DE3879587T2 - Beschichtung von Flachglas durch chemischen Aufdampf-Niederschlag. - Google Patents

Description

• Die Erfindung betrifft die Beschichtung von Flachglas und insbesondere ein Verfahren zur Beschichtung von Flachglas durch Sedimentation aus einem Beschichtungs-Gas und eine zur Verwendung bei der Durchführung des Verfahrens geeignete Vorrichtung.
• Bei dem in der EP 0 213 045 beschriebenen Verfahren das zum Aufbringen einer Silika enthaltenden Schicht auf Glas verwendet werden kann, werden Reaktionsgase durch Gaszufuhrkanäle nach unten zu einem horizontal vorschreitenden heißen Glasträger in einer Beschichtungskammer geleitet, die zwischen aus vertikalen Platten auf der strömungsaufwärtigen und der strömungsabwärtigen (bezogen auf die Richtung des Glasvorschubs) Seite der Gaszufuhrkanäle gebildeten Wände definiert ist. Die verbrauchten Gase werden nach oben durch einen strömungsaufwärtigen und einen strömungsabwärtigen Abgaskanal abgezogen, wobei die strömungsaufwärtige Wand des strömungsaufwärtigen Kanals durch die Wand definiert ist, die die strömungsaufwärtige Wand der Beschichtungskammer bildet, und die strömungsabwärtige Wand des strömungsabwärtigen Kanals durch die Wand definiert ist, die die strömungsabwärtige Wand der Beschichtungskammer bildet. Der Abzug des verbrauchten Beschichtungsgas durch diese Abgaskanäle führt dazu, daß äußere Gase unter die unteren Ränder der Platten, die die vertikalen Wände der Beschichtungskammer bilden, eingesogen werden. Es ist keine Vorkehrung für eine ruhige Strömung der äußeren Gase unter die kammerwandungen getroffen, so daß die Gase sich mit dem Beschichtungsgas in der Beschichtungskammer vermischen, mit dem daraus folgenden Risiko, daß die Gleichförmigkeit dieser Strömung und die entstehende Schicht zerstört wird.
• Es ist bekannt, Flachglass mittels chemischer Gasphasenabscheidung zu beschichten, und die UK-Patentschrift 1 507 996 beschreibt ein Verfahren und eine Vorrichtung bei dem bzw. der ein Beschichtungs-Gas auf die Oberfläche eines heißen Glasbands geleitet wird, um aus einem Verteiler, der sich über die Oberfläche quer zur Bewegungsrichtung des Bands erstreckt, beschichtet zu werden, so daß das Gas im wesentlichen parallel zum Glas unter laminaren Strömungsbedingungen und gleichförmig über die Breite der Oberfläche strömt. Eine Schicht wird auf der heißen Glasoberfläche abgelagert und das verbrauchte Beschichtungs-Gas wird nach oben von der Glasoberfläche weg einen Abgaskanal entlang geleitet, der zwischen einer strömungsaufwärtigen und einer strömungsabwärtigen Führungswand ausgebildet ist. Ein Abzugskanal ist im Bereich des oberen Endes des Abgaskanals vorgesehen, um das verbrauchte Beschichtungsgas, das daraus ausgegeben wird, zu sammeln, ist jedoch nicht mit dem Abgaskanal verbunden.
• Bei Anwendung des Verfahren und der Vorrichtung, die in der UK-Patentschrift 1 507 996 beschrieben sind, zur Ablagerung einer reflektierenden Siliziumschicht auf ein Band von heißem Glas, wurde festgestellt, daß sich nach einer Anwendungszeitspanne eine Silizium enthaltende Ablagerung auf der Unterfläche des strömungsabwärtigen Vorsprungs aufbaut, das heißt, einer Fläche, gegenüberliegend und benachbart dem Glas, eines Führungselements, das im Weg des Beschichtungs-Gases über das Glas liegt, die Beschichtungszone an ihrem strömungsabwärtigen Ende begrenzt und das verbrauchte Gas von dem Glas wegleitet. Diese Ablagerung berührt möglicherweise das Glas und beschädigt die auf dem Glas gebildete Schicht, und der Beschichtungsprozeß muß unterbrochen werden, während die Vorrichtung von oberhalb des Glases entfernt und gereinigt wird, um die Ablagerung zu entfernen.
• Es wurde herausgefunden, daß der Aufbau der Ablagerung reduziert oder vermieden werden kann, und daß eine zufriedenstellende Beschichtung über wesentlich längere Zeitspannen erhalten werden kann durch ein bewußtes Überleiten einer Inertgas-Strömung über die genannte, dem Glas benachbarte Oberfläche.
• Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Beschichtung von Flachglas mittels chemischer Gasphasenabscheidung bereitgestellt, bei dem man ein Beschichtungs-Gas über eine heiße Glasoberfläche in einer Beschichtungszone strömen läßt, und das verbrauchte Gas von dem Glas am strömungsabwärtigen Ende der Beschichtungszone entlang einem Abgaskanal mittels einer Ablenkeinrichtung weggeleitet wird, die eine Oberfläche benachbart der Glasoberfläche und eine Oberfläche aufweist, die die strömungsabwärtige Wandung des Abgaskanals definiert, welche kontinuierlich mit der Oberfläche benachbart dem Glas ist, dadurch gekennzeichnet, daß eine Inertgas- Strömung über der Oberfläche der Ablenkeinrichtung induziert wird, um die Ausbildung einer Ablagerung aus dem verbrauchten Gas auf der Oberfläche durch ein Saugen zu verhindern, mit dem der Abgaskanal beaufschlagt wird, und die Ablenkeinrichtung eine solche Kontur aufweist, daß eine ruhige Strömung des Inertgases über die Oberflächen der Ablenkeinrichtung gegeben ist, ohne das lnertgas und das verwendete Beschichtungsgas in der Beschichtungs-Zone zu vermischen.
• Die Inertgas-Strömung reduziert oder verhindert die Bildung einer Ablagerung aus dem verbrauchten Gas, die ansonsten auf der Oberfläche benachbart dem Glas auftreten würde. Der Volumendurchfluß des Inertgases über die Oberfläche beträgt vorzugsweise mindestens 50 % des Volumendurchfluß des verbrauchten Beschichtungs-Gases, das von dem Glas am strömungsabwärtigen Ende der Beschichtungs-Zone weggeleitet wird.
• Der Begriff "Inertgas" wird hier für ein Gas verwendet, das selbst keine Beschichtung auf dem Glas ablagert und das keiner Reaktion unterliegt, die sich schädlich auf den Beschichtungsprozeß mit dem verwendeten Beschichtungs-Gas auswirkt. Die lnertgas-Strömung kann aus der die Beschichtungs-Station umgebenden Atmosphäre gebildet sein, bei der die Beschichtung appliziert wird. Wenn die Beschichtung auf ein Float-Glas-Band appliziert wird, wenn es über das Float-Bad vorgeschoben wird, kann die lnertgas-Strömung in geeigneter Weise aus der schützenden Atmosphäre des Float-Bades gebildet sein.
• Die Inertgas-Strömung reduziert oder verhindert die Bildung einer Ablagerung aus dem verbrauchten Gas, die ansonsten auf der Oberfläche benachbart der Glasoberfläche auftreten würde.
• Das erfindungsgemäße Verfahren erweist sich als vorteilhaft für die Beschichtung von Flachglas mittels chemischer Gasphasenabscheidung. Der Begriff "chemische Gasphasenabscheidung" wird hier verwendet für Verfahren, bei denen die Beschichtung durch Reaktion einer oder mehrerer Gasphasen-Quellen gebildet wird. Zum Beispiel kann das Beschichtungs-Gas ein Gas, wie etwa Metall-Carbonyl sein, das pyrolytisch reagiert, um eine Beschichtung auf dem Glas abzulagern, oder eine Mischung von Gasen, die miteinander reagieren, beispielsweise Zinnchlorid-Dampf und Wasserdampf, um eine Beschichtung auf dem Glas abzulagern. Das Beschichtungs-Gas kann eine nicht-reaktive Komponente aufweisen, beispielsweise Stickstoff als Träger.
• Das Verfahren hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn ein Silan enthaltendes Gas verwendet wird, um eine Beschichtung auf heißem Glas zu applizieren. Silan enthaltende Gase können verwendet werden, um eine reflektierende Silizium-Beschichtung, wie in den UK-Patenten GB 1 507 465 und GB 1 507 996 beschrieben, oder eine Beschichtung mit Silizium und Sauerstoff, die eine hohe Lichtdurchlässigkeit aufweist, abzulagern, welche sich vorteilhaft als Sperrschicht zur Verhinderung einer Migration von Alkalimetall-Ionen vom Glas erweist. Die Bildung bestimmter derartiger Sperrschichten ist in der veröffentlichten UK-Patentschrift GB 2 163 146 A beschrieben.
• Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Vorrichtung zur Beschichtung von Flachglas mittels Ablagerung einer Schicht aus einem Beschichtungs-Gas bereitgestellt, mit einem Träger für das zu beschichtende Glas, einer Einrichtung zum Vorschieben des Glases über den Träger, einem Gaszufuhrkanal, der sich quer zum Vorschubweg des Glasses erstreckt und angeordnet ist, um ein Beschichtungs-Gas auf die heiße Glasoberfläche in einer Beschichtungs-Zone zu leiten, einer Ablenkeinrichtung mit einer Oberfläche benachbart der Glasoberfläche, um verbrauchtes Gas am strömungsabwärtigen Ende der Beschichtungs-Zone vom Glas wegzuleiten, einem Abgaskanal für die Strömung von verbrauchtem Gas von der Glasoberfläche weg, und einer Saugeinrichtung zur Sammlung von verbrauchtem Gas aus dem Abgaskanal, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugeinrichtung an den Abgaskanal angeschlossen ist, und die Oberfläche der Ablenkeinrichtung vom Vorschubweg des Glases beabstandet ist zur lnduzierung einer lnertgas-Strömung über die Oberfläche durch Betätigung der Saugeinrichtung, und die Ablenkeinrichtung eine Oberfläche aufweist, die die strömungsabwärtige Wandung des Abgaskanals kontinuierlich mit der Oberfläche, die benachbart dem Glas ist, definiert und die eine solche Kontur aufweist, daß eine ruhige Strömung des Inertgases darüber ohne eine Vermischung des Inertgases und des verbrauchten Beschichtungs-Gases in der Beschichtungszone gegeben ist.
• Die Oberfläche benachbart dem Glas ist vorzugsweise im wesentlichen parallel zur Glasoberfläche und ist vorzugsweise mindestens 5 mm vom Vorschubweg der Glasoberfläche beabstandet. Dies erleichtert eine Strömung von äußerer Atmosphäre zwischen der Glasoberfläche und der Oberfläche, wobei die Atmosphäre als das lnertgas dient, das über die Oberfläche strömt und die Bildung einer Ablagerung aus dem verbrauchten Beschichtungs-Gas auf dieser Oberfläche verhindert.
• Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Vorrichtung einem Mittelblock sowie ein erstes und zweites Seitenteil auf, die benachbart dem Mittelblock angeordnet sind und einen im wesentlichen U-förmigen Führungskanal für Gas von dem Gaszufuhrkanal zwischen dem ersten Seitenteil und der strömungsaufwärtigen Seitenwandung des Mittelblocks, zwischen der Bodenwandung des Mittelblocks und dem Weg des Glases sowie zwischen der strömungsabwärtigen Seitenwandung des Mittelblocks und dem zweiten Seitenteil definieren, wobei der Teil des Führungskanals zwischen der strömungsabwärtigen Seitenwandung des Mittelblocks und dem zweiten Seitenteil den Abgaskanal bildet.
• Die Erfindung wird durch die nachfolgende Beschreibung unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen erläutert, jedoch nicht eingeschränkt, in denen:
• FIG. 1 ein vertikaler Schnitt durch eine Vorrichtung zur Float-Glas-Herstellung ist, mit einer (nicht maßstabsgetreuen) Darstellung der Anordnung einer Beschichtungs-Vorrichtung zur Ausführung der Erfindung im Umriß, die sich quer zum Vorschubweg des Glas-Bandes erstreckt.
• Fig. 2 ein vergrößerter vertikaler Schnitt durch die in Fig. 1 dargestellte Beschichtungs-Vorrichtung ist.
• Fig. 3 eine Teilansicht der Beschichtungs-Vorrichtung der Fig. 1 und 2 in Richtung des Pfeils III in Fig. 2 ist, wobei der Graphit-Block 37 und der Absauger 60 entfernt ist.
• Fig. 4 eine Frontansicht des Absaugers 60 in Richtung des Pfeils IV in Fig. 2 ist, wobei die horizontalen Führungselemente 56, 57 des Absaugers 60 entfernt sind.
• Fig. 5 eine Grundrißdarstellung einer Verriegelungs-/Entriegelungs-Einrichtung ist, die im Absauger 60 aufgenommen ist.
• Fig. 6 ein Schnitt längs der Schnittiinie VI-VI in Fig. 5 ist.
• Fig. 1 zeigt geschmolzenes Glas 1 bei der Ausgabe auf ein Bad von geschmolzenem Zinn oder einer Zinn-Legierung 2, das in einem Tankaufbau 3 aufgenommen ist. Ein Glas-Band 4, das schmäler als das Metallschmelzbad ist, ist auf dem Bad ausgebildet, wo es durch das geschmolzene Zinn getragen wird. Das Band wird längs dem Bad vorbewegt und von dem Bad über angetriebene Traktionsrollen 5 abgezogen, die jenseits des Badausgangs 6 angebracht sind. Eine schüt-5zende Atmosphäre, beispielsweise 95 % Stickstoff und 5 % Wasserstoff, wird im Luftraum 7 über dem Metallschmelzbad in einem Plenum gehalten, das durch die Leitungen 8, die sich nach unten durch ein Dach 9 erstrecken und an einen gemeinsamen Verteiler 11 angeschlossen sind, vesorgt wird. Ein Temperaturgradient von einer Temperatur von etwa 1000 C am eigangsseitigen Ende 12 bis zu einer Temperatur im Bereich von 570 C bis 650 C am Ausgang 6 des Bades, wo das Band dem Bad entnommen wird, wird stromabwärts im Bad aufrechterhalten.
