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DE4036262A1 - Electrical measuring appts. for level of conductive liq. - uses measuring sensor and evaluating circuit for continuous measurement of level in container or other mechanical data - Google Patents

Electrical measuring appts. for level of conductive liq. - uses measuring sensor and evaluating circuit for continuous measurement of level in container or other mechanical data

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Publication number
DE4036262A1
DE4036262A1 DE19904036262 DE4036262A DE4036262A1 DE 4036262 A1 DE4036262 A1 DE 4036262A1 DE 19904036262 DE19904036262 DE 19904036262 DE 4036262 A DE4036262 A DE 4036262A DE 4036262 A1 DE4036262 A1 DE 4036262A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
arrangement according
container
sensor
measuring arrangement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19904036262
Other languages
German (de)
Inventor
Michael Fidelak
Marlies Bartsch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TE Connectivity Sensors Germany GmbH
Original Assignee
HL Planartechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HL Planartechnik GmbH filed Critical HL Planartechnik GmbH
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Priority to EP91102305A priority patent/EP0447810B1/en
Priority to AT91102305T priority patent/ATE115717T1/en
Priority to DE59103838T priority patent/DE59103838D1/en
Priority to ES91102305T priority patent/ES2067064T3/en
Priority to US07/664,982 priority patent/US5182947A/en
Publication of DE4036262A1 publication Critical patent/DE4036262A1/en
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Abstract

The liq. (2) in the container (1) to be measured is pref. normally electrically conductive water. At least one measuring sensor (3) is used with an evaluating circuit. The or each sensor is a dispersive field type with two measuring electrodes (6a,6b) at a set distance apart in the same plane. Pref., the container and teh liq. are part of the measuring arrangement. Alternatively, the electrodes can be in different planes, pref. at an angle to each other. At least one electrode is on the base (5) of the container. The sensor(s) can be produced in planar technique on a substrate. Pref., the evaluating circuit has a microprocessor or is integrated in one.

Description

Die Erfindung betrifft eine elektrische Meßanordnung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1. Insbesondere ist als Flüssigkeit im Rahmen dieser Lehre normal leitendes Wasser gemeint, selbstverständlich können aber auch alle anderen leitenden Flüssigkeiten hier angesprochen werden.The invention relates to an electrical measuring arrangement according to the preamble of claim 1. In particular, as a liquid within the scope of this teaching Normally conductive water is meant, but of course everyone can other conductive liquids are addressed here.

Die bekannte elektrische Meßanordnung, von der die Erfindung ausgeht, dient allein der Füllstandsmessung einer Flüssigkeit in einem Behälter. Dazu ist an der Wandung des Behälters ein Meßkopf angeordnet, dessen Lage einem bestimm­ ten Füllstand der Flüssigkeit im Behälter entspricht. Erreicht die Flüssig­ keit diesen Meßkopf, so wird von dem Meßsensor ein Ausgangssignal abgege­ ben, das von der Auswerteschaltung als "Erreichen des Füllstandes" ausge­ wertet wird. Der Meßsensor ist hier zumeist als kapazitiv arbeitender, be­ rührungslos betätigbarer Annäherungsschalter ausgeführt. Es kann sich aber auch um einen Meßsensor handeln, der mit zwei Meßelektroden, die von der elek­ trisch leitenden Flüssigkeit dann überbrückt werden, arbeitet.The known electrical measuring arrangement, from which the invention is based, serves only the level measurement of a liquid in a container. This is on the wall of the container arranged a measuring head, the location of a particular corresponds to the fill level of the liquid in the container. Reaches the liquid speed this measuring head, an output signal is emitted by the measuring sensor ben that from the evaluation circuit as "reaching the level" is evaluated. The measuring sensor is mostly as a capacitive, be proximity switch operated without contact. But it can also act as a measuring sensor with two measuring electrodes that are connected by the elec trically conductive liquid are then bridged works.

In jedem Fall gilt für elektrische Meßanordnungen zur Messung bzw. Berech­ nung des Füllstandes einer in einem Behälter befindlichen Flüssigkeit, daß vor Erreichen des bestimmten Füllstandes der Meßsensor in der Flüssigkeit nicht eingetaucht ist und daß das Erreichen des Füllstandes gleichzeitig das Erreichen des Meßsensors bedeutet.In any case, the following applies to electrical measuring arrangements for measurement or calculation tion of the level of a liquid in a container that before reaching the certain level the measuring sensor in the liquid is not immersed and that reaching the level at the same time reaching the measuring sensor means.

Die zuvor erörterte elektrische Meßanordnung zur Messung des Füllstandes erlaubt nur diskrete Füllstandsmessungen. Entsprechend andere mechanische Daten der in einem Behälter befindlichen Flüssigkeit, beispielsweise deren Volumen, sind daher auch nur diskret, also für bestimmte Fixpunkte meßbar bzw. berechenbar. Letztlich werden diese Daten wiederum aus der Messung des Füllstandes abgeleitet, indem ein bestimmter Füllstand bei bekannter Geometrie des Behälters auf ein bestimmtes Volumen der Flüssigkeit im Be­ hälter umgerechnet werden kann. The previously discussed electrical measuring arrangement for measuring the level allows only discrete level measurements. Correspondingly other mechanical Data of the liquid in a container, for example its Volumes are therefore only discreet, i.e. measurable for certain fixed points or predictable. Ultimately, this data in turn comes from the measurement of the level derived by a certain level at known Geometry of the container to a certain volume of the liquid in the loading container can be converted.  

Die zuvor erläuterte , aus der Praxis bekannte elektrische Meßanordnung hat sich im Prinzip bewährt, sie leidet aber an dem Nachteil der diskreten Mes­ sung. Außerdem wäre es vorteilhaft, umfassendere Messungen wahrnehmen zu können.The previously described, known from practice electrical measuring arrangement has proven itself in principle, but suffers from the disadvantage of discrete measurements solution. It would also be beneficial to take more extensive measurements can.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine elektrische Meßanordnung für entsprechende Meßaufgaben anzugeben, die eine kontinuier­ liche Messung des Füllstandes und möglichst vieler mechanischer Daten er­ laubt.The invention is therefore based on the object of an electrical Specify measuring arrangement for corresponding measuring tasks that a continuous measurement of the level and as much mechanical data as possible leaves.

Die zuvor aufgezeigte Aufgabe ist bei einer elektrischen Meßanordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils von Anspruch 1 gelöst. Streufeldsensoren sind für sich seit langem für die Messung der elektrolytischen Leitfähigkeit einer Flüssigkeit bekannt (vgl. "messen + prüfen/automatik" Oktober 1976, 554, 563). Für die Theorie und Meß­ technik mit Streufeldsensoren wird daher auf die zuvor genannte Fachlitera­ tur verwiesen. Wesentlich ist, daß ein als Streufeldsensor ausgeführter Meß­ sensor durchaus auch vier oder sechs Meßelektroden aufweisen kann, wenn man berücksichtigt, daß es aus meßtechnischen Gründen zweckmäßig ist, die Strom­ elektroden von den Spannungselektroden für die Potentialmessung zu trennen. Dadurch liegen Polarisationseffekte an den stromdurchflossenen Elektroden außerhalb der eigentlichen Meßstrecke mit den Spannungselektroden.The task outlined above is for an electrical measuring arrangement the preamble of claim 1 by the features of the characterizing part solved by claim 1. Stray field sensors have long been for Measurement of the electrolytic conductivity of a liquid known (cf. "measure + check / automatic" October 1976, 554, 563). For theory and measurement technology with stray field sensors is therefore based on the aforementioned specialist literature referred to. It is essential that a measurement designed as a stray field sensor sensor can also have four or six measuring electrodes if one takes into account that it is expedient for metrological reasons, the current separate electrodes from voltage electrodes for potential measurement. As a result, polarization effects are present on the current-carrying electrodes outside the actual measuring section with the voltage electrodes.

Erfindungsgemäß wird ein Streufeldsensor untypisch genutzt, nämlich letzt­ lich zur Volumenmessung über den Meßelektroden. Das Streufeld bildet sich dabei über den Meßelektroden kugelförmig bzw. glockenförmig in der Flüssig­ keit aus. Die gemessene elektrische Leitfähigkeit ist direkt abhängig vom Volumen der Flüssigkeit über dem Streufeldsensor, bei gleichbleibender spezifischer Leitfähigkeit der Flüssigkeit läßt sich eine bestimmte ge­ messene Leitfähigkeit leicht in eine bestimmte Füllhöhe der Flüssigkeit im Behälter umrechnen, wenn man die Geometrie des Behälters und die son­ stigen Parameter der Meßanordnung kennt. Ist die Leitfähigkeit der Flüs­ sigkeit nicht bekannt, oder schwankt sie, so kann zur Korrektur ein se­ parater Streufeldsensor als - normaler - Leitfähigkeitssensor eingesetzt werden, um eine Normierung zu ermöglichen.According to the invention, a stray field sensor is used atypically, namely last Lich for volume measurement over the measuring electrodes. The stray field is formed thereby spherical or bell-shaped in the liquid above the measuring electrodes out. The measured electrical conductivity is directly dependent on Volume of the liquid above the stray field sensor, with the same specific conductivity of the liquid can be a certain ge measured conductivity easily into a certain liquid level Convert in the container, if you consider the geometry of the container and the son known parameters of the measuring arrangement. Is the conductivity of the rivers If the liquid is not known or fluctuates, a correction can be made  Separate stray field sensor used as a - normal - conductivity sensor to enable standardization.

