diesem Saugkanal 8a unmittelbar nach außen geführt. Außerhalb der Reinigungseinrichtung sitzt im Saugkanal 8a ein (nicht dargestelltes) Gebläse, mit dem die mit Lösungsmitteln verunreinigte Luft abgesaugt wird.

Die Vorderwand 26a ist im Gegensatz zum vorigen Ausführungs­ beispiel länger als die innere Begrenzungswand 21a des Rein­ luftkanals 22a, kann aber auch gleich lang oder länger als die Vorderwand 26a sein. Die Vorderwand 26a begrenzt zusammen mit der Oberseite 5a der Naßbank 1a eine Durchgriffsöffnung 33, durch welche die zu reinigenden Wafer in die Reinigungseinrichtung gebracht und wieder aus ihr entnommen werden können. An die Durchgriffsöffnung 33 ist ein an sich bekanntes Handhabungsgerät 34 angeschlossen, mit dem die zu reinigenden Wafer automatisch in die Reinigungseinrichtung transportiert werden können.

Die aus der vollständig offenen Austrittsöffnung 27a des Rein­ luftkanals 22a austretende Reinluft strömt teilweise durch die Durchtrittsöffnungen in der Oberseite 5a der Naßbank 1a in den Strömungsraum 31a. Ein weiterer Teil der über den Reinluftkanal 22a zugeführten Reinluft strömt in einen Kanal 35 des Hand­ habungsgerätes 34. Dieser Kanal 35 hat im unteren Endbereich Austrittsöffnungen 36 durch welche die Reinluft aus dem Kanal 34 in den Reinraumbereich 4a strömen kann. Zur Überwindung der Druck­ differenz ist im Handhabungsgerät 34 gegebenenfalls ein Hilfs­ gebläse 34′ angeordnet. Es muß auf jeden Fall verhindert werden, daß die Reinluft vom Handhabungsgerät 34 zurück in den Arbeitsraum 20a strömt.

Auch bei dieser Ausführungsform werden die Dämpfe der Reinigungs­ flüssigkeit 3a von der aus dem Reinluftkanal 22a strömenden Reinluft mitgenommen und über die Durchtrittsöffnungen 6a am Rand des Reinigungsbeckens 2a und durch die Oberseite 5a der Naßbank 1a angesaugt. Die in den Sammelraum 7a gelangende, mit Reinigungs­ mitteln beladene Reinluft wird über den Saugkanal 8a abgesaugt, während die in den Strömungsraum 31a gelangende Reinluft von dem oder den Gebläsen 18a angesaugt wird. Die Reinluft strömt aus dem Strömungsraum 31a in den Umluftkanal 11a und von dort in den Umluftkanal 17a. Im übrigen ist die Reinigungseinrichtung gleich ausgebildet wie das Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Auch diese Reinigungseinrichtung hat nur einen geringen Leistungsverbrauch für die Aufbereitung der Außenluft als Ersatz für die abgesaugte Prozeßfortluft. Da die Reinluft innerhalb der Reinigungsein­ richtung im Umluftbetrieb geführt wird, muß nicht ständig die gesamte, im Arbeitsraum 20a der Reinigungseinrichtung befindliche Reinluft ersetzt werden. Es wird nur der Teil der Reinluft ersetzt, der über den Saugkanal 8a abgesaugt wird.

Die zu reinigenden Wafer sind in bekannter Weise in einem Behältnis 34′′ des Handhabungsgerätes 34 untergebracht und werden mittels einer Greifeinrichtung des Handhabungsgerätes 34 auf der Oberseite 5a der Naßbank 1a abgesetzt. Dieser Ablagebereich der Naßbank 1a ist vorteilhaft so angeordnet, daß er im Strömungsbe­ reich der aus dem Reinluftkanal 22a strömenden Reinluft liegt. Dadurch wird eine Verunreinigung und/oder Beschädigung der Greifeinrichtung durch beladene Umluft verhindert.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist zusätzlich zum Saug­ kanal 8b wieder der Absaugkanal 9b vorgesehen, wie er bei Reinigungseinrichtung gemäß Fig. 1 vorhanden ist. Die im Arbeits­ raum 20b befindliche Reinluft wird somit sowohl durch den Saug­ kanal 8b als auch durch den Absaugkanal 9b nach außen abgesaugt. Im übrigen ist dieses Ausführungsbeispiel gleich ausgebildet wie die Ausführungsform gemäß Fig. 2.

