DE3530058A1

DE3530058A1 - Method for the production of metal strips which bind gas or control the composition of a gas (getter strips)

Info

Publication number: DE3530058A1
Application number: DE19853530058
Authority: DE
Inventors: Ferenc Dipl.-Chem. Nágel; János Dipl.-Ing. Budapest Takács
Original assignee: Tungsram Rt
Current assignee: Tungsram Rt
Priority date: 1985-03-05
Filing date: 1985-08-22
Publication date: 1986-09-11
Also published as: HUT39533A; HU192912B

Abstract

The invention relates to a method for the production of metal strips which bind gas or control the composition of a gas (getter strips), in which the metal(s) employed is (are) melted and the molten metal assumes the form of a metal strip. The method according to the invention can be characterized in that the molten metal(s) is made to flow, under a vacuum or blanketing gas, via one or more nozzles onto a metal surface which is moved at high speed underneath the nozzles and is cooled relative to the melting point of the molten metals, and in that the molten metal solidifies on the metal surface to form a metal strip of a desired thickness and width. The moving metal surface can be the outer surface of a rotating metal cylinder or a metal strip rotating with the outer surface of the metal cylinder.

Description

Verfahren zur Herstellung von gasabbindenden bzw. Process for the production of gas-binding resp.

die Gaszusammensetzung regelnden Metallbändern (Getterbändern) Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von gasabbinden den, bzw. die Gaszusammensetzung regelnden Metallbändern (Getterbändern). the gas composition regulating metal strips (getter strips) The invention relates to a method for the production of gas-binding or the gas composition regulating metal strips (getter strips).

Es ist bekannt, daß die Getter solche Materialien sind, die Gase absorbieren können. Im allgemeinen werden Getter als gasabsorbierende Materialien in Elektronröhren, sonstigen vakuumtechnischen Mitteln, Gasentladungsröhren, Entladungslampen verwendet. Neben den gasa bbindenden Materialien, den streng genommenen Gettern, werden auch diejenigen Materialien dieser Gruppe zugeordnet, die gewisse Komponenten, wie z.B. Quecksilber, Wasserstoff usw. emittieren können, mit denen die Regelung der Gaszusammensetzung in einem geschlossenen Raum ermöglicht wird.It is known that the getters are such materials that absorb gases can. In general, getters are used as gas-absorbing materials in electron tubes, other vacuum-technical means, gas discharge tubes, discharge lamps are used. In addition to the gas binding materials, the strictly speaking getters, those materials assigned to this group which have certain components, e.g. Can emit mercury, hydrogen, etc., with which the regulation of the gas composition is made possible in an enclosed space.

Getter werden auf einem enorm breiten Gebiet der Fachliteratur diskutiert.Getters are discussed in an enormously broad area of the technical literature.

Nur orientierungshalber wird hier auf die Patentschriften US-PS 3 203 901 und US-PS 3 722 976 hingewiesen. Die erste bezieht sich auf ein nicht verdampfendes Getter, während in der letzterwähnten Patentschrift ein Quecksilber abgebendes Getter beschrieben ist.For the sake of orientation only, reference is made to the US Pat. No. 3 203,901 and U.S. Patent 3,722,976. The first relates to a non-evaporating one Getter, while in the last-mentioned patent a mercury-releasing getter is described.

Die Getter als gasabbindende Materialien können in zwei Gruppen unterteilt werden: verdampfende und sogenannte spiegellose Getter. Die Erfindung betrifft die Herstellung von Metallgettern aus den erwähnten Gruppen. Unabhängig davon, um welche Gruppe es sich handelt, besteht die wichtige Forderung, daß das Getter in der Luft haltbar sein soll und in der Mehrheit der Anwendungen (Elektronröhre und Lichtquellen) ihre Beständigkeit häufig in einer reaktionsfähigen Atmosphäre bei einer hohen Wärmebelastung eine unerläßliche Voraussetzung darstellt, so z.B. bei Einlötungen. Bei einem Teil der Lichtquellen wird dem Getter die Aufgabe zuteil, die unerwünschten verunreinigenden Gase in Anwesenheit des Füllgases - das nicht unbedingt ein Edelgas ist - abzubinden. In gewissen Fällen besteht das Erfordernis, Gas- bzw. Dampfkomponenten, z.B. Quecksilber, Wasserstoff, Halogen, in den Gasraum zu dosieren.The getters as gas-binding materials can be divided into two groups be: evaporating and so-called mirrorless getters. The invention relates to Manufacture of metal getters from the groups mentioned. Regardless of which one Group it is, the important requirement is that the getter is in the air should be durable and in the majority of applications (electronic tubes and light sources) their resistance often in a reactive atmosphere with a high thermal load is an indispensable requirement, e.g. for soldering. With a part of the light sources, the getter is given the task of removing the undesired contaminating To bind gases in the presence of the filling gas - which is not necessarily a noble gas. In certain cases there is a need to remove gas or vapor components, e.g. mercury, Dose hydrogen, halogen, into the gas space.

Die Getter verdanken ihre Beständigkeit gegenüber Luft bzw. bei Lötvorgängen ihrem Oxyd aus einem entsprechenden Gefüge, eventuell einem Nitrld, ähnlich wie bei nichtrostenden Metallen, die nicht zur Gruppe der Edelmetalle gehören. Die Voraussetzung besteht darin, daß das Oxyd (Nitrld, Oxyd-Nitrid) einen unwesentlich größeren spezifischen Rauminhalt aufweist, als das Metall, aus dem es entstand. Unterscheidet sich das Volumen des "Korrosionsprodukts" von jenem des Metalls in einem hohen Maße, so werden in der Schicht Risse entstehen und sie verschließt nicht. Bei den Gettern darf dieser verschlossene Zustand nur unter einer gewissen Temperatur bestehen, ohne diesen kann das Getter nicht aktiviert werden. Leichte Aktivierbarkeit und Beständigkeit beim Löten stellen einander entgegengesetzte Forderungen dar, so kann man keinesfalls von einem idealen Getter sprechen. Verschiedene Anwendungszwecke beanspruchen verschiedene Schutzschichten. Von daher ist die Getterung des Wasserstoffes ein Spezialfall, da der Wasserstoff die Fähigkeit besitzt, durch eine dünne Sperrschicht hindurch - insbesondere bei einer hohen Temperatur - diffundieren zu können.The getters owe their resistance to air and soldering processes its oxide from a corresponding structure, possibly a nitride, similar to for stainless metals that do not belong to the group of precious metals. The condition consists in the fact that the oxide (Nitrld, Oxyd-Nitrid) an insignificantly larger specific Volume than the metal from which it was made. Is that different Volume of the "corrosion product" of that of the metal to a large extent, so will cracks appear in the layer and it does not close. With the getters this is allowed closed state only exist under a certain temperature, without this the getter cannot be activated. Easy activation and durability when soldering there are opposing requirements, so one cannot under any circumstances speak of an ideal getter. Different uses claim different Protective layers. Therefore the gettering of hydrogen is a special case, because the hydrogen has the ability to pass through a thin barrier layer - especially at a high temperature - to be able to diffuse.

