DE3522949A1 - Verfahren zum nachjustieren von infrarot-gasanalysatoren - Google Patents
Verfahren zum nachjustieren von infrarot-gasanalysatorenInfo
- Publication number
- DE3522949A1 DE3522949A1 DE19853522949 DE3522949A DE3522949A1 DE 3522949 A1 DE3522949 A1 DE 3522949A1 DE 19853522949 DE19853522949 DE 19853522949 DE 3522949 A DE3522949 A DE 3522949A DE 3522949 A1 DE3522949 A1 DE 3522949A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- calibration
- gas
- measuring
- cuvettes
- filled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 4
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 30
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000001745 non-dispersive infrared spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/37—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using pneumatic detection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
Im allgemeinen sind Analysengeräte zur Konzentrationsmes
sung, bedingt durch ihren Aufbau, störanfällig. Die hohen
Forderungen, die hinsichtlich der Meßgenauigkeit an diese
Geräte zu stellen sind, machen wiederholte Kontrollen und
Nacheichungen erforderlich. Dies gilt auch für Infrarot-
Betriebsfotometer.
Bei nichtdispersiv arbeitenden Infrarot-Analysengeräten
mit einem Meßstrahlengang, der von dem Vergleichsstrahlen
gang räumlich getrennt ist, werden solche Nacheichungen
mit Hilfe eines Prüfgases durchgeführt. Diese Verfahren
erfordern jedoch einen gewissen Aufwand. Es gibt auch die
Möglichkeit zum Nacheichen bzw. zur Kontrolle, den Meß
strahl beeinflussende Blenden vorzusehen, die je nach
Schwenkstellung den Meßstrahl reduzieren. Dieses Verfah
ren ist jedoch insofern nachteilig, als es keine lineare
Abhängigkeit der Abblendwirkung bzw. der Empfindlichkeit
von der Bewegung der Blende gewährleistet. Solche Verfah
ren können daher allenfalls als Funktionskontrolleinrich
tung angesehen werden.
Das Nacheichen mit Hilfe eines Prüfgases kann von Hand
geschehen. Es ist auch, z.B. durch die DE-OS 15 23 027,
eine automatisch wirkende Vorrichtung zum Prüfen und
Justieren bekannt. Bei dieser Vorrichtung wird dem Ana
lysator Eichgas in bestimmten Dosierungen nach einem vor
gegebenen Programm zugeführt. Der Analysator liefert in
Abhängigkeit von der Konzentration des Eichgases elektri
sche Spannungen, die mit Sollspannungen verglichen wer
den. Ergeben sich hierbei Differenzspannungen, so werden
Motoren in Bewegung gesetzt, die die zwei Spannungswerte
einander anpassen. Auch dieses Verfahren ist sehr auf
wendig und wegen der Mehrzahl von Schnittstellen nachtei
lig.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Nachjustieren
eines Infrarot-Gasanalysators nach dem NDIR-Verfahren,
bei dem zwei räumlich getrennte Küvetten für den Meß- und
den Vergleichsstrahl vorgesehen sind, denen ein Unterbre
cherrad zur gleichphasigen oder gegenphasigen Modulation
von Meß- und Vergleichsstrahl vorgeschaltet ist und be
steht darin, daß die Meßküvette mit einem die Infrarot
strahlen nicht absorbierenden Gas beschickt wird und wäh
rend dieser Beschickungszeit in jeden Strahlengang zu
nächst eine mit einem nicht absorbierenden Gas gefüllte
Eichküvette geschoben wird und zur Festlegung des Null
punktes und danach zur Festlegung der Empfindlichkeit die
nicht absorbierende Küvette in dem Meßstrahlengang durch
eine Küvette ersetzt wird, die mit dem Meßgas oder einem
Gas ähnlicher Absorptionscharakteristik gefüllt ist.
Als nicht absorbierendes Gas kann gereinigte Kohlendioxid-
freie und Wasserdampf-freie Luft verwendet werden.
