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DE2807995A1 - Electron spectrometer with two helical electrodes - tuned to same transmission speed and used in tandem - Google Patents

Electron spectrometer with two helical electrodes - tuned to same transmission speed and used in tandem

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Publication number
DE2807995A1
DE2807995A1 DE19782807995 DE2807995A DE2807995A1 DE 2807995 A1 DE2807995 A1 DE 2807995A1 DE 19782807995 DE19782807995 DE 19782807995 DE 2807995 A DE2807995 A DE 2807995A DE 2807995 A1 DE2807995 A1 DE 2807995A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
helix
electron spectrometer
spectrometer according
electrodes
tandem arrangement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19782807995
Other languages
German (de)
Inventor
Georg Dipl Phys Dr R Holzapfel
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Individual
Original Assignee
Individual
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Publication date
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Publication of DE2807995A1 publication Critical patent/DE2807995A1/en
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    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/08Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means
    • G21K1/093Deviation, concentration or focusing of the beam by electric or magnetic means by magnetic means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/44Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
    • H01J49/46Static spectrometers
    • H01J49/48Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
    • H01J49/482Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter with cylindrical mirrors

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  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract

The spectrometer has two helical electrodes tuned to the same transmission speed and used in tandem. The deflected beam leaves the tandem at a voltage node after the first helix and is focussed by the external electric field produced by the second helix- of the same phase as the first. Alternatively, the beam may remain inside the tandem, being diverged by the first and converged by the second helix. The electron trap or detector is located at the voltage node between the helices and on their axis. The helices may have the same constant dia. or their diameters may vary in steps.

Description

Zusatzanmeldung Additional registration

Bezeichnung der Erfindung: 'lektronenspektrometer Patentbeschreibung Die Erfindung betrifft ein Elektronenspektrometer unter Verwendung von Ablenkelektroden in Helixform gemäß der Haupterfindung.Title of the invention: Electron spectrometer patent description The invention relates to an electron spectrometer using deflection electrodes in a helix shape according to the main invention.

Im hochfrequenten elektrischen Feld derartiger Elektroden erfolgt eine kegelförmige Aufspreizung des Elektronenstrahls bei Syn,hronismus mit dem Polaritätswechsel benachbarter Windungen der Helix. Zur Pnfnahme des Meßsignals mittels eines Elektronendetektors ist eine Fokussieru.ig des divergenten Strahls zweckmäßig.In the high-frequency electric field of such electrodes takes place a conical spreading of the electron beam in synchronicity with the change of polarity adjacent turns of the helix. For taking the measurement signal by means of an electron detector It is advisable to focus the divergent beam.

In der Haupterfindung wird die Fokussierung u.a. mittels eines elektrostatischen Zylinderspiegels erzielt, welcher hinter der Helix angeordnet und auf die gleiche Transmissionsenergie eingestellt ist. Der vorliegenden Zusatzerfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Fokussierung des divergenten Elektronenstrahls durch die Verwendung von mehreren Helix-Elektroden zu erreichen.In the main invention, the focusing is, among other things, by means of an electrostatic Cylindrical mirror obtained, which is arranged behind the helix and on the same Transmission energy is set. The present additional invention is the Task based on a focusing of the divergent electron beam by the Use of multiple helix electrodes to achieve.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zwei,auf die gleiche Transmissionsgeschwindigkeit abgestimmte Helix-Elektroden in einer Tandemanordnung verwendet werden.This object is achieved in that two, on the same transmission speed, coordinated helix electrodes in a tandem arrangement be used.

In einer Ausführung der Erfindung verläßt der kegelförmig abgelenkte Strahl die Tandemanordnung im Spannungsknoten hinter der ersten Helix und wird im elektrischen Feld im Außenraum der gleichphasig mit der ersten Helix schwingenden zweiten Helix fokussiert. Diese Strahlführung wird als Außenfokussierung bezeichnet.In one embodiment of the invention, the conically deflected leaves Beam the tandem arrangement in the tension node behind the first helix and become in the electric field in the outer space oscillating in phase with the first helix second helix focused. This beam guidance is known as external focusing.

In einer anderen Ausführung der Erfindung verbleibt der Elektronenstrahl innerhalb der Tandemanordnung mit einer kegelförmigen Aufspreizung in der ersten Helix und einer Fokussierung durch das elektrische Feld im Innenraum der gegenphasig zur ersten Helix schwingenden zweiten Helix. Diese Strahlfuhrung wird als Innenfokussierung bezeichnet.In another embodiment of the invention, the electron beam remains within the tandem arrangement with a conical expansion in the first Helix and a focusing by the electric field in the interior of the antiphase to the first helix vibrating second helix. This beam guidance is called internal focusing designated.