Wesentlich ist, daß erfindungsgemäß auch Behälter und Flüssigkeit selbst einen Teil der Meßanordnung bilden können. In dieser bevorzugten Variante der Lehre ist die Flüssigkeit in der elektrischen Meßanordnung nur noch Mittel zum Zweck, d. h. ihre Füllhöhe ist nur noch Indiz für ein anderes mechanisches Datum, das die bestimmte Füllhöhe der Flüssigkeit zur Folge hat. So läßt sich die Neigung des Behälters bei entsprechender Gestaltung der elektrischen Meßanordnung messen, es lassen sich aber auch eine Viel­ zahl weiterer mechanischer Einflüsse meßtechnisch erfassen. Das wird ins­ gesamt in den nachgeordneten Ansprüchen umfangreich erläutert.It is essential that the container and liquid itself according to the invention can form part of the measuring arrangement. In this preferred variant the lesson is only the liquid in the electrical measuring arrangement Means to an end, d. H. their level is only an indication of another mechanical date that results in the determined liquid level Has. So the inclination of the container can be designed accordingly measure the electrical measuring arrangement, but it can also be a lot measure the number of other mechanical influences. This is going to explained in detail in the subordinate claims.

Bevorzugt ist, daß die Meßelektroden im wesentlichen in einer Ebene liegen. Bei der Messung des Füllstandes einer Flüssigkeit in einem Behälter ist diese Ebene zweckmäßigerweise der Boden des Behälters, die Meßelektroden wären dann also am Boden des Behälters angeordnet. Unterschiedliche Niveaus der Meßelek­ troden erschweren die Auswertung. Sie können sich aber manchmal aus anderen Gründen als empfehlenswert erweisen, so daß es auch zweckmäßig sein kann, die Meßelektroden winklig zueinander anzuordnen, beispielsweise eine Meßelek­ trode am Boden des Behälters und eine Meßelektrode an einer Wandung des Be­ hälters.It is preferred that the measuring electrodes lie essentially in one plane. When measuring the level of a liquid in a container, this is Level expediently the bottom of the container, the measuring electrodes would then be so arranged at the bottom of the container. Different levels of measuring electrodes troden complicate the evaluation. But you can sometimes make yourself out of others Reasons to be recommended so that it can also be useful to arrange the measuring electrodes at an angle to one another, for example a measuring electrode trode on the bottom of the container and a measuring electrode on a wall of the loading halters.

Grundsätzlich wäre es auch möglich, in einem Behälter zwei oder noch mehrere Meßsensoren mit jeweils zwei Meßelektroden oder drei Meßelektroden anzuord­ nen, beispielsweise einen Meßsensor am Boden und einen Meßsensor an der Wand rechtwinklig dazu. Dann könnte man bei über 45° reichenden Neigungen von einem Meßsensor auf den anderen Meßsensor umschalten. Bei einem an allen Wandungen mit Meßsensoren bestückten Behälter könnte man eine Drehung des Behälters in jede beliebige Richtung durch Umschalten von einem Meßsensor auf den an­ deren Meßsensor meßtechnisch erfassen. In principle, it would also be possible to have two or more in one container Arrange measuring sensors with two measuring electrodes or three measuring electrodes NEN, for example a measuring sensor on the floor and a measuring sensor on the wall at right angles to it. Then with inclinations of over 45 ° one could Switch the measuring sensor to the other measuring sensor. With one on all walls container with measuring sensors could be a rotation of the container in any direction by switching from one measuring sensor to the other measure the measuring sensor.  

Es gibt nun viele Möglichkeiten, die Lehre der Erfindung auszugestal­ ten und weiterzubilden, wozu auf die dem Anspruch 1 nachgeordneten An­ sprüche verwiesen werden darf. In den nachgeordneten Ansprüchen finden sich besondere Ausführungsformen für eine Positionsbestimmung eines beweg­ lichen Körpers in einer elektrisch leitenden Flüssigkeit. In den nachgeord­ neten Ansprüchen sind auch verschiedene für sich selbstständig erfinderische Verwendungen einer elektrischen Meßanordnung der beschriebenen Art angege­ ben, die aber keine abschließende Auflistung darstellen sollen.There are now many ways of embodying the teaching of the invention ten and further, for which to the subordinate to claim 1 sayings may be referred. Find in the subordinate claims special embodiments for determining the position of a moving body in an electrically conductive liquid. In the subordinate Neten claims are also various inventive for themselves Uses of an electrical measuring arrangement of the type described ben, but should not be a final list.

Im folgenden wird die Erfindung anhand einer lediglich Ausführungsbeispie­ le darstellenden Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigtIn the following the invention is based on an exemplary embodiment only le illustrative drawing explained in more detail. In the drawing shows

Fig. 1 in schematischer Darstellung einen Behälter mit darin befind­ licher Flüssigkeit und einer entsprechenden Meßanordnung, Fig. 1 shows a schematic representation of a container having therein befind Licher liquid and a corresponding measuring device,

Fig. 2 ein besonders bevorzugtes Ausführungsbeispiel eines Meßsensors gemäß der Erfindung, Fig. 2 shows a particularly preferred embodiment of a measuring sensor according to the invention,

Fig. 3 in hinsichtlich der Darstellungsart Fig. 1 entsprechender Dar­ stellung eine für eine Neigungsmessung abgeänderte erfindungsge­ mäße Meßanordnung, Fig. 3 in regard to the corresponding representation Fig. 1 Dar a modified position for a tilt measurement erfindungsge Permitted measuring arrangement,

Fig. 4 die Meßanordnung aus Fig. 3 mit geneigtem Behälter, Fig. 4, the measuring arrangement of Fig. 3 with inclined container,

Fig. 5 die Meßanordnung aus Fig. 3 mit in die andere Richtung geneigtem Behälter, etwas anderer Anordnung der Meßelektroden und einer Darstellung des Einflusses unterschiedlich hoher Füllstände der Flüssigkeit für die Meßgenauigkeit, Fig. 5, the measuring arrangement of Fig. 3 different levels with inclined in the other direction of the container, a somewhat different arrangement of the measuring electrodes and a representation of the influence levels of the liquid for the measurement accuracy,

Fig. 6 in Draufsicht ein Substrat einer in Planartechnik ausgeführten Meßanordnung mit vier Meßsensoren, Fig. 6 in plan view a substrate of an executed in planar measuring arrangement with four measuring sensors,

Fig. 7 die Meßanordnung aus Fig. 6 in schematischer Darstellung mit der dazu gehörenden Auswerteschaltung, Fig. 7, the measuring arrangement of Fig. 6, in a schematic view with the associated evaluation circuit

Fig. 8 eine schematische Darstellung einer elektrischen Meßanordnung zur Positionsbestimmung eines beweglichen Körpers in einer elek­ trisch leitfähigen Flüssigkeit, Fig. 8 is a schematic diagram of an electrical measuring arrangement for determining the position of a movable body in an elec trically conductive liquid,

Fig. 9 in Fig. 8 entsprechender Darstellung die Meßanordnung mit dem beweglichen Körper in anderer Position, Fig. 9 in Fig. 8 corresponding representation, the measuring arrangement with the movable body in the other position,

Fig. 10 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer entsprechenden elektri­ schen Meßanordnung, Fig. 10 shows a further embodiment of a corresponding electrical measuring arrangement rule,

Fig. 11 in einer im Grundsatz Fig. 5 entsprechenden Darstellung ein Aus­ führungsbeispiel mit einer Trennwand im Behälter, Fig. 11 in a corresponding in principle to FIG. 5 illustration, a guidance from, for example with a dividing wall in the container,

Fig. 12 in einer im Grundsatz Fig. 5 entsprechenden Darstellung ein Aus­ führungsbeispiel mit einer Hilfsflüssigkeit über der Flüssigkeit, Fig. 12 in a corresponding in principle to FIG. 5 illustration, a guidance from, for example with an auxiliary liquid through the liquid,

Fig. 13 in einer Fig. 12 entsprechenden Darstellung einen mit Flüssigkeit und Hilfsflüssigkeit vollständig gefüllten Behälter, Fig. 13 shows a container completely filled with liquid and the auxiliary liquid in a Fig. 12 corresponding representation,

Fig. 14 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Meßan­ ordnung, hier in Verbindung mit einem Verformungskörper zur Neigungsmessung, Fig. 14 is a further embodiment of an inventive Messan order, here in combination with a deformation element for the inclination measurement,

Fig. 15 ein Ausführungsbeispiel einer Meßanordnung zur Linear-Beschleu­ nigungsmessung, Fig. 15 an embodiment of a measuring arrangement for linear Accelerat nigungsmessung,

Fig. 16 die Anordnung der Meßsensoren der Meßanordnung aus Fig. 15 in Draufsicht, Fig. 16, the arrangement of the measuring sensors of the measuring arrangement of Fig. 15 in plan view,

Fig. 17 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Meßan­ ordnung geeignet zur Rotations-Beschleunigungsmessung bzw. zur Drehzahlmessung, Fig. 17 shows a further embodiment of an inventive Messan order suitable for rotational acceleration measurement or rotational speed measurement,

Fig. 18 in Draufsicht den Meßsensor der Meßanordnung aus Fig. 17, Fig. 18 in plan view, the measuring sensor of the measuring arrangement of Fig. 17,

Fig. 19 in schematischer Darstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel einer elektrischen Meßanordnung, geeignet zu einer besonders präzisen Drehzahlmessung, und Fig. 19 a schematic representation of another embodiment of an electrical measuring arrangement, suitable for a very precise speed measurement, and

Fig. 20 die Meßanordnung aus Fig. 19 bei hoher Drehzahl. Fig. 20, the measuring arrangement of Fig. 19 at high speed.

Fig. 1 zeigt zunächst die grundsätzliche Konstruktion einer elektrischen Meßanordnung gemäß der Erfindung zur Messung bzw. Berechnung des Füllstan­ des oder auch anderer mechanischer Daten einer in einem Behälter 1 befind­ lichen, elektrisch leitenden Flüssigkeit 2, bei der es sich insbesondere um normal leitendes Wasser handeln kann. Im übrigen kann dieses System aber auch für alle anderen elektrisch leitenden Flüssigkeiten eingesetzt wer­ den. Fig. 1 first shows the basic construction of an electrical measuring arrangement according to the invention for measuring or calculating the fill level of or other mechanical data of an in a container 1 union, electrically conductive liquid 2 , which are in particular normally conductive water can. Otherwise, this system can also be used for all other electrically conductive liquids.

