DE19929877A1

DE19929877A1 - Betätigungseinheit für eine elektrohydraulische Bremsanlage

Info

Publication number: DE19929877A1
Application number: DE19929877A
Authority: DE
Inventors: Peter Drott; Hans-Joerg Feigel; Horst Kraemer; Jan Hoffmann
Original assignee: Continental Teves AG and Co OHG
Current assignee: Continental Teves AG and Co OHG
Priority date: 1999-06-29
Filing date: 1999-06-29
Publication date: 2001-01-04
Also published as: WO2001000465A1; EP1196313A1; US6775979B1

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Betätigungseinheit für eine elektrohydraulische Bremsanlage vom Typ "Brake-by-wire", die als ein Tandemhauptzylinder ausgebildet ist, dessen erster und zweiter Kolben durch jeweils eine Rückstellfeder entgegen der Betätigungsrichtung vorgespannt sind. Die dem ersten Kolben zugeordnete Rückstellfeder dient gleichzeitig als eine die Pedalcharakteristik bestimmende Wegsimulatorfeder, wobei eine Ventileinrichtung vorgesehen ist, die eine hydraulische Verbindung zwischen einem die Wegsimulatorfeder aufnehmenden Druckraum (4) und einem Druckmittelvorratsbehälter (6) absperrt bzw. freigibt. DOLLAR A Um sicherzustellen, daß beim Ausfall der Fremdbremskraft lediglich ein geringer Verlustweg zurückzulegen ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die Ventileinrichtung durch die Bewegung des zweiten Kolbens (3) gegenüber dem Gehäuse (50) des Tandemhauptzylinders schließbar ist und durch eine auf dem zweiten Kolben (3) angeordnete Dichtmanschette (12) sowie einen im Bewegungsbereich der Dichtmanschette (12) ausgebildeten Kanal (16) gebildet ist, der mit dem Druckmittelvorratsbehälter (6) in Verbindung steht.

Description

Aufgabenstellung

Es soll ein Verfahren zur nahfeldoptischen Untersuchung von bio logischen Proben gefunden werden, das mehrere Einschränkungen der existierenden Techniken aufhebt.

Für lebende biologische Proben soll ein Verfahren und eine Methode der Bildgebung gefunden werden, die ausreichend schnell ist, so daß die Eigenbewegung der Probe oder physiologische Ver änderungen beobachtet werden können. Dies erfordert Bildaufnah mezeiten im Sekundenbereich oder darunter und nicht wie bei heutigen Techniken im Minutenbereich.

Für biologischen Proben in natürlicher Umgebung z. B. einer Nährlösung soll ein Methode gefunden werden, die nicht durch das Nährmedium gestört wird und eine sichere Einhaltung des nahfeld optischen Abstands gewährleistet.

Die Einschränkung durch Verwendung von Laserlichtquellen auf eine geringe spektrale Bandbreite soll überwunden und mit einer breitbandigen Lichtquelle auch spektrale Information von der Probe zugänglich gemacht werden.

Stand der Technik

Zur nahfeldoptischen Mikroskopie wird eine Vielzahl unterschied licher Sonden und Detektionsweisen benutzt, gemeinsam ist diesen Methoden eine Vorgehensweise, bei der die Sonde zweidimen sional (x-y-Ebene) bewegt wird und an jeder x-y-Position der Abstand der Sonde zur Probe (z-Richtung) nach einem bestimmten Kriterium eingestellt werden muß. Für die Abstandseinstellung werden unterschiedliche Wechselwirkungsmechanismen genutzt. Notwendig ist der kleine Abstand, um im Nahfeld der Sonde die nur dort detektierbare hohe Ortsauflösung dieser Mikroskopie zu erzielen.