• Ein Gasverteiler, allgemein mit 14 bezeichnet, zur Zuführung von Beschichtungs-Gas zur Oberfläche des Glas-Bands ist quer zum Vorschubweg des Bands zum ausgangsseitigen Ende des Bads hin angeordnet. Der Verteiler erstreckt sich somit quer über die obere Fläche des Glas-Bands und quer zum Vorschubweg des Glases.
• Wie in Fig. 2 dargestellt, weist der Gasverteiler 14 ein Kanalelement 21 mit einem umgekehrt U-förmigen Querschnitt auf mit Seitenwänden 22, 23 und einer Oberwand 24. Der Kanal innerhalb des Elementes 21 ist durch eine vertikale Trennwand 25, die mit der Oberwand 24 des Elementes 21 verschweißt ist, unterteilt. Ein horizontales Element 26 ist mit der Basis der Seitenwand 23 verschweißt und erstreckt sich davon nach innen und nach außen; der sich nach innen erstreckende Teil des Elements 26 bildet mit der Trennwand 25, der Seitenwand 23 und der Oberwand 24 einen rechteckförmigen Kanal 27. Die horizontalen Elemente 28, 29 erstrecken sich von der Seitenwand 22 bzw. der vertikalen Trennwand 25 nach innen und definieren zwischen sich eine längliche Öffnung 30. Ein zweites schmaleres, mit einem umgekehrt U-förmigen Querschnitt versehenes Kanalelement 31 ist zentrisch zwischen der Seitenwand 22 und der Trennwand 25 angeordnet, wobei dessen untere Ränder mit den horizontalen Elementen 28, 29 verschweißt sind.
• Die beiden mit einem umgekehrt U-förmigen Querschnitt versehenen Kanalelemente 21, 31 definieren zwischen sich zusammen mit den horizontalen Elementen 28, 29 einen im Querschnitt U-förmigen Kanal 32 für den Durchfluß einer Kühlflüssigkeit, und der rechteckförmige Kanal 27 dient als ein Rückstromkanal für die Kühlf lüssigkeit. Die Innenfläche des im Querschnitt U-förmigen Kanalelements 31 definiert zusammen mit den abgeschrägten Enden der horizontalen Elemente 28, 29 einen Beschichtungsgaszufuhrkanal 33, der sich durch die längliche Öffnung 30 in eine Gasdrossel 34 öffnet.
• Die Gasdrossel 34 ist von der in der UK-Patent- schrift GB 1 507 996 beschriebenen Art und hinsichtlich näherer Details und Erläuterungen soll auf diese Patentschrift verwiesen werden. Sie weist eine Vielzahl von Metallstreifen auf, die in Längsrichtung Sinuswellen-förmig gekröpft sind und in aneinander anliegender Relativlage entlang der Länge des Verteilers angebracht sind (das heißt quer zur Breite des Weges des zu beschichtenden Glases). Benachbarte gekröpf te Metallstreifen sind "phasenverschoben" zueinander angeordnet, um eine Vielzahl von vertikalen Kanälen zwischen sich zu definieren. Diese vertikalen Kanäle weisen eine geringere Querschnittsfläche relativ zu der Querschnittsfläche des Gaszufuhrkanals 33 auf, so daß, wenn Beschichtungsgas unter Druck dem Kanal 33 zugeführt wird, der Druckabfall entlang dem Kanal 33 klein im Vergleich zum Druckabfall durch die vertikalen Kanäle ist, und die Gasdrossel 34 eine Ausgabe von Beschichtungsgas aus dem Gaszufuhrkanal 33 bei im wesentlichen einheitlichem Druck entlang der Länge des Kanals ermöglicht.
