DE20107204U1 - Vorrichtung zum Herauslösen einer Glasscheibe aus einem Flachglas-Werkstück - Google Patents

Description

gl548

24. April 2001

wi/per

G:\DBFUL\SGWWPT\ALL1016

Schott Glas

Hattenbergstraße 10
55122 Mainz

Vorrichtung zum Herauslösen einer Glasscheibe
aus einem Flachglas-Werkstück

Vorrichtung zum Herauslösen einer Glasscheibe aus einem Flachglas-Werkstück

Beschreibung:

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Herauslösen einer Glasscheibe aus einem Flachglas-Werkstück, das entlang der Umfangslinie der Glasscheibe zumindest bis in einer vorgegebenen Tiefe einen Riß aufweist, mit mindestens einer Heizeinrichtung zum Erzeugen einer Temperaturdifferenz zwischen den Bereichen diesseits und jenseits der Umfangslinie der Glasscheibe.

Klassische Trennverfahren für Flachglas basieren darauf, mittels eines Diamanten oder eines Schneidrädchens mechanisch zunächst eine Ritzspur im Glas zu generieren, um das Glas anschließend durch eine äußere mechanische Kraft entlang der so erzeugten Schwachstelle zu brechen (Ritz-Brech-Methode). Nachteilig ist bei diesem Verfahren, daß durch die Ritzspur Partikel (Splitter) aus der Oberfläche gelöst werden, die sich auf dem Glas ablagern können und dort beispielsweise zu Kratzern führen können. Ebenfalls können sogenannte Ausmuschelungen an der Schnittkante entstehen, die zu einem unebenen Glasrand fuhren. Weiterhin führen die beim Ritzen entstehenden Mikrorisse in der Schnittkante zu einer verringerten mechanischen Beanspruchbarkeit, d. h. zu einer erhöhten Bruchgefahr.

Diese klassischen Trennverfahren eignen sich daher nicht für Anwendungen, bei denen es auf hochpräzise Schnitte mit glatten Kanten ankommt, bzw. auch nicht für Schnitte mit einer beliebig vorgegebenen Kontur.

Derartige Schnitte nennt man auch Freiformschnitte oder Konturschnitte. Sie sind beispielsweise notwendig beim Schneiden von Kraftfahrzeug-Verglasungen, für Scheiben und Rückspiegel beim Einbringen größerer Bohrungen in flachen Glasscheiben, sowie bei der Herstellung von Rundscheiben mit konzentrischem Innenloch, wie sie beispielsweise bei der Herstellung von Glassubstraten für optische oder magnetische Datenspeicher benutzt werden. Sowohl an die Genauigkeit der Abmessungen dieser kreisringförmigen Scheiben als auch an die Qualität ihrer Oberflächen, aber auch ihrer Kanten, werden sehr hohe Anforderungen gestellt. So sind beispielsweise schon bei Rohlingen nur Ausbrüche (Ausmuschelungen) an den Kanten von weniger als 0,3 mm bei einem üblichen Kantenaufmaß von 0,3 bis 0,6 mm akzeptiert.

Ein Ansatz, sowohl Splitter als auch Ausmuschelungen und Mikrorisse zu vermeiden, besteht im Trennen von Glas auf der Basis thermisch generierter mechanischer Spannung. Hierbei wird der Strahl einer Wärmequelle, der auf das Glas gerichtet ist, mit fester Geschwindigkeit relativ zu dem Glas bewegt und so eine derart hohe thermomechanische Spannung erzeugt, daß das Glas Risse bildet. Diese thermomechanische Spannung wird durch einem dem Wärmestrahl nachlaufenden Kühlspot noch verstärkt. Der notwendigen Eigenschaft der Wärmequelle, die thermische Energie lokal, d. h. mit einer Genauigkeit besser einen Millimeter, was den typischen Schnittgenauigkeiten entspricht, positionieren zu können, genügen Infrarotstrahler, spezielle Gasbrenner und insbesondere Laser. Laser haben sich wegen ihrer guten Fokussierbarkeit, guten Steuerbarkeit der Leistung sowie der Möglichkeit der Strahlformung und damit der Intensitätsverteilung auf Glas bewährt und durchgesetzt. Dabei ist es sowohl möglich, das Glas durch den Laserstrahl mit Startritz zunächst zu ritzen, um es anschließend mechanisch zu brechen (Ritzen-Brechen-Methode), als auch das Glas direkt mit dem Strahl in Verbindung mit einem mechanisch aufgebrachten Startriß zu durchtrennen, d.h. zu schneiden.