Die Absorption des Wasserstoffes ist in der Mehrzahl der Fälle mit einer Volumenzunahme verbunden, die Schicht wird aufgerissen; so kann die "Wasserstoffgetterung" einen "autokatalytischen Prozeß" darstellen.The absorption of hydrogen is in the majority of cases with associated with an increase in volume, the layer is torn open; so the "hydrogen gettering" represent an "autocatalytic process".

Die Schutzschicht ist meistens das Oxyd von Al, Zr, bzw. Ti; daher werden solche Legierungen verwendet, bei denen das Gefüge des Oxyds (und der eventuellen anderen Komponenten) trotz der Legierung die obenerwähnten Forderungen erfüllt.The protective layer is usually the oxide of Al, Zr or Ti; therefore such alloys are used in which the structure of the oxide (and any other components) meets the above-mentioned requirements despite the alloy.

Das Sortiment der auf die übliche Weise durch Legieren herstellbaren Getterstoffe ist äußerst beschränkt, da es schwer zu erreichen ist, daß die Wasserst offget terungsfähigkeit nicht beeinträchtigt wird. Die üblichen Metallgetter absorbieren den Wasserstoff auf eine reversible Weise. Es ist eine wohlbekannte Tatsache, daß der sich bei einer gegebenen Temperatur ein- stellende Gleichgewichtsdruck von H2 zu dem Quadrat der bereits gegetterten Menge proportional ist (in dem Metall ist der Wasserstoff ein einatomiges, außerhalb des Metalls ein zwelatomiges Gas, das Gesetz der Massenwirkung), wobei sich die Druckkurve mit steigender Temperatur steil in Richtung höherer Werte verschiebt. Die gegenwärtig üblichen Stoffe weisen eine Gleichgewichtskonstante auf, bei der die Fähigkeit zur H2- Getterung auch in dem günstigsten Fall über 400 - 500 OC aufhört, mit der Ausnahme des Spezialfalls, wenn Y in Niob oder Tantal gepackt ist.The range of products that can be manufactured in the usual way by alloying Getter materials is extremely limited because it is difficult to achieve that the water st disclosure ability is not impaired. Absorb the usual metal getters the hydrogen in a reversible way. It is a well known fact that which occurs at a given temperature constituting equilibrium pressure of H2 is proportional to the square of the amount already gettered (in the metal the hydrogen is a monatomic gas, outside of the metal a two-atomic gas, the law of mass action), whereby the pressure curve increases with increasing temperature shifts steeply towards higher values. The currently common substances show an equilibrium constant at which the ability to get H2 gettering also in ends in the best case above 400 - 500 OC, with the exception of the special case, when Y is packed in niobium or tantalum.

Die in Frage kommenden Getterstoffe sind im allgemeinen spröde. Übrigens scheint es zweckmäßig, bei den üblichen Technologien nach der Sprödigkeit zu streben, da in der Mehrheit der Fälle der Stoff in pulverisierter Form beansprucht wird. Das gewonnene Pulver wird entweder aufgeschmiert oder aufgesintert (wobei Sintern nicht immer möglich ist), oder es werden aus grobem Pulver Pastillen bzw. Ringe gepreßt. Im Laufe eines solchen Preßverfahrens werden häufig zwei Schichten auf beiden Seiten des Trägers aufgetragen, und zwar aus Stoffen unterschiedlicher Eigenschaften, so z.B. aus einer nicht verdampfenden Legierung (z.B. Zr-Al) und einer verdampfenden Legierung (z.B. Ba-AJ).The getter substances in question are generally brittle. by the way it seems expedient to strive for brittleness in the usual technologies, as in the majority of cases the substance is claimed in powdered form. The powder obtained is either smeared on or sintered (with sintering is not always possible), or coarse powder turns into lozenges or rings pressed. In the course of such a pressing process, two layers are often applied applied to both sides of the backing, made of fabrics of different properties, E.g. made of a non-evaporating alloy (e.g. Zr-Al) and an evaporating one Alloy (e.g. Ba-AJ).

Im Vergleich zu den Ausgangsmaterialien sind die Gettermaterialien teuer.Compared to the starting materials, the getter materials are expensive.

Der Grund dafür besteht darin , daß über die Schwierigkeiten der Metallurgie der recht leicht reagierenden Metalle hinaus diese empfindlichen Materialien gemahlen werden müssen, und um eine Zunahme des Gasinhalts vermeiden zu können, müssen die Arbeitsvorgänge unter Vakuum oder in höchstreinem Edelgas stattfinden; dabei sind diese pulvertechnologischen Arbeitsvorgänge äußerst umständlich.The reason for this is because of the difficulties of metallurgy the rather easily reacting metals also grind these sensitive materials must be, and in order to avoid an increase in the gas content, the Work processes take place under vacuum or in ultra-pure noble gas; are there these powder technology operations are extremely cumbersome.

Die mechanisch bearbeitbaren, ziehbaren, walzbaren, zur Getterung geeigneten Reinmetalle, wie z.B. Zirkonium, Tantal und Titan, werden zur Lösung der Getterungsaufgaben nur selten verwendet; in der Mehrheit der Fälle ist die Anwendung von Legierungen unerläßlich. Die zur Getterung geeigneten Legierungen, wie z.B. die wohlbekannte Zirkon-Aluminiumlegierung sind so spröde, daß sie weder durch Walzen noch durch Ziehen verformt werden können. Diese Getterlegierungen werden unter Anwendung der vakuum-metallur- gischen Methoden hergestellt. Die Gußblöcke werden - zweckmäßig im Schutzgas, eventuell in einer mit dem Gettermaterial nicht reagierenden Lösung - zu Pulver vermahlen. In Fällen, wo es nicht zweckdienlich ist, das Material zu Getterungszwecken in Pulverform zu verwenden, werden aus dem Pulver pulver-metallurgisch oder nur durch Pressen Ringe, Pastillen -im allgemeinen unter Anwendung eines Trägermetallbands - gefertigt. Wo für den Verbraucher die Band form wichtig ist, dort wird das Gettermaterial im allgemeinen auf die Metalle der Eisengruppe durch Walzen oder diskontinierliches Pressen aufgetragen.The mechanically workable, drawable, rollable, for gettering suitable pure metals such as zirconium, tantalum and titanium become the solution rarely used for gettering tasks; in the majority of cases it is the application indispensable for alloys. The alloys suitable for gettering, e.g. the well-known zirconium-aluminum alloys are so brittle that they cannot be rolled can still be deformed by pulling. These getter alloys are used the vacuum metallur gical methods. The ingots - expediently in the protective gas, possibly not in one with the getter material reacting solution - grind to powder. In cases where it is not expedient is to use the material in powder form for gettering purposes, are made from the Powder powder metallurgically or just by pressing rings, lozenges - in general using a carrier metal tape - manufactured. Where for the consumer the Tape form is important, there the getter material is generally applied to the metals the iron group applied by rolling or discontinuous pressing.