Die in Fig. 1 in einer prinzipiellen Darstellung gezeigte elektrische Meß­ anordnung weist einen Meßsensor 3 auf. Einem solchen Meßsensor 3 ist regel­ mäßig eine Auswerteschaltung 4 nachgeschaltet, wie sie im grundsätzlichen Blockschaltbild beispielsweise in Fig. 7 für ein anderes Ausführungsbei­ spiel dargestellt ist. Das ist alles aus dem Stand der Technik bekannt.The electrical measuring arrangement shown in Fig. 1 in a basic representation has a measuring sensor 3 . Such a measuring sensor 3 is regularly followed by an evaluation circuit 4 , as shown in the basic block diagram, for example in Fig. 7 for another game Ausführungsbei. All of this is known from the prior art.

Wesentlich ist nun zunächst, daß der Meßsensor 3 als Streufeldsensor mit zwei in einem bestimmten seitlichen Abstand voneinander liegenden Meßelektro­ den 6a, 6b ausgeführt ist. Im hier dargestellten und bevorzugten Ausführungs­ beispiel, bei dem es um die Messung des Füllstandes der Flüssigkeit im Be­ hälter 1 geht, sind die beiden Meßelektroden 6a, 6b in einer Ebene, näm­ lich am Boden 5 des Behälters 1 angeordnet. Sie haben also praktisch das gleiche Niveau, was die meßtechnische Auswertung vereinfacht. Angedeutet ist das sich in der Flüssigkeit 2 ausbildende Streufeld. Dadurch verändert sich der mit dem Meßsensor 3 gemessene Meßwert signifikant mit der Füllhöhe bzw. dem Füllstand der Flüssigkeit 2. Aus dem Füllstand kann man dann an­ dere mechanische Daten der Flüssigkeit 2, beispielsweise deren Volumen, er­ rechnen. Man kann anhand von Fig. 1 unschwer verstehen, daß die Meßelektro­ den 6a, 6b auch in unterschiedlichen Ebenen liegen können, insbesondere wink­ lig zueinander, beispielsweise eine Meßelektrode 6a am Boden 5 des Behäl­ ters 1 und die andere Meßelektrode 6b an der Seitenwand des Behälters 1. Das kann unter bestimmten meßtechnischen Voraussetzungen ebenfalls zweck­ mäßig sein. Grundsätzlich könnten auch beide Meßelektroden 6a, 6b auf einan­ der gegenüberliegenden Wandungen des Behälters 1 angeordnet sein. Das würde dann andere meßtechnische Möglichkeiten geben.It is now essential that the measuring sensor 3 is designed as a stray field sensor with two measuring electrodes 6 a, 6 b lying at a certain lateral distance from one another. In the illustrated and preferred embodiment, for example, in which it is a matter of measuring the level of the liquid in the container 1 , the two measuring electrodes 6 a, 6 b are arranged in one plane, namely at the bottom 5 of the container 1 . So they have practically the same level, which simplifies the measurement evaluation. The stray field forming in the liquid 2 is indicated. As a result, the measured value measured with the measuring sensor 3 changes significantly with the fill level or the fill level of the liquid 2 . From the level one can then calculate other mechanical data of the liquid 2 , for example its volume. It can be based on Fig. 1 readily understood that the Meßelektro Figures 6 a, 6 b in different planes can be, in particular wink lig each other, for example a measuring electrode 6a on the bottom 5 of the Behäl ters 1 and the other measuring electrode 6 b to the side wall of the container 1 . This can also be appropriate under certain measuring conditions. Basically, both measuring electrodes 6 a, 6 b could be arranged on the opposite walls of the container 1 . This would then give other metrological options.

Um eine möglichst korrekte Erfassung des Füllstandes der Flüssigkeit 2 im Behälter 1 zu ermöglichen, sind im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 die Meß­ elektroden 6 des Meßsensors 3 nahe an den äußersten Rändern des Bodens 5 angeordnet. Es gilt im übrigen, daß die Darstellung von zwei Meßelektroden 6a, 6b nur eine prinzipielle Darstellung ist, für sich bekannt ist es für Streufeldsensoren ja, aus meßtechnischen Gründen die Stromführung über die Elektroden von der Spannungsmessung zu trennen, also mit Stromelektroden und Spannungselektroden zu arbeiten. In den dargestellten Ausführungsbei­ spielen ist allerdings davon ausgegangen worden, daß nur mit zwei Meßelek­ troden je Meßsensor 3 gearbeitet wird, die anderen Alternativen sind natür­ lich in gleicher Weise realisierbar.In order to enable the correct detection of the level of the liquid 2 in the container 1 , the measuring electrodes 6 of the measuring sensor 3 are arranged close to the outermost edges of the bottom 5 in the exemplary embodiment according to FIG. 1. It is also true that the representation of two measuring electrodes 6 a, 6 b is only a basic representation, for stray field sensors it is known per se to separate the current supply via the electrodes from the voltage measurement, i.e. with current electrodes and voltage electrodes to work. In the illustrated Ausführungsbei play, however, it has been assumed that only two measuring electrodes per measuring sensor 3 are used, the other alternatives are of course realizable in the same way.

Streufeldsensoren der in Rede stehenden Art können in besonders zweckmäßi­ ger Weise in Planartechnik auf einem Substrat ausgeführt sein. Dazu können auf einem Substrat die elektrisch leitenden, flächigen Strukturen, vor­ zugsweise aufgebracht in Planartechnik, insbesondere in Dünnfilmtechnik, vorgesehen sein, wobei dann an bestimmten Stellen ein gegen die betroffene Flüssigkeit 2 beständiges Dielektrikum als Abdeckung in Planartechnik oder anderer Beschichtungstechnik aufgebracht wird. Stray field sensors of the type in question can be carried out in a particularly expedient manner in planar technology on a substrate. For this purpose, the electrically conductive, flat structures, preferably applied in planar technology, in particular in thin film technology, can be provided on a substrate, a dielectric which is resistant to the liquid 2 concerned then being applied at certain points as a cover in planar technology or other coating technology.

Fig. 2 zeigt eine ganz besonders bevorzugte Ausgestaltung eines Meßsensors 3 für eine erfindungsgemäße elektrische Anordnung, die nämlich dadurch gekenn­ zeichnet ist, daß die eine Meßelektrode 6a eine jedenfalls im wesentlichen geschlossene kreisringförmige Elektrodenfläche und die andere Meßelektrode 6b eine im Mittelpunkt des Kreisringes liegende, kreisförmige Elektrodenfläche bildet und daß die Ränder der beiden Elektrodenflächen einen erheblichen radialen Abstand voneinander aufweisen. Man erkennt hier, daß die Zuleitun­ gen 7 von der Anschlußfläche 8 auf dem hier nur gestrichelt dargestellten Substrat möglichst schmal gemacht werden, um die auftretenden Streufelder möglichst gering zu halten. Bei der dargestellten Anordnung der Meßelektro­ den 6 des Meßsensors 3 ist gewährleistet, daß das insgesamt ausgemessene Streufeld unabhängig von der Neigung des Behälters 1 nach jeder der mög­ lichen Richtungen konstant bleibt. Das ist bei auf eine bestimmte Achse aus­ gerichteten Meßelektroden 6 so nicht sicherzustellen. Fig. 2 shows a very particularly preferred embodiment of a measuring sensor 3 for an electrical arrangement according to the invention, which is namely characterized in that the one measuring electrode 6 a an at least substantially closed annular electrode surface and the other measuring electrode 6 b a lying in the center of the annulus , forms a circular electrode surface and that the edges of the two electrode surfaces are at a considerable radial distance from one another. It can be seen here that the supply lines 7 are made as narrow as possible from the connection surface 8 on the substrate shown only in broken lines in order to keep the stray fields that occur as low as possible. In the illustrated arrangement of the Meßelektro the 6 of the measuring sensor 3 ensures that the total stray field measured remains constant regardless of the inclination of the container 1 after each of the possible directions. This cannot be ensured in the case of measuring electrodes 6 directed onto a specific axis.

Bislang ist eine elektrische Meßanordnung mit im Prinzip einem Meßsensor 3, der ein Streufeld über den Meßelektroden 6 ausbildet, in ihrer meßtechni­ schen Bedeutung erläutert worden. Dazu bleibt vielleicht noch zu erwähnen, daß die maximal meßbare Füllhöhe etwa das 0,8-fache des Abstandes der Meß­ elektroden 6 beträgt, wenn man eine ausreichende Meßgenauigkeit voraussetzt und wenn man die in Fig. 1 dargestellten, weit beabstandeten Meßelektroden 6 einsetzt. Bei der in Fig. 2 dargestellten Ausführungsform verringert sich zwar die meßbare maximale Füllhöhe auf ungefähr das 0,5-fache bis 0,4-fache des Durchmessers der Meßelektrode 6a, dafür hat man dann aber den Vorteil der Neigungsunabhängigkeit des Meßwertes.So far, an electrical measuring arrangement with in principle a measuring sensor 3 , which forms a stray field over the measuring electrodes 6 , has been explained in its metrological importance. For this purpose is perhaps to be noted that the maximum measurable height about 0.8 times the distance of the measurement electrodes 6 is, if one assumes a sufficient measurement accuracy and if one uses the far-spaced measurement electrodes 6 shown in FIG. 1. In the embodiment shown in FIG. 2, the measurable maximum fill level is reduced to approximately 0.5 times to 0.4 times the diameter of the measuring electrode 6 a, but then one has the advantage of the inclination independence of the measured value.