Dieses Laserstrahl-Trennverfahren, das durch eine lokale Erwärmung durch den fokussierten Laserstrahl in Verbindung mit einer Kühlung von außen eine thermomechanische Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffes induziert, ist durch mehrere Schriften bekannt geworden, beispielsweise durch die EP 0 872 303 A 2, die DE 693 04 194 T 2 und die DE 43 05 107 C 2.

Diese bekannten Laserstrahl-Trennverfahren unterscheiden sich insbesondere durch die Konfiguration des Brennfleckes. Dabei ist es auch bekannt geworden, zunächst in einem 1. Schritt mittels des Laserstrahles einen Ritz bis zu einer vorgegebenen Tiefe in das Werkstück zu treiben, der im zweiten Schritt mittels des Laserstrahles zur vollständigen Trennung durch das Werkstück hindurchgetrieben wird.

Durch die DE 198 30 237 Al gehört es auch zum Stand der Technik, einen punktförmigen Brennfleck mit einer dazu konzentrischen Kühlzone zu erzeugen.

Durch die älteren Patentanmeldungen 199 59 921.1 und 199 63 939.6 gehören auch spezielle linienförmige Schneidflecke mit Intensitätsmaxima an ihren Enden sowie gekrümmten Linien zum Stand der Technik.

Sämtliche dieser Brennflecke können im Rahmen der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Erzeugen des Ritzes entlang der freizulegenden Trennlinie angewendet werden.

Eine besonders präzise Verfahrensführung bedürfen Freiformschnitte mit in sich geschlossener Kontur, weil zwischen Anfang und Ende der Trennlinie kein Versatz auftreten darf. Beispiele für derartig in sich geschlossene Schnitte wurden vorstehend bereits genannt. Besonders nachteilig wäre ein Versatz bei dem Konturenschneiden kreisringförmiger Glasscheiben im Rahmen der

Herstellung von Glassubstraten für Datenträger, den sogenannten Harddisks (HD).

Derartige Harddisks lassen sich nach der vorbeschriebenen "Ritzen-Brechen-Methode" wegen ihrer Dicke, zumindest nicht ohne weiteres, mit der notwendigen Qualität herstellen. Bei dem direkten Schneiden, d.h. Durchtrennen mit einer Schneidbewegung des Laserstrahles, kommt es jedoch zu dem vorerwähnten nachteiligen Versatz. Die Harddisks werden daher bisher typischerweise nach folgenden Verfahren hergestellt:

Vor der eigentlichen Bearbeitung werden etwa 10 bis 15 der zu bearbeitenden Glasscheiben als Stapel mit Zwischenlagen aus Wachs oder UV-härtendem Kunststoff zwischen zwei dickere plane Scheiben gepackt. Der Stapel wird gepreßt und unter der Pressung UV-bestrahlt, wodurch die Zwischenlagen aushärten. Der so erhaltene Glasverbundblock verhält sich im folgenden Bohrprozeß wie ein Monolith. Mit einem konzentrischen Hohlbohrer werden nun gleichzeitig Außen- und Innenbohrung durchgeführt. Größere Ausbrüche erhält man bei diesem Verfahren nur an den Außenflächen der oben und unten angeordneten Hilfcscheiben.

Nachteilig bei diesem Verfahren ist, daß die Rundscheiben mit Hilfe von Lösungsmitteln und/oder Temperaturen von über 100° C wieder voneinander gelöst und anschließend gereinigt werden müssen, was kostenintensive, zeitaufwendige und mit Bruchgefahr verbundene Vorgänge darstellen.

Es ist auch möglich, Rundscheiben mit Innenloch ohne Verwendung eines UV-härtenden Klebers einzeln herzustellen. Um Kantenausbrüche zu vermeiden, müssen Bohrungen von beiden Flächen aus durchgeführt werden. Dieses Verfahren beinhaltet einen hohen maschinellen Aufwand.