Soll mit dem Infrarotgerät z.B. CO gemessen werden, so
wird die eine Eichküvette mit CO gefüllt, die anderen
Eichküvetten enthalten als neutrales Gas z.B. Stickstoff.
Eine Einrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens ist in einfacher Weise so aufgebaut, daß zwei
Paare von Eichküvetten in einer Schiene angeordnet sind,
von denen das eine Paar das Nullgas enthält, und das ande
re Paar aus einer Küvette mit Nullgas und einer Küvette
mit Meßgas besteht. Die vier Eichküvetten sitzen in einer
Reihe auf der Schiene, die in Längsrichtung hin und her
bewegt wird. Entweder befindet sich dabei das Paar mit
den das Nullgas enthaltenden Eichküvetten in den zwei
Strahlengängen oder das andere Eichküvettenpaar, das die
mit dem Meßgas gefüllte Eichküvette umfaßt. Das das Null
gas enthaltende Küvettenpaar kann auch in der Meßphase in
den Strahlengängen sein.
Die Schiene mit den Eichküvettenpaaren wird vom Herstel
ler an den Kunden mitgeliefert, der nach einer bestimmten
Anzahl von Betriebsstunden die Nachjustierung in einfa
cher Weise durchführen kann. Die Eichküvetten haben in
Durchlaßrichtung eine Ausdehnung von etwa 3 mm. Sie sind
paarweise in einem solchen Abstand angeordnet, daß bei
der in eine Endstellung gebrachten Schiene das eine Paar
der Eichküvetten sich in beiden Strahlengängen befindet
oder das andere Paar.
Das Analysengerät ist so konstruiert, daß die Schiene
zwischen Meß-/Vergleichsküvetten und den Empfängern ein
geschoben werden kann.
Es kann auch vorteilhaft sein, die Schiene mit den Eich
küvetten zwischen Strahler und Meß-/Vergleichsküvette
gleitend anzuordnen.
Die Eichküvetten haben gleiche geometrische Formen und
gleiche optische Eigenschaften, so daß das Verhältnis
von Meß- und Vergleichsstrahl nicht bzw. nicht nennens
wert gestört wird. Bezüglich der Strahlführung in beiden
Strahlengängen (Reflexionen) bleiben dann die Bedingungen
gleich.
Damit die Schiene mit den Eichküvetten lange Zeit ge
brauchsfähig bleibt, müssen die Eichküvetten sehr gas
dicht sein. Dies wird durch Verlöten der Eichküvetten er
reicht. Man hat in letzter Zeit Verfahren gefunden, wie
die Fenster der Eichküvetten, z.B. aus CaF2, zuverlässig
eingelötet werden können.
Zum Abschalten des die Meßküvette durchströmenden Meß
gases bzw. das Einschalten des Prüfgases kann eine Mag
netventilanordnung vorgesehen sein.
Eine Änderung des atmosphärischen Druckes könnte einen
Einfluß haben auf die der Meßküvette zugeführten Gase.
Eine solche Druckänderung wirkt sich nicht auf das Innere
der mit der Meßkomponente gefüllten Eichküvette aus. Man
kann dem Zustandekommen der Druckunterschiede dadurch
vorbeugen, daß man die mit der Meßkomponente gefüllten
Eichküvette mit einer barometerartigen Druckdose verbin
det, die ein Volumen hat, das größer ist als das Volumen
der Eichküvette, z.B. ist das Volumen der barometerarti
gen Dose 10mal so groß wie das Volumen der Eichküvette.
Eine Änderung des atmosphärischen Druckes wirkt sich auf
den Inhalt der angekoppelten Dose aus und überträgt sich
auf den Inhalt der Eichküvette. Auf diese Weise wird
vermieden, daß ein Unterschied in den Drücken entsteht.
Auf diese Weise wird bei der Nacheichung ein durch den
atmosphärischen Druck verursachter Fehler vermieden.