Es existiert eine Reihe von Patenten, die in Form von Einzelsonden eine Nahfeldlichtquelle beinhalten. Hierbei ist sowohl eine Detek tion über diese Apertur (DE 195 31 465; EP 0112401; US 5,770,855; US 5,821,409), als auch eine Beleuchtung beschrieben (DE 195 31 802; DE 197 14 346). Die Ausgestaltung dieser Nano lichtquelle mit porösem Silizium (EP 0726480), fluoreszierenden Materialien (DE 195 04 662; US 5,105,305) und ausgezogenen Fasern (US 5,286,970) oder durch Anregung von Exzitonen (US 5,362,963; US 5,546,223, US 5,675,433, US 5,789,742) ist eben falls beschrieben. Die Positionierung der Einzelsonden erfolgt als kombinierte Sensoren für AFM und SNOM (DE 196 31 498; US 5,354,985; US 5,821,409), STM und SNOM (DE 41 06 548; US 5,289,004; US 5,770,955), über Scherkraftdetektion (US 5,548,113, US 5,641,896) oder mittels der detektierten Nahfeld-Strahlung (US 5,304,795, US 5,666,197). Auch ein Einsatz als kombinierter Aktor und Sensor ist beschrieben (US 5,770,856).

Der Nachteil dieser Vorgehensweisen gerade bei biologischen Proben besteht in der notwendigen Zeitdauer für die Abstandsein stellung, die einen Großteil der gesamten Meßzeit ausmacht. Hier durch entstehen Aufnahmezeiten im Bereich von mehreren Minu ten. In dieser Zeit kann sich die lebende Probe bewegen und verän dern und damit zu einer fehlerhaften Bildgebung führen.

Weiterhin wird die Abstandsmeßwechselwirkung durch eine übli che Probenumgebung in Form einer Nährlösung gestört, was zu falschen Bilddaten oder gar zur Beschädigung der Probe und Sonde durch Sondenkontakt führen kann. In allen Verfahren wird ein Laser als Lichtquelle benutzt, der nur eine spektral schmalbandige Untersuchung der Probe erlaubt.

In der Patentschrift (DE 196 01 109, WO 97/25644), ist eine zweidi mensionale Anordnung von Nanolichtquellen auf einem ebenen Substrat beschrieben. Die Lichtquellen werden über energiereiche Strahlung angeregt und die Anordnung erfordert keine mechanisch beweglichen Teile. Es besteht aus einer feststehenden Platte mit integrierten Nahfeldlichtquellen, auf der die Probe aufgebracht werden soll. Hier ist durch die Festkörperoberfläche aus Halblei termaterial eine für biologische Proben ungeeignete Oberfläche geschaffen, so daß die Proben weder einen festen Abstand noch eine konstante Position über den Lichtquellen einnehmen. Weiter hin werden die Lichtquellen durch kleine Hohlräume geschaffen, in die bestimmte Materialien eingebracht werden. Durch biologische Proben in Nährlösung werden diese Materialien kontaminiert und eine stabile Funktionsweise verhindert.

Neben diesen Patenten ist noch eine gebündelte Anordnung von einer Vielzahl von ausgezogenen Fasern mit einem Abstand der Einzelquellen von 0.5 bis 2 µm in US 5,633,972 beschrieben. Diese Anordnung unterscheidet sich jedoch von der hier beschriebenen Anordnung dadurch, daß ein konventionelles Verfahren der Annä herung der Multifaser-Sonde an eine Probenoberfläche eingesetzt wird, während hier auf diese aufwendige Technik verzichtet wird und ein Anformen der Probenoberfläche an die Lichtquellenmatrix durch eine geeignete Oberfläche erreicht wird. Die Veränderung der Probe durch mehrere hundert ausgezogene Faserspitzen ist kritisch zu betrachten, ebenso wie die Chance die Nahfeldbedingung über die gesamte Sondenfläche einzuhalten.

Erfindungsgemäße Lösung

Es hat sich nun überraschend gezeigt, daß sich durch eine biokom patible Adhäsionsschicht (6) biologische Objekte z. B. Zellen (1) stabil an einer Oberfläche fixieren lassen. Erst durch diese erfindungsgemäß wesentliche Zwischenschicht auf einer Unterlage (3), in der sich eine zweidimensionale Anordnung von Nanolichtquellen bzw. zweidimensional verschiebbare Nanolichtquellen (5) befinden, wird die konstante Einhaltung des nahfeldoptischen Abstands zwischen Probe und Lichtquelle gewährleistet. Mit dem Wegfallen einer Abstandsregelung, wie sie bei den Sonden-Verfahren notwendig ist, ist ein erheblicher Zeitgewinn verbunden, der in der schnellen Bildaufnahme im Bereich von Sekunden oder sogar darunter resultiert.