Wesentlich ist, daß eine elektrische Meßanordnung der zuvor erläuterten Art auch in sich selbst geschlossen als Meßanordnung für sonstige mechanische Daten eingesetzt werden kann. Erfindungsgemäß ist erkannt worden, daß der Behälter samt der darin befindlichen Flüssigkeit selbst einen Teil der Meß­ anordnung bilden kann, so daß andere mechanische Daten, beispielsweise die Neigung des Behälters mit darin befindlicher Flüssigkeit, eine Rotation des Behälters, eine Linearbeschleunigung des Behälters und/oder weitere mecha­ nische Daten meßtechnisch erfaßt werden können, jeweils indem das Verhalten der Flüssigkeit im Behälter meßtechnisch erfaßt wird.It is essential that an electrical measuring arrangement of the type explained above also closed in itself as a measuring arrangement for other mechanical Data can be used. According to the invention it has been recognized that the Container together with the liquid contained in it itself is part of the measurement Arrangement can form, so that other mechanical data, such as the  Inclination of the container with liquid therein, a rotation of the Container, a linear acceleration of the container and / or other mecha African data can be recorded by measurement, in each case by the behavior the liquid in the container is measured.

Besondere meßtechnische Effekte lassen sich auf der Grundlage der Füll­ standsmessung bei Einsatz mehrerer Meßsensoren 3 insbesondere am Boden 5 des Behälters 1 erzielen. Fig. 3 zeigt dazu, daß der Behälter 1 um eine hier jedenfalls virtuell mittig am Boden 5 befindliche Kippachse 9 kippbar ist und daß beidseits der Kippachse 9 jeweils ein Meßsensor 3 angeordnet ist und die Meßwerte der beiden Meßsensoren 3 in der Auswerteschaltung 4 auswertbar, und zwar insbesondere in einem Differenz-Auswerteverfahren aus­ wertbar sind. Im hier dargestellten Ausführungsbeispiel gilt, daß die Meß­ sensoren 3 beidseitig der Kippachse 9 im wesentlichen symmetrisch zu dieser angeordnet sind.Special measuring effects can be achieved on the basis of the level measurement when using several measuring sensors 3, in particular at the bottom 5 of the container 1 . Fig. 3 shows to the fact that the container 1 is tiltable about a here at any rate virtually centrally located on the bottom 5 tilting axis 9, and that on both sides of the tilt axis 9 are each a measuring sensor 3 is placed and evaluated the measured values of the two measuring sensors 3 in the evaluation circuit 4, and can be evaluated in particular in a differential evaluation method. In the exemplary embodiment shown here, the measuring sensors 3 on both sides of the tilt axis 9 are arranged essentially symmetrically to the latter.

Die Kippachse 9 muß nicht körperlich vorhanden sein, sie ist systemimmanent jedenfalls stets auch virtuell vorhanden, auch wenn man den Behälter 1 in Fig. 4 beispielsweise parallel zu sich selbst verlagert. Wesentlich ist, daß im Grundsatz beidseits der "Mitte" jeweils ein Meßsensor 3 angeordnet ist. Man erkennt aus Fig. 3, daß bei ebener Ausrichtung des Behälters 1 auch der Flüssigkeitsspiegel im Behälter 1 im Bereich beider Meßsenso­ ren 3 im gleichen Abstand vom Boden 5 liegt, so daß im Rahmen der Meß- und Auswertegenauigkeit die gemessenen Streufelder identisch sind. In Fig. 4 erkennt man dementgegen, daß sich das Streufeld des Meßsensors 3 rechts wegen der Neigung des Behälters 1 erheblich vergrößert hat, während das Streufeld des links dargestellten Meßsensors 3 durch die Neigung des Be­ hälters 1 eingeschnürt worden ist. Eine Auswertung mit der Auswerteschal­ tung 4 macht also beispielsweise eine Neigungsmessung für den Behälter 1 möglich. Das läßt sich in Lagebestimmungssystemen, in "elektronischen Wasser­ waagen" usw. mit großem Vorteil einsetzen, insbesondere wenn man berücksich­ tigt, daß die Meßsensoren 3 in Planartechnik ausgeführt sein können, also notfalls auch miniaturisierbar sind. The tilt axis 9 does not have to be physically present, it is always virtually present in the system, even if the container 1 in FIG. 4 is shifted parallel to itself, for example. It is essential that a measuring sensor 3 is arranged on both sides of the "center" in principle. It can be seen from Fig. 3 that when the container 1 is level , the liquid level in the container 1 in the area of both Meßsenso ren 3 is at the same distance from the floor 5 , so that the measured stray fields are identical within the scope of the measurement and evaluation accuracy. In Fig. 4, on the other hand, it can be seen that the stray field of the measuring sensor 3 has increased considerably on the right because of the inclination of the container 1 , while the stray field of the measuring sensor 3 shown on the left has been constricted by the inclination of the container 1 . An evaluation with the evaluation circuit 4 thus makes it possible, for example, to measure the inclination of the container 1 . This can be used in position determination systems, in "electronic water scales" etc. with great advantage, especially if one takes into account that the measuring sensors 3 can be designed in planar technology, so if necessary they can also be miniaturized.

Fig. 5 macht deutlich, daß es bei der anhand der Fig. 3 und 4 erläuterten Neigungsmessung hinsichtlich der Auswertung günstiger ist, wenn die normale Höhe des Füllstandes der Flüssigkeit 2 im Behälter 1 möglichst gering ist. Man erkennt, daß die relative Änderung x/y in Fig. 5 erheblich größer ist als die relative Änderung x′/y′. Je weiter also die außen liegenden Meß­ elektroden 6b von den in der Mitte liegenden Meßelektroden 6a entfernt sind und je geringer die Füllhöhe ist, desto höher ist also die Meßempfindlich­ keit, wenngleich der zur Verfügung stehende Winkel-Meßbereich natürlich entsprechend geringer ist. FIG. 5 makes it clear that in the case of the inclination measurement explained with reference to FIGS. 3 and 4, it is more favorable with regard to the evaluation if the normal level of the liquid 2 in the container 1 is as low as possible. It can be seen that the relative change x / y in FIG. 5 is considerably greater than the relative change x '/ y'. Thus the Meßempfindlich The further so the outer measuring electrode 6 b of the in-the middle measuring electrodes 6a are removed, and the lower the liquid level, the higher ness, although the space available angle measuring section is of course correspondingly lower.

Um auftretende, die Messung verfälschende Streufelder zwischen verschiede­ nen Meßsensoren 3 zu vermeiden, empfiehlt es sich, daß die der Kippachse 9 nahen Meßelektroden 6a der beiden Meßsensoren 3 auf gleichem Potential lie­ gen. Der nächste Schritt ist dabei dann die Ausgestaltung gemäß Fig. 5, die dadurch gekennzeichnet ist, daß die der Kippachse 9 nahen Meßelektro­ den 6a der beiden Meßsensoren 3 in einer einzigen Elektrodenfläche zusammen­ gefaßt sind. Das ist natürlich eine vom Schaltungsaufbau her erhebliche Vereinfachung, wobei man nur darauf achten muß, daß die Elektrodenfläche der die beiden Meßelektroden 6a bildenden Elektrode auf die Kippachse 9, sei sie auch nur virtuell vorhanden, zentriert ist.In order to avoid stray fields which distort the measurement between different measuring sensors 3 , it is recommended that the measuring electrodes 6 a of the two measuring sensors 3 close to the tilt axis 9 lie at the same potential. The next step is then the configuration according to FIG. 5 , which is characterized in that the tilting axis 9 near the measuring electrode 6 a of the two measuring sensors 3 are combined in a single electrode surface. This is, of course, a considerable simplification in terms of the circuit structure, it being only necessary to ensure that the electrode surface of the electrode forming the two measuring electrodes 6 a is centered on the tilt axis 9 , even if it is only virtually present.

An sich sind die Meßanordnungen nach den Fig. 3 bis 5 nur hinsichtlich einer Neigung bzw. Kippung um die Kippachse 9 empfindlich, um eine dazu senkrecht verlaufende Kippachse sind sie nicht neigungsempfindlich oder nur sehr wenig neigungsempfindlich. Will man Neigungen um zueinander senkrecht verlaufende Kippachsen, also letztlich Neigungen in alle Richtungen messen können, so empfiehlt es sich, daß zusätzlich zu dem ersten Paar von Meß­ sensoren 3 ein zweites Paar von Meßsensoren 3 vorgesehen und winklig, vor­ zugsweise um 90°, versetzt gegenüber dem ersten Paar von Meßsensoren 3 auf denselben Mittelpunkt wie das erste Paar von Meßsensoren 3 zentriert an­ geordnet ist. Fig. 6 zeigt eine solche Meßanordnung mit zwei Paaren von Meßsensoren 3, wobei dann ergänzend gilt, daß die dem Mittelpunkt nahen Meßelektroden 6a aller Meßsensoren 3 in einer einzigen Elektrodenfläche zusammengefaßt sind. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die durch die bogenförmigen Pfeile angedeuteten Winkel jeweils 90°, mit entsprechend abgeänderten Auswertungsprogrammen kann man natürlich auch mit nicht exakt im 90°-Winkel stehenden zwei Paaren von Meßsensoren 3 arbeiten.The measuring arrangements according to FIGS . 3 to 5 are only sensitive with respect to an inclination or tilting about the tilt axis 9 , they are not sensitive to tilt or only very slightly tilt-sensitive about a tilt axis running perpendicular thereto. If you want to be able to measure inclinations about mutually perpendicular tilting axes, i.e. ultimately inclinations in all directions, it is recommended that in addition to the first pair of measuring sensors 3 a second pair of measuring sensors 3 is provided and angularly offset, preferably by 90 ° centered with respect to the first pair of measuring sensors 3 on the same center as the first pair of measuring sensors 3 is subordinated to. Fig. 6 shows such a measuring arrangement with two pairs of measuring sensors 3 , in which case the following also applies that the measuring electrodes 6 a close to the center of all measuring sensors 3 are combined in a single electrode surface. In the exemplary embodiment shown, the angles indicated by the arc-shaped arrows are each 90 °. With correspondingly modified evaluation programs, one can of course also work with two pairs of measuring sensors 3 which are not exactly at a 90 ° angle.