Infolge der erwähnten Schwierigkeiten, insbesondere der Sprödigkeit werden keine Metallbänder unmittelbar aus den Getterlegierungen hergestellt, obzwar der Bedarf an diesen recht hoch ist. Die vorher beschriebenen pulvermetallurgischen mehrstufigen Methoden sind äußerst umständlich und kostenaufwendig; der primäre Grund besteht darin, daß während der Bearbeitung die Gasabbindefähigkeit der Gettermaterialien aufrechzuhalten ist. Das bedeutet praktisch, daß alle Operationen in hochreinem Schutzgas oder unter einem geeigneten Lösungsmittel durchzuführen sind.As a result of the difficulties mentioned, especially the brittleness no metal strips are produced directly from the getter alloys, although the need for these is quite high. The powder metallurgy previously described multi-step methods are extremely cumbersome and expensive; the primary The reason is that the gas-binding ability of the getter materials during processing is to be kept up. In practice this means that all operations are carried out in high purity Protective gas or under a suitable solvent.

Der Erfindung wurde das Ziel gesetzt, trotz der obengeschilderten Schwierigkeiten, möglichst in wenigen Schritten, unter Anwendung eines Direktverfahrens aus zu Getterzwecken geeigneten Metallen und/oder Legierungen Metallbänder zu erzeugen. Zur Lösung der gestellten Aufgabe haben wir ein an sich bekanntes, neuerdings zur Verarbeitung von magnetischen Stoffen verwendetes Verfahren adaptiert.In spite of the above, the aim was set for the invention Difficulties, if possible in a few steps, using a direct procedure to produce metal strips from metals and / or alloys suitable for getter purposes. To solve the given task we have a well-known, recently for Processing of magnetic materials, the method used has been adapted.

In dem Patent US-PS 905 758 aus dem Jahre 1908 ist ein Prinzip beschrieben, gemäß dem ein Metallband dadurch erzeugt werden kann, daß ein geschmolzener dünner Metallstrahl auf die Oberfläche eines sich schnell drehenden kalten Metallzylinders gegossen wird. Das an dem Zylinder erhärtende Metall ergibt ein Band. Das Verfahren konnte jedoch damals mangels technischer Bedingungen nicht realisiert werden. Erst nach Jahrzehnten konnte die Methode bei der Erzeugung insbesondere von magnetischen Stoffen Verwendung finden, nicht zuletzt deshalb, weil inzwischen die Bedingungen zur Realisierung des vorgenannten Prinzips geschaffen waren. (Siehe den einschlägigen Artikel von Liebermann und Graham, IEEE Transactionon Magnetics, Vol. MAG-12, No.6, 1976/November, S. 821 - 923).In the patent US-PS 905 758 from 1908 a principle is described, according to which a metal ribbon can be produced by making a melted thinner Metal beam on the surface of a rapidly rotating cold metal cylinder is poured. The metal hardening on the cylinder makes a tape. The procedure could not be realized at that time due to a lack of technical conditions. First after decades the method was able to produce magnetic ones in particular Substances are used, not least because the conditions meanwhile were created to implement the aforementioned principle. (See the relevant Article by Liebermann and Graham, IEEE Transactionon Magnetics, Vol.MAG-12, No.6, 1976 / November, pp. 821-923).

Während der Lösung der erfindungsgemäß gestellten Aufgabe wurde erkannt, daß die zu Getterzwecken vorteilhafterweise zu verwendenden, notwendig recht reaktionsfähigen Metalle unter Anwendung des obenerwähnten Verfahrens in einer Vakuumkammer oder unter Schutzgas in der Gestalt eines Metallbandes hergestellt werden können. Bei der Ausarbeitung des Verfahrens konnten auch einige unerwartete zusätzliche Vorteile erreicht werden; davon wird im Laufe der ausführlichen Beschreibung der Erfindung noch die Rede sein.During the solution of the problem set according to the invention, it was recognized that that those to be used advantageously for getter purposes are necessarily quite reactive Metals using the above-mentioned method in a vacuum chamber or can be produced under protective gas in the form of a metal strip. at Working out the procedure could also provide some unexpected additional benefits to be achieved; of which will be discussed in the course of the detailed description of the invention still to be discussed.

Demnach bezieht sich das vorliegende Verfahren auf die Herstellung von gasabbindenden, bzw. die Gaszusammensetzung regelnden Metallbändern (GetterbändernJ, bei dem das (die) zur Anwendung kommende(n) Metall(e) geschmolzen wird (werden) und das (die) geschmolzene(e) Metall(e) zu einem Metallbandes geformt wird (werden).Accordingly, the present method relates to manufacturing of gas-binding metal strips or metal strips that regulate the gas composition (getter strips, in which the metal (s) used is (are) melted and the molten metal (s) is (are) formed into a metal ribbon.

Das Wesen des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß man das (die) geschmolzene(n) Metall(e) in Vakuum oder im Schutzgas über eine oder mehrere Düsen auf eine sich mit hoher Geschwindigkeit unter den Düsen bewegende, gegenüber dem Schmelzpunkt des geschmolzenen Metalls kältere Metallfläche fließen läßt und daß das Metall in der Gestalt eines Metallbandes in der gewünschten Breite und Dicke erhärtet wird.The essence of the method according to the invention is that one the molten metal (s) in a vacuum or in a protective gas via one or more Nozzles on a moving at high speed under the nozzles, opposite the melting point of the molten metal allows colder metal surface to flow and that the metal in the form of a metal strip in the desired width and thickness is hardened.