Diese Adhäsionsschicht (6) befindet sich als dünne Schicht (<30 nm) an der Oberfläche des Trägers (3) und Wandlers (5). Sie wird bevorzugt aus Lipiden (Phospholipid) oder Zellulose-Derivaten (Carboxylmetoxy-Zellulose) aufgebaut. Um hier eine konstante Schichtdicke, die wichtig für die Bildgebung ist, aufzubauen, werden die Moleküle als Mono- oder Bi-Layer aufgebracht. Dies kann durch Aufziehen der Layer geschehen oder auch durch das Sprengen von Vesikeln direkt auf der Oberfläche. Durch das Anwachsen oder Adhärieren von biologischen Objekten an dieser Schicht wird die notwendige Fixierung der Probe bei konstantem Abstand zu den Lichtquellen erzielt. An das Phospholipid kann gezielt eine funktionelle Gruppe angebaut werde, so daß eine funk tionelle Oberfläche entsteht, die nur die Anlagerung bestimmter dazu passender Gruppen erlaubt bzw. die Orientierung von Mole külen erzwingt.

Es hat sich erfindungsgemäß weiterhin gezeigt, daß durch die zusätzliche Erzeugung einer Schutzschicht (7) zwischen Licht quellen- (5) und Adhäsionsschicht (6) eine Kontamination der Lichtquellen verhindert wird. Hier kommen dünne (<20 nm) Kunststoffilme zum Anwendung, vorzugsweise Polyacryl, daß als Monomer aufgebracht durch UV-Bestrahlung zu zweidimensiona len Monoschichten vernetzt. In Abhängigkeit von der zu untersu chendene Probe und dem Nährmedium (2) kann bereits die Adhäsi onsschicht (6) einen ausreichende Schutzfunktion wahrnehmen, so daß diese entfallen kann.

Es hat sich überraschend gezeigt, daß bestimmte Materialien durch Elektronenanregung zu starker Lichtemission angeregt werden können. Dies ist um so wesentlicher im Sinne der Erfindung, als die Emission eine große spektrale Breite aufweist. In Weiterführung des Erfindungsgedankens werden die Lichtquellen eingebettet in einen Träger (3), der aus Materialien mit Silizium oder GaAs, d. h. dem Waferherstellungsverfahren zugängliche Materialien, hergestellt wird. Die Trägerstruktur wird vorzugsweise aus Si, SiO₂ oder Si₃N₄ aufgebaut.

In diesen Träger werden kleine Volumina (Querausdehnung kleiner als 100 nm) eines Wandlermaterials (5) eingebracht oder durch Umwandlung (z. B. Ätzen) des Trägers erzeugt. Diese Volumina fungieren als Lichtquellen und sind vorzugsweise in einem zwei dimensionalen Raster mit kleinem Abstand (kleiner als 200 nm) angeordnet.

In einer alternativen Ausführungsform ist die Trägerschicht gleich zeitig die Wandlerschicht und die Position der Lichtquelle wird durch die Position des Elektronenstrahls bestimmt. Hierzu alterna tiv kann eine homogene Wandlerschicht auf einer Trägerschicht angebracht werden.

Das Wandlermaterial sendet bei Anregung mit Elektronen intensiv Licht aus. Es wird entweder in kleinen Volumina in der Träger schicht angeordnet oder durch Umwandlung erzeugt.