Im Gegensatz zur Druckänderung kann sich eine Temperatur
änderung auf die Meßgaskomponente in der Eichküvette aus
wirken. Diese Änderung wird durch ein Zusatzvolumen
eines an diese Eichküvette angeschlossenen elastischen
Behälters aufgefangen.
Man kann die barometrische Dose aus einem Material her
stellen, das einen solchen Temperaturkoeffizienten hat,
daß der Gasdichtefehler in der Meßküvette eliminiert
wird, der sich nach den Gasgesetzen ergibt.
Ein Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung wird anhand
der Zeichnung näher erläutert.
Der nach dem NDIR-Verfahren arbeitende Gasanalysator hat
einen Strahler 1 für infrarotes Licht, das durch das Fen
ster 2 in die Meßküvette 3 und durch das Fenster 4 in die
Vergleichsküvette 5 fällt. Die Meßküvette 3 wird von dem
Meßgas durchströmt, wozu der Einlaßstutzen 6 und der Aus
laßstutzen 7 vorgesehen sind. Die Meßküvette 3 ist von
der Vergleichsküvette 5 räumlich getrennt. Der Gasanaly
sator hat somit zwei Strahlengänge.
Die in die Meßküvette 3 und die Vergleichsküvette 5 ein
tretenden Strahlen werden durch das um die Welle 8 rotie
rende Unterbrecherrad 9 gegenphasig moduliert. Der Meß
strahl verläßt die Meßküvette 3 durch das Fenster 10,
der Vergleichsstrahl tritt aus der Vergleichsküvette 5
durch das Fenster 11.
Meßstrahl und Vergleichsstrahl werden von dem optopneu
matischen Empfängar 12 mit den Kammern 13 und 14 aufge
nommen. Die Vorderseite des Empfängers 12 ist mit Hilfe
des infrarotdurchlässigen Fensters 15 abgeschlossen.
Ebenfalls sind die zwei Kammern 13 und 14 durch ein in
frarotdurchlässiges Fenster 16 aus Glas getrennt. Zur Aufnahme
der für die Absorption in der Meßkammer 3 entstehenden
Absorption kennzeichnenden Druckschwankungen in den Emp
fängerkammern 13 und 14 ist der Kondensator 17 vorge
sehen.
Da das Betriebsfotometer auch nach längerer Zeit zuver
lässige Meßwerte liefern muß, hat eine Nachjustierung zu
erfolgen. Dies geschieht mit Hilfe einer Justiervorrich
tung gemäß der Erfindung. Die Justiervorrichtung besteht
im wesentlichen aus der Schiene 18, in der zwei Paare von
Eichküvetten 19/20 und 21/22 angeordnet sind. Ein Paar
21/22 ist mit Inertgas, z.B. Stickstoff, gefüllt. Von dem
anderen Paar ist die Eichküvette 20 ebenfalls mit einem
die Infrarotstrahlen nicht absorbierenden Gas, z.B. Stick
stoff, gefüllt, während die andere Eichküvette 19 dieses
Paares mit der Meßkomponente gefüllt ist. Soll mit Hilfe
des Fotometers CO2 analysiert werden, so ist die Eichkü
vette 19 mit CO2 gefüllt, bzw. einer Komponente, deren
Absorptionslinien ähnlich sind. Die Schiene 18 wird, wäh
rend Prüfgas durch die Meßküvette 3 geführt wird, in Rich
tung des Pfeiles 23 hin und her bewegt. In der gezeichne
ten Endlage befinden sich die zwei mit Inertgas gefüllten
Eichküvetten 21 und 22 in den zwei Strahlengängen. In die
ser Stellung wird der Nullpunkt kontrolliert. Ist die
Schiene 18 in Richtung des Pfeiles 23 in die andere Endla
ge gebracht, befindet sich im Strahlengang der Vergleichs
seite die mit Inertgas gefüllte Eichküvette 20 und im
Strahlengang der Meßseite (Küvette 3) die mit der Meßkom
ponente gefüllte Eichküvette 19. Diese Situation ergibt
die Möglichkeit, den Endpunkt bzw. die Empfindlichkeit
nachzueichen. Die Eichanordnung nach der Erfindung ist
auch insofern vorteilhaft, als gereinigte, CO2-freie und
H2O-freie Luft als Prüfgas verwendet werden kann.