Die Ausführungsform nach Fig. 4 entspricht im wesentlichen dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Der einzige Unterschied besteht darin, daß ein Absaugkanal 9 nicht vorhanden ist. Der Sammelraum 7c des Reinigungsbeckens 2c ist mit dem Saugkanal 8c verbunden, der wie beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 durch die Rückwand 12c der Reinigungseinrichtung abgedichtet nach außen geführt ist. Durch ein im Saugkanal 8c befindliches Gebläse wird somit die mit Reinigungsflüssigkeitsteilchen versehene Reinluft aus der Reinigungseinrichtung abgesaugt. Diese Ausführungsform zeichnet sich durch einen sehr ein­ fachen konstruktiven Aufbau aus. Auch hier wird jeweils nur ein kleiner Teil der in der Reinigungseinrichtung befind­ lichen Reinluft durch Zufuhr von frischer Reinluft über den Reinluftkanal 22c ersetzt.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 entspricht im wesentlichen der Ausführungsform nach Fig. 1. Die einzigen Unterschiede bestehen darin, daß die Austrittsöffnung 27d des Reinluft­ kanals 22d vollständig offen ist und daß ein Schirm 29 zwischen der Oberseite 5d der Naßbank 1d und dem Reinluftkanal 22d fehlt. Dadurch wird zwischen dem Reinluftkanal 22d und der Oberseite 5d der Naßbank 1d eine über die Länge der Reini­ gungseinrichtung durchgehende Durchgriffsöffnung 33d gebildet, durch die die zu reinigenden Wafer in die Reinigungseinrichtung gebracht werden können. Da der Arbeitsraum 20d der Reinigungs­ einrichtung gegenüber dem Reinraumbereich 4d vorteilhaft Unterdruck aufweist, ist trotz der offenen Durchgriffsöffnung 33d gewähr­ leistet, daß verunreinigte Reinluft nicht aus der Reinigungsein­ richtung in den Reinraumbereich 4d gelangt. Hinzu kommt, daß die aus der Austrittsöffnung 27d des Reinluftkanals 22d ausströmende Reinluft einen Reinluftschirm 32d bildet, der dafür sorgt, daß keine verunreinigte Luft aus dem Reinraumbereich 4d durch die Durch­ griffsöffnung 33d nach innen in den Arbeitsraum 20d gelangt. Ein Teil der aus dem Reinluftkanal 22d strömenden frischen Reinluft strömt durch die Oberseite 5d der Naßbank 1d in den Strömungsraum 31d. Im Sammelraum 7d wird die mit Flüssigkeitsteilchen ver­ unreinigte Reinluft in den Saugkanal 8d und von dort in den Absaugkanal 9d gesaugt. Der Saugkanal 8d und der Absaugkanal 9d sind gleich ausgebildet wie bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1. Ein Teil der mit Flüssigkeitsteilchen verunreinigten Reinluft wird auch unmittelbar über die Ansaugöffnung 10d in den Absaug­ kanal 9d gesaugt.

Die Ausführungsform nach Fig. 6 entspricht grundsätzlich dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 5. Der einzige Unterschied be­ steht darin, daß der Absaugkanal 9d fehlt. Es ist lediglich der Saugkanal 8e vorgesehen, der in gleicher Weise ausgebildet und angeordnet ist wie bei den Ausführungsformen nach den Fig. 2 und 4. In ihm wird die verunreinigte Reinluft aus dem Sammelraum 7e durch die Rückwand 12e der Reinigungseinrichtung abgesaugt.

Anstelle der beschriebenen Reinigungseinrichtung können auch andere Behandlungseinrichtungen eingesetzt werden, bei denen die Naßbank 1 durch einen Arbeitstisch, ein Bearbeitungs- und/ oder Handhabungsgerät und dgl. ersetzt ist. Auch bei solchen Einrichtungen wird die beladene Reinluft in der beschriebenen Weise kostensparend ausgetauscht und ein Partikelzustrom bzw. eine Kontamination vom Reinraumbereich in den Arbeitsraum 20 und umge­ kehrt zuverlässig verhindert.

Abweichend von den dargestellten Ausführungsformen gemäß den Fig. 2 und 3 kann das Handhabungsgerät auch Bestandteil der Naßbank 1 sein.

Bei den beschriebenen und dargestellten Ausführungsformen können in Längsrichtung der Einrichtung hintereinander mehrere Reini­ gungsbecken angeordnet sein, die mit unterschiedlichen Reini­ gungsmitteln gefüllt sein können. Um die Wafer in die ver­ schiedenen Reinigungsbecken tauchen zu können, ist eine in Längsrichtung der Einrichtung sich erstreckende Transportein­ richtung vorgesehen. Sie liegt vorteilhaft im Strömungsbereich der aus dem Reinluftkanal 22a strömenden Reinluft.