• Stromaufwärts, im mittleren Bereich und stromabwärts erstrecken sich geformte Graphitblöcke 35, 36 und 37 über die Breite des zu beschichtenden Glases. Der stromaufwärtige Graphitblock 35 ist durch (nicht dargestellte) Bolzen am horizontalen Element 28 befestigt, während der mittlere Graphitblock 36 durch (nicht dargestellte) Bolzen an den horizontalen Elementen 26 und 29 befestigt ist. Der stromabwärtige Graphitblock 37 ist gleichermaßen mittels Bolzen 48 befestigt, die durch Distanzstücke 40 (Fig. 2 und 3) hindurch, die über die Breite des Verteilers beabstandet sind, zu voneinander beabstandeten Stahlblöcken 38 geführt sind, die mit der Außenfläche des Seitenelements 23 von dem mit dem U-förmigen Querschnitt versehenen Kanalelement 21 verschweißt sind. Eine obere Reihe von voneinander beabstandeten Stahlblöcken 39 ist mit der Außenfläche des Seitenelements 23 von dem mit dem U-förmigen Querschnitt versehenen Kanalelement 21 oberhalb der unteren Stahlblöcke 38 verschweißt. Ein vierter geformter Graphitblock 41 steht auf dem hinteren oberen Rand des mittleren Blocks 36 und ist mit Bolzen 49 an den unteren Stahlblöcken 38 befestigt. Ein fünfter geformter Graphitblock 42 steht auf dem oberen Ende des Blocks 41 und ist mit Bolzen 50 an den oberen Stahlblöcken 39 befestigt. Die Graphitblöcke 41 und 42 erstrecken sich über die Breite des zu beschichtenden Glases.
• Die Graphitblöcke 35 und 37 bilden ein erstes und ein zweites Seitenelement, die zusammem mit dem mittleren Block einen im wesentlichen U-förmigen Führungskanal 47a, 47b, 47c für Beschichtungsgas definieren, das von dem Gaszufuhrkanal 33 durch die Gasdrossel 34, zwischen dem Graphitblock 35 und der strömungsaufwärtigen Seitenwand des mittleren Blocks, zwischen der Bodenwand des mittleren Blocks und dem Glasweg, und zwischen der strömungsabwärtigen Seitenwand des mittleren Blocks und dem Graphitblock 37 strömt. Der Teil 47b des U-förmigen Führungskanals, der zwischen der Bodenwand des mittleren Blocks und dem Glasweg definiert ist, bildet die Beschichtungszone. Der Graphitblock 37 hat eine Fläche 43, die gegenüberliegend und benachbart der Glasoberfläche ist, auf der eine Neigung zur Ausbildung einer Ablagerung aus dem verbrauchten Beschichtungssgas beim Nichtbestehen einer durch die vorliegende Erfindung ermöglichten Inertgas-Strömung bestände. Der Block 37 weist eine konvex gekrümmte Fläche 45 auf, die kontinuierlich mit der Fläche 43 ist, und den unteren Teil der strömungsabwärtigen Wand des Abgaskanals definiert.
• Die geformten Graphitblöcke 41 und 42 definieren mit dem strömungsabwärtigen Block 37 eine Fortsetzung 44 des Abgaskanals. Ein Absauger, allgemein bezeichnet mit 60, ist stromabwärts des Gasverteilers angebracht, um Gas aus dem Abgakanal zu extrahieren.
• Der Verteiler ist auch mit Graphit-Endblöcken versehen, in Kontakt mit den seitlichen Flächen der geformten Graphit-Blöcke 35, 36, 37, 41 und 42, die die seitlichen Ränder der Kanäle 47a, 47b, 47c und 44 definieren, und ein Entweichen von Beschichtungsgas an den Enden des Verteilers verhindern.
• Der Absauger 60 (siehe Fig. 2 und 4) weist ein viereckiges, mit einem Hohlquerschnitt versehenes Stahl element 61 auf, das an seinen Enden 62, 63 verschlossen ist, mit einem Schlitz 64, der in seine Frontfläche hineingeschnitten ist und kurz vor den Enden endet. Horizontale Führungselemente 56, 57 mit vertikalen Flanschen 58, 59, die an den vertikalen Flächen von Kohlenstoff-Blöcken 42, 37 anliegen, sind auf die Frontfläche des Elements 61 oberhalb und unterhalb des Schlitzes geschweißt, um einen Gas- Strömungsweg 55 zu schaffen, der eine weitere Fortsetzung des Abgaskanals zum Schlitz 64 im Element 61 bildet. Endplatten, die in Kontakt mit den vertikalen Rändern der Führungselemente 56 und 57 sind, definieren die seitlichen Ränder des Strömungswegs 55 und verhindern ein Entweichen von verbrauchtem Gas von den Rändern des Verteilers.
• Ein rechteckförmiges, mit einem Hohlquerschnitt versehenes Element 65 (Fig. 2) mit einem Schlitz 54, der in seine Frontfläche hineingeschnitten ist und bündig mit den Enden des Schlitzes 64 endet, ist zentrisch im Element 61 mittels Stahlstangen 66 angebracht. Horizontale Platten 67 und 68 oberhalb und unterhalb der Schlitze 64, 54 sind mit der inneren Frontfläche des Elements 61 und der äußeren Frontfläche des Elements 65 verschweißt. Eine horizontale Platte 69 ist mit der äußeren rückwärtigen Fläche des Elements 65 und der inneren rückwärtigen Fläche des Elements 61 verschweißt. Das rechteckförmige, mit einem Hohlquerschnitt versehene Element 65 definiert zusammen mit den Platten 68, 69 die obere Seite eines unteren Kanals 70 für eine Kühlwasser-Strömung durch das Element 61. Das Element 65 definiert mit den Platten 67, 69 die untere Seite eines oberen Kanals 71 für die Rückströmung von Kühlwasser. Einlaß- und Auslaß-Rohrleitungen 72, 73 öffnen sich in die Kanäle 70 bzw. 71. Das rechteckförmige, mit einein Hohlquerschnitt versehene Element 65 bildet eine wassergekühlte Gasabzugsleitung 74 über die Breite der Beschichtungsvorrichtung und ist durch Abgasleitungen 75, 76 (Fig. 4) an eine Niederdruck-Vakuumpumpe angeschlossen.
• Wie in Fig. 4 dargestellt, ist der Schlitz 64 im Element 61 durch voneinander beabstandete Platten 77 über die Front des Kanals verblendet. Die Blendplatten 77 weisen zum Mittelteil des Schlitzes hin eine reduzierte Länge auf, um so weit wie möglich einen einheitlichen Saugef fekt entlang der Länge des Absaugers sicherzustellen, wenn ein Sog durch die Abgasleitungen 75, 76 aufgebracht wird. Horizontale Stahlstreifen 78, 79 sind mit der Frontfläche des Elements 61 oberhalb und unterhalb der Blendplatten 77 verschweißt und tragen geschlitzte Platten 80 mit Schlitzen 81 (nicht alle numeriert) über den Öffnungen zwischenden Platten 77 im Schlitz 64. Die Schlitze 81 schaffen einen Gas-Strömungsweg aus dem Abgaskanal zwischen den Kohlenstoff-Blöcken und den horizontalen Führungselementen 56, 57 durch den Schlitz 64 in den Kanal 82, der zwischen den horizontalen Platten 67, 68 innerhalb des Elements 61 und von da in die Absaugleitung 74 im rechteckförmigen, mit einem Hohlquerschnitt versehenen Element 65 definiert ist.
• Im Betrieb neigen die Schlitze 81 in den geschlitzten Platten 80 dazu, teilweise mit aus dein verbrauchten Beschichtungsgas abgelagertem Feststoff zu blockieren. Um solche Ablagerungen zu entfernen, sind die Schlitze mit Stäben 83 versehen, die zur hin- und hergehenden Bewegung in den Schlitzen angebracht sind. Jeder der Stäbe 83 ist an einem Block 84 (siehe Fig. 2, 5 und 6) angebracht und erstreckt sich durch den korrespondierenden Schlitz 81. Die Blöcke 84 sind durch obere und untere horizontale Stahlstreifen 85, 86 miteinander verbunden, die in Schlitzen in den Blöcken 84 eingebettet sind. Die Streifen 85, 86 sind zwischen der inneren Frontfläche des rechteckförmigen Bereichs 65 (siehe Fig. 2) und einer Stützstruktur 87 mit einer oberen und einer unteren horizontalen Platte 88, 89 angeordnet, die durch vertikale Stangen 90 innerhalb des rechteckförmigen Bereichs 65 voneinander beabstandet sind. Horizontale Elemente 85, 86 sind mit Handgriffen 91, 92 verbunden, die sich jenseits der Enden des Bereichs 65 erstrecken (Fig. 4). Die hin- und hergehende Bewegung der Streifen 85, 86 im Element 65 mittels der Handgriffe 91, 92 bewegt die Stäbe 83 in den Schlitzen 81 in den Platten 83 hin und her, wodurch jegliche Ablagerungen von den Seiten der Schlitze entfernt werden und jegliche Blockierung, die ansonsten auftreten könnte, verhindert wird. Der Absauger 60, der an die (nicht dargestellte) Niederdruck-Vakuumpumpe angeschlossen ist, bildet eine Saugeinrichtung zum Abziehen von Gas entlang dem Abgaskanal, und ist, durch die Verwendung von Blendplatten 77 variierender Länge, derart beschaffen, um einen einheitlichen Saugef fekt über die Breite des Abgaskanals zu ermöglichen.