In der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Weise besteht die Möglichkeit, die Schwierigkeiten des traditionellen Verfahrens zu verringern und desweiteren können mehrschichtige Materialien erzeugt werden, die mit dem Legierungsverfahren nicht erreichbare Eigenschaften aufweisen. Das Verfahren stellt ein zur Herstellung von amorphen Metallen, sogenannten Metall gläsern dienendes Verfahren dar, das der Zielsetzung entsprechend modifiziert worden ist; selbstverständlich wurde es den Gettermetallen erlaubt, das kristalline Gefüge zu schaffen. Das als Getter dienende Metall und/oder die Legierung wird entweder in einem Tiegel, vorteilhafterweise unter Anwendung der Induktionsmethode, oder ohne einen Tiegel suspendiert, geschmolzen, wonach man die Schmelze entweder durch eine am Bodenteil des Tiegels ausgestaltete oder über eine separate Düse auf den Mantel eines sich schnell drehenden Zylinders - der gegenüber dem Schmelzpunkt des Metalls kälter ist - abrinnen läßt, von dem das erhärtete Material in Form eines gleichmäßigen Bandes, mit einer der Umfangsgeschwindigkeit entsprechenden Geschwindigkeit abläuft. Falls es beabsichtigt ist, ein mehrschichtiges Material zu fertigen, werden mehrere Düsen hintereinander verwendet. Für das Aneinanderhaften der einzelnen Schichten ist es vorteilhaft, daß die sich verfestigende Schicht noch genügend warm ist, so daß es in gewissen Fällen vorteilhaft ist, anstatt des in der Amorphmetalltechnik üblichen Kupfers eine Werkstoff mit schlechterer Wärmeleitfähigkeit als Werkstoff des rotierenden Zylinders zu wählen. Eigentlich kann die Temperatur des Zylinders selbst geregelt werden, aber bei einem bei hoher Temperatur arbeitenden Zylinder können bei der Lagerung Schwierigkeiten auftreten. Bei der an dem Abflußpunkt der zweiten Schicht herrschenden Schichttemperatur spielen auch die Umdrehungszahl und der Abstand zwischen den beiden Düsen eine Rolle. Im Hinblick darauf, daß der letzte kaum verringert werden kann, wird vorteilhafterwelse die Umdrehungszahl gegenüber der in der Amorphmetalltechnik üblichen Umdrehungszahl herabgesetzt. Im Hinblick darauf, daß unter den zu schmelzenden Materialien auch solche sich befinden, die äußerst reaktionsfähig sind, sind das zum Schmelzen, Gießen und Aushärten dienende System, die zum Aufwickeln und Zerstückeln dienenden Vorrichtungen in einer geschlossenen, absaugbaren Kammer während des Betriebs unter Vakuum oder Edelgas angeordnet. Edelgas wird dann verwendet, wenn bei der Schmelztemperatur leicht verdampfende Komponenten zu verarbeiten sind; die Gasfüllung setzt nämlich die Verdampfungsgesch windlgkeit weitgehend herab. Wenn beabsichtigt ist, das Getter mit irgendeinem Gas, z.B.In the manner proposed according to the invention, there is the possibility of to reduce the difficulties of the traditional method and more multilayer materials can be produced using the alloying process have unachievable properties. The process adjusts to manufacture of amorphous metals, so-called metal glasses serving process that the Objective has been modified accordingly; of course it became that Getter metals allow the crystalline structure to be created. The one serving as a getter Metal and / or the alloy is either in a crucible, advantageously using the induction method, or suspended, melted, without a crucible, after which one designed the melt either by a on the bottom part of the crucible or via a separate nozzle onto the jacket of a rapidly rotating cylinder - the opposite of the melting point of the metal is colder - drain leaves, of which the hardened material in the form of a uniform band, with a the speed corresponding to the peripheral speed expires. If you intend to is to manufacture a multi-layer material, several nozzles are used in a row used. For the individual layers to adhere to one another, it is advantageous that the solidifying layer is still warm enough that it is in certain Cases is advantageous instead of the usual copper in amorphous metal technology a material with poorer thermal conductivity than the rotating material Cylinder to choose. Actually, the temperature of the cylinder can be regulated by itself but if the cylinder is operating at high temperature, the Storage difficulties arise. At the point at which the second layer drains The prevailing layer temperature also play a role in the number of revolutions and the distance between the two nozzles play a role. In view of the fact that the last hardly diminished can be, the number of revolutions is more advantageous compared to that in amorphous metal technology normal number of revolutions. With a view to being among those to be melted There are also materials that are extremely reactive systems used for melting, pouring and hardening, which are used for winding and chopping serving devices in a closed, evacuable chamber during operation arranged under vacuum or inert gas. Noble gas is used when the Melting temperature easily evaporating components are to be processed; the gas filling namely largely reduces the evaporation speed. If intended the getter with any gas, e.g.

Wasserstoff, Stickstoff zu sättigen, können anstatt eines Edelgases die erwähnten Gase oder ein Gemisch des Edelgases und des Sättigungsgases verwendet werden. Die Beschreibung enthält noch weitere Hinweise auf die sen Fall.Hydrogen can saturate nitrogen instead of a noble gas the gases mentioned or a mixture of the noble gas and the saturation gas is used will. The description contains further information on this case.

Die Technik, mehrere Düsen zu verwenden, kann entfallen bzw. die Anzahl der Schichten kann um eine Schicht geringer sein, wenn während des Gießens unter der (den) Düse(n) ein Band auf den Zylinder geführt wird. Auf diese Weise wird Im voraus mit einer Schicht begonnen, so daß ein Stoff oder eine Geometrie angewendet werden kann, die auf die beschriebene Weise nicht hergestellt werden können.The technique of using several nozzles can be omitted or the number the layers can be one layer less if under during pouring the nozzle (s) a tape is fed onto the cylinder. In this way, Im started with a layer beforehand, so that a substance or a geometry is applied which cannot be produced in the manner described.

In der Mehrheit der Fälle wird als Gießraum ein mit einem Boden ausgestaltetes Quarzrohr mit einem Gießloch in der Mitte (Düse) verwendet. Der Raum wird mit einer Induktionswicklung umschlossen, die bis 1200 OC dauerhaft, im Bereich zwischen 1400 und 1500 OC mit einer kürzeren Lebensdauer verwendet werden kann. Aluminium und Stoffe mit einem hohen Aluminiumgehalt greifen das Quarz an, in diesem Fall wird verrußter Quarz verwendet.In the majority of cases, the casting room is a floor designed with a floor Used quartz tube with a pouring hole in the middle (nozzle). The room comes with a Enclosed induction winding that is permanent up to 1200 OC, in the range between 1400 and 1500 OC can be used with a shorter lifespan. Aluminum and Substances with a high aluminum content attack the quartz, in this case it will sooty quartz is used.