In einem weiteren bekannten Verfahren (JP 5-35095 B2) werden nach der klassischen Ritz-Brech-Methode mit Schneidrädchen oder dergleichen Glas-

Rundscheiben mit Innenloch einzeln hergestellt. Mit dem Schneidrädchen wird zunächst entlang der Soll-Trennlinie mit geschlossener Kontur, hier dem Kreisumfang, ein Ritz vorgegebener Tiefe erzeugt. Anschließend wird mittels entsprechender Heizeinrichtungen, z.B. in Form von Heißluft-Einrichtungen, und Kühleinrichtungen, z.B. in Form von Einrichtungen mit flüssigem Stickstoff, eine Temperaturdifferenz zwischen den Bereichen diesseits und jenseits der Trennlinie erzeugt und auf diese Weise der Ritz vollständig durch die Glasrundscheibe getrieben, unter Herauslösen der Scheibe aus der Werkstückvorlage sowie des Innenloches. Diese Schrift offenbart jedoch keine konkrete Vorrichtung zum thermischen Durchtrennen.

Ein ähnliches Verfahren zeigt die US 2,372,215.

Es hat sich gezeigt, daß das eingangs genannte zweistufige Laserstrahlschneiden ein Durchtrennen von Werkstücken mit geschlossener Kontur ohne Versatz ermöglicht. Mit dem versatzlosen Durchtrennen ist es jedoch noch nicht getan, sondern es muß anschließend auch noch das durchgetrennte Werkstück herausgelöst werden, was nicht unproblemtisch ist. Dies gilt entsprechend auch bei einstufigen Trennverfahren.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die eingangs bezeichnete Vorrichtung so auszubilden, daß die Glasscheiben verletzungsfrei und schnell aus dem Flachglas-Werkstück herauslösbar sind.

Die Lösung dieser Aufgabe gelingt ausgehend von einer Vorrichtung zum Herauslösen einer Glasscheibe aus einem Flachglas-Werkstück, das entlang der Umfangslinie der Glasscheibe zumindest bis in einer vorgegebenen Tiefe einen Riß aufweist, mit mindestens einer Heizeinrichtung zum Erzeugen einer Temperaturdifferenz zwischen den Bereichen diesseits und jenseits der Umfangslinie der Glasscheibe, erfindungsgemäß dadurch, daß die Vorrichtung zwei flache Kammersysteme mit jeweils einem zentrischen Rohr, dessen

Querschnitt um ein vorgegebenes Maß kleiner oder größer als der Scheibenquerschnitt ist, aufweist, die betrieblich in horizontaler Lage übereinander stapelbar sind, mit dem Flachglas-Werkstück zwischen den zentrischen Rohren der beiden Kammersysteme, derart, daß es zentriert ausgerichtet an den gegenüberliegenden Stirnseiten der Rohre dichtend anliegt, wobei jedes Kammersystem einen peripheren Einlaß für ein heißes fluides Medium und im Bereich des zentrischen Rohres einen Auslaß für den Austritt des heißen fluiden Mediums gegen das Flachglas-Werkstück außerhalb der Glasscheibe besitzt.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht mit einfachen Mitteln ein verletzungsfreies und schnelles Herauslösen der Glasscheibe aus dem Flachglas-Werkstück mit geringem Bruch, wodurch kurze Taktzeiten bei der Herstellung der Glasscheiben und eine hohe Ausbeute erzielbar sind, was sich vorteilhaft auf die Herstellungskosten auswirkt.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung kann das Herauslösen durch Erhöhen der Temperaturdifferenz gefördert werden, indem im zentrischen Rohr des unteren Kammersystems ein Stempel aufgenommen ist, der eine Bohrung für die Zufuhr eines fluiden Kühlmediums gegen die Glasscheibe besitzt und dessen Querschnitt kleiner als derjenige des Rohres ist, mit einem Ringraum zwischen Stempel und Rohr und einer Öffnung im unteren Teil des Rohres für den Austritt des fluiden Kühlmediums.