In einer als bevorzugt hervorzuhebenden Ausführungsform wird Silizium durch Ätzen in mikroporöses Silizium überführt, was bei Elektronenanregung sehr stark im optischen Bereich leuchtet. Hierfür sind Excitonenzerfalle verantwortlich, die durch die Strukturgröße d. h. die Porengröße des porösen Siliziums in ihren Eigenschaften beeinflußt werden können. Es hat sich nun überraschend gezeigt, daß mit kleinerer Porengröße (Quantum Confinement) der Bandabstand zunimmt und die Luminenszenz beim Excitonenzerfall zu höheren Photonenenergien verschoben ist. Dies wird erfindungsgemäß genutzt, um Nanolichtquellen in unterschiedlichen Spektralbereichen (UV bis NIR) durch verändern der Porengröße zu erzeugen. Durch die Erzeugung einer breiteren Verteilung von Porengrößen werden breitbandige Lichtquellen (Weißlicht) erzeugt, die so bislang nicht für nahfeldoptische Untersuchungen zur Verfügung standen. Dies erlaubt erstmalig die nahfeldoptische Spektroskopie.

Eine ähnliche Verbreiterung der spektralen Emission kann durch die Größe des Anregungsvolumens erreicht werden. Wenn dieses ausreichend klein ist, wird die Bewegung der Excitonen eingeschränkt, was einen früheren Zerfall der Excitonen bewirkt. Die Reduzierung der Lebensdauer hat nach der Heißenberg'schen Unschärferelation eine entsprechende Verbreiterung der Energieverteilung der Photonen zur Folge. Diese Möglichkeiten der Variation der spektralen Verteilung und der Nutzung einer breiten spektralen Emission werden erfindungsgemäß für die Spektralanalyse der Proben genutzt.

Eine weitere Ausführungsform der Wandler besteht in der Anordnung von kleinen Volumina des Wandlermaterials. Eine Reihe von Materialien sind dazu geeignet, die sich in ihrer Ausbeute, Korngröße und spektralen Emission unterscheiden. Hierfür kommen vorzugsweise excitonenaktive Materialien wie Anthrazen oder Szintillatormaterialien (aus Lösungen auskristallisiert) wie z. B. BGO zum Einsatz.

Bei der bevorzugten Ausführungsform des Wandlers als homogene Wandlerschicht kommen vorzugweise Phosphore zum Einsatz, die als dünne Beschichtung auf den Träger aufgebracht werden.

Zur Stabilisierung wird in größeren Abständen (ca. 10-100 µm) die Trägerstruktur dicker ausgeführt. Alternativ oder ergänzend hierzu kann ein Elektronenfenster also eine planparallele Platte mit geringer Absorption für Elektronen eingefügt werden. Diese besteht aus Beryllium oder Silizium.

Mit einer Sammeloptik und einem Photodetektor im Fernfeld der Lichtquelle wird das optische Signal aufgenommen. Durch das sequentielle Anregen der Lichtquellen an verschiedenen Positionen und Darstellen der Signalintensität über der Lichtquellenposition wird ein nahfeldmikroskopisches Bild erzeugt. Der Bildkontrast besteht im wesentlichen aus dem Objektkontrast im Nahfeld der Lichtquellen. Der Kontrast kann hierbei in einer unterschiedlichen Absorption oder auch in einer unterschiedlichen Fluoreszenz der Probe liegen.

Bei Proben, die dem Vakuum ausgesetzt werden können, kann auch in einer "Auflicht"-Anordnung gemessen werden. Hierbei wird durch die Probe hindurch der Wandler vom Elektronenstrahl beleuchtet und das seitlich emittierte Licht kann zur optischen Bildgebung genutzt werden. In diesem Fall kann der Aufbau aus Fenster, Träger, Wandler dahingehend vereinfacht werden, daß die Strukturen in einer größeren Dicke ausgeführt werden und das Fenster entfällt. Der Bildkontrast besteht dann aus einer Kombina tion von Elektronenstrahlabsorption/-streuung und optischer Absorption.