Zur Kompensation des Einflusses durch Druck und Tempera
tur ist an die die Meßkomponente enthaltende Eichküvette
19 die elastische Dose 24 angeschlossen, die ein Zusatz
volumen aufweist, das wesentlich größer ist als das Volu
men der Eichküvette 19. Die Dose 24 ist mit demselben Gas
wie die Eichküvette 19 gefüllt.
In dem dargestellten Ausführungsbeispiel des Betriebsfoto
meters wird Schiene 18 in den Raum zwischan Meß-/Ver
gleichsküvette 3, 5 und den Empfänger 12 eingeschoben.
Es ist auch vorteilhaft, diese Schiene 18 mit den Eich
küvetten 19, 20, 21 und 22 zwischen Meß-/Vergleichsküvet
te 3, 5 und Strahler 1 anzuordnen.
Es besteht auch die Möglichkeit, diese Schiene 18 mit den
Eichküvetten 19, 20, 21 und 22 hinter dem Empfänger 12
anzuordnen. In diesem Falle wird die hintere Wand der
hinteren Empfängerkammer 14 aus einem infrarot-transpa
renten Fenster ausgeführt und die Schiene mit den Eichkü
vetten so ausgebildet, daß die aufgenommenen Strahlen in
den Empfänger 12 zurückgeworfen werden.
Claims (6)
1. Verfahren zum Nachjustieren eines Infrarot-Gasanaly
sators, bei dem räumlich getrennte Küvetten für Meß- und
Vergleichsstrahl vorgesehen sind, denen ein Unterbrecher
rad zur gleichphasigen oder gegenphasigen Modulation von
Meß- und Vergleichsstrahl vorgeschaltet ist, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Meßküvette (3) mit einem die Infra
rotstrahlen nicht absorbierenden Gas beschickt wird und
während dieser Beschickungszeit in jeden Strahlengang (3,
5) zunächst eine mit einem nicht absorbierenden Gas ge
füllte Eichküvette (21, 22) geschoben wird zur Festlegung
des Nullpunktes und danach zur Festlegung der Empfind
lichkeit die nicht absorbierende Eichküvette (21) in dem
Meßstrahlengang (3) durch eine Eichküvette (19) ersetzt
wird, die mit dem Meßgas oder einem Gas ähnlicher Absorp
tionscharakteristik gefüllt ist.
2. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach An
spruch 1, gekennzeichnet durch eine quer zur Strahlen
richtung verschiebbare Schiene (18) mit einem Paar mit
Nullgas gefüllten Eichküvetten (21, 22) und einem Paar
Eichküvetten, von denen die eine (20) mit Nullgas und die
andere (19) mit Meßgas gefüllt ist, wobei in der einen
Endstellung der Schiene (18) das eine Paar der Eichküvet
ten (21, 22) und in der anderen Endstellung der Schiene
(18) das andere Paar der Eichküvetten (19, 20) in den
Strahlengängen (3, 5) liegt.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Eichküvetten (19, 20, 21, 22) die gleiche geo
metrische Form haben.
4. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß die mit der Meßkomponente gefüllte Eich
küvette (19) mit einer barometerartigen Dose (24) ver
bunden ist, deren Volumen ein Mehrfaches des Volumens
der Eichküvette (19) beträgt.