Während der kurzen Schmelzzeit entsteht Al-Karbid nur in unbedeutender Menge. Werden seltene Erdmetalle eingesetzt, wird vorteilhafterweise ein Tantalgefäß verwendet, da diese Metalle praktisch nicht mit dem Tantal reagieren. During the short melting time, Al carbide is only formed to an insignificant extent Lot. If rare earth metals are used, a tantalum vessel is advantageous used because these metals practically do not react with the tantalum.

Bei Legierungen, die seltene Erdmetalle und mit Tantal in Reaktion tretende Komponenten enthalten, kann das sogenannte Schwebegießverfahren angewendet werden. Auch bei diesem Verfahren wird eine Düse verwendet, entweder aus kaltem Kupfer oder warmem BN. Wird kaltes Kupfer verwendet, neigen die Aluminiumlegierungen oder Legierungen mit hohem Al-Gehalt zum Haften.With alloys, the rare earth metals and with tantalum in reaction The so-called floating casting process can be used will. A nozzle is also used in this process, either from cold Copper or warm BN. If cold copper is used, the aluminum alloys tend or alloys with high Al content for adhesion.

Wenn das Anwendungsgebiet pulverisiertes Getter erfordert, wird zweckmäßig eine spröde Legierung ausgewählt, die mit einer Düse hergestellt wird. Die Gießgesch windigkeit und die Umdrehungszahl werden nach Möglichkeit so bestimmt, daß die Banddicke in die Größenordnung der gewünschten Korngröße fällt. Ein auf diese Weise hergestelltes Band kann viel leichter vermahlen werden als ein Gießblock. Unmittelbar nach der Abnahme kann das Band in Stücke gebrochen werden, was durch das periodische Einritzen des Zylinders in der Querrichtung erleichtert werden kann. Sollte diese Maßnahme nicht genügen, führt ein anstelle der Wickelvorrichtung eingesetzt er Käfig die Stückelung durch. Das Mahlen kann im fortlaufenden Betrieb im unmittelbaren Anschluß vorgenommen werden, z.B. mit einer Stange mit einem Kaffeemühlencharakter mit einer Umdrehungszahl von 5000 bis 10.000. Vorteilhaft wird der zylindrische Teil der Mühle aus Titanblech mit Punktschweißung gefertigt, auch die Mahlstange ist aus Titan oder ist mit Titan überzogen. In diesem Fall wird das System vorteilhafterweise unter Edelgas in Betrieb gehalten, wobei durch die an dem Deckel vorhandenen Öffnungen ihren Positionen gemäß das Material in Pulverform und zwar in der gewünschten Korngröße austritt, sodaß das System wie ein Wlndslchter funktioniert. Die einzelnen Pulver fraktionen werden In kleinen Zyklonen aufgefangen.If the application requires powdered getter, then becomes appropriate selected a brittle alloy made with a nozzle. The Gießgesch Wind speed and the number of revolutions are determined so that the tape thickness falls within the range of the desired grain size. One made this way Ribbon can be ground much more easily than a casting block. Immediately after the When the tape is removed, it can be broken into pieces by periodic scratching of the cylinder in the transverse direction can be lightened. Should this measure are not sufficient, instead of the winding device, he leads the cage Denomination by. The grinding can be carried out in continuous operation immediately afterwards be made, e.g. with a rod with a coffee grinder character with a Revolutions from 5000 to 10,000. The cylindrical part of the mill is advantageous Made of titanium sheet with spot welding, the grinding rod is also made of titanium or is coated with titanium. In this case the system becomes advantageous kept in operation under inert gas, through the openings on the cover their positions according to the material in powder form, namely in the desired grain size emerges so that the system works like a willow. The individual powder fractions are collected in small cyclones.

Das oben geschilderte Verfahren kann bei den meisten Materialien vereinfacht werden. Bei einem sich sehr schnell drehenden Zylinder tritt das Material anstatt in der Gestalt eines Bandes in Form eines Pulverstrahis aus. Die Korngröße kann recht schwer beeinflußt werden, das entstandene Pulver ist meistens sehr fein, der Durchschnittsdurchmesser beträgt einige pm.The above procedure can be simplified for most materials will. If the cylinder is spinning very quickly, the material will kick instead in the form of a ribbon in the form of a powder jet. The grain size can be influenced quite heavily, the resulting powder is usually very fine, the Average diameter is a few pm.

In häufiger vorkommenden Fällen, wenn das Material in pulveriger Form anzuwenden beabsichtigt ist, können auch die nicht spröden bzw. durch Kühlung spröde gemachten Stoffe ausgenutzt werden. Das Band wird direkt oder in zu einem Ring geschweißter Form verwendet. Bei bei einer höheren Temperatur funktionierenden (oder verdampfenden) Gettern - die den größeren Teil des Anwendungsgebiets bilden - bringt die größere Fläche des aus Pulver gepreßten Körpers keinen Vorteil mit sich. Die Mehrschichttechnik - wie es aus den Anwendungsbeispielen eindeutig hervorgeht - ermöglicht eine äußerst große Freiheit bei der Planung.In more common cases when the material is in powder form If you intend to use it, the not brittle or brittle due to cooling can also be used made substances are exploited. The band is welded directly or in a ring Shape used. When working (or vaporizing) at a higher temperature Getters - which make up the larger part of the field of application - bring the larger one Area of the powder-pressed body does not entail any advantage. The multi-layer technique - as it is clear from the application examples - enables an extremely great freedom in planning.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird anhand der beiliegenden Zeichnung -die eine als Beispiel dienende Realisierungsmöglichkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens zeigt - näher erläutert. In der Zeichnung zeigt: Fig. 1 das Schema der zur Verwirklichung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeigneten Vorrichtung und Fig. 2 den Querschnitt des unter Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens herstellbaren dreischichtigen Getterbands, schematisch dargestellt.The method according to the invention is illustrated with the aid of the accompanying drawing the one possible implementation of the method according to the invention, serving as an example shows - explained in more detail. The drawing shows: FIG. 1 the scheme of the implementation device suitable for the method according to the invention and FIG. 2 shows the cross section the three-layer which can be produced using the method according to the invention Getterbands, shown schematically.

In Fig. 1 sind die folgenden Bestandteile gezeigt: ein sich drehender Kühlzylinder 1, ein schwingungsfreier Antriebs-Elektromotor 2, ein Treibriemen 3, Schmelztiegel 4, 5, 6; Gasleitungen 7, 8, 9; ein Schutzgaszuführstutzen 10, eine Leitung 11, eine Arbeitskammer 12 und ein Leitelement 13; ein Spuler 14 mit Käfig sowie Hochfrequenzspulen 15, 16, 17.In Fig. 1 the following components are shown: a rotating one Cooling cylinder 1, a vibration-free drive electric motor 2, a drive belt 3, Crucibles 4, 5, 6; Gas lines 7, 8, 9; a protective gas supply nozzle 10, a Line 11, a working chamber 12 and a guide element 13; a winder 14 with a cage and high frequency coils 15, 16, 17.