Es wird weiter bemerkt, daß mittels der erfindungsgemäßen Tandemanordnung nach dem Prinzip der Haupterfindung auch ein divergenter Strahl erzeugt werden kann. Der Strahl wird im Innen-, respektive Außenraum dann nicht umgelenkt, sondern weiter aufgespreizt, wenn die beiden Helix-Elektroden in Umkehrung der oben beschriebenen Betriebsweise gleichphasig, respektive gegenphasig schwingen. Natürlich divergiert der resonante Elektronenstrahl aber auch nach einer wie oben beschriebenen Fokussierung. Durch einen nachgeschalteten Zylinderspiegel können die kegelförmig divergierenden Elektronenstrahlen fokussiert werden, wie in der Haupterfindung beschrieben.It is further noted that by means of the tandem arrangement according to the invention According to the principle of the main invention, a divergent beam can also be generated. The beam is then not deflected inside or outside, but further spread apart when the two helix electrodes are in reverse of that described above Operating mode oscillate in phase or out of phase. Of course, diverges the resonant electron beam, however, also after focusing as described above. The conically diverging Electron beams are focused as described in the main invention.

Die Resonanz wird in allen beschriebenen Fällen durch Helltastung des Stromes eines zentrisch, nahe dem Fokus angeordneten Elektronendetektors angezeigt.In all the cases described, the resonance is achieved by light-touching of the current of a centric, near the focus arranged electron detector is displayed.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird ein Elektronenauffänger oder -detektor, vorzugsweise hinter einer Lochblende, im Bereich des Spannungsknotens zwischen den Helix-Elektroden der Tandemanordnung in Höhe der Achse angeordnet. Hierdurch wird eine Kontrolle und Ausblendung des nichtresonanten Elektronenstrahls erreicht.In a further embodiment of the invention, an electron collector is used or detector, preferably behind a pinhole, in the area of the voltage node arranged between the helix electrodes of the tandem arrangement at the level of the axis. This enables the non-resonant electron beam to be checked and masked out achieved.

In einer Ausführung der erfindungsgemäßen Tandemanordnung besitzen die beiden Helix-Elektroden gleiche Durchmesser. Hierdurch ergibt sich ein besonders einfacher konstruktiver Aufbau.Have in one embodiment of the tandem arrangement according to the invention the two helix electrodes have the same diameter. This results in a special simple construction.

Zwecks günstiger Strahlführung wird in einer anderen Ausführung der Erfindung eine Tandemanordnung mit gestuftem Durchmesser der beiden Helix-Elektroden verwendet.For the purpose of favorable beam guidance, the Invention of a tandem arrangement with a stepped diameter of the two helix electrodes used.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind die beiden Helix-Elektroden der Tandemanordnung aus einem Stück gefertigt, vorzugsweise mit ringförmig geschlossenen Endteilen und einem ringförmig geschlossenem Mittelteil zwischen den z.B. eingedrehten beiden Helix-Elektroden. Die Ringe definieren durch ihre Kurzschlußeigenschaft die jeweiligen Spannungsknoten des Hochfrequenzfeldes.In a further embodiment of the invention, the two helix electrodes are the tandem arrangement made in one piece, preferably with a closed ring End parts and a ring-shaped closed middle part between the e.g. two helix electrodes. The rings define the by their short-circuit properties respective voltage nodes of the high-frequency field.

In einer weiteren Ausbildung der Erfindung nimmt das ringförmige Mittelteil der Tandemanordnung die Halterung und gegebenenfalls die elektrischen Durchführungen für den oben genannten Elektronendetektor oder -auffänger auf.In a further embodiment of the invention, the annular central part takes the tandem arrangement, the bracket and, if applicable, the electrical feedthroughs for the electron detector or collector mentioned above.

Für die oben beschriebene, erfindungsgemäße Ablenkung des resonanten Elektronenstrahls im Außenraum der Tandemanordnung ist das ringförmige Mittelteil mit einem Ringspalt versehen.For the above-described, inventive deflection of the resonant The ring-shaped central part is the electron beam in the outer space of the tandem arrangement provided with an annular gap.

Zwecks optimaler Fokussierung werden die beiden Helix-Elektroden in der Tandemanordnung erfindungsgemäß mit unabhängig regelbaren Hochfrequenzspannungen, jedoch phasengerecht hinsichtlich der Transmission resonanter Elektronen, gespeist.For optimal focusing, the two helix electrodes are placed in the tandem arrangement according to the invention with independently controllable high-frequency voltages, but in phase with regard to the transmission of resonant electrons, fed.

Insbesondere für die beschriebene Innenfokussierung können die beiden Helix-Elektroden in einer anderen Ausführung der Erfindung jedoch auch gegenphasig frei schwingen, so daß nur eine Spannungszuführung, wahlweise an der vorderen oder hinteren Helix, notwendig ist.In particular for the internal focusing described, the two In another embodiment of the invention, however, helix electrodes are also in phase opposition swing freely, so that only one voltage supply, optionally on the front or posterior helix, is necessary.

Die Tandemanordnung der Helix-Elektroden wird insbesondere bei Anwendung der beschriebenen Außenfokussierung in einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung koachsial von einer Zylinderelektrode mit einstellbarer Gleichspannung umschlossen. Hierdurch ist eine weitere Einstellmöglichkeit für die Fokussierung gegeben.The tandem arrangement of the helix electrodes is particularly useful when using the described external focusing in a further embodiment of the invention Coaxially enclosed by a cylinder electrode with adjustable DC voltage. This provides a further setting option for the focusing.

Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung mit je einer Tandemanordnung für Außen-bzw. Innenfokussierung sind in den Zeichnungen dargestellt. Wie im unteren Teil der Zeichnungen gezeigt, schwingen die Helix-Elektroden im ersten Fall gleichphasip, im zweiten Fall gegenphasig. Die resonanten Elektronen unterliegen nacheinander zwei pulsierenden Gleichfeldern, deren Stärke durch die Spannungsdiff-erenz (Abstand zwischen voll und punktiert gezeichnetem Kurventeil) gegeben ist.Two embodiments of the invention, each with a tandem arrangement for outside or. Inner focusing are shown in the drawings. As in the lower one Part of the drawings shown, the helix electrodes oscillate in phase in the first case, in the second case out of phase. The resonant electrons succumb to one another two pulsating constant fields, the strength of which is determined by the voltage difference (distance between full and dotted curve part) is given.

In beiden Fällen tritt der Elektronenstrahl achsial durch den vorderen, feldfreien Ringteil 1 in die vordere Helix 2 der Tandemanordnung ein, wo er im Resonanzfall kegelförmigaufgespreizt wird. In Figur 1 tritt der Strahl durch einen Ringspalt im mittleren, feldfreien Ringteil 3 in den Außenraum der hinteren Helix 4, der durch den Zylinder 8 begrenzt wird, ein und verläßt die Tandemanordnung im feldfreien Außenraum des hinteren Ringteils 5 mit einer Fokussierung auf den Detektor 6. In der Figur 2 tritt der Strahl hingegen in den Innenraum der hinteren Helix 4 ein und verläßt die Tandemanordnung im feldfreien Innenraum des hinteren Ringteils 5 ebenfalls mit einer Fokussierung auf den Detektor 6. In beiden Fällen wird der nichtresonante Strahl durch den zentrisch innerhalb des mittleren Ringteils 3 angeordneten Elektronenauffänger oder -detektor 7 ausgeblendet.In both cases the electron beam passes axially through the front, field-free ring part 1 in the front helix 2 of the tandem arrangement, where it is in the case of resonance is spread conically. In Figure 1, the jet passes through an annular gap in the middle, field-free ring part 3 in the outer space of the rear helix 4, which passes through the cylinder 8 is limited, and leaves the tandem arrangement in the field-free Outer space of the rear ring part 5 with a focus on the detector 6. In In contrast, in FIG. 2 the beam enters the interior of the rear helix 4 and leaves the tandem arrangement in the field-free interior of the rear ring part 5 also with a focus on the detector 6. In both cases the non-resonant Beam through the electron collector arranged centrally within the middle ring part 3 or detector 7 hidden.

Die Erfindung ist nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt. Zum Beispiel können auch mehr als zwei Helix-Elektroden mit wechselnder Strahlführung, wie oben beschrieben, hintereinander angeordnet werden. Insbesondere ist auf diese Weise auch ein Strahlaustritt in Achsrichtung und ein günstiger Betrieb als Elektronen-Monochromator möglich, gegebenenfalls unter Verwendung zusätzlicher, bekannter El ektronenl i nsen.The invention is not restricted to these exemplary embodiments. For example, more than two helix electrodes with alternating beam guidance, as described above, can be arranged one behind the other. In particular, is on this Way also a beam exit in the axial direction and a favorable operation as an electron monochromator possible, if necessary using additional, known El ektronenl i nsen.

Claims (12)

Patentansprüche 1. Elektronenspektrometer mit Ablenkelektroden gemäß der Haupterfindung, dadurch gekennzeichnet, daß zwei, auf die gleiche Transmissionsgeschwindigkeit abgestimmte Helix-Elektroden in einer Tandemanordnung verwendet werden.Claims 1. Electron spectrometer with deflection electrodes according to the main invention, characterized in that two, on the same transmission speed Matched helix electrodes can be used in a tandem arrangement. 2. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.), dadurch gekennzeichnet, daß der kegelförmig abgelenkte Strahl die Tandemanordnung im Spannungsknoten hinter der ersten Helix verläßt und im elektrischen Feld im Außenraum der gleichphasig mit der ersten Helix schwingenden zweiten Helix fokussiert wird.2. Electron spectrometer according to claim 1.), characterized in that that the conically deflected beam behind the tandem arrangement in the tension node the first helix leaves and is in phase in the external electric field with the first helix vibrating second helix is focused. 3. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.), dadurch gekennzeichnet, daß der Strahl innerhalb der Tandemanordnung verbleibt, mit einer kegelförmigen Aufspreizung in der ersten Helix und einer Fokussierung durch das elektrische Feld im Innenraum der gegenphasig zur ersten Helix schwingenden zweiten Helix.3. Electron spectrometer according to claim 1.), characterized in that that the beam remains within the tandem arrangement, with a conical one Spreading in the first helix and focusing by the electric field in the interior of the second helix oscillating in phase opposition to the first helix. 4. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 2.) 3.), gekennzeichnet durch Anordnung eines Elektronenauffängers oder -detektors, vorzugsweise hinter einer Lochblende, im Bereich des Spannungsknotens zwischen den Helix Elektroden der Tandemanordnung in Höhe der Achse.4. Electron spectrometer according to claim 1.) 2.) 3.), characterized by placing an electron collector or detector, preferably behind a perforated diaphragm, in the area of the voltage node between the helix electrodes the tandem arrangement at the height of the axis. 5. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 2.) 3.) 4.), gekennzeichnet durch Helix-Elektroden mit gleichem Durchmesser.5. Electron spectrometer according to claim 1.) 2.) 3.) 4.), characterized by means of helix electrodes with the same diameter. 6. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 2.) 3.) 4.) , gekennzeichnet durch eine Tandemanordnung mit gestuftem Durchmesser der beiden Helix Elektroden.6. Electron spectrometer according to claim 1.) 2.) 3.) 4.), characterized by a tandem arrangement with a stepped diameter of the two helix electrodes. 7. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 2.) 3.) 4.) 5.) 6.), dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Helix-Elektroden der Tandemanordnung aus einem StUck gefertigt sind, vorzugsweise mit ringförmig geschlossenen Endteilen und einem ringförmig geschlossenen Mittelteil.7. Electron spectrometer according to claim 1.) 2.) 3.) 4.) 5.) 6.), thereby characterized in that the two helix electrodes of the tandem arrangement are made from one piece are made, preferably with ring-shaped closed end parts and one ring-shaped closed middle part. 8. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 2.) 3.) 4.) 5.) 6.) 7.), dadurch gekennzeichnet, daß das ringförmige Mittelteil die Halterung und elektrischenDurchführungen eines Elektronendetektors oder -auffängers aufnimmt.8. Electron spectrometer according to claim 1.) 2.) 3.) 4.) 5.) 6.) 7.), characterized in that the central annular part holds the support and electrical feedthroughs an electron detector or collector. 9. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 2.) 4.) 5.) 6.) 7.) 8.), dadurch gekennzeichnet, daß das ringförmige Mittelteil mit einem Ringspalt versehen ist.9. Electron spectrometer according to claim 1.) 2.) 4.) 5.) 6.) 7.) 8.), characterized in that the annular central part is provided with an annular gap is. 10. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 2.) 3.) 4.) 5.) 6.) 7.) 8.) 9.), dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Helix-Elektroden mit unabhängig regelbaren Hochfrequenzspannungen gespeist werden.10. Electron spectrometer according to claim 1.) 2.) 3.) 4.) 5.) 6.) 7.) 8.) 9.), characterized in that the two helix electrodes with independently controllable high-frequency voltages are fed. 11. -Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 3.) 4.) 5.) 6.) 7.) 8.), dadurch gekennzeichnet, daß die Helix-Elektroden frei schwingen.11. Electron spectrometer according to claim 1.) 3.) 4.) 5.) 6.) 7.) 8.), characterized in that the helix electrodes vibrate freely. 12. Elektronenspektrometer nach Anspruch 1.) 2.) 4.) 5.) 7.) 8.) 9.) 10.), dadurch gekennzeichnet, daß die Tandemanordnung der Helix-Elektroden von einer Zylinderelektrode mit einstellbarer Gleichspannung umschlossen wird.12. Electron spectrometer according to claim 1.) 2.) 4.) 5.) 7.) 8.) 9.) 10.), characterized in that the tandem arrangement of the helix electrodes from one Cylinder electrode is enclosed with adjustable DC voltage.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1946352A4 (en) * 2005-11-01 2010-10-13 Univ Colorado MULTICHANNEL ENERGY ANALYZER FOR CHARGED PARTICLES

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1946352A4 (en) * 2005-11-01 2010-10-13 Univ Colorado MULTICHANNEL ENERGY ANALYZER FOR CHARGED PARTICLES

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