5. Einrichtung nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Schiene (18) mit den Eichküvetten
(19, 20, 21, 22) zwischen Meß-/Vergleichsküvetten (3, 5)
und dem Empfänger (12) angeordnet ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Schiene (18) mit den Eichküvetten
(19, 20, 21, 22) hinter dem Empfänger (12) angeordnet
ist, wozu die hintere Wand der hinteren Kammer (14) aus
für Infrarotstrahlen durchlässigem Material besteht und
die Eichküvetten (19, 20, 21, 22) mit Reflektoren ver
sehen sind, die die aufgenommenen Infrarotstrahlen in
den Empfänger (12) zurückwerfen.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19853522949 DE3522949A1 (de) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | Verfahren zum nachjustieren von infrarot-gasanalysatoren |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19853522949 DE3522949A1 (de) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | Verfahren zum nachjustieren von infrarot-gasanalysatoren |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3522949A1 true DE3522949A1 (de) | 1987-01-08 |
Family
ID=6274307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19853522949 Ceased DE3522949A1 (de) | 1985-06-27 | 1985-06-27 | Verfahren zum nachjustieren von infrarot-gasanalysatoren |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3522949A1 (de) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0344461A3 (en) * | 1988-06-01 | 1990-09-12 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Device for calibrating a non-dispersive infrared photometer |
| DE3932838A1 (de) * | 1989-09-30 | 1991-04-11 | Hartmann & Braun Ag | Abgleichverfahren fuer einen nichtdispersiven infrarot-gasanalysator |
| EP0512238A1 (de) * | 1991-05-10 | 1992-11-11 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Verfahren zur Messung des Gesamtgehaltes an organischem Kohlenstoff und an Stickstoff in Wasser |
| EP0461404A3 (en) * | 1990-06-11 | 1993-01-20 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Method for manufacturing a cuvette for photometrical or spectrometrical measuring devices |
| EP0733897A3 (de) * | 1995-03-22 | 1997-01-08 | Vaisala Oy | Kalibrierverfahren für eine NDIR-Apparatur und Kalibriervorrichtung |
| DE19547787C1 (de) * | 1995-12-20 | 1997-04-17 | Siemens Ag | Zweistrahl-Gasanalysator und Verfahren zu seiner Kalibrierung |
| WO1999009391A3 (de) * | 1997-08-18 | 1999-05-14 | Hartmann & Braun Gmbh & Co Kg | Ndir-fotometer zur mehrkomponentenmessung |
| DE102004062837A1 (de) * | 2004-12-27 | 2006-07-06 | Abb Patent Gmbh | Fotometer-Gasanalysator mit Mitteln zum Verschieben einer Optikeinheit |
| WO2008071415A1 (de) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Abb Ag | Anordnung sowie ein verfahren zur steuerung von trocknungsprozessen für die herstellung von halbleiterbauelementen |
| DE102010056137A1 (de) | 2010-12-23 | 2012-06-28 | Abb Ag | Optische Gasanalysatoreinrichtung mit Mitteln zum Kalibrieren des Frequenzspektrums |
| CN111855606A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-10-30 | 中国计量科学研究院 | 红外光谱麻醉气体浓度检测仪的校准方法 |
| EP3561487B1 (de) * | 2018-04-25 | 2023-01-18 | ABB Schweiz AG | Messvorrichtung zur analyse einer zusammensetzung eines brenngases mit einer vor einem detektor angeordneten filterkammer |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE7701859U1 (de) * | 1900-01-01 | Fuji Electric Co., Ltd., Kawasaki, Kanagawa (Japan) | ||
| DE1523027A1 (de) * | 1964-12-28 | 1969-04-10 | Scholven Chemie Ag | Automatische Pruef- und Justiereinrichtung fuer Messgeraete,insbesondere Analysengeraete |