Vorzugsweise ist die Vorrichtung so getroffen, daß das heiße fluide Medium durch Heißluft und das fluide Kühlmedium durch flüssigen Stickstoff gebildet ist. Diese Medien ermöglichen bei relativ einfacher Bereitstellung eine sehr hohe Temperaturdifferenz im Bereich der Trennlinie. Aber auch andere flüssige oder gasförmige Medien sind prinzipiell einsetzbar, z.B. Wasser, Luft etc.

Eine strömungsmäßig besonders vorteilhafte Erwärmung der Glasscheibe durch, das heiße fluide Medium läßt sich erzielen, wenn der Auslaß im Bereich des zentrischen Rohres für das heiße fluide Medium jeweils durch eine Sintermetall-Einlage in der Wandung des Kammersystems gebildet ist.

Eine besonders einfache Kühlung der Glasscheibe mit dem fluiden Kühlmedium läßt sich erzielen, wenn die Öffnung im unteren Teil des Rohres des unteren Kammersystems für den Austritt des fluiden Kühlmediums als Anschluß an ein Vakuumsystem ausgebildet ist. Durch den Unterdruck wird daher das fluide Kühlmedium aus einem Vorratsbehälter gesaugt und über die Bohrung im Stempel an die Glasscheibe herangebracht.

Die Glasscheiben können eine unterschiedliche Konfiguration haben, wobei die Konfiguration der Kammersysteme und der Rohre angepaßt sein sollten. Bei kreisförmigen Glasscheiben ist daher die Vorrichtung zweckmäßig so ausgebildet, daß beide Kammersysteme kreisringförmig ausgebildet sind und die zentrischen Rohre einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen.

Das Flachglas-Werkstück kann dabei auch der Rohling einer Harddisk mit einer durchtrennten konzentrischen Innenscheibe sein, aus der mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit entsprechend angepaßten Maßen die konzentrische Innenscheibe durch Kühlung dieser Innenscheibe und Erwärmen des kreisringförmigen Teiles des Rohlings herauslösbar ist.

Anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles der Erfindung wird diese näher beschrieben.

Die einzige Figur zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Herauslösen einer Glasscheibe aus einem Flachglas-Werkstück, wobei im vorliegenden Beispiel das Flachglas-Werkstück ebenfalls eine Glasscheibe 1 ist, aus der zentrisch zur Herstellung eines Innenloches eine

Innenscheibe 2 herausgelöst werden soll. Auf diese Weise soll eine kreisringförmige Glasscheibe, eine sogenannte "Harddisc" entstehen, die typischerweise als optisches Speichermedium Verwendung findet.

Die Glasscheibe 1 weist entlang der Umfengslinie der Innenscheibe 2 einen Riß 3 auf, der vorher mit bekannten, eingangs erläuterten Methoden (mechanisch oder durch Laserstrahlscnneiden) in die Glasscheibe 1, den Rohling, eingebracht wurde. Dieser Riß 3 kann vollständig durch die Dicke der Glasscheibe 1 hindurchgehen, zweckmäßig mittels eines zweistufigen Verfahrens, oder auch nur bis zu einer bestimmten Tiefe in die Glasscheibe 1 getrieben worden sein. Im ersten Fall dienen die zu erläuterten erfindungsgemäßen thermischen Maßnahmen nur dem Freilegen, d.h. dem alleinigen Herauslösen der vollständig durchtrennten Innenscheibe 2, wogegen im zweiten Fall die thermischen Maßnahmen dazu dienen, quasi in einem zweiten Schritt zunächst den Riß 3 vollständig durch die Glasscheibe 1 hindurch zu treiben mit anschließendem Herauslösen der so endgültig durchtrennten Innenscheibe 2.