Im folgenden wird anhand einer erfindungsgemäßen Ausführungsform, mit der ein dreischichtiges Getterband hergestellt werden kann, das erfingungsgemäße Verfahren beispielhaft geschildert.In the following, based on an embodiment of the invention, with which a three-layer getter tape can be produced, the invention Process described by way of example.

In den Tiegel 4 wird eine Legierung der Zusammensetzung 48Fe-48Ni-4B, in den Tiegel 5 ein Mischmetall (ein in der Hauptmasse Y enthaltenes Gemisch von seltenen Erdmetallen) und in den Tiegel 6 eine Legierung aus 15A1-12Y-73Zr in Stücken oder in Komponenten eingelegt. Über die Leitung 11 wird das System auf Großvakuum abgepumpt. Durch die Gasleitungen 7, 8, 9 wird eine kurzzeitige Spülung mit Ar-Gas vorgenommen, wonach das System wiederholt abgesaugt wird. Das aus den Elementen 1, 2, 3 bzw. 14 bestehende System wird in Drehbewegung gesetzt, die Schmelztiegel 4, 5, 6 mit den darin sich befindenden Metallen werden auf etwa 600 - 700 OC erhitzt. Während der Drehbewegung und Erwärmung wird das System etwa 20 Minuten lang weiter evakuiert, wonach das System - zwecks Herabsetzung der Verdampfung - über die Gasleitungen 7, 8, 9 und den Schutzgasstutzen 10 gleichzeitig mit Argon auf etwa 1 atmosphärischen Druck aufgefüllt wird.An alloy of the composition 48Fe-48Ni-4B, in the crucible 5 a misch metal (a mixture contained in the main mass Y of rare earth metals) and in the crucible 6 an alloy of 15A1-12Y-73Zr in pieces or inserted into components. The system is brought to a high vacuum via line 11 pumped out. Brief flushing with Ar gas is carried out through the gas lines 7, 8, 9 made, after which the system is repeatedly aspirated. That from the elements 1, 2, 3 or 14 existing systems are set in rotation, the crucibles 4, 5, 6 with the metals in them are heated to around 600 - 700 OC. While rotating and heating, the system will continue for about 20 minutes evacuated, after which the system - in order to reduce evaporation - via the gas pipes 7, 8, 9 and the protective gas nozzle 10 simultaneously with argon to about 1 atmospheric Pressure is replenished.

Mit der Hochfrequenz-Glühvorrichtung werden die in den Schmelztiegeln vorhandenen Metalle geschmolzen und - um etwa 20 bis 30 °C - über den Schmelzpunkt erhitzt. Danach wird durch Positionierung der Düse des Schmelztiegels 4 und Einstellung des auf die Leitung 7 abgegebenen Gasdrucks der ausgeblasene Metallstrahl so geregelt, daß von dem sich drehenden Kühizylinder 1 ein 5 mm breites und 0,05 mm dickes Band abläuft. Sobald das derweise erzeugte Metallband von dem Spuler 14 mit dem Käfig mitgenommen wird, wird der Metallstrahl aus der-Düse des Schmelztiegels 5 in Gang gesetzt und zwar der weise, daß sich auf das erwähnte Band aus dem Mischmetall ein etwa 2 bis 2,5 mm breiter und etwa 0,005 mm dicker Streifen absetzt. Danach wird die Düse des Schmelztiegels 6 mit der Gasleitung 9 in Gang gesetzt, und es wird so verfahren, daß die ausströmende Metallschicht das Mischmetall vollständig abdeckt und womöglich die Breite mit jener der Grundschicht übereinstimmt.With the high-frequency annealing device, the in the crucibles existing metals melted and - by about 20 to 30 ° C - above the melting point heated. After that, by positioning the nozzle of the crucible 4 and setting of the gas pressure delivered to line 7, the blown metal jet is regulated in such a way that that of the rotating cooling cylinder 1 is a 5 mm wide and 0.05 mm thick tape expires. As soon as the metal strip produced in this way from the winder 14 to the cage is taken, the metal jet from the nozzle of the crucible 5 is in motion set and in fact the way that on the mentioned tape from the mischmetal one about 2 to 2.5 mm wide and about 0.005 mm thick strips. After that, will the nozzle of the crucible 6 with the gas line 9 is activated and it is proceed in such a way that the metal layer flowing out completely covers the mischmetal and possibly the width corresponds to that of the base layer.

Als Beispiel für die Realisierung werden die folgenden Möglichkeiten angegeben: a) Ausgießen einer selbsttragenden aktiven Schicht, z.B. aus Zr-AI seltenen Erdmetallen.The following possibilities are used as an example of implementation specified: a) Pouring a self-supporting active layer, e.g. from Zr-Al rare Earth metals.

b) Unter oder über die aktive Schicht kann z.B. eine dickere, breitere Schicht aufgetragen werden, die entsprechende mechanische Eigenschaften gewährleistet (sie ist biegsam, schlag- und erschütterungsfest, kann geschweißt werden), wodurch die Eignung für eine Elektrode oder für ein sonstiges Plattenbestandteil (Ausführungsband, Feder) erreicht werden kann.b) Under or over the active layer, for example, a thicker, wider one can be used Layer are applied, which ensures the appropriate mechanical properties (It is flexible, shock and vibration resistant, can be welded), whereby the suitability for an electrode or for another plate component (execution tape, Spring) can be achieved.

c) Auf den Träger können nebeneinander oder an beiden Seiten zwei unterschiedliche Getter (z.B. auf die eine Seite ein Getter mit Ba-Gehalt, auf die andere Seite ein spiegelloser Getter) zwecks Herstellung eines sogenannten kombinierten Getters aufgetragen werden.c) Two can be placed next to each other or on both sides on the carrier different getters (e.g. on one side a getter with Ba content, on the other side a mirrorless getter) for the purpose of producing a so-called combined Getters are applied.

d) Unter dem verdampfenden Getter kann eine Schicht (z.B. unter Ba-AI Nickel) aufgetragen werden, die die Verdampfung exotherm macht oder wenigstens einen Teil des zur Verdampfung erforderlichen Wärmebedarfs deckt, eventuell unter Zugabe eines den Schmelzpunkt herabsetzenden Zuschlags, eventuell mit einer separaten Trägerschicht.d) A layer (e.g. under Ba-Al Nickel), which makes the evaporation exothermic, or at least one Part of the heat required for evaporation is covered, possibly with an addition an additive that lowers the melting point, possibly with a separate carrier layer.

