DE1908669B2 - Verfahren zum Verdampfen von Me tallen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum Verdampfen von Me tallen und Vorrichtung zur Durchführung des VerfahrensInfo
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 230000005484 gravity Effects 0.000 title claims abstract 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 8
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 title 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 13
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 1
- 210000003462 vein Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
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Description
dampfung von Silber aus Eisen oder Molybdän »5 fläche eine praktisch konstante Temperatur und dagebildetist.
mit eine gleichmäßige Verdampfung zu erreichen,
kann der Verdampfer nach Anspruch 3 ausgelegt werden. Zur Verdampfung von Aluminium eignet
sich besonders die Ausführungsform nach An-30 spruch 4.
Insbesondere bei Verdampfung von Aluminium kann die Verdampferfläche nach unten gerichtet
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ver- sein, wobei die Menge zu verdampfender Substanz
dampfen von Metallen für Metallisierungsanlagen ausreichend sein muß, um bei ausreichender Zuu.
dgl. unter Verwendung einer Verdampferfläche, 35 führung eine kontinuierliche Verdampfung zu gedie
eine Schicht des zu verdampfenden, flüssigen Me- währleisten.
tails trägt, und eine Vorrichtung zur Durchführung Obgleich für die Durchführung des erfindungsge-
des Verfahrens. mäßen Verfahrens auch andere Typen von Verdamp-
Bei bekannten Verdampfern (deutsche Patent- fern und andere Werkstoffpaarungen bei den Tiegeln
schrift 880 529 und USA.-Patentschrift 2665 229) 40 und zu verdampfendem Metall in Frage kommen,
ist das flüssige, zu verdampfende Metall in einem werden in der Zeichnung besonders vorteilhafte AusTiegel in Form eines Bade« gehalten, aus dem der führungsformen dargestellt. Es zeigen
Metalldampf — der horizontalen, nach oben gerichtc F i g. 1 und 2 im Schnitt zwei Verdampfer mit ver-
Metalldampf — der horizontalen, nach oben gerichtc F i g. 1 und 2 im Schnitt zwei Verdampfer mit ver-
ten Natur der Badoberfläche entsprechend — nur schiedener Lage der Verdampferfläche im Raum,
nach oben entweichen kann. Dabei werden entweder 45 Gemäß der Zeichnung besteht drr Verdampfer aus ;. zwei kommunizierende Tiegel, in welchen das Mate- einem Schiffchen aus Graphit 1 und die zu verdamprial zur Erreichung eines selbsttätigen Nachschubs fende Substanz ist Aluminium. In dem Beispiel 1 ist von dem ersten zu dem zweiten Tiegel auf verschie- als Material des Verdampfers Graphit angegeben wedener Temperatur gehalten wird, verwendet, oder die gen seiner geringen Kosten und als zu verdampfende zu verdampfende Substanz gelangt in iestem Zustand 50 Substanz Aluminium wegen der zahlreichen induauf die zu verdampfende Fläche, wo sie das thermi- strieilen Verwendungsarten, die eine kontinuierliche sehe Gleichgewicht stört, so daß eine Konstanthal- Aluminiumverdampfung erfordern. Als verdamptung der Temperatur auf der gesamten verdampfen- fende Fläche wurde in der F i g. 1 eine Fläche geden I lache schwierig wird. wählt, die nach oben gewendet ist und in der F i g. 2
nach oben entweichen kann. Dabei werden entweder 45 Gemäß der Zeichnung besteht drr Verdampfer aus ;. zwei kommunizierende Tiegel, in welchen das Mate- einem Schiffchen aus Graphit 1 und die zu verdamprial zur Erreichung eines selbsttätigen Nachschubs fende Substanz ist Aluminium. In dem Beispiel 1 ist von dem ersten zu dem zweiten Tiegel auf verschie- als Material des Verdampfers Graphit angegeben wedener Temperatur gehalten wird, verwendet, oder die gen seiner geringen Kosten und als zu verdampfende zu verdampfende Substanz gelangt in iestem Zustand 50 Substanz Aluminium wegen der zahlreichen induauf die zu verdampfende Fläche, wo sie das thermi- strieilen Verwendungsarten, die eine kontinuierliche sehe Gleichgewicht stört, so daß eine Konstanthal- Aluminiumverdampfung erfordern. Als verdamptung der Temperatur auf der gesamten verdampfen- fende Fläche wurde in der F i g. 1 eine Fläche geden I lache schwierig wird. wählt, die nach oben gewendet ist und in der F i g. 2
Außerdem sind prinzipiell anders aufgebaute Ver- 55 eine nach unten gewendeten Fläche,
dämpfer bekannt (deutsche Patentschrift 953 677), Die Zuführung erfolgt über eine in dem Schiffchen
dämpfer bekannt (deutsche Patentschrift 953 677), Die Zuführung erfolgt über eine in dem Schiffchen
bei denen keine ausgedennte Verdampferfläche vor- aus Graphit angebrachte Bohrung für den Aluminigesehen
ist. Das Metall wird vielmehr im Innern umdraht 3, dessen Schmelzung die Bildung einer
eines Verdampfungskörpers geschmolzen und ver- dünnen Schicht 3 A geschmolzenen Metalls ergibt,
dampft; der Dampf entweicht durch Düsenbohrun- 60 die die Verdampfungsfläche bestimmt,
gen oder einen Düsenschlitz in Form eines Dampf- In dem besonderen Fall wird der Verdampfer
gen oder einen Düsenschlitz in Form eines Dampf- In dem besonderen Fall wird der Verdampfer
Strahls. durch Joule'schen Effekt erwärmt, aber er könnte
Die der im Anspruch 1 angegebenen Erfindung zu- auch durch Induktion geheizt werden, durch Elektrogrunde
liegende Aufgabe besteht darin, die Ver- nenbombardierung oder in anderer geeigneter Weise,
dampfung des Metalls von einer Verdampferfläche, 6s Die durch die Anordnung dieser Art gebotenen
die auch anders als horizontal im Raum angeordnet Vorteile sind unter anderem die folgenden: Die Versein
kann, durchzuführen. Eine solche Verfahrens- dampfung muß nicht mehr gezwungenermaßen nach
führung ist bei den bekannten, mit Verdampferfläche oben gerichtet werden, und dies ermöglicht häufig
die Benutzung einer breiten Arbeitsfläche, ohne zu rotierenden Vorrichtungen für die Stütze des zu metallisierenden
Gegenstandes greifen zu müssen.