Beschreibung der Abbildungen

Abb. 1 zeigt die gesamte Anordung in der bevorzugten Auf bauform. Eine Elektronenstrahlquelle (12) wird durch eine elektro optische Linse (13) auf den Wandler (5), fokussiert. In dieser Ab bildung ist der komplexe Aufbau des Probenhalters (3, 4, 5, 6, 7) und Wandlers vereinfachend dargestellt, die Details gehen aus den nachfolgenden Abbildungen hervor. Durch eine Elektronen ablenkeinheit (14) wird der Elektronenstrahl in zwei orthogonale Richtungen senkrecht zur Strahlrichtung unabhängig voneinander abgelenkt, so daß der Elektronenstrahlfokus rasterförmig über die Wandlerschicht (5) der Probenhalterung geführt werden kann. Die Elektronenstrahlführung befindet sich vollständig im Vakuum. Die Probe befindet sich in Normaldruck auf der dem Elektronenstrahl abgewandten Seite der Probenhalterung. Die Probe ist durch eine Adhäsionsschicht (6) stabil und im Nahfeldabstand an die Proben halterung fixiert. Das durch inelastische Streuung im Wandler ent stehende Licht - die Nanolichtquelle - durchdringt die Probe und wird im optischen Fernfeld durch eine hochaperturige Optik (10) gesammelt und auf einen Photodetektor (9) abgebildet. In der nicht maßstabsgerechten Zeichnung ist die Probe und die Probenhalte rung stark vergrößert dargestellt.

Abb. 2 zeigt eine modifizierte Anordnung für Proben, die dem Vakuum ausgesetzt werden können. Hierbei ist der Teil der Elektronenstrahlführung identisch zum in Abb. 1 erläuterten Verlauf. Hingegen befindet sich die Probe (1) jetzt in der Vakuum kammer (15) und wird durch den Elektronenstrahl durchleuchtet. Die Probe befindet sich auf der Probenhalterung mit der Wandler struktur (5). Durch den Elektronenstrahl (8) wird im Wandler Licht erzeugt, das die Probe durchstrahlt und seitlich durch ein hoch aperturiges Objektiv (10) auf den Detektor (9) abgebildet wird. Im Unterschied zu Abb. 1 kann in dieser Ausführungsform die Probenhalterung dicker ausgeführt werden.

Abb. 3 zeigt die Probenhalterung in der bevorzugten Ausfüh rungsform. Der in der Zeichnung von unten kommende Elektronen strahl (8) durchdringt die Trägerschicht (3), auf der sich die Wand lerschicht (5) befindet. In der Wandlerschicht wird der Elektronen strahl durch inelastische Streuung stark abgebremst und führt dabei zu Aussendung von Licht. Der Bereich innerhalb des Wandlers, in dem die Elektronen abgebremst werden, stellt die Lichtquelle (17) dar. Durch eine Schutzschicht (7) wird die Wandlerschicht vor Kontamination und Oxidation geschützt. Auf dieser wiederum befindet sich die Adhäsionsschicht (6), die der Anlagerung der Probe dient. Nur der Teil der Probe (1), der sich im Nahfeld der Lichtquelle befindet, trägt wesentlich zum optischen Signal, das im Fernfeld gemessen wird, bei. Durch Bewegen des Elektronenstrahls in der Wandlerebene bewegt sich die Nanolichtquelle und damit gleichzeitig der Ort der Probe an dem gemessen wird. Durch die Auftragung der Intensität des optischen Signals über dem Licht quellenort wird das Nahfeldbild der Probe gewonnen.

Abb. 4 zeigt eine alternative Ausführungsform der Proben halterung. Der in der Zeichnung von unten kommende Elektronen strahl (8) durchdringt die Trägerschicht (3). Im oberen Bereich der Trägerschicht ist durch Umwandlung des Trägermaterials eine Wandler (5) bevorzugt mikroporöses Silizium entstanden. Durch die Anregung mit dem Elektronenstrahl entsteht hier eine intensive Lichtquelle. Durch eine Schutzschicht (7) wird das mikroporöse Silizium vor Kontamination geschützt. Auf dieser wiederum befin det sich die Adhäsionsschicht (6), die der Anlagerung der Probe dient. Der weitere Aufbau und die Detektion ist identisch zur Beschreibung in Abb. 3.