| DE2033290A1 (en) * | 1970-07-04 | 1972-01-20 | Hartmann & Braun Ag | Self testing analyzer - esp dual beam infra red gas-analyzer |
| DE2826522A1 (de) * | 1977-06-21 | 1979-01-11 | Sereg Soc | Gasanalysator |
| DE3200128A1 (de) * | 1982-01-05 | 1983-07-14 | Georgij Trofimovič Moskva Lebedev | Verfahren zur analyse von gas-luft-gemischen und einrichtung zur durchfuehrung desselben |
| DE3321360A1 (de) * | 1983-06-14 | 1984-12-20 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt | Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator |
-
1985
- 1985-06-27 DE DE19853522949 patent/DE3522949A1/de not_active Ceased
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE7701859U1 (de) * | 1900-01-01 | Fuji Electric Co., Ltd., Kawasaki, Kanagawa (Japan) | ||
| DE1523027A1 (de) * | 1964-12-28 | 1969-04-10 | Scholven Chemie Ag | Automatische Pruef- und Justiereinrichtung fuer Messgeraete,insbesondere Analysengeraete |
| DE2033290A1 (en) * | 1970-07-04 | 1972-01-20 | Hartmann & Braun Ag | Self testing analyzer - esp dual beam infra red gas-analyzer |
| DE2826522A1 (de) * | 1977-06-21 | 1979-01-11 | Sereg Soc | Gasanalysator |
| DE3200128A1 (de) * | 1982-01-05 | 1983-07-14 | Georgij Trofimovič Moskva Lebedev | Verfahren zur analyse von gas-luft-gemischen und einrichtung zur durchfuehrung desselben |
| DE3321360A1 (de) * | 1983-06-14 | 1984-12-20 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt | Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator |
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0344461A3 (en) * | 1988-06-01 | 1990-09-12 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Device for calibrating a non-dispersive infrared photometer |
| US5003175A (en) * | 1988-06-01 | 1991-03-26 | Hartmann & Braun Ag | Calibration of nondispersive infrared photometer |
| DE3932838A1 (de) * | 1989-09-30 | 1991-04-11 | Hartmann & Braun Ag | Abgleichverfahren fuer einen nichtdispersiven infrarot-gasanalysator |
| EP0426982A3 (en) * | 1989-09-30 | 1991-11-13 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Adjustment procedure for a non-dispersive infra-red gas analyser |
| US5077469A (en) * | 1989-09-30 | 1991-12-31 | Hartmann & Braun Ag | Calibrating a nondispersive infrared gas analyzer |
| EP0461404A3 (en) * | 1990-06-11 | 1993-01-20 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Method for manufacturing a cuvette for photometrical or spectrometrical measuring devices |
| EP0512238A1 (de) * | 1991-05-10 | 1992-11-11 | Hartmann & Braun Aktiengesellschaft | Verfahren zur Messung des Gesamtgehaltes an organischem Kohlenstoff und an Stickstoff in Wasser |
| EP0733897A3 (de) * | 1995-03-22 | 1997-01-08 | Vaisala Oy | Kalibrierverfahren für eine NDIR-Apparatur und Kalibriervorrichtung |
| DE19547787C1 (de) * | 1995-12-20 | 1997-04-17 | Siemens Ag | Zweistrahl-Gasanalysator und Verfahren zu seiner Kalibrierung |
| WO1999009391A3 (de) * | 1997-08-18 | 1999-05-14 | Hartmann & Braun Gmbh & Co Kg | Ndir-fotometer zur mehrkomponentenmessung |
| DE102004062837A1 (de) * | 2004-12-27 | 2006-07-06 | Abb Patent Gmbh | Fotometer-Gasanalysator mit Mitteln zum Verschieben einer Optikeinheit |
| WO2008071415A1 (de) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Abb Ag | Anordnung sowie ein verfahren zur steuerung von trocknungsprozessen für die herstellung von halbleiterbauelementen |
| JP2010512526A (ja) * | 2006-12-14 | 2010-04-22 | エービービー アクチエンゲゼルシャフト | 半導体部材を製造するための乾燥工程を制御するための装置および方法 |