Da die Speisung des Ofens über cue der Verdampfungsfläche gegenüberliegende Fläche erfolgt, behindert
der Dampf nicht mehr die Speisung.
Es ist nicht nötig, daß die Führungssysteme für die Speisung dem Verdampfer nahekommen (wo sie
auch, wenn sie gegen den Dampf abgeschirmt ma,
hohen Temperaturen ausgesetzt werden wurden) msofem
der Verdampfer (eine kleine Wanne) selbst ais
SSungSEleine/durcWehenden,Bohrung wirkt
Die thermische Gleichgewichtsstörung wird infolge
des Aufbringeiis von Substanzen von niedrigerer Temperatur als die des Verdampfers sehr wesentlich
verringert
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Verfahren zum Verdampfen von Metallen Zur Lösung der gestellten Aufgabe werden statt
für Metallisierungsanlagen u.dgl. unter Verwen- 5 der Schwerkraft die Adhäsionskräfte ausgenutzt, um
dung einer Verdampferfläche, die eine Schicht auf der Verdampferfläche eine Schicht der zu verdes
zu verdampfenden flüssigen Metalls trägt, dampfenden Substanz zu bilden. Dadurch wird der
dadurch gekennzeichnet, daß die Vorteil erreicht, daß die Veraampferflache eine beSchicht
(3/1) so dünn ausgebildet wird, daß die üebige Raumrichtung annehmen kann, unter andezwischen
ihr und der Verdampferfläche wirken- io rem auch die in vielen Fällen besonders vorteilhafte
den Adhäsionskräfte stärker als die Schwerkraft Richtung mit nach unten gewendeter Verdampfersind,
fläche.
2. Verdampfer zur Durchführung des Verfah- Es sind zwar bestimmte Werkstoffpaarungen bei
rens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, den Tiegeln und dem zu verdampfenden Metall bedaß
die Verdampferfläche nach unten gerichtet 15 kannt, bei denen Adhäsionskräfte zwischen dem zu
ist. verdampfenden Metall und der Tiegeloberfläche
3. Verdampfer nach Anspruch 2, dadurch ge- wirksam sind, jedoch werden bei bekannten Vorrichkennzeichnet,
daß die Speisung über eine von tungen diese Adhäsionskräfte nicht mit bestimmtem,
hinten in der Verdampferfläche mündenden Boh- vorteilhaftem Effekt an Stelle der Schwerkraft nutzrung
(3) erfolgt 30 bar gemacht.
4. Verdampfer nach Anspruch 2 oder 3, da- Zur Durchführung des Verfahrens der Erfindung
durch gekennzeichnet, daß die Verdampferfläche hat sich der Verdampfer nach Anspruch 2 als besonzur
Verdampfung von Aluminium aus Graphit, ders geeignet erwiesen.
Bornitrid oder Titancarbid besteht und zur Ver- Um in allen Fällen auf der gesamten Verdampfer-
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IT447268 | 1968-03-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1908669A1 DE1908669A1 (de) | 1969-10-09 |
| DE1908669B2 true DE1908669B2 (de) | 1973-12-06 |
Family
ID=11112705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19691908669 Pending DE1908669B2 (de) | 1968-03-08 | 1969-02-21 | Verfahren zum Verdampfen von Me tallen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE1908669B2 (de) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3632027C1 (de) * | 1986-09-20 | 1988-02-18 | Rudnay Andre Dr De | Verfahren und Vakuumbedampfungsanlage zum Metallisieren von Folienoberflaechen |
-
1969
- 1969-02-21 DE DE19691908669 patent/DE1908669B2/de active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE1908669A1 (de) | 1969-10-09 |
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