Claims (22)

1. Behandlungseinrichtung für den Reinraumbereich, mit mindestens einem Behandlungsteil, das im Strömungs­ bereich von Reinluft liegt und in einem gegenüber dem Reinraumbereich im wesentlichen geschlossenen Arbeitsraum untergebracht ist, an den mindestens ein Saugkanal zum Absaugen von belasteter Reinluft an­ schließt und der mit dem Reinraumbereich über minde­ stens einen Reinluftkanal verbunden ist, in dem in Strömungsrichtung nach einem Gebläse ein Filter an­ geordnet ist und aus dem unter Bildung eines Rein­ luftschirmes vor wenigstens einer Durchtrittsöffnung des Arbeitsraumes Reinluft strömt, die in einen Um­ luftkanal gelangt, dadurch gekennzeichnet, daß der aus dem Reinluftka­ nal (22, 22a, 22c, 22d) austretende Reinluftstrom aufgeteilt ist und ein Teilstrom in den Umluftkanal (11, 11a) und ein anderer Teilstrom unter Bildung des Reinluftschirmes (32) zur Seite des Reinraumbe­ reiches (4, 4a, 4d) strömt.

2. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnung (27a, 27d) des Reinluftkanals (22a, 22d) vollständig offen ist.

3. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnung (27) des Reinluftkanals (22, 22c) durch eine Loch­ wand (Lochblech 28) mindestens teilweise geschlossen ist.

4. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochwand (Lochblech 28) an einen Schirm (29) anschließt, der bis zur Oberseite (5) des Behandlungsteiles (Naßbank 1) ver­ läuft.

5. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Schirm (29) Durch­ griffsöffnungen zum Einbringen der zu behandelnden Teile in den Arbeitsraum aufweist.

6. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Schirm (29) die Teilströme des Reinluftstromes voneinander trennt.

7. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchtrittsöffnung (33d) zwischen der Austrittsöffnung (27d) des Rein­ luftkanales (22d) und der Oberseite (5d) des Behand­ lungsteiles (1d) sich erstreckt.

8. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Handha­ bungsgerät (34) die Durchtrittsöffnung (33) ver­ schließt.

9. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Teilstrom des aus dem Reinluftkanal (22a) strömenden Reinluftstro­ mes in einen Kanal (35) im Handhabungsgerät (34) strömt, der mit dem Reinraumbereich (4a) strömungs­ verbunden ist.

10. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Arbeitsraum (20, 20a, 20b, 20d) gegenüber dem Reinraumbereich (4, 4a, 4d) Unterdruck aufweist.

11. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsteil (1, 1a, 1d) mindestens einen Sammelraum (7, 7a, 7d) auf­ weist, der über wenigstens eine Durchtrittsöffnung (6, 6a, 6d) mit dem Arbeitsraum (20, 20b, 20d) strö­ mungsverbunden ist und in den der Saugkanal (8, 8a, 8c bis 8e) mündet.

12. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Saugkanal (8a, 8c, 8e) aus der Behandlungseinrichtung herausgeführt ist.

13. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Saugkanal (8, 8b, 8d) in einen Absaugkanal (9, 9b, 9d) mündet, der im Arbeitsraum (20, 20b, 20d) mindestens eine Ansaug­ öffnung (10, 10d) aufweist und aus der Behandlungs­ einrichtung herausgeführt ist.

14. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansaugöffnung (10, 10d) des Absaugkanals (9, 9b, 9d) im Bereich ober­ halb eines Reinigungsbeckens (2, 2d) des Behand­ lungsteiles (Naßbank 1, 1d) liegt.

15. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Saugkanal (8, 8a, 8c bis 8e) wenigstens teilweise im Umluftkanal (11, 11a; 17, 17a) liegt.

16. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Umluftkanal (11, 11a; 17, 17a) mit einem Strömungsraum (31, 31a) des Behandlungsteiles (1, 1a, 1d) strömungsverbunden ist, der vorzugsweise an der Oberseite (5, 5a, 5d) des Behandlungsteiles (Naßbank 1, 1a, 1d) liegende Eintrittsöffnungen für die im Arbeitsraum (20, 20a, 20d) strömende Reinluft aufweist.

17. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß dem Umluftkanal (11, 11a; 17, 17a) mindestens ein Gebläse (18, 18a) zu­ geordnet ist.

18. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Gebläse (18, 18a) oberhalb des Arbeitsraumes (20, 20a, 20b, 20d) liegt.

19. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß ein Motor (19) des Ge­ bläses (18, 18a) außerhalb der Behandlungseinrich­ tung angeordnet ist.

20. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich unterhalb des Gebläses (18, 18a) mindestens ein Filter (30) ange­ ordnet ist.

21. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß im Reinluftkanal (22, 22a, 22c, 22d) mindestens ein Gebläse (24) angeord­ net ist.

22. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß im Reinluftkanal (22, 22a, 22c, 22d) in Strömungsrichtung hinter dem Ge­ bläse (24) mindestens ein Filter (25) liegt.