Die erfindungsgemäßen thermischen Maßnahmen zum Herauslösen der Innenscheibe 2 weisen eine Vorrichtung mit einer speziellen Heizeinrichtung mit Heißluft und mit einer speziellen Kühleinrichtung mit flüssigem Stickstoff zum Erzeugen einer Temperaturdifferenz zwischen den Bereichen diesseits und jenseits der Umfengslinie der Innenscheibe 2 auf. Die Vorrichtung weist als Heizeinrichtung zwei kreisringförmig ausgebildete, Flachdosen-artige Kammersysteme 4, 5, die jeweils ein zentrisches Rohr 6, 7 mit kreisförmigem Querschnitt besitzen, auf, wobei der Durchmesser der zentrischen Rohre 6,7 jeweils um ein vorgegebenes Maß kleiner als der Durchmesser der Innenscheibe 2 ist. Das vorgegebene Maß liegt etwa im Bereich von 10 % des Innenscheiben-Durchmessers.

Beide Kammersysteme 4, 5 sind betrieblich, wie dargestellt, in horizontaler Lage übereinander stapelbar, mit der Glasscheibe 1, zentrisch ausgerichtet, zwischen den zentrischen Rohren 6, 7 der beiden Kammersysteme. Da die Stirnseiten der die Glasscheibe 1 dichtend berührenden zentrischen Rohre, jeweils einen bestimmten Abstand von der zugeordneten, der Glasscheibe 1 zugewandten Kammerwandung 4 a bzw. 5 a haben, ist zu beiden Seiten der Glasscheibe 1 außerhalb der Innenscheibe 2 ein Luftspalt 8, 9 vorhanden.

Jede Kammer 4, 5 weist eine periphere Öffnung 4 b, 5 b für den Eintritt von heißer Druckluft und einen kreisringförmigen Auslaß 4 c, 5 c in der der Glasscheibe 1 benachbarten Kammerwandung 4 a, 5 a im Bereich des zugeordneten zentrischen Rohres 6, 7, auf. Der Auslaß 4 c, 5 c wird bevorzugt durch eine Sintermetalleinlage in der Kammerwandung 4 a, 5 a gebildet. Die Porosität der Sintermetalleinlage sorgt auf der einen Seite für einen bestimmten "Rückstau" der Heißluft in den Kammern und zum anderen für eine gleichmäßige Anströmung der Glasscheibe 1. Die Glasscheibe 1 wird daher außerhalb der Innenscheibe von beiden Seiten mit Heißluft umspült, wobei wegen der sich dabei abkühlenden Luft ein radialer Temperaturgradient erzeugt wird, der zu das Herauslösen fördernden Druckspannungen entlang der Umfangslinie der Innenscheibe führt.

Zur Realisierung der Kühleinrichtung ist im zentrischen Rohr 7 des unteren Kammersystems 5 ein metallischer Stempel 10 aufgenommen, dessen obere Stirnseite dicht benachbart der Innenscheibe 2 liegt, mit einem Ringraum zum Mantel des zentrischen Rohres 7.

Er weist eine Innenbohrung 11 für die Zufuhr von flüssigem Stickstoff zur Kühlung der Innenscheibe 2 auf, die mit einem Behälter mit flüssigem Stickstoff verbindbar ist. Das zentrische Rohr 7 besitzt ferner eine Öffnung 12, die für den Anschluß an ein Vakuumsystem ausgebildet ist. Beim Anlegen eines Unterdruckes an die Öffnung 12 wird daher der flüssige Stickstoff aus

dem (nicht dargestellten) Behälter angesaugt, strömt über die Innenbohrung 11 des Stempels und kommt dabei in direktem Kontakt mit der Innenscheibe 2 bzw. strömt danach über den Ringraum und die Öffnung 12 ab.

Durch die erfindungsgemäße Vorrichtung wird daher durch das starke Kühlen der Innenscheibe 2 und das gezielte starke Erwärmen der darüber hinausgehenden Kreisringzone der Glasscheibe 1 eine hohe Temperaturdifferenz erzeugt, so daß diese Kreisringzone nach Abschluß der thermischen Beaufschlagung durch Eigengewicht oder durch Aufbringen einer zusätzlichen mechanischen Kraft (masnuell oder mittels eines Stempels) herunterfällt.