Fig. 7 zeigt die Meßanordnung aus Fig. 6 mit dem schematisch angedeuteten Substrat 10 mit den aufgebrachten Meßelektroden 6a, 6b, die in Planartech­ nik hergestellt worden sind, mit einem Generator 11, einer ersten Subtrak­ tionsschaltung 12 für das erste Paar von Meßsensoren 3, einer zweiten Sub­ traktionsschaltung 13 für das zweite Paar von Meßsensoren 3, einer Nullagen- Feststellstufe 14 und einer Und-Schaltung 15. An den durch die Pfeile dar­ gestellten Ausgängen stehen die Neigungs-Meßsignale für die x-Richtung oben, für die y-Richtung unten an. An dem mittleren Ausgang wird ein Signal nur dann abgegeben, wenn sich der Behälter 1 exakt in horizontaler Ausrichtung befindet, also eine Neigung in keine Richtung gegeben ist. Das ist eine Möglichkeit, die entsprechende Auswertung mit der Auswerteschaltung 4 durch­ zuführen. Fig. 7 shows the measuring arrangement from Fig. 6 with the schematically indicated substrate 10 with the applied measuring electrodes 6 a, 6 b, which have been manufactured in Planartech technology, with a generator 11 , a first subtraction circuit 12 for the first pair of measuring sensors 3 , a second sub traction circuit 13 for the second pair of measuring sensors 3 , a zero position detection stage 14 and an AND circuit 15th At the outputs represented by the arrows, the inclination measurement signals for the x-direction are at the top, for the y-direction at the bottom. A signal is only emitted at the middle output if the container 1 is exactly in a horizontal orientation, that is to say there is no inclination in any direction. This is one way of carrying out the corresponding evaluation using the evaluation circuit 4 .

Fig. 11 zeigt nun ein in mechanischer Hinsicht weiter bevorzugtes Ausfüh­ rungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Meßanordnung, das dadurch gekenn­ zeichnet ist, daß im Behälter 1 mindestens ein Trennelement 16 angeordnet oder ausgebildet ist, das durch das Trennelement 16 ein bestimmter, er­ höhter Strömungswiderstand für die Flüssigkeit beim Strömen von einer Seite des Trennelementes 16 zur anderen Seite des Trennelementes 16 gegeben ist und daß so eine bestimmte Dämpfung vorgebbar ist. Die Dämpfungskonstante des hier als Neigungssensor verwendeten Behälters 1 läßt sich durch Anzahl und Größe der Öffnungen im Trennelement 16, das hier als Lochblech ausgeführt ist, bestimmen. Eine Alternative könnte auch darin bestehen, das Trennele­ ment 16 als Trennwand mit Öffnungen oder als Doppel-Trennwand mit einem Unterströmkanal auszuführen, den Behälter 1 also gewissermaßen in zwei Teile mit einer Strömungsverbindung kleinen Querschnittes aufzuteilen. Fig. 11 shows a mechanically preferred Ausfüh approximately example of a measuring arrangement according to the invention, which is characterized in that at least one separating element 16 is arranged or formed in the container 1 , through the separating element 16 a certain, he increased flow resistance for the liquid when flowing from one side of the separating element 16 to the other side of the separating element 16 and that a certain damping can be predetermined. The damping constant of the container 1 used here as the inclination sensor can be determined by the number and size of the openings in the separating element 16 , which is designed here as a perforated plate. An alternative could also be to run the Trennele element 16 as a partition with openings or as a double partition with an underflow channel, so to speak to divide the container 1 into two parts with a flow connection of small cross-section.

Für meßtechnische Anwendungen empfiehlt es sich im übrigen, daß von der Auswerteschaltung 4 ein akustisches Auswertesignal auslösbar ist, insbe­ sondere, daß je nach dem die Kipprichtung anzeigenden Vorzeichen des Aus­ gangssignals unterschiedliche Auswertesignale auslösbar sind. Insbesondere kann man so beispielsweise bei einer elektronischen Wasserwaage "blind" arbeiten, was für viele Anwendungen von großem Vorteil ist. Im übrigen wären natürlich auch entsprechende optische Signale sinnvoll, wenn das im je­ weiligen Anwendungsfall zweckmäßig erscheint.For metrological applications, it is recommended that an acoustic evaluation signal can be triggered by the evaluation circuit 4 , in particular that different evaluation signals can be triggered depending on the sign of the output signal indicating the direction of tilt. In particular, you can, for example, work "blindly" with an electronic spirit level, which is of great advantage for many applications. Otherwise, appropriate optical signals would of course also be useful if this appears appropriate in the respective application.

Fig. 8 zeigt nun einen weiteren, ähnlichen Anwendungsbereich für eine elek­ trische Meßanordnung der in Rede stehenden Art, wobei hier ein beweglicher Körper 16 in einer elektrisch leitenden Flüssigkeit 2 mit einem entspre­ chenden Meßsensor 3 hinsichtlich seiner Lage überprüft werden soll. Hier gilt nun, daß der bzw. jeder Meßsensor 3 als Streufeldsensor mit zwei im wesentlichen in einer Ebene in einem bestimmten seitlichen Abstand vonein­ ander liegenden Meßelektroden 6a, 6b ausgeführt ist und daß der Meßsensor 3 nahe der Bewegungsbahn des beweglichen Körpers 16 angeordnet und mit den Elektrodenflächen der Meßelektroden 6 auf den beweglichen Körper 16 aus­ gerichtet ist. Auch hier gilt natürlich, daß der als Streufeldsensor aus­ geführte Meßsensor 3 zweckmäßigerweise in Planartechnik ausgeführt sein kann. Fig. 8 shows another, similar application for an elec trical measuring arrangement of the type in question, here a movable body 16 in an electrically conductive liquid 2 with a corre sponding measuring sensor 3 is to be checked with regard to its position. Here it applies that the or each measuring sensor 3 is designed as a stray field sensor with two substantially in one plane at a certain lateral distance from each other measuring electrodes 6 a, 6 b and that the measuring sensor 3 is arranged near the path of movement of the movable body 16 and is directed to the movable body 16 with the electrode surfaces of the measuring electrodes 6 . Here too, of course, it applies that the measuring sensor 3 , which is designed as a stray field sensor, can expediently be designed using planar technology.

Im Ausführungsbeispiel nach den Fig. 8 und 9 befindet sich beispielsweise ein Drehteil in der Flüssigkeit 2, dessen Drehzahl gemessen werden soll. Dies geschieht mit dem dort dargestellten, als Streufeldsensor ausgeführten Meßsensor 3, dessen Streufeldausbildung durch die vor den Meßelektroden 6 vorbei wandernden Zähne des Körpers 16 jeweils verkleinert wird. Das zeigt Fig. 8 im Vergleich mit Fig. 9 sehr deutlich. In the exemplary embodiment according to FIGS. 8 and 9 there is, for example, a rotating part in the liquid 2 , the speed of which is to be measured. This is done with the measuring sensor 3 shown there, designed as a stray field sensor, the stray field formation of which is reduced by the teeth 16 of the body 16 passing in front of the measuring electrodes 6 . This is shown very clearly in FIG. 8 in comparison with FIG. 9.

Fig. 10 zeigt eine weitere Anwendung der zuvor erörterten Meßanordnung, die dadurch gekennzeichnet ist, daß mehrere Meßsensoren 3 entlang der Bewegungs­ bahn des beweglichen Körpers 16 angeordnet sind. Der Körper 16 ist hier ein langgestrecktes Teil, das sich relativ zu den mehreren Meßsensoren 3 be­ wegt. Hier wird also eine Art Positionsmessung vorgenommen, zumindest eine Positionsbestimmung. Entsprechend in einer Richtung hintereinander ange­ ordnete Meßsensoren 3 kann man natürlich auch für andere Einsatzfelder verwenden, was später noch genauer erläutert werden wird. Fig. 10 shows a further application of the measuring arrangement previously discussed, which is characterized in that a plurality of measuring sensors 3 are arranged along the movement path of the movable body 16 . The body 16 is an elongated part that moves relative to the multiple measuring sensors 3 be. A type of position measurement is therefore carried out here, at least a position determination. Corresponding in one direction one behind the other arranged measuring sensors 3 can of course also be used for other fields of application, which will be explained in more detail later.

Generell lassen sich Streufeldsensoren der in Rede stehenden Art, jeden­ falls dann, wenn sie in Planartechnik ausgeführt sind, bei Temperaturen bis zu ca. 600 K betreiben. Man muß dafür natürlich dann schon die passen­ den Werkstoffe wählen. Im übrigen kann man, wie eingangs erläutert worden ist, zum Zwecke der Kalibrierung bzw. Normierung noch einen als reinen Leitfähigkeitssensor eingesetzten Streufeldsensor vorsehen, was allerdings in den Fig. nicht im einzelnen dargestellt ist.Generally, stray field sensors of the type in question can be operated at temperatures up to approx. 600 K if they are implemented in planar technology. Of course you have to choose the right materials. Otherwise, as has been explained at the beginning, a stray field sensor used as a pure conductivity sensor can also be provided for the purpose of calibration or standardization, although this is not shown in detail in the figures .

Für die Auswerteschaltung gelten übliche schaltungstechnische Ausgestaltungs­ möglichkeiten. Insbesondere ist es zweckmäßig, daß die Auswerteschaltung 4 als Auswerteelektronik ausgeführt ist und, insbesondere, einen Mikroprozes­ sor aufweist oder in einen Mikroprozessor integriert ist.The usual circuit design options apply to the evaluation circuit. In particular, it is expedient that the evaluation circuit 4 is designed as evaluation electronics and, in particular, has a microprocessor or is integrated in a microprocessor.