• Jeder der Graphitblöcke 35 und 37, ebensowie der mittlere Block 36 ist vom Vorschubweg des Glas-Bands über das Float-Bad beabstandet. Der optimale Zwischenraum zwischen der Bodenfläche 43 des Blocks 37 und dein Vorschubweg der Glasoberfläche wird in Abhängigkeit von dem verwendeten Beschichtungsgas und den Beschichtungsbedingungen variieren, wird jedoch normalerweise mindestens 5 mm betragen, um zu ermöglichen, daß eine Badatmosphären-Strömung zwischen der Fläche 43 und der Glasoberfläche abgezogen werden kann. In der in Fig. 2 dargestellten Vorrichtung endet das durch den Graphitblock 37 gebildete zweite Seitenelement kurz vor dein Vorschubweg der Glasoberfläche in einem Abstand, der etwa gleich der Höhe des U-förmigen Führungskanals 47b in der Beschichtungszone zwischen der Bodenwand des mittleren Blocks und dem Vorschubweg der Glasoberfläche ist. Daher ist der Voluinendurchfluß des aus der Badatmosphäre gebildeten Inertgases über die Fläche 43 zwischen der Fläche 43 und der Glasoberfläche und in den Abgaskanal gleich dem Volumendurchfluß des verbrauchten Beschichtungsgases in den Abgaskanal.
• Im Betrieb wird die Zuflußrate von Beschichtungsgas so eingestellt, daß eine laminare Beschichtungsgas- Strömung parallel zur Glasoberfläche unterhalb des mittleren Blocks 36 geschaffen ist. Gleichzeitig ist die Höhe des Blocks 37 zusammen mit dem durch den Absauger am Abgaskanal aufgebrachten Sog so gewählt, um eine Badatmosphären-Strömung zwischen der unteren Fläche 43 des Blocks 37 und dem Glasband 4 abzuziehen. Die Krümmung der Fläche 45, die kontinuierlich mit der Fläche 43 des Blocks 37 ist, ist gleich und etwa spiegelbildlich der Krümmung der strömungsabwärtigen Wand des mittleren Blocks 36 und schafft eine ruhige Badatinosphärenströmung darüber, ohne Vermischung des verbrauchten Beschichtungsgases und der Badatmosphäre in der Beschichtungszone oder in dem unteren Teil des Abgaskanals, die die gleichförmige, laminare Beschichtungsgasströmung parallel zur Glasoberfläche unter dem mittleren Block 36 zerstören könnte, und daher die Gleichförmigkeit der Beschichtung beeinflussen könnte.
• Die Schlitze 81 zur Ausgabe des verbrauchten Beschichtungsgases im Absauger 60 sind so voneinander beabstandet, um sicherzustellen, daß ein im wesentlichen gleichförmiger Sog auf den Abgaskanal über die Breite des zu beschichtenden Glas-Bandes aufgebracht wird, um so eine gleichförmige Beschichtung über die Breite des Glases zu erhalten. Falls notwendig, werden die Handgriffe 91 und 92 hin- und herbewegt, um die Stäbe 83 in den Schlitzen 81 hinund herzubewegen und Ablagerungen aus dein Beschichtungsgas, die sich aufbauen und die Schlitze blokkieren, zu verhindern. Die Erfindung ermöglicht es, das Beschichtungsverfahren für ausgedehnte Zeitspannen anzuwenden, ohne daß die Notwendigkeit von fortgesetzten Unterbrechungen zum Entfernen von Ablagerungen von der Fläche der Ablenkeinrichtung, die das verbrauchte Beschichtungsgas von der Glasoberfläche wegleitet, bestände. Beispielsweise wurde die beschriebene Vorrichtung verwendet, um 6 mm starkes Float-Glas mit einer reflektierenden Silizium-Beschichtung über eine kontinuierliche Zeitspanne von 17 Stunden zu beschichten, ohne jede Notwendigkeit, den Prozeß anzuhalten, um Silizium-Ablagerungen von der Vorrichtung zu entfernen.
• Der Begriff "verbrauchtes Beschichtungsgas" wird hier für ein Gas verwendet, das zur Beschichtung des Glases verwendet wurde. Hiermit wird nicht impliziert, daß alle reaktiven Komponenten im Gas notwendigerweise verbraucht worden sind, und tatsächlich kann das durch den Abgaskanal entfernte, verbrauchte Beschichtungsgas signifikante Mengen von Beschichtungskomponenten aufweisen, die nicht reagiert haben.