e) Es besteht die Möglichkeit, auf einen magnetischen Stoff bzw. einen Kontakt sichernden Stoff eine gasabbindende Schicht aufzutragen, z.B.e) It is possible to use a magnetic substance or a Apply a gas-binding layer to secure the contact, e.g.

für hermetisch verschlossene Schaltmittel. for hermetically sealed switching devices.

f) Die Verwendbarkeitsgrenze eines den Wasserstoff nur bei einer niedrigen Temperatur abbindenden Getters kann so erhöht werden, daß zwischen (auch) den Wasserstoff getternder Schicht und dem passiven oder auch selbst getternden Träger Luft und gegen Einlöten nicht beständige seltene Erdmetalle oder deren Legierung eingesetzt werden.f) The limit of use of the hydrogen only at a low one Temperature setting getter can be increased so that between (also) the hydrogen gettering layer and the passive or even self-gettering carrier air and rare earth metals or their alloys which are not resistant to soldering are used will.

g) Auf den Träger können nebeneinander oder an den beiden Seiten Getter und eine einen für das zu getternde Mittel erforderlichen Zuschlagstoff, z.B. Quecksilber abgebende Schicht aufgetragen werden. Im Falle von Hg wird ein Quecksilberlegierungsstreifen auf den Träger aufgetragen, wobei die Komponente der Legierung mit dem Träger oder mit einer weiteren Deckschicht gegen Rückabsorption reagiert. Rückabsorptlon kann auch teilweise stattfinden; in diesem Fall erhalten wir den niedrigeren geregelten Hg Dampfdruck der amalgierten Systeme in den Systemen mit Dampfsättigung.g) Getters can be placed side by side or on both sides of the carrier and an additive required for the agent to be gettered, e.g., mercury donating layer are applied. In the case of Hg, it becomes a mercury alloy strip applied to the carrier, the component of the alloy with the carrier or reacts with another top layer against re-absorption. Rückabsorptlon can also take place partially; in this case we will receive the lower regulated one Hg vapor pressure of the amalgated systems in the systems with vapor saturation.

Es soll berücksichtigt werden, daß zahlreiche Metalle Hg bei einer höheren Temperatur besser lösen. Es besteht die Möglichkeit unter Anwendung der Metallglastechnik übersättigte Systeme zu erzeugen. Ähnlicherweise ist es möglich, Alkali-Metall, des weiteren nicht-metallischen Stoff, so Phosphor, Stickstoff, ja sogar in gewissen Grenzen Halogen zu dosieren. It should be noted that many metals have Hg at a better solve higher temperature. There is a possibility using the Metal glass technology to produce supersaturated systems. Similarly, it is possible Alkali metal, as well as non-metallic substances, such as phosphorus, nitrogen, yes even to dose halogen within certain limits.

h) Auch Wasserstoff kann zugegeben werden, und zwar so, in dem eine mit Wasserstoff gesättigte bzw. wasserstoffhaltige Schicht erzeugt wird, welche - wenn aktiviert - den Wasserstoff abgibt und während der Aktivierung kristallisiert bzw. umkristallisiert wird und so als Getter nicht rückabsorbiert (amorphe Fe bzw. Ni Legierungen sind fähig, eine bedeutende Menge von H2 zu lösen oder mit einer anderen Schicht eine Legierung einzugehen und dann eine verringerte H2-Aufnahmefähigkeit aufzuweisen; so z.B. seltene Erdmetalle, die man in H2-Atmosphäre abrinnen ließ und in die aus der Trägerschicht oder aus der Deckschicht Cu, Ag oder Ni einlegiert wird). h) Hydrogen can also be added in such a way that one with hydrogen saturated or hydrogen-containing layer is generated, which - when activated - releases the hydrogen and crystallizes during activation or is recrystallized and thus not reabsorbed as a getter (amorphous Fe or Ni alloys are capable of dissolving a significant amount of H2 or with a another layer to form an alloy and then a reduced H2 absorption capacity to have; E.g. rare earth metals that were allowed to run off in an H2 atmosphere and Cu, Ag or Ni alloyed into those from the carrier layer or from the cover layer will).

Für die obenbeschriebenen Anwendungsmöglichkeiten sind nachstehend einige Realisierungsbeispiele angegeben. For the uses described above are below some implementation examples are given.

zu a) Eine Legierung wird aus 10 bis 20 Gew.% Al, 10 bis 15% seltene Erdmetalle, z.B. Mischmetall, Y, La, Ce, die übrigbleibende Menge Zr hergestellt (sonstige seltene Erden funktionieren ähnlich, aber infolge des hohen Preises ist ihre Anwendung weniger zweckmäßig). Die Sprödigkeit dieser Legierung hängt hauptsächlich von dem Zr und dem Nitridgehalt in dem Oxyd der seltenen Erdmetalle in dem Ausgangsmaterial ab. Ist das Material rein, so ist das Band genügend biegsam, falls oxydisch, kann es leicht gemahlen werden.to a) An alloy is made from 10 to 20% by weight Al, 10 to 15% rare Earth metals, e.g. mischmetal, Y, La, Ce, the remaining amount of Zr is produced (Other rare earths work similarly, but because of the high price their application less expedient). The brittleness of this alloy mainly depends on the Zr and nitride content in the rare earth oxide in the starting material away. If the material is pure, the tape is sufficiently flexible, if oxidic, can it can be easily ground.

zu b) Eine Schicht nach a) wird auf eine Trägerschicht aufgetragen, die eine Legierung von Fe + 4% B ist.to b) A layer according to a) is applied to a carrier layer, which is an alloy of Fe + 4% B.

zu c) Es wird ähnlich wie bei b) verfahren, aber auf die Trägerschicht mit der Zusammensetzung Fe + 4% B wird auf die eine Seite ein Überzug nach a), auf die andere Seite eine Legierung aus 44% Al - 56 % Ba (BaAl4) aufgetragen.to c) The procedure is similar to b), but on the carrier layer with the composition Fe + 4% B, a coating according to a) is applied to one side on the other side an alloy of 44% Al - 56% Ba (BaAl4) is applied.