Meßtechnisch kann es problematisch sein, daß die elektrisch leitende Flüs­ sigkeit 2 in dem Behälter 1 an der Wandung des Behälters 1 anhaftet. Da­ durch wird die Füllstandsmessung verfälscht. Diesen Adhäsionseffekt kann man dadurch beseitigen, daß man den Behälter 1 oberhalb der elektrisch lei­ tenden Flüssigkeit 2 mit einer elektrisch nicht leitenden Hilfsflüssig­ keit 17 auffüllt. Nur der Bereich der elektrisch leitenden Flüssigkeit 2 ist meßtechnisch wirksam. Der Rand der elektrisch leitenden Flüssigkeit 2 wird aber durch die elektrisch nicht leitende, darüber gefüllte Hilfsflüs­ sigkeit 17 begradigt bzw. von Adhäsionskräften befreit. Natürlich gilt der Begriff "elektrisch leitend" im Vergleich mit dem Begriff "nicht elektrisch leitend" relativ, d. h. daß auch eine nur sehr gering leitende Hilfsflüssig­ keit 17 unter Umständen zur Abdeckung der elektrisch leitenden Flüssigkeit 2 benutzt werden kann.In terms of measurement technology, it can be problematic that the electrically conductive liquid 2 adheres to the wall of the container 1 in the container 1 . This falsifies the level measurement. This adhesive effect can be eliminated by filling the container 1 above the electrically conductive liquid 2 with an electrically non-conductive auxiliary liquid 17 . Only the area of the electrically conductive liquid 2 is effective in terms of measurement technology. The edge of the electrically conductive liquid 2 is straightened by the electrically non-conductive, filled auxiliary liquid 17 or freed of adhesive forces. Of course, the term "electrically conductive" in comparison with the term "not electrically conductive" relative, that is, that even a very low conductive auxiliary liquid speed 17 can be used to cover the electrically conductive liquid 2 under certain circumstances.

Während Fig. 12 die zuvor erläuterte Abdeckung mit einer Hilfsflüssigkeit 17 insoweit zeigt, als der Behälter 1 nach wie vor dann nicht vollständig mit Flüssigkeit gefüllt ist, zeigt Fig. 13 eine bevorzugte oder jedenfalls manchmal zu bevorzugende Form, bei der der Behälter 1 mit der Flüssigkeit 2 und der Hilfsflüssigkeit 17 komplett gefüllt ist. Das läßt mitunter Stör­ effekte einen geringeren Einfluß haben. Man könnte auch vorsehen, den Be­ hälter 1 oberhalb der Flüssigkeit 2 bzw. der Hilfsflüssigkeit 17 (prak­ tisch) zu evakuieren, so daß sich oberhalb des Flüssigkeitsspiegels nur der Sättigungsdampfdruck der Flüssigkeit 2 bzw. der Hilfsflüssigkeit 17 einstellt. Hier ist ein entsprechend passender Druck im Restvolumen zu wählen.While FIG. 12 shows the previously explained cover with an auxiliary liquid 17 insofar as the container 1 is still not completely filled with liquid, FIG. 13 shows a preferred or at least sometimes preferred form, in which the container 1 with the Liquid 2 and the auxiliary liquid 17 is completely filled. This can sometimes have disruptive effects less impact. It could also be provided that the container 1 Be above the liquid 2 or the auxiliary liquid 17 (practically) evacuated, so that only the saturation vapor pressure of the liquid 2 or the auxiliary liquid 17 is set above the liquid level. A suitable pressure in the remaining volume must be selected here.

Zuvor ist schon angesprochen worden, daß mehrere Meßsensoren 3 in einer Richtung hintereinander angeordnet sein können. Eine solche Anordnung würde es erlauben, ein Füllhöhenprofil im Behälter 1 aufzunehmen. Entsprechend empfiehlt sich, daß die Auswerteschaltung 4 dann zur Aufnahme eines solchen Füllhöhenprofils ausgebildet ist. Auch bei nur zwei Meßsensoren oder gar bei einem Meßsensor lassen sich Füllhöhenprofile aufnehmen, allerdings mit ge­ ringerer Meßgenauigkeit.It has already been mentioned that several measuring sensors 3 can be arranged one behind the other in one direction. Such an arrangement would allow a fill level profile to be accommodated in the container 1 . Accordingly, it is recommended that the evaluation circuit 4 is then designed to accommodate such a fill level profile. Fill level profiles can also be recorded with only two measuring sensors or even with one measuring sensor, but with lower measuring accuracy.

Fig. 14 zeigt nun einen Einsatz der erfindungsgemäßen Meßanordnung derge­ stalt, daß der Behälter 1 in Verbindung mit einem bei Verformung insbeson­ dere durch Gewichtseinwirkung seine Neigung ändernden Verformungskörper 18 eingesetzt ist. Bei dem Verformungskörper 18 handelt es sich im hier dar­ gestellten Ausführungsbeispiel um einen Biegestab, der beispielsweise in einer Waage der Aufnahme eines zu wiegenden Gewichts dienen kann. Fig. 14 now shows an application of the measuring arrangement derge stalt that the container 1 is used in conjunction with a deformation in particular by its weight changing its tendency to deforming body 18 . The deformation body 18 is in the embodiment shown here is a bending rod, which can be used, for example, in a balance to accommodate a weight to be weighed.

Ordnet man den Behälter 1 der erfindungsgemäßen Meßanordnung am Verformungs­ körper 18 an, so ergibt sich der Neigungswinkel proportional zur in den Ver­ formungskörper 18 eingeleiteten Kraft, beispielsweise Gewichtskraft. Die erfindungsgemäß hier als Neigungssensor eingesetzte Meßanordnung kann eine sehr hohe Empfindlichkeit haben (beispielsweise 1 mV/0,001°). Von besonde­ rer Bedeutung ist bei dieser elektrischen Meßanordnung die Tatsache, daß man mit dieser elektrischen Meßanordnung nicht nur die durch Gewichtsein­ wirkung verursachte Neigung des Behälters 1 meßtechnisch erfassen kann, son­ dern, beispielsweise beim Einsatz in einer Waage, auch feststellen kann, ob sich die unbelastete Waage in der Horizontalen befindet. Bei entsprechender Gestaltung der Auswerteschaltung 4 wäre es beispielsweise denkbar, vor jeder eigentlichen Gewichtsmessung zunächst eine Überprüfung der Ausrichtung der Waage in der Horizontalen vorzunehmen und, bei Abweichungen, eine eigenstän­ dige Kalibrierung durchzuführen.If one arranges the container 1 of the measuring arrangement according to the invention the strain body 18, so the angle of inclination 18 introduced force, such as force is proportional to the weight in the Ver forming body. The measuring arrangement used here according to the invention as an inclination sensor can have a very high sensitivity (for example 1 mV / 0.001 °). Of particular importance in this electrical measuring arrangement is the fact that with this electrical measuring arrangement not only the inclination of the container 1 caused by the effect of weight can be measured, but also, for example when used in a balance, can also determine whether the unloaded scale is in the horizontal. With a corresponding design of the evaluation circuit 4 , it would be conceivable, for example, to first check the alignment of the scale in the horizontal before each actual weight measurement and, if there are any deviations, to carry out an independent calibration.

Die als Neigungssensor einzusetzende Meßanordnung in Verbindung mit einem Verformungskörper 18 kann man auch für Verformungsmessungen als solche, bei­ spielsweise für die Messung von Lageabweichungen bei Werkstücken, Gebäuden oder Brücken einsetzen. Es gibt hier sehr weite Anwendungsfelder.The measuring arrangement to be used as an inclination sensor in connection with a deformation body 18 can also be used for deformation measurements as such, for example for measuring position deviations in workpieces, buildings or bridges. There are very wide fields of application here.

Fig. 15 macht ein weiteres Anwendungsbeispiel deutlich, bei dem die erfin­ dungsgemäße Meßanordnung zur Linear-Beschleunigungsmessung eingesetzt wird. Bei einer Linear-Beschleunigung in Fig. 15 nach rechts sammelt sich die Flüssigkeit 2 im Behälter 1 folgerichtig an der linken Wandung des Behäl­ ters 1 an, mit der dort zur Messung eines Füllhöhenprofils ausgestalteten Meßanordnung läßt sich ein der Beschleunigung des Behälters 1 entsprechen­ des Meßsignal errechnen. Fig. 16 zeigt die Anordnung der mehreren Meßsenso­ ren 3 in einer Richtung hintereinander. Es versteht sich im übrigen von selbst, daß auch überlagerte Neigungen mit einem solchen System mit gemes­ sen werden können. Fig. 15 shows another application example in which the measuring arrangement according to the invention is used for linear acceleration measurement. For a linear acceleration in Fig. 15 to the right, the liquid 2 of the Behäl collects in the container 1 logically to the left wall ters 1 to, one of the acceleration with the therein configured for measuring a Füllhöhenprofils measuring arrangement can be of the container 1 corresponding to the measurement signal calculate. Fig. 16 shows the arrangement of the plurality of Meßsenso ren 3 in one direction in a row. It goes without saying that even superimposed inclinations can be measured with such a system.

Fig. 17 zeigt, daß der Behälter 1 hier als Rotationskörper ausgeführt ist. Durch den Ringpfeil ist die derzeit laufende Rotation des Behälters 1 mit der Welle 19 angedeutet. Durch die Rotations-Beschleunigung wird die Flüs­ sigkeit 2 an die Außenwand gedrängt. Der eingesetzte Meßsensor 3 ist in Fig. 18 dargestellt, man erkennt, daß hier ein relativ einfacher Meßsensor nach Anspruch 7 schon das gewünschte zuverlässige Meßergebnis erbringt. Dieses Meßergebnis kann natürlich auch der Drehzahlmessung dienen. Fig. 17 shows that the container 1 is designed here as a rotating body. The currently running rotation of the container 1 with the shaft 19 is indicated by the ring arrow. Due to the rotational acceleration, the liquid 2 is pushed onto the outer wall. The measuring sensor 3 used is shown in FIG. 18, it can be seen that a relatively simple measuring sensor according to claim 7 already produces the desired reliable measuring result. This measurement result can of course also be used for speed measurement.