Im Ausführungsbeispiel ist der Durchmesser der zentrischen Rohre 6, 7 um ein vorgegebenes Maß kleiner als der Durchmesser der Innenscheibe 2, so daß der kreisringförmige Teil der Glasscheibe nach dem thermischen Herauslösen abfällt und die Innenscheibe 2 auf dem Rohr 7 verbleibt. Alternativ kann jedoch auch die Vorrichtung so ausgebildet sein, daß der Durchmesser der zentrischen Rohre um ein vorgegebenes Maß größer als der Durchmesser der Innenscheibe ist, so daß nach dem thermischen Freilegen der Innenscheibe diese herausfällt.

Im Ausführungsbeispiel ist die Vorrichtung zum Herauslösen des Innenloches aus einer Glasscheibe 1 dargestellt. In entsprechender Weise kann die Vorrichtung auch so ausgebildet werden, um zuvor die Glasscheibe 1 aus einem Flachglas-Werkstück herauszutrennen. Für diese Anwendung haben die zentrischen Rohre einen Durchmesser, der um einen vorgegebenen Betrag kleiner oder größer als der Durchmesser der Glasscheibe 1 ist, und die beiden Kammersysteme haben einen Durchmesser, der einen vorgegebenen Randbereich der Glasscheibe 1 im Flachglas-Werkstück umfoßt. Auf diese Weise kann die Glasscheibe aus dem sie übergebenden Rand thermisch herausgelöst werden.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung besitzt eine Reihe von Vorteilen:

• Großer Temperaturunterschied ermöglicht verletzungsfreies Herauslösen

• Berührungsloses Herauslösen

• Schnelles und gleichmäßiges Aufheizen/Kühlen und damit kleine Taktzeiten

• Gezielte Luftführung ermöglicht Temperaturgradient von innen nach außen, wodurch

=*- Druckspannungen am Lochrand des Außenteils das Herauslösen

fördern,
=$■ die Gefahr durch Zerreißen verringert wird.

Claims (6)

1. Vorrichtung zum Herauslösen einer Glasscheibe (2) aus einem Flachglas-Werkstück (1), das entlang der Umfangslinie der Glasscheibe zumindest bis in einer vorgegebenen Tiefe einen Riß aufweist, mit mindestens einer Heizeinrichtung zum Erzeugen einer Temperaturdifferenz zwischen den Bereichen diesseits und jenseits der Umfangslinie der Glasscheibe, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zwei flache Kammersysteme (4, 5) mit jeweils einem zentrischen Rohr (6, 7), dessen Querschnitt um ein vorgegebenes Maß kleiner oder größer als der Scheibenquerschnitt ist, aufweist, die betrieblich in horizontaler Lage übereinander stapelbar sind, mit dem Flachglas-Werkstück (1) zwischen den zentrischen Rohren (6, 7) der beiden Kammersysteme, derart, daß es zentriert ausgerichtet an den gegenüberliegenden Stirnseiten der Rohre dichtend anliegt, wobei jedes Kammersystem einen peripheren Einlaß (4b, 5b) für ein heißes fluides Medium und im Bereich des zentrischen Rohres (6, 7) einen Auslaß (4 c, 5c) für den Austritt des heißen fluiden Mediums gegen das Flachglas-Werkstück (1) außerhalb der Glasscheibe besitzt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im zentrischen Rohr (7) des unteren Kammersystems (5) ein Stempel (10) aufgenommen ist, der eine Bohrung (11) für die Zufuhr eines fluiden Kühlmediums gegen die Glasscheibe besitzt und dessen Querschnitt kleiner als derjenige des Rohres ist, mit einem Ringraum zwischen Stempel und Rohr und einer Öffnung (12) im unteren Teil des Rohres für den Austritt des fluiden Kühlmediums.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das heiße fluide Medium durch Heißluft und das fluide Kühlmedium durch flüssigen Stickstoff gebildet ist.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Auslaß (4c, 5c) im Bereich des zentrischen Rohres (6, 7) für das heiße fluide Medium jeweils durch eine Sintermetall-Einlage in der Wandung (4a, 5a) des Kammersystems (4, 5) gebildet ist.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (12) im unteren Teil des Rohres (7) des unteren Kammersystems (5) für den Austritt des fluiden Kühlmediums als Anschluß an ein Vakuumsystem ausgebildet ist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß beide Kammersysteme (4, 5) kreisringförmig ausgebildet sind und die zentrischen Rohre (6, 7) einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen.