DE2717033C2

DE2717033C2 - Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung

Info

Publication number: DE2717033C2
Application number: DE2717033A
Authority: DE
Inventors: Winfried Ing.(grad.) 6331 Werdorf Kraft; Herbert 6330 Wetzlar Leiter; Günter 6301 Biebertal Reinheimer
Original assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Current assignee: Leica Microsystems Holdings GmbH
Priority date: 1977-04-18
Filing date: 1977-04-18
Publication date: 1986-01-30
Also published as: FR2388289B1; CH636207A5; JPS53129631A; FR2388289A1; JPH0139082B2; GB1598659A; US4174159A; DE2717033A1

Description

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des in der Blendenöffnung erscheinenden Objektdetails schaltetem Kamera-Verschluß 8 trägt Ober dem Oku-

vorgesehen sind und daß diese Vorrichtung und der larteil 5 ist an den Tubus 6 eine Meßeinrichtung 9 ange-

fotoelektrische Empfänger wechselweise in den Strah- setzt, die über ein eigenes Beobachtungsokular 10 ver-

Iengang bringbar sind. fügt Dabei ist es zweckmäßig, daß zur Verstellung des 5 Im Inneren des Tubus 6 ist ein Strahlenteiler 11 ange- Umlenkspiegels ein manuell betätigbares mechanisches ordnet, der einen Teil der vom Objektiv 3 kommenden Getriebe vorgesehen ist Es wird jedoch insbesondere Strahlen in die Meßeinrichtung 9 ablenkt Die funktions-

vorgeschlagen, dies mittels elektrischer Verstellmittel wesentlichen Teile dieser Meßeinrichtung sind am be-

(Motore) zu bewirken, die ihrerseits von einem Mikro- sten aus F i g. 2 erkennbar. Sie bestehen aus einem kar-

prozessor insteuerbar sein könnea io dänisch gelagerten Umlenkspiegel 12, einem Meßfeld-

Damit in der Blendenöffnung für die Detailmessung blenden-Schieber 13, einem fotoelektrischen Empfän-

auch mit Sicherheit das bildwichtige Bilddetail eingefan- ger 14, einem Reflexspiegel 15 und dem bereits erwähn-

gen wird, ist es natürlich erforderlich, den Einstellvor- ten Beobachtungsokular 10. Hinzu kommt noch ein Lin-

gang zu beobachten. Es wird daher vorgeschlagen, der sensystem 16, das ein Bild des Objektes in der Ebene der

Meßfeldblende einen Reflexspiegel nachzuordnen, über 15 Meßfeldblende 13 entwirft

den die Blendenöffnung beobachtbar ist wenn der foto- Der Meßfeldblenden-Schieber 13 ist als Schieber auselektrische Empfänger aus dem Strahlengang entfernt gebildet der eine kleinere Blende 13a für die Detailmesist sung und eine größere Blende 136 für eine Integralmes-

In einer bevorzugten Ausführungsfon» können der sung besitzt Der Meßfeldblenden-Schieber ist in Rich-Refiexspiegei und der Fotoempfänger baulich miteinän- 20 tung des Doppelpfeiles A in der Weise verschiebbar, der auf einer besonderen Schiebeeinheit dargestellt ver- daß entweder die Blende 13a oder Blende 136 in der bunden sein, daß je nach Schieberstellung entweder der optischen Achse 17 steht Desgleichen sind der Foto-Reflexspiegel oder der Fotoempfänger im Strahlengang empfänger 14 und der Reflexspiegel 15 auf einem gesteht Der Schieber hat dann die beiden fixierten Stel- meinsamen Schieber 18 zu einer Baueinheit zusammenhingen »Beobachten« und »Messen«, zwischen denen er 25 gefaßt. Dieser Schieber 18 ist ebenfalls mit zwei öffnunverschiebbar ist gen 18a und 186 versehen und kann in Richtung des

Insbesondere wenn ein Mikroprozessor zur Steue- Doppelpfeiles β verschoben werden. Dabei gelangt ent-

rung der elektrischen Verstellmittel des kardanisch auf- weder die öffnung 18a oder die öffnung 186 in die

gehängten Spiegels verwendet wird, ist es aber auch optische Achse. Durch die öffnung 18a fallen die Strah-

möglich, für die Sichtbarmachung des in der Blendenöff- 30 len von der jeweils eingeschalteten Blende des Meßfeld-

nung erscheinenden Objektdetails einen Lichtzeiger zu blenden-Schiebers 13 auf den Reflexspiegel 15 und von

benutzen, der als heller Punkt über das ohnehin vom dort in das Okular 10. Ist dagegen der Schieber in seine

Benutzer beobachtete Bildfeld wandert Die Bewegung andere Endstellung verschoben, so fallen diese Strahlen

des kardanisch aufgehängten Spiegels und die Bewe- durch die öffnung 186 auf den dahinter angeordneten

gung des hellen Punktes über das Bildfeld müssen dann 35 Fotoempfänger 14.

lediglich vom Mikroprozessor proportional gesteuert Die Wirkungsweise der Einrichtung ist folgende:

werdea Wenn eine Integralmessung beabsichtigt ist so ist eine

Darüber hinaus ist es auch möglich, daß zusätzlich zu Beobachtung in der Meßeinrichtung unnötig, da ohne-

der Blende für die Detailmessung in bekannter Weise hin die Helligkeit des ganzen Objektfeldes ausgemessen

noch eine größere Blende für die Integralmessung auf 40 wird. Es ist dann lediglich erforderlich, den Meßfeld-

einem Meßfeldblenden-Schieber angeordnet ist, der blenden-Schieber 13 so zu verschieben, daß die große

zwischen zwei Stellungen verschiebbar ist, in welchen Blende 136 im Strahlengang steht, und den Schieber 18

einmal die die Blende für Detailmessung und zum ande- so zu verschieben, daß der Fotoempfänger 14 ebenfalls

ren die Blende für Integralmessung sich im Strahlen- im Strahlengang 17 steht und daß der Umlenkspiegel 12

gang befindet 45 in einer Mittenstellung steht Die Beobachtung des Ob-

Um die Blende für die Detailmessung der Form des jektes erfolgt dann lediglich durch das Okularteil 5. jeweiligen bildwichtigen Details angleichen zu können, 1st jedoch für die Belichtungszeit die Helligkeit eines wird ferner vorgeschlagen, daß die Blende für die De- bestimmten Objektdetails maßgebend, so muß eine Detailmessung nach Form und Größe variabel ist und daß tailmessung vorgenommen werden. Dazu ist zunächst Mittel zur Konstanthaltung des Einflusses der Blenden- 50 der Schieber 18 so zu verschieben, daß die öffnung 18a größe auf die Belichtungsmessung vorgesehen sind. und der Reflexspiegel 15 im Strahlengang stehen. Au-Diese Blende bzw. öffnung ist daher nicht immer von ßerdem ist der Meßfeldblenden-Schieber 13 in die Stelrunder Form, sondern kann auch zu einer rechteckigen, lung zu bringen, in der die kleine Blende 13a in der ovalen, oblongen oder zu einer sonstigen geeigneten optischen Achse 17 steht. Diese kleine Blende 13a kann Form und Größe verstellt werden. 55 in ihrer Form und Größe veränderbar und an das ausge-

In der Zeichnung ist die Erfindung in einem Ausfüh- wählte Bilddetail anpaßbar sein,

rungsbeispiel dargestellt Es zeigt Während bei den Meßmethoden nach dem Stand der

F i g. 1 schematisch ein Mikroskop mit der erfunde- Technik entweder die Blende ortsfest bleibt und das

nen Einrichtung in Ansicht, Objekt so lange verschoben wird, bis das gewünschte

F i g. 2 eine perspektivische Darstellung der erfunde- ω Objektdetail in der Blendenöffnung erscheint, oder das

nen Einrichtung im Detail. Objekt insoweit ortsfest bleibt und die Blende mit ihrer

In F i g. 1 ist ein Mikroskopstativ 1 dargestellt, das in öffnung zu dem bildwichtigen Obiektdetail hin verscho-

bekannter Weise im wesentlichen über einen Tubus 2 ben wird, bleiben in der erfundenen Einrichtung sowohl

mit Objektiv 3 und einen Tisch 4 verfügt Das Mikro- das Objekt als auch die Meßfeldblende ortsfest. Es wird

skopstativ 1 hat einen waagerechten Trägerteil ta, an 65 lediglich mittels des kardanisch aufgehängten Spiegels

dem auf der Beobachterseite ein schräger Okularteil 5 das Bild des Objektes verschoben, und zwar in der Wei-

angesetzt ist. Über dem Trägerteil erhebt sich ein weite- se, daß das Bild des bildwichtigen Objektdetails durch

rer Tubus 6, der eine Aufsatzkamera 7 mit zwischenge- die für die Detailmessung bestimmte öffnung der Meß-

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feldblende für den fotoelektrischen Empfänger sichtbar wird.

Dieser Einstellvorgang, nämlich das Kippen des Umlenkspiegels 12 und das Führen des Objektes über die Meßfeldblende, bis das gewünschte Objektdetail in der 5 Blende 13a erscheint, ist durch das Okular 10 über den Reflexspiegel 15 beobachtbar.

Als Handhabe für die Kippung des Umlenkspiegels 12 ist in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel eine am Spiegel befestigte Stange mit Kugelknopf 12a darge- 10 stellt Stange und Kugelknopf stehen aber nur sinnbildlich für jedes beliebige mechanische Getriebe, das geeignet ist, die Aufgabe, d. h. die kontrollierte Kippung Bj des Spiegels, zu bewirken. W

Wie bereits ausgeführt, können für die Kippung des 15 1 Spiegels aber auch elektrische Verstellmittel, die z. B. I

mittels eines Mikroprozessors ansteuerbar sein können, eingesetzt werden. Mit diesem Mikroprozessor kann auch ein Lichtzeiger gesteuert werden, der im Gesichtsfeld Sa des Okularteils 5 jeweils das Detail anzeigt, das 20 bei der gerade erreichten Stellung des Umlenkspiegels 12 in die Öffnung 13a abgebildet wird.

Diese Verstell- und Beobachtungsmechanismen gehören nicht zum eigentlichen Erfindungsgedanken, der 0 allein darin besteht, sowohl das Objekt als auch die 25 ί Meßfeldblende stationär zu halten und statt dessen das ;. Bild des Objektes über der Meßfeldblende zu verschie- f; ben. $:

Nachdem durch Beobachtung festgestellt ist, daß das I^

bildwichtige Objektdetail durch die Blende 13a sichtbar 30 ^

ist, ist dann der Schieber 18 so zu verschieben, daß nun- ;||₍

mehr der Fotoempfänger 14 in der optischen Achse 17 |i

steht Danach kann die Belichtungsmessung durchge- Xm

führt werden, und die auf diese Weise ermittelte Ver- |f

schlußzeit kann am Verschluß 8 eingestellt werden. Na- 35 f;'

türlich kann die vom Fotoempfänger gelieferte Größe ij

auch direkt zur automatischen Steuerung des Ver- £f

Schlusses 8 benutzt werden. :;

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Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 40 &

S 45 ;ϊξ

Claims

ι 1 1 2 größe auf die Belichtungsmessung vorgesehen Patentansprüche: sind.

1. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung für

Aufsatzkameras an Mikroskopen, bei denen aus dem s
Aufnahmestrahlengang mittels eines Strahlenteilers

ein Teilstrahlenbündel ausgespiegelt wird, das ein Die Erfindung betrifft eine mikrofotografische Licht-Bild des Objektes in einer Bildebene entwirft, in der meßeinrichtung für Aufsatzkameras an Mikroskopen, eine mit einer öffnung für Detailmessung versehene bei denen aus dem Aufnahmestrahlengang mittels eines Meßfeldblende angeordnet ist, der ein einschiebba- io Strahlenteilers ein Teilstrahlenbündel ausgespiegelt rer fotoelektrischer Empfänger in Lichtrichtung wird, das ein Bild des Objektes in einer Bildebene entnachgeordnet ist, dadurch gekennzeich- wirft, in der eine mit einer öffnung für Detailmessung net, daß zwischen dem Strahlenteiler (11) und der versehene Meßfeldblende angeordnet ist, der ein ein-Meßfeldblende (13) ein kardanisch aufgehängter schiebbarer fotoelektrischer Empfänger in Lichtrich-Umlenkspiegel (12) angeordnet ist, daß sowohl Mit- 15 tung nachgeordnet ist, wie sie aus der DE-AS 18 14 493 tel zum Verstellen des Umlenkspiegels (12) als auch bekannt ist

eine Vorrichtung (15,18a, 18) zur Beobachtung des Diese Einrichtung wird zur Messung der Objekthel-

in der Blendenöffnung erscheinender. Objektdetails ligkeit und damit zur Bestimmung einer Belichtungszeit

vorgesehen sind und daß diese Vorrichtung und der in mikrofotografischen Geräten verwendet

fotoelektrische Empfänger (iSb) wechselweise in 20 Eine Belichtungsmessung kann bei bekannten Ein-

den Strahlengang (17) bringbar sind. richtungen mit mehreren Methoden durchgeführt wer-

2. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung nach den. Zum Beispiel kann mit Hilfe einer Zwischenlinse Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß zur Ver- die Austrittspupille des Objektivs über einen Strahlenstellung des Umlenkspiegels (12) ein manuell betä- teiler in eine Hilfsebene abgebildet werden, in der ein tigbares mechanisches Getriebe (i2a) vorgesehen 25 fotoelektrischer Empfänger angeordnet ist dessen der ist Objekthelligkeit entsprechendes Ausgangssignal einem

3. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung nach Anzeigegerät oder auch, zwecks automatischer Steue-Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß zur Ver- rung, direkt der Verschlußsteuerung zugeführt wird. Es stellung des Umlenkspiegels (12) elektrisch arbeiten- kann aber auch das Objekt selbst über einen Strahlende Verstellmittel vorgesehen sind. 30 teiler in eine Bildebene abgebildet werden, in der eben-

4. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung nach falls ein fotoelektrischer Empfänger angeordnet ist.
Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet daß die elek- Insbesondere im letzteren Fall kann die Anordnung trischen Verstellmittel mivtels eines Mikroprozes- auch derart getroffen sein, daß zwischen einer Messung sors angesteuert werden. des gesamten Objektbildes (Integralmessung) und einer

5. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung nach 35 Messung nur eines Bildteiles (Detailmessung) durch Einden Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, führen unterschiedlicher Blenden umgeschaltet werden daß die Vorrichtung zur Beobachtung des in der kann. Da das bildwichtige Detail aber nur in den selten-Blendenöffnung erscheinenden Objektdetails einen sten Fällen in der Mitte des Objektes bzw. dessen Bildes der Meßfeldblende nachgeordneten Reflexspiegel liegt, ist bereits vorgeschlagen worden, die Blende, die (15) aufweist, über den die Blende (13a,/beobachtbar 40 zur Lokalisierung des Bilddetails dient, ortsvariabel zu ist. machen, so daß ihre kleine öffnung praktisch auf jede

6. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung nach Stelle des Bildes geschoben werden kann, mit dem ErAnspruch 5, dadurch gekennzeichnet daß der Re- gebnis, daß dann eben nur Licht von diesem Detail zum flexspiegel (15) und der fotoelektrische Empfänger Fotoempfänger gelangt, während der Rest des Objektes (14) auf einem gemeinsamen Schieber (18) mit diesen 45 bzw. dessen Bildes abgeblendet bleibt Statt dessen zugeordneten Blendenöffnungen (18a, 18i>) angeord- könnte man natürlich auch die Blende fes ■ anordnen und net sind. dafür das Objekt so lange verschieben, bis das ge-

7. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung nach wünschte Detail in der Blendenöffnung erscheint. Dies Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein von ist in einer älteren Ausführungsform auch bereits bedem Mikroprozessor proportional mit dem Um- 50 kannt, ist aber gegenüber einer ortsvariablen Meßfeldlenkspiegel (12) gesteuerter Lichtzeiger vorgesehen blende umständlich und damit nachteilig.

ist, der in dem visuell beobachteten Objektbild (5a^ Aber auch die Anordnung einer ortsvariablen Meßeinen Punkt markiert. feldblende hat insofern gewisse Nachteile, als für die

8. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung nach Verschiebemöglichkeit der Blende ein verhältnismäßig den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, 55 großer Raum vorgesehen sein muß und der Aufwand daß zusätzlich zu der Blende für die Detailmessung zur Verschiebung der Blende optisch und mechanisch (13a,) in bekannter Weise noch eine größere Blende sehr groß ist.

(i3b) für die Integralmessung auf einem Meßfeld- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine HeI-

blenden-Schieber (13) angeordnet ist, der zwischen ligkeitsmessung von auswählbaren Teilen des mikro-

zwei Stellungen verschiebbar ist, in welchen einmal 60 skopischen Bildes ohne Verschieben des Objektes zu

die Blende für Detailmessung (13a^ und zum anderen ermöglichen und dabei den Platzbedarf bzw. den op-

die Blende für Integralmessung (136,1 sich im Strah- tisch-mechanischen Aufwand im Blendenraum der vor-

lengang befindet. geschlagenen Einrichtung gering zu halten.

9. Mikrofotografische Lichtmeßeinrichtung nach Gemäß der Erfindung ist diese Aufgabe dadurch geden Ansprüchen 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, 65 löst, daß zwischen dem Strahlenteiler und der Meßfelddaß die Blende für die Detailmessung (13a,/ nach blende ein kardanisch aufgehängter Umlenkspiegel anForm und Größe variabel ist und daß Mittel geordnet ist, daß sowohl Mittel zum Verstellen des Umzur Konstanthaltung des Einflusses der Blenden- lenkspiegels als auch eine Vorrichtung zur Beobachtung