Claims (11)

1. Verfahren zur Beschichtung von Flachglas durch eine chemische Gasphasenabscheidung, in dem ein Beschichtungs-Gas dazu gebracht wird, über eine heiße Glasoberfläche in einer Beschichtungszone zu strömen, und das verbrauchte Gas am strömungsabwärtigen Ende der Beschichtungszone längs einem Abgaskanal mittels einer Ablenkeinrichtung vom Glas weggeleitet wird, die eine Oberfläche benachbart der Glasoberfläche und eine Oberfläche aufweist, die die strömungsabwärtige Wandung des Abgaskanals definiert, welche mit der dem Glas benachbarten Oberfläche zusarninenhängt, dadurch gekennzeichnet, daß eine Inertgas-Strömung über die Oberfläche der Ablenkeinrichtung induziert wird, um die Ausbildung einer Ablagerung aus dein verbrauchten Gas auf der Oberfläche durch ein Saugen zu verhindern, mit dem der Abgaskanal beaufschlagt wird, und die Ablenkeinrichtung eine solche Kontur aufweist, daß eine ruhige Strömung des Inertgases über die Oberflächen der Ablenkeinrichtung gegeben ist, ohne das Inertgas und das verwendete Beschichtungs-Gas in der Beschichtungszone zu vermischen.

2. Verfahren nach Anspruch 1, in dem die Inertgas-Strömung aus der die Beschichtungs-Station umgebenden Atmosphäre gebildet ist, bei der die Schicht appliziert wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, in dein die Beschichtung auf ein Band von Float-Glas aufgebracht wird, wenn es über das Float-Bad vorgeschoben wird, und die Inertgas-Strömung aus der schützenden Atmosphäre des Float-Bades gebildet ist.

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, in dem das Reaktionsgas ein Silan aufweist.

5. Verfahren nach Anspruch 4, in dem eine reflektierende Silizium-Schicht auf dem Glas abgelagert wird.

6. Verfahren nach Anspruch 4, in dem eine Silizium und Sauerstoff aufweisende Schicht mit einer hohen Lichtdurchlässigkeit, verwendbar als Sperrschicht zur Verhinderung einer Migration von Alkaliinetall-Ionen, von der Glasoberfläche auf dein Glas abgelagert wird.

7. Vorrichtung zur Beschichtung von Flachglas durch Ablagerung einer Schicht von einem Beschichtungs-Gas mit einem Träger (2) für das zu beschichtende Glas, einer Einrichtung (15) zum Vorschieben des Glases über den Träger, einem Gaszufuhrkanal (33), der sich quer zum Vorschubweg des Glases (4) erstreckt und angeordnet ist, um ein Beschichtungs-Gas auf die heiße Glasoberfläche in einer Beschichtungszone (47b) zu leiten, einer Ablenkeinrichtung (37) mit einer Oberfläche (43) benachbart der Glasoberfläche, um verbrauchtes Gas am strömungsabwärtigen Ende der Beschichtungszone vom Glas wegzuleiten, einem Abgaskanal (47c) für die Strömung von verbrauchtem Gas von der Glasoberfläche weg, und einer Saugeinrichtung (60) zur Sammlung von verbrauchtem Gas aus dein Abgaskanal, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugeinrichtung (60) an den Abgaskanal (47c) angeschlossen ist, und die Oberfläche (43) der Ablenkeinrichtung von dem Vorschubweg des Glases (4) beabstandet ist zur Induzierung einer Inertgas-Strömung über diese Oberfläche durch Betätigung der Saugeinrichtung (60), und die Ablenkeinrichtung (37) eine Oberfläche (45) aufweist, die die strömungsabwärtige Wandung des Abgaskanals kontinuierlich mit der Oberfläche (43), die benachbart dem Glas ist, definiert und die eine solche Kontur aufweist, daß eine ruhige Strömung des Inertgases darüber ohne eine Vermischung des Inertgases und des verbrauchten Beschichtungs-Gases in der Beschichtungszone gegeben ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, in der die dem Glas benachbarte Oberfläche (43) mindestens 5 mm vom Vorschubweg der Glasoberfläche beabstandet ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, mit einem Mittelblock (36), einem ersten und einem zweiten seitenteil (35, 37), die benachbart dem Mittelblock angeordnet sind und einen im wesentlichen U-förmigen Führungskanal (47a, 47b, 47c) für Gas von dem Gaszufuhrkanal zwischen dem ersten Seitenteil (35) und der störmungsaufwärtigen seitenwandung des Mittelblocks (36), zwischen der Bodenwandung des Mittelblocks (36) und dem Weg des Glases (4) sowie zwischen der strömungsbwärtigen seitenwandung des Mittelblocks (36) und dem zweiten Seitenteil (37) definieren, wobei der Teil (47c) des Führungskanals zwischen der strömungsabwärtigen Seitenwandung des Mittelblocks und dem zweiten seitenteil den Abgaskanal bildet.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, in der die dem Glas benachbarte Oberfläche des zweiten seitenteils (37) vom Vorschubweg der Glasoberfläche durch eine Distanz etwa gleich der Höhe des U-förmigen Führungskanals (47b) zwischen der Bodenwandung des Mittelblocks (36) und dem Vorschubweg der Glasoberfläche beabstandet ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, in der die Distanz wenigstens 5 mm beträgt.