Abb. 5 zeigt in einer weiteren Ausführungsform die Proben halterung. Im Unterschied zur Abb. 4 wird durch die gesamte Trägerstruktur eine konisches Loch (4) erzeugt, in dem durch Ver dampfen des Lösemittels einer Lösung Anthrazen oder Szintillato ren (5) auskristallisiert werden. Diese senden bei Elektronen strahlanregung intensiv Licht aus und werden analog zur Beschrei bung in Abb. 3 zur Bildgebung genutzt.

Abb. 6 zeigt eine zu Abb. 3 alternative Ausführungs form. Durch eine in größerem Abstand von 10-100 µm verstärkte Tragestruktur (19) werden die Kräfte der Druckdifferenz zwischen Vakuum und Normaldruck aufgenommen. Dies erlaubt die zwischen den Trägern dünnere Trägermatrix besonders dünn auszu führen und damit den Elektronenstrahl möglichst geringfügig zu streuen.

1 Biologisches Objekt z. B. Zelle
2 Nährmedium
3 Trägermatix
4 Vertiefung
5 Wandlermaterial
6 Adhäsionsschicht
7 Schutzschicht
8 Elektronenstrahl
9 Photodetektor
10 Optische Linse
11 Licht
12 Elektronenquelle
13 Elektrooptische Linse
14 Elektronenablenkeinheit
15 Vakuumkammer
16 Probenraum mit Normaldruck
17 Elektronenstreuhof
18 Elektronenfenster
19 Trägerstruktur

Claims

1. Verfahren und Vorrichtung zur nahfeldoptischen Bildgebung, dadurch gekennzeichnet, daß ein Elektronenstrahl in einem Wandlermaterial Licht mit kleiner lateraler Quellenausdehnung erzeugt.

2. Verfahren und Vorrichtung nach 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Wandlermaterial Licht mit einer spektralen Breite von <50 nm Wellenlänge emittiert, das zur Spektralanayse der Probe genutzt wird.

3. Verfahren und Vorrichtung nach 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wandlermaterial in kleinen Volumina in einem Träger ein gebettet ist und sich diese Volumina bei kleinem Abstand in zwei Richtungen regelmäßig wiederholen.

4. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Wandlermaterial aus Anthrazen besteht.

5. Verfahren und Vorrichtung nach 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wandlermaterial in kleinen Volumina in einem Träger durch Umwandlung des Trägers entsteht und aus mikroporösem Silizium besteht.

6. Verfahren und Vorrichtung nach 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Wandlermaterial homogen im oder auf einem Träger verteilt ist oder Träger und Wandler identisch sind.

7. Verfahren und Vorrichtung nach 1, 2 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Wandlermaterial ein Phosphor ist.

8. Verfahren und Vorrichtung nach 1, 2 und einem der Ansprüche aus 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronenstrahl rasterförmig über die Ebene, in der das Wandlermaterial angeordnet ist, geführt wird.

9. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger aus einem Halbleitermaterial vorzugsweise Si, SiO₂ oder Si₃N₄ besteht.

10. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 9, dadurch gekennzeich net, daß der Träger mit Wandler durch eine Schutzschicht vor Kontami nation von den Proben geschützt ist.

11. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 10, dadurch gekennzeich net, daß eine Adhäsionsschicht auf der Schutzschicht oder direkt auf dem Wandler eine Fixierung der biologischen Proben im Nahfeld der Lichtquelle bewirkt.

12. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Probe sich in Normaldruckatmosphäre befindet und die Elektronenstrahlanregung im Vakuum.

13. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Probe sich in einer Nährlösung befindet.

14. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerschicht durch ein für Elektronen durchlässiges Fenster verstärkt wird, das vorzugsweise aus Beryllium oder Silizium besteht.

15. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerschicht in Abständen von 10 bis 100 µm durch eine zusätzliche Verdickung verstärkt wird.

16. Verfahren und Vorrichtung nach 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenenergie zwischen 100 eV und 30 keV beträgt.