| DE102010056137A1 (de) | 2010-12-23 | 2012-06-28 | Abb Ag | Optische Gasanalysatoreinrichtung mit Mitteln zum Kalibrieren des Frequenzspektrums |
| WO2012084233A1 (de) | 2010-12-23 | 2012-06-28 | Abb Ag | Optische gasanalysatoreinrichtung mit mitteln zum kalibrieren des frequenzspektrums |
| DE102010056137B4 (de) * | 2010-12-23 | 2014-03-27 | Abb Ag | Optische Gasanalysatoreinrichtung mit Mitteln zum Kalibrieren des Frequenzspektrums |
| US9448215B2 (en) | 2010-12-23 | 2016-09-20 | Abb Ag | Optical gas analyzer device having means for calibrating the frequency spectrum |
| EP3561487B1 (de) * | 2018-04-25 | 2023-01-18 | ABB Schweiz AG | Messvorrichtung zur analyse einer zusammensetzung eines brenngases mit einer vor einem detektor angeordneten filterkammer |
| US11796456B2 (en) | 2018-04-25 | 2023-10-24 | Abb Schweiz Ag | Measuring device for analyzing the composition of a fuel gas, having a filter chamber arranged upstream of a detector |
| CN111855606A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-10-30 | 中国计量科学研究院 | 红外光谱麻醉气体浓度检测仪的校准方法 |
| CN111855606B (zh) * | 2020-07-15 | 2021-05-18 | 中国计量科学研究院 | 红外光谱麻醉气体浓度检测仪的校准方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3932838C2 (de) | Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator | |
| DE2415049C3 (de) | Spektralphotometer zur Messung des Absoptionsvermögens von chromatographisch getrennten Flüssigkeiten | |
| DE102009025147B3 (de) | Verfahren zum Betrieb eines Spektrometers zur Gasanalyse, sowie Spektrometer selbst | |
| DE3522949A1 (de) | Verfahren zum nachjustieren von infrarot-gasanalysatoren | |
| DE2826522A1 (de) | Gasanalysator | |
| DE3524368C2 (de) | ||
| EP0145877B1 (de) | Fotometer zur kontinuierlichen Analyse eines Mediums (Gas oder Flüssigkeit) | |
| EP0344461B1 (de) | Kalibriereinrichtung für ein nichtdispersives Infrarot-Fotometer | |
| DE1818017C3 (de) | Zweistrahlabsorptionsphotometer | |
| EP0349839B1 (de) | Mehrkomponenten-Photometer | |
| DE3026953A1 (de) | Nichtdispersiver infrarot-analysierer | |
| DE4232371C2 (de) | Analysengerät zur Bestimmung von Gasen oder Flüssigkeiten | |
| DE3030002A1 (de) | Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator | |
| DE3116344C2 (de) | ||
| US6452182B1 (en) | Photometer with non-dispersive infraded absorption spectroscopy (NDIR) for measuring several constituents | |
| EP2726830A1 (de) | Gaschromatograph mit absorption spektrometer und verfahren zur gaschromatographischen analyse eines gasgemischs | |
| DE1598138C3 (de) | Vorrichtung zum Messen der Konzentration von in einem strömenden Gas suspendierten Teilchen, insbesondere des Rußgehaltes der Abgase von Brennkraftmaschinea | |
| EP0087077A2 (de) | Messeinrichtung für die optische Gasanalyse | |
| EP0243375A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur konzentrationsbestimmung. | |
| DE1297362B (de) | Geraet zur Konzentrationsanzeige einer oder mehrerer Komponenten eines Analysengases | |
| DE4112528C2 (de) | Spektralfotometer | |
| DE8518600U1 (de) | Einrichtung zum Nachjustieren eines Infrarot-Gasanalysators | |
| DE19735599A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Messung von Konzentrationen verschiedener Gaskomponenten insbesondere zur Messung von Isotopenverhältnissen in Gasen | |
| DE2803369A1 (de) | Messeinrichtung zur bestimmung des wasserdampfanteils in einem gasgemisch mittels infrarot-absorptions-gasanalyse | |
| DE2753242C2 (de) | Nichtdispersives Infrarot-Gasanalysengerät |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| 8131 | Rejection |