Die Fig. 19 und 20 zeigen ein besonders gestaltetes Ausführungsbeispiel eines zur Rotations-Beschleunigungsmessung bzw. zur Drehzahlmessung ver­ wendbaren Systems. Hier ist auf der Welle 19 ein Rotationskörper 20 ange­ ordnet, der im Schnitt die Form eines verdoppelten Trapezes hat. Bei der in Fig. 19 dargestellten geringen Drehzahl des Rotationskörpers 20 wird die Flüssigkeit 2 in der dargestellten Lage gehalten, möglicherweise unter­ stützt durch entsprechende Hilfsmittel. Ringförmige Meßelektroden 6a, 6b sind an den spitz zulaufenden Außenwandungen des Rotationskörpers erkenn­ bar. Wird nun die Drehzahl erhöht, was in Fig. 20 durch den ringförmigen Doppelpfeil angedeutet ist, so verändert sich Lage der Flüssigkeit 2 gegenüber den Meßelektroden 6a, 6b in der angedeuteten Weise. Das Ergeb­ nis der Messung der Rotations-Beschleunigung bzw. der Drehzahl mit die­ sem speziellen Rotationskörper 20 ist besonders exakt. Es handelt sich hierbei um einen lageunabhängigen Drehzahlsensor für besonders hohe Dreh­ zahlen. FIGS. 19 and 20 show a specially designed embodiment of a ver to the rotational acceleration measurement or rotational speed measurement reversible system. Here is a rotary body 20 is arranged on the shaft 19 , which has the shape of a doubled trapezoid in section. At the low speed of rotation of the rotary body 20 shown in FIG. 19, the liquid 2 is held in the position shown, possibly supported by appropriate aids. Annular measuring electrodes 6 a, 6 b are recognizable on the tapered outer walls of the rotating body. If the speed is now increased, which is indicated in FIG. 20 by the ring-shaped double arrow, the position of the liquid 2 relative to the measuring electrodes 6 a, 6 b changes in the manner indicated. The result of the measurement of the rotational acceleration or the rotational speed with the special rotating body 20 is particularly precise. It is a position-independent speed sensor for particularly high speeds.

Es gibt natürlich noch eine Vielzahl anderer Anwendungsmöglichkeiten für die erfindungsgemäße elektrische Meßanordnung, wesentlich ist, daß stets das Streufeldprinzip verwendet wird, wobei die Miniaturisierbarkeit durch die Planartechnik ganz besondere Vorteile bietet.There are of course a variety of other uses for the electrical measuring arrangement according to the invention, it is essential that always the stray field principle is used, whereby the miniaturizability by Planar technology offers very special advantages.

Claims (31)