zu d) Auf eine Legierung von 58% Fe - 48% Ni - 4% 8 (schlechter Wärmeleiter) wird eine dünne Schicht aus 4% B-Legierung aufgetragen, worauf eine BaAl4 Schicht aufgetragen wird. Für antimagnetische Systeme: eine Legierung mit der Zusammensetzung Cu + 0,5 bis 1% P, darauf eine Legierung aus Ni + 4% B mit einer Deckschicht aus BaAl4. Wenn aktiviert, wird Ni teilweise in Cu, teilweise in Al einleglert, nach erfolgter Aktivierung bleibt kein ferromagnetischer Stoff zurück.to d) On an alloy of 58% Fe - 48% Ni - 4% 8 (poor heat conductor) a thin layer of 4% B alloy is applied, followed by a BaAl4 layer is applied. For anti-magnetic systems: an alloy with the composition Cu + 0.5 to 1% P, then an alloy of Ni + 4% B with a top layer BaAl4. When activated, Ni is partly embedded in Cu and partly in Al Once activated, no ferromagnetic material remains.

zu e) Standartislerter amorpher (federnder) magnetischer Metallstoff, z.B.to e) Standardized amorphous (resilient) magnetic metal material, e.g.

eine Legierung mit der Zusammensetzung Fe + 4% B oder Fe + 1 bis 3% Si oder Fe + 0,5 bis 3% P, worauf eine Schicht aus der Legierung nach a) aufgetragen wird. In diesem Fall bestehen zwei Schwierigkeiten: Durch das Auftragen des Getters darf der Träger keinesfalls kristallisiert werden, soll das Getter auf ein verhältnismäßig kaltes Metall aufgetragen werden, wodurch der Bund beeinträchtigt wird. Ein Kompromiß ergibt sich dadurch, wenn der magnetische Stoff viel dicker ist als das Getter. an alloy with the composition Fe + 4% B or Fe + 1 bis 3% Si or Fe + 0.5 to 3% P, after which a layer of the alloy according to a) is applied will. In this case there are two difficulties: By applying the getter if the carrier must not be crystallized under any circumstances, the getter should be cold metal can be applied, which will affect the collar. A compromise results when the magnetic material is much thicker than the getter.

Das Getter kann nicht thermisch aktiviert werden. Das Rückstandsgas des zu getternden Mittels enthält im allgemeinen Wasser, eine Aktivierung mit Abglimmen oder Tesla-Behandlung ist unerläßlich. Die Entladung spaltet H2 aus dem Wasser ab, was in einer in dem ersten Teil beschriebenen Weise die Aktivierung in Gang setzt. The getter cannot be activated thermally. The residue gas of the agent to be gettered generally contains water, an activation with glowing off or Tesla treatment is essential. The discharge splits H2 from the water, which sets the activation in motion in a manner described in the first part.

zu f) Diese Lösung ist in Fig. 2 veranschaulicht, in der das Grundmetall 18, die Schicht 19 aus seltenen Erdmetallen und die Legierung 20 nach Punkt a) dargestellt sind. Eine antimagnetische Version ist unter Punkt c) beschrieben. Als Grundmetall kann auch Ti verwendet werden.to f) This solution is illustrated in Fig. 2, in which the base metal 18, the layer 19 made of rare earth metals and the alloy 20 shown in point a) are. An anti-magnetic version is described under point c). As the base metal Ti can also be used.

zu g) Bei Hg kann Cu als Trägerschicht dienen, worauf Sn-Amalgam und eine Getterschicht nach Punkt a) aufgetragen werden. Wenn aktiviert, treten Cu und Sn in Reaktion. Praktisch absorbiert die Bronze das Quecksilber nicht zurück. Zur Regelung der Rückabsorption werden prozentuelle Zusammensetzung, A ktivierungsda uer (keine vollkommene Legierung) geregelt und Indiumzuschlag zugegeben. Zur Phosphorabgabe werden 20% Phosphor in Cu legiert, wodurch Phosphor ohne Kupferspiegel verdampft werden kann.to g) In the case of Hg, Cu can serve as a carrier layer, followed by Sn amalgam and a getter layer can be applied according to point a). When activated, Cu and Sn in response. In practice, the bronze does not absorb the mercury back. To the The re-absorption is regulated by percentage composition, activation data Outer (not a perfect alloy) regulated and indium surcharge added. For phosphorus release will 20% phosphorus alloyed in Cu, which means that phosphorus is evaporated without a copper mirror can.

Zur Dosierung eines Halogenelements wird ein Halogensilberstreifen verwendet, der gut gegossen werden kann und dabei weich und amorph bleibt. Zur Aktivierung wird vorteilhaft ein mit Silber reagierendes Grundmetall, z.B. Sn und Cu verwendet. A halogen silver strip is used to dose a halogen element is used, which can be poured well while remaining soft and amorphous. To activate It is advantageous to use a base metal that reacts with silver, e.g. Sn and Cu.

Um das Gesagte beurteilen zu können, ist zu berücksichtigen, daß die Eigenschaften der plötzlich abgekühlten Metalle weitgehend von den Gleichge- wichtseigenschaften abweichen können. Kristallisierte Metalle können eine metastabile Phase enthalten; in einem amorphen Zustand können noch größere Abweichungen auftreten. So z.B. amorphes Fe (Legierungen mit hohem Fe-Gehalt) neigen überraschenderweise nicht zur Verrostung, so kann Eisen überall dort Verwendung finden, wo üblicherweise teueres Nickel oder kostspieliger vernickelter Stoff verwendet wird.In order to be able to assess what has been said, it must be taken into account that the Properties of the suddenly cooled metals largely differ from those of the same weight properties may differ. Crystallized metals can contain a metastable phase; in an amorphous state, even greater deviations can occur. For example amorphous Fe (alloys with a high Fe content) surprisingly do not tend to rust, so iron can be used wherever expensive nickel or expensive nickel-plated fabric is used.

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Claims

Process for the production of gas-binding or gas composition regulating metal strips (getter strips) Patent claims 1. Method of production of gas-binding or gas composition-regulating metal strips (getter strips), in which the metal (s) used is (are) melted and the molten metal (s) takes the form of a metal band, characterized in that the molten metal (s) is (are) under vacuum or protective gas through one or more nozzles to one of the nozzles at high speed moving metal surface cold compared to the melting point of the molten metals lets run off, and that the molten metal on the metal surface to a metal band is hardened to a desired thickness and width.

2. The method according to claim 1, characterized in that the molten Metal (the molten metals) on the mantle of a face with a high order fan speed of rotating metal cylinder is (are) applied.

3. The method according to claim 2, characterized in that on the Cover of the metal cylinder rotating at high speed Metal tape is guided and the (the) molten metal (s) on the surface the rotating with the metal cylinder, revolving at high speed Metal tape flows (flow).