1. Elektrische Meßanordnung zur Messung bzw. Berechnung des Füllstandes oder anderer mechanischer Daten einer in einem Behälter (1) befindlichen, elektrisch leitenden Flüssigkeit (2), insbesondere von normal leitendem Wasser, mit mindestens einem Meßsensor (3) und mit einer Auswerteschaltung (4), dadurch gekennzeichnet, daß der (bzw. jeder) Meßsensor (3) als Streu­ feldsensor mit zwei in einem bestimmten seitlichen Abstand voneinander lie­ genden Meßelektroden (6a, 6b) ausgeführt ist und daß, vorzugsweise, der Be­ hälter (1) samt der darin befindlichen Flüssigkeit (2) selbst Teil der Meß­ anordnung ist.1. Electrical measuring arrangement for measuring or calculating the fill level or other mechanical data of an electrically conductive liquid ( 2 ) located in a container ( 1 ), in particular of normally conductive water, with at least one measuring sensor ( 3 ) and with an evaluation circuit ( 4 ), characterized in that the (or each) measuring sensor ( 3 ) is designed as a stray field sensor with two measuring electrodes ( 6 a, 6 b) lying at a certain lateral distance from one another and that, preferably, the loading container ( 1 ) together with the liquid therein ( 2 ) is itself part of the measuring arrangement. 2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelektro­ den (6a, 6b) im wesentlichen in einer Ebene liegen.2. Measuring arrangement according to claim 1, characterized in that the measuring electrodes ( 6 a, 6 b) lie essentially in one plane. 3. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelektro­ den in unterschiedlichen Ebenen liegen und, insbesondere, winklig zueinan­ der angeordnet sind.3. Measuring arrangement according to claim 1, characterized in that the measuring electro which are in different levels and, in particular, at an angle to each other which are arranged. 4. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Meßelektrode (6a, 6b) am Boden (5) des Behälters (1) angeordnet ist.4. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least one measuring electrode ( 6 a, 6 b) on the bottom ( 5 ) of the container ( 1 ) is arranged. 5. Meßanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßelek­ troden (6) nahe der äußersten Ränder des Bodens (5) angeordnet sind.5. Measuring arrangement according to claim 4, characterized in that the Meßelek electrodes ( 6 ) near the outermost edges of the bottom ( 5 ) are arranged. 6. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der als Streufeldsensor ausgeführte Meßsensor (3) in Planartechnik auf einem Substrat ausgeführt ist.6. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 5, characterized in that the measuring sensor designed as a stray field sensor ( 3 ) is designed in planar technology on a substrate. 7. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die eine Meßelektrode (6a) eine jedenfalls im wesentlichen geschlosse­ ne kreisringförmige Elektrodenfläche und die andere Meßelektrode (6b) eine im Mittelpunkt des Kreisringes liegende, kreisförmige Elektrodenfläche bildet und daß die Ränder der beiden Elektrodenflächen einen erheblichen radialen Abstand voneinander aufweisen.7. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 6, characterized in that the one measuring electrode ( 6 a) forms an at least substantially closed ne annular electrode surface and the other measuring electrode ( 6 b) forms a circular electrode surface lying in the center of the circular ring and in that the edges of the two electrode surfaces are at a considerable radial distance from one another. 8. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (1) um eine Kippachse (9) kippbar ist, daß beidseits der Kippachse (9) jeweils ein Meßsensor (3) angeordnet ist und daß die Meßwerte der beiden Meßsensoren (3) in der Auswerteschaltung (4) auswertbar, und zwar insbesondere in einem Differenz-Auswerteverfahren auswertbar sind.8. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 7, characterized in that the container ( 1 ) is tiltable about a tilt axis ( 9 ), that on both sides of the tilt axis ( 9 ) a measuring sensor ( 3 ) is arranged and that the measured values of the two Measuring sensors ( 3 ) in the evaluation circuit ( 4 ) can be evaluated, and in particular can be evaluated in a differential evaluation method. 9. Meßanordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kippachse (9) jedenfalls virtuell mittig am Boden (5) befindlich ist.9. Measuring arrangement according to claim 8, characterized in that the tilt axis ( 9 ) is in any case virtually in the center of the floor ( 5 ). 10. Meßanordnung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßsensoren (3) im wesentlichen symmetrisch zu der Kippachse (9) angeord­ net sind.10. Measuring arrangement according to claim 8 or 9, characterized in that the measuring sensors ( 3 ) are substantially symmetrical to the tilt axis ( 9 ) angeord net. 11. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die der Kippachse (9) nahen Meßelektroden (6a) der beiden Meßsensoren (3) auf gleichem Potential liegen.11. Measuring arrangement according to one of claims 8 to 10, characterized in that the tilting axis ( 9 ) close measuring electrodes ( 6 a) of the two measuring sensors ( 3 ) are at the same potential. 12. Meßanordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die der Kipp­ achse (9) nahen Meßelektroden (6a) der beiden Meßsensoren (3) in einer ein­ zigen Elektrodenfläche zusammengefaßt sind.12. Measuring arrangement according to claim 11, characterized in that the tilting axis ( 9 ) near measuring electrodes ( 6 a) of the two measuring sensors ( 3 ) are combined in a single electrode surface. 13. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich zu dem ersten Paar von Meßsensoren (3) ein zweites Paar von Meßsensoren (3) vorgesehen und in einem Winkel, vorzugsweise um 90°, versetzt gegenüber dem ersten Paar von Meßsensoren (3) auf denselben Mittelpunkt wie das erste Paar von Meßsensoren (3) zentriert angeordnet ist. 13. Measuring arrangement according to one of claims 8 to 12, characterized in that in addition to the first pair of measuring sensors ( 3 ) a second pair of measuring sensors ( 3 ) is provided and at an angle, preferably by 90 °, offset from the first pair of measuring sensors (3) is arranged centered on the same center as the first pair of measuring sensors (3). 14. Meßanordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Mittel­ punkt nahen Meßelektroden (6a) aller Meßsensoren (3) in einer einzigen Elektrodenfläche zusammengefaßt sind.14. Measuring arrangement according to claim 13, characterized in that the measuring electrodes near the center ( 6 a) of all measuring sensors ( 3 ) are combined in a single electrode surface. 15. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, insbesondere nach einem der Ansprüche 8 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß im Behälter (1) min­ destens ein Trennelement (16) angeordnet oder ausgebildet ist, daß durch das Trennelement (16) ein bestimmter, erhöhter Strömungswiderstand für die Flüssigkeit beim Strömen von einer Seite des Trennelementes (16) zur ande­ ren Seite des Trennelementes (16) gegeben ist und daß so eine bestimmte Dämpfung vorgebbar ist.15. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 14, in particular according to one of claims 8 to 14, characterized in that at least one separating element ( 16 ) is arranged or formed in the container ( 1 ) that a certain by the separating element ( 16 ) , Increased flow resistance for the liquid when flowing from one side of the separating element ( 16 ) to the other side of the separating element ( 16 ) and that a certain damping can be predetermined. 16. Meßanordnung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Trenn­ element (16) als Lochblech, als Trennwand mit Öffnungen oder als Doppel- Trennwand mit Unterströmkanal ausgeführt ist.16. Measuring arrangement according to claim 15, characterized in that the separating element ( 16 ) is designed as a perforated plate, as a partition with openings or as a double partition with underflow channel. 17. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß von der Auswerteschaltung (4) ein akustisches Auswertesignal auslösbar ist, insbesondere, daß je nach dem die Kipprichtung anzeigenden Vorzeichen des Ausgangssignals unterschiedliche Auswertesignale auslösbar sind.17. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 16, characterized in that an acoustic evaluation signal can be triggered by the evaluation circuit ( 4 ), in particular that different evaluation signals can be triggered depending on the sign of the output signal indicating the direction of tilt. 18. Elektrische Meßanordnung zur Messung bzw. Berechnung mechanischer Daten beweglicher Körper (16) in einer in einem Behälter (1) befindlichen, elek­ trisch leitenden Flüssigkeit (2), insbesondere in normal leitendem Wasser, mit mindestens einem Meßsensor (3) und mit einer Auswerteschaltung (4), insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der bzw. jeder Meßsensor (3) als Streufeldsensor mit zwei im wesentlichen in einer Ebene in einem bestimmten seitlichen Abstand voneinander liegen­ den Meßelektroden (6a, 6b) ausgeführt ist und daß der Meßsensor (3) nahe der Bewegungsbahn des beweglichen Körpers (16) angeordnet und mit den Elek­ trodenfIächen der Meßelektroden (6) auf den beweglichen Körper (16) ausge­ richtet ist. 18. Electrical measuring arrangement for measuring or calculating mechanical data of moving bodies ( 16 ) in a container ( 1 ) located, electrically conductive liquid ( 2 ), in particular in normally conductive water, with at least one measuring sensor ( 3 ) and with one Evaluation circuit ( 4 ), in particular according to one of claims 1 to 7, characterized in that the or each measuring sensor ( 3 ) as a stray field sensor with two measuring electrodes ( 6 a, 6 b ) is executed and that the measuring sensor ( 3 ) is arranged close to the path of movement of the movable body ( 16 ) and is aligned with the electrode surfaces of the measuring electrodes ( 6 ) on the movable body ( 16 ). 19. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Meßsensoren (3) in einer Richtung hintereinander, insbesondere entlang der Bewegungsbahn des beweglichen Körpers (16), angeordnet sind.19. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 18, characterized in that a plurality of measuring sensors ( 3 ) in one direction one behind the other, in particular along the path of movement of the movable body ( 16 ), are arranged. 20. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß dem Meßsensor (3) bzw. den Meßsensoren (3) ein als Leitfähigkeitssen­ sor ausgeführter Meßsensor (3), insbesondere auch in Form eines Streufeld­ sensors, zu Kalibrierungszwecken zugeordnet ist.20. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 19, characterized in that the measuring sensor ( 3 ) or the measuring sensors ( 3 ) a sensor designed as a conductivity sensor ( 3 ), in particular also in the form of a stray field sensor, is assigned for calibration purposes. 21. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (4) als Auswerteelektronik ausgeführt ist und, ins­ besondere, einen Mikroprozessor aufweist oder in einen Mikroprozessor inte­ griert ist.21. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 20, characterized in that the evaluation circuit ( 4 ) is designed as evaluation electronics and, in particular, has a microprocessor or is inte grated in a microprocessor. 22. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (1) oberhalb der elektrisch leitenden Flüssigkeit (2) mit einer elektrisch nicht leitenden Hilfsflüssigkeit (17) geringeren spezi­ fischen Gewichts aufgefüllt ist.22. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 21, characterized in that the container ( 1 ) above the electrically conductive liquid ( 2 ) is filled with an electrically non-conductive auxiliary liquid ( 17 ) of lower specific weight. 23. Meßanordnung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Behäl­ ter (1) mit der Flüssigkeit (2) und der Hilfsflüssigkeit (17) komplett ge­ füllt ist.23. Measuring arrangement according to claim 22, characterized in that the container ter ( 1 ) with the liquid ( 2 ) and the auxiliary liquid ( 17 ) is completely filled GE. 24. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (1) oberhalb der Flüssigkeit (2) bzw. der Hilfsflüssig­ keit (17) evakuiert ist.24. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 22, characterized in that the container ( 1 ) above the liquid ( 2 ) or the auxiliary liquid speed ( 17 ) is evacuated. 25. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 24, insbesondere nach An­ spruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteschaltung (4) zur Auf­ nahme eines Füllhöhenprofils ausgebildet ist. 25. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 24, in particular according to claim 19, characterized in that the evaluation circuit ( 4 ) is designed to take on a fill level profile. 26. Meßanordnung nach einem der Ansprüch 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (1) in Verbindung mit einem bei Verformung insbesondere durch Gewichtseinwirkung seine Neigung jedenfalls bereichsweise ändernden Verformungskörper (18) eingesetzt ist.26. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 25, characterized in that the container ( 1 ) is used in connection with a deformation body ( 18 ), which in any case changes in some areas in the event of deformation, in particular by the action of weight. 27. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß der Behälter (1) als Rotationskörper ausgeführt oder an einem Rotations­ körper angeordnet, insbesondere seitlich angeordnet ist.27. Measuring arrangement according to one of claims 1 to 25, characterized in that the container ( 1 ) is designed as a rotating body or arranged on a rotating body, in particular is arranged laterally. 28. Verwendung einer elektrischen Meßanordnung mit einer in einem Behälter (1) befindlichen, elektrisch leitenden Flüssigkeit (2), mit mindestens einem Meß­ sensor (3) und mit einer Auswerteschaltung (4), wobei der bzw. jeder Meßsen­ sor (3) als Streufeldsensor mit zwei in einem bestimmten seitlichen Abstand voneinander liegenden Meßelektroden (6a, 6b) ausgeführt ist, insbesondere einer Meßanordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 25, zur Neigungsmessung.28. Use of an electrical measuring arrangement with an electrically conductive liquid ( 2 ) located in a container ( 1 ), with at least one measuring sensor ( 3 ) and with an evaluation circuit ( 4 ), the or each measuring sensor ( 3 ) being used Stray field sensor with two measuring electrodes ( 6 a, 6 b) located at a certain lateral distance from one another, in particular a measuring arrangement according to one of claims 2 to 25, for inclination measurement. 29. Verwendung einer elektrischen Meßanordnung mit einer in einem Behälter (1) befindlichen, elktrisch leitenden Flüssigkeit (2), mit mindestens einem Meß­ sensor (3) und mit einer Auswerteschaltung (4), wobei der bzw. jeder Meßsen­ sor (3) als Streufeldsensor mit zwei in einem bestimmten seitlichen Abstand voneinander liegenden Meßelektroden (6a, 6b) ausgeführt ist, insbesondere einer Meßanordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 25, in Verbindung mit einem bei Verformung, insbesondere durch Gewichtseinwirkung, seine Neigung jeden­ falls bereichsweise ändernden Verformungskörper zur Verformungsmessung oder Lagemessung.29. Use of an electrical measuring arrangement with an electrically conductive liquid ( 2 ) located in a container ( 1 ), with at least one measuring sensor ( 3 ) and with an evaluation circuit ( 4 ), the or each measuring sensor ( 3 ) being used Scattering field sensor with two measuring electrodes ( 6 a, 6 b) located at a certain lateral distance from one another, in particular a measuring arrangement according to one of claims 2 to 25, in conjunction with a deformation body, which changes in each case in certain areas when deformed, in particular by the action of weight for deformation measurement or position measurement. 30. Verwendung einer elektrischen Meßanordnung mit einer in einem Behälter (1) befindlichen, elektrisch leitenden Flüssigkeit (2), mit mindestens einem Meß­ sensor (3) und mit einer Auswerteschaltung (4), wobei der bzw. jeder Meßsen­ sor (3) als Streufeldsensor mit zwei in einem bestimmten seitlichen Abstand voneinander liegenden Meßelektroden (6a, 6b) ausgeführt ist, insbesondere einer Meßanordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 25, zur Linear-Beschleu­ nigungsmessung. 30. Use of an electrical measuring arrangement with an electrically conductive liquid ( 2 ) located in a container ( 1 ), with at least one measuring sensor ( 3 ) and with an evaluation circuit ( 4 ), the or each measuring sensor ( 3 ) being used Stray field sensor with two measuring electrodes ( 6 a, 6 b) lying at a certain lateral distance from one another, in particular a measuring arrangement according to one of claims 2 to 25, for linear acceleration measurement. 31. Verwendung einer elektrischen Meßanordnung mit einer in einem Behälter (1) befindlichen, elektrisch leitenden Flüssigkeit (2), mit mindestens einem Meß­ sensor (3) und mit einer Auswerteschaltung (4), wobei der bzw. jeder Meßsen­ sor (3) als Streufeldsensor mit zwei in einem bestimmten seitlichen Abstand voneinander liegenden Meßelektroden (6a, 6b) ausgeführt ist, insbesondere einer Meßanordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 25, zur Rotations-Beschleu­ nigungsmessung bzw. zur Drehzahlmessung.31. Use of an electrical measuring arrangement with an electrically conductive liquid ( 2 ) located in a container ( 1 ), with at least one measuring sensor ( 3 ) and with an evaluation circuit ( 4 ), the or each measuring sensor ( 3 ) being used Stray field sensor with two measuring electrodes ( 6 a, 6 b) lying at a certain lateral distance from one another, in particular a measuring arrangement according to one of claims 2 to 25, for rotation acceleration measurement or for speed measurement.
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